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JP2000313630A - Method for fusing glass, device for fusing glass, fused glass and method for producing fused glass - Google Patents

Method for fusing glass, device for fusing glass, fused glass and method for producing fused glass

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Publication number
JP2000313630A
JP2000313630A JP11225218A JP22521899A JP2000313630A JP 2000313630 A JP2000313630 A JP 2000313630A JP 11225218 A JP11225218 A JP 11225218A JP 22521899 A JP22521899 A JP 22521899A JP 2000313630 A JP2000313630 A JP 2000313630A
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JP
Japan
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glass
fusing
heating
light
fused
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Pending
Application number
JP11225218A
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Japanese (ja)
Inventor
Takashi Hosoya
Yasukuni Iwasaki
Takahiko Kondo
Kiyoshi Takeuchi
Shiro Takigawa
安邦 岩崎
清 武内
志朗 瀧川
高司 細谷
隆彦 近藤
Original Assignee
Shin Meiwa Ind Co Ltd
新明和工業株式会社
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Filing date
Publication date
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Priority to JP22473298 priority
Priority to JP2235899 priority
Priority to JP11-22358 priority
Priority to JP5616499 priority
Priority to JP11-56164 priority
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00Re-forming shaped glass
    • C03B23/20Uniting glass pieces by fusing without substantial reshaping
    • C03B23/203Uniting glass sheets
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50Glass production
    • Y02P40/57Reduction of reject rates; Improving the yield

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain fused glass which does not contain fine cracks which are generated at a fused site, because a large temperature gradient is generated in the glass during a fusing treatment, and does further not contain large cracks often generated in a fusing process. SOLUTION: This fused glass is obtained through a pre-heating process for irradiating a proximity or contact site between two glass pieces A, B with light to heat the site at a temperature below the fusing temperature of the glass, a fusing process for irradiating the site with light to heat the site at a temperature not lower than the melting point of the glass, and then an annealing process for irradiating the site with light to heat the site and simultaneously cool the site at a temperature below the fusing temperature of the glass.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】この出願に係る発明は、レーザー光等を照射してガラスを融着するガラス融着方法、 TECHNICAL FIELD The present invention according to this application, glass fusing method of fusing the glass by irradiating a laser beam or the like,
ガラス融着装置、融着ガラスおよび融着ガラスの製造方法に関する。 Glass fusing device, a method for producing a fused glass and fused glass.

【0002】 [0002]

【従来の技術】融着ガラスは、少なくとも2のガラス片を融着して製造される。 BACKGROUND ART fused glass is produced by fusing at least two pieces of glass. 融着ガラスは例えば合わせガラスや複層ガラス等として利用される。 Fused glass is used as glass or double glazing or the like combined, for example. 図36は、そのような2枚のガラス片の周縁部分同士をレーザ加工機で融着する場合の加工状態を説明するための図であって、(a) Figure 36 is a diagram for explaining a processing state when fusing to each other the peripheral portions of such two glass piece at the laser processing machine, (a)
は加工状態を示す斜視図、(b)はレーザ加工機におけるレーザ光のワーク上のスポット径の調整方法を示す模式図である。 It is a perspective view showing a machining state is a schematic diagram showing an adjustment method of (b) the spot diameter on the work of the laser beam in a laser processing machine.

【0003】図において、それぞれ第1,第2のワークである2枚のガラス板300A,300Bの間には微小高さのスペーサ(図示せず)が挟まれており、そのため、2枚のガラス板300A,300Bの間には該スペーサの高さに相当する微小な隙間ができている。 [0003] In Figure, a first respectively second work in which two glass plates 300A, (not shown) spacer small height between 300B is sandwiched, therefore, two glass between the plates 300A, 300B are able small gap corresponding to the height of the spacer.

【0004】一方、レーザ加工機A300は、ガラス板300 On the other hand, laser processing machine A300, the glass plate 300
A,300Bを固定するための作業テーブル303と、レーザ光(CO 2レーザ)をガラス板300A,300Bに照射するための加工ヘッド308とを備えている。 A, it includes a work table 303 for fixing the 300B, and a processing head 308 for irradiating laser light (CO 2 laser) glass plate 300A, the 300B. 加工ヘッド308は作業テーブル303に対して直交する3軸方向に相対的に移動可能なように構成されている。 Processing head 308 is configured to be relatively moved in three orthogonal axial directions with respect to the work table 303. また、レーザ発振器302でレーザ光を発生し、これを光路上の適所に配置したミラー317,318で加工ヘッド308に導き、対物レンズ319で収束させてガラス板300A,300Bに照射するよう構成されている。 Further, the laser beam generated by the laser oscillator 302, which leads to processing head 308 by a mirror 317 and 318 arranged in place of the optical path, and is configured to irradiate is converged by the objective lens 319 glass plate 300A, the 300B .

【0005】融着加工の際には、上記2枚のガラス板30 [0005] During the fusion process, the glass plate 30 of the two above
0A,300Bを作業テーブル303上に固定し、図36(a)中の斜線で示したガラス板300A,300Bの周縁部にレーザ光305を照射しつつ、加工ヘッド308がガラス板300A,300Bの周縁に沿って相対的に移動するように、作業テーブル303に対して加工ヘッド308を移動させる。 0A, 300B are fixed on the work table 303, a glass plate 300A shown by hatched lines in FIG. 36 (a), the while irradiating the laser beam 305 on the periphery of 300B, the processing head 308 is a glass plate 300A, 300B of as relatively moves along the circumference, and moves the processing head 308 relative to the work table 303. 加工ヘッド308がガラス板300A,300Bの周縁部を一周すると融着が完了し、 Processing head 308 is completed fuse when one round glass plate 300A, the peripheral edge of 300B,
2枚のガラス板300A,300Bの間には外部から遮断された気密な空間ができる。 Two glass plates 300A, between 300B may airtight space shut off from the outside. この空間に、例えば、乾燥空気等のガスを充填したり、又は、この空間を真空引きしたりすると、断熱性の高い合わせガラスを製造することができる。 In this space, for example, to fill a gas such as dry air, or the space when or evacuation, it is possible to produce a laminated glass having high heat insulating property.

【0006】 [0006]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のような融着方法では、ガラス板300A,300Bの融着箇所に微細なクラックが発生したり、ときには、ガラス板300A,300 [SUMMARY OF THE INVENTION However, in the fusing method as described above, the glass plate 300A, or fine cracks in the fusion part of the 300B occurs, sometimes, the glass plate 300A, 300
Bが大きく割れてしまうことがある。 There is that B is cracked greatly. その原因は、ガラス板300A,300Bに発生する熱応力である。 The cause is a thermal stress generated glass plate 300A, the 300B. つまり、ガラス板300A,300Bの、レーザー光305が照射されている箇所は、ガラスの融着温度以上に加熱される。 That is, the glass plate 300A, the 300B, position the laser beam 305 is irradiated is heated to above the fusion temperature of the glass. しかし、ガラスの熱伝導率の低さのため、融着箇所の周辺の温度はガラスの融着温度をかなり下回る温度になっている。 However, since the thermal conductivity of the glass low, the temperature around the fusion point is in the temperature well below the fusion temperature of the glass. そしてガラス内の温度勾配が所定値以上になると、ガラス板 When the temperature gradient in the glass is equal to or greater than a predetermined value, the glass plate
300A,300Bは熱応力に耐えきれずにクラックや割れを起こす。 300A, 300B may cause a crack or fracture can not withstand the heat stress.

【0007】クラックや割れが生ずると、例えば合わせガラスの2枚のガラス板300A,300Bの間に形成された空間を気密に保つことができなくなる。 [0007] crack or breakage occurs, can not be kept for example combined two glass plates 300A of glass, the space formed between the 300B airtight.

【0008】また、クラックが、合わせガラスの内部空間を気密に保つことができる程度に微細なものであったとしても、クラックの生じた箇所には応力集中が生じやすく、合わせガラスは外力に対して弱いものとなる。 Further, cracks, even the inner space of the laminated glass were those fine enough to be kept in airtight, tends to occur stress concentration at a location resulting in cracks, laminated glass to an external force becomes weak Te.

【0009】一方、上記のようなレーザ融着方法では、 [0009] On the other hand, in the laser welding method as described above,
図36(b)に示すように、ガラス板300A,300Bに照射するレーザ光305は収束光である。 As shown in FIG. 36 (b), the laser beam 305 to irradiate the glass plate 300A, the 300B is convergent light. よって、ガラス板300A,30 Therefore, the glass plate 300A, 30
0B上におけるレーザ光305のスポット径Sを、加工ヘッド308を該レーザ光305の光軸方向に移動させて融着に最適な大きさに調整する必要がある。 The spot diameter S of the laser beam 305 on the 0B, the processing head 308 needs to be adjusted to the optimum size in fusion is moved in the optical axis direction of the laser beam 305. しかし、そのようにスポット径Sを最適な大きさに調整しても、加工ヘッド However, so also, adjust the size of the spot diameter S, the processing head
308を移動すると、その位置決め精度等に起因するブレが生じて該スポット径Sが変動する。 Moving the 308, the blur caused by the positioning accuracy and the like are the spot diameter S is varied occurs. この変動により該スポット径Sが小さくなりすぎると加熱範囲が狭くなり、融着不良が起こる。 The heat range and the spot diameter S is too small fluctuations becomes narrower, fusion failure occurs. また、該スポット径Sが大きくなりすぎると照射箇所の温度が上がり切らず、この場合にも融着不良が起こる。 Further, the spot diameter S is not Kira raise the temperature of the irradiated portion becomes too large, even fusion failure occurs in this case. このように、融着ガラスの融着品質が一定せず、融着ガラスにおいて設計通りの融着強度が得られない事態が生じうる。 Thus, without a predetermined fusing quality fused glass is fusion strength as designed may occur is not a situation resulting in fused glass.

【0010】 [0010]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、この出願発明に係るガラス融着方法は、2のガラス片の接触又は近接する箇所に光を照射して該箇所を融着するガラス融着方法であって、光の照射によって該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に加熱する予熱過程と、該予熱過程の後に、光の照射によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着過程と、該融着過程の後に、光の照射によって該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に冷却する徐冷過程と、を具備している(請求項1)。 In order to solve the above problems SUMMARY OF THE INVENTION The glass fusing method according to this application invention, the position of contact or proximity of the second glass piece by irradiating light to fuse the relevant section a glass fusing method, a preheating process of heating to a temperature below the fusion temperature of the glass relevant section by light irradiation, after the preheating process, the fusion temperature of the glass relevant section irradiated with light and welding process of fusing by heating to a temperature above after said fusing step, a slow cooling process of cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the relevant section by light irradiation, the are provided (claim 1). また、上記課題を解決するために、この出願発明に係るもう一つのガラス融着方法は、2のガラス片の接触又は近接する箇所を融着するガラス融着方法であって、該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に予熱する予熱過程と、該予熱過程の後に、局所的な加熱によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着過程と、該融着過程の後に、該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に徐冷する徐冷過程と、を具備している(請求項2)。 Further, in order to solve the above problems, another glass fusing method according to the claimed invention is a glass fusing method for fusing the portions in contact with or close proximity of the two pieces of glass, said the relevant section a preheating step of preheating to a temperature below the fusion temperature of the glass, after the preheating process, and welding process of fusing the relevant section is heated to a fusion temperature above the temperature of the glass by local heating, after said fusing step, and comprises a slow cooling step of slow cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the relevant section, and (claim 2). このガラス融着方法において、該融着過程では、 In this glass fusing method, in said fusing step,
光の照射によって該箇所を局所的に加熱するようにしてもよい(請求項3)。 It may be locally heating the relevant section irradiated with light (claim 3).

【0011】かかる方法によると、予熱過程によってまずガラスの融着温度未満の温度に融着すべき箇所が加熱される。 [0011] According to this method, portions to be welded first to a temperature below the fusion temperature of the glass by the preheating process is heated. 加熱の温度が融着温度未満であることから、融着すべき箇所とその周辺との温度勾配は緩やかである。 Since the temperature of the heating is lower than the fusion temperature, the temperature gradient of the portion to be welded and its surroundings is gradual.
そして、融着すべき箇所の周辺箇所が十分に温められてから、次に、融着すべき箇所を融着温度以上の温度に加熱する。 Then, the peripheral portion of the portion to be welded from warmed sufficiently, then, heating the portion to be fused to the fusion temperature or higher. このときは、予熱過程によって予め融着すべき箇所の周辺箇所も温められているので、融着箇所の温度が融着温度以上になっても、ガラス片内部において急激な温度勾配は生じない。 In this case, since the warmed also around part of the portion to be welded in advance by preheating process, the temperature of the fusing portion is also equal to or higher than the fusion temperature, rapid temperature gradient in the glass piece does not occur. そして、次に徐冷過程によって融着箇所が急激に冷却されることを防止して、融着箇所とその周辺箇所との急激な温度勾配が生ずることを防止している。 And then fused portion by slow cooling process is prevented from being rapidly cooled, thereby preventing a sudden temperature gradient of the fused portion and its peripheral portion is generated.

【0012】上記の光の照射によって融着を行うガラス融着方法において、該光がレーザ光であってもよい(請求項4)。 [0012] In a glass fusing method for performing welding by irradiation of the light, the light is better be a laser beam (Claim 4).

【0013】また、上記ガラス融着方法において、予熱過程における加熱範囲が融着過程における加熱範囲よりも広く、かつ、徐冷過程における加熱範囲が融着過程における加熱範囲よりも広くなるようにしてもよい(請求項5)。 Further, in the glass fusing method, wider than the heating range the heating range in the fusion process in the preheating process, and the heating range in the slow cooling process is set to be wider than the heating range in the welding process which may (claim 5). このようにすると、融着箇所の周辺がより広く十分に温められるので、融着箇所とその周辺箇所との温度差をさらに小さくすることができ、ガラス内での温度勾配をさらに小さくできる。 In this manner, since the periphery of the fused portion is warmed wider enough, the temperature difference of the fused portion and its peripheral portion can further be reduced, thereby further reducing the temperature gradient in the glass.

【0014】また、上記ガラス融着方法において、該融着過程において、該箇所にアシストガスを噴射しつつ該箇所を加熱するように構成してもよい(請求項6)。 Further, in the glass fusing method, in said fusing step may be configured to heat the relevant section while ejecting an assist gas to the relevant section (claim 6). この場合、特に、該箇所に噴射する前に該アシストガスを加熱するようにすれば(請求項7)、アシストガスによってガラス片が急冷されることが回避され、ガラス片の割れやクラックを防止できる。 In this case, particularly, if such heating the assist gas before injecting the relevant section (claim 7), glass fragments are prevented from being rapidly cooled by the assist gas, preventing cracking and cracks the glass pieces it can.

【0015】また、上記ガラス融着方法において、該2 Further, in the glass fusing method, the 2
のガラス片をセラミックス、陶器、磁器 または レンガからなる載置台に載置した状態で、該融着過程を実行するようにすると(請求項8)、載置台によって、ガラス片の熱が放出されることが妨げられ、ガラス片の内部において温度勾配が生じにくくなり、ガラス片の割れやクラックも生じにくくなる。 The glass pieces ceramics, pottery, while mounted on the mounting table made of porcelain or bricks, when to run the said fusing process (Claim 8), the mounting table, heat the glass piece is released it is prevented, the temperature gradient is less likely to occur in the interior of the glass piece, is less likely to occur breakage or cracking of the glass piece.

【0016】また、上記課題を解決するために、この出願発明に係る一つのガラス融着装置は、2のガラス片の接触又は近接する箇所に光を照射して該箇所を融着するガラス融着装置であって、光照射装置と、該光照射装置の照射光による該箇所の加熱レベルを調整する制御手段とを有し、該制御手段は、該光照射装置の照射光によって該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に予熱し、その後、該加熱レベルの変更によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着し、その後、該加熱レベルの変更によって該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に徐冷する(請求項9)。 [0016] In order to solve the above problems, one glass fusing device according to this application invention, glass melting of fusing the relevant section by irradiating light to the position of contact or proximity of the two pieces of glass a wearing device, a light irradiation device, and a control means for adjusting the level of heating relevant section by irradiation light of the light irradiation device, control means, the relevant section with irradiated light from the light irradiation device preheated to a temperature below the fusion temperature of the glass, then the relevant section by changing the heating level fused by heating to fusion temperature above the temperature of the glass, then the by a change of the heating level while heating the portion gradually cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass (claim 9). かかる装置によると、予熱によってまずガラスの融着温度未満の温度に融着すべき箇所が加熱される。 According to such a device, portions to be initially fused to a temperature below the fusion temperature of the glass by the preheating is heated. 加熱の温度が融着温度未満であることから、融着すべき箇所とその周辺との温度勾配は緩やかである。 Since the temperature of the heating is lower than the fusion temperature, the temperature gradient of the portion to be welded and its surroundings is gradual. そして、融着すべき箇所の周辺箇所が十分に温められてから、次に、融着すべき箇所を融着温度以上の温度に加熱する。 Then, the peripheral portion of the portion to be welded from warmed sufficiently, then, heating the portion to be fused to the fusion temperature or higher. このときは、予熱によって予め融着すべき箇所の周辺箇所も温められているので、融着箇所の温度が融着温度以上になっても、ガラス片内部において急激な温度勾配は生じない。 At this time, since also been warmed near point locations to be welded in advance by preheating, the temperature of the fusing portion is also equal to or higher than the fusion temperature, rapid temperature gradient in the glass piece does not occur. そして、 And,
次に徐冷によって融着箇所が急激に冷却されることを防止して、融着箇所と周辺箇所との急激な温度勾配が生ずることを防止している。 Then it is possible to prevent the fusion portion is rapidly cooled by slow cooling, so as to prevent the sharp temperature gradient between the fused portion and the peripheral portion occurs.

【0017】上記装置において、該制御手段は、該光照射装置の光源の出力を調整することによって、該加熱レベルを調整するようにしてもよいし(請求項10)、該箇所に対する該照射光の集光状態を調整することによって、該加熱レベルを調整するようにしてもよい(請求項11)。 In the above device, control means, 該照 Shako by adjusting the output of the light source of the optical irradiation apparatus, for may be to adjust the heating level (claim 10), relevant section by adjusting the condensed state may be adjusted heating level (claim 11). この場合、該制御手段による該照射光の集光状態の調整によって、該箇所における該照射光のスポット径を変更することができるようにしてもよい(請求項1 In this case, 該制 by adjusting the condensed state of 該照 Shako by control means, to and may be (claim to be able to change the spot diameter of 該照 Shako in relevant section 1
2)。 2). このように構成すると、融着すべき箇所における照射光のスポット径を大きくして、広い範囲を加熱することもできる。 According to this structure, by increasing the spot diameter of the irradiation light in the portion to be welded, it is also possible to heat the wide range. また、集光状態の調整には、該ガラス片を固定するテーブルと、該テーブルと該光照射装置の照射部との距離を変更しうる移動装置とを具備し、該制御手段は、該移動装置を制御して該テーブルと該照射部との距離を調整することによって、該集光状態を調整するようにしてもよいし(請求項13)、該光照射装置内において対物レンズを移動させるレンズ移動装置を具備し、該制御手段は、該レンズ移動装置を制御して該対物レンズを移動させることによって、該集光状態を調整するようにしてもよい(請求項14)。 Further, the adjustment of the focusing state, a table for fixing the glass pieces, provided with a mobile device and capable of changing the distance between the irradiation portion of the table and the light irradiation device, control means, the mobile by adjusting the distance between the table and the irradiation unit to control the device, may be adjusted to the condenser state (claim 13), moves the objective lens in the optical irradiation equipment comprising a lens moving device, the control means, by moving the objective lens by controlling the lens moving device may be adjusted to the condenser state (claim 14).

【0018】また上記装置において、予熱時における加熱範囲が融着時における加熱範囲よりも広く、かつ、徐冷時における加熱範囲が融着時における加熱範囲よりも広くなるようにすると(請求項15)、融着箇所の周辺がより広く十分に温められるので、融着箇所とその周辺箇所との温度差をさらに小さくすることができ、ガラス内での温度勾配をさらに小さくできる。 [0018] In the above apparatus, wider than the heating range heating range at the time of preheating during welding, and, when the heating range at the time of annealing is set to be wider than the heating range during fusion (claim 15 ), since the periphery of the fused portion is warmed wider enough, the temperature difference of the fused portion and its peripheral portion can further be reduced, thereby further reducing the temperature gradient in the glass.

【0019】また上記装置において、該光照射装置による照射箇所の近傍にガラス材料を供給するガラス供給装置を具備するように構成すると(請求項16)、ガラス供給装置によって供給されたガラス材料が、融着箇所近傍の温度勾配を緩和する。 [0019] In the above device, when configured to include a glass supply device for supplying a glass material in the vicinity of the irradiated portion by the light irradiation apparatus (claim 16), a glass material supplied by the glass feeder, to mitigate the temperature gradients of the fused portion near.

【0020】また、上記課題を解決するために、この出願発明に係るもう一つのガラス融着装置は、2のガラス片の接触又は近接する箇所に光を照射して該箇所を融着するガラス融着装置であって、光照射装置と、該ガラス片を固定するテーブルと、該光照射装置の照射部を該テーブルに対して相対的に移動させる移動装置とを具備し、該光照射装置は、照射光によって該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に加熱する予熱手段と、照射光によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着手段と、照射光によって該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に冷却する徐冷手段とを備え、該予熱手段の照射箇所と、該融着手段の照射箇所と、該徐冷手段の照射箇所とが、該融着手段の照射箇所を中心として一 Further, in order to solve the above problems, the glass the claimed invention Another glass fusing device according to the fusing of the relevant section is irradiated with light at a location in contact with or close proximity of the two pieces of glass a fusing device includes a light irradiation device, a table for fixing the glass piece, and a moving device for relatively moving the irradiation portion of the light irradiation device with respect to the table, the light irradiation device includes preheating means for heating the relevant section by irradiating light to a temperature below the fusion temperature of the glass, and welding means for welding the relevant section is heated to a fusion temperature above the temperature of the glass by the irradiation light , and a slow cooling means cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the relevant section with irradiated light, and the irradiation position of the preheating means, the irradiation position of said fusing means, the sustained cold means irradiated portion of the can, one around the irradiated portion of said fusing means に並ぶように構成されている(請求項17)。 And it is configured so as to be aligned in (Claim 17). かかる装置によると、予熱手段によってまず融着温度未満の温度に融着すべき箇所が加熱される。 According to such a device, portions to be initially fused to a temperature below the fusion temperature by the preheating means is heating.
加熱の温度が融着温度未満であることから、融着すべき箇所とその周辺との温度勾配は緩やかである。 Since the temperature of the heating is lower than the fusion temperature, the temperature gradient of the portion to be welded and its surroundings is gradual. そして、 And,
融着すべき箇所の周辺箇所が十分に温められてから、次に、融着手段によって、融着すべき箇所を融着温度以上の温度に加熱する。 From the peripheral portion of the portion to be welded it is warmed sufficiently, then, the fusion means, heating the portion to be fused to the fusion temperature or higher. このときは、予熱によって予め融着すべき箇所の周辺箇所も温められているので、融着箇所の温度が融着温度以上になっても、ガラス片内部において急激な温度勾配が生じない。 At this time, since also been warmed near point locations to be welded in advance by preheating, the temperature of the fusing portion is also equal to or higher than the fusion temperature, not to cause abrupt temperature gradient inside the glass piece. そして、次に徐冷手段によって融着箇所が急激に冷却されることを防止して、融着箇所とその周辺箇所との急激な温度勾配が生ずることを防止している。 And then fused portion by slow cooling means is prevented from being rapidly cooled, thereby preventing a sudden temperature gradient of the fused portion and its peripheral portion is generated. しかも、予熱、融着、徐冷という3つの連続した過程を、光照射装置の照射部をテーブルに対して相対的に移動させながら一度に実行できる。 Moreover, preheating, fusing, three consecutive processes that slow cooling, while relatively moving the irradiation of the light irradiation device relative to the table can run at a time.

【0021】上記装置において、該予熱手段の照射箇所と該融着手段の照射箇所と該徐冷手段の照射箇所とが、 In the above apparatus, and the irradiated portion of the irradiated portion and The sustained cold means irradiation position and said fusing means preheating means,
曲線上に並ぶように調整可能に構成すると(請求項1 When adjustably configured to align on curve (claim 1
8)、融着すべき箇所が曲線状である場合に都合がよい。 8), it is convenient if portions to be welded are curved.

【0022】上記装置において、該光照射装置は光源からの光を分岐させる分岐手段を備え、該予熱手段の照射光、該融着手段の照射光、該徐冷手段の照射光のうちの少なくとも2の照射光が、該分岐手段によって分岐した光から構成されるようにしてもよい(請求項19)。 [0022] In the apparatus, the light irradiation device includes a branch means for branching the light from the light source, the irradiation light of the preheating means, the irradiation light of said fusing means, at least one of the irradiation light The sustained cold means 2 of the irradiation light may be constituted from light branched by said branching means (claim 19). また、この分岐手段がハーフミラーによって構成されていてもよいし(請求項20)、プリズムによって構成されていてもよいし(請求項21)、中央部と周辺部とで焦点距離が異なる対物レンズによって構成されていてもよい(請求項22)。 Moreover, this to branching means may be constituted by a half mirror (claim 20), may be constituted by a prism (claim 21), the central portion and the peripheral portion and the focal length is different from the objective lens which may be constituted by (claim 22).

【0023】また上記装置において、該予熱手段による加熱範囲が該融着手段による加熱範囲よりも広く、かつ、該徐冷手段による加熱範囲が該融着手段による加熱範囲よりも広くなるように構成すると(請求項23)、 [0023] In the above apparatus, wider than the heating range the heating range by the preheating means by said fusing means, and configured to heat range according The sustained cold means is wider than the heating range by the said fusing means Then (claim 23),
融着箇所の周辺がより広く十分に温められるので、融着箇所とその周辺箇所との温度差をさらに小さくすることができ、ガラス片内部での温度勾配をさらに小さくできる。 Since near fused portion is warmed wider enough, the temperature difference of the fused portion and its surrounding portion can be made even smaller, it can be further reduced temperature gradients within the glass pieces.

【0024】また上記装置において、該融着手段による照射箇所の近傍にガラス材料を供給するガラス供給装置を具備するように構成すると(請求項24)、ガラス供給装置によって供給されたガラス材料が、融着箇所近傍の温度勾配を緩和する。 [0024] In the above device, when configured to include a glass supply device for supplying a glass material in the vicinity of the portion irradiated by said fusing means (claim 24), a glass material supplied by the glass feeder, to mitigate the temperature gradients of the fused portion near.

【0025】また、上記課題を解決するために、この出願発明に係るさらにもう一つのガラス融着装置は、2のガラス片の接触又は近接する箇所に光を照射して該箇所を融着するガラス融着装置であって、光照射装置と、該光照射装置の照射箇所の近傍にガラス材料を供給するガラス供給装置とを具備している(請求項25)。 Further, in order to solve the above problems, the claimed invention further another glass fusing device according to the the location of contact or close proximity of the two pieces of glass by irradiating light to fuse the relevant section a glass fuser, a light irradiation apparatus, and a glass supply device for supplying a glass material in the vicinity of the irradiation position of the light irradiation apparatus (claim 25). かかる装置によると、ガラス供給装置によって供給されたガラス材料が、融着箇所近傍の温度勾配を緩和する。 According to such a device, a glass material supplied by the glass supply device, to relax the temperature gradient in the vicinity of the fusion site.

【0026】また上記装置において、該光がレーザ光であり、該光照射装置がレーザ光照射装置であってもよい(請求項26)。 [0026] In the above apparatus, the light is laser light, the light irradiation apparatus may be a laser beam irradiation apparatus (claim 26).

【0027】また、上記課題を解決するために、この出願発明に係るさらにもう一つのガラス融着装置は、2のガラス片の接触又は近接する箇所を融着するガラス融着装置であって、該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に予熱する予熱手段と、該箇所が予熱された後に、局所的な加熱によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着手段と、該箇所が融着された後に、該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に徐冷する徐冷手段と、を具備している(請求項27)。 Further, in order to solve the above problems, the claimed invention further another glass fusing device according to is a glass fusing device for fusing a portion in contact with or close proximity of the two pieces of glass, a preheating means for preheating the relevant section to a temperature below the fusion temperature of the glass, after the relevant section is preheated, by heating the relevant section by local heating to fusion temperature above the temperature of the glass fusion and welding means for, after the relevant section is fused, and includes a slow cooling section for gradually cooling the relevant section to a temperature below the fusion temperature of the glass, the (claim 27). かかる装置によると、予熱によってまずガラスの融着温度未満の温度に融着すべき箇所が加熱される。 According to such a device, portions to be initially fused to a temperature below the fusion temperature of the glass by the preheating is heated. 加熱の温度が融着温度未満であることから、融着すべき箇所とその周辺との温度勾配は緩やかである。 Since the temperature of the heating is lower than the fusion temperature, the temperature gradient of the portion to be welded and its surroundings is gradual. そして、融着すべき箇所の周辺箇所が十分に温められてから、次に、融着すべき箇所を局所的な加熱によって融着温度以上の温度に加熱する。 Then, the peripheral portion of the portion to be welded is warmed sufficiently, then heated to fusion temperature above the temperature by local heating of the portion to be fused. このときは、予熱によって予め融着すべき箇所の周辺箇所も温められているので、融着箇所の温度が融着温度以上になっても、ガラス片内部において急激な温度勾配は生じない。 At this time, since also been warmed near point locations to be welded in advance by preheating, the temperature of the fusing portion is also equal to or higher than the fusion temperature, rapid temperature gradient in the glass piece does not occur. そして、次に徐冷によって融着箇所が急激に冷却されることを防止して、融着箇所と周辺箇所との急激な温度勾配が生ずることを防止している。 Then, it is possible to prevent the fusion portion is rapidly cooled and then by slow cooling, so as to prevent the sharp temperature gradient between the fused portion and the peripheral portion occurs. なお、徐冷手段は、融着箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に徐冷するものであってもよい。 Incidentally, the slow cooling means may be one that slow cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the fusing portion.

【0028】上記ガラス融着装置において、該融着手段が光の照射によって該箇所を局所的に加熱するように構成してもよいし(請求項28)、さらにこの融着手段が照射する光がレーザ光であってもよい(請求項29)。 [0028] In the glass fuser, light may be configured to said fusing means to locally heat the relevant section irradiated with light (claim 28), further the fusion means is irradiated there may be a laser beam (claim 29).

【0029】また、上記ガラス融着装置において、予熱手段が光の照射によって該箇所を予熱するように構成してもよいし(請求項30)、この場合、該予熱手段が照射する該光がレーザ光であってもよい(請求項31)。 Further, in the glass fusing apparatus, to the preheating means may be configured to preheat the relevant section irradiated with light (Claim 30), in this case, is light that preheating means irradiates It may be a laser beam (claim 31).
また、予熱手段は、火炎の照射によって該箇所を予熱するようなものであってもよいし(請求項32)、該2つのガラス片を収容しうる加熱室であってもよい(請求項33)。 Further, the preheating means may be such as to preheat the relevant section by irradiation of the flame (Claim 32), may be a heating chamber capable of accommodating the two glass pieces (claim 33 ).

【0030】また、上記ガラス融着装置において、徐冷手段が光の照射によって該箇所を加熱するように構成してもよいし(請求項34)、この場合、該徐冷手段が照射する該光がレーザ光であってもよい(請求項35)。 Further, in the glass fusing device may be configured so that the slow cooling section to heat the relevant section irradiated with light (Claim 34), in this case, the the The sustained cooling means irradiates light may be a laser beam (claim 35).
また、徐冷手段は、火炎の照射によって該箇所を加熱するようなものであってもよいし(請求項36)、該2つのガラス片を収容しうる加熱室であってもよい(請求項37)。 Also, slow cooling means may be such as to heat the relevant section by irradiation of the flame (Claim 36), may be a heating chamber capable of accommodating the two glass pieces (claim 37).

【0031】また、上記ガラス融着装置において、該融着手段による加熱箇所の近傍にガラス材料を供給するガラス供給装置を具備するように構成すると(請求項3 Further, in the glass fusing device, when configured to include a glass supply device for supplying a glass material in the vicinity of the heating portion by said fusing means (claim 3
8)、ガラス供給装置によって供給されたガラス材料が、融着箇所近傍の温度勾配を緩和する。 8), a glass material supplied by the glass supply device, to relax the temperature gradient in the vicinity of the fusion site.

【0032】また、2のガラス片の接触又は近接する箇所を、局所的な加熱によって該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着装置において、融着すべき箇所にアシストガスを噴射しうるガス噴射手段を備えるようにしてもよい(請求項39、請求項40)。 Further, a portion in contact with or close proximity of the two pieces of glass, in the fusing apparatus for fusing by heating to fusion temperature above the temperature of the glass by local heating, assist in portion to be welded may be provided with a gas injection means capable of injecting a gas (claim 39, claim 40). この場合、特に、該箇所に噴射する前に該アシストガスを加熱するガス加熱手段を備えるようにすると(請求項4 In this case, in particular, when such comprises a gas heating means for heating the assist gas before injecting the relevant section (claim 4
1)、アシストガスによってガラス片が急冷されることが回避され、ガラス片の割れやクラックを防止できる。 1), glass fragments are prevented from being rapidly cooled by the assist gas can prevent cracking and cracks the glass fragments.
該アシストガスとしては、例えば、酸素、アルゴン、窒素、ヘリウム または 空気を用いることができる(請求項42)。 As the assist gas, for example, it may be used oxygen, argon, nitrogen, helium, or air (Claim 42).

【0033】また、2のガラス片の接触又は近接する箇所を、局所的な加熱によって該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着装置において、該2のガラス片を載置するための載置台を備え、該載置台がセラミックス、陶器、磁器 またはレンガからなるように構成すると(請求項43、請求項44)、載置台によって、 Further, a portion in contact with or close proximity of the two pieces of glass, in the fusing apparatus for fusing by heating to fusion temperature above the temperature of the glass by local heating, placing the glass piece of the 2 comprising a table for location, mounting table ceramics, pottery, when configured to be a porcelain or bricks (claim 43, claim 44), the mounting table,
ガラス片の熱が放出されることが妨げられ、ガラス片の内部において温度勾配が生じにくくなり、ガラス片の割れやクラックも生じにくくなる。 It is prevented that the heat of the glass piece is released, the temperature gradient is less likely to occur in the interior of the glass piece, is less likely to occur breakage or cracking of the glass piece. さらに、この載置台を加熱するための載置台加熱手段を具備するようにすると(請求項45)、載置台が載置台加熱手段によって加熱され、この載置台に接触するガラス片が加熱されるので、ガラス片はさらに冷却されにくくなり、割れやクラックが生じにくくなる。 Further, when such comprises a mounting table heating means for heating the susceptor (Claim 45), it is heated by the mounting table mounting table heating unit, since the glass pieces in contact with the mounting table is heated , glass pieces less likely to be further cooled, breakage or cracking is less likely to occur.

【0034】また、上記課題を解決するために、この出願発明に係る融着ガラスは、少なくとも2のガラス片を融着して得られる融着ガラスであって、該2のガラス片の近接または接触する箇所に光を照射することによって該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に加熱する予熱過程と、該予熱過程の後に、光の照射によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着過程と、該融着過程の後に、光の照射によって該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に冷却する徐冷過程とを経て得られる(請求項46)。 Further, in order to solve the above problems, fused glass according to the claimed invention is a fused glass obtained by fusing at least two pieces of glass, the glass pieces of the second proximity or a preheating step of heating to a temperature below the fusion temperature of the glass relevant section by irradiating light at a location in contact, after the preheating process, the light of the above fusion temperature of the glass relevant section by irradiation of and welding process of fusing by heating to a temperature, after said fusing step, obtained through a slow cooling step of cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the relevant section irradiated with light (claim 46). また、上記課題を解決するために、この出願発明に係るもう一つの融着ガラスは、少なくとも2のガラス片を融着して得られる融着ガラスであって、該2のガラス片の近接または接触する箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に加熱する予熱過程と、該予熱過程の後に、局所的な加熱によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着過程と、該融着過程の後に、該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に徐冷する徐冷過程とを経て得られる(請求項47)。 Further, in order to solve the above problems, another fused glass according to the claimed invention is a fused glass obtained by fusing at least two pieces of glass, the glass pieces of the second proximity or a preheating step of heating a portion in contact with a temperature below the fusion temperature of the glass, after the preheating process, fused by heating the relevant section in the fusion temperature above the temperature of the glass by local heating and welding process, after said fusing step, obtained through a slow cooling step of slow cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the relevant section (claim 47). この融着ガラスにおいて、該融着過程において光の照射によって該箇所が局所的に加熱されるようにしてもよい(請求項48)。 In this fused glass, relevant section by light irradiation in said fusing process may also be locally heated (claim 48). また、上記融着ガラスにおいて、該光がレーザ光であってもよい(請求項49)。 In the above fused glass, light is good even laser beam (Claim 49). なお、上記融着ガラスは、電子ディスプレイ用ガラス、窓用合わせガラス または 高真空容器であってもよい(請求項53)。 The above fused glass, glass for electronic displays, which may be a laminated glass for windows or high vacuum chamber (claim 53).

【0035】また、上記課題を解決するために、この出願発明に係る融着ガラスの製造方法は、少なくとも2のガラス片を融着して融着ガラスを製造する融着ガラスの製造方法であって、該2のガラス片の近接または接触する箇所に光を照射することによって該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に加熱する予熱過程と、該予熱過程の後に、光の照射によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着過程と、該融着過程の後に、光の照射によって該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に冷却する徐冷過程とを具備する(請求項54)。 Further, in order to solve the above problems, a manufacturing method of fusing glass according to this application invention, there in the manufacturing method of the fused glass to produce a fused glass by fusing at least two pieces of glass Te, a preheating process of heating to a temperature below the fusion temperature of the glass relevant section by irradiating light at a location close to or contact the glass pieces of the 2, after the preheating process, the irradiated with light and welding step of welding the part is heated to a fusion temperature above the temperature of the glass, after it said fusing step, to a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the relevant section irradiated with light ; and a slow cooling step of cooling (claim 54). また、上記課題を解決するために、この出願発明に係るもう一つの融着ガラスの製造方法は、 Further, in order to solve the above problems, a manufacturing method of another fused glass according to this application invention,
少なくとも2のガラス片を融着して融着ガラスを製造する融着ガラスの製造方法であって、該2のガラス片の近接または接触する箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に加熱する予熱過程と、該予熱過程の後に、局所的な加熱によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着過程と、該融着過程の後に、該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に徐冷する徐冷過程とを具備する(請求項55)。 A method of manufacturing a fused glass to produce a fused glass by fusing at least two pieces of glass, to heat the portions to be close to or contact the glass pieces of the two at a temperature below the fusion temperature of the glass heating and preheating process, after the preheating process, and welding process of fusing by heating the relevant section by local heating to fusion temperature above the temperature of the glass, after it said fusing step, the relevant section ; and a slow cooling step of slow cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass while (claim 55). この融着ガラスの製造方法において、該融着過程において光の照射によって該箇所を局所的に加熱するようにしてもよい(請求項56)。 In the method for manufacturing the fused glass may be locally heating the relevant section irradiated with light in said fusing process (claim 56). 上記融着ガラスの製造方法において、該光がレーザ光であってもよい(請求項57)。 In the manufacturing method of the fused glass, light is good even laser beam (Claim 57).

【0036】かかる融着ガラス および かかる製造方法によって製造された融着ガラスは、融着前のガラス片の状態から、融着後の融着ガラスとして形成された状態に至るまで、その内部に大きな温度勾配を経験していない。 [0036] Such fused glass and fused glass manufactured by such a manufacturing method, the state of the glass piece front fusing, up to the state formed as a fused glass after fusion, large in its interior not experienced a temperature gradient. よって、ガラス内部にクラックがあまり生じておらず、また、室温にまで冷却された状態にあっても、残留応力は極めて小さい。 Therefore, cracks in the glass is not so much caused, also, even in a state of being cooled to room temperature, the residual stress is extremely small. よって、外力を受けても破壊されにくい。 Thus, less likely to be destroyed by an external force.

【0037】また、上記課題を解決するために、この出願発明に係る融着ガラスは、少なくとも2のガラス片を融着して得られる融着ガラスであって、該2のガラス片の近接または接触する箇所に略平行レーザ光を照射することによって該箇所が融着されている(請求項50)。 Further, in order to solve the above problems, fused glass according to the claimed invention is a fused glass obtained by fusing at least two pieces of glass, the glass pieces of the second proximity or relevant section is fused by irradiating a substantially parallel laser beam at a position in contact (claim 50).
また、この融着ガラスは、該ガラス片の融着すべき箇所に所定形状のレーザ光照射部分が生じるように、投影形状が該所定形状と略同一となるような該略平行レーザ光が該箇所に照射されて該箇所が融着されていてもよい(請求項51)。 Further, the fused glass, as the laser beam irradiation portion of a predetermined shape at a position to be welded of the glass pieces occurs, projected shape is said predetermined fixed form shape substantially the same to become such the symbolic parallel laser beam the relevant section is irradiated at a position that may optionally be fused (claim 51). さらに、この融着ガラスは、該略平行レーザ光によって該ガラス片が融着される前に、該ガラス片の融着すべき箇所を該ガラス片の融着温度未満の温度に予熱する予熱過程と、該略平行レーザ光によって該ガラス片が融着された後に、該ガラス片の融着された箇所を加熱しつつ該ガラス片の融着温度未満の温度に徐冷する徐冷過程とを経て得られるようにしてもよい(請求項52)。 Furthermore, the fused glass, before the glass piece is fused by the symbolic parallel laser beam, preheating process for preheating the portions to be welded of the glass pieces to a temperature below the fusion temperature of the glass pieces If, after the glass piece is fused by the symbolic parallel laser beam, and a slow cooling step of slow cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass piece while heating the fusing part that has been the glass pieces It may also be obtained through (claim 52). なお、上記融着ガラスは、電子ディスプレイ用ガラス、窓用合わせガラスまたは 高真空容器であってもよい(請求項53)。 The above fused glass, glass for electronic displays, which may be a laminated glass for windows or high vacuum chamber (claim 53).

【0038】また、上記課題を解決するために、この出願発明に係る融着ガラスの製造方法は、少なくとも2のガラス片を融着して融着ガラスを製造する融着ガラスの製造方法であって、該2のガラス片の近接または接触する箇所に略平行レーザ光を照射することによって該箇所を融着する(請求項58)。 Further, in order to solve the above problems, a manufacturing method of fusing glass according to this application invention, there in the manufacturing method of the fused glass to produce a fused glass by fusing at least two pieces of glass Te, fusing the relevant section by irradiating the substantially parallel laser beam at a location close to or contact with the glass piece of the 2 (claim 58). また、この融着ガラスの製造方法は、該ガラス片の融着すべき箇所に所定形状のレーザ光照射部分が生じるように、投影形状が該所定形状と略同一となるような該略平行レーザ光を該箇所に照射して該箇所を融着するようにしてもよい(請求項5 The manufacturing method of the fused glass, as the laser beam irradiation portion of a predetermined shape at a position to be welded of the glass pieces occurs, the symbolic parallel laser as projected shape is substantially identical to the said predetermined fixed form shaped It may be fused relevant section by irradiating the relevant section of the light (claim 5
9)。 9). さらにこの融着ガラスの製造方法は、該略平行レーザ光によって該ガラス片が融着される前に、該ガラス片の融着すべき箇所を該ガラス片の融着温度未満の温度に予熱する予熱過程と、該略平行レーザ光によって該ガラス片が融着された後に、該ガラス片の融着された箇所を加熱しつつ該ガラス片の融着温度未満の温度に徐冷する徐冷過程とを具備してもよい(請求項60)。 Moreover this method of manufacturing a fused glass, before the glass piece is fused by the symbolic parallel laser beam to preheat the portion to be fusion of the glass pieces to a temperature below the fusion temperature of the glass pieces and preheating process, after the glass piece is fused by the symbolic parallel laser beam annealing process of annealing to a temperature below the fusion temperature of the glass piece while heating the fusing part that has been the glass pieces It may be provided with a preparative (claim 60).

【0039】かかる融着ガラス および かかる製造方法によって製造された融着ガラスは、ガラス片の融着箇所に生じるレーザ光による照射部分の形状が一定に保たれた状態で融着がなされているため、融着不良が低減される。 [0039] Such fused glass and fused glass manufactured by such a manufacturing method is that fusion in a state in which the shape of the portion irradiated by the laser light generated in the fusion portion of the glass piece is held constant have been made , fusion failure is reduced. よって、融着品質が一定し、設計通りの融着強度が得られる。 Thus, constant fusing quality, fusion strength as designed is obtained.

【0040】また、上記課題を解決するために、この出願発明に係る融着ガラスは、少なくとも2のガラス片を融着して得られる融着ガラスであって、該2のガラス片の近接または接触する箇所に、焦点深度が照射距離の変動幅に比べて深い収束レーザ光を照射することにより、 Further, in order to solve the above problems, fused glass according to the claimed invention is a fused glass obtained by fusing at least two pieces of glass, the glass pieces of the second proximity or at locations in contact, by the depth of focus is irradiated with deep focused laser beam as compared with the variation range of the irradiation distance,
該箇所が融着されて得られる(請求項61)。 Relevant section can be obtained are fused (claim 61).

【0041】また、上記課題を解決するために、この出願発明に係るガラス融着装置は、少なくとも2のガラス片を融着するガラス融着装置であって、該2のガラス片の近接または接触する箇所に、焦点深度が照射距離の変動幅に比べて深い収束レーザ光を照射することにより、 Further, in order to solve the above problems, the glass fusing device according to the claimed invention, a glass fusing device for fusing at least two pieces of glass, the proximity or contact of the glass pieces of the 2 in place of, the depth of focus is irradiated with deep focused laser beam as compared with the variation range of the irradiation distance,
該箇所を融着する(請求項63)。 Fusing the relevant section (claim 63).

【0042】また、上記課題を解決するために、この出願発明に係る融着ガラスの製造方法は、少なくとも2のガラス片を融着するガラス融着装置であって、該2のガラス片の近接または接触する箇所に、焦点深度が照射距離の変動幅に比べて深い収束レーザ光を照射することにより、該箇所を融着する(請求項65)。 Further, in order to solve the above problems, a manufacturing method of fusing glass according to the claimed invention is a glass fusing device for fusing at least two pieces of glass, the proximity of the glass pieces of the 2 or at a location in contact, the depth of focus by irradiating a deep focused laser beam as compared with the variation range of the irradiation distance, fusing the relevant section (claim 65).

【0043】これらの場合において、収束レーザ光が、 [0043] In these cases, it focused laser light,
1m 以上の焦点距離を有するものとしてもよい(請求項62,64,66)。 Optionally as having a focal length of more than 1 m (claim 62, 64, 66).

【0044】かかる融着ガラス および かかる融着ガラスの製造装置及び製造方法によって製造された融着ガラスは、収束レーザ光の焦点の前後に渡って生じる略平行光の部分、あるいは該略平行光の部分の前後の収束の度合いが緩い部分に、ガラス片の融着すべき箇所が位置するようにして収束レーザ光を照射することにより、ガラス片の融着箇所に生じるレーザ光による照射部分の径が略一定に保たれた状態で融着がなされるため、融着不良が低減される。 [0044] Such fused glass and fused glass manufactured by the manufacturing apparatus and the manufacturing method of the fused glass is substantially part of the parallel light produced over the front and rear of the focal point of the focused laser light or the the symbolic parallel light, the degree loose portion of the convergence of the front and rear portions, by irradiating the focused laser beam portion to be welded of the glass piece so as to be positioned, the diameter of the portion irradiated by the laser light generated in the fusion portion of the glass pieces There for fusion in a state of being kept substantially constant is made, fusion defects can be reduced. よって、融着品質が一定し、設計通りの融着強度が得られる。 Thus, constant fusing quality, fusion strength as designed is obtained. また、レーザ発振器から送出された略平行レーザ光から、1つの集光部材で所望の径の略平行光の部分を得ることができるため、融着ガラスの製造装置の構成を簡素化することができる。 Further, a substantially collimated laser beam sent from the laser oscillator, it is possible to obtain substantially the portion of the parallel light of the desired diameter in a single light collecting member, is possible to simplify the structure of an apparatus for manufacturing a fused glass it can. さらに、略平行光の部分の前後の部分にガラス片の融着すべき箇所が位置するようにして、レーザ光を照射することにより、容易に照射部分の径を変えることができる。 Furthermore, portions to be welded of the glass piece so as to be positioned, by irradiating a laser beam, it is possible to change the diameter easily irradiated portion before and after the part of the portion of the substantially parallel light.

【0045】 [0045]

【発明の実施の形態】この出願発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION with reference to the drawings the embodiments of the claimed invention.

【0046】図1は本願のガラス融着方法、融着ガラスの製造方法を実施可能な、本願のガラス融着装置の一実施形態を示すものである。 [0046] Figure 1 is a glass fusing method of the present application, a method for producing a fused glass feasible, there is shown an embodiment of a glass fusing apparatus of the present application. このガラス融着装置によって、本願の融着ガラスを製造することができる。 This glass fusion device, it is possible to produce fused glass of the present application. 図1のガラス融着装置A0は、レーザー加工装置と概略同様の構成部分を有している。 Glass fuser A0 of FIG. 1 includes a laser processing apparatus and schematic similar components. すなわち、ガラス融着装置A0はレーザー光照射装置を備えている。 That is, the glass fusing device A0 includes a laser beam irradiation device. このレーザー光照射装置は、光源たるレーザー発振器10、照射部たるトーチヘッド8 および レーザー発振器10からのレーザー光をトーチヘッド8に導く案内筒11a,11b等から構成されている。 The laser beam irradiation apparatus, a light source serving as the laser oscillator 10, the guide tube 11a for guiding the laser light from the irradiation portion serving torch head 8 and the laser oscillator 10 to the torch head 8, and a 11b or the like. ガラス融着装置A0には、基台2上にX方向に移動可能にテーブル(作業テーブル)3が設けらている。 The glass fuser A0 is movably table (work table) 3 is found provided in the X direction on the base 2. このテーブル3を挟んで門型の枠体4が立設されている。 Frame 4 of the portal are erected across the table 3.
枠体4の上辺にはY方向に移動可能に摺動体5が設けられている。 Is sliding body 5 to be movable in the Y direction is provided on the upper side of the frame 4. 摺動体5にはZ方向に昇降可能な昇降体6が設けられている。 Lift 6 elevatable in the Z direction is provided on the sliding body 5. 昇降体6の下端部には旋回体7が垂直軸回りに旋回可能に設けられている。 The lower end portion of the lifting body 6 revolving body 7 is provided pivotably about a vertical axis. 旋回体7には旋回体7に対して角度変更可能に、レーザー光照射装置の照射部たるトーチヘッド8が設けられている。 Angle can be changed with respect to pivot member 7 to pivot member 7, the irradiation unit serving torch head 8 of the laser light irradiation device is provided.

【0047】レーザー発振器10で生成されたレーザー光は、案内筒11a,11bの内部を通って、トーチヘッド8に導かれ、トーチヘッド8の先端からテーブル3上に固定されたガラス片たるガラス板A,Bに照射できるようになっている。 The laser oscillator 10 laser light generated in passes through the interior of the guide tube 11a, 11b, is guided to the torch head 8, the glass piece serving glass plate fixed on the table 3 from the tip of the torch head 8 a, which is to be irradiated on the B.

【0048】基台2に対するテーブル3のX方向の移動、枠体4に対する摺動体5のY方向の移動、摺動体5 The movement in the X direction of the table 3 with respect to the base 2, movement in the Y direction of the sliding body 5 to the frame 4, the sliding body 5
に対する昇降体6のZ方向の移動、昇降体6に対する旋回体7の垂直軸回りの旋回、旋回体7に対するトーチヘッド8の角度変更は、ガラス融着装置A0内部に設けられたモータの駆動力によってなされるのであるが、これらの移動、旋回、角度変更を制御するのは、ガラス融着装置A0内部に設けられた制御手段たる制御装置である。 Movement in the Z direction of the lifting body 6 against the angle changes, the driving force of the motor provided in the glass fusing device A0 of the torch head 8 with respect to the vertical axis of the pivot, swing body 7 of the pivot member 7 relative to the vertically movable body 6 Although than is made by, those moving, turning, to control the angle change is a control means serving controller which is provided inside the glass fuser A0. この制御装置の制御によって、トーチヘッド8のテーブル3に対する相対的な移動を自由にできる。 The control of the control device, can be freely relative movement to the table 3 of the torch head 8. このようにして構成された移動装置によって、トーチヘッド8とテーブル3との距離を変更したり、トーチヘッド8をテーブル3に対してXY平面内で移動させることができる。 This way, the configured mobile device to change the distance between the torch head 8 and table 3 can be moved in the XY plane torch head 8 relative to the table 3. 例えば、昇降体6を摺動体5に対して昇降させることによって、トーチヘッド8とテーブル3との距離を調整することができる。 For example, the lifting body 6 by lifting against the sliding body 5, it is possible to adjust the distance between the torch head 8 and table 3. また、基台2に対するテーブル3のX方向移動と、枠体4に対する摺動体5のY方向移動との組み合わせによって、テーブル3に対するトーチヘッド8 Further, the X-direction movement of the table 3 with respect to the base 2, in combination with the Y-direction movement of the sliding body 5 to the frame 4, the torch head 8 to the table 3
のXY平面における移動を自由に行うことができる。 It can be moved in the XY plane freely.

【0049】図2は、テーブル3上に固定された、2枚のガラス板A,Bの斜観図である。 [0049] Figure 2 is fixed on the table 3, the glass plate A of the two, is a perspective view diagram of a B. この2枚のガラス板A,B The two glass plates A, B
の斜線で示した周縁部にレーザー光を照射して融着すると、合せガラスを製造できる。 When fused by irradiating a laser beam to the peripheral portion shown in hatching, it can be produced a laminated glass. 2枚のガラス板A,Bの間には、図示しない微小高さのスペーサが介在しており、 Two glass plates A, between B, and interposed spacer small height not shown,
これによって2枚のガラス板A,Bの間には該スペーサの高さに相当する微小な隙間が生じている。 This two glass plates A, small gap corresponding to the height of the spacer is generated between the B. すなわち、図中、斜線で示したガラス板A,Bの周縁部同士は近接しているが接触しているわけではない。 That, in the figure, but not the glass plate A hatched, although the peripheral edge portions of the B are close in contact. スペーサによってできた2枚のガラス板A,Bの間の隙間は、周縁部を融着することにより気密な空間となる。 Glass plate A two made by the spacer, the gap between the B becomes airtight space by fusing the periphery.

【0050】図3は、ガラス板A,Bの側面図をトーチヘッド8と共に示した図である。 [0050] Figure 3 is a view showing the glass plate A, a side view of a B with torch head 8. トーチへッド8は、ガラス板A,Bの融着すべき周縁部に対して斜め上方から照射光80を照射しながら、テーブル3に対して図中右方に、 Head 8 to torch, the glass plate A, while irradiating the irradiation light 80 from the obliquely upward with respect to the peripheral edge to be welded of B, and the right in the drawing against the table 3,
すなわち(イ)の状態から(ロ)の状態になる方向に移動する。 That is, move from the state of (b) in a direction in which the state of (b). 照射光80が周縁部の角部に達すると、トーチヘッド8のテーブル3に対する角度が変更されて、(ハ) When the irradiation light 80 reaches the corner portion of the peripheral edge portion, it is changed angle to the table 3 of the torch head 8, (c)
の状態となる。 The state.

【0051】図4は、ガラス板A,Bの平面図をトーチヘッド8と共に示した図である。 [0051] Figure 4 is a view showing the glass plate A, a plan view of a B with torch head 8. トーチヘッド8は、その位置、角度を(イ)〜(チ)に示すように変更しながら、斜線で示したガラス板A,Bの周縁部を一周する。 Torch head 8, its position, while changing to indicate the angle (A) to (H), a glass plate A was hatched, goes around the periphery of the B.

【0052】トーチヘッド8から照射される照射光の強度は、レーザー発振器10の出力を調整することによって調整できる。 [0052] intensity of the irradiation light emitted from the torch head 8 can be adjusted by adjusting the output of the laser oscillator 10. すなわち、レーザー発振器10の出力の調整によって、ガラス板A,Bの周縁部の加熱レベルを調整できる。 That is, by adjusting the output of the laser oscillator 10 can be tuned glass plate A, the heating level of the periphery of the B. レーザー発振器10の出力の調整は制御装置によってなされるのであるが、加熱レベルを変更しながらトーチヘッド8をガラス板A,Bの周縁部を3周させることによって、ガラス板A,Bにクラックや割れを生じさせることなく融着することができる。 Although adjustment of the output of the laser oscillator 10 is of being made by the control device, a glass plate A torch head 8 while changing the heating level, by 3 laps periphery of B, the glass plate A, cracks Ya to B it can be fused without causing cracking.

【0053】図5は、このときのレーザー発振器10の出力状態を時間の経過とともに示す図である。 [0053] Figure 5 is a diagram showing over time the output state of the laser oscillator 10 in this case. 期間aは、 Period a is,
最初にトーチヘッド8がガラス板A,Bの周縁部を一周する期間であり、予熱過程に対応する期間である。 A first period during which torch head 8 makes one rotation glass plate A, the periphery of B, and the period corresponding to the preheating process. このときのレーザー発振器10の出力はP1であり、加熱レベルはガラス板A,Bの周縁部をガラスの融着温度未満に加熱する程度のものであり、融着は起こらない。 The output of the laser oscillator 10 at this time is P1, the heating level is of degree of heating the glass plate A, the periphery of the B below the fusion temperature of the glass, fusing does not occur. このようにして融着箇所やその周辺部は融着温度未満に予熱される。 Such fusion point and its peripheral portion in the is preheated to below the fusion temperature.

【0054】期間bは、トーチヘッド8の2周目の期間であり、融着過程に対応する期間である。 [0054] period b is a second cycle period of the torch head 8, a period corresponding to the fusion process. つまり、予熱のためにトーチヘッド8が周縁部を一周した後に、さらにトーチヘッド8が周縁部を一周するのである。 That is, after the torch head 8 has round the periphery for preheating is further the torch head 8 is around the periphery. このときのレーザー発振器10の出力はP2であり、加熱レベルはガラス板A,Bの周縁部をガラスの融着温度以上に加熱する程度のものである。 The output of the laser oscillator 10 at this time is P2, the heating level is of degree of heating the glass plate A, the periphery of B above the fusion temperature of the glass. すなわちこのときにガラス板A,B That glass plate A in this case, B
の周縁部は融着される。 Periphery of it is fused. この融着箇所やその周辺部は、 The fusion point and its periphery,
融着過程の前の予熱過程によって予め加熱されているので、融着過程で急激に温度が上昇するわけではない。 Because it is preheated by the previous pre-heating process of the fusing process, not abruptly temperature increases by fusing process. よって、融着箇所の周辺も十分に温度が上昇しており、ガラス内での温度勾配は緩和され、熱応力は小さくなる。 Therefore, the periphery of the fused portion is also sufficiently temperature rises, the temperature gradient in the glass is relaxed, the thermal stress becomes small.
よって、ガラス板A,Bにクラックや大きな割れは生じにくい。 Therefore, the glass plate A, cracks and large cracks unlikely to occur in B.

【0055】期間cは、トーチヘッド8の3周目の期間であり、徐冷過程に対応する期間である。 [0055] period c is a period of 3 lap torch head 8, a period corresponding to the slow cooling process. つまり、融着のためにトーチヘッド8が周縁部を一周した後に、さらにトーチヘッド8が周縁部を一周しているのである。 That is, after the torch head 8 has round the periphery for fusing is more than torch head 8 is around the periphery. このときのレーザー発振器10の出力はP3であり、加熱レベルはガラス板A,Bの周縁部をガラスの融着温度未満に加熱する程度のものである。 The output of the laser oscillator 10 at this time is P3, the heating level is of degree of heating the glass plate A, the periphery of the B below the fusion temperature of the glass. すなわち融着されているガラス板A,Bの周縁部を加熱しながら冷却している。 That glass plate A being fused, is cooled while heating a peripheral portion of the B. つまり徐冷しているのである。 That is're gradually cooled. この徐冷のため、融着箇所やその周辺部は、急激に温度が低下することがない。 For this annealing, fusing point and the peripheral portions thereof, sharply temperature is not lowered. つまり、温度勾配を小さく保ったまま、融着箇所とその周辺をゆっくりと冷却し、ガラス板A,Bにクラックや大きな割れが生じることを防止しているのである。 In other words, while maintaining small temperature gradient, slowly cooled and its surroundings fused portion, with each other to prevent the glass plate A, cracks and large cracks B occur.

【0056】このように、トーチヘッド8がガラス板A, [0056] Thus, the torch head 8 is a glass plate A,
Bの周縁部を3周すると、予熱、融着、徐冷という一連の過程が完了する。 With three laps the peripheral portion of the B, preheating, fusing, a series of processes that slow cooling is completed.

【0057】図6は、このようにして製造された融着ガラスの断面図を示している。 [0057] Figure 6 shows a cross-sectional view of a fused glass produced in this way. 図中の点Rで示される融着箇所の近傍は、予熱、融着、除冷という過程によって温度が上昇する過程と温度が下降する過程とを経ている。 Near the fusing point indicated by point R in the figure through the preheating, fusing, and a process in which process the temperature decreases the temperature rises by a process called slow cooling.
上述したように温度が上昇する際にも温度が下降する際にも、点R近傍の温度勾配が小さく保たれていたので、 When the temperature even when the temperature rises as described above is lowered also, the temperature gradient in the vicinity of the point R has been kept small,
割れやクラックは生じにくい。 Cracking and crack is less likely to occur. また、温度勾配が小さく保たれていたため、予熱、融着、除冷という過程を経た後、完全に室温と同じ温度にまで冷却された融着ガラスは、その内部の残留応力が小さいものとなっている。 Further, since the temperature gradient has been kept small, after undergoing pre-heating, fusing, a process called slow cooling, completely fused glass was cooled to the same temperature as room temperature, it becomes a internal residual stress that is less ing. そのため、点R近傍において、外力に対する強度低下は生じていない。 Therefore, at a point R near it not generated reduced strength against external forces.

【0058】次に、図7、図8に基づいて、加熱レベルを変更する他の方法を説明する。 Next, FIG. 7, on the basis of FIG. 8, illustrating another method of changing the heating level. 図7は、トーチヘッド8の内部構成を示す断面図を、テーブル3、ガラス板A, 7 is a sectional view showing the internal structure of the torch head 8, Table 3, the glass plate A,
Bとともに示したものである。 It illustrates with B. トーチヘッド8にはレーザー発振器10からのレーザー光が供給され、そのレーザー光はミラー13,14に反射されて対物レンズ12を介して収束され照射光80となってガラス板A,Bの融着すべき箇所に照射される。 Is supplied laser beam from the laser oscillator 10 to the torch head 8, the laser light glass plate A is reflected by the mirrors 13 and 14 are converged through the objective lens 12 becomes the irradiation light 80, fusion of B It is irradiated to should do place. トーチヘッド8はガラス板A,Bの周縁部を3周する。 Torch head 8 is three turns the glass plate A, the periphery of the B. 1周目に予熱が、2周目に融着が、3周目に徐冷がなされるという点は、図5に基づいて説明した技術と同様であるが、加熱レベルを変更する方法が異なる。 Preheating the first lap is fused to the second lap is the point that annealing is performed on third lap is similar to the techniques described with reference to FIG. 5, a method of changing the heating level is different .

【0059】トーチヘッド8がテーブル3に対して図7 [0059] Figure 7 torch head 8 relative to the table 3
のような距離にあるときには、照射光80はほぼ正確に融着すべき箇所に集光している。 When in the distance, such as the illumination light 80 is focused at a position to be welded almost exactly. 融着箇所におけるこのときの照射光のスポット径は0.2mm程度であり、ガラスを融着温度以上にするのに十分な加熱レベルが得られる。 Spot diameter of the irradiation light at this time at the fused portion is about 0.2 mm, sufficient heating level is obtained for the glass above the fusion temperature.
そして、図中の矢印の方向にトーチヘッド8をテーブル3に対して相対的に昇降させると、融着箇所における集光状態を調整することができる。 Then, it is possible to adjust when the relatively lower the torch head 8 in the direction of the arrow in FIG relative to the table 3, the condensed state at the fused portion. つまり、融着箇所における照射光80のスポット径を変更させることができる。 That is, it is possible to change the spot diameter of the irradiation light 80 at the fused portion.
よって、融着過程において、融着すべき箇所での照射光 Therefore, in the fusion process, the irradiation light at the portion to be welded
80の集光度合いを低くして、スポット径を大きくしてより広い範囲を加熱することもできる。 Condensing degree of 80 to low, it is also possible to heat a wider range by increasing the spot diameter.

【0060】図8に基づいて説明すると、1周目はトーチヘッド8はテーブル3に対して図8(a)のような距離にあり、融着箇所での照射光のスポット径は約5mmである。 [0060] Explaining with reference to FIG, 1 lap torch head 8 is situated as shown in FIG. 8 (a) relative to the table 3, the spot diameter of the irradiation light in the fused portion is about 5mm is there. このときの加熱レベルはガラス板A,Bの周縁部をガラスの軟化点温度に加熱する程度のものである。 Heating level at this time is of the degree of heating the glass plate A, the periphery of the B softening point temperature of the glass. つまり、ガラスの融着温度未満にしか加熱されない。 In other words, not only heated to below the fusion temperature of the glass. スポット径が約5mmと大きいため、融着箇所の周辺の広い範囲までを加熱できる。 Since the spot diameter is large as about 5 mm, it can be heated to a wide range of peripheral fusion point.

【0061】次に、トーチヘッド8のテーブル3に対する距離を変更して図8(b)のような状態にする。 Next, by changing the distance to the table 3 of the torch head 8 to the state of FIG. 8 (b). すると、 Then,
融着箇所での照射光80のスポット径は約0.2mmになり、 The spot diameter of the irradiation light 80 at fusion point becomes about 0.2 mm,
ガラス板A,Bの周縁部をガラスの融着温度以上に加熱できるようになる。 Glass plate A, comprising a peripheral portion of the B to be heated to above the fusion temperature of the glass. この状態でトーチヘッド8の2周目の周回がされ、ガラス板A,Bの周縁部は融着される。 The state 2 lap orbiting the torch head 8 is in a glass plate A, the periphery of B is fused. スポット径約5mmの広い範囲で予熱がされていたため、融着時におけるガラス内の温度勾配は一層緩和される。 Because they were pre-heating in a wide range of spot size of about 5 mm, the temperature gradient in the glass during fusion is further alleviated.

【0062】次に、トーチヘッド8のテーブル3に対する距離を変更して図8(c)のような状態にする。 Next, by changing the distance to the table 3 of the torch head 8 to the state of FIG. 8 (c). すると、 Then,
融着箇所での照射光80のスポット径は約5mmになり、ガラス板A,Bの周縁部をガラスの融着温度未満に加熱できる程度になる。 The spot diameter of the irradiation light 80 at fusion point becomes about 5 mm, made of glass plates A, the periphery of B to the extent that can be heated to below the fusion temperature of the glass. この状態でトーチヘッド8の3周目の周回がされ、ガラス板A,Bの周縁部は徐冷される。 The state 3 lap of laps of the torch head 8 is in a glass plate A, the periphery of B is slowly cooled. スポット径約5mmの広い範囲で加熱されるため、徐冷時におけるガラス内の温度勾配は一層緩和される。 Because it is heated in a wide range of spot size of about 5 mm, the temperature gradient in the glass during annealing will be more relaxed.

【0063】なお、トーチヘッド8のテーブル3に対する距離の変更は、制御装置が摺動体5に対して昇降体6 [0063] Incidentally, changing the distance to the table 3 of the torch head 8, lifting body controller relative sliding body 5 6
を昇降させることによりなされる。 It is done by raising and lowering the.

【0064】次に、図9、図10に基づいて、加熱レベルを変更する他の方法を説明する。 Next, FIG. 9, on the basis of FIG. 10, illustrating another way to change the heating level. 図9は、トーチヘッド8の内部構成を示す断面図を、テーブル3、ガラス板A, 9 is a sectional view showing the internal structure of the torch head 8, Table 3, the glass plate A,
Bとともに示したものである。 It illustrates with B. トーチヘッド8はガラス板A,Bの周縁部を3周する。 Torch head 8 is three turns the glass plate A, the periphery of the B. 1周目に予熱が、2周目に融着が、3周目に徐冷がなれるという点、および、加熱レベルの変更を照射光80の集光状態を調整することによって行うという点は、図7、図8に基づいて説明した技術と同様である。 Preheating the first lap is fused to 2 lap, that slow cooling can become the third lap, and that carried out by adjusting the condensed state of the irradiation light 80 changes the heating levels, Figure 7 is similar to the techniques described with reference to FIG. しかし、集光状態調整の方法が異なる。 However, the method of the light-collecting state adjustment is different.

【0065】図9を参照すると、このトーチヘッド8は内部でその対物レンズ12を上下方法に移動できるように構成されている。 [0065] With reference to FIG. 9, the torch head 8 is configured to move the objective lens 12 up and down method internally. この移動は図示しないレンズ移動装置を制御装置で制御することによりなされる。 This movement is done by controlling the control device of the lens moving device (not shown). 対物レンズ The objective lens
12がトーチヘッド8内で図9のような位置にあるときには、照射光80がほぼ正確に融着すべき箇所に集光している。 12 when in the position as shown in FIG. 9 in the torch head 8, the irradiation light 80 is focused on the portion to be fused almost exactly. 融着箇所におけるこのときの照射光80のスポット径は0.2mm程度であり、ガラスを融着温度以上に加熱するのに十分である。 The spot diameter of the irradiation light 80 at this time at the fused portion is about 0.2 mm, is sufficient to heat the glass above the fusion temperature. そして、図中の矢印の方向に対物レンズ12を移動させると、融着箇所における集光状態を調整することができる。 Then, moving the objective lens 12 in the direction of the arrow in the drawing, it is possible to adjust the condensed state at the fused portion. つまり、融着箇所における照射光80 In other words, the irradiation light 80 at the fused portion
のスポット径を変更させることができる。 It is possible to change the spot diameter.

【0066】図10に基づいて説明すると、1周目は対物レンズ12はトーチヘッド8内で図10(a)のような位置にあり、融着箇所での照射光80のスポット径は約5mmである。 [0066] Explaining with reference to FIG. 10, first lap objective lens 12 is in the position as shown in FIG. 10 (a) in the torch head 8, the spot diameter of the irradiation light 80 in fusing point of about 5mm it is. このような集光状態でガラス板A,Bの周縁部は予熱される。 Glass plate A in such a condensed state, the peripheral portion of the B is preheated.

【0067】次に、トーチヘッド8のテーブル3に対する距離を変更することなく、対物レンズ12のトーチヘッド8内での位置を移動させて図10(b)のような状態にする。 Next, without changing the distance to the table 3 of the torch head 8, by moving the position of in the torch head 8 of the objective lens 12 to the state shown in FIG 10 (b). すると、融着箇所での照射光80のスポット径は約0. Then, the spot diameter of the irradiation light 80 in fusing point of about 0.
2mmになり、ガラス板A,Bの周縁部をガラスの融着温度以上に加熱できるようになる。 Becomes 2 mm, made of glass plates A, the periphery of B to be heated to above the fusion temperature of the glass. この状態でトーチヘッド8 Torch head 8 in this state
の2周目の周回がされ、ガラス板A,Bの周縁部は融着される。 Is second round of laps of the glass plate A, the periphery of B is fused.

【0068】次に、トーチヘッド8のテーブル3に対する距離を変更することなく、対物レンズ12のトーチヘッド8内での位置を移動させて図10(c)のような状態にする。 Next, without changing the distance to the table 3 of the torch head 8, by moving the position of in the torch head 8 of the objective lens 12 to the state shown in FIG 10 (c). すると、融着箇所での照射光80のスポット径は約5m Then, the spot diameter of the irradiation light 80 in fusing point of about 5m
mになり、ガラス板A,Bの周縁部をガラスの融着温度未満に加熱できる程度になる。 It becomes m, comprising a glass plate A, the periphery of B to the extent that can be heated to below the fusion temperature of the glass. この状態でトーチヘッド8の3周目の周回がされ、ガラス板A,Bの周縁部は徐冷される。 The state 3 lap of laps of the torch head 8 is in a glass plate A, the periphery of B is slowly cooled.

【0069】図9、図10に基づいて説明した方法によっても、融着時におけるよりも、予熱時、徐冷時における方が、加熱範囲が広くなる。 [0069] Figure 9, by the method described with reference to FIG. 10, than at the time of fusing, during preheating, is better during slow cooling, heating range is wide. よって、ガラス内の温度勾配は一層緩和される。 Therefore, the temperature gradient in the glass is more relaxed.

【0070】次に、本願のガラス融着方法、融着ガラスの製造方法を実施可能で、かつ、本願の融着ガラスを製造することができる、本願のもう一つのガラス融着装置を説明する。 Next, the glass fusing method of the present application, the production method of the fused glass can implement, and can be produced fused glass of the present application will be described another glass fusing device according to the present . 図11は、ガラス融着装置のトーチヘッド18 11, the glass fuser torch head 18
の内部構造を示す断面図を、テーブル3、ガラス板A,B Of a cross-sectional view showing an internal structure, the table 3, the glass plate A, B
とともに示したものである。 There is shown with. このトーチヘッド18を有するガラス融着装置は、トーチヘッドの部分以外は、図1 The glass fusing apparatus having a torch head 18, other than the portion of the torch head, FIG. 1
に示すガラス融着装置A0と同様の構造を有する。 It has the same structure as that of the glass fuser A0 shown.

【0071】このトーチヘッド18は、ガラス板A,Bの周縁部を1周するだけで、予熱、融着、徐冷の過程を完了させることができるように、予熱手段、融着手段、徐冷手段を有するように構成されている。 [0071] The torch head 18, a glass plate A, the peripheral portion of the B just one turn, preheating, fusing, so as to be able to complete the process of annealing, preheating means, fusing means, Xu It is configured to have a cold unit. すなわち、トーチヘッド18にはレーザー発振器10からのレーザー光が供給されており、これがミラー20で反射した後、ハーフミラー21,22によって3つに分岐している。 That is, the torch head 18 is supplied with laser light from the laser oscillator 10, which was reflected by the mirror 20, branches into three by the half mirror 21. なお、23はミラーである。 In addition, 23 is a mirror. 分岐したレーザー光はそれぞれ対物レンズ2 Each branched laser beam objective lens 2
4,25,26によって照射光27,28,29となってガラス板A,Bの融着すべき箇所(周縁部)に照射されている。 4,25,26 is irradiated to portions to be welded of the glass plate A, B becomes the irradiation light 27, 28, 29 (periphery) by. ガラス板 Glass plate
A,Bの融着すべき箇所における、照射光27のスポット径は約5mm、照射光28のスポット径は約0.2mm、照射光29 A, the portion to be welded of B, the spot diameter of the irradiation light 27 is about 5 mm, the spot diameter of the irradiation light 28 is about 0.2 mm, the irradiation light 29
のスポット径は約5mmである。 The spot diameter is about 5mm. トーチヘッド18はテーブル3に対して、相対的に、図中右方(図中の矢印方向) Against the torch head 18 is a table 3, relatively, in FIG right (arrow direction in the drawing)
に移動する。 To move to. 照射光27は予熱のための、照射光28は融着のための、照射光29は徐冷のための照射光となる。 For preheating the irradiation light 27, for fusing the irradiation light 28, the irradiation light 29 becomes the illumination light for slow cooling.

【0072】トーチヘッド18の移動に伴い、ガラス板A, [0072] With the movement of the torch head 18, the glass plate A,
Bの融着すべき箇所はまず、照射光27によって、ガラスの融着温度未満に加熱される。 Portion to be fusion B is first the irradiation light 27, it is heated to below the fusion temperature of the glass. このときは、スポット径が約5mmと大きいため、融着箇所の周辺の広い範囲が加熱される。 At this time, because the spot diameter is large as about 5 mm, wide area around the fused portion is heated.

【0073】次に、この予熱された箇所を、照射光28が通過する。 Next, the preheated portions, the irradiation light 28 to pass through. このときは、スポット径約0.2mmの強い照射光で照射され、ガラス板A,Bの周縁部はガラスの融着温度以上に加熱され、ガラス板A,Bの周縁部は融着される。 In this case, is irradiated with strong irradiation light of the spot diameter of about 0.2 mm, the glass plate A, the periphery of B is heated above the fusion temperature of the glass, the glass plate A, the periphery of B is fused. 予め、スポット径約5mmの広い範囲で予熱されていたため、融着時におけるガラス内の温度勾配は一層緩和される。 Previously, since that has been preheated in a wide range of spot size of about 5 mm, the temperature gradient in the glass during fusion is further alleviated.

【0074】次に、この融着された箇所を、照射光29が通過する。 Next, the fused been portion, the irradiation light 29 to pass through. そして、融着箇所は照射光29によって、ガラスの融着温度未満に加熱される。 The fused portion by the irradiation light 29, is heated to below the fusion temperature of the glass. つまり、ガラス板A,B That is, the glass plate A, B
の周縁部は徐冷される。 Periphery of gradually cooled. スポット径約5mmの広い範囲で加熱されるため、徐冷時におけるガラス内の温度勾配は一層緩和される。 Because it is heated in a wide range of spot size of about 5 mm, the temperature gradient in the glass during annealing will be more relaxed.

【0075】このように、トーチヘッド18が融着すべき箇所を1回通過するだけで、予熱、融着、徐冷という一連の3つの過程が完了する。 [0075] Thus, only the torch head 18 passes once a portion to be welded, the preheating, fusing, a series of three steps that slow cooling is completed.

【0076】次に、図12に基づいて、予熱手段、融着手段、徐冷手段を有するトーチヘッドの他の構造例を説明する。 [0076] Next, with reference to FIG. 12, the preheating unit, fusing unit, illustrating another structure example of a torch head having a slow cooling means. 図12は、ガラス融着装置のトーチヘッド18の内部構造を示す断面図を、テーブル3、ガラス板A,Bとともに示したものである。 Figure 12 is a sectional view showing the internal structure of the torch head 18 of the glass fusing device shown Table 3, the glass plate A, together with the B. 図12のトーチヘッド18にはレーザー発振器10からのレーザー光が供給されており、これがミラー20で反射された後、プリズム31,32によって3つに分岐している。 The torch head 18 of FIG. 12 is supplied with laser light from the laser oscillator 10, which is reflected by the mirror 20, branches into three by a prism 31. 分岐したレーザー光はミラー33,34,3 Branched laser light mirror 33,34,3
5、対物レンズ36によって照射光37,38,39となってガラス板A,Bの融着すべき箇所(周縁部)に照射されている。 5, and is irradiated to the portion to be welded of the glass plate A, B becomes the irradiation light 37, 38 and 39 (peripheral part) by the objective lens 36. ガラス板A,Bの融着すべき箇所における、照射光37 Glass plate A, the portion to be welded of B, the irradiation light 37
のスポット径は約5mm、照射光38のスポット径は約0.2m The spot diameter of about 5 mm, the spot diameter of the irradiation light 38 is about 0.2m
m、照射光39のスポット径は約5mmである。 m, the spot diameter of the irradiation light 39 is about 5 mm. トーチヘッド18はテーブル3に対して、相対的に、図中右方(図中の矢印方向)に移動する。 Torch head 18 relative to table 3, relatively, moved rightward in FIG (arrow direction in the drawing). 照射光37は予熱のための、照射光38は融着のための、照射光39は徐冷のための照射光となる。 For preheating the irradiation light 37, for fusing the irradiation light 38, the irradiation light 39 becomes the illumination light for slow cooling. トーチヘッド18の移動に伴い、ガラス板A,Bの融着すべき箇所が、照射光37,38,39によって、予熱、融着、徐冷されていく過程は、図11のトーチヘッド18の場合と同様である。 With the movement of the torch head 18, the glass plate A, the portion to be fusion of B, the irradiation light 37, 38, 39, preheating, fusing, the course of the slow cooling, the torch head 18 of FIG. 11 when is the same as that.

【0077】次に、図13に基づいて、予熱手段、融着手段、徐冷手段を有するトーチヘッドのさらに他の構造例を説明する。 Next, with reference to FIG. 13, the preheating unit, fusing means, a further structural example of a torch head having a slow cooling means. 図13(a)は、ガラス融着装置のトーチヘッド18の内部構造を示す断面図を、テーブル3、ガラス板 13 (a) is a sectional view showing the internal structure of the torch head 18 of the glass fuser, table 3, the glass plate
A,Bとともに示したものである。 Illustrates A, with B. トーチヘッド18にはレーザー発振器10からのレーザー光が供給されており、これがミラー20,23で反射された後、対物レンズ40によって、中央の円形状スポット照射光41と、周辺の環状スポット照射光42に分岐している。 The torch head 18 is supplied with laser light from the laser oscillator 10, which after has been reflected by the mirror 20 and 23, by the objective lens 40, a central circular spot irradiation light 41, the periphery of the annular spot irradiation light branches to 42. つまり、対物レンズ40 In other words, the objective lens 40
は、図13(b)に示す斜観図からもわかるように、中央部が凸レンズ状に、周辺部が平板状に形成されており、中央部と周辺部とで焦点距離が異なるようになっている。 , As can be seen from an oblique view showing in FIG. 13 (b), the central portion convex lens, peripheral portion is formed in a plate shape, becomes different focal lengths as between the central portion and the peripheral portion ing.
よって、円形状スポット照射光41が照射する箇所の加熱レベルは、環状スポット照射光42が照射する箇所の加熱レベルよりも高くなる。 Therefore, the heating level of a portion circular spot irradiation light 41 is irradiated is higher than the heating level of the point where the annular spot irradiation light 42 is irradiated. このトーチヘッド18がテーブル3に対して相対的に、図13(a)中の右方(矢印の方向) Relatively the torch head 18 relative to the table 3, the right side of FIG. 13 in (a) (the direction of the arrow)
に移動すると、円形状スポット照射光41と環状スポット照射光42とが、ガラス板A,Bの融着すべき箇所(周縁部)を通過する。 Moving to a circular spot irradiation light 41 and the annular spot irradiation light 42 passes through the portion to be welded of the glass plate A, B (periphery). 図13(c)は、この通過状態の理解のために、ガラス板A,Bの平面図を照射光41,42のスポットとともに示した図である。 FIG. 13 (c), for an understanding of this passage state diagrams showing the glass plate A, a plan view of a B with the spot of the irradiation light 41. 融着すべき箇所は、まず環状スポット照射光42の一部(図13(c)の42aの部分)によって予熱され、次に円形状スポット照射光41によって融着され、次に環状スポット照射光42の他の一部(図13(c)の4 Portion to be fused is first preheated by a portion of the annular spot irradiation light 42 (42a portion of FIG. 13 (c)), then fused by the circular spot irradiation light 41, then the annular spot irradiation light 42 of another part (4 shown in FIG. 13 (c)
2bの部分)によって徐冷されることになる。 It will be gradually cooled 2b portion). なお、図13 It should be noted that, as shown in FIG. 13
(c)中の矢印は、ガラス板A,Bに対する、円形状スポット照射光41と環状スポット照射光42の進行方向を示す。 (C) an arrow in the illustrated glass plate A, for B, and the traveling direction of the circular spot irradiation light 41 and the annular spot irradiation light 42.

【0078】次に、図14に基づいて、トーチヘッドのさらに有効な構成を説明する。 [0078] Next, based on FIG. 14, illustrating a more effective configuration of the torch head. 図14(a)では、直線状に延びる融着箇所に対して、例えば図11,12のように構成されたトーチヘッド18によって照射された照射光が一列に並んでいる様子を、ガラス板A,Bの平面図とともに示している。 In FIG. 14 (a), the manner in which relative fused portion extending linearly, for example, irradiation light irradiated by the torch head 18 configured as shown in Figure 11 and 12 are arranged in a line, a glass plate A shows with a plan view of a B. 融着用の照射光のスポット48を中心として、予熱用の照射光のスポット47、融着用の照射光のスポット Around the spot 48 of light irradiated fusing, spot 47 of the illumination light for preheating, the spot of the irradiation light fusing
48、徐冷用の照射光のスポット49が直線上に一列に並んでいるのがわかる。 48, spots 49 of the irradiation light for annealing is seen that are arranged in a row on a straight line. この3つの照射光47,48,49を曲線上に並ぶように調整することができれば、曲線状に延びる融着箇所を融着するのに適したものになる。 If it is possible to adjust the three irradiation light 47, 48, 49 so as to be aligned on a curve, the ones suitable for fusing the fuse portion extending curved.

【0079】図14(b)では、曲線状に延びる融着箇所と、この曲線上にその中心点が並んだ予熱用の照射光のスポット47、融着用の照射光のスポット48、徐冷用の照射光のスポット49が示されている。 [0079] In FIG. 14 (b), the a fusion portion extending curved, the curve on the spot 47 of the illumination light for preheating lined its center point, melting of the irradiated light of the wear spot 48, a slow cooling spot 49 of the irradiation light is shown in. この状態を保つようにトーチヘッドの角度を調整しながら、トーチヘッドを融着箇所に沿って移動させるとよい。 While adjusting the angle of the torch head to keep this state, it is moved along the torch head to fused locations.

【0080】予熱用の照射光のスポット47、融着用の照射光のスポット48、徐冷用の照射光のスポット49が曲線上に並ぶように調整するには、例えば、図11のハーフミラー21,22、ミラー23、対物レンズ24,25,26の位置や角度を調整したり、図12のプリズム31,32、ミラー33,34,3 [0080] spots 47 of the irradiation light for preheating, the irradiation light spot 48 of the fusing, the spot 49 of the illumination light for annealing is adjusted to be aligned in the curve, for example, a half mirror 21 in FIG. 11 , 22, a mirror 23, to adjust the position and angle of the objective lens 24, 25, 26, prisms 31 and 32 of FIG. 12, the mirror 33,34,3
5、対物レンズ36の位置や角度を調整したりできるように構成し、これらの調整を制御装置によって行うようにするとよい。 5, configured to allow to adjust the position and angle of the objective lens 36, may be to make these adjustments by the control device.

【0081】図14(c)は、図13のトーチヘッド18によって照射された円形状スポット照射光41と環状スポット照射光42が、曲線状に延びる融着箇所に対しても有利であることを示すための図であり、ガラス板A,Bの平面図とともに円形状スポット照射光41と環状スポット照射光42 [0081] FIG. 14 (c), the circular spot irradiation light 41 and the annular spot irradiation light 42 emitted by the torch head 18 of FIG. 13 is advantageous also for fusing portions extending in a curve are diagrams for illustrating a glass plate a, a circular spot irradiation light 41 and the annular spot irradiation light 42 with a plan view of the B
を示したものである。 It shows the. このような円形状スポット照射光 Such circular spot irradiation light
41と環状スポット照射光42によれば対物レンズ40の位置や角度の特別な調整がなくとも、曲線状に延びる融着箇所に対して対応できる。 According to 41 and the annular spot irradiation light 42 without any special adjustment of the position and angle of the objective lens 40, it can respond to fused portions extending in a curved shape.

【0082】図15は、光源としてランプ50を用いた場合の、照射光の分岐方法の一例を示すものである。 [0082] Figure 15 is a case of using a lamp 50 as a light source, which shows an example of a branch process of irradiating light. ランプ光をプリズムで分光すると、一端に紫外線51が、一端に赤外線52が現れる。 When the spectral lamp light in the prism, ultraviolet 51 at one end is, infrared 52 appears at one end. 図15の例では、この紫外線51と赤外線52のうちの一方を融着用の照射光として対物レンズ53 In the example of FIG. 15, the objective lens one of the ultraviolet 51 and IR 52 as irradiation light fusing 53
で集光して利用し、他方は集光せずに予熱又は徐冷用の照射光として利用している。 In condensed using, the other is used as the irradiation light for preheating or annealing without condensing.

【0083】図16は、ガラス供給装置を説明するための図であり、(a)はテーブル3、ガラス板A,B、トーチヘッド58の側面図とともに、ガラス供給装置59の断面図を示した図であり、(b)は融着後のガラス板A,Bの状態を示した側面図である。 [0083] Figure 16 is a diagram for explaining the glass feeder, (a) shows the table 3, the glass plate A, B, along with a side view of the torch head 58, showing a cross section view of the glass feeder 59 a diagram, (b) is a side view showing a glass plate a, the state of B after fusing. このガラス供給装置59は、融着用の照射光80が照射される箇所の近傍に、ガラス材料たるガラスファイバー60を送り込んでいる。 The glass supply device 59, in the vicinity of the portion where the irradiation light 80 of fusing is irradiated, and by feeding the glass material serving as the glass fiber 60. このようにガラス材料を供給しながら、トーチヘッド58を移動させている。 While thus supplying the glass material has moved the torch head 58.
すると、供給されたガラス材料は、融着箇所近傍の温度勾配を緩和する役割を果たすので、ガラス板A,Bにクラックや割れを起こしにくくすることができる。 Then, the glass material is supplied, so serve to mitigate the temperature gradients in the vicinity of the fusion portion may be a glass plate A, and B hardly causes cracking and breakage.

【0084】このようなガラス供給装置59は、融着用照射光以外の予熱用照射光や徐冷用照射光を発することのないガラス融着装置に適用することもできるし、図5〜 [0084] Such glass supply device 59 can either be applied to the glass fusing device without emitting a preheating radiation beam and annealing irradiation light other than fusing the irradiated light, FIG 5
13に基づいて説明したような、融着用照射光以外に予熱用照射光や徐冷用照射光を発することのできるようなガラス融着装置に適用することもできる。 13 as described with reference to, can also be applied to the glass fusing device as capable of emitting fusion irradiation light and for wear preheated in addition to the irradiation light annealing irradiation light. なお、図5〜10 It should be noted that, as shown in FIG. 5-10
に基づいて説明したような、一つのトーチヘッドを予熱用、融着用 および徐冷用の3通りに、時間的に分けて使うようなガラス融着装置においては、融着時にのみガラス材料を供給するようにするとよい。 To as described with reference, for preheating one torch head, in triplicate for fusing and annealing, the glass fusing apparatus as used temporally separate from the supply of glass material only when fusion it may be way. また、図11〜13 In addition, 11 to 13
に基づいて説明したような、一つのトーチヘッドが予熱手段、融着手段 および 徐冷手段を含むようなガラス融着装置においては、融着手段の照射箇所の近傍にガラス材料を供給するようにするとよい。 As described with reference to one of the torch head preheating means, the glass fusing device as including fusing means and slow cooling means so as to supply the glass material in the vicinity of the irradiation position of the fusing unit Then good.

【0085】なお、図16では供給されるガラス材料としてガラスファイバーを示したが、供給されるガラス材料としてはこれに限らず、例えば、ガラスパウダーや、ガラス線であってもよい。 [0085] Incidentally, although the glass fibers as a glass material is supplied in FIG. 16, not limited to this as a glass material supplied, for example, glass powder or may be a glass line.

【0086】図17は、特殊な断面形状のガラス板Cを説明するための図であり、(a)はテーブル3、ガラス板C, [0086] Figure 17 is a diagram for explaining the glass plate C special cross-sectional shape, (a) shows the table 3, the glass plate C,
B、トーチヘッド58の側面図を示した図であり、(b)は融着後のガラス板C,Bの状態を示した側面図である。 B, and a diagram showing a side view of a torch head 58, (b) is a side view showing a glass plate C, the state of B after fusing. ガラス板Cには、融着すべき箇所の近傍に薄肉の突部C1が形成されている。 A glass plate C is thin projection C1 is formed in the vicinity of the portion to be fused. この突部C1は、図16で示したガラス供給装置59から供給されるガラスファイバー60と同様に機能し、融着箇所近傍の温度勾配を緩和する役割を果たし、 The projection C1 serves to glass fiber 60 and function similarly, to mitigate the temperature gradients in the vicinity of the fusion portion to be supplied from a glass feeder 59 shown in FIG. 16,
ガラス板C,Bにクラックや割れを起こしにくくすることができる。 Can be a glass plate C, and B hardly causes cracking and breakage.

【0087】図18は、特殊な断面形状のガラス板Dを説明するための図であり、(a)はテーブル3、ガラス板D, [0087] Figure 18 is a diagram for explaining the glass plate D of special cross-sectional shape, (a) shows the table 3, the glass plate D,
B、トーチヘッド58の側面図を示した図であり、(b)は融着後のガラス板D,Bの状態を示した側面図である。 B, and a diagram showing a side view of a torch head 58, (b) is a side view showing a glass plate D, the state of B after fusing. ガラス板Dには、融着すべき箇所の近傍に薄肉の突部D1が形成されている。 The glass plate D are thin protrusions D1 is formed in the vicinity of the portion to be fused. この突部D1は、図17で示した突部C1と同様に機能する。 The protrusion D1 functions similarly to the projection C1 shown in FIG. 17. このガラス板Dが図17のガラス板Cと異なる点は、ガラス板Dがスペーサ部D2を有する点である。 That the glass plate D is different from the glass plate C in FIG. 17 is that the glass plate D has a spacer portion D2.
このスペーサ部D2により、ガラス板Bとガラス板Dとの間にスペーサ部D2の高さに相当する隙間ができるので、ガラス板D,Bとは別個のスペーサが不要となる。 The spacer section D2, since a gap corresponding to the height of the spacer portion D2 between the glass plate B and the glass plate D, a glass plate D, separate spacer is not required the B.

【0088】図19は、特殊な断面形状のガラス板Eを説明するための図であり、(a)はテーブル3、ガラス板E, [0088] Figure 19 is a diagram for explaining the glass plate E special cross-sectional shape, (a) shows the table 3, the glass plate E,
B、トーチヘッド58の側面図を示した図であり、(b)は融着後のガラス板E,Bの状態を示した側面図である。 B, and a diagram showing a side view of a torch head 58, (b) is a side view showing a glass plate E, the B state after welding. ガラス板Eには、融着すべき箇所の近傍に薄肉の突部E1が形成されている。 A glass plate E is thin projections E1 are formed in the vicinity of the portion to be fused. この突部E1は、ガラス板Dの斜めに形成された端部断面の先端部であるが、図17で示した突部C1 The protrusion E1 is a tip end section which is formed at an oblique glass plate D, projection C1 shown in FIG. 17
と同様に機能する。 To function in the same way.

【0089】以上、図1〜19に従って、本願発明のガラス融着方法、ガラス融着装置、融着ガラスおよび融着ガラスの製造方法を説明した。 [0089] above, according to FIG. 1 to 19, glass fusing method of the present invention, the glass fusing device has been described a method of manufacturing a fused glass and fused glass. 以上の説明では、2のガラス片の近接箇所を融着する場合を例に挙げたが、本願発明は、2のガラス片の接触箇所を融着する場合にも適用できる。 In the above description, a case where fusing the proximate portion of the second glass piece was exemplified, the present invention is also applicable to the case where fusing the contact portion of the second glass piece. また、以上の説明では、照射光を生成するための対物レンズとしては、主に凸レンズを図に示したが、 In the above description, as an objective lens for producing an illumination light it has been mainly shows a convex lens in FIG,
照射光のスポットの所望する大きさに応じて、適宜、凹レンズを使うこともできる。 Depending on the desired size of the spot of the irradiation light, as appropriate, it may also be used concave lens. また、以上の説明では、主にレーザー光による光照射装置を例に上げたが、光照射装置としてはレーザー光照射装置に限らず、ガラスを融着させることができるようなものであれば、その他の光を照射する光照射装置を使うこともできる。 In the above description, has been mainly raised light irradiation device according to a laser beam as an example, not limited to the laser beam irradiation apparatus as the light irradiation device, as long as such can be fused to glass, it is also possible to use a light irradiation device for irradiating the other light. また、光照射装置としてレーザー光照射装置を使う場合にも、その種類は特に限定されるものではなく、例えば、CO 2レーザー照射装置であってもよいし、YAGレーザー照射装置であってもよい。 Also, when using the laser irradiation device as the light irradiation device is also the kind is not particularly limited, for example, may be a CO 2 laser irradiation device, a YAG laser irradiation device .

【0090】図1〜19に従って説明したガラス融着装置 [0090] glass fusion device has been described with reference to FIG 1 to 19
A0は、光(レーザ光)を照射することによって融着すべき箇所を局所的に加熱し、この箇所をガラス板A,B,Cの融着温度以上の温度にして融着するようにしている。 A0 is locally heated portion to be fused by irradiation with light (laser beam), the point glass plates A, B, so as to fuse with the fusion temperature above the temperature of the C there. また、融着前の予熱や融着後の徐冷も、光(レーザ光)の照射によって行うようにしている。 Also, slow cooling after preheating or fusion prior to fusion are also to perform the irradiation with light (laser beam). しかし、ガラス片の融着すべき箇所を融着温度以上の温度に局所的に加熱できるのであれば、光照射以外の加熱方法を採用してもよい。 However, if the portion to be welded of the glass pieces may be locally heated to a fusing temperature or higher, it may be employed heating method other than irradiation with light. また、予熱や徐冷を光照射以外の加熱方法により行うようにしてもよい。 Furthermore, preheating or slow cooling may be performed by heating method other than irradiation with light.

【0091】図20は、予熱過程と徐冷過程においては火炎照射装置を用い、融着過程においてはレーザ光照射装置を用いる本願のガラス融着装置を説明するための図である。 [0091] Figure 20, in the preheating process and the annealing process using a flame irradiation apparatus, in the fusion process is a diagram for explaining the glass fusing apparatus of the present application using the laser beam irradiation device. かかるガラス融着装置でも本願に係るガラス融着方法、融着ガラスの製造方法を実施可能であり、本願に係る融着ガラスを製造可能である。 Glass fusing method according to the present in such glass fuser may be embodied a method for producing a fused glass can be produced fused glass according to the present application. 図20の(a)は予熱過程を、(b)は融着過程を、(c)は徐冷過程をそれぞれ示している。 In Figure 20 (a) shows preheating process, and (b) shows the fusion process, (c) is a slow cooling process, respectively. このガラス融着装置は、火炎照射装置とレーザ光照射装置とを備え、図20(a),(c)には火炎照射装置たるガストーチのトーチヘッド128が、図20(b)にはレーザ光照射装置のトーチヘッド118が示されている。 The glass fusing device is provided with a flame irradiation apparatus and the laser irradiation apparatus, FIG. 20 (a), the the torch head 128 of a gas torch serving flame irradiation apparatus (c), the laser beam in FIG. 20 (b) torch head 118 of the irradiation apparatus is shown.
このガラス融着装置では、まず、(a)のようにテーブル In this glass fusing apparatus first table as (a)
3上に固定されたガラス板A,Bの融着すべき箇所に、トーチヘッド128からの火炎190を照射して予熱を行う。 Fixed on the 3 glass plate A, the portion to be welded of B, it performs preheating by irradiation with a flame 190 from torch head 128. トーチヘッド128はテーブル3に対して相対的に移動可能に、 Torch head 128 is relatively movable relative to the table 3,
かつ、角度変更可能に構成されており、トーチヘッド12 And, the angle can be changed to is configured, the torch head 12
8はガラス板A,Bの周縁部を一周して、その周縁部全体をガラスの融着温度未満の温度に予熱する。 8 and round glass plate A, the periphery of B, and preheating the entire periphery at a temperature below the fusion temperature of the glass. こうして予熱が完了すると、次に(b)のように、トーチヘッド118からの照射光180をすでに予熱された箇所に照射し、ガラス板A,Bの該箇所を融着する。 Thus when the preheating is completed, as in the following (b), is irradiated with irradiation light 180 from the torch head 118 already preheated portions, to fuse the glass plate A, the relevant section of the B. トーチヘッド118もテーブル3に対して相対的に移動可能に、かつ、角度変更可能に構成されており、トーチヘッド118はガラス板A,Bの周縁部を一周して、その周縁部全体をガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する。 Relatively movable with respect to the torch head 118 also table 3, and the angle can be changed to is configured, the torch head 118 and around the glass plate A, the peripheral portion of the B, glass the entire periphery fused by heating of the fusing temperature or higher. こうして融着が完了すると、次に(c)のように、再度、トーチヘッド128を用い、トーチヘッド128からの火炎190を融着された箇所に照射して、徐冷を行う。 Thus the fusion is complete, then as shown in (c), again using the torch head 128, by irradiating the locations of the flame 190 is fused from the torch head 128, performs the slow cooling. このときもトーチヘッド128はガラス板A,Bの周縁部を一周して、その周縁部全体を加熱しつつ、ガラスの融着温度未満の温度に徐冷する。 Torch head 128 also at this time was around the periphery of the glass plate A, B, while heating the entire periphery, gradually cooled to a temperature below the fusion temperature of the glass. 以上のようにして、予熱過程、融着過程、徐冷過程が完了する。 As described above, the preheating process, fusion process, annealing process is completed.

【0092】図21は、予熱過程と徐冷過程においては室を用い、融着過程においてはレーザ光照射装置を用いる本願のガラス融着装置を説明するための図である。 [0092] Figure 21, in the preheating process and the annealing process using a chamber, in the fusion process is a diagram for explaining the glass fusing apparatus of the present application using the laser beam irradiation device. かかるガラス融着装置でも本願に係るガラス融着方法、融着ガラスの製造方法を実施可能であり、本願に係る融着ガラスを製造可能である。 Glass fusing method according to the present in such glass fuser may be embodied a method for producing a fused glass can be produced fused glass according to the present application. 図21の(a)は予熱過程を、(b) In Figure 21 (a) shows preheating process, (b)
は融着過程を、(c)は徐冷過程をそれぞれ示している。 The fusion process is shown (c) is a slow cooling process, respectively.
このガラス融着装置は、室131,132を備え、図21(a)には室131が、図21(b)にはレーザ光照射装置のトーチヘッド118が、図21(c)には室132が示されている。 The glass fusing apparatus includes a chamber 131, the chamber 131 in FIG. 21 (a) is a torch head 118 of the laser beam irradiation apparatus in FIG. 21 (b) is, the chamber 132 in FIG. 21 (c), It is shown. 室131, Room 131,
132は、共に、自動的に温度調整可能なチャンバー、恒温槽等で構成される。 132 are both automatically temperature adjustable chamber, constituted by a thermostat or the like. なお、図中のHは、 131,132の室内を加熱するための電熱装置(ヒータ)である。 Incidentally, H in the figure, an electrical heating device for heating the interior of the chamber 131, 132 (heater). このガラス融着装置では、まず、室131,132を、電熱装置Hによってガラス板A,Bの融着温度未満の所定の温度に、それぞれ設定しておく。 The glass fusing apparatus, first, the chamber 131 and 132, the glass plate A by heating device H, to a predetermined temperature below the fusion temperature of the B, is set respectively. 次いで(a)のように、ガラス板A,B Then as in (a), a glass plate A, B
を室131内に設置して所定時間放置し、ガラス板A,Bの融着温度未満の温度に加熱する。 The installed in chamber 131 and left for a predetermined time to heat the glass plate A, at a temperature below the fusion temperature of the B. こうしてガラス板A,B全体が予熱される。 Thus the glass plate A, the entire B is preheated. その後、ガラス板A,Bを室131から取り出して、(b)のようにテーブル3の上に固定し、トーチヘッド118からの照射光180をガラス板A,Bの融着すべき箇所に照射する。 Then removed the glass plates A, B from the chamber 131, and fixed on the table 3 so as in (b), however, irradiation of the irradiation light 180 from the torch head 118 glass plate A, the portion to be welded of B to. トーチヘッド118はテーブル3に対して相対的に移動可能に、かつ、角度変更可能に構成されており、トーチヘッド118はガラス板A,Bの周縁部を一周して、その周縁部全体をガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する。 Relatively movable with respect to the torch head 118 Table 3, and the angle can be changed to is configured, the torch head 118 and around the glass plate A, the peripheral portion of the B, glass the entire periphery fused by heating of the fusing temperature or higher. こうして融着が完了すると、次いで、 Thus, if the fusion is complete, then,
(c)のように、融着されたガラス板A,Bを室132内に設置して所定時間放置する。 As in (c), installed fused glass plate A, and B in the chamber 132 to leave a predetermined time. すると、ガラス板A,Bの融着箇所の温度は、融着温度未満の温度にまで徐々に下降する。 Then, the glass plate A, the temperature of the fusing point of B is gradually lowered to a temperature below the fusion temperature. すなわちガラス板A,Bが徐冷されるのである。 That is, the glass plate A, B are gradually cooled. その後、ガラス板A,Bを室132から取り出す。 Then, taking out the glass plate A, B from the chamber 132. 以上のようにして、予熱過程、融着過程、徐冷過程が完了する。 As described above, the preheating process, fusion process, annealing process is completed.

【0093】なお、図21の室132は電熱装置Hを有するが、徐冷用の室としては、電熱装置のような熱源を備えず、単に壁部が断熱されただけの室(恒温槽)を用いてもよい。 [0093] Although the chamber 132 of Figure 21 has an electric heating device H, as a chamber for annealing, without providing a heat source such as electric heater, simply chamber only wall is adiabatic (constant-temperature bath) it may be used. 熱源を備えない室であっても、壁部が断熱されていれば、融着後のガラス板A,Bを徐冷することができる。 Even room without a heat source, if the wall is heat-insulating, it is possible to slow cooling of the glass plate A, B after fusing.

【0094】図22は、予熱過程と徐冷過程においては加熱室を用い、融着過程においてはレーザ光照射装置を用いる本願のもう一つのガラス融着装置の構成図である。 [0094] Figure 22 is a heating chamber in the preheating process and annealing process, in the fusion process is a configuration diagram of another glass fusing device according to the present using the laser beam irradiation device.
かかるガラス融着装置でも本願に係るガラス融着方法、 Glass fusing method according to the present in such glass fusing device,
融着ガラスの製造方法を実施可能であり、本願に係る融着ガラスを製造可能である。 May be embodied a method for producing a fused glass can be produced fused glass according to the present application. このガラス融着装置は、加熱室133とレーザ光照射装置を備えている。 The glass fusing device includes a heating chamber 133 and the laser beam irradiation device. 図にはレーザ光照射装置のヘッド部たるトーチヘッド118のみが表れている。 Only the head portion serving torch head 118 of the laser beam illumination device has appeared in FIG. 加熱室133は、自動的に温度調整可能なチャンバー、恒温槽等で構成される。 Heating chamber 133, automatically temperature adjustable chamber, constituted by a thermostat or the like. なお、図中のHは、加熱室133の室内を加熱するための電熱装置(ヒータ)である。 Incidentally, H in the figure, an electrical heating device for heating the interior of the heating chamber 133 (heater). 加熱室133の壁部の一部は、レーザ光を透過させることのできる透過窓140になっている。 Part of the wall of the heating chamber 133 is adapted to transmission window 140 capable of transmitting a laser beam. この透過窓140 The transparent window 140
は、レーザ光を透過させることのできる透明な部材で構成してもよいし、何らの部材をも設けずに開口部として構成してもよい。 May be constituted by a transparent member capable of transmitting the laser beam may be formed as an opening without providing also any members. このガラス融着装置では、まず、加熱室133を、電熱装置Hによってガラス板A,Bの融着温度未満の所定の温度に設定しておく。 The glass fusing apparatus, first, a heating chamber 133, is set the glass plate A, at a predetermined temperature below the fusion temperature of B by electric heater H. 次いで、ガラス板A,B Then, the glass plate A, B
を加熱室133内に設置して所定時間放置し、ガラス板A,B The installed in the heating chamber 133 and left for a predetermined time, the glass plate A, B
の融着温度未満の温度にする。 It is less than the fusion temperature of the temperature. こうしてガラス板A,B全体が予熱される。 Thus the glass plate A, the entire B is preheated. その後、ガラス板A,Bを加熱室133に入れたままの状態で、トーチヘッド118からの照射光180を透過窓140を通してガラス板A,Bの融着すべき箇所に照射する。 Thereafter, the glass plate A, in a state containing the B in the heating chamber 133, is irradiated with irradiation light 180 from the torch head 118 through a transparent window 140 glass plate A, the portion to be welded of B. トーチヘッド118は加熱室133に対して相対的に移動可能に、かつ、角度変更可能に構成されている。 Torch head 118 to be moved relative to the heating chamber 133, and is an angle capable of changing. トーチヘッド118は加熱室133に対して相対的に移動しつつ、 While the torch head 118 is moved relative to the heating chamber 133,
ガラス板A,Bの融着すべき箇所をガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する。 Glass plate A, the portion to be fusion of B is heated to a fusion temperature above the temperature of the glass is fused. こうして融着が完了すると、次いで、融着されたガラス板A,Bを加熱室133内に入れたままの状態で所定時間放置しておく。 Thus the fusion is complete, then allowed to stand predetermined time in a state that takes fused glass plate A, and B in the heating chamber 133. すると、ガラス板A,Bの融着箇所の温度は、融着温度未満の温度にまで徐々に下降する。 Then, the glass plate A, the temperature of the fusing point of B is gradually lowered to a temperature below the fusion temperature. すなわちガラス板A,Bが徐冷されるのである。 That is, the glass plate A, B are gradually cooled. その後、ガラス板A,Bを加熱室133から取り出す。 Then, taking out the glass plate A, B from the heating chamber 133. 以上のようにして、予熱過程、融着過程、徐冷過程が完了する。 As described above, the preheating process, fusion process, annealing process is completed.

【0095】図23は、予熱過程と徐冷過程においては加熱室を用い、融着過程においてはレーザ光照射装置を用いる本願のさらにもう一つのガラス融着装置の構成図である。 [0095] Figure 23, in the preheating process and the annealing process using a heating chamber, in the fusion process is a configuration diagram of yet another glass fusing device according to the present using the laser beam irradiation device. かかるガラス融着装置でも本願に係るガラス融着方法、融着ガラスの製造方法を実施可能であり、本願に係る融着ガラスを製造可能である。 Glass fusing method according to the present in such glass fuser may be embodied a method for producing a fused glass can be produced fused glass according to the present application. このガラス融着装置は、加熱室134とレーザ光照射装置を備えている。 The glass fusing device includes a heating chamber 134 and the laser beam irradiation device. 加熱室134は、自動的に温度調整可能なチャンバー、恒温槽等で構成される。 Heating chamber 134 is automatically temperature adjustable chamber, constituted by a thermostat or the like. なお、図中のHは、加熱室134の室内を加熱するための電熱装置(ヒータ)である。 Incidentally, H in the figure, an electrical heating device for heating the interior of the heating chamber 134 (heater). レーザ光照射装置は加熱室134の内部に設置されている。 The laser beam irradiation device is installed inside the heating chamber 134. 図にはレーザ光照射装置のヘッド部たるトーチヘッド118のみが表れている。 Only the head portion serving torch head 118 of the laser beam illumination device has appeared in FIG. 加熱室134の内部には、ガラス板A,Bを固定するテーブル3が設置されている。 Inside the heating chamber 134, the table 3 to fix the glass plate A, B are disposed. テーブル3上にはガラス板A,Bが固定されている。 The on the table 3 glass plates A, B are fixed.

【0096】このガラス融着装置では、まず、加熱室13 [0096] In the glass fusing apparatus, first, the heating chamber 13
4を、電熱装置Hによってガラス板A,Bの融着温度未満の所定の温度に設定しておく。 4, is set a glass plate A, at a predetermined temperature below the fusion temperature of B by electric heater H. 次いで、ガラス板A,Bを加熱室134内のテーブル3上に固定して所定時間放置し、 Then, the glass plate A, to fix the B on the table 3 in the heating chamber 134 and left for a predetermined time,
ガラス板A,Bの融着温度未満の温度にする。 Glass plate A, to a temperature below the fusion temperature of the B. こうしてガラス板A,B全体が予熱される。 Thus the glass plate A, the entire B is preheated. その後、ガラス板A,Bを加熱室134内のテーブル3上に固定したままの状態で、トーチヘッド118からの照射光をガラス板A,Bの融着すべき箇所に照射する。 Thereafter, the glass plate A, a in a state fixed on the table 3 in the heating chamber 134 B, is irradiated with irradiation light from the torch head 118 glass plate A, the portion to be welded of B. トーチヘッド118は、テーブル3に対して相対的に移動可能に、かつ、角度変更可能に構成されており、トーチヘッド118はテーブル3に対して相対的に移動しつつ、ガラス板A,Bの周縁部を一周して、その周縁部全体をガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する。 Torch head 118 is relatively movable relative to the table 3, and the angle can be changed to is configured, the torch head 118 while moving relative to the table 3, the glass plate A, and B and around the periphery, it is fused by heating the entire periphery to the fusion temperature above the glass. こうして融着が完了すると、次いで、融着されたガラス板A,Bを加熱室134内のテーブル3上に固定したままの状態で所定時間放置する。 Thus the fusion is complete, then allowed to stand for a predetermined time in a state of fixing the fused glass plates A, B on the table 3 in the heating chamber 134. すると、ガラス板A,Bの融着箇所の温度は、融着温度未満の温度にまで徐々に下降する。 Then, the glass plate A, the temperature of the fusing point of B is gradually lowered to a temperature below the fusion temperature. すなわちガラス板A,Bが徐冷されるのである。 That is, the glass plate A, B are gradually cooled.
その後、ガラス板A,Bを加熱室134から取り出す。 Then, taking out the glass plate A, B from the heating chamber 134. 以上のようにして、予熱過程、融着過程、徐冷過程が完了する。 As described above, the preheating process, fusion process, annealing process is completed.

【0097】図24は、予熱過程と徐冷過程においては加熱室を用い、融着過程においてはレーザ光照射装置を用いる本願のさらにもう一つのガラス融着装置の構成図である。 [0097] Figure 24 is a heating chamber in the preheating process and annealing process, a block diagram of yet another glass fusing device according to the present using the laser beam irradiation device in fusing process. かかるガラス融着装置でも本願に係るガラス融着方法、融着ガラスの製造方法を実施可能であり、本願に係る融着ガラスを製造可能である。 Glass fusing method according to the present in such glass fuser may be embodied a method for producing a fused glass can be produced fused glass according to the present application. このガラス融着装置は、ガラス板A,Bの予熱、融着、及び徐冷を自動的に行うことができるように構成されている。 The glass fusing apparatus, the glass plate A, preheating of B, and is configured to be able to perform fusion, and the slow cooling automatically. このガラス融着装置の概略構成を説明すると、ガラス融着装置は、レーザ光照射装置、ガラス板A,Bを搬送するベルトコンベア1 To explain the schematic structure of the glass fuser, glass fusing device, a belt conveyor 1 for conveying the laser beam irradiation device, a glass plate A, B
50、ガラス板A,Bを予熱する加熱室135、および、ガラス板A,Bを徐冷する加熱室136とを備えている。 50, the heating chamber 135 for preheating the glass plate A, a B, and, and a heating chamber 136 for annealing the glass plate A, the B. ベルトコンベア150は、レーザ光照射装置のトーチヘッド118の下方において水平方向に設置されている。 Belt conveyor 150 is disposed horizontally below the torch head 118 of the laser beam irradiation device. トーチヘッド118 Torch head 118
は、図示されない移動機構によってベルトコンベア150 A belt conveyer 150 by a moving mechanism (not shown)
に対して直交する3軸方向に相対的に移動させることができるように、かつ、水平面内及び垂直面内における角度を変更可能なように構成されている。 3 As can be axially moved relatively, and is configured to allow changing the angle in the horizontal plane and vertical plane perpendicular to the. 加熱室135,136 Heating chamber 135, 136
は、ベルトコンベア150を覆うように、かつ、トーチヘッド118が位置する部分の上流側、及び下流側にそれぞれ設置されている。 So as to cover the belt conveyor 150, and are respectively disposed upstream of the portion torch head 118 is positioned, and on the downstream side. 加熱室135,136は、共に、その内面にヒータ(図示せず)が配設され、該ヒータによる加熱レベルを所望のレベルに設定できるよう構成されている。 Heating chamber 135 and 136, both the heater (not shown) is disposed on the inner surface and is configured to heat level by the heater can be set to a desired level. ベルトコンベア150には、ベルトの長手方向に所定のピッチでガラス板A,Bを固定するワーク固定部(図示せず)が設けられ、該ベルトが所定の時間間隔で該所定のピッチづつ移動するよう構成されている。 The belt conveyor 150, a work fixing portion for fixing the glass plate A, a B (not shown) is provided in the longitudinal direction of the belt at a predetermined pitch, the belt is moved the predetermined pitch at a time at predetermined time intervals It is configured. 従って、各ワーク固定部は、加熱室135内の位置、トーチヘッド118 Accordingly, the workpiece securing section is located in the heating chamber 135, the torch head 118
の下方位置、及び加熱室136内の位置の各位置において上記所定時間停止しつつ、順次通過する。 The lower position, and while stopped the predetermined time at each position of the position in the heating chamber 136, passes sequentially.

【0098】次に、以上のように構成されたガラス融着装置の動作を説明すると、まず、予め、加熱室135,136 [0098] Next, describing the operation of the configuration glass fusing apparatus having the above first, pre-heating chamber 135, 136
を、それぞれ、それらを通過するガラス板A,Bが所定の予熱温度、及び徐冷温度になるよう、加熱レベルを設定しておく。 The respective glass plate A that passes through them, B so that that a predetermined preheating temperature, and cooling temperature, setting the heating level.

【0099】次いで、ベルトコンベア150のワーク固定部にガラス板A,Bを固定し、ベルトコンベア150を起動する。 [0099] Then, the glass plate A, B were fixed to the workpiece securing section of the belt conveyor 150, to start the belt conveyor 150. すると、該ワーク固定部に固定されたガラス板A,B Then, the glass plate A, which is fixed to the workpiece securing section, B
は、まず、加熱室135内に移動し、そこで、所定の予熱温度に予熱される。 It is first moved into the heating chamber 135, where it is preheated to a predetermined preheating temperature. 次いで、この予熱されたガラス板A, Then, the pre-heated glass sheet A,
Bはトーチヘッド118の下方位置に移動し、そこで、トーチヘッド118から照射光を融着箇所に照射されて融着される。 B is moved to the lower position of the torch head 118, where it is fused it is irradiated with irradiation light to fusion portion from the torch head 118. 次いで、この融着されたガラス板A,Bは加熱室136 Then, the fused glass plates A, B are heated chamber 136
内に移動し、そこで、加熱されつつ所定の徐冷温度に徐冷される。 Go within, where, while being heated and gradually cooled to a predetermined annealing temperature. 以上のようにして、予熱過程、融着過程、徐冷過程が完了する。 As described above, the preheating process, fusion process, annealing process is completed. このガラス融着装置では、ガラス板 In this glass fusing device, a glass plate
A,Bの予熱、融着、及び徐冷を自動的に行うことができるため、人件費を低減することができる。 A, preheating of B, fusing, and because the slow cooling can be performed automatically, it is possible to reduce the labor costs.

【0100】なお、上記の構成では、ベルトコンベア15 [0100] In the configuration described above, the belt conveyor 15
0を間欠移動するようにしているが、ベルトコンベア150 0 so that intermittently moves, but the belt conveyor 150
を連続移動するようにし、トーチヘッド118が、ベルトコンベア150とともに移動するガラス板A,Bに追従しながらこれを融着加工するようにしてもよい。 The so continuously moving the torch head 118, the glass plate A which moves together with the belt conveyor 150, which may be fused processed while following the B.

【0101】図25は、ガラス板A,Bの融着すべき箇所にアシストガスを噴射するためのガス噴射装置の構成を示す図である。 [0102] Figure 25 is a diagram showing the structure of a gas injection device for injecting an assist gas to the portion to be welded of the glass plate A, B. (a)は、ガス噴射装置を組み込んだトーチヘッド118の縦断面図であり、(b)はアシストガスを加熱するためのガス加熱装置の構成図である。 (A) is a longitudinal sectional view of a torch head 118 which incorporates a gas injection device, (b) is a block diagram of a gas heating device for heating the assist gas. 図1〜24で説明したガラス融着装置に、このガス噴射装置を組み込むこともできる。 The glass fusing device described in FIG. 1 to 24, can also be incorporated into the gas injection device.

【0102】アシストガスとは、融着過程において融着不良を防止するために融着箇所に噴射するガスのことであり、融着箇所をシールドすることからシールドガスと呼ばれることもある。 [0102] The assist gas is that the gas to be injected into the fused portion in order to prevent fusion defects in welding process, sometimes referred to as shielding gas from shielding the fusion point. 一般に、アルゴン、窒素、ヘリウム等の不活性ガスや酸素などがアシストガスとして用いられる。 Generally, argon, nitrogen, an inert gas or oxygen such as helium is used as the assist gas. また、空気がアシストガスとして用いられることもある。 There is also the air can be used as an assist gas.

【0103】例えば、何らのアシストガスも用いることなくガラスをレーザ光で融着すると、融着箇所に白い粉状物が現れ、かつ、融着箇所に窪みが生ずることがある。 [0103] For example, when fusing the glass with a laser beam without the use of any of the assist gas, white powdery substance appeared to fused locations, and sometimes depression in fusion points arise. これは、ガラスの主成分たる酸化シリコン(SiO 2 This is, glass main component serving as a silicon oxide (SiO 2)
が還元されてシリコンの結晶が析出するからであると推測される。 There crystals is reduced silicon is presumed to be because precipitated. このような場合には酸素をアシストガスとして用い、融着箇所に多量の酸素(O 2 )を供給するようにすると、酸化シリコン(SiO 2 )が還元しにくくなるので、融着箇所に窪みが生ずることを回避できる。 Oxygen used as an assist gas in this case, when to supply a large amount of oxygen (O 2) to the fusion point, the silicon oxide (SiO 2) is less likely to reduction, a recess in the fused portion It can be avoided that arise.

【0104】図25(a)を参照すると、予熱過程を経てすでに予熱されたガラス板A,Bがテーブル3に固定されている。 [0104] Referring to FIG. 25 (a), the glass plate A, which is already preheated through a preheating process, B are fixed to the table 3. ガス噴射装置は、加圧されたアシストガスを供給するガス供給源(図示せず)から管160を通じてトーチヘッド118内にアシストガスを導くように構成されている。 Gas injection device is configured to direct the assist gas to the pressurized gas supply source for supplying an assist gas (not shown) within the torch head 118 through line 160. トーチヘッド118内には、レーザ光を集光させるための対物レンズ112が配されており、この対物レンズ112 In the torch head 118, are arranged an objective lens 112 for converging the laser beam, the objective lens 112
によってトーチヘッド118の内部の空間は上下に区切られている。 The space inside the torch head 118 are separated vertically by. アシストガスは対物レンズ112によって区切られた空間の内の下方の空間に供給され、トーチヘッド Assist gas is supplied to the space below the inner space delimited by the objective lens 112, a torch head
118の先端の開口からガラス板A,Bの融着すべき箇所に向けて噴射される。 118 glass plate A from the opening of the tip of, is injected toward the portion to be welded of B. 図中の矢印は、アシストガスの流れ方向を示している。 Arrows in the figure indicate the flow direction of the assist gas.

【0105】しかし、予熱過程を経て所定温度に予熱されたガラス板A,Bに、室温とほぼ等しい温度のアシストガスを噴射すると、ガラス板A,Bはアシストガスによって急冷され、割れやクラックを生じる可能性が高くなる。 [0105] However, the glass plate A, which is preheated to a predetermined temperature through the preheating process, the B, and injecting substantially equal temperature of the assist gas to room temperature, the glass plate A, B are quenched by the assist gas, cracking and cracks can occur is increased. かかる事態を回避するために、図25のガス噴射装置では、融着すべき箇所に噴射する前にアシストガスをガス加熱装置で加熱するようにしている。 To avoid such a situation, a gas injector of Figure 25, the assist gas is to be heated by the gas heating device prior to injecting the portion to be fused. ガス加熱装置は図25(b)に示されるように、加熱室131とこの加熱室131 As the gas heating apparatus shown in FIG. 25 (b), the heating chamber 131 Toko heating chamber 131
内に配設された管160によって構成されている。 It is constituted by provided by tube 160 within. アシストガスは、ガス供給源から管160を介してトーチヘッド1 Assist gas, torch head 1 via a tube 160 from the gas source
18に送り込まれるように構成されているのであるが、管 Than it is configured to be fed into the 18 but the tube
160の中間部は予熱用の加熱室131の内部に配設されている。 Intermediate portion 160 is disposed inside the heating chamber 131 for preheating. アシストガスはこの加熱室131で熱交換を行うことにより加熱され、加熱されたアシストガスがトーチヘッド118からガラス板A,Bに噴射される。 Assist gas is heated by exchanging heat the heating chamber 131, the heated assist gas is ejected from the torch head 118 glass plate A, the B. アシストガスは加熱されてガラス板A,Bとの温度差が小さくなっているので、ガラス板A,Bに噴射してもガラス板A,Bを急冷することがなく、よって、ガラス板A,Bに割れやクラックを発生させにくい。 Since the assist gas is a glass plate A is heated, the temperature difference between the B is small, without the glass plate A, be injected into B quenching the glass plate A, a B, therefore, the glass plate A, B to cracking and is less likely to generate a crack. なお、図25の装置では、予熱用の加熱室 Incidentally, in the apparatus of FIG. 25, the heating chamber for preheating
131を利用してアシストガスを加熱するようにしているが、アシストガスを他の方法により加熱するようにしてもよい。 131 but so as to heat the assist gas by utilizing, it may assist gas to be heated by other methods. 例えば、徐冷用の加熱室で熱交換させるようにしてもよいし、アシストガスを通過させる管に電熱線を巻き付けて加熱するようにしてもよい。 For example, it may be caused to heat exchange with the heating chamber for annealing, it may be heated by winding a heating wire into a tube passing assist gas.

【0106】図26は、ガラス板A,Bを載置する載置台170 [0106] Figure 26 is a mounting table 170 for placing the glass plate A, B
を示す縦断面図である。 It is a longitudinal sectional view showing a. 載置台170はテーブル3に固定され、ガラス板A,Bはこの載置台170の上に固定されている。 Placing table 170 is fixed to the table 3, the glass plate A, B are fixed onto the mounting table 170. この載置台170は、セラミックスで構成されている。 The mounting table 170 is made of ceramics. 図1〜24で説明したガラス融着装置に、この載置台を適用することもできる。 The glass fusing device described in FIG. 1 to 24, it is also possible to apply the mounting table.

【0107】レーザ光を照射されるとガラス板A,Bの照射箇所の温度が上昇する。 [0107] When the laser beam is irradiated glass plate A, the temperature of the irradiated portion of B is increased. するとガラス板A,Bにおいて、この照射箇所と、レーザ光を直接照射されない箇所との間に温度差が生じ、ガラス板A,Bの内部において温度勾配が生ずる。 Then the glass plate A, in B, a the irradiation position, the temperature difference is caused between the portion which is not irradiated with the laser beam directly, the glass plate A, a temperature gradient occurs in the interior of the B. この温度勾配が過大となると、ガラス板A,Bに割れやクラックが生ずる。 If the temperature gradient is excessive, the glass plate A, breakage or cracking occurs in B. 載置台170を使用することなくガラス板A,Bを鋼製のテーブル3に直接固定するようにすると、ガラス板Bの底面が鋼製のテーブル3に接触することとなる。 Glass plate without using a mounting table 170 A, when B and so as to directly fixed to the table 3 of the steel, so that the bottom surface of the glass plate B is brought into contact with the table 3 made of steel. 鋼のような金属は熱伝導率が大きいため、ガラス板Bの底面はレーザ光の照射箇所との温度差が特に大きくなりやすく、割れやクラックが生じやすくなる。 Since metals such as steel is large thermal conductivity, bottom surface of the glass plate B is the temperature difference tends to become particularly large between the irradiation position of the laser light, breakage and cracks are likely to occur.

【0108】図26の載置台170はセラミックスで構成されており、その熱伝導率は2.7(W/m・k)である。 [0108] placing table 170 in FIG. 26 is made of ceramics, its thermal conductivity is 2.7 (W / m · k). この熱伝導率は鋼を大きく下回る。 The thermal conductivity significantly lower than steel. この載置台170に妨げられて、ガラス板A,Bの熱はテーブル3へ伝わりにくくなる。 This hampered the mounting table 170, a glass plate A, heat B is not easily transmitted to the table 3.
よって、ガラス板A,Bの内部において大きな温度勾配が生じにくく、割れやクラックも生じにくくなる。 Therefore, the glass plate A, a large temperature gradient in the interior is less likely to occur in B, is less likely to occur cracks and cracks.

【0109】さらに、図26の載置台170は、載置台加熱手段として、その内部に電熱装置(ヒータ)Jが配されている。 [0109] Further, the mounting table 170 in FIG. 26, as the mounting table heating means, electric heater (heater) J is disposed therein. これにより載置台170が加熱され、ガラス板A,B The placing table 170 which is heated, the glass plate A, B
はさらに冷却されにくくなり、割れやクラックが生じにくくなる。 Furthermore less likely to be cooled, breakage and cracking hardly occurs in.

【0110】載置台170を構成する材料は、セラミックス以外のものでもよい。 [0110] Materials constituting the mounting table 170 may be a material other than ceramics. 特に、融点がガラスの軟化点温度よりも高い非金属材料が好ましく、セラミックス以外では、陶器、磁器 または レンガが特に好ましい。 In particular, a high non-metallic material is preferably the softening point temperature of the glass melting point, other than ceramics, pottery, porcelain or bricks particularly preferred.

【0111】次に、本願の融着ガラスの製造方法を実施可能で、かつ、本願の融着ガラスを製造することができる、さらにもう一つのガラス融着装置A1を説明する。 [0111] Next, can implement the method for producing a fused glass of the present application, and can be produced fused glass of the present application is further described another glass fuser A1. Drawing
27に示すガラス融着装置A1は、略平行レーザ光を発するレーザ光照射装置201と、第1および第2のワークを固定する作業テーブル203とを備えている。 Glass fuser A1 shown in 27 includes a laser beam irradiation device 201 substantially emits collimated laser beam, and a working table 203 for fixing the first and second work. ここでは、第1のワークとしてガラス板Aが、また、第2のワークとしてガラス板Bが固定されている。 Here, the glass plate A is a first work, also, the glass plate B is fixed as the second work. レーザ光照射装置201 The laser beam irradiation apparatus 201
は、レーザ光205を発生するレーザ発振器202、該レーザ発振器202で発生したレーザ光205を導く案内筒(図示せず) 及び 該案内筒に導かれたレーザ光205をガラス板 A glass plate with a laser oscillator 202, the laser guide tube for guiding the laser beam 205 generated by the oscillator 202 (not shown) and a laser beam 205 guided to the guide tube for generating a laser beam 205
A,Bに照射する加工ヘッド208を有する。 Having a processing head 208 which irradiates A, the B. ガラス融着装置 Glass fusing apparatus
A1は、さらに、該作業テーブル203に対して上記加工ヘッド208を直交する3軸方向に相対的に移動させる移動機構(図示せず)を備えている。 A1 further comprises a moving mechanism for relatively moving the three-axis direction orthogonal to the processing head 208 relative to the working table 203 (not shown).

【0112】レーザ発振器202から発せられるレーザ光は、CO 2レーザである。 [0112] The laser beam emitted from the laser oscillator 202 is a CO 2 laser. レーザ205は、ガラス板A,B上における投影形状が所定形状と略同一となるような断面形状(横断面形状)を有する略平行レーザ光である。 The laser 205 is substantially parallel laser light glass plate A, the projected shape on B having a cross sectional shape (cross-sectional shape), such as to be substantially equal to the predetermined shape. 該所定形状としてはいかなる形状を採用してもよいが、ここでは該所定形状を円形としている。 It may be adopted any shape as said predetermined shaped like, but here are the said predetermined fixed form like a circle. ガラス板A,B上におけるレーザ光205の照射部分の径、すなわちスポット径Sは、該ガラス板A,Bを融着するのに最適な大きさとなるよう設定されている。 Diameter of the irradiated portion of the laser beam 205 glass plate A, on B, that the spot diameter S is set to an optimum size to fuse the glass plate A, the B. レーザ発振器202から発せられるレーザ光205の径d1は、ガラス板A,B上で設定すべきスポット径Sと同じ径である。 Diameter d1 of the laser beam 205 emitted from the laser oscillator 202 is the same diameter as the spot diameter S to be set glass plate A, on B.

【0113】上記加工ヘッド208は、上記移動機構によって、作業テーブル203に対し、相対的に3次元方向に移動可能で、かつ、水平面内及び垂直面内における角度を変更可能なように構成されている。 [0113] The processing head 208 by the moving mechanism, to work table 203, movable relative three-dimensional direction, and is configured to allow changing the angle in the horizontal plane and the vertical plane there. また、この加工ヘッド208の作業テーブル203に対する相対移動や角度変更を可能とすべく、レーザ発振器202から加工ヘッド208の先端に至るまでのレーザ光205の光路上には、図示されないミラーが配置されている。 Further, in order to enable a relative movement and angle changes to the working table 203 of the processing head 208, the optical path of the laser beam 205 from the laser oscillator 202 until the tip of the machining head 208 is disposed is not shown mirrors ing.

【0114】ガラス板A,Bの間には、微小高さのスペーサが介在しており、このスペーサの高さに相当する隙間が2枚のガラス板A,Bの間に生じている。 [0114] the glass plate A, between B, and interposed spacers of small height, a gap corresponding to the height of the spacer is generated between the glass plate A, B of the two.

【0115】また、図27において、206は、融着前のガラス板A,Bを予熱するための予熱室、また、207は、融着後のガラス板A,Bを徐冷するための徐冷室であり、共に、自動的に温度調整可能なチャンバー、恒温槽等で構成される。 [0115] Further, in FIG. 27, 206, preheating chamber for preheating the glass plate A, B before fusion, also, 207, Xu for annealing glass sheets A, B after fusing a cold room, both automatically temperature adjustable chamber, constituted by a thermostat or the like.

【0116】次に、ガラス融着装置A1の動作を説明する。 [0116] Next, the operation of the glass fusing device A1.

【0117】まず、予熱室206および徐冷室207を、ガラス板A,Bの融着温度未満の所定の温度に、それぞれ設定しておく。 [0117] First, the preheating chamber 206 and slow cooling chamber 207, the glass plate A, at a predetermined temperature below the fusion temperature of the B, is set respectively.

【0118】次いで、ガラス板A,Bを予熱室206に所定時間入れておき、ガラス板A,Bの融着温度未満の温度にする。 [0118] Then, the glass plate A, previously placed a predetermined time preheating chamber 206 B, a glass plate A, to a temperature below the fusion temperature of the B. すなわちガラス板A,Bを予熱するのである。 That is to preheat the glass plate A, the B. その後、ガラス板A,Bを予熱室206から取り出して、ガラス融着装置A1の作業テーブル203上に固定する。 Then removed the glass plates A, B from the preheating chamber 206, is fixed on the working table 203 of the glass fusing device A1.

【0119】次いで、作業テーブル203上に固定されたガラス板A,Bの周縁部に略平行レーザ光205を照射しつつ、加工ヘッド208がガラス板A,Bの周縁に沿って相対的に移動するように、作業テーブル203に対して加工ヘッド208を移動機構によって移動させる。 [0119] Then, the glass plate A was fixed on the work table 203, while irradiating the substantially parallel laser beam 205 to the peripheral portion of the B, relatively moving the processing head 208 along the periphery of the glass plate A, B as to move the processing head 208 by a movement mechanism with respect to the work table 203. そして、加工ヘッド208がガラス板A,Bの周縁部を一周すると融着が完了する。 Then, the processing head 208 is a glass plate A, is fused when around the periphery of B is completed.

【0120】なお、本実施の形態とは逆で加工ヘッド20 [0120] The processing head 20 in contrast to the present embodiment
8を固定し、作業テーブル203を移動機構により移動させてもよい。 8 was fixed, the work table 203 may be moved by the moving mechanism.

【0121】次いで、融着が完了したガラス板A,Bを徐冷室207に所定時間入れておく。 [0121] then placed a predetermined time the glass plate A of fusion is complete, the B in the annealing chamber 207. すると、ガラス板A,Bの融着箇所の温度は、融着温度未満の温度にまで徐々に下降する。 Then, the glass plate A, the temperature of the fusing point of B is gradually lowered to a temperature below the fusion temperature. すなわちガラス板A,Bが徐冷されるのである。 That is, the glass plate A, B are gradually cooled.
その後、ガラス板A,Bを徐冷室207から取り出す。 Then, taking out the glass plate A, B from the slow cooling chamber 207. これにより、ガラス板A,Bの融着加工が完了する。 Accordingly, the glass plate A, the fusion processing B is completed.

【0122】このようにガラス融着装置A1では、ガラス板A,Bを融着する際には略平行レーザ光が用いられる。 [0122] In this way glass fuser A1, a glass plate A, substantially parallel laser beam when fusing the B is used.
よって、加工ヘッド208の移動の際に略平行レーザ光の光軸方向にブレを生じて、ガラス板A,Bとの距離が変動したとしても、ガラス板A,Bの融着箇所におけるスポット径Sは一定に保たれる。 Therefore, it caused blurring in the optical axis direction of the substantially parallel laser beam during the movement of the processing head 208, the glass plate A, even as the distance between B varies, the spot diameter at the fused portion of the glass plate A, B S is kept constant. 従って、融着不良を低減することができる。 Therefore, it is possible to reduce the fusing failure.

【0123】また、ガラス板A,Bの融着加工の前後に予熱過程、及び徐冷過程を設けているので、ガラス板A,B [0123] The glass plate A, preheating process before and after the fusing process of B, and so are provided slow cooling process, the glass plate A, B
内部に急激な温度勾配が生じにくく、急激な温度勾配に起因するクラックや割れを低減することができる。 Rapid temperature gradient is less likely to occur therein, it is possible to reduce the cracking and breakage due to sudden temperature gradients.

【0124】次に、本願の融着ガラスの製造方法を実施可能で、かつ、本願の融着ガラスを製造することができる、さらにもう一つのガラス融着装置A2を説明する。 [0124] Next, can implement the method for producing a fused glass of the present application, and can be produced fused glass of the present application is further described another glass fuser A2. Drawing
28のガラス融着装置A2は、図27のガラス融着装置A1と異なり、ガラス板A,Bに照射する所定径d1の略平行レーザ光205を、レーザ発振器202が出射する径d2の略平行レーザ光209をコリメーション211を通過させることにより生成するように構成されている。 Glass fuser A2 28 is different from the glass fuser A1 in FIG. 27, the glass plate A, a substantially collimated laser beam 205 having a predetermined diameter d1 to be irradiated to B, substantially parallel diameter d2 of the laser oscillator 202 is emitted It is configured to generate by the laser beam 209 to pass through the collimation 211. これ以外の点は図27のガラス融着装置A1と同様である。 Other points are similar to those of the glass fuser A1 of FIG. 27.

【0125】すなわち、ガラス融着装置A2では、レーザ発振器202が略平行レーザ光209を発生する。 [0125] That is, the glass fusing device A2, generating a substantially collimated laser beam 209 laser oscillator 202. そして、加工ヘッド208内における該略平行レーザ光209の光路上には、コリメーション211として、第1の凸レンズ210aと該第1の凸レンズ210aより焦点距離の短い第2の凸レンズ210bとからなるコリメータレンズ210が配設されている。 Then, processing in the optical path of the symbolic parallel laser beam 209 in the head 208, as collimation 211, a collimator lens comprising a first convex lens 210a and the first second convex lens 210b shorter focal length than lens 210a 210 is disposed. 第1の凸レンズ210aに入射した径d2の略平行レーザ光209はコリメータレンズ210を介して所定径d1の略平行レーザ光205に変換されて出射される。 Substantially parallel laser beam 209 of diameter d2 which is incident on the first convex lens 210a is emitted is converted into a substantially parallel laser beam 205 having a predetermined diameter d1 via the collimator lens 210. なお、レーザ発振器202から発せられるレーザ光はCO 2レーザである。 The laser beam emitted from the laser oscillator 202 is a CO 2 laser.

【0126】図27のガラス融着装置A1のように、ガラス板A,Bに照射する所定径d1を有する略平行レーザ光205をレーザ発振器202で直接生成する方式であると、該略平行レーザ光205の径をワークに合わせて設定することができないが、図28のガラス融着装置A2の構成であれば、 [0126] As the glass fusing device A1 of FIG. 27, when the substantially parallel laser beam 205 having a predetermined diameter d1 for irradiating the glass plate A, and B is a method of generating directly by the laser oscillator 202, the symbolic parallel laser can not be set in accordance with the diameter of the light 205 to a work, if the configuration of the glass fuser A2 of FIG. 28,
コリメータレンズ210の第1,第2の凸レンズ210a,210b First, second convex lens 210a of the collimator lens 210, 210 b
の焦点距離を適宜選択することにより、該略平行レーザ光205の径をワークに合わせて設定することができる。 The focal length of the by appropriately selecting, can be set according to the diameter of the symbolic parallel laser beam 205 to the workpiece.
なお、上記の説明では、レーザ発振器202で発生した略平行レーザ光209の径が、コリメーション211を介して縮小されるようにしているが、第1の凸レンズ210aを第2 In the above description, the diameter of substantially parallel laser beam 209 generated by the laser oscillator 202 has to be reduced through the collimation 211, the first convex lens 210a second
の凸レンズ210bより焦点距離の短いものにすることにより、レーザ発振器202で発生した略平行レーザ光209の径を拡大することもできる。 By the of shorter focal length than lens 210 b, it is also possible to enlarge the diameter of the substantially parallel laser beam 209 generated by the laser oscillator 202.

【0127】次に、本願の融着ガラスの製造方法を実施可能で、かつ、本願の融着ガラスを製造することができる、さらにもう一つのガラス融着装置A3を説明する。 [0127] Next, can implement the method for producing a fused glass of the present application, and can be produced fused glass of the present application is further described another glass fuser A3. Drawing
29のガラス融着装置A3は、図28のガラス融着装置A2と異なり、コリメーション211が、略平行レーザ光の径を変換しうるように構成された凹面鏡221aと凸面鏡221bとの組み合わせにより構成されている。 Glass fuser A3 29 is different from the glass fuser A2 of FIG. 28, collimation 211 is constituted by a combination of a concave mirror 221a and the convex mirror 221b configured to substantially can convert diameter of the collimated laser beam ing. これ以外の点は図28 This is the other points Figure 28
のガラス融着装置A2と同様である。 It is similar to the glass fuser A2 of.

【0128】すなわち、加工ヘッド208には、レーザ発振器202から出射される径d2の略平行レーザ光209を受けてこれを収束するよう所定の方向に反射する凹面鏡221a [0128] That is, the machining head 208, the concave mirror 221a for reflecting in a predetermined direction so as to converge it receives substantially collimated laser beam 209 having a diameter d2 that is emitted from the laser oscillator 202
と、該凹面鏡221aによって収束するよう反射されたレーザ光を受けて、これを所定径d1の略平行レーザ光205として加工ヘッド208の先端の開口部に向けて反射する凸面鏡221bとが配設されている。 When, upon receiving a laser beam reflected to converge by the concave mirror 221a, a convex mirror 221b for reflecting the opening at the tip of the machining head 208 is disposed so as substantially collimated laser beam 205 having a predetermined diameter d1 ing. なお、レーザ発振器202 In addition, the laser oscillator 202
から発せられるレーザ光は、CO 2レーザである。 The laser beam emitted from a CO 2 laser.

【0129】かかる構成によっても、図28のガラス融着装置A2と同様に、凹面鏡221a、及び凸面鏡221bの焦点距離等を適宜選択することにより、略平行レーザ光205の径をワークに合わせて設定することができる。 [0129] Also by this configuration, similarly to the glass fuser A2 of FIG. 28, the concave mirror 221a, and by appropriately selecting the focal length of the convex mirror 221b, substantially the combined diameter of the collimated laser beam 205 to the workpiece setting can do. なお、上記の説明では、レーザ発振器202で発生した略平行レーザ光209の径をコリメーション211を介して縮小するようにしているが、レーザ発振器202からのレーザ光を、まず凸面鏡で反射することによってその径を拡大させ、その後、凹面鏡で反射することによって平行化するようにしてもよい。 In the above description, by although the diameter of the substantially parallel laser beam 209 generated by the laser oscillator 202 so as to shrink through the collimation 211, the laser beam from the laser oscillator 202 is first reflected by the convex mirror to expand its diameter, then, it may be collimated by reflection by the concave mirror. このようしてレーザ発振器202で発生した略平行レーザ光の径を拡大することもできる。 Such substantially also possible to enlarge the diameter of the collimated laser beam generated by the laser oscillator 202.

【0130】次に、本願の融着ガラスの製造方法を実施可能で、かつ、本願の融着ガラスを製造することができる、さらにもう一つのガラス融着装置A4を説明する。 [0130] Next, can implement the method for producing a fused glass of the present application, and can be produced fused glass of the present application is further described another glass fuser A4. Drawing
30のガラス融着装置A4は、図27のガラス融着装置A1と異なり、ガラス板A,Bに照射する所定径d1の略平行レーザ光205を、レーザ発振器202が出射する径d2の略平行レーザ光209をアパーチャ212を通過させることにより生成するように構成されている。 Glass fusing device A4 of 30, unlike the glass fuser A1 in FIG. 27, the glass plate A, a substantially collimated laser beam 205 having a predetermined diameter d1 to be irradiated to B, substantially parallel diameter d2 of the laser oscillator 202 is emitted It is configured to generate by the laser beam 209 to pass through the aperture 212. これ以外の点は図27のガラス融着装置A1と同様である。 Other points are similar to those of the glass fuser A1 of FIG. 27.

【0131】すなわちガラス融着装置A4では、レーザ発振器202が、径d2の略平行レーザ光209を発生する。 [0131] That is, in the glass fusing device A4, the laser oscillator 202 generates a substantially collimated laser beam 209 having a diameter d2. そして、加工ヘッド208内において該略平行レーザ光209の光路上には、レーザ発振器202出口のレーザ径より小さい開口径d1を有するアパーチャ212が配設されている。 And, on the optical path of the symbolic parallel laser beam 209 in the processing head 208, an aperture 212 having a laser oscillator 202 laser diameter smaller than the opening diameter d1 of the outlet port is provided. レーザ発振器202から出射された径d2の略平行レーザ光209 Substantially parallel laser beam 209 of the laser oscillator 202 diameter d2 emitted from
は、該アパーチャ212を通過してより小さな所定径d1の略平行レーザ光205となってガラス板A,Bに照射される。 It is illuminated in a substantially parallel laser beam 205 having a predetermined diameter d1 smaller through the aperture 212 glass plate A, the B.
なお、レーザ発振器202から発せられるレーザ光はCO 2 The laser beam emitted from the laser oscillator 202 is CO 2
レーザである。 It is a laser.

【0132】かかる構成によれば、アパーチャ212の開口径を変更するだけで、より容易に略平行レーザ光205 [0132] According to this configuration, only by changing the opening diameter of the aperture 212, more readily substantially parallel laser beam 205
の径をワークに合わせて設定することができる。 It can be set according to the diameter to the work.

【0133】次に、本願の融着ガラスの製造方法を実施可能で、かつ、本願の融着ガラスを製造することができる、さらにもう一つのガラス融着装置A5を説明する。 [0133] Next, can implement the method for producing a fused glass of the present application, and can be produced fused glass of the present application is further described another glass fuser A5. Drawing
31にそのガラス融着装置A5が示されているが、(a) は予熱過程におけるガラス融着装置A5の構成を示す図、 31 Although the glass fuser A5 are shown, (a) shows the diagram showing a configuration of a glass fusing device A5 in the preheating process,
(b)は融着過程におけるガラス融着装置A5の構成を示す図、(c)は徐冷過程におけるガラス融着装置A5の構成を示す図である。 (B) is a diagram showing a configuration of a glass fusing device A5 at the fused process is a diagram showing a configuration of a glass fusing device A5 in (c) slow cooling process. すなわちガラス融着装置A5は、ガラス板 That glass fuser A5, the glass plate
A,Bの予熱、融着 及び 徐冷を、コリメータレンズを含む加工ヘッド部分を交換しながら行うようにしたものである。 A, preheating of B, and fusing and slow cooling, in which to perform while exchanging processing head portion including a collimator lens. 図31においては、図28と同一符号を付した部分は同一又は相当する部分である。 In Figure 31, the portions denoted by the same reference numerals as in FIG. 28 are the same or corresponding parts.

【0134】ガラス融着装置A5は、3種類の加工ヘッドを交換することにより、予熱、融着及び 徐冷を行うことができるように構成されている。 [0134] Glass fuser A5 by exchanging three machining head, preheating, and is configured to be able to perform fusion and gradual cooling. 加工ヘッドとしては、(a)に示す加工ヘッド208'と、(b)に示す加工ヘッド208と、(c)に示す加工ヘッド208''とがある。 The machining head, there is a working head 208 shown in (a) 'and, the processing head 208 shown in (b), (c) the processing head 208 shown' '. (a) に示す加工ヘッド208'は、レーザ発振器202からの略平行レーザ光209を、ガラス板A,Bに照射したときに該照射箇所を該ガラス板A,Bの融着温度未満の所定の予熱温度に加熱可能な径d1'を有する略平行レーザ光205'に変換する予熱用のコリメータレンズ210'を有している。 Processing head 208 shown in (a) 'is a substantially collimated laser beam 209 from the laser oscillator 202, a glass plate A, B the glass plate the irradiation position when irradiating the A, given below fusion temperature of B and a collimator lens 210 for preheating to be converted to 'substantially parallel laser beam 205 having a' diameter d1 heatable preheating temperature '. (b) に示す加工ヘッド208は、レーザ発振器202からの略平行レーザ光209を、ガラス板A,Bに照射したときに該照射箇所を該ガラス板A,Bの融着温度に加熱可能な径d1を有する略平行レーザ光205に変換する融着用のコリメータレンズ210を有している。 (B) to show the machining head 208 is capable of heating substantially parallel laser beam 209, a glass plate A, the glass plate A and the irradiation position when irradiating the B, the fusion temperature of B from the laser oscillator 202 and a collimator lens 210 of the fusing converting into a substantially parallel laser beam 205 having a diameter d1. (c) に示す加工ヘッド208''は、レーザ発振器202からの略平行レーザ光209を、ガラス板A, Processing head 208 shown in (c) '' is a substantially collimated laser beam 209 from the laser oscillator 202, a glass plate A,
Bに照射したときに該照射箇所を上記予熱温度より低い徐冷温度に加熱可能な径d1''を有する略平行レーザ光20 Substantially parallel laser beam 20 having the above-mentioned preheating temperature capable of heating the lower cooling temperature diameter d1 '' the irradiation position when irradiating the B
5''に変換する徐冷用のコリメータレンズ210''を有している。 And a 5 '' collimator lens 210 for annealing to convert to ''. ここで、径d1<径d1'<径d1''、または径d1<径d Here, the diameter d1 <diameter d1 '<diameter d1' ', or the diameter d1 <diameter d
1',径d1<径d1'',径d1'=径d1''である。 1 ', the diameter d1 <diameter d1' ', a diameter d1' = diameter d1 ''. なお、レーザ発振器202から発せられるレーザ光は、CO 2レーザである。 The laser beam emitted from the laser oscillator 202 is a CO 2 laser.

【0135】次に、ガラス融着装置A5によるレーザ融着方法を説明する。 [0135] Next, a laser welding method according to the glass fuser A5. まず、(a) に示すように、ガラス融着装置A5に、予熱用のコリメータレンズ210'を有する加工ヘッド208'を装着し、その後、ガラス融着装置A5を起動し、作業テーブル203に固定されたガラス板A,Bの融着箇所に径d1'の略平行レーザ光205'を照射する。 First, (a), a glass fusing device A5, fitted with a 'working head 208 having a' collimator lens 210 for preheating, then start the glass fuser A5, fixed to the working table 203 glass plate a, illuminating the 'substantially parallel laser beam 205' diameter d1 in fusing point of B. これにより、ガラス板A,Bが所定の予熱温度に予熱される。 Accordingly, the glass plate A, B are pre-heated to a predetermined preheating temperature.

【0136】次いで、ガラス融着装置A5の加工ヘッド20 [0136] Then, the processing head 20 of glass fusing apparatus A5
8'を、融着用のコリメータレンズ210を有する加工ヘッド208に交換し、その後、ガラス融着装置A5を起動し、 8 'was replaced with the machining head 208 having a collimator lens 210 of the fusing, then start the glass fuser A5,
作業テーブル203に固定されたガラス板A,Bの融着箇所に径d1の略平行レーザ光205を照射する。 Glass plate A which is fixed to the work table 203, irradiating the substantially parallel laser beam 205 of diameter d1 to fusing point of B. これにより、ガラス板A,Bが融着温度に加熱されて、融着される。 Accordingly, the glass plate A, B is heated to fusion temperature, the fusion.

【0137】次いで、ガラス融着装置A5の加工ヘッド20 [0137] Then, the processing head 20 of glass fusing apparatus A5
8を、徐冷用のコリメータレンズ210''を有する加工ヘッド208''に交換し、その後、ガラス融着装置A5を起動し、作業テーブル203に固定されたガラス板A,Bの融着箇所に径d1''の略平行レーザ光205''を照射する。 8 was replaced with '' machining head 208 having a 'collimator lens 210' for annealing, then start the glass fuser A5, a glass plate A was fixed to the work table 203, fusion point of B irradiating the diameter d1 '' substantially parallel laser beam 205 '' to. これにより、ガラス板A,Bは略平行レーザ光205''によって加熱されつつ、融着温度から所定の徐冷温度にまで徐冷される。 Accordingly, the glass plate A, while B is heated substantially by the collimated laser beam 205 '', is gradually cooled from the fusion temperature to a predetermined annealing temperature.

【0138】このように、ガラス融着装置A5によっても、図27の装置・設備と同様に、融着不良を低減することができるとともに、ガラス板A,B内の急激な温度勾配の発生によるクラックや割れを低減することができる。 [0138] Thus, by glass fusion device A5, as with apparatus and equipment of FIG. 27, it is possible to reduce the fusing failure, a glass plate A, due to the occurrence of a sudden temperature gradient in the B it is possible to reduce cracking and breakage.

【0139】次に、本願の融着ガラスの製造方法を実施可能で、かつ、本願の融着ガラスを製造することができる、さらにもう一つのガラス融着装置A6を説明する。 [0139] Next, can implement the method for producing a fused glass of the present application, and can be produced fused glass of the present application is further described another glass fuser A6. Drawing
32のガラス融着装置A6は、ガラス板A,Bの予熱、融着、 Glass fuser A6 of 32, a glass plate A, preheating of B, fused,
及び徐冷を自動的に行うことができるようにしたものである。 And it is obtained to be able to perform slow cooling automatically.

【0140】まず、ガラス融着装置A6の概略構成を説明する。 [0140] First, a schematic configuration of a glass fusing device A6. ガラス融着装置A6は、図28,図29のガラス融着装置A2,A3と同様のレーザ光照射装置201、すなわち、レーザ発振器202、加工ヘッド208、コリメーション211を有するレーザ光照射装置を備えている。 Glass fuser A6 is 28, the glass fusing device A2, A3 and similar laser beam irradiation apparatus 201 of FIG. 29, i.e., the laser oscillator 202, the processing head 208, includes a laser beam irradiation device having a collimation 211 there. また、ガラス融着装置A6は、ガラス板A,Bを搬送するベルトコンベア215 The glass fuser A6 is a belt conveyor 215 for conveying the glass plate A, B
と、加工ヘッド208をベルトコンベアに対して直交する3軸方向に相対的に移動させることのできる移動機構(図示せず)と、ガラス板A,Bを予熱する予熱装置213 When the moving mechanism capable of relatively moving in three axial directions perpendicular to processing head 208 relative to the belt conveyor (not shown), preheating device for preheating the glass plate A, the B 213
と、ガラス板A,Bを徐冷する徐冷装置214とを備えている。 When, and a slow cooling device 214 for annealing the glass plate A, the B. ベルトコンベア215は、加工ヘッド208の下方において水平方向に設置されている。 Belt conveyor 215 is disposed horizontally below the machining head 208. 予熱装置213、徐冷装置2 Preheating device 213, slow-cooling device 2
14は、ベルトコンベア215を覆うように、かつ、加工ヘッド208が位置する部分の上流側、及び下流側にそれぞれ設置されている。 14, so as to cover the belt conveyor 215 and the processing head 208 are respectively installed upstream of the portion located, and on the downstream side. なお、レーザ発振器202から発せられるレーザ光はCO 2レーザである。 The laser beam emitted from the laser oscillator 202 is a CO 2 laser.

【0141】加工ヘッド208は、上記移動機構によって、ベルトコンベア215に対して相対的に3次元方向に移動可能で、かつ水平面内及び垂直面内における角度を変更可能なように構成されている。 [0141] processing head 208 by the moving mechanism, movable relative three-dimensional direction with respect to the belt conveyor 215, and is configured to allow changing the angle in the horizontal plane and the vertical plane. 予熱装置213、徐冷装置214は、共に、その内面にヒータ(図示せず)が配設され、該ヒータによる加熱レベルを所望のレベルに設定できるよう構成されている。 Preheater 213, slow cooling device 214, both a heater (not shown) is disposed on the inner surface and is configured to heat level by the heater can be set to a desired level. ベルトコンベア215には、ベルトの長手方向に所定のピッチでガラス板A,Bを固定するワーク固定部(図示せず)が設けられ、該ベルトが所定の時間間隔で該所定のピッチづつ移動するよう構成されている。 The belt conveyor 215, a work fixing portion for fixing the glass plate A, a B (not shown) is provided in the longitudinal direction of the belt at a predetermined pitch, the belt is moved the predetermined pitch at a time at predetermined time intervals It is configured. 従って、各ワーク固定部は、予熱装置 Accordingly, the workpiece securing section, preheating device
213内の位置、加工ヘッド208の下方位置、及び徐冷装置 Position in 213, the lower position of the processing head 208, and slow cooling device
214内の位置の各位置において上記所定時間停止しつつ、順次通過する。 While stopping the predetermined time at each position in the position within 214 sequentially passes.

【0142】次に、以上のように構成されたガラス融着装置A6の動作を説明する。 [0142] Next, a configuration has been operating the glass fuser A6 as described above. まず、予め、予熱装置213、 First of all, in advance, pre-heating device 213,
及び徐冷装置214を、それぞれ、それらを通過するガラス板A,Bが所定の予熱温度、及び徐冷温度になるよう、 And slow cooling device 214, respectively, the glass plate A that passes through them, so B is made to a predetermined preheating temperature, and annealing temperature,
加熱レベルを設定しておく。 Setting the heating level.

【0143】次いで、ベルトコンベア215のワーク固定部にガラス板A,Bを固定し、ベルトコンベア215を起動する。 [0143] Then, the glass plate A, B were fixed to the workpiece securing section of the belt conveyor 215, to start the belt conveyor 215. すると、該ワーク固定部に固定されたガラス板A,B Then, the glass plate A, which is fixed to the workpiece securing section, B
は、まず、予熱装置213内に移動し、そこで、所定の予熱温度に予熱される。 It is first moved to the preheater 213 where it is preheated to a predetermined preheating temperature. 次いで、この予熱されたガラス板 Then, the pre-heated glass sheet
A,Bは加工ヘッド208の下方位置に移動し、そこで、加工ヘッド208から略平行レーザ光205を融着箇所に照射されて融着される。 A, B are moved to the lower position of the machining head 208, where it is fused substantially parallel laser beam 205 is irradiated to the fusion point from the machining head 208. 次いで、この融着されたガラス板A,Bは徐冷装置214内に移動し、そこで、加熱されつつ所定の徐冷温度に徐冷される。 Then, the fused glass plates A, B are moved to the slow cooling device 214, where, while being heated and gradually cooled to a predetermined annealing temperature.

【0144】なお、上記の構成では、ベルトコンベア21 [0144] In the configuration described above, the belt conveyor 21
5を間欠移動するようにしているが、ベルトコンベア215 5 so that intermittently moves, but the belt conveyor 215
を連続移動するようにし、加工ヘッド208が、ベルトコンベア215とともに移動するガラス板A,Bに追従しながらこれを融着加工するようにしてもよい。 Was to be continuous movement, the processing head 208, a glass plate A which moves together with the belt conveyor 215, which may be fused processed while following the B.

【0145】このようにガラス融着装置A6によっても、 [0145] also by the glass fuser A6 in this way,
図27や図31の装置・設備と同様に、融着不良を低減することができるとともに、ガラス板A,B内の急激な温度勾配の発生によるクラックや割れを低減することができる。 Similar to the apparatus and equipment of FIG. 27 and FIG. 31, it is possible to reduce the fusion defects, it can be reduced cracking and breakage due to the occurrence of a sudden temperature gradient of the glass plate A, the B. また、ガラス板A,Bの予熱、融着、及び徐冷を自動的に行うことができるため、人件費を低減することができる。 Further, it is possible to perform the glass plate A, preheating of B, fusing, and annealing automatically, it is possible to reduce the labor costs.

【0146】次に、本願の融着ガラスの製造方法を実施可能で、かつ、本願の融着ガラスを製造することができる、さらにもう一つのガラス融着装置A7を説明する。 [0146] Next, can implement the method for producing a fused glass of the present application, and can be produced fused glass of the present application is further described another glass fuser A7. Drawing
33がそのガラス融着装置A7の模式図であるが、(a) はワークに略平行レーザ光を照射した状態を模式的に示す斜視図、(b) は(a) のX−X線矢視断面図である。 33 but is a schematic view of a glass fusing device A7, X-X along line of (a) a perspective view showing a state of irradiating the substantially parallel laser beam on the workpiece schematically, the (b) is (a) it is a cross-sectional view seen.

【0147】図33のガラス融着装置A7はレーザ発振器(図示せず)を有するレーザ光照射装置を備えているが、ガラス融着装置A7のレーザ発振器はYAGレーザを発振する。 [0147] Glass fuser A7 of FIG. 33 includes a laser beam irradiation device having a laser oscillator (not shown), a laser oscillator of the glass fuser A7 oscillates a YAG laser. また、第1、第2のワークたるガラス板A,B The first, second workpiece serving glass plates A, B
には、それぞれ、片面に銅等の導体からなる配線217が配設されている。 In each, the wiring 217 made of a conductor such as copper is disposed on one side. ガラス板A,Bは該配線217を有する面同士が対向するように配置されている。 Glass plates A, B are surfaces each having a wiring 217 is arranged to face. ガラス板A,Bは共に無色透明なガラスである。 Glass plates A, B are both colorless and transparent glass. ガラス板A,Bの間において、配線217の位置に対応する部分には、着色された低融点ガラス216が融着材として介在している。 Glass plate A, between the B, and a portion corresponding to the position of the wiring 217, the low-melting glass 216 is interposed as a fusion material which is colored. 低融点ガラス216の歪点は400℃〜450℃である。 The strain point of the low melting point glass 216 is 400 ° C. to 450 ° C.. それ以外の点は図27〜図32のガラス融着装置A1〜A6と同様に構成することができる。 Other points may be configured similar to the glass fuser A1~A6 in FIGS. 27 32.

【0148】ガラス融着装置A7は以上のように構成されており、ガラス融着装置A7の加工ヘッド208から略平行レーザ光205が出射される。 [0148] Glass fuser A7 is constructed as described above, substantially parallel laser beam 205 from the machining head 208 of the glass fuser A7 is emitted. 略平行レーザ光205は、ガラス板Aの上から、低融点ガラス216が配置された部分に照射される。 Substantially parallel laser beam 205, from the top of the glass plate A, is irradiated to the portion where the low-melting glass 216 is disposed. YAGレーザは無色透明なガラスを透過するので、略平行レーザ光205はガラス板Aを透過する。 Since the YAG laser is transmitted through the colorless transparent glass, a substantially collimated laser beam 205 is transmitted through the glass plate A. そしてYAGレーザのエネルギは着色された低融点ガラス21 The low melting point glass energy of the YAG laser is colored 21
6に吸収され、低融点ガラス216のみが溶融する。 Is absorbed in 6, only the low-melting glass 216 is melted. そして、この溶融した低融点ガラス216を融着材として2枚のガラス板A,Bが融着される。 Then, the glass plate A of the two low-melting glass 216 was molten as fusion material, B is fused. この際、配線217は低融点ガラス216よりも歪点が高いため損傷することはない。 In this case, the wiring 217 is not damaged because of high strain point than the low melting point glass 216.

【0149】以上、図1〜33を参照しながら、本願発明に係るガラス融着方法、ガラス融着装置、融着ガラス [0149] above with reference to FIG. 1 to 33, glass fusing method according to the present invention, the glass fuser, fused glass
および 融着ガラスの製造方法の実施形態を説明した。 And it has described embodiments of the method for producing a fused glass.

【0150】なお、本願に係る融着ガラスは、少なくとも2のガラス片を融着して製造されるようなガラス製品であればどのようなものでも適用可能であるが、例えば、複層ガラスや合わせガラスに適用可能である。 [0150] Incidentally, fused glass according to the present application is applicable even mentioned any glassware such as those manufactured by fusing at least two pieces of glass, for example, insulating glass Ya It can be applied to laminated glass. さらに具体的に説明すれば、例えば、液晶ディスプレイやプラズマパネルディスプレイなどの電子ディスプレイ用ガラス、建築物や自動車の窓用合わせガラスなどに適用可能である。 In more detail, for example, it can be applied to a liquid crystal display or glass for electronic display such as a plasma panel display, buildings and the laminated glass for windows of motor vehicles.

【0151】特に、液晶ディスプレイパネルなどの電子ディスプレイのパネルを、2枚のガラスをエポキシ樹脂で接着することにより製造すると、エポキシ樹脂が経年変化して水分を吸収し、電子ディスプレイの品質劣化をまねきかねないが、本願の融着ガラスのように製造すると、かかる品質劣化はない。 [0151] In particular, the panel of electronic display such as a liquid crystal display panel, when the two glass prepared by bonding with an epoxy resin, an epoxy resin is changed over time to absorb moisture, leading to deterioration of the quality of the electronic display It serves not, but if prepared as fused glass of the present application, there is no such quality deterioration.

【0152】また、複層ガラスや合わせガラス以外にも、例えば、高真空容器にも適用可能である。 [0152] In addition to the double glazing or laminated glass, for example, it is also applicable to a high vacuum chamber. 高真空容器とは、例えば金属などでワークに真空成膜加工を施す際に使用されるものであり、ワークを真空環境中に置くために使用される容器である。 The high vacuum chamber, for example, metal is intended to be used in performing the vacuum deposition process on the workpiece in such a container that is used to place the workpiece in a vacuum environment. 高真空容器は金属により製造されることも多いが、金属はその表面にガスを含有している場合がある。 High vacuum vessel often produced by metal, but the metal is in some cases containing a gas on the surface thereof. 金属表面に含有されたガスは、高真空容器内部が真空状態にされたときに、金属表面から放出され、高真空容器内の真空環境を劣化させる要因となる。 Gas contained in the metal surface, when a high vacuum vessel inside is in a vacuum state, is released from the metal surface, and is a cause of deteriorating the vacuum environment of a high vacuum chamber. 高真空容器を本願の融着ガラスとして製造すると、高真空容器がガラス製となる。 When producing a high vacuum chamber as fused glass of the present application, a high vacuum vessel is made of glass. ガラスは放出ガスが極めて少ないので、高真空槽や真空ゲートに適しており、本願にかかる融着ガラスを高真空容器に適用すると、不要なガスが放出されることもなく、また、十分な気密性を確保することのできる高真空容器となる。 Since the glass is released gas is very small, is suitable for high vacuum chamber and the vacuum gate, applying the fused glass according to the present in a high vacuum chamber, without the unnecessary gas is discharged, also sufficient airtightness a high vacuum container capable of ensuring resistance. 高真空容器をガラスの融着によって製造するに際しては、特に、略平行レーザ光による融着が適している。 In the high-vacuum vessel prepared by fusion of the glass it is particularly suitable substantially fused by the collimated laser beam. なお、ガラスの融着加工は、技術的には金属溶接とほぼ同様の取り扱いにて実施可能であり、複雑な形状にも対応できる。 Incidentally, the fusion processing of glass, is technically a feasible at substantially the same handling and metal welding, can cope with a complicated shape.

【0153】また、上記実施形態では、融着箇所に照射される光としてレーザ光を一例として挙げ、レーザ光の例としてCO 2レーザとYAGレーザとを示したが、他の種類のレーザ光、例えば、固体レーザ、気体レーザ、 [0153] In the above embodiments, taking a laser beam as an example as the light irradiated to the fusion point, but showed a CO 2 laser and YAG laser as an example of a laser beam, other types of laser beam, For example, solid-state laser, gas laser,
半導体レーザ、液体レーザを用いてもよい。 Semiconductor lasers may be used a liquid laser. また、レーザ光以外の他の種類の光を用いてもよい。 It is also possible to use other types of light other than laser light.

【0154】また、図10(a),(c)、図11において、広いスポット径を得るために収束レーザ光80,27,29をデフォーカスして用いており、その際に、収束レーザ光の焦点の手前の部分を用いている(当該部分に被照射面を位置せしめている)が、図37(a)に示すように、収束レーザ光80の焦点より後の部分を用いても構わない。 [0154] Further, in FIG. 10 (a), (c), FIG. 11, is used to de-focus convergent laser beam 80,27,29 in order to obtain a wide spot diameter, in this case, convergent laser beam is used before the portion of the focus of (it is brought position the irradiated surface to the part), as shown in FIG. 37 (a), may be used part after the focal point of the focused laser beam 80 Absent.

【0155】また、図10(a),(c)において、集光レンズ1 [0155] Further, in FIG. 10 (a), (c), a condenser lens 1
2の位置を移動してデフォーカスすることにより、広いスポット径を得ているが、集光レンズ12を、図37(b)に示すように、凹レンズ411に交換することにより発散レーザ光80を得、それによって広いスポット径を得るようにしてもよい。 By defocusing to move the second position, but has gained wide spot diameter, a condenser lens 12, as shown in FIG. 37 (b), the divergent laser beam 80 by replacing the concave lenses 411 obtained thereby may be obtained a wide spot diameter.

【0156】 [0156]

【実施例】図34、図35は、2枚のガラス板の周縁部同士を融着して得たガラス加工品(融着ガラス)の融着箇所の外観を示す図である。 EXAMPLES 34, FIG. 35 is a diagram showing the appearance of the fused portion of the two glass plates Glass workpiece the peripheral edge portions obtained by fusion of (fused glass). 図34は、図27に示すガラス融着装置A1と同様の構成を有するガラス融着装置を用い、略平行レーザ光を照射することによって融着加工した融着ガラスを示す図であって、(a)は写真、(b)は(a)の写真をスケッチした図である。 Figure 34 is a diagram showing a fused glass was processed fused by using a glass fusing apparatus having the same configuration as the glass fuser A1 shown in FIG. 27, substantially irradiated with parallel laser beams, ( a) photo, (b) is a diagram sketched pictures of (a). 図35は、図34(a)のガラス加工品を長手方向中央付近で幅方向に破断した状態を示す図であって、(a)は写真、(b)は(a)の写真をスケッチした図である。 Figure 35 is a diagram showing a state where the glass workpiece was broken in the longitudinal direction near the center in the width direction in FIG. 34 (a), (a) photo, (b) is sketched pictures of (a) it is a diagram. ガラス板に照射したレーザ光はCO 2 The laser light irradiated to the glass plate CO 2
レーザである。 It is a laser.

【0157】従来のガラス融着装置によって融着加工した融着ガラス(図示せず)では、ガラスが局所的にしか溶融せず、したがって融着が確実になされているか否かを外観のみからでは確認することができないが、図34、 [0157] In the conventional fusion glass fused processed by glass fusion device (not shown), the glass is not melted only locally, thus by whether fusion have been made to ensure appearance from only can not be confirmed, but, as shown in FIG. 34,
図35では、符号103で示すように、ガラス板101,102が比較的広い範囲で溶融し、確実な融着がなされていることが外観から確認できる。 In Figure 35, as indicated by reference numeral 103, a glass plate 101, 102 is melted at a relatively wide range, that is reliable fusion is made can be confirmed from the appearance.

【0158】図36は、焦点深度の深い収束レーザ光を用いたガラス融着装置、及び融着ガラスの製造方法を模式的に示す図であって、(a)は焦点深度の深い収束レーザ光を示す図、(b)はガラス融着装置の構成を示す図である。 [0158] Figure 36 is a glass fusing apparatus using a deep focused laser beam depth of focus, and a method for producing fused glass a diagram schematically showing, (a) of the depth of focus convergent laser beam shows a, (b) is a diagram showing a configuration of a glass fusing device.

【0159】(a)に示すように、一般に、凸レンズ等の集光部材401を用いて平行レーザ光を収束させた場合、 [0159] (a), the In general, when it converges the collimated laser beam by using a condensing member 401 of convex lens or the like,
その収束レーザ光402は、集光部材401の加工精度上、焦点において理論通りに完全に収束することはなく、焦点においてなにがしかの径を有し、かつ焦点の前後に渡る部分に略一定径の部分、換言すれば略平行光の部分400 Its focused laser beam 402, the processing accuracy of the condensing member 401 is not able to fully converged to theoretically predicted in focus, have anything in the land of expecting or diameter at the focal point, and a substantially constant diameter portion across the front and rear of the focal point portion 400 of the portion, of the substantially parallel light in other words
が生じる。 It occurs. 従って、この略平行光の部分400に被照射体4 Therefore, the irradiated body portion 400 of the substantially parallel light 4
05が位置するようにして収束レーザ光402を照射した場合、該略平行光の部分400の長さが照射距離の変動幅に比べて長い(焦点の深度が照射距離の変動幅に比べて深い)場合は、照射距離が変動しても被照射体405上のスポット径がほとんど変化しない。 If 05 is irradiated with focused laser beam 402 so as to be positioned, the depth of the long (focus as compared with the variation width of the length irradiation distance portion 400 of the symbolic parallel light deeper than the fluctuation range of the irradiation distance ), then the spot diameter on the irradiated body 405 is hardly changed even if the irradiation distance is changed. ここで、本実施の形態において、照射距離とは、集光部材401と被照射体405との距離をいい、照射距離の変動とは、集光部材401と被照射体405との光軸方向の相対的位置決め誤差による変動をいう。 Here, in the present embodiment, the irradiation distance means a distance between the condensing member 401 and the irradiation object 405, and the variation in irradiation distance, the optical axis direction between the condensing member 401 and the object to be irradiated 405 It refers to the variation due to the relative positioning error. よって、この収束レーザ光402のこの略平行光の部分400は、図27〜図35で述べた略平行レーザ光と同様に用いることができ、同様の効果を得ることができる。 Thus, the substantially parallel light portion 400 of the focused laser beam 402 can be used similarly to the substantially parallel laser beam as described in FIGS. 27 to 35, it is possible to obtain the same effect. その上、図28、図29に示す、複数のレンズあるいは反射鏡からなるコリメーションを使用することなく、レーザ発振器から送出される略平行レーザ光から、1つの集光部材401で所望の径の略平行光の部分を得ることができる。 Moreover, FIG. 28, FIG. 29, without the use of collimation composed of a plurality of lens or reflector, substantially from a substantially collimated laser beam, having a desired diameter in a single light collecting member 401 sent from a laser oscillator it can be obtained portions of the collimated light. そのため、融着ガラスの製造装置の構成を簡素化することができる。 Therefore, it is possible to simplify the structure of the apparatus for manufacturing a fused glass.

【0160】また、図示するように、収束レーザ光402 [0160] Also, as illustrated, focused laser beam 402
の略平行光の部分400の前後の部分も収束の度合い(収束レーザ光402の外周面の光軸に対する傾斜)が緩くなる。 Also the degree of convergence (inclination with respect to the optical axis of the outer peripheral surface of the focused laser beam 402) is loose parts before and after the portion 400 of the substantially parallel light. この収束の度合いが緩くなる部分に被照射体405が位置するようにして収束レーザ光402を照射した場合、 If the irradiation object 405 is irradiated with focused laser beam 402 so as to be positioned in a portion degree of convergence becomes loose,
照射距離が変動すると、上記収束の度合いの分だけ被照射体405上のスポット径が変動する。 When the irradiation distance varies, an amount corresponding spot diameter on the irradiated body 405 of the degree of the convergence is varied. スポット径が変動すると被照射体たるガラス片に融着のために供給する熱量が変動するが、この熱量の変動は一定の範囲内で許容され得る。 Although heat supplied for fusing the spot diameter varies the irradiated body serving glass pieces varies, variations in the amount of heat can be tolerated within a certain range. よって、この収束の度合いが緩くなる部分も、上記略平行光の部分400の両端から一定の範囲内でガラス片の融着に用いることができる。 Therefore, portions the degree of convergence becomes loose, can be used in the fusion of glass pieces in the range from both ends of the fixed portion 400 of the substantially parallel light. そして、この収束の度合いが緩くなる部分をもガラス片の融着に用いることにより、照射距離を変えるだけで、被照射体405上のスポット径を一定範囲内で所望の径に変えることができる。 Then, by using the fusion of glass pieces even portions the degree of convergence becomes loose, merely by changing the irradiation distance can be varied to a desired diameter the spot diameter on the irradiated body 405 within a predetermined range . よって、スポット径を変えるのに、集光部材401 Therefore, to change the spot diameter, light collecting member 401
を交換する必要がなく、スポット径を変えるのが容易となる。 It is not necessary to replace the, it is easy to change the spot diameter.

【0161】ところで、図から分かるように、収束レーザ光402の略平行光の部分400の長さは、該収束レーザ光 [0161] Incidentally, as can be seen from the figure, the length of the substantially parallel light portion 400 of the focused laser beam 402, the focused laser beam
402の収束の度合いが急である程短くなり、緩やかである程長くなる。 The degree of convergence of the 402 is short enough is steeper, longer enough it is gradual. 略平行光の部分400の両側に位置する上記収束の度合いが緩くなる部分の長さも同様である。 Length of approximately the degree of the convergence located on both sides of the portion 400 of the parallel light loose parts is similar. そして、収束レーザ光402の収束の度合いは、集光部材401 Then, the degree of convergence of the focused laser beam 402 is focused member 401
の焦点距離が短い程急になり、長い程緩やかになる。 The focal length is about become a sudden short, it becomes gentle as long. なお、焦点の深さは、焦点距離が長い程深くなり、短い程浅くなる。 The depth of focus becomes deeper the longer focal length, the shallower the shorter.

【0162】そして、極端に焦点距離が長くなって、収束レーザ光402の収束の度合いが極端に緩くなると、該収束レーザ光402の、上記の略平行光の部分及び収束の度合いが緩くなる部分以外の部分であっても、照射距離の変動幅内においては略平行光とみなすことができる。 [0162] Then, extremely focal length becomes long and the degree of convergence of the focused laser beam 402 is extremely loose, of the focused laser beam 402, the portion portion and the degree of convergence of the substantially parallel light of the above loose it is part other than can be regarded as substantially parallel light within the fluctuation range of the irradiation distance.
よって、このような場合には、収束レーザ光402の全ての部分をガラス片の融着に用いることができ、被照射体 Therefore, in such a case, all parts of the focused laser beam 402 can be used for fusion of the glass piece, the irradiated object
405上のスポット径を変えるのがより容易となる。 Change the spot diameter on 405 becomes easier.

【0163】次ぎに、集光部材401の焦点距離の好ましい範囲を具体的に説明する。 [0163] Next will be specifically described the preferred range of the focal length of the condenser member 401. レーザ加工に通常用いられる集光レンズ(以下、短焦点レンズという)は、焦点距離が5インチ(約12.5cm)、又は7.5インチ(約18.5c Laser processing commonly used are condensing lens (hereinafter, referred to as a short-focus lens), the focal length of 5 inches (about 12.5 cm), or 7.5 inches (about 18.5c
m)であり、約18mm径の略平行レーザ光を入射させて得られる収束レーザ光402は、略平行光の部分400の径が約 A m), focused laser beam 402 obtained substantially is incident parallel laser beam of approximately 18mm diameter, the diameter of the portion 400 of the substantially parallel light is about
0.1mmとなり、実用上、完全に収束するものとみなすことができる。 0.1mm, and the practical use, it can be regarded as a fully converged. また、該略平行光の部分400の長さは約1m The length of the portion 400 of the symbolic parallel light approximately 1m
m であり、これに対し、後述するガラス融着装置の照射距離の変動幅は約1mmである。 M, and contrast, the fluctuation range of the irradiation distance glass fusing apparatus described later is about 1 mm. 従って、この場合における収束レーザ光402の略平行光の部分400をガラス片の融着に用いると、照射距離の変動によってスポット径が許容限度を超えて変化してしまい、融着不良を生じる場合がある。 Therefore, the use of substantially parallel light portion 400 of the focused laser beam 402 in this case fusion of glass pieces, will change the spot diameter exceeds the allowable limits by variation of the irradiation distance, if the resulting fusion failure there is. よって、短焦点レンズによる収束レーザ光の略平行光の部分400をガラス片の融着に用いることはできない。 Therefore, it is not possible to use the substantially parallel light portion 400 of the focused laser beam due to the short focal length lens in fusion of glass pieces.

【0164】一方、一般の集光レンズのうちには、焦点深度が深い長焦点レンズと呼ばれるものがある。 [0164] On the other hand, within the general condenser lens, there is the depth of focus called deep long focus lens. この長焦点レンズは、本実施の形態においては、後述する使用上の理由により焦点距離が1m 以上のものを用いており、約18mm径の略平行レーザ光を入射させて得られる収束レーザ光402は、略平行光の部分400の径が、例えば焦点距離が1.5mの場合に約3mm、焦点距離が2.5mの場合に約5mmである。 The long focal lens, in the present embodiment, the focal length reasons used to be described later is used much more than 1 m, approximately 18mm diameter substantially parallel laser beam focused laser obtained by the incidence of light 402 the diameter of the portion 400 of the substantially parallel light, for example, about 3mm when the focal length of 1.5 m, a focal length of about 5mm in the case of 2.5 m. また、略平行光の部分400の長さは焦点距離が1.5mの場合に約250mmであり、焦点距離が2.5mの場合にはそれより若干長くなる。 Further, the length of the portion 400 of the substantially parallel light is about 250mm when the focal length of 1.5 m, slightly longer than when the focal length of 2.5 m. ここで、焦点距離が1. Here, the focal length 1.
5mである場合を例にとると、略平行光の部分400の長さは約250mmであり、これはガラス融着装置の照射距離の変動幅約1mmに比べて十分に長い。 Taking the case of 5m example, the length of the portion 400 of the substantially parallel light is about 250 mm, which is sufficiently longer than the fluctuation width of about 1mm of irradiation distance of glass fuser. よって、この場合における略平行光の部分400をガラス片の融着に、相当余裕を持って用いることができる。 Thus, the portion 400 of the substantially parallel light in this case fused piece of glass can be used with a considerable margin. もちろん、焦点距離が Of course, the focal length
1.5m以上である場合に略平行光の部分400をガラス片の融着に用いることができるのは言うまでもない。 Needless to say the portion 400 of the substantially parallel light can be used for the fusion of glass pieces when it is 1.5m or more. また、 Also,
焦点距離が1.5mである場合における略平行光の部分400 Portion of the substantially parallel light in the case where the focal length is 1.5 m 400
の長さが照射距離の変動幅に比べて十分に長いことから、焦点距離が1mの場合はもちろん、焦点距離が1mより相当短い場合であっても、略平行光の部分400をガラス片の融着に用いることができるのは明らかである。 From the length of the is sufficiently longer than the fluctuation range of the irradiation distance, if the focal length of 1m course, the focal length even when considerable shorter than 1m, the substantially parallel light portion 400 of the glass pieces it is clear can be used for fusion.

【0165】また、収束の度合いが緩い部分の範囲は、 [0165] In addition, the range degree of loose part of the convergence,
焦点距離が1.5m〜2.5mの場合は、略平行光の部分400の両端から、収束レーザ光402の径が長焦点レンズ401に入射する略平行レーザ光の径の約2/3の径(ここでは約 If the focal length of 1.5M~2.5M, from both ends of the portion 400 of the substantially parallel light, about two-thirds the diameter of the diameter of the substantially parallel laser beam diameter of the focused laser beam 402 is incident on the long focal length lens 401 ( here about the
12mm)となる部分に至るまでの範囲である。 It ranges up to the portion to be 12 mm).

【0166】さらに、焦点距離が極端に長い場合の例として、焦点距離が10mの場合、略平行光の部分400の径は [0166] Further, examples of cases is extremely long focal length, when the focal length of 10 m, the diameter of the portion 400 of the substantially parallel light
15mmを超える値であり、その長さは5m〜6mである。 Is a value greater than 15 mm, its length is 5M~6m. そして、この場合は、収束レーザ光402の全範囲をガラス片の融着に用いることができる。 In this instance, the full range of focused laser beam 402 can be used for fusion of the glass piece.

【0167】よって、本実施の形態では、集光部材401 [0167] Thus, in this embodiment, the light collecting member 401
の焦点距離の好ましい範囲を、少なくとも1m以上としている。 The preferred range of the focal length of, and at least 1m or more.

【0168】なお、略平行レーザ光からこのような収束レーザ光402を得るには、長焦点レンズ401に限らず、例えば放物面鏡を用いてもよい。 [0168] Note that substantially the collimated laser beam to obtain such a focused laser beam 402 is not limited to the long focus lens 401 may be used, for example parabolic mirror. また、略平行レーザ光を焦点深度の深い収束レーザ光に変換可能な形状を有する非球曲面鏡等を用いてもよい。 It may also be used non-spherical curved mirror or the like having a substantially convertible parallel laser beam into a deep focused laser beam depth of focus shape.

【0169】次ぎに、ガラス融着装置を説明する。 [0169] The following is a description of glass fusing apparatus. (b) (B)
に示すように、本実施の形態におけるガラス融着装置は、加工ヘッド208内に(a)で述べた長焦点レンズ401が配設されている。 As shown, the glass fusing device in this embodiment, the long-focus lens 401 is arranged as described in (a) in the processing head 208. また、作業テーブル203は、ガラス板 Also, the work table 203, a glass plate
A,Bを予熱/徐冷するための加熱炉403中に配設され、作業テーブル203上に載置されたガラス板A,Bに対し、加熱炉403に設けられた窓404を通して、加工ヘッド208から、(a)で述べた収束レーザ光402を照射できるようになっている。 A, is arranged a B in a heating furnace 403 for preheating / annealing, working table 203 on the placed glass plate A, to B, through a window 404 provided in the heating furnace 403, processing head from 208, which is to be irradiated with a focused laser beam 402 described in (a). このように、加熱炉403の窓404を通してガラス板A,Bに収束レーザ光402を照射することから、加工ヘッド208で中に配設される長焦点レンズ401は、一定以上の長さの焦点距離を有することが必要であり、本実施の形態では、その焦点距離を1m以上としている。 Thus, the glass plate A through the window 404 of the furnace 403, from being irradiated with focused laser beam 402 in B, the long-focus lens 401 which is disposed within the machining head 208, the focal point of a certain or longer distance needs to have, in this embodiment, has a focal length equal to or greater than 1 m. 窓404 Window 404
は、レーザ光を透過可能な仕切板で仕切っても、あるいは仕切板で仕切らずに開放してもよい。 Also partition the laser light transmissible partition plate, or may be opened without partitioned by the partition plate. その他の点は、 In other respects,
図27で述べたガラス融着装置A1と同様である。 It is similar to the glass fuser A1 described in Fig. 27.

【0170】次に、上記のように構成されたガラス融着装置の動作(本実施の形態による融着ガラスの製造方法)を説明する。 [0170] Next, the operation (method for producing fused glass according to the present embodiment) Configuration glass fuser as described above. まず、作業テーブル203上にガラス板 First, a glass plate on the work table 203
A,Bを載置し、加熱炉403を動作させてガラス板を所定条件で予熱する。 A, placing the B, and heating furnace 403 is operated to preheat the glass plate at a predetermined condition. 次いで、加工ヘッド208を水平移動させるとともに、作業テーブル203をガラス板A,Bの辺毎に回転させながら収束レーザ光402をガラス板A,Bの周縁部に照射する。 Then, the machining head 208 together moved horizontally, illuminates the work table 203 glass plate A, the focused laser beam 402 while rotating each side of the B glass plate A, the peripheral portion of the B. この照射の際、ガラス板A,Bの被照射部分が収束レーザ光402の略平行光の部分400の略中央に位置するよう加工ヘッド208の位置を制御する。 During this irradiation, to control the position of the machining head 208 to the glass plate A, the irradiated portion of the B located substantially at the center of the substantially parallel light portion 400 of the focused laser beam 402. これにより、 As a result,
ガラス板A,Bの周縁部が融着される。 Glass plate A, the periphery of B are fused. 次いで、加熱炉403 Then, the heating furnace 403
の温度を調整してガラス板A,Bを所定条件で徐冷する。 Glass plate A the temperature adjusted to, gradually cooled to B at a predetermined condition.
ここで、加工ヘッド208の移動の際に収束レーザ光402の光軸方向にブレを生じて、ガラス板A,Bとの距離が変動したとしても、収束レーザ光402の略平行光の部分400の径が略一定であるので、ガラス板A,Bの融着箇所におけるスポット径は一定に保たれ、融着不良が発生するのが防止される。 Here, it caused blurring in the optical axis direction of the focused laser beam 402 during the movement of the processing head 208, the glass plate A, even as the distance between B fluctuates, part 400 of the substantially parallel light of the focused laser beam 402 the diameter of is approximately constant, the spot diameter at the fused portion of the glass plate a, B is kept constant, thereby preventing the fusing failure. また、ワークたるガラス板A,Bが別の品番のものに切り替わって、スポット径を変更する必要が生じた場合でも、加工ヘッド208の設定を変更して照射距離を変えるだけでスポット径を容易に変更することができる。 Further, switches to one workpiece serving glass plate A, B has a different number, even if the need to change the spot diameter caused, facilitating a spot diameter only by changing the settings of the processing head 208 change the irradiation distance it can be changed to.

【0171】 [0171]

【発明の効果】本発明は、以上に説明したような形態で実施され、以下に記載されるような効果を奏する。 The present invention according to the present invention is carried out in the form as described above, an effect as described below. (1)融着前に予熱を行い、融着後に徐冷を行うようにすると、融着されるガラス内部において急激な温度勾配を生ぜしめることなく、クラックや割れを生じにくくできる。 (1) perform preheating before welding and to perform slow cooling after fusion, without causing a steep temperature gradient in the glass inside are fused, it can hardly crack and breakage. そして、このようにして製造された融着ガラスは、融着前のガラス片の状態から、融着後の融着ガラスとして形成されるに至るまで、ガラスの内部に大きな温度勾配を経験せずに済むので、内部に微細なクラックもあまり生じておらず、室温にまで冷却された状態にあっても、残留応力は極めて小さい。 The thus fused glass produced by from the state of the glass piece front fusing, up to be formed as a fused glass after fusion, without experiencing large temperature gradient inside the glass since unnecessary to, inside also not much caused minute cracks, even in a state of being cooled to room temperature, the residual stress is extremely small. よって、外力に対する強度低下は生じない。 Therefore, there is no strength reduction relative to the external force. (2)予熱の加熱範囲を融着の加熱範囲よりも広くし、 (2) the heating range of the preheating wider than the heating range of fusion,
かつ、徐冷の加熱範囲を融着の加熱範囲よりも広くすると、融着箇所の周辺がより広く十分に温められるので、 And, when wider than the heating range of the fusing heat range of slow cooling, the periphery of the fused portion is warmed wider enough,
ガラス内での温度勾配がさらに小さくなり、クラックや割れを生じにくくできる。 Temperature gradient in the glass becomes even smaller, it can hardly crack and breakage. (3)ガラス材料を供給するガラス供給装置を具備するように構成すると、供給されたガラス材料が、融着箇所近傍の温度勾配を緩和し、さらにクラックや割れを生じにくくできる。 (3) When configured to include a glass supply device for supplying a glass material, a glass material is supplied, to mitigate the temperature gradients in the vicinity of the fusion portion can be further hardly crack and breakage. (4)光照射装置が予熱手段と融着手段と徐冷手段とを備えるように構成すると、予熱、融着、徐冷という3つの連続した過程を、光照射装置の照射部をテーブルに対して相対的に移動させながら一度に実行できるので、加工時間を著しく短縮できる。 (4) When the light irradiation device is configured to include a preheating means and welding means and slow cooling means, preheating, fusing, three consecutive processes that slow cooling to a table irradiation portion of the light irradiation device because can run at a time while relatively moving Te, it can significantly shorten the machining time. (5)予熱手段の照射箇所と融着手段の照射箇所と徐冷手段の照射箇所とが曲線上に並ぶように調整可能に構成すると、融着すべき箇所が曲線状である場合に良好に対応できる。 (5) When the irradiation position of the irradiation point and slow cooling means irradiation position and fusing means of the preheating means is adjustably configured so as to be aligned on a curve, good if portions to be welded are curved It can cope. (6)融着すべき箇所にアシストガスを噴射するようにすると融着不良を防止でき、さらにこのアシストガスを噴射前に加熱するようにすると、アシストガスの噴射によってガラス片が急冷されることが防止されて割れやクラックを防止できる。 (6) so as to inject the assist gas to the portion to be fused can prevent fusion defects, further when to heat the assist gas before injection, the glass pieces are rapidly cooled by the injection of assist gas There cracking and cracks can be prevented is prevented. (7)セラミックス、陶器、磁器 または レンガからなる載置台を用いると、ガラス片からの熱の放出がこの載置台に妨げられ、ガラス片の内部において温度勾配が生じにくくなり、割れやクラックを防止できる。 (7) ceramic, pottery, the use of the mounting table made of porcelain or bricks, the release of heat from the glass piece is prevented in this table, it the temperature gradient is less likely to occur in the interior of the glass pieces, preventing cracking and cracks it can. 特に、載置台を加熱する載置台加熱手段を用いると、この効果はさらに顕著となる。 In particular, the use of the mounting table heating means for heating the mounting table, this effect becomes more pronounced. (8)略平行レーザ光を用いて融着ガラスを製造すると、ガラス片の融着箇所に生じるレーザ光による照射部分の形状が一定に保たれるため、融着不良が低減される。 (8) When manufacturing a fused glass with a substantially parallel laser beam, the shape of the portion irradiated by the laser light generated in the fusion portion of the glass piece is kept constant, fusion defects can be reduced. よって、製造された融着ガラスは、融着品質が一定し、設計通りの融着強度が得られる。 Therefore, fused glass produced is constant fusing quality, fusion strength as designed is obtained. (9)焦点深度が照射距離の変動幅に比べて深い収束レーザ光を用いて融着ガラスを製造すると、ガラス片の融着箇所に生じるレーザ光による照射部分の径が略一定に保たれるため、融着不良が低減される。 (9) If the depth of focus is to produce the fused glass with a deep focused laser beam as compared with the variation range of the irradiation distance is kept diameter of the irradiated part by the laser light generated in the fusion portion of the glass piece is substantially constant Therefore, fusion defects can be reduced. よって、製造された融着ガラスは、融着品質が一定し、設計通りの融着強度が得られる。 Therefore, fused glass produced is constant fusing quality, fusion strength as designed is obtained. また、融着ガラスの製造装置の構成を簡素化することができ、さらに、容易に照射部分の径を変えることができる。 Further, it is possible to simplify the configuration of the apparatus for manufacturing a fused glass, further, it is possible to change the diameter of the easily irradiated portion.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】ガラス融着装置の斜観図である。 FIG. 1 is a perspective view diagram of the glass fuser.

【図2】2枚のガラス板の斜観図である。 FIG. 2 is a perspective view diagram of the two glass plates.

【図3】ガラス板の側面図をトーチヘッドと共に示した図である。 3 is a diagram showing a side view of a glass plate with a torch head.

【図4】ガラス板の平面図をトーチヘッドと共に示した図である。 [4] a plan view of the glass plate is a diagram showing along with the torch head.

【図5】レーザー発振器の出力状態を時間の経過とともに示す図である。 5 is a diagram illustrating Over the output state of the laser oscillator time.

【図6】融着ガラスの断面図である。 6 is a cross-sectional view of a fused glass.

【図7】トーチヘッドの断面図をテーブル、ガラス板とともに示した図である。 7 is a diagram showing a cross-sectional view of a torch head table, together with the glass plate.

【図8】トーチヘッドの断面図をテーブル、ガラス板とともに示した図であり、(a)は予熱過程を、(b)は融着過程を、(c)は徐冷過程を示す図である。 8 is a view showing a cross-sectional view of a torch head table with a glass plate, (a) shows preheating process, the (b) is fused process is a diagram showing the (c) slow cooling process .

【図9】トーチヘッドの断面図をテーブル、ガラス板とともに示した図である。 9 is a diagram showing a cross-sectional view of a torch head table, together with the glass plate.

【図10】トーチヘッドの断面図をテーブル、ガラス板とともに示した図であり、(a)は予熱過程を、(b)は融着過程を、(c)は徐冷過程を示す図である。 [Figure 10] is a view showing a cross-sectional view of a torch head table with a glass plate, (a) shows preheating process, the (b) is fused process is a diagram showing the (c) slow cooling process .

【図11】トーチヘッドの断面図をテーブル、ガラス板とともに示した図である。 11 is a diagram showing a cross-sectional view of a torch head table, together with the glass plate.

【図12】トーチヘッドの断面図をテーブル、ガラス板とともに示した図である。 Figure 12 is a sectional view of a torch head table illustrates with glass plate.

【図13】トーチヘッドの構造を示す図であり、(a)はトーチヘッドの断面図をテーブル、ガラス板とともに示した図であり、(b)は対物レンズの斜観図であり、(c)はガラス板の平面図とともに照射光のスポットを示した図である。 [Figure 13] is a diagram showing a structure of a torch head, (a) is a diagram showing a cross-sectional view of a torch head table with a glass plate, (b) is a perspective view showing the objective lens, (c ) is a diagram showing a spot of the irradiation light with a plan view of the glass plate.

【図14】ガラス板の平面図とともに照射光のスポットを示した図である。 14 is a diagram showing a spot of the irradiation light with a plan view of the glass plate.

【図15】光源としてランプを用いた場合の、照射光の分岐方法の一例を示す図である。 [15] in the case of using the lamp as a light source, a diagram illustrating an example of a branch process of irradiating light.

【図16】ガラス供給装置を説明するための図であり、 [Figure 16] is a diagram for explaining the glass feeder,
(a)はテーブル、ガラス板、トーチヘッドの側面図とともに、ガラス供給装置の断面図を示した図であり、(b) (A) is a table, a glass plate, along with a side view of the torch head, and a view showing a cross-sectional view of the glass feeder, (b)
は融着後のガラス板の状態を示した側面図である。 Is a side view showing a state of the glass plate after welding.

【図17】特殊な断面形状のガラス板を説明するための図であり、(a)はテーブル、ガラス板、トーチヘッドの側面図を示した図であり、(b)は融着後のガラス板の状態を示した側面図である。 [Figure 17] is a diagram for explaining the glass plate of a special cross-sectional shape, (a) is a diagram showing a table, a glass plate, a side view of the torch head, (b) the glass after fusion it is a side view showing a state of the plate.

【図18】特殊な断面形状のガラス板を説明するための図であり、(a)はテーブル、ガラス板、トーチヘッドの側面図を示した図であり、(b)は融着後のガラス板の状態を示した側面図である。 [Figure 18] is a diagram for explaining the glass plate of a special cross-sectional shape, (a) is a diagram showing a table, a glass plate, a side view of the torch head, (b) the glass after fusion it is a side view showing a state of the plate.

【図19】特殊な断面形状のガラス板を説明するための図であり、(a)はテーブル、ガラス板、トーチヘッドの側面図を示した図であり、(b)は融着後のガラス板の状態を示した側面図である。 [Figure 19] is a diagram for explaining the glass plate of a special cross-sectional shape, (a) is a diagram showing a table, a glass plate, a side view of the torch head, (b) the glass after fusion it is a side view showing a state of the plate.

【図20】予熱過程と徐冷過程においては火炎照射装置を用い、融着過程においてはレーザ光照射装置を用いるガラス融着装置を説明するための図であり、(a)は予熱過程を、(b)は融着過程を、(c)は徐冷過程をそれぞれ示している。 Using a flame irradiation apparatus in FIG. 20 preheating and annealing processes are diagrams for explaining the glass fusing device using a laser beam irradiation device in fusing process, the (a) preheating process, (b) the fusion process, respectively show (c) slow cooling process.

【図21】予熱過程と徐冷過程においては室を用い、融着過程においてはレーザ光照射装置を用いるガラス融着装置を説明するための図であり、(a)は予熱過程を、 Using the chamber in FIG. 21 preheating and annealing processes are diagrams for explaining the glass fusing device using a laser beam irradiation device in fusing process, the (a) preheating process,
(b)は融着過程を、(c)は徐冷過程をそれぞれ示している。 (B) the fusion process, respectively show (c) slow cooling process.

【図22】予熱過程と徐冷過程においては加熱室を用い、融着過程においてはレーザ光照射装置を用いるもう一つのガラス融着装置の構成図である。 [Figure 22] using a heating chamber in the preheating process and annealing process, in the fusion process is a configuration diagram of another glass fusing device using a laser beam irradiation device.

【図23】予熱過程と徐冷過程においては加熱室を用い、融着過程においてはレーザ光照射装置を用いるさらにもう一つのガラス融着装置の構成図である。 [Figure 23] using a heating chamber in the preheating process and annealing process, in the fusion process is a configuration diagram of yet another glass fusing device using a laser beam irradiation device.

【図24】予熱過程と徐冷過程においては加熱室を用い、融着過程においてはレーザ光照射装置を用いるさらにもう一つのガラス融着装置の構成図である。 [Figure 24] using a heating chamber in the preheating process and annealing process, in the fusion process is a configuration diagram of yet another glass fusing device using a laser beam irradiation device.

【図25】ガラス板の融着すべき箇所にアシストガスを噴射するためのガス噴射装置の構成を示す図であり、 [Figure 25] is a diagram showing a configuration of a gas injection device for injecting an assist gas to the portion to be welded of the glass plate,
(a)はガス噴射装置を組み込んだトーチヘッドの縦断面図であり、(b)はアシストガスを加熱するためのガス加熱装置の構成図である。 (A) is a longitudinal sectional view of a torch head incorporating a gas injector is a configuration diagram of a gas heating device for heating the (b) is an assist gas.

【図26】ガラス板を載置する載置台を示す縦断面図である。 26 is a longitudinal sectional view showing a mounting table for placing a glass plate.

【図27】ガラス融着装置の構成例を示す模式図である。 27 is a schematic diagram showing a configuration example of a glass fusing device.

【図28】ガラス融着装置のもう一つの構成例を示す模式図である。 FIG. 28 is a schematic diagram showing another configuration example of the glass fuser.

【図29】ガラス融着装置のさらにもう一つの構成例を示す模式図である。 29 is a schematic diagram showing still another configuration example of the glass fuser.

【図30】ガラス融着装置のさらにもう一つの構成例を示す模式図である。 FIG. 30 is a schematic diagram showing still another configuration example of the glass fuser.

【図31】ガラス融着装置のさらにもう一つの例を示す模式図であって、(a)は予熱過程におけるガラス融着装置の構成を示す図、(b)は融着過程におけるガラス融着装置の構成を示す図、(c)は徐冷過程におけるガラス融着装置の構成を示す図である。 [Figure 31] A schematic diagram showing still another example of the glass fuser, (a) illustrates a configuration of a glass fusing device in the preheating process, (b) a glass fusion in the fusion process It shows a structure of an apparatus is a diagram showing a configuration of a glass fusing device in (c) slow cooling process.

【図32】ガラス融着装置のさらにもう一つの例を示す模式図である。 FIG. 32 is a schematic diagram showing still another example of the glass fuser.

【図33】ガラス融着装置のさらにもう一つの例を示す模式図であり、(a)はワークに略平行レーザ光を照射した状態を模式的に示す斜視図、(b)は(a)のX−X線矢視断面図である。 Figure 33 is a schematic diagram showing still another example of the glass fuser, (a) a perspective view showing a state of irradiating the substantially parallel laser beam on the workpiece schematically, the (b) is (a) it is X-X in sectional view taken along line of.

【図34】2枚のガラス板の周縁部同士を、図1に示すガラス融着装置と同様の構成を有するガラス融着装置を用い、略平行レーザ光を照射することによって融着加工したガラス加工品(融着ガラス)を示す図であって、 [Figure 34] of the two glass plates the peripheral edge portions, using a glass fusing device having the same configuration as the glass fusing apparatus shown in FIG. 1, and fused processed by irradiating substantially parallel laser beam Glass a diagram showing a workpiece (fused glass),
(a)は写真、(b)は(a)の写真をスケッチした図である。 (A) photo, (b) is a diagram sketched pictures of (a).

【図35】図8(a)のガラス加工品を長手方向中央付近で幅方向に破断した状態を示す図であって、(a)は写真、(b)は(a)の写真をスケッチした図である。 [Figure 35] A diagram showing a state where the glass workpiece was broken in the longitudinal direction near the center in the width direction in FIG. 8 (a), (a) photo, (b) is sketched pictures of (a) it is a diagram.

【図36】焦点深度の深い収束レーザ光を用いたガラス融着装置、及び融着ガラスの製造方法を模式的に示す図であって、(a)は焦点深度の深い収束レーザ光を示す図、(b)はガラス融着装置の構成を示す図である。 [Figure 36] glass fusing apparatus using a deep focused laser beam depth of focus, and a diagram schematically showing a manufacturing method of the fused glass, (a) shows the diagram showing a deep focused laser beam depth of focus , (b) is a diagram showing a configuration of a glass fusing device.

【図37】広いスポット径を得る他の方法を示す図であって、(a)は収束レーザ光の焦点より後の部分を用いる場合を示す模式図、(b)は凹レンズによる発散レーザ光を用いる場合を示す模式図である。 [Figure 37] A diagram showing another method of obtaining a wide spot diameter, (a) shows the schematic diagram showing the case of using a part after the focal point of the focused laser beam, a divergent laser light by (b) is concave it is a schematic diagram showing a case of using.

【図38】2枚のガラス板の周縁部分同士を、従来のレーザ加工機で融着する場合の加工状態を説明するための図であって、(a)は加工状態を示す斜視図、(b)はレーザ加工機におけるレーザ光のワーク上のスポット径の調整方法を示す模式図である。 [38] The peripheral edge portion between the two glass plates, a diagram for explaining a processing state when fused with conventional laser processing machine, (a) is a perspective view showing a working state, ( b) is a schematic diagram showing a method of adjusting the spot diameter on the laser beam work for a laser beam machine.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

A0,A1,A2,A3,A4,A5,A6,A7 ガラス融着装置 A,B,C,D,E ガラス板 C1,D1,E1 突部 D2 スペーサ部 2 基台 3 テーブル 4 枠体 5 摺動体 6 昇降体 7 旋回体 8 トーチヘッド 10 レーザー発振器 11a,11b 案内筒 12 対物レンズ 13,14 ミラー 18 トーチヘッド 20 ミラー 21,22 ハーフミラー 23 ミラー 24,25,26 対物レンズ 27,28,29 照射光 31,32 プリズム 33,34,35 ミラー 36 対物レンズ 37,38,39 照射光 40 対物レンズ 41 円形状スポット照射光 42 環状スポット照射光 47,48,49 照射光 50 ランプ 51 紫外線 52 赤外線 53 対物レンズ 58 トーチヘッド 59 ガラス供給装置 60 ガラスファイバー 80 照射光 112 対物レンズ 118,128 トーチヘッド 131,132 室 133,134,135,136 加熱室 140 透過窓 150 ベルトコンベア 160 管 170 載置台 180 照射光 190 火炎 201 レーザ光照射装置 202 レーザ発振器 203 作業テーブル 206 予熱室 207 徐冷 A0, A1, A2, A3, A4, A5, A6, A7 glass fuser A, B, C, D, E glass plates C1, D1, E1 projections D2 spacer 2 base plate 3 Table 4 frame 5 sliding body 6 vertically movable body 7 swirler 8 torch head 10 laser oscillator 11a, 11b guide cylinder 12 the objective lens 13, 14 the mirror 18 the torch head 20 mirrors 21, 22 a half mirror 23-mirror 24, 25 the objective lens 27, 28, 29 irradiated light 31 and 32 the prism 33, 34, 35, a mirror 36 objective lens 37, 38, 39 irradiated light 40 objective lens 41 circular spot irradiation light 42 annular spot irradiation light 47, 48, 49, the irradiation light 50 lamp 51 UV 52 IR 53 objective lens 58 torch head 59 glass supply device 60 glass fiber 80 irradiates light 112 objective lens 118, 128 torch head 131 rooms 133,134,135,136 heating chamber 140 transparent window 150 belt conveyor 160 tube 170 mounting base 180 irradiated light 190 flame 201 laser beam irradiation apparatus 202 laser oscillator 203 work table 206 preheating chamber 207 slow cooling 208 加工ヘッド 210 コリメータレンズ 210a 第1の凸レンズ 210b 第2の凸レンズ 211 コリメーション 212 アパーチャ 213 予熱装置 214 徐冷装置 215 ベルトコンベア 216 低融点ガラス 217 配線 221a 凹面鏡 221b 凸面鏡 400 略平行光の部分 410 長焦点レンズ 402 焦点距離が深い収束レーザ光 403 加熱炉 404 窓 405 被照射体 411 凹レンズ 208 processing head 210 collimator lens 210a first convex lens 210b second convex lens 211 collimating 212 aperture 213 preheater 214 slow cooling device 215 belt conveyor 216 low-melting glass 217 wires 221a concave 221b convex mirror 400 substantially parallel light portion 410 length lens 402 focal deep focused laser beam 403 heating furnace 404 window 405 irradiated body 411 concave

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 近藤 隆彦 兵庫県西宮市田近野町6番107号 新明和 工業株式会社開発センタ内 (72)発明者 細谷 高司 兵庫県西宮市田近野町6番107号 新明和 工業株式会社開発センタ内 (72)発明者 岩崎 安邦 兵庫県西宮市田近野町6番107号 新明和 工業株式会社開発センタ内 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Takahiko Kondo Nishinomiya, Hyogo Prefecture Tajikano-cho, No. 6 107 No. ShinMaywa industrial Co., Ltd. development in the center (72) inventor Takashi Hosoya Nishinomiya, Hyogo Prefecture Tajikano-cho, No. 6 107 No. ShinMaywa industrial Co., Ltd. development in the center (72) inventor Iwasaki AnKuni Nishinomiya, Hyogo Prefecture Tajikano-cho, No. 6 107 No. ShinMaywa industrial Co., Ltd. development in the center

Claims (66)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 2のガラス片の接触又は近接する箇所に光を照射して該箇所を融着するガラス融着方法であって、 光の照射によって該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に加熱する予熱過程と、 該予熱過程の後に、光の照射によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着過程と、 該融着過程の後に、光の照射によって該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に冷却する徐冷過程と、を具備するガラス融着方法。 1. A glass fusing method of fusing the relevant section by irradiating light to the position of contact or proximity of the second glass piece, the relevant section by irradiation of light below the fusion temperature of the glass a preheating step of heating to a temperature, after preheating process, a fusion process of fusing by heating to fusion temperature above the temperature of the glass relevant section by light irradiation, after said fusing step, light glass fusing method comprising the slow cooling process, the cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the relevant section by irradiation.
  2. 【請求項2】 2のガラス片の接触又は近接する箇所を融着するガラス融着方法であって、 該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に予熱する予熱過程と、 該予熱過程の後に、局所的な加熱によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着過程と、 該融着過程の後に、該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に徐冷する徐冷過程と、を具備するガラス融着方法。 2. A glass fusing method for fusing the contact or proximity to point 2 of the glass piece, and preheating process for preheating the relevant section to a temperature below the fusion temperature of the glass, the preheating process later, local and welding process of fusing by heating to fusion temperature above the temperature of the glass relevant section by heating, after said fusing step, the fusion temperature of the glass while heating the relevant section glass fusing method comprising the slow cooling process, a slow cooling to below the temperature.
  3. 【請求項3】 該融着過程において、光の照射によって該箇所を局所的に加熱する、請求項2記載のガラス融着方法。 3. A said fusing process, locally heating the relevant section irradiated with light, the glass fusing method of claim 2 wherein.
  4. 【請求項4】 該光がレーザ光である、請求項1又は3 4. A light is a laser beam, according to claim 1 or 3
    記載のガラス融着方法。 Glass fusing method described.
  5. 【請求項5】 予熱過程における加熱範囲が融着過程における加熱範囲よりも広く、かつ、徐冷過程における加熱範囲が融着過程における加熱範囲よりも広い、請求項1〜4のいずれか1項に記載のガラス融着方法。 5. The heating range in the preheating process is wider than the heating range in the fusing process, and the heating range in the slow cooling process is wider than the heating range in the fusing process, any one of claims 1-4 glass fusing method according to.
  6. 【請求項6】 該融着過程において、該箇所にアシストガスを噴射しつつ該箇所を加熱する、請求項1〜5のいずれか1項に記載のガラス融着方法。 6. The said fusing step, to heat the relevant section while ejecting an assist gas to the relevant section, glass fusing method according to any one of claims 1 to 5.
  7. 【請求項7】 該箇所に噴射する前に該アシストガスを加熱する、請求項6記載のガラス融着方法。 7. heating the assist gas before injecting the relevant section, glass fusing method of claim 6 wherein.
  8. 【請求項8】 該2のガラス片をセラミックス、陶器、 8. ceramic glass pieces of the 2, pottery,
    磁器 または レンガからなる載置台に載置した状態で、 While mounted on the mounting table made of porcelain or bricks,
    該融着過程を実行する、請求項1〜7のいずれか1項に記載のガラス融着方法。 Executes said fusing process, the glass fusing method according to any one of claims 1 to 7.
  9. 【請求項9】 2のガラス片の接触又は近接する箇所に光を照射して該箇所を融着するガラス融着装置であって、 光照射装置と、該光照射装置の照射光による該箇所の加熱レベルを調整する制御手段とを有し、 該制御手段は、該光照射装置の照射光によって該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に予熱し、その後、該加熱レベルの変更によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着し、その後、該加熱レベルの変更によって該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に徐冷する、ガラス融着装置。 9. A glass fusing device for fusing the relevant section by irradiating light to the contact or close proximity to parts of 2 pieces of glass, a light irradiation device, relevant section by irradiation light of the light irradiation device and control means for adjusting the level of heating, the control means, and preheating the relevant section to a temperature below the fusion temperature of the glass by the irradiation light of the light irradiation device, then, by changing the heating level the relevant section fused by heating to fusion temperature above the temperature of the glass, then gradually cooled to a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the relevant section by changing the heating level, glass fusion Chakusochi.
  10. 【請求項10】 該制御手段は、該光照射装置の光源の出力を調整することによって、該加熱レベルを調整する、請求項9記載のガラス融着装置。 10. control means, by adjusting the output of the light source of the optical irradiation apparatus, to adjust the heating level, glass fusing device according to claim 9.
  11. 【請求項11】 該制御手段は、該箇所に対する該照射光の集光状態を調整することによって、該加熱レベルを調整する、請求項9記載のガラス融着装置。 11. control means, by adjusting the condensed state of 該照 Shako against relevant section, to adjust the heating level, glass fusing device according to claim 9.
  12. 【請求項12】 該制御手段による該照射光の集光状態の調整によって、該箇所における該照射光のスポット径を変更することができるように構成された、請求項11 Through the adjustment of focusing state of 該照 Shako by 12. control means, which is configured to be able to change the spot diameter of 該照 Shako in relevant section, claim 11
    記載のガラス融着装置。 Glass fusing device as claimed.
  13. 【請求項13】 該ガラス片を固定するテーブルと、該テーブルと該光照射装置の照射部との距離を変更しうる移動装置とを具備し、 該制御手段は、該移動装置を制御して該テーブルと該照射部との距離を調整することによって、該集光状態を調整する、請求項11又は12記載のガラス融着装置。 13. A table for fixing the glass pieces, comprising a moving device for distance may alter the irradiation portion of the table and the light irradiation device, wherein the control means controls the moving device by adjusting the distance between said table and said irradiation unit, adjusts the light-concentrating state, glass fusing apparatus according to claim 11 or 12, wherein.
  14. 【請求項14】 該光照射装置内において対物レンズを移動させるレンズ移動装置を具備し、 該制御手段は、該レンズ移動装置を制御して該対物レンズを移動させることによって、該集光状態を調整する、 14. comprising a lens moving device for moving the objective lens in the optical irradiation apparatus, the control means, by moving the objective lens by controlling the lens moving device, the light-collection-state adjust,
    請求項11又は12記載のガラス融着装置。 Glass fusing device according to claim 11 or 12, wherein.
  15. 【請求項15】 予熱時における加熱範囲が融着時における加熱範囲よりも広く、かつ、徐冷時における加熱範囲が融着時における加熱範囲よりも広い、請求項9〜1 15. The heating range at the time of preheating is wider than the heating range during welding and heating range at the time of annealing is larger than the heating range during fusing, claim 9-1
    4のいずれか1項に記載のガラス融着装置。 Glass fusing device according to any one of the 4.
  16. 【請求項16】 該光照射装置による照射箇所の近傍にガラス材料を供給するガラス供給装置を具備する、請求項9〜15のいずれか1項に記載のガラス融着装置 16. comprises a glass supply device for supplying a glass material in the vicinity of the irradiated portion by the light irradiation device, a glass fusion device according to any one of claims 9 to 15
  17. 【請求項17】 2のガラス片の接触又は近接する箇所に光を照射して該箇所を融着するガラス融着装置であって、 光照射装置と、該ガラス片を固定するテーブルと、該光照射装置の照射部を該テーブルに対して相対的に移動させる移動装置とを具備し、 該光照射装置は、照射光によって該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に加熱する予熱手段と、照射光によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着手段と、照射光によって該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に冷却する徐冷手段とを備え、 該予熱手段の照射箇所と、該融着手段の照射箇所と、該徐冷手段の照射箇所とが、該融着手段の照射箇所を中心として一列に並ぶ、ガラス融着装置。 17. A glass fusing device for fusing the relevant section by irradiating light to the position of contact or proximity of the two pieces of glass, a light irradiation device, a table for fixing the glass piece, the the irradiation of the light irradiation device comprises a moving device for relatively moving with respect to the table, the light irradiation apparatus, preheating means for heating to a temperature below the fusion temperature of the glass relevant section by irradiating light When cool the relevant section by irradiating light and fusing means for fusing by heating to fusion temperature above the temperature of the glass, at a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the relevant section by irradiating light and a slow cooling unit, the irradiation position of the preheating means, the irradiation position of said fusing means, and the irradiation position of the sustained cold means, arranged in a row around the irradiated portion of said fusing means, a glass melting Chakusochi.
  18. 【請求項18】 該予熱手段の照射箇所と該融着手段の照射箇所と該徐冷手段の照射箇所とが、曲線上に並ぶように調整可能な、請求項17記載のガラス融着装置。 The irradiation position of the irradiated portion and The sustained cold means irradiation position and said fusing means 18. preheating means, adjustable so as to be aligned on the curve, the glass fusing device of claim 17.
  19. 【請求項19】 該光照射装置は光源からの光を分岐させる分岐手段を備え、 該予熱手段の照射光、該融着手段の照射光、該徐冷手段の照射光のうちの少なくとも2の照射光が、該分岐手段によって分岐した光から構成された、請求項17又は1 19. The light irradiation device includes a branch means for branching the light from the light source, the irradiation light of the preheating means, the irradiation light of said fusing means, at least two of the irradiation light The sustained cold means irradiation light is composed of light branched by the branching unit, according to claim 17 or 1
    8記載のガラス融着装置。 8 glass fusing device as claimed.
  20. 【請求項20】 該分岐手段がハーフミラーによって構成された、請求項19記載のガラス融着装置。 20. The branching means is constituted by the half mirror, the glass fusing apparatus of claim 19, wherein.
  21. 【請求項21】 該分岐手段がプリズムによって構成された、請求項19記載のガラス融着装置。 21. The branching means is constituted by a prism, glass fusing apparatus of claim 19, wherein.
  22. 【請求項22】 該分岐手段が、中央部と周辺部とで焦点距離が異なる対物レンズによって構成された、請求項19記載のガラス融着装置。 22. the branch means, the focal length between the center portion and the peripheral portion is constituted by a different objective lenses, glass fusing apparatus of claim 19, wherein.
  23. 【請求項23】 該予熱手段による加熱範囲が該融着手段による加熱範囲よりも広く、かつ、該徐冷手段による加熱範囲が該融着手段による加熱範囲よりも広い、請求項17〜22のいずれか1項に記載のガラス融着装置。 23. The heating range by the preheating means wider than the heating range by the said fusing means, and the heating range by the The sustained cold means is wider than the heating range by the said fusing means, according to claim 17 to 22 glass fusing device according to any one.
  24. 【請求項24】 該融着手段による照射箇所の近傍にガラス材料を供給するガラス供給装置を具備する、請求項17〜23のいずれか1項に記載のガラス融着装置 24. comprises a glass supply device for supplying a glass material in the vicinity of the portion irradiated by said fusing means, a glass fusion device according to any one of claims 17 to 23
  25. 【請求項25】 2のガラス片の接触又は近接する箇所に光を照射して該箇所を融着するガラス融着装置であって、 光照射装置と、該光照射装置の照射箇所の近傍にガラス材料を供給するガラス供給装置とを具備する、ガラス融着装置 25. A glass fusing device for fusing the relevant section by irradiating light to the contact or close proximity to parts of 2 pieces of glass, a light irradiation device, in the vicinity of the irradiation position of the light irradiation device comprising a glass supply device for supplying a glass material, the glass fuser
  26. 【請求項26】 該光がレーザ光であり、該光照射装置がレーザ光照射装置である、請求項9〜25のいずれか1項に記載のガラス融着装置。 26. The light is laser light, the light irradiation apparatus is a laser beam irradiation device, a glass fusion device according to any one of claims 9 to 25.
  27. 【請求項27】 2のガラス片の接触又は近接する箇所を融着するガラス融着装置であって、 該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に予熱する予熱手段と、 該箇所が予熱された後に、局所的な加熱によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着手段と、 該箇所が融着された後に、該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に徐冷する徐冷手段と、を具備するガラス融着装置。 27. A glass fusing device for fusing a portion in contact with or close proximity of the two pieces of glass, a preheating means for preheating the relevant section to a temperature below the fusion temperature of the glass, relevant section is preheated after being, and welding means for welding by heating the relevant section by local heating to fusion temperature above the temperature of the glass, after the relevant section is fused, fused relevant section of the glass glass fusing apparatus comprising a slow cooling means for slow cooling to a temperature below the temperature, the.
  28. 【請求項28】 該融着手段は光の照射によって該箇所を局所的に加熱する、請求項27記載のガラス融着装置。 28. said fusing means locally heating the relevant section by irradiation of light, glass fusing apparatus of claim 27.
  29. 【請求項29】 該融着手段が照射する該光がレーザ光である、請求項28記載のガラス融着装置。 29. The light that said fusing means is irradiated a laser beam, the glass fusing apparatus of claim 28.
  30. 【請求項30】 該予熱手段は光の照射によって該箇所を予熱する、請求項27〜29のいずれか1項に記載のガラス融着装置。 30. A preheating means for preheating the relevant section by irradiation of light, glass fusing device according to any one of claims 27 to 29.
  31. 【請求項31】 該予熱手段が照射する該光がレーザ光である、請求項30記載のガラス融着装置。 31. The light which preheating means is irradiated a laser beam, the glass fusing apparatus of claim 30, wherein.
  32. 【請求項32】 該予熱手段は火炎の照射によって該箇所を予熱する、請求項27〜29のいずれか1項に記載のガラス融着装置。 32. A preheating means for preheating the relevant section by irradiation of the flame, the glass fusing device according to any one of claims 27 to 29.
  33. 【請求項33】 該予熱手段が、該2つのガラス片を収容しうる加熱室である、請求項27〜29のいずれか1 33. preheating means is a heating chamber capable of accommodating the two glass pieces, one of claims 27 to 29 1
    項に記載のガラス融着装置。 Glass fusing apparatus according to claim.
  34. 【請求項34】 該徐冷手段は光の照射によって該箇所を加熱する、請求項27〜33のいずれか1項に記載のガラス融着装置。 34. The sustained cold means for heating the relevant section by irradiation of light, glass fusing device according to any one of claims 27 to 33.
  35. 【請求項35】 該徐冷手段が照射する該光がレーザ光である、請求項34記載のガラス融着装置。 35. A light that The sustained cooling means is irradiated a laser beam, the glass fusing apparatus of claim 34.
  36. 【請求項36】 該徐冷手段は火炎の照射によって該箇所を加熱する、請求項27〜33のいずれか1項に記載のガラス融着装置。 36. The sustained cold means for heating the relevant section by irradiation of the flame, the glass fusing device according to any one of claims 27 to 33.
  37. 【請求項37】 該徐冷手段が、該2つのガラス片を収容しうる加熱室である、請求項27〜33のいずれか1 37. The sustained-cooling means is a heating chamber capable of accommodating the two glass pieces, one of claims 27 to 33 1
    項に記載のガラス融着装置。 Glass fusing apparatus according to claim.
  38. 【請求項38】 該融着手段による加熱箇所の近傍にガラス材料を供給するガラス供給装置を具備する、請求項27〜37のいずれか1項に記載のガラス融着装置。 38. comprises a glass supply device for supplying a glass material in the vicinity of the heating portion by said fusing means, a glass fusion device according to any one of claims 27 to 37.
  39. 【請求項39】 該箇所にアシストガスを噴射しうるガス噴射手段を備えた、請求項9〜38のいずれか1項に記載のガラス融着装置。 39. with a gas injection means capable of injecting an assist gas to the relevant section, glass fusing device according to any one of claims 9-38.
  40. 【請求項40】 2のガラス片の接触又は近接する箇所を、局所的な加熱によって該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着装置であって、 該箇所にアシストガスを噴射しうるガス噴射手段を備えた、ガラス融着装置。 The contact or proximity to point of 40. 2 pieces of glass, a fusing device for fusing by heating to fusion temperature above the temperature of the glass by local heating, the assist gas to relevant section with a gas injection means capable of injecting the glass fuser.
  41. 【請求項41】 該箇所に噴射する前に該アシストガスを加熱するガス加熱手段を備えた、請求項39又は40 41. A comprising a gas heating means for heating the assist gas before injecting the relevant section, claim 39 or 40
    記載のガラス融着装置。 Glass fusing device as claimed.
  42. 【請求項42】 該アシストガスが、酸素、アルゴン、 42. The assist gas, oxygen, argon,
    窒素、ヘリウム または 空気である、請求項39〜41 Nitrogen, helium or air, according to claim 39 to 41
    のいずれか1項に記載のガラス融着装置。 Glass fusing device according to any one of.
  43. 【請求項43】 該2のガラス片を載置するための載置台を備え、該載置台がセラミックス、陶器、磁器 または レンガからなる、請求項9〜42のいずれか1項に記載のガラス融着装置。 43. comprising a mounting table for mounting the glass pieces of the 2, mounting table ceramics, pottery, consisting porcelain or bricks, glass fusion according to any one of claims 9-42 Chakusochi.
  44. 【請求項44】 2のガラス片の接触又は近接する箇所を、局所的な加熱によって該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着装置であって、 該2のガラス片を載置するための載置台を備え、該載置台がセラミックス、陶器、磁器 または レンガからなる、ガラス融着装置。 The contact or proximity to point of 44. 2 pieces of glass, a fusing device for fusing by heating to fusion temperature above the temperature of the glass by local heating, the glass pieces of the 2 comprising a mounting table for mounting a mounting table is made of ceramics, pottery, porcelain or bricks, glass fusing device.
  45. 【請求項45】 該載置台を加熱するための載置台加熱手段を具備する、請求項43又は44記載のガラス融着装置。 45. A comprises a mounting table heating means for heating the mounting table, glass fusing apparatus according to claim 43 or 44, wherein.
  46. 【請求項46】 少なくとも2のガラス片を融着して得られる融着ガラスであって、 該2のガラス片の近接または接触する箇所に光を照射することによって該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に加熱する予熱過程と、 該予熱過程の後に、光の照射によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着過程と、 該融着過程の後に、光の照射によって該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に冷却する徐冷過程とを経て得られる融着ガラス。 46. ​​A fused glass obtained by fusing at least two pieces of glass, fusion of the glass relevant section by irradiating light at a location close to or contact the glass pieces of the 2 a preheating step of heating to a temperature below the temperature, after the preheating process, and welding process of fusing by heating to fusion temperature above the temperature of the glass relevant section by light irradiation of said fusing process later, the light fused glass obtained through a slow cooling step of cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the relevant section by irradiation.
  47. 【請求項47】 少なくとも2のガラス片を融着して得られる融着ガラスであって、 該2のガラス片の近接または接触する箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に加熱する予熱過程と、 該予熱過程の後に、局所的な加熱によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着過程と、 該融着過程の後に、該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に徐冷する徐冷過程とを経て得られる融着ガラス。 47. A fused glass obtained by fusing at least two pieces of glass, the preheating process of heating the portion to be close to or contact the glass pieces of the two at a temperature below the fusion temperature of the glass If, after the preheating process, and welding process of fusing by heating the relevant section by local heating to fusion temperature above the temperature of the glass, after said fusing step, while heating the relevant section fused glass obtained through a slow cooling step of slow cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass.
  48. 【請求項48】 該融着過程において光の照射によって該箇所が局所的に加熱された、請求項47記載の融着ガラス。 48. A said fusing relevant section by light irradiation in the process is heated locally, claim 47 fused glass according.
  49. 【請求項49】 該光がレーザ光である、請求項46又は48記載の融着ガラス。 49. is a light laser beam, according to claim 46 or 48 fused glass according.
  50. 【請求項50】 少なくとも2のガラス片を融着して得られる融着ガラスであって、 該2のガラス片の近接または接触する箇所に略平行レーザ光を照射することによって該箇所が融着された、融着ガラス。 50. A fused glass obtained by fusing at least two pieces of glass, relevant section is fused by irradiating a substantially parallel laser beam at a location close to or contact with the glass piece of the 2 It has been, fused glass.
  51. 【請求項51】 該ガラス片の融着すべき箇所に所定形状のレーザ光照射部分が生じるように、投影形状が該所定形状と略同一となるような該略平行レーザ光が該箇所に照射されて該箇所が融着された、請求項50記載の融着ガラス。 51. As the laser beam irradiation portion of a predetermined shape at a position to be welded of the glass pieces occurs, irradiated to the symbolic parallel laser beam relevant section as the projection shape is substantially identical to the said predetermined fixed form shaped are relevant section is fused with claim 50 fused glass according.
  52. 【請求項52】 該略平行レーザ光によって該ガラス片が融着される前に、該ガラス片の融着すべき箇所を該ガラス片の融着温度未満の温度に予熱する予熱過程と、 該略平行レーザ光によって該ガラス片が融着された後に、該ガラス片の融着された箇所を加熱しつつ該ガラス片の融着温度未満の温度に徐冷する徐冷過程とを経て得られた、請求項50又は51記載の融着ガラス。 By 52. ​​the symbolic parallel laser beam before the glass piece is fused, a preheating process for preheating the portions to be welded of the glass pieces to a temperature below the fusion temperature of the glass piece, the after the glass piece is fused substantially by the collimated laser beam, obtained through a slow cooling step of slow cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass piece while heating the fusing part that has been the glass pieces was, according to claim 50 or 51 fused glass according.
  53. 【請求項53】 電子ディスプレイ用ガラス、窓用合わせガラス または高真空容器である、請求項46〜52 53. is an electronic display glass, glass or high vacuum vessel registration window, claim 46-52
    のいずれか一の項に記載の融着ガラス。 Either fused glass according to one section.
  54. 【請求項54】 少なくとも2のガラス片を融着して融着ガラスを製造する融着ガラスの製造方法であって、 該2のガラス片の近接または接触する箇所に光を照射することによって該箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に加熱する予熱過程と、 該予熱過程の後に、光の照射によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着過程と、 該融着過程の後に、光の照射によって該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に冷却する徐冷過程とを具備する、融着ガラスの製造方法。 54. A method for producing a fused glass to produce a fused glass by fusing at least two pieces of glass, said by irradiating light at a location close to or contact the glass pieces of the 2 a preheating process of heating the portion to a temperature below the fusion temperature of the glass, after the preheating process, fusion process of fusing by heating to fusion temperature above the temperature of the glass relevant section irradiated with light If, after said fusing step comprises a slow cooling step of cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the relevant section by light irradiation method for producing fused glass.
  55. 【請求項55】 少なくとも2のガラス片を融着して融着ガラスを製造する融着ガラスの製造方法であって、 該2のガラス片の近接または接触する箇所を該ガラスの融着温度未満の温度に加熱する予熱過程と、 該予熱過程の後に、局所的な加熱によって該箇所を該ガラスの融着温度以上の温度に加熱して融着する融着過程と、 該融着過程の後に、該箇所を加熱しつつ該ガラスの融着温度未満の温度に徐冷する徐冷過程とを具備する、融着ガラスの製造方法。 55. A method for producing a fused glass to produce a fused glass by fusing at least two pieces of glass, less than the fusion temperature of the glass close to or contact with portions of the glass pieces of the 2 a preheating step of heating the temperature, after the preheating process, and welding process of fusing by heating the relevant section by local heating to fusion temperature above the temperature of the glass, after said fusing step comprises a slow cooling step of slow cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass while heating the relevant section, method for producing fused glass.
  56. 【請求項56】 該融着過程において光の照射によって該箇所を局所的に加熱する、請求項55記載の融着ガラスの製造方法。 56. A locally heating the relevant section irradiated with light in said fusing step, a manufacturing method of the fused glass of claim 55 wherein.
  57. 【請求項57】 該光がレーザ光である、請求項54又は56記載の融着ガラスの製造方法。 57. is a light is laser light, the production method of the fused glass of claim 54 or 56, wherein.
  58. 【請求項58】 少なくとも2のガラス片を融着して融着ガラスを製造する融着ガラスの製造方法であって、 該2のガラス片の近接または接触する箇所に略平行レーザ光を照射することによって該箇所を融着する、融着ガラスの製造方法。 58. A method for producing a fused glass to produce a fused glass by fusing at least two pieces of glass, is irradiated with approximately parallel laser beam at a location close to or contact with the glass piece of the 2 fusing the relevant section by method of fused glass.
  59. 【請求項59】 該ガラス片の融着すべき箇所に所定形状のレーザ光照射部分が生じるように、投影形状が該所定形状と略同一となるような該略平行レーザ光を該箇所に照射して該箇所を融着する、請求項58記載の融着ガラスの製造方法。 59. As the laser beam irradiation portion of a predetermined shape at a position to be welded of the glass pieces occurs, irradiated with the symbolic parallel laser light as projected shape is substantially identical to the said predetermined fixed form shape relevant section and fusing the relevant section, a method for producing a fused glass of claim 58.
  60. 【請求項60】 該略平行レーザ光によって該ガラス片が融着される前に、該ガラス片の融着すべき箇所を該ガラス片の融着温度未満の温度に予熱する予熱過程と、 該略平行レーザ光によって該ガラス片が融着された後に、該ガラス片の融着された箇所を加熱しつつ該ガラス片の融着温度未満の温度に徐冷する徐冷過程とを具備する、請求項58又は59記載の融着ガラスの製造方法。 To 60.] Before the symbolic the glass piece by the collimated laser beam is fused, a preheating process for preheating the portions to be welded of the glass pieces to a temperature below the fusion temperature of the glass piece, the after the glass piece is fused substantially by collimated laser beam comprises a slow cooling step of slow cooling to a temperature below the fusion temperature of the glass piece while heating the fusing part that has been the glass pieces, method for producing a fused glass of claim 58 or 59, wherein.
  61. 【請求項61】 少なくとも2のガラス片を融着して得られる融着ガラスであって、 該2のガラス片の近接または接触する箇所に、焦点深度が照射距離の変動幅に比べて深い収束レーザ光を照射することにより、該箇所が融着された、融着ガラス。 61. A fused glass obtained by fusing at least two glass pieces, at a position close to or contact with the glass piece of the 2, convergence depth of focus as compared with the variation range of the irradiation distance by irradiating the laser beam, relevant section is fused, fused glass.
  62. 【請求項62】 該収束レーザ光が、1m 以上の焦点距離を有するものである請求項61記載の融着ガラス。 [62. The focused laser beam, the fused glass of claim 61, wherein those having a focal length of more than 1 m.
  63. 【請求項63】 少なくとも2のガラス片を融着するガラス融着装置であって、 該2のガラス片の近接または接触する箇所に、焦点深度が照射距離の変動幅に比べて深い収束レーザ光を照射することにより、該箇所を融着する、ガラス融着装置。 63. A glass fusing device for fusing at least two glass pieces, at a position close to or contact with the glass pieces of the two deep focused laser beam than the depth of focus variation range of irradiation distance by irradiating, fusing the relevant section, glass fusing device.
  64. 【請求項64】 該収束レーザ光が、1m 以上の焦点距離を有するものである請求項63記載のガラス融着装置。 64. The focused laser beam, the glass fusing apparatus according to claim 63, wherein those having a focal length of more than 1 m.
  65. 【請求項65】 少なくとも2のガラス片を融着して融着ガラスを製造する融着ガラスの製造方法であって、 該2のガラス片の近接または接触する箇所に、焦点深度が照射距離の変動幅に比べて深い収束レーザ光を照射することにより、該箇所を融着する、融着ガラスの製造方法。 65. A method for producing a fused glass to produce a fused glass by fusing at least two glass pieces, at a position close to or contact with the glass piece of the 2, the depth of focus of the irradiation distance by irradiating a deep focused laser beam as compared with the variation range, fusing the relevant section, method for producing fused glass.
  66. 【請求項66】 該収束レーザ光が、1m 以上の焦点距離を有するものである請求項65記載の融着ガラスの製造方法。 66. The focused laser beam, the manufacturing method of the fused glass of claim 65, wherein those having a focal length of more than 1 m.
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2821577A1 (en) * 2001-03-02 2002-09-06 Commissariat Energie Atomique elements of assembly proceeds by heating locates
KR20110016870A (en) * 2008-06-11 2011-02-18 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 Fusion-bonding process for glass
EP2322488A1 (en) 2009-10-30 2011-05-18 Canon Kabushiki Kaisha Joined unit of glass base members, airtight envelope, and method for producing glass structural unit
US8057273B2 (en) 2008-11-04 2011-11-15 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing airtight container
JP2013100231A (en) * 2013-02-25 2013-05-23 Furukawa Electric Co Ltd:The Method and apparatus for producing thin plate glass
JP2013111626A (en) * 2011-11-30 2013-06-10 Aisin Seiki Co Ltd Method and device for focusing laser light
US9181126B2 (en) 2008-05-26 2015-11-10 Hamamatsu Photonics K.K. Glass fusion method
US9227871B2 (en) 2009-11-25 2016-01-05 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9233872B2 (en) 2009-11-25 2016-01-12 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9236213B2 (en) 2009-11-25 2016-01-12 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9701582B2 (en) 2009-11-25 2017-07-11 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9887059B2 (en) 2009-11-25 2018-02-06 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method
US9922790B2 (en) 2009-11-25 2018-03-20 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2821577A1 (en) * 2001-03-02 2002-09-06 Commissariat Energie Atomique elements of assembly proceeds by heating locates
WO2002070188A1 (en) * 2001-03-02 2002-09-12 Commissariat A L'energie Atomique Method for assembling elements by localised heating
US7029990B2 (en) 2001-03-02 2006-04-18 Commissariat A L'energie Atomique Method of assembling elements by localized heating
US9181126B2 (en) 2008-05-26 2015-11-10 Hamamatsu Photonics K.K. Glass fusion method
KR101665727B1 (en) * 2008-06-11 2016-10-12 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 Fusion-bonding process for glass
KR20110016870A (en) * 2008-06-11 2011-02-18 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 Fusion-bonding process for glass
US8057273B2 (en) 2008-11-04 2011-11-15 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing airtight container
EP2322488A1 (en) 2009-10-30 2011-05-18 Canon Kabushiki Kaisha Joined unit of glass base members, airtight envelope, and method for producing glass structural unit
US9701582B2 (en) 2009-11-25 2017-07-11 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9227871B2 (en) 2009-11-25 2016-01-05 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9233872B2 (en) 2009-11-25 2016-01-12 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9236213B2 (en) 2009-11-25 2016-01-12 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9887059B2 (en) 2009-11-25 2018-02-06 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method
US9922790B2 (en) 2009-11-25 2018-03-20 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method
JP2013111626A (en) * 2011-11-30 2013-06-10 Aisin Seiki Co Ltd Method and device for focusing laser light
JP2013100231A (en) * 2013-02-25 2013-05-23 Furukawa Electric Co Ltd:The Method and apparatus for producing thin plate glass

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