JP2001202827A - 透明導電性基板、発光素子、平面発光板、平面発光板の製造方法、平面蛍光ランプ、プラズマディスプレイ - Google Patents

透明導電性基板、発光素子、平面発光板、平面発光板の製造方法、平面蛍光ランプ、プラズマディスプレイ

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JP2001202827A JP2000072988A JP2000072988A JP2001202827A JP 2001202827 A JP2001202827 A JP 2001202827A JP 2000072988 A JP2000072988 A JP 2000072988A JP 2000072988 A JP2000072988 A JP 2000072988A JP 2001202827 A JP2001202827 A JP 2001202827A
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silica airgel
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勝 横山
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哲夫 筒井
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  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
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  • Non-Insulated Conductors (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光を外部に取り出す取り出し率が高い発光素
子用の透明導電性基板を提供する。 【解決手段】 低屈折率体1の少なくとも一方の表面に
接して透明導電性膜2を有する。低屈折率体1を通過す
る光は大気への取り出し率が高くなり、光を外部に取り
出す取り出し率が高い発光素子を作製することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種ディスプレ
イ、表示装置、液晶用バックライト等に用いられる発光
素子及びこの発光素子用の透明導電性基板、PL発光を
利用した平面発光板及びその製造方法、平面発光板を用
いた平面蛍光ランプ及びプラズマディスプレイに関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】近年、情報化社会の進展に伴って、各種
のディスプレイが開発されている。その中で、自発光型
の電子ディスプレイとして特に期待されているものの一
つに、EL素子(エレクトロルミネッセンス素子、電界
発光素子)がある。EL素子は物質に電界を印加したと
きに発光を生じる現象を利用したものであり、無機EL
層あるいは有機EL層を電極で挟んだ構造に形成されて
いる。
【0003】図11はその一例の有機EL素子の基本構
造を示すものであり、ガラス板11の上に酸化インジウ
ム錫(ITO)からなる陽極の透明電極12、有機EL
層13、陰極の背面金属電極14を積層した構造に形成
されている。このものでは、透明電極12から注入され
たホールと背面金属電極14から注入された電子が有機
EL層13で再結合し、発光中心である蛍光色素などを
励起することにより発光するものである。そして有機E
L層13から発光した光は、直接、あるいはアルミニウ
ムなどで形成される背面金属電極14で反射して、ガラ
ス板11から出射する。
【0004】ここで、発光素子の内部で発生した光が発
光素子の外部へ取り出される取り出し率ηは、古典光学
の法則により、屈折率nの媒体中から屈折率1.0の空
気中に出射される際の全反射の臨界角θcで決まる。屈
折の法則からこの臨界角θcは次の式(1)で与えられ
る。
【0005】sinθc=1/n (1) そして取り出し率ηは、屈折率nの媒体から空気中へ通
過する光量と発生した全光量(媒体と空気の界面で全反
射される光量と空気中へ通過する光量の和)の比から次
の式(2)で求められる。
【0006】η=1−(n2−1)1/2/n (2) 尚、媒体の屈折率nが1.5より大きい場合には次の近
似式(3)を用いることができるが、媒体の屈折率nが
1.00に極めて近い場合は上記の式(2)を用いる必
要がある。
【0007】η=1/(2n2) (3) ここで、EL素子において有機EL層13や透明電極1
2の厚みは光の波長より短いので、ガラス板11の屈折
率が主として取り出し率ηに寄与することになる。そし
てガラスの屈折率nは一般に1.5〜1.6程度である
ので、(3)式から、取り出し率ηは約0.2(約20
%)になる。残りの約80%はガラス板11と空気の界
面の全反射によって導波光として失われているものであ
る。
【0008】上記では発光体として無機あるいは有機E
L層を用いた例で説明したが、発光体としてPL(フォ
トルミネッセンス)発光層15を用いたPL発光素子の
場合も同様である。すなわち、図12はPL発光素子の
基本構造を示すものであり、ガラス板11の上にPL発
光層15を積層した構造に形成されている。このもので
は、PL発光層15に紫外線などの光が照射されると、
PL発光層15が発光し、ガラス板11から出射する。
そしてこのものにあっても、上記と同様に取り出し率η
が低く、多くの光は導波光として失われている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】このように、EL素子
やPL発光素子内部で発生した発光を大気中に取り出す
場合の取り出し率は低く、このことはEL素子やPL発
光素子に限らず、内部で発生した面状発光を大気中に取
り出す発光素子全般において問題になるものであった。
【0010】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、光を外部に取り出す取り出し率が高く、表面の輝
度が高い発光素子及びこの発光素子用の透明導電性基
板、並びに平面発光板及びその製造方法を提供すること
を目的とするものであり、この平面発光板を用いた明る
い平面蛍光ランプ及びプラズマディスプレイを提供する
ことを目的とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
透明導電性基板は、低屈折率体1の少なくとも一方の表
面に接して透明導電性膜2を有することを特徴とするも
のである。
【0012】また請求項2の発明は、請求項1におい
て、低屈折率体1の屈折率が1.003〜1.300で
あることを特徴とするものである。
【0013】また請求項3の発明は、請求項1又は2に
おいて、低屈折率体1がシリカエアロゲル1aであるこ
とを特徴とするものである。
【0014】また請求項4の発明は、請求項1乃至3の
いずれかにおいて、低屈折率体1の片側の表面に透明導
電性膜2を有すると共に他方の表面に透明体3を有する
ことを特徴とするものである。
【0015】また請求項5の発明は、請求項1乃至4の
いずれかにおいて、透明導電性膜2が酸化インジウム
錫、酸化インジウム亜鉛、酸化亜鉛アルミニウム、銀、
クロムから選ばれた材料で形成されたものであることを
特徴とするものである。
【0016】また請求項6の発明は、請求項4又は5に
おいて、透明体3がガラス又は透明樹脂で形成されたも
のであることを特徴とするものである。
【0017】また請求項7の発明は、請求項4乃至6の
いずれかにおいて、シリカエアロゲル1aは透明体3の
上に薄膜状に形成されたものであることを特徴とするも
のである。
【0018】また請求項8の発明は、請求項3乃至7の
いずれかにおいて、シリカエアロゲル1aは疎水化処理
されたものであることを特徴とするものである。
【0019】本発明の請求項9に係る発光素子は、上記
の請求項1乃至8のいずれかに記載の透明導電性基板
の、低屈折率体1と反対側の透明導電性膜2の表面に、
発光層4を有することを特徴とするものである。
【0020】また請求項10の発明は、請求項9におい
て、発光層4は有機EL層4aであることを特徴とする
ものである。
【0021】また請求項11の発明は、請求項9におい
て、発光層4は無機EL層4bであることを特徴とする
ものである。
【0022】本発明の請求項12に係る発光素子は、低
屈折率体1の表面に接してPL発光層5を有することを
特徴とするものである。
【0023】本発明の請求項13に係る平面発光板は、
ガラス板11上にPL発光層5を設けて形成され、ガラ
ス板11とPL発光層5との間にシリカエアロゲルの薄
膜16が設けられていることを特徴とするものである。
【0024】本発明の請求項14に係る平面発光板は、
ガラス板11上にPL発光層5を設けて形成され、PL
発光層5がPL発光材料の粒子を分散又は担持したシリ
カエアロゲルの薄膜16で形成されていることを特徴と
するものである。
【0025】本発明の請求項15に係る平面発光板の製
造方法は、請求項13に記載の平面発光板を製造するに
あたって、ガラス板11上にアルコキシシラン溶液を塗
布及び乾燥することによってシリカエアロゲルの薄膜1
6を形成した後、その上に製膜してPL発光層5を形成
することを特徴とするものである。
【0026】本発明の請求項16に係る平面発光板の製
造方法は、請求項14に記載の平面発光板を製造するに
あたって、PL発光材料の粒子を分散したアルコキシシ
ラン溶液をガラス板11上に塗布及び乾燥することによ
って、PL発光層5をシリカエアロゲルの薄膜16で形
成することを特徴とするものである。
【0027】本発明の請求項17に係る平面蛍光ランプ
は、請求項13又は14に記載の平面発光板で発光面を
形成して成ることを特徴とするものである。
【0028】本発明の請求項18に係るプラズマディス
プレイは、請求項13又は14に記載の平面発光板で発
光面を形成して成ることを特徴とするものである。
【0029】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。
【0030】図1は本発明に係る透明導電性基板Aの実
施の形態の一例を示すものであり、低屈折率体1の一方
の表面に透明導電性膜2を積層した構造に形成してあ
る。ここで、この低屈折率体1は、屈折率が1.003
〜1.300の範囲の値を持つ透明材料を面状に形成し
たものである。低屈折率体1の屈折率が1.300を超
えるものであると、光の取り出し率ηの高い発光素子を
得ることが困難になる。低屈折率体1は屈折率が低いほ
ど望ましいが、後述のシリカエアロゲルを含めて屈折率
を小さくするには限界があり、1.003が実用上の下
限である。また低屈折率体1の厚みは1.0μm以上で
あるが、厚みの上限は2mmに設定するのが好ましい。
低屈折率体1を2mmを超える厚みで形成しても、後述
の光の取り出し率に大差はなく、効率的でないからであ
る。
【0031】このような低屈折率体1としては、シリカ
エアロゲルが最も好ましいものとして用いることができ
る。シリカエアロゲルは透明で且つ空気並みの屈折率を
有するので、前述の式(2)から得られる光の外部への
取り出し率ηを1(100%)近くまで向上させること
が可能になるものである。
【0032】シリカエアロゲルは、米国特許第4402
827号公報、同第4432956号公報、同第461
0863号公報で提供されているように、アルコキシシ
ラン(シリコンアルコキシド、アルキルシリケートとも
称される)の加水分解、重合反応によって得られたシリ
カ骨格からなる湿潤状態のゲル状化合物を、アルコール
あるいは二酸化炭素等の溶媒(分散媒)の存在下で、こ
の溶媒の臨界点以上の超臨界状態で乾燥することによっ
て製造することができる。超臨界乾燥は、例えばゲル状
化合物を液化二酸化炭素中に浸漬し、ゲル状化合物が含
む溶媒の全部又は一部をこの溶媒よりも臨界点が低い液
化二酸化炭素に置換し、この後、二酸化炭素の単独系、
あるいは二酸化炭素と溶媒との混合系の超臨界条件下で
乾燥することによって、行なうことができる。
【0033】またシリカエアロゲルは、米国特許第51
37279号公報、同第5124364号公報で提供さ
れているように、ケイ酸ナトリウムを原料として、上記
と同様にして製造することができる。
【0034】ここで、特開平5−279011号公報、
特開平7−138375号公報に開示されているよう
に、上記のようにしてアルコキシシランの加水分解、重
合反応によって得られたゲル状化合物を疎水化処理する
ことによって、シリカエアロゲルに疎水性を付与するこ
とが好ましい。このように疎水性を付与した疎水性シリ
カエアロゲルは、湿気や水等が浸入し難くなり、シリカ
エアロゲルの屈折率や光透過性等の性能が劣化すること
を防ぐことができるものである。
【0035】この疎水化処理の工程は、ゲル状化合物を
超臨界乾燥する前、あるいは超臨界乾燥中に行なうこと
ができる。疎水化処理は、ゲル状化合物の表面に存在す
るシラノール基の水酸基を疎水化処理剤の官能基と反応
させ、疎水化処理剤の疎水基と置換させることによって
疎水化するために行なうものである。疎水化処理を行な
う手法としては、例えば、疎水化処理剤を溶媒に溶解さ
せた疎水化処理液中にゲルを浸漬し、混合するなどして
ゲル内に疎水化処理剤を浸透させた後、必要に応じて加
熱して、疎水化反応を行なわせる方法がある。
【0036】ここで、疎水化処理に用いる溶媒として
は、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノー
ル、キシレン、トルエン、ベンゼン、N,N−ジメチル
ホルムアミド、ヘキサメチルジシロキサン等を挙げるこ
とができるが、疎水化処理剤が容易に溶解し、かつ、疎
水化処理前のゲルが含有する溶媒と置換可能なものであ
ればよく、これらに限定されるものではない。また後の
工程で超臨界乾燥が行なわれる場合、超臨界乾燥の容易
な媒体、例えばメタノール、エタノール、イソプロパノ
ール、液体二酸化炭素などと同一種類もしくはそれと置
換可能なものが好ましい。また疎水化処理剤としては例
えば、ヘキサメチルジシラザン、ヘキサメチルジシロキ
サン、トリメチルメトキシシラン、ジメチルジメトキシ
シラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキ
シシラン、トリメチルエトキシシラン、ジメチルジエト
キシシラン、メチルトリエトキシシラン等を挙げること
ができる。
【0037】上記のようにして得られるシリカエアロゲ
ルの屈折率は、シリカエアロゲルの原料配合比によって
自由に変化させることができるが、シリカエアロゲルの
透明性等の性能を確保するためには、1.008〜1.
18の範囲に屈折率を調整するのが好ましい。
【0038】一方、シリカエアロゲル1aの低屈折率体
1の表面に設けられる透明導電性膜2は、酸化インジウ
ム錫(ITO)、酸化インジウム亜鉛、酸化亜鉛アルミ
ニウム、銀、クロム等を用いて形成することができる
が、透明性やシート抵抗(透明導電性膜の表面導電性を
示す指標)、仕事関数の点から、酸化インジウム錫が特
に好ましい。透明導電性膜2の膜厚は、透明性やシート
抵抗を確保するために、150〜400nm程度が好ま
しい。低屈折率体1の表面に透明導電性膜2を形成する
方法は、特に制限されるものではなく、低屈折率体1の
表面にITO等の材料をコーティングする方法や、スパ
ッタリングする方法など、従来から周知の方法を採用す
ることができる。
【0039】図2は本発明に係る透明導電性基板Aの実
施の形態の他の一例を示すものであり、シリカエアロゲ
ル1aによる低屈折率体1の一方の表面に透明導電性膜
2を設けると共に他方の表面に透明体3を設けた構造に
形成してある。透明体3は発光素子の強度を担持する基
板としての作用をなすものであり、その厚みは強度を保
持できるものであればよく特に制限されない。このよう
に低屈折率体1に透明体3を付加するようにしても、低
屈折率体1は屈折率が1に近いために、光の取り出し率
ηを低下させるようなことはない。すなわち、発光した
光が一旦、屈折率が1に近く、1.0μm以上の厚みを
有する低屈折率体1中に出射されると、この光が屈折率
が1よりもはるかに大きい透明体3を通過しても光の全
量を空気中に取り出すことができるのは、古典光学の屈
折の法則が教えるところである。ここで、透明体3とし
ては、ガラスの他、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹
脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹
脂等の透明樹脂を用いることができる。透明体3とシリ
カエアロゲル1aによる低屈折率体1を積層する方法
は、シリカエアロゲル作製時のゾル−ゲル反応段階で、
ディップコーティング法やスピンコーティング法で透明
体3の表面にアルコキシシラン溶液をコーティングする
方法などを採用することができる。シリカエアロゲル1
aによる低屈折率体1の厚みは特に限定されない。
【0040】次に、上記のように作製される透明導電性
基板Aを用いた発光素子について説明する。
【0041】図3は有機EL発光素子の構造例を示すも
のであり、上記の図1や図2の透明導電性基板Aにおい
て、透明導電性膜2の低屈折率体1と反対側の表面に発
光層4として有機EL層4aを設け、さらに有機EL層
4aの透明導電性膜2と反対側の表面に背面金属電極1
4が設けてある。この有機EL層4aとしては、一般に
有機ELとして用いられている低分子色素系材料や共役
高分子系材料などで形成することができる。またこの有
機EL層4aはホール注入層、ホール輸送層、電子輸送
層、電子注入層などの層との積層多層構造であってもよ
い。背面金属電極14としては、アルミニウム、銀−マ
グネシウム、カルシウム等の金属を用いることができ
る。図3(a)は低屈折率体1の外側に透明体3を設け
ていない有機EL発光素子を、図3(b)は低屈折率体
1の外側に透明体3を設けている有機EL発光素子を、
それぞれ示す。
【0042】そして上記のように形成される有機EL発
光素子にあって、透明導電性膜2と背面金属電極14の
間に直流電源17を接続して、有機EL層4aに電界を
印加すると、有機EL層4a内で発光する。この有機E
L層4aから発光した光は図3に矢印で示すように、直
接、あるいは背面金属電極14で反射して、透明導電性
膜2及び低屈折率体1さらに透明体3から出射する。こ
のとき、シリカエアロゲル1aなどで形成される低屈折
率体1は、屈折率が非常に小さくて1に近いので、上記
の(2)式から導かれるように、光の取り出し率ηは高
くなるものである。尚、有機EL層4aと低屈折率体1
の間には透明導電性膜2が介在しているが、透明導電性
膜2の厚みは光の波長よりも小さいため、光の取り出し
率ηに影響を与えることはない。
【0043】図4は無機EL発光素子の構造例を示すも
のであり、上記の図1や図2の透明導電性基板Aにおい
て、透明導電性膜2の低屈折率体1と反対側の表面に発
光層4として無機EL層4bを設け、さらに無機EL層
4bの透明導電性膜2と反対側の表面に背面金属電極1
4が設けてある。この無機EL層4bとしては、一般に
無機ELとして用いられている無機蛍光体材料であれば
特に制限されることなく使用することができる。この無
機EL層4bの両面には絶縁層を形成しておくのが好ま
しい。図4(a)は低屈折率体1の外側に透明体3を設
けていない無機EL発光素子を、図4(b)は低屈折率
体1の外側に透明体3を設けている無機EL発光素子
を、それぞれ示す。
【0044】上記のように形成される無機EL発光素子
にあって、透明導電性膜2と背面金属電極14の間に交
流電源18を接続して、無機EL層4bに電界を印加す
ると、無機EL層4b内で発光する。この無機EL層4
bから発光した光は図4に矢印で示すように、直接、あ
るいは背面金属電極14で反射して、透明導電性膜2及
び低屈折率体1さらに透明体3から出射する。このと
き、シリカエアロゲル1aなどで形成される低屈折率体
1は、屈折率が非常に小さくて1に近いので、上記の
(2)式から導かれるように、光の取り出し率ηは高く
なるものである。
【0045】次に、図5は本発明の発光素子の実施の形
態の他の一例を示すものであり、シリカエアロゲル1a
で形成される低屈折率体1の表面にPL発光層5を設け
た構造のPL発光素子を示すものである。PL発光層5
は、光をエネルギーとしてPL(フォトルミネッセン
ス)発光するPL発光材料で形成されるものであり、無
機材料、有機材料、希土類金属錯体などPL発光するも
のであれば特に制限されることなく使用することができ
る。図5(a)は低屈折率体1の外側に透明体3を設け
ていないPL発光素子を、図5(b)は低屈折率体1の
外側に透明体3を設けているPL発光素子を、それぞれ
示す。
【0046】上記のように形成されるPL発光素子にあ
って、PL発光層5によるPL発光は光をエネルギーと
して発光するので、電極を設けて電界を印加する必要は
ないが、PL発光層5の担持基板として低屈折率体1を
用いてPL発光素子を形成するようにしたものである。
そしてPL発光層5から発光した光は図5に矢印で示す
ように、低屈折率体1さらに透明体3から出射するが、
シリカエアロゲル1aなどで形成される低屈折率体1
は、屈折率が非常に小さくて1に近いので、上記の
(2)式から導かれるように、光の取り出し率ηが高く
なり、取り出し率ηの優れたPL発光素子を得ることが
できるものである。
【0047】図6は、図5(b)の構成のPL発光素子
によって形成した平面発光板の一例を示すものであり、
透明体3としてガラス板11を用い、ガラス板11の片
側の表面に低屈折率体1としてシリカエアロゲルの薄膜
16を積層して設けると共に、シリカエアロゲル薄膜1
6の表面にPL発光層5を設けて形成してある。ガラス
板11の表面へのシリカエアロゲル薄膜16の形成は、
既述のシリカエアロゲル作製時のゾル−ゲル反応段階
で、アルコキシシラン溶液をディップコーティング法や
スピンコーティング法でコーティングし、そして乾燥す
ることによって行なうことができる。
【0048】またPL発光層5は上記のようなPL発光
材料で形成することができるが、主としてY23:Eu
(赤)、LaPO4:Ce,Tb(緑)、BaMgAl
101 7:Eu(青)などの無機蛍光体を用いるものであ
り、必要とする色や、照射される紫外線の波長に応じて
適宜選択して使用されるものである。シリカエアロゲル
薄膜16の表面にPL発光層5を形成するにあたって
は、印刷法やスパッタリング法などで行なうことができ
る。
【0049】印刷法は、蛍光体を必要に応じてポリマー
や水と混合してスラリーを調製し、このスラリーをシリ
カエアロゲル薄膜16の表面に塗布して乾燥した後に、
500℃以上の高温で焼成することによって行なうもの
であり、有機系のスラリーを用いる場合と水系のスラリ
ーを用いる場合がある。有機系の場合は、Y23:Eu
などの蛍光体と結着剤を有機溶媒に分散させて調製した
スラリーを用い、このスラリーをガラス板11の表面に
塗布し、500〜600℃で焼成することによって、溶
媒をとばしてPL発光層5を形成するものである。また
水系の場合は、Y23:Euなどの蛍光体と結着剤を増
粘剤と純水と界面活性剤の溶液に分散させて調製したス
ラリーを用い、このスラリーをガラス板11の表面に塗
布し、500〜600℃で焼成することによって、水と
増粘剤をとばしてPL発光層5を形成するものである。
増粘剤は蛍光体の結着力を上げるためのものであり、例
えばアルミナゾルを用いることができる。
【0050】またスパッタ法は、出力100〜300
W、温度200〜400℃、真空度0.7〜1Pa程度
の条件に設定して行なうことができる。
【0051】PL発光層5の厚みは特に制限されるもの
ではないが、印刷法でPL発光層5を形成する場合は
0.1μm〜500μm程度がこのましい。またスパッ
タ法でPL発光層5を形成する場合は0.05μm〜1
μm程度で、薄いほど好ましいが、必要発光量との兼ね
合いで適宜設定するのがよい。このようにシリカエアロ
ゲル薄膜16の表面にPL発光層5を形成するにあたっ
て、PL発光層5の蛍光体がシリカエアロゲル薄膜16
に浸透し、アンカー効果でPL発光層5を密着強度高く
シリカエアロゲル薄膜16に積層することができ、シリ
カエアロゲル薄膜16を介して強固にPL発光層5をガ
ラス板11に固着することができるものである。
【0052】上記のように形成される平面発光板にあっ
て、PL発光層5に紫外線を照射すると、PL発光層5
は紫外線によって励起されて発光し、このようにPL発
光層5で発光した光はシリカエアロゲル薄膜16を通し
てガラス板11に入射され、ガラス板11の表面から出
射する。ここで、PL発光層5とガラス板11の間に屈
折率が1に近いシリカエアロゲル薄膜16が設けられて
いるために、PL発光層5から発光した光は小さい入射
角でガラス板11に入射して、ガラス板11の表面から
出射するものであり、導波光として失われる率が小さく
なって、ガラス板11の表面からの取り出し率が高くな
り、平面発光板の表面は輝度が高くなるものである。
【0053】図6の実施の形態では、PL発光層5とシ
リカエアロゲル薄膜16とを別の独立した層として形成
したが、図7の実施の形態では、PL発光層5を蛍光体
粒子を分散又は担持させたシリカエアロゲル薄膜16で
形成し、PL発光層5とシリカエアロゲル薄膜16を一
つの層に形成するようにしてある。このようなPL発光
層5を蛍光体粒子を分散又は担持させたエアロゲル薄膜
16で形成するにあたっては、上記の蛍光体の微粒子を
混合したアルコキシシラン溶液を調製し、この蛍光体粒
子を混合したアルコキシシラン溶液をガラス板11の表
面に既述のようにコーティングして乾燥することによっ
て、行なうことができる。アルコキシシラン溶液への蛍
光体粒子の混合比は、アルコキシシラン溶液に対して1
0〜60容積%程度に設定するのが好ましく、また蛍光
体粒子の粒子径としては、特に制限されないが0.1〜
100μm程度で、微細なほど好ましい。またこのもの
では、蛍光体粒子はシリカエアロゲル中に密に均一に分
散した状態で、シリカエアロゲルがバインダーの役割を
担ってガラス板11に密着するものである。必要に応じ
て焼成すると密着性はさらに向上する。
【0054】このように形成される平面発光板にあっ
て、PL発光層5でもあるシリカエアロゲル薄膜16に
紫外線を照射すると、シリカエアロゲル薄膜16中の蛍
光体粒子が紫外線で励起されて発光する。このようにシ
リカエアロゲル薄膜16で発光した光はガラス板11に
入射され、ガラス板11の表面から出射する。このもの
にあって、光は屈折率が1に近いシリカエアロゲル薄膜
16から小さい入射角でガラス板11に入射して、ガラ
ス板11の表面から出射するものであり、導波光として
失われる率が小さくなって、ガラス板11の表面からの
取り出し率が高くなり、平面発光板の表面は輝度が高く
なるものである。
【0055】上記のように形成される平面発光板Bは、
平面蛍光ランプの発光面として用いることができる。図
8(a)(b)はそれぞれ図6や図7の平面発光板Bを
用いた平面蛍光ランプの一例を示すものであり、2枚の
平面発光板BをPL発光層5やシリカエアロゲル薄膜1
6を設けた側を対向させて平行に配置し、その四周の側
端部間にシール材20を設けることによって、2枚の平
面発光板Bとシール材20で囲まれる密閉空間21を形
成し、この密閉空間21内に一対の放電電極22が設け
てある。密閉空間21内には水銀やあるいはXe、N
e、Kr又はこれらの混合ガスなどの希ガスが封入して
ある。
【0056】このように形成される平面蛍光ランプにあ
って、放電電極22に電圧を印加してグロー放電させる
と、放電電極22から放出された熱電子により放電プラ
ズマが生成し、プラズマ中の水銀や希ガスから紫外線が
発せられる。この紫外線の波長は励起物質によって異な
るが、185nmや254nmであり、この紫外線が平
面発光板BのPL発光層5やシリカエアロゲル薄膜16
中の蛍光体に照射されると、蛍光体が励起されて可視光
が発せられ、平面発光板Bを発光させてランプとしての
機能を発現させることができるものである。小型の平面
蛍光ランプの場合には、水銀を用いず、希ガスの放電に
より発生する真空紫外線(波長147nm)で蛍光体を
発光させるようにするのがよい。従ってこの場合には蛍
光体として真空紫外線に対して励起感度が高いものを用
いるのが好ましい。
【0057】また上記のように形成される平面発光板B
は、プラズマディスプレイの発光面として用いることが
できる。図9(a)(b)はそれぞれ図6や図7の平面
発光板Bを用いたプラズマディスプレイの一例を示すも
のであり、誘電体23を挟んだ一対の電極24を表面に
設けた基板25の表面に、平面発光板BをPL発光層5
やシリカエアロゲル薄膜16を設けた側を対向させて平
行に配置し、その四周の側端部間に隔壁26を設けるこ
とによって、平面発光板Bと基板25と隔壁26で囲ま
れる密閉空間27を形成し、この密閉空間27内にNe
−Xeガスなどの希ガスが封入してある。
【0058】このように形成されるプラズマディスプレ
イにあって、電極24に電圧を印加してグロー放電させ
ると、電極24から放出された熱電子により放電プラズ
マが生成し、プラズマ中の希ガスから紫外線が発せら
れ、この紫外線が平面発光板BのPL発光層5やシリカ
エアロゲル薄膜16中の蛍光体に照射されると、蛍光体
が励起されて可視光が発せられ、平面発光板Bを発光さ
せてディスプレイ表示を行なわせることができるもので
ある。
【0059】
【実施例】次に、本発明を実施例によって具体的に説明
する。
【0060】(実施例1)テトラメトキシシランのオリ
ゴマー(コルコート社製「メチルシリケート51」)と
メタノールを質量比47:81で混合してA液を調製
し、また水、28質量%アンモニア水、メタノールを質
量比50:1:81で混合してB液を調製した。そして
A液とB液を16:17の質量比で混合して得たアルコ
キシシラン溶液を、厚み1.1mm、屈折率1.55の
スライドガラスで形成される透明体3の片側表面上に滴
下し、700min-1の回転数で10秒間スピンコーテ
ィングした。次いで、アルコキシシランをゲル化させた
後、水:28質量%アンモニア水:メタノール=16
2:4:640の質量比の組成の養生溶液中に浸漬し、
室温にて1昼夜養生した。次に、このようにして養生を
行なった薄膜状のゲル状化合物を、ヘキサメチルジシラ
ザンの10質量%イソプロパノール溶液中に浸漬し、疎
水化処理をした。このようにして透明体3の表面に形成
した薄膜状のゲル状化合物をイソプロパノール中へ浸漬
して洗浄した後、高圧容器中に入れ、高圧容器内を液化
炭酸ガスで満たし、80℃、16MPaの条件で超臨界
乾燥をすることによって、透明体3の表面に屈折率1.
03、膜厚30μmのシリカエアロゲル1aによる低屈
折率体1を形成した。
【0061】そして、この低屈折率体1の透明体3と反
対側の表面に、アルミキノリノール錯体(トリス(8−
ヒドロキノリン)アルミニウム:(株)同仁化学研究所
製)を50nmの厚みで真空蒸着してPL発光層5を設
け、図5(b)の構造のPL発光素子を作製した。
【0062】(比較例1)シリカエアロゲル1aによる
低屈折率体1を形成せずに、スライドガラスで形成され
る透明体3の片側の表面に、実施例1と同様にしてPL
発光層5を設け、PL発光素子を作製した。
【0063】実施例1及び比較例1で得たPL発光素子
にブラックライト(紫外線)を照射し、透明体3側から
蛍光発光を観察した。結果を図10に示す。図10
(a)は実施例1のPL発光素子の写真、図10(b)
は比較例1のPL発光素子の写真を示すものであり、実
施例1のものではPL発光層5で発生した蛍光は、図1
0(a)にみられるように表面から直接面状に光るのみ
で、導波光として側端から失われる成分はほとんどない
のに対して、比較例1のものでは図10(b)にみられ
るように側端面が強く発光しており、PL発光層5で発
生した蛍光は多くが導波光として側端から失われている
ものであった。
【0064】(実施例2)実施例1と同様にして得たア
ルコキシシラン溶液をスチロール製容器内に注型し、こ
の容器を密閉した後に、室温で放置することによってゲ
ル化・養生を行なった。あとは実施例1と同様にして疎
水化処理及び超臨界乾燥を行なうことによって、屈折率
が1.03のシリカエアロゲル1aによる1cm×1c
m×0.5cmの低屈折率体1を得た。
【0065】そしてこの低屈折率体1の片側の表面に、
スパッタ法で厚み300nmの酸化インジウム錫(IT
O)の膜を設けて透明導電性膜2を形成し、図1の構造
の透明導電性基板Aを作製した。次に、透明導電性膜2
の低屈折率体1と反対側の表面に、N,N−ジフェニル
−N,N−ビス3−メチル−フェニル−1,1−ジフェ
ニル−4,4ジアミン((株)同仁化学研究所製)を5
0nmの厚みで真空蒸着すると共にさらにアルミキノリ
ノール錯体(トリス(8−ヒドロキノリン)アルミニウ
ム:(株)同仁化学研究所製)を50nmの厚みで真空
蒸着することよって、ホール輸送層と発光層からなる有
機EL層4aを設け、さらに有機EL層4aにアルミニ
ウムを150nmの厚みで真空蒸着して背面金属電極1
4を設け、図3(a)の構造の有機EL発光素子を作製
した。
【0066】(実施例3)20mm×20mm×厚み
1.1mm、屈折率1.55のガラス板で形成される透
明体3の片側の表面に、実施例1と同様にしてスピンコ
ーティング法で屈折率1.03、膜厚100μmのシリ
カエアロゲル1aを設けて低屈折率体1を形成し、この
低屈折率体1にスパッタ法で厚み300nmの酸化イン
ジウム錫(ITO)の膜を設けて透明導電性膜2を形成
し、図2の構造の透明導電性基板Aを作製した。この透
明導電性基板Aを用い、後は実施例2と同様にして有機
EL層4a、背面金属電極14を設けて図3(b)の構
造の有機EL発光素子を作製した。
【0067】(比較例2)シリカエアロゲル1aの低屈
折率体1の代わりに厚み1.1mm、屈折率1.55の
ガラス板を用い、その他は実施例2と同様にして有機E
L発光素子を作製した。
【0068】(実施例4)実施例2と同様にして図1の
構造の透明導電性基板Aを作製した。次に、この透明導
電性基板Aの透明導電性膜2の表面に絶縁層として厚み
0.4μmのSi 34をスパッタリング法で形成し、そ
の上に電子ビーム蒸着法で厚み1.0μmのZnS:M
n(Mn濃度0.5質量%)の膜を設けて無機EL層4
bを設け、さらにその上に絶縁層として厚み0.4μm
のSi34をスパッタリング法で形成した。そして無機
EL層4bにアルミニウムを150nmの厚みで真空蒸
着して背面金属電極14を設け、図4(a)の構造の無
機EL発光素子を作製した。
【0069】(実施例5)実施例3と同様にして図2の
構造の透明導電性基板Aを作製した。この透明導電性基
板Aを用い、後は実施例4と同様にして無機EL層4
b、背面金属電極14を設けて図4(b)の構造の無機
EL発光素子を作製した。
【0070】(比較例3)シリカエアロゲル1aの低屈
折率体1の代わりに厚み1.1mm、屈折率1.55の
ガラス板を用い、その他は実施例4と同様にして無機E
L発光素子を作製した。
【0071】上記の実施例2,3及び比較例2で作製し
た有機EL発光素子の透明導電性膜2と背面金属電極1
4に10Vの直流電源17を接続し、表面の輝度を輝度
計(ミノルタ社製LS−110)で測定した。また上記
の実施例4,5及び比較例3で作製した無機EL発光素
子の透明導電性膜2と背面金属電極14に100V、4
00Hzの交流電源18を接続し、表面の輝度を輝度計
(ミノルタ社製LS−110)で測定した。これらの結
果を表1に示す。
【0072】
【表1】
【0073】表1にみられるように、実施例2,3は発
光素子の輝度が比較例2よりも高く、光の外部取り出し
率ηが高いことが確認され、また実施例4,5は発光素
子の輝度が比較例3よりも高く、光の外部取り出し率η
が高いことが確認される。
【0074】(実施例6)屈折率1.55のガラス板1
1の表面に、シリカ(デグサ社製)1.5gを増粘剤と
してニトロセルロースを2.0質量%含む酢酸ブチル1
7.5gと酢酸ブチル43.3gに分散させたスラリー
を塗布し、乾燥させることによって、ガラス板11の表
面に保護膜を形成した。
【0075】一方、テトラメトキシシランのオリゴマー
(コルコート社製「メチルシリケート51」)とメタノ
ールを質量比47:81で混合してA液を調製し、また
水、28質量%アンモニア水、メタノールを質量比5
0:1:81で混合してB液を調製した。そしてA液と
B液を16:17の質量比で混合して得たアルコキシシ
ラン溶液を、ガラス板11の保護膜を形成した表面上に
滴下し、スピンコーターの回転室にこのガラス板11を
入れ、ガラス板11を回転させてガラス板11の表面に
アルコキシシラン溶液をスピンコーティングした。ここ
で、スピンコーターの回転室には予めメタノールを入れ
てメタノール雰囲気になるようにしてあり、またガラス
板11の回転は700rpmで10秒間行なった。この
ようにアルコキシシラン溶液をスピンコーティングした
後、3分間放置してアルコキシシランをゲル化させ、次
いでこの薄膜状のゲル状化合物を形成したガラス板を、
水:28質量%アンモニア水:メタノール=162:
4:640の質量比の組成の養生溶液中に浸漬し、室温
にて1昼夜養生した。次に、ガラス板11の表面に形成
した薄膜状のゲル状化合物をイソプロパノール中へ浸漬
することで洗浄した後、高圧容器中に入れ、高圧容器内
を液化炭酸ガスで満たし、80℃、16MPa、2時間
の条件で超臨界乾燥をすることによって、ガラス板11
の表面に膜厚20μmのシリカエアロゲル薄膜16を積
層して形成した。
【0076】次に、Y23:Eu(蛍光体粒子)24g
とアルミナゾル(日産化学社製結着剤)12mgを、
3.0質量%濃度のポリエチレンオキサイド水溶液(増
粘剤)25gと純水5gと0.5質量%濃度の界面活性
剤水溶液の混合液に分散させたスラリーを調製し、この
スラリーをガラス基板11のシリカエアロゲル薄膜16
を形成した表面に塗布し、600℃で10分間焼成を行
なって、溶媒や増粘剤を除去することによって、Y
23:Euからなる厚み30μmのPL発光層5を形成
し、図6の構造の平面発光板Bを作製した。
【0077】(実施例7)実施例1と同様にしてガラス
板11の表面に保護膜及びシリカエアロゲル薄膜16を
形成した。次にシリカエアロゲル薄膜16の表面に、4
00℃、0.7Pa、200Wの条件でスパッタリング
することによって、厚み100nmのY23:Euを製
膜してPL発光層5を形成し、図6の構造の平面発光板
Bを作製した。
【0078】(実施例8)テトラメトキシシランのオリ
ゴマー(コルコート社製「メチルシリケート51」)と
メタノールを質量比47:81で混合してA液を調製
し、また水、28質量%アンモニア水、メタノールを質
量比50:1:81で混合してB液を調製した。そして
蛍光体粒子としてY23:Euを用い、蛍光体粒子とA
液とB液を40:29:31の容積比で混合することに
よって、蛍光体粒子を分散したアルコキシシラン溶液を
調製し、混合開始後1分30秒、混合終了後50秒経過
した時点で、実施例1と同様にして保護膜を形成したガ
ラス板11の表面に滴下し、実施例1と同様にしてスピ
ンコーティングした。さらに実施例1と同様にしてゲル
化、養生、超臨界乾燥して膜厚20μmの蛍光体含有シ
リカエアロゲル薄膜16を形成することによって、図7
の構造の平面発光板Bを作製した。
【0079】(比較例4)実施例6と同様にしてガラス
板11の表面に保護膜を形成した後、シリカエアロゲル
薄膜16を形成することなく、この上に実施例6と同様
にして印刷法でY 23:EuのPL発光層5を形成し、
平面発光板を作製した。
【0080】(比較例5)実施例7と同様にしてガラス
板11の表面に保護膜を形成した後、シリカエアロゲル
薄膜16を形成することなく、この上に実施例7と同様
にしてスパッタ法でY23:EuのPL発光層5を形成
し、平面発光板を作製した。
【0081】上記の実施例6〜8及び比較例4,5で得
た平面発光板を用いて図8のような平面蛍光ランプを作
製した。そして密閉空間にHeとXeの希ガスを封入し
てグロー放電させることによって発生した147nmの
紫外線により、平面発光板を発光させ、平面発光板の表
面の輝度を法線に対して45°の角度から測定した。結
果を表2に示す。
【0082】
【表2】
【0083】表2に示すように、各実施例のものは表面
の輝度が高く、明るい平面蛍光ランプを得ることができ
るものであった。
【0084】
【発明の効果】上記のように本発明の請求項1に係る透
明導電性基板は、低屈折率体の少なくとも一方の表面に
接して透明導電性膜を有するので、低屈折率体を通過す
る光は大気への取り出し率が高くなり、光を外部に取り
出す取り出し率が高い発光素子を作製することができる
ものである。
【0085】また請求項2の発明は、低屈折率体1の屈
折率が1.003〜1.300であるので、低屈折率体
を通過する光は大気への取り出し率が高くなり、光を外
部に取り出す取り出し率が高い発光素子を作製すること
ができるものである。
【0086】また請求項3の発明は、低屈折率体がシリ
カエアロゲルであるので、低屈折率体を1に近い低屈折
率に形成することができるものである。
【0087】また請求項4の発明は、低屈折率体の片側
の表面に透明導電性膜を有すると共に他方の表面に透明
体を有するので、透明体を強度担持基板とすることがで
き、低屈折率体を薄い厚みで形成することができるもの
である。
【0088】また請求項5の発明は、透明導電性膜が酸
化インジウム錫、酸化インジウム亜鉛、酸化亜鉛アルミ
ニウム、銀、クロムから選ばれた材料で形成されたもの
であるので、透明性の高い透明導電性膜を形成すること
ができるものである。
【0089】また請求項6の発明は、透明体がガラス又
は透明樹脂で形成されたものであるので、透明体を強度
高く形成することができるものである。
【0090】また請求項7の発明は、透明体の上に、ス
ピンコーティング又はディップコーティングすると共に
超臨界乾燥してシリカエアロゲルが形成されているの
で、シリカエアロゲルによる低屈折率体の形成を容易に
行なうことができるものである。
【0091】また請求項8の発明は、シリカエアロゲル
は疎水化処理されたものであるので、シリカエアロゲル
の屈折率や光透過性等の性能が劣化することを防ぐこと
ができるものである。
【0092】本発明の請求項9に係る発光素子は、上記
の請求項1乃至8のいずれかに記載の透明導電性基板
の、低屈折率体と反対側の透明導電性膜の表面に、発光
層を有するので、発光層で発光した光を大気に取り出す
にあたって、低屈折率体を通過する光は大気への取り出
し率が高くなり、光を外部に取り出す取り出し率を高め
ることができるものである。
【0093】また請求項10の発明は、発光層は有機E
L層であることを特徴とするので、有機EL層で発光し
た光を大気に取り出すにあたって、低屈折率体を通過す
る光は大気への取り出し率が高くなり、光を外部に取り
出す取り出し率を高めることができるものである。
【0094】また請求項11の発明は、発光層は無機E
L層であることを特徴とするので、無機EL層で発光し
た光を大気に取り出すにあたって、低屈折率体を通過す
る光は大気への取り出し率が高くなり、光を外部に取り
出す取り出し率を高めることができるものである。
【0095】本発明の請求項12に係る発光素子は、低
屈折率体の表面に接してPL発光層を有するので、PL
発光層で発光した光を大気に取り出すにあたって、低屈
折率体を通過する光は大気への取り出し率が高くなり、
光を外部に取り出す取り出し率を高めることができるも
のである。
【0096】本発明の請求項13に係る平面発光板は、
ガラス板上にPL発光層を設けて形成され、ガラス板と
PL発光層との間にシリカエアロゲルの薄膜が設けられ
ているので、PL発光層で発光した光は屈折率が小さい
シリカエアロゲル薄膜を通過してガラス板に入射するも
のであり、導波光として失われる率が小さくなって、ガ
ラス板の表面からの取り出し率が高くなり、表面の輝度
が高い平面発光板を得ることができるものである。
【0097】本発明の請求項14に係る平面発光板は、
ガラス板上にPL発光層を設けて形成され、PL発光層
がPL発光材料の粒子を分散又は担持したシリカエアロ
ゲルの薄膜で形成されているので、PL発光材料から発
光した光はシリカエアロゲル薄膜からガラス板に入射す
るものであり、導波光として失われる率が小さくなっ
て、ガラス板の表面からの取り出し率が高くなり、表面
の輝度が高い平面発光板を得ることができるものであ
る。
【0098】本発明の請求項15に係る平面発光板の製
造方法は、請求項13に記載の平面発光板を製造するに
あたって、ガラス板上にアルコキシシラン溶液を塗布及
び乾燥することによってシリカエアロゲルの薄膜を形成
した後、その上に製膜してPL発光層を形成するように
したので、アルコキシシラン溶液の塗布・乾燥によって
シリカエアロゲル薄膜の形成を容易に行なうことがで
き、平面発光板の製造が容易になるものである。
【0099】本発明の請求項16に係る平面発光板の製
造方法は、請求項14に記載の平面発光板を製造するに
あたって、PL発光材料の粒子を分散したアルコキシシ
ラン溶液をガラス板上に塗布及び乾燥することによっ
て、PL発光層をシリカエアロゲル薄膜で形成するよう
にしたので、PL発光層を兼用するシリカエアロゲル薄
膜の形成を容易に行なうことができ、平面発光板の製造
が容易になるものである。
【0100】本発明の請求項17に係る平面蛍光ランプ
は、請求項13又は14に記載の平面発光板で発光面を
形成するようにしたので、表面の輝度が高い平面発光板
によって、明るい平面発光ランプを得ることができるも
のである。
【0101】本発明の請求項18に係るプラズマディス
プレイは、請求項13又は14に記載の平面発光板で発
光面を形成するようにしたので、表面の輝度が高い平面
発光板によって、明るいプラズマディスプレイを得るこ
とができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る透明導電性基板の実施の形態の一
例を示す断面図である。
【図2】本発明に係る透明導電性基板の実施の形態の他
の一例を示す断面図である。
【図3】本発明に係る発光素子の実施の形態の一例を示
すものであり、(a),(b)は断面図である。
【図4】本発明に係る発光素子の実施の形態の他の一例
を示すものであり、(a),(b)は断面図である。
【図5】本発明に係る発光素子の実施の形態のさらに他
の一例を示すものであり、(a),(b)は断面図であ
る。
【図6】本発明に係る平面発光板の実施の形態の一例を
示す断面図である。
【図7】本発明に係る平面発光板の実施の形態の他の一
例を示す断面図である。
【図8】本発明に係る平面蛍光ランプの実施の形態の一
例を示すものであり、(a),(b)は断面図である。
【図9】本発明に係るプラズマディスプレイの実施の形
態の一例を示すものであり、(a),(b)は断面図で
ある。
【図10】発光素子の発光状態を写した写真の複写物で
あり、(a)は実施例1を、(b)は比較例1を示す。
【図11】従来のEL発光素子の一例を示す断面図であ
る。
【図12】従来のPL発光素子の一例を示す断面図であ
る。
【符号の説明】
1 低屈折率体 1a シリカエアロゲル 2 透明導電性膜 3 透明体 4 発光層 4a 有機EL層 4b 無機EL層 5 PL発光層 11 ガラス板 16 シリカエアロゲル薄膜
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成12年4月3日(2000.4.3)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0044
【補正方法】変更
【補正内容】
【0044】上記のように形成される無機EL発光素子
にあって、透明導電性膜2と背面金属電極14の間に交
流電源18を接続して、無機EL層4bに電界を印加す
ると、無機EL層4b内で発光する。この無機EL層4
bから発光した光は図4に矢印で示すように、直接、あ
るいは背面金属電極14で反射して、透明導電性膜2及
び低屈折率体1さらに透明体3から出射する。このと
き、シリカエアロゲル1aなどで形成される低屈折率体
1は、屈折率が非常に小さくて1に近いので、上記の
(2)式から導かれるように、光の取り出し率ηは高く
なるものである。尚、有機ELや無機ELは一般に湿気
による劣化が顕著であるが、上記のようにシリカエアロ
ゲル1aを低屈折率体1として用いたEL発光素子にお
いては、シリカエアロゲル1aが必要に応じて防湿の作
用をし、有機ELや無機ELが湿気で劣化することを防
ぐことが可能になる。すなわち、疎水性のシリカエアロ
ゲル1aの場合は、外部からの湿気の侵入を防ぐバリア
層となり、また親水性のシリカエアロゲル1aの場合
は、湿気を吸湿する吸湿層、つまりゲッター剤としての
役割を発揮し、湿気が有機ELや無機ELに作用するこ
とをシリカエアロゲル1aよって防ぐことができるもの
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05B 33/28 H05B 33/28 (72)発明者 横山 勝 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 河野 謙司 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 椿 健治 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 筒井 哲夫 福岡県春日市紅葉ケ丘東8丁目66番 Fターム(参考) 3K007 AB03 CA01 CA05 CB01 DA02 EB01 FA01 5C040 GG10 MA03 5C043 AA02 CC09 CD08 DD37 DD39 EA12 EA19 EB18 5C094 AA10 BA29 BA31 BA33 DA13 EB02 FB01 FB12 JA13 5G307 FA01 FA02 FB01 FC03 FC07 FC09

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 低屈折率体の少なくとも一方の表面に接
    して透明導電性膜を有することを特徴とする透明導電性
    基板。
  2. 【請求項2】 低屈折率体の屈折率が1.003〜1.
    300であることを特徴とする請求項1に記載の透明導
    電性基板。
  3. 【請求項3】 低屈折率体がシリカエアロゲルであるこ
    とを特徴とする請求項1又は2に記載の透明導電性基
    板。
  4. 【請求項4】 低屈折率体の片側の表面に透明導電性膜
    を有すると共に他方の表面に透明体を有することを特徴
    とする請求項1乃至3のいずれかに記載の透明導電性基
    板。
  5. 【請求項5】 透明導電性膜が酸化インジウム錫、酸化
    インジウム亜鉛、酸化亜鉛アルミニウム、銀、クロムか
    ら選ばれた材料で形成されたものであることを特徴とす
    る請求項1乃至4のいずれかに記載の透明導電性基板。
  6. 【請求項6】 透明体がガラス又は透明樹脂で形成され
    たものであることを特徴とする請求項4又は5に記載の
    透明導電性基板。
  7. 【請求項7】 シリカエアロゲルは透明体の上に薄膜状
    に形成されたものであることを特徴とする請求項4乃至
    6のいずれかに記載の透明導電性基板。
  8. 【請求項8】 シリカエアロゲルは疎水化処理されたも
    のであることを特徴とする請求項3乃至7のいずれかに
    記載の透明導電性基板。
  9. 【請求項9】 請求項1乃至8のいずれかに記載の透明
    導電性基板の、低屈折率体と反対側の透明導電性膜の表
    面に、発光層を有することを特徴とする発光素子。
  10. 【請求項10】 発光層は有機EL層であることを特徴
    とする請求項9に記載の発光素子。
  11. 【請求項11】 発光層は無機EL層であることを特徴
    とする請求項9に記載の発光素子。
  12. 【請求項12】 低屈折率体の表面に接してPL発光層
    を有することを特徴とする発光素子。
  13. 【請求項13】 ガラス板上にPL発光層を設けて形成
    され、ガラス板とPL発光層との間にシリカエアロゲル
    の薄膜が設けられていることを特徴とする平面発光板。
  14. 【請求項14】 ガラス板上にPL発光層を設けて形成
    され、PL発光層がPL発光材料の粒子を分散又は担持
    したシリカエアロゲルの薄膜で形成されていることを特
    徴とする平面発光板。
  15. 【請求項15】 請求項13に記載の平面発光板を製造
    するにあたって、ガラス板上にアルコキシシラン溶液を
    塗布及び乾燥することによってシリカエアロゲルの薄膜
    を形成した後、その上に製膜してPL発光層を形成する
    ことを特徴とする平面発光板の製造方法。
  16. 【請求項16】 請求項14に記載の平面発光板を製造
    するにあたって、PL発光材料の粒子を分散したアルコ
    キシシラン溶液をガラス板上に塗布及び乾燥することに
    よって、PL発光層をシリカエアロゲルの薄膜で形成す
    ることを特徴とする平面発光板の製造方法。
  17. 【請求項17】 請求項13又は14に記載の平面発光
    板で発光面を形成して成ることを特徴とする平面蛍光ラ
    ンプ。
  18. 【請求項18】 請求項13又は14に記載の平面発光
    板で発光面を形成して成ることを特徴とするプラズマデ
    ィスプレイ。
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