JP2001083348A - Package structure for mounting quartz waveguide - Google Patents

Package structure for mounting quartz waveguide

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JP2001083348A
JP2001083348A JP25595299A JP25595299A JP2001083348A JP 2001083348 A JP2001083348 A JP 2001083348A JP 25595299 A JP25595299 A JP 25595299A JP 25595299 A JP25595299 A JP 25595299A JP 2001083348 A JP2001083348 A JP 2001083348A
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Japan
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package
stress
mounting
quartz
waveguide
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JP25595299A
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Japanese (ja)
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Kenichi Morosawa
健一 諸沢
Masayuki Shida
真之 志田
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Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress deviation of the center wavelength characteristics in an array waveguide diffraction grating formed by a quartz waveguide, by connecting a first package with an attaching part through a stress absorbing means and thereby preventing the stress from being propagated to the fixed quartz waveguide. SOLUTION: The attaching part 8 is connected to the first package 4 through the stress absorbing means 10 constituted of a corrugated plate material. Because of this connection, when a mechanical stress is generated in the attaching part 8 due to a minute dimensional errors, warpage or the like of each package, the stress is relaxed and absorbed by the deformation of the corrugated stress absorbing means 10, in screw-fixing the first package 4 to a second package 6. As a result, the stress can be reduced which is propagated to the first package 4 and the array waveguide diffraction grating 2 of the quartz waveguide 3 fixed on the first package 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、石英系導波路に関
するものであり、特にアレイ導波路回折格子を用いた波
長多重用光合分波器に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a silica-based waveguide, and more particularly to an optical multiplexer / demultiplexer for wavelength multiplexing using an arrayed waveguide diffraction grating.

【0002】[0002]

【従来の技術】一本の光ファイバで、波長が約1nmの
間隔で異なる複数の信号光を多重化して伝送する高密度
波長多重伝送システムでは、複数の信号光を合分波する
ための光合分波器が用いられる。
2. Description of the Related Art In a high-density wavelength division multiplexing transmission system for multiplexing and transmitting a plurality of signal lights having different wavelengths at intervals of about 1 nm with one optical fiber, an optical multiplexing system for multiplexing / demultiplexing a plurality of signal lights is used. A duplexer is used.

【0003】図4に、高密度波長多重伝送システムを示
す。
FIG. 4 shows a high-density wavelength division multiplexing transmission system.

【0004】図4に示すように、高密度波長多重伝送シ
ステム30は、λ1〜λnの異なる波長をもつ複数の信
号光31を光合分波器32によって合分波している。
As shown in FIG. 4, a high-density wavelength division multiplexing transmission system 30 multiplexes and demultiplexes a plurality of signal lights 31 having different wavelengths from λ1 to λn by an optical multiplexer / demultiplexer 32.

【0005】ここで、図5を用いて石英系材料からなる
アレイ導波路回折格子を用いた光合分波器32を説明す
る。
Here, an optical multiplexer / demultiplexer 32 using an arrayed waveguide diffraction grating made of a quartz material will be described with reference to FIG.

【0006】図5に示すように光合分波器32は、石英
基板35上に石英系の材料からなるアレイ導波路回折格
子36とスラブ導波路37が形成される構造となってい
る。
As shown in FIG. 5, the optical multiplexer / demultiplexer 32 has a structure in which an arrayed waveguide diffraction grating 36 and a slab waveguide 37 made of a quartz material are formed on a quartz substrate 35.

【0007】アレイ導波路回折格子36は複数の導波路
38が、各々の光路長が一定の長さΔL(一般に数十ミ
クロン程度)だけ異なるように並行して形成され、スラ
ブ導波路37から入射した信号光が各々の導波路38を
伝搬する際に、光路長差ΔLに対するそれぞれの波長の
位相差を利用して波長毎に分離するものである。
In the arrayed waveguide diffraction grating 36, a plurality of waveguides 38 are formed in parallel such that the optical path lengths are different by a fixed length ΔL (generally about several tens of microns). When the signal light propagates through each of the waveguides 38, the signal light is separated for each wavelength by using a phase difference of each wavelength with respect to the optical path length difference ΔL.

【0008】アレイ導波路回折格子36は、高密度に多
重化された信号光を合分波するため、高精度な中心波長
特性が要求される。
The array waveguide diffraction grating 36 is required to have a highly accurate center wavelength characteristic in order to multiplex and demultiplex signal light multiplexed at high density.

【0009】一般的に、このアレイ導波路回折格子36
の中心波長の許容ずれ量は、25年間で±0.1nm以
内である。
Generally, the arrayed waveguide diffraction grating 36
Is within ± 0.1 nm for 25 years.

【0010】次に、図6を用いて、従来の光合分波器等
の石英系導波路実装用パッケージ構造を説明する。
Next, a package structure for mounting a silica-based waveguide such as a conventional optical multiplexer / demultiplexer will be described with reference to FIG.

【0011】図6に示すように、石英系導波路実装用パ
ッケージ構造40は、光合分波器32をその上面に接着
剤で接着固定するための第1パッケージ41と、その第
1パッケージ41の下面に接着固定されているヒータ4
2と、ヒータ42および第1パッケージ41を固定する
と共に、光合分波器32をつつみ込むための第2パッケ
ージ43とで形成する二重構造が用いられている。
As shown in FIG. 6, a package structure 40 for mounting a silica-based waveguide includes a first package 41 for bonding and fixing an optical multiplexer / demultiplexer 32 to an upper surface thereof with an adhesive, and a first package 41 of the first package 41. Heater 4 adhesively fixed to the lower surface
2 and a second package 43 for fixing the heater 42 and the first package 41 and enclosing the optical multiplexer / demultiplexer 32.

【0012】第1パッケージ41の第2パッケージ43
への固定は、第2パッケージ43に設けられた台座46
と第1パッケージ41に設けられた取付け部47を使用
してネジ止めにより固定する。
The second package 43 of the first package 41
Is fixed to the pedestal 46 provided on the second package 43.
And the fixing part 47 provided on the first package 41 is used for fixing by screwing.

【0013】また、第2パッケージ43には、両端に入
力用および出力用の光ファイバ44の導入部45が設け
られている。
The second package 43 is provided at both ends with introduction portions 45 for input and output optical fibers 44.

【0014】前述したように、光合分波器のアレイ導波
路回折格子は、高密度に多重化された信号光を合分波す
るため、高精度な中心波長特性が要求されるが、石英系
材料は、温度に応じて屈折率が変化する(0.01nm
/℃)温度依存性があるため、石英系材料を使用した光
合分波器では温度の変化によって屈折率が変化し、アレ
イ導波路回折格子の中心波長特性も変動する問題があっ
た。
As described above, the array waveguide diffraction grating of the optical multiplexer / demultiplexer is required to have a high-accuracy center wavelength characteristic in order to multiplex / demultiplex the signal light multiplexed at high density. The refractive index of the material changes according to the temperature (0.01 nm).
/ ° C.) Due to the temperature dependence, the optical multiplexer / demultiplexer using a quartz-based material has a problem that the refractive index changes due to a change in temperature, and the center wavelength characteristic of the arrayed waveguide diffraction grating also fluctuates.

【0015】そこで、第1パッケージ41の下面に接着
したヒータ42に、外部から電力を供給して、光合分波
器32を周囲温度より高い一定温度に保持して使用して
いる。
Therefore, power is supplied from the outside to the heater 42 bonded to the lower surface of the first package 41, and the optical multiplexer / demultiplexer 32 is used at a constant temperature higher than the ambient temperature.

【0016】また、第1パッケージ41を第2パッケー
ジ43の内側に固定する二重構造を用いたことにより断
熱性を高めている。
Further, the use of a double structure in which the first package 41 is fixed inside the second package 43 improves heat insulation.

【0017】ここで、図7、図8を用いて、第1パッケ
ージ41を第2パッケージ43に固定するための取付け
部を説明する。
Here, a mounting portion for fixing the first package 41 to the second package 43 will be described with reference to FIGS.

【0018】図7の構造では、第1パッケージ41の光
合分波器を接着固定する固定部50の周辺の四隅に取付
け穴51を形成して、その取付け穴51を使用して第2
パッケージの台座にネジ止め固定するものである。
In the structure shown in FIG. 7, mounting holes 51 are formed at four corners around a fixing portion 50 of the first package 41 for adhering and fixing the optical multiplexer / demultiplexer.
It is screwed and fixed to the base of the package.

【0019】また、図8の構造では、第1パッケージ4
1の四隅に第1パッケージ41から突出して取付け部5
2を形成して、その取付け部52に取付け穴53を形成
し、その取付け穴53を使用して第2パッケージの台座
にネジ止め固定するものである。
In the structure of FIG. 8, the first package 4
At the four corners 1, the mounting portions 5 protruding from the first package 41.
2, a mounting hole 53 is formed in the mounting portion 52, and the mounting hole 53 is used to fix the screw to the pedestal of the second package.

【0020】[0020]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図7、
図8に示したような取付け部の構造では、第1パッケー
ジ41を第2パッケージ43にネジ止めする際に、各々
のパッケージの微小な寸法誤差や反りなどによって、取
り付け部で機械的な応力が発生した場合、その応力が第
1パッケージ41に加わってしまう問題があった。
However, FIG.
In the structure of the mounting portion as shown in FIG. 8, when the first package 41 is screwed to the second package 43, a mechanical stress is generated in the mounting portion due to a minute dimensional error or warpage of each package. When it occurs, there is a problem that the stress is applied to the first package 41.

【0021】第1パッケージ41には、光合分波器32
等の石英系導波路が接着固定されているため、第1パッ
ケージ41に加わった応力は、光合分波器32にも伝わ
り、その内部で歪みが発生して実効的な屈折率が変化し
てしまう。
The first package 41 includes an optical multiplexer / demultiplexer 32
Since the quartz-based waveguide such as is bonded and fixed, the stress applied to the first package 41 is also transmitted to the optical multiplexer / demultiplexer 32, which generates distortion therein and changes the effective refractive index. I will.

【0022】光合分波器32に外部応力が加わって実効
的な屈折率が変化すると、光合分波器32のアレイ導波
路回折格子36の中心波長特性が変動してしまう問題が
あった。
When an external stress is applied to the optical multiplexer / demultiplexer 32 to change the effective refractive index, there is a problem that the center wavelength characteristic of the arrayed waveguide diffraction grating 36 of the optical multiplexer / demultiplexer 32 fluctuates.

【0023】より具体的には、第1パッケージ41を第
2パッケージ43に固定する際に、アレイ導波路回折格
子36の中心波長特性が−0.03nm〜+0.03n
mずれてしまう問題があった。
More specifically, when fixing the first package 41 to the second package 43, the center wavelength characteristic of the arrayed waveguide diffraction grating 36 is -0.03 nm to + 0.03n.
m.

【0024】また、パッケージを組み立てた状態で、周
囲温度が変化することによって第2パッケージ43が伸
縮した場合、取付け部を通じて機械的な応力が第1パッ
ケージ41および第1パッケージ41に固定されている
光合分波器32に伝わり、アレイ導波路回折格子36の
中心波長特性が変動してしまう問題があった。
When the second package 43 expands and contracts due to a change in ambient temperature in a state where the package is assembled, mechanical stress is fixed to the first package 41 and the first package 41 through the mounting portion. There is a problem that the center wavelength characteristic of the arrayed waveguide diffraction grating 36 fluctuates when transmitted to the optical multiplexer / demultiplexer 32.

【0025】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、パッケージの組立ての際に発生する応力、およびパ
ッケージ組立て後の周囲温度の変化により発生する応力
が、固定されている石英系導波路に伝達することを防
ぎ、石英系導波路で形成されたアレイ導波路回折格子の
中心波長特性のずれを抑制することができる石英系導波
路実装用パッケージ構造を提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and to reduce the stress generated when assembling a package and the stress caused by a change in ambient temperature after assembling a package, in which a quartz-based waveguide is fixed. It is an object of the present invention to provide a package structure for mounting a silica-based waveguide, which can prevent transmission to the optical waveguide and suppress the deviation of the center wavelength characteristic of the arrayed waveguide diffraction grating formed of the silica-based waveguide.

【0026】[0026]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1の発明は、石英系導波路を固定するための
第1パッケージと、その第1パッケージを固定するため
の第2パッケージと、第1パッケージを第2パッケージ
に取り付けるための取付け部とで構成される石英系導波
路実装用パッケージ構造において、上記第1パッケージ
と取付け部を応力吸収手段を介して連結した石英系導波
路実装用パッケージ構造である。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a first package for fixing a quartz-based waveguide and a second package for fixing the first package are provided. And a mounting portion for mounting the first package to the second package, wherein the first package and the mounting portion are connected via a stress absorbing means. This is a package structure for mounting.

【0027】請求項2の発明は、応力吸収手段は、第1
パッケージと取付け部間に形成された波状の板材からな
る請求項1記載の石英系導波路実装用パッケージ構造で
ある。
According to a second aspect of the present invention, the stress absorbing means includes a first
2. The package structure for mounting a quartz-based waveguide according to claim 1, wherein the package structure is made of a corrugated plate formed between the package and the mounting portion.

【0028】請求項3の発明は、応力吸収手段は、その
中心付近の厚さが両端の厚さよりも薄く形成された請求
項1記載の石英系導波路実装用パッケージ構造である。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the package structure for mounting a quartz-based waveguide according to the first aspect, wherein the thickness of the stress absorbing means near the center thereof is smaller than the thickness at both ends.

【0029】請求項4の発明は、応力吸収手段は、少な
くとも一か所に、幅方向に狭く形成されたくびれ部が設
けられた板材からなる請求項1記載の石英系導波路実装
用パッケージ構造である。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the package structure for mounting a quartz-based waveguide according to the first aspect, wherein the stress absorbing means is made of a plate material provided with a narrow portion formed narrow in the width direction at least at one place. It is.

【0030】請求項5の発明は、石英系導波路は、アレ
イ導波路回折格子からなる波長多重用光合分波器であ
り、第1パッケージが金属材料によって形成されると共
に、その第1パッケージが第2パッケージに取付け部を
用いてネジ止めされる請求項1〜4記載の石英系導波路
実装用パッケージ構造である。
According to a fifth aspect of the present invention, the silica-based waveguide is an optical multiplexer / demultiplexer for wavelength multiplexing comprising an arrayed waveguide diffraction grating, wherein the first package is formed of a metal material and the first package is formed of a metal material. 5. The package structure for mounting a silica-based waveguide according to claim 1, wherein the package is screwed to the second package using a mounting portion.

【0031】[0031]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を添
付図面に基づいて詳述する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0032】図1は本発明の石英系導波路実装用パッケ
ージ構造の組立分解斜視図であり、図2および図3は、
他の実施の形態の第1パッケージの斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view of a package structure for mounting a silica-based waveguide according to the present invention, and FIGS.
It is a perspective view of the 1st package of other embodiments.

【0033】また、図中に丸で囲った部分は取付け部お
よび応力吸収手段の拡大図である。
The circled portion in the drawing is an enlarged view of the mounting portion and the stress absorbing means.

【0034】図1に示すように、石英系導波路実装用パ
ッケージ構造1は、アレイ導波路回折格子2を用いた石
英系導波路3をその上面に接着して固定するための第1
パッケージ4と、その第1パッケージ4の下面に接着固
定されているヒータ5と、ヒータ5および第1パッケー
ジ4を固定すると共に、石英系導波路3をつつみ込むた
めの第2パッケージ6とで形成する二重構造が用いられ
ている。
As shown in FIG. 1, a package structure 1 for mounting a silica-based waveguide has a first structure for bonding and fixing a silica-based waveguide 3 using an arrayed waveguide diffraction grating 2 to its upper surface.
Formed by a package 4, a heater 5 bonded and fixed to the lower surface of the first package 4, and a second package 6 for fixing the heater 5 and the first package 4 and enclosing the quartz-based waveguide 3. A double structure is used.

【0035】本実施の形態では、第1パッケージ4の材
料として金属であるスーパーインバーを使用した。
In the present embodiment, the material of the first package 4 is Super Invar, which is a metal.

【0036】第1パッケージ4の下面に接着したヒータ
5により、石英系導波路3を周囲温度より高い一定温度
に保持して使用している。
The quartz waveguide 3 is used at a constant temperature higher than the ambient temperature by a heater 5 bonded to the lower surface of the first package 4.

【0037】また、第1パッケージ4を第2パッケージ
6の内側に固定する二重構造を用いたことにより断熱性
を高めている。
Further, the use of a double structure in which the first package 4 is fixed inside the second package 6 enhances heat insulation.

【0038】ここで、本発明の要旨である第1パッケー
ジ4と第2パッケージ6の取付けを説明する。
Here, the attachment of the first package 4 and the second package 6, which is the gist of the present invention, will be described.

【0039】第1パッケージ4と第2パッケージ6の取
付けは第2パッケージ6上に設けられた台座7と第1パ
ッケージ4に連結された取付け部8に形成された取付け
穴9を用いてネジ止めにより固定する。
The first package 4 and the second package 6 are screwed together by using a pedestal 7 provided on the second package 6 and a mounting hole 9 formed in a mounting portion 8 connected to the first package 4. Fix with.

【0040】取付け部8は、波状の板材からなる応力吸
収手段10を介して第1パッケージ4と連結されてい
る。
The mounting portion 8 is connected to the first package 4 via a stress absorbing means 10 made of a corrugated plate.

【0041】取付け部8は、波状の板材からなる応力吸
収手段10を介して連結されているため第1パッケージ
4を第2パッケージ6にネジ止めする際に、各々のパッ
ケージの微小な寸法誤差や反りなどによって、取付け部
8に機械的な応力が発生した場合に、波状の応力吸収手
段10が変形することによってその応力を緩和、吸収し
て第1パッケージ4および第1パッケージ4に固定され
ている石英系導波路3のアレイ導波路回折格子2に伝達
する応力を低減することができる。
Since the mounting portion 8 is connected via the stress absorbing means 10 made of a corrugated plate material, when the first package 4 is screwed to the second package 6, a slight dimensional error of each package may be reduced. When mechanical stress is generated in the mounting portion 8 due to warping or the like, the wavy stress absorbing means 10 is deformed to relax and absorb the stress, and is fixed to the first package 4 and the first package 4. The stress transmitted to the arrayed waveguide diffraction grating 2 of the quartz-based waveguide 3 can be reduced.

【0042】本実施の形態では、第1パッケージ4を第
2パッケージ6に固定する際に生じる応力による石英系
導波路3のアレイ導波路回折格子2の中心波長特性のず
れは、−0.004nm〜+0.004nmの測定誤差
範囲である。
In this embodiment, the deviation of the center wavelength characteristic of the arrayed waveguide diffraction grating 2 of the quartz-based waveguide 3 due to the stress generated when the first package 4 is fixed to the second package 6 is −0.004 nm. This is a measurement error range of +0.004 nm.

【0043】また、パッケージを組み立てた状態で、周
囲温度の変化によって第2のパッケージ6が伸縮するこ
とにより応力が発生した場合も同様に、波状の応力吸収
手段10が変形することによってその応力を緩和、吸収
して第1パッケージ4および第1パッケージ4に固定さ
れている石英系導波路3のアレイ導波路回折格子2に伝
達する応力を低減することができる。
Similarly, when stress is generated by the expansion and contraction of the second package 6 due to a change in the ambient temperature in a state where the package is assembled, similarly, the stress is generated by the wavy stress absorbing means 10 being deformed. Stress that is relaxed and absorbed and transmitted to the first package 4 and the arrayed waveguide diffraction grating 2 of the silica-based waveguide 3 fixed to the first package 4 can be reduced.

【0044】本実施の形態の、石英系導波路実装用パッ
ケージ構造1を用いて、ヒータ5により石英系導波路3
の温度を75℃で一定に保ちながら連続通電試験を実施
したところ、5000時間連続稼働後の石英系導波路3
のアレイ導波路回折格子2の中心波長特性のずれは、−
0.005nmと測定誤差の範囲内であった。
Using the quartz waveguide mounting package structure 1 of this embodiment, the quartz waveguide 3
A continuous energization test was carried out while keeping the temperature of 75 ° C. constant.
Of the center wavelength characteristic of the arrayed waveguide diffraction grating 2 is −
It was 0.005 nm, which was within the range of measurement error.

【0045】次に、図2を用いて他の実施の形態の第1
パッケージおよび取付け部を説明する。
Next, a first embodiment of another embodiment will be described with reference to FIG.
The package and the mounting part will be described.

【0046】この実施の形態では、第1パッケージ13
を第2パッケージに取り付けるための取付け部14は、
その中心付近の厚さが両端の厚さよりも薄く形成された
応力吸収手段15を介して第1パッケージ13と連結さ
れている。
In this embodiment, the first package 13
The mounting portion 14 for mounting to the second package is
The thickness near the center is connected to the first package 13 via the stress absorbing means 15 formed thinner than the thickness at both ends.

【0047】応力供給手段15は、取付け部14および
第1パッケージ13と連結される両端部の厚さが1mm
であり、その中心付近に向けて徐々にその厚さが薄く形
成され、中心付近の最も厚さの薄い部分の厚さが0.5
mmである。
The stress supply means 15 has a thickness of 1 mm at both ends connected to the mounting portion 14 and the first package 13.
The thickness is gradually reduced toward the center and the thickness of the thinnest portion near the center is 0.5
mm.

【0048】中心付近の厚さが両端の厚さよりも薄く形
成された応力吸収手段15がたわむことによって、ネジ
止めの際に発生した応力や、パッケージ組み立て後の周
囲温度の変化による第2パッケージが伸縮することによ
り発生した応力を緩和、吸収して第1パッケージ13お
よび第1パッケージ13に固定されている石英系導波路
のアレイ導波路回折格子に伝達する応力を低減すること
ができる。
When the stress absorbing means 15 whose thickness near the center is smaller than the thickness at both ends is bent, the stress generated at the time of screwing and the change of the ambient temperature after the package is assembled cause the second package to change. The stress generated by the expansion and contraction can be relaxed and absorbed, and the stress transmitted to the first package 13 and the arrayed waveguide diffraction grating of the silica-based waveguide fixed to the first package 13 can be reduced.

【0049】この実施の形態では、第1パッケージ13
を第2パッケージに固定する際に生じる応力による石英
系導波路のアレイ導波路回折格子の中心波長特性のずれ
は、−0.004nm〜+0.004nmの測定誤差範
囲である。
In this embodiment, the first package 13
Of the center wavelength characteristic of the arrayed waveguide diffraction grating of the silica-based waveguide due to the stress generated when fixing to the second package is within the measurement error range of -0.004 nm to +0.004 nm.

【0050】次に、図3を用いて他の実施の形態を説明
する。
Next, another embodiment will be described with reference to FIG.

【0051】この実施の形態では、第1パッケージ17
を第2パッケージに取り付けるための取付け部18は、
幅方向に狭く形成されたくびれ部19aが設けられた板
材からなる応力吸収手段19を介して第1パッケージ1
7と連結されている。
In this embodiment, the first package 17
The mounting portion 18 for mounting the to the second package is
The first package 1 is connected to the first package 1 via a stress absorbing means 19 made of a plate material provided with a narrow portion 19a formed narrow in the width direction.
7.

【0052】応力供給手段19は、取付け部18および
第1パッケージ17と連結される両端部でその幅が5m
mであり、中央付近に設けられたくびれ部19aの幅は
2.5mmである。
The stress supply means 19 has a width of 5 m at both ends connected to the mounting portion 18 and the first package 17.
m, and the width of the constricted portion 19a provided near the center is 2.5 mm.

【0053】このくびれ部19aは少なくとも一か所に
形成されれば良く、形状、個数に制約は無い。
The constricted portion 19a may be formed in at least one place, and there is no restriction on the shape and the number.

【0054】少なくとも一か所に、幅方向に狭く形成さ
れたくびれ部19aが設けられた応力吸収手段19がた
わむことによって、ネジ止めの際に発生した応力や、パ
ッケージ組み立て後の周囲温度の変化による第2のパッ
ケージが伸縮することにより発生した応力を緩和、吸収
して第1パッケージ17および第1パッケージ17に固
定されている石英系導波路のアレイ導波路回折格子に伝
達する応力を低減することができる。
At least at one place, the stress absorbing means 19 provided with the narrowed portion 19a formed narrow in the width direction is bent, so that the stress generated at the time of screwing and the change of the ambient temperature after the package is assembled. Reduces and absorbs the stress generated by the expansion and contraction of the second package, and reduces the stress transmitted to the first package 17 and the arrayed waveguide diffraction grating of the silica-based waveguide fixed to the first package 17. be able to.

【0055】この実施の形態では、第1パッケージ17
を第2パッケージに固定する際に生じる応力による石英
系導波路のアレイ導波路回折格子の中心波長特性のずれ
は、−0.004nm〜+0.004nmの測定誤差範
囲である。
In this embodiment, the first package 17
Of the center wavelength characteristic of the arrayed waveguide diffraction grating of the silica-based waveguide due to the stress generated when fixing to the second package is within the measurement error range of -0.004 nm to +0.004 nm.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、第1パッ
ケージを第2パッケージに取り付けるための取付け部
を、応力供給手段を介して第1パッケージと連結したた
め、第1パッケージを第2パッケージにネジ止めをする
際に発生した応力や、パッケージ組み立て後の周囲温度
の変化によって第2のパッケージが伸縮して発生した応
力を、応力供給手段が緩和、吸収することによって第1
パッケージおよび第1パッケージに固定されている石英
系導波路のアレイ導波路回折格子に伝達する応力を低減
することができる。
In summary, according to the present invention, since the mounting portion for mounting the first package to the second package is connected to the first package via the stress supply means, the first package is screwed to the second package. The stress supply means relaxes and absorbs the stress generated at the time of stopping and the stress generated by the expansion and contraction of the second package due to a change in the ambient temperature after the package is assembled.
Stress transmitted to the arrayed waveguide diffraction grating of the silica-based waveguide fixed to the package and the first package can be reduced.

【0057】すなわち、パッケージの組立ての際に発生
する応力、およびパッケージ組立て後の周囲温度の変化
により発生する応力が、固定されている石英系導波路の
アレイ導波路回折格子に伝達することを防ぎ、アレイ導
波路回折格子の中心波長特性のずれを抑制することがで
きる。
That is, the stress generated at the time of assembling the package and the stress generated due to the change in the ambient temperature after the assembly of the package are prevented from being transmitted to the arrayed waveguide diffraction grating of the fixed silica-based waveguide. In addition, the shift of the center wavelength characteristic of the arrayed waveguide diffraction grating can be suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の石英系導波路実装用パッケージ構造の
一実施の形態を示す組立分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing one embodiment of a package structure for mounting a silica-based waveguide according to the present invention.

【図2】他の実施の形態の第1パッケージの斜視図であ
る。
FIG. 2 is a perspective view of a first package according to another embodiment.

【図3】他の実施の形態の第1パッケージの斜視図であ
る。
FIG. 3 is a perspective view of a first package according to another embodiment.

【図4】高密度波長多重伝送システムの概念図である。FIG. 4 is a conceptual diagram of a high-density wavelength division multiplexing transmission system.

【図5】アレイ導波路回折格子を用いた波長多重用光合
分波器を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing an optical multiplexer / demultiplexer for wavelength multiplexing using an arrayed waveguide diffraction grating.

【図6】波長多重用光合分波器のパッケージ構造を示す
図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating a package structure of an optical multiplexer / demultiplexer for wavelength multiplexing.

【図7】従来の第1パッケージの構造例を示す図であ
る。
FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration example of a conventional first package.

【図8】従来の第1パッケージの構造例を示す図であ
る。
FIG. 8 is a diagram illustrating a structure example of a conventional first package.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 石英系導波路実装用パッケージ構造 3 石英系導波路 4 第1パッケージ 6 第2パッケージ 8 取付け部 10 応力吸収手段 REFERENCE SIGNS LIST 1 package structure for mounting quartz-based waveguide 3 quartz-based waveguide 4 first package 6 second package 8 mounting portion 10 stress absorbing means

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 石英系導波路を固定するための第1パッ
ケージと、その第1パッケージを固定するための第2パ
ッケージと、第1パッケージを第2パッケージに取り付
けるための取付け部とで構成される石英系導波路実装用
パッケージ構造において、上記第1パッケージと取付け
部を応力吸収手段を介して連結したことを特徴とする石
英系導波路実装用パッケージ構造。
1. A first package for fixing a silica-based waveguide, a second package for fixing the first package, and a mounting portion for mounting the first package to the second package. A package structure for mounting a silica-based waveguide, wherein the first package and the mounting portion are connected via a stress absorbing means.
【請求項2】 応力吸収手段は、第1パッケージと取付
け部間に形成された波状の板材からなる請求項1記載の
石英系導波路実装用パッケージ構造。
2. The package structure for mounting a quartz-based waveguide according to claim 1, wherein the stress absorbing means is formed of a corrugated plate formed between the first package and the mounting portion.
【請求項3】 応力吸収手段は、その中心付近の厚さが
両端の厚さよりも薄く形成された請求項1記載の石英系
導波路実装用パッケージ構造。
3. The package structure for mounting a quartz-based waveguide according to claim 1, wherein the stress absorbing means has a thickness near the center thereof smaller than thicknesses at both ends.
【請求項4】 応力吸収手段は、少なくとも一か所に、
幅方向に狭く形成されたくびれ部が設けられた板材から
なる請求項1記載の石英系導波路実装用パッケージ構
造。
4. The method according to claim 1, wherein the stress absorbing means is provided in at least one place.
2. The package structure for mounting a quartz-based waveguide according to claim 1, comprising a plate material provided with a narrow portion formed narrow in the width direction.
【請求項5】 石英系導波路は、アレイ導波路回折格子
からなる波長多重用光合分波器であり、第1パッケージ
が金属材料によって形成されると共に、その第1パッケ
ージが第2パッケージに取付け部を用いてネジ止めされ
る請求項1〜4記載の石英系導波路実装用パッケージ構
造。
5. A quartz waveguide is a wavelength division multiplexing optical multiplexer / demultiplexer comprising an arrayed waveguide diffraction grating, wherein a first package is formed of a metal material, and the first package is attached to a second package. The package structure for mounting a quartz-based waveguide according to claim 1, wherein the package is screwed using a portion.
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