JP2001021615A - Contact probe of socket for inspecting bga - Google Patents

Contact probe of socket for inspecting bga

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JP2001021615A
JP2001021615A JP11192006A JP19200699A JP2001021615A JP 2001021615 A JP2001021615 A JP 2001021615A JP 11192006 A JP11192006 A JP 11192006A JP 19200699 A JP19200699 A JP 19200699A JP 2001021615 A JP2001021615 A JP 2001021615A
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JP
Japan
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solder ball
contact probe
terminal
package
socket
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JP11192006A
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Japanese (ja)
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Satoshi Kakegawa
聡 掛川
Masahiro Nakano
正浩 中野
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Yokowo Co Ltd
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Yokowo Co Ltd
Yokowo Mfg Co Ltd
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    • G01R1/07314Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make stable measurement for inspection performable by allowing a terminal part to have a conical recessed part for receiving a solder ball at the tip and at the same time, to have a plurality of slits reaching an area near the bottom part of the conical recessed part from the tip. SOLUTION: The contact probe 1 is provided with a cylindrical body 1C, and terminal parts 1A and 1B are inserted into the cylindrical body 1C while they cannot be pulled out at both ends in a vertical direction. The terminal part 1A positioned at a side opposing the solder ball of an IC package out of the terminal parts 1A and 1B has the conical recessed part 1A1 at the tip, and a slit 1A2 reaching the bottom surface of the conical recessed part 1A1 from the tip is formed in all directions at the periphery. A coil spring 1D is loaded between the terminal parts 1A and 1B, thus giving a projection habit for the terminals 1A and 1B, thus compressing the terminal part 1A to the solder ball and enabling the terminal part 1A to bite the solder ball by the slit 1A2 formed at the terminal part 1A.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ボールグリッドア
レイ(BGA)検査用ソケットのコンタクトプローブに
関し、更に詳しくは、ボールグリッドアレイを備えたI
Cパッケージの製品検査の際に用いられるソケットにお
いて、BGAとの接触部を形成するコンタクトプローブ
の端子構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a contact probe for a ball grid array (BGA) inspection socket, and more particularly, to a contact probe having a ball grid array.
The present invention relates to a terminal structure of a contact probe that forms a contact portion with a BGA in a socket used for product inspection of a C package.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体等の電子部品を電子機器へ実装す
る技術においては電子機器の高性能化或いは高密度化に
対応することが望まれており、また、このような電子機
器の高性能化或いは高密度化を実現する場合には、それ
に伴って配線の小型化も望まれている。従来、これらの
要求に応える方式として、プリント回路基板の多層化が
行われている。そして、この多層化されたプリント回路
基板に実装されるIC等の電子部品においても高密度化
されることで多ピン化される傾向にあり、このため、I
Cパッケージの一つとして、従来のような外部端子をプ
リント回路基板に実装するのではなく、半田ボールを格
子状に配列したボールグリッドアレイ(以下、BGAと
いう。)が用いられるケースが多くなっている。このB
GAは、片面にて格子状に配列されている半田ボールに
対して弾性付勢されて接触するコンタクトを介して多層
プリント回路基板の導体層と電気的に接続されるように
なっている。
2. Description of the Related Art In the technology of mounting electronic parts such as semiconductors on electronic equipment, it is desired to respond to higher performance or higher density of electronic equipment. Alternatively, when realizing high density, miniaturization of the wiring is desired accordingly. Conventionally, printed circuit boards have been multi-layered as a method for meeting these demands. Electronic components such as ICs mounted on the multilayer printed circuit board also tend to have more pins due to higher densities.
As one of the C packages, a ball grid array (hereinafter, referred to as BGA) in which solder balls are arranged in a grid pattern instead of mounting external terminals on a printed circuit board as in the related art has been used in many cases. I have. This B
The GA is electrically connected to the conductor layer of the multilayer printed circuit board via a contact that is elastically urged and contacts the solder balls arranged in a grid on one side.

【0003】上記BGAを用いたICパッケージの通電
検査などをはじめとした製品検査を行う場合には、BG
Aにおける半田ボールの配列ピッチに対応して端子部を
配列したコンタクトプローブが装備されている専用ソケ
ットが用いられる。この専用ソケットは、該ソケット内
にBGAを有するICパッケージを装填し、半田ボール
とコンタクトプローブの端子部とを接触させるようにな
っている。
When performing a product inspection such as an energization inspection of an IC package using the BGA, a BG
A dedicated socket equipped with a contact probe in which terminals are arranged corresponding to the arrangement pitch of the solder balls in A is used. In this dedicated socket, an IC package having a BGA is loaded in the socket, and the solder ball is brought into contact with the terminal portion of the contact probe.

【0004】図4は、上記製品検査に用いられるソケッ
トの構造を示す説明図である。同図において、ソケット
Aは、検査対象となるICパッケージBの外形寸法に対
応したパッケージ装填用凹部A1が形成され、このパッ
ケージ装填用凹部A1には、ICパッケージBの半田ボ
ールB1の配列ピッチに合わせた開口部が形成されてお
り、その開口部には半田ボールB1に当接可能な端子部
C1を有するコンタクトプローブC1が配置されてい
る。なお、図4において、符号Dは、コンタクトプロー
ブCにおける端子部C2が接触する端子部を有した検査
回路基板を示している。上記構成の検査用ソケットAに
おいては、装填されるICパッケージBの半田ボールB
1とコンタクトプローブCにおける端子部C1との位置
決めがなされ、各半田ボールB1の中心位置(L1)と
各端子部C1の中心、つまりコンタクトプローブCの中
心位置(S1)とを整合させるようになっている。
FIG. 4 is an explanatory view showing the structure of a socket used for the above product inspection. In the figure, a socket A is formed with a package mounting recess A1 corresponding to the outer dimensions of an IC package B to be inspected. The package mounting recess A1 has an arrangement pitch of the solder balls B1 of the IC package B. A matching opening is formed, and a contact probe C1 having a terminal portion C1 that can contact the solder ball B1 is arranged in the opening. In FIG. 4, reference symbol D indicates an inspection circuit board having a terminal portion with which the terminal portion C2 of the contact probe C contacts. In the inspection socket A having the above configuration, the solder balls B of the IC package B to be loaded are provided.
1 and the terminal portion C1 of the contact probe C are positioned, and the center position (L1) of each solder ball B1 and the center of each terminal portion C1, that is, the center position (S1) of the contact probe C are aligned. ing.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述した検査用ソケッ
トにおけるコンタクトプローブの構造は図5のようにな
っている。図5において、コンタクトプローブCは筒体
C3を備えており、その筒体C3の内部には、縦方向に
抜け止めされた状態で端子部C1,C2が挿嵌されてい
る。この端子部のうち、ICパッケージBの半田ボール
B1と対向する側に位置する端子部C1は、先端に円錐
状凹部C10が形成され、この凹部C10に半田ボール
B1を受入可能な形状とされている。また、上記端子部
C1,C2の間には、コイルバネC4が装填されてお
り、端子部C1,C2に対して突出習性を付与してい
る。これにより、端子部C1は半田ボールB1に対して
圧接し、また、端子部C2は検査用回路基板の端子に対
して圧接することで接触不良が起こり難くされている。
FIG. 5 shows the structure of the contact probe in the above-described test socket. In FIG. 5, the contact probe C includes a cylindrical body C3, and terminal portions C1 and C2 are inserted into the cylindrical body C3 in a state where the terminal parts C1 and C2 are prevented from falling off in the vertical direction. Of the terminal portions, the terminal portion C1 located on the side facing the solder ball B1 of the IC package B has a conical concave portion C10 formed at the tip, and has a shape capable of receiving the solder ball B1 in the concave portion C10. I have. A coil spring C4 is mounted between the terminal portions C1 and C2 to give the terminal portions C1 and C2 a projecting behavior. Accordingly, the terminal portion C1 is pressed against the solder ball B1, and the terminal portion C2 is pressed against the terminal of the inspection circuit board, so that poor contact is less likely to occur.

【0006】しかしながら、上述した検査用ソケットに
おけるコンタクトプローブの構造では、端子部C1の円
錐状凹部C10がカップ状になっているため、この端子
部C1が半田ボールB1と接触することによって生じる
半田カス等が円錐状凹部C10内に溜まって、通電検査
の測定値が正確に測定できないといった問題が生じる。
これを回避するために、一つのICパッケージBに対す
る検査用の測定が終了する度に、ソケットAのコンタク
トプローブCにおける端子部C1をクリーニングブラシ
によって清掃するメンテナンス作業が必要となってい
る。このメンテナンス作業は、クリーニングブラシで端
子部C1の円錐状凹部C10内に溜まった半田ガス等を
取り除くのであるが、クリーニングブラシが円錐状凹部
C10内に入りにくく、また、半田カスが静電気によっ
て円錐状凹部C10の底に付着しているので、簡単には
付着した半田カスを取り除くことができず、メンテナン
ス作業を困難にする問題があった。
However, in the above-described structure of the contact probe in the inspection socket, since the conical concave portion C10 of the terminal portion C1 has a cup shape, the solder residue generated when the terminal portion C1 comes into contact with the solder ball B1. And the like accumulate in the conical concave portion C10, and a problem arises in that the measured value of the conduction test cannot be accurately measured.
In order to avoid this, every time the measurement for inspection of one IC package B is completed, a maintenance work for cleaning the terminal portion C1 of the contact probe C of the socket A with a cleaning brush is required. In this maintenance work, the cleaning brush removes the solder gas and the like accumulated in the conical concave portion C10 of the terminal portion C1. Since it adheres to the bottom of the concave portion C10, the adhered solder residue cannot be easily removed, and there is a problem that the maintenance work becomes difficult.

【0007】本発明は、上記の問題を解決するために提
案されたものであって、ボールグリッドアレイ(BG
A)を備えたICパッケージの製品検査の際に用いられ
るソケットにおいて、BGAとの接触部を形成するコン
タクトプローブの構造を改善して、メンテナンス性の向
上を図り、安定した検査用の測定を可能にすることを目
的とする。
The present invention has been proposed to solve the above-mentioned problem, and is directed to a ball grid array (BG).
In sockets used for product inspection of IC packages equipped with A), the structure of the contact probe that forms the contact part with the BGA is improved, maintenance is improved, and stable measurement for inspection is possible. The purpose is to.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、ボールグリッドアレイ(BGA)を備え
たICパッケージの製品検査の際に用いられるソケット
に設けられ、BGAとの接触部を形成するコンタクトプ
ローブにおいて、上記BGAの半田ボールに対向する端
子部が、先端に該半田ボールを受ける円錐状凹部を有す
る共に、先端からこの円錐状凹部の底部付近まで到達す
る複数のスリットを有することを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a socket used for product inspection of an IC package having a ball grid array (BGA), and a contact portion with the BGA. In the contact probe, the terminal portion facing the solder ball of the BGA has a conical recess at the tip for receiving the solder ball, and has a plurality of slits reaching from the tip to near the bottom of the conical recess. It is characterized by the following.

【0009】上記の構成によると、端子部にスリットを
設けることにより、該端子部の円錐状凹部に溜まった半
田カス等の異物を取り除くクリーニングブラシが円錐状
凹部の底まで充分に届くようになり、該スリットの間隙
から半田カス等を簡単に掃き出すことができる。また、
上記のスリットを設けることにより、円錐状凹部内の半
田カス等が自然に端子部外に放出されることにもなる。
したがって、検査用ソケットにおけるコンタクトプロー
ブのメンテナンスを容易にすると共に、メンテナンス回
数を少なくすることができ、複数のICパッケージを連
続して検査・測定することができる。
According to the above arrangement, by providing the slit in the terminal portion, the cleaning brush for removing foreign matters such as solder residue accumulated in the conical concave portion of the terminal portion can sufficiently reach the bottom of the conical concave portion. In addition, solder scraps and the like can be easily swept out of the gap between the slits. Also,
By providing the above-mentioned slit, the solder residue and the like in the conical concave portion are naturally discharged to the outside of the terminal portion.
Therefore, the maintenance of the contact probe in the inspection socket can be facilitated, the number of maintenance operations can be reduced, and a plurality of IC packages can be continuously inspected and measured.

【0010】また、上記のメンテナンス性の改善と相ま
って、端子部に設けられたスリットによって半田ボール
を受ける円錐状凹部の開口が弾性的に拡径することで、
端子部が弾性的に半田ボールに食い付くようになり、半
田ボールと端子部との接触を良好にして安定した測定を
可能にする。
[0010] Further, in combination with the above-described improvement in maintainability, the opening of the conical concave portion for receiving the solder ball is elastically enlarged by the slit provided in the terminal portion.
The terminal portion elastically bites into the solder ball, and the contact between the solder ball and the terminal portion is improved to enable stable measurement.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を参
照して説明する。図1は本発明の一実施例に係る検査用
ソケットのコンタクトプローブの構成を示す説明図であ
り、同図(a)は全体の部分断面図、同図(b)は端子
部の構造を示す斜視図である。図において、コンタクト
プローブ1は筒体1Cを備えており、その筒体1Cの内
部には、縦方向両端に抜け止めされた状態で端子部1
A,1Bが挿嵌されている。端子部1A,1Bのうち、
ICパッケージの半田ボールと対向する側に位置する端
子部1Aは、先端に円錐状凹部1A1が形成されてお
り、その周辺には、先端から円錐状凹部1A1の底面に
至るスリット1A2が四方に形成されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory view showing the structure of a contact probe of an inspection socket according to one embodiment of the present invention. FIG. 1 (a) shows a partial cross-sectional view of the whole, and FIG. 1 (b) shows the structure of a terminal portion. It is a perspective view. In the figure, a contact probe 1 is provided with a cylindrical body 1C.
A and 1B are inserted. Of the terminal portions 1A and 1B,
The terminal portion 1A located on the side facing the solder ball of the IC package has a conical concave portion 1A1 formed at the tip, and slits 1A2 extending from the distal end to the bottom surface of the conical concave portion 1A1 are formed around the terminal portion 1A. Have been.

【0012】上記の端子部1A,1Bの間には、コイル
バネ1Dが装填されており、端子部1A,1Bに対して
突出習性を付与している。これにより、端子部1Aは半
田ボールに対して圧接され、端子部1Aに形成したスリ
ット1A2によって端子部1Aが半田ボールに食い付く
ようになる。これによって、端子部1Aと半田ボールと
の接触が確実になり、接触不良が起こりにくい。
A coil spring 1D is mounted between the terminal portions 1A and 1B to give the terminal portions 1A and 1B a projecting behavior. As a result, the terminal portion 1A is pressed against the solder ball, and the terminal portion 1A bites into the solder ball by the slit 1A2 formed in the terminal portion 1A. Thereby, contact between the terminal portion 1A and the solder ball is ensured, and poor contact hardly occurs.

【0013】図2,図3は、本発明の実施例に係るコン
タクトプローブ1を採用したBGA検査用ソケットの説
明図である。図1において、BGA検査用ソケット10
は、検査用回路基板12と一体化されているソケット本
体10Aと、パッケージ保持部材10Bとを備えてい
る。
FIGS. 2 and 3 are explanatory diagrams of a BGA inspection socket employing the contact probe 1 according to the embodiment of the present invention. In FIG. 1, a BGA inspection socket 10 is shown.
Includes a socket body 10A integrated with the inspection circuit board 12, and a package holding member 10B.

【0014】ソケット本体10A及びパッケージ保持部
材10Bとは共に電気絶縁性の樹脂材で形成されてお
り、ソケット本体10Aには、検査対象となるICパッ
ケージ13における半田ボール13Aの配列ピッチに合
わせて配置された接触部材を成す上記のコンタクトプロ
ーブ1が設けられている。
The socket body 10A and the package holding member 10B are both formed of an electrically insulating resin material. The socket body 10A is arranged in accordance with the arrangement pitch of the solder balls 13A in the IC package 13 to be inspected. The above-mentioned contact probe 1 which forms the contact member is provided.

【0015】上記コンタクトプローブ1は、後述するパ
ッケージ保持部材10Bにおける受け部10Cに形成さ
れている露出部10Dの内縁から最外側に位置するコン
タクトプローブ1’の配置位置に至る距離が予め決めら
れており、最外側のコンタクトプローブ1’を基準とし
て半田ボール13Aの配列ピッチに合わせた配列ピッチ
で残りのコンタクトプローブ1が配置されている。
In the contact probe 1, a distance from an inner edge of an exposed portion 10D formed in a receiving portion 10C of a package holding member 10B to be described later to an arrangement position of the outermost contact probe 1 'is predetermined. The remaining contact probes 1 are arranged at an arrangement pitch corresponding to the arrangement pitch of the solder balls 13A with reference to the outermost contact probe 1 '.

【0016】パッケージ保持部材10Bは、ソケット本
体10Aに植設されたガイドピン15により摺動可能に
支持され、底面とソケット本体10A側との間に配置さ
れたバネ16によって浮動状態に維持されるようになっ
ている。このパッケージ保持部材10Bには、ICパッ
ケージ13を載置するための凹部からなる受け部10C
が形成されており、その受け部10Cには、ICパッケ
ージ13の半田ボール13Aをコンタクトプローブ1に
向け露出させるための露出部10Dが形成されている。
本実施例では、上記露出部10Dが開口によって構成さ
れている。
The package holding member 10B is slidably supported by guide pins 15 implanted in the socket body 10A, and is maintained in a floating state by a spring 16 disposed between the bottom surface and the socket body 10A. It has become. The package holding member 10B has a receiving portion 10C formed of a concave portion for mounting the IC package 13.
An exposed portion 10D for exposing the solder ball 13A of the IC package 13 toward the contact probe 1 is formed in the receiving portion 10C.
In this embodiment, the exposed portion 10D is constituted by an opening.

【0017】露出部10Dは、図に示すように、ICパ
ッケージ13の半田ボール13Aのうちで最外側に位置
する半田ボール(便宜上、符号13A1で示す。)と当
接可能な大きさ(P)により形成されている(図3)。
なお、図示しないが、ICパッケージ13の半田ボール
13Aは、縦横の配列ピッチが同じにされて同数設けら
れているので、図3における大きさ(P)は紙面に直角
な方向でも同じとされている。
As shown in the drawing, the exposed portion 10D has a size (P) that can contact the outermost solder ball 13A1 of the solder ball 13A of the IC package 13 for convenience. (FIG. 3).
Although not shown, since the solder balls 13A of the IC package 13 are provided in the same number in the vertical and horizontal pitches, the size (P) in FIG. 3 is the same even in the direction perpendicular to the paper surface. I have.

【0018】本実施例に以上のような構成であるから、
ICパッケージ13の製品検査を行う場合には、半田ボ
ール13Aを検査用ソケット10に配置されているコン
タクトプローブ1に向けた状態で検査対象であるICパ
ッケージ13をパッケージ保持部材10Bの受け部10
Cに載置する。パッケージ保持部材10Bの受け部10
Cに載置されたICパッケージ13は、図2に示すよう
に、半田ボール13Aのうちの最外側に位置する半田ボ
ール13A1を露出部10Dを構成する開口の内縁に当
接させた状態とされる。半田ボール13Aのうちの最外
側に位置する半田ボール13A1が露出部10Dをなす
開口内縁に当接させられると、その半田ボール13A1
を基準として予め配列ピッチが決められている各半田ボ
ール13Aの中心位置とソケット本体10Aに配置され
ているコンタクトプローブ1の中心位置とが整合され
る。
Since the configuration of the present embodiment is as described above,
When the product inspection of the IC package 13 is performed, the IC package 13 to be inspected is placed in the receiving portion 10B of the package holding member 10B with the solder ball 13A facing the contact probe 1 arranged in the inspection socket 10.
Place on C. Receiving part 10 of package holding member 10B
As shown in FIG. 2, the IC package 13 placed on C is in a state where the outermost solder ball 13A1 of the solder balls 13A is brought into contact with the inner edge of the opening forming the exposed portion 10D. You. When the outermost solder ball 13A1 of the solder balls 13A is brought into contact with the inner edge of the opening forming the exposed portion 10D, the solder ball 13A1
The center position of each solder ball 13A whose arrangement pitch is determined in advance with reference to the center position of the contact probe 1 arranged on the socket body 10A is matched.

【0019】つまり、検査用ソケット10におけるコン
タクトプローブ1は、パッケージ保持部材10Bに露出
部10Dを構成する開口内縁を基準として最外側に位置
するコンタクトプローブ1’の位置が決められているの
で、露出部10Dをなす開口内縁に当接した位置を基準
とする半田ボール13との対向位置関係は同じ露出部1
0Dをなす開口内縁を位置決め基準としていることで整
合させることができる。このため、ICパッケージ13
における外周部から最外側に位置する半田ボール13A
1までの距離が機械的な誤差により異なっていても、半
田ボール13Aとコンタクトプローブ1との位置関係は
ずれることなく整合されることとなる。コンタクトプロ
ーブ1の位置と整合されたICパッケージ13は、パネ
16の習性に抗してソケット本体10A側に押し込まれ
ることにより半田ボール13Aをコンタクトプローブ1
に当接させることができ、このときの中心位置(図4に
おいて符号L1,S1で示す位置)が互いに一致した状
態で当接し、検査に必要な電気的導通状態が設定され
る。
In other words, the contact probe 1 in the inspection socket 10 is exposed because the position of the outermost contact probe 1 'is determined with reference to the inner edge of the opening forming the exposed portion 10D in the package holding member 10B. The position of opposition to the solder ball 13 with respect to the position in contact with the inner edge of the opening forming the portion 10D is the same as the exposed portion 1
The alignment can be performed by using the inner edge of the opening forming 0D as the positioning reference. Therefore, the IC package 13
Ball 13A located on the outermost side from the outer peripheral portion
Even if the distance to 1 is different due to a mechanical error, the positional relationship between the solder ball 13A and the contact probe 1 is aligned without shifting. The IC package 13 aligned with the position of the contact probe 1 is pushed into the socket body 10A side against the behavior of the panel 16 so that the solder ball 13A is pushed into the contact probe 1A.
The center positions (positions indicated by reference numerals L1 and S1 in FIG. 4) at this time are in contact with each other, and an electrical conduction state required for inspection is set.

【0020】この際、コンタクトプローブ1は、コイル
バネ1Dによって突出習性が付与されているので、露出
部10Dの内縁によって位置決めされた半田ボール13
Aに対して端子部1Aが圧接し、そして、端子部1Bが
検査用回路基板12の端子部に圧接することで検査用回
路基板12からICパッケージ13への通電路が途中で
接触不良を起こすことなく確保されることになる。
At this time, since the contact probe 1 is provided with a projecting behavior by the coil spring 1D, the solder ball 13 positioned by the inner edge of the exposed portion 10D is provided.
When the terminal portion 1A is pressed against A, and the terminal portion 1B is pressed against the terminal portion of the test circuit board 12, the current path from the test circuit board 12 to the IC package 13 causes a contact failure on the way. It will be secured without.

【0021】そして、上記の検査用ソケット10にIC
パッケージ13を装填して検査を行うと、ICパッケー
ジ13の半田ボール13Aがコンタクトプローブ1の端
子部1Aに接触することによって、半田ボール13Aか
ら半田カスが生じるが、端子部1Aにはスリット1A2
が形成されているため、このスリット1A2から半田カ
スが排出され、適正な通電を確保した状態である程度連
続的にICパッケージ13の検査を行うことができる。
しかしながら、ICパッケージ13の検査を複数個続け
ていくと、半田カスがコンタクトプローブ1の端子部1
Aにおける円錐状凹部1A1内に溜まってくるので、こ
れを取り除くためのメンテナンス作業が必要となる。こ
のメンテナンス作業は、クリーニングブラシによって半
田カスを端子部1Aから除去するものであるが、この端
子部1Aにはスリット1A2が形成されているので、ク
リーニングブラシが円錐状凹部1A1の底部にまで充分
届き、また、スリット1A2から簡単に半田カスを排出
することができる。
Then, an IC is connected to the inspection socket 10 described above.
When the package 13 is loaded and the inspection is performed, the solder ball 13A of the IC package 13 comes into contact with the terminal 1A of the contact probe 1 to generate solder scum from the solder ball 13A, but the terminal 1A has a slit 1A2.
Is formed, the solder scum is discharged from the slit 1A2, and the IC package 13 can be inspected to some extent continuously in a state where proper energization is secured.
However, when a plurality of inspections of the IC package 13 are continued, the solder residue may
Since it accumulates in the conical concave portion 1A1 in A, a maintenance work is required to remove it. In this maintenance work, the solder residue is removed from the terminal portion 1A by a cleaning brush. The slit 1A2 is formed in the terminal portion 1A, so that the cleaning brush reaches the bottom of the conical concave portion 1A1 sufficiently. In addition, the solder residue can be easily discharged from the slit 1A2.

【0022】[0022]

【発明の効果】本発明は、ボールグリッドアレイ(BG
A)を備えたICパッケージの製品検査の際に用いられ
るソケットに設けられ、BGAとの接触部を形成するコ
ンタクトプローブにおいて、上記BGAの半田ボールに
対向する端子部が、先端に該半田ボールを受ける円錐状
凹部を有する共に、先端からこの円錐状凹部の底部付近
まで到達する複数のスリットを有することにより、端子
部の円錐状凹部に溜まった半田カス等の異物を取り除く
クリーニングブラシが円錐状凹部の底まで充分に届くよ
うになり、該スリットの間隙から半田カス等を綺麗に掃
き出すことができるので、検査用ソケットにおけるコン
タクトプローブのメンテナンスを容易にすることができ
る。また、上記のスリットを設けることにより、円錐状
凹部内の半田カス等が自然に端子部外に放出されること
にもなり、メンテナンス回数を少なくすることができ、
複数のICパッケージを連続して検査・測定することが
できる。また、上記のメンテナンス性の改善と相まっ
て、端子部に設けられたスリットによって、端子部が弾
性的に半田ボールに食い付くようになり、半田ボールと
端子部との接触を良好にして安定した測定を可能にす
る。
The present invention relates to a ball grid array (BG).
In a contact probe provided in a socket used for product inspection of an IC package provided with A) and forming a contact portion with the BGA, the terminal portion facing the solder ball of the BGA has the solder ball at the tip. The cleaning brush has a plurality of slits extending from the tip to the vicinity of the bottom of the conical recess, thereby removing foreign matters such as solder residue accumulated in the conical recess of the terminal portion. Suffices to reach the bottom of the contact socket, and solder scraps and the like can be neatly swept out of the gap between the slits, so that maintenance of the contact probe in the inspection socket can be facilitated. In addition, by providing the above-mentioned slits, the solder residue and the like in the conical concave portion are naturally released outside the terminal portion, so that the number of maintenance can be reduced,
A plurality of IC packages can be inspected and measured continuously. Further, in combination with the improvement of the above-mentioned maintainability, the slit provided in the terminal portion allows the terminal portion to elastically bite into the solder ball, thereby improving the contact between the solder ball and the terminal portion and ensuring stable measurement. Enable.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例に係るコンタクトプローブの説
明図。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a contact probe according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例に係るコンタクトプローブを備
えた検査用ソケットの説明図。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a test socket including a contact probe according to the embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施例に係るコンタクトプローブを備
えた検査用ソケットの説明図。
FIG. 3 is an explanatory diagram of a test socket including a contact probe according to the embodiment of the present invention.

【図4】従来の検査用ソケットの説明図。FIG. 4 is an explanatory view of a conventional inspection socket.

【図5】従来のコンタクトプローブの説明図。FIG. 5 is an explanatory view of a conventional contact probe.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 コンタクトプローブ 1A,1B 端子部 1A1 円錐状凹部 1A2 スリット 1C 筒体 1D コイルバネ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Contact probe 1A, 1B Terminal part 1A1 Conical recess 1A2 Slit 1C Tubular body 1D Coil spring

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ボールグリッドアレイ(BGA)を備え
たICパッケージの製品検査の際に用いられるソケット
に設けられ、BGAとの接触部を形成するコンタクトプ
ローブにおいて、 上記BGAの半田ボールに対向する端子部が、先端に該
半田ボールを受ける円錐状凹部を有する共に、先端から
この円錐状凹部の底部付近まで到達する複数のスリット
を有することを特徴とするBGA検査用ソケットのコン
タクトプローブ。
1. A contact probe provided in a socket used for product inspection of an IC package having a ball grid array (BGA) and forming a contact portion with the BGA, a terminal facing the solder ball of the BGA. A contact probe for a BGA inspection socket, characterized in that the portion has a conical recess at the tip for receiving the solder ball and has a plurality of slits reaching from the tip to near the bottom of the conical recess.
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