JP2001076135A - Signal processor, fault testing device, signal processing system, signal processing method and storage medium - Google Patents

Signal processor, fault testing device, signal processing system, signal processing method and storage medium

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JP2001076135A
JP2001076135A JP25418399A JP25418399A JP2001076135A JP 2001076135 A JP2001076135 A JP 2001076135A JP 25418399 A JP25418399 A JP 25418399A JP 25418399 A JP25418399 A JP 25418399A JP 2001076135 A JP2001076135 A JP 2001076135A
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JP
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signal
filter
step
input signal
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JP25418399A
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Japanese (ja)
Inventor
Masaharu Okabe
正治 岡部
Original Assignee
Canon Inc
キヤノン株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a signal processor capable of outputting effective data over the entire area of a processing area. SOLUTION: The controlling means 103 of this signal processor changes the phase relation of tap positions between a 1st filtering means 101 and a 2nd filtering means 102 during the processing period of the processing area of a signal (image signal) inputted to the means 101 and 102 whose tap lengths are respectively different. Thus, effective filter processing results can be obtained over the entire area of the processing area of the inputted signal.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、ラインセンサやレーザスキャナ等により得られた画像信号に対して、フィルタによる信号波形処理を行なう装置やシステムに用いられる、信号処理装置、欠陥検査装置、信号処理システム、信号処理方法、及びそれを実施するための処理ステップをコンピュータが読出可能に格納した記憶媒体に関するものである。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention is, for example, the image signal obtained by the line sensor or laser scanner or the like, used in devices and systems for performing signal waveform processing by the filter, the signal processing apparatus, a defect inspection apparatus , those signal processing system, signal processing method, and a storage medium that process step a computer is stored readably for carrying it.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来より例えば、複写機の感光ドラムや液晶表示装置等の表面上をラインセンサやレーザスキャナ等により読み取り、その読み取りによって取得した当該表面上の画像信号に対して、フィルタによる信号波形処理(フィルタ処理)を行なうことで、本来均質であるべき当該表面上の欠陥やゴミ等の付着した部分(欠陥部)を検出したり、光量ムラ成分を除去すること等が行なわれている。 BACKGROUND ART Conventionally example, reads the photosensitive drum and the upper surface of a liquid crystal display device of the copying machine by the line sensor or laser scanner, an image signal on the surface obtained by the reading, the signal by the filter by performing waveform processing (filtering processing), and detect the attached portions such as defects or dust on the surface the supposedly homogeneous (defect), it for removing the light amount unevenness component is performed .

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来のフィルタ処理は、処理対象となる画像(入力画像)の全領域にわたり、固定の処理関数を用いる構成、すなわち図7に示すような1つのある関数特性を有するフィルタ701のみを用いる構成であったので、次のような問題があった。 [0007] However, conventional filtering, over the entire area of ​​the image (input image) to be processed, the configuration using the processing function of the stationary, i.e. one is a function of, as shown in FIG. 7 Being an a structure using only the filter 701 having characteristics, has the following problems.

【0004】まず、フィルタ701の出力画像の端部領域には、無効なデータ(以下、「無効画素」と言う)が発生してしまう。 [0004] First, in the end region of the output image of the filter 701, invalid data (hereinafter, referred to as "invalid pixel") occurs.

【0005】例えば、フィルタ701のタップ長が3× [0005] For example, the tap length of the filter 701 is 3 ×
3画素である場合、入力画像に対して出力画像の有効領域は、縦横ともそれぞれ2画素ずつ小さくなる。 If it is three pixels, the effective area of ​​the output image for the input image is smaller by two pixels each with an aspect. すなわち、縦横それぞれ2画素ずつの無効画素領域が発生することになる。 That is, vertical and horizontal directions is invalid pixel region of two pixels will occur. これが、さらに大きいタップ長、例えば、 This is larger tap length, for example,
255×255画素のタップ長である場合、入力画像に対して出力画像の有効領域は、縦横ともそれぞれ254 255 × 255 when a tap length of the pixel, the effective area of ​​the output image relative to the input image, respectively both vertical and horizontal directions 254
画素ずつ小さくなることになる。 It will be smaller by the pixel. すなわち、縦横それぞれ254画素ずつの無効画素領域が発生することになる。 That is, the invalid pixel region-by 254 pixels vertically and horizontally occurs.

【0006】上述のようなタップ長が大きいフィルタは、入力画像から光量ムラ成分を除去するために必要となる場合があるが、入力画像の光量ムラ成分を除去するためには、画像端部のデータを無視することはできない。 [0006] filter tap length is greater as described above, but may be required to remove the light amount unevenness component from the input image, in order to remove the light amount unevenness component of the input image, the image edge portion it is not possible to ignore the data. したがって、このような場合には、タップ長が大きいフィルタによるフィルタ処理を利用できないことがあった。 Therefore, in such a case, there may not be available to the filtering processing by the filter tap length is greater.

【0007】また、入力画像から欠陥部を検出するための欠陥検査では、入力画像の全領域を端から端まで検査する必要がある場合が多く、この場合も画像端部のデータを無視することはできないため、タップ長が大きいフィルタによるフィルタ処理を利用できないことがあった。 [0007] In the defect inspection for detecting defect from the input image, if it is necessary to inspect the end the entire region of the input image to the edge is large and to ignore data of the image edge portion also in this case can not be, it was not available to the filtering processing by the filter tap length is greater.

【0008】そこで、本発明は、上記の欠点を除去するために成されたもので、信号波形処理の処理関数を可変に構成することで、処理領域の全域にわたり有効なデータを出力でき、これにより、検査対象物の光量ムラの除去や欠陥部の検出等を効率的に且つ正確に行なうことができる、信号処理装置、欠陥検査装置、信号処理システム、信号処理方法、及びそれを実施するための処理ステップをコンピュータが読出可能に格納した記憶媒体を提供することを目的とする。 [0008] The present invention has been made to eliminate the above drawbacks, by constituting the processing function of the signal waveform processing variably, can output valid data over the entire process area, which Accordingly, it is possible to perform the detection of removal or defect of the light amount unevenness of the test object efficiently and accurately, the signal processing apparatus, inspection apparatus, the signal processing system, signal processing method, and for carrying it aims to the processing steps computer provides a storage medium storing readably.

【0009】 [0009]

【課題を解決するための手段】斯かる目的下において、 Means for Solving the Problems] For the purposes under which such,
第1の発明は、入力信号に対して、任意の処理関数を用いた信号波形処理を行なう波形処理手段と、上記入力信号の処理対象区間に基づいて、上記波形処理手段での処理関数を変化させる制御手段とを備えることを特徴とする。 A first aspect of the present invention is the input signal, and a waveform processing means for performing signal waveform processing using the optional processing functions, based on the processing target section of the input signal, changing the processing function by the waveform processing means and a controlling means for.

【0010】第2の発明は、上記第1の発明において、 [0010] In a second aspect based on the first aspect,
上記波形処理手段は、上記入力信号に対してそれぞれフィルタ処理を行なう第1及び第2のフィルタ手段を含み、上記制御手段は、上記入力信号の処理対象区間の処理対象部分に基づいて、上記第1及び第2のフィルタ手段の位相関係を変化させることを特徴とする。 The waveform processing means includes first and second filter means for performing filter processing respectively with respect to the input signal, the control means, based on the processed portion of the processing target section of said input signal, said first and wherein the changing the phase relationship between the first and second filter means.

【0011】第3の発明は、上記第1の発明において、 [0011] In a third aspect based on the first aspect,
上記第1のフィルタ手段は、第1のタップ長を有し、上記第2のフィルタ手段は、第2のタップ長を有し、上記制御手段は、上記入力信号の処理対象区間の左部分では上記第1及び第2のフィルタ手段での各タップ位置の位相を当該左部分に対応させ、上記入力信号の処理対象区間の右部分では上記第1及び第2のフィルタ手段での各タップ位置の位相を当該右部分に対応させることを特徴とする。 It said first filter means have a first tap length, said second filter means has a second tap length, said control means, in the left part of the processing target section of the input signal the phase of each tap position in the first and second filter means in correspondence with the left portion, the right portion of the processing target section of the input signal of each tap position in the first and second filter means a phase characterized thereby corresponding to the right portion.

【0012】第4の発明は、上記第3の発明において、 [0012] In a fourth aspect based on the third invention,
上記制御手段は、上記入力信号の処理対象区間に対する処理実行の経過に基づいて、上記位相の左部分から右部分への移行を行なうことを特徴とする。 The control means, based on the course of process execution on the processing target section of the input signal, and performing transition to the right portion from the left portion of the phase.

【0013】第5の発明は、上記第1の発明において、 [0013] In a fifth aspect based on the first aspect,
上記波形処理手段は、上記入力信号に対してそれぞれフィルタ処理を行なう第1及び第2のフィルタ手段を含み、上記制御手段は、上記第1及び第2のフィルタ手段のフィルタ係数を変化させることを特徴とする。 The waveform processing means includes first and second filter means for performing filter processing respectively with respect to the input signal, said control means varying the filter coefficients of the first and second filter means and features.

【0014】第6の発明は、上記第2の発明において、 [0014] In a sixth aspect based on the second invention,
上記第1及び第2のフィルタ手段は、FIRフィルタ及び2次元フィルタの少なくとも何れかを含むことを特徴とする。 It said first and second filter means, characterized in that it comprises at least one of FIR filter and two-dimensional filter.

【0015】第7の発明は、検査体から得られた画像信号に対して、任意の処理関数を用いた信号波形処理を行なう信号処理手段と、上記信号処理手段の処理結果から、上記検査体上に生じている欠陥部を検出する検出手段とを備える欠陥情報検査装置であって、上記信号処理手段は、請求項1〜6の何れかに記載の信号処理装置の機能を有することを特徴とする。 [0015] A seventh aspect of the invention, the image signal obtained from the test subject, and signal processing means for performing signal waveform processing using the optional processing functions, the processing result of the signal processing means, the inspection body the defect information inspection apparatus comprising a detecting means for detecting a defect caused in the above, the signal processing means, characterized by having a function of a signal processing apparatus according to any one of claims 1 to 6 to.

【0016】第8の発明は、複数の機器が通信可能に接続されてなる信号処理システムであって、上記複数の機器のうち少なくとも1つの機器は、請求項1〜6の何れかに記載の信号処理装置の機能、又は請求項7記載の欠陥検査装置の機能を有することを特徴とする。 [0016] An eighth invention is a signal processing system in which a plurality of devices, which are communicatively coupled, at least one device of the plurality of devices, according to any one of claims 1 to 6 function of the signal processor, or characterized by having a function of a defect inspection apparatus according to claim 7 wherein.

【0017】第9の発明は、入力信号に対して、任意の処理関数を用いた信号波形処理を行なうための波形処理ステップを含む信号処理方法であって、上記入力信号の処理対象区間の処理中において、上記波形処理ステップでの処理関数を変化させる制御ステップを含むことを特徴とする。 [0017] A ninth aspect of the invention, the input signal, a signal processing method including a waveform processing step for performing signal waveform processing using the optional processing functions, the processing of the processing target section of the input signal in the middle, characterized in that it comprises a control step of changing the processing functions in the waveform processing step.

【0018】第10の発明は、上記第9の発明において、上記波形処理ステップは、上記入力信号に対して第1のフィルタ処理及び第2のフィルタ処理を行なうステップを含み、上記制御ステップは、上記第1のフィルタ処理及び第2のフィルタ処理での処理進行速度を制御するステップを含むことを特徴とする。 [0018] In a tenth aspect based on the ninth aspect, the waveform processing step includes the step of performing a first filtering and the second filtering process on the input signal, the control step, characterized in that it comprises the step of controlling the processing rate of progression in the first filtering and the second filter processing.

【0019】第11の発明は、上記第9の発明において、上記波形処理ステップは、上記入力信号に対して第1のフィルタ係数により第1のフィルタ処理を行なうステップ、及び上記入力信号に対して第2のフィルタ係数により第2のフィルタ処理を行なうステップを含み、上記制御ステップは、上記第1のフィルタ係数及び第2のフィルタ係数を変化させるステップを含むことを特徴とする。 [0019] An eleventh aspect of the invention, in the ninth aspect, the waveform processing step comprises the steps of performing a first filtering by the first filter coefficient with respect to the input signal, and with respect to the input signal comprising the steps of the second filter coefficients performing the second filtering, the control step is characterized by including the step of varying the first filter coefficients and second filter coefficients.

【0020】第12の発明は、上記第9の発明において、上記波形処理ステップは、上記入力信号に対して第1のタップ長を有するフィルタによりフィルタ処理を行なうステップ、及び上記入力信号に対して第2のタップ長を有するフィルタによりフィルタ処理を行なうステップを含み、上記制御ステップは、上記入力信号の処理対象区間の左端では上記第1のタップ長と上記第2のタップ長の位相を左端に対応させ、上記入力信号の処理対象区間の右端では上記第1のタップ長と上記第2のタップ長の位相を右端に対応させるステップを含むことを特徴とする。 [0020] In a twelfth aspect based on the ninth aspect, the waveform processing step comprises the steps of performing a filtering process by a filter having a first tap length relative to the input signal, and with respect to the input signal wherein the step of performing a filtering process by a filter having a second tap length, the control step, the left end of the section to be processed of the input signal to the first tap length and the second tap length of the phase at the left end to correspond, at the right end of the processing target section of the input signal, characterized in that it comprises a step to correspond to the right end of the first tap length and the second tap length of the phase.

【0021】第13の発明は、上記第12の発明において、上記制御ステップは、上記入力信号の処理対象区間に対する処理実行の経過に基づいて、上記位相の左端から右端への移行を行なうステップを含むことを特徴とする。 [0021] A thirteenth invention, in the twelfth aspect, the control step, based on the course of process execution on the processing target section of the input signal, the step of performing a transition to the right from the left end of the phase characterized in that it contains.

【0022】第14の発明は、上記第9の発明において、上記波形処理ステップは、上記入力信号に対して第1のタップ長を有する2次元フィルタによりフィルタ処理を行なうステップ、及び上記入力信号に対して第2のタップ長を有する2次元フィルタによりフィルタ処理を行なうステップを含み、上記制御ステップは、上記入力信号の処理対象領域の左上部分では上記第1のタップ長と上記第2のタップ長の位相を左上部分に対応させ、上記入力信号の処理対象領域の左下部分では上記第1のタップ長と上記第2のタップ長の位相を左下部分に対応させ、上記入力信号の処理対象領域の右上部分では上記第1のタップ長と上記第2のタップ長の位相を右上部分に対応させ、上記入力信号の処理対象領域の右下部分では上記第1のタップ長 [0022] A fourteenth aspect of the present invention, in the ninth aspect, the waveform processing step, the two-dimensional filter having a first tap length relative to the input signal step of performing filter processing, and the input signal includes a step of performing filtering by in a two-dimensional filter having a second tap length against said control step, said first tap length and the second tap length in the upper left portion of the processing target area of ​​the input signal of the made to correspond to the upper left portion phase, in the lower left portion of the processing target area of ​​the input signal to correspond to the first tap length and the second tap length of the phase in the lower left portion, of the processing target area of ​​the input signal in the upper right portion made to correspond to the first tap length and the second tap length of the phase in the upper right portion, the first tap length in the lower right portion of the processing target area of ​​the input signal 上記第2のタップ長の位相を右下部分に対応させるステップを含むことを特徴とする。 Characterized in that it comprises a step to correspond to the lower right portion of the second tap length of the phase.

【0023】第15の発明は、上記第14の発明において、上記制御ステップは、上記入力信号の処理対象領域に対する処理実行の経過に基づいて、上記位相の各部分への移行を行なうステップを含むことを特徴とする。 The fifteenth aspect of the present invention based on the fourteenth, the control step, based on the course of process execution on the processing object area of ​​said input signal, comprising the steps of performing a transition to the portion of the phase it is characterized in.

【0024】第16の発明は、請求項1〜6の何れかに記載の信号処理装置、又は請求項7記載の欠陥検査装置、又は請求項8記載の信号処理システムが備える手段を実施するための処理ステップを、コンピュータが読出可能に格納した記憶媒体であることを特徴とする。 [0024] A sixteenth aspect of the present invention, wherein the signal processing device according to any one of claims 1 to 6, or wherein the defect inspection apparatus of claim 7, or claim 8, wherein the signal processing for the system to implement the means provided in the the processing steps, the computer characterized in that it is a storage medium storing readably.

【0025】第17の発明は、請求項9〜15の何れかに記載の信号処理方法の処理ステップを、コンピュータが読出可能に格納した記憶媒体であることを特徴とする。 [0025] A seventeenth aspect of the present invention is a processing step of the signal processing method according to any one of claims 9 to 15, the computer is characterized in that the storage medium storing readably.

【0026】 [0026]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, will be explained with reference to the drawings showing preferred embodiments of the present invention.

【0027】(第1の実施の形態)本発明は、例えば、 [0027] (First Embodiment) The present invention is, for example,
図1に示すようなフィルタ回路100に適用される。 It applied to the filter circuit 100 as shown in FIG. このフィルタ回路100は、ラインセンサやレーザスキャナ等により得られた画像信号に対してフィルタ処理を行なう装置やシステム等に用いられ、上記図1に示すように、信号波形処理手段としての2つのフィルタ101及び102と、フィルタ101及び102のそれぞれの位相を制御する位相制御部103と、フィルタ101及び102の各出力の和又は差を算出する演算部104とを備えている。 The filter circuit 100 is used to filter performing devices and systems such as the image signal obtained by the line sensor or laser scanner, as shown in FIG. 1, two filters as a signal waveform processing means 101 and 102, and a phase control unit 103 for controlling the respective phases of the filter 101 and 102, and an arithmetic unit 104 for calculating a sum or difference of the outputs of the filters 101 and 102. また、ここでは、フィルタ101及び10 Further, here, the filter 101 and 10
2のそれぞれを、FIR(Finite Impuls 2 of each, FIR (Finite Impuls
e Response)フィルタで構成している。 It is constituted by e Response) filter.

【0028】上述のようなフィルタ回路100において、先ず、ラインセンサやレーザスキャナ等により得られた画像信号は、入力端子105を介して、フィルタ1 [0028] In the filter circuit 100 as described above, first, the image signal obtained by the line sensor or laser scanner, etc., via the input terminal 105, the filter 1
01及び102に対して並列に供給される。 It is supplied in parallel to 01 and 102.

【0029】フィルタ101とフィルタ102のそれぞれのタップの位相の関係は、図2(a)〜(c)に示される。 The phase relationship of the respective taps of the filter 101 and the filter 102 is shown in FIG. 2 (a) ~ (c).

【0030】具体的には、上記図2(a)は、入力端子105からの入力画像信号の信号処理すべき領域(処理領域)の左側、すなわち当該処理領域の処理期間の開始位置における、フィルタ101のタップの位相201a [0030] Specifically, in FIG. 2 (a), the left side of the area to be the signal processing of an input image signal from the input terminal 105 (processing area), i.e. the start position of the processing period of the processing region, a filter 101 tap of phase 201a of the
と、フィルタ102のタップの位相202aとの関係を示したものである。 When, it shows the relationship between the phase 202a of taps of the filter 102. 上記図2(b)は、上記処理領域の中央付近における、フィルタ101のタップの位相20 FIG. 2 (b), in the vicinity of the center of the processing region, the taps of the filter 101 phase 20
1bと、フィルタ102のタップの位相202bとの関係を示したものである。 And 1b, illustrates the relationship between the phase 202b of taps of the filter 102. 上記図2(c)は、上記処理領域の右側、すなわち上記処理領域の処理期間の終了位置における、フィルタ101のタップの位相201cと、 FIG. 2 (c), the right of the processing region, i.e. at the end position of the processing period of the processing region, and the phase 201c of the tap of the filter 101,
フィルタ102のタップの位相202cとの関係を示したものである。 It shows the relationship between the phase 202c of the tap of the filter 102.

【0031】したがって、上記図2(a)〜(c)に示したような位相関係を持って、フィルタ101は7タップのガウス形平滑フィルタとして機能し、フィルタ10 [0031] Thus, with a phase relationship as shown in FIG. 2 (a) ~ (c), the filter 101 functions as a Gaussian smoothing filter 7 taps, the filter 10
2は22タップの平滑フィルタとして機能する。 2 functions as a 22-tap smoothing filter.

【0032】上記図2(a)〜(c)に示したような位相関係の何れの関係を持って、それぞれのフィルタ10 [0032] have any relationship between the phase relation shown in FIG. 2 (a) ~ (c), each filter 10
1及びフィルタ102が動作するかは、位相制御部10 Do 1 and filter 102 operates, the phase control unit 10
3によって制御される。 It is controlled by three.

【0033】すなわち、位相制御部103は、入力端子106からの同期信号(入力画像信号の同期信号)に基づいて、上記図2(a)〜(c)に示したような位相関係の何れかの関係をフィルタ101及びフィルタ102 [0033] That is, phase control section 103, based on the synchronizing signal from the input terminal 106 (synchronizing signal of the input image signal), one of the phase relation shown in FIG. 2 (a) ~ (c) filter relations 101 and filter 102
に対して持たせるための制御パルスを、フィルタ101 The control pulses for giving respect, filter 101
及びフィルタ102に対して発生する。 And generating the filter 102. これにより、フィルタ101及びフィルタ102は、次のように動作する。 Thus, filter 101 and filter 102 operates as follows.

【0034】先ず、入力画像信号の処理領域が左側(開始位置)の場合、フィルタ101とフィルタ102のタップの位相関係を、上記図2(a)に示した関係とする。 [0034] First, when the processing region of the input image signal is left (start position), the phase relationship between tap filter 101 and the filter 102, the relationship shown in FIG. 2 (a). 上記図2(a)に示すように、この場合の位相関係は、フィルタ102のタップ位置に対して、フィルタ1 As shown in FIG. 2 (a), the phase relationship in this case, with respect to the tap position of the filter 102, the filter 1
01のタップ位置が左側によっている。 01 tap position is present by the left side of the. したがって、この場合、入力画像信号において、左端の4画素目から有効なデータが、フィルタ101とフィルタ102で共に得られることになる。 Therefore, in this case, the input image signal, valid data from the fourth pixel of the left end, will be obtained together with the filter 101 and filter 102.

【0035】次に、入力画像信号の処理領域が中央付近の場合、フィルタ101とフィルタ102のタップの位相関係を、上記図2(b)に示した関係とする。 Next, the processing region of the input image signal if the vicinity of the center, the phase relationship between tap filter 101 and the filter 102, the relationship shown in FIG. 2 (b).

【0036】そして、入力画像信号の処理領域が右側(終了位置)の場合であるが、この場合、例えば、フィルタ101とフィルタ102のタップの位相関係を、上記図2(a)に示した関係とすると、有効なデータがフィルタ101とフィルタ102で共に得られるのは、右端から19画素目までとなる。 [0036] Then, the processing region of the input image signal is a case of the right (end position), in this case, for example, the phase relationship between tap filter 101 and filter 102, shown in shown in FIG. 2 (a) Relationship When valid data that is obtained together with the filter 101 and the filter 102 is from the right end to the 19-th pixel. そこで、ここではこの場合、フィルタ101とフィルタ102の位相関係を、上記図2(c)に示した関係に変化させる。 Therefore, here in this case, the phase relationship between the filter 101 and filter 102, changing the relationship shown in FIG 2 (c). 上記図2 FIG. 2 above
(c)に示すように、この場合の位相関係は、フィルタ102のタップ位置に対して、フィルタ101のタップ位置が右側によっている。 (C), the phase relation in this case, with respect to the tap position of the filter 102, the tap position of the filter 101 is present by the right. したがって、この場合、入力画像信号において、右端の4画素目まで有効なデータが、フィルタ101とフィルタ102で共に得られることになる。 Therefore, in this case, the input image signal, valid data until the fourth pixel of the right end, will be obtained together with the filter 101 and filter 102.

【0037】上述のようにして、フィルタ101とフィルタ102の位相関係を変化させることで、入力画像信号の処理領域の左端から右端まで、すなわち全領域にわたって、有効な結果出力を得ることができる。 [0037] As described above, by changing the phase relationship between the filter 101 and filter 102, from the left end of the processing region of the input image signal to the right, i.e. over the entire region, it is possible to achieve effective results output.

【0038】上記図2(a)〜(c)に示したような位相関係をフィルタ101とフィルタ102に持たせるために、フィルタ101とフィルタ102の位相をずらすが、この方法は、処理途中でフィルタ101に対する入力画像信号を間引きすることで実現できる。 [0038] In order to provide a phase relationship as shown in FIG. 2 (a) ~ (c) the filter 101 and filter 102, shifts the phase of the filter 101 and the filter 102, but the method, the processing in the middle It can be realized by thinning out the input image signal to the filter 101.

【0039】例えば、入力画像信号の処理領域が、30 [0039] For example, the processing region of the input image signal is 30
00画素から構成される領域であり、その領域の左側と右側で15画素分、位相をずらす場合、位相制御部10 00 is an area composed of pixels, 15 pixels on the left and right of the region, when shifting the phase, the phase control unit 10
3は、 3000/15=200(画素) が処理されるごとに1回、間引きのための制御パルスをフィルタ101に対して発生する。 3, once every 3000/15 = 200 (pixels) are processed to generate control pulses for decimation with respect to the filter 101. これにより、位相制御部103から上記制御パルスが発生するごとに、フィルタ101の動作は1クロック分の間停止し、フィルタ101において入力画像信号が1画素分間引かれる。 Thus, each time the phase control unit 103 the control pulse is generated, operation of the filter 101 is stopped for one clock, the input image signal is thinned out by one pixel in the filter 101.

【0040】上述のような構成により、入力画像信号の処理領域の左側では、フィルタ101とフィルタ102 [0040] The above-described configuration, in the left side of the processing region of the input image signal, filter 101 and filter 102
の位相関係を上記図2(a)に示した位相関係とし、入力画像信号の処理領域の右側では、フィルタ101とフィルタ102の位相関係を上記図2(c)に示した位相関係となるように、フィルタ101とフィルタ102の位相をずらして位相関係を変化させることが実現することができる。 The phase relationship with the phase relationship shown in FIG. 2 (a), in the right side of the processing region of the input image signal, so that the phase relationship between the filter 101 and the filter 102 a phase relationship shown in FIG 2 (c) , it is possible to realize changing the phase relationship by shifting the phase of the filter 101 and the filter 102. これにより、入力画像信号の処理領域の左端から右端までの全ての領域にわたって、有効な結果出力を得ることができる。 Thus, over the entire region from the left end of the processing region of the input image signal to the right, it is possible to achieve effective results output.

【0041】また、フィルタ101とフィルタ102の位相を左端から右端へ徐々にずらしていくことから、入力画像信号全体にわたって、不連続な結果出力の変化は起こらない。 Further, since is shifted gradually to the right phase of the filter 101 and the filter 102 from the left end, over the entire input image signal, the change in the output discontinuity results will not occur. すなわち、連続したなめらな結果出力を得ることができる。 That is, it is possible to obtain a continuous smooth results output.

【0042】フィルタ101及びフィルタ102の各出力は、演算部104に供給され、この演算部104において、例えば、それぞれの出力の差分が算出される。 [0042] Each output of filter 101 and filter 102 are supplied to the arithmetic unit 104. In this calculating unit 104, for example, the difference between the respective outputs are calculated. 演算部104にて得られた算出結果信号は、フィルタ回路100の出力として出力端子107を介して出力される。 Calculation result signal obtained by the arithmetic unit 104 is output through an output terminal 107 as the output of the filter circuit 100.

【0043】図3(a)及び(b)は、入力端子105 [0043] FIGS. 3 (a) and (b), an input terminal 105
に対して入力された信号(入力画像信号)の波形(同図(a))と、出力端子107から出力される信号の波形(同図(b))との一例を示したものである。 It illustrates an example of the waveform of the input signal (input image signal) (FIG. (A)), the waveform of the signal output from the output terminal 107 (FIG. (B)) with respect to.

【0044】上記図3(a)に示すように、入力画像信号の処理領域(信号処理すべき有効範囲)には、大きなうねり成分304a及び305aと共に、急峻な変化を有する成分301a〜303cを含んでいる。 As shown in FIG. 3 (a), the processing region of the input image signal (the effective range to be signal processing), with large undulation component 304a and 305a, contains a component 301a~303c having steep change They are out. 特に、急峻な変化を有する成分301a〜303cのうち、成分301a及び303aは、処理領域の左端及び右端にそれぞれ存在している。 In particular, among the components 301a~303c having sharp change, components 301a and 303a are present respectively at the left end and the right end of the processing area. このような入力信号は、フィルタ101とフィルタ102に対してそれぞれ入力されるが、上述したように、フィルタ101とフィルタ102 Such input signal is inputted respectively to the filter 101 and filter 102, as described above, the filter 101 and the filter 102
の位相関係は、上記図2(a)〜(c)に示した位相関係で変化するように制御されるため、フィルタ101とフィルタ102の結果出力は、処理領域の左端から右端までの全ての領域にわたって有効である。 Of phase relationship, to be controlled so as to change the phase relationship shown in FIG. 2 (a) ~ (c), the result output of the filter 101 and filter 102, all from the left end of the processing area to the right end it is effective over an area.

【0045】したがって、上記図3(b)に示すように、演算部104にて得られる算出結果(差分)信号は、大きなうねり成分304a及び305aがフィルタ101とフィルタ102によって相殺され平らな成分となった成分304b及び305bと、従来であれば無効となっていた左側及び右側の成分301b及び303b [0045] Therefore, as shown in FIG. 3 (b), the calculation result (difference) signal obtained by the arithmetic unit 104, a large undulation component 304a and 305a is offset by the filter 101 and filter 102 flat component since components 304b and 305b and, if conventional were disabled left and right components 301b and 303b
を含む成分301b〜303bとからなる信号となる。 The signal comprising a component 301b~303b including.

【0046】上述のように、本実施の形態では、フィルタ101とフィルタ102の位相関係を、処理領域に応じて変化させるように構成したので、入力信号の処理領域の全てにわたって、有効なフィルタ処理結果を得ることができる。 [0046] As described above, in this embodiment, the phase relationship between the filter 101 and the filter 102, since it is configured to vary depending on the treatment area, across all of the processing region of the input signal, effective filtering the results can be obtained. このような構成を備えたフィルタ回路10 Filter circuit 10 having such a configuration
0を、例えば、複写機の感光ドラム上等の欠陥部を検出する装置或いはシステムに適用すれば、検査対象物の端部に発生する欠陥部を見逃すことなく、確実に欠陥部を検出することができる。 0, for example, when applied to a device or a system for detecting a defective portion of the photosensitive drum Choice copier, without missing a defect that occurs in the end portion of the test object, reliably detecting the defect can. これは、装置或いはシステムの品質向上及び信頼性の向上につながる。 This leads to quality improvement of the device or system and improve the reliability.

【0047】尚、本実施の形態では、フィルタ101とフィルタ102の位相関係を変化させるように構成したが、これに限られることはなく、例えば、フィルタの位相のかわりに、フィルタ係数を処理領域に応じて処理中に変化させる(書き換える)ように構成しても、入力信号の処理領域の全てにわたって、有効なフィルタ処理結果を得ることができる。 [0047] In the present embodiment has been configured to change the phase relationship between the filter 101 and the filter 102, it is not limited thereto, for example, in place of the filter phase, the filter coefficient processing region and also it is configured to change (rewrite) the during processing across all the processing region of the input signal, it is possible to achieve effective filtering result according to.

【0048】(第2の実施の形態)本発明は、例えば、 [0048] (Second Embodiment) The present invention is, for example,
図4に示すようなフィルタ回路400に適用される。 It applied to the filter circuit 400 as shown in FIG. このフィルタ回路400は、上記図1に示したフィルタ回路100と同様の構成としているが、フィルタ101の代わりに、ディレイ回路401を設けた構成が異なる。 The filter circuit 400, although the same configuration as the filter circuit 100 shown in FIG. 1, in place of the filter 101, structure in which a delay circuit 401 is different.
尚、上記図4のフィルタ回路400において、上記図1 Incidentally, in the filter circuit 400 of FIG. 4, FIG. 1
のフィルタ回路100と同様に動作する箇所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。 The portion that operates like the filter circuit 100 denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0049】本実施の形態におけるフィルタ回路400 The filter circuit 400 of this embodiment
では、先ず、ラインセンサやレーザスキャナ等により得られた画像信号が、入力端子105を介して、ディレイ回路401及びフィルタ102に対して並列に供給される。 In, First, image signals obtained by the line sensor or laser scanner or the like, via the input terminal 105, is supplied in parallel to the delay circuit 401 and a filter 102.

【0050】ディレイ回路401は、入力端子105からの入力画像信号に対して遅延量を与えて出力するが、 The delay circuit 401 is output by giving a delay amount to the input image signal from the input terminal 105,
この遅延量は、位相制御部103によって制御される。 The amount of delay is controlled by the phase controller 103.

【0051】すなわち、位相制御部103は、上述した第1の実施の形態と同様に、入力画像信号の処理領域の左端の1画素目から最右端まで有効な出力が得られるように、フィルタ102のタップの位相と共に、ディレイ回路401での遅延量を制御する。 [0051] That is, phase control section 103, as similar to the first embodiment described above, a valid output from the first pixel of the left end of the processing region of the input image signal until the rightmost is obtained, the filter 102 with tap phase, it controls the delay amount of the delay circuit 401.

【0052】ディレイ回路401及びフィルタ102の各出力は、演算部104に供給され、この演算部104 [0052] Each output of the delay circuit 401 and filter 102 are supplied to the arithmetic unit 104, the arithmetic unit 104
において、例えば、それぞれの出力の差分が算出される。 In, for example, the difference between the respective outputs are calculated. 演算部104にて得られた算出結果信号は、フィルタ回路400の出力として出力端子107を介して出力される。 Calculation result signal obtained by the arithmetic unit 104 is output through an output terminal 107 as the output of the filter circuit 400.

【0053】演算部104にて得られる算出結果(差分)信号は、上述した第1の実施の形態と同様に、大きなうねり成分304a及び305aが相殺され平らな成分となった成分304b及び305bと、従来であれば無効となっていた左側及び右側の成分301b及び30 [0053] calculation result (difference) signal obtained by the arithmetic unit 104, the first in the same manner as in the embodiment, a large undulation component 304a and 305a are components 304b and 305b became flat component is canceled as described above , if the conventional has been disabled left and right components 301b and 30
3bを含む成分301b〜303bとからなる信号となる。 The signal comprising a component 301b~303b including 3b.

【0054】したがって、本実施の形態での構成によっても、入力信号の処理領域の全てにわたって、有効なフィルタ処理結果を得ることができる。 [0054] Thus, by construction of the present embodiment, over all of the processing region of the input signal, it is possible to achieve effective filtering result.

【0055】(第3の実施の形態)本実施の形態では、 [0055] (Third Embodiment) In this embodiment,
上記図1に示したフィルタ回路100において、フィルタ101及び102をそれぞれ、例えば、3×3タップの2次元のFIRフィルタ及び9×9タップの2次元のFIRフィルタで構成する。 In the filter circuit 100 shown in FIG. 1, a filter 101 and 102, respectively, for example, consist of two-dimensional FIR filter of the two-dimensional FIR filter and 9 × 9 taps 3 × 3 tap. 尚、ここでは、上述した第1の実施の形態と主に異なる構成及び動作についてのみ具体的に説明する。 Here, specifically described only for the main different configuration and operation of the first embodiment described above.

【0056】まず、フィルタ101及び102の位相関係は、上述した第1の実施の形態と同様に、位相制御部103によって制御されるが、本実施の形態では、位相制御部103での位相制御を、次のような制御としている。 [0056] First, the phase relation of the filters 101 and 102, as in the first embodiment described above, but is controlled by the phase control unit 103, in this embodiment, the phase control in the phase controller 103 a, is a, such as the next control.

【0057】図5は、位相制御部103の制御による、 [0057] Figure 5, the control of the phase control unit 103,
入力画像信号の処理領域500に対するフィルタ101 Filter 101 for the processing region 500 of the input image signal
とフィルタ102の位相関係を示したものである。 And it shows the phase relationship of the filter 102. この図5において、”511”は、9×9タップのフィルタ102の処理範囲を示し、”512”は、3×3タップのフィルタ102の処理範囲(斜線部分)を示す。 In FIG. 5, "511" indicates processing range of the filter 102 of the 9 × 9-tap, "512" indicates the processing range of 3 × 3 tap filter 102 (hatched portion).

【0058】上記図5に示すように、位相制御部103 [0058] As shown in FIG. 5, the phase control unit 103
は、処理領域500において、3×3タップのフィルタ102の処理範囲512が、処理領域500の左上側では左上側、左下側では左下側、右上側では右上側、右下側では右下側となるように、フィルタ101とフィルタ102の位相関係を制御する。 , In the processing area 500, the processing range 512 of 3 × 3 tap filter 102, the upper left side in the upper left side of the processing region 500, lower left side in the lower left, upper right side in the upper right, the lower right side and lower right side so as to controls the phase relationship between the filter 101 and the filter 102.

【0059】したがって、本実施の形態での構成によっても、入力信号の処理領域の全てにわたって、有効なフィルタ処理結果を得ることができる。 [0059] Thus, by construction of the present embodiment, over all of the processing region of the input signal, it is possible to achieve effective filtering result. また、フィルタ1 In addition, the filter 1
01とフィルタ102の位相を徐々にずらしていくことから、入力画像信号全体にわたって、不連続な結果出力の変化は起こらない。 Since 01 and by shifting gradually the phase of the filter 102, over the entire input image signal, the change in the output discontinuity results will not occur. すなわち、連続したなめらな結果出力を得ることができる。 That is, it is possible to obtain a continuous smooth results output. これにより、本実施の形態におけるフィルタ回路400は、例えば、シェーディングムラの補正に用いて有効である。 Thus, the filter circuit 400 of this embodiment, for example, is effectively used to correct the shading unevenness. また、演算部104での演算を、例えば、フィルタ101及びフィルタ102 Also, the operation in the arithmetic unit 104, for example, filter 101 and filter 102
の各出力の和を求める演算とすれば、対象画像の全領域にわたる画像の平滑化処理が可能となり、高品位の平滑化画像を得ることができる。 If the calculation for obtaining the sum of the output, the smoothing processing of the image over the entire area of ​​the target image becomes possible, and it is possible to obtain a high-quality smoothed image.

【0060】(第4の実施の形態)本発明は、例えば、 [0060] (Fourth Embodiment) The present invention is, for example,
図6に示すような欠陥検査装置600に適用される。 It applied to the defect inspection apparatus 600 as shown in FIG. この欠陥検査装置600は、複写機等の感光ドラム614 The defect inspection apparatus 600, such as a copier photosensitive drums 614
の表面上にて発生する欠陥部を検出する装置であり、上記図1に示したフィルタ回路100を備えている。 A device for detecting a defect generated in the surface of, a filter circuit 100 shown in FIG. 1.

【0061】ここで、例えば、高精度な複写機を提供するためには、感光ドラム614の表面上が均質であり、 [0061] Here, for example, in order to provide a high-precision copiers are homogeneous on the surface of the photosensitive drum 614,
欠陥部が発生していないことが望ましい。 It is desirable that the defect does not occur. このため、従来では、フィルタ処理によって感光ドラム614の表面上の欠陥部を検出することで、感光ドラム614を用いた複写機等の装置或いはシステムの精度を上げることが実施されていたが、実際には、感光ドラム614の表面の端部において、数ミリメートルの範囲の欠陥部の検出を行なえない領域が生じていたので、装置或いはシステムの精度を上げることができなかった。 Therefore, conventionally, by detecting the defective portion on the surface of the photosensitive drum 614 by filtering, but is possible to increase the accuracy of the device or system such as a copying machine using a photosensitive drum 614 has been performed, the actual the, at the end of the surface of the photosensitive drum 614, there is no area perform defect detection section in the range of a few millimeters has occurred, it is impossible to improve the accuracy of the device or system.

【0062】そこで、本実施の形態では、欠陥検査装置600でのフィルタ処理を、上記図1に示したフィルタ回路100により構成する。 [0062] Therefore, in this embodiment, the filtering processing in the defect inspection apparatus 600 is configured by a filter circuit 100 shown in FIG. 1. 以下、本実施の形態における欠陥検査装置600について具体的に説明する。 It will be specifically described below defect inspection apparatus 600 according to this embodiment.

【0063】欠陥検査装置600は、上記図6に示すように、感光ドラム614の表面上を照射する照射部61 [0063] defect inspection apparatus 600, as shown in FIG. 6, the irradiation unit 61 for irradiating the upper surface of the photosensitive drum 614
3と、感光ドラム614の反射光を受光して画像信号を出力するラインセンサ615と、ラインセンサ615を駆動するカメラ駆動部617と、ラインセンサ615から出力される画像信号をディジタル化するアナログ/ディジタル(A/D)変換部616と、A/D変換部61 3, digitizes the line sensor 615 for outputting an image signal by receiving a camera driving unit 617 for driving the line sensor 615, an image signal output from the line sensor 615 a reflected light of the photosensitive drum 614 analog / a digital (a / D) converter 616, a / D converter 61
6にてディジタル化された画像信号を入力とするフィルタ回路100と、フィルタ回路100でのフィルタ処理後の画像信号を記憶する画像メモリ618と、画像メモリ618に記憶された画像信号から感光ドラム614の表面上の欠陥部を検出するパーソナルコンピュータ(以下、単に「パソコン」と言う)619とを備えており、 A filter circuit 100 which receives the digitized image signal by 6, an image memory 618 for storing the image signal after filtering by the filter circuit 100, the photosensitive from the image signal stored in the image memory 618 drum 614 a personal computer for detecting a defective portion on the surface (hereinafter, simply say "PC") has a 619 and,
パソコン619には、モニタ620及びプリンタ621 The personal computer 619, a monitor 620 and a printer 621
が接続されている。 There has been connected.

【0064】上述のような欠陥検査装置600において、先ず、感光ドラム614の表面は、照射部613によって照射される。 [0064] In the defect inspection apparatus 600 as described above, first, the surface of the photosensitive drum 614 is irradiated by the irradiation unit 613. この反射光は、ラインセンサ615 The reflected light, the line sensor 615
上に導かれ、ラインセンサ615の光電変換により、電気的な信号(画像信号)に変換される。 Guided above the photoelectric conversion of the line sensor 615, it is converted into an electrical signal (image signal).

【0065】ラインセンサ615により得られた画像信号(ビデオ信号)は、A/D変換機616によってディジタル化されて、フィルタ回路100のフィルタ101 [0065] image signal obtained by the line sensor 615 (video signal) is digitized by the A / D converter 616, filter 101 of the filter circuit 100
及び102にそれぞれ供給される。 And they are respectively supplied to the 102.

【0066】このとき、ラインセンサ615は、カメラ駆動部617によって駆動される。 [0066] At this time, the line sensor 615 is driven by the camera driving unit 617. カメラ駆動部617 Camera drive unit 617
は、ラインセンサ615を駆動すると共に、この駆動と同期した信号(同期信号)を、フィルタ回路100の位相制御部103に供給する。 It is configured to drive the line sensor 615, the driving and synchronizing signal (synchronizing signal) and supplies it to the phase controller 103 of the filter circuit 100.

【0067】フィルタ回路100は、上述した第1の実施の形態での構成によって、A/D変換部616からの画像信号に対してフィルタ処理を施して、その処理結果を画像メモリ618に対して出力する。 [0067] The filter circuit 100, depending on the configuration of the first embodiment described above, performs a filtering process on the image signal from the A / D conversion unit 616, the processing result to the image memory 618 Output. したがって、画像メモリ618には、感光ドラム614の表面上の全ての処理領域にわたって有効なフィルタ処理結果である画像信号が記憶される。 Therefore, in the image memory 618, the image signal is stored a valid filtering result over all of the processing areas on the surface of the photosensitive drum 614.

【0068】パソコン619は、画像メモリ618に記憶された画像信号から欠陥部を検出する。 [0068] PC 619 detects the defective portion from the image signal stored in the image memory 618. 例えば、画像メモリ618に記憶された画像信号に対して、予め設定されたしきい値を超えているか否かによって”1”又は”0”に置き換える2値化画像処理を行なう。 For example, performed for the image signal stored in the image memory 618, the binary image processing for replacing a "1" or "0" depending on whether it exceeds a preset threshold. そして、この処理結果から、欠陥部の位置、その大きさ、レベルを検出し、その検出結果が、予め設定された所定の範囲を超えた場合、感光ドラム614は不良品(NG) From this processing result, the position of the defect, their size, and detecting the level, the detection result, if it exceeds a preset predetermined range, the photosensitive drum 614 is defective (NG)
であると判定し、当該所定の範囲内であれば、感光ドラム614は良品(OK)であると判定する。 Determined to be, as long as it is within the predetermined range, the photosensitive drum 614 is determined to be good (OK).

【0069】パソコン619での判定結果は、出力端子622から検査結果として出力される。 [0069] determination in PC 619 is output as a test result from an output terminal 622. このとき、パソコン619での上述した検査過程や、出力端子622から出力される検査結果は、モニタ620やプリンタ62 In this case, the above-described inspection process and in the personal computer 619, the inspection result output from the output terminal 622, a monitor 620 and a printer 62
1から出力可能となっている。 It has become a possible output from the 1.

【0070】上述のように、本実施の形態では、上記図1のフィルタ回路100を欠陥検査装置600に適用した構成としたので、感光ドラム614の表面上の欠陥部を確実に検出することができる。 [0070] As described above, in this embodiment, since a configuration of applying the filter circuit 100 of FIG. 1 in the defect inspection apparatus 600, is possible to reliably detect the defective portion on the surface of the photosensitive drum 614 it can. したがって、感光ドラム614を用いた装置或いはシステムの品質と信頼性を向上することができる。 Therefore, it is possible to improve the quality and reliability of the device or system using a photosensitive drum 614.

【0071】尚、本実施の形態では、欠陥検査装置60 [0071] In the present embodiment, the defect inspection apparatus 60
0でのフィルタ処理を、第1の実施の形態におけるフィルタ回路で構成したが、これに限られることはなく、第2、或いは第3の実施の形態におけるフィルタ回路で構成するようにしてもよい。 Filtering at 0, was constructed in the filter circuit of the first embodiment, it is not limited thereto, the second, or may be composed of a filter circuit in the third embodiment .

【0072】また、本実施の形態では、本発明を、感光ドラム614の表面上の欠陥部を検出する欠陥検査装置600に適用したが、これに限られることはなく、例えば、液晶表示上の欠陥部や、イメージセンサ上の欠陥部等を検出する装置或いはシステム等にも適用可能である。 [0072] Further, in this embodiment, the present invention has been applied to the defect inspection apparatus 600 for detecting a defective portion on the surface of the photosensitive drum 614, it is not limited thereto, for example, a liquid crystal display on the defect and is also applicable to a device or a system such as detecting a defective portion or the like on the image sensor.

【0073】また、本発明の目的は、上述した第1〜第4の各実施の形態のホスト及び端末の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記憶した記憶媒体を、 [0073] Another object of the present invention, a storage medium storing software program codes for realizing the functions of the host and the terminal of the first to fourth respective embodiments described above,
システム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ(又はCPUやMPU)が記憶媒体に格納されたプログラムコードを読みだして実行することによっても、達成されることは言うまでもない。 To a system or apparatus, and causing the computer of the system or apparatus (or CPU or MPU) reads out and executes the program code stored in the storage medium, it is needless to say that is achieved. この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が上記各実施の形態の機能を実現することとなり、そのプログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することとなる。 In this case, the program code itself read from the storage medium realize the functions of the above embodiments, the storage medium storing the program codes constitutes the present invention. プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、ROM、フロッピーディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、CD−ROM、C As the storage medium for supplying the program code, ROM, floppy disk, hard disk, an optical disk, CD-ROM, C
D−R、磁気テープ、不揮発性のメモリカード等を用いることができる。 D-R, a magnetic tape, a nonvolatile memory card, and the like. また、コンピュータが読みだしたプログラムコードを実行することにより、本実施の形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているOS等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上記各実施の形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。 Further, by executing the program code read by the computer, not only the functions of the present embodiment is achieved, based on instructions of the program code, operating to OS or the like the actual processing on the computer It performs part or all of, also that the functions of the above embodiments are realized by those processes. さらに、記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された拡張機能ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるCPUなどが実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上記各実施の形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。 Furthermore, the program code read from the storage medium are written in a memory of a function expansion unit connected to the extension board or a computer which is inserted into the computer, based on instructions of the program code, the function expansion a CPU or the like provided in the board or the function expansion unit performs a part or all of the actual processing so that the functions of the above embodiments are realized by those processes.

【0074】 [0074]

【発明の効果】以上説明したように本発明では、信号波形処理の処理関数を、入力信号の処理すべき処理期間中に変化させるように構成したことにより、入力信号の処理区間の全ての領域にわたって、有効な処理結果のデータを得ることができる。 In the present invention, as described in the foregoing, the processing functions of the signal waveform processing, by that configured to change during the processing to be processing period of the input signal, all areas of the processing section of the input signal over, it is possible to obtain data of a valid processing result. 特に、従来のように処理領域の端部のデータが無効となることを防ぐことができる。 In particular, it is possible to prevent the data of the end portion of a conventional so-treated region becomes invalid.

【0075】また、2つのフィルタ(フィルタ係数が固定の2つのFIRフィルタ等)のフィルタにより上記信号波形処理を実施する際、当該2つのフィルタの処理の進行速度或いは位相関係を制御するように構成すれば、 [0075] Also, when the two filter (filter coefficients are two FIR filters of fixed) implementing the signal waveform processing by the filter of, configured to control the traveling speed or the phase relationship of the processing of the two filters if,
入力信号の処理領域の全てにわたり有効な処理結果のデータを得ることができる構成を、容易にハードウェアで実現できる。 A configuration that can achieve effective processing result of the data across all of the processing region of the input signal, can be realized easily in hardware.

【0076】また、上記フィルタの係数を変化させる(書き換える)ように構成すれば、フィルタ設定の自由度を大きくすることができる。 [0076] Further, if configured to vary the coefficients of the filter (rewritten), it is possible to increase the degree of freedom of filter settings.

【0077】また、それぞれがタップ長が異なる2つのフィルタにより上記信号波形処理を実施する際、入力信号の処理領域の左端では当該2つのフィルタのタップ位置の位相を左端にそろえ、入力信号の処理領域の右端では当該2つのフィルタのタップ位置の位相を右端にそろえるように構成すれば、入力信号の処理領域の左端から右端にわたって、全領域の有効なデータを得ることができる。 [0077] Further, when each implementing the signal waveform processing by the tap length of the two different filters, align the phase of the tap position of the two filters in the left end in the left end of the processing region of the input signal, processing of the input signal if configured to align the phases of the tap position of the two filters at the right end is at the right end of the region, may be over the right end from the left end of the processing region of the input signal to obtain valid data of all areas.

【0078】また、処理期間中に徐々に、上記位相の左端から右端へのずらしを行なうように構成すれば、フィルタ切り換えのつなぎ目をならめかにすることができ、 [0078] Also, gradually during the treatment period, if configured to perform a shift to the right end from the left end of the phase, it can be mechanical not a joint of filter switching,
なめらかに連続した有効なデータを得ることができる。 It is possible to obtain a smooth continuous valid data.

【0079】また、上記フィルタを2次元フィルタで構成すれば、2次元画像信号を信号処理対象として扱うことができる。 [0079] Further, when forming the filter in the two-dimensional filter can handle two-dimensional image signal as the signal processing.

【0080】また、それぞれがタップ長が異なる2つの2次元フィルタにより上記信号波形処理を実施する際、 [0080] Further, when performing the signal waveform processing by the two-dimensional filter is two to tap lengths are different,
入力信号の処理領域の左上部では当該2つのフィルタのタップ位置の位相を左上部にそろえ、入力信号の処理領域の左下部では当該2つのフィルタのタップ位置の位相を左下部にそろえ、入力信号の処理領域の右上部では当該2つのフィルタのタップ位置の位相を右上部にそろえ、入力信号の処理領域の右下部では当該2つのフィルタのタップ位置の位相を右下部にそろえるように構成すれば、入力信号の処理領域の左上部、左下部、右上部、 In the upper left portion of the processing region of the input signal is aligned with the phase of the tap position of the two filter in the upper left section, it aligns the phases of the tap position of the two filters in the lower left portion in the lower left portion of the processing region of the input signal, the input signal align the phases of the tap position of the two filters in the right top in the upper right portion of the treatment area, the right lower part of the processing region of the input signal be configured so as to align the phases of the tap position of the two filters in the lower right , the upper left portion of the processing region of the input signal, the lower left, upper right,
右下部にわたって、全領域の有効なデータを得ることができる。 Over the lower right, it is possible to obtain effective data for the entire area.

【0081】また、処理期間中に徐々に、上記位相の左上部、左下部、右上部、右下部の各部間のずらしを行なうように構成すれば、フィルタ切り換えのつなぎ目をならめかにすることができ、なめらかに連続した有効なデータを得ることができる。 [0081] Also, gradually during the treatment period, the upper left portion of the phase, lower left, upper right, if configured to perform a shift between the right lower each part be a mechanical not a joint of the filter switching can, it is possible to obtain a smooth continuous valid data.

【0082】したがって、本発明によれば、入力信号の処理領域の全域にわたり有効なデータを得ることができる。 [0082] Thus, according to the present invention, it is possible to obtain effective data throughout the entire processing region of the input signal. これにより、検査体の表面上の全ての領域にわたり、欠陥部の検出や光量ムラの除去等を効率的に且つ正確に行なうことができる。 Thus, over the whole region of the surface of the test body, it is possible to perform the removal or the like of the detection and light amount nonuniformity of the defective portion efficiently and accurately.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】第1の実施の形態において、本発明を適用したフィルタ回路の構成を示すブロック図である。 [1] In the first embodiment, it is a block diagram showing the configuration of a filter circuit according to the present invention.

【図2】上記フィルタ回路での2つのフィルタ(FIR [2] two filters in the filter circuit (FIR
フィルタ)の位相関係を説明するための図である。 It is a diagram for explaining the phase relationship of the filter).

【図3】上記フィルタ回路の入出力信号を説明するための図である。 3 is a diagram for explaining input and output signals of the filter circuit.

【図4】第2の実施の形態において、本発明を適用したフィルタ回路の構成を示すブロック図である。 In the form of Figure 4 a second embodiment, a block diagram illustrating the configuration of a filter circuit according to the present invention.

【図5】第3の実施の形態における、上記フィルタ回路での2つのフィルタ(2次元フィルタ)の位相関係を説明するための図である。 [5] in the third embodiment, it is a diagram for explaining the phase relationship of the two filters in the filter circuit (2-dimensional filter).

【図6】第4の実施の形態において、本発明を適用した欠陥検査装置の構成を示すブロック図である。 [6] In the fourth embodiment, a block diagram showing the configuration of the applied defect inspection apparatus of the present invention.

【図7】従来のフィルタ処理の構成を説明するための図である。 7 is a diagram for explaining a configuration of a conventional filter.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

100 フィルタ回路 101,102 フィルタ 103 位相制御部 104 演算部 105,106 入力端子 107 出力端子 100 filter circuits 101 and 102 filter 103 phase controller 104 calculating units 105 and 106 input terminal 107 output terminal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G051 AA90 AB20 BA10 BA20 CA03 CA04 CB01 EA04 EA08 EA12 EA14 EA19 EA23 EC05 ED03 ED07 FA10 5B057 BA28 CA06 CB06 CE05 CH09 DA03 5C077 PP02 PP08 PQ04 PQ08 ────────────────────────────────────────────────── ─── front page of continued F-term (reference) 2G051 AA90 AB20 BA10 BA20 CA03 CA04 CB01 EA04 EA08 EA12 EA14 EA19 EA23 EC05 ED03 ED07 FA10 5B057 BA28 CA06 CB06 CE05 CH09 DA03 5C077 PP02 PP08 PQ04 PQ08

Claims (17)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 入力信号に対して、任意の処理関数を用いた信号波形処理を行なう波形処理手段と、 上記入力信号の処理対象区間に基づいて、上記波形処理手段での処理関数を変化させる制御手段とを備えることを特徴とする信号処理装置。 Respect 1. A input signal, and a waveform processing means for performing signal waveform processing using the optional processing functions, based on the processing target section of the input signal, changing the processing functions in the waveform processing means signal processing apparatus characterized by a control unit.
  2. 【請求項2】 上記波形処理手段は、上記入力信号に対してそれぞれフィルタ処理を行なう第1及び第2のフィルタ手段を含み、 上記制御手段は、上記入力信号の処理対象区間の処理対象部分に基づいて、上記第1及び第2のフィルタ手段の位相関係を変化させることを特徴とする請求項1記載の信号処理装置。 Wherein said waveform processing means includes first and second filter means for performing filter processing respectively with respect to the input signal, the control means, the processed portion of the processing target section of the input signal based on signal processing device according to claim 1, wherein the changing the phase relationship between the first and second filter means.
  3. 【請求項3】 上記第1のフィルタ手段は、第1のタップ長を有し、 上記第2のフィルタ手段は、第2のタップ長を有し、 上記制御手段は、上記入力信号の処理対象区間の左部分では上記第1及び第2のフィルタ手段での各タップ位置の位相を当該左部分に対応させ、上記入力信号の処理対象区間の右部分では上記第1及び第2のフィルタ手段での各タップ位置の位相を当該右部分に対応させることを特徴とする請求項2記載の信号処理装置。 Wherein said first filter means have a first tap length, said second filter means has a second tap length, said control means, processed of the input signal in the left part of the section the phase of each tap position in the first and second filter means in correspondence with the left portion, the right portion of the processing target section of the input signal at the first and second filter means the signal processing apparatus according to claim 2, characterized in that to correspond to the right part of the phase of each tap position of.
  4. 【請求項4】 上記制御手段は、上記入力信号の処理対象区間に対する処理実行の経過に基づいて、上記位相の左部分から右部分への移行を行なうことを特徴とする請求項3記載の信号処理装置。 Wherein said control means, based on the course of process execution on the processing target section of the input signal, the signal according to claim 3, characterized by performing migration to the right portion from the left portion of the phase processing apparatus.
  5. 【請求項5】 上記波形処理手段は、上記入力信号に対してそれぞれフィルタ処理を行なう第1及び第2のフィルタ手段を含み、 上記制御手段は、上記第1及び第2のフィルタ手段のフィルタ係数を変化させることを特徴とする請求項1記載の信号処理装置。 Wherein said waveform processing means includes first and second filter means for performing filter processing respectively with respect to the input signal, the control means, the filter coefficients of the first and second filter means the signal processing apparatus according to claim 1, wherein the changing the.
  6. 【請求項6】 上記第1及び第2のフィルタ手段は、F Wherein said first and second filter means, F
    IRフィルタ及び2次元フィルタの少なくとも何れかを含むことを特徴とする請求項2記載の信号処理装置。 The signal processing apparatus according to claim 2, characterized in that it comprises at least one of IR filters and a two-dimensional filter.
  7. 【請求項7】 検査体から得られた画像信号に対して、 Relative 7. An image signal obtained from the test subject,
    任意の処理関数を用いた信号波形処理を行なう信号処理手段と、 上記信号処理手段の処理結果から、上記検査体上に生じている欠陥部を検出する検出手段とを備える欠陥情報検査装置であって、 上記信号処理手段は、請求項1〜6の何れかに記載の信号処理装置の機能を有することを特徴とする欠陥検査装置。 Signal processing means for performing signal waveform processing using the optional processing functions, the processing result of the signal processing means, a defect information inspection apparatus comprising a detecting means for detecting a defect occurring on the inspection object Te, the signal processing means, a defect inspection apparatus characterized by having a function of a signal processing apparatus according to any one of claims 1 to 6.
  8. 【請求項8】 複数の機器が通信可能に接続されてなる信号処理システムであって、 上記複数の機器のうち少なくとも1つの機器は、請求項1〜6の何れかに記載の信号処理装置の機能、又は請求項7記載の欠陥検査装置の機能を有することを特徴とする信号処理システム。 8. A plurality of devices a signal processing system formed by communicably connected to at least one device of the plurality of devices, the signal processing apparatus according to any one of claims 1 to 6 function, or signal processing system characterized by having a function of a defect inspection apparatus according to claim 7 wherein.
  9. 【請求項9】 入力信号に対して、任意の処理関数を用いた信号波形処理を行なうための波形処理ステップを含む信号処理方法であって、 上記入力信号の処理対象区間の処理中において、上記波形処理ステップでの処理関数を変化させる制御ステップを含むことを特徴とする信号処理方法。 Against 9. input signal, a signal processing method including a waveform processing step for performing signal waveform processing using any of the processing functions, the processing of the processing target section of the input signal, the signal processing method characterized by comprising the control step of changing the processing function of the waveform processing steps.
  10. 【請求項10】 上記波形処理ステップは、上記入力信号に対して第1のフィルタ処理及び第2のフィルタ処理を行なうステップを含み、 上記制御ステップは、上記第1のフィルタ処理及び第2 10. The waveform processing step includes the step of performing a first filtering and the second filtering process on the input signal, the control step, the first filter processing and the second
    のフィルタ処理での処理進行速度を制御するステップを含むことを特徴とする請求項9記載の信号処理方法。 Signal processing method according to claim 9, characterized in that it comprises the step of controlling the processing rate of progression in filtering.
  11. 【請求項11】 上記波形処理ステップは、上記入力信号に対して第1のフィルタ係数により第1のフィルタ処理を行なうステップ、及び上記入力信号に対して第2のフィルタ係数により第2のフィルタ処理を行なうステップを含み、 上記制御ステップは、上記第1のフィルタ係数及び第2 11. The waveform processing step, the first step of performing a first filtering by the filter coefficient to the input signal, and the second filter coefficients for said input signal second filtering wherein the step of performing, the control step, the first filter coefficients and the second
    のフィルタ係数を変化させるステップを含むことを特徴とする請求項9記載の信号処理方法。 Signal processing method according to claim 9, characterized in that it comprises a step of varying the filter coefficients.
  12. 【請求項12】 上記波形処理ステップは、上記入力信号に対して第1のタップ長を有するフィルタによりフィルタ処理を行なうステップ、及び上記入力信号に対して第2のタップ長を有するフィルタによりフィルタ処理を行なうステップを含み、 上記制御ステップは、上記入力信号の処理対象区間の左端では上記第1のタップ長と上記第2のタップ長の位相を左端に対応させ、上記入力信号の処理対象区間の右端では上記第1のタップ長と上記第2のタップ長の位相を右端に対応させるステップを含むことを特徴とする請求項9記載の信号処理方法。 12. The waveform processing step, filtering by a filter having a second tap length relative to the step of performing a filtering process, and said input signal by a filter having a first tap length relative to the input signal wherein the step of performing, the control step, the left end of the section to be processed of the input signal to correspond to the first tap length and the second tap length of the phase at the left end, of the processing target section of the input signal signal processing method according to claim 9, characterized in that it comprises a step to correspond to the right end of the first tap length and the second tap length of the phase at the right end.
  13. 【請求項13】 上記制御ステップは、上記入力信号の処理対象区間に対する処理実行の経過に基づいて、上記位相の左端から右端への移行を行なうステップを含むことを特徴とする請求項12記載の信号処理方法。 13. The control step, based on the course of process execution on the processing target section of the input signal, according to claim 12, characterized in that it comprises a step of performing a transition to the right from the left end of the phase signal processing method.
  14. 【請求項14】 上記波形処理ステップは、上記入力信号に対して第1のタップ長を有する2次元フィルタによりフィルタ処理を行なうステップ、及び上記入力信号に対して第2のタップ長を有する2次元フィルタによりフィルタ処理を行なうステップを含み、 上記制御ステップは、上記入力信号の処理対象領域の左上部分では上記第1のタップ長と上記第2のタップ長の位相を左上部分に対応させ、上記入力信号の処理対象領域の左下部分では上記第1のタップ長と上記第2のタップ長の位相を左下部分に対応させ、上記入力信号の処理対象領域の右上部分では上記第1のタップ長と上記第2 14. The waveform processing step comprises the steps of performing a filtering process by two-dimensional filter having a first tap length relative to the input signal, and two-dimensional having a second tap length relative to the input signal wherein the step of performing filter processing by the filter, the control step, the first tap length and the second tap length of the phase to correspond to the upper left portion in the upper left portion of the processing target area of ​​the input signal, the input in the lower left portion of the processing target area of ​​the signal made to correspond to the first tap length and the second tap length of the phase in the lower left portion, the first tap length and the in the upper right portion of the processing target area of ​​the input signal the second
    のタップ長の位相を右上部分に対応させ、上記入力信号の処理対象領域の右下部分では上記第1のタップ長と上記第2のタップ長の位相を右下部分に対応させるステップを含むことを特徴とする請求項9記載の信号処理方法。 The tap length of the phase to correspond to the upper right portion, that in the lower right portion of the processing target area of ​​the input signal including a step of corresponding said first tap length and the second tap length of the phase in the lower right portion signal processing method according to claim 9, wherein.
  15. 【請求項15】 上記制御ステップは、上記入力信号の処理対象領域に対する処理実行の経過に基づいて、上記位相の各部分への移行を行なうステップを含むことを特徴とする請求項14記載の信号処理方法。 15. The control step, based on the course of process execution on the processing target area of ​​the input signals, according to claim 14, wherein the signal, characterized in that it comprises a step of performing a transition to the portion of the phase Processing method.
  16. 【請求項16】 請求項1〜6の何れかに記載の信号処理装置、又は請求項7記載の欠陥検査装置、又は請求項8記載の信号処理システムが備える手段を実施するための処理ステップを、コンピュータが読出可能に格納したことを特徴とする記憶媒体。 16. A signal processing apparatus according to claim 1, or a defect inspection apparatus according to claim 7, or the process steps for implementing the means comprising signal processing system of claim 8, wherein the , storage medium characterized by the computer is stored readably.
  17. 【請求項17】 請求項9〜15の何れかに記載の信号処理方法の処理ステップを、コンピュータが読出可能に格納したことを特徴とする記憶媒体。 17. The processing steps of the signal processing method according to any one of claims 9 to 15, a storage medium, characterized in that the computer has been stored readably.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013501236A (en) * 2009-08-04 2013-01-10 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ Adaptive linear filter for real-time noise reduction in surface plasmon resonance system

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