JP2001030488A - Ink-jet head and its manufacture - Google Patents

Ink-jet head and its manufacture

Info

Publication number
JP2001030488A
JP2001030488A JP11204290A JP20429099A JP2001030488A JP 2001030488 A JP2001030488 A JP 2001030488A JP 11204290 A JP11204290 A JP 11204290A JP 20429099 A JP20429099 A JP 20429099A JP 2001030488 A JP2001030488 A JP 2001030488A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adhesive
ink
jet head
ink jet
opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11204290A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kunihiro Yamanaka
邦裕 山中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP11204290A priority Critical patent/JP2001030488A/en
Publication of JP2001030488A publication Critical patent/JP2001030488A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To uniformly apply an adhesive to the periphery of an open part by arranging recesses zigzag at a plurality of open parts on a joined face of one member having the plurality of open parts formed therein. SOLUTION: A plurality of open parts 42 as channel holes are arranged at one member 41, and recesses 43 are formed zigzag with respect to the open parts 42 on a joined face of the member 41 to the other member. The recesses 43 and open parts 42 are equal in shape and size. A distance (d) between the open part 42 and recess 43 in a direction orthogonal to an arrangement direction of the recesses 43 is not smaller than approximately 50 μm to secure a bond margin and nor larger than approximately 100 μm for the recesses 43 to trap and secure an adhesive layer. When the one member 41 is formed of a stainless steel material, the open parts 42 and recesses 43 can be formed simultaneously by photolithography or spray type wet etching.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はインクジェットヘッドに
関し、特に少なくとも2つの部材を接着剤で接合したイ
ンクジェットヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet head, and more particularly to an ink jet head in which at least two members are joined by an adhesive.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、プリンタ、ファクシミリ、複写
装置、プロッタ等の画像形成装置(画像記録装置)とし
て用いるインクジェット記録装置で記録ヘッドとして使
用するインクジェットヘッドは、インク滴を吐出する複
数のノズルと、各ノズルが連通するインク液室(吐出
室、加圧液室、インク流路、加圧室、圧力室などとも称
される。)を形成する流路形成部材と、各インク液室内
のインクを加圧してノズルからインク滴を吐出させるた
めのエネルギーを発生する圧電素子等の電気機械変換素
子、或いはヒータ等の電気熱変換素子、若しくは振動板
と電極などの静電力発生手段などからなるエネルギー発
生手段(アクチュエータ手段)とを備え、このアクチュ
エータ手段を画像情報に応じて駆動することで所要のノ
ズルからインク滴を吐出させて画像を記録する。
2. Description of the Related Art Generally, an ink jet head used as a recording head in an ink jet recording apparatus used as an image forming apparatus (image recording apparatus) such as a printer, a facsimile, a copying machine, a plotter, etc. has a plurality of nozzles for ejecting ink droplets, A flow path forming member that forms an ink liquid chamber (also referred to as a discharge chamber, a pressurized liquid chamber, an ink flow path, a pressurized chamber, a pressure chamber, etc.) communicating with each nozzle, and ink in each ink liquid chamber. Electromechanical conversion elements such as piezoelectric elements that generate energy for ejecting ink droplets from nozzles when pressurized, or electrothermal conversion elements such as heaters, or energy generation including electrostatic force generation means such as diaphragms and electrodes Means (actuator means), and the actuator means is driven in accordance with the image information so that ink droplets are emitted from required nozzles. Issued not to record the image.

【0003】このような各種インクジェットヘッドは、
例えば、特開平10−138469号公報に記載されて
いるように、ノズル板、液室隔壁部材(流路形成部材、
液室形成部材)、振動板、圧電素子などを積層して接合
したもの、特開平5−50601号公報に記載されてい
るように、液室形成部材(第1の基板)上にこれを覆う
蓋部材を接合したもの、その他ヘッドの前面にノズルを
形成したノズル板を接合したものなど、複数の部材を接
合して形成される。
[0003] Such various ink jet heads include:
For example, as described in JP-A-10-138469, a nozzle plate, a liquid chamber partition member (flow path forming member,
A liquid chamber forming member), a vibration plate, a piezoelectric element, etc., which are laminated and joined, and cover the liquid chamber forming member (first substrate) as described in JP-A-5-50601. It is formed by joining a plurality of members, such as joining a lid member and joining a nozzle plate having a nozzle formed on the front surface of the head.

【0004】この場合、複数の部材の接合にはシリコン
基板などを直接接合、共晶接合などで接合することも知
られているが、このような接合方法を用いることができ
ないときには、一般に接着剤による接合が用いられる。
接着剤の塗布方法として、所定のパターンマスクを介し
てスクリーン印刷法によって接着剤を塗布する方法が知
られているが、このスクリーン印刷法では微細なパター
ンを有する部材に対しては接着剤塗布量が過剰になる。
In this case, it is known that a silicon substrate or the like is directly bonded or eutectic bonded to join a plurality of members. However, when such a bonding method cannot be used, an adhesive is generally used. Is used.
As a method of applying an adhesive, a method of applying an adhesive by a screen printing method through a predetermined pattern mask is known. In this screen printing method, an adhesive application amount is applied to a member having a fine pattern. Becomes excessive.

【0005】そこで、フレキソ印刷法や転写方法などが
用いられている。転写方法としては、例えば特開平10
−100419号公報に記載されているように、第1ロ
ールに接着剤を載せて回転させ、ドクターブレードで第
1ロール上の接着剤をむらなく広げ、この第1ロールに
凸部を有する樹脂部材を取り付けた第2ロールを押し付
けて、第1ロール上に広げた接着剤を第2ロールの樹脂
部材に転移させ、この第2ロールの樹脂部材を部材の接
合面に押し当てて転写する方法が知られている。
Therefore, a flexographic printing method, a transfer method and the like are used. As a transfer method, for example,
As described in JP-A-200419, an adhesive is placed on a first roll and rotated, and the adhesive on the first roll is spread evenly by a doctor blade. A resin member having a convex portion on the first roll A method in which the adhesive spread on the first roll is transferred to the resin member of the second roll by pressing the second roll attached with the first roll, and the resin member of the second roll is pressed against the joining surface of the member and transferred. Are known.

【0006】また、特開平5−24203号公報に記載
されているように、広い接着面積を有する部分に溝を形
成し、可撓性を有する基材上に薄い接着剤の層を形成
し、それを接着する部材の表面上に転写することで、接
着剤を適当に盛り上がらせ、十分な接着力を得る方法も
知られている。
Further, as described in JP-A-5-24203, a groove is formed in a portion having a large bonding area, and a thin adhesive layer is formed on a flexible base material. There is also known a method in which the adhesive is appropriately swelled by transferring it onto the surface of a member to be adhered to obtain a sufficient adhesive force.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たフレキソ印刷法や特開平10−100419号公報記
載の転写方法にあっても、転写方向と部材の加工パター
ンによって塗布される接着剤の層厚が不均一になる。ま
た、特開平5−24203号公報に記載されているよう
に、広い接着面積を有する部分に溝を形成する方法にあ
っても、ローラを用いた転写方法を採用すると、部材に
形成された流路を構成する凹部、貫通孔、通孔等の開口
部での段差と転写方向によって生じる接着層の塗布膜厚
の不均一化を避けることができない。
However, even in the above-mentioned flexographic printing method and the transfer method described in JP-A-10-100149, the thickness of the adhesive applied according to the transfer direction and the processing pattern of the member is limited. Becomes uneven. Also, as described in JP-A-5-24203, even in the method of forming a groove in a portion having a large bonding area, if a transfer method using a roller is adopted, the flow formed on the member may be reduced. Unevenness in the applied film thickness of the adhesive layer caused by the step and the transfer direction at the openings such as the recesses, through holes, and through holes that constitute the path cannot be avoided.

【0008】すなわち、図18に示すように、複数の開
口部である通孔101、101……を有する部材100
に、転写ローラ102を用いて、転写ローラ102を矢
示方向に移動させて接着剤103を転写塗布したとき、
部材100上の接着剤103の塗布膜厚は、通孔10
1、101…に存在によって、図19及び図20に示す
ように概ね3つの領域、つまり厚い領域a、中間の領域
b、薄い領域cが生じる。
That is, as shown in FIG. 18, a member 100 having a plurality of openings 101, 101,...
Next, when the transfer roller 102 is moved in the direction of the arrow using the transfer roller 102 to transfer and apply the adhesive 103,
The coating thickness of the adhesive 103 on the member 100 is
Due to the presence of 1, 101,..., Approximately three regions are generated as shown in FIGS. 19 and 20, namely, a thick region a, an intermediate region b, and a thin region c.

【0009】ここで、通孔101、101…の転写方向
前方側に生じる厚い領域aによる影響は少ないが、通孔
101、101…の周囲に塗布膜厚の薄い領域cが生じ
ることで、十分な接着力が得られなかったり、接着力が
不均一になったりして、インクシール性が低下するなど
の問題を生じる。
Here, the influence of the thick region a generated on the front side in the transfer direction of the through holes 101, 101... Is small, but the region c with a thin coating film thickness around the through holes 101, 101. Such a problem arises that an insufficient adhesive force cannot be obtained or the adhesive force becomes non-uniform, thereby deteriorating the ink sealability.

【0010】本発明は上記の課題に鑑みてなされたもの
であり、開口部周囲での接着剤の塗布膜厚を確保して信
頼性の高いインクジェットヘッドを提供することを目的
とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide a highly reliable ink jet head by ensuring a coating thickness of an adhesive around an opening.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明に係るインクジェットヘッドは、複数の開口
部を並べて形成した一方の部材の接合面には複数の開口
部に対して千鳥状に配置した複数の窪みを有する構成と
したものである。なお、本明細書における「一方の部材
の開口部」とは接合される2つの部材のうちの一方の部
材に形成された貫通孔、通孔、凹部などの少なくとも開
口を有する部分を意味する。
In order to solve the above-mentioned problems, an ink jet head according to the present invention has a plurality of openings arranged side by side, and a joining surface of one of the members is staggered with respect to the plurality of openings. Has a plurality of depressions arranged in the same manner. The “opening of one member” in this specification means a portion having at least an opening, such as a through hole, a through hole, or a recess formed in one of the two members to be joined.

【0012】ここで、一方の部材をステンレス鋼材で形
成して接合面に酸化膜を成膜することができる。この場
合、酸化膜はアニール処理又はプラズマ処理により形成
できる。
Here, one of the members may be formed of a stainless steel material to form an oxide film on the joint surface. In this case, the oxide film can be formed by annealing treatment or plasma treatment.

【0013】また、接着剤としてはポリイミド系接着剤
を用いることができ、この場合、接着剤の膜厚を1μm
〜4μmの範囲内にすることが好ましい。或いは、接着
剤としてはエポキシ系接着剤を用いることができ、この
場合、接着剤の膜厚が2μmを越えないようにすること
が好ましい。
As the adhesive, a polyimide adhesive can be used. In this case, the thickness of the adhesive is 1 μm.
It is preferable to set it within the range of 4 μm. Alternatively, an epoxy adhesive can be used as the adhesive, and in this case, it is preferable that the film thickness of the adhesive does not exceed 2 μm.

【0014】さらに、一方の部材の開口部がインク流路
溝又はインク流路孔である場合に適用することが好まし
い。
Further, the present invention is preferably applied to a case where the opening of one of the members is an ink passage groove or an ink passage hole.

【0015】本発明に係るインクジェットヘッドの製造
方法は、一方の部材の窪み側から開口部側へ転写ローラ
で接着剤を転写して塗布するものである。
In the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention, an adhesive is transferred and applied from a dent side to an opening side of one member by a transfer roller.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照して説明する。図1は本発明を適用す
るピエゾ型インクジェットヘッドの一例を示す断面説明
図、図2は図1を透過状態で示す平面説明図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view showing an example of a piezo-type inkjet head to which the present invention is applied, and FIG. 2 is an explanatory plan view showing FIG. 1 in a transparent state.

【0017】このインクジェットヘッドは、例えばSU
S基板などからなる液室基板1に吐出室を形成するため
の開口部となる貫通孔(通孔)2を形成し、この液室基
板1の下面にNi電鋳などで形成した振動板3を接合
し、振動板3の外面に積層型圧電素子4を設けてアクチ
ュエータ部を構成している。なお、液室基板1と振動板
3は、例えば、単結晶シリコン基板にボロンなどの不純
物拡散層を形成して、これをエッチングストップ層とす
る異方性エッチングを行って形成することもできる。
This ink jet head is, for example, SU
A through hole (through hole) 2 serving as an opening for forming a discharge chamber is formed in a liquid chamber substrate 1 made of an S substrate or the like, and a diaphragm 3 formed by Ni electroforming or the like on the lower surface of the liquid chamber substrate 1 And a laminated piezoelectric element 4 is provided on the outer surface of the diaphragm 3 to constitute an actuator section. The liquid chamber substrate 1 and the diaphragm 3 can also be formed, for example, by forming an impurity diffusion layer of boron or the like on a single crystal silicon substrate and performing anisotropic etching using this as an etching stop layer.

【0018】また、液室基板1上には、流体抵抗形成板
6、共通インク流路形成板7及びノズル板8を順次積層
してポリイミド系接着剤或いはエポキシ系接着剤などの
接着剤で接着接合することで、複数のノズル孔9、各ノ
ズル孔9が連通する複数の吐出室10、これらの複数の
加圧室10にインクを供給するための共通インク流路
(共通インク室)11、共通インク流路11から加圧室
10にインクを供給する流体抵抗部となるインク供給路
12、ノズル孔9と加圧室10とを連通するノズル連通
路13などのインク流路を形成している。
On the liquid chamber substrate 1, a fluid resistance forming plate 6, a common ink flow path forming plate 7, and a nozzle plate 8 are sequentially laminated and bonded with an adhesive such as a polyimide adhesive or an epoxy adhesive. By joining, a plurality of nozzle holes 9, a plurality of discharge chambers 10 communicating with each nozzle hole 9, a common ink flow path (common ink chamber) 11 for supplying ink to these plurality of pressurizing chambers 10, An ink flow path such as an ink supply path 12 serving as a fluid resistance part for supplying ink from the common ink flow path 11 to the pressure chamber 10 and a nozzle communication path 13 communicating the nozzle hole 9 with the pressure chamber 10 is formed. I have.

【0019】ここで、流体抵抗形成板6にはインク供給
路12を形成する開口部である通孔(貫通孔)15及び
ノズル連通路13を形成する通孔16を形成し、共通イ
ンク流路形成板7には共通インク室11を形成する通孔
17及びノズル連通路13を形成する通孔18を形成
し、ノズル板8には各吐出室10に対応して複数のノズ
ル孔9を形成している。
Here, a through-hole (through-hole) 15 as an opening for forming the ink supply passage 12 and a through-hole 16 for forming the nozzle communication passage 13 are formed in the fluid resistance forming plate 6 to form a common ink flow path. The forming plate 7 has a through hole 17 forming the common ink chamber 11 and the through hole 18 forming the nozzle communication passage 13, and the nozzle plate 8 has a plurality of nozzle holes 9 corresponding to each ejection chamber 10. are doing.

【0020】このように構成したインクジェットヘッド
においては、圧電素子4に駆動電圧を印加することによ
って、圧電素子4に積層方向の変位が生じて振動板3が
吐出室10側に変形変位して吐出室10の内容積が減少
し、吐出室10内圧力が上昇してノズル連通路13を通
じてノズル孔9からインク滴が吐出される。
In the ink jet head configured as described above, when a driving voltage is applied to the piezoelectric element 4, the piezoelectric element 4 is displaced in the stacking direction, and the diaphragm 3 is deformed and displaced toward the discharge chamber 10 to discharge. The internal volume of the chamber 10 decreases, the pressure in the ejection chamber 10 increases, and ink droplets are ejected from the nozzle holes 9 through the nozzle communication passage 13.

【0021】次に、図3は本発明を適用した静電型イン
クジェットヘッドの一例を示す断面説明図、図4は図1
を透過状態で示す平面説明図である。このインクジェッ
トヘッドは、単結晶シリコン基板などからなる液室基板
21と、この液室基板21の上側に設けた蓋部材22
と、液室基板21の下側に設けた電極基板23と、液室
基板21及び蓋部材22の前面側に設けたノズル板24
とを有する。
Next, FIG. 3 is an explanatory sectional view showing an example of an electrostatic ink jet head to which the present invention is applied, and FIG.
It is a plane explanatory view showing in a transmission state. This ink jet head includes a liquid chamber substrate 21 made of a single crystal silicon substrate or the like, and a lid member 22 provided above the liquid chamber substrate 21.
An electrode substrate 23 provided below the liquid chamber substrate 21, and a nozzle plate 24 provided on the front side of the liquid chamber substrate 21 and the lid member 22.
And

【0022】これらの液室基板21、蓋部材22及び電
極基板23を積層することで、ノズル板24の各ノズル
孔25が連通する複数の吐出室26、各吐出室26にイ
ンクを供給するための共通インク流路(共通インク室)
27、共通インク流路27から吐出室26にインクを供
給する流体抵抗部となるインク供給路28、ノズル孔2
5と吐出室26とを連通するノズル連通路29などのイ
ンク流路を形成している。
By laminating the liquid chamber substrate 21, the lid member 22, and the electrode substrate 23, a plurality of discharge chambers 26 in which the respective nozzle holes 25 of the nozzle plate 24 communicate, and ink is supplied to the respective discharge chambers 26. Common ink flow path (common ink chamber)
27, an ink supply path 28 serving as a fluid resistance part for supplying ink from the common ink flow path 27 to the ejection chamber 26, and a nozzle hole 2
An ink flow path such as a nozzle communication path 29 that communicates the discharge chamber 5 with the discharge chamber 26 is formed.

【0023】そして、液室基板21には、吐出室27及
び各吐出室27の底部となりその壁面を形成する変形可
能な振動板30を形成する開口部である凹部31と、各
吐出室27にインクを供給するための共通インク流路3
1を形成する開口部である凹部32と、ノズル連通路2
9を形成する開口部である溝部33を設けている。
The liquid chamber substrate 21 has a recess 31 serving as an opening for forming a discharge chamber 27 and a deformable diaphragm 30 which is a bottom of the discharge chamber 27 and forms a wall surface thereof. Common ink flow path 3 for supplying ink
1 and a nozzle communication passage 2
A groove 33, which is an opening for forming the groove 9, is provided.

【0024】また、蓋部材22には、インク供給路28
を形成する溝部34と、共通インク流路27へ外部から
インクを供給するためのインク供給口35とを設けてい
る。さらに、電極基板23には振動板30に対向する電
極36を設け、この電極36と振動板30によってアク
チュエータ部を構成する。なお、電極36の表面は絶縁
膜37にて保護している。
The lid member 22 has an ink supply path 28.
And an ink supply port 35 for supplying ink to the common ink channel 27 from outside. Further, an electrode 36 facing the diaphragm 30 is provided on the electrode substrate 23, and the electrode 36 and the diaphragm 30 constitute an actuator section. The surface of the electrode 36 is protected by an insulating film 37.

【0025】ここで、液室基板21と電極基板23とは
直接接合、陽極接合、共晶接合などの接合方法によって
接合し、液室基板21と蓋部材22とはポリイミド系接
着剤或いはエポキシ系接着剤などの接着剤で接着接合
し、ノズル板24も同様な接着剤で接着接合している。
Here, the liquid chamber substrate 21 and the electrode substrate 23 are bonded by a bonding method such as direct bonding, anodic bonding, or eutectic bonding, and the liquid chamber substrate 21 and the lid member 22 are connected to each other by a polyimide-based adhesive or an epoxy-based. The nozzle plate 24 is adhesively bonded with an adhesive such as an adhesive.

【0026】このインクジェットヘッドにおいては、振
動板30と電極36との間に駆動電圧を印加することに
よって静電力によって振動板30が変形して、吐出室2
6内容積が変化することによってノズル孔25からイン
ク滴が吐出される。
In this ink jet head, when a driving voltage is applied between the diaphragm 30 and the electrode 36, the diaphragm 30 is deformed by electrostatic force, and
As the internal volume changes, ink droplets are ejected from the nozzle holes 25.

【0027】そこで、これらインクジェットヘッドにお
いて接着剤で接合する2つの部材に対する本発明の適用
について図5以降をも参照して説明する。上記各ヘッド
においては、例えば、液室基板1と流路形成板6、共通
インク室形成板7とノズル板7、或いは、液室基板21
と蓋部材22、液室基板21とノズル板24などの接着
剤接合に本発明を適用することができる。以下では、こ
れらを総称的に表すために液室基板1、21、共通イン
ク室形成板7などを「一方の部材」と称し、溝、凹部、
孔等を「開口部」と称することとする。
The application of the present invention to two members joined by an adhesive in these ink jet heads will be described with reference to FIGS. In each of the heads, for example, the liquid chamber substrate 1 and the flow path forming plate 6, the common ink chamber forming plate 7 and the nozzle plate 7, or the liquid chamber substrate 21
The present invention can be applied to the bonding of the adhesive and the lid member 22 and the liquid chamber substrate 21 to the nozzle plate 24 and the like. In the following, the liquid chamber substrates 1 and 21, the common ink chamber forming plate 7, and the like are referred to as "one member" to generically represent them, and the grooves, concave portions,
The holes and the like are referred to as “openings”.

【0028】まず、本発明の実施形態について図5及び
図6を参照して説明する。なお、図5は一方の部材の平
面説明図、図6は図5のA−A線に沿う断面説明図であ
る。一方の部材41には流路孔である開口部42を複数
並べて配列形成している。そして、この一方の部材41
には他方の部材との接合面に複数の開口部42に対して
千鳥状に複数の窪み43を形成している。
First, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is an explanatory plan view of one member, and FIG. 6 is an explanatory sectional view taken along line AA of FIG. On one member 41, a plurality of openings 42 which are flow path holes are arranged and formed. And this one member 41
Has a plurality of depressions 43 formed in a staggered manner with respect to the plurality of openings 42 on the joint surface with the other member.

【0029】この窪み43の形状及び大きさは開口部4
2の形状及び大きさと同等であることが好ましい。ま
た、開口部42と窪み43との間の、窪み43の配列方
向と直交する方向の距離dは、のり代部の確保のために
50μm以上であり、窪み43による接着層の補足確保
のために100μm以下であることが好ましい。この場
合、開口部42と窪み43との間ののり代部の距離s
は、距離dよりも大きくなる(s>d)。
The shape and size of the recess 43 are determined by the size of the opening 4.
It is preferably equal to the shape and size of 2. The distance d between the opening 42 and the depression 43 in the direction orthogonal to the arrangement direction of the depressions 43 is 50 μm or more for securing the glue allowance, and for ensuring the adhesion of the adhesive layer by the depressions 43. Is preferably 100 μm or less. In this case, the distance s of the clearance between the opening 42 and the depression 43 is s.
Becomes larger than the distance d (s> d).

【0030】ここで、一方の部材41を例えばステンレ
ス鋼材で形成するときには、開口部42や窪み43はフ
ォトリソ、スプレー式によるウエットエッチングにより
同時に形成することができる。同様に一方の部材41に
単結晶シリコン基板などを用いる場合も窪み43はエッ
チングで形成することができる。
Here, when the one member 41 is formed of, for example, a stainless steel material, the opening 42 and the depression 43 can be formed simultaneously by photolithography or wet etching by a spray method. Similarly, when a single crystal silicon substrate or the like is used for one of the members 41, the depression 43 can be formed by etching.

【0031】このように開口部42を有する一方の部材
41の接合面に窪み43を開口部42に対して千鳥状に
配置して形成することにより、ローラによる転写方法で
接着剤を転写した場合でも、少なくとも開口部42の周
囲での接着層の均一性を確保することができる。
By forming the depressions 43 in a staggered manner with respect to the opening 42 on the joining surface of the one member 41 having the opening 42, the adhesive is transferred by the transfer method using a roller. However, uniformity of the adhesive layer at least around the opening 42 can be ensured.

【0032】これを確認するため、例えば図7に示すよ
うに、樹脂性の刷版上にドクターロール、アニロックス
ロールによって薄い接着剤44の層を形成し、その刷版
を取り付けたローラ45を回転して、窪み43側から開
口部42側に向う方向(同図の矢印方向)を転写方向と
して、接着剤44を一方の部材41の接合面に転写し
た。
To confirm this, as shown in FIG. 7, for example, a thin layer of the adhesive 44 is formed on a resin plate by a doctor roll or anilox roll, and the roller 45 on which the plate is mounted is rotated. Then, the adhesive 44 was transferred to the joint surface of the one member 41 with the direction from the dent 43 toward the opening 42 (the direction of the arrow in the figure) as the transfer direction.

【0033】この結果、図8及び図9に示すように、接
着剤44の塗布膜厚は、厚い領域a、中間の領域b、薄
い領域cが生じる。この場合、接着剤44の塗布膜厚が
薄い領域cは、窪み43、43…が形成されていること
で、窪み43、43…の転写方向下流側周辺部分に生じ
るだけで、開口部42、42…の周囲には発生せず、開
口部42の周囲は全体的に均一な膜厚(中間の領域b)
で塗布することができた。
As a result, as shown in FIGS. 8 and 9, the applied film thickness of the adhesive 44 includes a thick region a, an intermediate region b, and a thin region c. In this case, the region c where the thickness of the adhesive 44 is small is formed only in the peripheral portion on the downstream side in the transfer direction of the depressions 43, 43 because the depressions 43, 43 are formed. Are not generated around the periphery of the opening 42, and the entire periphery of the opening 42 has a uniform film thickness (intermediate region b).
Could be applied.

【0034】次に、複数の窪み43を複数の開口部42
に対して千鳥状に配置するパターンにすることの効果を
確認するため、比較形態として、図10及び図11に示
すように、一方の部材41の開口部42の配列方向で一
体となった溝部51を形成し、上述と同様にして接着剤
を転写して塗布した。
Next, a plurality of depressions 43 are formed in a plurality of openings 42.
As a comparative example, as shown in FIGS. 10 and 11, as one comparative example, a groove united in the arrangement direction of the openings 42 of the one member 41 in order to confirm the effect of forming a pattern arranged in a staggered manner. 51 was formed, and the adhesive was transferred and applied in the same manner as described above.

【0035】その結果、図12及び図13に示すよう
に、溝部51の転写方向上流側で接着剤44の塗布膜厚
の薄い領域cが生じるだけでなく、開口部42間でも接
着剤44の塗布膜厚の薄い領域cが発生した。このよう
に開口部42間に接着剤の塗布膜厚の薄い領域が生じる
と、この部分で接着不良が生じてビット間(チャンネル
間)リークが発生する。
As a result, as shown in FIGS. 12 and 13, not only a region c having a thin coating film of the adhesive 44 is formed on the upstream side of the groove portion 51 in the transfer direction, but also the adhesive 44 An area c with a thin coating film was generated. When a region where the thickness of the applied adhesive film is small occurs between the openings 42 in this manner, an adhesion failure occurs at this portion and a leak between bits (between channels) occurs.

【0036】これは、比較形態では、開口部42と溝部
51との間の配列方向と直交する方向の距離dがのり代
部の距離sと同じになるので、距離dを上記実施形態と
同じにするとのり代部が狭くなって接着不良を生じるこ
とになる。そこで、比較形態において、のり代部の距離
sを上記実施形態と同じにすると距離dが上記実施形態
より短くなり、そのために開口部42間での転写不良が
生じて接着剤の塗布膜厚が薄くなるのである。
In the comparative example, the distance d in the direction orthogonal to the arrangement direction between the opening 42 and the groove 51 is the same as the distance s of the overlap margin, and the distance d is the same as in the above embodiment. If this is done, the glue margin will be narrowed and poor adhesion will occur. Therefore, in the comparative example, if the distance s of the glue allowance is the same as in the above-described embodiment, the distance d is shorter than in the above-described embodiment. It becomes thin.

【0037】次に、一方の部材41の表面処理と接着剤
の塗布状態について説明する。一方の部材41を例えば
アセトンなどの有機溶剤により脱脂(洗浄)処理し、乾
燥した後、次のサンプルを作製した。 サンプル1:表面処理なし サンプル2:表面処理として、300−1hr(大気
中)の熱処理を行った。 サンプル3:表面処理として、酸素プラズマ処理(R
F;パワー450W,2Toor)を行った。
Next, the surface treatment of one member 41 and the state of application of the adhesive will be described. One member 41 was degreased (washed) with an organic solvent such as acetone, and dried, and then the next sample was prepared. Sample 1: No surface treatment Sample 2: As a surface treatment, a heat treatment of 300-1 hr (in air) was performed. Sample 3: Oxygen plasma treatment (R
F; power 450 W, 2 Toor).

【0038】そして、サンプル1、2、3にそれぞれポ
リイミド系接着剤(粘度:10Poise)を塗布した。この
接着剤の塗布は、上述したと同様、樹脂材の刷版上に,
ドクターロール、アニロツクスロールによって薄い接着
剤の層を形成し、この刷版を取り付けロールにより一方
の部材41の接合面に転写する方法を用いた。
Then, a polyimide adhesive (viscosity: 10 Poise) was applied to each of the samples 1, 2, and 3. This adhesive is applied on the printing plate of the resin material as described above.
A method was used in which a thin adhesive layer was formed by a doctor roll and an anilox roll, and this printing plate was transferred to the joining surface of one member 41 by a mounting roll.

【0039】次いで、塗布された接着剤のレベリングと
予備乾燥を50℃−10min及び170℃−20minで行
い、250℃−10minで溶剤の均一蒸発及びフィルム
化を行った。なお、ポリイミド系接着剤は、タック性を
持たないため、耐ダスト性、搬送性に優れている。
Next, the applied adhesive was leveled and pre-dried at 50 ° C. for 10 minutes and at 170 ° C. for 20 minutes, and the solvent was uniformly evaporated and formed into a film at 250 ° C. for 10 minutes. Since the polyimide adhesive does not have tackiness, it is excellent in dust resistance and transportability.

【0040】これらの工程を経た後、サンプル1、2、
3について接着剤層の形成状態を観察し、膜厚を測定し
た。サンプル1は、図14に示すように、部材表面のぬ
れ性が悪いため、開口部42の周囲に膜厚の薄い領域c
が生じるなど、接着剤層の均一性がサンプル2、3に比
べて劣る。これに対して、サンプル2、3は、図15に
示すように、開口部42の周囲に膜厚の薄い領域cが発
生せず、サンプル1に比べて接着剤の塗布膜厚の均一性
の向上が見られた。
After going through these steps, samples 1, 2,
For No. 3, the state of formation of the adhesive layer was observed, and the film thickness was measured. As shown in FIG. 14, the sample 1 has a thin region c around the opening 42 due to poor wettability of the member surface.
And the uniformity of the adhesive layer is inferior to those of Samples 2 and 3, for example. On the other hand, in Samples 2 and 3, as shown in FIG. 15, a thin region c was not generated around the opening 42, and the uniformity of the adhesive coating film thickness was smaller than that of Sample 1. Improvements were seen.

【0041】この場合、サンプル3について、表面処理
(酸素プラズマ)後5時間経ったサンプルに接着剤を塗
布したところ、サンプル2とほぼ同等の均一性が得られ
たが、表面処理後24時間経ったサンプルに接着剤を塗
布したところ、均一性は劣化し、サンプル1と同等であ
った。サンプル2について、表面処理(300℃アニー
ル)後48時間経ったサンプルに接着剤を塗布してが、
均一性の劣化はほとんど認められなかった。
In this case, when an adhesive was applied to the sample 3 which had passed 5 hours after the surface treatment (oxygen plasma), the same uniformity as that of the sample 2 was obtained. However, 24 hours after the surface treatment. When the adhesive was applied to the sample, the uniformity deteriorated and was equivalent to that of sample 1. For sample 2, an adhesive was applied to a sample 48 hours after surface treatment (annealed at 300 ° C.)
Deterioration of uniformity was hardly observed.

【0042】すなわち、一方の部材にステンレス鋼材を
用いた場合、250℃以上の温度でアニール処理をして
接合面に酸化膜を形成することで、接合面の清浄化(付
着有機物の除去)及びぬれ性を高めることができ、接着
剤の均一な塗布が可能になってインクシール性が向上
し、また接合強度を向上することができる。酸化膜をア
ニール処理で形成した場合にはプラズマ処理で酸化膜を
形成する場合よりも表面処理から接着剤塗布までの保管
時間を長くとることができる。
That is, when a stainless steel material is used for one of the members, annealing is performed at a temperature of 250 ° C. or more to form an oxide film on the bonding surface, thereby cleaning the bonding surface (removing adhered organic substances) and The wettability can be increased, the adhesive can be uniformly applied, the ink sealing properties can be improved, and the bonding strength can be improved. When the oxide film is formed by the annealing treatment, the storage time from the surface treatment to the application of the adhesive can be longer than when the oxide film is formed by the plasma treatment.

【0043】また、一方の部材にステンレス鋼材を用い
た場合、プラズマ処理で接合面に酸化膜を形成すること
で、接合面の清浄化(付着有機物の除去)及びぬれ性を
高めることができ、接着剤の均一な塗布が可能になって
インクシール性が向上し、また接合強度を向上すること
ができる。
Further, when a stainless steel material is used for one of the members, an oxide film is formed on the bonding surface by plasma treatment, whereby the cleaning of the bonding surface (removal of attached organic substances) and the wettability can be improved. This makes it possible to apply the adhesive uniformly, thereby improving the ink sealing property and improving the bonding strength.

【0044】次に、ポリイミド系接着剤の塗布膜厚につ
いて説明する。上述したサンプル2(300℃−1hr
の熱処理で表面処理をしたもの)を用いて、ポリイミド
系接着剤の塗布膜厚のみをパラメータとして接合を行っ
た。塗布条件は上記と同様であり、また、接合条件は、
一方の部材41に他方の部材をアライメントして重ね合
わせ、加圧(10kgf/cm2)及び加熱(280℃−
1min)で圧着接合した。なお、180dpiピッチで15
0ビットのノズル孔(φ=25μm)及び流路孔を配置
したヘッドとし、インクリークと目詰まりを評価した。
この結果を表1に示している。
Next, the film thickness of the polyimide adhesive will be described. Sample 2 described above (300 ° C.-1 hr)
(The surface of which has been subjected to the heat treatment of Example 1), and the bonding is performed using only the applied film thickness of the polyimide adhesive as a parameter. The application conditions are the same as above, and the joining conditions are
The other member is aligned with and superimposed on one member 41, and pressurized (10 kgf / cm 2 ) and heated (280 ° C.-
(1 min). In addition, 15 at 180 dpi pitch
Using a head having a 0-bit nozzle hole (φ = 25 μm) and a flow path hole, ink leak and clogging were evaluated.
Table 1 shows the results.

【0045】[0045]

【表1】 [Table 1]

【0046】この表1から分かるように、接着層の塗布
膜厚が約1μm以上でシール性を確保することができ、
4μm以下で接着剤のはみ出しによるノズル孔の目詰ま
りを抑制できる。したがって、ポリイミド系接着剤を用
いる場合には、塗布膜厚を1μm以上4μm以下にする
ことが好ましい。
As can be seen from Table 1, when the coating thickness of the adhesive layer is about 1 μm or more, the sealing property can be secured.
When the thickness is 4 μm or less, clogging of the nozzle hole due to protrusion of the adhesive can be suppressed. Therefore, when a polyimide-based adhesive is used, it is preferable that the applied film thickness be 1 μm or more and 4 μm or less.

【0047】接着剤としてポリイミド系接着剤を用いた
場合には、耐インク性が良好で高ヤング率の接合を行う
ことができる。また、接着剤塗布後、一次効果させタッ
タ性をなくした後接合することが可能であるので、耐ダ
スト性、搬送性にも優れる。さらに、熱可塑性であるこ
とから、ブリーディング(メルトし流動すること)がな
く、接着剤のはみ出しを低減できる。
When a polyimide-based adhesive is used as the adhesive, bonding with good ink resistance and a high Young's modulus can be performed. In addition, after the adhesive is applied, it is possible to join after the primary effect is applied and the tackiness is eliminated, so that the dust resistance and the transportability are excellent. Furthermore, since it is thermoplastic, there is no bleeding (melting and flowing), and the protrusion of the adhesive can be reduced.

【0048】次に、接着剤としてエポキシ系接着剤を用
いた場合の塗布膜厚について説明する。上述したサンプ
ル2(300℃−1hrの熱処理で表面処理をしたも
の)を用いて、エポキシ系接着剤の塗布膜厚のみをパラ
メータとして接合を行った。塗布条件は上記と同様であ
り、また、接合条件は、一方の部材41に他方の部材を
アライメントして重ね合わせ、加圧(2kgf/cm2
及び加熱(130℃)で圧着接合した。なお、180dp
iピッチで150ビットのノズル孔(φ=25μm)及
び流路孔を配置したヘッドとし、インクリークと目詰ま
りを評価した。この結果を表2に示している。
Next, a description will be given of a coating film thickness when an epoxy adhesive is used as the adhesive. Using Sample 2 described above (surface-treated by heat treatment at 300 ° C. for 1 hour), bonding was performed using only the applied film thickness of the epoxy adhesive as a parameter. The application conditions are the same as described above, and the bonding conditions are as follows: one member 41 is aligned with another member so as to be overlapped, and pressurized (2 kgf / cm 2 ).
And by heating (130 ° C.). In addition, 180dp
Using a head having nozzle holes (φ = 25 μm) of 150 bits at i-pitch and flow path holes, ink leak and clogging were evaluated. The results are shown in Table 2.

【0049】[0049]

【表2】 [Table 2]

【0050】この表2から分かるように、接着層の塗布
膜厚が約2μm以下であればシール性を確保することが
でき、接着剤のはみ出しによるノズル孔の目詰まりを抑
制できる。したがって、エポキシ系接着剤を用いる場合
には、塗布膜厚を2μmを越えない厚みにすることが好
ましい。
As can be seen from Table 2, when the coating thickness of the adhesive layer is about 2 μm or less, the sealing property can be ensured, and the clogging of the nozzle hole due to the protrusion of the adhesive can be suppressed. Therefore, when an epoxy-based adhesive is used, it is preferable that the thickness of the applied film be not more than 2 μm.

【0051】接着剤としてエポキシ系接着剤を用いるこ
とで、耐インク性が良好で強度な接合を行うことができ
る。
By using an epoxy adhesive as an adhesive, it is possible to perform a strong bonding with good ink resistance.

【0052】次に、本発明の他の実施形態について図1
6及び図17を参照して説明する。なお、図16は一方
の部材の平面説明図、図17は図16のE−E線に沿う
断面説明図である。この実施形態は、図1乃至図4で説
明したインクジェットヘッドのように流路溝のような吐
出室形状を有するヘッドに適用した例であり、一方の部
材41には流路溝である開口部52を複数並べて配列形
成している。そして、この一方の部材41には他方の部
材との接合面に複数の開口部52に対して千鳥状に複数
の窪み43を形成している。
Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
6 and FIG. FIG. 16 is an explanatory plan view of one member, and FIG. 17 is an explanatory sectional view taken along line EE in FIG. This embodiment is an example in which the present invention is applied to a head having a discharge chamber shape such as a flow channel such as the ink jet head described with reference to FIGS. A plurality of 52 are arranged and formed. The one member 41 has a plurality of depressions 43 formed in a staggered manner with respect to the plurality of openings 52 on the joint surface with the other member.

【0053】この窪み43の形状及び大きさは図5及び
図6に示したのと同様に開口部52の幅(配列方向の
幅)とほぼ同じ直径を有する円形状にすることが好まし
い。また、開口部52と窪み43との間の窪み43の配
列方向と直交する方向の距離dは、のり代部の確保のた
めに50μm以上であり、窪み43による接着層の補足
確保のために100μm以下であることが好ましい。こ
の場合、開口部52と窪み43との間ののり代部の距離
sは、距離dよりも大きくなる(s>d)。
It is preferable that the shape and size of the depression 43 be a circular shape having substantially the same diameter as the width of the opening 52 (width in the arrangement direction) as shown in FIGS. The distance d between the opening 52 and the depression 43 in the direction orthogonal to the arrangement direction of the depressions 43 is 50 μm or more for securing the glue allowance, and for ensuring the supplement of the adhesive layer by the depressions 43. It is preferably 100 μm or less. In this case, the distance s of the margin between the opening 52 and the depression 43 is larger than the distance d (s> d).

【0054】ここで、一方の部材41を例えばステンレ
ス鋼材で形成するときには、開口部42や窪み43はフ
ォトリソ、スプレー式によるウエットエッチングにより
同時に形成することができる。同様に一方の部材41に
単結晶シリコン基板などを用いる場合も窪み43はエッ
チングで形成することができる。
Here, when the one member 41 is formed of, for example, a stainless steel material, the opening 42 and the depression 43 can be formed simultaneously by photolithography or wet etching by a spray method. Similarly, when a single crystal silicon substrate or the like is used for one of the members 41, the depression 43 can be formed by etching.

【0055】このような溝形状の開口部52を有する一
方の部材41の接合面に窪み43を開口部52に対して
千鳥状に配置して形成することにより、ローラによる転
写方法で接着剤を転写した場合でも、少なくとも開口部
52の周囲での接着層の均一性を確保することができ
る。
By forming the depressions 43 in a staggered manner with respect to the opening 52 on the joining surface of the one member 41 having such a groove-shaped opening 52, the adhesive is transferred by a roller transfer method. Even in the case of transfer, uniformity of the adhesive layer at least around the opening 52 can be ensured.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るイン
クジェットヘッドによれば、複数の開口部を配列した一
方の部材の接合面には複数の開口部に対して千鳥状に配
置した窪みを有する構成としたので、接着剤を開口部の
周囲に均一的に確実に塗布することができ、信頼性が向
上する。
As described above, according to the ink jet head according to the present invention, the depressions arranged in a staggered manner with respect to the plurality of openings are formed on the joining surface of one of the members in which the plurality of openings are arranged. With this configuration, the adhesive can be applied uniformly and reliably around the opening, and the reliability is improved.

【0057】ここで、一方の部材をステンレス鋼材で形
成して接合面に酸化膜を成膜することで、接合面の清浄
化及びぬれ性の向上による接着剤の均一な塗布を行うこ
とができる。この場合、酸化膜はアニール処理又はプラ
ズマ処理により形成でき、アニール処理による場合に表
面処理から接合までの保管時間を長くすることができ
る。
Here, by forming one member from a stainless steel material and forming an oxide film on the joint surface, it is possible to clean the joint surface and to uniformly apply the adhesive by improving the wettability. . In this case, the oxide film can be formed by annealing treatment or plasma treatment, and in the case of annealing treatment, the storage time from surface treatment to bonding can be lengthened.

【0058】また、接着剤としてポリイミド系接着剤を
用いることがで、耐インク性、耐ダスト性、搬送性が向
上するとともに接着剤のはみ出しを低減できる。特に、
接着剤の膜厚を1μm〜4μmの範囲内にすることで、
ほとんど接着剤がはみ出さない接合を行うことができ
る。或いは、接着剤としてエポキシ系接着剤を用いるこ
とで、耐インク性が良好で強度な接合を行うことがで
き、特に、接着剤の膜厚が2μmを越えないようにする
ことで、ほとんど接着剤がはみ出さない接合を行うこと
ができる。
By using a polyimide-based adhesive as the adhesive, the ink resistance, dust resistance, and transportability are improved, and the protrusion of the adhesive can be reduced. In particular,
By setting the thickness of the adhesive within the range of 1 μm to 4 μm,
Bonding in which almost no adhesive sticks out can be performed. Alternatively, by using an epoxy-based adhesive as an adhesive, good ink resistance and strong bonding can be achieved. In particular, by controlling the thickness of the adhesive so as not to exceed 2 μm, almost all of the adhesive is used. Bonding that does not protrude can be performed.

【0059】さらに、一方の部材の開口部がインク流路
溝又はインク流路孔である場合に適用することで、イン
クシール性が良好で、接着剤のはみ出しによるインク滴
吐出効率の低下も少ないインクジェットヘッドを得るこ
とができる。
Further, by applying the present invention to the case where the opening of one of the members is an ink passage groove or an ink passage hole, the ink sealing property is good, and the drop of the ink droplet ejection efficiency due to the protrusion of the adhesive is small. An ink jet head can be obtained.

【0060】本発明に係るインクジェットヘッドの製造
方法によれば、一方の部材の窪み側から開口部側へ転写
ローラで接着剤を塗布するので、開口部の周囲に確実に
接着剤を塗布することができる。
According to the method of manufacturing an ink jet head according to the present invention, since the adhesive is applied by the transfer roller from the concave side to the opening side of one of the members, the adhesive is surely applied around the opening. Can be.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用したピエゾ型インクジェットヘッ
ドの一例を示す断面説明図
FIG. 1 is an explanatory sectional view showing an example of a piezo type inkjet head to which the present invention is applied.

【図2】図1の平面説明図FIG. 2 is an explanatory plan view of FIG. 1;

【図3】本発明を適用した静電型インクジェットヘッド
の一例を示す断面説明図
FIG. 3 is an explanatory sectional view showing an example of an electrostatic inkjet head to which the present invention is applied.

【図4】図1の平面説明図FIG. 4 is an explanatory plan view of FIG. 1;

【図5】本発明の実施形態を説明する一方の部材の平面
説明図
FIG. 5 is an explanatory plan view of one member illustrating an embodiment of the present invention.

【図6】図5のA−A線に沿う断面説明図FIG. 6 is an explanatory sectional view taken along the line AA in FIG. 5;

【図7】一方の部材への接着剤の塗布方法を説明する説
明図
FIG. 7 is an explanatory view illustrating a method of applying an adhesive to one member.

【図8】本発明の実施形態に係る一方の部材上の接着剤
の塗布状態を説明する平面説明図
FIG. 8 is an explanatory plan view illustrating an application state of an adhesive on one member according to the embodiment of the present invention.

【図9】図8のB−B線に沿う断面説明図FIG. 9 is an explanatory sectional view taken along line BB in FIG. 8;

【図10】比較形態に係る一方の部材を説明する平面説
明図
FIG. 10 is an explanatory plan view illustrating one member according to a comparative embodiment.

【図11】図10のC−C線に沿う断面説明図FIG. 11 is an explanatory sectional view taken along line CC in FIG. 10;

【図12】比較形態に係る一方の部材上の接着剤の塗布
状態を説明する平面説明図
FIG. 12 is an explanatory plan view illustrating an applied state of an adhesive on one member according to a comparative embodiment.

【図13】図10のD−D線に沿う断面説明図FIG. 13 is an explanatory sectional view taken along line DD in FIG. 10;

【図14】一方の部材の表面処理と塗布状態の説明に供
する平面説明図
FIG. 14 is an explanatory plan view for explaining a surface treatment and a coating state of one member;

【図15】同じく一方の部材の表面処理と塗布状態の説
明に供する平面説明図
FIG. 15 is an explanatory plan view for explaining a surface treatment and a coating state of one member.

【図16】本発明の他の実施形態に係る一方の部材の平
面説明図
FIG. 16 is an explanatory plan view of one member according to another embodiment of the present invention.

【図17】図16のE−E線に沿う断面説明図FIG. 17 is an explanatory sectional view taken along line EE in FIG. 16;

【図18】従来の一方の部材への接着剤の塗布方法を説
明する説明図
FIG. 18 is an explanatory view illustrating a conventional method of applying an adhesive to one member.

【図19】同従来の一方の部材上での接着剤の塗布状態
を説明する平面説明図
FIG. 19 is an explanatory plan view illustrating the state of application of an adhesive on one member of the related art.

【図20】図19のF−F線に沿う断面説明図20 is an explanatory sectional view taken along the line FF in FIG. 19;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…液室基板、2…振動板、3…凹部、4…圧電素子、
6…流路形成板、7…共通インク室形成板、8…ノズル
板、21…液室基板、22…電極基板、23…蓋部材、
24…ノズル板、30…振動板、35…電極、41…一
方の部材、42、52…開口部、43…窪み、44…接
着剤。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid chamber board, 2 ... Vibration plate, 3 ... Recess, 4 ... Piezoelectric element,
6 ... flow path forming plate, 7 ... common ink chamber forming plate, 8 ... nozzle plate, 21 ... liquid chamber substrate, 22 ... electrode substrate, 23 ... lid member,
Reference numeral 24: nozzle plate, 30: diaphragm, 35: electrode, 41: one member, 42, 52: opening, 43: dent, 44: adhesive.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の開口部を並べて形成した一方の部
材に接着剤を介して他方の部材を接合したインクジェッ
トヘッドにおいて、前記一方の部材の接合面には前記複
数の開口部に対して千鳥状に配置した複数の窪みを有す
ることを特徴とするインクジェットヘッド。
1. An ink jet head in which one member formed by arranging a plurality of openings is joined to another member via an adhesive, the joining surface of the one member is staggered with respect to the plurality of openings. An inkjet head having a plurality of depressions arranged in a shape.
【請求項2】 請求項1に記載のインクジェットヘッド
において、前記一方の部材がステンレス鋼材であり、前
記接合面に酸化膜が成膜されていることを特徴とするイ
ンクジェットヘッド。
2. The ink jet head according to claim 1, wherein said one member is made of stainless steel, and an oxide film is formed on said joint surface.
【請求項3】 請求項に記載のインクジェットヘッドに
おいて、前記酸化膜がアニール処理又はプラズマ処理に
より形成されていることを特徴とするインクジェットヘ
ッド。
3. An ink jet head according to claim 1, wherein said oxide film is formed by an annealing process or a plasma process.
【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかに記載のイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記接着剤がポリイミド
系接着剤であることを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
4. The ink jet head according to claim 1, wherein said adhesive is a polyimide-based adhesive.
【請求項5】 請求項4に記載のインクジェットヘッド
において、前記接着剤の膜厚が1μm〜4μmの範囲に
あることを特徴とするインクジェットヘッド。
5. The ink jet head according to claim 4, wherein the thickness of the adhesive is in a range of 1 μm to 4 μm.
【請求項6】 請求項1ないし3のいずれかに記載のイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記接着剤がエポキシ系
接着剤であることを特徴とするインクジェットヘッド。
6. The ink jet head according to claim 1, wherein the adhesive is an epoxy adhesive.
【請求項7】 請求項6に記載のインクジェットヘッド
において、前記接着剤の膜厚が2μmを越えないことを
特徴とするインクジェットヘッド。
7. The ink jet head according to claim 6, wherein the thickness of the adhesive does not exceed 2 μm.
【請求項8】 請求項1ないし7のいずれかに記載のイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記一方の部材の開口部
がインク流路溝又はインク流路孔であることを特徴とす
るインクジェットヘッド。
8. The ink jet head according to claim 1, wherein the opening of the one member is an ink flow channel or an ink flow channel hole.
【請求項9】 請求項1に記載のインクジェットヘッド
を製造するインクジェットヘッドの製造方法において、
前記一方の部材の窪み側から開口部側へ転写ローラで接
着剤を転写して塗布することを特徴とするインクジェッ
トヘッドの製造方法。
9. A method for manufacturing an ink-jet head for manufacturing the ink-jet head according to claim 1,
A method of manufacturing an ink jet head, wherein an adhesive is transferred and applied from a concave side to an opening side of the one member by a transfer roller.
JP11204290A 1999-07-19 1999-07-19 Ink-jet head and its manufacture Pending JP2001030488A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11204290A JP2001030488A (en) 1999-07-19 1999-07-19 Ink-jet head and its manufacture

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11204290A JP2001030488A (en) 1999-07-19 1999-07-19 Ink-jet head and its manufacture

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001030488A true JP2001030488A (en) 2001-02-06

Family

ID=16488041

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11204290A Pending JP2001030488A (en) 1999-07-19 1999-07-19 Ink-jet head and its manufacture

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001030488A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013144436A (en) * 2011-12-15 2013-07-25 Canon Inc Method of manufacturing liquid ejection head
JP2016141131A (en) * 2015-02-05 2016-08-08 株式会社リコー Droplet ejection head, method of manufacturing droplet ejection head and image forming apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013144436A (en) * 2011-12-15 2013-07-25 Canon Inc Method of manufacturing liquid ejection head
JP2016141131A (en) * 2015-02-05 2016-08-08 株式会社リコー Droplet ejection head, method of manufacturing droplet ejection head and image forming apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20110148994A1 (en) Print Head Having a Polymer Aperture Plate and Method for Assembling a Print Head
US8082641B2 (en) Method of manufacturing a ductile polymer-piezoelectric material composite
JP4508595B2 (en) Liquid ejecting head, manufacturing method thereof, and liquid ejecting apparatus
JPH11348297A (en) Manufacture of ink jet head
JP6330365B2 (en) Bonding method, bonded body manufacturing apparatus, bonded body, inkjet head unit, and inkjet recording apparatus
JP2001030488A (en) Ink-jet head and its manufacture
JP6273901B2 (en) Bonding method, bonded body manufacturing apparatus, bonded body, inkjet head unit, and inkjet recording apparatus
JP2948429B2 (en) Method of manufacturing inkjet head
JP3539653B2 (en) Inkjet head
JPH1158736A (en) Ink jet head and manufacture thereof
JP4213268B2 (en) Inkjet head
JP2001113696A (en) Ink-jet head and its manufacturing method
JPH09123466A (en) Manufacture of ink jet printer head
JP6589431B2 (en) Bonded body, bonding method, and electronic apparatus
JPH05318750A (en) Production of ink jet head
JPH11179923A (en) Manufacture of ink jet printer head
JP2002272145A (en) Electrostatic actuator, and ink jet head and ink jet printer therewith
JP2004188687A (en) Inkjet head and inkjet recording apparatus
JP2004142296A (en) Inkjet head and inkjet-type recording device
JP2015157386A (en) Bonding method, manufacturing apparatus of bonding body and bonding body
JPH07285223A (en) Piezoelectric driving ink jet head
JPH04263955A (en) Manufacture of ink jet head
JP2002086740A (en) Ink jet head and method of making the same
JP2015160386A (en) Joining method, apparatus of manufacturing joined body, joined body, ink jet head unit, and ink jet type recording apparatus
JPH09141879A (en) Manufacture of ink jet print head

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees