JP2001108599A - 電気力顕微鏡用標準試料 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電位分解能と空間分解能とを同時に評価し、
また、評価に要する時間を短縮する。 【解決手段】 電気力顕微鏡用標準試料１は、電位及び
形状について既知の値を備える構成として、誘電体から
なる基板２と、基板２上に形成される導電性の電極パタ
ーン４とを備え、電極パターン４は電位分布を既知とす
る電位パターン及び形状を既知とする空間パターンとを
備える。電気力顕微鏡の電位分解能及び空間分解能の評
価を、電位及び形状について既知の値と電気力顕微鏡で
測定した測定値との比較によって行う。電位及び形状に
ついて既知の値を備える標準試料を用いることによっ
て、電位分解能と空間分解能との同時評価を可能として
評価時間を短縮し、評価精度を高める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気力顕微鏡の性
能を評価する電気力顕微鏡用標準試料に関する。

【０００２】

【従来の技術】試料表面の形状及び表面電位を測定する
装置として電気力顕微鏡が知られている。電気力顕微鏡
は、先鋭な端部を備える導電性の探針と、探針を支持す
るカンチレバーと、カンチレバーの変位を検出する変位
検出部と、探針に電圧を印加する電圧印加部とで構成さ
れる。試料表面の形状測定では、探針を試料からｎｍの
オーダの距離に接近させ、カンチレバーの機械的な共振
周波数近傍で強制振動させる。この距離で試料と探針と
の間に働く力はファンデルワールス力が支配的となる。
ファンデルワールス力及びファンデルワールス力の距離
微分は、試料と探針間の距離で決まり、ファンデルワー
ルス力の変化はカンチレバーの振幅や位相の変化から求
めることができる。

【０００３】また、探針と試料を近接した状態で、探針
に直流電圧と交流電圧を印加すると、探針と試料との間
に、探針と試料との間の電位差に対応して静電気力が働
き、カンチレバーが交流電圧に対応した周波数で振動す
る。この静電気によるカンチレバーの振幅を検出器で検
出し、振幅が零となるように探針に印加する直流電圧を
電圧印加部でフィードバック制御する。探針に印加する
直流電圧が表面電位と一致するとき、静電気力によるカ
ンチレバーの振幅が零になるため、フィードバック出力
された電圧から、試料の電位を求めることができる。し
たがって、電気力顕微鏡は先端の尖った探針を試料表面
に近づけて走査することによって、試料表面の形状と電
位分布を同時に測定することができる。そのため、電気
力顕微鏡の性能は、空間分解能と電位分解能という２つ
の性能評価基準によって評価する。

【０００４】従来、電気力顕微鏡の性能評価は、微小構
造を持つ半導体デバイス試料や、金属試料にバイアス電
圧を印加することによって行っている。図１０は電気力
顕微鏡の空間分解能と電位分解能を評価するための従来
構成を示す図である。なお、図１０では電気力顕微鏡の
一部の構成のみを示している。図１０において、試料１
０と、カンチレバー１２に支持した探針１３との間には
可変電圧源２２によってバイアス電圧を印加し、カンチ
レバー１２の変位や探針１３の電圧を信号検出手段３０
で検出する。評価手段５０は比較手段５１によって信号
検出手段３０で検出した検出信号と比較値とを比較する
ことによって空間分解能及び電位分解能を評価する。電
位分解能を評価する場合には、比較値として可変電圧源
２２で印加したバイアス電圧値を用いる。

【０００５】図１１は、電気力顕微鏡の電位分解能を評
価する従来の手順を説明するためのフローチャートであ
る。電位分解能の評価は、試料を電気力顕微鏡にセット
した後（ステップＳ１１）、可変電圧源２２の印加電圧
を設定し（ステップＳ１２）、探針１２及び信号検出手
段３０によって試料表面の電位を検出する（ステップＳ
１３）。印加電圧を変更し（ステップＳ１４）、再度試
料表面の電位を検出する（ステップＳ１５）。検出した
複数の電位検出信号を比較し（ステップＳ１６）、識別
できる最小の印加電圧差を求め、この印加電圧差を電気
力顕微鏡の電位分解能とする（ステップＳ１７，１
８）。

【０００６】また、図１２は、電気力顕微鏡の空間分解
能を評価する従来の手順を説明するためのフローチャー
トである。空間分解能の評価は、試料を電気力顕微鏡に
セットした後（ステップＳ２１）、可変電圧源２２の印
加電圧を設定し（ステップＳ２２）、探針１２及び信号
検出手段３０によって試料表面の形状検出信号を求める
（ステップＳ２３）。試料を変更する等によって検出形
状を変え、形状検出信号から形状が識別できるか判定し
（ステップＳ２４,２５）、識別できる試料の微細構造
から電気力顕微鏡の空間分解能を推定する（ステップＳ
２６）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の電気力顕微鏡の
性能評価では、前記したように電位分解能の評価及び空
間分解能の評価は個別に行っており、電位分解能と空間
分解能とを同時に評価することが困難であり、両評価を
行うには時間がかかるという問題がある。また、各分解
能においても、可変電圧源の印加電圧の設定や試料の変
更等を行うため、評価に長時間を要するという問題もあ
る。また、従来の評価では、分解能の評価精度は可変電
圧源の精度や用いた試料の微小構造に依存するため、評
価の正確性の点においても問題がある。

【０００８】そこで、本発明は前記した従来の電気力顕
微鏡の性能評価における問題点を解決し、電位分解能と
空間分解能とを同時に評価することができ、評価に要す
る時間を短縮することができる電気力顕微鏡用評価試料
を提供することを目的とし、また、電位分解能及び空間
分解能において高い評価精度を得ることができる電気力
顕微鏡用評価試料を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、電気力顕微鏡
の電位分解能及び空間分解能の評価を、電位及び形状に
ついて既知の値と電気力顕微鏡で測定した測定値との比
較によって行うものであって、電位及び形状について既
知の値を備える標準試料を用いることによって、電位分
解能と空間分解能との同時評価を可能として評価時間を
短縮し、評価精度を高める。

【００１０】本発明の電気力顕微鏡用標準試料は、電位
及び形状について既知の値を備える構成として、誘電体
等の絶縁体からなる基板と、基板上に形成される導電性
の電極パターンとを備え、電極パターンは電位分布を既
知とする電位パターン及び形状を既知とする空間パター
ンとを備える。本発明の標準試料が備える電極パターン
は、誘電率が既知あるいは誘電体を測定可能とする誘電
体等の絶縁体の基板上に、導電性の電極でパターンを形
成する。この基板及び電極パターンの表面電位は、電磁
気学の理論に基づいて演算によって求めることができ
る。本発明の電気力顕微鏡用標準試料は、演算して求め
た電位分布を既知の電位パターンとして備え、電気力顕
微鏡の電位分解能の評価に適用することができる。この
電位パターンは、水平方向（Ｘ，Ｙ方向）における電極
の幅寸法や電極間の間隔寸法及び平面形状や、高さ方向
（Ｚ方向）における電極の高さ寸法及び断面形状によっ
て、それぞれ特有のパターンとなる。

【００１１】この電位パターンにおいて、標準試料に形
成する電極の幅寸法や電極間の間隔寸法によって、電位
分解能を評価する電位変化の細かさを設定することがで
き、平面形状として直線形状や円弧形状や三角形形状や
櫛形形状等の種々の形状としたり、電極の立ち上がり及
び立ち下がりの形状を種々に定めることによって、電位
分解能を評価する電位パターンを設定することができ
る。また、本発明の標準試料が備える電極パターンは、
基板上に既知の形状でパターンを形成することができ
る。この形状パターンは電位パターンと同様に、水平方
向（Ｘ，Ｙ方向）における電極の幅寸法や電極間の間隔
寸法及び平面形状や、高さ方向（Ｚ方向）における電極
の高さ寸法及び断面形状によって、それぞれ特有のパタ
ーンとなる。

【００１２】この形状パターンにおいて、標準試料に形
成する電極の幅寸法や電極間の間隔寸法によって、空間
分解能を評価する形状変化の細かさを設定することがで
き、平面形状として直線形状や円弧形状や三角形形状や
櫛形形状等の種々の形状としたり、電極の立ち上がり及
び立ち下がりの形状を種々に定めることによって、水平
方向及び垂直方向の空間分解能を評価する形状パターン
を設定することができる。基板及び電極パターンの表面
電位は理論的に演算して求めることができ、また、形状
パターンについてもあらかじめ設定することができるた
め、演算して求めた電位分布を既知の電位パターンとし
て備え、また、設定した形状分布を既知の形状パターン
として備えることによって、電気力顕微鏡の電位分解能
及び空間分解能の評価に適用することができる。

【００１３】したがって、本発明の電気力顕微鏡用標準
試料は、電位分解能及び空間分解能の評価のための基準
値をあらかじめ備えているため、電気力顕微鏡で標準試
料を測定することによって、電位分解能と空間分解能を
同時に評価することができ、評価に要する時間を短縮す
ることができる。また、本発明の標準試料の他の形態に
おいて、基板の裏面に電極を設ける構成とすることがで
きる。裏面の設けた電極は本発明の標準試料に必須では
ないが、基板の裏面に電極を設けることによって電気的
な安定性を高め、電位パターンを安定したものとするこ
とができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の電気力
顕微鏡用標準試料の構成例を説明するための概略斜視図
である。図１において、電気力顕微鏡用標準試料１は、
誘電率が既知あるいは測定可能な基板２と、基板２の基
板表面３上に形成された電極パターン４を備える。基板
２の裏面に電極５を形成することもできる。

【００１５】基板２は、例えば石英等の絶縁体とするこ
とができ、電極パターン４は金とすることができる。電
極形成は、基板２の基板表面３上にフォトレジストでパ
ターンニングを行った後、スパッタ法で金を成膜するこ
とによって行うことができる。電極形成は、スパッタ法
に限らず真空蒸着を用いることもできる。電気力顕微鏡
用標準試料１の寸法の一例として、基板２の厚さを５０
μｍ、電極パターン４の厚さを０．１μｍ、裏面の電極
５の厚さを０．２μｍとする。

【００１６】また、電極パターンを形成する材料は金に
限らずアルミニウムなど導電性の高い材料であれば任意
とすることができる。また、基板を形成する材料につい
ても石英に限らず、シリコンやセレン等の他、ポリイミ
ドなどの有機膜フィルムなど誘電率や既知あるいは測定
可能な材料であれば任意とすることができる。電気力顕
微鏡の探針１３は、電気力顕微鏡用標準試料１に対して
Ｘ，Ｙ方向（図中の矢印）に走査し、電位測定及び形状
測定を行う。探針１３は、電極パターン４に対する走査
において、電極パターン４に応じた電位信号及び形状信
号を検出する。該電位信号及び形状信号は、探針１３の
電極パターン４に対する走査方向で異なる。

【００１７】図１では電極パターン４として、基板２の
外縁に設けた縁部パターンＡ、直線パターンＢ、端部パ
ターンＣ、段部パターンＤ等を示し、直線パターンＢ及
び端部パターンＣは三角形パターンの一部として形成し
ている。図２は電極パターンの他の例を示している。図
２（ａ）に示す標準試料１ａの電極パターンは、基板表
面３上に円形パターンＥを形成した例であり、図２
（ｂ）に示す標準試料１ｂの電極パターンは、基板表面
３上に櫛形パターンＦを形成した例である。また、図２
（ｃ）に示す標準試料１ｃの電極パターンは、基板表面
３上にＲの文字パターンを形成した例であり、直線パタ
ーンＢや端部パターンＣの他に円弧パターンＧを含んで
いる。円形パターンＥや円弧パターンＧの半径や、端部
パターンＣの角度や、櫛形パターンＦの電極部分の幅寸
法及び電極間隔の寸法は、評価する電位分解能や形状分
解能に応じて定めることができる。

【００１８】電極パターンと該電極パターンで評価する
電位分解能との関係を、図３及び図４を用いて説明す
る。図３は電極パターンの断面形状と電位分解能との関
係を説明するための図である。図３（ａ）は、基板２上
に形成した電極パターン４の断面形状を模式的に示して
おり、エッジ部分の立ち上がり及び立ち下がりの程度
が、例えばα及びβに示す様に異なる状態を示してい
る。断面形状が異なる電極パターンを探針で走査する
と、検出される電位信号の強度パターン及びその変化パ
ターンは図３（ｂ），（ｃ）に示すように異なる強度パ
ターンを示す。

【００１９】また、図４は電極パターンの平面形状と電
位分解能との関係を説明するための図である。図４
（ａ）は、基板２上に形成した電極パターン４の平面形
状（矩形形状の電極パターン４ａ，円形形状の電極パタ
ーン４ｂ，多角形形状の電極パターン４ｃ）を模式的に
示しており、探針の走査方向と電極のエッジ部分の方向
とが形成する交差角度が、電極パターンの形状及び位置
によって異なる状態を示している（図中の直線パターン
Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３、及び円形パターンＥ１，Ｅ２）。電
極パターンを探針で走査位置を異ならせて（図中で一点
鎖線で示す走査線Ａ、及び破線で示す走査線Ｂ）検出し
た場合、検出される電位信号の強度パターン及びその変
化パターンは、探針の走査方向と電極のエッジ部分の方
向とが形成する交差状態に応じて、図４（ｂ），（ｃ）
に示すように異なる強度パターンを示す。なお、図４
（ｂ），（ｃ）において、走査線Ａによる信号パターン
は一点鎖線で示し、走査線Ｂによる信号パターンは破線
で示している。

【００２０】この電位信号の強度パターン及び変化パタ
ーンは、電極パターンの形状に応じて異なる信号パター
ンとなり、この信号パターンは基板の誘電率や電極の形
状から電磁気的に演算によって求めることができる。一
方、電気力顕微鏡によって検出される電位信号の強度パ
ターン及び変化パターンは、電極パターンのパターン形
状に依存すると共に、電気力顕微鏡の電位分解能に依存
する。電位分解能が高い程、電極パターンの電位分布に
対応した信号パターンを忠実に検出することができる。

【００２１】本発明の標準試料では、電位信号の強度パ
ターン及び変化パターンを用いて電位分解能の評価を行
うため、標準試料に印加する電圧は任意の一定電圧とす
ることができる。印加する電圧値が変化しても、検出さ
れる電位信号の強度パターン及び変化パターンの形状は
変化しない。したがって、従来のように印加する電圧値
を変化させる必要がなく、任意の一定電圧で評価するこ
とができる。

【００２２】次に、電極パターンと該電極パターンで評
価する空間分解能との関係を、図５を用いて説明する。
図５は電極パターンの平面形状及び高さと空間分解能と
の関係を説明するための図である。図５（ａ）は、基板
２上に形成した櫛形の電極パターン４の平面形状Ｆａ〜
Ｆｅ（電極幅Ｌａ〜Ｌｅ及び電極間隔Ｄａ〜Ｄｅ）を模
式的に示している。電極パターンを探針で走査して検出
した場合、検出される形状信号の強度パターン及びその
変化パターンは図５（ｂ），（ｃ）に示すように異なる
強度パターンを示す。

【００２３】この形状信号の強度パターン及び変化パタ
ーンは、電極パターンの電極幅及び電極間隔に応じて異
なる信号パターンとなり、この信号パターンは基板の誘
電率や電極の形状及び電極幅及び電極間隔から演算によ
って求めることができる。また、図５（ｄ）は、基板２
上に形成した櫛形の電極パターン４の高さＨａ〜Ｈｅを
模式的に示している。異なる高さの電極パターンを探針
で走査して検出した場合、検出される形状信号の強度パ
ターン及びその変化パターンは図５（ｅ），（ｆ）に示
すように異なる強度パターンを示す。

【００２４】この形状信号の強度パターン及び変化パタ
ーンは、電極パターンの電極幅及び電極間隔に応じて異
なる信号パターンとなり、この信号パターンは基板の誘
電率や電極の形状及び電極の高さから演算によって求め
ることができる。一方、電気力顕微鏡によって検出され
る形状信号の強度パターン及び変化パターンは、電極パ
ターンのパターン形状に依存すると共に、電気力顕微鏡
の空間分解能に依存する。空間分解能が高い程、電極の
高さに対応した信号パターンを忠実に検出することがで
きる。

【００２５】したがって、本発明は、電極パターンの形
状から形状信号の強度パターン及び変化パターンをあら
かじめ演算で求めて基準の信号パターンを定めておき、
電気力顕微鏡で求めた検出形状信号をこの信号パターン
と比較することによって、電気力顕微鏡の空間分解能を
評価する。また、厚さが一定の電極で形状パターンを形
成する場合には、形成信号の強度パターン及び変化パタ
ーンを用いて空間分解能の評価を行うため、標準試料に
印加する電圧は任意の一定電圧とすることができる。印
加する電圧値が変化しても、検出される形状信号の強度
パターン及び変化パターンの形状は変化せず、従来のよ
うに印加する電圧値を変化させる必要がなく、任意の一
定電圧で評価することができる。

【００２６】次に、本発明の標準試料を用いた電気力顕
微鏡の評価について説明する。図６は、本発明の電気力
顕微鏡用標準試料を適用して電位分解能及び空間分解能
を評価することができる電気力顕微鏡の概略を説明する
ブロック図である。図６において、電気力顕微鏡１１
は、カンチレバー１２で支持される探針１３と、試料１
をＸ，Ｙ，Ｚ方向に走査するための圧電素子等で形成さ
れるスキャナー１４と、スキャナー１４をＸ，Ｙ方向に
走査するＸ，Ｙ走査回路１５と、スキャナー１４のＺ方
向位置を制御するサーボ回路１７と、カンチレバー１２
及び探針１３の変位を検出する変位検出手段１６と、探
針１３から検出信号を検出して、電位信号及び検出信号
を検出する信号処理部３０を備える。変位検出手段１６
とサーボ回路１７はフィードバック制御によってスキャ
ナー１４を制御する。信号処理部３０は、探針１３から
の信号を検出する信号検出手段３１と電位検出手段３３
と形状検出手段３４を備える。電位検出手段３３及び形
状検出手段３４は、信号検出手段３１で検出した信号に
基づいて電位信号及び形状信号を出力する。信号検出手
段３１は、探針１３からの信号を周波数分離手段３２で
電位信号及び形状信号を分離して検出する。なお、形状
信号は、サーボ回路１７のフィードバック信号を用いて
得ることもできる。

【００２７】図７は電気力顕微鏡の空間分解能と電位分
解能を評価するための構成を示す図である。図７におい
て、標準試料１と、カンチレバー１２に支持した探針１
３との間には電圧源２１によって一定電圧のバイアス電
圧を印加し、カンチレバー１２の変位や探針１３の電圧
を信号検出手段３０で検出する。評価手段４０は比較手
段４２によって信号検出手段３０で検出した検出信号と
比較値とを比較することによって空間分解能及び電位分
解能を評価する。比較値は演算等によってあらかじめ求
めておいた基準信号パターン４１を用いる。基準信号パ
ターンとして電位分布を用い、電位検出信号と比較する
ことによって電位分解能を評価することができ、また、
基準信号パターンとして形状分布を用い、形状検出信号
と比較することによって空間分解能を評価することがで
きる。

【００２８】図８は、電気力顕微鏡の電位分解能及び空
間分解能を評価する手順を説明するためのフローチャー
トである。電位分解能及び空間分解能の評価は、試料を
電気力顕微鏡にセットした後（ステップＳ１）、電圧源
２１によって一定電圧を印加し（ステップＳ２）、探針
１２及び信号検出手段３０によって走査検出信号を求め
て、試料表面の電位及び形状を検出する（ステップＳ
３）。検出した走査検出信号から周波数分離等の信号処
理によって電位検出信号と形状検出信号とを分離し検出
する（ステップＳ４）。検出した電位検出信号及び形状
検出信号を用いて電位分解能及び空間分解能を評価する
（ステップＳ５，６）。

【００２９】電位分解能の評価は、電位検出信号の信号
パターンを基準の電位信号パターンと比較し（ステップ
Ｓ５ａ）、電位検出信号の信号パターンが識別できるか
否かによって判定し評価する。この評価は、両信号の一
致の程度や、基準の電位信号パターンから得られる電圧
値に基づいて定めたしきい値によって判定することがで
きる（ステップＳ５ｂ）。また、空間分解能の評価は、
形状検出信号の信号パターンを基準の形状信号パターン
と比較し（ステップＳ６ａ）、形状検出信号の信号パタ
ーンが識別できるか否かによって判定し評価する。この
評価は、両信号の一致の程度や、基準の形状信号パター
ンから得られる電圧値に基づいて定めたしきい値によっ
て判定することができる（ステップＳ６ｂ）。

【００３０】電気力顕微鏡は電位検出信号と形状検出信
号とを同時に検出することができ、また評価を行うため
の基準信号パターンはあらかじめ求めておくことができ
るため、本発明の標準試料を用いることによって電位分
解能と空間分解能とを同時に評価することができる。

【００３１】図９は、本発明の電気力顕微鏡用標準試料
の他の構成例を説明するための概略斜視図である。図９
に示す構成例は、基板２の下側にシリコン基板６を設け
た構成の他は、図１に示す構成例とほぼ同様である。シ
リコン基板６は導電率が高いものを用いることによって
裏面電極として作用する。また、導電性を高めるため
に、シリコン基板６に裏面に金属電極５を設ける構成と
することもできる。

【００３２】この標準試料１は、誘電率が既知の石英基
板６を厚さ４００μｍのシリコン基板６に貼り付けた
後、石英基板６を厚さ５０μｍまで研磨した後、基板表
面３に電極パターン４を形成することによって作成する
ことができる。上記した構成例では、基板として石英等
の誘電体を用いているが、誘電体に限らず絶縁体であれ
ば良い。また、誘電体の層の厚みは、容量は測定あるい
は演算可能な程度であれば良く、数百μｍ以下の程度が
適している。

【００３３】また、上記のシリコン基板は電極兼補強材
であって必ずしも必要なものではなく、また用いる場合
であっても、低抵抗であれば任意の材料を適用すること
ができる。また、表面電極の形成において、例示したフ
ォトレジストを用いたリフトオフによるパターン形成の
他に、エッチングによるパターン形成、メタルマスク等
によるパターンニング、スクリーン印刷等を適用するこ
とができる。また、電極材料も金やアルミニウムに限ら
ず、任意の導電体を適用することができる。

【００３４】本発明の標準試料では、表面の電極パター
ンにより表面電位の差異が２次元で分布しており、この
分布は理論的に計算することができる。したがって、本
発明の標準試料によれば、電気力顕微鏡の電位分解能と
空間分解能とを同時に評価することができる。また、評
価する分解能の程度に応じて電極パターンを形成するこ
とができるため、評価精度を高めることができる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の電気力顕
微鏡用標準試料によれば、電位分解能と空間分解能とを
同時に評価することができ、評価に要する時間を短縮す
ることができる。また、電位分解能及び空間分解能にお
いて高い評価精度を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電気力顕微鏡用標準試料の構成例を説
明するための概略斜視図である。

【図２】本発明の電気力顕微鏡用標準試料の電極パター
ンの他の例を示す図である。

【図３】本発明の電気力顕微鏡用標準試料の電極パター
ンの断面形状と電位分解能との関係を説明するための図
である。

【図４】電極パターンの平面形状と電位分解能との関係
を説明するための図である。

【図５】電極パターンの平面形状及び高さと空間分解能
との関係を説明するための図である。

【図６】本発明の電気力顕微鏡用標準試料を適用して電
位分解能及び空間分解能を評価することができる電気力
顕微鏡の概略を説明するブロック図である。

【図７】電気力顕微鏡の空間分解能と電位分解能を評価
するための構成を示す図である。

【図８】本発明の標準試料を用いて、電気力顕微鏡の電
位分解能及び空間分解能を評価する手順を説明するため
のフローチャートである。

【図９】本発明の電気力顕微鏡用標準試料の他の構成例
を説明するための概略斜視図である。

【図１０】電気力顕微鏡の空間分解能と電位分解能を評
価するための従来構成を示す図である。

【図１１】電気力顕微鏡の電位分解能を評価する従来の
手順を説明するためのフローチャートである。

【図１２】電気力顕微鏡の空間分解能を評価する従来の
手順を説明するためのフローチャートである。

【符号の説明】

１，１ａ，１ｂ，１ｃ…電気力顕微鏡用標準試料、２…
基板、３…基板表面、４，４ａ，４ｂ，４ｃ…電極パタ
ーン、５…電極、６…シリコン基板、１１…電気力顕微
鏡、１２…カンチレバー、１３…探針、１４…スキャナ
ー、１５…Ｘ，Ｙ走査回路、１６…変位検出手段、１７
…サーボ回路、２１，２２…電圧印加手段、３０…信号
処理手段、３１…信号検出手段、３２…周波数分離手
段、３３…電位検出手段、３４…形状検出手段、４０，
５０…評価手段、４１…基準信号パターン、４２，５１
…比較手段。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中西 博昭 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 (72)発明者 藤山 陽一 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 (72)発明者 今田 寛 埼玉県浦和市下大久保255 埼玉大学 総 合情報処理センター内 Ｆターム(参考） 2F063 AA43 DA01 DA05 EA16 EB15 EB23

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 絶縁体からなる基板と、基板上に形成さ
   れる導電性の電極パターンとを備え、前記電極パターン
   は、電位分布を既知とする電位パターン及び形状を既知
   とする空間パターンとを備える、電気力顕微鏡用標準試
   料。