JP2001004178A - クリーンルーム設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】クリーンルーム内の有効スペースを大きくで
き、且つクリーンルーム内の加湿制御を容易に行なえる
ようにする。 【解決手段】クリーンルーム５内に配設される装置１２
類の動力分電盤１４を循環路９に設けて、その分、クリ
ーンルーム５内に設置すべき装置１２類のための有効ス
ペースを大きくするだけでなく、動力分電盤１４からの
発熱がクリーンルーム５内に放出することがないのでク
リーンルーム５内の温度上昇を抑制する。また、循環路
９内で動力分電盤１４にエアの取込口１４Ａと排出口１
４Ｂを形成したので、循環路９に動力分電盤１４を備え
たことによる通風抵抗の増大を抑制できるだけでなく、
動力分電盤１４からの発熱を有効にエアに伝達して、そ
の後段に設置された水スプレー式加湿器１７によるスプ
レー水の蒸発を促進する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム設
備に係り、特にクリーンルームの側壁に沿ってクリーン
ルームの床下空間と天井裏空間を連通する循環路を有す
るクリーンルーム設備に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体製造工場等に設けられるク
リーンルームには、半導体の製造装置類や電気盤（例え
ば動力分電盤）等の付帯設備が配設され、クリーンルー
ム内は適切な温湿度及び清浄度に維持されている。クリ
ーンルーム内の温湿度を適切に維持する上で発熱の大き
な電気盤はクリーンルーム内の温度上昇の大きな要因と
なっている。

【０００３】ところで、クリーンルーム設備の種類の中
には、クリーンルームの側壁に沿ってクリーンルームの
床下空間と天井裏空間を連通する循環路を形成して多量
のエアを循環させるようにしたものがある。このクリー
ンルーム設備の場合、図２に示すように、空調機１０か
ら天井裏空間２に供給された供給エアは、クリーンルー
ムの天井面に配設された多数のファンフィルタユニット
４からクリーンルーム５内に吹き出される。吹き出され
たエアはクリーンルーム５内に設置された装置類１２や
動力分電盤１４からの発熱を吸収すると共に塵埃を同伴
して、グレーチング床６を介して床下空間７に排出され
る。そして、床下空間７に排出されたエアは、ドライコ
イルユニット８で冷却して顕熱処理した後、その一部が
循環路９を介して天井裏空間２に循環される。

【０００４】また、残りのエアは、空調機１０が循環型
であるか又は全外気型であるかにより相違する。即ち、
循環型の空調機１０の場合には、残りのエアを空調機１
０に戻して外気と混合してから再び空調して天井裏空間
２に供給する。一方、全外気型の空調機１０は、残りの
空気をクリーンルーム設備外に排気し、空調機１０では
外気を全量空調して天井裏空間２に供給する。この場
合、循環路９を介して天井裏空間２に戻されるエア量
は、空調機１０に戻されるエア量又は排気されるエア量
よりもはるかに多い。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、循環路
９を備えた従来のクリーンルーム設備は、次のような欠
点がある。

【０００６】循環路９のためのスペースがクリーンル
ーム５全体のスペースを圧迫するので、クリーンルーム
９内の面積が狭くなるのに加え、クリーンルーム５内の
電気盤１４等の附帯設備によりクリーンルーム５内に設
置する装置１２のための有効スペースが狭められるとい
う欠点がある。

【０００７】全外気型の空調機１０を用いると外気の
湿度に大きく影響されるので、クリーンルーム５内の加
湿制御が難しくなるという欠点がある。

【０００８】空調機１０による加湿は、ボイラー（図
示せず）からの蒸気加湿なので、ボイラーに使用される
清缶剤がクリーンルーム５の清浄度に悪影響を与えると
いう欠点がある。

【０００９】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、クリーンルーム内の有効スペースを大きくで
き、且つクリーンルーム内の加湿制御を容易に行なうこ
とができるクリーンルーム設備を提供することを目的と
する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１は前記
目的を達成するために、天井裏空間に供給された空調エ
アを天井面に配設されたファンフィルタユニットからク
リーンルーム内に吹き出すと共にグレーチング床から床
下空間に排出し、その排出したエアの一部をクリーンル
ームの側壁に沿って形成された循環路を介して前記天井
裏空間に戻すクリーンルーム設備において、前記クリー
ンルーム内に配設される装置類の電気盤を、前記循環路
に設けたことを特徴とする。

【００１１】請求項１の発明によれば、クリーンルーム
内に配設される装置類の電気盤を循環路に設けたので、
その分、クリーンルーム内に設置すべき装置類のための
有効スペースを大きくすることができるだけでなく、電
気盤からの発熱がクリーンルーム内に放出することがな
いのでクリーンルーム内の温度上昇を抑制することがで
きる。

【００１２】また、請求項２では、前記循環路を流れる
エアの前記電気盤下流位置に、水スプレー式の加湿器を
設けたので、電気盤から発熱される熱をスプレーされた
水の蒸発促進に利用できる。このように、循環路内を流
れて再び天井裏空間に戻るエアに直接加湿することで、
クリーンルーム内の加湿効率を向上させることができ
る。従って、特に全外気型の空調機を用いる場合でも、
空調機での加湿を全くしなくてもよいか、或いは加湿す
る場合でも加湿負担が小さくなるので、クリーンルーム
内の加湿制御が容易になる。また、水が循環路内でスプ
レーされることにより循環路内を流れるエアを冷却する
ことができる。更には、スプレー水には清缶剤が含まれ
ることもないので、従来のような蒸気加湿のように清缶
剤によるクリーンルーム内の汚染もない。

【００１３】また、請求項３の発明によれば、前記電気
盤のケーシングに、前記循環路を流れるエアの取込口と
排出口を形成したので、循環路に電気盤を備えたことに
よる通風抵抗の増大を抑制できるだけでなく、電気盤か
らの発熱を有効にエアに伝達して、スプレー水の蒸発促
進に寄与させることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、添付図面により本発明のク
リーンルーム設備の好ましい実施の形態について詳説す
る。

【００１５】図１は本発明のクリーンルーム設備の全体
構成図である。

【００１６】図１に示すように、クリーンルーム設備
は、主として、クリーンルーム建屋３と空調機１０と循
環路空調ユニット１３とから構成される。

【００１７】クリーンルーム建屋３は、主として、クリ
ーンルーム５と、天井裏空間２と、床下空間７と、建屋
の側壁に沿って設けられた循環路９とで構成され、天井
面にはファンとフィルタとをユニットとした複数のファ
ンフィルタユニット４（以下「ＦＦＵ４」という）が配
設される。

【００１８】循環路空調ユニット１３は前記循環路９か
ら天井裏空間２に流れるエアの加湿と冷却を行なうもの
であって、クリーンルーム５内に配設された装置１２類
に分電する動力分電盤１４と、水スプレー式加湿器１７
と、ドライコイルユニット８とで構成される。そして、
循環路９を流れるエアの流れ方向から見て、上流側から
動力分電盤１４、水スプレー式加湿器１７、ドライコイ
ルユニット８の順になるように配置される。

【００１９】動力分電盤１４のケーシングの底面にはエ
アの取込口１４Ａが形成されると共に、上面にはエアの
排出口１４Ｂが形成され、循環路９を流れるエアが動力
分電盤１４内を充分に流れるように形成されている。こ
の取込口１４Ａと排出口１４Ｂはケーシング底面及び上
面の全面でも一部分でもよい。

【００２０】また、水スプレー式加湿器１７は、図示し
ない浄水供給装置に接続されており、水スプレー式加湿
器１７から循環路９内に浄水がミスト状にスプレーされ
る。

【００２１】次に上記の如く構成されたクリーンルーム
設備の作用を説明する。

【００２２】空調機１０で空調された空調空気は、給気
ダクト１５を介してエア供給口１１から天井裏空間２に
供給され、ＦＦＵ４で除塵されてからクリーンルーム５
内に吹き出される。吹き出されたエアは、クリーンルー
ム５内の塵埃を同伴すると共に、装置１２類からの発熱
により温められて床下空間７に排出される。この場合動
力分電盤１４を循環路に設けたので、その分、クリーン
ルーム５内に設置すべき装置１２類のための有効スペー
スを大きくすることができるだけでなく、動力分電盤１
４からの発熱がクリーンルーム５内に放出することがな
いので、クリーンルーム５内の温度上昇を抑制すること
ができる。次に、床下空間７に排出されたエアの一部は
循環路９をアップフローする。このアップフローにおい
て、エアの一部は循環路９に設置された動力分電盤１４
の底面の取込口１４Ａから上面の排出口１４Ｂに動力分
電盤１４のケーシング内を通気する。この取込口１４Ａ
と排出口１４Ｂの形成により、動力分電盤１４を循環路
９に設置したことによる通気抵抗の増大を抑制できるだ
けでなく、動力分電盤１４を冷却しやすくする。一方、
エアは動力分電盤１４の発熱を吸収して温度上昇する。
次に、動力分電盤１４で熱せられたエアは循環路９に設
置された水スプレー式加湿器１７により浄水がミスト状
にスプレーされる。このとき動力分電盤１４によるエア
の温度上昇は水スプレー式加湿器１７による加湿を促進
する。そして加湿されたエアはドライコイルユニット８
で冷却された後に、天井裏空間２において空調機１０で
空調されたエアと合流し、ＦＦＵ４で除塵されてからク
リーンルーム５内に吹き出される。このようにして、ク
リーンルーム５内は常に清浄にされると同時に効率よく
作業に適した温湿度に保たれる。

【００２３】尚、循環路空調ユニット１３は図１におい
てクリーンルーム５両側の循環路９に設けたが、一方の
循環路９にのみ設けるようにしてもよい。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように本発明のクリーンル
ーム設備によれば、クリーンルームの有効スペースを大
きくできると共に、クリーンルーム内の空調、特に加湿
制御を効率よく行なえるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のクリーンルーム設備の実施の形態を説
明する構成図

【図２】従来のクリーンルーム設備の実施の形態を説明
する構成図

【符号の説明】

２…天井裏空間、３…クリーンルーム建屋、４…ＦＦ
Ｕ、５…クリーンルーム、６…グレーチング床、７…床
下空間、８…ドライコイルユニット、９…循環路、１０
…空調機、１１…エア供給口、１２…装置、１３…循環
路空調ユニット、１４…動力分電盤、１５…給気ダク
ト、１６…供給ダクト、１７…水スプレー式加湿器

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】天井裏空間に供給された空調エアを天井面
   に配設されたファンフィルタユニットからクリーンルー
   ム内に吹き出すと共にグレーチング床から床下空間に排
   出し、その排出したエアの一部をクリーンルームの側壁
   に沿って形成された循環路を介して前記天井裏空間に戻
   すクリーンルーム設備において、 前記クリーンルーム内に配設される装置類の電気盤を、
   前記循環路に設けたことを特徴とするクリーンルーム設
   備。
2. 【請求項２】前記循環路を流れるエアの前記電気盤下流
   位置に、水スプレー式の加湿器を設けたことを特徴とす
   る請求項１のクリーンルーム設備。
3. 【請求項３】前記電気盤のケーシングには、前記循環路
   を流れるエアの取込口と排出口を形成したことを特徴と
   する請求項１又は２のクリーンルーム設備。