JP2001013677A - Method of washing pellicle housing container - Google Patents

Method of washing pellicle housing container

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JP2001013677A
JP2001013677A JP18135499A JP18135499A JP2001013677A JP 2001013677 A JP2001013677 A JP 2001013677A JP 18135499 A JP18135499 A JP 18135499A JP 18135499 A JP18135499 A JP 18135499A JP 2001013677 A JP2001013677 A JP 2001013677A
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pellicle
washing
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ultrasonic
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JP18135499A
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Japanese (ja)
Inventor
Kazutoshi Sekihara
一敏 関原
Original Assignee
Shin Etsu Chem Co Ltd
信越化学工業株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate the need for the manpower of washing work and to improve the washing capacity and productivity by successively executing a shower washing to spray a washing liquid and an ultrasonic washing with a surfactant and in pure water, then executing dehydration and drying. SOLUTION: This method consists of respective stages for the shower washing to spray the washing liquid from a nozzle, the ultrasonic washing using the surfactant aqueous solution as the washing liquid, the shower washing to spray the pure water from the nozzle, the ultrasonic washing to use the pure water as the washing liquid, dehydrating and drying. The high washing capability may be obtained by executing the ultrasonic washing by taking the arrangement of the wash in shower washing and washing tanks and the flow of the washing liquid into consideration. The washing device is successively arrayed with the shower washing device 121, the ultrasonic washing device 122 using the aqueous surfactant solution, the shower washing device 123 using the pure water, ultrasonic washing device 124 using the pure water, the shower washing device 123 using the pure water, the dehydrating device 125 and the drying device 126 on a washing device stand 120.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リソグラフィー用ペリクル、特にはLSI、超LSIなどの半導体装置あるいは液晶表示板を製造する際のゴミよけとして、実質的に500nm以下の光を用いる露光方式に有用な帯電防止されたリソグラフィー用ペリクルの収納容器の洗浄方法に関するものである。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention provides a lithographic pellicle, in particular LSI, a shade waste in the manufacture of semiconductor devices or liquid crystal display panels, such as ultra LSI, exposure method using the following light substantially 500nm to a method of cleaning a storage container of useful antistatic been lithographic pellicle.

【0002】 [0002]

【従来の技術】LSI、超LSIなどの半導体或いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウエハー或いは液晶用原板に光を照射してパターニングが行われるが、 BACKGROUND ART LSI, in the manufacture of semiconductor or liquid crystal display panel, such as ultra LSI, but the patterning is performed by irradiating light to a semiconductor wafer or a liquid crystal master plate,
このときに用いる露光原板にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、下地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観などが損なわれるという問題があった。 When attached dust on the exposure master plate used in this case, in order to thereby bend the light or the dust absorbs light or deformed transferred pattern, in addition to the ones edge is Gasatsui, underlying it is black, dirty, there is a problem that size, quality, such as the appearance is impaired. このため、これらの作業は通常クリーンルーム内で行われているが、このクリーンルーム内でも露光原板を常に清浄に保つことが難しいので、露光用の光をよく透過させるペリクル膜を、ゴミなどの異物よけのために、露光原板の表面に貼着する方法が採られている。 Therefore, these tasks are performed in the usual clean room, since it is difficult to keep the exposure master plate in the clean room is always clean, the pellicle film for better transmission of light for exposure, foreign matter such as dust only for a method of attaching to the surface of the exposure master plate is adopted. この場合、異物は露光原板の表面には付着せず、ペリクル膜に付着するため、リソグラフィー時に焦点を露光原板のパターン面に合わせておけば、ペリクル膜上の異物は転写に無関係となる。 In this case, foreign matter does not adhere to the surface of the exposure master plate, for attachment to the pellicle film, if focused upon lithographic pattern surface of the exposure master plate, the foreign matter on the pellicle film is involved in the replication.

【0003】ペリクルは、通常、光をよく透過させるニトロセルロース、酢酸セルロースなどからなる透明なペリクル膜を、アルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペリクルフレームの上端面に、ペリクル膜の良溶媒を塗布して接着し(米国特許第4861402 [0003] The pellicle is usually nitrocellulose to well transmit light, a transparent pellicle film made of cellulose acetate, aluminum, stainless steel, the upper end face of the pellicle frame made of polyethylene, a good solvent for the pellicle film is applied bonded Te (US Patent No. 4,861,402
号明細書、特公昭63−27707号公報参照)、さらに、ペリクルフレームの下端面には、露光原板に装着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的とした離型層(セパレータ)を形成している。 Pat, see Japanese Patent Publication No. Sho 63-27707), and further, the lower end face of the pellicle frame, polybutene resin for attachment to an exposure master plate, a polyvinyl acetate resin, an adhesive layer made of acrylic resin, and the adhesive layer forming a release layer for the purpose of (separator) of protection. また、このペリクルは、ペリクル膜を露光原板に貼り付けた状態において、ペリクルフレーム内部に囲まれた露光原板上の空間と外部との気圧差をなくすことを目的として、ペリクルフレームの一部に気圧調整用の小孔を開け、小孔を通じて移動する空気からの異物侵入を防ぐために、フィルターを設置する等の工夫がなされている(実公昭63− Furthermore, the pellicle, in a state in which paste the pellicle film to the exposure master plate, the purpose of eliminating the pressure difference between the space and the outside of the exposure master plate surrounded inside the pellicle frame, pressure on a part of the pellicle frame It drilled a small hole for adjustment, in order to prevent foreign matter from air moving through the small holes, contrivance such as installing a filter has been made (Japanese Utility Model 63-
393703号公報参照)。 See Japanese Unexamined Patent Publication No. 393703).

【0004】ペリクル膜を露光原板へ貼り付けるには、 [0004] to paste the pellicle membrane to the exposure master plate is,
一般にペリクルを収納容器から自動あるいは手動にて取り出し、直ちにペリクル膜面及びペリクルフレーム内壁の異物検査を行い、セパレータを除去した後、露光原板の所定の位置に合わせ、露光原板に平行にペリクルフレームに一定時間、一定荷重をかけて貼り付ける方法が採られている。 Generally taken out by the automatic or manual pellicle from the container, immediately performs foreign matter inspection of the pellicle film face and the pellicle frame inner wall, after removal of the separator, combined at a predetermined position of the exposure master plate, parallel to the pellicle frame to an exposure master plate a certain period of time, how to paste over a period of load has been taken. このとき、貼り付け前の異物検査において、ペリクル膜面あるいはペリクルフレーム内壁に許容できない大きさの異物があった場合、これを除去するには、ペリクルの材質及び構造からエアブロー等の簡易な方法しか採れない。 At this time, the paste before particle inspection, if there is the size of the foreign matter unacceptable pellicle film surface or pellicle frame inner wall, To remove this, only a simple method air blow such as a material and structure of the pellicle not caught. このため、ペリクルに異物の付着があった場合、そのほとんどが直ちに不良品とされる。 Therefore, if there is adhesion of foreign matter to the pellicle, most of which are immediately to be defective. これらの理由により、保管及び輸送中において、ペリクルに異物の付着は決してあってはならず、ペリクル収納容器、特にその内側表面には、きわめて高い清浄度が要求される。 For these reasons, during storage and transportation, pellicle attachment of foreign matter must not in any way a pellicle container, in particular its inner surface, very high cleanliness is required.

【0005】図1は、本発明が対象とする一般的なペリクル収納容器であり、(a)は斜視図、(b)は(a) [0005] Figure 1 is a general pellicle container to which the present invention is directed, (a) is a perspective view, (b) is (a)
に示したペリクル収納容器のA−A矢視線にそう縦断面図である。 Yes longitudinal sectional view on A-A arrow line of the pellicle container shown in. ペリクル収納容器は、上蓋1、トレイ2及びこれらを4隅の角で結合保持するクリップ3から構成されている。 The pellicle receiving container, upper cover 1, and a clip 3 which binds holding tray 2 and these 4 corners of the square. トレイ2はペリクル(図示せず)を載置保持し、上蓋1はトレイ2に嵌合してペリクルを覆い、ペリクルの損傷及び異物の付着を防ぐ。 Tray 2 is mounted and held the pellicle (not shown), the upper cover 1 covers the pellicle fitted in the tray 2 to prevent the pellicle damage and adhesion of foreign matter.

【0006】これらの構成部材は、アルミニウム合金、 [0006] These components are aluminum alloys,
ステンレス鋼等の金属で製作することも可能であるが、 It is also possible to manufacture a metal such as stainless steel,
一般には、大量生産に向いている、製造コストが低い、 In general, is suitable for mass production, the manufacturing cost is low,
表面が滑らかである等の理由により、樹脂を射出成形して製造される。 Reasons isosurface is smooth, it is producing a resin by injection molding. このとき用いられる樹脂の材質としては、例えば、ABS、PVC、PPなどが挙げられる。 As the material of the resin used at this time, for example, ABS, PVC, PP, and the like.
射出成形機は、油圧を利用して、金型中に樹脂を高速、 Injection molding machine, by utilizing the hydraulic pressure, fast resin into the mold,
高圧で充填して製品を得る装置であるため、一般に、射出成形工場の製造現場は、機械の潤滑油、グリース等の油脂類、作業者の着衣等からの繊維くず等の異物が周辺及び空間中に大量に存在する不清浄な環境となっている。 Since then filled with a high pressure is a device to obtain a product, generally, the manufacturing site of the injection molding plant, machinery lubricants, fats and oils such as grease, foreign matter around and spaces fiber scraps from clothes or the like of the operator It has become a non-clean environment that is present in large amounts in. さらに成形に際しては、金型に樹脂が固着するのを防ぐために、離型剤(粉末または液体)も使用される。 In further shaped in order to prevent the resin from sticking to the mold, release agents (powder or liquid) is also used.
このため、加工業者から納入されるペリクル収納容器の表面は、多種多様な異物が無数に付着した極めて不清浄な状態となっている。 Therefore, the surface of the pellicle container to be delivered from the processors has a wide variety of highly non clean state foreign matter myriad attached.

【0007】 [0007]

【発明が解決しようとする課題】現在、低コストで高性能な洗浄方法としては、超音波洗浄が半導体工業のみならず一般に広く採用されている。 [0005] Currently, as a high performance cleaning method at low cost, is widely used in general not ultrasonic cleaning semiconductor industry only. 超音波洗浄の代表的な特徴として、洗浄力が強力であることや、複雑な形状や細かなものでも隅々まで洗浄できることが挙げられる。 Typical features of ultrasonic cleaning, and it detergency is strong, and can be cleaned every corner also complex shapes and ones fine.
これは、超音波の基本的な性質によるもので、複雑な形状や表面に凹凸があっても、洗浄液中で超音波が回折して隅々まで回り込み、また、超音波を照射された被洗浄物が、超音波を反射して別の面に超音波を伝えるなどの現象が起こっていることによる。 This is due to the basic nature of ultrasound, even if irregularities in complex shapes and surfaces, wraparound every corner ultrasonically diffraction in the wash liquor, also, it is cleaned, which is irradiated with ultrasonic waves things, due to the fact that phenomena such as transmitting an ultrasonic wave to another aspect reflects ultrasound is happening. しかしながら、被洗浄物の材質の硬度が低いもの、例えば、樹脂やゴムなどの場合、照射された超音波を吸収してしまうという現象が生じ、本来の洗浄効果は見込めない。 However, those hardness of the material of the object to be cleaned is low, for example, in the case of resin or rubber, phenomenon absorbs the ultrasonic waves radiated occurs, unlikely the original cleaning effect. 特に超音波の照射方向に面していない部分では、照射された面から反射された超音波が届くといった現象は全く期待できず、洗浄能力が著しく低下する。 Especially in the portion not facing the irradiation direction of the ultrasound, phenomena such ultrasonic waves reflected from the illuminated surface arrives can not be expected at all, cleaning performance is remarkably lowered. このため、一般的な樹脂製で複雑な形状のペリクル容器に対しては、超音波洗浄のみでペリクル容器の全面にわたって良好な洗浄品質を得ることは不可能であった。 Therefore, with respect to the pellicle container general resin-made in complex shapes, the only ultrasonic cleaning obtain good cleaning quality over the entire surface of the pellicle container was impossible.

【0008】上記理由により、従来、上蓋1とトレイ2 [0008] By the above reasons, conventionally, the upper cover 1 and the tray 2
については、強力なスクラブ(scrub )洗浄を行って殆どの異物を除去した後、界面活性剤水溶液中で超音波洗浄を行い、ついで純水中で超音波洗浄する方法が採られていた。 For, after removal of the strong scrub (scrub) most of the foreign matter by performing washing, subjected to ultrasonic cleaning with an aqueous surfactant solution and then was how to ultrasonic cleaning is taken in pure water. ペリクル収納容器は多くの曲面や突起を有するため、スクラブ作業を装置化することはきわめて困難であり、それゆえに、スクラブ洗浄は手作業で行われていた。 Since the pellicle receiving container having many curved surfaces and projections, it is very difficult to device the scrub operations, therefore, scrubbing was done by hand. この方法は、人手によるスクラブ作業に洗浄力の多くを頼っているため、手作業のムラにより洗浄品質にばらつきを生じ、また作業者の肉体的負担がきわめて大きく、大量生産に不向きという問題があった。 This method, because it is relying on a lot of cleaning power to scrub work by hand, cause variations in the cleaning quality by the unevenness of the manual, and physical burden on the operator is very large, there is a problem that not suitable for mass production It was.

【0009】また、洗浄したペリクル収納容器は、使用するまでに乾燥させなければならないが、一般的な樹脂製のペリクル収納容器は、熱により変形しやすいため、 Further, washed pellicle container is must be dried before use, pellicle container made of common resin, and is easily deformed by heat,
強制乾燥の温度条件には制限がある。 The temperature conditions of forced drying is limited. 材質にもよるが、 Depending on the material,
例えば、ABS樹脂の場合、70℃以上に加熱するとペリクル収納容器として許容できない大きさの変形が生ずる。 For example, in the case of ABS resin, deformation of magnitude occurs unacceptable as a pellicle container when heated above 70 ° C.. さらに、樹脂の場合、水に対する濡れ性が悪いため、水は表面で広がらず、表面張力で凝集して滴状になる。 Furthermore, in the case of the resin, because of poor wettability with water, water is not spread on the surface, it becomes dropwise aggregate by surface tension. このため、洗浄後のペリクル収納容器の乾燥は、許容できる乾燥温度が低いこと、付着している水の表面積の小さいことが相まって、非常に困難である。 Therefore, drying of the pellicle container after washing, it acceptable drying temperature is low, less surface area of ​​the water adhering the combination is very difficult. ペリクル収納容器の材質にもよるが、フィルターを介して温風を吹き付ける温風乾燥機を使用した場合、完全に乾燥させるためには概ね30分以上を必要とし、極めて生産性が悪い。 Depending on the material of the pellicle container, when using the hot air dryer for blowing hot air through a filter, and requires approximately 30 minutes or more in order to completely dry, poor very productive. このため、大量に処理する場合には、著しく大型の温風乾燥機を用意する必要があった。 Therefore, when processing a large amount, it is necessary to prepare a considerably large hot air dryer. しかし、実際には、製作できる乾燥機の大きさには制限があるため、クリーンルームのダウンフローにより自然乾燥させる方法が採られていた。 However, in practice, since the size of the production can dryer is limited, a method of natural drying by downflow of the clean room has been employed. 自然乾燥の場合、乾燥時間は4時間以上必要であり、極めて生産性が悪い。 In the case of natural drying, drying time is required for 4 hours or more, is bad extremely productivity. このように従来の乾燥方法には多くの問題があり、極めて生産性が悪かった。 Thus the conventional drying method has many problems, poor very productive.

【0010】他方、クリップ3については、その形状から人手でスクラブ洗浄を行うことは極めて困難なため、 [0010] On the other hand, because the clip 3, it is extremely difficult to perform scrubbing their shape by hand,
カゴ型の洗浄治具に数十個〜数百個の単位で収納し、界面活性剤水溶液中で超音波洗浄を行った後、純水ですすぎ、自然乾燥により乾燥していた。 Accommodated in the cage of the cleaning jig several tens to several hundreds of unit, subjected to ultrasonic cleaning with an aqueous surfactant solution, rinsing with pure water and was dried by natural drying. しかし、クリップの材質も樹脂であるから、超音波洗浄のみでは大きな洗浄効果は見込めない。 However, since the clip material also is a resin, only the ultrasonic cleaning is not expected large cleaning effect. 一方、クリップ3は、ペリクル収納容器の外側に取り付ける補助部品であり、ペリクルをペリクル収納容器から取り出す際には、作業者が手で外すものでもある。 On the other hand, the clip 3 is an auxiliary component attached to the outside of the pellicle container, when taking out the pellicle from the pellicle receiving container, the operator is also intended remove by hand. このため、上蓋やトレイほどの清浄性は要求されず、前記洗浄方法で指摘した問題はあるものの、清浄性は充分に要求を満たしており、これまで、クリップ3に対する洗浄能力が問題となったことはなかった。 Therefore, cleanliness of about upper lid and tray is not required, although the pointed out the problems in the cleaning method is, cleanliness is filled sufficiently request, heretofore, the cleaning capacity for the clip 3 has a problem it was not. しかしながら、クリップの洗浄方法が上蓋及びトレイと別のプロセスになっている場合、クリップのために別の洗浄装置を用意する必要があり、生産性の面で問題があった。 However, if the clip method of cleaning is in the upper lid and the tray and another process, it is necessary to prepare another cleaning device for the clip, there is a problem in terms of productivity. また、上蓋及びトレイと同じ工程でクリップを洗浄する場合、クリップは複雑な形状を有し表面積が大きく、かつ数百個単位で洗浄が行われることから、界面活性剤水溶液中での洗浄後、純水ですすぐ際に、純水洗浄槽への界面活性剤の持ち込み量が多く、洗浄液を著しく汚染する。 Also, when cleaning clip in the same step as the upper lid and the tray, the clip has a large surface area has a complex shape, and since washing with hundreds units is carried out, after washing with an aqueous surfactant solution, when rinsing with pure water, the amount of carryover of the surfactant to the pure water cleaning bath is large and significantly contaminate the cleaning solution. このため、クリップを上蓋及びトレイと同一の工程で洗浄するには問題があった。 Therefore, to wash the clip in the upper lid and the tray and the same process was a problem.

【0011】従って、本発明の目的は、洗浄作業に人手を必要とせず、洗浄能力及び生産性に優れたペリクル収納容器の洗浄方法を提供するものである。 Accordingly, it is an object of the present invention does not require human intervention to cleaning operations, there is provided a method of cleaning excellent pellicle container in cleaning performance and productivity.

【0012】 [0012]

【課題を解決するための手段】本発明のペリクル収納容器の洗浄方法は、洗浄液をノズルから吹き付けるシャワー洗浄、界面活性剤水溶液中での超音波洗浄、及び純水中での超音波洗浄を順次行った後、脱水及び乾燥を行うことを特徴とする。 The method of cleaning the pellicle container of the present invention SUMMARY OF] is showered with spraying the washing liquid from the nozzles, ultrasonic cleaning in an aqueous surfactant solution, and ultrasonic cleaning in pure water sequentially after, and performing dehydration and drying. この際、界面活性剤水溶液中での超音波洗浄と純水中での超音波洗浄の間、及び/または純水中での超音波洗浄と脱水の間に、ノズルから純水を吹き付けるシャワー洗浄を行うことを好適とする。 In this case, during the ultrasonic cleaning and dehydration between ultrasonic cleaning in ultrasonic cleaning and pure water at an aqueous surfactant solution, and / or in pure water, shower cleaning of spraying pure water from the nozzle and preferred to be performed.

【0013】さらに、ペリクル収納容器の洗浄に際し、 [0013] In addition, when the cleaning of the pellicle container,
純水中での超音波洗浄中に、0.5〜5分毎に1回の頻度で、洗浄治具に収容したペリクル収納容器が完全に液中より出る高さまで、洗浄治具ごと揺動させるのがよい。 During ultrasonic cleaning in pure water, at a frequency of once every 0.5 to 5 minutes, until the high pellicle container accommodated in the cleaning jig comes from completely submerged is, cleaning jigs each swing it is preferable to be. 超音波洗浄に際しては、20〜50kHzの範囲内の少なくとも2つの周波数が同時に混合された超音波を用いたり、あるいは周波数が20〜50kHzの範囲内において少なくとも3kHz以上の帯域幅で連続して変調が繰り返される超音波を用いることにより、洗浄をより確実に行うことができる。 In ultrasonic cleaning, it is continuously modulated by at least 3kHz or more bandwidth or using ultrasonic waves at least two frequencies are mixed at the same time, or the frequency in the range of 20~50kHz within the range of 20~50kHz the use of ultrasonic waves is repeated, it can be cleaned more reliably. 脱水は、完全に純水中に浸漬されたペリクル収納容器を、そのペリクル載置面が垂直で、かつペリクル収納容器の上縁が液面に対し2〜1 Dehydration, completely immersed pellicle container in the pure water, for that pellicle mounting surface is vertical, and the edge the liquid level on the pellicle container 2 to 1
5°の範囲内の角度に傾斜させた状態で、液面から0. In 5 ° while being inclined at an angle in the range from 0 to the liquid surface.
5〜20mm/秒の範囲の引上げ速度で上方に引上げることにより行われる。 It is performed by pulling upwardly pulling rate in the range of 5 to 20 mm / sec. 洗浄を終えたペリクル収納容器は、温度が50〜70℃の空気を、ULPAフィルターを介して流速0.5m/秒以上で吹き付けて乾燥される。 Pellicle container having been subjected to the washing, temperature of the 50-70 ° C. air is dried by blowing at a flow rate of 0.5 m / sec or more through the ULPA filter. これらの洗浄から乾燥までの一連の処理を連続で行うのが望ましく、その際、ペリクル収納容器は自動搬送される。 It is desirable to carry out the series of processes up to the drying from these washed sequentially, whereby the pellicle container is automatically conveyed.

【0014】本発明はまた、ペリクル収納容器の洗浄治具が、ペリクル収納容器の構成部品である上蓋とトレイを、それぞれ別々にペリクル載置面を垂直にして、かつペリクル載置面に対し垂直の方向に20〜100mmの間隔で2〜6ヶ所に設けた保持部で保持することを特徴とし、特には、この保持部が、ペリクル収納容器の構成部品である上蓋及びトレイとの接触部に液抜きを目的とした溝を有することを好適とする。 [0014] The present invention also provides cleaning jig pellicle container has a top cover and a tray which is a component of the pellicle container, each separately pellicle mounting surface in the vertical and perpendicular to the pellicle mounting surface direction and wherein the holding by the holding portion provided on the 2-6 places at intervals of 20~100mm of, in particular, the holding portion, the contact portion between the upper lid and the tray which is a component of the pellicle container and preferably further comprising a groove for the purpose of weep.

【0015】本発明は、洗浄液をノズルから吹き付けるシャワー洗浄、洗浄液として界面活性剤水溶液を用いた超音波洗浄、純水をノズルから吹き付けるシャワー洗浄、洗浄液として純水を用いた超音波洗浄、脱水及び乾燥の各工程からなるペリクル収納容器の洗浄方法、並びにこの洗浄方法で用いられる洗浄治具とから構成される。 The present invention is showered with spraying the washing liquid from the nozzles, ultrasonic cleaning with an aqueous surfactant solution as a cleaning liquid, a shower washing blowing pure water from the nozzle, ultrasonic cleaning using pure water as the cleaning liquid, dehydration and the method of cleaning the pellicle container consisting of the steps of drying, and composed of a cleaning jig used in this cleaning method. この洗浄方法で対象とするペリクル収納容器は、その材質、形状等は特に問わないが、樹脂の射出成形物で形成されたものが特に有効である。 Pellicle container of interest in this cleaning method, the material, shape and the like are not particularly limited, those formed by injection molding of a resin are particularly effective.

【0016】人手によるスクラブ洗浄は、汚れの激しい被洗浄物に対して有効な洗浄方法であるが、洗浄品質にばらつきを生じる、大量生産にはむかない等のために、 The scrub cleaning manual is an effective cleaning method with fast to be washed of dirt, resulting in variations in cleaning quality, for such as not skinned for mass production,
より洗浄能力の高い洗浄方法を採用しなければならない。 We must adopt a more high cleaning capability cleaning method. 種々検討の結果、シャワー洗浄及び洗浄槽内における被洗浄物の配置と洗浄液の流れに考慮した超音波洗浄を行うことにより、高い洗浄能力を得ることが可能であることを見いだした。 As a result of various investigations, we have found that by carrying out ultrasonic cleaning in consideration to the flow of the arrangement and the washing of the object to be cleaned in the shower cleaning and the cleaning tank, it is possible to obtain a high cleaning capability. 具体的には、上蓋とトレイは、互いに組み合わせて同時に洗浄し、クリップについては、 Specifically, the upper lid and the tray are washed simultaneously in combination with one another, for the clip,
別にクリップだけで数十〜数百個単位で洗浄する。 Apart from washing only a few tens to a few hundred units clip. これは、クリップを上蓋及びトレイと同時に洗浄すると、超音波洗浄槽内で超音波を吸収、反射し、これらの洗浄を妨げることが懸念されるためである。 This, when cleaning the clip upper lid and the tray at the same time, absorb the ultrasound in an ultrasonic cleaning tank, reflected, because the can interfere with these cleaning is a concern.

【0017】 [0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明のペリクル収納容器の洗浄方法の一例を、図に基づいて説明する。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an example of a method of cleaning the pellicle container of the present invention will be described with reference to FIG. 図2は、 Figure 2,
シャワー洗浄のための装置(以下、シャワー洗浄装置という)で、(a)は概略正面図、(b)、(c)はそれぞれ要部の概略側面図及び概略平面図である。 Equipment for shower cleaning (hereinafter, referred to shower cleaning device) at a (a) is a schematic front view, (b), (c) is a schematic side view and a schematic plan view of each main portion. 図3は、 Fig. 3,
界面活性剤水溶液中での超音波洗浄のための装置(以下、超音波洗浄装置という)で、(a)は概略正面図、 Apparatus for ultrasonic cleaning in an aqueous surfactant solution (hereinafter, referred to as ultrasonic cleaning apparatus) with, (a) represents a schematic front view,
(b)、(c)はそれぞれ要部の概略側面図及び概略平面図である。 (B), (c) is a schematic side view and a schematic plan view of each main portion. 図4は、図2のシャワー洗浄装置において洗浄液として純水を用いる場合で、同様に(a)は概略正面図、(b)、(c)はそれぞれ要部の概略側面図及び概略平面図である。 Figure 4 is a case of using pure water as a cleaning liquid in the shower cleaning device of FIG. 2, similarly (a) is a schematic front view, (b), (c) is a schematic side view and a schematic plan view of each main portion is there. 図5は、図3の超音波洗浄装置において洗浄液として純水を用いる場合で、(a)は概略正面図、(b)、(c)はそれぞれ要部の概略側面図及び概略平面図である。 Figure 5 is a case of using pure water as a cleaning liquid in the ultrasonic cleaning apparatus of Figure 3, is the (a) is a schematic front view, (b), (c) is a schematic side view and a schematic plan view of each main portion . 図6は、脱水のための装置(以下、脱水装置という)の概略正面図である。 Figure 6 is a device for dehydration (hereinafter referred to as dewatering device) is a schematic front view of the. 図7は、乾燥のための装置(以下、乾燥装置という)の概略正面図である。 Figure 7 is a device for drying (hereinafter, referred to as drying apparatus) is a schematic front view of the. なお、これらの概略正面図、概略側面図及び概略平面図はいずれも説明に適した箇所での断面による図を示している。 Note that these schematic front view, a schematic side view and schematic plan view shows a diagram according to cross-section at locations suitable for description both.

【0018】図2に示すシャワー洗浄装置を用い、ペリクル収納容器の上蓋10とトレイ11(以下、上蓋とトレイを共に表すときはペリクル収納容器10、11という)を個別に洗浄治具12に収容して洗浄槽20内に装入する。 [0018] Using the shower cleaning device shown in FIG. 2, the upper cover 10 and the tray 11 of the pellicle container housed individually washing jig 12 (hereinafter, the called pellicle container 10, 11 to represent both the upper lid and the tray) charged to to cleaning tank 20. 上蓋10とトレイ11に洗浄液21をノズル2 Upper cover 10 and the tray 11 to the cleaning solution 21 nozzle 2
2から吹き付け、軽く表面に付着した程度の埃や超音波洗浄では除去できない種類の異物を除去する。 Blown from 2, the degree of dust and ultrasonic cleaning adhered lightly surface to remove the kind of foreign matter that can not be removed. ここで使用する洗浄液21は、特に限定されるものではなく、水道水、純水、界面活性剤の水溶液などが使用できる。 Cleaning solution 21 to be used here is not limited in particular, tap water, pure water, such as an aqueous solution of a surfactant can be used. ただし、洗浄液を大量に使用するため、洗浄槽20に連結された配管27にポンプ25をつなぎ、洗浄液をヒーター24及びフィルター23に通して矢印のように循環再利用するのが望ましい。 However, in order to use the cleaning liquid mass, connect the pump 25 to the pipe 27 connected to the cleaning tank 20, it is desirable to circulate reused as an arrow through the cleaning liquid to the heater 24 and filter 23. また、洗浄液に界面活性剤水溶液を使用する場合は、大量に発生する泡を抑制するため、消泡剤を添加するとよい。 Also, when using the aqueous surfactant solution in the cleaning liquid, to suppress the large amount bubbles generated, it may be added a defoaming agent.

【0019】このシャワー洗浄におけるノズル22の配置や本数は、ペリクル収納容器10、11の全面がカバーできるように、なおかつ無駄の無いように適宜選択すればよく、特に限定されるものではない。 The arrangement and the number of nozzles 22 in the shower cleaning, as the entire surface of the pellicle container 10, 11 can cover may be yet properly selected so as not wasted, but is not particularly limited. このとき、ペリクル収納容器10,11の全表面がムラなく洗浄できるよう、ノズル22に移動機構を付設し、洗浄中ノズル22を移動させて洗浄液を噴射することも有効である。 In this case, so that the entire surface of the pellicle container 10, 11 can be cleaned evenly and attaching a moving mechanism to the nozzle 22, it is also effective to move the washing in the nozzle 22 injects the cleaning liquid.
この洗浄装置は異物の除去が目的であるから、洗浄液の流量は、可能な限り多い方がより高い洗浄効果が期待できるので、ノズル1本あたり3L/分以上、また圧力についても同様で0.3MPa以上とするのが望ましい。 Since this cleaning apparatus is an object the removal of foreign matter, the flow rate of the cleaning liquid, so can be expected higher washing effect is more often as possible, per one nozzle 3L / min or more, and also applies pressure 0. it is desirable to greater than or equal to 3MPa.
洗浄時間は1〜10分の範囲内とするのがよい。 Washing time preferably set to within the range of 1 to 10 minutes. さらに洗浄装置の周囲に洗浄液21が飛散するのを防ぐため、 To prevent the cleaning liquid 21 is scattered around the further cleaning device,
開閉可能なカバー26などの密閉機構を備えるとよい。 To be provided with a sealing mechanism such as an openable cover 26.

【0020】シャワー洗浄が終了した後は、より精密な洗浄を目的として、界面活性剤中での超音波洗浄を行う。 [0020] After the shower cleaning is finished, for the purpose of more precise cleaning, subjected to ultrasonic cleaning in detergent. 上記したように、一般的な樹脂製のペリクル収納容器に対しては超音波洗浄は不向きであるが、種々検討の結果、図3に示すような構造の超音波洗浄装置を使用することで、上記問題を解決し、著しく洗浄能力を向上させることができた。 As described above, with respect to the general resin pellicle container an ultrasonic cleaning is unsuitable, a result of various investigations, by using the ultrasonic cleaning apparatus of the structure as shown in FIG. 3, to solve the above problems, it was possible to improve significantly the washing capability.

【0021】洗浄治具12内に、ペリクル収納容器の上蓋10とトレイ11を別々にして互いに平行に、かつペリクル載置面が垂直になるように取り付けて、これを底面に超音波振動板32を備えた洗浄槽30内に装入し、 [0021] washing jig 12, parallel to each other top lid 10 and the tray 11 of the pellicle container and separately, and attached to the pellicle mounting surface is perpendicular, which the bottom surface ultrasonic vibration plate 32 was charged to a cleaning tank 30 having a
上蓋10とトレイ11の間から洗浄液31を槽内に供給しながら洗浄する。 The cleaning liquid 31 from between the upper cover 10 and the tray 11 for cleaning while supplying into the tank. ペリクル収納容器10,11を図3 Figure a pellicle container 10, 11 3
に示す位置に配置することで、底面の超音波振動板32 By arranging the position shown in the bottom surface of the ultrasonic vibration plate 32
から照射された超音波が途中で吸収されるのを防ぎ、また洗浄液31が上蓋10とトレイ11の表面に沿って滞留することなく上方に向かって流れることで、超音波をペリクル収納容器10,11の全面に到達させて異物を剥離し、表面から剥離した異物はすぐさま上方に向かって運ばれ、さらに槽外へ運び去られる。 Prevents the ultrasonic waves radiated is absorbed on the way from and that the cleaning liquid 31 flows upward without staying along the surface of the upper cover 10 and the tray 11, the ultrasonic pellicle container 10, stripping the foreign matter was allowed to reach 11 of the entire surface, the foreign matter peeled from the surface is carried immediately upward, carried away further outside the tank. これらの相乗効果により、洗浄槽30のペリクル収納容器10、11に対する洗浄力は大幅に向上した。 These synergistic effects, detergency against the pellicle container 10, 11 of the cleaning tank 30 is greatly improved. このとき、超音波洗浄中の洗浄液31は、洗浄槽30内に存在する洗浄液の全量に対して50%/分以上、特には80%/分以上の交換率で、フィルター33を通しながらポンプ35で配管37内を循環させるのが望ましい。 At this time, the cleaning liquid 31 in the ultrasonic cleaning, 50% / minute or more relative to the total amount of the cleaning liquid present in the cleaning tank 30, especially in the exchange rate of 80% / min or more, the pump 35 while passing a filter 33 in the circulating in the piping 37 is desirable. 流量がこれより少ないと、図中の矢印で示すような洗浄液の流れが形成されず、槽内に異物が滞留する虞れがある。 When the flow rate is less than this, not formed the flow of the cleaning liquid as shown by arrows in the figure, there is a possibility that foreign matter remaining in the tank.

【0022】使用する界面活性剤は、被洗浄ペリクル収納容器の材質、汚れ具合に応じて選択する必要があるため、特にその種類を問わないが、そのうちの幾つかを例示すると、クリーンエースS(井内盛栄堂社製、商品名)やNCW−601A(和光純薬工業社製、商品名) The surfactant used, the material of the object to be cleaned pellicle container, since it is necessary to select in accordance with the degree of contamination, although not of any type, to illustrate some of its clean Ace S ( Iuchi Co., Ltd., trade name) and NCW-601A (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., trade name)
が挙げられる。 And the like. 洗浄能力に問題が無ければ、環境や装置への負担を考慮すると、界面活性剤水溶液は中性であることが望ましい。 If there is no problem in cleaning performance, considering the burden on the environment and equipment, it is desirable surfactant aqueous solution is neutral. また、この濃度は、使用する界面活性剤の種類に応じて適宜検討すればよいが、クリーンエースSの場合には3〜10%の範囲内が望ましい。 Further, this concentration may be considered depending on the type of surfactant used, if clean Ace S is preferably in the range of 3-10%. また洗浄液の温度は高いほど洗浄能力も高くなるが、前述したように、一般的な樹脂製のペリクル収納容器の場合には、熱による変形が懸念されるため、25〜50℃の範囲内で材質に応じて選択するとよい。 The temperature of the washing liquid is also increased higher cleaning ability, as described above, in the case of a general resin pellicle receiving container, the deformation due to heat is concerned, in the range of 25 to 50 ° C. it may be selected according to the material.

【0023】界面活性剤水溶液中での超音波洗浄時間は長いほど洗浄能力が増大するので、ペリクル収納容器の汚れの程度に応じて適宜洗浄時間を選択するのが望ましいが、一般的な樹脂製のペリクル収納容器の場合、洗浄液の温度によっては、洗浄時間とともに変形量が大きくなることが懸念され、また生産性の面からも3〜20分の範囲内とするのが望ましい。 [0023] Since the ultrasonic cleaning time in an aqueous surfactant solution is longer cleaning ability is increased, it is desirable to select an appropriate washing time according to the degree of contamination of the pellicle container, general resin for pellicle storage container, the temperature of the cleaning liquid is a concern that the deformation amount with the wash time increases, also desirably in the range of 3 to 20 minutes in terms of productivity. このとき所望の生産性が達成できない場合は、洗浄槽を複数に分けて装置を構成し、一槽あたりのタクトタイムを短縮することが可能である。 If desired productivity can not be achieved this time, it divides the cleaning tank to the plurality constitutes a device, it is possible to shorten the tact time per tank.

【0024】超音波の音圧強度が大きいほど洗浄能力は高くなるが、100kPa以上では、ときにはペリクル収納容器の表面に損傷が生じる場合がある。 [0024] Although cleaning capacity larger the ultrasonic sound pressure intensity increases, in the above 100 kPa, sometimes it may damage the surface of the pellicle container occurs. また過大な超音波強度は超音波振動板の劣化を早めたり、洗浄治具の表面を損傷することも懸念される。 The excessive ultrasound intensity or accelerate the deterioration of the ultrasonic vibration plate, is also a concern to damage the surface of the cleaning jig. このためペリクル収納容器の表面に損傷を与えず、なおかつ十分な洗浄能力を確保するには、超音波の音圧強度を25〜100k Therefore without damaging the surface of the pellicle container, yet in order to ensure sufficient cleaning ability, 25~100K ultrasound acoustic pressure intensity
Paの範囲内、特には50kPaとするのが望ましい。 In the range of Pa, in particular it is desirable to 50 kPa.

【0025】超音波の周波数は、20〜50kHzの範囲内のものを選択するのがよい。 The frequency of the ultrasonic wave, it is preferable to select one in the range of 20 to 50 kHz. ただし、このとき単一の周波数で行うと、定在波の影響で音圧分布が不均一になるため、ペリクル収納容器を槽内で揺動させる等の方法で防止するのが望ましい。 However, when at a single frequency at this time, since the sound pressure distribution under the influence of the standing wave becomes uneven, it is desirable to prevent by a method such as swinging the pellicle container in a bath. このため、周波数が20〜 For this reason, 20 is frequency
50kHzの範囲内で、なおかつ、この範囲内の少なくとも二つの周波数が同時に混合された超音波を発生することのできる超音波洗浄機を採用するのが望ましい。 Within the scope of 50 kHz, and yet, it is desirable to employ an ultrasonic washing machine capable of at least two frequencies within this range to generate ultrasonic waves that are mixed at the same time. このような超音波洗浄機として、特にその種類は問わないが、その一つを例示すれば、4周波混合型超音波洗浄機:発振器UO1200FX1−P(国際電気エルテック社製、商品名)が挙げられる。 Such ultrasonic cleaner, in particular but not limited the type, if illustrate that one, 4 frequency mixing ultrasonic washer: oscillator UO1200FX1-P (Kokusai Electric Eltek Co., Ltd., trade name) can be mentioned It is.

【0026】同様の観点から、周波数が20〜50kH [0026] From the same point of view, the frequency is 20~50kH
zの範囲内で、かつこの範囲内の少なくとも3kHz以上の帯域幅で、連続して変調を繰り返すことのできるものを使用するのもよい。 Within the scope of z, and at least 3kHz or more bandwidth within this range, it may be to use what may be continuously repeated modulation. このような超音波洗浄機として、特にその種類は問わないが、その一つを例示すればスイープ型超音波洗浄機:発振器UO1200PV−Y Such a ultrasonic cleaner, in particular but not limited type thereof sweep type ultrasonic washer To exemplify one of them: the oscillator UO1200PV-Y
(同前)が挙げられる。 (Same as above), and the like. さらに、上記2種類の超音波発振形式の洗浄槽を組み合わせた洗浄装置を用いることもできる。 It is also possible to use a cleaning apparatus combining a cleaning tank of the two ultrasonic oscillation format. 複数の周波数が同時に照射されるものは洗浄力に優れ、また周波数変調を行うタイプは洗浄力がやや弱いものの全体をムラなく洗浄できるという特性があり、 A plurality of frequencies are simultaneously irradiated has excellent detergency and has a characteristic that the type that performs frequency modulation can wash the whole evenly although detergency rather weak,
これらの違いを利用して、それぞれを最適なところに設置する。 Using these differences, placing each in the optimal place. 例えば、界面活性剤を用いる超音波洗浄槽を2 For example, an ultrasonic cleaning tank using a surfactant 2
槽で構成する場合、第1槽に洗浄力の強力な超音波洗浄槽を、第2槽に強度分布のムラが少ない超音波洗浄槽を設置することで、より洗浄効果を高くすることができる。 When configuring a bath can be a powerful ultrasonic cleaning tank of the cleaning force to the first tank, by placing the ultrasonic cleaning tank unevenness less of the intensity distribution in a second vessel, a higher and more cleaning effect . なお、上記超音波洗浄槽に関する構成は、洗浄液が界面活性剤水溶液の場合に限定されるものではなく、純水や、その他の洗浄液の場合でも有効である。 Note that the configuration relating to the ultrasonic cleaning tank, not the cleaning liquid is limited to the case of the aqueous surfactant solution, it is effective even for pure water or other cleaning fluid.

【0027】上記のようにして界面活性剤中で超音波洗浄を終えたペリクル収納容器10、11は、洗浄液中から引上げられ、次の工程に送られる。 The pellicle container 10, 11 having been subjected to ultrasonic cleaning with a detergent in as described above is pulled from in the washing liquid is fed to the next step. ペリクル収納容器は形状が複雑で表面積が大きいため、界面活性剤の付着量も多い。 Since the pellicle container has a large complex surface shape, the adhesion amount of the surfactant is large. このため、このまま純水を用いる洗浄槽に入れると、界面活性剤が純水中に多量に混入するため、界面活性剤を除去するために多段の洗浄槽が必要となり、 Therefore, taking into cleaning tank using this remains pure water, because the surfactant is a large amount of mixed into pure water, multistage cleaning tank is required to remove the surfactant,
装置の大型化、生産性の低下を招く。 Size of the device, a reduction in productivity lead. そこで、界面活性剤水溶液中での超音波洗浄後、図4に示すようなシャワー洗浄装置を使用して、ペリクル収納容器10、11を洗浄治具12ごと洗浄槽40内に装入し、ノズル42から純水41を吹き付けるシャワー洗浄を行い、界面活性剤をペリクル収納容器10,11及び洗浄治具12の表面から完全に洗い流すのが望ましい。 Therefore, after ultrasonic cleaning with an aqueous surfactant solution, using a shower cleaning device as shown in FIG. 4, charged with the pellicle container 10, 11 to the cleaning jig 12 by the cleaning tank 40, the nozzle 42 perform shower cleaning of spraying pure water 41 from, it is desirable to flush the detergent completely from the surface of the pellicle container 10, 11 and the cleaning jig 12.

【0028】純水の供給手段としては、図示のほか、様々なものが考えられるが、所望の圧力、流量が得られればよく、特に限定されるものではない。 [0028] supplying means pure water, in addition to the shown, can be considered are various, desired pressure may be the flow rate is obtained, it is not particularly limited. ただし、ここでの洗浄の目的は、異物を除去することではなく、表面に付着した界面活性剤を洗い流すことであるから、圧力よりも流量が必要であり、これにはマグネットポンプが最も適している。 However, the purpose of cleaning herein is not to remove foreign matter, since it is possible to wash away the detergent adhering to the surface, and the flow rate is required than the pressure, this is a magnet pump is most suitable for there. もちろん、ポンプ45から発生した異物を除去するため、ポンプ出口側にはフィルター43が必要である。 Of course, for removing foreign matters generated from the pump 45, the pump outlet side is required filter 43. このとき使用するシャワー洗浄装置には、ノズル42の配置、本数はペリクル収納容器10,11の全面がカバーできるように適宜選択すれば良く、特に限定されるものではない。 The shower cleaning device used at this time, the arrangement of the nozzles 42, the number may be appropriately selected so the entire surface of the pellicle container 10, 11 can cover, but is not particularly limited. ペリクル収納容器10,11の全表面がムラなく洗浄できるよう、噴射中にノズル42 As the entire surface of the pellicle container 10, 11 can be cleaned evenly, the nozzle 42 during injection
を移動できる機構とすることも有効である。 It is also effective to mechanisms that can move the. 純水の噴射流量は、ペリクル収納容器10,11の表面に付着した界面活性剤が洗い流せる量を確保できればよく、ノズル1本あたり2〜5L/分で、0.5〜2分噴射するのが望ましい。 Injection flow rate of pure water, as long secure the amount of surfactant adhering to the surface of the pellicle container 10, 11 washable, in 2~5L / min per one nozzle, that injects 0.5-2 minutes desirable. また、圧力は0.05MPa以上とするのがよい。 The pressure is preferably set to more than 0.05 MPa. さらに装置周囲への液体の飛散を防ぐため、開閉可能なカバー46などの密閉手段を備えていることが望ましい。 Furthermore in order to prevent splashing of the device around, it is desirable to provide a sealing means, such as openable cover 46.

【0029】上記のようにして界面活性剤を除去した後、さらに精密なすすぎと異物の除去を行うために、図5に示す超音波洗浄装置を用いて純水中で超音波洗浄を行う。 [0029] After removal of as the surfactant, in order to perform a more precise rinsing and removal of foreign matter, subjected to ultrasonic cleaning in pure water using an ultrasonic cleaning apparatus shown in FIG. この洗浄装置は、基本的には前記した界面活性剤水溶液を用いるものと同様の構造を有していればよいが、循環させるだけでは純水の純度が次第に低下することが懸念されるため、配管57を図5に示すように配管して純度の高い純水を給水管48から供給し、他方、洗浄槽50の上縁からオーバーフローした液を排水管49 Since this cleaning apparatus basically may have a similar structure to that used aqueous surfactant solution described above, but only by circulation is concerned that the purity of the pure water is lowered gradually, the piping 57 and piping as shown in FIG. 5 to supply the high pure water purity from the water supply pipe 48, while the liquid that overflows from the upper edge of the cleaning tank 50 discharge pipe 49
から排水する。 To drain from. 洗浄は洗浄液51をポンプ55で循環させて所望の流量を維持しつつ、純度をも維持する必要がある。 Washing while maintaining the desired flow rate by circulating the washing liquid 51 in the pump 55, it is necessary to also maintain purity. このときに供給する純水の流量は洗浄槽50内の純水の全体積の10%/分以上とするのがよい。 The flow rate of pure water supplied into the good to the net total volume of 10% water / min or more in the cleaning tank 50.

【0030】純水中での超音波洗浄には、界面活性剤水溶液を使用するときには起こらない問題を生じる。 [0030] Ultrasonic cleaning in pure water results in problems that occur when using an aqueous surfactant solution. 超音波洗浄は、液中に超音波を照射することでキャビテーションを発生させ、その気泡が破壊するときの衝撃波を利用して洗浄を行うものであるが、樹脂製のペリクル収納容器では、表面の純水に対する濡れ性が悪いため、表面でキャビテーションの気泡が発生すると、その気泡がそのまま付着してしまう。 The ultrasonic cleaning, to generate cavitation by applying ultrasonic waves in the liquid, but the shock wave is intended for cleaning by utilizing at which the bubbles are destroyed, the resin in the pellicle container, the surface of the due to poor wettability to pure water, the bubbles cavitation occurs at the surface, the bubbles adheres directly. 付着した気泡の周辺では、照射された超音波が気泡で妨害され、洗浄に支障をきたす。 The periphery of the adherent air bubbles, ultrasonic waves radiated is disturbed by air bubbles, hindering the cleaning.
また、気泡が表面にそのまま留まると、乾燥中にはじけて水滴となり乾燥時間の延長を招く。 Moreover, when the bubbles as they remain on the surface, bursting during drying becomes water droplets causing the extension of the drying time.

【0031】このため、これを解決すべく様々な検討を行った結果、揺動アーム56と駆動機構59とから構成される単軸ロボットなどの揺動装置を用いて、純水中での超音波洗浄中に、ペリクル収納容器10,11が完全に液中より出る高さまで、洗浄治具12ごと上下に揺動させることで、これを防ぐことができることを見いだした。 [0031] Therefore, the results of which were various studies to solve, with a swinging device, such as a constructed single-axis robot and a swinging arm 56 driving mechanism 59. ultra in pure water during ultrasonic cleaning, to a height pellicle container 10, 11 comes out from the fully submerged, by swinging for each cleaning jig 12 up and down, we have found that it is possible to prevent this. 揺動の頻度は洗浄時間との関係から決定する必要があるが、付着する気泡の数が洗浄時間に比例して増加し続けるため、1回/0.5〜3分の頻度で、洗浄時間中に数回繰り返し行うのがよい。 Although the frequency of the oscillating must be determined from the relationship between the cleaning time, the number of bubbles adhering continues to increase in proportion to the washing time, at a frequency of once /0.5~3 minute, cleaning time better to repeated several times during. また、その時の揺動速度は、特に限定されるものではないが、生産性や洗浄槽5 Further, the swing speed at that time, is not particularly limited, productivity and washing bath 5
0周囲への液の飛散を考慮すると20〜150mm/秒の間が望ましい。 0 Considering splashing to the surroundings between 20 to 150 mm / sec is desirable. 揺動動作については、引上げた後、液面上で保持する必要はなく、直ちにまた純水中へ浸漬するのがよい。 For oscillating motion, after pulled up, it is not necessary to hold on the liquid surface, it is preferable to immediately also immersed in pure water. 同様の効果をもたらすものとして、純水中で噴流を表面に当てる等の方法も考えられるが、複数のペリクル収納容器を同時に処理する場合を考慮すると、 As causing a similar effect, a method such as applying to the surface a jet in pure water is also considered, but considering the case of simultaneous processing of multiple pellicle container,
噴流を流出させるノズルの配置が複雑で困難である。 Arrangement of the nozzles for discharging the jet is complex and difficult. また洗浄槽中にノズルやその配管等の被洗浄物以外の物が設置されているのも、超音波の不必要な反射や異物発生の原因となり、望ましくない。 Also the object other than the nozzle and the object to be cleaned of the piping in the cleaning tank is installed, and cause unnecessary reflections and foreign matter generated ultrasonic undesirable.

【0032】上記した純水中での超音波洗浄中の揺動は、洗浄に影響しない程度に気泡を除去できるが、確実性に欠ける。 The swinging in the ultrasonic cleaning in pure water described above, although the bubble so as not to affect the cleaning can be removed, lacks certainty. 気泡が残ってしまった場合、上記したように乾燥の際に大きな問題が生じるため、気泡の除去をより確実とするために、何らかの方法で気泡を除去するのが望ましい。 If any leftover bubbles, since the major problem during drying as described above occurs, in order to more ensure the removal of air bubbles, it is desirable to remove air bubbles in some way. そこで、種々検討の結果、純水中での超音波洗浄の後、再度、純水をノズルで吹き付けるシャワー洗浄を行い、気泡の取り残しを完全に除去してから脱水を行うことで、この問題を解決できることを見いだした。 Therefore, a result of various investigations, after the ultrasonic cleaning in pure water, again, perform shower cleaning of spraying of pure water at the nozzle, by performing the dehydration after completely removing the leftover bubbles, the problem solution has been found to be able to. このとき使用する装置としては、図4に示したシャワー洗浄装置と同様のものが適している。 The apparatus used at this time, similar to the shower cleaning device shown in FIG. 4 is suitable. 注意すべき点としては、洗浄の仕上げ段階に近いため、ノズル42及び配管47の清浄度が高いことが要求される。 It should be noted that close to the finishing stage of the washing, it is required to have high cleanliness of the nozzle 42 and the pipe 47. 吹き付ける流体には、上記純粋の他にエアーを用いることでも、 The fluid sprayed, also by using the air in addition to the pure,
同様の効果が達成できると考えられるが、異物の付着が懸念されるためエアーは望ましくない。 A similar effect is thought to be achieved, the air is not desirable because the adhesion of foreign matter is concerned.

【0033】さて、上記のようにして洗浄が終了したペリクル収納容器は、次に乾燥工程に移されるが、このまま乾燥を行った場合、前述したように許容できる乾燥温度が低いこと、付着している水の表面積が小さいこと等が相まって、乾燥時間が著しく長くなる。 [0033] Now, the pellicle container cleaning has been completed as described above is then transferred to a drying step, if you do this while drying, low drying temperature acceptable, as described above, attached to surface area of ​​have low water and the like together, the drying time is significantly longer. 乾燥方法としては温風乾燥、赤外線ランプ等による直接加熱、スピン乾燥、エアーナイフなど様々な方法が考えられるが、ペリクル収納容器の場合には極めて高い清浄度が要求されるため、スピン乾燥、エアーナイフなどのクリーンルーム内の気流を著しく乱すものや動作の激しいものでは、 The drying method is hot air drying, direct heating by infrared lamp or the like, spin drying, but various methods such as an air knife. However, since an extremely high cleanliness is required in the case of the pellicle container, spin drying, air intended ones and operation of intense disturbing significantly the air flow in the clean room, such as a knife,
新たに異物を付着させてしまう虞れがあって望ましくない。 Undesirable There is a possibility that would newly deposited foreign matter. また、赤外線ランプなどを用いた直接加熱は、複雑な形状のペリクル収納容器全体を均一に加熱することが困難で、変形を促進してしまう。 Also, direct heating with an infrared lamp, is difficult to heat the entire pellicle container having a complicated shape uniformly, thereby facilitating deformation. このため異物の付着や変形を考慮すると、温風乾燥が最も適している。 This order considering the adhesion and deformation of the foreign matter, warm air drying is the most suitable.

【0034】温風乾燥の条件について種々検討を行ったが、選択可能な条件の範囲では、ペリクル収納容器の変形を防ぎつつ、短時間で乾燥させることは不可能なことが明らかになった。 [0034] were subjected to various investigations on conditions of hot-air drying, in the range of selectable conditions, while preventing the deformation of the pellicle container, was found to be impossible to be dried in a short time. そこで、ペリクル収納容器の乾燥前に脱水を行うことを検討した。 Therefore, we consider performing dehydration before drying of the pellicle container. 脱水は、エアーブロー等の方法が一般的であるが、種々検討を重ねた結果、図6 Dehydration results methods such as air blowing is general. Where extensive studies, 6
に示す脱水装置を用いて、ペリクル収納容器10,11 The dewatering device shown in use, the pellicle container 10,11
を洗浄治具12ごと、ペリクル載置面が垂直になるように完全に純水61中に浸漬した後、ゆっくり引上げて脱水する方法が有効であることを見いだした。 The each washing jig 12, after the pellicle mounting surface is immersed in completely pure water 61 to be perpendicular, found that a method of dehydrating Te pulling slowly is valid. 洗浄治具1 Cleaning jig 1
2の浸漬、引上げは、駆動機構69に取り付けられたアーム66により行われる。 2 of dipping, pulling takes place by the arm 66 attached to the drive mechanism 69. この方法は、クリーンルーム内の気流を乱さず異物の付着を引き起こす虞がないこと、装置構造が単純であること、複数のペリクル収納容器を同時に処理するバッチ処理が容易であること等の利点がある。 The method can no possibility of causing adhesion of foreign material without disturbing the air flow in the clean room, that the device structure is simple, there are advantages such that a batch process for simultaneously processing a plurality of pellicle container is easy .

【0035】このとき、引上げ動作中、ペリクル収納容器10,11を取り付けた洗浄治具12を、液面62に対する傾斜角度αが2〜15°の範囲となるように引上げるのがよい。 [0035] At this time, during pulling operation, the cleaning jig 12 fitted with a pellicle container 10, 11, the inclination angle α with respect to the liquid surface 62 is good to pulling to be in the range of 2 to 15 °. 傾斜角度αを2°未満とした場合、ペリクル収納容器10,11の外縁部において、液切りが極めて悪くなる。 If the inclination angle α was less than 2 °, the outer edge of the pellicle container 10, 11, draining is very poor. また、このときの液面からの引上げ速度が小さいほどよく、0.2〜20mm/秒の範囲内とするのがよい。 Further, the better the pulling rate from the liquid surface at this time is small, it is preferable in the range of 0.2 to 20 mm / sec. さらに生産性を高めるために、引上げ速度が変えられるようにし、引上げ速度を0.2〜20mm To further improve productivity, so that the pulling rate is changed, 0.2 to 20 mm and pulling speed
/秒の範囲内に保ちつつ、液切りしにくい複雑形状の部分が液面62を通過するときは遅く、逆に液切りが容易な単純形状の部分は早く通過させて引上げるのがよい。 / While maintaining the range of seconds to slow when the portion of the liquid removal difficult complicated shape through the liquid surface 62, the portion of the easy simple shape draining conversely good that pulled Ru passed through quickly.

【0036】また、脱水槽60内の純水61の温度は、 [0036] In addition, the temperature of the pure water 61 in the de-water tank 60,
ペリクル収納容器10,11の材質及び表面の清浄状態に応じて適宜選択する必要があるが、あまり低温では後の乾燥工程で昇温に時間がかかり、また、高温では容器の変形の恐れがあるため、20〜80℃の範囲内、特に一般的な樹脂製のペリクル収納容器に対しては20〜5 It is necessary to select appropriately according to the cleaning state of the material and the surface of the pellicle container 10 and 11, it takes time to raise the temperature at less drying step after the low temperature, and there is a risk of deformation of the container at a high temperature Therefore, in the range of 20 to 80 ° C., especially for general resin pellicle container 20 to 5
0℃とするのが望ましい。 It is desirable to 0 ℃.

【0037】前述のようにして洗浄後に脱水処理を施したペリクル収納容器は、乾燥装置、より具体的には温風乾燥機により、完全に乾燥させることができる。 The pellicle container subjected to dehydration treatment after to washing as described above, the drying device, by more specifically hot air dryer, it is possible to completely dry. 乾燥装置は、例えば、図7に示すような構造とし、温風は外気導入ファン76によりHEPAフィルター77を経て装置内に供給され、ヒーター74で暖められ、ULPAフィルター73を経てペリクル収納容器10,11に向かって流れる。 Drying apparatus, for example, a structure as shown in FIG. 7, hot air is supplied into the apparatus through the HEPA filter 77 by the outside air introducing fan 76, warmed by the heater 74, the pellicle container 10 through the ULPA filter 73, It flows toward the 11. このとき温風はULPAあるいはHEPA At this time, warm air is ULPA or HEPA
などの高性能フィルター73,77を用いて高レベルに除塵する必要がある。 It is necessary to dust removal at a high level by using a high-performance filter 73, 77 such as. 温風の流れは、特にその方向を問わないが、搬送装置との連結を考慮すると、図7に矢印(符号78)で示したように、上から下に流れるものが望ましい。 Flow of hot air, in particular but not limited to that direction, in consideration of the connection with the transport device, as indicated by arrows (reference numeral 78) in Fig. 7, which flows from top to bottom is desired. 温風の温度は、ペリクル収納容器10,11 Temperature of hot air, pellicle container 10, 11
の材質にもよるが、50〜80℃の範囲内、特に樹脂製のペリクル収納容器に対しては55〜70℃の範囲内とし、5〜15分で乾燥を行うのがよい。 Of Depending on the material, in the range of 50 to 80 ° C., particularly for the pellicle container made of resin and in the range of 55 to 70 ° C., it is preferable to dry at 5-15 minutes. 温風の流速は、 The flow velocity of the hot air,
乾燥時間に与える影響はあまり大きくないが、ほぼ0. Although not very big impact on the drying time, almost zero.
5mm/秒とするのが望ましい。 It is desirable to a 5mm / sec. また乾燥が終了したペリクル収納容器は、その材質、乾燥条件にもよるが10 The pellicle container drying is completed, the material, although depending on the drying conditions 10
分以上の冷却時間が必要である。 Min or more of the cooling time is necessary.

【0038】ここまで、上蓋とトレイの洗浄方法について詳述してきたが、ペリクル収納容器のもう一つの構成部品であるクリップの洗浄方法について、以下に詳述する。 [0038] Up to this point, have been described in detail upper lid and tray cleaning method, the clip cleaning method which is another component of the pellicle container are described in detail below. クリップの洗浄は、上蓋及びトレイとは別々に、クリップだけで数十〜数百個単位でまとめて行うのがよい。 Cleaning clips, separately from the upper lid and the tray, it may be carried out only by collectively by several tens to several hundreds units clip. これは前記したように、クリップを上蓋及びトレイと同時に洗浄した場合、超音波洗浄槽内で超音波を吸収、反射し、上蓋やトレイの洗浄を妨げることが懸念されるためである。 This is because, as described above, when washing clipped upper lid and the tray at the same time, absorb the ultrasound in an ultrasonic cleaning tank, reflected, is because it is feared that prevents cleaning of the upper lid and the tray. 初めに、クリップをカゴ型の洗浄治具に納める。 First, pay the clip to the cage of the cleaning jig. 洗浄治具の容積、つまり1回で洗浄する数量は、特に限定されるものではないが、上蓋及びトレイと同じ洗浄装置を使用するために、前記シャワー洗浄装置で、ノズルから噴射された洗浄液が充分にかかる領域に納まる程度がよい。 Volume of the cleaning jig, that is, the quantity of washing once, but are not particularly limited, in order to use the same washing device an upper lid and a tray, in the shower cleaning device, the cleaning liquid jetted from the nozzle good degree of fit to the region according to the well. その後は、前記した上蓋及びトレイと同じ方法で洗浄を行うのがよい。 Thereafter, it is preferable to wash with the the upper lid and the tray with the same method. 本発明の洗浄方法は、上蓋及びトレイの洗浄を主眼とするものであるが、 The method of cleaning this invention are those to focus on cleaning of the upper lid and the tray,
クリップについても全く同じ方法で、清浄に洗浄することができる。 Exactly the same way also for the clip, can be washed clean. また、乾燥についても全く同じ方法で完全に乾燥することができる。 Further, it is possible to completely dry in exactly the same way also dried.

【0039】さて、これまで詳述してきた洗浄方法において、極めて重要となるのが洗浄治具の形状である。 [0039] Now, in the cleaning method it has been described in detail so far, in the shape of a become a very important cleaning jig. 図8及び図9はそれぞれペリクル収納容器とクリップの洗浄に使用する洗浄治具を示したもので、それぞれ(a) 8 and 9 shows the respective cleaning tool to be used for cleaning the pellicle container and clip, respectively (a)
は概略正面図、(b)は概略側面図、(c)は概略平面図である。 Is a schematic front view, (b) is a schematic side view, (c) is a schematic plan view. 図10及び図11は、それぞれ洗浄治具に上蓋10及びトレイ11を取り付けるための、保持部の概略平面図であって、(a)〜(d)はそれぞれの保持部に設けた異なる態様の溝を示している。 10 and 11, for mounting the upper lid 10 and the tray 11 each washing jigs, a schematic plan view of the holding portion, (a) ~ (d) are different aspects of that provided in each of the holding portions It shows the groove.

【0040】本発明者等は、本発明の超音波洗浄方法及び脱水方法を達成するために、ペリクル収納容器の上蓋とトレイを別々に、互いに平行になるように、なおかつペリクル載置面が垂直になるように配置する洗浄治具を作製した。 The present inventors have, in order to achieve the ultrasonic cleaning method and the dehydration method of the present invention, separately upper lid and tray of the pellicle container, so as to be parallel to each other, yet pellicle mounting surface perpendicular the washed jig was prepared to arrange such that. この洗浄治具は、図8に示すように、ベースフレーム82、上蓋保持部80とトレイ保持部81を有する支持フレーム83、及び搬送のための搬送バー84 This washing jig, as shown in FIG. 8, the base frame 82, the upper cover holding portion 80 and the tray holding unit 81 carrier bar 84 for the support frame 83, and conveyed with a
から構成される。 It consists of. 上蓋10とトレイ11を支持するための支持フレーム83,83間の間隔85は、20〜10 Spacing 85 between the support frame 83 for supporting the upper lid 10 and the tray 11, 20 to 10
0mmの範囲とし、上蓋保持部80とトレイ保持部81 And 0mm in the range, the upper cover holding portion 80 and the tray holding portion 81
の数は2〜6カ所とするのがよい。 The number of good to the 2-6 places. なお、洗浄治具の構造・形状は、上記した被洗浄ペリクル収納容器を上記配置で保持することができればよく、図8の形状に限定されるものではない。 The structure and shape of the cleaning jig, to be cleaned pellicle container described above as long as it can hold the above arrangement, but is not limited to the shape shown in FIG. また、1つの洗浄治具に装着する数量は、図8の例示では1組となっているが、もちろんこれに限定されるものではなく、図8と同様の構造で平行に配置していけば、複数組の洗浄も充分に可能である。 Further, the quantity to be mounted on one of the cleaning jig, although a pair is illustrated in FIG. 8, but the present invention of course is not limited to this, if we arranged parallel to the same structure as FIG. 8 a plurality of sets of cleaning is also sufficiently possible.

【0041】搬送バー84の形状は、搬送装置との兼ね合いから決定されるべきであるが、上方より懸架して搬送する場合は、図8に示すような構造とし、搬送によるペリクル収納容器10,11への異物の付着を防ぐため、その両端86で懸架するのがよい。 The shape of the carrier bar 84, but should be determined from consideration of the transport device, to convey suspended from above is a structure as shown in FIG. 8, the pellicle container 10 by the transport, to prevent adhesion of foreign matter to 11, it is preferable to suspend at its ends 86. また、搬送バー84は、搬送システムによってベースフレーム82の下側から持ち上げて搬送する場合など、必要としない場合にはこれを省略してもよい。 The transport bar 84, such as when transporting lifted from the lower side of the base frame 82 by the transport system, may be dispensed with if not required. 洗浄治具の材質は、その構成部品毎に、洗浄中に発塵しにくいものの中から適切な材質を選択すればよい。 The material of the cleaning jig, for each component thereof, may be selected an appropriate material from the dust hardly those during cleaning. 特にベースフレーム82、上蓋またはトレイの支持フレーム83、搬送バー84などの主要構造体に関しては、必要な強度があればその材質を問わないが、例えば、パイレックスガラス、石英ガラス、ステンレス鋼、チタン及びその合金などが挙げられる。 In particular the base frame 82, the top cover or tray support frame 83, with respect to the primary structure, such as a carrier bar 84, but not limited to the material if necessary strength, for example, Pyrex glass, quartz glass, stainless steel, titanium and such as the alloy and the like. また、上蓋及びトレイ保持部80,81はペリクル収納容器10,11の傷付きを防ぐために樹脂製にするとよい。 Further, the upper lid and the tray holding unit 80 and 81 may be in the resin in order to prevent damage to the pellicle container 10,11. 樹脂の種類は、温度、薬液に対して劣化せず、 Type of resin is not deteriorated temperature, relative chemical,
ペリクル収納容器と接触した際に異物の発生しにくいものであればよく、特に限定されるものではないが、例えば、PTFE、PEEK、POM等のエンジニアリングプラスチックを挙げることができる。 As long as the generation of foreign matter hardly upon contact with the pellicle container is not particularly limited, examples thereof include PTFE, PEEK, an engineering plastic such as POM.

【0042】他方、クリップの洗浄治具は、例えば、図9に示すように、クリップを収納するクリップ収納カゴ90、洗浄中のクリップの流出を防ぐ開閉式の蓋91、 [0042] On the other hand, the clip of the cleaning jig, for example, as shown in FIG. 9, the clip housing cage 90 for accommodating the clip, preventing the outflow of the clip during washing openable lid 91,
脱着アタッチメント92から構成される。 Composed from the desorption attachment 92. 脱着アタッチメント92により、図8に示す上蓋及びトレイの洗浄治具に取り付け、取り外しが可能な構造となっている。 The desorption attachment 92, attached to the upper lid and the tray of the cleaning jig shown in FIG. 8, has become a removable structure. クリップ洗浄治具は、複数個のクリップが流出しないよう収容できればよく、開閉式の蓋91、脱着アタッチメント92の構造、位置等は、特にこれに限定されるものではない。 Clip washing jig, as long accommodating as a plurality of clip does not flow out, openable lid 91, the structure of the desorption attachment 92, the position or the like is not particularly limited thereto. また、図8と同様な構造でクリップ専用の洗浄治具を作製することももちろん可能であるが、コスト削減の観点から、望ましくは図9に例示したように、上蓋及びトレイの洗浄治具に、取り外し可能な構造とするのがよい。 Although it is of course possible to produce the cleaning jig clips only in the same structure as FIG. 8, from the viewpoint of cost reduction, preferably as illustrated in Figure 9, the upper lid and the tray of the cleaning jig , it is preferable to a removable structure.

【0043】クリップ収納カゴ90の容積は、特に限定されるものではないが、上蓋及びトレイと同じ洗浄装置を使用するのが望ましいため、前記したシャワー洗浄装置においてノズルから噴射された洗浄液が充分にかかる大きさとするのがよい。 The volume of the clip storage basket 90 is not particularly limited, since it is desirable to use the same washing device an upper lid and a tray, cleaning liquid is sufficiently ejected from the nozzle in the shower cleaning device described above preferably set to such a size. クリップ収納カゴ90の補強体93は、超音波洗浄において、超音波を妨害し、洗浄効果を低下させることが懸念されるため、補強体93は直径0.5〜3mmの丸棒とするのがよく、またクリップ収納カゴ90の網目94は少なくとも5mm以上とするのがよい。 Reinforcement 93 of the clip housing cage 90, in the ultrasonic cleaning, interfere with ultrasound, for reducing the cleaning effect is concerned, the reinforcing member 93 is to round bars with a diameter 0.5~3mm well, also mesh 94 of the clip housing cage 90 is preferably set to at least 5mm or more. さらに、これらの構造体の材質は強度、耐食性、価格からステンレス鋼が望ましい。 Further, the material of these structures strength, corrosion resistance, stainless steel price from desirable.

【0044】図10に図8のA部の詳細を示す。 [0044] FIG. 10 shows a detail of part A of FIG. 上蓋1 The upper lid 1
0及びトレイ11の保持部は、洗浄槽への浸漬時及び引上げ時に上蓋10またはトレイ11が脱落しないように設計されていなければならない。 Holding portions of the 0 and the tray 11, the upper cover 10 or the tray 11 must be designed so as not to fall off during immersion in cleaning tank and at the pulling. この目的からすれば、 From this purpose,
上蓋保持部100は、その上面に、図10(a)のように、上蓋10の周縁部に対応する断面形状の溝101を備えたものであればよい。 Top cover holding portion 100 has, on its upper surface, as shown in FIG. 10 (a), the as long as they are provided with a groove 101 of the cross-sectional shape corresponding to the peripheral portion of the upper lid 10. しかし、溝101の形状は、 However, the shape of the groove 101,
上蓋10との隙間が狭く液抜き溝がないため、引上げ脱水時に上蓋10と上蓋保持部100の間の脱水が不十分となり、また温風乾燥時にも温風が通りにくいことと相まって、乾燥時間の延長を招く。 Since there is no narrow drained groove gap between upper lid 10, pulling dehydration between upper lid 10 and the upper cover holding portion 100 is insufficient when the dehydration, also together with the fact difficult even street warm air during hot air drying, drying time lead to the extension. よって、溝101は引上げ脱水時に洗浄液の脱水を妨げない形状が望ましい。 Therefore, the groove 101 is preferably shaped to not interfere with the dehydration of the cleaning solution during pulling dehydration.
ただし、単純に嵌合部を広くしただけでは上蓋10の脱落を招く。 However, only by simply widening the fitting portion leading to falling off of the upper lid 10. そこで種々検討した結果、図10(b)〜 Therefore a result of various studies, FIG. 10 (b) ~
(d)に示すように、溝101の上蓋10との接触部に、さらに液抜きを目的とした溝を設けることで、これが解決できること見いだした。 (D), the contact portion between the upper lid 10 of the groove 101, by further providing grooves for the purpose of liquid discharge, found that this can be solved. この液抜き溝の形状は、 The shape of the liquid discharge groove,
(b)に示すような矩形断面の溝102に限定されるものではなく、例えば、(c)に示すような円弧状断面の溝103、(d)に示すようなV型断面の溝104など、液抜きの目的が果たせる形状であればよい。 (B) in the present invention is not limited to the groove 102 of rectangular cross-section as shown, for example, the groove 103 of the arc-shaped cross-section as shown in (c), such as grooves 104 of the V-shaped cross section as shown in (d) as long as it is a shape that the purpose of the drained can play.

【0045】トレイ11についても同様のことがいえる。 [0045] The same is true of the tray 11. 図11に図8のB部の詳細を示す。 Figure 11 shows the details of part B of FIG. 図11(a)のトレイ保持部110の溝111の形状では、トレイ11 11 The shape of the groove 111 of the tray holder 110 of (a), the tray 11
との隙間が狭く液抜き溝がないため、引上げ脱水時に、 Since there is no narrow drained groove gap between the time of pulling dehydration,
トレイ11とトレイ保持部110の間の脱水が不十分となり、また、温風乾燥時にも温風が通りにくく、乾燥時間の延長を招く。 Dehydration between tray 11 and tray holding portion 110 is insufficient, also, difficult street warm air to the warm air drying, leading to prolonged drying time. そのため、溝111のトレイ11との接触部に、さらに図11(b)〜(d)に示すような液抜きを目的とした溝を設けるのが望ましい。 Therefore, the contact portion between the tray 11 of the groove 111, further FIG 11 (b) ~ (d) the liquid discharge shown in desirably forming grooves for the purpose of. この液抜き溝の形状は、(b)に示すような矩形断面の溝112に限定されるものではなく、例えば、(c)に示すような円弧状断面の溝113、(d)に示すようなV型断面の溝114など、液抜きの目的が果たせる形状であればよい。 The shape of the liquid discharge groove is not limited to the groove 112 of rectangular cross-section (b), the example, the grooves 113 of the circular cross-section as shown in (c), as shown in (d) of such as a V-section grooves 114, it may be any shape desired play weep.

【0046】上記各洗浄工程間の搬送手段については、 [0046] The conveying means between each washing step,
ペリクル収納容器と洗浄治具の重量が重いうえ工程が長く、作業者の疲労が甚大であることに加えて、搬送中の作業者からの異物の付着が懸念される。 Pellicle container and the cleaning jig is heavy upon process is long, in addition to operator fatigue is great, deposition of foreign matter from the worker during transportation is concerned. このため、本発明の洗浄方法を実施する装置には、自動搬送機構を備えることが望ましい。 Therefore, an apparatus for practicing the cleaning method of the present invention, it is desirable to provide an automatic transport mechanism. 前記した本発明の洗浄方法で使用する洗浄装置、脱水装置及び乾燥装置を工程の流れに沿って配置し、これに搬送機構を設けることで、一連の工程を連続かつ全自動で行う装置にすることができる。 Cleaning apparatus used in the cleaning method of the present invention described above, arranged along a dehydrator and drying apparatus in the process flow, by providing the transport mechanism to be an apparatus for performing a series of steps in a continuous and fully automatic be able to. 図1 Figure 1
2に本発明が適用される洗浄装置の一例を概略平面図で示す。 An example of the cleaning apparatus to which the present invention is applied to a 2 shown by the schematic plan view.

【0047】上記洗浄装置は、図2〜図7に関連して詳細に説明した、洗浄装置架台120上にシャワー洗浄装置121、界面活性剤水溶液を用いる超音波洗浄装置1 [0047] The cleaning apparatus Figures 2-7 have been described in detail in connection with, the shower cleaning device 121 in the cleaning device frame 120, ultrasonic cleaning device using a surfactant solution 1
22、純水を用いるシャワー洗浄装置123、純水を用いる超音波洗浄装置124、純水を用いるシャワー洗浄装置123、脱水装置125及び乾燥装置126が順に配列されている。 22, the pure water used shower cleaning device 123, an ultrasonic cleaning device 124 using pure water, shower cleaning device 123 using pure water, dehydrator 125 and the drying apparatus 126 are arranged in this order. 搬送装置は、搬送アーム129,引上げアーム130,揺動アーム131、上下方向(引上げ方向)搬送用の単軸ロボット135、左右方向搬送用のサーボモータ132、ボールねじ133、直動ガイド1 Conveying apparatus, the conveying arm 129, pulling the arm 130, the swing arm 131, the vertical direction (pulling direction) uniaxial robot 135 for transporting, servo motor 132 for horizontal conveyance, the ball screw 133, linear guides 1
37、架台127、連結ロッド134及びコンベア12 37, the gantry 127, connecting rod 134 and the conveyor 12
8から構成される。 It consists of 8. ペリクル収納容器10、11は洗浄治具12に取り付けられて工程順に処理・搬送される。 Pellicle container 10, 11 is processed and transported attached to the cleaning jig 12 in the order of steps.

【0048】この例では、純水を用いる超音波洗浄装置の揺動アーム131(図5の56に相当)と脱水装置の引上げアーム130(図6の66に相当)は、共に搬送アームを兼ねており、純水による超音波洗浄及び引上げ脱水処理が終了した後は搬送アームとして機能する。 [0048] In this example, the pulling arm 130 of the swing arm 131 of the ultrasonic cleaning apparatus using pure water (corresponding to 56 of FIG. 5) dehydrating apparatus (corresponds to 66 in FIG. 6) also serves as a carrying arm together and it has, after ultrasonic cleaning and pulling dehydration treatment with pure water is completed acts as a transfer arm. 各洗浄装置121〜124での各洗浄槽及び脱水装置12 Each cleaning tank and dehydrator at each washing device 121-124 12
5における上下方向の移動及び脱水槽への搬送は、各洗浄及び脱水装置毎に配置された単軸ロボット135により行われるが、この単軸ロボット135は、連結ロッド134によりそれぞれ連結され、サーボモータ132の運転で全ての搬送アームが連動して動く。 Movement in the vertical direction in the 5 and conveyed to the dewatering tank is carried out by a single-axis robot 135 arranged in each washing and dewatering device, the single-axis robot 135 are respectively connected by a connecting rod 134, a servo motor 132 all of the transfer arm in the operation of the move in conjunction with each other. 乾燥装置12 The drying device 12
6前後の搬送手段としてコンベア128を例示したが、 6 has been exemplified conveyor 128 as conveying means before and after,
もちろんこれに限定されるものではなく、ウオーキングビーム型のものや、乾燥装置前後にロボットを配置したものでもよい。 Of course the invention is not limited thereto, those of walking beam type and the drying apparatus may be obtained by placing the robot back and forth.

【0049】搬送装置の構成として、上記のような全工程を一体とした装置の他に、洗浄槽間を個別の独立した搬送装置で結んだ形式など、種々の形態が挙げられるが、所望の搬送動作が行えればよく、特に限定されるものではない。 [0049] as a transfer apparatus, the entire process as described above to other devices and integrated, such as connecting it formats cleaning tank between the individual independent transport device, various forms can be mentioned, desired may be transport operation is Okonaere, but is not particularly limited. アクチュエータとしても、汎用ロボットの組み合わせ、エアーシリンダー、サーボモータとボールねじなど、様々なものが使用でき、価格、特性に応じて使い分ければよい。 Even actuators, a combination of general-purpose robot, air cylinder, etc. servomotor and a ball screw, various ones can be used, the price may be selectively used according to the characteristics. ただし、被洗浄物への異物の付着を防ぐため、これらの駆動部は、適切なカバーで周囲から遮蔽し、その内部を局所排気により、常に周囲よりも負圧にしておくことが望ましい。 However, to prevent foreign matter from adhering to the cleaning object, such drive portions are shielded from the surrounding by a suitable cover, by local exhaust its internal, always it is desirable to keep the negative pressure above ambient.

【0050】搬送装置における洗浄治具12の支持方法には、図13に概略正面図で示したように、(a)上方より懸架するもの、(b)下方より保持するものなどが挙げられるが、特に限定されるものではない。 [0050] The supporting method of cleaning jig 12 in the conveying apparatus, as shown in the schematic front view in FIG. 13, which suspends from (a) above, but like to hold from (b) below , it is not particularly limited. しかし、 But,
下方から洗浄治具12を保持する場合、把持アーム13 If you want to keep the cleaning jig 12 from below, the gripping arm 13
9の構造が複雑になることから、望ましくは図13 Since the structure of 9 becomes complicated, preferably 13
(a)に示した上方から懸架する方式とするのがよい。 Preferably set to method for suspending from above as shown in (a).
搬送装置側は搬送アーム129の下部にフック138を2カ所に設け、洗浄治具側はこれと対応する位置に上部に搬送バー84を有する構造となる。 Conveying device side provided in two places the hook 138 in the lower portion of the transfer arm 129, the cleaning jig side is configured to have a conveying bar 84 at the top at a position corresponding thereto. このとき、フック138と搬送バー84の嵌合部は、フック138が搬送バー84を下方より掬い上げた時、容易に懸架でき、なおかつ搬送中にペリクル収納容器10,11及び洗浄治具12が振れない形状とする。 At this time, the fitting of the hook 138 and the conveying bar 84, when the hook 138 is scooped the carrier bar 84 from below, easily suspended, the pellicle container 10, 11 and the cleaning jig 12 during transportation and yet are and runout not shape. このフック138と搬送バー84の嵌合部の詳細を図13(c)に示す。 The details of the fitting portion of the hook 138 and the conveying bar 84 shown in FIG. 13 (c). フック138と搬送バー84は、容易に懸架でき、なおかつ搬送中の安定性を高くするために、相互の嵌合部分をテーパー状とし、その角度βは30〜75°の範囲内とするのがよい。 Hook 138 and the conveying bar 84 can be readily suspended, in order yet to increase the stability during transport, the mating portion of the cross is tapered, its angle β that in the range of 30 to 75 ° good.

【0051】 [0051]

【実施例】以下、本発明の洗浄方法を、実施例及び比較例を挙げて説明する。 EXAMPLES Hereinafter, the cleaning method of the present invention will be described by way of examples and comparative examples. (実施例1)「クラス10」のクリーンルーム内に置かれた、図12に示したのと同様の洗浄装置を用いて本発明の洗浄方法を行った。 (Example 1) was placed in a clean room "Class 10", was washed method of the present invention using the same cleaning apparatus as that shown in FIG. 12. 先ず、ペリクル収納容器の上蓋10及びトレイ11を図8に示す構造の洗浄治具12に取り付け、図2に示すシャワー洗浄装置を用いて、流量をノズル1本あたり4L/分、圧力を0.3MPaとして5分間の洗浄を行った。 First, the upper cover 10 and the tray 11 of the pellicle container attached to the cleaning jig 12 having the structure shown in FIG. 8, with a shower cleaning device shown in FIG. 2, 4L / min per one nozzle flow, pressure 0. the cleaning of 5 minutes was carried out as 3MPa. 次に、図3に示す超音波洗浄装置を用いて、界面活性剤:クリーンエースS(前出) Next, using an ultrasonic cleaning apparatus shown in FIG. 3, the surfactant (supra) Clean Ace S
を10%の濃度で純水に溶解したものを洗浄液として、 As washing liquid that was dissolved in pure water at 10% concentration,
5分間の超音波洗浄を行った。 The ultrasonic cleaning for 5 minutes was carried out. このとき、洗浄液は、温度を30℃で一定に制御しながら、槽容量50Lに対して流量40L/分で循環させた。 At this time, the cleaning liquid, while controlling a constant temperature at 30 ° C., was circulated at a flow rate of 40L / min for vessel capacity 50L. 超音波洗浄機には、4 The ultrasonic cleaning machine, 4
周波混合型超音波洗浄機:発振器UO1200FX1− Frequency mixing ultrasonic washer: oscillator UO1200FX1-
P(前出)を使用し、音圧強度50kPaで超音波を照射した。 Using the P (supra), it was irradiated with ultrasonic waves in the acoustic pressure of 50kPa. 次に、図4に示すシャワー洗浄装置を用いて純水を吹き付け、界面活性剤をペリクル収納容器10、1 Next, spraying pure water with a shower cleaning device shown in FIG. 4, the surfactant pellicle container 10,1
1及び洗浄治具12の表面から洗い流した。 It was washed from 1 and the surface of the cleaning jig 12. 流量はノズル1本あたり2L/分、圧力は0.05MPaとして1 Flow rate 2L / min per one nozzle, pressure 1 as 0.05MPa
分間の洗浄を行った。 The cleaning of minutes went.

【0052】これにより界面活性剤を除去した後、図5 [0052] After removal of the detergent by hand, FIG 5
に示す超音波洗浄装置を用いて純水中で超音波洗浄を行った。 The ultrasonic cleaning in pure water using an ultrasonic cleaning apparatus shown in conducted. 洗浄槽の容量50Lに対し、40L/分の流量で純水を循環させながら、純水装置から純水を10L/分の流量で供給した。 Capacitance-50L of the cleaning tank, while circulating pure water at a flow rate of 40L / min, the pure water from the pure water device was supplied at 10L / min flow rate. 純水の温度は30℃とし、5分間の洗浄を行った。 Temperature of the pure water was set to 30 ° C., followed by washing for 5 minutes. 超音波洗浄機には上記と同じものを使用し、音圧強度50kPaの条件で超音波を照射した。 The ultrasonic cleaner using the same as above, was irradiated with ultrasonic waves under the conditions of the acoustic pressure intensity 50 kPa. さらに、駆動機構59と揺動アーム56とからなる揺動装置を用いて、洗浄中、ペリクル収納容器10,11を洗浄治具12とともに、1回/分の頻度、速度50mm/ Further, by using a swing device comprising a drive mechanism 59 and the swing arm 56, during cleaning, the pellicle container 10, 11 together with the cleaning jig 12, the one / min frequency rate of 50 mm /
秒で揺動させた。 It is swung in seconds. 次に、図4に示すシャワー洗浄装置を用いて純水を吹き付け、ペリクル収納容器10,11の表面に残っていた気泡を完全に除去した。 Next, spraying pure water with a shower cleaning device shown in FIG. 4, to completely remove the bubbles remaining in the surface of the pellicle container 10,11. 流量をノズル1本あたり2L/分、圧力は0.05MPaとして1分間の洗浄を行った。 2L / min per one nozzle flow, pressure was washed for 1 minute as 0.05 MPa.

【0053】このようにして洗浄が終了した後、図6に示す脱水装置を用いて、ペリクル収納容器10,11の全体を純水中に浸漬した後、洗浄治具12とともにゆっくり引上げて脱水を行った。 [0053] After thus washed is completed, using the dewatering device shown in FIG. 6, after dipping the entire pellicle container 10, 11 in pure water, dehydrated slowly Te pulling together cleaning jig 12 went. このとき、洗浄治具12の水面に対する傾斜角αは10°とし、引上げ速度は1m In this case, the inclination angle α with respect to the water surface of the cleaning jig 12 and 10 °, pull rate 1m
m/秒で一定とした。 It was constant at m / sec. 純水の温度は35℃とし、脱水槽60の体積50Lに対して流量40L/分で循環させながら、給水管48から純水を流量10L/分で供給した。 Pure water temperature was set to 35 ° C., while circulating at a flow rate of 40L / min with respect to the volume 50L in the dewatering tank 60 and supplying pure water at a flow rate of 10L / min from the water supply pipe 48. 乾燥は、図7に示す構造の温風乾燥機を用い、流速1.0m/秒、温度70℃の条件で10分間行った。 Drying with hot air dryer having a structure shown in FIG. 7, it was carried out flow rate 1.0 m / sec, 10 minutes at a temperature of 70 ° C.. 上記のようにして、洗浄及び乾燥を行ったペリクル収納容器50個の上蓋10とトレイ11の内側を、暗室内にて40万ルクスの集光ランプで目視検査した。 As described above, the inner and the pellicle container 50 of the upper lid 10 was cleaned and dried tray 11 was visually inspected 400,000 lux condenser lamp in a dark room. その結果、 as a result,
50個全てにおいて目視で確認できる異物は全く残っていなかった。 Foreign matter can be confirmed visually at 50 all did not remain at all.

【0054】(比較例1) 界面活性剤:クリーンエースS(前出)の10%水溶液をポリビニルアルコール製の不織布:ベルクリン(井内盛栄堂社製、商品名)に浸潤させ、手作業でペリクル収納容器の上蓋10とトレイ11の全表面をくまなくスクラブ洗浄し、純水ですすいだ後、図14[(a)は概略正面図、(b)は概略側面図、(c)は概略平面図である]に示すパイレックスガラス製の洗浄治具12の2つの槽142、143内にそれぞれ収容した。 [0054] (Comparative Example 1) Surfactant: Clean Ace S (supra) in 10% aqueous solution of polyvinyl alcohol nonwoven fabric: Bellclean (Iuchi Co., Ltd., trade name) infiltrated the pellicle storage manually the entire surface of the upper cover 10 and the tray 11 of the container scrubbed throughout, rinsed with pure water, FIG. 14 [(a) is a schematic front view, (b) is a schematic side view, (c) is a schematic plan view It was housed respectively into two intracisternal 142, 143 of the cleaning jig 12 made of Pyrex glass shown in which] the. この洗浄治具12をペリクル収納容器10、11ごと、図15 Each of the cleaning jig 12 pellicle container 10, 11, 15
[(a)は概略正面図、(b)、(c)はそれぞれ要部の概略側面図及び概略平面図である]に示す超音波洗浄装置の洗浄槽150内に装入し、図3に示した超音波洗浄装置を用いて、上記実施例と同じ条件、方法で、界面活性剤の10%純水溶液による超音波洗浄を行った。 [(A) is a schematic front view, (b), (c) respectively a schematic side view of a main part and a schematic is a plan view] was charged into the cleaning tank 150 of the ultrasonic cleaning apparatus shown in, FIG. 3 using an ultrasonic cleaning apparatus shown, the same conditions as in example, in the method, was subjected to ultrasonic cleaning with 10% pure aqueous solution of a surfactant. その後、同じ超音波洗浄装置を用いて、純水中で10分の超音波洗浄を行った。 Then, using the same ultrasonic cleaning apparatus, it was subjected to ultrasonic cleaning in 10 minutes in pure water. 洗浄液が純水であることと、純水装置(図示せず)から純水を10L/分の流量で供給することを除き、洗浄装置の仕様及び洗浄条件は、上記した洗浄液が界面活性剤の場合と同じである。 And that the washing solution is pure water, the pure water from the pure water device (not shown) except that supplied at 10L / min flow rate, specifications and washing conditions of the cleaning device, the cleaning liquid described above is surfactant If it is the same as. 洗浄を終えたペリクル収納容器10、11は、洗浄治具12に入れたまま床面からの高さが1300mmの台上に放置し、 Pellicle container 10, 11 having been subjected to the washing, the height of the floor is still in its cleaning jig 12 is left on the table of 1300 mm,
異物が付着しないように周囲に注意しながら5時間かけて自然乾燥させた。 Foreign matter is allowed to dry naturally over a period of 5 hours while paying attention to surroundings so as not to adhere. なお、本比較例における全ての作業は「クラス10」のクリーンルーム内で行った。 Note that all of the work in this comparative example was conducted in a clean room "Class 10".

【0055】洗浄・乾燥を終えたそれぞれ50個の上蓋10とトレイ11の内側を、暗室内にて40万ルクスの集光ランプで目視検査した。 [0055] The inner cleaning and drying respectively 50 of the upper lid 10 finished tray 11 was visually inspected 400,000 lux condenser lamp in a dark room. その結果、50個全てにおいて目視で確認できる異物は全く残っていなかった。 As a result, foreign matter can be confirmed visually at 50 all did not remain at all. さらに、洗浄を施したペリクル収納容器にペリクルを収納し輸送を行った場合に、ペリクルに異物の付着がないかの確認試験を行った。 Furthermore, when performing housing the pellicle to a pellicle container subjected to washing transport were of confirmation tests no adhesion of foreign matter to the pellicle. 異物が全く付着していないことを確認したペリクルを、上記実施例及び本比較例で洗浄したそれぞれのペリクル収納容器に各50個収納した。 The foreign matter was confirmed that in no way attached pellicle was each 50 housed in each of the pellicle container was washed with the above examples and the comparative example. それぞれのペリクル収納容器の周囲をクッション材で覆って、各5個ずつを同一のダンボール箱に梱包し、200 The periphery of each of the pellicle container is covered with a cushion material, and packing one by each of five in the same cardboard box, 200
kmの距離をトラック便にて往復輸送した。 The distance of km back and forth transport by truck. その後、クリーンルーム内でペリクルをペリクル収納容器から取りだし、日立電子エンジニアリング社製のレーザー表面検査装置及び40万ルクスの集光ランプを使用した目視検査にて、ペリクル膜面のみならずペリクルフレームの内壁及び外壁について異物検査を行った。 Thereafter, the pellicle is removed from the pellicle container in a clean room, by visual inspection using a Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. Laser surface inspection apparatus and 400,000 lux condenser lamp, the inner wall and the pellicle frame not pellicle film surface only particle inspection was performed on the outer wall. その結果、本比較例で洗浄したペリクル収納容器については、50個のサンプルのうち、4個のペリクル膜面に0.5〜1μm 0.5~1μm Consequently, the washed pellicle container in this comparative example, among the 50 samples, the four pellicle film surface
の大きさの異物の付着が認められたが、実施例1で洗浄したペリクル収納容器には、50個のサンプル全数において異物の付着は全く見られなかった。 Adhesion of the size of the foreign matter is was recognized, the pellicle container washing in Example 1, adhesion of foreign matter in the 50 samples total number was observed.

【0056】(比較例2)50個のペリクル収納容器について、前記実施例と同様にして洗浄を行い、脱泡を目的としたシャワー洗浄及び脱水作業を行わずに、純水による超音波洗浄後直ちに温風乾燥機で乾燥した。 [0056] (Comparative Example 2) 50 pellicle container, washed in the same manner as in the above embodiment, without shower washing and dehydrating operations for the purpose of defoaming, after ultrasonic cleaning with pure water and dried immediately hot-air dryer. その結果、10分で乾燥できたのはサンプル50個中、1個もなかった。 As a result, was able to dry in 10 minutes during the 50 samples, there was no one.

【0057】(比較例3)50個のペリクル収納容器について、上蓋保持部が図10(a)に示す形状で、トレイ保持部が図11(a)に示す形状の、図8に示す構造の洗浄治具を使用し、前記実施例と全く同様にして、洗浄〜乾燥までの一連の処理を行った。 [0057] (Example 3 Comparative) About 50 pellicle container, lid holder is in a shape shown in FIG. 10 (a), the tray holding portion having a shape shown in FIG. 11 (a), the structure shown in FIG. 8 using the cleaning jig in the same manner as in example was carried out a series of processes up to the cleaning-drying. 乾燥後、上蓋10 After drying, the upper lid 10
を検査したところ、50個のサンプル中、24個について、上蓋保持部80との接触部に水滴の残留が認められた。 Examination of in 50 samples, for 24, the residual water droplets were observed in the contact portion between the upper cover holding portion 80. また、トレイにおいては50個のサンプル中、38 Moreover, in 50 samples in trays, 38
個について、トレイ保持部81との接触部に水滴の残留が認められた。 For pieces, residual water droplets were observed in the contact portion between the tray holding portion 81.

【0058】 [0058]

【発明の効果】本発明によれば、ペリクル収納容器の表面をきわめて清浄に洗浄することができる。 According to the present invention, it is possible to clean the surface of the pellicle container very clean. また、ペリクル収納容器の洗浄から乾燥までの一連の作業を連続で行うことが可能となり、きわめて高い生産性が達成される。 Further, it is possible to perform a series of operations to dry the washed pellicle container in a continuous, extremely high productivity can be achieved.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】 本発明が対象とする一般的なペリクル収納容器を示し、(a)は斜視図、(b)は(a)のA−A矢視線にそう縦断面図である。 [1] The present invention shows a typical pellicle container of interest is the case longitudinal sectional view on A-A arrow line in (a) is a perspective view, (b) is (a).

【図2】 本発明で使用するシャワー洗浄装置の一例を示すもので、(a)は概略正面図、(b)、(c)はそれぞれ要部の概略側面図及び概略平面図である。 [Figure 2] shows an example of the shower cleaning device used in the present invention, (a) is a schematic front view, (b), (c) is a schematic side view and a schematic plan view of each main portion.

【図3】 本発明で使用する、洗浄液として界面活性剤水溶液を用いる超音波洗浄装置の一例を示すもので、 [3] used in the present invention, it shows an example of the ultrasonic cleaning device using an aqueous surfactant solution as a cleaning solution,
(a)は概略正面図、(b)、(c)はそれぞれ要部の概略側面図及び概略平面図である。 (A) is a schematic front view, (b), (c) is a schematic side view and a schematic plan view of each main portion.

【図4】 本発明で使用する、洗浄液として純水を用いるシャワー洗浄装置の一例を示すもので、(a)は概略正面図、(b)、(c)はそれぞれ要部の概略側面図及び概略平面図である。 As used [4] The present invention, shows an example of the shower cleaning device using a pure water as a cleaning liquid, (a) represents a schematic front view, (b), (c) is and schematic side views, respectively main part it is a schematic plan view.

【図5】 本発明で使用する、洗浄液として純水を用いる超音波洗浄装置の一例を示すもので、(a)は概略正面図、(b)、(c)はそれぞれ要部の概略側面図及び概略平面図である。 [5] used in the present invention, shows an example of the ultrasonic cleaning device using a pure water as a cleaning liquid, (a) represents a schematic front view, (b), (c) is a schematic side view of respective main portions and is a schematic plan view.

【図6】 本発明で使用する脱水装置の一例を示す概略正面図である。 6 is a schematic front view showing an example of a dewatering device to be used in the present invention.

【図7】 本発明で使用する乾燥装置の一例を示す概略正面図である。 7 is a schematic front view showing an example of a drying apparatus used in the present invention.

【図8】 本発明で使用するペリクル収納容器の洗浄治具の一例を示し、(a)は概略正面図、(b)は概略側面図、(c)は概略平面図である。 8 shows an example of the cleaning jig pellicle container for use in the present invention, (a) is a schematic front view, (b) is a schematic side view, (c) is a schematic plan view.

【図9】 本発明で使用するクリップ洗浄治具の一例を示し、(a)は概略正面図、(b)は概略側面図、 9 shows an example of a clip cleaning jig for use in the present invention, (a) is a schematic front view, (b) is a schematic side view,
(c)は概略平面図である。 (C) is a schematic plan view.

【図10】 洗浄治具に上蓋を取り付ける保持部の概略平面図を示し、(a)〜(d)はそれぞれ保持部に設けた溝の異なる態様を示す。 [Figure 10] shows a schematic plan view of a holding portion for attaching the upper lid to the cleaning jig, showing the (a) ~ (d) are grooves different embodiments provided in each holding portion.

【図11】 洗浄治具にトレイを取り付ける保持部の概略平面図を示し、(a)〜(d)はそれぞれ保持部に設けた溝の異なる態様を示す。 11 shows a schematic plan view of a holding portion for attaching the tray to wash jig, showing the (a) ~ (d) are grooves different embodiments provided in each holding portion.

【図12】 本発明が適用される洗浄装置の一例を示す概略平面図である。 It is a schematic plan view showing an example of Figure 12 the washing apparatus to which the present invention is applied.

【図13】 本発明で使用する洗浄治具の搬送形態を示し、(a)、(b)はそれぞれ異なる態様の洗浄治具の概略正面図であり、(c)は(a)のフックと搬送バーの嵌合部の詳細を示す。 [Figure 13] shows the transporting configuration of the cleaning jig for use in the present invention, the hook (a), (b) is a schematic front view of the cleaning jig different aspects, (c) is (a) showing details of the fitting portion of the carrier bar.

【図14】 比較例1において使用したペリクル収納容器の洗浄治具を示し、(a)は概略正面図、(b)は概略側面図、(c)は概略平面図である。 [Figure 14] shows the cleaning jig pellicle container used in Comparative Example 1, (a) is a schematic front view, (b) is a schematic side view, (c) is a schematic plan view.

【図15】 比較例1において使用した超音波洗浄装置を示し、(a)は概略正面図、(b)、(c)はそれぞれ要部の概略側面図及び概略平面図である。 [Figure 15] shows an ultrasonic cleaning apparatus used in Comparative Example 1, (a) is a schematic front view and a (b), (c) is a schematic side view and a schematic plan view of each main portion.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1:上蓋、 2:トレイ、 3:クリップ、10:(ペリクル収納容器の)上蓋、11:(ペリクル収納容器の)トレイ、 12:洗浄治具、20,30,40,5 1: top cover, 2: Tray 3: clips, 10 :( pellicle container) upper lid, 11 :( pellicle container) trays, 12: cleaning jig, 20,30,40,5
0,150:洗浄槽、21,31,51,151:洗浄液、 22,42:ノズル、23,33,43,53, 0,150: cleaning tank, 21,31,51,151: washing solution, 22, 42: nozzle, 23,33,43,53,
63,73,77,153:フィルター、24,34, 63,73,77,153: filter, 24, 34,
54,64,74,154:ヒーター、25,35,4 54,64,74,154: heater, 25,35,4
5,55,65,155:ポンプ、 26,46:カバー、27,37,47,57,67,157:配管、3 5,55,65,155: Pump, 26, 46: cover, 27,37,47,57,67,157: Plumbing, 3
2,152:超音波振動板、 41,61:純水、 4 2,152: Ultrasonic vibration plate, 41 and 61: pure water, 4
8:給水管、49:排水管、 56:揺動アーム、 5 8: water supply pipe, 49: drain pipe, 56: swing arm, 5
8,68:支持部、59,69:駆動機構、 60:脱水槽、 62:液面、66:引上げアーム、α:洗浄治具の液面からの傾斜角度、72:乾燥庫、 75:循環ファン、 76:外気導入ファン、 78:矢印 80:上蓋保持部、 81:トレイ保持部、 82:ベースフレーム、83:支持フレーム、 84,141: 8,68: support portion, 59, 69: driving mechanism, 60: dewatering tank, 62: liquid surface, 66: pulling arm, alpha: angle of inclination of the liquid surface of the cleaning jig 72: drying chamber, 75: circulating fan, 76: outside air introduction fan, 78: arrow 80: top cover holding section, 81: tray holding unit, 82: base frame, 83: support frame, 84,141:
搬送バー、 85:間隔、86:両端(搬送時の懸架位置)、 90:クリップ収納カゴ、91:開閉式の蓋、 Carrier bar, 85: Interval, 86: both ends (suspended position during transportation), 90: Clip storage basket, 91: openable lid,
92:脱着アタッチメント、 93:補強体、94: 92: detachable attachment, 93: reinforcing body, 94:
網目、 100:上蓋保持部、101,111:(液抜き溝の無い)溝、102,112:矩形断面の液抜き溝、103,113:円弧状断面の液抜き溝、104, Mesh, 100: top cover holding section, no 101 and 111 :( Fluid release grooves) grooves 102 and 112: drained groove of rectangular cross-section, 103, 113: drained groove of arcuate cross-section, 104,
114:V型断面の液抜き溝、 110:トレイ保持部、120:洗浄装置架台、 121:シャワー洗浄装置、122:界面活性剤水溶液を用いる超音波洗浄装置、123:純水を用いるシャワー洗浄装置、124: 114: weep groove of V-shaped cross-section, 110: tray holding unit, 120: washing apparatus pedestal, 121: shower cleaning device 122: ultrasonic cleaning device using an aqueous surfactant solution, 123: shower cleaning device using pure water , 124:
純水を用いる超音波洗浄装置、 125:脱水装置、1 Ultrasonic cleaning apparatus using pure water, 125: dewatering device, 1
26:乾燥装置、 127:搬送装置架台、 128: 26: drying device, 127: transfer apparatus platform, 128:
コンベア、129:搬送アーム、 130:引上げアーム、 131:揺動アーム、132:サーボモータ、 Conveyor, 129: transfer arm, 130: pulling arm 131: swing arm, 132: servo motor,
133:ボールネジ、 134:連結ロッド、135: 133: Ball screw, 134: connecting rod 135:
単軸ロボット、 136:シャッター、137:直動ガイド、 138:フック、 139:把持アーム、β: Single Axis Robot, 136: Shutter 137: linear guide, 138: hooks 139: gripping arm, beta:
フックと搬送バーの嵌合部のテーパー角度、142,1 Taper angle of the fitting portion of the hook and the carrier bar, 142,
43:槽、 43: bath,

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H095 BB21 BB23 BB30 3B116 AA46 AB39 BB02 BB23 BB33 BB62 BB83 CC01 CC03 3B201 AA46 AB40 AB44 BB02 BB03 BB04 BB23 BB33 BB62 BB92 BB93 CB15 CC01 CC12 5F046 AA28 ────────────────────────────────────────────────── ─── front page of continued F-term (reference) 2H095 BB21 BB23 BB30 3B116 AA46 AB39 BB02 BB23 BB33 BB62 BB83 CC01 CC03 3B201 AA46 AB40 AB44 BB02 BB03 BB04 BB23 BB33 BB62 BB92 BB93 CB15 CC01 CC12 5F046 AA28

Claims (13)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 洗浄液をノズルから吹き付けるシャワー洗浄、界面活性剤水溶液中での超音波洗浄、及び純水中での超音波洗浄を順次行った後、脱水及び乾燥を行うことを特徴とするペリクル収納容器の洗浄方法。 1. A shower cleaning blowing cleaning liquid from the nozzle, ultrasonic cleaning in an aqueous surfactant solution, and were successively subjected to ultrasonic cleaning in pure water, a pellicle which is characterized in that the dewatering and drying the method of cleaning a storage container.
  2. 【請求項2】 界面活性剤水溶液中での超音波洗浄と純水中での超音波洗浄の間に、ノズルから純水を吹き付けるシャワー洗浄が行われる請求項1に記載のペリクル収納容器の洗浄方法。 Between wherein ultrasonic cleaning in ultrasonic cleaning and pure water at an aqueous surfactant solution, washed pellicle container according to claim 1, shower cleaning of spraying pure water from the nozzle is performed Method.
  3. 【請求項3】 純水中での超音波洗浄と脱水の間に、ノズルから純水を吹き付けるシャワー洗浄が行われる請求項1に記載のペリクル収納容器の洗浄方法。 Between 3. A dewatering ultrasonic cleaning in pure water, a method of cleaning the pellicle container according to claim 1, shower cleaning of spraying pure water from the nozzle is performed.
  4. 【請求項4】 純水中での超音波洗浄中に、0.5〜5 4. During ultrasonic cleaning in pure water, 0.5 to 5
    分毎に1回の頻度で、洗浄治具に収容したペリクル収納容器が完全に液中より出る高さまで、洗浄治具ごと揺動させる請求項1乃至3の何れかに記載のペリクル収納容器の洗浄方法。 At a frequency of once per minute, to high pellicle container accommodated in the cleaning jig comes from completely submerged is, the pellicle container according to any one of claims 1 to 3 is swung by the cleaning jig cleaning method.
  5. 【請求項5】 超音波洗浄に際し、20〜50kHzの範囲内の少なくとも2つの周波数が同時に混合された超音波を用いる請求項1乃至4の何れかに記載のペリクル収納容器の洗浄方法。 Upon 5. The ultrasonic cleaning method of cleaning the pellicle container according to any one of claims 1 to 4 using ultrasonic waves at least two frequencies in the range of 20~50kHz are mixed simultaneously.
  6. 【請求項6】 超音波洗浄に際し、周波数が20〜50 Upon 6. ultrasonic cleaning, the frequency is 20 to 50
    kHzの範囲内において少なくとも3kHz以上の帯域幅で連続して変調が繰り返される超音波を用いる請求項1乃至4の何れかに記載のペリクル収納容器の洗浄方法。 The method of cleaning the pellicle container according to any one of claims 1 to 4 using the ultrasound modulated continuously in at least 3kHz or more bandwidth is repeated in the range of kHz.
  7. 【請求項7】 脱水に際し、完全に純水中に浸漬されたペリクル収納容器を、そのペリクル載置面が垂直で、かつペリクル収納容器の上縁が液面に対し2〜15°の範囲内の角度に傾斜させた状態で、上方に引上げ脱水する請求項1に記載のペリクル収納容器の洗浄方法。 Upon 7. dehydration, completely immersed pellicle container in pure water, its pellicle mounting surface perpendicular and within the upper edges of 2 to 15 ° with respect to the liquid surface of the pellicle container in a state of being inclined at an angle, the method of cleaning the pellicle container according to claim 1, pulled dewatering upwards.
  8. 【請求項8】 液面からの引上げが、0.5〜20mm It is pulled from 8. liquid surface, 0.5 to 20 mm
    /秒の範囲の引上げ速度で行われる請求項7に記載のペリクル収納容器の洗浄方法。 The method of cleaning the pellicle container according to claim 7, / takes place at a pulling rate in the range of seconds.
  9. 【請求項9】 乾燥に際し、温度が50〜70℃の空気を、ULPAフィルターを介して流速0.5m/秒以上で吹き付けて乾燥する請求項1に記載のペリクル収納容器の洗浄方法。 Upon 9. drying, the temperature is 50-70 ° C. air, a method of cleaning the pellicle container according to claim 1, drying by blowing at a flow rate of 0.5 m / sec or more through the ULPA filter.
  10. 【請求項10】 洗浄から乾燥までの一連の処理が連続でなされる請求項1に記載のペリクル収納容器の洗浄方法。 10. A method of cleaning the pellicle container according to claim 1, a series of processes from the washing to the drying is carried out continuously.
  11. 【請求項11】 ペリクル収納容器が自動搬送される請求項10に記載のペリクル収納容器の洗浄方法。 11. The method of cleaning the pellicle container according to claim 10, pellicle container is automatically conveyed.
  12. 【請求項12】 ペリクル収納容器の構成部品である上蓋とトレイを、それぞれ別々にペリクル載置面を垂直にして、かつペリクル載置面に対し垂直の方向に20〜1 12. A top cover and the tray which is a component of the pellicle container, each separately pellicle mounting surface in the vertical and in the direction perpendicular to the pellicle mounting surface 20 to 1
    00mmの間隔で2〜6ヶ所に設けた保持部で保持することを特徴とするペリクル収納容器の洗浄治具。 Cleaning jig pellicle container, characterized in that the holding by the holding portion provided on the 2-6 places at intervals of 300 mm.
  13. 【請求項13】 保持部が、ペリクル収納容器の構成部品である上蓋及びトレイとの接触部に、液抜きを目的とした溝を有する請求項12に記載のペリクル収納容器の洗浄治具。 13. holding portion, the contact portion between the upper lid and the tray which is a component of the pellicle container, cleaning jig pellicle container according to claim 12 having a groove for the purpose of weep.
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