JP2001106568A - CRYSTAL-GRAIN-ORIENTED CERAMICS, MANUFACTURING PROCESS OF THE SAME AND PRODUCTION PROCESS OF PLATELIKE Ba6Ti17O40 POWDER FOR MANUFACTURING THE SAME - Google Patents

CRYSTAL-GRAIN-ORIENTED CERAMICS, MANUFACTURING PROCESS OF THE SAME AND PRODUCTION PROCESS OF PLATELIKE Ba6Ti17O40 POWDER FOR MANUFACTURING THE SAME

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JP2001106568A
JP2001106568A JP28938499A JP28938499A JP2001106568A JP 2001106568 A JP2001106568 A JP 2001106568A JP 28938499 A JP28938499 A JP 28938499A JP 28938499 A JP28938499 A JP 28938499A JP 2001106568 A JP2001106568 A JP 2001106568A
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powder
oriented
plate
perovskite
crystal
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Toshihiko Tani
俊彦 谷
Tsuguto Takeuchi
嗣人 竹内
Toshio Kimura
敏夫 木村
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Toyota Central R&D Labs Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a crystal-grain-oriented ceramic product which has properties equivalent to those of a BT(barium titanate BaTiO3) single crystal polarized in the direction of <111> and is manufactured by a low-cost manufacturing process, to provide a manufacturing process of the grain-oriented ceramic product and also to provide a production process of a platelike Ba6Ti17O40 powder for manufacturing the grain-oriented ceramic product. SOLUTION: This crystal-grain-oriented ceramic product consists of a polycrystal of a perovskite compound containing at least Ba and Ti, wherein each of the constituent crystal grains of the polycrystal has an oriented pseudocubic 111} plane. This manufacturing process of the grain-oriented ceramic product comprises: mixing a platelike Ba6Ti17O40 powder with a perovskite forming raw material capable of reacting with the platelike Ba6Ti17O40 powder to form a perovskite compound, to obtain a mixture; forming the mixture into a green body so as to orient the platelike Ba6Ti17O40 powder; and heating the green body. The production (synthesis) process of the platelike Ba6Ti17O40 powder comprises a step of heating a raw material capable of forming an oxide containing Ba and Ti in a ratio of Ba to Ti of 6:17, together with a substance which is a liquid or capable of being converted into a liquid when heated.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、結晶配向セラミッ
クス、結晶配向セラミックスの製造方法及び結晶配向セ
ラミックス製造用板状BaTi1740粉末の製造
方法に関し、更に詳しくは、バイモルフ圧電素子、振動
ピックアップ、圧電マイクロホン、圧電点火素子、加速
度センサ、ノッキングセンサ、圧電アクチュエータ、ソ
ナー、超音波センサ、圧電ブザー、圧電スピーカ、発信
子、フィルタ等に用いられる圧電材料として好適な結晶
配向セラミックス及びその製造方法、並びに結晶配向セ
ラミックス製造用板状BaTi1740粉末の製造
方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention is, grain oriented ceramics, relates to a manufacturing method and a manufacturing method of the grain oriented ceramics for producing plate-like Ba 6 Ti 17 O 40 powder of the crystal oriented ceramic, and more particularly, bimorph piezoelectric elements, vibration Crystal oriented ceramics suitable as a piezoelectric material used for a pickup, a piezoelectric microphone, a piezoelectric ignition element, an acceleration sensor, a knocking sensor, a piezoelectric actuator, a sonar, an ultrasonic sensor, a piezoelectric buzzer, a piezoelectric speaker, a transmitter, a filter, and the like, and a method of manufacturing the same. And a method for producing plate-shaped Ba 6 Ti 17 O 40 powder for producing crystallographically oriented ceramics.

【0002】[0002]

【従来の技術】圧電材料は、圧電効果を有する材料であ
り、その形態は、単結晶、セラミックス、薄膜、高分子
及びコンポジット(複合材)に分類される。これらの圧
電材料の中で、特に、圧電セラミックスは、高性能で、
形状の自由度が大きく、材料設計が比較的容易なため、
広くエレクトロニクスやメカトロニクスの分野で応用さ
れているものである。
2. Description of the Related Art Piezoelectric materials are materials having a piezoelectric effect, and are classified into single crystals, ceramics, thin films, polymers, and composites. Among these piezoelectric materials, in particular, piezoelectric ceramics have high performance,
Because the degree of freedom of shape is large and material design is relatively easy,
It is widely applied in the fields of electronics and mechatronics.

【0003】圧電セラミックスは、強誘電体セラミック
スに直流を印加し、強誘電体の分域の方向を一定の方向
にそろえる、いわゆる分極処理を施したものである。分
極処理により自発分極を一定方向にそろえるためには、
自発分極が三次元的に取りうるペロブスカイト型結晶構
造が有利であることから、実用化されている圧電セラミ
ックスの大部分は、ペロブスカイト型強誘電体セラミッ
クスである。
[0003] Piezoelectric ceramics are obtained by applying a direct current to a ferroelectric ceramic and subjecting it to a so-called polarization process in which the direction of the domain of the ferroelectric is aligned in a fixed direction. In order to align spontaneous polarization in a certain direction by polarization processing,
Since a perovskite-type crystal structure in which spontaneous polarization can be three-dimensionally is advantageous, most of practically used piezoelectric ceramics are perovskite-type ferroelectric ceramics.

【0004】ペロブスカイト型強誘電体セラミックスと
しては、例えば、Pb(Zr・Ti)O(以下、これ
を「PZT」という。)、PZTに対して鉛系複合ペロ
ブスカイトを第三成分として添加したPZT3成分系、
BaTiO(以下、これを「BT」という。)、Bi
0.5Na0.5TiO(以下、これを「BNT」と
いう。)などが知られている。
The perovskite ferroelectric ceramics include, for example, Pb (Zr.Ti) O 3 (hereinafter referred to as “PZT”), and PZT3 obtained by adding a lead-based composite perovskite to PZT as a third component. Ingredient system,
BaTiO 3 (hereinafter referred to as “BT”), Bi
0.5 Na 0.5 TiO 3 (hereinafter referred to as “BNT”) and the like are known.

【0005】また、ペロブスカイト型化合物の圧電特性
は、結晶軸の方向によって異なることが知られている。
例えば、第16回強誘電体応用会議予稿集P25−26
(和田他)には、自発分極方向である<001>方向に
分極したBT単結晶は、室温で1%近い歪みを示すもの
の同時に大きなヒステリシスを伴うのに対し、<111
>方向に分極したBT単結晶は、低電界下では電界−歪
み挙動にヒステリシスが小さく、圧電定数が大きい等の
高特性が得られる点が報告されている。
It is known that the piezoelectric properties of perovskite-type compounds differ depending on the direction of the crystal axis.
For example, Proceedings of the 16th Ferroelectric Application Conference P25-26
(Wada et al.) State that a BT single crystal polarized in the <001> direction, which is a spontaneous polarization direction, shows nearly 1% strain at room temperature, but at the same time has large hysteresis.
It has been reported that a BT single crystal polarized in the> direction can obtain high characteristics such as a small hysteresis in the electric field-strain behavior and a large piezoelectric constant under a low electric field.

【0006】また、特公昭63−24950号公報に
は、a軸方向に伸長したアナターゼ型二酸化チタン針状
粒子粉体もしくは加熱により当該アナターゼ針状粒子粉
体となる含水二酸化チタン針状粒子粉体と、酸化バリウ
ムもしくは加熱により酸化バリウムとなるバリウム化合
物との混合物を用いて前記針状粒子の伸長方向が実質的
に同一方向に配向した成形体を作製し、これを焼結する
ことにより、a軸が実質的に同一方向に配向しているB
T焼結体が得られる点が開示されている。また、得られ
た焼結体を配向方向に分極すると、無配向のBT焼結体
に比して、配向方向の電気機械結合係数が著しく大きく
なる点が開示されている。
Japanese Patent Publication No. 63-24950 discloses an anatase type titanium dioxide acicular particle powder which is elongated in the a-axis direction or a hydrous titanium dioxide acicular particle powder which becomes the anatase acicular particle powder by heating. By using a mixture of barium oxide or a barium compound that becomes barium oxide by heating, a molded body in which the directions of elongation of the acicular particles are oriented in substantially the same direction is produced, and by sintering the molded body, a B whose axes are oriented in substantially the same direction
It discloses that a T sintered body can be obtained. Further, it is disclosed that when the obtained sintered body is polarized in the orientation direction, the electromechanical coupling coefficient in the orientation direction becomes significantly larger than that of a non-oriented BT sintered body.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】PZTに代表される鉛
系の圧電セラミックスは、他の圧電セラミックスに比較
して高い圧電特性を有しており、現在実用化されている
圧電セラミックスの大部分を占めている。しかしなが
ら、蒸気圧の高い酸化鉛(PbO)を含んでいるため
に、環境に対する負荷が大きいという問題がある。その
ため、低鉛あるいは無鉛でPZTと同等の圧電特性を有
する圧電セラミックスが求められている。
The lead-based piezoelectric ceramics represented by PZT have higher piezoelectric properties than other piezoelectric ceramics, and most of the piezoelectric ceramics currently in practical use are used. is occupying. However, since it contains lead oxide (PbO) having a high vapor pressure, there is a problem that the load on the environment is large. Therefore, a piezoelectric ceramic having low lead or lead-free and having the same piezoelectric characteristics as PZT is required.

【0008】また、BTセラミックスは、鉛を含まない
圧電材料の中では比較的高い圧電特性を有しており、ソ
ナーなどに利用されている。また、BTと他の非鉛系ペ
ロブスカイト化合物(例えば、BNTなど)との固溶体
の中にも、比較的高い圧電特性を示すものが知られてい
る。しかしながら、これらの無鉛圧電セラミックスは、
PZTに比して、圧電特性が低く、より高特性が望まれ
ている。
Further, BT ceramics have relatively high piezoelectric properties among lead-free piezoelectric materials, and are used for sonar and the like. Further, among solid solutions of BT and other lead-free perovskite compounds (eg, BNT), those exhibiting relatively high piezoelectric properties are known. However, these lead-free piezoelectric ceramics
Compared with PZT, piezoelectric characteristics are lower and higher characteristics are desired.

【0009】一方、<111>方向に分極したBT単結
晶は、無配向のBT多結晶体では得られない低いヒステ
リシスと、高い圧電定数を示す。しかしながら、単結晶
は高コストである。また、固溶体の単結晶の作製は、組
成のずれを引き起こしやすく、実用材料としては不適当
である。さらに、単結晶は、破壊靱性に劣るため、高応
力下での使用は困難であり、応用範囲が限られるという
問題がある。
On the other hand, a BT single crystal polarized in the <111> direction exhibits a low hysteresis and a high piezoelectric constant that cannot be obtained with a non-oriented BT polycrystal. However, single crystals are expensive. In addition, the production of a single crystal of a solid solution tends to cause a composition shift, and is not suitable as a practical material. Furthermore, single crystals are inferior in fracture toughness, so it is difficult to use them under high stress, and there is a problem that the range of application is limited.

【0010】これに対し、焼結体を構成する各結晶粒を
一定の方向に配向させることができれば、圧電特性の異
方性を最大限に利用することができ、圧電セラミックス
の高特性化が期待できる。しかしながら、特公昭63−
24950号公報に開示されている方法により得られる
焼結体は、擬立方表示で{100}面が一軸配向したも
のである。このような配向を有する焼結体は、分域が動
きやすいために、電界−歪挙動にヒステリシスが大き
く、正確な位置決めを行うためのアクチュエータ用とし
ては不適当である。また、ヒステリシスによりエネルギ
ー損失が大きくなり、自己発熱しやすいという問題があ
る。
[0010] On the other hand, if the crystal grains constituting the sintered body can be oriented in a certain direction, the anisotropy of the piezoelectric characteristics can be utilized to the utmost, so that the characteristics of the piezoelectric ceramic can be improved. Can be expected. However, Japanese Patent Publication No. 63-
The sintered body obtained by the method disclosed in Japanese Patent No. 24950 has a {100} plane uniaxially oriented in pseudo cubic display. A sintered body having such an orientation has a large hysteresis in the electric field-strain behavior because the domain is easily moved, and is unsuitable for an actuator for performing accurate positioning. In addition, there is a problem that energy loss increases due to hysteresis, and self-heating easily occurs.

【0011】本発明が解決しようとする課題は、安価な
製造プロセスにて、<111>方向に分極したBT単結
晶と同等の特性を有する結晶配向セラミックス及びその
製造方法、並びにこのような結晶配向セラミックスの製
造に用いられる板状BaTi1740粉末の製造方
法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a crystallographically-oriented ceramic having the same characteristics as a BT single crystal polarized in the <111> direction by an inexpensive production process, a method for producing the same, and such a crystallographic orientation. An object of the present invention is to provide a method for producing plate-like Ba 6 Ti 17 O 40 powder used for producing ceramics.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明に係る結晶配向セラミックスは、少なくともB
aとTiとを含むペロブスカイト型化合物の多結晶体か
らなり、該多結晶体を構成する各結晶粒の擬立方{11
1}面が配向していることを要旨とするものである。
Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the crystal oriented ceramics according to the present invention comprises at least B
a polycube of a perovskite-type compound containing a and Ti, and the pseudocubic {11} of each crystal grain constituting the polycrystal
The gist is that the 1} plane is oriented.

【0013】上記構成を有する本発明に係る結晶配向セ
ラミックスは、ペロブスカイト型化合物の多結晶体を構
成する各結晶の擬立方{111}面が配向しているの
で、これを<111>方向に分極すれば、<111>方
向に分極したBT単結晶と同様に正方向に電界を印加し
た場合に分域反転が抑制される。そのため、無配向のペ
ロブスカイト型多結晶と比較して、低電界下でヒステリ
シスが小さく、しかも圧電定数が大きくなる。
In the crystal oriented ceramics according to the present invention having the above structure, the pseudo cubic {111} plane of each crystal constituting the polycrystal of the perovskite type compound is oriented, and is polarized in the <111> direction. Then, similarly to the BT single crystal polarized in the <111> direction, domain inversion is suppressed when an electric field is applied in the positive direction. Therefore, compared to a non-oriented perovskite-type polycrystal, the hysteresis is small under a low electric field, and the piezoelectric constant is large.

【0014】また、本発明に係る結晶配向セラミックス
の製造方法は、その発達面がペロブスカイト型化合物の
擬立方{111}面と格子整合性を有する板状粉末と、
該板状粉末と反応してペロブスカイト型化合物となるペ
ロブスカイト生成原料とを混合する混合工程と、該混合
工程で得られた混合物を前記板状粉末が配向するように
成形する成形工程と、該成形工程で得られた成形体を加
熱する焼結工程とを備えていることを要旨とするもので
ある。
Further, according to the method for producing a crystallographically-oriented ceramic according to the present invention, there is provided a plate-like powder whose developed surface has lattice matching with a pseudocubic {111} plane of a perovskite-type compound;
A mixing step of mixing a perovskite-forming raw material that reacts with the plate-like powder to become a perovskite-type compound; a molding step of forming the mixture obtained in the mixing step so that the plate-like powder is oriented; And a sintering step of heating the compact obtained in the step.

【0015】上記構成を有する本発明に係る結晶配向セ
ラミックスの製造方法は、出発原料として、その発達面
がペロブスカイトの擬立方{111}面との間に格子整
合性を有する板状粉末が用いられているので、板状粉末
がペロブスカイト生成原料と反応する際に、優先配向方
位を保持したままペロブスカイト化合物が合成される。
そのため、板状粉末とペロブスカイト生成原料との混合
物を板状粉末の発達面が配向するように成形し、これを
所定温度で加熱すれば、擬立方{111}面が発達した
ペロブスカイト結晶の合成及びその焼結が進行し、擬立
方{111}面が配向した結晶配向セラミックスを容易
に得ることができる。
In the method for producing a crystallographically-oriented ceramic according to the present invention having the above structure, a plate-like powder having a lattice matching between a developed surface and a pseudo-cubic {111} plane of perovskite is used as a starting material. Therefore, when the plate-like powder reacts with the perovskite-forming raw material, the perovskite compound is synthesized while maintaining the preferred orientation direction.
Therefore, a mixture of a plate-like powder and a perovskite-forming raw material is formed so that the developed surface of the plate-like powder is oriented, and heated at a predetermined temperature, to synthesize a perovskite crystal with a pseudo-cubic {111} plane developed and The sintering proceeds, and a crystallographically-oriented ceramic having a pseudo-cubic {111} plane can be easily obtained.

【0016】さらに、本発明に係る結晶配向セラミック
ス製造用板状BaTi1740粉末の製造方法は、
Ba:Ti=6:17である酸化物を生成可能な原料
を、液体又は加熱により液体となる物質と共に加熱する
ことを要旨とするものである。
Further, the method for producing a plate-like Ba 6 Ti 17 O 40 powder for producing a crystallographically oriented ceramic according to the present invention comprises:
The gist of the invention is to heat a raw material capable of producing an oxide in which Ba: Ti = 6: 17 together with a liquid or a substance which becomes liquid by heating.

【0017】BaTi1740は、{001}面の
表面エネルギーが他の面に比較して低いという性質を有
している。そのため、Ba:Ti=6:17である酸化
物を生成可能な原料を原子の拡散が容易な液相中で反応
させれば、表面エネルギーの低い{001}面が広い面
積を占める、いわゆる「自形」の発達した板状のBa
Ti1740粉末を得ることができる。しかも、この
板状BaTi17 40粉末の発達面である{00
1}面は、ペロブスカイト型化合物の擬立方{111}
面と格子整合性があるので、これを出発原料として用い
れば、擬立方{111}面が配向した結晶配向セラミッ
クスを容易に製造することができる。
Ba6Ti17O40Is the {001} plane
Surface energy is lower than other surfaces.
are doing. Therefore, the oxidation of Ba: Ti = 6: 17
Of raw materials that can produce substances in liquid phase where atoms can be easily diffused
Then, the {001} plane with low surface energy is wide
Plate-shaped Ba with so-called "self-form" developed 6
Ti17O40A powder can be obtained. Moreover, this
Plate-shaped Ba6Ti17O 40$ 00 which is the development side of powder
The 1} plane is a pseudocubic {111} of a perovskite compound.
Since it has lattice matching with the surface, it is used as a starting material.
In this case, a crystallographic ceramic with a pseudo-cubic {111} plane
Can be easily manufactured.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて詳細に説明する。本発明に係る結晶配向セラミック
スは、少なくともBaとTiとを含むペロブスカイト型
化合物の多結晶体からなっている。「少なくともBaと
Tiとを含むペロブスカイト型化合物」とは、具体的に
は、BT、及びBTを端成分とする2元系以上の任意の
ペロブスカイト型化合物をいい、その組成は、次の化1
の式で表すことができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below in detail. The crystallographically-oriented ceramic according to the present invention is made of a polycrystalline perovskite-type compound containing at least Ba and Ti. The “perovskite compound containing at least Ba and Ti” specifically refers to BT and any binary or more binary perovskite compound having BT as an end component.
Can be represented by the following equation.

【0019】[0019]

【化1】xBaTiO+(1−x)ABO Embedded image xBaTiO 3 + (1-x) ABO 3

【0020】化1の式中、ABOは、BTと固溶体を
形成してペロブスカイト型化合物となるものであればど
んなものであってもかまわない。ABOとしては、具
体的には、BNT、Bi0.50.5TiO、KN
bO、NaNbO、PbTiO、PbZrO
Pb(Mg1/3Nb2/3)O等が好適な一例とし
て挙げられる。また、ABOは、これらの化合物の中
から選ばれる2以上の化合物の組み合わせであっても良
い。
In the formula 1, ABO 3 may be any as long as it forms a perovskite compound by forming a solid solution with BT. The ABO 3, specifically, BNT, Bi 0.5 K 0.5 TiO 3, KN
bO 3, NaNbO 3, PbTiO 3 , PbZrO 3,
Pb (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 is a preferred example. ABO 3 may be a combination of two or more compounds selected from these compounds.

【0021】また、化1の式中、BTのモル分率を表す
xの値は、0<x≦1の範囲内にあれば良い。但し、後
述する板状のBaTi1740粉末をテンプレート
として用いる場合には、xの値は、0.025≦x≦1
の範囲内にあることが望ましい。これは、x<0.02
5の場合は、必然的にテンプレートとして用いる板状B
Ti1740粉末の量が少なくなり、得られる多
結晶セラミックスの配向度が低下するためである。
In the formula 1, the value of x representing the mole fraction of BT may be within the range of 0 <x ≦ 1. However, when a plate-like Ba 6 Ti 17 O 40 powder described later is used as a template, the value of x is 0.025 ≦ x ≦ 1.
Is desirably within the range. This is because x <0.02
In the case of No. 5, plate-shaped B used as a template
This is because the amount of a 6 Ti 17 O 40 powder decreases, and the degree of orientation of the obtained polycrystalline ceramic decreases.

【0022】また、本発明に係る結晶配向セラミックス
は、多結晶体を構成する各結晶粒の擬立方{111}面
が一方向に配向していることを特徴とする。ここで、
「擬立方{HKL}」とは、一般に、ペロブスカイト型
化合物は、正方晶、斜方晶、三方晶など、立方晶から歪
んだ構造をとるが、その歪は僅かであるので、立方晶と
みなしてミラー指数表示することを意味する。また、各
結晶粒の配向の程度は、具体的には、次の数1の式で表
されるロットゲーリング(Lotgering)法によ
る結晶配向度Q(HKL)により表される。
Further, the grain oriented ceramics according to the present invention is characterized in that the pseudo cubic {111} plane of each crystal grain constituting the polycrystal is oriented in one direction. here,
“Pseudo cubic {HKL}” generally means that a perovskite-type compound has a structure distorted from a cubic crystal such as tetragonal, orthorhombic, or trigonal. Means to display the Miller index. The degree of orientation of each crystal grain is specifically expressed by a crystal orientation degree Q (HKL) by a Lotgering method represented by the following equation (1).

【0023】[0023]

【数1】 (Equation 1)

【0024】但し、数1の式において、ΣI(hkl)
及びΣ’I(HKL)は、それぞれ、結晶配向セラミッ
クスについて測定されたすべての結晶面(hkl)から
のX線回折強度の総和、及び結晶学的に等価な特定の結
晶面(HKL)からのX線回折強度の総和である。一
方、ΣI(hkl)及びΣ’I(HKL)は、それ
ぞれ、結晶配向セラミックスと同一組成を有し、かつ無
配向の多結晶セラミックスについて測定されたすべての
結晶面(hkl)からのX線回折強度の総和、及び結晶
学的に等価な特定の結晶面(HKL)からのX線回折強
度の総和である。
However, in the equation (1), ΔI (hkl)
And Σ′I (HKL) are the sum of the X-ray diffraction intensities from all crystal planes (hkl) measured for the crystallographically-oriented ceramic and the crystallographically equivalent specific crystal plane (HKL), respectively. It is the sum of X-ray diffraction intensities. On the other hand, ΣI 0 (hkl) and Σ′I 0 (HKL) have the same composition as the crystallographically-oriented ceramic, respectively, and have X from all the crystal planes (hkl) measured for the non-oriented polycrystalline ceramic. The sum of the X-ray diffraction intensities and the sum of the X-ray diffraction intensities from a crystallographically equivalent specific crystal plane (HKL).

【0025】従って、数1の式は、各結晶粒が無配向で
ある場合には結晶配向度Q(HKL)が0%となり、す
べての結晶粒の{HKL}面が一方向に配向している場
合には100%となる。
Therefore, the equation (1) indicates that when each crystal grain is non-oriented, the degree of crystal orientation Q (HKL) is 0%, and the {HKL} planes of all the crystal grains are oriented in one direction. If there is, it becomes 100%.

【0026】本発明に係る結晶配向セラミックスの場
合、少なくとも、数1の式で表される擬立方{111}
面の結晶配向度Q(111)が0でないことが必要であ
る。低ヒステリシス及び高圧電定数の結晶配向セラミッ
クスを得るためには、擬立方{111}面の結晶配向度
Q(111)は、大きい程良い。
In the case of the crystallographically oriented ceramics according to the present invention, at least the pseudo cubic {111}
It is necessary that the crystal orientation degree Q (111) of the plane is not 0. In order to obtain a crystallographically-oriented ceramic having low hysteresis and high piezoelectric constant, the larger the degree of crystal orientation Q (111) of the pseudo-cubic {111} plane, the better.

【0027】さらに、多結晶セラミックスの密度は、一
般に、強度、破壊靱性等の機械的特性や、誘電率、圧電
定数等の電気的特性に影響を及ぼす。これらの点は、本
発明に係る結晶配向セラミックスも同様であり、焼結体
の相対密度が高くなるほど、良好な機械的特性及び圧電
特性が得られる。具体的には、結晶配向セラミックスの
相対密度は、95%以上が望ましい。
Further, the density of polycrystalline ceramics generally affects mechanical properties such as strength and fracture toughness, and electrical properties such as dielectric constant and piezoelectric constant. These points are the same for the crystal oriented ceramics according to the present invention. As the relative density of the sintered body increases, better mechanical properties and piezoelectric properties can be obtained. Specifically, the relative density of the crystallographically-oriented ceramic is desirably 95% or more.

【0028】次に、本発明に係る結晶配向セラミックス
の作用について説明する。BT単結晶の電界−歪み挙動
の方位依存性については、上述した「第16回強誘電体
応用会議予稿集P25−26」において詳細に検討され
ている。これによれば、BT単結晶を<001>方向に
分極処理した場合、正方向に印加した電界により分域構
造の再配列が容易に起こり、これによって電界−歪み挙
動に大きなヒステリシスが発生するのに対し、<111
>方向に分極処理した場合には、分域壁の移動が抑制さ
れ、これによって低電界下では電気歪みが印加電界に比
例し、かつ無ヒステリシスを示す。
Next, the operation of the grain oriented ceramics according to the present invention will be described. The orientation dependence of the electric field-strain behavior of the BT single crystal is discussed in detail in the above-mentioned "16th Ferroelectric Application Conference Proceedings P25-26". According to this, when the BT single crystal is polarized in the <001> direction, rearrangement of the domain structure easily occurs due to the electric field applied in the positive direction, thereby causing large hysteresis in the electric field-strain behavior. For <111
When the polarization treatment is performed in the> direction, the movement of the domain wall is suppressed, whereby the electric strain is proportional to the applied electric field and shows no hysteresis under a low electric field.

【0029】BT単結晶を<111>方向に分極処理し
て得られるこのような特異な性質は、複数の等価な自発
分極ベクトルが存在する方向に分極処理することによっ
て、BT単結晶内にエンジニアード−ドメイン構造と呼
ばれる特異な分域構造が導入されたためと考えられてい
る。
Such a unique property obtained by subjecting a BT single crystal to a polarization treatment in the <111> direction is achieved by performing a polarization treatment in a direction in which a plurality of equivalent spontaneous polarization vectors are present, so that the BT single crystal can be engineered in the BT single crystal. It is believed that a unique domain structure called an ard-domain structure was introduced.

【0030】本発明に係る結晶配向セラミックスにおい
て、低いヒステリシスと、高い圧電定数が得られるの
は、多結晶体を構成する各結晶粒の擬立方{111}面
を一方向に配向させることにより、BT単結晶を<11
1>方向に分極処理した場合とほぼ同様の分域構造を多
結晶セラミックス内部に導入することができ、これによ
って分域壁の移動が抑制されるためと考えられる。
In the crystallographically-oriented ceramic according to the present invention, low hysteresis and high piezoelectric constant can be obtained by orienting the pseudo-cubic {111} plane of each crystal grain constituting the polycrystal in one direction. BT single crystal <11
It is considered that a domain structure almost the same as that in the case where the polarization treatment was performed in the 1> direction can be introduced into the polycrystalline ceramic, thereby suppressing the movement of the domain wall.

【0031】次に、本発明に係る結晶配向セラミックス
製造用の板状粉末について説明する。ペロブスカイト型
化合物は、一般に、結晶格子の異方性が極めて小さいの
で、通常の焼結プロセスによって特定の結晶面が特定方
向に配向した多結晶体を作製するのは極めて困難であ
る。
Next, the plate-like powder for producing a crystallographically-oriented ceramic according to the present invention will be described. In general, the perovskite-type compound has extremely small anisotropy of the crystal lattice, so that it is extremely difficult to produce a polycrystal in which a specific crystal plane is oriented in a specific direction by a normal sintering process.

【0032】本発明は、この問題を解決するために、特
定の条件を満たす板状粉末を成形体中に配向させ、この
板状粉末をテンプレート(反応性結晶鋳型)として用い
てペロブスカイト型化合物の合成及びその焼結を行わ
せ、これによって多結晶体を構成する各結晶粒の擬立方
{111}面を一方向に配向させた点に特徴がある。
According to the present invention, in order to solve this problem, a plate-like powder satisfying specific conditions is oriented in a molded body, and the plate-like powder is used as a template (reactive crystal template) to prepare a perovskite-type compound. It is characterized in that the synthesis and sintering are performed, whereby the pseudo cubic {111} plane of each crystal grain constituting the polycrystal is oriented in one direction.

【0033】本発明に係る結晶配向セラミックスの製造
を可能とするためには、板状粉末は、以下の条件を満た
している必要がある。まず第1に、板状粉末は、成形時
に一方向に配向させることが容易な形状を有しているも
のでなければならない。そのためには、板状粉末の平均
アスペクト比は、3以上であることが望ましい。平均ア
スペクト比が3未満であると、成形時に板状粉末を一方
向に配向させるのが困難となるので好ましくない。板状
粉末の平均アスペクト比は、さらに好ましくは5以上で
ある。
In order to enable the production of the grain oriented ceramics according to the present invention, the plate-like powder must satisfy the following conditions. First, the plate-like powder must have a shape that can be easily oriented in one direction during molding. For that purpose, the average aspect ratio of the plate-like powder is desirably 3 or more. If the average aspect ratio is less than 3, it is difficult to orient the plate-like powder in one direction during molding, which is not preferable. The average aspect ratio of the plate-like powder is more preferably 5 or more.

【0034】第2に、板状粉末は、その発達面(最も広
い面積を占める面)がペロブスカイト型化合物の擬立方
{111}面と格子整合性を有している必要がある。所
定のアスペクト比を有する板状粉末であっても、その発
達面がペロブスカイト型化合物の擬立方{111}面と
格子整合性を有していない場合には、{111}面を配
向面とする結晶配向セラミックス製造用のテンプレート
として機能しないので好ましくない。
Second, it is necessary that the developed surface (the surface occupying the largest area) of the plate-like powder has lattice matching with the pseudo-cubic {111} plane of the perovskite-type compound. Even in the case of a plate-like powder having a predetermined aspect ratio, if the developed surface does not have lattice matching with the pseudocubic {111} plane of the perovskite-type compound, the {111} plane is regarded as the oriented plane. It is not preferable because it does not function as a template for producing crystallographically-oriented ceramics.

【0035】ここで、格子整合性とは、板状粉末の発達
面の格子寸法とペロブスカイト型化合物の擬立方{11
1}面の格子寸法の差を板状粉末の発達面の格子寸法で
割った値をいう。格子整合性の値が小さいほど、その板
状粉末は、良好なテンプレートとして機能することを示
す。格子整合性の値は、20%以下が好ましく、さらに
好ましくは10%以下である。
Here, the lattice matching means the lattice size of the developed surface of the plate-like powder and the pseudocubic {11 of the perovskite type compound.
It refers to the value obtained by dividing the difference in the lattice size of the 1} plane by the lattice size of the developed plane of the plate-like powder. A smaller value of the lattice matching indicates that the plate-like powder functions as a good template. The value of lattice matching is preferably 20% or less, and more preferably 10% or less.

【0036】なお、格子整合性とは、厳密には、板状粉
末と作製しようとする結晶配向セラミックスとの間の格
子整合性を意味するが、少なくともBa及びTiを含む
ペロブスカイト型化合物は、組成が変わっても格子定数
があまり大きく変化しないという性質がある。従って、
板状粉末の材質を選定するに際しては、BTの{11
1}面との間に格子整合性があるか否かの観点から判断
しても差し支えない。
Strictly speaking, the lattice matching means strictly the lattice matching between the plate-like powder and the crystallographically-oriented ceramic to be produced, and the perovskite compound containing at least Ba and Ti has a composition There is a property that the lattice constant does not change so much even if is changed. Therefore,
When selecting the material of the plate-like powder, BT
The determination may be made from the viewpoint of whether or not there is lattice matching with the 1} plane.

【0037】第3に、板状粉末は、後述するペロブスカ
イト生成原料と反応して、前述した化1の式に示す組成
を有するペロブスカイト型化合物の一部となるものでな
ければならない。従って、板状粉末そのものは、必ずし
もペロブスカイト型化合物である必要はない。また、板
状粉末は、化1の式で表されるペロブスカイト型化合物
に含まれる陽イオン元素のいずれか1以上を含む化合物
あるいは固溶体の中から選ばれることになる。
Third, the plate-like powder must react with a perovskite-forming raw material described later and become a part of a perovskite-type compound having a composition represented by the above-mentioned formula (1). Therefore, the plate-like powder itself does not necessarily need to be a perovskite compound. The plate-like powder is selected from a compound or a solid solution containing at least one of the cation elements contained in the perovskite compound represented by the formula (1).

【0038】第4に、本発明に係る結晶配向セラミック
スを安価に製造するためには、上述の条件を満たす板状
粉末もまた、安価に製造可能なものでなければならな
い。そのためには、板状粉末は、ペロブスカイト型化合
物の擬立方{111}面と格子整合性を有する結晶面
(以下、これを「特定結晶面」という。)の表面エネル
ギが他の結晶面の表面エネルギより小さい結晶構造を有
する材料からなっていることが望ましい。このような結
晶構造を有する材料は、原子の拡散が容易な液相中で合
成することにより、特定結晶面が広い面積を占める、い
わゆる「自形」の発達した板状粉末を容易に合成できる
ためである。
Fourth, in order to produce the grain oriented ceramics according to the present invention at low cost, a plate-like powder satisfying the above-mentioned conditions must also be able to be produced at low cost. For this purpose, the plate-like powder has a surface energy of a crystal plane having lattice matching with the pseudo-cubic {111} plane of the perovskite compound (hereinafter referred to as a “specific crystal plane”) that is a surface of another crystal plane. It is desirable to be made of a material having a crystal structure smaller than the energy. A material having such a crystal structure can easily synthesize a so-called "self-shaped" developed plate-like powder by synthesizing in a liquid phase in which atoms can be easily diffused, in which a specific crystal plane occupies a large area. That's why.

【0039】以上のような条件を満たす材料であれば、
いずれも本発明に係る結晶配向セラミックスを製造する
ためのテンプレートとして機能する。このような条件を
満たす材料としては、種々の化合物、固溶体が挙げられ
るが、中でも、BaTi 40(以下、これを
「B6T17」という。)は、{001}面の表面エネ
ルギが小さく、しかも、B6T17の{001}面とペ
ロブスカイト型化合物の擬立方{111}面との間に極
めて良好な格子整合性があるので、これを板状粉末とす
れば、極めて優れたテンプレートとして機能する。
If the material satisfies the above conditions,
Each of them functions as a template for producing the crystallographically-oriented ceramic according to the present invention. Such materials satisfying various compounds, but a solid solution. Among these, Ba 6 Ti 1 7 O 40 ( hereinafter referred to as "B6T17".), The surface energy of the {001} plane Since it is small and has a very good lattice matching between the {001} plane of B6T17 and the pseudo-cubic {111} plane of the perovskite-type compound, if this is a plate-like powder, it functions as an extremely excellent template. I do.

【0040】テンプレートとして好適な板状のB6T1
7粉末は、Ba:Ti=6:17である酸化物を生成可
能な原料(以下、これを「酸化物生成原料」という。)
を、液体又は加熱により液体となる物質と共に加熱する
ことにより容易に製造することができる。
A plate-like B6T1 suitable as a template
The 7 powder is a raw material capable of generating an oxide of Ba: Ti = 6: 17 (hereinafter referred to as “oxide generating raw material”).
Can be easily produced by heating together with a liquid or a substance which becomes liquid by heating.

【0041】板状のB6T17を合成するための最も有
効な方法は、酸化物生成原料を、フラックスと共に加熱
する方法(フラックス法)である。合成に使用する酸化
物生成原料は、Ba:Ti=6:17である酸化物を生
成可能なものであれば良く、特に限定されるものではな
い。具体的には、Ba及び/又はTiを含む酸化物粉
末、あるいは炭酸塩、硝酸塩等の塩類などが好適な一例
として挙げられる。
The most effective method for synthesizing plate-like B6T17 is a method of heating an oxide-forming raw material together with a flux (flux method). The oxide generation raw material used for the synthesis is not particularly limited as long as it can generate an oxide in which Ba: Ti = 6: 17. Specifically, an oxide powder containing Ba and / or Ti, or a salt such as a carbonate or a nitrate may be mentioned as a preferred example.

【0042】また、フラックスとしては、具体的には、
NaCl、KCl、NaClとKClの混合物、BaC
、KF等が好適な一例として挙げられる。但し、酸
化物生成原料の一つとしてBaCOを用いる場合、フ
ラックスとしてKClを用いると、BaClが生成し
て原料中のBaが消費されるので好ましくない。従っ
て、この場合は、KCl以外のフラックスを用いるとよ
い。また、反応性の点からは、フラックスは、NaCl
とKClの混合物よりもNaCl単相の方が望ましい。
また、BaClは、アルカリ不純物が混入しないフラ
ックスとして高純度のB6T17を作製するためには最
も好ましい。
As the flux, specifically,
NaCl, KCl, a mixture of NaCl and KCl, BaC
l 2 , KF and the like are mentioned as preferable examples. However, when BaCO 3 is used as one of the oxide generation raw materials, it is not preferable to use KCl as a flux because BaCl 2 is generated and Ba in the raw material is consumed. Therefore, in this case, a flux other than KCl may be used. From the viewpoint of reactivity, the flux is NaCl
NaCl single phase is more desirable than a mixture of KCl and KCl.
BaCl 2 is most preferable for producing high-purity B6T17 as a flux into which alkali impurities are not mixed.

【0043】例えば、酸化物生成原料としてBT粉末及
びTiO粉末を用い、フラックスとしてNaClを用
いる場合、BT粉末とTiO粉末とをモル比で6:1
1の割合で混合し、これにフラックスを加えて1000
℃から1300℃の温度で加熱すればよい。これによ
り、表面エネルギの低い{001}面が優先的に発達
し、アスペクト比の大きな板状のB6T17粉末を容易
に合成することができる。フラックスであるNaCl
は、温水の洗浄により除去できる。また、フラックスと
してBaClを用いる場合には、やはりBT粉末とT
iO粉末とをモル比で6:11の割合で混合し、これ
にフラックスを加えて1000℃〜1400℃の温度で
加熱すれば良い。フラックスとしてKFを用いる場合
も、BaClとほぼ同じ条件で良い。
[0043] For example, using a BT powder and a TiO 2 powder as the oxide yielding feedstock, when using NaCl as a flux, a BT powder and TiO 2 powder in a molar ratio of 6: 1
1 and mix with flux
What is necessary is just to heat at the temperature of 1300 degreeC. Thereby, the {001} plane having a low surface energy is preferentially developed, and a plate-like B6T17 powder having a large aspect ratio can be easily synthesized. NaCl which is a flux
Can be removed by washing with warm water. When BaCl 2 is used as the flux, BT powder and T
The iO 2 powder may be mixed at a molar ratio of 6:11, a flux may be added thereto, and the mixture may be heated at a temperature of 1000 ° C to 1400 ° C. When KF is used as the flux, the same conditions as those for BaCl 2 may be used.

【0044】また、テンプレートとして好適な板状のB
6T17粉末を合成するための他の有効な方法は、固相
反応法で合成した非板状のB6T17粉末を、アルカリ
水溶液と共にオートクレーブ中で加熱する方法(水熱合
成法)である。このような処理によっても、{001}
面が発達した板状のB6T17粉末を容易に合成するこ
とができる。
A plate-like B suitable as a template
Another effective method for synthesizing 6T17 powder is a method in which a non-plate-like B6T17 powder synthesized by a solid-phase reaction method is heated together with an alkaline aqueous solution in an autoclave (hydrothermal synthesis method). Even with such processing, {001}
A plate-like B6T17 powder with a developed surface can be easily synthesized.

【0045】次に、本発明に係る結晶配向セラミックス
の製造方法について説明する。本発明に係る結晶配向セ
ラミックスの製造方法は、混合工程と、成形工程と、焼
結工程とを備えている。
Next, a method for producing a crystallographically-oriented ceramic according to the present invention will be described. The method for producing a crystallographically-oriented ceramic according to the present invention includes a mixing step, a forming step, and a sintering step.

【0046】混合工程は、上述した板状粉末とペロブス
カイト生成原料とを混合する工程である。ペロブスカイ
ト生成原料は、後述する焼結工程において板状粉末と反
応してペロブスカイト型化合物となるものであれば良
い。
The mixing step is a step of mixing the above-mentioned plate-like powder with the perovskite-forming raw material. The perovskite-forming raw material may be any as long as it reacts with the plate-like powder in the sintering step described below to become a perovskite-type compound.

【0047】従って、ペロブスカイト生成原料の組成
は、使用する板状粉末の組成及び作製しようとするペロ
ブスカイト型化合物の組成に応じて定まる。また、ペロ
ブスカイト生成原料としては、酸化物粉末、複合酸化物
粉末(ペロブスカイト化合物粉末を含む)、炭酸塩、硝
酸塩、シュウ酸塩、酢酸塩などの塩、ゾル溶液、水溶液
等を用いることができる。
Therefore, the composition of the perovskite-forming raw material is determined according to the composition of the plate-like powder to be used and the composition of the perovskite-type compound to be produced. Further, as the perovskite generation raw material, oxide powder, composite oxide powder (including perovskite compound powder), salts such as carbonate, nitrate, oxalate and acetate, sol solution, aqueous solution and the like can be used.

【0048】なお、板状粉末とペロブスカイト生成原料
の配合比率は、作製しようとする結晶配向セラミックス
の要求特性に応じて任意に定めることができる。但し、
板状粉末の配合比率が小さすぎると、得られる焼結体の
配向度が低下するので好ましくない。また、板状粉末と
ペロブスカイト生成原料の混合は、乾式で行っても良
く、あるいは、水、アルコール等の適当な溶媒を加えて
湿式で行っても良い。また、この時、必要に応じてバイ
ンダ及び/又は可塑剤を加えても良い。
The mixing ratio between the plate-like powder and the perovskite-forming raw material can be arbitrarily determined according to the required characteristics of the crystallographically-oriented ceramic to be produced. However,
If the mixing ratio of the plate-like powder is too small, the degree of orientation of the obtained sintered body is undesirably reduced. In addition, the mixing of the plate-like powder and the perovskite-forming raw material may be performed in a dry manner, or may be performed in a wet manner by adding an appropriate solvent such as water or alcohol. At this time, a binder and / or a plasticizer may be added as needed.

【0049】成形工程は、混合工程で得られた混合物を
板状粉末が配向するように成形する工程である。成形方
法については、板状粉末の発達面が一方向に配向させる
ことが可能な方法であれば良く、特に限定されるもので
はない。具体的には、ドクターブレード法、押し出し、
プレス、圧延などが好適な一例として挙げられる。
The molding step is a step of molding the mixture obtained in the mixing step so that the plate-like powder is oriented. The molding method is not particularly limited as long as the developed surface of the plate-like powder can be oriented in one direction. Specifically, the doctor blade method, extrusion,
Pressing, rolling, and the like are preferred examples.

【0050】また、これらの方法により得られた板状粉
末が配向した成形体(以下、これを「配向成形体」とい
う。)の厚みを増したり、配向度を上げるために、配向
成形体に対し、さらに積層圧着、プレス、圧延などの処
理(以下、これを「配向処理」という。)を行っても良
い。この場合、配向成形体に対して、いずれか1種類の
配向処理を行っても良く、あるいは2種以上の配向処理
を行っても良い。また、配向成形体に対して、1種類の
配向処理を複数回繰り返し行っても良く、あるいは2種
以上の配向処理をそれぞれ複数回繰り返し行っても良
い。
Further, in order to increase the thickness of the molded body in which the plate-like powder obtained by these methods is oriented (hereinafter, referred to as “oriented molded body”) or to increase the degree of orientation, the oriented molded body is formed. On the other hand, processing such as lamination pressure bonding, pressing, and rolling (hereinafter, referred to as “orientation processing”) may be performed. In this case, any one type of orientation treatment may be performed on the oriented molded body, or two or more types of orientation treatment may be performed. Further, one type of alignment treatment may be repeatedly performed on the oriented molded body a plurality of times, or two or more types of alignment treatment may be repeated a plurality of times.

【0051】焼結工程は、成形工程で得られた配向成形
体を加熱することにより、ペロブスカイト化合物を合成
すると同時に、生成したペロブスカイト化合物を焼結さ
せる工程である。焼結温度は、作製しようとする結晶配
向セラミックスの組成に応じて最適な温度を選択すれば
よい。例えば、結晶配向セラミックスの組成がBT単相
である場合には、焼結は、1200℃以上の温度で行う
ことが望ましい。
The sintering step is a step of synthesizing a perovskite compound and sintering the generated perovskite compound by heating the oriented formed body obtained in the forming step. The optimum sintering temperature may be selected according to the composition of the crystallographically-oriented ceramic to be produced. For example, when the composition of the crystallographically-oriented ceramic is a BT single phase, it is desirable to perform sintering at a temperature of 1200 ° C. or higher.

【0052】また、焼結は、大気中で行っても良いが、
高い密度の焼結体を得るには、酸素雰囲気中で焼結する
ことが望ましい。これは、一般に焼結が進行し、焼結体
内部に孤立した気孔が形成されると、気孔内部に残留し
た雰囲気ガスによって焼結が阻害されるが、酸素雰囲気
中で焼結した場合には、気孔内に残留した酸素が粒界を
通って容易に外部に排出され、焼結を阻害しないためで
ある。
The sintering may be performed in the air,
In order to obtain a high-density sintered body, it is desirable to perform sintering in an oxygen atmosphere. This is because, generally, when sintering progresses and isolated pores are formed inside the sintered body, sintering is hindered by the atmospheric gas remaining inside the pores, but when sintering in an oxygen atmosphere, This is because oxygen remaining in the pores is easily discharged to the outside through the grain boundaries and does not hinder sintering.

【0053】なお、バインダを含む配向成形体の場合に
は、焼結工程の前に、脱脂を主目的とする熱処理を行っ
ても良い。この場合、熱処理の温度は、少なくともバイ
ンダを熱分解させるに十分な温度で行えばよい。
In the case of an oriented molded article containing a binder, a heat treatment mainly for degreasing may be performed before the sintering step. In this case, the heat treatment may be performed at least at a temperature sufficient to thermally decompose the binder.

【0054】また、脱脂を主目的とする熱処理を行った
場合、配向成形体中の板状粉末の配向度が低下する場合
がある。また、板状粉末とペロブスカイト生成原料がら
ペロブスカイト化合物が合成される際に、配向成形体の
膨れが発生する場合がある。このような配向度の低下、
あるいは配向成形体の膨れに起因する密度の低下を抑制
するためには、脱脂を主目的とする熱処理を行った後、
配向成形体に対して、さらに静水圧(CIP)処理を行
うことが望ましい。
When a heat treatment mainly for degreasing is performed, the degree of orientation of the plate-like powder in the oriented green body may decrease. In addition, when the perovskite compound is synthesized from the plate-like powder and the perovskite-forming raw material, the oriented molded body may swell. Such a decrease in the degree of orientation,
Or to suppress the decrease in density due to swelling of the oriented molded body, after performing a heat treatment mainly for degreasing,
It is desirable to further perform a hydrostatic pressure (CIP) treatment on the oriented molded body.

【0055】このCIP処理の前に行う熱処理の最適温
度は、結晶配向セラミックスの組成によって異なるが、
一般的には、ペロブスカイト化合物の合成反応が開始す
る温度より高く、かつ、緻密化が大きく進行する温度よ
り低いことが望ましい。例えば、結晶配向セラミックス
の組成がBT単相である場合、熱処理の温度は、800
℃〜1100℃の範囲が望ましい。
The optimum temperature of the heat treatment performed before the CIP treatment differs depending on the composition of the crystallographically-oriented ceramic.
In general, it is desirable that the temperature be higher than the temperature at which the synthesis reaction of the perovskite compound starts and lower than the temperature at which the densification greatly proceeds. For example, when the composition of the crystallographically-oriented ceramic is BT single phase, the temperature of the heat treatment is 800
C. to 1100.degree. C. is desirable.

【0056】次に、本発明に係る結晶配向セラミックス
の製造方法の作用について説明する。本発明に係る製造
方法は、板状粉末を出発原料として用いているので、板
状粉末に対して一方向から力が作用するような成形方法
を用いて成形すれば、力の作用する方向に向かって板状
粉末の発達面が配向した配向成形体を容易に得ることが
できる。また、得られた配向成形体に対して、さらに配
向処理を施せば、配向成形体中の板状粉末の配向度をさ
らに向上させることができる。
Next, the operation of the method for producing a crystallographically-oriented ceramic according to the present invention will be described. In the production method according to the present invention, since the plate-like powder is used as a starting material, if the plate-like powder is molded using a molding method in which a force acts on the plate-like powder in one direction, the force acts in the direction in which the force acts. An oriented molded body in which the developed surface of the plate-like powder is oriented can be easily obtained. Further, when the obtained oriented molded article is further subjected to an orientation treatment, the degree of orientation of the plate-like powder in the oriented molded article can be further improved.

【0057】また、板状粉末として、その発達面がペロ
ブスカイトの擬立方{111}面と格子整合性を有する
ものを用いているので、板状粉末とペロブスカイト生成
原料とを含む配向成形体を適当な温度で加熱すると、板
状粉末がテンプレートとして機能し、板状粉末の優先配
向方位を保持したままペロブスカイト化合物の合成、及
びその焼結が進行する。そのため、高い焼結体密度を有
し、しかも、擬立方{111}面の配向度の高い結晶配
向セラミックスを容易に得ることができる。
Further, since a plate-like powder whose developed surface has lattice matching with the pseudo-cubic {111} plane of perovskite is used, an oriented molded body containing the plate-like powder and a perovskite-forming raw material is suitably used. When heated at an appropriate temperature, the plate-like powder functions as a template, and synthesis and sintering of the perovskite compound proceeds while maintaining the preferred orientation direction of the plate-like powder. Therefore, it is possible to easily obtain a crystallographically-oriented ceramic having a high sintered body density and a high degree of orientation of the pseudo-cubic {111} plane.

【0058】[0058]

【実施例】(実施例1)フラックス法を用いて、結晶配
向セラミックス製造用板状B6T17粉末を作製した。
すなわち、BT粉末とTiO粉末をモル比で6:11
の割合で配合し、ボールミルで混合した。次いで、この
混合物と同じ重量のNaClを混合した後、これを白金
るつぼに入れ、1000℃から1300℃の温度で各1
時間加熱した。室温まで冷却した後の塊を繰り返し湯洗
して塩化物を除去し、合成粉末を得た。
EXAMPLES Example 1 A plate-like B6T17 powder for producing a crystallographically-oriented ceramic was produced by a flux method.
That is, the BT powder and the TiO 2 powder are mixed at a molar ratio of 6:11.
And mixed with a ball mill. Then, after mixing the same weight of NaCl as this mixture, put it in a platinum crucible, and at a temperature of 1000 ° C. to 1300 ° C. for 1 hour each.
Heated for hours. After cooling to room temperature, the lump was repeatedly washed with hot water to remove chlorides to obtain a synthetic powder.

【0059】合成粉末は、いずれもアスペクト比が3以
上の板状粉末になっていた。特に1100℃以上で合成
した粉末のアスペクト比は、5以上であった。これらの
うち、1150℃で合成した粉末のSEM写真を図1に
示す。図1(a)〜(b)は、同一試料について無作為
に選んだ三視野のSEM写真である。図1より、アスペ
クト比の大きい板状粉末が得られていることがわかる。
また、合成粉末に対してX線回折を行ったところ、いず
れの粉末も、ほぼ単相のB6T17であった。
Each of the synthetic powders was a plate-like powder having an aspect ratio of 3 or more. Particularly, the aspect ratio of the powder synthesized at 1100 ° C. or more was 5 or more. FIG. 1 shows an SEM photograph of the powder synthesized at 1150 ° C. FIGS. 1A and 1B are SEM photographs of three visual fields randomly selected for the same sample. FIG. 1 shows that a plate-like powder having a large aspect ratio was obtained.
Further, when X-ray diffraction was performed on the synthetic powder, each powder was almost single-phase B6T17.

【0060】(実施例2)フラックスとして、NaCl
とKClを1:1に混合した混合フラックスを用いた以
外は、実施例1と同一の条件下で、板状B6T17粉末
を合成した。得られた合成粉末は、いずれもアスペクト
比が3以上の板状粉末であった。また、合成粉末に対し
てX線回折を行ったところ、合成粉末には、B6T17
の他に副生成物が若干含まれていた。
(Example 2) NaCl was used as a flux.
A plate-like B6T17 powder was synthesized under the same conditions as in Example 1 except that a mixed flux of 1: 1 and KCl was used. Each of the obtained synthetic powders was a plate-like powder having an aspect ratio of 3 or more. When X-ray diffraction was performed on the synthetic powder, the synthetic powder showed B6T17
In addition, some by-products were contained.

【0061】(実施例3)フラックスとしてBaCl
を用いた以外は、実施例1と同一の条件下で、板状B6
T17粉末を合成した。得られた合成粉末は、いずれも
アスペクト比が3以上の板状粉末であった。また、合成
粉末に対してX線回折を行ったところ、いずれの粉末
も、ほぼ単相のB6T17であった。
Example 3 BaCl 2 was used as a flux.
Plate-like B6 under the same conditions as in Example 1 except that
T17 powder was synthesized. Each of the obtained synthetic powders was a plate-like powder having an aspect ratio of 3 or more. Further, when X-ray diffraction was performed on the synthetic powder, each powder was almost single-phase B6T17.

【0062】(実施例4)水熱合成法を用いて、結晶配
向セラミックス製造用板状B6T17粉末を作製した。
すなわち、BaCOとTiOをモル比で6:17の
割合で配合し、ボールミル混合した。これを1300℃
で4時間加熱して、等軸状のB6T17粉末を得た。こ
れを脱炭酸処理したKOH水溶液に入れ、テフロン被覆
した圧力容器中に封入し、180℃に加熱することによ
り板状のB6T17粉末を得た。得られた板状粉末のア
スペクト比は、5以上であった。
Example 4 A plate-like B6T17 powder for producing a crystallographically-oriented ceramic was produced by a hydrothermal synthesis method.
That is, BaCO 3 and TiO 2 were mixed at a molar ratio of 6:17 and mixed with a ball mill. This is 1300 ° C
For 4 hours to obtain equiaxed B6T17 powder. This was placed in a decarbonated KOH aqueous solution, sealed in a Teflon-coated pressure vessel, and heated to 180 ° C. to obtain a plate-like B6T17 powder. The aspect ratio of the obtained plate-like powder was 5 or more.

【0063】(実施例5)実施例1で得られた板状のB
6T17粉末を用いて、結晶配向セラミックスを作製し
た。すなわち、板状B6T17粉末とBaCO粉末を
モル比で1:11の割合で配合し、これをエタノール及
びアセトンと共にボールミルに入れ、ボールミルで湿式
混合した。所定時間経過後、バインダ(ポリブチルアル
コール)と可塑剤(フタル酸ジブチル)を加えて、さら
にボールミルで湿式混合した。得られたスラリーを用い
て、ドクターブレード装置にてテープ成形した。
(Example 5) The plate-like B obtained in Example 1
Crystal oriented ceramics were produced using 6T17 powder. That is, a plate-like B6T17 powder and a BaCO 3 powder were mixed at a molar ratio of 1:11, and this was put into a ball mill together with ethanol and acetone, and wet-mixed with a ball mill. After a lapse of a predetermined time, a binder (polybutyl alcohol) and a plasticizer (dibutyl phthalate) were added and further wet-mixed with a ball mill. Using the obtained slurry, a tape was formed by a doctor blade device.

【0064】乾燥後のテープを積層して80℃で圧着し
た後、ロールプレス機で圧延を行い、厚さ約1mmの配
向成形体とした。この配向成形体を800℃で2時間熱
処理した後、300MPaのCIP処理を行い、さらに
大気中1300℃で4時間加熱し、結晶配向セラミック
スを得た。
After laminating the dried tapes and pressing them at 80 ° C., they were rolled by a roll press machine to obtain oriented molded articles having a thickness of about 1 mm. After heat-treating the oriented molded body at 800 ° C. for 2 hours, it was subjected to a 300 MPa CIP treatment, and further heated in air at 1300 ° C. for 4 hours to obtain a crystal oriented ceramic.

【0065】この結晶配向セラミックスのテープ面と平
行な面に対してX線回折を行ったところ、図2(a)の
ような回折パターンが得られた。単相のBTであり、図
2(c)に示す無配向のBTセラミックスの回折パター
ンに比べて、(111)面の回折ピークが相対的に高い
ことがわかる。このパターンから計算したLotger
ingの{111}配向度は、0.39であった。ま
た、得られた結晶配向セラミックスの相対密度は86%
であった。
When X-ray diffraction was performed on a plane parallel to the tape surface of the crystallographically-oriented ceramic, a diffraction pattern as shown in FIG. 2A was obtained. It is a single-phase BT, and it can be seen that the diffraction peak of the (111) plane is relatively higher than the diffraction pattern of the non-oriented BT ceramic shown in FIG. Lotger calculated from this pattern
The {111} orientation degree of ing was 0.39. The relative density of the obtained crystallographically-oriented ceramic is 86%.
Met.

【0066】(実施例6)実施例1で得られた板状B6
T17粉末、BaCO粉末、及び市販のBT粉末(平
均粒径0.1μm)をモル比で1:11:17の割合で
配合にしたものを出発原料として用いた以外は、実施例
5と同一の条件下で、結晶配向セラミックスを作製し
た。ただし、CIP処理の前に行う熱処理は、1000
℃で2時間行った。
(Example 6) The plate-like B6 obtained in Example 1
Same as Example 5 except that a mixture of T17 powder, BaCO 3 powder, and commercially available BT powder (average particle size: 0.1 μm) at a molar ratio of 1:11:17 was used as a starting material. Under these conditions, a crystallographically-oriented ceramic was produced. However, the heat treatment performed before the CIP treatment is 1000
C. for 2 hours.

【0067】この結晶配向セラミックスのテープ面と平
行な面に対してX線回折を行ったところ、図2(b)に
示すような回折パターンが得られた。単相のBTであ
り、図2(c)に示す無配向のBTセラミックスの回折
パターンに比べて、(111)面の回折ピークが相対的
に高いことがわかる。このパターンから計算したLot
geringの{111}配向度は、0.63であっ
た。また、得られた結晶配向セラミックスの相対密度は
93%であった。
When X-ray diffraction was performed on a plane parallel to the tape surface of the crystallographically-oriented ceramic, a diffraction pattern as shown in FIG. 2B was obtained. It is a single-phase BT, and it can be seen that the diffraction peak of the (111) plane is relatively higher than the diffraction pattern of the non-oriented BT ceramic shown in FIG. Lot calculated from this pattern
The {111} orientation degree of Gering was 0.63. Further, the relative density of the obtained crystal oriented ceramics was 93%.

【0068】(実施例7)実施例1で得られた板状B6
T17粉末、BaCO粉末、及び固相合成したBNT
粉末(平均粒径0.3μm)をモル比で1:11:17
の割合で配合したものを出発原料とした以外は、実施例
5と同一の条件下で、厚さ約1mmの配向成形体を作製
した。この配向成形体を800℃で2時間熱処理した
後、300MPaのCIP処理を行い、さらに酸素雰囲
気中1200℃で10時間加熱し、結晶配向セラミック
スを得た。
(Example 7) Plate B6 obtained in Example 1
T17 powder, BaCO 3 powder and solid phase synthesized BNT
Powder (average particle size: 0.3 μm) in a molar ratio of 1:11:17
An oriented molded body having a thickness of about 1 mm was produced under the same conditions as in Example 5 except that the starting material was used as a starting material. After heat-treating this oriented molded body at 800 ° C. for 2 hours, it was subjected to a 300 MPa CIP treatment, and further heated in an oxygen atmosphere at 1200 ° C. for 10 hours to obtain a crystal oriented ceramic.

【0069】この結晶配向セラミックスのテープ面と平
行な面に対してX線回折を行ったところ、ペロブスカイ
ト単相であり、同一組成の無配向セラミックスに比べ
て、(111)面の回折ピークが相対的に高くなってい
た。このパターンから計算したLotgeringの
{111}配向度は、0.57であった。また、得られ
た結晶配向セラミックスの相対密度は98%であった。
When X-ray diffraction was performed on a plane parallel to the tape surface of the crystallographically-oriented ceramic, the diffraction peak of the (111) plane was relatively higher than that of a non-oriented ceramic having the same composition of perovskite. Was high. The Lotgering {111} orientation degree calculated from this pattern was 0.57. Further, the relative density of the obtained crystal oriented ceramics was 98%.

【0070】(実施例8)実施例3で得られた板状B6
T17粉末、BaCO粉末、及び市販のBT粉末(平
均粒径0.1μm)をモル比で1:11:34の割合で
配合したものを出発原料とした以外は、実施例5と同一
の条件下で、厚さ約1mmの配向成形体を作製した。こ
の配向成形体を900℃で2時間熱処理した後、300
MPaのCIP処理を行い、さらに酸素雰囲気中135
0℃で10時間加熱し、結晶配向セラミックスを得た。
(Example 8) The plate-like B6 obtained in Example 3
The same conditions as in Example 5 except that the starting material was a mixture of T17 powder, BaCO 3 powder, and commercially available BT powder (average particle size: 0.1 μm) at a molar ratio of 1:11:34. Below, an oriented molded body having a thickness of about 1 mm was produced. After heat treating the oriented molded body at 900 ° C. for 2 hours,
CIP treatment of MPa is performed, and further performed in an oxygen atmosphere at 135.
Heating was performed at 0 ° C. for 10 hours to obtain a crystallographically-oriented ceramic.

【0071】この結晶配向セラミックスのテープ面と平
行な面に対してX線回折を行ったところ、単相のBTで
あり、無配向のBTセラミックスに比べて、(111)
面の回折ピークが相対的に高くなっていた。このパター
ンから計算したLotgeringの{111}配向度
は、0.70であった。また、得られた結晶配向セラミ
ックスの相対密度は99%であった。
When X-ray diffraction was performed on a plane parallel to the tape surface of the crystallographically-oriented ceramic, it was a single-phase BT.
The diffraction peak on the surface was relatively high. The Lotgering {111} orientation degree calculated from this pattern was 0.70. The relative density of the obtained crystallographically-oriented ceramic was 99%.

【0072】このプレート状焼結体から配向面が平面に
なるように円板状試料を作製し、平面に銀電極を設けて
分極処理を行った。次いで、正方向に5×10V/m
の電界を加えて歪を測定した。結果を図3(a)に示
す。得られた結晶配向セラミックスは、d33=212
pm/Vであり、図3(a)に示すようにヒステリシス
は観察されなかった。
A disk-shaped sample was prepared from the plate-shaped sintered body so that the orientation plane was plane, and a silver electrode was provided on the plane, and polarization treatment was performed. Then, 5 × 10 5 V / m in the positive direction
Was applied to measure the strain. The results are shown in FIG. The obtained crystallographically-oriented ceramic has d 33 = 212.
pm / V, and no hysteresis was observed as shown in FIG.

【0073】(比較例1)無配向のBTセラミックスか
ら同様に円板状試料を作製し、平面に銀電極を設けて分
極処理を行った。次いで、正方向に5×10V/mの
電界を加えて歪を測定した。結果を図3(b)に示す。
無配向のBTセラミックスは、d33=186pm/V
であり、図3(b)に示すようにヒステリシスが観察さ
れた。
(Comparative Example 1) A disc-shaped sample was prepared in the same manner from non-oriented BT ceramics, and a silver electrode was provided on a plane, and polarization treatment was performed. Next, an electric field of 5 × 10 5 V / m was applied in the positive direction, and the strain was measured. The results are shown in FIG.
Non-oriented BT ceramics have d 33 = 186 pm / V
And hysteresis was observed as shown in FIG.

【0074】以上、本発明の実施の形態について詳細に
説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しないで種々の改変
が可能である。
Although the embodiments of the present invention have been described in detail, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

【0075】例えば、上記実施例では、焼結法として常
圧焼結法が用いられているが、常圧焼結後にHIP処理
を施し、焼結体をさらに緻密化させるようにしても良
い。また、常圧焼結法に代えて、ホットプレス法を用い
て焼結しても良い。特に、ホットプレス法を用いた場合
には、結晶配向セラミックスがさらに緻密化されること
に加え、焼結時の一軸加圧によって焼結体の{111}
配向度をさらに向上させることができる。
For example, in the above-described embodiment, the normal pressure sintering method is used as the sintering method. However, after the normal pressure sintering, HIP processing may be performed to further densify the sintered body. Further, sintering may be performed by using a hot press method instead of the normal pressure sintering method. In particular, when the hot press method is used, the crystallographically oriented ceramics are further densified, and the {111}
The degree of orientation can be further improved.

【0076】また、上記実施例では、ドクターブレード
法を用いて作製した同一組成のテープを積層して配向成
形体を作製しているが、異なる組成のテープを積層して
配向成形体とし、これを焼結しても良い。また、生産技
術面では、押し出し成形法による配向成形体の作製は、
低コストのためさらに望ましい。
In the above embodiment, tapes of the same composition produced by the doctor blade method are laminated to produce an oriented molded article. Tapes of different compositions are laminated to form an oriented molded article. May be sintered. In terms of production technology, the production of oriented molded products by extrusion molding is
More desirable due to low cost.

【0077】さらに、上記実施例では、BT単相あるい
はBTとBNTの固溶体に対して本発明を適用した例に
ついて説明したが、BTと他のペロブスカイト型化合物
の固溶体に対しても同様に本発明を適用することがで
き、これにより上記実施の形態と同様の効果を得ること
ができる。
Further, in the above embodiment, an example was described in which the present invention was applied to a single solution of BT or a solid solution of BT and BNT. However, the present invention was similarly applied to a solid solution of BT and another perovskite compound. Can be applied, whereby the same effect as in the above embodiment can be obtained.

【0078】[0078]

【発明の効果】本発明に係る結晶配向セラミックスは、
少なくともBaとTiとを含むペロブスカイト型化合物
の多結晶体からなり、該多結晶体を構成する各結晶粒の
擬立方{111}面が配向しているので、分域反転が抑
制されるという効果がある。また、これによって低電界
下でヒステリシスが小さく、しかも圧電定数が大きくな
るという効果がある。
The crystal oriented ceramics according to the present invention is
It is composed of a polycrystal of a perovskite-type compound containing at least Ba and Ti, and the pseudo-cubic {111} plane of each crystal grain constituting the polycrystal is oriented, so that domain inversion is suppressed. There is. This also has the effect of reducing the hysteresis under a low electric field and increasing the piezoelectric constant.

【0079】また、本発明に係る結晶配向セラミックス
の製造方法は、その発達面がペロブスカイト型化合物の
擬立方{111}面と格子整合性を有する板状粉末と、
該板状粉末と反応してペロブスカイト型化合物となるペ
ロブスカイト生成原料とを混合する混合工程と、該混合
工程で得られた混合物を前記板状粉末が配向するように
成形する成形工程と、該成形工程で得られた成形体を加
熱する焼結工程とを備えているので、成形体中で配向し
ている板状粉末がペロブスカイト型化合物のテンプレー
トとして機能し、擬立方{111}面が配向した結晶配
向セラミックスを容易に得ることができるという効果が
ある。
Further, according to the method for producing a crystallographically oriented ceramic according to the present invention, there is provided a plate-like powder whose developed surface has lattice matching with the pseudocubic {111} plane of the perovskite-type compound;
A mixing step of mixing a perovskite-forming raw material that reacts with the plate-like powder to become a perovskite-type compound; a molding step of forming the mixture obtained in the mixing step so that the plate-like powder is oriented; And a sintering step of heating the molded body obtained in the step, so that the plate-like powder oriented in the molded body functions as a template of the perovskite compound, and the pseudo-cubic {111} plane is oriented. There is an effect that crystal-oriented ceramics can be easily obtained.

【0080】さらに、本発明に係る結晶配向セラミック
ス製造用板状BaTi1740粉末の製造方法は、
Ba:Ti=6:17である酸化物を生成可能な原料
を、液体又は加熱により液体となる物質と共に加熱する
ので、ペロブスカイト型化合物の擬立方{111}面と
格子整合性を有する{001}面が発達した板状粉末が
容易に得られるという効果がある。
Further, the method for producing a plate-like Ba 6 Ti 17 O 40 powder for producing a crystallographically oriented ceramic according to the present invention is as follows.
Since a raw material capable of producing an oxide having Ba: Ti = 6: 17 is heated together with a liquid or a substance which becomes liquid by heating, {001} having lattice matching with the pseudocubic {111} plane of the perovskite compound. There is an effect that a plate-like powder having a developed surface can be easily obtained.

【0081】以上のように、本発明によれば、低電界下
における圧電特性に優れた圧電材料が安価な製造プロセ
スにて得られるので、これを例えば、バイモルフ圧電素
子、振動ピックアップ、圧電マイクロホン、圧電アクチ
ュエータ等の各種の変換素子に応用すれば、変換素子の
小型化、高出力化に寄与するものであり、産業上その効
果の極めて大きい発明である。
As described above, according to the present invention, a piezoelectric material having excellent piezoelectric characteristics under a low electric field can be obtained by an inexpensive manufacturing process. For example, a piezoelectric material such as a bimorph piezoelectric element, a vibration pickup, a piezoelectric microphone, When applied to various conversion elements such as piezoelectric actuators, the invention contributes to downsizing and high output of the conversion element, and is an invention that has an extremely large industrial effect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】1150℃で合成された板状B6T17粉末の
図面代用写真(同一粉末について三視野)である。
FIG. 1 is a drawing substitute photograph (three visual fields for the same powder) of a plate-like B6T17 powder synthesized at 1150 ° C.

【図2】図2(a)及び図2(b)は、それぞれ、実施
例5及び実施例6で得られた結晶配向セラミックスのX
線回折パターンであり、図2(c)は、無配向BTのX
線回折パターンである。
FIGS. 2 (a) and 2 (b) show X of the crystallographically-oriented ceramic obtained in Example 5 and Example 6, respectively.
FIG. 2C shows the X-ray diffraction pattern of the non-oriented BT.
It is a line diffraction pattern.

【図3】図3(a)は、実施例8で得られた結晶配向セ
ラミックスの電界−歪み挙動を示す図であり、図3
(b)は、比較例1で得られた無配向BTの電界−歪み
挙動を示す図である。
FIG. 3A is a view showing an electric field-strain behavior of the crystallographically-oriented ceramic obtained in Example 8, and FIG.
(B) is a diagram showing the electric field-strain behavior of the non-oriented BT obtained in Comparative Example 1.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 敏夫 神奈川県横浜市港北区下田町2−1−20 Fターム(参考) 4G031 AA06 AA11 BA10 CA01 CA02 CA04 GA07 4G077 AA07 AB02 BB04 BB10 BC42 CC02 EC04 FE11 GA03 GA06 HA11  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Toshio Kimura 2-1-20 Shimoda-cho, Kohoku-ku, Yokohama-shi, Kanagawa F-term (reference) 4G031 AA06 AA11 BA10 CA01 CA02 CA04 GA07 4G077 AA07 AB02 BB04 BB10 BC42 CC02 EC04 FE11 GA03 GA06 HA11

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくともBaとTiとを含むペロブス
カイト型化合物の多結晶体からなり、該多結晶体を構成
する各結晶粒の擬立方{111}面が配向していること
を特徴とする結晶配向セラミックス。
1. A crystal comprising a polycrystal of a perovskite-type compound containing at least Ba and Ti, wherein the pseudo-cubic {111} plane of each crystal grain constituting the polycrystal is oriented. Oriented ceramics.
【請求項2】 その発達面がペロブスカイト型化合物の
擬立方{111}面と格子整合性を有する板状粉末と、
該板状粉末と反応してペロブスカイト型化合物となるペ
ロブスカイト生成原料とを混合する混合工程と、 該混合工程で得られた混合物を前記板状粉末が配向する
ように成形する成形工程と、 該成形工程で得られた成形体を加熱する焼結工程とを備
えていることを特徴とする結晶配向セラミックスの製造
方法。
2. A plate-like powder having a lattice matching with a pseudocubic {111} plane of a perovskite compound,
A mixing step of mixing a perovskite-forming raw material that reacts with the plate-like powder to become a perovskite-type compound; a molding step of forming the mixture obtained in the mixing step so that the plate-like powder is oriented; And a sintering step of heating the compact obtained in the step.
【請求項3】 Ba:Ti=6:17である酸化物を生
成可能な原料を、液体又は加熱により液体となる物質と
共に加熱することを特徴とする結晶配向セラミックス製
造用板状BaTi1740粉末の製造方法。
3. A plate-shaped Ba 6 Ti 17 for producing crystallographically-oriented ceramics, wherein a raw material capable of producing an oxide of Ba: Ti = 6: 17 is heated together with a liquid or a substance which becomes liquid by heating. Method for producing O 40 powder.
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