New! View global litigation for patent families

JP2001056407A - Production of color filter and ink jet head - Google Patents

Production of color filter and ink jet head

Info

Publication number
JP2001056407A
JP2001056407A JP23313999A JP23313999A JP2001056407A JP 2001056407 A JP2001056407 A JP 2001056407A JP 23313999 A JP23313999 A JP 23313999A JP 23313999 A JP23313999 A JP 23313999A JP 2001056407 A JP2001056407 A JP 2001056407A
Authority
JP
Grant status
Application
Patent type
Prior art keywords
color
ink
filters
head
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP23313999A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3400389B2 (en )
Inventor
Katsuhiko Bando
Masatomo Matsui
Naoyuki Seo
Koji Sone
Yoshihisa Takayama
浩二 曽根
昌朋 松井
克彦 板東
直之 瀬尾
佳久 高山
Original Assignee
Matsushita Electric Ind Co Ltd
松下電器産業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14209Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/201Filters in the form of arrays
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14475Structure thereof only for on-demand ink jet heads characterised by nozzle shapes or number of orifices per chamber

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a process for producing color filters capable of reducing the cost of the color filters and making the color density of the color filters uniform and an ink jet head. SOLUTION: This process for producing the color filters forms colored layers of the color filters by discharging ink liquid drops to pixel blocks 9 on a filter substrate by using an ink jet head 1. The plural ink liquid drops are discharged simultaneously to one pixel block 9 while making the characteristics, such as volume and flying velocity of the respective ink liquid drops uniform.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネル等に用いられるカラーフィルタの製造方法、及びインクジェットヘッドに関し、特に、インクジェットヘッドによってカラーインクを吐出してカラーフィルタを製造する方法、及びそのカラーフィルタの製造方法を実現するインクジェットヘッドの改良を図ったものに関するものである。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a method for producing a color filter used in a liquid crystal display panel or the like, and relates to an inkjet head, in particular, a method of manufacturing a color filter by ejecting color ink by the inkjet head, and the color it relates that attempt to improve the ink jet head to realize the method for manufacturing the filter.

【0002】 [0002]

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータ、特に携帯用のパーソナルコンピュータの発達に伴い液晶ディスプレイ、殊にカラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にある。 In recent years, a personal computer, a liquid crystal display, especially with the development of a personal computer for mobile, especially there is a tendency that the demand for color liquid crystal display is increased. しかしながら、その更なる普及のためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であり、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタのコストダウンに対する要求が高まっている。 However, due to its further spread is required cost of liquid crystal displays is increasing, especially economically demand for high cost of the color filter specific gravity. カラーフィルタの主な製造方法としては、印刷法、電着法、染色法、または顔料分散法などがある。 The main method for producing a color filter, a printing method, an electrodeposition method, and a dyeing method or a pigment dispersion method. 以下、それぞれの方法について説明する。 Hereinafter, the respective methods will be described.

【0003】まず、印刷法は、着色層となるべき熱硬化性樹脂に、繰り返し印刷を行うことにより、赤(以下、 [0003] First, the printing method, the thermosetting resin to be a colored layer, by performing repetitive printing, red (hereinafter,
Rと称す)、緑(以下、Gと称す)、青(以下、Bと称す)の3色を塗り分け、熱硬化性樹脂を加熱硬化させて着色層を形成するものである。 Referred to as R), green (hereinafter referred to as G), and blue (hereinafter, painted the three colors referred to as B), and forms a colored layer by heat curing the thermosetting resin. その際、塗料としては顔料を分散させたものを用いる。 At that time, as the coating material used a dispersion of pigment. この印刷法は、工程は簡単であるが、カラーフィルタの解像性や平坦性が悪いという欠点がある。 The printing method, the process is a simple, has a drawback of poor resolution and flatness of the color filter.

【0004】次に、電着法は、透明基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹脂、電解液等が入った電着塗装液に浸漬して第1の色を電着する。 [0004] Next, electrodeposition method is to pattern the transparent electrode on a transparent substrate, electrodeposition pigment, a resin, a first color is immersed in electrodeposition coating liquid electrolyte or the like is entered. この工程を3回繰り返してR、G、Bの着色層を形成し、最後に焼成するものである。 This process is repeated three times to form R, G, and colored layers of B, and one that finally fired. この電着法は、カラーフィルタの平坦性は優れているが、形成可能なカラーフィルタの配色パターンが限定されるという欠点がある。 The electrodeposition method is excellent in flatness of the color filter, there is a disadvantage that color scheme can form a color filter is limited.

【0005】次に、染色法は、ガラス基板上に、染色用の材料である水溶性高分子材料に感光剤を添加して感光化し、この感光層をフォトリソグラフィー工程により所望の形状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬し着色パターンを得る。 [0005] Next, dyeing process, on a glass substrate, a water-soluble polymer material is a material for dyeing is added a photosensitive agent sensitize and patterning the photosensitive layer into a desired shape by a photolithography process after obtaining a colored pattern was immersed resulting pattern dyeing bath. この工程を3回繰り返してR、G、Bの着色層を形成するものである。 This process was repeated three times and forms R, G, and colored layers of B. この染色法は、カラーフィルタの色は鮮明であるが、カラーフィルタの耐候性、耐光性、耐熱性、及び吸湿性が劣るという欠点がある。 This staining is the color of the color filter is sharp, there is a disadvantage that the weather resistance of the color filter, light resistance, heat resistance, and moisture absorption is poor.

【0006】最後に、顔料分散法は、まず基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングすることにより単色のパターンを得る。 [0006] Finally, the pigment dispersion method, first a pigment to form a dispersed photosensitive resin layer on a substrate to obtain a single color pattern by patterning the same. さらにこの工程を3回繰り返すことにより、R、G、Bの3色の着色層を形成するものである。 By further repeating this step three times, and forms R, G, and colored layers of three colors of B. この顔料分散法は、塗布する材料の70%以上がパターニングの際に廃棄されるため、 Since the pigment dispersion method, more than 70% of the material to be applied is discarded during patterning,
材料ロスが多いという欠点がある。 There is a disadvantage that a large material loss.

【0007】これら4つの方法のいずれにおいても、着色層の上に保護層を形成するのが一般的である。 [0007] In any of these four methods, it is common to form a protective layer on the colored layer. また、 Also,
上記4つの方法は、いずれにおいても、R、G、Bの3 The above four ways, in both, R, G, 3 and B
色の着色層を形成するために、同一工程を3回繰り返す必要があり、必然的に製造コストが高くなるとともに、 To form the colored layer of the color, must be repeated three times with the same step, the inevitably manufacturing cost is high,
歩留りや生産性が低くなってしまう,という欠点があった。 Yield and productivity is lowered, there is a drawback.

【0008】これらの欠点を解消し得るものとして、インクジェット法を用いたカラーフィルタの製造方法が既に提案されており、これは、例えば、特開昭59−75 [0008] As those capable of eliminating these drawbacks, and has been already proposed a manufacturing method of a color filter using an inkjet method, which, for example, JP-59-75
205号公報、特開昭63−235901号公報、特開平1−217302号公報、特開平4−123005号公報、及び特開平7−146406号公報等に開示されている。 205 JP, Sho 63-235901, JP-A No. 1-217302 and JP disclosed in JP-A 4-123005 and JP Hei 7-146406 Patent Publication.

【0009】このインクジェット法は、R、G、Bの各色素を含有する着色液(以下、インクと称す)をノズルによってカラーフィルタ基板に吐出し、そのインクをカラーフィルタとなるべき透明基板上で乾燥させて着色層を形成するものである。 [0009] The inkjet method, R, G, colored liquid containing the dye B (hereinafter, referred to as ink) to discharge the color filter substrate by a nozzle, the ink on the transparent substrate to serve as a color filter dried to those which form a colored layer. このインクジェット法によれば、R、G、Bの各着色層の形成を一度に行うことができ、しかも、インクの使用量にも無駄が生じないため、 According to this inkjet method, R, G, can be carried out the formation of the colored layers of B at the same time, and, because the waste does not occur in the amount of ink,
大幅な生産性の向上、コストダウン等の効果を得ることが期待できる。 Significant productivity gains can be expected to obtain the effect of such costs.

【0010】このインクジェット法には、熱エネルギーを利用して液滴を吐出するサーマルインクジェットヘッド(バブルジェットヘッドとも言う)や、圧電素子のダイレクトモード変形(圧電セラミックスが歪む性質)を利用して液滴を吐出するピエゾヘッドを用いて、カラーフィルタの着色部を各色インクにより直接着色する方法と、先にインク受容層を、セルロース、アクリル系樹脂、ゼラチン等の,液体を吸収する材料により形成し、 [0010] The ink jet method (also referred to as a bubble jet head) thermal inkjet head for discharging liquid droplets by utilizing thermal energy and a liquid by utilizing direct mode deformation of piezoelectric elements (property of piezoelectric ceramics is distorted) using a piezo head for discharging droplets, a method of the colored portion of the color filter coloring directly by color inks, the ink-receiving layer earlier, cellulose, acrylic resins, such as gelatin, to form a material that absorbs liquid ,
これを吐出したインクで染色する方法,の2種類の方法がある。 Method for dyeing by ink ejected this, there are two methods.

【0011】まず、直接カラーフィルタ基板を着色する方法は、カラーフィルタ基板上の枠体(ブラックマトリックス)によって区切られた画素区画にインク液滴を吐出して所定のインク量を画素区画に充填し、そのインクを乾燥固化して着色層を形成する,というものである。 [0011] First, a method of coloring a direct color filter substrate, by ejecting ink droplets by filling a predetermined amount of ink in the pixel section to a pixel compartment delimited by the frame on the color filter substrate (black matrix) , the ink is dried and solidified to form a colored layer, is that.
その際、枠体と着色層の平坦性を確保するために、枠体の高さはインクが乾燥固化した時の高さに制限される。 At that time, in order to ensure the flatness of the frame and the colored layers, the height of the frame is limited to the height at which the ink has dried and solidified.
このため、インクは乾燥による体積減少を見込んで枠体の高さを越える量が充填され、これが凸状のメニスカスとなって安定に保持されるように、感光性樹脂材料からなる枠体にはフッ素系材料を含有させることで撥液特性が付加されている。 Therefore, the ink amount exceeding the height of the frame in anticipation of volume decrease due to drying is filled, it is to be stably held a convex meniscus, the frame body made of a photosensitive resin material lyophobic property is added by the inclusion of fluorine-based material.

【0012】この枠体にインクジェットヘッドでインクを吐出し充填する方法を、図8を用いて説明する。 [0012] The method of filling ejecting ink by an inkjet head in this frame will be described with reference to FIG. 図8 Figure 8
は、直接カラーフィルタ基板を着色する,従来のインクジェット法によるカラーフィルタの製造方法を示す説明図であり、1つの画素区画に4つのインク液滴を吐出する場合を示している。 Is colored direct color filter substrate are explanatory views showing a method of manufacturing a color filter according to the conventional ink jet method, it shows a case of ejecting four ink droplets in one pixel partitions. 図8(a)は最初のインク液滴の着弾前の様子を、図8(b)は2番目のインク液滴の着弾前の様子を、図8(c)は3番目のインク液滴の着弾前の様子を、図8(d)は4番目のインク液滴の着弾前の様子を、図8(e)は4番目のインク液滴の着弾後の様子を、それぞれ示すものである。 Figure 8 (a) shows state before landing the first ink droplet, FIG. 8 (b) is a front landing of the second ink droplet state, FIG. 8 (c) of the third ink droplets the state before landing, FIG. 8 (d) shows the prior landing of the fourth ink droplet state, FIG. 8 (e) is a state after the landing of the fourth ink droplet and shows respectively.

【0013】この図8において、81は1つの圧力室8 [0013] In FIG. 8, 81 one pressure chamber 8
2に1つのノズル84を設置したインクジェットヘッド、82は図示しないインク供給源により供給されたインクで満たされた圧力室、84は圧力室82に充填されたインクを吐出するノズル、85は画素区画、86はカラーフィルタとなるべき透明基板(以下、カラーフィルタ基板と称す)、87はブラックマトリックスにより形成された枠体、88aは画素区画85に対して最初に吐出された第1のインク液滴、88bは画素区画85に対して2番目に吐出された第2のインク液滴、88cは画素区画85に対して3番目に吐出された第3のインク液滴、88dは画素区画85に対して4番目に吐出された第4のインク液滴、89a,89b,89c,89dはそれぞれインク液滴88a,88b,88c,88dが画素区画85に着弾 2 into one inkjet head nozzle 84 is installed, 82 pressure chambers filled with ink supplied by the ink supply source (not shown), a nozzle 84 for ejecting the ink in the pressure chamber 82, 85 is a pixel partition , 86 transparent substrate to serve as a color filter (hereinafter, referred to as a color filter substrate), 87 frame formed by the black matrix, the first ink droplet 88a is discharged to the first to the pixel section 85 , 88b and the second ink droplets ejected in the second to the pixel section 85, 88c the third ink droplets discharged to the third to the pixel section 85, 88d whereas the pixel section 85 the fourth ink droplet ejected in the fourth Te, 89a, 89b, 89c, respectively 89d ink droplets 88a, landing 88b, 88c, 88d is the pixel section 85 た後の充填インクである。 A filling ink after.

【0014】図8(a)において、インクジェットヘッド81は圧力室82がインクで満たされており、ノズル84からカラーフィルタ基板86の画素区画85に向かってインク液滴の吐出が行われる。 [0014] In FIG. 8 (a), the inkjet head 81 is filled pressure chamber 82 with ink, ejection of ink droplets is made back from the nozzle 84 to the pixel section 85 of the color filter substrate 86.

【0015】インク液滴88aがカラーフィルタ基板8 [0015] The ink droplet 88a is a color filter substrate 8
6の表面に着弾すると、図8(b)に示すように、枠体87間に着弾して広がった充填インク89aとなる。 When landing on 6 surface, as shown in FIG. 8 (b), the filling ink 89a that has spread landed between the frame 87. このとき、インクジェットヘッド81とカラーフィルタ基板86はインク液滴が同じ地点に着弾しないように継続して相対移動しており、図8(b)ないし図8(d)の順番に第2,第3,第4のインク液滴88b,88c, In this case, the inkjet head 81 and the color filter substrate 86 are relatively moved continuously to as ink droplets do not land on the same point, and FIG. 8 (b) to the second in order of FIG. 8 (d), the first 3, a fourth ink droplet 88b, 88c,
88dをインクジェットヘッド81より吐出し、枠体8 Ejected from the inkjet head 81 to 88d, the frame 8
7を充填インク89cで満たす。 7 filled with the filling ink 89c. 所定のインク量を枠体87に充填し終わった後は、図8(d)に示すように、 After finished filling a predetermined amount of ink in the frame body 87, as shown in FIG. 8 (d),
枠体87の高さより充填インク89dの高さが高くなって、凸状のメニスカスが形成される。 Height higher filling ink 89d than the height of the frame 87, a convex meniscus is formed.

【0016】また、受容層をインクで着色する方法は、 Further, a method of coloring the receptor layer with ink,
カラーフィルタ基板上のブラックマトリックス膜で区画された画素領域上のインク受容層を予め形成しておき、 The ink-receiving layer on the pixel region defined by the black matrix layer on the color filter substrate is formed in advance,
この受容層に向けて、直接カラーフィルタ基板を着色する場合と同様の方法によりインク液滴を吐出し、画素領域全面の受容層に着弾インクを吸収させることで、カラーフィルタを形成する方法である。 Toward this receiving layer, ejecting ink droplets by the same method as in the case of coloring the direct color filter substrate, by absorbing the ink droplets deposited on the receiving layer of the pixel region entirely, it is a method of forming a color filter .

【0017】従来のインクジェット法は以上のように構成されており、塗料印刷や化学的なプロセス等によりカラーフィルタを形成する従来の方法とは異なり、各色ごとに同様の工程を繰り返す必要がなく、工程の繰り返しによる歩留まりの低下や生産コスト増を招くことがなく、また、フィルタ材料に無駄を生じることなくカラーフィルタを製造することが期待できる。 [0017] Conventional ink jet method is constituted as described above, unlike the conventional method of forming a color filter by coating the printing and chemical processes, etc., it is not necessary to repeat the same process for each color, without causing a decrease and production cost increase of yield due to the repetition of steps, also it can be expected to produce a color filter without causing waste to the filter material.

【0018】 [0018]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来のインクジェット法によるカラーフィルタの製造方法には、以下に述べるような課題があった。 However [0007], the method for producing a color filter according to the conventional ink jet method has a problem as described below. 以下、この従来技術の課題について図8および図9を用いて説明する。 Hereinafter, the problems of the prior art will be described with reference to FIGS.
図9は、従来のインクジェット法によって製造されたカラーフィルタの着色層を示す模式図であり、図9(a) Figure 9 is a schematic view showing a colored layer of a color filter manufactured by a conventional ink jet method, FIG. 9 (a)
及び図9(b)は直接カラーフィルタ基板を着色する場合を、図9(c)はカラーフィルタ基板上の受容層を着色する場合を、それぞれ示すものである。 And FIG. 9 (b) a case of coloring the direct color filter substrate, FIG. 9 (c) the case of coloring the receptor layer on the color filter substrate, showing, respectively.

【0019】図において、図8と同一符号は同一または相当のものを示し、90は画素区画内でインクが満たされなかった部分を示す色抜け、91a,91b,91 [0019] In view, FIG. 8 the same reference numerals indicate the identical or similar to those of, 90 decoloration shows a portion not filled with the ink in the pixel section, 91a, 91b, 91
c,91dはそれぞれ第1のインクドット,第2のインクドット,第3のインクドット,第4のインクドット、 c, the first ink dots respectively 91d, the second ink dots, a third ink dot, the fourth ink dots,
92はインクドットの重複部分、93はインクドットの単一部分、94は枠体87を越えた越境インク、95 92 overlapping portions of the ink dots, 93 single portion of the ink dots, cross-border ink beyond the frame 87 94, 95
a,95b,95c,95d,95e,95f,95 a, 95b, 95c, 95d, 95e, 95f, 95
g,95h,95iは着色層、99b,99eはそれぞれ着色層95b,95eの充填インクである。 g, 95h, 95i colored layer, 99b, 99 e are each colored layer 95b, which is filled ink 95e.

【0020】この従来のインクジェット法では、枠体8 [0020] In the conventional ink jet method, the frame 8
7にインクジェットヘッドから所定のインク液滴を充填し直接カラーフィルタ基板を着色する場合には、枠体8 When colored direct color filter substrate filling the predetermined ink droplets from the ink jet head 7, the frame 8
7に最後のインク液滴が突入する頃には大きな凸状メニスカスが枠体87に形成されているので、その最後のインク液滴が衝突する衝撃で充填インクに波が生じ、あふれたインクが枠体を越えて隣接する枠体内部に侵入し、 Since large convex meniscus by the time the last of the ink droplets 7 enters is formed in the frame 87, a wave is generated in the filling ink impact the final ink droplets collide, overflowing ink penetrate the frame inside the adjacent beyond the frame,
混色が生じる場合がある。 There is a case in which color mixing occurs.

【0021】図9(a)は、このような、インク充填領域のインク99bが枠体87を越えて、本来の着色層9 [0021] FIG. 9 (a), such ink 99b of ink filling areas beyond the frame 87, the original colored layer 9
5bに隣接する着色層95aと95cに侵入した状態を示すものである。 It shows a state that has entered the colored layers 95a and 95c adjacent to 5b. この混色は、特に枠体87の形状や枠体87に付加された撥液性のばらつきによって、インク保持能力が低下している部分で生じやすい。 This color mixing is particularly due to variations in shape and the added liquid repellency to the frame 87 of the frame 87, tends to occur at the portion where the ink retaining capacity is reduced.

【0022】また、枠体で区画された着色部のカラーフィルタ基板表面に撥液材の残渣などが残った場合、図9 Further, if such residues lyophobic material remains in the color filter substrate surface of the colored portions partitioned by a frame member, FIG. 9
(b)に示すように、画素区画内の隅の部分まで充填インク99eが均一に行き渡らず、色抜け90が生じた画素が多数の画素中に生じることがある。 (B), the filling ink 99e to the corner portion of the pixel section is not spread uniformly, decoloration 90 pixels may occur in a number of pixels generated. これは、最終のインク液滴の着弾点近傍、または画素区画内の隅の部分で生じやすい。 This impact point near the end of the ink droplets or prone in a corner portion of the pixel section.

【0023】一方、カラーフィルタ基板上のインク受容層に染色する場合には、図9(c)のごとく、インク液滴が、図示しない受容層に一定時間間隔で順次着弾しインクが広がった後、順次インクドット91a、91b、 On the other hand, in the case of dyeing the ink-receiving layer on the color filter substrate, as of FIG. 9 (c), after the ink droplet was spread sequentially landed ink at predetermined time intervals in the receptor layer (not shown) , sequentially ink dot 91a, 91b,
91c、91dを形成して受容層に吸収されるため、インクドットに重複部分92と単一部分93ができ、これにより、色むらが発生することがある。 91c, it is absorbed in the form of 91d and receiving layer can overlap portion 92 and a single portion 93 in ink dots, thereby, color unevenness may occur.

【0024】以上のように、従来のインクジェット法によって製造されるカラーフィルタは、インクの混色、色抜け、または色むらなどが生じ、色濃度が均一にならないという問題があった。 [0024] As described above, a color filter manufactured by a conventional ink jet method, color mixing of inks, color loss, or color shade is produced, there is a problem that the color density not uniform. 本発明は、上記のような従来のものの問題点に鑑みてなされたもので、カラーフィルターの色濃度を均一化でき、ローコストで製造することができるカラーフィルタの製造方法と、そのカラーフィルタの製造方法を実現するインクジェットヘッドを提供せんとするものである。 The present invention has been made in view of the problems of conventional ones described above, it can be made uniform color density of the color filter, and method for producing a color filter which can be manufactured at low cost, manufacture of the color filter the method is to St. provide an ink jet head to realize.

【0025】 [0025]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、請求項1に係るカラーフィルタの製造方法は、インクジェットヘッドを用いてカラーフィルタ基板上の画素区画にインク液滴を吐出して着色層を形成するカラーフィルタの製造方法において、1つの画素区画に対して複数のインク液滴を同時に、かつ各インク液滴の吐出特性を均一にして吐出するようにしたことを特徴とする。 In order to solve the above problems SUMMARY OF THE INVENTION The method for producing a color filter according to claim 1, by ejecting ink droplets in a pixel section on the color filter substrate by using an inkjet head coloring the method of manufacturing a color filter for forming the layer, at the same time a plurality of ink droplets for one pixel section, and is characterized in that so as to discharge in a uniform ejection characteristics of the ink droplet.

【0026】また、請求項2に係るインクジェットヘッドは、複数のノズルよりなるノズル列が形成されたノズル板と、電気信号によって変形するアクチュエータが設置された平面平板と、を備え、上記ノズル板、及び上記平面平板によって囲まれる空間により圧力室が形成され、インク供給源から上記圧力室に供給されるインクを上記アクチュエータによって加圧し、上記ノズルからインク液滴を吐出することを特徴とする。 [0026] The ink jet head according to claim 2, comprising a nozzle plate in which the nozzle row having a plurality of nozzles are formed, the plane plates actuator is installed, which is deformed by electrical signals, and the nozzle plate, and the pressure chamber is formed by a space surrounded by the planar flat plate, pressurized ink from the ink supply source is supplied to the pressure chamber by said actuator, characterized by discharging ink droplets from the nozzle.

【0027】また、請求項3に係るインクジェットヘッドは、溝幅の長さより深い深溝が相互に平行となるように複数形成された圧電材料基板と、複数のノズルよりなるノズル列が所要箇所に相互に平行となるように複数形成されたノズル板と、上記圧電材料基板の深溝を封止するカバープレートと、上記圧電材料基板の深溝の隔壁に電位差を与えて、該隔壁をせん断モードで変形させるアクチュエータと、を備え、上記圧電材料基板の深溝、上記ノズル列が形成された箇所の上記ノズル板、上記カバープレート、及び上記アクチュエータによって囲まれる空間により、複数の圧力室が形成され、上記圧電材料基板の深溝、上記ノズル列が形成されていない箇所の上記ノズル板、上記カバープレート、及び上記アクチュエータによって囲まれ [0027] The ink jet head according to claim 3, interacts with the piezoelectric material substrate deep groove deeper than the length of the groove width is more formed in parallel to each other, the nozzle array comprising a plurality of nozzles required position giving a nozzle plate formed with a plurality of in parallel, a cover plate for sealing the deep groove of the piezoelectric material substrate, a potential difference deep groove of the partition walls of the piezoelectric material substrate to deform the partition wall in shear mode comprising an actuator, a deep groove of the piezoelectric material substrate, the nozzle plate of a portion the nozzle row is formed, the cover plate, and the space surrounded by the actuator, a plurality of pressure chambers are formed, the piezoelectric material deep grooves of the substrate, the nozzle plate of a portion not the nozzle row is formed, surrounded by the cover plate, and the actuator 空間により、上記アクチュエータにより変形する複数の空気室が形成され、上記圧力室と上記空気室は交互に配置されるように設置され、インク供給源から上記複数の圧力室に充填されるインクを上記アクチュエータによって加圧し、上記ノズルからインク液滴を吐出することを特徴とする。 The space, a plurality of air chambers deformed by the actuator is formed, the pressure chamber and the air chamber is disposed so as to be arranged alternately, the ink from the ink supply source is charged into the plurality of pressure chambers pressurized by the actuator, characterized by discharging ink droplets from the nozzle.

【0028】また、請求項4に係るインクジェットヘッドは、溝幅の長さより浅い浅溝を相互に平行となるように複数形成された圧電材料基板と、複数のノズルよりなるノズル列が直線上に複数形成されたノズル板と、圧電材料基板に電位差を与えて、該圧電材料基板を横歪みモードで変形させるアクチュエータと、上記圧電材料基板の浅溝を封止し、上記アクチュエータによって変位する振動板と、を備え、上記圧電材料基板の浅溝、上記ノズル板、及び上記振動板によって囲まれる空間により、複数の圧力室が形成され、インク供給源より上記複数の圧力室に充填されるインクを上記振動板の変位によって加圧して上記ノズルからインク液滴を吐出することを特徴とする。 [0028] The ink jet head according to claim 4, shallow shallow groove than the length of the groove width and the piezoelectric material substrate having a plurality formed in parallel to each other, the nozzle array on a line comprising a plurality of nozzles a plurality formed nozzle plate, giving a potential difference to the piezoelectric material substrate, and an actuator to deform the piezoelectric material substrate in transverse strain mode, sealing the shallow groove of the piezoelectric material substrate, it is displaced by the actuator diaphragm When provided with a shallow groove of the piezoelectric material substrate, the nozzle plate, and the space enclosed by the diaphragm, a plurality of pressure chambers forming, ink from an ink supply source is charged into the plurality of pressure chambers pressurized by the displacement of the diaphragm, characterized in that ejects ink droplets from the nozzle.

【0029】また、請求項5に係るインクジェットヘッドは、請求項2ないし4のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、形状が概ね長方形であって長辺と短辺の長さの比が3以上である画素区画に着色層を形成する際に、上記ノズル列は、上記画素区画の形状に基づいた数のノズルを、上記画素区画の長辺方向と平行に、 [0029] The ink jet head according to claim 5, in the ink-jet head according to any one of claims 2 to 4, in shape generally the ratio of a rectangular long side and a short side length of 3 or more in forming a colored layer on a pixel section, the nozzle row, the number of nozzles based on the shape of the pixel section, parallel to the long side direction of the pixel section,
かつ等しいノズル間隔で設置するようにしたことを特徴とする。 And it is characterized in that as installed at equal nozzle spacing.

【0030】また、請求項6に係るインクジェットヘッドは、請求項2ないし5のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、上記ノズル列は、両端に位置するノズルを上記圧力室の短辺壁から該短辺壁の長さ以上離して設置するようにしたことを特徴とする。 [0030] The ink jet head according to claim 6, said short in the ink-jet head according to any one of claims 2 to 5, the nozzle rows, the nozzles located at both ends of the short side wall of the pressure chamber characterized in that as installed off over the length of the-side wall.

【0031】また、請求項7に係るインクジェットヘッドは、請求項3または4に記載のインクジェットヘッドにおいて、上記アクチュエータは、上記隔壁または上記圧電材料基板、信号電極、及び共通電極を有し、信号電極、及び共通電極にそれぞれ与えられた第1及び第2の信号および電位の差に基づいて、全ての上記隔壁または上記圧電材料基板を同時に変形させるようにしたことを特徴とする。 [0031] The ink jet head according to claim 7, in the ink-jet head according to claim 3 or 4, the actuator has the partition wall or the piezoelectric material substrate, signal electrodes, and a common electrode, signal electrode , and based on the difference between the first and second signals and potential applied to the common electrode, characterized in that so as to deform all the bulkhead or the piezoelectric material substrate simultaneously.

【0032】また、請求項8に係るカラーフィルタの製造方法は、請求項2ないし7のいずれかに記載のインクジェットヘッドにより、1つの画素区画に対して複数のインク液滴を同時に、かつ各インク液滴の吐出特性を均一にして吐出するようにしたことを特徴とする。 Further, the method for producing a color filter according to claim 8, the ink jet head according to any one of claims 2 to 7, at the same time a plurality of ink droplets for one pixel section, and each ink characterized in that so as to discharge in a uniform ejection characteristics of the droplet.

【0033】 [0033]

【発明の実施の形態】(実施の形態1)本発明の実施の形態1に係るカラーフィルタの製造方法は、1つの圧力室に複数のノズルを設置したインクジェットヘッドを用いて、1つの画素区画に複数のインク液滴を同時に、かつインク液滴の体積や飛翔速度などの特性が均一になるように吐出してカラーフィルタの着色層を形成するものである。 Method of producing a color filter according to the first embodiment of the DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Embodiment 1) The present invention uses an ink jet head installed a plurality of nozzles to one pressure chamber, one pixel compartments it is to form a colored layer of a color filter by ejecting a plurality of ink droplets simultaneously, and as characteristics, such as volume and the flying speed of the ink droplets becomes uniform.

【0034】図1は、本発明の実施の形態1に係るカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタの着色パターンを示す模式図である。 [0034] FIG. 1 is a schematic diagram showing a colored pattern of a color filter manufactured by the method for producing a color filter according to the first embodiment of the present invention. 図において、6はカラーフィルタとなるべき透明基板(以下、カラーフィルタ基板と称す)、Rは赤の着色層、Gは緑の着色層、 In FIG, 6 is a transparent substrate to serve as a color filter (hereinafter, referred to as a color filter substrate), R is the colored layer of red, G is green colored layer,
Bは青の着色層であり、このカラーフィルタは3色がストライプ状にパターニングされた着色パターンである。 B is the blue color layers, the color filter is colored pattern three colors are patterned in stripes.
また、7はブラックマトリックスにより形成された枠体である。 Further, 7 is a frame formed by the black matrix.

【0035】そして、インクジェットヘッドを用いた着色層R、G、Bの製造方法には、次の2種類の方法がある。 [0035] Then, the colored layers R, G, method for producing B using an ink jet head, there are two ways.

【0036】まず、顔料及び染料を含有する紫外線硬化型インクを使用して直接着色層を形成する方法は、撥液性を有するブラックマトリックスの枠体7にインクジェットヘッドにてインクを充填し、乾燥固化して着色層を形成するものである。 Firstly, a method of forming a direct colored layer using an ultraviolet curable ink containing a pigment and a dye, the ink fills the at inkjet head to the frame 7 of the black matrix having liquid repellency, dried solidified and is intended to form a colored layer. これに対し、着色染料を混入したインクと被染色層を用いる方法は、クロムのスパッタリングとフォトリソグラフィーにより格子状にパターン形成されたブラックマトリックスの上にインク受容層が設けられており、インクジェットヘッドにて受容層にインクを付着、吸収させることで着色層を形成するものである。 In contrast, a method of using the ink with the dyed layer mixed with colored dye, ink-receiving layer on the black matrix which is patterned in a lattice shape by sputtering and photolithography chromium is provided, the ink jet head applying ink to the receiving layer Te is intended to form a colored layer be absorbed.

【0037】まず、ブラックマトリックスの枠体にインクを充填して着色層を形成する製造方法について図2を用いて説明する。 Firstly, a manufacturing method of filling the ink to the frame of the black matrix to form a colored layer will be described with reference to FIG. 図2は、本発明の実施の形態1に係るカラーフィルタの製造方法を示す説明図であり、図2 Figure 2 is an explanatory view showing a method of manufacturing a color filter according to the first embodiment of the present invention, FIG. 2
(a)はインク吐出直後の状態を、図2(b)はインク着弾後の状態を、それぞれ示すものである。 (A) is a state immediately after the ink ejection, FIG. 2 (b) the state after the ink landed illustrates respectively. 図において、図1と同一符号は同一または相当するものを示す。 In the figure, FIG. 1 the same reference numerals indicate those identical or corresponding.
1は1つの圧力室2に複数のノズル4(この例では4a 1 a plurality of nozzles 4 into one pressure chamber 2 (in this example 4a
ないし4d)を設置したインクジェットヘッド、2は図示しないインク供給源からインクが供給されるとともにカラーフィルタ基板に充填すべきインクをアクチュエータによって加圧する圧力室、3は圧力室2の前面に設けられ、ノズル列5が形成されるとともに、圧力室2を封止するノズル板、4は圧力室2に充填されたインクを吐出する複数のノズル、5は互いに等間隔かつ一列に配列された複数のノズル4aないし4dからなるノズル列、 To an ink jet head was installed 4d), 2 is pressurizing the pressure chamber by the actuator the ink to be filled in the color filter substrate with the ink is supplied from an ink supply source (not shown), 3 is provided on the front surface of the pressure chamber 2, with nozzle array 5 is formed, a nozzle plate to seal the pressure chamber 2, a plurality of nozzles for ejecting ink filled in the pressure chamber 2 is 4, a plurality of nozzles arranged at equal intervals a row in mutually 5 4a to nozzle array consisting 4d,
7はブラックマトリックスにより形成された枠体、8は複数のノズル4aないし4dから吐出されたインク液滴、9は枠体7によって区切られた画素区画、10はインク吐出方向、11は凸状メニスカスを形成する充填インクであり、これは、ノズル4aないし4dから同時に吐出されたインク液滴8aないし8dにより形成されたものである。 7 frame formed by the black matrix, ink droplets discharged from a plurality of nozzles 4a to 4d is 8, 9 pixels that are separated by the frame 7, 10 ink discharge direction, 11 convex meniscus a filling ink forming a, which is to no ink droplets 8a ejected simultaneously from the nozzles 4a to 4d and is formed by 8d.

【0038】なお、インクジェットヘッド1のインク吐出位置は、インク吐出方向10から見てノズル列5の中心が画素区画9の中心と重なる位置である。 [0038] The ink discharge position of the ink jet head 1, the center of the nozzle array 5 when viewed from the ink discharge direction 10 is a position that overlaps with the center of the pixel section 9. また、画素区画9の形状が概ね長方形であって長辺と短辺の長さの比が3以上である場合に、1つの圧力室2に設ける複数のノズル4の数は、画素区画9の長辺と短辺の長さの比に近い整数とする。 Further, when the shape of the pixel section 9 is generally a ratio of a rectangular long side and the length of the short side is three or more, the number of the plurality of nozzles 4 provided on one pressure chamber 2, the pixel partition 9 an integer close to the ratio of the length of the long and short sides. これは、着弾したインク液滴が画素区画内で効率よく拡がるようにするためである。 This landed ink droplets is so that spread efficiently in the pixel section.

【0039】次に、動作について説明する。 Next, a description will be given of the operation. インクジェットヘッド1は、カラーフィルタ基板6上面の枠体7がインクジェットヘッド1の吐出位置に移動した際に、図示しない移動制御回路からインクジェットヘッド1の駆動回路に対しインク吐出信号が出力され、このインク吐出信号に基づいて圧力室2に充填されたインクをアクチュエータ等で加圧して、ノズル列5のノズル4a,4 The ink-jet head 1, the frame body 7 of the color filter substrate 6 upper surface when moved to the discharge position of the ink-jet head 1, the ink ejection signal to the driving circuit of the ink jet head 1 is outputted from the movement control circuit (not shown), the ink the ink filled in the pressure chamber 2 based on the discharge signal pressurized by an actuator or the like, the nozzle 4a, 4 nozzle arrays 5
b,4c,4dからインク液滴8a,8b,8c,8d b, 4c, ink from the 4d droplets 8a, 8b, 8c, 8d
を同時に吐出する。 At the same time to discharge. これらインク液滴8a,8b,8 These ink droplets 8a, 8b, 8
c,8dの体積や飛翔速度などの特性はほぼ均一であり、それぞれ異なった着弾点で画素区画(インク充填領域)9の基板6表面にほぼ同時に衝突し、次の瞬間に押し潰されて、着弾点を中心に放射状に拡がり、薄い円柱状のインクドットを形成する。 c, characteristics such as 8d volume and flying speed is substantially uniform, substantially impinge simultaneously on the substrate 6 surface of the pixel partition (ink filling region) 9 at different landing points, respectively, are crushed in the next moment, spread radially around the landing point, to form a thin cylindrical ink dots. 次に、そのインクドットは、画素区画9内を流れてドットの形状が崩れ、他のインクドットとともに、凸状メニスカスを形成する充填インク11となる。 Next, the ink dots are collapsed shape of dots flows pixels compartment 9, together with other ink dots, the filling ink 11 to form a convex meniscus.

【0040】実験では、粘度10〜15cp、及び体積15〜30plのインク液滴を4〜7m/sの飛翔速度でカラーフィルタ基板6の画素区画9に衝突させた場合、インクドットの直径は約60〜90μmであった。 [0040] In the experiment, when colliding viscosity 10~15Cp, and an ink droplet volume 15~30pl the pixel section 9 of the color filter substrate 6 at a flying speed of 4~7m / s, the diameter of the ink dots of about It was 60~90μm.
インク及びカラーフィルタ基板の種類が同一であれば、 If the ink and the kind of the color filter substrate are the same,
インクドットの直径は、インク液滴の体積及び液滴の飛翔速度によって決定されるので、画素区画9の大きさと充填インク11の量から最適なインクドットの直径を選択することができる。 The diameter of the ink dots are determined by the flying speed of the volume and droplet of ink droplets, it is possible to select the diameter of the optimal ink dot from the size and amount of the filling ink 11 of the pixel section 9.

【0041】このように、本実施の形態1では、複数個のインク液滴8を透明基板6表面に同時に着弾させるため、各々のインクドットが画素領域(インク充填領域) [0041] Thus, in the first embodiment, in order to simultaneously landing a plurality of ink droplets 8 to the transparent substrate 6 surface, each of the ink dots pixel area (ink filling area)
8で均一に同時に形成されると共に隣接するインクドット同士の干渉力によって、インク充填領域全体にインクが押し広げられる。 Uniformly by the interference power of the ink dots which are adjacent while being formed simultaneously by 8, the ink is spread to the entire ink filling region.

【0042】これに対し、従来の,インク液滴を順番に突入させていくインク充填方法では、インク液滴を1つずつ吐出するため、先行して吐出されたインク液滴8 [0042] In contrast, in the conventional ink filling method going to plunge the ink droplets in the order, for ejecting ink droplets one by one, leading to the discharged ink droplets 8
a、8b、8cで形成されたインク充填領域の凸状メニスカスに最終のインク液滴8dが突入すると、そのメニスカスに大きな波を発生させ、インクが枠体7から隣接画素に溢れることがあった。 a, 8b, the final ink droplets 8d convex meniscus of the ink filling region formed by 8c rushes generates a large wave on the meniscus, the ink was sometimes overflows from the frame 7 to the adjacent pixels .

【0043】しかしながら、本実施の形態1のインク充填方法では、全てのインク液滴8a、8b、8c、8d [0043] However, in the ink filling method of the first embodiment, all of the ink droplets 8a, 8b, 8c, 8d
がカラーフィルタ基板6表面に同時に衝突するため、その各々のインク液滴のインクを基板6表面に押し広げる力にエネルギーが費やされ、インクの,枠体7を越えようとする力が抑えられる。 There for impinging simultaneously on the color filter substrate 6 surface, energy is expended to forces pushing the ink in the ink droplets of each of the substrate 6 surface, the ink, the power to about to exceed the frame 7 is suppressed .

【0044】また、従来の方法では、最終のインク液滴8dの着弾位置に近いインク充填領域の隅部にインクが浸透せず色抜けが生じることがあった。 [0044] Further, in the conventional method, the ink in the corner portion of the ink filling area close to the landing position of the last ink drop 8d was sometimes escapes color does not penetrate occurs. これは、先行しているインク液滴8aないし8cによって充填されたインクがインク充填領域の隅部を残して満たされている場合に、最終インク液滴8dが充填インクの上に突入しても充填インク側に圧力が流れて、隅部にインクが浸透しにくいためである。 This is because when the ink filled by ink droplets 8a to 8c precedes is satisfied leaving corners of the ink filling area, the final ink droplets 8d is also entered on the filling ink flow pressure in the filling ink side, the ink in the corner portion is because hardly penetrate.

【0045】この場合においても、本実施の形態1による方法では、従来方法の最終インク液滴8dの着弾位置に相当するインク充填領域の隅部付近の透明基板6表面に、他のインク液滴8a,8b,8cと同時に、直接透明基板6表面に着弾するため、着弾後に透明基板6表面を放射状にインクが押し広げられる力で、インク充填領域8の隅部までインクが浸透しやすいという効果がある。 [0045] In this case, the method according to the first embodiment, a transparent substrate 6 surface near the corners of the ink filling region corresponding to the landing position of the last ink drop 8d conventional method, other ink droplets 8a, 8b, 8c at the same time, in order to land on the direct transparent substrate 6 surface, the effect of a force ink is spread radially transparent substrate 6 surface after landing, the ink tends to penetrate to the corner portion of the ink filling region 8 there is.

【0046】さらに、受容層にインク液滴を吐出する場合においても、本実施の形態1によれば、複数のインク液滴が受容層へ均一に同時に着弾することで、受容層上での隣接インクドット干渉部が液体の状態で混合した後に吸収される。 [0046] Further, even in the case of discharging the ink droplets in the receptor layer, according to the first embodiment, since the plurality of ink droplets uniformly landed simultaneously to the receiving layer, adjacent on the receiving layer It is absorbed after the ink dot interference portion is mixed in a liquid state. そのため、従来の方法で見られたインクドットの重なり部の濃度むらが解消される。 Therefore, density unevenness of the overlapping portion of the seen ink dots in a conventional manner is eliminated.

【0047】次に、図3を用いて、本実施の形態1におけるインクジェットヘッドの圧力室とノズルの関係について説明する。 Next, with reference to FIG. 3 will be described the pressure chamber and the relationship between the nozzles of the ink-jet head in the first embodiment. 図3は、1つの圧力室に複数のノズルを設置したインクジェットヘッドをインク吐出方向から見た模式図である。 Figure 3 is a schematic view of the ink jet head installed a plurality of nozzles to one pressure chamber from the ink discharge direction. ここではノズルを4個形成した場合を示している。 Here shows the case of forming four nozzles. これらのノズルはカラーフィルタのインク充填領域の形状に合わせて一列に配置されている。 These nozzles are arranged in a line in accordance with the shape of the ink filling region of the color filter.

【0048】図において、図2と同一符号は同一または相当するものを示す。 [0048] In view, FIG. 2 and the same reference numerals indicate those identical or corresponding. 12は図示しないアクチュエータを設置した、平面平板14a,14bよりなる,圧力室2の長辺壁、13は平面平板14c,14dよりなる, 12 was installed an actuator, not shown, planar flat 14a, consisting 14b, the long side wall of the pressure chamber 2, 13 is a plan flat 14c, consisting 14d,
圧力室2の短辺壁、Lは圧力室2長辺壁12の内側の長さ、Wは圧力室2短辺壁13の内側の長さ、Sはノズル列5の両端に位置しているノズル4a,4dの中心から短辺壁13までの長さである。 Short side wall, L is the inside of the pressure chamber 2 the long side wall 12 the length of the pressure chamber 2, W inside the length of the pressure chamber 2 short side wall 13, S is positioned at both ends of the nozzle array 5 nozzle 4a, the length from the center of 4d to short side wall 13.

【0049】これら4個のノズル4aないし4dは、一つの圧力室2に設けられている。 [0049] These four nozzles 4a to 4d is provided in one pressure chamber 2. 圧力室2の断面形状は、ノズル列5の軸方向長さLの長辺壁12とそれに垂直な幅Wの短辺壁13を有する長方形である。 Sectional shape of the pressure chamber 2 is a rectangle having a short side wall 13 of the vertical width W thereto the long side wall 12 of the axial length L of the nozzle array 5. 短辺壁1 Short side wall 1
3からノズル列5の両端ノズルの中心までの間隔Sは、 Spacing S from 3 to the center of both ends nozzle of the nozzle array 5,
短辺壁13の幅W以上の長さで構成される。 Composed of the width W more than the length of the short side wall 13. さらに、圧力室2内のインクを加圧するための図示しないアクチュエータは、圧力室2の断面の長辺壁12に設けられ、長辺壁12に垂直な方向へ変位するように構成されている。 Further, the actuator (not shown) for pressurizing ink inside the pressure chamber 2 is provided in the cross-sectional long side wall 12 of the pressure chamber 2, and is configured so as to be displaced in a direction perpendicular to the long side wall 12.

【0050】ここで、複数のノズル4を一つの圧力室2 [0050] Here, one pressure chamber a plurality of nozzles 4 2
に設けたのは、次のような経緯による。 It was provided on the is due, such as the following circumstances. 即ち、代表的なカラーフィルタの画素ピッチは、約300μmであり、 That is, the typical pixel pitch of the color filter is about 300 [mu] m,
例えば10.4インチのVGA(640×480ドット)液晶パネル用のものでは330μm、18.1インチのSVGA(1024×1024ドット)液晶パネル用のものでは280μmである。 For example, those 10.4 inch VGA (640 × 480 dots) liquid crystal panel 330 [mu] m, by way of 18.1 inches SVGA for (1024 × 1024 dots) liquid crystal panel is 280 .mu.m. この画素区画に適切なノズル数は4個であるが、この4個のノズル4を300 Although appropriate number of nozzles in the pixel section is four, the four nozzles 4 300
μm内にピッチ60μmで配置してインクを同時に吐出することは、通常の(プリンタ用の)インクジェットヘッド1では非常に困難である。 That arranged at a pitch 60μm in μm for ejecting ink at the same time is the normal (for the printer) very difficult in the ink jet head 1. 何故なら、例えば、ピエゾ方式での最小ピッチは約141μm、バブルジェット方式のそれは約71μmであり、60μmを越えるからである。 Because, for example, the minimum pitch in the piezo method is it about 71μm to about 141 .mu.m, a bubble jet system, because it exceeds 60 [mu] m.

【0051】しかも、このような狭いピッチのヘッドでは、隣接チャンネルとの距離が短くなるため、いわゆるクロストーク、即ち、或るチャンネル内部のインクを吐出する際の圧力振動が隣接するチャンネルに影響を及ぼすため、隣接するノズルから同時に液滴を吐出する場合の吐出性能が、1つのノズルから液滴を吐出する場合の吐出性能から変化してしまう,という不具合、の発生が大きいため、プリンタ用のインクジェットヘッドでは、 [0051] Moreover, in such a narrow pitch head, the distance between adjacent channels is shortened, so-called cross-talk, i.e., the effect on the channel pressure oscillations adjacent when ejecting a given channel the ink on order, discharging performance when simultaneously discharging droplets from adjacent nozzles, varies from the discharge performance when discharging liquid droplets from one nozzle, disadvantageously, because generation is large, for the printer in the ink jet head,
隣接するノズルから同時に液滴を吐出することを避け、 Avoid simultaneously eject droplets from adjacent nozzles,
一つの圧力室に一つのノズルを設けるとともに、複数の圧力室の個々のノズルの吐出タイミングをずらせて全ノズルからのインク液滴吐出を達成している。 Provided with a single nozzle in one of the pressure chambers, and by shifting the ejection timing of each nozzle of the plurality of pressure chambers to achieve ink drop ejection from all nozzles.

【0052】しかしながら、一つの圧力室に一つのノズルを設けるという考え方は、プリンタ用途では必要不可欠であるが、カラーフィルタの製造にあたっては不要である。 [0052] However, the concept of providing a single nozzle in one of the pressure chambers, it is essential in the printer applications, it is not necessary in the production of color filters. それは、既に述べたように、インク液滴を1つづつ吐出すれば、色ムラ等が発生するためである。 It is, as already mentioned, if one by one ejecting ink droplets, because the color unevenness or the like occurs.

【0053】そこで、インクジェットヘッド1をカラーフィルタ製造用に特化し、区画内に配列するノズル4を同一の圧力室2に設けることにより、複数の液滴を同時に吐出できるとともに、ノズルを狭ピッチで配置できる,カラーフィルタ製造用に最適化されたインクジェットヘッドを得ることを着想した。 [0053] Therefore, specialized ink jet head 1 for the color filter manufactured by providing a nozzle 4 arranged in a compartment in the same pressure chamber 2, with a plurality of droplets can be ejected at the same time, the nozzle with a narrow pitch can be arranged, it was conceived to obtain an optimized ink jet head for color filter production.

【0054】しかしながら、このようなカラーフィルタ製造用に最適化されたインクジェットヘッドでは、各ノズルの吐出特性が揃っており、しかも狭ピッチのノズルであるにもかかわらずクロストークが発生しないことが必須である。 [0054] However, such optimized inkjet head for color filter manufacturing, and uniform ejection characteristics of the nozzles, moreover a is despite essential that crosstalk does not occur nozzle narrow pitch it is.

【0055】本件発明者が鋭意研究を行った結果、これは、以下のような構成で実現できることを見い出した。 [0055] As a result of the present inventors have conducted extensive studies, it has been found that can be realized by the following configuration.
まず、このようなカラーフィルタ製造用に最適化されたインクジェットヘッドの圧力室2の断面形状について説明する。 First, a description will be given cross-sectional shape of the pressure chamber 2 such optimized inkjet head for color filter production. 図3において、ノズル列5のどのノズル4からも同じ吐出特性を得るためには、ノズル列5を平行平板で狭み全ノズルにインクの平行平板流れが加えられるようにすることが有効である。 In Figure 3, in order to obtain the same ejection characteristics from nozzle row 5 throat of the nozzle 4, it is effective to make parallel plate flow of ink applied to all nozzles try narrow nozzle array 5 in parallel plate . そして、平行平板の側壁となる短辺壁13の位置は、この短辺壁13がノズル列5 The position of the short side wall 13 as the side walls of the parallel plate, the short side wall 13 nozzle row 5
の両端のノズルの流れに影響しないように、両端ノズル4a、4dの中心から短辺壁13までの距離Sを平行平板間距離、即ち短辺長さW以上としている。 So as not to affect the flow of the nozzle across the both ends nozzle 4a, and from the center of 4d parallel plate spacing distance S to the short side wall 13, i.e. the short side length W or more. この短辺長さWはノズル径の倍以上の大きさとすることが好ましい。 The short side length W is preferably in a more than double the size of the nozzle diameter.

【0056】このような形状の圧力室2内のインクに効果的に圧力を加えるには、両端ノズルから短辺壁までの長さSは両端ノズル4a,4dから吐出されるインクの流れが短辺壁13の影響を受けないように短辺壁13内側の長さW以上に設置し、ノズル列5は長辺壁12に平行で短辺壁13の中心を通る直線上に設置し、かつ短辺壁13内側の長さWはノズル径の2倍以上とすることが好ましい。 [0056] To effectively apply a pressure to the ink in the pressure chamber 2 having such a shape, the length S from both end nozzle to the short side wall short the flow of ink discharged from the both end nozzles 4a, 4d -side wall 13 installed affect not subject as the short side wall 13 or the inside of the length W of the nozzle row 5 is placed on a straight line passing through the center of the short side wall 13 is parallel to the long side wall 12, and short side wall 13 inside the length W is preferably at least 2 times the nozzle diameter. このようにすることにより、長辺壁12の僅かの変位で、均一かつ大きな圧力をインクに与えることができる。 In this way, a slight displacement of the long side wall 12, a uniform and large pressure can be applied to the ink.

【0057】以上のことから、本発明の実施の形態1によれば、1つの画素区画9に複数のインク液滴8a,8 [0057] From the foregoing, according to the first embodiment of the present invention, one of the plurality of pixels compartment 9 ink droplets 8a, 8
b,8c,8dを同時に、かつインク液滴の体積や飛翔速度などの特性が均一になるように吐出することが可能となり、これにより、直接カラーフィルタ基板6を着色する場合では、衝突エネルギーがインクを放射状に押し拡げる力に費やされ、枠体7を越えようとする力は抑えられて、インクの混色および色抜けを防止でき、カラーフィルタ基板6上の受容層を着色する場合では、各インクドットが混合した後にインクは受容層に吸収されて、 b, 8c, 8d simultaneously, and it is possible that the characteristics such as the volume and the flying speed of the ink droplet ejecting to be uniform, thereby, in the case of coloring the direct color filter substrate 6, the collision energy spent force to expand pushing the ink radially, the force about to exceed the frame 7 is suppressed, can prevent omission mixing and color inks, in case of coloring the receptor layer on the color filter substrate 6, ink after each ink dots are mixed is absorbed in the receptor layer,
色むらを防止でき、その結果、いずれの場合でも色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができる。 It can prevent color unevenness, as a result, it is possible that the color density in any case to produce a uniform color filter.

【0058】また、本発明の実施の形態1においては、 [0058] Further, in the first embodiment of the present invention,
1つの圧力室2に複数のノズル4を設置したインクジェットヘッド1を用いることにより、クロストークを発生せずに、インクを小さいピッチで同時に吐出することができ、色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができる。 By using the ink-jet head 1 installed a plurality of nozzles 4 into one of the pressure chambers 2, without causing crosstalk, the ink can be ejected at the same time with a small pitch, color density uniform color filter manufacturing can do.

【0059】また、本発明の実施の形態1においては、 [0059] Further, in the first embodiment of the present invention,
アクチュエータを設置した平面平板よりなる圧力室2の長辺壁12を有し、両端ノズルから短辺壁13までの長さSを短辺壁13内側の長さW以上となるように設置したインクジェットヘッド1を用いることにより、圧力室2に充填されたインクにアクチュエータの僅かな変形で均一かつ大きな圧力を与え、吐出するインク液滴8a, Has a long side wall 12 of the pressure chamber 2 which actuator consists of the installation, flat surface plates and placed the length S from both end nozzle to short side wall 13 such that the short side wall 13 inside the length W or more inkjet by using the head 1, giving a uniform and high pressure in a slight deformation of the actuator to the ink filled in the pressure chamber 2, the discharge ink droplets 8a,
8b,8c,8dの体積や飛翔速度などの特性を全て均一にすることができ、色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができる。 8b, 8c, all characteristics such as 8d volume and flying speed can be made uniform, so that the color density to produce a uniform color filter.

【0060】また、本発明の実施の形態1においては、 [0060] Further, in the first embodiment of the present invention,
画素区画9の形状が概ね長方形であって長辺と短辺の長さの比が3以上である場合に、1つの圧力室2に対する複数のノズル4の数は、画素区画9の長辺と短辺の長さの比に近い整数とし、それらのノズル4を等間隔かつ一列に設置したインクジェットヘッドを用いることにより、着弾したインク液滴が画素区画内を効率よく拡がり、色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができる。 If the shape of the pixel section 9 is generally a ratio of a rectangular long side and the length of the short side is three or more, the number of the plurality of nozzles 4 for one of the pressure chambers 2, the long side of the pixel section 9 an integer close to the ratio of the length of the short side by using an ink jet head installed their nozzle 4 at equal intervals and a row, landed ink droplets spread efficiently pixels compartment, color density is uniform it is possible to manufacture a color filter.

【0061】(実施の形態2)本発明の実施の形態2に係るカラーフィルタの製造方法は、圧電セラミックスのせん断モード変形を利用する複数の圧力室及び空気室を設置したインクジェットヘッドを用いて、画素区画の短辺方向にある多数の同色画素区画にインク液滴を同時に、かつインク液滴の体積や飛翔速度などの特性が均一になるように吐出してカラーフィルタの着色層を形成するものである。 [0061] the method for producing a color filter according to the second embodiment (Embodiment 2) The present invention uses an ink jet head installed a plurality of pressure chambers and the air chamber that utilizes shear mode deformation of piezoelectric ceramics, which at the same time an ink droplet to a large number of the same color pixel section in the short side direction of the pixel section, and is ejected as characteristics such as volume and the flying speed of ink droplets is uniform to form a colored layer of a color filter it is.

【0062】図4は、複数の圧力室及び空気室を有し、 [0062] Figure 4 includes a plurality of pressure chambers and the air chamber,
圧電セラミックスのせん断モード変形を利用するインクジェットヘッドを、インク吐出方向から見た模式図である。 The ink jet head that utilizes shear mode deformation of piezoelectric ceramics, is a schematic view seen from the direction of ink ejection. 図において、41は圧力室42及び空気室48を隔てる隔壁である。 In the figure, 41 is a partition wall separating the pressure chamber 42 and the air chamber 48. 42はインクを充填する複数の圧力室であり、ノズル板、アクチュエータ100、圧電セラミックス基板49、及びカバープレート50で構成される。 42 is a plurality of pressure chambers filled with ink, and a nozzle plate, the actuator 100, the piezoelectric ceramic substrate 49 and the cover plate 50. 45は複数のノズルを相互に平行となるように複数設置してなるノズル列、46は圧力室内壁の上半分に相当する部分に金属膜で形成された信号電極、47は空気室内壁の上半分に相当する部分に金属膜で形成された共通電極、48は内部に空気が充填されている複数の空気室であり、ノズル板、アクチュエータ、圧電セラミックス基板49、及びカバープレート50で構成され、ノズルは有していない。 45 nozzle array in which a plurality placed in parallel a plurality of nozzles to one another, 46 denotes a signal electrode formed of a metal film in a portion corresponding to the upper half of the pressure chamber wall, 47 on the air chamber walls a common electrode in a portion corresponding to half formed of a metal film, 48 is a plurality of air chambers which air inside is filled, a nozzle plate, the actuator is a piezoelectric ceramic substrate 49 and the cover plate 50, nozzle does not have. 49は圧力室42と空気室48となるべき深溝が相互に平行になるように形成された圧電セラミックス基板、50はセラミックス材料または樹脂材料等で形成され圧力室42及び空気室48となるべき深溝の開口を封止するカバープレート、52は隔壁41の分極方向、V1は共通電極47に与えられる電位、V2 49 the piezoelectric ceramic substrate deep groove to serve as the pressure chamber 42 and the air chamber 48 is formed so as to be parallel to each other, 50 is a deep groove to be a pressure chamber 42 and the air chamber 48 is formed by a ceramic material or a resin material a cover plate for sealing the opening, 52 the polarization direction of the partition wall 41, V1 potential applied to the common electrode 47, V2
は信号電極46に与えられる電位である。 Is a potential applied to the signal electrode 46. また、100 In addition, 100
はアクチュエータであり、隔壁41、信号電極46、及び共通電極47で構成され、圧電セラミックス基板49 Is an actuator, is constituted by a partition wall 41, the signal electrode 46, and the common electrode 47, the piezoelectric ceramic substrate 49
の深溝は、圧力室42と空気室48が所定間隔で配置されるようにこれを形成する。 It is a deep groove, so that the pressure chamber 42 and the air chamber 48 are arranged at predetermined intervals to form the same.

【0063】図4に示すインクジェットヘッド1は、分極方向52と同方向に分極された圧電セラミックス基板49とカバープレート50と図示しないノズルプレートと図示しないドライバ基板とから構成されている。 [0063] the ink-jet head 1 shown in FIG. 4, and a polarization direction 52 of the piezoelectric ceramics substrate 49 and the cover plate 50 that is polarized in the same direction the nozzle plate (not shown) with the non-illustrated driver board. その圧電セラミックス基板49には、複数の深溝が同じ深さで平行に形成されている。 As the piezoelectric ceramics substrate 49, a plurality of deep grooves are formed parallel to the same depth. 深溝と深溝の間の方向52に分極された圧電セラミックスの隔壁41には、上半分のみ金属膜が形成されており、奥行き方向の溝終端で繋がって一つの信号電極46と共通電極47になっている。 The partition wall 41 of the piezoelectric ceramic is polarized in the direction 52 between the deep groove Metropolitan deep groove is a metal film only the upper half is formed, in common electrode 47 and one signal electrode 46 connected in the depth direction of the groove end ing.
また、これらの深溝によりインクの圧力室42と空気室48が交互に形成される。 Further, the pressure chamber 42 and the air chamber 48 of the ink are alternately formed by these deep groove. 空気室48にはノズルは形成されず、溝終端でカバープレート50により封止され、 Nozzle is not formed on the air chamber 48, it is sealed by a cover plate 50 with the groove end,
圧力室42はインク供給路と連通している。 The pressure chamber 42 communicates with the ink supply path. カバープレート50は、セラミックス材料または樹脂材料等から形成されており、圧電セラミックス基板49とエポキシ系接着剤で強固に接合されている。 The cover plate 50 is formed from a ceramic material or a resin material, and is firmly joined with the piezoelectric ceramic substrate 49 and the epoxy adhesive. また、圧電セラミックス基板49及びカバープレート50の前方端面には圧力室42に対応して設けられたノズル列45を有する図示しないノズルプレートが接合されている。 Further, the front end surface of the piezoelectric ceramic substrate 49 and the cover plate 50 a nozzle plate (not shown) having a nozzle row 45 which are provided corresponding to the pressure chambers 42 is joined. ノズル列45 Nozzle row 45
はその配列軸が深溝の深さ方向に平行に設けられている。 Is provided in parallel the sequence axis in the depth direction of the deep groove it is. 圧力室42の信号電極46と空気室48の共通電極47は、各々短絡されて図示しないドライバ回路に接続されている。 The common electrode 47 of the signal electrode 46 and the air chamber 48 of the pressure chamber 42 is connected to a driver circuit (not shown) are respectively short-circuited.

【0064】このドライバ回路から空気室48の共通電極47にはV1なる電圧を、また、圧力室42の信号電極46にはV2なる電位を与えて隔壁41の間に電位差を与えると、分極方向52と電界方向が直交し隔壁上半分がせん断力を受け、圧力室42の両側の隔壁が図中の破線で示すように同時に内側に変位して圧力室42内のインクを加圧する構成となっている。 [0064] The V1 becomes a voltage to the common electrode 47 of the air chamber 48 from the driver circuit, also, to the signal electrodes 46 of the pressure chamber 42 when a potential difference is applied between the barrier ribs 41 by applying a potential where V2, the polarization direction 52 and the field direction perpendicular to the partition wall half is subjected to shearing force, a configuration in which both sides of the partition walls of the pressure chamber 42 pressurizes the ink inside the pressure chamber 42 is displaced inward at the same time as shown by the broken line in FIG. ing. 加圧されたインクは、ノズル列45の各ノズルから液滴となって吐出される。 Pressurized ink is discharged as from the nozzles of the nozzle array 45 and the liquid droplet. この場合、ノズル列45の4個のノズルから同時に液滴が吐出される。 In this case, the droplets are simultaneously discharged from the four nozzles of the nozzle array 45.

【0065】即ち、隔壁41は、V1とV2の電位差によって分極し、その分極方向52と電界方向が直交することによって隔壁41の上半分にせん断力を受ける。 [0065] That is, the partition wall 41 is polarized by the potential difference V1 and V2, subjected to shearing forces in the upper half of the partition wall 41 by the polarization direction 52 and the electric field directions are orthogonal. そのせん断力によって、同時に、図4の破線で示したように、圧力室42の隔壁41は内側に変形して圧力室42 By the shearing force, at the same time, as shown by the broken line in FIG. 4, the pressure chamber dividing wall 41 of the pressure chamber 42 is deformed inwardly 42
に充填されるインクを加圧し、空気室48の隔壁41は外側に変形する。 Pressurized ink to be filled in, the partition wall 41 of the air chamber 48 is deformed outwardly. 隔壁41によって加圧されたインクは、それぞれノズル列45から同時に吐出し、カラーフィルタ基板の移動方向に垂直な列にある多数の同色画素区画を着色する。 The ink pressurized by the partition wall 41 is discharged each time from the nozzle row 45, to color the number of same-color pixels compartment in the moving direction of the color filter substrate in a vertical column.

【0066】ここで、空気室48を設けているのは、互いに隣接する圧力室42が駆動するときの干渉で起こるクロストークの影響を解消するためであり、これは、画素区画の枠体へインク液滴を安定しかつ正確な位置と量で吐出し着弾させるのに有効である。 [0066] Here, what is provided an air chamber 48 is for the purpose of eliminating the influence of crosstalk occurring in interference when driving the pressure chambers 42 adjacent to each other, this is the frame of the pixel partition is effective to landing ejecting ink droplets in stable and accurate location and quantity.

【0067】即ち、ピエゾ方式せん断モード型のヘッドでは、従来、隣接するチャンネルの全てのチャンネルからインク吐出を行っており、これはノズルピッチを縮めるためには有効な方法であり、高速化を目指すプリンタヘッドにおいては、有効なものであったが、チャンネル側壁と隣接チャンネルのインクを通じて他のチャンネルに圧力振動を与えるため、クロストークが避けられない,という欠点があった。 [0067] That is, in the piezo method shear mode type head, conventionally, are carried out ink discharge from all the channels of the adjacent channel, which is an effective way to reduce the nozzle pitch, it aims to speed in the printer head, but there was a valid one, to provide pressure oscillations in the other channel as the channel side walls through the ink of adjacent channels, it is unavoidable crosstalk, has a drawback that.

【0068】これに対し、本実施の形態2では、解像度の比較的低いカラーフィルタの製造用に最適化させるべく、高精度のインク吐出量制御を重視して、インク吐出チャンネルの隣接チャンネルにはノズルをなくし、そのチャンネルを空気層にした。 [0068] In contrast, in the second embodiment, in order to optimize for the production of relatively low color filter resolution, with an emphasis on the ink discharge amount control of high precision, the adjacent channel of the ink ejection channels eliminating the nozzle and the channel to the air layer.

【0069】これにより、従来発生していた隣接チャンネルのインクを通じて起こる圧力振動を防ぐことができ、クロストークの無い,高精度・高安定なインク吐出が可能となる。 [0069] Thus, it is possible to prevent the pressure oscillations that occur through the ink of the adjacent channel which has been conventionally generated, it is possible without crosstalk, high precision and stable ink ejection. これは、インクにくらべ、空気の弾性率は極端に低いので、空気層を介した圧力振動の伝搬は発生しないことによる。 This is compared to the ink, the elastic modulus of the air extremely low, the propagation of the pressure oscillations through the air layer is by not occur.

【0070】そして、これら空気室48を設けた場合でも圧力室42のピッチをカラーフィルタの特定色の画素ピッチに合わすことは十分可能である。 [0070] Then, it is quite possible match the pitch of the pressure chambers 42 even in the case where the these air chamber 48 to a specific color of the pixel pitch of the color filter. しかも、この空気室48を設けたことで、2系統の信号V1、V2のみで多数の圧力室42を駆動することが可能となるので、 Moreover, since this by the air chamber 48 is provided, it becomes possible to drive a large number of pressure chambers 42 in only the signal V1, V2 of the two systems,
ドライバ回路が単純化され全体のコストダウンに寄与する。 Driver circuit contributes to cost reduction of the whole is simplified.

【0071】即ち、従来の連続したチャンネル全てにノズルが設けられ、かつ各々のノズルからインク吐出が可能なピエゾ方式せん断モード型のヘッドでは、インク吐出チャンネルに信号V1(負圧:インク充填)を与え、 [0071] That is, in the conventional continuous all nozzles provided in the channel, and each of the piezo method shear mode type head allows ejection from the nozzle, the signal to the ink ejection channels V1: the (negative pressure ink filling) given,
続いて隣接チャンネルに信号V2(加圧:インク吐出) Then the adjacent channel signal V2 (pressure: ink discharge)
を与えることで、一滴の吐出が完了し、次に、今、信号を与えたチャンネルからインクを吐出する場合は、そのチャンネルに信号V1を、続いて隣接するチャンネルに信号V2を与える,という具合に、吐出パターンによってチャンネルにV1とV2を与える必要があり、ドライバ回路が複雑になる。 By giving, and drop ejection is completed, then the degree Now, when ink is ejected from the channel given the signal, the signal V1 to the channel, followed by the channel adjacent gives a signal V2, that in, it is necessary to give the channel V1 and V2 by the ejection pattern, the driver circuit is complicated. これに対し、本実施の形態2の, In contrast, the present embodiment 2,
インク吐出チャンネルの両側に空気層を持つ構造にすると、インク吐出チャンネルには信号V1を、その両側の空気層のチャンネルにはV2のみの信号を与えることになる。 When the structure having the air layers on both sides of the ink ejection channel, a signal V1 to the ink ejection channels, will provide a signal V2 only the channel on both sides of the air layer.

【0072】そして、空気層を有するヘッドのノズルピッチをカラーフィルタの画素ピッチに合わせて作った場合、カラーフィルタの画素配列軸とヘッドのノズル配列軸を平行にできるため、ヘッドが傾斜したときに必要な,駆動信号の遅延処理を必要とせず、かつ、全ノズルを同時に吐出する配線にすることが可能となり、ドライバ回路が単純化される。 [0072] Then, if made together nozzle pitch of the head having an air layer in the pixel pitch of the color filter, it is possible to parallel the nozzle alignment axis of the pixel array axis and the head of the color filter, when the head is inclined required, without the need for delay processing of the drive signal, and it is possible to wire for discharging all of the nozzles simultaneously, the driver circuit can be simplified. このため、信号V1を多数の吐出チャンネルに、信号V2を多数の空気層のチャンネルへファンアウトすることが可能になる。 Therefore, the number of discharge channels a signal V1, it is possible to fan out the signal V2 to the channel number of the air layer.

【0073】図5は、本発明の実施の形態2に係るカラーフィルタの製造方法を示す説明図である。 [0073] FIG. 5 is an explanatory diagram showing a method of manufacturing a color filter according to the second embodiment of the present invention. 図において、図4と同一符号は同一または相当するものを示している。 In FIG, 4 like reference numbers indicate that the same or corresponding. 51は複数の圧力室42及び空気室48を有し、 51 has a plurality of pressure chambers 42 and air chambers 48,
圧電セラミックのせん断モード変形を利用するインクジェットヘッド、53はカラーフィルタ基板の移動方向、 An inkjet head that utilizes shear mode deformation of piezoelectric ceramics, 53 a moving direction of the color filter substrate,
P1は画素区画の短辺方向の同色の画素区画同士の間隔である。 P1 is the spacing of the same color of the pixel section between the short side direction of the pixel partition. なお、圧力室42、空気室48、及びノズル列45は、この間隔P1を保つように配列する。 The pressure chamber 42, the air chamber 48 and the nozzle array 45, is arranged to keep the distance P1.

【0074】次に、その製造方法について説明する。 [0074] Next, a description will be given of a method of manufacturing the same. カラーフィルタ基板56に形成された,画素区画R,G, Formed on the color filter substrate 56, a pixel partition R, G,
Bの特定色のピッチP1と同じピッチの圧力室と、その圧力室の配列方向と垂直に設けられたノズル列を有するインクジェットヘッド51とカラーフィルタ基板56を図5のような位置関係で配置し、基板56を矢印53の方向へ移動させてヘッドの吐出位置に来た画素区画に順次、液滴を着弾させてインクを充填していく。 A pressure chamber having the same pitch as the specific color of the pitch P1 of B, placing an inkjet head 51 and the color filter substrate 56 having nozzle rows provided perpendicular to the arrangement direction of the pressure chamber in a positional relationship as shown in FIG. 5 the substrate 56 is moved in the direction of arrow 53 sequentially come pixel partition the discharge position of the head, continue to fill the ink landed droplets. このような製造動作を行う製造装置によりカラーフィルタが製造される。 A color filter is manufactured by a manufacturing apparatus for performing such a manufacturing operation.

【0075】以上のことから、本発明の実施の形態2においては、圧電セラミックスのせん断モード変形を利用する複数の圧力室42及び空気室48を設置したインクジェットヘッド51を用いることにより、複数の圧力室42が駆動する際の干渉を低減してクロストークを解消し、インク液滴を同時に、かつインク液滴の体積や飛翔速度などの特性が均一になるように吐出することができ、ローコスト化された設備で色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができる。 [0075] From the above, in the second embodiment of the present invention, by using the inkjet head 51 is installed a plurality of pressure chambers 42 and the air chamber 48 that utilizes shear mode deformation of piezoelectric ceramics, a plurality of pressure eliminating crosstalk by reducing the interference when the chamber 42 is driven, ink droplets simultaneously, and can properties such as volume and the flying speed of the ink droplet ejecting to be uniform, cost reduction color density in equipment that is that it is possible to produce a uniform color filter.

【0076】また、本発明の実施の形態2においては、 [0076] In the second embodiment of the present invention,
圧力室42及び空気室48に設けたアクチュエータを、 An actuator provided in the pressure chamber 42 and the air chamber 48,
信号電極46と共通電極47よりなる2系統の電極で駆動することにより、インクジェットヘッド51がコンパクト化、単純化、及びローコスト化でき、ローコスト化された設備でカラーフィルタを製造することができる。 By driving the electrode of the two systems the signal electrode 46 made of the common electrode 47, the inkjet head 51 is compact, simplified, and can be low cost, it is possible to manufacture a color filter at low cost by facilities.

【0077】(実施の形態3)本発明の実施の形態3に係るカラーフィルタの製造方法は、圧電セラミックスの横歪みモード変形を利用する複数の圧力室を設置したインクジェットヘッドを用いて、画素区画長辺方向にある多数の同色画素区画にインク液滴を同時に、かつインク液滴の体積や飛翔速度などの特性が均一になるように吐出してカラーフィルタの着色層を形成するものである。 [0077] the method for producing a color filter according to the third embodiment (Embodiment 3) The present invention uses an ink jet head installed a plurality of pressure chambers that utilize transverse strain mode deformation of piezoelectric ceramics, the pixel partition the ink droplets to a large number of the same color pixel section in the longitudinal direction at the same time, and is intended to form a colored layer of a color filter by ejecting like characteristics such as volume and the flying speed of ink droplets is uniform.

【0078】図6は、複数の圧力室を有し、圧電セラミックスの横歪みモード変形を利用する,インクジェットヘッドをインク吐出方向から見た模式図である。 [0078] Figure 6 includes a plurality of pressure chambers, utilizing transverse strain mode deformation of piezoelectric ceramics, is a schematic view of the ink jet head from the ink discharge direction. 図において、62はインクを充填する複数の圧力室であり、ノズル板、圧電セラミックス基板69、及び振動板70で構成される。 In the figure, 62 is a plurality of pressure chambers filled with ink, the nozzle plate, and a piezoelectric ceramic substrate 69, and the diaphragm 70. 64は横歪みモードで変形する圧電セラミックス板、65はノズル板に直線状に配列された,複数のノズルよりなるノズル列、66は信号電極、67は共通電極、69は溝幅の長さより浅い浅溝を相互に平行となるように複数形成した圧電セラミックス基板、70は圧電セラミックス基板69の浅溝の開口を封止する振動板、V1は共通電極67に与えられる電位、V2は信号電極66に与えられる電位である。 64 the piezoelectric ceramic plate is deformed by horizontal distortion mode, 65 were linearly arranged in the nozzle plate, the nozzle array comprising a plurality of nozzles, 66 signal electrodes, 67 a common electrode, 69 is shallower than the length of the groove width multiple formed piezoelectric ceramic substrate so as to be parallel shallow trenches to one another, 70 diaphragm that seals the opening of the shallow grooves of the piezoelectric ceramic substrate 69, V1 is applied to the common electrode 67 potential, V2 is the signal electrodes 66 is a potential applied to. 110はアクチュエータであり、圧電セラミックス板64、信号電極66、 110 is an actuator, a piezoelectric ceramic plate 64, the signal electrode 66,
及び共通電極67で構成される。 And it consists of the common electrode 67.

【0079】ここに示すインクジェットヘッドは、圧力室62と振動板70と圧電セラミック板64とで構成されている。 [0079] inkjet head shown here is composed of the pressure chamber 62 and the vibration plate 70 and the piezoelectric ceramic plate 64. 圧力室62は、セラミックス基板69の上端面に成型もしくは切削加工により形成した浅溝の開口を振動板70で封止した構成になっている。 The pressure chamber 62, the opening of the shallow groove formed by molding or cutting the upper end surface of the ceramic substrate 69 has a structure sealed by the vibrating plate 70. アクチュエータ110は、圧力室62に対応して振動板70上面に接合された圧電セラミックス板64と、振動板70上面の共通電極67と圧電セラミックス板64上面の信号電極66とで構成されている。 The actuator 110 includes a piezoelectric ceramic plate 64 bonded to the vibration plate 70 top surface in correspondence to the pressure chambers 62, and a common electrode 67 and the piezoelectric ceramic plate 64 the upper surface of the signal electrode 66 of the vibration plate 70 upper surface. 圧電セラミックス板64は、 The piezoelectric ceramic plate 64,
共通電極67と信号電極66に高電圧を印加し分極処理がおこなわれる。 Applying polarization processing high voltage is conducted to the common electrode 67 and signal electrode 66. このように分極処理された圧電セラミックス板64を挟む共通電極67と信号電極66の間に駆動レベルの電位差を与えると、分極方向と平行方向の電界が印加され、圧電セラミックス板64の横歪みが発生し板面方向に収縮する。 In this way the polarized the sandwich the piezoelectric ceramic plate 64 a potential difference of the drive level between the common electrode 67 and signal electrode 66, the electric field in the polarization direction parallel direction is applied, transverse strain of the piezoelectric ceramic plate 64 is the generated contracts in the plate surface direction. 圧電セラミックス板64の収縮により振動板70に曲げ応力が加えられ、振動板70 Bending stress in the vibration plate 70 by the contraction of the piezoelectric ceramic plate 64 is applied, the vibration plate 70
は圧力室62の内側方向へ変位する。 It is displaced toward the inside of the pressure chamber 62. 圧力室62前面には図示しないノズル板が接合されており、圧力室62の位置に対応してノズル列65が設けられている。 The pressure chamber 62 front are the nozzle plate (not shown) joining the nozzle rows 65 are provided corresponding to the position of the pressure chamber 62. ノズル列65のノズル配列軸は、振動板70と圧電セラミックス板64の接合部材すなわちアクチュエータの板面と平行に設けられている。 Nozzle arrangement axis of the nozzle rows 65 are provided in parallel with the plate surface of the joining member or the actuator of the vibration plate 70 and the piezoelectric ceramic plate 64. 横歪みモードの場合においても、 In the case of horizontal distortion mode also,
このようにセラミック基板69に浅溝を形成して、圧力室62の長辺壁に当たる基板上端壁をアクチュエータとすることで、本発明に適したインクジェットヘッドを作製できる。 Thus by forming a shallow groove in the ceramic substrate 69, by an actuator the substrate upper wall hits the long side wall of the pressure chamber 62, can be fabricated inkjet head suitable for the present invention.

【0080】圧電セラミックス板64は、V1とV2の電位差によって分極し、その分極方向と電界が平行になることにより横歪みが発生する。 [0080] piezoelectric ceramic plate 64, polarized by the potential difference V1 and V2, the polarization direction and the electric field is horizontal distortion occurs due to become parallel. 振動板70は、圧電セラミックス板64の横歪みによって曲げ応力が加えられ、図6の破線で示したように、圧力室62の内側に変形する。 Diaphragm 70, bending stress by the lateral strain of the piezoelectric ceramic plate 64 is applied, as indicated by the broken line in FIG. 6, is deformed to the inside of the pressure chamber 62. 圧力室62は、振動板70の変形によって充填するインクを加圧してノズル列65からインク液滴を同時に吐出し、カラーフィルタ基板の移動方向に垂直な方向の列にある多数の同色画素区画を着色する。 The pressure chamber 62, ejecting ink droplets from the nozzle row 65 pressurizes ink filling by the deformation of the vibration plate 70 at the same time, a number of the same color pixel section in the vertical direction of the rows in the moving direction of the color filter substrate coloring to.

【0081】図7は、本発明の実施の形態3に係るカラーフィルタの製造方法を示す説明図である。 [0081] Figure 7 is an explanatory diagram showing a method of manufacturing a color filter according to the third embodiment of the present invention. 図において、図6と同一符号は同一または相当するものを示す。 In the figure, the same reference numerals as in FIG. 6 shows what the same or corresponding.
71は複数の圧力室62を有し、圧電セラミックの横歪みモード変形を利用するインクジェットヘッド、73はカラーフィルタ基板の移動方向、P2は画素区画の長辺方向に隣接する画素区画同士の間隔である。 71 has a plurality of pressure chambers 62, the ink jet head utilizing the transverse strain mode deformation of the piezoelectric ceramic 73 is the moving direction of the color filter substrate, P2 is an interval of the pixel sections adjacent to each other in the long side direction of the pixel partition is there. なお、圧力室62及びノズル列65は、この間隔P2を保つように配列する。 The pressure chambers 62 and the nozzle array 65 is arranged so as to keep the interval P2.

【0082】次に、その製造方法について説明する。 [0082] Next, a description will be given of a method of manufacturing the same. カラーフィルタ基板76に形成された,画素区間R,G, Formed on the color filter substrate 76, the pixel interval R, G,
Bの特定色のピッチP2と同じピッチで形成された圧力室と、その圧力室の配列方向と平行に設けられたノズル列65を有するインクジェットヘッド71とカラーフィルタ基板76が図7のような位置関係で配置され、基板76が矢印73の方向へ移動してヘッドの吐出位置に来た画素区画に順次、液滴を着弾させて充填していく。 A pressure chamber formed at the same pitch as the specific color of the pitch P2 of B, the position such as an inkjet head 71 and the color filter substrate 76 is 7 having nozzle rows 65 provided in parallel with the arrangement direction of the pressure chamber are arranged in relation to move the substrate 76 in the direction of arrow 73 sequentially come pixel partition the discharge position of the head, it will be filled by landing droplets. このような製造動作を行う製造装置によりカラーフィルタが製造される。 A color filter is manufactured by a manufacturing apparatus for performing such a manufacturing operation.

【0083】以上のことから、本発明の実施の形態3においては、圧電セラミックスの横歪みモード変形を利用する複数の圧力室62を設置したインクジェットヘッド71を用いることにより、インク液滴を同時に、かつインク液滴の体積や飛翔速度などの特性が均一になるように吐出することができ、ローコスト化された設備で色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができる。 [0083] From the above, in the third embodiment of the present invention, by using the inkjet head 71 is installed a plurality of pressure chambers 62 that utilize transverse strain mode deformation of piezoelectric ceramics, the ink droplets at the same time, and characteristics such as volume and the flying speed of ink droplets can be discharged to be uniform, it is possible to color density to produce a uniform color filter cost reduction have been facilities.

【0084】 [0084]

【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれば、インクジェットヘッドを用いてカラーフィルタ基板上の画素区画にインク液滴を吐出して着色層を形成するカラーフィルタの製造方法において、1つの画素区画に対して複数のインク液滴を同時に、かつ各インク液滴の吐出特性を均一にして吐出するようにしたことにより、 As is evident from the foregoing description, according to the invention of claim 1, in the manufacturing method of a color filter by ejecting ink droplets to form the colored layer on the pixel partition on the color filter substrate using the ink jet head , by which it is adapted simultaneously a plurality of ink droplets for one pixel section, and discharges it to the uniform ejection characteristics of the ink droplets,
直接カラーフィルタ基板を着色する場合では、衝突エネルギーがインクを放射状に押し拡げる力に費やされ、枠体を越えようとする力は抑えられて、インクの混色および色抜けを防止でき、カラーフィルタ基板上の受容層を着色する場合では、各インクドットが混合した後にインクは受容層に吸収されて、色むらを防止でき、その結果、いずれの場合でも色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができる。 In the case of directly coloring a color filter substrate, spent force collision energy spread press ink radially, the force about to exceed the frame is suppressed, can prevent omission mixing and color inks, a color filter in the case of coloring the receptor layer on the substrate, the ink after each ink dots are mixed is absorbed in the receptor layer, it is possible to prevent color unevenness, resulting in color density in any case to produce a uniform color filters be able to.

【0085】また、請求項2の発明によれば、複数のノズルよりなるノズル列が形成されたノズル板と、電気信号によって変形するアクチュエータが設置された平面平板と、を備え、上記ノズル板、及び上記平面平板によって囲まれる空間により圧力室が形成され、インク供給源から上記圧力室に供給されるインクを上記アクチュエータによって加圧し、上記ノズルからインク液滴を吐出するようにしたことにより、クロストークを発生せずに、 [0085] According to the invention of claim 2, comprising a nozzle plate in which the nozzle row having a plurality of nozzles are formed, the plane plates actuator is installed, which is deformed by electrical signals, and the nozzle plate, and the pressure chamber is formed by a space surrounded by the planar flat plate, pressurized ink from the ink supply source is supplied to the pressure chamber by the actuator, by which is adapted to eject ink droplets from the nozzle, the cross without generating the talk,
インクを小さいピッチで同時に吐出することができ、色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができるインクジェットヘッドを得ることができる。 Ink can be ejected at the same time with a small pitch, it is possible to color density obtained an ink jet head capable of producing a uniform color filter.

【0086】また、請求項3の発明によれば、溝幅の長さより深い深溝が相互に平行となるように複数形成された圧電材料基板と、複数のノズルよりなるノズル列が所要箇所に相互に平行となるように複数形成されたノズル板と、上記圧電材料基板の深溝を封止するカバープレートと、上記圧電材料基板の深溝の隔壁に電位差を与えて、該隔壁をせん断モードで変形させるアクチュエータと、を備え、上記圧電材料基板の深溝、上記ノズル列が形成された箇所の上記ノズル板、上記カバープレート、 [0086] According to the invention of claim 3, interacts with the piezoelectric material substrate deep groove deeper than the length of the groove width is more formed in parallel to each other, the nozzle array comprising a plurality of nozzles required position giving a nozzle plate formed with a plurality of in parallel, a cover plate for sealing the deep groove of the piezoelectric material substrate, a potential difference deep groove of the partition walls of the piezoelectric material substrate to deform the partition wall in shear mode comprising an actuator, the said deep groove of the piezoelectric material substrate, the nozzle plate of a portion the nozzle row is formed, the cover plate,
及び上記アクチュエータによって囲まれる空間により、 And by the space enclosed by the actuator,
複数の圧力室が形成され、上記圧電材料基板の深溝、上記ノズル列が形成されていない箇所の上記ノズル板、上記カバープレート、及び上記アクチュエータによって囲まれる空間により、上記アクチュエータにより変形する複数の空気室が形成され、上記圧力室と上記空気室は交互に配置されるように設置され、インク供給源から上記複数の圧力室に充填されるインクを上記アクチュエータによって加圧し、上記ノズルからインク液滴を吐出するようにしたことにより、複数の圧力室が駆動する際の干渉を低減してクロストークを解消し、インク液滴を同時に、かつインク液滴の体積や飛翔速度などの特性が均一になるように吐出することができ、ローコスト化された設備で色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができるインクジェ A plurality of pressure chambers are formed, the deep groove of the piezoelectric material substrate, the nozzle plate of a portion not the nozzle row is formed, the cover plate, and the space surrounded by the actuator, a plurality of air which is deformed by the actuator chamber is formed, the pressure chamber and the air chamber is disposed so as to be alternately arranged, the ink droplets of the ink from the ink supply source is charged into the plurality of pressure chambers is pressurized by the actuator, from the nozzle by which is adapted to eject a plurality of eliminating crosstalk by reducing the interference when the pressure chamber is driven, the ink droplets simultaneously and uniformly properties such as volume and the flying speed of ink droplets inkjet consisting discharge that can be so, it is possible to color density to produce a uniform color filter cost reduction have been facilities トヘッドを得ることができる。 Toheddo can be obtained.

【0087】また、請求項4の発明によれば、溝幅の長さより浅い浅溝を相互に平行となるように複数形成された圧電材料基板と、複数のノズルよりなるノズル列が直線上に複数形成されたノズル板と、圧電材料基板に電位差を与えて、該圧電材料基板を横歪みモードで変形させるアクチュエータと、上記圧電材料基板の浅溝を封止し、上記アクチュエータによって変位する振動板と、を備え、上記圧電材料基板の浅溝、上記ノズル板、及び上記振動板によって囲まれる空間により、複数の圧力室が形成され、インク供給源より上記複数の圧力室に充填されるインクを上記振動板の変位によって加圧して上記ノズルからインク液滴を吐出するようにしたことにより、 [0087] According to the invention of claim 4, the shallower shallow groove than the length of the groove width and the piezoelectric material substrate having a plurality formed in parallel to each other, the nozzle array on a line comprising a plurality of nozzles a plurality formed nozzle plate, giving a potential difference to the piezoelectric material substrate, and an actuator to deform the piezoelectric material substrate in transverse strain mode, sealing the shallow groove of the piezoelectric material substrate, it is displaced by the actuator diaphragm When provided with a shallow groove of the piezoelectric material substrate, the nozzle plate, and the space enclosed by the diaphragm, a plurality of pressure chambers forming, ink from an ink supply source is charged into the plurality of pressure chambers pressurized by the displacement of the diaphragm by which is adapted to eject ink droplets from the nozzle,
インク液滴を同時に、かつインク液滴の体積や飛翔速度などの特性が均一になるように吐出することができ、ローコスト化された設備で色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができるインクジェットヘッドを得ることができる。 Ink droplets simultaneously, and can properties such as volume and the flying speed of the ink droplet ejecting to be uniform, inkjet that can color density to produce a uniform color filter cost reduction have been facilities it is possible to obtain a head.

【0088】また、請求項5の発明によれば、請求項2 [0088] According to the invention of claim 5, claim 2
ないし4のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、形状が概ね長方形であって長辺と短辺の長さの比が3以上である画素区画に着色層を形成する際に、上記ノズル列は、上記画素区画の形状に基づいた数のノズルを、上記画素区画の長辺方向と平行に、かつ等しいノズル間隔で設置するようにしたことにより、着弾したインク液滴が画素区画内を効率よく拡がり、色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができるインクジェットヘッドを得ることができる。 In to the ink-jet head according to any one of 4, when forming the colored layer on the ratio of the length of 3 or more is a pixel section of a shape generally rectangular long and short sides, the nozzle array, the number of nozzles based on the shape of the pixel section, parallel to the long side direction of the pixel section, and by which is adapted to placed at equal nozzle spacing, ink droplets have landed can spread efficiently pixels compartment , it is possible to obtain an ink jet head capable of color density to produce a uniform color filter.

【0089】また、請求項6の発明によれば、請求項2 [0089] According to the invention of claim 6, claim 2
ないし5のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、上記ノズル列は、両端に位置するノズルを上記圧力室の短辺壁から該短辺壁の長さ以上離して設置するようにしたことにより、上記圧力室に充填されたインクにアクチュエータの僅かな変形で均一かつ大きな圧力を与え、吐出するインク液滴の体積や飛翔速度などの特性を全て均一にすることができ、色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができるインクジェットヘッドを得ることができる。 In to the ink-jet head according to any one of 5, the nozzle row by the nozzles located at both ends was set to be installed off over the length of the short-side wall from the short side wall of the pressure chamber, the giving a uniform and high pressure in a slight deformation of the actuator to the ink filled in the pressure chamber, all characteristics such as volume and the flying speed of ink droplets ejected can be made uniform, color density uniform color filters it is possible to obtain an ink jet head can be manufactured.

【0090】また、請求項7の発明によれば、請求項3 [0090] According to the invention of claim 7, claim 3
または4に記載のインクジェットヘッドにおいて、上記アクチュエータは、上記隔壁または上記圧電材料基板、 Or in the ink-jet head according to 4, the actuator, the septum or the piezoelectric material substrate,
信号電極、及び共通電極を有し、信号電極、及び共通電極にそれぞれ与えられた第1及び第2の信号および電位の差に基づいて、全ての上記隔壁または上記圧電材料基板を同時に変形させるようにしたことにより、上記インクジェットヘッドのコンパクト化、単純化、及びローコスト化が可能となり、ローコスト化された設備でカラーフィルタを製造することができるインクジェットヘッドを得ることができる。 It has a signal electrode, and the common electrode, signal electrode, and based on the difference between the first and second signals and potential applied to the common electrode, so as to deform all the bulkhead or the piezoelectric material substrate simultaneously by the the, compact the ink jet head, simplification, and enables low cost, it is possible to obtain an ink jet head capable of producing a color filter in cost reduction have been facilities.

【0091】また、請求項8の発明によれば、請求項2 [0091] According to the invention of claim 8, claim 2
ないし7のいずれかに記載のインクジェットヘッドにより、1つの画素区画に対して複数のインク液滴を同時に、かつ各インク液滴の吐出特性を均一にして吐出するようにしたことにより、インクジェット法に色濃度が均一なカラーフィルタをローコストで製造することができる。 By to 7 ink jet head according to any one of, by which is adapted simultaneously a plurality of ink droplets for one pixel section, and discharges it to the uniform ejection characteristics of the ink droplet, the ink-jet method it can be color density to produce a uniform color filter at low cost.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】カラーフィルタの着色パターンを示す模式図である。 1 is a schematic diagram showing a colored pattern of a color filter.

【図2】本発明の実施の形態1に係るカラーフィルタの製造方法を示す説明図である。 Figure 2 is an explanatory diagram showing a method of manufacturing a color filter according to the first embodiment of the present invention.

【図3】1つの圧力室に複数のノズルを設置したインクジェットヘッドのインク吐出方向から見た模式図である。 3 is a schematic view of the plurality of nozzles from the ink ejection direction of the installed ink jet head to one pressure chamber.

【図4】圧電セラミックスのせん断モード変形を利用する複数の圧力室及び空気室を設置したインクジェットヘッドのインク吐出方向からみた模式図である。 4 is a schematic view as seen from the ink ejection direction of the ink jet head is installed a plurality of pressure chambers and the air chamber that utilizes shear mode deformation of piezoelectric ceramics.

【図5】本発明の実施の形態2に係るカラーフィルタの製造方法を示す説明図である。 5 is an explanatory diagram showing a method of manufacturing a color filter according to the second embodiment of the present invention.

【図6】圧電セラミックスの横歪みモード変形を利用する複数の圧力室を設置したインクジェットヘッドのインク吐出方向からみた模式図である。 6 is a schematic view as seen from the ink ejection direction of the ink jet head is installed a plurality of pressure chambers that utilize transverse strain mode deformation of piezoelectric ceramics.

【図7】本発明の実施の形態3に係るカラーフィルタの製造方法を示す説明図である。 7 is an explanatory diagram showing a method of manufacturing a color filter according to the third embodiment of the present invention.

【図8】直接カラーフィルタ基板を着色する場合において、従来のインクジェット法によるカラーフィルタの製造方法を示す説明図である。 [8] In the case of coloring the direct color filter substrate is an explanatory diagram showing a method of manufacturing a color filter according to the conventional ink jet method.

【図9】従来のインクジェット法によって製造されたカラーフィルタの着色層を示す模式図である。 9 is a schematic view showing a colored layer of a color filter manufactured by a conventional ink jet method.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1,51,71,81 インクジェットヘッド 2,42,62,82 圧力室 3 ノズル板 4a,4b,4c,4d,84 ノズル 5,45,65 ノズル列 6,56,76,86 カラーフィルター基板 7,87 枠体 8a,8b,8c,8d,88a,88b,88c,8 1,51,71,81 inkjet head 2,42,62,82 pressure chamber 3 a nozzle plate 4a, 4b, 4c, 4d, 84 nozzles 5,45,65 nozzle row 6,56,76,86 color filter substrate 7, 87 frame 8a, 8b, 8c, 8d, 88a, 88b, 88c, 8
8d インク液滴 9 画素区画 10 インク吐出方向 11,89a,89b,89c,89d,99b,99 8d ink droplets 9 pixel section 10 ink discharge direction 11,89a, 89b, 89c, 89d, 99b, 99
e 充填インク 12 長辺壁 13 短辺壁 14a,14b,14c,14d 平行平板 41 隔壁 46,66 信号電極 47,67 共通電極 48 空気室 49,69 圧電セラミックス基板 50 カバープレート 52 分極方向 53,73 移動方向 64 圧電セラミックス板 70 振動板 90 色抜け 91a,91b,91c,91d インクドット 92 重複部分 93 単一部分 94 越境インク 95a,95b,95c,95d,95e,95f,9 e filling ink 12 long side wall 13 short side wall 14a, 14b, 14c, 14d parallel plate 41 partition wall 46, 66 signal electrodes 47,67 Common electrodes 48 air chambers 49,69 piezoelectric ceramic substrate 50 the cover plate 52 the polarization direction 53, 73 movement direction 64 piezoelectric ceramic plate 70 diaphragm 90 color dropout 91a, 91b, 91c, 91d ink dots 92 overlapping portion 93 a single portion 94 transnational ink 95a, 95b, 95c, 95d, 95e, 95f, 9
5g,95h,95i着色層 5g, 95h, 95i colored layer

───────────────────────────────────────────────────── ────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】 [Procedure amendment]

【提出日】平成12年8月24日(2000.8.2 [Filing date] 2000 August 24 (2000.8.2
4) 4)

【手続補正1】 [Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】請求項1 [Correction target item name] according to claim 1,

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【手続補正2】 [Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】0025 [Correction target item name] 0025

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【0025】 [0025]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、請求項1に係るカラーフィルタの製造方法は、インクジェットヘッドを用いてカラーフィルタ基板上の画素区画にインク液滴を吐出して着色層を形成するカラーフィルタの製造方法において、1つの画素区画に対して複数のインク液滴を同時に吐出するようにしたことを特徴とする。 In order to solve the above problems SUMMARY OF THE INVENTION The method for producing a color filter according to claim 1, by ejecting ink droplets in a pixel section on the color filter substrate by using an inkjet head coloring the method of manufacturing a color filter for forming a layer, characterized in that so as to leave ejection a plurality of ink droplets simultaneously to one pixel partitions.

【手続補正3】 [Amendment 3]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】0063 [Correction target item name] 0063

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【0063】図4に示すインクジェットヘッド1は、分極方向52と同方向に分極された圧電セラミックス基板49とカバープレート50と図示しないノズルプレートと図示しないドライバ基板とから構成されている。 [0063] the ink-jet head 1 shown in FIG. 4, and a polarization direction 52 of the piezoelectric ceramics substrate 49 and the cover plate 50 that is polarized in the same direction the nozzle plate (not shown) with the non-illustrated driver board. その圧電セラミックス基板49には、複数の深溝が同じ深さで平行に形成されている。 As the piezoelectric ceramics substrate 49, a plurality of deep grooves are formed parallel to the same depth. 深溝と深溝の間の方向52に分極された圧電セラミックスの隔壁41には、上半分のみ金属膜が形成されており、奥行き方向の溝終端で繋がって一つの信号電極46と共通電極47になっている。 The partition wall 41 of the piezoelectric ceramic is polarized in the direction 52 between the deep groove Metropolitan deep groove is a metal film only the upper half is formed, in common electrode 47 and one signal electrode 46 connected in the depth direction of the groove end ing.
また、これらの深溝によりインクの圧力室42と空気室48が交互に形成される。 Further, the pressure chamber 42 and the air chamber 48 of the ink are alternately formed by these deep groove. 空気室48にはノズルは形成されず、溝終端でカバープレート50により封止され、 Nozzle is not formed on the air chamber 48, it is sealed by a cover plate 50 with the groove end,
圧力室42はインク供給路と連通している。 The pressure chamber 42 communicates with the ink supply path. カバープレート50は、セラミックス材料または樹脂材料等から形成されており、圧電セラミックス基板49とエポキシ系接着剤で強固に接合されている。 The cover plate 50 is formed from a ceramic material or a resin material, and is firmly joined with the piezoelectric ceramic substrate 49 and the epoxy adhesive. また、圧電セラミックス基板49及びカバープレート50の前方端面には圧力室42に対応して設けられたノズル列45を有する図示しないノズルプレートが接合されている。 Further, the front end surface of the piezoelectric ceramic substrate 49 and the cover plate 50 a nozzle plate (not shown) having a nozzle row 45 which are provided corresponding to the pressure chambers 42 is joined. ノズル列45 Nozzle row 45
はその配列軸が深溝の深さ方向に平行に設けられている。 Is provided in parallel the sequence axis in the depth direction of the deep groove it is. 圧力室42の信号電極46と空気室48の共通電極47は、 それぞれ共通に接続されて図示しないドライバ回路に接続されている。 The common electrode 47 of the signal electrode 46 and the air chamber 48 of the pressure chamber 42 is connected to a respective (not shown) connected to a common driver circuit.

【手続補正4】 [Amendment 4]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】0083 [Correction target item name] 0083

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【0083】以上のことから、本発明の実施の形態3においては、圧電セラミックスの横歪みモード変形を利用する複数の圧力室62を設置したインクジェットヘッド71を用いることにより、インク液滴を同時に、かつインク液滴の体積や飛翔速度などの特性が均一になるように吐出することができ、ローコスト化された設備で色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができる。 [0083] From the above, in the third embodiment of the present invention, by using the inkjet head 71 is installed a plurality of pressure chambers 62 that utilize transverse strain mode deformation of piezoelectric ceramics, the ink droplets at the same time, and characteristics such as volume and the flying speed of ink droplets can be discharged to be uniform, it is possible to color density to produce a uniform color filter cost reduction have been facilities. I
お、上記実施の形態1ないし3では、いずれも液晶表示 Contact, in 3 to no first embodiment, both the liquid crystal display
パネル等のカラーフィルタを製造する場合について説明 Description the case of producing a color filter such as a panel
したが、本発明はこれに限るものではなく、凹部や区画 It was, but the present invention is not limited thereto, the recess or compartment
等のセルの中にインクを着弾させて充填するものであれ Long as ink is landed in the cell equal to filled
ば適用することが可能である。 It is possible to place application.

【手続補正5】 [Amendment 5]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】0084 [Correction target item name] 0084

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【0084】 [0084]

【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれば、インクジェットヘッドを用いてカラーフィルタ基板上の画素区画にインク液滴を吐出して着色層を形成するカラーフィルタの製造方法において、1つの画素区画に対して複数のインク液滴を同時に吐出するようにしたことにより、直接カラーフィルタ基板を着色する場合では、衝突エネルギーがインクを放射状に押し拡げる力に費やされ、枠体を越えようとする力は抑えられて、インクの混色および色抜けを防止でき、カラーフィルタ基板上の受容層を着色する場合では、各インクドットが混合した後にインクは受容層に吸収されて、色むらを防止でき、その結果、いずれの場合でも色濃度が均一なカラーフィルタを製造することができる。 As is evident from the foregoing description, according to the invention of claim 1, in the manufacturing method of a color filter by ejecting ink droplets to form the colored layer on the pixel partition on the color filter substrate using the ink jet head , by which is adapted to output ejection a plurality of ink droplets for one pixel compartments simultaneously, in the case of coloring the direct color filter substrate, spent force collision energy spread press ink radially, the force about to exceed the frame is suppressed, can prevent omission mixing and color inks, in the case of coloring the receptor layer on the color filter substrate, the ink is absorbed in the receptor layer after each ink dots are mixed Te, it can prevent color unevenness, as a result, it is possible that the color density in any case to produce a uniform color filter.

【手続補正6】 [Amendment 6]

【補正対象書類名】明細書 [Correction target document name] specification

【補正対象項目名】0091 [Correction target item name] 0091

【補正方法】変更 [Correction method] change

【補正内容】 [Correction contents]

【0091】また、請求項8の発明によれば、請求項2 [0091] According to the invention of claim 8, claim 2
ないし7のいずれかに記載のインクジェットヘッドにより、1つの画素区画に対して複数のインク液滴を同時に、かつ各インク液滴の吐出特性を均一にして吐出するようにしたことにより、インクジェット法により色濃度が均一なカラーフィルタをローコストで製造することができる。 By to 7 ink jet head according to any one of, by which is adapted simultaneously a plurality of ink droplets for one pixel section, and discharges it to the uniform ejection characteristics of the ink droplet, the ink-jet method more color density uniform color filters can be manufactured at low cost.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl. 7識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02F 1/1335 500 (72)発明者 瀬尾 直之 香川県高松市古新町8番地の1 松下寿電 子工業株式会社内 (72)発明者 松井 昌朋 香川県高松市古新町8番地の1 松下寿電 子工業株式会社内 (72)発明者 高山 佳久 香川県高松市古新町8番地の1 松下寿電 子工業株式会社内 Fターム(参考) 2C056 EA06 EA11 EE18 FA04 FA10 FB01 FB08 FB10 FD20 HA22 2C057 AF25 AF40 AF91 AG14 AG18 AG31 AG45 AH20 AJ10 AN01 AP03 AP14 AP22 AP24 AQ10 BA03 BA14 2H048 BA02 BA11 BA64 BB02 BB22 BB28 BB42 2H091 FA02Y FC01 FC29 LA12 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (51) Int.Cl. 7 identification mark FI theme Court Bu (reference) G02F 1/1335 500 (72) inventor Naoyuki Seo 1 Matsushita Kotobukiden child industrial stock of Takamatsu, Kagawa Prefecture Furujin-cho address 8 company in (72) inventor Matsui AkiraTomo 1 Matsushita Kotobukiden child of Takamatsu, Kagawa Prefecture Furujin-cho address 8 industrial Co., Ltd. in the (72) inventor Yoshihisa Takayama 1 Matsushita Kotobukiden child industry Co., Ltd. of Takamatsu, Kagawa Prefecture Furujin-cho address 8 the internal F-term (reference) 2C056 EA06 EA11 EE18 FA04 FA10 FB01 FB08 FB10 FD20 HA22 2C057 AF25 AF40 AF91 AG14 AG18 AG31 AG45 AH20 AJ10 AN01 AP03 AP14 AP22 AP24 AQ10 BA03 BA14 2H048 BA02 BA11 BA64 BB02 BB22 BB28 BB42 2H091 FA02Y FC01 FC29 LA12

Claims (8)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 インクジェットヘッドを用いてカラーフィルタ基板上の画素区画にインク液滴を吐出して着色層を形成するカラーフィルタの製造方法において、 1つの画素区画に対して複数のインク液滴を同時に、かつ各インク液滴の吐出特性を均一にして吐出するようにしたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 1. A method of manufacturing a color filter for forming a by using an inkjet head colored layer by ejecting ink droplets in a pixel section on the color filter substrate, a plurality of ink droplets for one pixel compartments At the same time, and the color filter manufacturing method is characterized in that so as to discharge in a uniform ejection characteristics of the ink droplet.
  2. 【請求項2】 複数のノズルよりなるノズル列が形成されたノズル板と、 電気信号によって変形するアクチュエータが設置された平面平板と、を備え、 上記ノズル板、及び上記平面平板によって囲まれる空間により圧力室が形成され、 インク供給源から上記圧力室に供給されるインクを上記アクチュエータによって加圧し、上記ノズルからインク液滴を吐出することを特徴とするインクジェットヘッド。 2. A nozzle was a nozzle array comprising a plurality of nozzles are formed plates comprises a planar flat plate actuator is installed, which is deformed by electrical signals, and the nozzle plate, and the space surrounded by the planar flat plate ink jet head, wherein a pressure chamber is formed, the ink pressurized by the actuator from an ink supply source is supplied to the pressure chamber, for ejecting ink droplets from the nozzle.
  3. 【請求項3】 溝幅の長さより深い深溝が相互に平行となるように複数形成された圧電材料基板と、 複数のノズルよりなるノズル列が所要箇所に相互に平行となるように複数形成されたノズル板と、 上記圧電材料基板の深溝を封止するカバープレートと、 上記圧電材料基板の深溝の隔壁に電位差を与えて、該隔壁をせん断モードで変形させるアクチュエータと、を備え、 上記圧電材料基板の深溝、上記ノズル列が形成された箇所の上記ノズル板、上記カバープレート、及び上記アクチュエータによって囲まれる空間により、複数の圧力室が形成され、 上記圧電材料基板の深溝、上記ノズル列が形成されていない箇所の上記ノズル板、上記カバープレート、及び上記アクチュエータによって囲まれる空間により、上記アクチュエータにより変 3. A piezoelectric material substrate having a plurality formed as deep-groove deeper than the length of the groove width is parallel to each other, the nozzle row having a plurality of nozzles each other a plurality of formed so as to be parallel to the desired location a nozzle plate is provided with a cover plate for sealing the deep groove of the piezoelectric material substrate, and providing a potential difference deep groove of the partition walls of the piezoelectric material substrate, and an actuator for deforming the partition wall in shear mode, and the piezoelectric material deep grooves of the substrate, the nozzle plate of a portion the nozzle row is formed, the cover plate, and the space surrounded by the actuator, a plurality of pressure chambers are formed, the deep groove of the piezoelectric material substrate, the nozzle row formed the nozzle plate of places that are not, the cover plate, and the space surrounded by the actuator, varying with the actuator する複数の空気室が形成され、 上記圧力室と上記空気室は交互に配置されるように設置され、 インク供給源から上記複数の圧力室に充填されるインクを上記アクチュエータによって加圧し、上記ノズルからインク液滴を吐出することを特徴とするインクジェットヘッド。 A plurality of air chambers are formed that, the pressure chamber and the air chamber is disposed so as to be arranged alternately, the ink from the ink supply source is charged into the plurality of pressure chambers is pressurized by the actuator, the nozzle ink jet head characterized by discharging ink droplets from.
  4. 【請求項4】 溝幅の長さより浅い浅溝を相互に平行となるように複数形成された圧電材料基板と、 複数のノズルよりなるノズル列が直線上に複数形成されたノズル板と、 圧電材料基板に電位差を与えて、該圧電材料基板を横歪みモードで変形させるアクチュエータと、 上記圧電材料基板の浅溝を封止し、上記アクチュエータによって変位する振動板と、を備え、 上記圧電材料基板の浅溝、上記ノズル板、及び上記振動板によって囲まれる空間により、複数の圧力室が形成され、 インク供給源より上記複数の圧力室に充填されるインクを上記振動板の変位によって加圧して上記ノズルからインク液滴を吐出することを特徴とするインクジェットヘッド。 4. A piezoelectric material substrate having a plurality formed in parallel to the length mutually shallower than the shallow groove in the groove width, and a nozzle plate nozzle array comprising a plurality of nozzles formed with a plurality of on a straight line, piezoelectric giving a potential difference to the material substrate, and an actuator to deform the piezoelectric material substrate in transverse strain mode, sealing the shallow groove of the piezoelectric material substrate, and a diaphragm is displaced by the actuator, the piezoelectric material substrate the shallow grooves, the nozzle plate, and the space enclosed by the diaphragm, is formed with a plurality of pressure chambers, the ink from the ink supply source is charged into the plurality of pressure chambers is pressurized by the displacement of the diaphragm ink jet head characterized by discharging ink droplets from the nozzle.
  5. 【請求項5】 請求項2ないし4のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、 形状が概ね長方形であって長辺と短辺の長さの比が3以上である画素区画に着色層を形成する際に、 上記ノズル列は、 上記画素区画の形状に基づいた数のノズルを、上記画素区画の長辺方向と平行に、かつ等しいノズル間隔で設置するようにしたことを特徴とするインクジェットヘッド。 5. The ink jet head according to any one of claims 2 to 4, the shape is generally a ratio of a rectangular long side and the length of the short side to form a colored layer on the pixel section is 3 or more when the above nozzle arrays, the ink-jet head, characterized in that the number of nozzles based on the shape of the pixel section, and to be installed parallel to the long side direction of the pixel section, and at equal nozzle spacing.
  6. 【請求項6】 請求項2ないし5のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおいて、 上記ノズル列は、 両端に位置するノズルを上記圧力室の短辺壁から該短辺壁の長さ以上離して設置するようにしたことを特徴とするインクジェットヘッド。 6. The ink jet head according to any one of claims 2 to 5, the nozzle rows, the nozzles located at both ends closer than the length of the short-side wall from the short side wall of the pressure chamber installed ink jet head is characterized in that it has to be.
  7. 【請求項7】 請求項3または4に記載のインクジェットヘッドにおいて、 上記アクチュエータは、 上記隔壁または上記圧電材料基板、信号電極、及び共通電極を有し、信号電極、及び共通電極にそれぞれ与えられた第1及び第2の信号および電位の差に基づいて、全ての上記隔壁または上記圧電材料基板を同時に変形させるようにしたことを特徴とするインクジェットヘッド。 7. The ink jet head according to claim 3 or 4, the actuator has the partition wall or the piezoelectric material substrate, signal electrodes, and a common electrode, given each signal electrode, and the common electrode ink jet head, characterized in that on the basis of the difference between the first and second signals and potentials were to deform all the bulkhead or the piezoelectric material substrate simultaneously.
  8. 【請求項8】 請求項2ないし7のいずれかに記載のインクジェットヘッドにより、1つの画素区画に対して複数のインク液滴を同時に、かつ各インク液滴の吐出特性を均一にして吐出するようにしたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 By 8. The ink jet head according to any one of claims 2 to 7, at the same time a plurality of ink droplets for one pixel partitions, and to eject in the uniform ejection characteristics of the ink droplet the color filter manufacturing method is characterized in that the.
JP23313999A 1999-08-19 1999-08-19 The method of manufacturing a color filter, and the ink jet head Expired - Fee Related JP3400389B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23313999A JP3400389B2 (en) 1999-08-19 1999-08-19 The method of manufacturing a color filter, and the ink jet head

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23313999A JP3400389B2 (en) 1999-08-19 1999-08-19 The method of manufacturing a color filter, and the ink jet head
CN 00801740 CN1129012C (en) 1999-08-19 2000-08-14 Method for manufacturing color filter and ink-jet head
KR20017004856A KR100390119B1 (en) 1999-08-19 2000-08-14 Ink-jet head and method of manufacturing color filter
PCT/JP2000/005451 WO2001014915A1 (en) 1999-08-19 2000-08-14 Ink-jet head and method of manufacturing color filter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001056407A true true JP2001056407A (en) 2001-02-27
JP3400389B2 JP3400389B2 (en) 2003-04-28

Family

ID=16950348

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23313999A Expired - Fee Related JP3400389B2 (en) 1999-08-19 1999-08-19 The method of manufacturing a color filter, and the ink jet head

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP3400389B2 (en)
KR (1) KR100390119B1 (en)
CN (1) CN1129012C (en)
WO (1) WO2001014915A1 (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005221848A (en) * 2004-02-06 2005-08-18 Seiko Epson Corp Film forming method, electrooptical device, and electronic equipment
KR100691687B1 (en) 2003-03-12 2007-03-09 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Film forming method, film forming device, liquid crystal arrangement method, liquid crystal arrangement device, liquid crystal device, liquid crystal device production method and electronic equipment
JP2008256971A (en) * 2007-04-05 2008-10-23 Toppan Printing Co Ltd Manufacturing method of optical element, manufacturing method of color filter and fabrication method of organic electroluminescence element
JP2008256972A (en) * 2007-04-05 2008-10-23 Toppan Printing Co Ltd Optical element manufacturing method, color filter manufacturing method, and organic electroluminescence element manufacturing method
JP2008256820A (en) * 2007-04-03 2008-10-23 Toppan Printing Co Ltd Method of manufacturing optical device, method of manufacturing color filter and method of manufacturing color filter and method of manufacturing organic eectroluminscence device
JP2008290001A (en) * 2007-05-24 2008-12-04 Ulvac Japan Ltd Discharge head and discharge apparatus
US7722157B2 (en) 2002-08-30 2010-05-25 Xaar Technology Limited Ink jet printing method and printer
US7875319B2 (en) 2003-10-07 2011-01-25 Seiko Epson Corporation Drawing method, drawing apparatus and display apparatus
JP2014164146A (en) * 2013-02-26 2014-09-08 Toppan Printing Co Ltd Color filter and method for manufacturing color filter

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100647312B1 (en) * 2005-01-27 2006-11-23 삼성전자주식회사 Apparatus for manufacturing color filter using inkjet method
CN100529805C (en) 2006-02-15 2009-08-19 虹创科技股份有限公司 Colourful optical filter and producing method thereof
KR101388505B1 (en) * 2007-06-01 2014-04-23 주식회사 케이씨텍 Cleaning apparatus and method for large area substrate
CN105445996A (en) * 2015-12-29 2016-03-30 昆山龙腾光电有限公司 Making method for color filter substrate and color filter substrate

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3124722B2 (en) * 1995-07-31 2001-01-15 キヤノン株式会社 Uneven coloration of the region partitioned by the accuracy method and the color filter ink application position of the reduction method, and sectioned areas of the color filter of the color mixing between the compartments area where the manufacturing method and apparatus and the color filters of the color filter reduction method
JPH10282321A (en) * 1997-04-09 1998-10-23 Asahi Glass Co Ltd Manufacture of color filter and color filter

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7722157B2 (en) 2002-08-30 2010-05-25 Xaar Technology Limited Ink jet printing method and printer
KR100691687B1 (en) 2003-03-12 2007-03-09 세이코 엡슨 가부시키가이샤 Film forming method, film forming device, liquid crystal arrangement method, liquid crystal arrangement device, liquid crystal device, liquid crystal device production method and electronic equipment
US7875319B2 (en) 2003-10-07 2011-01-25 Seiko Epson Corporation Drawing method, drawing apparatus and display apparatus
JP2005221848A (en) * 2004-02-06 2005-08-18 Seiko Epson Corp Film forming method, electrooptical device, and electronic equipment
JP2008256820A (en) * 2007-04-03 2008-10-23 Toppan Printing Co Ltd Method of manufacturing optical device, method of manufacturing color filter and method of manufacturing color filter and method of manufacturing organic eectroluminscence device
JP2008256971A (en) * 2007-04-05 2008-10-23 Toppan Printing Co Ltd Manufacturing method of optical element, manufacturing method of color filter and fabrication method of organic electroluminescence element
JP2008256972A (en) * 2007-04-05 2008-10-23 Toppan Printing Co Ltd Optical element manufacturing method, color filter manufacturing method, and organic electroluminescence element manufacturing method
JP2008290001A (en) * 2007-05-24 2008-12-04 Ulvac Japan Ltd Discharge head and discharge apparatus
JP2014164146A (en) * 2013-02-26 2014-09-08 Toppan Printing Co Ltd Color filter and method for manufacturing color filter

Also Published As

Publication number Publication date Type
CN1129012C (en) 2003-11-26 grant
KR100390119B1 (en) 2003-07-04 grant
JP3400389B2 (en) 2003-04-28 grant
CN1320218A (en) 2001-10-31 application
WO2001014915A1 (en) 2001-03-01 application

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4380771A (en) Ink jet recording process and an apparatus therefor
US5757400A (en) High resolution matrix ink jet arrangement
US6155670A (en) Method and apparatus for improved ink-drop distribution in inkjet printing
US6364450B1 (en) Color filter manufacturing method and apparatus, display device manufacturing method, method of manufacturing apparatus having display device, and display device panel manufacturing method and apparatus
US6070965A (en) Ink jet printhead with folded flexible cord, and nozzle plate used for the same
EP0756932A2 (en) Color-filter manufacturing method and apparatus, color filter, display device, and apparatus having display device
US4330787A (en) Liquid jet recording device
US5057854A (en) Modular partial bars and full width array printheads fabricated from modular partial bars
US6361155B1 (en) Ink jet recording head and method for manufacturing the same
EP0627314A2 (en) Improved ink jet print head for a dot printer
US6033058A (en) Actuator for an ink jet print head of the layered type with offset linear arrays of pressure generating chamber
US5801732A (en) Piezo impulse ink jet pulse delay to reduce mechanical and fluidic cross-talk
US20060050107A1 (en) Liquid-discharge recording head
GB2115748A (en) Liquid jet printers
JP2004090621A (en) Apparatus and method for discharging liquid and apparatus and method for manufacturing panel for display device
JPH09300664A (en) Method and device for manufacture of color filter, color filter, display device, device with the display device, and printing method
EP0675385A1 (en) Color filter manufacturing method and apparatus
US6969158B2 (en) Ink-jet head
US6120124A (en) Ink jet head having plural electrodes opposing an electrostatically deformable diaphragm
JP2005087801A (en) Plotting method, plotting device and electro-optical device
US6109727A (en) Ink-jet printer and printing method, auxiliary member, ink-jet head, warp correction method, ink-jet head unit and color-mixture reducing method
US5543009A (en) Method of manufacturing a sidewall actuator array for an ink jet printhead
JPH1120175A (en) Ink jet head, ink jet printer, and manufacture thereof
JP2001330720A (en) Head unit, device for manufacturing color filter equipped with the head unit, method for manufacturing the same, method for manufacturing display device equipped with color filter, and method for manufacturing device equipped with the display device
JP2002323615A (en) Device and method for ink jet coloring, color filter, electroluminescent element, method for manufacturing display device, and device and method for manufacturing panel for display device

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080221

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090221

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100221

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100221

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110221

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees