JP2000337998A - Inspection apparatus for plasma display panel and manufacture thereof - Google Patents

Inspection apparatus for plasma display panel and manufacture thereof

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JP2000337998A
JP2000337998A JP15338099A JP15338099A JP2000337998A JP 2000337998 A JP2000337998 A JP 2000337998A JP 15338099 A JP15338099 A JP 15338099A JP 15338099 A JP15338099 A JP 15338099A JP 2000337998 A JP2000337998 A JP 2000337998A
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JP
Japan
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plasma display
display panel
inspection
phosphor
rgb
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JP15338099A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsumi Kimura
克己 木村
Hirokata Sasamoto
裕方 佐々本
Hajime Hirata
肇 平田
Shuzo Takeda
修三 武田
Takaharu Tsuda
敬治 津田
Original Assignee
Toray Ind Inc
東レ株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection apparatus for a phosphor formed on the back plate of a plasma display panel in which even a micro defect, e.g. a point defect, of a phosphor can be detected with high accuracy and highly reliable inspection can be ensured by processing detected information optimally, and a method for manufacturing the back plate of a plasma display panel employing the inspection apparatus. SOLUTION: An apparatus for inspecting the coating state of an RGB phosphor on the back plate of a plasma display panel comprises means 5 for irradiating a specified coating position of an RGB phosphor with UV-rays, an image pickup means 6 including light receiving elements arranged one-dimensionally while having a pixel resolution finer than the RGB arranging interval of a plurality of phosphor layers arranged in parallel on the back plate of a plasma display panel and producing an image signal by detecting emission of light from each specified coating position of an RGB phosphor, and a processing means 8 for determining the coating state of RGB phosphor by operating the image signal from the image pickup means 6 for each pixel and comparing it with a specified reference value.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの検査装置および製造方法に関し、とくに、
プラズマディスプレイパネル背面板に形成されたRGB
蛍光体の塗着状態を検査する装置、およびその検査装置
を用いて所望のプラズマディスプレイパネル背面板を製
造する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and a method for manufacturing a plasma display panel.
RGB formed on plasma display panel back plate
The present invention relates to an apparatus for inspecting a phosphor applied state and a method for manufacturing a desired plasma display panel back plate using the inspection apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】プラズマディスプレイパネルの背面板に
は、通常、R(赤)、G(緑)、B(青)用の蛍光体
が、ストライプ状に順に繰り返し塗着されているが、各
蛍光体の塗着状態に欠陥があると、紫外線照射による所
定の蛍光体の発光状態が得られず、ディスプレイパネル
上での映像に欠陥が生じる。したがって、プラズマディ
スプレイパネル背面板の製造段階で蛍光体の塗着状態を
検査している。
2. Description of the Related Art Normally, phosphors for R (red), G (green), and B (blue) are repeatedly applied on a back plate of a plasma display panel in the form of stripes. If there is a defect in the applied state of the body, the light emission state of the predetermined phosphor due to the irradiation of ultraviolet rays cannot be obtained, and a defect occurs in an image on the display panel. Therefore, the state of application of the phosphor is inspected at the stage of manufacturing the back plate of the plasma display panel.

【0003】この検査は、通常、紫外線を各蛍光体が塗
着されたプラズマディスプレイパネル背面板に照射し、
その蛍光体が励起・発光した光を受光することによって
行われている。大気中の検査では、紫外線照射によりオ
ゾンが発生し、発生したオゾンにより紫外線が吸収され
ることから、真空下や窒素ガス雰囲気下で検査を行う場
合もある。しかし、このような特殊雰囲気下での検査に
は、特殊雰囲気を作るための設備が必要になり装置コス
トが増大すること、特殊雰囲気を作るために時間がかか
り検査効率が低下すること等の問題がある。
[0003] In this inspection, usually, ultraviolet rays are radiated to the back panel of the plasma display panel coated with each phosphor.
This is performed by the phosphor receiving the excited and emitted light. In an inspection in the atmosphere, ozone is generated by irradiation of ultraviolet rays, and ultraviolet rays are absorbed by the generated ozone. Therefore, the inspection may be performed in a vacuum or in a nitrogen gas atmosphere. However, such an inspection under a special atmosphere requires equipment for creating a special atmosphere, which increases equipment costs, and time required to create the special atmosphere decreases inspection efficiency. There is.

【0004】このような問題に対し、特開平11−16
498号公報には、オゾンを排除しながら紫外線照射に
よる検査を行い、大気中でも所定の検査を可能にした検
査方法が開示されている。
To solve such a problem, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-16 / 1999
No. 498 discloses an inspection method that performs an inspection by irradiating ultraviolet rays while excluding ozone, and enables a predetermined inspection even in the atmosphere.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
11−16498号公報に開示の方法には、以下のよう
な問題がある。まず、蛍光体塗着状態の検査に2次元カ
メラとモニタテレビを用いており、モニタテレビによる
目視検査を行っているため、検査精度が検査員の能力に
依存することになり、検査精度に対する信頼性が低い。
そのため、蛍光体の塗着抜けに起因する暗点欠陥やプラ
ズマディスプレイパネル背面板の隔壁の欠けに起因する
混色欠陥といった微小な点欠陥の有無や点欠陥の程度を
高精度に計測することが困難になることがある。
However, the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-16498 has the following problems. First, a two-dimensional camera and a monitor television are used for the inspection of the phosphor coating state, and the visual inspection is performed by the monitor television. Therefore, the inspection accuracy depends on the ability of the inspector, and the reliability of the inspection accuracy is high. Poor.
Therefore, it is difficult to measure with high accuracy the presence or absence of minute point defects such as dark spot defects caused by coating loss of the phosphor and color mixing defects caused by chipped partition walls on the back panel of the plasma display panel. It may be.

【0006】また、発光スペクトルが異なる2種類の紫
外線を照射して、それらの映像間での差から特定波長の
紫外線照射による効果を求めている(たとえば、波長が
185nmの紫外線が照射されたときの蛍光面での発光
状態を得るようにしている)が、200nm以下の紫外
線はオゾンを発生しやすく、発生したオゾンを除去する
必要が生じるなど取り扱いが面倒になる。
Further, the effect of irradiating two kinds of ultraviolet rays having different emission spectra and obtaining the effect of irradiating an ultraviolet ray having a specific wavelength from the difference between the images is obtained (for example, when the ultraviolet ray having a wavelength of 185 nm is irradiated). However, ultraviolet light having a wavelength of 200 nm or less tends to generate ozone, and it is necessary to remove the generated ozone, and handling is troublesome.

【0007】そこで本発明の課題は、従来技術の上記問
題点を解決し、蛍光体の点欠点等の微小な欠点まで高精
度に検出可能で、検出情報を最適に処理して信頼性の高
い検査が可能なプラズマディスプレイパネル背面板に形
成された蛍光体の検査装置、およびその検査装置を用い
たプラズマディスプレイパネル背面板の製造方法を提供
することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and to detect a minute defect such as a point defect of a fluorescent substance with high accuracy. An object of the present invention is to provide an apparatus for inspecting a phosphor formed on a rear panel of a plasma display panel capable of inspection, and a method for manufacturing a rear panel of a plasma display panel using the inspection apparatus.

【0008】また、照射する紫外線およびその照射方法
を最適化し、オゾンの発生が少なく、装置を簡素に構成
でき、しかも、高い検査精度を確保できるプラズマディ
スプレイパネルの検査装置および製造方法を提供するこ
とを課題とする。
It is another object of the present invention to provide a plasma display panel inspection apparatus and a method for optimizing an ultraviolet ray to be irradiated and a method of irradiating the same so as to reduce generation of ozone, to simplify the apparatus, and to ensure high inspection accuracy. As an issue.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のプラズマディスプレイパネルの検査装置
は、プラズマディスプレイパネル背面板へのRGB蛍光
体の塗着状態を検査する装置であって、RGB蛍光体の
所定の塗着位置に紫外線を照射する紫外線照射手段と、
受光素子が一次元に配列され、プラズマディスプレイパ
ネル背面板の平行線状に複数配列された蛍光体層のRG
B配列間隔以下の画素分解能を有し、RGB蛍光体の塗
着位置からのそれぞれの発光を前記所定の塗着位置毎に
検出して映像信号を出力する撮像手段と、該撮像手段か
らの映像信号を画素毎に演算して所定の基準値と比較
し、基準値との異同に基づきRGB蛍光体の塗着状態を
判断する処理手段とを有することを特徴とするものから
なる。
In order to solve the above-mentioned problems, a plasma display panel inspection apparatus according to the present invention is an apparatus for inspecting the state of application of RGB phosphors on a plasma display panel back plate. UV irradiation means for irradiating a predetermined application position of the RGB phosphor with ultraviolet light;
RG of phosphor layers in which light receiving elements are arranged one-dimensionally and a plurality of phosphor layers are arranged in parallel lines on the back plate of the plasma display panel.
An imaging unit having a pixel resolution equal to or less than the B array interval, detecting each light emission from a coating position of the RGB phosphor at each of the predetermined coating positions, and outputting a video signal; and an image from the imaging unit. Processing means for calculating a signal for each pixel, comparing the signal with a predetermined reference value, and judging the application state of the RGB phosphor based on the difference from the reference value.

【0010】このプラズマディスプレイパネルの検査装
置においては、紫外線の照射を酸素を含む雰囲気中、た
とえば大気中で行うことが可能である。紫外線照射手段
としては、紫外線を少なくとも1本の棒状に発光する手
段からなることが好ましい。また、紫外線照射手段は、
プラズマディスプレイ背面板の上面から近い位置、たと
えば0.1m以下の位置に配置されることが好ましい。
撮像手段が、受光素子が一次元に配列された手段(ライ
ンセンサ)からなるので、このように紫外線照射手段を
プラズマディスプレイ背面板に近づけても、撮像手段に
よる視野範囲を遮らないようにすることが可能になる。
In the plasma display panel inspection apparatus, the ultraviolet irradiation can be performed in an atmosphere containing oxygen, for example, in the air. It is preferable that the ultraviolet irradiation means comprises a means for emitting ultraviolet light in at least one rod shape. Further, the ultraviolet irradiation means,
It is preferable to be arranged at a position close to the upper surface of the back plate of the plasma display, for example, at a position of 0.1 m or less.
Since the imaging means is constituted by means (line sensors) in which light receiving elements are arranged one-dimensionally, even if the ultraviolet irradiation means is brought close to the plasma display back plate, the field of view of the imaging means should not be blocked. Becomes possible.

【0011】紫外線照射手段としては、検査精度を向上
するために白バランスの良い励起波長のもの、たとえば
波長が180〜260nmの紫外線を照射する手段が好
ましい。また、波長が200nm以上の紫外線は、後述
の如く酸素雰囲気中の吸収率が低く、オゾンがほとんど
発生しないので、200〜260nmの波長の紫外線が
より好ましい。このような波長範囲の紫外線を照射でき
る紫外線照射手段としては、とくに、KrおよびClが
封入されている、中心波長が222nmの紫外線を発光
するエキシマランプが好ましい。ただし、発光波長が2
00nm以上となる紫外線照射手段として、封入ガスが
KrおよびBr、KrおよびFのエキシマランプ、低圧
水銀ランプなどを使用することも可能である。
As the ultraviolet irradiation means, it is preferable to irradiate ultraviolet rays having an excitation wavelength with a good white balance, for example, ultraviolet rays having a wavelength of 180 to 260 nm in order to improve the inspection accuracy. Ultraviolet light having a wavelength of 200 nm or more has a low absorptance in an oxygen atmosphere and hardly generates ozone as described later, and thus ultraviolet light having a wavelength of 200 to 260 nm is more preferable. As an ultraviolet irradiation means capable of irradiating ultraviolet light in such a wavelength range, an excimer lamp which emits ultraviolet light having a center wavelength of 222 nm, in which Kr and Cl are sealed, is particularly preferable. However, the emission wavelength is 2
It is also possible to use an excimer lamp, a low-pressure mercury lamp, or the like in which the filling gas is Kr and Br, Kr and F, as the ultraviolet irradiation means having a wavelength of 00 nm or more.

【0012】また、紫外線の照射時間を必要最小限に抑
え、オゾンの発生量を最小に抑えるために、紫外線照射
手段が点灯制御手段を備え、撮像手段の動作に同期して
点灯が制御されるようにすることが好ましい。
Further, in order to minimize the irradiation time of the ultraviolet rays and to minimize the amount of generated ozone, the ultraviolet irradiation means has a lighting control means, and the lighting is controlled in synchronization with the operation of the imaging means. It is preferable to do so.

【0013】さらに、オゾン発生の少ない波長の紫外線
を使用した場合にも白バランスを良好に調整できるよう
にするためには、撮像手段が、RGB信号増幅手段(R
GB信号増幅率調整手段)を備え、RGBの信号強度を
調整できるようにすることが好ましい。
Further, in order to be able to adjust the white balance satisfactorily even when using ultraviolet light of a wavelength that generates less ozone, the image pickup means must include an RGB signal amplifying means (R
It is preferable to include a GB signal amplification factor adjusting means) so that the RGB signal intensity can be adjusted.

【0014】撮像手段としては、受光波長選択手段を有
し、プラズマディスプレイパネル背面板に形成される少
なくとも2色以上の蛍光体層のうち、1色の蛍光体層の
映像信号を得ることが可能な手段からなることが好まし
い。このようにすれば、たとえば2色塗った途中の段階
でも、蛍光体層の塗着状態を検査できる。
The image pickup means has a light receiving wavelength selection means, and can obtain a video signal of a phosphor layer of one color among phosphor layers of at least two colors formed on the back plate of the plasma display panel. It is preferable that it consists of appropriate means. In this way, the application state of the phosphor layer can be inspected, for example, even during the application of two colors.

【0015】処理手段としては、受光波長選択手段を有
する撮像手段によって得られた映像信号の異なる、少な
くとも2つ以上の映像信号を演算して得られた信号につ
いて処理するようにすることが好ましい。
As the processing means, it is preferable to process a signal obtained by calculating at least two or more video signals different from the video signals obtained by the imaging means having the light receiving wavelength selection means.

【0016】また、処理手段が、前記映像信号をRGB
蛍光体層が線状に延びる方向に差分処理し、欠陥部分を
強調した後に所定の基準値と比較し、基準値との異同に
基づきRGB蛍光体の塗着状態を判断するようにするこ
とが好ましい。
Further, the processing means converts the video signal into RGB signals.
Differential processing is performed in a direction in which the phosphor layer extends linearly, a defect portion is emphasized, and then compared with a predetermined reference value, and the application state of the RGB phosphor is determined based on the difference from the reference value. preferable.

【0017】あるいは、処理手段が、前記映像信号をR
GB蛍光体層が線状に延びる方向と垂直の方向に差分処
理し、欠陥部分を強調した後に所定の基準値と比較し、
基準値との異同に基づきRGB蛍光体の塗着状態を判断
するようにすることもできる。
Alternatively, the processing means converts the video signal into an R signal.
The difference processing is performed in the direction perpendicular to the direction in which the GB phosphor layer extends linearly, and the defect is emphasized to compare with a predetermined reference value.
The application state of the RGB phosphor may be determined based on the difference from the reference value.

【0018】また、本発明に係る検査装置においては、
プラズマディスプレイパネル背面板に形成されたRGB
蛍光体層が、平行線状に同じ幅で等間隔に複数配列さ
れ、撮像手段が、RGBそれぞれの蛍光体層から得られ
る映像信号強度をそろえる受光波長選択手段を有し、処
理手段が、前記映像信号を、蛍光体層が線状に延びる方
向と垂直の方向に蛍光体層の配列間隔で差分処理し、欠
陥部分を強調した後に所定の基準値と比較し、基準値と
の異同に基づきRGB蛍光体の塗着状態を判断する構成
とすることもできる。
Further, in the inspection apparatus according to the present invention,
RGB formed on plasma display panel back plate
A plurality of phosphor layers are arranged in parallel lines at equal intervals at the same width, and the imaging unit has a light receiving wavelength selection unit for adjusting the video signal intensity obtained from each of the RGB phosphor layers. The video signal is subjected to the difference processing at the arrangement interval of the phosphor layers in the direction perpendicular to the direction in which the phosphor layer extends linearly, and the defect portion is emphasized and compared with a predetermined reference value, and based on the difference from the reference value. A configuration in which the application state of the RGB phosphor is determined may be employed.

【0019】本発明に係るプラズマディスプレイパネル
の製造方法は、プラズマディスプレイパネル背面板に形
成されたRGB蛍光体の塗着状態を、上記のような検査
装置を用いて検査し、得られた欠陥情報に基づいて、良
品と不良品を判別することを特徴とする方法からなる。
In the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention, the coated state of the RGB phosphor formed on the back plate of the plasma display panel is inspected by using the inspection apparatus as described above, and the obtained defect information is obtained. The method is characterized in that a good product and a defective product are determined based on

【0020】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルの製造方法は、プラズマディスプレイパネル背面
板に形成されたRGB蛍光体の塗着状態を、上記のよう
な検査装置を用いて検査し、得られた欠陥情報に基づい
て、RGB蛍光体層の修正を行うことを特徴とする方法
からなる。
In the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention, the coated state of the RGB phosphors formed on the back plate of the plasma display panel is inspected by using the inspection apparatus as described above. The method is characterized in that the RGB phosphor layers are corrected based on the defect information.

【0021】これらの方法においては、RGB蛍光体層
の各色それぞれの形成工程後に検査を行うことができ
る。また、RGB蛍光体の各色の塗布工程内において、
塗着された蛍光体層が乾燥する前に、判別または修正を
行うこともでき、それによって検査不合格によるロスを
最小に抑えることが可能になる。
In these methods, the inspection can be performed after the formation process of each color of the RGB phosphor layer. In the application process of each color of the RGB phosphor,
Discrimination or correction can also be made before the applied phosphor layer dries, thereby minimizing loss due to inspection failure.

【0022】このような本発明に係るプラズマディスプ
レイパネルの検査装置および製造方法においては、とく
に、受光素子が一次元に配列された撮像手段を用い、そ
の撮像手段の画素分解能を特定することで、高精度で信
頼性の高い検査情報を得ることが可能になる。すなわ
ち、プラズマディスプレイパネル背面板の蛍光体欠陥の
検査をする際、蛍光体面に存在する欠点は微小なため、
十分な解像度にする必要がある。背面板上の隔壁の幅が
解像度の目安となるが、本発明ではその値をプラズマデ
ィスプレイパネル背面板の平行線状に複数配列された蛍
光体層のRGB配列間隔以下の画素分解能(背面板の隔
壁間隔の3倍以下)に設定することで良好な画像を得る
ことが可能になる。蛍光体層の平均配列ピッチの3倍以
下の画素分解能とすることにより、確実にR、G、Bの
蛍光体層の一組以下の検査領域を捉えることができ、他
の組のR、G、Bいずれかの蛍光体層が検査領域に入ら
ないことから、重複した蛍光体層発光信号が入ってくる
ことがなく、各蛍光体層からの発光信号が個々の蛍光体
層の受光信号として精度良く検出される。そして、得ら
れた受光信号に基づいて画素毎に演算、処理することに
より、高精度で信頼性の高い検査が可能になる。
In the inspection apparatus and the manufacturing method of the plasma display panel according to the present invention, in particular, by using an image pickup device in which light receiving elements are arranged one-dimensionally, the pixel resolution of the image pickup device is specified. It is possible to obtain highly accurate and reliable inspection information. In other words, when inspecting the phosphor defect on the back panel of the plasma display panel, since the defect existing on the phosphor surface is minute,
The resolution must be sufficient. The width of the partition on the back plate is a measure of the resolution. In the present invention, the value is set to a pixel resolution equal to or less than the RGB arrangement interval of the phosphor layers arranged in a plurality of parallel lines on the back plate of the plasma display panel. (3 times or less of the partition wall interval) makes it possible to obtain a good image. By setting the pixel resolution to three times or less of the average array pitch of the phosphor layers, it is possible to reliably detect one or less set of R, G, and B phosphor layers in the inspection area, and to use the other sets of R, G , B, any of the phosphor layers does not enter the inspection area, so that no overlapping phosphor layer emission signal enters, and the emission signal from each phosphor layer is used as a light reception signal of each phosphor layer. It is detected with high accuracy. Then, by performing calculation and processing for each pixel based on the obtained light receiving signal, highly accurate and highly reliable inspection can be performed.

【0023】蛍光体面の画像をカメラで取り込む際、正
常な蛍光体の発光パターンと明欠陥や暗欠陥による信
号、さらには隔壁のパターンが複合された信号となって
おり、この中から微小な欠陥信号を検出することは容易
ではない。従来、直接目視や、モニタテレビを併用した
目視検査では、検査員が見る位置を変えたり、モニタカ
メラを手動で目的の位置へ移動して検査することで全面
検査をすることができたが、検査員による目視検査のた
め、微小欠陥の検出は容易ではなく、しかもその検査の
信頼性は低かった。しかし本発明では、処理手段による
上述した各態様に係る信号処理により、検査の精度を向
上するとともに、検査を自動化することが可能になる。
つまり、検査を自動化しつつ、微小な点欠陥まで精度良
く検査でき、たとえば60インチサイズのプラズマディ
スプレイパネル背面板全面に渡って均一に精度良く検査
できる装置を提供できる。
When the image of the phosphor surface is captured by a camera, the signal is a signal obtained by combining the light emission pattern of a normal phosphor with a bright defect or a dark defect, and further a signal of a partition pattern. It is not easy to detect the signal. Conventionally, in direct inspection and visual inspection using a monitor TV together, it was possible to perform a full inspection by changing the position that the inspector sees or manually moving the monitor camera to the target position for inspection, Because of the visual inspection by the inspector, detection of minute defects was not easy, and the reliability of the inspection was low. However, according to the present invention, the signal processing according to each of the above-described modes by the processing unit can improve the accuracy of the inspection and automate the inspection.
In other words, it is possible to provide an apparatus capable of inspecting even minute point defects with high accuracy while automating the inspection, and capable of uniformly and accurately inspecting, for example, the entire surface of the back plate of a 60-inch plasma display panel.

【0024】さらに前述した如く、照射する紫外線やそ
の照射方法を最適化することにより、オゾンの発生量を
抑えつつ、さらに高精度の検査が可能になる。
Furthermore, as described above, by optimizing the ultraviolet rays to be irradiated and the method of irradiating the ultraviolet rays, it is possible to perform an inspection with higher accuracy while suppressing the amount of ozone generated.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の望ましい実施の
形態を、図面を参照して説明する。図1は、本発明の一
実施態様に係るプラズマディスプレイパネルの検査装置
を示している。図1において、1は、検査に供されるプ
ラズマディスプレイパネル(以下、PDPと略称するこ
ともある。)の背面板を示しており、このPDP背面板
1には、図2に示すように、R(赤)、G(緑)、B
(青)用の蛍光体305、306、307がストライプ
状に順に繰り返し塗着されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a plasma display panel inspection apparatus according to one embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a back plate of a plasma display panel (hereinafter, may be abbreviated as a PDP) to be subjected to an inspection. As shown in FIG. R (red), G (green), B
The phosphors 305, 306, and 307 for (blue) are repeatedly applied in stripes in order.

【0026】プラズマディスプレイパネル300として
は、図3に示すように、背面ガラス基板301上に、ア
ドレス電極302が配置された誘電体層303上に、隔
壁304間にRGB蛍光体305、306、307がス
トライプ状に順に繰り返し塗着されたPDP背面板1が
設けられ、背面板1の上方に、全面ガラス基板308が
設けられるとともに、背面板1と前面ガラス基板308
の間に、表示電極309が配置された誘電体層310と
保護膜311が介装された構成となっている。表示電極
309とアドレス電極302との間の電圧によりプラズ
マ312が発声され、それによって選択された位置の蛍
光体が発色され、各蛍光体の発色の組み合わせにより所
望の色表示が行われるようになっている。
As shown in FIG. 3, the plasma display panel 300 includes, on a back glass substrate 301, a dielectric layer 303 on which an address electrode 302 is arranged, and RGB phosphors 305, 306, and 307 between partition walls 304. PDP rear plate 1 on which is repeatedly applied in a stripe shape is provided, and a whole glass substrate 308 is provided above rear plate 1, and rear plate 1 and front glass substrate 308 are provided.
In between, a dielectric layer 310 on which a display electrode 309 is arranged and a protective film 311 are interposed. The plasma 312 is uttered by the voltage between the display electrode 309 and the address electrode 302, whereby the phosphor at the selected position is colored, and a desired color display is performed by a combination of the colors of the phosphors. ing.

【0027】PDP背面板1へのRGB蛍光体305、
306、307の塗着は、たとえば図4に示すようにス
クリーン印刷によって行われ、印刷スクリーン402を
通して塗布された蛍光体の余剰量をスキージ401でか
きとることにより、図3に示したように各蛍光体30
5、306、307が隔壁304間に所定量塗着される
ようになっている。
RGB phosphor 305 on PDP back plate 1
The coating of 306 and 307 is performed by screen printing, for example, as shown in FIG. 4, and the excess amount of the phosphor applied through the printing screen 402 is scraped off with a squeegee 401 so that each of Phosphor 30
5, 306 and 307 are applied between the partition walls 304 in a predetermined amount.

【0028】ところが、RGB蛍光体305、306、
307の塗着が所定通りに行われていないと、たとえば
図5に示すような色むらが生じることがあり、たとえ
ば、赤っぽい色むら501や青っぽい色むら502など
が生じる。また、図6に示すように、RGB蛍光体30
5、306、307の配列において、ある色の蛍光体が
部分的に次の色の蛍光体部分にはみだして混色を生じた
部分601や、塗着抜けが生じて暗点602となった部
分、ストライプ状の蛍光体層が全体的に隣接する蛍光体
層側にずれた部分603が生じることもある。
However, the RGB phosphors 305, 306,
If the coating of 307 is not performed as prescribed, for example, color unevenness as shown in FIG. 5 may occur, and for example, reddish color unevenness 501 and bluish color unevenness 502 may occur. In addition, as shown in FIG.
In the arrangement of 5, 306, and 307, a part 601 in which a phosphor of a certain color protrudes partially into a phosphor part of the next color to form a mixed color, a part in which a coating loss has occurred, and a dark spot 602 has occurred, There may be a portion 603 in which the stripe-shaped phosphor layer is shifted to the side of the phosphor layer which is entirely adjacent to the phosphor layer.

【0029】PDP背面板1へのRGB蛍光体305、
306、307の塗着における上記のような各種欠陥
が、図1に示した検査装置により検査される。再び図1
を参照して説明するに、搬送ローラ2等を備えた搬送装
置3によりPDP背面板1が搬送され、搬送装置3は駆
動制御装置4によって制御される。
RGB phosphor 305 on PDP back plate 1
Various defects as described above in the application of 306 and 307 are inspected by the inspection apparatus shown in FIG. Figure 1 again
The PDP back plate 1 is transported by a transport device 3 having transport rollers 2 and the like, and the transport device 3 is controlled by a drive control device 4.

【0030】搬送装置3の上方には、紫外線照射装置5
と撮像装置6が配置されている。搬送装置3は、撮像装
置6の撮像範囲をPDP背面板1の全面にわたって走査
させるためのもので、PDP背面板1を一定速度で搬送
する。紫外線照射装置5は、PDP背面板1上に塗布さ
れた蛍光体を励起、発光させるためのもので、紫外線を
PDP背面板1に照射する。照射は大気中あるいはそれ
に近い雰囲気中で、つまり、酸素を含む雰囲気中で行わ
れる。照射される紫外線は、本実施態様では、良好な白
バランスを得るために、波長が180〜260nmのも
のの中から選ばれている。また本実施態様では、紫外線
を線状に発光する紫外線源が2本並設されており、その
点灯は、点灯制御装置7により、実質的に撮像装置6の
動作に同期して点灯を制御できるようになっている。
Above the transport device 3, an ultraviolet irradiation device 5
And an imaging device 6. The transport device 3 scans the imaging range of the imaging device 6 over the entire surface of the PDP back plate 1, and transports the PDP back plate 1 at a constant speed. The ultraviolet irradiation device 5 excites and emits a phosphor applied on the PDP back plate 1 and irradiates the PDP back plate 1 with ultraviolet rays. Irradiation is performed in the atmosphere or in an atmosphere close thereto, that is, in an atmosphere containing oxygen. In this embodiment, the ultraviolet rays to be irradiated are selected from those having a wavelength of 180 to 260 nm in order to obtain a good white balance. Further, in this embodiment, two ultraviolet light sources that emit ultraviolet light linearly are provided in parallel, and the lighting thereof can be controlled by the lighting control device 7 substantially in synchronization with the operation of the imaging device 6. It has become.

【0031】撮像装置6は、PDP背面板1上のある範
囲を画素に分割して、その画素ごとの輝度を測定して画
像信号に変換し、画像処理装置8に送信する。この撮像
装置6には、受光素子が一次元に配列されて内蔵されて
おり、RGB蛍光体のストライプ方向に沿って、あるい
はそれと垂直の方向に沿って、一次元的に映像を出力で
きるようになっている。RGB蛍光体のそれぞれの画像
を得るために、撮像装置6としてカラーラインセンサカ
メラを使用すると光学系が簡略化できるので好ましい。
The image pickup device 6 divides a certain area on the PDP back plate 1 into pixels, measures the luminance of each pixel, converts it into an image signal, and transmits the image signal to the image processing device 8. The image pickup device 6 includes light receiving elements arranged one-dimensionally and built therein so that an image can be output one-dimensionally along the stripe direction of the RGB phosphor or along the direction perpendicular thereto. Has become. It is preferable to use a color line sensor camera as the imaging device 6 in order to obtain the respective images of the RGB phosphors because the optical system can be simplified.

【0032】本実施態様では、撮像装置6からの出力信
号は、RGB信号増幅装置9(RGB信号増幅手段)を
介して画像処理装置8に送られる。RGB信号増幅装置
9は、撮像装置6で得られたRGB蛍光体の発光強度比
が異なる場合にも、画像処理装置8に送信する信号強度
を揃えるために、各色ごとの画像信号を予め設定されて
いる倍率で増幅し、画像処理装置8に送信する。したが
って、このRGB信号増幅装置9により、RGBそれぞ
れの信号強度を同程度に揃えて、画像処理装置8に入力
することが可能になり、処理精度が向上する。このRG
Bそれぞれの信号強度比の調整は、撮像装置に色補正フ
ィルタを取り付けて、行ってもよい。
In this embodiment, the output signal from the image pickup device 6 is sent to the image processing device 8 via the RGB signal amplifying device 9 (RGB signal amplifying means). The RGB signal amplifying device 9 sets an image signal for each color in advance in order to equalize the signal intensity transmitted to the image processing device 8 even when the emission intensity ratios of the RGB phosphors obtained by the imaging device 6 are different. The signal is amplified at the given magnification and transmitted to the image processing device 8. Therefore, the RGB signal amplifying device 9 makes it possible to input the RGB signal intensities to the same level and input them to the image processing device 8, thereby improving the processing accuracy. This RG
The adjustment of the signal intensity ratio of each of B may be performed by attaching a color correction filter to the imaging device.

【0033】信号処理手段としての画像処理装置8は、
蛍光体に発生する欠陥を検出するためのもので、撮像装
置6で撮像されたRGB蛍光体それぞれの画像信号を入
力し、公知の画像処理技術により画像解析を行い欠陥を
検出する。すなわち、RGB信号増幅装置9からの映像
信号を所定の基準値と比較し、基準値との異同に基づき
RGB蛍光体の塗着状態を判断する。
The image processing device 8 as a signal processing means includes:
This is for detecting a defect generated in the phosphor. The image signal of each of the RGB phosphors picked up by the image pickup device 6 is input, and the image is analyzed by a known image processing technique to detect the defect. That is, the video signal from the RGB signal amplifying device 9 is compared with a predetermined reference value, and the application state of the RGB phosphor is determined based on the difference from the reference value.

【0034】制御装置10は、搬送装置3、点灯制御装
置7、画像処理装置8に接続されており、決められた手
順に基づいて、搬送装置3の搬送動作、点灯制御装置7
を介しての紫外線照射装置5による紫外線照射動作、撮
像装置6および画像処理装置8による撮像および信号処
理動作に対し操作指令を与えるものである。画像処理装
置8には表示装置11が接続されており、表示装置11
は、画像処理装置8で検出した各欠陥情報を表示するた
めのものである。
The control device 10 is connected to the transport device 3, the lighting control device 7, and the image processing device 8, and performs the transport operation of the transport device 3 and the lighting control device 7 based on a predetermined procedure.
The operation instruction is given to the ultraviolet irradiation operation by the ultraviolet irradiation device 5 through the, and the imaging and signal processing operation by the imaging device 6 and the image processing device 8. A display device 11 is connected to the image processing device 8.
Is for displaying each defect information detected by the image processing device 8.

【0035】このように構成されたプラズマディスプレ
イパネルの検査装置においては、上流側の装置からPD
P背面板1が搬送装置3に投入されると、搬送装置3は
制御装置10に背面板投入信号を与え、背面板1の搬送
を開始する。制御装置10は、背面板投入信号が入力さ
れると、紫外線照射装置5を作動させる。搬送装置3
は、背面板1を撮像位置まで搬送すると、内蔵している
背面板検知センサ(図示略)から背面板進入信号を制御
装置10に与える。背面板進入信号が入力されると制御
装置10は、画像処理装置8に画像取り込み開始信号を
与え、画像処理装置8は、撮像装置6から出力される画
像信号の取り込みを開始する。RGB信号増幅装置9は
撮像装置6から入力した画像信号に対して、品種ごとに
決められた倍率でRGBそれぞれの信号を増幅し、画像
処理装置8に出力する。画像処理装置8は画像信号を記
憶し、本発明に係る画像処理技術によりPDP背面板1
に発生する欠陥を検出する。画像処理装置8は、画像取
り込み終了後、制御装置10に画像取り込み終了信号を
与え、制御装置10は点灯制御装置7を介して紫外線照
射装置5を停止させる。
In the plasma display panel inspection apparatus configured as described above, the PD on the upstream side is
When the P back plate 1 is loaded into the transfer device 3, the transfer device 3 gives a back plate input signal to the control device 10 to start the transfer of the back plate 1. The control device 10 activates the ultraviolet irradiation device 5 when the rear plate input signal is input. Transfer device 3
When the back plate 1 is transported to the imaging position, a back plate entering signal is provided to the control device 10 from a built-in back plate detection sensor (not shown). When the rear panel approach signal is input, the control device 10 provides an image capturing start signal to the image processing device 8, and the image processing device 8 starts capturing the image signal output from the imaging device 6. The RGB signal amplifying device 9 amplifies the RGB signals with respect to the image signal input from the imaging device 6 at a magnification determined for each product type and outputs the amplified signal to the image processing device 8. The image processing device 8 stores an image signal, and uses the image processing technology according to the present invention to process the PDP back plate 1.
Detects defects that occur in After the image capturing is completed, the image processing device 8 gives an image capturing end signal to the control device 10, and the control device 10 stops the ultraviolet irradiation device 5 via the lighting control device 7.

【0036】とくに本発明においては、撮像装置6に受
光素子を一次元に配列したものを用いたので、撮像装置
6の視野を遮ることなく、紫外線照射装置5をPDP背
面板1の上面から極めて近い位置、たとえば0.1m以
下の位置に設置することができ、それによって、紫外線
強度をそれほど高くしないでも検査に必要な所定の紫外
線をPDP背面板1に到達させることができる。紫外線
強度が弱いことにより、酸素を含む雰囲気中の検査であ
っても、オゾンの発生量を小さく抑えることができ、オ
ゾン処理装置の設置は不要になる。また、紫外線照射
を、点灯制御装置7による同期制御により、必要最小限
の時間に限ることにより、一層、オゾンの発生量は小さ
く抑えられる。また、照射される紫外線に最適な波長の
ものを用いることにより、白バランスを良好に維持して
検査精度を高めつつ、さらにオゾンの発生量を小さく抑
えることができる。
In particular, in the present invention, a one-dimensional array of light receiving elements is used for the image pickup device 6, so that the ultraviolet irradiation device 5 can be extremely moved from the upper surface of the PDP back plate 1 without blocking the visual field of the image pickup device 6. It can be installed at a close position, for example, at a position of 0.1 m or less, whereby predetermined ultraviolet rays required for inspection can reach the PDP back plate 1 without increasing the ultraviolet ray intensity so much. Since the intensity of the ultraviolet light is weak, the amount of generated ozone can be suppressed even in an inspection in an atmosphere containing oxygen, and the installation of an ozone treatment device is not required. In addition, the amount of ozone generated can be further reduced by limiting the ultraviolet irradiation to the minimum necessary time by the synchronous control by the lighting control device 7. In addition, by using a wavelength that is optimal for the ultraviolet light to be irradiated, the amount of ozone generated can be further reduced while maintaining good white balance and improving inspection accuracy.

【0037】図7は、酸素を含む雰囲気下における照射
紫外線の波長と吸収率との関係を示している。吸収率の
増加に伴いオゾン発生量も増加するが、図7に示すよう
に、波長200nm以上の紫外線では、吸収率が少な
く、オゾンはほとんど発生しない。
FIG. 7 shows the relationship between the wavelength of irradiated ultraviolet light and the absorptance in an atmosphere containing oxygen. Although the amount of generated ozone increases with an increase in the absorptivity, as shown in FIG. 7, ultraviolet rays having a wavelength of 200 nm or more have a low absorptivity and generate little ozone.

【0038】このようなオゾン発生量がすくない紫外線
を発光する紫外線源として、前述の如くエキシマラン
プ、とくにKrおよびClが封入されているエキシマラ
ンプが好適である。このKrおよびClが封入されてい
るエキシマランプからの紫外線の強度スペクトルは図8
に示すようになり、これよりこのエキシマランプから
は、中心波長が222nmの、ほぼ単一波長紫外線が得
られることがわかる。
As described above, an excimer lamp, particularly an excimer lamp in which Kr and Cl are sealed, is suitable as an ultraviolet light source which emits an ultraviolet light having a small ozone generation amount. FIG. 8 shows the intensity spectrum of ultraviolet light from the excimer lamp in which Kr and Cl are sealed.
From this, it can be seen that this excimer lamp can provide almost single-wavelength ultraviolet light having a center wavelength of 222 nm.

【0039】このような紫外線中心波長が222nmの
エキシマランプに対し、RGB各蛍光体の励起波長と発
光強度との関係は、図9に示すようになる。用いたRG
B各蛍光体は図9に示した通りである。このように、K
rおよびClが封入されているエキシマランプからの、
中心波長が222nmの紫外線は、RGB蛍光体の発光
強度のバランスが非常に良く(1/3〜3倍程度)、色
バランス(白バランス)が良い。
FIG. 9 shows the relationship between the excitation wavelength and the emission intensity of each of the RGB phosphors for such an excimer lamp having an ultraviolet center wavelength of 222 nm. RG used
Each phosphor B is as shown in FIG. Thus, K
from an excimer lamp containing r and Cl,
Ultraviolet light having a center wavelength of 222 nm has a very good balance of the emission intensity of the RGB phosphor (about 1/3 to 3 times) and a good color balance (white balance).

【0040】このとき、前述の如く、そこでRGB信号
増幅装置9により、RGBそれぞれの信号強度を同程度
に揃えて、画像処理装置8に入力することにより、さら
に精度の高い検査が可能になる。RGBそれぞれの信号
強度比の調整は、撮像装置に色補正フィルタを取り付け
て行ってもよい。蛍光体の発光特性がシャープでなく、
フィルタで分離できずに映り込みが発生する場合には、
映り込みをなくし高精度に検査するために、撮像手段
が、受光波長選択手段を有し、処理手段が、撮像手段に
よって得られた受光波長パターンの異なる、少なくとも
2つ以上の映像信号を演算して得られた信号について処
理するとよい。
At this time, as described above, the RGB signal amplifying device 9 inputs the RGB signal intensities to the same level and inputs the same to the image processing device 8, thereby enabling more accurate inspection. The adjustment of the signal intensity ratio of each of RGB may be performed by attaching a color correction filter to the imaging device. The emission characteristics of the phosphor are not sharp,
If the glare occurs because of the inability to filter,
In order to eliminate reflection and perform inspection with high accuracy, the imaging means has a light receiving wavelength selecting means, and the processing means calculates at least two or more video signals having different light receiving wavelength patterns obtained by the imaging means. It is good to process the obtained signal.

【0041】このような検査装置を用いて、PDP背面
板1に形成されたRGB蛍光体の塗着状態を検査し、得
られた欠陥情報に基づいて、そのPDP背面板1が良品
であるか不良品であるかの判別を行うことができる。ま
た、得られた欠陥情報に基づいて、RGB蛍光体層の修
正を行うことができる。これら判別あるいは修正を、塗
着された蛍光体層が乾燥する前に行うと、最終的な不良
品発生によるロスを最小限に抑えることが可能になる。
Using such an inspection device, the application state of the RGB phosphors formed on the PDP back plate 1 is inspected, and based on the obtained defect information, whether the PDP back plate 1 is good or not. It is possible to determine whether the product is defective. Further, the RGB phosphor layer can be corrected based on the obtained defect information. If these determinations or corrections are performed before the applied phosphor layer is dried, it is possible to minimize the loss due to the final occurrence of defective products.

【0042】以下に、本発明の処理手段による画像処理
技術のより具体的な態様について説明する。本発明にお
いては、処理手段により、撮像手段によって得られた受
光波長パターンの異なる、少なくとも2つ以上の映像信
号を演算して得られた信号について処理することができ
る。図10は、紫外線を照射したときのRGB蛍光体そ
れぞれの発光スペクトルを示している。図11は、カラ
ーカメラにおけるRGBフィルタそれぞれの透過特性を
示している((A)はRフィルタ透過特性、(B)はG
フィルタ透過特性、(C)はBフィルタ透過特性)。図
12は、撮像装置でPDP背面板の一部701を撮像し
たものを示している。この図12におけるX−X’線方
向における画像信号は、たとえば図13に示すような信
号として得られる。図13において、(A)はRフィル
タを使用した場合に得られる画像信号、(B)はGフィ
ルタを使用した場合に得られる画像信号、(C)はBフ
ィルタを使用した場合に得られる画像信号を示してい
る。この画像信号を以下に示すように処理することによ
り、たとえば図14に示すようなRGBそれぞれの蛍光
体のみの画像信号を得ることができる((A’)はR蛍
光体のみの画像信号特性図、(B’)はG蛍光体のみの
画像信号特性図、(C’)はB蛍光体のみの画像信号特
性図)。
Hereinafter, more specific aspects of the image processing technique by the processing means of the present invention will be described. In the present invention, the processing unit can process a signal obtained by calculating at least two or more video signals having different light reception wavelength patterns obtained by the imaging unit. FIG. 10 shows the emission spectrum of each of the RGB phosphors when irradiated with ultraviolet light. FIG. 11 shows the transmission characteristics of each of the RGB filters in the color camera ((A) shows the transmission characteristics of the R filter, and (B) shows the transmission characteristics of G).
Filter transmission characteristics, (C) is B filter transmission characteristics). FIG. 12 shows an image of a part 701 of the PDP back plate captured by the image capturing apparatus. The image signal in the XX ′ line direction in FIG. 12 is obtained as a signal as shown in FIG. 13, for example. In FIG. 13, (A) is an image signal obtained by using an R filter, (B) is an image signal obtained by using a G filter, and (C) is an image signal obtained by using a B filter. The signal is shown. By processing this image signal as described below, it is possible to obtain an image signal of only RGB phosphors, for example, as shown in FIG. 14 ((A ′) is an image signal characteristic diagram of only R phosphor). , (B ′) is an image signal characteristic diagram of only the G phosphor, and (C ′) is an image signal characteristic diagram of only the B phosphor.)

【0043】この演算処理はたとえば次のように行われ
る。すなわち、Rフィルタを使用した際に撮像装置で得
られるRGB蛍光体それぞれの信号強度をRr、Rg、
Rb(図13(A))、同様にGフィルタを使用した際
に得られる信号をGr、Gg、Gb(図13(B))、
Bフィルターを使用した際に得られる信号をBr、B
g、Bb(図13(C))とする。RGB各色フィルタ
にて得られた図13(A)、(B)、(C)の画像信号
から、次式1〜3にて画像演算を行い、RGBそれぞれ
の蛍光体のみの画像信号を得る。式4に、画像演算の際
の各係数の決定方法の一例を示す。
This arithmetic processing is performed, for example, as follows. That is, when the R filter is used, the signal intensities of the RGB phosphors obtained by the imaging device are represented by Rr, Rg,
Rb (FIG. 13 (A)), and similarly, signals obtained when the G filter is used are Gr, Gg, Gb (FIG. 13 (B)),
The signals obtained when the B filter is used are Br, B
g and Bb (FIG. 13C). From the image signals of FIGS. 13 (A), (B) and (C) obtained by the RGB color filters, an image operation is performed by the following equations 1 to 3 to obtain image signals of only the respective RGB phosphors. Equation 4 shows an example of a method for determining each coefficient at the time of image calculation.

【0044】[0044]

【数1】 (Equation 1)

【0045】[0045]

【数2】 (Equation 2)

【0046】[0046]

【数3】 (Equation 3)

【0047】[0047]

【数4】 (Equation 4)

【0048】上記のような処理技術を実際に用いて検査
した結果、撮像装置で得られた信号強度は表1に示すよ
うになり、画像演算結果は表2に示すようになり、その
ときの各係数は数5に示すようになった。
As a result of an inspection using the above-described processing technique, the signal intensity obtained by the imaging apparatus is as shown in Table 1, and the image calculation result is as shown in Table 2. Each coefficient was as shown in Equation 5.

【0049】[0049]

【表1】 [Table 1]

【0050】[0050]

【表2】 [Table 2]

【0051】[0051]

【数5】 (Equation 5)

【0052】このような処理技術により、RGB蛍光体
をそれぞれ独立に検査可能で、検査する蛍光体以外の欠
陥を検出することがなく、より高精度に検査を行うこと
が可能になる。
With such a processing technique, the RGB phosphors can be inspected independently of each other, and the inspection can be performed with higher accuracy without detecting any defect other than the phosphors to be inspected.

【0053】また、本発明に係る画像処理においては、
撮像装置による映像信号をRGB蛍光体層が線状に延び
る方向に差分処理し、欠陥部分を強調した後に所定の基
準値と比較し、基準値との異同に基づきRGB蛍光体の
塗着状態を判断することができる。
In the image processing according to the present invention,
The image signal from the image pickup device is subjected to difference processing in the direction in which the RGB phosphor layer extends linearly, and the defect portion is emphasized and compared with a predetermined reference value. Based on the difference from the reference value, the application state of the RGB phosphor is determined. You can judge.

【0054】たとえば図15の(A)に示すように、暗
点802(点欠陥部分)を有するR蛍光体層801をそ
のストライプ方向P−Qに検査する場合、R信号強度は
図15(B)に示すようになるが、これを差分処理する
ことにより、図15(C)に示すような強調されたR信
号差分として得られ、蛍光体の塗着状態を、微小な点欠
陥等に対しても、より容易にかつ高精度に検出できるよ
うになる。
For example, as shown in FIG. 15A, when an R phosphor layer 801 having a dark spot 802 (point defect portion) is inspected in the stripe direction PQ, the R signal intensity becomes as shown in FIG. ) Is obtained by performing the difference processing to obtain an emphasized R signal difference as shown in FIG. 15C, and to change the applied state of the phosphor to a minute point defect or the like. However, detection can be performed more easily and with high accuracy.

【0055】また、本発明に係る画像処理においては、
撮像装置による映像信号をRGB蛍光体層が線状に延び
る方向と垂直の方向に差分処理し、欠陥部分を強調した
後に所定の基準値と比較し、基準値との異同に基づきR
GB蛍光体の塗着状態を判断することができる。
In the image processing according to the present invention,
The image signal from the image pickup device is subjected to difference processing in the direction perpendicular to the direction in which the RGB phosphor layers extend linearly, and the defect is emphasized, and then compared with a predetermined reference value.
The application state of the GB phosphor can be determined.

【0056】たとえば図16の(A)に示すように、暗
点804が存在するG蛍光体層803を有するPDP背
面板を、蛍光体のストライプ方向と垂直の方向P−Qに
検査する場合、モノクロラインセンサカメラで撮像した
RGB蛍光体の画像信号、つまり、各蛍光体層の信号強
度は図16(B)に示すようになり、そのうち上記暗点
804を有するG蛍光体層803の信号はそのピーク部
分が欠けた状態になる。この図16(B)に示した画像
信号に対し、図16(C)に示すような、RGB蛍光体
層のストライプのパターン間隔(RGB蛍光体層のスト
ライプのピッチ)L1だけ遅延した画像信号との差分を
とると、図16(D)に示すように、G蛍光体層803
の欠陥部分の位置で負のピークが得られ、そこからL1
遅れた位置で正のピークが得られる。したがって、負お
よび正の一対のピーク波形がある場合には暗点があるこ
とが検出される。この場合、RGB蛍光体での欠陥検出
精度を揃えるために、撮像手段が受光波長選択手段を有
していることが好ましい。
For example, as shown in FIG. 16A, when inspecting a PDP back plate having a G phosphor layer 803 having a dark spot 804 in a direction PQ perpendicular to the stripe direction of the phosphor, The image signal of the RGB phosphor imaged by the monochrome line sensor camera, that is, the signal intensity of each phosphor layer is as shown in FIG. 16B, of which the signal of the G phosphor layer 803 having the dark spot 804 is The peak part is missing. An image signal delayed from the image signal shown in FIG. 16B by the pattern interval L1 of the stripes of the RGB phosphor layer (the pitch of the stripes of the RGB phosphor layer) L1 as shown in FIG. Is obtained, the G phosphor layer 803 is obtained as shown in FIG.
A negative peak is obtained at the position of the defective portion, and L1
A positive peak is obtained at a delayed position. Therefore, when there is a pair of negative and positive peak waveforms, it is detected that there is a dark spot. In this case, in order to make the defect detection accuracy of the RGB phosphor uniform, it is preferable that the imaging means has a light receiving wavelength selection means.

【0057】このような処理技術を適用すると、モノク
ロラインセンサカメラ1台でRGB蛍光体に発生した暗
点を検出可能であり、高速かつ安価に検査できる。ま
た、RGB蛍光体のストライプの幅が異なる場合にも対
応可能である。
When such a processing technique is applied, a single monochrome line sensor camera can detect a dark spot generated in the RGB phosphor, and can perform inspection at high speed and at low cost. Further, it is possible to cope with the case where the stripe widths of the RGB phosphors are different.

【0058】また、本発明に係る画像処理においては、
プラズマディスプレイパネル背面板に形成されたRGB
蛍光体層が、平行線状に同じ幅で等間隔に複数配列さ
れ、撮像手段が、RGBそれぞれの蛍光体層から得られ
る映像信号強度をそろえる受光波長選択手段を有し、処
理手段が、撮像手段による映像信号を、蛍光体層が線状
に延びる方向と垂直の方向に蛍光体層の配列間隔で差分
処理し、欠陥部分を強調した後に所定の基準値と比較
し、基準値との異同に基づきRGB蛍光体の塗着状態を
判断するようにすることもできる。
In the image processing according to the present invention,
RGB formed on plasma display panel back plate
A plurality of phosphor layers are arranged at equal intervals in parallel lines at the same width, and the imaging means has a light receiving wavelength selection means for adjusting the video signal intensity obtained from each of the RGB phosphor layers. The video signal obtained by the means is subjected to difference processing in the direction perpendicular to the direction in which the phosphor layer extends linearly at the arrangement interval of the phosphor layers, and after emphasizing the defective portion, comparing with a predetermined reference value, and comparing with the reference value. It is also possible to judge the application state of the RGB phosphor on the basis of.

【0059】たとえば図17の(A)に示すように、暗
点806が存在するG蛍光体層805を有するPDP背
面板を、蛍光体のストライプ方向と垂直の方向P−Qに
検査する場合、受光波長選択手段を使用せずにモノクロ
ラインセンサカメラで撮像したRGB蛍光体の画像信
号、つまり、各蛍光体層の信号強度は図17(B)に示
すようになり、そのうち上記暗点806を有するG蛍光
体層805の信号はそのピーク部分が欠けた状態にな
る。この図17(B)に示した画像信号に対し、受光波
長選択手段を有したモノクロラインセンサカメラにより
RGB蛍光体での信号強度を補正して得られた画像信号
は、図17(C)に示すようになる。この図17(C)
に示す画像信号と、図17(D)に示すRGB各蛍光体
層のストライプ間隔L2だけ遅延した画像信号との差分
をとると、図17(E)に示すように、G蛍光体層80
5の欠陥部分の位置で負のピークが得られ、そこからL
2遅れた位置で正のピークが得られる。前述の処理と同
様に、このような負および正の一対のピーク波形がある
場合には暗点があることが検出される。したがって、こ
のような処理技術を適用すると、モノクロラインセンサ
カメラ1台でRGB蛍光体に発生した暗点を検出可能で
あり、高速かつ安価に検査できる。
For example, as shown in FIG. 17A, when inspecting a PDP back plate having a G phosphor layer 805 where a dark spot 806 exists, in a direction PQ perpendicular to the stripe direction of the phosphor. The image signal of the RGB phosphor imaged by the monochrome line sensor camera without using the light receiving wavelength selection means, that is, the signal intensity of each phosphor layer is as shown in FIG. 17 (B). The signal of the G phosphor layer 805 has a state where its peak portion is missing. The image signal obtained by correcting the signal intensity of the RGB phosphor with the monochrome line sensor camera having the light receiving wavelength selection means for the image signal shown in FIG. 17B is shown in FIG. 17C. As shown. This FIG. 17 (C)
17D and the image signal delayed by the stripe interval L2 of each of the RGB phosphor layers shown in FIG. 17D, the difference between the G signal layer 80 and the G phosphor layer 80 is obtained as shown in FIG.
5, a negative peak was obtained at the position of the defective portion, and L
A positive peak is obtained at a position delayed by two. Similarly to the above-described processing, when there is such a pair of negative and positive peak waveforms, it is detected that there is a dark spot. Therefore, when such a processing technique is applied, a single monochrome line sensor camera can detect a dark spot generated in the RGB phosphor, and can perform inspection at high speed and at low cost.

【0060】図18は、本発明の別の実施態様を示して
おり、PDP背面板21を固定し、撮像装置22、紫外
線照射装置23をXYガントリーステージ24にて移動
させ、PDP背面板21全面にわたって検査を行うよう
にした検査装置の例を示している。図19は、本発明の
さらに別の実施態様を示しており、PDP背面板31に
対し撮像装置32を1列に並べ、撮像装置32、紫外線
照射装置33に対し、搬送装置34でPDP背面板31
を搬送する際に、全面にわたって検査を行うようにした
検査装置の例を示している。このように、撮像装置、紫
外線照射装置とPDP背面板との相対位置、配置関係や
撮像装置の配列は、実質的に任意に設定可能である。
FIG. 18 shows another embodiment of the present invention, in which the PDP back plate 21 is fixed, the imaging device 22 and the ultraviolet irradiation device 23 are moved on the XY gantry stage 24, 1 shows an example of an inspection apparatus that performs an inspection over a wide area. FIG. 19 shows still another embodiment of the present invention, in which the imaging devices 32 are arranged in a line with respect to the PDP back plate 31, and the PDP back plate is transported with respect to the imaging device 32 and the ultraviolet irradiation device 33 by the transport device. 31
1 shows an example of an inspection apparatus in which an inspection is performed over the entire surface when a wafer is transported. As described above, the relative positions and arrangement of the imaging device, the ultraviolet irradiation device and the PDP back plate, and the arrangement of the imaging devices can be set substantially arbitrarily.

【0061】なお、本発明では、図2に示したR、G、
B用の蛍光体をストライプ状に順に繰り返し塗着したも
の以外、たとえば図20に示すような、格子状の隔壁間
に形成されたブロック状の蛍光体層を有する背面板の検
査にも対応できる。
In the present invention, R, G, and R shown in FIG.
In addition to the phosphors for B which are repeatedly applied in a stripe pattern, the present invention can also be applied to the inspection of a back plate having a block-shaped phosphor layer formed between lattice-shaped partitions as shown in FIG. 20, for example. .

【0062】[0062]

【実施例】実施例1 図1に示した装置を用いて試験した。紫外線照射装置5
は、点灯周波数2GHz、照射紫外線中心波長222n
mの、KrおよびClを封入したエキシマランプを使用
し、PDP背面板上面から50mmの位置に設置した。
撮像装置6は、2048画素の3板式のカラーラインセ
ンサカメラを使用し、1画素がPDP背面板上で100
μmに対応するようにレンズを選択した。PDP背面板
1は、印刷欠陥、色むらを含む基板を使用し、搬送装置
3により7m/minで搬送し、検査を行った。取り込
んだ画像から、PDP背面板のストライプの方向に隣接
する画素間で差分をとった結果、印刷欠陥が精度よく検
出できた。また、PDP背面板のストライプ方向と垂直
の方向に蛍光体のストライプパターン間隔で差分処理を
行うことでも印刷欠陥、色むらが精度よく検出できた。
EXAMPLES Example 1 A test was conducted using the apparatus shown in FIG. UV irradiation device 5
Is a lighting frequency of 2 GHz and an irradiation ultraviolet ray central wavelength of 222 n
An excimer lamp in which Kr and Cl of m were sealed was used, and was set at a position 50 mm from the upper surface of the PDP back plate.
The imaging device 6 uses a three-plate type color line sensor camera having 2048 pixels, and one pixel has 100 pixels on the PDP rear plate.
The lens was selected to correspond to μm. The PDP back plate 1 was transported at 7 m / min by the transport device 3 using a substrate containing print defects and color unevenness, and inspected. As a result of taking a difference between the pixels adjacent to each other in the stripe direction of the PDP back plate from the captured image, a printing defect could be detected with high accuracy. Also, by performing the difference processing at the stripe pattern interval of the phosphor in the direction perpendicular to the stripe direction of the PDP back plate, print defects and color unevenness could be accurately detected.

【0063】[0063]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るプラ
ズマディスプレイパネルの検査装置および製造方法によ
れば、とくに受光素子が一次元に配列され、プラズマデ
ィスプレイパネル背面板の平行線状に複数配列された蛍
光体層のRGB配列間隔以下の画素分解能を有する撮像
手段を用いているので、微小な点欠陥まで精度良く検出
できる。その結果、確実に良品のみをユーザーに供給で
きる。
As described above, according to the apparatus and method for inspecting a plasma display panel according to the present invention, in particular, the light receiving elements are arranged one-dimensionally, and a plurality of light receiving elements are arranged in a parallel line on the back plate of the plasma display panel. Since the imaging means having a pixel resolution equal to or less than the RGB arrangement interval of the phosphor layer is used, even minute point defects can be accurately detected. As a result, only good products can be reliably supplied to the user.

【0064】また、撮像手段により得られた画像情報に
適切な処理を施すことにより、さらに検査精度を高める
ことができ、一層信頼性の高い検査を行うことができ
る。
Further, by performing appropriate processing on the image information obtained by the image pickup means, the inspection accuracy can be further improved, and the inspection can be performed with higher reliability.

【0065】さらに、検査結果情報を各工程にフィード
バックすることで、最適な条件で製造が行え、収率が向
上する。
Further, by feeding back the inspection result information to each step, manufacturing can be performed under optimum conditions, and the yield is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施態様に係るプラズマディスプレ
イパネルの検査装置の概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a plasma display panel inspection apparatus according to one embodiment of the present invention.

【図2】プラズマディスプレイパネル背面板の概略平面
図である。
FIG. 2 is a schematic plan view of a plasma display panel back plate.

【図3】プラズマディスプレイパネルの部分縦断面図で
ある。
FIG. 3 is a partial vertical sectional view of the plasma display panel.

【図4】プラズマディスプレイパネル背面板への蛍光体
印刷の一例を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing an example of phosphor printing on a plasma display panel back plate.

【図5】RGB蛍光体の塗着不良状態の一例を示すプラ
ズマディスプレイパネル背面板の概略平面図である。
FIG. 5 is a schematic plan view of a back plate of a plasma display panel showing an example of a coating failure state of an RGB phosphor.

【図6】RGB蛍光体の塗着不良状態の別の例を示すプ
ラズマディスプレイパネル背面板の部分平面図である。
FIG. 6 is a partial plan view of a plasma display panel back plate showing another example of a coating failure state of RGB phosphors.

【図7】酸素を含む雰囲気下における照射紫外線波長と
吸収率との関係図である。
FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the irradiation ultraviolet wavelength and the absorptance in an atmosphere containing oxygen.

【図8】エキシマランプからの紫外線の強度スペクトル
図である。
FIG. 8 is an intensity spectrum diagram of ultraviolet light from an excimer lamp.

【図9】代表的なRGB蛍光体の励起波長と発光強度と
の関係図である。
FIG. 9 is a diagram showing a relationship between excitation wavelength and emission intensity of a typical RGB phosphor.

【図10】紫外線を照射したときのRGB蛍光体それぞ
れの発光スペクトル図である。
FIG. 10 is an emission spectrum diagram of each of RGB phosphors when irradiated with ultraviolet rays.

【図11】RGBフィルタの透過特性図である。FIG. 11 is a transmission characteristic diagram of an RGB filter.

【図12】プラズマディスプレイパネル背面板の部分平
面図である。
FIG. 12 is a partial plan view of a plasma display panel back plate.

【図13】撮像装置で得られた画像信号特性図である。FIG. 13 is an image signal characteristic diagram obtained by the imaging apparatus.

【図14】図13の信号を処理した後の信号特性図であ
る。
FIG. 14 is a signal characteristic diagram after processing the signal of FIG. 13;

【図15】(A)は図12とは垂直の方向に検査する場
合の、プラズマディスプレイパネル背面板の部分平面
図、(B)は撮像装置で得られた画像信号特性図、
(C)は(B)の信号を処理した後の信号特性図であ
る。
15A is a partial plan view of a plasma display panel back plate when inspecting in a direction perpendicular to FIG. 12, FIG. 15B is an image signal characteristic diagram obtained by an imaging device,
(C) is a signal characteristic diagram after processing the signal of (B).

【図16】(A)は検査方向を示すプラズマディスプレ
イパネル背面板の部分平面図、(B)は撮像装置で得ら
れた画像信号特性図、(C)は(B)の信号をL1遅延
させた画像信号特性図、(D)は(B)と(C)の信号
に基づいて処理した後の信号特性図である。
16A is a partial plan view of a plasma display panel back plate showing an inspection direction, FIG. 16B is an image signal characteristic diagram obtained by an imaging device, and FIG. 16C is a signal of FIG. (D) is a signal characteristic diagram after processing based on the signals (B) and (C).

【図17】(A)は検査方向を示すプラズマディスプレ
イパネル背面板の部分平面図、(B)は撮像装置で得ら
れた画像信号特性図、(C)は(B)の信号の強度を揃
えた画像信号特性図、(D)は(C)の信号をL2遅延
させた画像信号特性図、(E)は(C)と(D)の信号
に基づいて処理した後の信号特性図である。
17A is a partial plan view of a back panel of a plasma display panel showing an inspection direction, FIG. 17B is an image signal characteristic diagram obtained by an imaging device, and FIG. 17C is a diagram in which the signal intensities of FIG. (D) is an image signal characteristic diagram obtained by delaying the signal (C) by L2, and (E) is a signal characteristic diagram after processing based on the signals (C) and (D). .

【図18】本発明の別の実施態様に係るプラズマディス
プレイパネルの検査装置の概略斜視図である。
FIG. 18 is a schematic perspective view of a plasma display panel inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.

【図19】本発明のさらに別の実施態様に係るプラズマ
ディスプレイパネルの検査装置の概略斜視図である。
FIG. 19 is a schematic perspective view of a plasma display panel inspection apparatus according to still another embodiment of the present invention.

【図20】プラズマディスプレイパネル背面板の別の例
を示す概略平面図である。
FIG. 20 is a schematic plan view showing another example of the plasma display panel back plate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、21、31 プラズマディスプレイパネル背面板 3、34 搬送装置 4 駆動制御装置 5、23、33 紫外線照射装置 6、22、32 撮像装置 7 点灯制御装置 8 画像処理装置 9 RGB信号増幅装置 10 制御装置 11 表示装置 24 XYガントリーステージ 301 背面ガラス基板 302 アドレス電極 303 誘電体層 304 隔壁 305 蛍光体(R色) 306 蛍光体(G色) 307 蛍光体(B色) 308 前面ガラス基板 309 表示電極 310 誘電体層 311 保護膜 312 プラズマ 401 スキージ 402 印刷スクリーン 501 色むら(赤っぽい部分) 502 色むら(青っぽい部分) 601 混色部分 602 暗点 603 ずれ欠陥部分 701 プラズマディスプレイパネル背面板の一部 801、803、805 蛍光体層 802、804、806 点欠陥部分 1, 21, 31 Plasma display panel back plate 3, 34 Transport device 4 Drive control device 5, 23, 33 Ultraviolet irradiation device 6, 22, 32 Imaging device 7 Lighting control device 8 Image processing device 9 RGB signal amplifying device 10 Control device Reference Signs List 11 display device 24 XY gantry stage 301 rear glass substrate 302 address electrode 303 dielectric layer 304 partition wall 305 phosphor (R color) 306 phosphor (G color) 307 phosphor (B color) 308 front glass substrate 309 display electrode 310 dielectric Body layer 311 Protective film 312 Plasma 401 Squeegee 402 Printing screen 501 Uneven color (reddish part) 502 Uneven color (blued part) 601 Mixed color part 602 Dark spot 603 Defect part 701 Part of plasma display panel back plate 801, 803 , 805 phosphor 802, 804, 806-point defect part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01J 9/50 H01J 9/50 A 5C094 11/02 11/02 B 5G435 H04N 17/04 H04N 17/04 Z (72)発明者 平田 肇 滋賀県大津市園山1丁目1番1号 東レ株 式会社滋賀事業場内 (72)発明者 武田 修三 滋賀県大津市園山1丁目1番1号 東レ株 式会社滋賀事業場内 (72)発明者 津田 敬治 滋賀県大津市園山1丁目1番1号 東レ株 式会社滋賀事業場内 Fターム(参考) 2G086 EE12 5C012 AA09 BE03 5C028 FF16 HH14 5C040 FA01 GB03 GB14 GG09 JA25 JA26 MA23 MA24 5C061 BB01 CC05 EE21 5C094 AA41 BA31 CA24 GB01 GB10 JA11 5G435 AA17 AA19 BB06 CC12 KK05 KK10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01J 9/50 H01J 9/50 A 5C094 11/02 11/02 B 5G435 H04N 17/04 H04N 17/04 Z (72) Inventor Hajime Hirata 1-1-1, Sonoyama, Otsu-shi, Shiga Prefecture Toray Industries, Ltd.Shiga Plant (72) Inventor Shuzo Takeda 1-1-1, Sonoyama, Otsu-shi, Shiga Prefecture, Toray Corporation Shiga Plant (72) Inventor Keiji Tsuda 1-1-1, Sonoyama, Otsu-shi, Shiga F-term in Shiga Plant of Toray Industries, Inc. (reference) 2G086 EE12 5C012 AA09 BE03 5C028 FF16 HH14 5C040 FA01 GB03 GB14 GG09 JA25 JA26 MA23 MA24 5C061 BB01 CC EE21 5C094 AA41 BA31 CA24 GB01 GB10 JA11 5G435 AA17 AA19 BB06 CC12 KK05 KK10

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プラズマディスプレイパネル背面板への
RGB蛍光体の塗着状態を検査する装置であって、RG
B蛍光体の所定の塗着位置に紫外線を照射する紫外線照
射手段と、受光素子が一次元に配列され、プラズマディ
スプレイパネル背面板の平行線状に複数配列された蛍光
体層のRGB配列間隔以下の画素分解能を有し、RGB
蛍光体の塗着位置からのそれぞれの発光を前記所定の塗
着位置毎に検出して映像信号を出力する撮像手段と、該
撮像手段からの映像信号を画素毎に演算して所定の基準
値と比較し、基準値との異同に基づきRGB蛍光体の塗
着状態を判断する処理手段とを有することを特徴とす
る、プラズマディスプレイパネルの検査装置。
1. An apparatus for inspecting an application state of an RGB phosphor on a back plate of a plasma display panel, comprising:
UV irradiating means for irradiating ultraviolet light to a predetermined coating position of the B phosphor, and a light receiving element arranged one-dimensionally, and a distance equal to or less than an RGB arrangement interval of a plurality of phosphor layers arranged in a parallel line on a plasma display panel back plate. Pixel resolution of RGB
An imaging unit that detects each light emission from the coating position of the phosphor at each of the predetermined coating positions and outputs a video signal; and calculates a video signal from the imaging unit for each pixel to obtain a predetermined reference value. And a processing means for judging the application state of the RGB phosphor based on the difference between the reference value and the reference value.
【請求項2】 紫外線の照射が酸素を含む雰囲気中で行
われる、請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル
の検査装置。
2. The inspection apparatus for a plasma display panel according to claim 1, wherein the ultraviolet irradiation is performed in an atmosphere containing oxygen.
【請求項3】 紫外線照射手段が紫外線を少なくとも1
本の棒状に発光する手段からなる、請求項1または2に
記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置。
3. The ultraviolet irradiation means emits at least one ultraviolet light.
The apparatus for inspecting a plasma display panel according to claim 1, comprising means for emitting light in the form of a stick.
【請求項4】 紫外線照射手段が、波長が200〜26
0nmの紫外線を主として照射する手段からなる、請求
項1〜3のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネ
ルの検査装置。
4. An ultraviolet irradiation means having a wavelength of 200 to 26.
The inspection apparatus for a plasma display panel according to any one of claims 1 to 3, comprising means for mainly irradiating 0 nm ultraviolet rays.
【請求項5】 紫外線照射手段が、KrおよびClが封
入されているエキシマランプからなる、請求項1〜4の
いずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの検査装
置。
5. The inspection apparatus for a plasma display panel according to claim 1, wherein the ultraviolet irradiation means comprises an excimer lamp in which Kr and Cl are sealed.
【請求項6】 紫外線照射手段が点灯制御手段を備え、
撮像手段の動作に同期して点灯が制御される、請求項1
〜5のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの
検査装置。
6. The ultraviolet irradiation means includes lighting control means,
The lighting is controlled in synchronization with the operation of the imaging means.
The inspection apparatus for a plasma display panel according to any one of claims 1 to 5, wherein
【請求項7】 撮像手段がRGB信号増幅手段を備えて
いる、請求項1〜6のいずれかに記載のプラズマディス
プレイパネルの検査装置。
7. The inspection apparatus for a plasma display panel according to claim 1, wherein the imaging means includes an RGB signal amplifying means.
【請求項8】 撮像手段が、受光波長選択手段を有し、
プラズマディスプレイパネル背面板に形成される少なく
とも2色以上の蛍光体層のうち、1色の蛍光体層の映像
信号を得ることが可能な手段からなる、請求項1〜7の
いずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの検査装
置。
8. The image pickup means has a light receiving wavelength selecting means,
The device according to any one of claims 1 to 7, comprising means capable of obtaining a video signal of a phosphor layer of one color among phosphor layers of at least two colors formed on a back plate of the plasma display panel. Inspection equipment for plasma display panels.
【請求項9】 処理手段が、受光波長選択手段を有する
撮像手段によって得られた映像信号の異なる、少なくと
も2つ以上の映像信号を演算して得られた信号について
処理することを特徴とする、請求項1〜8のいずれかに
記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置。
9. The processing means processes signals obtained by calculating at least two or more video signals different from the video signals obtained by the imaging means having the light receiving wavelength selection means. An inspection apparatus for a plasma display panel according to claim 1.
【請求項10】 処理手段が、前記映像信号をRGB蛍
光体層が線状に延びる方向に差分処理し、欠陥部分を強
調した後に所定の基準値と比較し、基準値との異同に基
づきRGB蛍光体の塗着状態を判断することを特徴とす
る、請求項1〜9のいずれかに記載のプラズマディスプ
レイパネルの検査装置。
10. A processing unit performs a differential process on the video signal in a direction in which the RGB phosphor layers extend linearly, emphasizes a defective portion, compares the video signal with a predetermined reference value, and performs RGB processing based on the difference from the reference value. The plasma display panel inspection apparatus according to any one of claims 1 to 9, wherein the application state of the phosphor is determined.
【請求項11】 処理手段が、前記映像信号をRGB蛍
光体層が線状に延びる方向と垂直の方向に差分処理し、
欠陥部分を強調した後に所定の基準値と比較し、基準値
との異同に基づきRGB蛍光体の塗着状態を判断するこ
とを特徴とする、請求項1〜9のいずれかに記載のプラ
ズマディスプレイパネルの検査装置。
11. Processing means performs difference processing on the video signal in a direction perpendicular to a direction in which the RGB phosphor layers linearly extend,
The plasma display according to any one of claims 1 to 9, wherein the defective portion is emphasized, and then compared with a predetermined reference value, and the application state of the RGB phosphor is determined based on the difference from the reference value. Panel inspection equipment.
【請求項12】 プラズマディスプレイパネル背面板に
形成されたRGB蛍光体層が、平行線状に同じ幅で等間
隔に複数配列され、撮像手段が、RGBそれぞれの蛍光
体層から得られる映像信号強度をそろえる受光波長選択
手段を有し、処理手段が、前記映像信号を、蛍光体層が
線状に延びる方向と垂直の方向に蛍光体層の配列間隔で
差分処理し、欠陥部分を強調した後に所定の基準値と比
較し、基準値との異同に基づきRGB蛍光体の塗着状態
を判断することを特徴とする、請求項1〜9のいずれか
に記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置。
12. A plurality of RGB phosphor layers formed on a back plate of a plasma display panel are arranged at equal intervals in a parallel line at the same width, and an image pickup means obtains an image signal intensity obtained from each of the RGB phosphor layers. Receiving light wavelength selection means for aligning, the processing means, the difference processing of the video signal in the direction perpendicular to the direction in which the phosphor layer extends linearly at the arrangement interval of the phosphor layer, after emphasizing the defective portion The plasma display panel inspection apparatus according to any one of claims 1 to 9, wherein the apparatus is compared with a predetermined reference value, and the application state of the RGB phosphor is determined based on the difference from the reference value.
【請求項13】 プラズマディスプレイパネル背面板に
形成されたRGB蛍光体の塗着状態を、請求項1〜12
のいずれかに記載の検査装置を用いて検査し、得られた
欠陥情報に基づいて、良品と不良品を判別することを特
徴とする、プラズマディスプレイパネルの製造方法。
13. The state of application of RGB phosphors formed on the back plate of a plasma display panel.
A method for manufacturing a plasma display panel, comprising: performing inspection using the inspection apparatus according to any one of (1) to (4), and discriminating non-defective products from defective products based on the obtained defect information.
【請求項14】 プラズマディスプレイパネル背面板に
形成されたRGB蛍光体の塗着状態を、請求項1〜12
のいずれかに記載の検査装置を用いて検査し、得られた
欠陥情報に基づいて、RGB蛍光体層の修正を行うこと
を特徴とする、プラズマディスプレイパネルの製造方
法。
14. The coated state of the RGB phosphor formed on the back plate of the plasma display panel.
A method for manufacturing a plasma display panel, comprising performing an inspection using the inspection apparatus according to any one of the above, and correcting the RGB phosphor layers based on the obtained defect information.
【請求項15】 RGB蛍光体層の各色それぞれの形成
工程後に検査を行うことを特徴とする、請求項13また
は14のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
15. The method of manufacturing a plasma display panel according to claim 13, wherein an inspection is performed after a step of forming each of the RGB phosphor layers.
【請求項16】 RGB蛍光体の各色の塗布工程内にお
いて、塗着された蛍光体層が乾燥する前に、判別または
修正を行うことを特徴とする、請求項13または14の
プラズマディスプレイパネルの製造方法。
16. The plasma display panel according to claim 13, wherein, in the step of applying each color of the RGB phosphor, the determination or correction is performed before the applied phosphor layer is dried. Production method.
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