JP2001144130A - 導電性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】はんだボール搭載工程のタクトタイムを短縮す
るとともに、広い粘度範囲のフラックスの供給を可能に
したフラックス供給装置を提供する。 【解決手段】はんだボール搭載装置におけるフラックス
供給装置において、フラックス７を貯留するフラックス
槽と、前記フラックス槽内のフラックス７に浸漬され、
少なくともその頭頂部が前記フラックス槽から前記搬送
手段で搬送される整列マスクに吸着されたはんだボール
の移動経路近接するように突出し、かつ、整列マスクの
搬送速度と同じ周速で回転するローラ１４と、前記ロー
ラ１４の頭頂部より回転方向の手前側にローラ１４の外
周面と所定の間隔で配置され、ローラ１４に付着したフ
ラックス７を掻き均してローラ１４の外周面にフラック
ス７の均一な薄膜を形成するスキージプレート２７とを
設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ
Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）、ＣＳＰ（ＣｈｉｐＳｉｚｅ
Ｐａｃｋｇｅ または、Ｃｈｉｐ Ｓｃａｌｅ Ｐａ
ｃｋａｇｅ）など、導電性ボールを実装基板との接続材
として用いるパッケージに導電性ボールを整列搭載する
ための導電性ボール搭載装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩを用いたパッケージのように、入
出力端子数の多いパッケージを実装基板に接続するため
の構造として、パッケージ側に突出接点を形成する構造
が提案されている。この突出接点（たとえば、はんだバ
ンプ）は、パッケージの接続端子に搭載されたはんだボ
ールに代表される導電性ボール（以下、はんだボールと
いう）を加熱溶融することにより形成される。

【０００３】前記パッケージの接続端子へのはんだボー
ルの搭載は、図１４ないし図１８に示す手順により行わ
れる。

【０００４】まず、図１４に示すように、はんだボール
１を収納した供給容器２に、真空圧供給源３に配管４を
介して接続され、かつ、パッケージに形成された接続端
子と同じ配列で複数の吸着穴５ａが形成された整列マス
ク５を近接させ、真空圧供給源３から供給される真空圧
により、吸着穴５ａにはんだボール１を吸着する。

【０００５】ついで、図１５に示すように、はんだボー
ル１を吸着した整列マスク５を、フラックス槽６内で均
一な厚さに掻き均されたフラックス７の上方へ移動させ
た後、整列マスク５を下降させることにより、図１６に
示すように、はんだボール１の下端部をフラックス７内
に浸漬させて、はんだボール１にフラックスを付着させ
る。

【０００６】ついで、図１７に示すように、整列マスク
５を所定の位置に位置決めされたパッケージ８の上方へ
移動させ、フラックス７が付着したはんだボール１をパ
ッケージ８の接続端子９上に接触させる。そして、整列
マスク５に供給されている真空圧を開放した後、整列マ
スク５を上昇させると、図１８に示すように、はんだボ
ール１がパッケージ８の接続端子９上に搭載される。

【０００７】はんだボール１が搭載されたパッケージ５
を加熱（リフロー）することにより、はんだボール１を
溶かし、たとえば、１００〜３０００個のはんだバンプ
（接続用突起）を一度に形成する。

【０００８】このようなはんだボールの搭載作業に使用
されるフラックス供給装置として、たとえば、図１９、
図２０に示すようなフラックス供給装置が提案されてい
る。このフラックス供給装置は、フラックス槽６内のフ
ラックス７を掻き均すための一対のスキージ１０ａ、１
０ｂを備えている。

【０００９】このスキージ１０ａ、１０ｂは、図示しな
い直線案内手段によって案内され、エアシリンダあるい
はモータと送りねじにより往復移動される。そして、は
んだボール１にフラックス７を供給する毎にフラックス
７の掻き均しを行う。このとき、進行方向前方のスキー
ジ１０ｂ（１０ａ）は上昇し、進行方向後方のスキージ
１０ａ（１０ｂ）でフラックスを掻き均すようになって
いる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このようなフラックス
供給装置においては、はんだボールにフラックスを供給
（付着）する際に、図２２に示すように、整列マスク５
の位置決め、停止さらに上下動作が必要であり、その制
御が煩雑になるだけでなく、余分な動作時間が必要にな
り運転タクトが長くなる。

【００１１】また、粘度の高いフラックスを使用する
と、スキージの移動によりフラックスがスキージの脇に
寄せられてしまい、図２１に示すように、フラックスが
途切れて均一なフラックス膜が形成できないことがあ
る。

【００１２】上記の事情に鑑み、本発明の目的は、はん
だボールへのフラックスの供給動作を簡素化してはんだ
ボール搭載工程のタクトタイムを短縮するとともに、低
粘度から高粘度まで広い粘度範囲のフラックスの供給を
可能にすることができるようにしたはんだボール搭載装
置におけるフラックス供給装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本出願の請求項１に記載の発明は、搬送手段によっ
て搬送される整列マスクに吸着された導電性ボールの下
端にフラックスを供給し、このフラックスを介してパッ
ケージの接続端子に導電性ボールを搭載する導電性ボー
ル搭載装置におけるフラックス供給装置において、フラ
ックスを貯留する容器と、前記容器内のフラックスに浸
漬され、少なくともその頭頂部が前記容器から前記搬送
手段で搬送される整列マスクに吸着された導電性ボール
の移動経路に近接するように突出し、かつ、前記搬送手
段による整列マスクの搬送速度と同じ周速で回転するロ
ーラと、前記ローラの頭頂部より回転方向の手前側にロ
ーラの外周面と所定の間隔で配置され、ローラに付着し
たフラックスを掻き均してローラの外周面にフラックス
の均一な薄膜を形成するスキージプレートとを設けた。

【００１４】また、請求項２に記載の発明は、搬送手段
によって搬送される整列マスクに吸着された導電性ボー
ルの下端にフラックスを供給し、このフラックスを介し
てパッケージの接続端子に導電性ボールを搭載する導電
性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置におい
て、フラックスを貯留する容器と、前記容器内のフラッ
クスに浸漬され、少なくともその頭頂部が前記容器から
前記搬送手段で搬送される整列マスクに吸着された導電
性ボールの移動経路に近接するように突出し、かつ、前
記搬送手段による整列マスクの搬送速度と同じ周速で回
転するローラと、前記ローラの頭頂部より回転方向の手
前側にローラの外周面と所定の間隔で配置され、ローラ
に付着したフラックスを掻き均してローラの外周面にフ
ラックスの均一な薄膜を形成するスキージプレートと、
前記容器内のフラックスに浸漬される先端部が前記ロー
ラの下端部と所定の間隔で対向する円弧状に形成され、
ローラの軸方向に移動可能に配置された攪拌バーとを設
けた。

【００１５】また、請求項３に記載の発明は、搬送手段
によって搬送される整列マスクに吸着された導電性ボー
ルの下端にフラックスを供給し、このフラックスを介し
てパッケージの接続端子に導電性ボールを搭載する導電
性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置におい
て、フラックスを貯留する容器と、前記容器内のフラッ
クスに浸漬され、少なくともその頭頂部が前記容器から
前記搬送手段で搬送される整列マスクに吸着された導電
性ボールの移動経路に近接するように突出し、かつ、前
記搬送手段による整列マスクの搬送速度と同じ周速で回
転するローラと、前記ローラの頭頂部より回転方向の手
前側にローラの外周面と所定の間隔で配置され、ローラ
に付着したフラックスを掻き均してローラの外周面にフ
ラックスの均一な薄膜を形成するスキージプレートと、
前記ローラの下端部に接触するように前記容器内に回転
可能に支持された均しローラとを設けた。

【００１６】さらに、請求項４に記載の発明は、搬送手
段によって搬送される整列マスクに吸着された導電性ボ
ールの下端にフラックスを供給し、このフラックスを介
してパッケージの接続端子に導電性ボールを搭載する導
電性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置におい
て、フラックスを貯留する容器と、前記容器内のフラッ
クスに浸漬され、少なくともその頭頂部が前記容器から
前記搬送手段で搬送される整列マスクに吸着された導電
性ボールの移動経路に近接するように突出し、かつ、前
記搬送手段による整列マスクの搬送速度と同じ周速で回
転するローラと、前記ローラの頭頂部より回転方向の手
前側にローラの外周面と所定の間隔で配置され、ローラ
に付着したフラックスを掻き均してローラの外周面にフ
ラックスの均一な薄膜を形成するスキージプレートと、
前記ローラの下端部に接触するように前記容器内に回転
可能に支持された均しローラと、前記容器内のフラック
スに浸漬される先端部が前記ローラおよび均しローラの
下端部と所定の間隔で対向する円弧状に形成され、ロー
ラの軸方向に移動可能に配置された攪拌バーとを設け
た。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明によるフラックス
供給装置を用いたはんだボール搭載装置の構成図であ
る。

【００１８】同図において、図１４ないし図２０と同じ
ものは同じ符号を付けて示してある。Ａははんだボール
供給装置で、供給容器２の底面から圧縮ガスを吹き出し
て、内部に収納したはんだボール１を浮遊させ、整列マ
スク５に吸着させるようになっている。

【００１９】Ｂはフラックス供給装置で、回転可能なロ
ーラの頭頂部が整列マスク５に吸着されたはんだボール
１の搬送経路に近接し、前記ローラの外周面に形成され
た均一な膜厚のフラックス７をはんだボール１に供給す
る。

【００２０】Ｃは搭載装置で、はんだボール１を搭載す
べきパッケージ８を、所定の搭載位置に位置決めして固
定する。Ｄは搬送装置で、支持した整列マスク５をはん
だボール供給装置Ａ、フラックス供給装置Ｂおよび搭載
装置Ｃの間で予め設定された経路に従って順次移動さ
せ、パッケージ８にはんだボール１を搭載する。

【００２１】図２ないし図４は、本発明によるフラック
ス供給装置の第１の実施の形態を示すもので、図２は、
フラックス供給装置の平面図、図３は、図２の正面断面
図、図４は、図２の側面断面図である。

【００２２】同図において、１１はベースプレート。１
２は槽で、半円形の刳り貫きが形成され、ベースプレー
ト１１に固定されている。１３は軸受けホルダで、槽１
２の両端に固定されている。そして、これら槽１２と軸
受けホルダ１３でフラックス槽を形成し、内部にフラッ
クス７を収納している。

【００２３】１４はローラで、軸受１５を介して軸受け
ホルダ１３に回転可能に支持され、その下部がフラック
ス槽内のフラックス７に浸漬されている。また、このロ
ーラ１４には、ラビリンスリング１６が装着されてい
る。そして、軸受けホルダ１３とラビリンスリング１６
でラビリンスシールを構成している。また、ラビリンス
シール部にはエアー配管１７を介して圧縮空気が供給さ
れ、軸受１５にフラックス７が侵入するのを防止してい
る。１８はキャップで、軸受１５およびラビリンスリン
グ１６を軸受けホルダ１３に支持させている。１９はギ
ヤで、ローラ１４の一端に固定されている。

【００２４】２０はモータで、ブラケット２１を介して
ベースプレート１１に固定されている。２２はギヤで、
モータ２０の回転軸に前記ギヤ１９と噛み合うように固
定されている。したがって、モータ２０が作動すると、
ギヤ２２およびギヤ１９を介してローラ１４が回転す
る。

【００２５】２３はガイド軸で、ベースプレート１１に
固定されたブラケット２４に固定されている。２５はス
ライダで、軸受け２６を介してガイド軸２３に摺動可能
に支持されている。２７はスキージプレートで、スライ
ダ２５に固定されている。

【００２６】２８はエアシリンダで、ブラケット２９を
介してベースプレート１１に固定され、フローテイング
ジョイント３０を介してスライダ２５に結合されてい
る。３１はマイクロメータヘッドで、スライダ２５に固
定されている。したがって、エアシリンダ２８が作動す
ると、スライダ２５を介してスキージプレート２７がロ
ーラ１４に近接もしくは離間する方向に移動する。

【００２７】たとえば、スキージプレート２７の先端が
ローラ１４に接触したとき、同時にマイクロメータヘッ
ド３１の先端がブラケット２４に接触するようにマイク
ロメータヘッド３１をスライダ２５に固定しておく。そ
して、マイクロメータヘッド３１を操作し、その先端を
ブラケット２５側に所要量だけ突出させとおく。する
と、エアシリンダ２８によりスキージプレート２７をロ
ーラ１４側へ移動させ、マイクロメータヘッド３１がブ
ラケット２４に当接してスライダ２５が停止したとき、
ローラ１４とスキージプレート２７の間隔がマイクロメ
ータヘッド３１で設定された所要量になる。

【００２８】このような構成で、マイクロメータヘッド
３１でローラ１４とスキージプレート２７の間隔を設定
し、エアシリンダ２８を作動させてスキージプレート２
７をローラ１４側へ移動させる。ついで、モータ２０を
作動させ、ローラ１４を回転させると、フラックス槽内
のフラックス７がローラ１４の外周面に付着して、ロー
ラ１４とともに回転する。

【００２９】そして、ローラ１４に付着したフラックス
７がローラ１４とスキージプレート２７の間を通る時、
余分なフラックス７はスキージプレート２７に掻き取ら
れて、所要の厚さでフラックス７の膜がローラ１４の外
周面に形成される。

【００３０】そして、図４に示すように、整列マスク５
の搬送速度とローラ１４の周速を等しくしておくことに
より、整列マスク５に吸着されたはんだボール１に無用
な力を加えることなくフラックス７を供給することがで
きる。

【００３１】図５ないし図７は、本発明によるフラック
ス供給装置の第２の実施の形態を示すもので、図５は、
フラックス供給装置の平面図、図６は、図５の正面断面
図、図７は、図５の側面断面図である。

【００３２】同図において、図２ないし図４と同じもの
は同じ符号を付けて示してある。３２はロッドレスシリ
ンダで、ベースプレート１１に固定されている。３３は
スライダで、ロッドレスシリンダ３２に支持されてい
る。３４は固定バーで、スライダ３３に固定されてい
る。３５は攪拌バーで、一端が固定バー３４に固定さ
れ、他端は槽１２とローラ１４の間に配置されている。

【００３３】このような構成で、はんだボールに対する
フラックス７の供給は、前記第１の実施の形態と同じ動
作により行う。

【００３４】ローラ１４が回転している間、ロッドレス
シリンダ３２を作動させ、攪拌バー３５をローラ１４の
軸方向に往復移動させることにより、槽１２とローラ１
４の間にあるフラックス７を攪拌する。この攪拌によ
り、長時間フラックス７の物性を均一な状態に維持する
ことができる。

【００３５】また、ゲル状のフラックス７を使用する場
合、前記第１の実施の形態に示す構成では、フラックス
槽内のフラックス７の残量が少なくなると、ローラ１４
に付着して回転するフラックス７と槽１２の底面に付着
するフラックス７が乖離するようになる。すると、ロー
ラ１４にフラックス７が供給されなくなるため、ローラ
１４の表面に所要の厚さのフラックス７の膜が形成でき
なくなる。

【００３６】この実施の形態では、攪拌バー３５により
槽１２内のフラックス７を攪拌することにより槽１２の
底面に付着するフラックス７を掻き上げローラ１４に供
給することができ、フラックス槽内のフラックス７の残
量が少なくなっても、ローラ１４の表面に所要の厚さの
フラックス７の膜を形成することができ、フラックス７
を確実に供給することができる。

【００３７】図８ないし図１０は、本発明によるフラッ
クス供給装置の第３の実施の形態を示すもので、図８
は、フラックス供給装置の平面図、図９は、図８の正面
断面図、図１０は、図８の側面断面図である。

【００３８】同図において、図２ないし図４と同じもの
は同じ符号を付けて示してある。３６は均しローラで、
前記ローラ１４の下端に接触するように軸受３７を介し
て軸受けホルダ１３に回転可能に支持されている。３８
はギヤで、前記ギヤ１９と噛み合うようにローラ３６の
一端に固定されている。

【００３９】このような構成で、はんだボールに対する
フラックス７の供給は、前記第１の実施の形態と同じ動
作により行う。

【００４０】モータ２０の回転によりギヤ２２およびギ
ヤ１９を介してローラ１４が回転すると、ギヤ１９およ
びギヤ３８を介してローラ３６も回転する。このとき、
ローラ１４とローラ３６には、適宜周速差を持たせる。

【００４１】はんだボールに供給した残りのフラックス
７は、ローラ１４の回転によりフラックス槽内に戻され
る。そして、ローラ１４の下端部で、ローラ１４に接触
するローラ３６によりローラ１４から剥離される。

【００４２】ローラ３６によりローラ１４から剥離され
たフラックス７は、ローラ１４とローラ３６の間に連続
して送り込まれるフラックス７の圧力により槽１２とロ
ーラ３６の間を通りスキージプレート２７側に移動し
て、再びローラ１４に付着する。

【００４３】この実施の形態では、ローラ１４に付着し
たフラックス７を一旦剥離させることにより、フラック
ス７を練ることができ、フラックス７の物性をより均一
化することができる。

【００４４】なお、ローラ３６の回転方向、回転速度
は、使用するフラックスの物性により適宜設定すること
ができる。

【００４５】図１１ないし図１３は、本発明によるフラ
ックス供給装置の第４の実施の形態を示すもので、図１
１は、フラックス供給装置の平面図、図１２は、図１１
の正面断面図、図１３は、図１１の側面断面図である。

【００４６】この実施の形態は、前記第２および第３の
実施の形態を組み合わせたものであり、同図において、
図２ないし図１０と同じものは同じ符号を付けて示して
ある。

【００４７】このような構成で、はんだボールに対する
フラックス７の供給は、前記第１の実施の形態と同じ動
作により行う。また、前記第２および第３の実施の形態
と同様の作用を行わせることができる。

【００４８】

【発明の効果】以上述べたごとく、本出願の請求項１に
記載の発明によれば、搬送手段によって搬送される整列
マスクに吸着された導電性ボールの下端にフラックスを
供給し、このフラックスを介してパッケージの接続端子
に導電性ボールを搭載する導電性ボール搭載装置におけ
るフラックス供給装置において、フラックスを貯留する
容器と、前記容器内のフラックスに浸漬され、少なくと
もその頭頂部が前記容器から前記搬送手段で搬送される
整列マスクに吸着された導電性ボールの移動経路近接す
るように突出し、かつ、前記搬送手段による整列マスク
の搬送速度と同じ周速で回転するローラと、前記ローラ
の頭頂部より回転方向の手前側にローラの外周面と所定
の間隔で配置され、ローラに付着したフラックスを掻き
均してローラの外周面にフラックスの均一な薄膜を形成
するスキージプレートとを設けたので、整列マスクの停
止や移動方向の変更などの動作を伴うことなく、走行さ
せた状態ではんだボールにフラックスを供給することが
でき、はんだボール搭載工程のタクトタイムを短縮する
ことができる。また、はんだボール搭載装置の生産性を
向上させることができる。

【００４９】また、請求項２に記載の発明は、搬送手段
によって搬送される整列マスクに吸着された導電性ボー
ルの下端にフラックスを供給し、このフラックスを介し
てパッケージの接続端子に導電性ボールを搭載する導電
性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置におい
て、フラックスを貯留する容器と、前記容器内のフラッ
クスに浸漬され、少なくともその頭頂部が前記容器から
前記搬送手段で搬送される整列マスクに吸着された導電
性ボールの移動経路近接するように突出し、かつ、前記
搬送手段による整列マスクの搬送速度と同じ周速で回転
するローラと、前記ローラの頭頂部より回転方向の手前
側にローラの外周面と所定の間隔で配置され、ローラに
付着したフラックスを掻き均してローラの外周面にフラ
ックスの均一な薄膜を形成するスキージプレートと、前
記容器内のフラックスに浸漬される先端部が前記ローラ
の下端部と所定の間隔で対向する円弧状に形成され、ロ
ーラの軸方向に移動可能に配置された攪拌バーとを設け
たので、はんだボール搭載工程のタクトタイムを短縮す
ることができる。また、はんだボール搭載装置の生産性
を向上させることができる。さらに、低粘度から高粘度
まで広い粘度範囲のフラックスの供給を可能にすること
ができる。

【００５０】また、請求項３に記載の発明は、搬送手段
によって搬送される整列マスクに吸着された導電性ボー
ルの下端にフラックスを供給し、このフラックスを介し
てパッケージの接続端子に導電性ボールを搭載する導電
性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置におい
て、フラックスを貯留する容器と、前記容器内のフラッ
クスに浸漬され、少なくともその頭頂部が前記容器から
前記搬送手段で搬送される整列マスクに吸着された導電
性ボールの移動経路近接するように突出し、かつ、前記
搬送手段による整列マスクの搬送速度と同じ周速で回転
するローラと、前記ローラの頭頂部より回転方向の手前
側にローラの外周面と所定の間隔で配置され、ローラに
付着したフラックスを掻き均してローラの外周面にフラ
ックスの均一な薄膜を形成するスキージプレートと、前
記ローラの下端部に接触するように前記容器内に回転可
能に支持された均しローラとを設けたので、はんだボー
ル搭載工程のタクトタイムを短縮することができる。ま
た、はんだボール搭載装置の生産性を向上させることが
できる。さらに、低粘度から高粘度まで広い粘度範囲の
フラックスの供給を可能にすることができる。

【００５１】さらに、請求項４に記載の発明は、搬送手
段によって搬送される整列マスクに吸着された導電性ボ
ールの下端にフラックスを供給し、このフラックスを介
してパッケージの接続端子に導電性ボールを搭載する導
電性ボール搭載装置におけるフラックス供給装置におい
て、フラックスを貯留する容器と、前記容器内のフラッ
クスに浸漬され、少なくともその頭頂部が前記容器から
前記搬送手段で搬送される整列マスクに吸着された導電
性ボールの移動経路近接するように突出し、かつ、前記
搬送手段による整列マスクの搬送速度と同じ周速で回転
するローラと、前記ローラの頭頂部より回転方向の手前
側にローラの外周面と所定の間隔で配置され、ローラに
付着したフラックスを掻き均してローラの外周面にフラ
ックスの均一な薄膜を形成するスキージプレートと、前
記ローラの下端部に接触するように前記容器内に回転可
能に支持された均しローラと、前記容器内のフラックス
に浸漬される先端部が前記ローラおよび均しローラの下
端部と所定の間隔で対向する円弧状に形成され、ローラ
の軸方向に移動可能に配置された攪拌バーとを設けたに
で、はんだボール搭載工程のタクトタイムを短縮するこ
とができる。また、はんだボール搭載装置の生産性を向
上させることができる。さらに、低粘度から高粘度まで
広い粘度範囲のフラックスの供給を可能にすることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるフラックス供給装置を用いたはん
だボール搭載装置の構成図。

【図２】本発明によるフラックス供給装置の第１の実施
の形態を示す平面図。

【図３】図２の正面断面図。

【図４】図２の側面断面図。

【図５】本発明によるフラックス供給装置の第２の実施
の形態を示す平面図。

【図６】図５の正面断面図。

【図７】図５の側面断面図。

【図８】本発明によるフラックス供給装置の第３の実施
の形態を示す平面図。

【図９】図８の正面断面図。

【図１０】図８の側面断面図。

【図１１】本発明によるフラックス供給装置の第４の実
施の形態を示す平面図。

【図１２】図１１の正面断面図。

【図１３】図１１の側面断面図。

【図１４】はんだボールの吸着工程を示す工程図。

【図１５】フラックス塗布工程を示す工程図。

【図１６】フラックス塗布工程を示す工程図。

【図１７】搭載工程を示す工程図。

【図１８】パッケージにはんだボールが搭載された状態
を示す拡大図。

【図１９】はんだボール搭載装置におけるフラックス供
給装置の構成図。

【図２０】図１９に示すフラックス供給装置によるフラ
ックス供給工程を示す工程図。

【図２１】図１９に示すフラックス供給装置における課
題を示す平面図。

【符号の説明】

７…フラックス、１２…槽、１３…軸受けホルダ、１４
…ローラ、１９…ギヤ、２０…モータ、２２…ギヤ、２
３…ガイド軸、２５…スライダ、２７…スキージプレー
ト、２８…エアシリンダ、３２…ロッドレスシリンダ、
３３…スライダ、３４…固定バー、３５…攪拌バー、３
６…均しローラ、３８…ギヤ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/92 ６０４Ｚ (72)発明者 内藤 芳達 神奈川県海老名市上今泉2100番地 日立ビ アメカニクス 株式会社内 (72)発明者 大坂 義久 神奈川県海老名市上今泉2100番地 日立ビ アメカニクス 株式会社内 (72)発明者 井上 康介 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 大録 範行 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 鈴木 高道 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 Ｆターム(参考） 5E319 BB04 CD22 CD25

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】搬送手段によって搬送される整列マスクに
   吸着された導電性ボールの下端にフラックスを供給し、
   このフラックスを介してパッケージの接続端子に導電性
   ボールを搭載する導電性ボール搭載装置におけるフラッ
   クス供給装置において、フラックスを貯留する容器と、
   前記容器内のフラックスに浸漬され、少なくともその頭
   頂部が前記容器から前記搬送手段で搬送される整列マス
   クに吸着された導電性ボールの移動経路に近接するよう
   に突出し、かつ、前記搬送手段による整列マスクの搬送
   速度と同じ周速で回転するローラと、前記ローラの頭頂
   部より回転方向の手前側にローラの外周面と所定の間隔
   で配置され、ローラに付着したフラックスを掻き均して
   ローラの外周面にフラックスの均一な薄膜を形成するス
   キージプレートとを設けたことを特徴とする導電性ボー
   ル搭載装置におけるフラックス供給装置。
2. 【請求項２】搬送手段によって搬送される整列マスクに
   吸着された導電性ボールの下端にフラックスを供給し、
   このフラックスを介してパッケージの接続端子に導電性
   ボールを搭載する導電性ボール搭載装置におけるフラッ
   クス供給装置において、フラックスを貯留する容器と、
   前記容器内のフラックスに浸漬され、少なくともその頭
   頂部が前記容器から前記搬送手段で搬送される整列マス
   クに吸着された導電性ボールの移動経路に近接するよう
   に突出し、かつ、前記搬送手段による整列マスクの搬送
   速度と同じ周速で回転するローラと、前記ローラの頭頂
   部より回転方向の手前側にローラの外周面と所定の間隔
   で配置され、ローラに付着したフラックスを掻き均して
   ローラの外周面にフラックスの均一な薄膜を形成するス
   キージプレートと、前記容器内のフラックスに浸漬され
   る先端部が前記ローラの下端部と所定の間隔で対向する
   円弧状に形成され、ローラの軸方向に移動可能に配置さ
   れた攪拌バーとを設けたことを特徴とする導電性ボール
   搭載装置におけるフラックス供給装置。
3. 【請求項３】搬送手段によって搬送される整列マスクに
   吸着された導電性ボールの下端にフラックスを供給し、
   このフラックスを介してパッケージの接続端子に導電性
   ボールを搭載する導電性ボール搭載装置におけるフラッ
   クス供給装置において、フラックスを貯留する容器と、
   前記容器内のフラックスに浸漬され、少なくともその頭
   頂部が前記容器から前記搬送手段で搬送される整列マス
   クに吸着された導電性ボールの移動経路に近接するよう
   に突出し、かつ、前記搬送手段による整列マスクの搬送
   速度と同じ周速で回転するローラと、前記ローラの頭頂
   部より回転方向の手前側にローラの外周面と所定の間隔
   で配置され、ローラに付着したフラックスを掻き均して
   ローラの外周面にフラックスの均一な薄膜を形成するス
   キージプレートと、前記ローラの下端部に接触するよう
   に前記容器内に回転可能に支持された均しローラとを設
   けたことを特徴とする導電性ボール搭載装置におけるフ
   ラックス供給装置。
4. 【請求項４】搬送手段によって搬送される整列マスクに
   吸着された導電性ボールの下端にフラックスを供給し、
   このフラックスを介してパッケージの接続端子に導電性
   ボールを搭載する導電性ボール搭載装置におけるフラッ
   クス供給装置において、フラックスを貯留する容器と、
   前記容器内のフラックスに浸漬され、少なくともその頭
   頂部が前記容器から前記搬送手段で搬送される整列マス
   クに吸着された導電性ボールの移動経路に近接するよう
   に突出し、かつ、前記搬送手段による整列マスクの搬送
   速度と同じ周速で回転するローラと、前記ローラの頭頂
   部より回転方向の手前側にローラの外周面と所定の間隔
   で配置され、ローラに付着したフラックスを掻き均して
   ローラの外周面にフラックスの均一な薄膜を形成するス
   キージプレートと、前記ローラの下端部に接触するよう
   に前記容器内に回転可能に支持された均しローラと、前
   記容器内のフラックスに浸漬される先端部が前記ローラ
   および均しローラの下端部と所定の間隔で対向する円弧
   状に形成され、ローラの軸方向に移動可能に配置された
   攪拌バーとを設けたことを特徴とする導電性ボール搭載
   装置におけるフラックス供給装置。