JP2001035178A - 特に不揮発性メモリのラインデコーディングのための高電圧転送を行うスイッチ回路 - Google Patents

特に不揮発性メモリのラインデコーディングのための高電圧転送を行うスイッチ回路

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JP2001035178A JP2000171999A JP2000171999A JP2001035178A JP 2001035178 A JP2001035178 A JP 2001035178A JP 2000171999 A JP2000171999 A JP 2000171999A JP 2000171999 A JP2000171999 A JP 2000171999A JP 2001035178 A JP2001035178 A JP 2001035178A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高電圧転送用CMOS型のスイッチ回路に関
し、低い電圧の入力信号が存在する場合に、後段の負荷
または回路に対し、スイッチング動作の期間の電流損失
を少なくして高い電圧を転送できるようにすることを目
的とする。 【解決手段】 第1、第3および第3の基準電位ライン
50、54、55と、第1および第3の電位間でスイッ
チング可能な制御信号を受ける制御入力41aと、入力
ノードおよび出力ノード70を有する駆動インバータ段
44とを具備し、帰還インバータ段43は第1の上部ト
ランジスタおよび下部トランジスタ51、53を備え、
第1の上部トランジスタの制御端子は出力ノードに接続
され、第1の下部トランジスタの制御端子は制御入力に
接続され、帰還インバータ段の中間ノード58は入力ノ
ードに接続され、起動要素80、71は、第3の電位か
ら第2の電位への中間ノードのスイッチングを助けるよ
うに構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は高電圧転送用CMO
S型のスイッチ回路に関する。特に、本発明は、供給電
圧よりも高い電圧(昇圧した読み取り電圧)でもってセ
ルを読み取るような、不揮発性メモリの行デコーダまた
は列デコーダの最終段に関するものである。
【0002】一般に知られているように、ますます高密
度の入手可能な不揮発性メモリへの必要性が、多重レベ
ルメモリ(multilevel memories )の研究につながって
いる。この多重レベルメモリでは、複数のセル(すなわ
ち、メモリセル)のフローティングゲート領域に記憶さ
れた情報が、多くの論理レベルを介してコード化され、
各々のセルに記憶される電荷量を細分することになる。
【0003】図1は、2レベルのメモリ用のフラッシュ
セルに関するゲート−ソース間電圧Vgsと、ドレイン
−ソース電流Idsとの関係を示す特性曲線である。す
なわち、このメモリでは、各々のメモリセルにおいて、
セルのオン状態およびセルのオフ状態にそれぞれ関連し
た二つの可能な値を有するビットを介して情報がコード
化される。ここで、上記のオン状態またはオフ状態は、
セルの状態がプログラムされているかまたはプログラム
されていないかに依存する。特に、図1において、Vt
vおよびVtwは、フラッシュセルがそれぞれ未使用
(消去済み)セルおよび書き込み済みセルである場合
に、上記フラッシュセルが電流の伝導を開始するゲート
−ソース間電圧Vgsの値を表す。この種のメモリでは
一般に、論理値“1”は、通常0.5Vと2.5Vとの
間に含まれる閾値電圧(スレッショールド電圧)Vtv
を有する特性に関連し、論理値“0”は、5Vより高い
閾値電圧Vtwを有する特性に関連する。
【0004】さらに、メモリセルの読み取り動作が、所
定のゲート−ソース間電圧Vgsにおいてメモリセルに
より吸収された電流を、出力CMOSレベルに変換され
た電圧に変換する動作を含むことは、一般に知られてい
る。多重レベルのセルの場合、平面(Vgs−Ids平
面)は、四つの論理値“11”、“10”、“01”お
よび“00”に対応する幾つかの特性曲線によって分割
される(例えば、図2に示すように、セル当たり2ビッ
トを記憶する場合が例示されている)。この場合、四つ
の論理値は、四つの異なる閾値Vt1、Vt2、Vt3
およびVt4にそれぞれ対応する。さらに、これらの閾
値は、メモリセルのフローティングゲート領域に記憶さ
れた異なる電荷量に関連する。
【0005】セルのプログラミングは、不確定性(unce
rtainty )の影響を受ける。そして、図1および図2の
特性曲線は、両者とも実際に得られる分布の中央の値を
表している。実際に、各々の閾値は、セルの正確な読み
取りを充分可能にする方法によって得られる、先の分布
の最大値および/または次の分布の最小値とは別に、最
小値と最大値との間に含まれる値のそれぞれの分布に関
連している。さらに、各々の閾値電圧の分布は、例えば
図3に示すように、異なる振幅を示す。この図3は、各
々のセルが2ビットを記憶するようなメモリセルに関連
する分布を描いているが、そのスケールは一様ではな
い。
【0006】この場合の読み取り動作もまた、セルを流
れる電流を電圧に変換する動作を含んでいる。さらに、
このようにして得られた電圧は、上記の閾値電圧の分布
間の中間にある異なる電圧値と比較される。多重レベル
のセルを読み取る際に生じる問題の一つは、読み取りの
対象となるセルのゲート端子に印加される読み取り電圧
に関係する。事実、選択された読み取り電圧において、
全ての読み取りセル(できる限り、最も高い閾値でプロ
グラムされたセルを除く)をオン状態にして、変換され
た電圧を異なる電圧レベルと比較することができるよう
にしなければならない。それゆえに、読み取り電圧は、
最後の閾値電圧より少なくとも一つ前の閾値電圧よりも
高くなければならない(例えば、図2のVt3(閾値電
圧); 図3のVR(読み取り電圧)、ここではVR=
6V(ボルト))。
【0007】このような高い読み取り電圧は、公称電圧
値が代表的に3Vであるような単一の供給電圧(すなわ
ち、電源電圧)Vccしか持っていない装置を取り扱う
場合に特に問題となる。事実、このような高い電圧は、
ブースタまたはチャージポンプといったような特殊な装
置を使用することによって不揮発性メモリの内部で生成
される。この目的のために使用され得るチャージポンプ
10のテブナン(Thevenin)の等価回路を図4に示す。
この等価回路は、電圧V1 を生成する理想電圧源11
と、この理想電圧源11に直列に接続される等価抵抗1
2とを有している。この等価抵抗12は、電流源として
表されている負荷13にさらに接続されている。図5は
チャージポンプ10の出力特性を示す。この図から明ら
かなように、チャージポンプ10の出力電圧Voは、負
荷13が電流を吸収しないときに最大となり、負荷13
により吸収される電流が増加するにつれて直線的に減少
する。
【0008】特に、図5からは、Vpよりも低くない出
力電圧を所望する場合、負荷13はIpmaxより大き
い電流を吸収することが不可能であることが推論され得
る。通常、CMOS技術によって集積化されたチャージ
ポンプは、1mA(ミリアンペア)より小さい電流を供
給する働きをする。ワードラインを読み取るには、最大
リップル50mAの6Vが必要である。こうした理由か
ら、チャージポンプの出力は電圧調整器に接続される。
この電圧調整器は、チャージポンプ10から電圧供給を
受けて、充分な値の一定電圧を生成することが可能にな
る。読み取り対象のセルのゲート端子にて6Vの読み取
り電圧を充分な精度で保持するためには、セルのアドレ
ス指定を行っている期間において、電流による消費をで
きる限り少なくする必要がある。
【0009】しかしながら、6Vの読み取り電圧を供給
することによって行駆動回路のスイッチングを決定する
ような、セルのアドレス指定を行う段階は、幾つかの問
題を生じさせる。事実、スイッチング制御信号は、供給
電圧に等しい高論理レベルを有しており、このスイッチ
ング制御信号の電圧は最悪の場合、2.5Vになる可能
性がある。それゆえに、以下に詳しく説明するように、
非常に異なる値の複数種の電圧を一つの駆動回路および
同じ駆動回路に共存させるという問題が起こる。
【0010】行デコーダは、組み合せ回路により制御さ
れる多数のインバータ(1行当たり1インバータ)とし
て概略的に表すことができる。この組み合せ回路は、入
力アドレスを受け取って、各々の入力アドレス毎に、上
記インバータの中の一つだけが高電圧の出力を持つよう
にインバータを駆動する機能を有している。さらに詳し
くいえば、この組み合せ回路は、選択した行(この行が
高電圧の出力を呈示するように)に接続されたインバー
タには低論理信号を送り、その他の全てのインバータに
は高論理信号を送る。この点については、複数の駆動イ
ンバータ21の一つを示す図6を参照されたい。この一
つのインバータ21は、プルアップPMOSトランジス
タ22と、プルダウンNMOSトランジスタ23とを具
備する。さらに、これらのプルアップPMOSトランジ
スタ22およびプルダウンNMOSトランジスタ23
は、結合ゲート端子(入力ノード24)および結合ドレ
イン端子(出力ノード25)を有すると共に、電圧(す
なわち、読み取り電圧)Vppに設定された第1の供給
ライン26、および、接地ライン(アースライン)にそ
れぞれ接続されるソース端子を有している。
【0011】
【発明が課題しようとする課題】上記の簡略化された構
成は、Vpp=Vccの場合には正確に作動するが、前
述のように、読み取り電圧Vppをチャージポンプによ
って生成する場合には作動しない。事実、後者の場合、
組み合せ回路は非選択行のインバータの入力ノード24
に高論理レベルとして、電圧Vccの読み取り電圧を供
給するが、第1の供給ライン26は電圧Vpp(>Vc
c)に設定されている。この状況では、非選択行の駆動
インバータ21のプルアップPMOSトランジスタ22
のゲート端子とソース端子の間には、非ゼロの電圧降下
がある。もし、この電圧降下に相当する電圧がトランジ
スタ22の閾値電圧に達すれば、トランジスタ22はス
イッチオンの状態になり、インバータの出力ノード25
はゼロ電圧値になることができず、その代わりに、読み
取りの正確さを保証する必要が生じる。
【0012】このような問題を解決するための第1の解
決策を図7に示す。この第1の解決策は、PMOS型の
フィードバックトランジスタ27を用いる正帰還インバ
ータの使用を含んでいる。このフィードバックトランジ
スタ27は、駆動インバータ21の第1の供給ライン2
6と入力ノード24との間に接続され、そのゲート端子
は出力ノード25に接続されている。さらに、図7は、
行選択組み合せ回路に属し、第2の供給ライン31を介
して電圧Vccの読み取り電圧の供給を受けるNAND
ゲート30を示している。
【0013】この場合、出力ノード25の電圧が減少す
ると、フィードバックトランジスタ27はスイッチオン
の状態になり、入力ノード24を第1の供給ラインの電
圧Vppに連結し、プルアップトランジスタ22の完全
なスイッチオフの状態、および出力電圧がゼロになるこ
とを保証する。しかし、上記の解決策も欠点を持たない
わけではない。これらの欠点の主なものの一つとして次
のような事実がある。すなわち、仮にNANDゲート3
0の複数のPMOSトランジスタが、Vccでバイアス
されたソース領域と、Vppでバイアスされたドレイン
領域(出力に接続)およびバルク領域とを有していれ
ば、NANDゲート30のPMOSトランジスタのソ−
ス−バルク接合が直接バイアスされ、電流損失を引き起
こす。この問題を解決するため、低電圧部分(プリデコ
ーディング)を高電圧部分(デコーディング)から分離
するためにNMOS型パストランジスタまたはCMOS
型パススイッチを挿入することが可能である。
【0014】この解決策(第2の解決策)を図8に示
す。図において、NANDゲート30は、Vccでバイ
アスされたゲート端子を有するNMOSパストランジス
タ32を介して、駆動インバータ21を駆動する。図8
に図示の解決策において、NANDゲート30の出力が
高い(Vcc)とき、パストランジスタ32は、同じ電
圧に設定された二つの端子(ゲート端子およびNAND
ゲートの出力端子に接続された端子)を有しているの
で、ダイオードとして動作する。この結果、パストラン
ジスタ32は、NANDゲートの出力とノード24との
間に、それ自身の閾値電圧に等しい電圧降下を発生させ
る。
【0015】この結果、図8に図示の解決策もまた、さ
らなる回路の複雑化を伴うほか、供給電圧が低い場合に
は最適な解決策とはいい難い。より詳しくいえば、この
条件では、パストランジスタ32による電圧降下は、ノ
ード24がプルアップトランジスタ22を完全にスイッ
チオフの状態にするのに必要な高い電圧に達するのを不
可能にし、それゆえに、電流消費のレベルが高くなる。
【0016】また一方で、CMOSパススイッチの使用
は、アレイの行のピッチで行われるデコーディングに関
して、受け入れがたい余分なものを残すほか、回路の他
の部分を望ましくない状態でバイアスする問題を変えて
いるにすぎない。さらに、図8の回路は、スイッチング
動作の期間に高い電流消費を有する。このことは、前述
のように、上記多重レベルのセルの読み取りに必要な6
Vのオーダーの読み取り電圧Vppにとって特に負担と
なり、そしてスイッチング動作が遅ければ、上記の電流
消費に関する問題をさらに悪くする。
【0017】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
であり、低い電圧の入力信号が存在する場合に、後段の
負荷または回路に対して、スイッチング動作の期間にお
ける電流損失を少なくして、高い電圧を転送することが
できるようなスイッチ回路を提供することを目的とする
ものである。
【0018】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明によれば、互いに異なる第1の電位(Vc
c)、第2の電位(Vpp)および第3の電位(接地)
にそれぞれ設定された第1の基準電位ライン、第2の基
準電位ラインおよび第3の基準電位ラインと、少なくと
も前もって設定した動作条件において、上記第3の基準
電位ラインに接続される第4の基準電位ラインと、上記
第1および第3の電位間でスイッチングが可能な制御信
号を受ける制御入力と、上記第2の基準電位ラインと上
記第4の基準電位ラインとの間に接続され、かつ、入力
ノードおよび出力ノードを有する駆動インバータ段とを
具備するスイッチ回路であって、上記第2の基準電位ラ
インと上記第3の基準電位ラインとの間に接続される帰
還インバータ段は、中間ノードを規定すると共に、それ
ぞれ制御端子を有する第1の上部トランジスタおよび第
1の下部トランジスタを備えており、上記上部トランジ
スタの上記制御端子は上記出力ノードに接続され、上記
下部トランジスタの上記制御端子は上記制御入力に接続
され、上記中間ノードは上記駆動インバータ段の上記入
力ノードに接続され、起動要素(activation element)
によって、上記第3の電位から上記第2の電位への上記
中間ノードのスイッチングを助けるような構成のスイッ
チ回路が提供される。
【0019】実際に、本発明のスイッチ回路は、昇圧し
た供給ラインに接続される第1のインバータ段および第
2のインバータ段、すなわち、帰還インバータ段および
駆動インバータ段(帰還分岐部(feedback branch )お
よび駆動分岐部(driving branch))を具備している。
この第1のインバータ段(帰還分岐部)は、帰還制御さ
れる上部トランジスタ(第1のメインPMOSトランジ
スタ)、および入力信号によって制御される下部トラン
ジスタ(第1のNMOSトランジスタ)を有しており、
第2のインバータ段は、中間ノードを介して第1のイン
バータ段によって制御される。第1のスイッチング(出
力の選択解除状態(deselected state)から選択状態へ
のスイッチング)は入力信号によって直接起動され、第
2のスイッチング(出力の選択状態から選択解除状態へ
のスイッチング)は、中間ノードを昇圧するかまたは出
力を降下させる起動要素(後述のプッシュNMOSトラ
ンジスタおよび出力NMOSトランジスタ)を介して起
動される。このようにすれば、どの構成要素も、二つの
供給電圧VccおよびVppを受ける二つの異なる端子
を有していないので、従来の回路が持っていた問題は解
決される。
【0020】
【発明の実施の形態】本発明の理解のため、添付図面
(図8および図9)を参照しながら、非限定例を用いて
本発明の好適な実施例を以下に説明する。図9は、本発
明に係るスイッチ回路の第1の実施例を示す回路図であ
る。図9において、スイッチ回路40は、メモリ100
に属する行デコーダ39の内部で使用される。特に、こ
のメモリ100は、前述したように、多重レベル記憶が
可能な不揮発性メモリである。
【0021】一般に、スイッチ回路40は、2論理レベ
ルの入力信号(または予め設定された信号の組み合せ)
による二つの基準電位ラインの一つに、出力を接続する
ために使用される。特に、スイッチ回路40は次のよう
に作動する。すなわち、二つの入力論理レベルの少なく
とも一つの電位が、対応する基準電位ラインの電位に等
しくない場合、特に、出力の高レベル(ハイレベル(hi
gh level)、すなわち、“H”レベル)に対応する電位
が、入力信号の“H”レベルに対応する電位よりもずっ
と高い(例えば、上記の多重レベルメモリの場合のよう
に、入力信号の2.5Vに対する出力6V)場合に作動
する。
【0022】図9において、スイッチ回路40は、制御
信号IN1およびIN2を受信しかつ前段のデコーディ
ング段(図示せず)に属する2入力のNANDゲート4
1に接続される。このNANDゲート41は出力41a
を有しており、この出力41aは、インバータ42を介
して帰還インバータ段43および駆動インバータ段44
に接続される。各インバータ段43、44は、それぞれ
三つのMOSトランジスタを含んでいる。NANDゲー
ト41およびインバータ42の両方共、電圧Vccに設
定された第1の供給ライン50に接続されている。
【0023】NANDゲート41の出力41aおよびイ
ンバータ42の出力は、制御信号および反転制御信号を
それぞれ受けるスイッチ回路40の制御入力を規定す
る。帰還インバータ段43は、第2の供給ライン54
(Vccより高い電圧Vppに設定)と参照番号55で
示す接地(アース)との間に、互いに直列に接続される
第1のメインPMOSトランジスタ51、第1の補助P
MOSトランジスタ52、および、第1のNMOSトラ
ンジスタ53を含んでいる。
【0024】より詳しくいえば、帰還インバータ段の第
1のNMOSトランジスタ53は、インバータ42の出
力に接続されるゲート端子、接地55に接続されるソー
ス端子、および、中間ノード58に接続されるドレイン
端子を有している。第1の補助PMOSトランジスタ5
2は、インバータ42の出力に接続されるゲート端子、
中間ノード58に接続されるドレイン端子、および、第
1のメインPMOSトランジスタ51のドレイン端子に
接続されるソース端子を有している。第1のメインPM
OSトランジスタ51は、第2の供給ライン54に接続
されるソース端子、および、スイッチ回路40の出力ノ
ード70に接続されるゲート端子を有している。PMO
Sトランジスタ51、52の両方共、第2の供給ライン
54に接続されるバルク領域を有している。
【0025】駆動インバータ段44は、第2の供給ライ
ン54と基準ライン65との間に直列に接続される第2
のメインPMOSトランジスタ61、第2の補助PMO
Sトランジスタ62、および、第2のNMOSトランジ
スタ63を含んでいる。より詳しくいえば、駆動インバ
ータ段44の第2のNMOSトランジスタ63は、中間
ノード58に接続されるゲート端子、低レベル(ロウレ
ベル(low level )、すなわち、“L”レベル)ノード
65に接続されるソース端子、および、出力ノード70
に接続されるドレイン端子を有している。第2の補助P
MOSトランジスタ62は、制御入力41aに接続され
るゲート端子、出力ノード70に接続されるドレイン端
子、および、第2のメインPMOSトランジスタ61の
ドレイン端子に接続されるソース端子を有している。第
2のメインPMOSトランジスタ61は、中間ノード5
8に接続されるゲート端子、および、第2の供給ライン
54に接続されるソース端子を有している。
【0026】出力ノード70は、メモリ100に属する
多数のメモリセル(図示せず)に接続されたワードライ
ン72に接続される。出力NMOSトランジスタ71
は、出力ノード70と低レベルノード65との間に結合
されており、制御入力41aに接続されるゲート端子を
有している。通常、低レベルノード65は接地55に接
続される。メモリ100がゲート端子を介してメモリセ
ル(図示せず)を消去する場合、低レベルノード65
は、二位式スイッチ(two-position switch )76を用
いて、図9に示す電圧VNEG に設定された負の供給ライ
ン75に接続される。さらに、この場合、第2のNMO
Sトランジスタ63および出力NMOSトランジスタ7
1は、ソース領域に接続されるそれぞれのバルク領域を
有し、三重ウェル(triple well )の形に形成される。
【0027】プッシュNMOSトランジスタ80は、中
間ノード58に接続されるソース端子、制御入力41a
に接続されるゲート端子、および、図9に破線でその概
略を示し、以下に詳しく説明する第1の供給ライン50
または第2の供給ライン54に接続されるドレイン端子
を有している。図9に図示のスイッチ回路40におい
て、第2のメインPMOSトランジスタ61の寸法は、
対応する第2の補助PMOSトランジスタ62が、全電
流能力を低減させることを考慮し、ワードライン72に
必要な電流に応じて設定される。したがって、第2のメ
インPMOSトランジスタ61の寸法は極めて大きく、
負荷(ワードライン72)を駆動する機能を持たない第
1のメインPMOSトランジスタ51の寸法よりも大き
くなる。これらのメインPMOSトランジスタ51、6
1は、対応する補助PMOSトランジスタ52、62の
寸法より大きいか、または上記補助PMOSトランジス
タ52、62の寸法に等しい。これらの補助PMOSト
ランジスタ52、62は、電流能力を調整し、かつ、そ
れぞれのインバータ段43、44の安定性を調整する機
能しか持っていない。この点については、以下に詳しく
述べる。さらに、プッシュトランジスタ80は、選択解
除状態へのスイッチング動作の期間で、中間ノード58
の電位上昇を容易にしなければならないのみであるか
ら、小さい寸法を有している。また一方で、出力NMO
Sトランジスタ71は以下に述べるように、選択解除状
態への同様なスイッチング動作の期間で、ワードライン
72の電圧低減に寄与しなければならないから、その寸
法は大きくなる。例えば、PMOSトランジスタ51、
52は4スクエア(squares )の寸法(幅対長さの比)
を有し、PMOSトランジスタ61、62は20スクエ
アの寸法(幅対長さの比)を有し、NMOSトランジス
タ53、63は15スクエアの寸法(幅対長さの比)を
有し、出力トランジスタ71は30スクエアの寸法(幅
対長さの比)を有し、プッシュトランジスタ80は15
スクエアの寸法(幅対長さの比)を有している。
【0028】つぎに、図9の回路の動作を以下に説明す
る。ただし、この説明ではプッシュトランジスタ80は
第1の供給ライン50に接続され、低レベルノード65
は接地55に接続されていると仮定する。二つの入力信
号IN1、IN2は、プリデコーディング回路(図示せ
ず)から送られてくる信号を表しており、これらの入力
信号IN1、IN2の両方共、高論理レベル(供給電圧
Vccのレベル)になっているときにワードライン72
のアドレス指定を行う。
【0029】ワードライン72の非選択状態において、
二つの入力信号IN1、IN2の少なくとも一つは
“L”レベル(ロウレベル)になっており、したがっ
て、NANDゲート41の出力41aは“H”レベル
(電圧Vcc)となる。そして、インバータ42の出力
は“L”レベル(接地)となる。この状態で、帰還イン
バータ段43の第1のNMOSトランジスタ53はオフ
状態になり、第1のPMOSトランジスタ51、52は
オン状態になり(以下、もっと明確になる)、そして、
中間ノード58は“H”レベル(電圧Vpp)になる。
したがって、駆動インバータ段44の第1のNMOSト
ランジスタ63はオン状態になり、そして、第2のメイ
ンPMOSトランジスタ61は、ソースとゲートの端子
間に電圧降下を持たないので、確実にオフ状態になる。
このため、第2の補助PMOSトランジスタ62はオフ
状態にされ、出力ノード70は“L”レベルとなり、ワ
ードライン72もまた“L”レベルとなる。さらに、出
力トランジスタ71はオン状態になる。プッシュNMO
Sトランジスタ80は、逆バイアスを掛けられたダイオ
ードと等価であるから、オフ状態になる。事実、プッシ
ュNMOSトランジスタ80のドレイン端子とゲート
(アノード)端子は同じ電圧Vccに設定され、そのソ
ース(カソード)端子は電圧Vppにてバイアスされ
る。
【0030】ワードライン72を選択しなければならな
い場合、信号IN1、IN2は共に“H”レベルに切り
替えられる。この結果、NANDゲート41の出力41
aは“L”レベルに切り替えられ、直ちに出力NMOS
トランジスタ71およびプッシュNMOSトランジスタ
80をスイッチオフの状態にする。さらに、第2の補助
PMOSトランジスタ62のゲート端子は“L”レベル
(接地)に切り替えられる。したがって、第2の補助P
MOSトランジスタ62はそれ自身をオン状態に設定す
るが、第2のメインPMOSトランジスタ61が依然と
してオフ状態にあるため、導通状態となることができな
い。インバータ42の出力は高論理状態(Vcc)に切
り替えられ、帰還インバータ段43の第1のNMOSト
ランジスタ53をスイッチオンの状態にし、第1の補助
PMOSトランジスタ52のゲート端子を高電圧(Vc
c)に押し上げる。この結果、降下電圧(電圧Vppと
電圧Vccとの差に対応)が、第1の補助PMOSトラ
ンジスタ52のソース端子とゲート端子との間に現れ
る。この降下電圧は、第1の補助PMOSトランジスタ
52のスイッチオフの状態を開始し、かつ、第1のメイ
ンPMOSトランジスタ51を流れる電流を制限する。
中間ノード58の電圧は、第1のNMOSトランジスタ
53による放電によって下降し、駆動インバータ段44
の第2のNMOSトランジスタ63をスイッチオフの状
態にし始め、そして、第2のメインPMOSトランジス
タ61をスイッチオンの状態にし始める。出力ノード7
0は電位上昇を開始し、さらに帰還インバータ段43の
第1のメインPMOSトランジスタ51をスイッチオフ
の状態にし、中間ノード58が接地電位(アース電位)
に近い電位に到達できるようにする。したがって、第2
のメインPMOSトランジスタ61は完全にスイッチオ
ンがなされた状態に達し、出力ノード70を電圧Vpp
まで引き寄せる。
【0031】それゆえに、ワードライン72はここで電
圧Vppに接続される。さらに、この状態で、異なる供
給電圧にてバイアスされた二つの端子(ソースおよびド
レイン、またはソースおよびゲート)を持つ構成要素は
ない。それゆえに、中間状態(完全にスイッチオフがな
された状態でもなく、完全にスイッチオンがなされた状
態でもない状態)にある構成要素もなく、また一方で、
直接バイアスされた望ましくない接合を与える構成要素
もない。この結果、定常状態下にあっては、スイッチ回
路40はいかなる電流消費もしない。
【0032】ワード行(word row)72を選択しなけれ
ばならない場合、入力信号IN1、IN2は“L”レベ
ルに切り替えられ、この結果、NANDゲート41の出
力41aが“H”レベルに切り替えられると共に、イン
バータ42の出力が“L”レベルに切り替えられる。プ
ッシュNMOSトランジスタ80および出力NMOSト
ランジスタ71はスイッチオンの状態になり、中間ノー
ド58を第1の供給ライン50の電圧Vccの方向に引
き寄せると共に、出力ノード70を接地電位の方向に引
き寄せる。これと同時に、第2の補助PMOSトランジ
スタ62のゲート−ソース間の電圧降下(電圧Vppと
電圧Vccとの差に対応)は減少し、この第2の補助P
MOSトランジスタ62は、選択段階における帰還分岐
部の第1の補助PMOSトランジスタ52と同様に、電
流制限状態に入る。
【0033】さらに、第2の補助PMOSトランジスタ
62によって決定された電流制限によって、帰還インバ
ータ段43の第1のNMOSトランジスタ53はスイッ
チオフの状態になり、中間ノード58を上昇させ、駆動
インバータ44の第2のNMOSトランジスタ63をス
イッチオンの状態にする。そして、第2のメインPMO
Sトランジスタ61をスイッチオフの状態にすることが
できる。ついで、出力ノード70はさらに下降し、第1
のメインPMOSトランジスタ51のスイッチオンの状
態を決定し、中間ノード58を電圧Vppまで上昇させ
る。駆動インバータ段44と、帰還インバータ段43と
の間の帰還によって決定される過渡状態の終段におい
て、出力ノード70は接地電圧に等しい電圧となり、帰
還インバータ段43の第1のPMOSトランジスタ(メ
イン、補助)51、52は完全にスイッチオンの状態に
なる。そして、駆動インバータ段44の第2のPMOS
トランジスタ(メイン、補助)61、62は完全にスイ
ッチオフの状態になる。ここで、プッシュNMOSトラ
ンジスタ80は再びオフ状態になる。
【0034】選択スイッチング段階において、制御入力
41aの信号が“L”レベルに切り替えられると、前述
したように、帰還インバータ段43の第1のメインPM
OSトランジスタ51のスイッチオフの状態は、第1の
補助PMOSトランジスタ52の電流調節効果(curren
t throttling effect )によって保証され、加速され
る。さらに、NMOSトランジスタ53の寸法は、駆動
インバータ段44のNMOSトランジスタ63より大き
いので、NMOSトランジスタ63は大きい電流を急速
に吸収し、中間ノード58を急速に下降させ、NMOS
トランジスタ63をスイッチオフの状態にする。NMO
Sトランジスタ63の寸法はより小さいので、殆ど慣性
を与えない。このようにして、過渡状態は短時間で終了
する。
【0035】前述の選択解除スイッチング段階におい
て、出力ノード70のスイッチング動作は、プッシュN
MOSトランジスタ80または出力NMOSトランジス
タ71が一つでも存在すれば、可能である。なぜなら
ば、上記のNMOSトランジスタによって、中間ノード
58の電圧が上昇するか、または出力ノード70の電圧
が下降するからである。いかなる場合でも、NMOSト
ランジスタ80、71が同時に存在することによって、
スイッチング速度が増加する。このスイッチング速度
は、先に示した第2のメインPMOSトランジスタ61
のスイッチオフの状態や、この第2のメインPMOSト
ランジスタ61の電流制限を助ける第2の補助PMOS
トランジスタ62によって、さらに増加する。
【0036】第1の補助PMOSトランジスタ52は、
前述したような第1のメインPMOSトランジスタ51
における電流制限によって、第1のメインPMOSトラ
ンジスタ51(ソース−ゲート端子間に高い電圧降下を
有する)がスイッチオフの状態になることを困難にする
ような高い供給電圧Vppが存在する場合でも、出力選
択解除状態から出力選択状態へのスイッチング動作をさ
らに保証する。
【0037】スイッチ回路40は、スイッチング動作の
期間におけるスイッチング速度の増加、および、起動分
岐部(active branches )を流れる電流の減少の両方に
よって、スイッチング段階における電流消費を低減させ
る。事実、出力ノード70の選択の期間では、帰還イン
バータ段43の第1のメインPMOSトランジスタ51
がまだスイッチオフの状態にされておらず、そして、第
1のNMOSトランジスタ53がスイッチオンの状態を
開始しているとき、前述のように、帰還インバータ段4
3を流れる電流は、第1の補助PMOSトランジスタ5
2によって制限される。同様に、選択解除の期間では、
第2のメインPMOSトランジスタ61が依然としてス
イッチオンの状態にあって、出力NMOSトランジスタ
71が既にスイッチオンの状態になっているとき、前述
のように、駆動インバータ段44を流れる電流は、第2
の補助PMOSトランジスタ62によって制限される。
【0038】駆動インバータ段44の上部PMOSトラ
ンジスタを二つの別々のトランジスタに分離すること、
すなわち、同じ極性ではあるが、同じ論理状態(“H”
レベル)において異なる値と異なるタイミングを有する
信号によって制御されるメイントランジスタ61および
補助トランジスタ62に分離すること、同様に帰還イン
バータ段43の上部PMOSトランジスタを二つの別々
のトランジスタに分離すること、すなわち同じ極性では
あるが、異なる値と異なるタイミングを有する信号によ
って制御されるメイントランジスタ51および補助トラ
ンジスタ52に分離することによって、スイッチ回路の
動作段階に応じて、二つのインバータ段のフォース(fo
rce )(電流伝導能力および安定性)、すなわち、帰還
インバータ段43および駆動インバータ段44のフォー
スを調整することができる。特に、定常動作状態(選択
状態または選択解除状態)にあっては、帰還インバータ
段43および駆動インバータ段44に所望の電気特性を
持たせ、過渡状態にあっては、スイッチングを助ける目
的で、各々の分岐部のフォースを低減させ、そして、電
流消費を低減させることが可能である。さらに、スイッ
チ回路40の動作状態を保ちつつ、VppとVccとの
差を増大させることも可能である。
【0039】このようにすれば、メインPMOSトラン
ジスタ61の寸法を大きくして、過渡状態の間に大きな
電流を流しても、前述のような補助PMOSトランジス
タ62によって達成される電流制限、およびスイッチン
グ時間の短縮によって、いかなる場合にも電流消費の低
減が保証される。プッシュNMOSトランジスタ80を
電圧Vccに設定された第1の供給ライン50に接続す
る代わりに、電圧Vppに設定された第2の供給ライン
54に接続することが可能なことは、特定の動作状態、
例えばメモり100の消去動作の期間において第2の供
給ライン54の電圧Vppが第1の供給ライン50の電
圧Vcc以下に下降したときに有利である。事実、この
場合、ワードライン72は同じメモリセクタに属する他
のワードライン(図示せず)と共に、非選択状態になら
なければならず、そして、NANDゲート41の出力4
1aは“H”レベル(Vcc)になる。この結果、プッ
シュNMOSトランジスタ80のドレイン端子を第1の
供給ライン50に接続すれば、プッシュNMOSトラン
ジスタ50は、第1の供給ライン50と中間ノード58
との間で直接バイアスされたダイオードと等価になり、
中間ノード58自身に向かって電流を流す。さらに、中
間ノード58の電位は電圧(Vpp−Vth)以下に下
がることはできない。ここで、Vthはダイオード形式
で接続されたプッシュNMOSトランジスタ80による
電圧降下である。これに代わって、プッシュNMOSト
ランジスタ80のドレイン端子を第2の供給ライン54
に接続すれば、このプッシュNMOSトランジスタを前
述の条件、すなわち、Vpp>Vccという条件でも動
作させることができる。
【0040】メモリ100がメモリセル(図示せず)の
ゲート端子を介して消去状態に入ると、低レベルノード
65は負の供給ライン75に接続される。このようにし
て、出力ノード70は、三重ウェルの形に形成された通
常の行デコーダと同じ方法で負の電位にすることが可能
になる。図10は、本発明に係るスイッチ回路の異なる
実施例(第2の実施例)を示す回路図である。このスイ
ッチ回路の全体を参照番号40′で示す。このスイッチ
回路では、行デコーダに属するNANDゲート41はも
はや存在せず、出力ノード70は、出力インバータ(す
なわち、最終インバータ段)81を介して出力ライン8
6に接続されている。
【0041】図10に図示のスイッチ回路40′は、高
い電流出力能力が必要な場合、例えば、ラインを駆動し
なければならない場合に有利に使用される。この目的の
ために、図示の例では、出力インバータ81は、第2の
供給ライン54と接地55との間に直列に接続される上
部PMOSトランジスタ82、補助下部NMOSトラン
ジスタ83、および、メイン下部NMOSトランジスタ
84を含んでいる。
【0042】トップPMOSトランジスタ82は、第2
の供給ライン54に接続されるソース端子およびバルク
端子と、出力ノード70に接続されるゲート端子と、出
力85に接続されるドレインとを有している。この出力
85は出力ライン86に接続されている。補助下部NM
OSトランジスタ83は、出力85に接続されるドレイ
ン端子と、インバータ42の出力に接続されるゲート端
子と、メイン下部NMOSトランジスタ84のドレイン
端子に接続されるソース端子とを有している。このメイ
ン下部NMOSトランジスタ84は、出力ノード70に
接続されるゲート端子と、接地55に接続されるソース
端子とを有している。
【0043】スイッチ回路40′の残りの部分は以下の
点を除いて、図9の回路40と同じである。すなわち、
このスイッチ回路40′では、駆動インバータ段44の
第2のNMOSトランジスタ63のソース端子および出
力トランジスタ71のソース端子は、共に接地55に直
接接続され、プッシュトランジスタ80は、第1の供給
ライン50に接続されるドレイン端子を有している。こ
の場合、上記の構成に代えて、プッシュトランジスタ8
0を第2の供給ライン54に接続することも可能であ
る。さらに、出力ライン86を負の電圧にしなければな
らない場合には、下部NMOSトランジスタ83、84
を三重ウェルの形に形成することもできる。
【0044】仮に、出力インバータ81が、駆動インバ
ータ段44および帰還インバータ段43を含む帰還ルー
プの外部にある場合、出力インバータ81の上部PMO
Sトランジスタ82は、スイッチ回路40′の動作を抑
止するための出力ライン85に関連した能力を持たない
状態で、出力ライン86を駆動するのに適した大きい寸
法を有している。
【0045】補助下部トランジスタ83は、帰還インバ
ータ段43および駆動インバータ段44を含む帰還回路
段の上流部(前段部)にあるインバータ42の出力信号
によって直接制御される。この結果、補助下部NMOS
トランジスタ83は、補助PMOSトランジスタ52、
62に関して図9を参照しながら述べたのと同様な方法
で、出力85が“L”レベルの状態から“H”レベルの
状態へ移行するスイッチング過渡状態時に出力インバー
タ81を流れる電流を制限する。また、同様に(図示せ
ず)、上部PMOSトランジスタ82は二つのトランジ
スタに分離することができる。すなわち、その一つは出
力ノード70に接続されるメイントランジスタであっ
て、他の一つは、出力85が“L”レベルの状態から
“H”レベルの状態へ移行するスイッチング過渡状態時
に、出力インバータ81を流れる電流を制限することを
目的として、制御入力41aに接続される補助トランジ
スタである。
【0046】最後に、ここに図面を参照して述べてきた
スイッチ回路の変形および変更は、これらの全てが添付
の特許請求の範囲に記載の本発明の範囲に属するもので
ある限り可能であることは明らかである。特に、本発明
に係るスイッチ回路は、本明細書で述べた行デコーディ
ング段のほかに、少なくともその一つが後段のノードに
供給される電圧とは異なる複数の電圧間でスイッチング
が可能な制御信号に従って、二つの異なる電圧レベルの
間でノードのスイッチングを行うことが必要な全ての場
合に適用できることを強調しておく。さらに、図10に
示すように、出力に負の電圧を供給する必要がない場合
は、2位式スイッチ76は省略してもよい。最後に、ス
イッチ回路の構成要素は、所望の論理レベルに従って、
他の補足的な構成要素(complementary components)に
置き換えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一つのメモリセルに1ビットを記憶するために
用いられる電流−電圧特性を示す図である。
【図2】一つのメモリセルに2ビットを記憶するために
用いられる電流−電圧特性を示す図である。
【図3】一つのメモリセルに2ビットを記憶する場合
の、有効閾値電圧の分布を示す図である。
【図4】不揮発性メモリに使用されるチャージポンプ回
路の等価回路を示す図である。
【図5】図4のチャージポンプ回路の出力特性を示す図
である。
【図6】公知のタイプのデコーディング回路の一部を示
す概略的な回路図である。
【図7】公知のタイプの他のデコーディング回路を簡略
化して示す回路図である。
【図8】公知のタイプのさらに他のデコーディング回路
を簡略化して示す回路図である。
【図9】本発明に係るスイッチ回路の第1の実施例を示
す回路図である。
【図10】本発明に係るスイッチ回路の第2の実施例を
示す回路図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョバンニ カンパルドー イタリア国,24128 ベルガモ,ビア ジ. セガンティーニ 5 (72)発明者 大庭 敦 東京都千代田区丸ノ内2丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 マルセロ カレーラ イタリア国,24069 トレスコーレ,ビア ジ.レオパルディー 12

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに異なる第1の電位(Vcc)、第
    2の電位(Vpp)および第3の電位(接地)にそれぞ
    れ設定された第1の基準電位ライン(50)、第2の基
    準電位ライン(54)および第3の基準電位ライン(5
    5)と、少なくとも前もって設定した動作条件におい
    て、前記第3の基準電位ライン(55)に接続される第
    4の基準電位ライン(65)と、前記第1および第3の
    電位間でスイッチングが可能な制御信号を受ける制御入
    力(41a)と、前記第2の基準電位ライン(54)と
    前記第4の基準電位ライン(65)との間に接続され、
    かつ、入力ノードおよび出力ノード(70)を有する駆
    動インバータ段(44)とを具備するスイッチ回路(4
    0、40′)であって、 前記第2の基準電位ライン(54)と前記第3の基準電
    位ライン(55)との間に接続される帰還インバータ段
    (43)は、中間ノード(58)を規定すると共に、そ
    れぞれ制御端子を有する第1の上部トランジスタ(5
    1)および第1の下部トランジスタ(53)を備えてお
    り、 前記上部トランジスタ(51)の前記制御端子は前記出
    力ノード(70)に接続され、前記下部トランジスタ
    (53)の前記制御端子は前記制御入力(41a)に接
    続され、前記中間ノード(58)は前記駆動インバータ
    段(44)の前記入力ノードに接続され、起動要素(8
    0、71)によって、前記第3の電位から前記第2の電
    位への前記中間ノード(58)のスイッチングを助ける
    ことを特徴とするスイッチ回路。
  2. 【請求項2】 前記帰還インバータ段(43)は、第1
    の電流能力調整手段(52)を具備する請求項1に記載
    のスイッチ回路。
  3. 【請求項3】 前記第1の電流能力調整手段は、前記中
    間ノードが前記第2の電位から前記第3の電位へのスイ
    ッチングを行う段階で動作する第1の電流制限要素(5
    2)を具備する請求項2に記載のスイッチ回路。
  4. 【請求項4】 前記第1の上部トランジスタ(51)は
    第1の伝導形を有し、前記第1の下部トランジスタ(5
    3)は第2の伝導形を有し、前記第1の電流制限要素は
    前記第1の伝導形を有すると共に、前記制御入力(41
    a)に接続される制御端子を有している請求項3に記載
    のスイッチ回路。
  5. 【請求項5】 前記駆動インバータ段(44)は、第2
    の電流能力調整手段(62)を具備する請求項4に記載
    のスイッチ回路。
  6. 【請求項6】 前記第2の電流能力調整手段は、前記中
    間ノード(58)が前記第3の電位から前記第2の電位
    へのスイッチングを行う段階で動作する第2の電流制限
    要素(62)を具備する請求項5に記載のスイッチ回
    路。
  7. 【請求項7】 インバータ要素(42)が、前記制御入
    力(41a)と前記第1の下部トランジスタ(53)の
    前記制御端子との間に接続されており、前記駆動インバ
    ータ段(44)は、互いに直列に接続され、かつ、前記
    出力ノード70を形成する中間ノードを有する前記第1
    の伝導形の第2の上部トランジスタ(61)と前記第2
    の伝導形の第2の下部トランジスタ(63)とを具備し
    ており、前記第2の電流制限要素は、前記第2の上部ト
    ランジスタと前記出力ノードとの間に接続されると共
    に、前記制御入力(41a)に接続された制御端子を有
    する第2の補助トランジスタ(62)を具備する請求項
    6に記載のスイッチ回路。
  8. 【請求項8】 前記起動要素は、前記第1の基準電位ラ
    イン(50)と前記中間ノード(58)との間に結合さ
    れ、前記制御入力(41a)に接続される制御端子を有
    するプッシュトランジスタ(80)を具備する請求項1
    から7のいずれか一項に記載のスイッチ回路。
  9. 【請求項9】 前記起動要素は、前記第2の基準電位ラ
    イン(54)と前記中間ノード(58)との間に結合さ
    れると共に、前記制御入力(41a)に接続される制御
    端子を有するプッシュトランジスタ(80)を具備する
    請求項1から7のいずれか一項に記載のスイッチ回路。
  10. 【請求項10】 前記起動要素は、前記出力ノード(7
    0)と前記第4の基準電位ライン(65)との間に結合
    されると共に、前記制御入力(41a)に接続される制
    御端子を有する出力トランジスタ(71)を具備する請
    求項1から7のいずれか一項に記載のスイッチ回路。
  11. 【請求項11】 前記第4の基準電位ライン(65)
    は、前記第3の電位(接地)、および、第1、第2およ
    び第3の電位とは異なる第4の電位(VNEG )に選択的
    に接続される請求項1から10のいずれか一項に記載の
    スイッチ回路。
  12. 【請求項12】 前記第2の基準電位ライン(54)と
    前記第3の基準電位ライン(55)との間に接続される
    最終インバータ段(81)が、第3の上部トランジスタ
    (82)と、少なくとも第3の補助トランジスタ(8
    3)および第3の下部トランジスタ(84)とを具備し
    ており、前記第3の上部トランジスタおよび前記第3の
    下部トランジスタは、前記出力ノード(70)に接続さ
    れる制御端子を有し、前記第3の補助トランジスタは、
    前記入力ノード(41a)に接続される制御端子を有す
    る請求項4から11のいずれか一項に記載のスイッチ回
    路。
  13. 【請求項13】 前記第3の上部トランジスタ(82)
    は、前記第1の伝導形を有し、前記第3の補助トランジ
    スタ(83)および前記第3の下部トランジスタ(8
    4)は、前記第2の伝導形を有する請求項12に記載の
    スイッチ回路。
  14. 【請求項14】 前記第1の伝導形のトランジスタはP
    MOSトランジスタであり、前記第2の伝導形のトラン
    ジスタはNMOSトランジスタである請求項4から13
    のいずれか一項に記載のスイッチ回路。
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