JP2001059055A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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JP2001059055A
JP2001059055A JP11236193A JP23619399A JP2001059055A JP 2001059055 A JP2001059055 A JP 2001059055A JP 11236193 A JP11236193 A JP 11236193A JP 23619399 A JP23619399 A JP 23619399A JP 2001059055 A JP2001059055 A JP 2001059055A
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fine particles
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crystal display
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成史 倉本
Hironobu Toribuchi
浩伸 鳥淵
Shinji Wakatsuki
伸治 若槻
Norikuni Sasaki
令晋 佐々木
Isato Ikeda
勇人 池田
Tatsuto Matsuda
立人 松田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a photoresist composition for forming spacers useful for a liquid crystal display device of a high display quality by including a photosensitive resin and solid fine particles having a functional group reactive therewith. SOLUTION: This photoresist composition comprises (A) a photosensitive resin and (B) solid fine particles having a functional group reactive with the component A. The component B can be obtained by treating solid fine particles with a compound having the functional group reactive with the photosensitive resin (preferably a double bond, an SH group or the like). For example, the liquid crystal display device of a high display quality with slight movement of spacers can be produced by forming a color filter 23 comprising a black matrix 21 and each pixel 22, a flattened film 24, a transparent electrode 5 and an oriented film 25 on a transparent substrate 12, forming the transparent electrode 5 on a transparent substrate 11, forming the oriented film 25 on the resultant transparent electrode 5, coating the whole surfaces of the oriented films 25 with the composition, forming films 26 of the composition, carrying out the exposure and developing treatment and thereby capable of making the films of the composition remain in nonpixel regions of the liquid crystal display device.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に関
する。さらに詳しくは、フォトリソグラフィ技術により
スペーサが形成されてなる液晶表示装置に関する。
[0001] The present invention relates to a liquid crystal display device. More specifically, the present invention relates to a liquid crystal display device having a spacer formed by photolithography.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、LCDを製造する際にスペー
サの基板上への散布は湿式や乾式散布が行われている。
しかしながら、スペーサは画素上にも分散配置されるた
め、スペーサの存在部分は表示されず、しかも、スペー
サ自身や、液晶の配向乱れによるスペーサ周囲は、バッ
クライトの光が通過するという光抜けが発生し、その結
果、LCDのコントラスト低下やざらつきの要因となっ
て表示品位が大幅に低下するという問題があった。
2. Description of the Related Art Conventionally, when LCDs are manufactured, wet or dry spraying is performed to spray spacers on a substrate.
However, since the spacers are also dispersedly arranged on the pixels, the portions where the spacers are present are not displayed. In addition, light leakage occurs such that light from the backlight passes through the spacers themselves and around the spacers due to disorder in the alignment of the liquid crystal. However, as a result, there is a problem that the display quality is largely reduced due to a decrease in the contrast and roughness of the LCD.

【0003】そこで、画素以外の非画素領域に正確にス
ペーサを配置または形成するために、フォトリソグラフ
ィ技術を用いることが従来から知られている。例えば、
特開平9−160009号公報には、固体微粒子からな
るスペーサをフォトレジストと混合してフォトリソグラ
フィ技術により露光、現像処理を行って、ブラックマト
リクス上にスペーサを存在させる方法が開示されてい
る。また、特開平10−73827号公報には、フォト
リソグラフィ技術により感光性樹脂からなる柱状のスペ
ーサをブラックマトリクス上に形成する方法が開示され
ている。
In order to accurately arrange or form a spacer in a non-pixel region other than a pixel, it is conventionally known to use a photolithography technique. For example,
Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-160009 discloses a method in which a spacer composed of solid fine particles is mixed with a photoresist, exposed and developed by a photolithography technique, and the spacer is present on a black matrix. Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-73827 discloses a method of forming a columnar spacer made of a photosensitive resin on a black matrix by a photolithography technique.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、液晶
表示素子は、軽量・薄型という特徴を生かし、携帯電
話、ポケベルなどの携帯情報端末や移動体通信、カーナ
ビゲーションなど車載用途にも使用されている。これら
の用途では、デスクトップタイプのパソコン、ワープ
ロ、TVなどの用途に比べて、移動に伴う振動・衝撃な
どの負荷を受け、スペーサの移動が生じやすい。
In recent years, liquid crystal display elements have been used for mobile information terminals such as mobile phones and pagers, mobile communication systems, and car navigation systems, taking advantage of their lightweight and thin characteristics. I have. In these applications, the spacer is more likely to move due to a load such as vibration and impact due to the movement, as compared with applications such as desktop personal computers, word processors, and TVs.

【0005】また、近年、モニター・パソコン・TVな
どでは、画面が著しく大型化される一方であり、基板サ
イズが大型になったり(例えば550×650mm以
上)、パネルサイズが大きくなったり(例えば14イン
チ以上)すると、電極基板のたわみが生じやすく、液晶
表示装置の製造工程における液晶表示装置への振動や衝
撃によってスペーサが移動しやすい。
In recent years, the screen size of monitors, personal computers, TVs, and the like has been remarkably enlarged, and the substrate size has become larger (for example, 550 × 650 mm or more) or the panel size has become larger (for example, 14 or more). If it is greater than inch, the electrode substrate is likely to bend, and the spacer is likely to move due to vibration or impact on the liquid crystal display device during the manufacturing process of the liquid crystal display device.

【0006】例えば、特開平9−160009号公報の
方法では、上述したように、スペーサが移動して、液晶
層の厚みを均一かつ一定に保持できなくなるためギャッ
プ均一性が悪くなったり、画素部へスペーサが移動した
場合にはコントラスト低下を引き起こす問題もあり、フ
ォトリソグラフィ技術により正確に非画素領域にのみス
ペーサを配置・形成した意味が失われてしまう。一方、
特開平10−73827号公報の方法では、固体微粒子
を用いないため、スペーサの移動の問題はないが、柱状
のスペーサを形成するためにはフォトリソグラフィ技術
を何回も行う必要があり、煩雑でコストも高くなる。
For example, in the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-160009, as described above, the spacer is moved, and the thickness of the liquid crystal layer cannot be kept uniform and constant. When the spacer moves, there is a problem that the contrast is reduced, and the meaning of arranging and forming the spacer only in the non-pixel region by the photolithography technique is lost. on the other hand,
In the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-73827, there is no problem of spacer movement because solid fine particles are not used. However, photolithography must be performed many times to form columnar spacers, which is complicated. Costs are also high.

【0007】したがって、本発明の課題は、固体微粒子
からなるスペーサがフォトリソグラフィ技術を用いて正
確に非画素領域にのみ形成されており、しかもスペーサ
の移動の少なく、高表示品位の液晶表示装置を提供する
ことにある。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device of high display quality, in which spacers made of solid fine particles are accurately formed only in non-pixel regions by using photolithography technology, and in which the movement of the spacers is small. To provide.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明では、以下の構成の発明を提供する。 (1) 感光性樹脂と、前記感光性樹脂と反応可能な官能基
を有する固体微粒子とを含む、スペーサ形成用フォトレ
ジスト組成物。 (2) 感光性樹脂と、遮光性物質と、前記感光性樹脂と反
応可能な官能基を有する固体微粒子とを含む、カラーフ
ィルタのブラックマトリクス用組成物。
In order to solve the above problems, the present invention provides an invention having the following configuration. (1) A photoresist composition for forming a spacer, comprising a photosensitive resin and solid fine particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin. (2) A composition for a black matrix of a color filter, comprising a photosensitive resin, a light-shielding substance, and solid fine particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】本発明では、固体微粒子からなる
スペーサの移動を防ぐために、スペーサとして作用す
る、感光性樹脂と反応可能な官能基を有する固体微粒子
を、感光性樹脂とともに用いるものであり、具体的には
次の2つの技術を提案する。 (1) 感光性樹脂と、前記感光性樹脂と反応可能な官能基
を有する固体微粒子とを含む、スペーサ形成用フォトレ
ジスト組成物を用いて、液晶表示装置の非画素領域に該
フォトレジスト組成物の膜が残留するように、フォトリ
ソグラフィ技術により、露光、現像処理を行う。これに
よると、フォトリソグラフィ技術を用いるので正確に非
画素領域にのみスペーサを形成でき、しかも固体微粒子
の有する感光性樹脂と反応可能な官能基と感光性樹脂と
が化学結合するので、スペーサ(固体微粒子)が強固に
固定化され、液晶表示装置に振動や衝撃が加わってもス
ペーサが移動しにくく、画質が向上する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, solid fine particles having a functional group capable of reacting with a photosensitive resin and acting as a spacer are used together with the photosensitive resin in order to prevent the movement of the spacer composed of the solid fine particles. Specifically, the following two technologies are proposed. (1) a photosensitive resin, including solid fine particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin, using a photoresist composition for spacer formation, the photoresist composition in a non-pixel region of a liquid crystal display device Exposure and development are carried out by photolithography so that the film remains. According to this, since the photolithography technique is used, a spacer can be accurately formed only in the non-pixel region, and a functional group capable of reacting with the photosensitive resin of the solid fine particles chemically bonds to the photosensitive resin. (Fine particles) are firmly fixed, and the spacer does not easily move even when vibration or impact is applied to the liquid crystal display device, so that the image quality is improved.

【0010】(2) 感光性樹脂と、遮光性物質と、前記感
光性樹脂と反応可能な官能基を有する固体微粒子とを含
む、カラーフィルタのブラックマトリクス用組成物を用
いて、フォトリソグラフィ技術により、露光、現像処理
を行って、液晶表示装置のブラックマトリクスを形成す
る。これによると、フォトリソグラフィ技術を用いるの
で正確にブラックマトリクス(すなわち、非画素領域)
にのみスペーサを形成でき、しかも固体微粒子の有する
感光性樹脂と反応可能な官能基と感光性樹脂とが化学結
合するので、スペーサ(固体微粒子)が強固に固定化さ
れるため、液晶表示装置に振動や衝撃が加わってもスペ
ーサが移動しにくく、画質が向上する。
(2) Using a composition for a black matrix of a color filter, comprising a photosensitive resin, a light-shielding substance, and solid fine particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin, using a photolithography technique. , Exposure and development processes to form a black matrix of the liquid crystal display device. According to this, since the photolithography technique is used, the black matrix (that is, the non-pixel area) is accurately formed.
The spacers (solid fine particles) are firmly fixed because a functional group capable of reacting with the photosensitive resin of the solid fine particles and the photosensitive resin are chemically bonded, so that the spacers (solid fine particles) are firmly fixed. Even if vibration or shock is applied, the spacer is hard to move, and the image quality is improved.

【0011】以下、上記(1) と(2) について順に具体的
に説明する。 [(1) のスペーサ形成用フォトレジスト組成物を用いる
場合](1) のスペーサ形成用フォトレジスト組成物は、
感光性樹脂と、前記感光性樹脂と反応可能な官能基を有
する固体微粒子とを含む。感光性樹脂とは、紫外光領域
から可視光領域の範囲内の波長の光を照射することによ
って、現像液に対する溶解性が変化する性質を有する樹
脂であり、ネガ型とポジ型に分類される。
Hereinafter, the above (1) and (2) will be specifically described in order. [When the photoresist composition for forming a spacer of (1) is used] The photoresist composition for forming a spacer of (1) is:
It includes a photosensitive resin and solid fine particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin. A photosensitive resin is a resin having a property of changing its solubility in a developer by irradiating light having a wavelength within a range from an ultraviolet light region to a visible light region, and is classified into a negative type and a positive type. .

【0012】ネガ型の感光性樹脂の代表例としては、エ
チレン性不飽和二重結合を1つ以上有する光重合性化合
物と光重合開始剤とを含む感光性樹脂が挙げられる。上
記光重合性化合物としては、公知の(メタ)アクリレー
ト化合物が挙げられる。具体的には、各種のポリエステ
ル(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレー
ト、ウレタン(メタ)アクリレート、ポリアクリルアミ
ドを骨格として備えたウレタン(メタ)アクリレート、
ポリブタジエンを骨格として備えたウレタン(メタ)ア
クリレート等の(メタ)アクリレート化合物のオリゴマ
ー;アルコキシポリエチレングリコール(n=1〜1
0)モノ(メタ)アクリレート、アルコキシポリプロピ
レングリコール(n=1〜10)モノ(メタ)アクリレ
ート、フェニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メ
タ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレー
ト、ラウリル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)
アクリレート、(メタ)アクリル酸、イタコン酸、アク
リルアミド、N,N’−ジアルキルアクリルアミド、
N,N’−ジアルキルエチル(メタ)アクリルアシド、
N,N’−ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレ
ート、N−ビニルピロリドン、(メタ)アクリロイルモ
ルホリン、イソボルニル(メタ)アクリレート等の単官
能性のモノマー;エチレンジグリコール(メタ)アクリ
レート、プロピレンジグリコール(メタ)アクリレート
類、ブチレンジグリコール(メタ)アクリレート類、ヘ
キシレンジグリコール(メタ)アクリレート類、ネオペ
ンチルグリコールジアクリレート、ポリエチレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート類、ポリプロピレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート類、トリメチロールプロパ
ントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテ
トラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ
(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド変性トリメ
チロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エチレン
オキサイド変性ペンタエリスリトールテトラ(メタ)ア
クリレート、エチレンオキサイド変性グリセロール(メ
タ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレー
ト、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、アルリル
(メタ)アクリレート、メタアルリル(メタ)アクリレ
ート、トリアルリル(イソ)シアヌレート、トリアルリ
ルトリメライト、ジビニルベンゼン類、ジ(メタ)アル
リルフタレート類、ジ(メタ)アクリロイルオキシエチ
ルフタレート、ビニルフェニル(メタ)アリルエーテ
ル、メチレンビス(メタ)アルリルアクリルアミド等の
多官能性のモノマー;ポリ(メタ)アクリル酸エステ
ル、ポリ(メタ)アクリルアミド、ポリスチレンやポリ
酢酸ビニルなどのポリマーの末端に重合性二重結合を有
する化合物等の光重合性のマクロマー等が挙げられる。
これらの光重合性化合物は、単独で用いてもよいし、二
種以上併用してもよい。
Representative examples of the negative photosensitive resin include a photosensitive resin containing a photopolymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond and a photopolymerization initiator. Examples of the photopolymerizable compound include known (meth) acrylate compounds. Specifically, various polyester (meth) acrylates, epoxy (meth) acrylates, urethane (meth) acrylates, urethane (meth) acrylates having polyacrylamide as a skeleton,
Oligomers of (meth) acrylate compounds such as urethane (meth) acrylate having polybutadiene as a skeleton; alkoxy polyethylene glycol (n = 1 to 1)
0) mono (meth) acrylate, alkoxy polypropylene glycol (n = 1 to 10) mono (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, octyl ( Meta)
Acrylate, (meth) acrylic acid, itaconic acid, acrylamide, N, N'-dialkylacrylamide,
N, N′-dialkylethyl (meth) acrylic acid,
Monofunctional monomers such as N, N'-dialkylaminoalkyl (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, (meth) acryloylmorpholine, isobornyl (meth) acrylate; ethylene diglycol (meth) acrylate, propylene diglycol (meth) ) Acrylates, butylene diglycol (meth) acrylates, hexylene diglycol (meth) acrylates, neopentyl glycol diacrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylates, polypropylene glycol di (meth) acrylates, trimethylolpropane Tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate Dipentaerythritol penta (meth) acrylate, ethylene oxide-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ethylene oxide-modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate, ethylene oxide-modified glycerol (meth) acrylate, glycerol di (meth) acrylate, Glycerol tri (meth) acrylate, aryl (meth) acrylate, methallyl (meth) acrylate, triallyl (iso) cyanurate, triallyl trimerite, divinylbenzenes, di (meth) allyl phthalate, di (meth) acryloyloxyethyl Polyfunctional monomers such as phthalate, vinylphenyl (meth) allyl ether, methylenebis (meth) allylacrylamide; poly (meth) acyl Le esters, poly (meth) acrylamide, polystyrene and poly end of the polymer of vinyl acetate compound having a polymerizable double bond such photopolymerizable macromers of the like.
These photopolymerizable compounds may be used alone or in combination of two or more.

【0013】これらの光重合性化合物は、感光性樹脂中
60重量%以上の割合で使用するのが好ましい。上記光
重合開始剤としては、公知のものを用いることができ、
例えば、ベンジル、ベンゾインエーテル、ベンゾインイ
ソブチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、
ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息
香酸メチル、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニル
サルファイド、ベンジルメチルケタール、ジメチルアミ
ノメチルベンゾエート、2−n−ブトキシエチル−4−
ジメチルアミノベンゾエート、p−ジメチルアミノ安息
香酸イソアミル、3,3’−ジメチル−4−メトキシベ
ンゾフェノン、メチロベンゾイルフォーメート、2−メ
チル−1−(4−(メチルチオ)フェニル)−2−モル
フォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメ
チルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタ
ン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−ヒ
ドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロ
キシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−
2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−
(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−
メチルプロパン−1−オン、2−クロロチオキサント
ン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソ
プロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサン
トン、イソプロピルチオキサントン、1−クロロ−4−
プロポキシチオキサントン等が挙げられる。これらの光
重合開始剤は、単独で用いてもよいし、二種以上併用し
てもよい。
These photopolymerizable compounds are preferably used in a proportion of not less than 60% by weight in the photosensitive resin. As the photopolymerization initiator, known ones can be used,
For example, benzyl, benzoin ether, benzoin isobutyl ether, benzoin isopropyl ether,
Benzophenone, benzoylbenzoic acid, methyl benzoylbenzoate, 4-benzoyl-4'-methyldiphenylsulfide, benzylmethylketal, dimethylaminomethylbenzoate, 2-n-butoxyethyl-4-
Dimethylaminobenzoate, isoamyl p-dimethylaminobenzoate, 3,3'-dimethyl-4-methoxybenzophenone, methylobenzoylformate, 2-methyl-1- (4- (methylthio) phenyl) -2-morpholinopropane -1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 1- (4-dodecylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane-1- On, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-
2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-
(4-Isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-
Methylpropan-1-one, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 1-chloro-4-
And propoxythioxanthone. These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

【0014】これらの光重合開始剤は上記光重合性化合
物に対し、0.5〜30重量%の範囲内で使用すること
が好ましく、より好ましくは2〜15重量%である。上
記ネガ型の感光性樹脂は、必要によりその他の高分子結
合剤を含んでいても良いが、感光性樹脂中40重量%以
下の割合で使用するのが好ましい。ポジ型の感光性樹脂
としては、o−ナフトキノンジアジドスルホン酸ノボラ
ックエステル、o−ジアゾナフトキノンスルホン酸ノボ
ラックエステル、ポリフェニル(メタ)アクリレート、
ポリ(p−ホルミロキシスチレン)、ノボラック/ジヒ
ドロピリジン化合物、ノボラック/ニフェジピン、N−
t−ブチロキシカルボニルマレイミド−スチレン共重合
体等が挙げられる。また、紫外光によってポリマー主鎖
が切断される物質、例えば、ポリメタクリル酸メチル、
ポリメチルイソプロペニルケトン、ポリ(o−ニトロベ
ンズアルデヒドグリコールアセタール)なども、ポジ型
感光性樹脂として利用することができる。
These photopolymerization initiators are preferably used in the range of 0.5 to 30% by weight, more preferably 2 to 15% by weight, based on the above photopolymerizable compound. The negative photosensitive resin may contain other polymer binders as necessary, but is preferably used in a proportion of 40% by weight or less in the photosensitive resin. Examples of the positive photosensitive resin include o-naphthoquinonediazidosulfonic acid novolak ester, o-diazonaphthoquinonesulfonic acid novolak ester, polyphenyl (meth) acrylate,
Poly (p-formyloxystyrene), novolak / dihydropyridine compound, novolak / nifedipine, N-
t-butyloxycarbonylmaleimide-styrene copolymer and the like. Further, a substance whose main chain of the polymer is cleaved by ultraviolet light, for example, polymethyl methacrylate,
Polymethylisopropenyl ketone, poly (o-nitrobenzaldehyde glycol acetal) and the like can also be used as the positive photosensitive resin.

【0015】上記感光性樹脂と反応可能な官能基を有す
る固体微粒子は、固体微粒子を、感光性樹脂と反応可能
な官能基を有する化合物で処理することにより得られ
る。感光性樹脂と反応可能な官能基としては、二重結合
基、カルボキシル基、アミノ基、SH基、エポキシ基、
イソシアネート基、水酸基等が挙げられ、好ましくは、
感光性樹脂の二重結合基と反応し易い二重結合基、SH
基であり、特に好ましくは二重結合基である。これら感
光性樹脂と反応可能な官能基は、固体微粒子の表面に存
在することが、感光性樹脂との反応が容易であるため好
ましい。
The fine solid particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin can be obtained by treating the solid fine particles with a compound having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin. Functional groups that can react with the photosensitive resin include a double bond group, a carboxyl group, an amino group, an SH group, an epoxy group,
Isocyanate group, hydroxyl group and the like, preferably,
Double bond group which easily reacts with double bond group of photosensitive resin, SH
And particularly preferably a double bond group. These functional groups capable of reacting with the photosensitive resin are preferably present on the surface of the solid fine particles because the reaction with the photosensitive resin is easy.

【0016】上記固体微粒子の平均粒子径は通常0.5
〜100μmであり、好ましくは1〜50μm、より好
ましくは1.5〜30μmである。平均粒子径が上記範
囲を外れると、液晶表示装置のスペーサとして用いられ
ない領域である。上記固体微粒子の粒子径の変動係数
は、10%以下であることが好ましく、より好ましくは
8%以下、さらに好ましくは6%以下である。粒子径の
変動係数が10%を超えると、液晶表示装置における液
晶層の厚みを均一かつ一定に保持することが困難とな
り、画像ムラを起こしやすくなる。
The average particle diameter of the solid fine particles is usually 0.5
To 100 μm, preferably 1 to 50 μm, more preferably 1.5 to 30 μm. If the average particle diameter is out of the above range, it is a region that is not used as a spacer of the liquid crystal display device. The coefficient of variation of the particle diameter of the solid fine particles is preferably 10% or less, more preferably 8% or less, and further preferably 6% or less. When the variation coefficient of the particle diameter exceeds 10%, it becomes difficult to keep the thickness of the liquid crystal layer in the liquid crystal display device uniform and constant, and image unevenness is likely to occur.

【0017】上記固体微粒子の形状は、液晶表示装置の
隙間距離を均一に一定とする上で球状であることが好ま
しい。これは、粒子が球状であると、全てまたはほぼ全
ての方向について一定またはほぼ一定の粒径を有するこ
とができるからである。このような球状の微粒子は、懸
濁重合、乳化重合、分散重合、シード重合などにより製
造される。
The shape of the solid fine particles is preferably spherical in order to make the gap distance of the liquid crystal display device uniform. This is because if the particles are spherical, they can have a constant or nearly constant particle size in all or almost all directions. Such spherical fine particles are produced by suspension polymerization, emulsion polymerization, dispersion polymerization, seed polymerization, or the like.

【0018】上記固体微粒子としては、種々のものがあ
り、特に限定はされないが、たとえば、有機架橋重合体
粒子、無機系粒子、有機質無機質複合体粒子等が挙げら
れる。これらの中でも、ビニル系架橋重合体粒子および
有機質無機質複合体粒子が、電極基板、配向膜またはカ
ラーフィルターの損傷防止や両電極基板間の隙間距離の
均一性を得やすい点で好ましく、有機質無機質複合体粒
子が最も好ましい。
The solid fine particles include various types, and are not particularly limited. Examples thereof include organic crosslinked polymer particles, inorganic particles, and organic / inorganic composite particles. Among these, vinyl-based crosslinked polymer particles and organic-inorganic composite particles are preferable because they can easily prevent damage to the electrode substrate, the alignment film or the color filter, and can easily obtain the uniformity of the gap distance between the two electrode substrates. Body particles are most preferred.

【0019】前記有機架橋重合体粒子としては、特に限
定はされないが、たとえば、ジビニルベンゼン等のビニ
ル基を2個以上有する架橋性ビニル単量体を単独で重合
あるいは他のビニル単量体と共重合させて得られるジビ
ニルベンゼン架橋樹脂粒子(特開平1−144429号
公報参照)等のビニル系架橋重合体粒子が挙げられる。
The organic cross-linked polymer particles are not particularly limited. For example, a cross-linkable vinyl monomer having two or more vinyl groups such as divinylbenzene is polymerized alone or is co-polymerized with another vinyl monomer. And vinyl-based crosslinked polymer particles such as divinylbenzene crosslinked resin particles obtained by polymerization (see JP-A-1-144429).

【0020】前記無機系粒子としては、特に限定はされ
ないが、たとえば、ガラス、シリカ、アルミナ等の球状
微粒子等が挙げられる。前記有機質無機質複合体粒子
は、有機質部分と無機質部分とからなる複合粒子であ
る。この有機質無機質複合体粒子において、前記無機質
部分の割合は、特に限定はされないが、たとえば、前記
有機質無機質複合体粒子の重量に対して、無機酸化物換
算で、好ましくは10〜90wt%、より好ましくは2
5〜85wt%、より好ましくは30〜80wt%の範
囲である。無機質部分の割合を示す無機酸化物換算と
は、有機質無機質複合体粒子を空気中などの酸化雰囲気
中で高温(たとえば1000℃)で焼成した前後の重量
を測定することにより求めた重量百分率で示される。有
機質無機質複合体粒子の無機質部分の割合が、無機酸化
物換算で前記範囲を下回ると、有機質無機質複合体粒子
が軟らかくなり、電極基板への散布個数が増えることが
あり、また、前記範囲を上回ると、硬すぎて液晶表示装
置における配向膜の損傷やTFTの断線が生じやすくな
ることがある。
The inorganic particles are not particularly restricted but include, for example, spherical fine particles such as glass, silica and alumina. The organic-inorganic composite particles are composite particles comprising an organic portion and an inorganic portion. In the organic-inorganic composite particles, the ratio of the inorganic portion is not particularly limited, but is, for example, preferably 10 to 90 wt%, more preferably 10 to 90 wt%, in terms of inorganic oxide, based on the weight of the organic-inorganic composite particles. Is 2
It is in the range of 5 to 85 wt%, more preferably 30 to 80 wt%. The term “inorganic oxide equivalent” indicating the proportion of the inorganic portion refers to the percentage by weight determined by measuring the weight before and after firing the organic-inorganic composite particles at a high temperature (for example, 1000 ° C.) in an oxidizing atmosphere such as air. It is. When the ratio of the inorganic portion of the organic-inorganic composite particles falls below the above range in terms of inorganic oxide, the organic-inorganic composite particles become softer, and the number of particles dispersed on the electrode substrate may increase. When the film is too hard, the alignment film in the liquid crystal display device may be damaged and the TFT may be easily broken.

【0021】このような有機質無機質複合体粒子として
は、特に限定はされないが、たとえば、有機ポリマー骨
格と、前記有機ポリマー骨格中の少なくとも1個の炭素
原子にケイ素原子が直接化学結合した有機ケイ素を分子
内に有するポリシロキサン骨格とを含み、前記ポリシロ
キサン骨格を構成するSiO2 の量が好ましくは10〜
90wt%、より好ましくは25〜85wt%、最も好
ましくは30〜80wt%の範囲である、有機質無機質
複合体粒子等を挙げることができる。有機ポリマー骨格
としては、ビニル系ポリマーがギャップコントロールを
制御できる高復元性を与えるため、好ましい。
The organic-inorganic composite particles are not particularly limited, and include, for example, an organic polymer skeleton and an organic silicon in which a silicon atom is directly chemically bonded to at least one carbon atom in the organic polymer skeleton. And the amount of SiO 2 constituting the polysiloxane skeleton is preferably 10 to 10.
Organic-inorganic composite particles in a range of 90 wt%, more preferably 25 to 85 wt%, and most preferably 30 to 80 wt%. As the organic polymer skeleton, a vinyl-based polymer is preferable because it provides high restoring property in which gap control can be controlled.

【0022】有機質無機質複合体粒子の製造方法として
は、特に限定されないが、たとえば、縮合工程と重合工
程と熱処理工程とを含む下記の製造方法が挙げられる。
縮合工程は、ラジカル重合性基含有シリコン化合物を用
いて加水分解・縮合する工程である。ラジカル重合性基
含有シリコン化合物は、次の一般式(1):
The method for producing the organic-inorganic composite particles is not particularly limited, and examples thereof include the following production method including a condensation step, a polymerization step and a heat treatment step.
The condensation step is a step of performing hydrolysis and condensation using a silicon compound having a radical polymerizable group. The radical polymerizable group-containing silicon compound has the following general formula (1):

【0023】[0023]

【化1】 Embedded image

【0024】(ここで、Ra は水素原子またはメチル基
を示し;Rb は、置換基を有していても良い炭素数1〜
20の2価の有機基を示し;Ri は、炭素数1〜20の
1価の有機基を示し;Rc は、水素原子と、炭素数1〜
5のアルキル基と、炭素数2〜5のアシル基とからなる
群から選ばれる少なくとも1つの1価基を示す。lは0
又は1である。)と、次の一般式(2):
(Wherein, R a represents a hydrogen atom or a methyl group; R b has 1 to 5 carbon atoms which may have a substituent)
R i represents a monovalent organic group having 1 to 20 carbon atoms; R c represents a hydrogen atom and 1 to 20 carbon atoms;
And at least one monovalent group selected from the group consisting of an alkyl group having 5 and an acyl group having 2 to 5 carbon atoms. l is 0
Or 1. ) And the following general formula (2):

【0025】[0025]

【化2】 Embedded image

【0026】(ここで、Rd は水素原子またはメチル基
を示し;Rj は、炭素数1〜20の1価の有機基を示
し;Re は、水素原子と、炭素数1〜5のアルキル基
と、炭素数2〜5のアシル基とからなる群から選ばれる
少なくとも1つの1価基を示す。mは0又は1であ
る。)と、次の一般式(3):
(Where R d represents a hydrogen atom or a methyl group; R j represents a monovalent organic group having 1 to 20 carbon atoms; R e represents a hydrogen atom and 1 to 5 carbon atoms) And at least one monovalent group selected from the group consisting of an alkyl group and an acyl group having 2 to 5 carbon atoms. M is 0 or 1.) and the following general formula (3):

【0027】[0027]

【化3】 Embedded image

【0028】(ここで、Rf は水素原子またはメチル基
を示し;Rg は、置換基を有していても良い炭素数1〜
20の2価の有機基を示し;Rk は、炭素数1〜20の
1価の有機基を示し;Rh は、水素原子と、炭素数1〜
5のアルキル基と、炭素数2〜5のアシル基とからなる
群から選ばれる少なくとも1つの1価基を示す。nは0
又は1である。)とからなる群から選ばれる少なくとも
1つの一般式で表される化合物またはその誘導体である
ことが好ましい。
(Wherein, R f represents a hydrogen atom or a methyl group; R g represents an optionally substituted C 1 -C 1)
R k represents a monovalent organic group having 1 to 20 carbon atoms; R h represents a hydrogen atom and a C 1 to C 20 organic group;
And at least one monovalent group selected from the group consisting of an alkyl group having 5 and an acyl group having 2 to 5 carbon atoms. n is 0
Or 1. ) Is preferably a compound represented by at least one general formula selected from the group consisting of or a derivative thereof.

【0029】重合工程は、縮合工程中および/または縮
合工程後に、ラジカル重合性基をラジカル重合反応させ
て粒子を得る工程である。熱処理工程は、重合工程で生
成した重合体粒子を好ましくは800℃以下の温度、よ
り好ましくは100〜600℃の温度で乾燥および焼成
する工程である。熱処理工程は、たとえば、10容量%
以下の酸素濃度を有する雰囲気中や減圧下で行われるこ
とが好ましい。
The polymerization step is a step in which a radical polymerizable group undergoes a radical polymerization reaction during and / or after the condensation step to obtain particles. The heat treatment step is a step of drying and firing the polymer particles produced in the polymerization step, preferably at a temperature of 800C or lower, more preferably at a temperature of 100 to 600C. The heat treatment step is, for example, 10% by volume.
It is preferable to perform the reaction in an atmosphere having the following oxygen concentration or under reduced pressure.

【0030】上記固体微粒子を処理するのに用いられ
る、感光性樹脂と反応可能な官能基を有する化合物とし
ては、上記固体微粒子に存在する官能基と反応可能な基
を有し、かつ感光性樹脂と反応可能な官能基を有する化
合物や、固体微粒子表面の少なくとも一部を被覆するこ
とのできる、感光性樹脂と反応可能な官能基を有する化
合物が挙げられる。固体微粒子に存在する官能基と反応
可能な基を有し、かつ感光性樹脂と反応可能な官能基を
有する化合物としては、例えば、二重結合基、カルボキ
シル基、アミノ基、SH基、エポキシ基、イソシアネー
ト基、水酸基から選ばれる少なくとも一種の基を有する
シラン系カップリング剤やチタネート系カップリング
剤、アルミネート系カップリング剤等が挙げられ、具体
的には、(メタ)アクリロキシプロピルトリアルコキシ
シラン、(メタ)アクリロキシプロピルメチルジアルコ
キシシラン、γ−アミノプロピルトリアルコキシシラ
ン、γ−メルカプトプロピルトリアルコキシシラン、ビ
ニルトリアルコキシシラン、γ−(2−アミノエチル)
アミノプロピルトリアルコキシシラン、γ−グリシドキ
シプロピルトリアルコキシシラン、γ−グリシドキシプ
ロピルメチルジアルコキシシラン、γ−イソシアネート
プロピルトリアルコキシシラン、γ−ヒドロキシプロピ
ルトリアルコキシシラン等が挙げられる。
As the compound having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin used for treating the solid fine particles, the compound having a group capable of reacting with the functional group present in the solid fine particles, and And a compound having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin and capable of coating at least a part of the surface of the solid fine particles. Examples of the compound having a group capable of reacting with the functional group present in the solid fine particles and having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin include a double bond group, a carboxyl group, an amino group, an SH group, and an epoxy group. Silane-based coupling agents, titanate-based coupling agents, and aluminate-based coupling agents having at least one group selected from an isocyanate group and a hydroxyl group, and specifically, (meth) acryloxypropyl trialkoxy. Silane, (meth) acryloxypropylmethyl dialkoxysilane, γ-aminopropyl trialkoxysilane, γ-mercaptopropyl trialkoxysilane, vinyl trialkoxysilane, γ- (2-aminoethyl)
Examples include aminopropyl trialkoxysilane, γ-glycidoxypropyl trialkoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyl dialkoxysilane, γ-isocyanatopropyl trialkoxysilane, γ-hydroxypropyl trialkoxysilane, and the like.

【0031】また、固体微粒子表面の少なくとも一部を
被覆することのできる、感光性樹脂と反応可能な官能基
を有する化合物としては、例えば、二重結合基、カルボ
キシル基、アミノ基、SH基、エポキシ基、イソシアネ
ート基、水酸基から選ばれる少なくとも一種の基を有す
るポリマー等が挙げられる。該ポリマーは非架橋のもの
であっても、架橋されていてもかまわず、(メタ)アク
リル系樹脂、スチレン系樹脂等のビニル系樹脂;エポキ
シ樹脂;ポリエステル樹脂等が挙げられる。
Examples of the compound having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin capable of coating at least a part of the surface of the solid fine particles include, for example, a double bond group, a carboxyl group, an amino group, an SH group, Examples include polymers having at least one group selected from an epoxy group, an isocyanate group, and a hydroxyl group. The polymer may be non-crosslinked or crosslinked, and examples thereof include vinyl resins such as (meth) acrylic resins and styrene resins; epoxy resins; and polyester resins.

【0032】上記感光性樹脂と反応可能な官能基を有す
る化合物の使用量としては、特に限定されないが、好ま
しくは固体微粒子に対して0.01〜100wt%の範
囲であり、より好ましくは0.1〜30wt%の範囲で
ある。本発明のスペーサ形成用フォトレジスト組成物
は、上記した感光性樹脂、感光性樹脂と反応可能な官能
基を有する固体微粒子以外の成分として、溶剤、増粘
剤、レベリング剤等を含有するものであっても良い。
The amount of the compound having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin is not particularly limited, but is preferably in the range of 0.01 to 100 wt%, more preferably 0.1 to 100 wt%, based on the solid fine particles. It is in the range of 1 to 30 wt%. The photoresist composition for forming a spacer of the present invention contains the above-described photosensitive resin, a component other than the solid fine particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin, a solvent, a thickener, a leveling agent, and the like. There may be.

【0033】本発明のスペーサ形成用フォトレジスト組
成物は、液晶表示装置のスペーサをフォトリソグラフィ
技術により作製するためのものである。本発明の第1の
液晶表示装置は、一対の透明基板の間に液晶が封入され
ており、前記液晶を挟んで相対する前記透明基板面にそ
れぞれ透明電極が設けられており、さらに前記液晶層の
厚みを一定に保持するためのスペーサが備えられたもの
である。また、必要に応じて前記透明基板の片方にカラ
ーフィルタが設けられている。このような液晶表示装置
の一例を表す概略断面図を図1に示す。
The photoresist composition for forming a spacer according to the present invention is for producing a spacer for a liquid crystal display device by photolithography. In a first liquid crystal display device of the present invention, liquid crystal is sealed between a pair of transparent substrates, and transparent electrodes are respectively provided on the transparent substrate surfaces opposed to each other with the liquid crystal interposed therebetween, and further, the liquid crystal layer Is provided with a spacer for keeping the thickness of the film constant. Further, a color filter is provided on one of the transparent substrates as needed. FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of such a liquid crystal display device.

【0034】図1では、液晶材料を介在して対向配置さ
れた一対の電極基板(第1電極基板110と第2電極基
板120)と、スペーサとを備える。第1電極基板11
0は、第1透明基板11と、第1透明基板11の表面に
形成された電極5とを有する。第2電極基板120は、
第2透明基板12と、その上に形成されたブラックマト
リクス21と赤、緑、青の各画素22とからなるカラー
フィルタ23と、さらにその上に形成されたカラーフィ
ルタの表面の凹凸を埋めるための絶縁性の平坦化膜24
と、さらにその上に形成された電極5と、さらにその上
に形成された配向膜25とを有する。第1電極基板11
0と第2電極基板120とはその周辺部でシール材2に
よって接着されている。スペーサは、前記基板間に選択
的に分散配置されて、前記基板の間隔を保持するもので
あり、シール材2中に分散するシール部スペーサ(図示
せず)と面内に分散する面内スペーサ8とが存在する。
面内スペーサ8はフォトレジスト組成物の膜26から一
部突出した形で存在する。液晶材料7は、第1電極基板
110と第2電極基板120との間に封入されており、
第1電極基板110と第2電極基板120とシール材2
とで囲まれた空間に充填されている。なお、図1ではカ
ラーフィルタを有する液晶表示装置を示すが、カラー対
応でない場合にはカラーフィルタは不要である。
FIG. 1 includes a pair of electrode substrates (a first electrode substrate 110 and a second electrode substrate 120) which are arranged to face each other with a liquid crystal material interposed therebetween, and a spacer. First electrode substrate 11
0 has a first transparent substrate 11 and an electrode 5 formed on the surface of the first transparent substrate 11. The second electrode substrate 120 is
A second transparent substrate 12, a color filter 23 including a black matrix 21 and red, green, and blue pixels 22 formed thereon, and a color filter 23 formed on the second transparent substrate 12 to fill in irregularities on the surface of the color filter. Insulating flattening film 24
And an electrode 5 further formed thereon, and an alignment film 25 further formed thereon. First electrode substrate 11
The first electrode substrate 120 and the second electrode substrate 120 are adhered to each other by a sealing material 2 at a peripheral portion thereof. The spacers are selectively dispersed between the substrates to maintain the distance between the substrates, and include a seal spacer (not shown) dispersed in the seal material 2 and an in-plane spacer dispersed in the plane. 8 exists.
The in-plane spacer 8 exists in such a manner as to partially protrude from the film 26 of the photoresist composition. The liquid crystal material 7 is sealed between the first electrode substrate 110 and the second electrode substrate 120,
First electrode substrate 110, second electrode substrate 120, and sealing material 2
The space enclosed by and is filled. Note that FIG. 1 shows a liquid crystal display device having a color filter. However, a color filter is not required if the device does not support color.

【0035】本発明の第1の液晶表示装置は、上記の本
発明のスペーサ形成用フォトレジスト組成物を用いて、
フォトリソグラフィ技術により、液晶表示装置の非画素
領域に該フォトレジスト組成物の膜を残留させたもので
ある。フォトレジスト組成物はスペーサとして機能する
固体微粒子を含むものであるが、フォトレジスト組成物
の膜は当初の塗布膜厚よりも厚さが大幅に減少するた
め、前記固体微粒子が該膜から一部突出した形となりス
ペーサとしての機能を果たす。画素領域にスペーサが存
在するとスペーサの存在部分が表示されず、スペーサ自
身や、液晶の配向乱れによりスペーサ周囲は光抜けが発
生するからである。したがって、例えば、TNモードの
場合には、文字や図案の周辺や間隙等、表示に直接かか
わらない領域のみにスペーサを配置することが好まし
い。また、例えば、STNモードの場合には、電極基板
の透明電極がストライプ状に配列されているので、それ
らの透明電極の間隙にスペーサを配置することが好まし
い。また、例えば、TFTやSTNのカラー表示の場
合、カラーフィルタの画素のR、G、B以外の部分、す
なわち、ブラックマトリクスの上に配置することが好ま
しい。また、カラーフィルタのある基板と対向した電極
基板上にスペーサを配置する場合は、ブラックマトリク
スに対する位置へ配置することが好ましい。
The first liquid crystal display device of the present invention uses the photoresist composition for forming a spacer of the present invention described above,
A film of the photoresist composition is left in a non-pixel region of a liquid crystal display device by a photolithography technique. Although the photoresist composition contains solid fine particles that function as spacers, since the thickness of the photoresist composition film is significantly reduced from the initial coating thickness, the solid fine particles partially protruded from the film. It becomes a shape and functions as a spacer. This is because if a spacer is present in the pixel region, the portion where the spacer is present is not displayed, and light leakage occurs around the spacer itself or around the spacer due to disorder in the alignment of the liquid crystal. Therefore, for example, in the case of the TN mode, it is preferable to dispose the spacer only in an area that is not directly related to the display, such as around a character or a design or a gap. Further, for example, in the case of the STN mode, since the transparent electrodes of the electrode substrate are arranged in a stripe shape, it is preferable to dispose a spacer between the transparent electrodes. Further, for example, in the case of color display of a TFT or STN, it is preferable to dispose the color filter pixels on portions other than R, G, and B, that is, on a black matrix. In the case where the spacer is arranged on the electrode substrate facing the substrate having the color filter, it is preferable to arrange the spacer at a position corresponding to the black matrix.

【0036】本発明の第1の液晶表示装置を製造する方
法としては、上記の本発明のスペーサ形成用フォトレジ
スト組成物を用いて、液晶表示装置の非画素領域に該フ
ォトレジスト組成物の膜が残留するように、フォトリソ
グラフィ技術により露光、現像処理を行う。具体的に
は、次のような方法が挙げられるが、これに限定される
ものではない。すなわち、透明基板上に、ブラックマト
リクスと各画素とからなるカラーフィルタ、平坦化膜、
透明電極、配向膜を常法にしたがって形成した後、前記
配向膜上に、上記フォトレジスト組成物を全面塗布して
フォトレジスト組成物の膜を形成する。該フォトレジス
ト組成物の膜を、所望のパターンのフォトマスクを介し
て紫外線を照射して露光し、現像により不要な部分を除
去し、必要に応じてポストベーク処理する。
In the first method of manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, a film of the photoresist composition is formed in a non-pixel region of the liquid crystal display device by using the above-described photoresist composition for forming a spacer of the present invention. Exposure and development are performed by photolithography technology so that remains. Specifically, the following method is exemplified, but the method is not limited thereto. That is, a color filter including a black matrix and each pixel, a planarizing film,
After forming a transparent electrode and an alignment film according to a conventional method, the photoresist composition is applied on the entire surface of the alignment film to form a film of the photoresist composition. The film of the photoresist composition is exposed to ultraviolet light through a photomask having a desired pattern, and is exposed to light, unnecessary portions are removed by development, and post-baking is performed as necessary.

【0037】該フォトレジスト組成物の膜の乾燥膜厚
は、固体微粒子の直径より小さければ特に限定されない
が、0.1〜2μmであることが好ましく、0.2〜1
μmであることがより好ましい。前記範囲よりも乾燥膜
厚が薄い場合にはスペーサの固定化が弱く、振動や衝撃
によりスペーサが移動するおそれがある。前記範囲より
も乾燥膜厚が厚い場合は固体微粒子が感光性樹脂層に埋
もれてしまい、スペーサとして機能しなくなる。
The dry film thickness of the photoresist composition film is not particularly limited as long as it is smaller than the diameter of the solid fine particles, but is preferably 0.1 to 2 μm, more preferably 0.2 to 1 μm.
More preferably, it is μm. If the dry film thickness is smaller than the above range, the fixing of the spacer is weak, and the spacer may move due to vibration or impact. If the dry film thickness is larger than the above range, the solid fine particles will be buried in the photosensitive resin layer and will not function as a spacer.

【0038】該フォトレジスト組成物に含まれる感光性
樹脂がネガ型の場合は、露光された部分が硬化し、未露
光部分を現像により除去するため、残留させたい部分が
露光されるようなパターンを有するフォトマスクを用い
る。一方、該フォトレジスト組成物に含まれる感光性樹
脂がポジ型の場合は、露光した部分を現像により除去す
るため、除去したい部分が露光されるようなパターンを
有するフォトマスクを用いる。
When the photosensitive resin contained in the photoresist composition is of a negative type, the exposed portions are cured and the unexposed portions are removed by development, so that the portions to be left exposed are exposed. Is used. On the other hand, when the photosensitive resin contained in the photoresist composition is a positive type, a photomask having a pattern such that the portion to be removed is exposed is used to remove the exposed portion by development.

【0039】本発明の第1の液晶表示装置において、ス
ペーサ以外の、電極基板、シール材、液晶材料などにつ
いては従来と同様のものを従来と同様に使用することが
できる。電極基板としては、ガラス基板、フィルム基板
などが使用できる。シール材としては、エポキシ樹脂接
着シール材などが使用される。液晶としては、従来より
用いられているものでよく、たとえば、ビフェニル系、
フェニルシクロヘキサン系、シッフ塩基系、アゾ系、ア
ゾキシ系、安息香酸エステル系、ターフェニル系、シク
ロヘキシルカルボン酸エステル系、ビフェニルシクロヘ
キサン系、ピリミジン系、ジオキサン系、シクロヘキシ
ルシクロヘキサンエステル系、シクロヘキシルエタン
系、シクロヘキセン系、フッ素系などの液晶が使用でき
る。
In the first liquid crystal display device of the present invention, other than the spacers, for the electrode substrate, the sealing material, the liquid crystal material, and the like, those similar to the conventional one can be used similarly. As the electrode substrate, a glass substrate, a film substrate, or the like can be used. As the sealing material, an epoxy resin adhesive sealing material or the like is used. As the liquid crystal, a conventionally used liquid crystal may be used, for example, a biphenyl-based liquid crystal,
Phenylcyclohexane, Schiff base, azo, azoxy, benzoate, terphenyl, cyclohexylcarboxylate, biphenylcyclohexane, pyrimidine, dioxane, cyclohexylcyclohexaneester, cyclohexylethane, cyclohexene And fluorine-based liquid crystals can be used.

【0040】本発明の第1の液晶表示装置は、たとえ
ば、上記のようにしてスペーサを形成した後、エポキシ
樹脂等の接着シール材にシール部スペーサを分散させた
ものをもう一方の電極基板の接着シール部分にスクリー
ン印刷などの手段により塗布したものを載せ、適度の圧
力を加え、100〜180℃の温度で1〜60分間の加
熱、または、照射量40〜300mJ/cm2 の紫外線照
射により、接着シール材を加熱硬化させた後、液晶を注
入し、注入部を封止することで製造することができる
が、これに限定されるものではない。
In the first liquid crystal display device of the present invention, for example, after the spacer is formed as described above, the one obtained by dispersing the sealing portion spacer in an adhesive sealing material such as epoxy resin is used for the other electrode substrate. The adhesive seal is placed on the adhesive seal by means of screen printing or the like, and a suitable pressure is applied. The adhesive is heated at a temperature of 100 to 180 ° C. for 1 to 60 minutes, or irradiated with an ultraviolet ray having an irradiation amount of 40 to 300 mJ / cm 2. After the adhesive sealant is cured by heating, it can be manufactured by injecting liquid crystal and sealing the injection portion, but is not limited thereto.

【0041】本発明の第1の液晶表示装置は、従来の液
晶表示装置と同じ用途、たとえば、テレビ、モニター、
パーソナルコンピューター、ワードプロセッサー、カー
ナビゲーションシステム、DVD、デジタルビデオカメ
ラ、PHS(携帯情報端末)などの画像表示素子として
使用される。 [(2) のブラックマトリクス用組成物を用いる場合]
(2) のブラックマトリクス用組成物は、感光性樹脂と、
遮光性物質と、感光性樹脂と反応可能な官能基を有する
固体微粒子とを含む。
The first liquid crystal display device of the present invention has the same applications as conventional liquid crystal display devices, for example, televisions, monitors,
It is used as an image display element of a personal computer, word processor, car navigation system, DVD, digital video camera, PHS (Personal Digital Assistant), and the like. [When using the composition for black matrix of (2)]
The composition for black matrix of (2), a photosensitive resin,
It includes a light-shielding substance and solid fine particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin.

【0042】感光性樹脂としては、(1) のスペーサ形成
用フォトレジスト組成物に含まれる感光性樹脂と同様の
ものを使用できるが、光重合に必要な紫外線を遮光性物
質が吸収してしまうおそれがあるため、高感度な感光性
樹脂を使用することが好ましい。遮光性物質としては、
カーボンブラック、カーボンブラックグラフトポリマ
ー、黒色有機顔料、チタンブラック、鉄黒、クロム黒等
を使用することができる。中でも感光性樹脂への分散性
に優れる点で、カーボンブラックにポリマーがグラフト
したカーボンブラックグラフトポリマーが好ましく、感
光性樹脂と化学結合して強固なブラックマトリクスが得
られる点で、感光性樹脂と反応可能な官能基を有するポ
リマーがグラフとしたカーボンブラックグラフトポリマ
ーがより好ましく、二重結合基を有するポリマーがグラ
フトしたカーボンブラックグラフトポリマーが最も好ま
しい。その使用量としては、感光性樹脂に対し10〜9
0重量%の割合であることが好ましく、20〜70重量
%の割合であることがより好ましい。
As the photosensitive resin, the same resin as the photosensitive resin contained in the photoresist composition for forming a spacer (1) can be used, but a light-shielding substance absorbs ultraviolet rays necessary for photopolymerization. For this reason, it is preferable to use a photosensitive resin having high sensitivity. As a light-shielding substance,
Carbon black, carbon black graft polymer, black organic pigment, titanium black, iron black, chromium black and the like can be used. Among them, a carbon black graft polymer obtained by grafting a polymer to carbon black is preferable in that it has excellent dispersibility in a photosensitive resin, and reacts with the photosensitive resin in that a strong black matrix is obtained by chemically bonding with the photosensitive resin. The carbon black graft polymer in which the polymer having a possible functional group is graphed is more preferable, and the carbon black graft polymer in which the polymer having a double bond group is grafted is most preferable. The amount used is 10 to 9 with respect to the photosensitive resin.
The proportion is preferably 0% by weight, more preferably 20 to 70% by weight.

【0043】感光性樹脂と反応可能な官能基を有する固
体微粒子としては、(1) のスペーサ形成用フォトレジス
ト組成物に含まれる感光性樹脂と反応可能な官能基を有
する固体微粒子と同様のものを使用できる。本発明のブ
ラックマトリクス用組成物は、上記した感光性樹脂、遮
光性物質、感光性樹脂と反応可能な官能基を有する固体
微粒子以外の成分として、溶剤、増粘剤、レベリング剤
等を含有するものであっても良い。
The solid fine particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin include the same solid fine particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin contained in the photoresist composition for forming a spacer (1). Can be used. The composition for a black matrix of the present invention contains a solvent, a thickener, a leveling agent, and the like as components other than the above-described photosensitive resin, a light-shielding substance, and solid fine particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin. It may be something.

【0044】本発明のブラックマトリクス用組成物は、
液晶表示装置のブラックマトリクスをフォトリソグラフ
ィ技術により作製するためのものである。本発明の第2
の液晶表示装置は、一対の透明基板の間に液晶が封入さ
れており、前記液晶を挟んで相対する前記透明基板面に
それぞれ透明電極が設けられており、さらに前記液晶層
の厚みを一定に保持するためのスペーサが備えられたも
のである。また、必要に応じて前記透明基板の片方にカ
ラーフィルタが設けられている。このような液晶表示装
置の一例を表す概略断面図を図2に示す。
The black matrix composition of the present invention comprises:
This is for producing a black matrix of a liquid crystal display device by a photolithography technique. Second embodiment of the present invention
In the liquid crystal display device, liquid crystal is sealed between a pair of transparent substrates, and transparent electrodes are respectively provided on the transparent substrate surfaces opposed to each other with the liquid crystal interposed therebetween, and further, the thickness of the liquid crystal layer is kept constant. It is provided with a spacer for holding. Further, a color filter is provided on one of the transparent substrates as needed. FIG. 2 is a schematic sectional view showing an example of such a liquid crystal display device.

【0045】図2では、液晶材料を介在して対向配置さ
れた一対の電極基板(第1電極基板110と第2電極基
板120)と、スペーサとを備える。第1電極基板11
0は、第1透明基板11と、第1透明基板11の表面に
形成された電極5とを有する。第2電極基板120は、
第2透明基板12と、その上に形成されたブラックマト
リクス21と赤、緑、青の各画素22とからなるカラー
フィルタ23と、さらにその上に形成されたカラーフィ
ルタの表面の凹凸を埋めるための絶縁性の平坦化膜24
と、さらにその上に形成された電極5と、さらにその上
に形成された配向膜25とを有する。第1電極基板11
0と第2電極基板120とはその周辺部でシール材2に
よって接着されている。スペーサは、前記基板間に選択
的に分散配置されて、前記基板の間隔を保持するもので
あり、シール材2中に分散するシール部スペーサ(図示
せず)と面内に分散する面内スペーサ8とが存在する。
面内スペーサ8はブラックマトリクスから一部突出した
形で存在する。液晶材料7は、第1電極基板110と第
2電極基板120との間に封入されており、第1電極基
板110と第2電極基板120とシール材2とで囲まれ
た空間に充填されている。
In FIG. 2, a pair of electrode substrates (a first electrode substrate 110 and a second electrode substrate 120) disposed opposite each other with a liquid crystal material interposed therebetween, and a spacer are provided. First electrode substrate 11
0 has a first transparent substrate 11 and an electrode 5 formed on the surface of the first transparent substrate 11. The second electrode substrate 120 is
A second transparent substrate 12, a color filter 23 including a black matrix 21 and red, green, and blue pixels 22 formed thereon, and a color filter 23 formed on the second transparent substrate 12 to fill in irregularities on the surface of the color filter. Insulating flattening film 24
And an electrode 5 further formed thereon, and an alignment film 25 further formed thereon. First electrode substrate 11
The first electrode substrate 120 and the second electrode substrate 120 are adhered to each other by a sealing material 2 at a peripheral portion thereof. The spacers are selectively dispersed between the substrates to maintain the distance between the substrates, and include a seal spacer (not shown) dispersed in the seal material 2 and an in-plane spacer dispersed in the plane. 8 exists.
The in-plane spacer 8 exists so as to partially protrude from the black matrix. The liquid crystal material 7 is sealed between the first electrode substrate 110 and the second electrode substrate 120, and is filled in a space surrounded by the first electrode substrate 110, the second electrode substrate 120, and the sealing material 2. I have.

【0046】本発明の第2の液晶表示装置は、上記のブ
ラックマトリクス用組成物を用いて、フォトリソグラフ
ィ技術により、液晶表示装置のカラーフィルタのブラッ
クマトリクスが形成されたものである。ブラックマトリ
クス用組成物はスペーサとして機能する固体微粒子を含
むものであるが、ブラックマトリクス用組成物の膜は当
初の塗布膜厚よりも厚さが大幅に減少するため、前記固
体微粒子が該膜から一部突出した形となりスペーサとし
ての機能を果たす。ブラックマトリクスは非画素領域で
あるため、スペーサは非画素領域にのみ配置される。し
たがって、スペーサ自身や、液晶の配向乱れによるスペ
ーサ周囲の光抜けが発生しない。
In the second liquid crystal display device of the present invention, a black matrix of a color filter of the liquid crystal display device is formed by photolithography using the above-described black matrix composition. Although the black matrix composition contains solid fine particles that function as spacers, the thickness of the film of the black matrix composition is significantly reduced from the initial coating film thickness, and thus the solid fine particles are partially removed from the film. It has a protruding shape and functions as a spacer. Since the black matrix is a non-pixel region, the spacer is arranged only in the non-pixel region. Therefore, light leakage around the spacer itself or around the spacer due to disturbance of the alignment of the liquid crystal does not occur.

【0047】本発明の第2の液晶表示装置を製造する方
法としては、上記の本発明のブラックマトリクス用組成
物を用いて、フォトリソグラフィ技術により露光、現像
処理を行って、液晶表示装置のカラーフィルタのブラッ
クマトリクスを形成する。具体的には、次のような方法
が挙げられるが、これに限定されるものではない。すな
わち、透明基板上に、各画素を形成した後、その上に上
記ブラックマトリクス用組成物を全面塗布して該組成物
の膜を形成する。該組成物の膜を、所望のパターンのフ
ォトマスクを介して紫外線を照射して露光し、現像によ
り不要な部分を除去し、必要に応じてポストベーク処理
して、各画素とブラックマトリクスとからなるカラーフ
ィルタを得る。その後、平坦化膜、透明電極、配向膜を
常法にしたがって形成する。このとき、ブラックマトリ
クス用組成物に含まれるスペーサとして作用する固体微
粒子は、配向膜の上に突出していて、かつ該固体微粒子
が存在する箇所には透明電極が存在しないように注意す
る必要がある。固体微粒子の上に透明電極が存在すると
上下基板間がショートするためである。
As a second method of manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, the above-described black matrix composition of the present invention is exposed and developed by photolithography to obtain a color liquid crystal display device. The black matrix of the filter is formed. Specifically, the following method is exemplified, but the method is not limited thereto. That is, after forming each pixel on a transparent substrate, the above-mentioned composition for a black matrix is applied over the entire surface to form a film of the composition. The film of the composition is exposed to ultraviolet light through a photomask of a desired pattern and exposed to light, unnecessary portions are removed by development, post-baking is performed as necessary, and each pixel and the black matrix are removed. To obtain a color filter. After that, a flattening film, a transparent electrode, and an alignment film are formed according to a conventional method. At this time, it is necessary to take care that the solid fine particles acting as spacers included in the composition for black matrix project above the alignment film, and that the transparent electrode does not exist where the solid fine particles exist. . This is because the presence of the transparent electrode on the solid fine particles causes a short circuit between the upper and lower substrates.

【0048】該ブラックマトリクス用組成物の膜の乾燥
膜厚は、固体微粒子の直径より小さければ特に限定され
ないが、0.1〜2μmであることが好ましく、0.2
〜1μmであることがより好ましい。前記範囲よりも乾
燥膜厚が薄い場合にはスペーサの固定化が弱く、振動や
衝撃によりスペーサが移動するおそれがある。前記範囲
よりも乾燥膜厚が厚い場合は固体微粒子が感光性樹脂層
に埋もれてしまい、スペーサとして機能しなくなる。
The dry thickness of the film of the composition for black matrix is not particularly limited as long as it is smaller than the diameter of the solid fine particles, but is preferably 0.1 to 2 μm, more preferably 0.2 to 2 μm.
More preferably, it is 1 μm. If the dry film thickness is smaller than the above range, the fixing of the spacer is weak, and the spacer may move due to vibration or impact. If the dry film thickness is larger than the above range, the solid fine particles will be buried in the photosensitive resin layer and will not function as a spacer.

【0049】該ブラックマトリクス用組成物に含まれる
感光性樹脂がネガ型の場合は、露光された部分が硬化
し、未露光部分を現像により除去するため、残留させた
い部分が露光されるようなパターンを有するフォトマス
クを用いる。一方、該ブラックマトリクス用組成物に含
まれる感光性樹脂がポジ型の場合は、露光した部分を現
像により除去するため、除去したい部分が露光されるよ
うなパターンを有するフォトマスクを用いる。
When the photosensitive resin contained in the black matrix composition is a negative type, the exposed portion is cured and the unexposed portion is removed by development, so that the portion to be left exposed is exposed. A photomask having a pattern is used. On the other hand, when the photosensitive resin contained in the black matrix composition is a positive type, a photomask having a pattern that exposes a portion to be removed is used in order to remove an exposed portion by development.

【0050】本発明の第2の液晶表示装置において、ス
ペーサ以外の、電極基板、シール材、液晶材料などにつ
いては従来と同様のものを従来と同様に使用することが
できる。電極基板としては、ガラス基板、フィルム基板
などが使用できる。シール材としては、エポキシ樹脂接
着シール材などが使用される。液晶としては、従来より
用いられているものでよく、たとえば、ビフェニル系、
フェニルシクロヘキサン系、シッフ塩基系、アゾ系、ア
ゾキシ系、安息香酸エステル系、ターフェニル系、シク
ロヘキシルカルボン酸エステル系、ビフェニルシクロヘ
キサン系、ピリミジン系、ジオキサン系、シクロヘキシ
ルシクロヘキサンエステル系、シクロヘキシルエタン
系、シクロヘキセン系、フッ素系などの液晶が使用でき
る。
In the second liquid crystal display device of the present invention, other than the spacers, for the electrode substrate, the sealing material, the liquid crystal material, and the like, those similar to the conventional one can be used similarly. As the electrode substrate, a glass substrate, a film substrate, or the like can be used. As the sealing material, an epoxy resin adhesive sealing material or the like is used. As the liquid crystal, a conventionally used liquid crystal may be used, for example, a biphenyl-based liquid crystal,
Phenylcyclohexane, Schiff base, azo, azoxy, benzoate, terphenyl, cyclohexylcarboxylate, biphenylcyclohexane, pyrimidine, dioxane, cyclohexylcyclohexaneester, cyclohexylethane, cyclohexene And fluorine-based liquid crystals can be used.

【0051】本発明の第2の液晶表示装置は、たとえ
ば、上記のようにしてスペーサを形成した後、エポキシ
樹脂等の接着シール材にシール部スペーサを分散させた
ものをもう一方の電極基板の接着シール部分にスクリー
ン印刷などの手段により塗布したものを載せ、適度の圧
力を加え、100〜180℃の温度で1〜60分間の加
熱、または、照射量40〜300mJ/cm2 の紫外線照
射により、接着シール材を加熱硬化させた後、液晶を注
入し、注入部を封止することで製造することができる
が、これに限定されるものではない。
According to the second liquid crystal display device of the present invention, for example, after forming a spacer as described above, a sealing portion spacer dispersed in an adhesive sealing material such as epoxy resin is used as the other electrode substrate. The adhesive seal is placed on the adhesive seal by means of screen printing or the like, and a suitable pressure is applied. The adhesive is heated at a temperature of 100 to 180 ° C. for 1 to 60 minutes, or irradiated with an ultraviolet ray having an irradiation amount of 40 to 300 mJ / cm 2. After the adhesive sealant is cured by heating, it can be manufactured by injecting liquid crystal and sealing the injection portion, but is not limited thereto.

【0052】本発明の第2の液晶表示装置は、従来の液
晶表示装置と同じ用途、たとえば、テレビ、モニター、
パーソナルコンピューター、ワードプロセッサー、カー
ナビゲーションシステム、DVD、デジタルビデオカメ
ラ、PHS(携帯情報端末)などの画像表示素子として
使用される。
The second liquid crystal display device of the present invention has the same application as a conventional liquid crystal display device, for example, a television, a monitor,
It is used as an image display element of a personal computer, word processor, car navigation system, DVD, digital video camera, PHS (Personal Digital Assistant), and the like.

【0053】[0053]

【実施例】以下に実施例によりさらに詳細に本発明を説
明するが、本発明はこれに限定されるものではない。な
お、以下において「部」とは特にことわりがない限り、
「重量部」を表すものとする。 <固体微粒子の平均粒子径、粒子径の変動係数>固体微
粒子を電子顕微鏡により観察して、その撮影像の任意の
粒子200個の粒子径を実測し、次式に従って、平均粒
子径、粒子径の標準偏差および粒子径の変動係数を求め
た。
The present invention will be described in more detail with reference to the following Examples, but it should not be construed that the invention is limited thereto. In the following, “parts” are used unless otherwise specified.
It shall represent "parts by weight". <Average particle diameter of solid fine particles, variation coefficient of particle diameter> Observing the solid fine particles with an electron microscope, actually measuring the particle diameter of 200 arbitrary particles in the photographed image, and calculating the average particle diameter and particle diameter according to the following formulas And the coefficient of variation of the particle diameter were determined.

【0054】[0054]

【数1】 (Equation 1)

【0055】[0055]

【数2】 (Equation 2)

【0056】[0056]

【数3】 (Equation 3)

【0057】(固体微粒子の合成例) [合成例1]ジビニルベンゼン80重量%とジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート20重量%とからなる
単量体混合物を懸濁重合させた。デカンテーションによ
りスラリーから生成重合体粒子を分離し、水洗した後、
分級することにより、球状の比較固体微粒子(11)を
得た。
(Synthesis Example of Solid Fine Particles) [Synthesis Example 1] A monomer mixture composed of 80% by weight of divinylbenzene and 20% by weight of dipentaerythritol hexaacrylate was subjected to suspension polymerization. After separating the produced polymer particles from the slurry by decantation and washing with water,
By classification, spherical comparative solid fine particles (11) were obtained.

【0058】得られた比較固体微粒子(11)は、平均
粒子径5.8μm、粒子径の変動係数4.0%であっ
た。次に、比較固体微粒子(11)表面に二重結合基を
導入する方法を以下に示す。まず、水50g、イソプロ
ピルアルコール50g、γ−アクリロキシプロピルトリ
メトキシシラン10gを混合し、更に酢酸0.1gを添
加して混合し、50℃で1時間加熱攪拌した。
The obtained comparative solid fine particles (11) had an average particle diameter of 5.8 μm and a coefficient of variation in particle diameter of 4.0%. Next, a method for introducing a double bond group on the surface of the comparative solid fine particle (11) will be described below. First, 50 g of water, 50 g of isopropyl alcohol, and 10 g of γ-acryloxypropyltrimethoxysilane were mixed, 0.1 g of acetic acid was added and mixed, and the mixture was heated and stirred at 50 ° C. for 1 hour.

【0059】冷却後、前記で得られた溶液11gを採取
してイソプロピルアルコール89gと混合して得られた
溶液に比較固体微粒子(11)10gを添加して、超音
波分散して混合した。得られた分散液を2時間攪拌後、
エバポレーターを用いて溶媒を留去後、50℃で2時間
減圧乾燥することにより、表面に二重結合基を有する固
体微粒子(1)を得た。 [合成例2]スチレン50重量%とメチルメタクリレー
ト15重量%とγ−メタクリロキシプロピルトリメトキ
シシラン35重量%とからなる単量体混合物を分散重合
させた。次いで、酢酸を添加してメトキシシリル基の加
水分解・縮合を行わせた。デカンテーションによりスラ
リーから生成重合体粒子を分離し、水洗した後、分級
し、200℃で減圧乾燥させて、球状の比較固体微粒子
(12)を得た。
After cooling, 11 g of the solution obtained above was collected and mixed with 89 g of isopropyl alcohol, 10 g of comparative solid fine particles (11) were added to the solution, and the mixture was ultrasonically dispersed and mixed. After stirring the obtained dispersion for 2 hours,
After evaporating the solvent using an evaporator, the solid was dried under reduced pressure at 50 ° C. for 2 hours to obtain solid fine particles (1) having a double bond group on the surface. [Synthesis Example 2] A monomer mixture composed of 50% by weight of styrene, 15% by weight of methyl methacrylate, and 35% by weight of γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane was subjected to dispersion polymerization. Next, acetic acid was added to cause hydrolysis and condensation of the methoxysilyl group. The produced polymer particles were separated from the slurry by decantation, washed with water, classified, and dried at 200 ° C. under reduced pressure to obtain spherical comparative solid fine particles (12).

【0060】得られた比較固体微粒子(12)は、平均
粒子径5.7μm、粒子径の変動係数3.8%であっ
た。次に、得られた比較固体微粒子(12)の表面に二
重結合基を実施例1と同様にして導入し、表面に二重結
合基を有する固体微粒子(2)を得た。 (スペーサ形成用フォトレジスト組成物を用いた実施例
・比較例) [実施例1]ガラス基板上に、まず全面的にブラックマ
トリクス膜を形成し、次いでフォトリソグラフィ技術に
より、所定の位置に所定の形状のブラックマトリクス膜
が残留されるように、不必要な部分を除去した。ブラッ
クマトリクス膜を除去した位置に、同様のフォトリソグ
ラフィ技術を用いて、赤画素、緑画素、青画素を形成さ
せ、カラーフィルタを設けた。次いで、カラーフィルタ
上に絶縁性の平坦化膜を形成後、その上に透明導電膜よ
りなる走査電極を形成し、更にその上に配向膜を形成し
て、カラーフィルタ側電極基板とした。
The obtained comparative solid fine particles (12) had an average particle size of 5.7 μm and a variation coefficient of the particle size of 3.8%. Next, a double bond group was introduced into the surface of the obtained comparative solid fine particles (12) in the same manner as in Example 1 to obtain solid fine particles (2) having a double bond group on the surface. (Examples and Comparative Examples Using Photoresist Composition for Forming Spacer) [Example 1] First, a black matrix film was formed entirely on a glass substrate, and then a predetermined position was determined at a predetermined position by a photolithography technique. Unnecessary portions were removed so that the black matrix film having the shape remained. A red pixel, a green pixel, and a blue pixel were formed at a position where the black matrix film was removed by using a similar photolithography technique, and a color filter was provided. Next, after forming an insulating flattening film on the color filter, a scanning electrode made of a transparent conductive film was formed thereon, and an alignment film was further formed thereon to obtain a color filter side electrode substrate.

【0061】次に、感光性樹脂としてエポキシアクリレ
ートオリゴマー10部、ペンタエリスリトールヘキサア
クリレート10部、エチルセロソルブアセテート68部
を混合した溶液に、固体微粒子(1)10部を分散させ
た後、光重合開始剤としてヒドロキシシクロヘキシルフ
ェニルケトン2部を混合溶解させ、ネガ型のスペーサ形
成用フォトレジスト組成物(1)を調製した。次に、上
記カラーフィルタ側電極基板の配向膜上へ上記フォトレ
ジスト組成物(1)をスピンコートし、フォトレジスト
組成物の薄い膜を形成させ、これをレベリング、プリベ
ークした。次いで、ブラックマトリクスの上にだけ光が
照射されるパターンを有するフォトマスクを用いて、ブ
ラックマトリクスに対応する位置に存在するフォトレジ
ストの膜に紫外線を照射して露光後、現像液へ浸漬して
未硬化部分を溶解させて現像を行った。次いで、ポスト
ベーク処理を行い、ブラックマトリクスに対応する位置
にのみ固体微粒子(1)を混入したフォトレジストの膜
を残留させた。
Next, 10 parts of solid fine particles (1) were dispersed in a solution in which 10 parts of an epoxy acrylate oligomer, 10 parts of pentaerythritol hexaacrylate, and 68 parts of ethyl cellosolve acetate were mixed as a photosensitive resin, and then photopolymerization was started. 2 parts of hydroxycyclohexyl phenyl ketone were mixed and dissolved as an agent to prepare a negative type photoresist composition (1) for forming a spacer. Next, the photoresist composition (1) was spin-coated on the alignment film of the color filter-side electrode substrate to form a thin film of the photoresist composition, which was leveled and prebaked. Next, using a photomask having a pattern in which light is irradiated only on the black matrix, the photoresist film present at the position corresponding to the black matrix is irradiated with ultraviolet rays, exposed, and immersed in a developing solution. The uncured portion was dissolved and developed. Next, a post-baking process was performed to leave a photoresist film mixed with the solid fine particles (1) only at positions corresponding to the black matrix.

【0062】以上のようにして作製したカラーフィルタ
側電極基板とTFT側電極基板をシール材で貼り合わせ
て液晶セルを組み立て、これにフッ素系TN液晶を封入
して封入孔を封止することにより、15インチの液晶表
示装置(1)を得た。この液晶表示装置(1)を駆動さ
せたところ、スペーサ(固体微粒子(1))がブラック
マトリクスに対応する位置(非画素領域)にのみ存在す
るため、コントラストが高く、表示のざらつき感はな
く、高表示品位を有していた。
The color filter side electrode substrate and the TFT side electrode substrate manufactured as described above are attached to each other with a sealing material to assemble a liquid crystal cell, and fluorine-based TN liquid crystal is sealed therein and the sealing hole is sealed. And a 15-inch liquid crystal display device (1). When this liquid crystal display device (1) was driven, since the spacers (solid fine particles (1)) were present only in the positions (non-pixel regions) corresponding to the black matrix, the contrast was high, and there was no display roughness. It had high display quality.

【0063】次に、液晶表示装置(1)を、X、Y、Z
の方向に2Gの加速度で各々1時間振動させて、振動試
験を行ったところ、コントラスト及び表示のざらつき感
は振動試験前と同じで、高表示品位を維持していた。 [比較例1]実施例1において、固体微粒子(1)の代
わりに比較固体微粒子(11)を用いた以外は実施例1
と同様にして、比較フォトレジスト組成物(11)を調
製し、これを用いてフォトリソグラフィ技術によりブラ
ックマトリクスに対応する位置にのみ比較固体微粒子
(11)が混入したフォトレジストの膜が残留したカラ
ーフィルタ側電極基板を作製した。
Next, the liquid crystal display device (1) is moved to X, Y, Z
A vibration test was performed by vibrating in the direction of 2 G at an acceleration of 2 G for 1 hour, and the contrast and the roughness of the display were the same as before the vibration test, and the high display quality was maintained. Comparative Example 1 Example 1 was repeated except that the comparative solid fine particles (11) were used in place of the solid fine particles (1).
A comparative photoresist composition (11) was prepared in the same manner as described above, and a photoresist film containing the comparative solid fine particles (11) was left only at positions corresponding to the black matrix by photolithography using the comparative photoresist composition (11). A filter-side electrode substrate was manufactured.

【0064】次いで、実施例1と同様にして比較液晶表
示装置(11)を作製したところ、振動試験前は、実施
例1と同様にコントラストが高く、表示のざらつき感は
なく、高表示品位を有していた。しかし、実施例1と同
様の振動試験を行ったところ、コントラストの低下、表
示のざらつき感が発生し、表示品位が低下した。 [実施例2]実施例1において、固体微粒子(1)の代
わりに固体微粒子(2)を用いた以外は実施例1と同様
にして、フォトレジスト組成物(2)を調製し、これを
用いてフォトリソグラフィ技術によりブラックマトリク
スに対応する位置にのみ固体微粒子(2)が混入したフ
ォトレジストの膜が残留したカラーフィルタ側電極基板
を作製した。
Next, when a comparative liquid crystal display device (11) was produced in the same manner as in Example 1, before the vibration test, the contrast was high as in Example 1, and there was no display roughness, and high display quality was obtained. Had. However, when a vibration test similar to that of Example 1 was performed, a decrease in contrast and a feeling of display roughness occurred, and the display quality was deteriorated. [Example 2] A photoresist composition (2) was prepared and used in the same manner as in Example 1 except that solid fine particles (2) were used instead of solid fine particles (1). Then, a color filter-side electrode substrate having a photoresist film mixed with the solid fine particles (2) remaining only at positions corresponding to the black matrix was manufactured by photolithography.

【0065】次いで、実施例1と同様にして液晶表示装
置(2)を作製したところ、振動試験前、振動試験後と
も、実施例1と同様にコントラストが高く、表示のざら
つき感はなく、高表示品位を有していた。 [比較例2]実施例1において、固体微粒子(1)の代
わりに比較固体微粒子(12)を用いた以外は実施例1
と同様にして、比較フォトレジスト組成物(12)を調
製し、これを用いてフォトリソグラフィ技術によりブラ
ックマトリクスに対応する位置にのみ比較固体微粒子
(12)が混入したフォトレジストの膜が残留したカラ
ーフィルタ側電極基板を作製した。
Next, when a liquid crystal display device (2) was produced in the same manner as in Example 1, the contrast was high before and after the vibration test as in Example 1, and there was no feeling of display roughness. It had display quality. Comparative Example 2 Example 1 was repeated except that the comparative solid fine particles (12) were used in place of the solid fine particles (1).
A comparative photoresist composition (12) was prepared in the same manner as described above, and the photoresist film containing the comparative solid fine particles (12) was left only at the position corresponding to the black matrix by photolithography using the comparative photoresist composition (12). A filter-side electrode substrate was manufactured.

【0066】次いで、実施例1と同様にして比較液晶表
示装置(12)を作製したところ、振動試験前は、実施
例1と同様にコントラストが高く、表示のざらつき感は
なく、高表示品位を有していた。しかし、実施例1と同
様の振動試験を行ったところ、コントラストの低下、表
示のざらつき感が発生し、表示品位が低下した。振動試
験後のパネルを観視したところ、実施例1、2ではスペ
ーサ(固体微粒子(1)、(2))が画素上には全く観
察できなかったが、比較例1、2ではスペーサ(比較固
体微粒子(11)、(12))が画素上に観察された。
すなわち、実施例1、2ではパネルを振動させてもスペ
ーサの移動がないのに対し、比較例1、2ではスペーサ
が画素領域へ移動したことがわかった。これは、実施例
1、2では固体微粒子の表面に二重結合基が存在してい
るため、感光性樹脂と化学結合して強固に固定化されて
いるのに対して、比較例1、2では固体微粒子の表面に
二重結合基が存在していないため、感光性樹脂との化学
結合がなく固定化が弱いために振動により移動したと考
えられる。 (ブラックマトリクス用組成物を用いた実施例・比較
例) [実施例3]感光性樹脂としてフェノールノボラックエ
ポキシアクリレート30部、ビスフェノールA系多官能
エポキシアクリレート30部、トリメチロールプロパン
トリアクリレート10部、光重合開始剤としてイルガキ
ュア369(チバガイギー製)5部、溶媒としてエチル
セロソルブアセテート25部を混合し、二重結合基を有
するポリマーがカーボンブラックにグラフトしたカーボ
ンブラックグラフトポリマー20部を加え、分散化し
た。更に固体微粒子(1)5部を加え、分散化してブラ
ックマトリクス用組成物(1)を得た。
Next, when a comparative liquid crystal display device (12) was produced in the same manner as in Example 1, before the vibration test, the contrast was high as in Example 1, there was no feeling of display roughness, and high display quality was obtained. Had. However, when a vibration test similar to that of Example 1 was performed, a decrease in contrast and a feeling of display roughness occurred, and the display quality was deteriorated. When the panel after the vibration test was observed, no spacers (solid fine particles (1) and (2)) could be observed on the pixels in Examples 1 and 2, but the spacers (Comparative Examples 1 and 2) Solid fine particles (11) and (12)) were observed on the pixels.
That is, in Examples 1 and 2, the spacer did not move even when the panel was vibrated, whereas in Comparative Examples 1 and 2, the spacer moved to the pixel region. This is because, in Examples 1 and 2, a double bond group was present on the surface of the solid fine particles, and the solid fine particles were chemically bonded to the photosensitive resin and firmly fixed. It is considered that since no double bond group was present on the surface of the solid fine particles, there was no chemical bond with the photosensitive resin and the immobilization was weak, so that the particles were moved by vibration. (Examples and Comparative Examples Using Composition for Black Matrix) Example 3 30 parts of phenol novolak epoxy acrylate, 30 parts of bisphenol A-based polyfunctional epoxy acrylate, 10 parts of trimethylolpropane triacrylate as a photosensitive resin, light 5 parts of Irgacure 369 (manufactured by Ciba Geigy) as a polymerization initiator and 25 parts of ethyl cellosolve acetate as a solvent were mixed, and 20 parts of a carbon black graft polymer in which a polymer having a double bond group was grafted on carbon black was added and dispersed. Further, 5 parts of solid fine particles (1) were added and dispersed to obtain a composition for black matrix (1).

【0067】次に、フォトリソグラフィ技術により赤画
素、緑画素、青画素を形成させた基板上に、更にブラッ
クマトリクス用組成物(1)をスピンコーターで塗布、
乾燥した。次いで、得られた塗膜に、作製したいブラッ
クマトリクスの上にだけ光が照射されるパターンを有す
るフォトマスクを用いて、ブラックマトリクスに対応す
る位置に存在するフォトレジストの膜に紫外線を照射し
て露光後、現像液のシャワーにより未硬化部分を溶解さ
せて現像を行い、スペーサとして作用する固体微粒子
(1)を含有したブラックマトリクスを有するカラーフ
ィルタ側透明基板を得た。
Next, the composition (1) for a black matrix is further applied by a spin coater on the substrate on which the red, green and blue pixels have been formed by photolithography.
Dried. Then, using a photomask having a pattern in which light is irradiated only on the black matrix to be produced, the obtained coating film is irradiated with ultraviolet rays on a photoresist film present at a position corresponding to the black matrix. After the exposure, the uncured portion was dissolved by a shower of a developing solution to perform development to obtain a color filter-side transparent substrate having a black matrix containing solid fine particles (1) acting as a spacer.

【0068】次いで、カラーフィルタ上に絶縁性の平坦
化膜を形成後、その上に透明導電膜よりなる走査電極を
形成し、更にその上に配向膜を形成して、カラーフィル
タ側電極基板とした。但し、スペーサとして作用する固
体微粒子(1)の上には透明導電膜は形成しなかった。
以上のようにして作製したカラーフィルタ側電極基板と
TFT側電極基板をシール材で貼り合わせて液晶セルを
組み立て、これにフッ素系TN液晶を封入して封入孔を
封止することにより、15インチの液晶表示装置(3)
を得た。
Next, after an insulating flattening film is formed on the color filter, a scanning electrode made of a transparent conductive film is formed thereon, and an orientation film is further formed thereon. did. However, no transparent conductive film was formed on the solid fine particles (1) acting as a spacer.
The color filter-side electrode substrate and the TFT-side electrode substrate manufactured as described above are attached to each other with a sealing material to assemble a liquid crystal cell. Fluorine-based TN liquid crystal is sealed therein, and the sealing hole is sealed. Liquid crystal display device (3)
I got

【0069】この液晶表示装置(3)を駆動させたとこ
ろ、スペーサ(固体微粒子(1))がブラックマトリク
スに対応する位置(非画素領域)にのみ存在するため、
コントラストが高く、表示のざらつき感はなく、高表示
品位を有していた。次に、液晶表示装置(3)を、X、
Y、Zの方向に2Gの加速度で各々1時間振動させて、
振動試験を行ったところ、コントラスト及び表示のざら
つき感は振動試験前と同じで、高表示品位を維持してい
た。 [比較例3]実施例3において、固体微粒子(1)の代
わりに比較固体微粒子(11)を用いた以外は実施例3
と同様にして、比較ブラックマトリクス用組成物(1
1)を調製し、これを用いてフォトリソグラフィ技術に
より、スペーサとして作用する比較固体微粒子(11)
を含有したブラックマトリクスを有するカラーフィルタ
側透明基板を得た。
When this liquid crystal display device (3) was driven, the spacers (solid fine particles (1)) existed only at the positions (non-pixel regions) corresponding to the black matrix.
The display had high contrast, no display roughness, and high display quality. Next, the liquid crystal display device (3) is
By vibrating for 1 hour each at 2G acceleration in the Y and Z directions,
When the vibration test was performed, the contrast and the roughness of the display were the same as before the vibration test, and the high display quality was maintained. Comparative Example 3 Example 3 was repeated except that the comparative solid fine particles (11) were used instead of the solid fine particles (1).
In the same manner as described above, the composition for comparative black matrix (1
Comparative solid fine particles (11) which act as spacers by preparing 1) and using this by photolithography technology
The transparent substrate on the color filter side having a black matrix containing was obtained.

【0070】次いで、実施例3と同様にして比較液晶表
示装置(13)を作製したところ、振動試験前は、実施
例3と同様にコントラストが高く、表示のざらつき感は
なく、高表示品位を有していた。しかし、実施例3と同
様の振動試験を行ったところ、表示されない画素の発
生、色ムラの発生、コントラストの低下、表示のざらつ
き感が発生し、表示品位が大幅に低下した。 [実施例4]実施例3において、固体微粒子(1)の代
わりに固体微粒子(2)を用いた以外は実施例3と同様
にして、ブラックマトリクス用組成物(2)を調製し、
これを用いてフォトリソグラフィ技術により、スペーサ
として作用する固体微粒子(2)を含有したブラックマ
トリクスを有するカラーフィルタ側透明基板を得た。
Next, when a comparative liquid crystal display device (13) was produced in the same manner as in Example 3, before the vibration test, the contrast was high as in Example 3, there was no display roughness, and high display quality was obtained. Had. However, when a vibration test similar to that in Example 3 was performed, the generation of non-displayed pixels, the occurrence of color unevenness, a decrease in contrast, and the appearance of display roughness occurred, and the display quality was significantly reduced. Example 4 A black matrix composition (2) was prepared in the same manner as in Example 3 except that the solid fine particles (2) were used instead of the solid fine particles (1).
Using this, a color filter-side transparent substrate having a black matrix containing solid fine particles (2) acting as a spacer was obtained by a photolithography technique.

【0071】次いで、実施例3と同様にして液晶表示装
置(4)を作製したところ、振動試験前、振動試験後と
も、実施例3と同様にコントラストが高く、表示のざら
つき感はなく、高表示品位を有していた。 [比較例4]実施例3において、固体微粒子(1)の代
わりに比較固体微粒子(12)を用いた以外は実施例3
と同様にして、比較ブラックマトリクス用組成物(1
2)を調製し、これを用いてフォトリソグラフィ技術に
より、スペーサとして作用する比較固体微粒子(12)
を含有したブラックマトリクスを有するカラーフィルタ
側透明基板を得た。
Next, when a liquid crystal display device (4) was produced in the same manner as in Example 3, before and after the vibration test, the contrast was high as in Example 3, and there was no feeling of display roughness. It had display quality. Comparative Example 4 Example 3 was repeated except that the comparative solid fine particles (12) were used instead of the solid fine particles (1).
In the same manner as described above, the composition for comparative black matrix (1
2) is prepared and comparative solid fine particles (12) acting as spacers are prepared by photolithography using the same.
The transparent substrate on the color filter side having a black matrix containing was obtained.

【0072】次いで、実施例3と同様にして比較液晶表
示装置(14)を作製したところ、振動試験前は、実施
例3と同様にコントラストが高く、表示のざらつき感は
なく、高表示品位を有していた。しかし、実施例3と同
様の振動試験を行ったところ、表示されない画素の発
生、色ムラの発生、コントラストの低下、表示のざらつ
き感が発生し、表示品位が大幅に低下した。
Next, when a comparative liquid crystal display device (14) was produced in the same manner as in Example 3, before the vibration test, the contrast was high as in Example 3, and there was no display roughness, and high display quality was obtained. Had. However, when a vibration test similar to that in Example 3 was performed, the generation of non-displayed pixels, the occurrence of color unevenness, a decrease in contrast, and the appearance of display roughness occurred, and the display quality was significantly reduced.

【0073】振動試験後のパネルを観視したところ、実
施例3、4ではスペーサ(固体微粒子(1)、(2))
が画素上には全く観察できなかったが、比較例3、4で
はスペーサ(比較固体微粒子(11)、(12))が画
素上に観察された。すなわち、実施例3、4ではパネル
を振動させてもスペーサの移動がないのに対し、比較例
3、4ではスペーサが画素領域へ移動し、画素へダメー
ジを与え、しかもギャップムラが発生したことがわかっ
た。これは、実施例3、4では固体微粒子の表面に二重
結合基が存在しているため、感光性樹脂と化学結合して
強固に固定化されているのに対して、比較例3、4では
固体微粒子の表面に二重結合基が存在していないため、
感光性樹脂との化学結合がなく固定化が弱いために振動
により移動したと考えられる。
When the panel after the vibration test was observed, the spacers (solid fine particles (1) and (2)) were obtained in Examples 3 and 4.
However, in Comparative Examples 3 and 4, spacers (comparative solid fine particles (11) and (12)) were observed on the pixels. That is, in Examples 3 and 4, the spacers did not move even when the panel was vibrated, whereas in Comparative Examples 3 and 4, the spacers moved to the pixel region, damaging the pixels, and causing gap unevenness. I understood. This is because, in Examples 3 and 4, since the double bond group was present on the surface of the solid fine particles, the solid fine particles were chemically bonded to the photosensitive resin and firmly fixed. Since there is no double bond group on the surface of the solid fine particles,
It is considered that they moved by vibration because there was no chemical bond with the photosensitive resin and the immobilization was weak.

【0074】[0074]

【発明の効果】本発明によると、固体微粒子からなるス
ペーサがフォトリソグラフィ技術を用いて正確に非画素
領域にのみ形成されており、しかも振動や衝撃が加わっ
た場合にもスペーサの移動が少ない液晶表示装置を提供
することができる。特に、基板サイズが大型になったり
(例えば550×650mm以上)、パネルサイズが大
きくなったり(例えば14インチ以上)した場合にも、
スペーサの移動が少ないため、非常に高表示品位の液晶
表示装置を提供することができる。
According to the present invention, a liquid crystal in which spacers composed of solid fine particles are accurately formed only in a non-pixel region by using a photolithography technique, and the spacers move little even when vibration or impact is applied. A display device can be provided. In particular, even when the substrate size is large (for example, 550 × 650 mm or more) or the panel size is large (for example, 14 inches or more),
Since the movement of the spacer is small, a liquid crystal display device with very high display quality can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の液晶表示装置の一例を表わす概略断
面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view illustrating an example of a liquid crystal display device of the present invention.

【図2】 本発明の液晶表示装置の他の一例を表わす概
略断面図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view illustrating another example of the liquid crystal display device of the present invention.

【符号の説明】 2 シール材 4 配向膜 5 電極 6 偏光膜 7 液晶 8 面内スペーサー 11 下側ガラス基板 12 上側ガラス基板 21 ブラックマトリクス 22 画素 23 カラーフィルタ 24 平坦化膜 25 配向膜 26 フォトレジスト組成物の膜 110 下側電極基板 120 上側電極基板[Description of Signs] 2 sealant 4 alignment film 5 electrode 6 polarizing film 7 liquid crystal 8 in-plane spacer 11 lower glass substrate 12 upper glass substrate 21 black matrix 22 pixel 23 color filter 24 flattening film 25 alignment film 26 photoresist composition Object film 110 Lower electrode substrate 120 Upper electrode substrate

フロントページの続き (72)発明者 若槻 伸治 大阪府吹田市西御旅町5番8号 株式会社 日本触媒内 (72)発明者 佐々木 令晋 大阪府吹田市西御旅町5番8号 株式会社 日本触媒内 (72)発明者 池田 勇人 大阪府吹田市西御旅町5番8号 株式会社 日本触媒内 (72)発明者 松田 立人 大阪府吹田市西御旅町5番8号 株式会社 日本触媒内 Fターム(参考) 2H089 LA10 LA16 MA03X NA05 QA16 TA12 2H090 HA03 HA05 HB13X HB17X HC05 HC10 HD06 KA05 LA02 LA05 LA15 4J002 BC01W BC01X BC10W BG01W BG04W BG05W BG06W BH02W BN19Y CC08W CP03X CP16X DA037 DE146 DJ016 DL006 FA08X FA086 FB07X FB08X FB086 FB09X FB096 FB10X FB106 FB13X FB136 FB14X FB146 FB15X FB156 FB16X FB166 FD20Y FD207 GP00 GP03 Continued on the front page (72) Inventor Shinji Wakatsuki 5-8, Nishiobari-cho, Suita-shi, Osaka Nippon Shokubai Co., Ltd. (72) Inventor Reinari Sasaki 5-8, Nishiobari-cho, Suita-shi, Osaka Nippon Shokubai Co., Ltd. (72) Inventor, Hayato Ikeda 5-8, Nishiobari-cho, Suita-shi, Osaka Nippon Shokubai Co., Ltd. (72) Inventor Tatsuto Matsuda 5-8, Nishi-Otabi-cho, Suita-shi, Osaka F-term, Nippon Shokubai Co., Ltd. (Ref.) FB14X FB146 FB15X FB156 FB16X FB166 FD20Y FD207 GP00 GP03

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 感光性樹脂と、前記感光性樹脂と反応可
能な官能基を有する固体微粒子とを含む、スペーサ形成
用フォトレジスト組成物。
1. A photoresist composition for forming a spacer, comprising a photosensitive resin and solid fine particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin.
【請求項2】 一対の透明基板の間に液晶が封入されて
おり、前記液晶を挟んで相対する前記透明基板面にそれ
ぞれ透明電極が設けられており、さらに前記液晶層の厚
みを一定に保持するためのスペーサが備えられた液晶表
示装置において、前記スペーサが、請求項1記載のフォ
トレジスト組成物を用いてフォトリソグラフィ技術によ
り非画素領域に該フォトレジスト組成物の膜を残留させ
たものであることを特徴とする液晶表示装置。
2. A liquid crystal is sealed between a pair of transparent substrates, and transparent electrodes are respectively provided on the transparent substrate surfaces opposed to each other with the liquid crystal interposed therebetween, and further, the thickness of the liquid crystal layer is kept constant. In a liquid crystal display device provided with a spacer for performing the above, the spacer is obtained by leaving a film of the photoresist composition in a non-pixel region by a photolithography technique using the photoresist composition according to claim 1. A liquid crystal display device, comprising:
【請求項3】 一対の透明基板の間に液晶が封入されて
おり、前記液晶を挟んで相対する前記透明基板面にそれ
ぞれ透明電極が設けられており、さらに前記液晶層の厚
みを一定に保持するためのスペーサが備えられた液晶表
示装置の製造方法において、請求項1記載のフォトレジ
スト組成物を用いて、非画素領域に該フォトレジスト組
成物の膜が残留するように、フォトリソグラフィ技術に
より露光、現像処理を行う工程を含むことを特徴とする
液晶表示装置の製造方法。
3. A liquid crystal is sealed between a pair of transparent substrates, and transparent electrodes are respectively provided on the transparent substrate surfaces opposed to each other with the liquid crystal interposed therebetween, and further, the thickness of the liquid crystal layer is kept constant. In a method of manufacturing a liquid crystal display device provided with a spacer for performing a photolithography process, the photoresist composition according to claim 1 is used so that a film of the photoresist composition remains in a non-pixel region. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising a step of performing exposure and development processing.
【請求項4】 感光性樹脂と、遮光性物質と、前記感光
性樹脂と反応可能な官能基を有する固体微粒子とを含
む、カラーフィルタのブラックマトリクス用組成物。
4. A composition for a black matrix of a color filter, comprising a photosensitive resin, a light-shielding substance, and solid fine particles having a functional group capable of reacting with the photosensitive resin.
【請求項5】 一対の透明基板の間に液晶が封入されて
おり、前記透明基板の片方にカラーフィルタが設けられ
ており、かつ前記液晶を挟んで相対する前記透明基板面
にそれぞれ透明電極が設けられており、さらに前記液晶
層の厚みを一定に保持するためのスペーサが備えられた
液晶表示装置において、前記カラーフィルタのブラック
マトリクスが、請求項4記載の組成物を用いてフォトリ
ソグラフィ技術により形成されたものであることを特徴
とする液晶表示装置。
5. A liquid crystal is sealed between a pair of transparent substrates, a color filter is provided on one of the transparent substrates, and transparent electrodes are respectively provided on the transparent substrate surfaces opposed to each other with the liquid crystal interposed therebetween. Provided in a liquid crystal display device further provided with a spacer for keeping the thickness of the liquid crystal layer constant, wherein the black matrix of the color filter is formed by photolithography using the composition according to claim 4. A liquid crystal display device characterized by being formed.
【請求項6】 請求項4記載の組成物を用いて、フォト
リソグラフィ技術により露光、現像処理を行う、カラー
フィルタのブラックマトリクスの製造方法。
6. A method for producing a black matrix of a color filter, wherein the composition according to claim 4 is exposed and developed by a photolithography technique.
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