JP2000311226A - 無線icカード及びその製造方法並びに無線icカード読取り書込みシステム - Google Patents

無線icカード及びその製造方法並びに無線icカード読取り書込みシステム

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JP2000311226A
JP2000311226A JP21396799A JP21396799A JP2000311226A JP 2000311226 A JP2000311226 A JP 2000311226A JP 21396799 A JP21396799 A JP 21396799A JP 21396799 A JP21396799 A JP 21396799A JP 2000311226 A JP2000311226 A JP 2000311226A
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wireless
card
antenna
coil
chip
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Jun Karasawa
純 唐沢
Masao Segawa
雅雄 瀬川
Yasuto Saito
康人 斉藤
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Toshiba Corp
Toshiba Development and Engineering Corp
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Toshiba Corp
Toshiba Digital Media Engineering Corp
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    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73203Bump and layer connectors
    • H01L2224/73204Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、半導体素子とアンテナコイルとを物
理的に接続せずに電気的に接続し、かつ高価な実装装置
を必要とせずに安価にする。 【解決手段】ICチップ3の表面上に第1のアンテナコ
イル12を形成し、モジュール基板20上に第2及び第
3のアンテナコイル21、22を形成し、このモジュー
ル基板20上の第2のアンテナコイル21に対してIC
チップ3の第1のアンテナコイル12を配向配置するよ
うにICチップ3をモジュール基板20上に配置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラスチックカー
ド等に半導体素子としてICチップ(集積回路)を埋め
込んだICカードを改良した無線ICカード及びその製
造方法並びに無線ICカードを利用する無線ICカード
読取り書込みシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】無線ICカードや無線タグ等の非接触式
のデータキャリアモジュールがある。このデータキャリ
アモジュールは、半導体素子としてのICチップ及び1
つの渦巻き状に形成されたアンテナ(以下、アンテナコ
イルと称する)などから構成されている。又、このデー
タキャリアモジュールは、各種の構造のものがあり、こ
の構造の種類によって同期用のコンデンサや電源用のコ
ンデンサを含むものとなっている。
【0003】アンテナコイルは、データ通信と外部から
の電力供給という2つの機能を持っている。このアンテ
ナコイルは、巻線コイル、基板上にエッチングにより形
成したコイル、又は基板上に印刷配線により形成された
コイルなどである。これらアンテナコイルの巻数は、通
信周波数や通信距離などにより異なっている。
【0004】近年、データキャリアモジュールは、小型
化と共に普及が進み、大量に低コストで製造する技術が
要求されている。
【0005】このような背景の中で、ICチップとアン
テナコイルとを物理的・電気的に接続してデータキャリ
アモジュールを大量に製造する方法が研究・開発されて
いる。この方法は、例えば、半導体素子を基板上に直接
フリップチップ実装したり、又はモジュール基板上に半
導体素子をワイヤボンディングにより接続するものであ
る。
【0006】図40はかかる無線ICカードの斜視図で
あり、図41は同カードの断面図である。配線基板1上
には、渦巻き状に形成されたコイルパターン2が形成さ
れている。この配線基板1上には、半導体素子としての
ICチップ3が実装されている。このICチップ3の電
極4と配線基板1上の電極5とは、金ボールバンプ6を
介して電気的に接続されている。
【0007】この無線ICカードの製造方法を説明す
る。
【0008】先ず、ICチップ3が、配線基板1上にボ
ンディングにより実装される。
【0009】この後、機械的補強や信頼性向上のため
に、配線基板1の両面に対して熱可塑系のシート7が熱
融着される。
【0010】このシート7は、例えば塩化ビニル系やP
ET(ポリエチレンテレフタレート)である。このシー
ト7の熱融着により配線基板1の全体が樹脂モールドさ
れる。
【0011】このように製造された無線ICカードは、
例えば厚さ0.2〜0.7mm程度である。図42は同
無線ICカードの電気回路図である。ICチップ3とコ
イルパターン2とが接続されている。このICチップ3
は、データ制御やメモリ機能を有し、かつコイルパター
ン2を通して外部とのデータの授受や電力の受給を行
う。
【0012】図43は他の無線ICカードの構成図であ
る。カード本体8には、ICチップ2及びこのICチッ
プ2に接続された通信用アンテナ9が搭載され、かつI
Cチップ2に電力を供給するためのボタン電池10が内
蔵されている。
【0013】図44は他の無線ICカードの構成図であ
り、図45は同カードの断面図である。カード本体8に
は、ICチップ2、このICチップ2に接続された通信
用アンテナ9及び電源供給用コイル10が搭載されてい
る。
【0014】このような無線ICカードは、セキュリテ
ィや信頼性確保のために、成形封止をしたり、熱プレス
によるカード化を行って、常に分解しがたい形状をなっ
ている。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記図
40に示す無線ICカードの製造方法では、ICチップ
3とコイルパターン2とを物理的電気的に接続する場
合、ICチップ3を配線基板1上に実装する。このた
め、高価な例えばフリップチップボンダ或いはワイヤボ
ンダなどの設備が必要となる。又、製造工程の順序から
見ると、必ずICチップ3の実装が他の処理よりも先に
なるため、製造工程の制約が多く、工程が複雑になる。
さらに、樹脂モールドの際に、耐熱性を考慮する必要等
のプロセス管理が必要となり、かつ信頼性が低下する。
【0016】上記図43に示す電池内蔵の無線ICカー
ドでは、電池の寿命が無線ICカード自体の寿命となっ
てしまい、非常に不経済である。
【0017】一方、電力を無線ICカードの読取り装置
(リーダー)から電磁波の形で供給される電磁誘導式の
無線ICカードがある。この無線ICカードでは、リー
ダーから常に信号を発信している必要があり、省エネル
ギの観点からあまり好ましくない。
【0018】例えば、入出門システムでは、門の入出者
が無線ICカードを用いて門を出入りする。この門の出
入りは、時間がまちまちで不定である。このためにリー
ダーによって無線ICカードのデータを読み取って通信
する頻度がばらばらとなり、かつデータ通信が開始され
るまでの待ち時間が長くなることがある。
【0019】このようなデータ通信の頻度がばらばらで
も、リーダーからは、常に信号を発信して無線ICカー
ドのデータを何時でも読み取る状態でいる必要がある。
【0020】本発明の目的は、半導体素子とアンテナコ
イルとを電気的に接続し、高価な実装装置を必要とせず
に安価にできる無線ICカード及びその製造方法を提供
することにある。
【0021】本発明の別の目的は、電池の寿命に左右さ
れず、省エネルギー化を図ることができる無線ICカー
ド及びその製造方法並びに無線ICカード読取り書込み
システムを提供することにある。
【0022】
【課題を解決するための手段】請求項1によれば、半導
体素子の表面上にアンテナコイルが形成された無線IC
カードである。
【0023】請求項2によれば、アンテナコイルが表面
上に形成された半導体素子と、少なくとも2つのアンテ
ナコイルが形成されこれらアンテナコイルのうち一方の
アンテナコイルに対して半導体素子のアンテナコイルが
対向配置される基板とを備えた無線ICカードである。
【0024】請求項3によれば、請求項1又は2記載の
無線ICカードにおいて、半導体素子の表面上のアンテ
ナコイルは、半導体素子の表面上に形成された複数の電
極パット間に接続されたボンディングワイヤである。
【0025】請求項4によれば、請求項1又は2記載の
無線ICカードにおいて、半導体素子上のアンテナコイ
ルは、金属膜により形成されている。
【0026】請求項5によれば、請求項1又は2記載の
無線ICカードにおいて、半導体素子の表面上には、金
属膜からなるアンテナコイルと絶縁膜とが多層に形成さ
れている。
【0027】請求項6によれば、請求項1又は2記載の
無線ICカードにおいて、半導体素子の表裏面上には、
それぞれアンテナコイルが形成されている。
【0028】請求項7によれば、請求項1又は2記載の
無線ICカードにおいて、半導体素子に電気素子を形成
する層が形成されている。
【0029】請求項8によれば、請求項2記載の無線I
Cカードにおいて、基板の一方のアンテナコイルの形状
を半導体素子のアンテナコイルの形状と略同一に形成
し、かつ基板の他方のアンテナコイルの形状を基板の一
方のアンテナコイルの形状よりも大きく形成した。
【0030】請求項9によれば、請求項2記載の無線I
Cカードにおいて、基板の一方のアンテナコイルと基板
の他方のアンテナコイルとは、電気的に接続された。
【0031】請求項10によれば、請求項2記載の無線
ICカードにおいて、基板の一方のアンテナコイルと半
導体素子のアンテナコイルとは、電磁誘導結合されてい
る。
【0032】請求項11によれば、請求項1又は2記載
の無線ICカードにおいて、半導体素子には絶縁膜又は
磁性膜を介してアンテナコイルが形成されている。
【0033】請求項12によれば、請求項は2記載の無
線ICカードにおいて、基板に形成された各アンテナコ
イル上には、絶縁膜が形成されている。
【0034】請求項13によれば、請求項11又は13
記載の無線ICカードにおいて、各絶縁膜内には、それ
ぞれ磁性体粉末が分散された。
【0035】請求項14によれば、請求項1記載の無線
ICカードにおいて、アンテナコイルが表面上に形成さ
れた半導体素子を樹脂により封止する。
【0036】請求項15によれば、請求項2記載の無線
ICカードにおいて、半導体素子及び基板を一体的に樹
脂により封止する。
【0037】請求項16によれば、複数の半導体素子が
形成された半導体ウエハの表面上に絶縁膜を形成する第
1の工程と、複数の半導体素子に対応する部位の絶縁膜
上にそれぞれアンテナコイルを形成する第2の工程と、
複数の半導体素子を半導体ウエハからそれぞれ切り出す
第3の工程と、を有する無線ICカードの製造方法であ
る。
【0038】請求項17によれば、半導体素子の表面上
にアンテナコイルを形成する第1の工程と、基板上に少
なくとも2つのアンテナコイルを形成する第2の工程
と、基板上の一方のアンテナコイルに対して半導体素子
のアンテナコイルを対向配置させる第3の工程と、を有
する無線ICカードの製造方法である。
【0039】請求項18によれば、請求項16又は17
記載の無線ICカードの製造方法において、半導体素子
の表面上に形成されたアンテナコイルは、薄膜パターン
法又は印刷法により形成された。
【0040】請求項19によれば、請求項16又は17
記載の無線ICカードの製造方法において、半導体素子
の表面上に形成されたアンテナコイルは、半導体素子の
表面上に複数の電極パッドを形成し、これら電極パッド
をワイヤボンディングにより接続してなる。
【0041】請求項20によれば、請求項16又は17
記載の無線ICカードの製造方法において、基板上の少
なくとも2つのアンテナコイルは、共に一体的に形成さ
れた。
【0042】請求項21によれば、請求項16記載の無
線ICカードの製造方法において、アンテナコイルが表
面上に形成された半導体素子を樹脂により封止する工程
を有する。
【0043】請求項22によれば、請求項17記載の無
線ICカードの製造方法において、半導体素子及び基板
を樹脂により一体的に封止する工程を有する。
【0044】請求項23によれば、少なくともコイル及
びICチップを搭載した無線ICカードにおいて、コイ
ルの近傍に空間を形成し、この空間内に永久磁石を移動
自在に設けた無線ICカードである。
【0045】請求項24によれば、請求項23記載の無
線ICカードにおいて、永久磁石は、コイルの中心軸方
向に移動自在である。
【0046】請求項25によれば、請求項23記載の無
線ICカードにおいて、永久磁石は、空間内に回転自在
に設けられている。
【0047】請求項26によれば、請求項23記載の無
線ICカードにおいて、コイルは、電源供給用及びデー
タ通信用のアンテナを兼用する。
【0048】請求項27によれば、第1の筐体に対して
少なくともICチップ及びコイルを取り付ける工程と、
第1の筐体に予め形成された凹部に永久磁石を移動自在
に挿入する工程と、少なくともICチップ及びコイルが
取り付けられるとともに永久磁石の挿入された第1の筐
体に対して第2の筐体を接着する工程と、を有する無線
ICカードの製造方法である。
【0049】請求項28によれば、少なくともコイル及
びICチップを搭載した無線ICカードと、この無線I
Cカードに搭載されたICチップとの間でデータの授受
を行い、かつコイルに対応する位置に永久磁石が設けら
れた読取り書込み手段とを備え、無線ICカードに搭載
されたコイルに読取り書込み手段に設けられた永久磁石
の磁束が交叉することによりコイルに誘導起電力を発生
させる無線ICカード読取り書込みシステムである。
【0050】請求項29によれば、少なくともデータ通
信用のアンテナ及びICチップを搭載した無線ICカー
ドにおいて、ICチップに接続される圧電素子を備えた
無線ICカードである。
【0051】請求項30によれば、請求項29記載の無
線ICカードにおいて、圧電素子をキャリア本体の基板
として用い、この圧電素子上に少なくともアンテナ及び
ICチップを搭載した。
【0052】請求項31によれば、請求項29又は30
記載の無線ICカードにおいて、圧電素子の両側にそれ
ぞれ電極を設け、これら電極を少なくともICチップに
電気的に接続する。
【0053】請求項32によれば、第1の筐体に対して
少なくともデータ通信用のアンテナ及びICチップを取
り付ける工程と、第1の筐体に対して圧電素子を取り付
ける工程と、少なくともアンテナ、ICチップ及び圧電
素子が取り付けられた第1の筐体に対して第2の筐体を
接着する工程と、を有する無線ICカードの製造方法で
ある。
【0054】請求項33によれば、圧電素子から形成さ
れる基板に対して少なくともデータ通信用のアンテナ及
びICチップを取り付ける工程と、アンテナ及びICチ
ップの取り付けられた基板に対して外装を施す工程と、
を有する無線ICカードの製造方法である。
【0055】請求項34によれば、少なくともデータ通
信用のアンテナ及びICチップを搭載するとともに、I
Cチップに接続される圧電素子を備えた無線ICカード
と、アンテナを介してICチップとの間でデータの授受
を行うもので、無線ICカードの圧電素子に対して加圧
を行って圧電素子に電荷を発生させる加圧機構を備えた
読取り書込み手段と、を備えた無線ICカード読取り書
込みシステムである。
【0056】請求項35によれば、渦巻き状のアンテナ
が表面上に形成された半導体素子と、少なくとも3つの
渦巻き状のアンテナが形成され、これらアンテナのうち
1つのアンテナに対して半導体素子のアンテナが対向配
置された基板と、この基板における他のアンテナの近傍
に形成された空間と、この空間内に移動自在に設けられ
た永久磁石と、を具備したことを特徴とする無線ICカ
ード。
【0057】請求項36によれば、請求項35記載の無
線ICカードにおいて、基板上には、半導体素子上のア
ンテナと対向配置されるアンテナと、このアンテナに電
気的に接続された通信用のアンテナと、この通信用のア
ンテナに電気的に接続され、永久磁石の磁束が交叉する
電源供給用のアンテナとが形成された。
【0058】請求項37によれば、請求項35記載の無
線ICカードにおいて、各アンテナは、磁性体粉末が分
散された絶縁材料により封止されている。
【0059】請求項38によれば、予め凹部が形成され
た第1の筐体に対して少なくとも半導体素子及び少なく
とも3つの渦巻き状のアンテナを取り付ける工程と、凹
部に永久磁石を移動自在に挿入する工程と、第1の筐体
に対して第2の筐体を接着する工程と、を有する無線I
Cカードの製造方法である。
【0060】請求項39によれば、請求項38記載の無
線ICカードの製造方法において、永久磁石をケース内
に移動自在に収納する工程と、このケースを凹部に取れ
付ける工程とを有する。
【0061】請求項40によれば、請求項38記載の無
線ICカードの製造方法において、第1及び第2の筐体
は、磁性体粉末が分散された絶縁材料により形成されて
いる。
【0062】
【発明の実施の形態】(1) 以下、本発明の第1の実施の
形態について図面を参照して説明する。
【0063】図1(a)〜(d)は無線タグの製造工程図であ
る。
【0064】図1(a)に示す半導体ウエハ20には、複
数のICが形成されている。
【0065】この半導体ウエハ20の表面上には、図1
(b)に示すように絶縁保護膜21が形成されている。こ
の絶縁保護膜21は、例えばP−SiN(PSG:Phos
phosilicate Glass )により形成され、その厚さは、
0.75μm〜0.4μmで形成される。この絶縁保護
膜21は、例えば二酸化珪素などの金属酸化物やポリイ
ミドなどの樹脂或るはエアギャップなどでもよい。
【0066】次に、絶縁保護膜21の上には、図1(c)
に示すように渦巻き状のアンテナ(以下、アンテナコイ
ルと称する)22が形成される。このアンテナコイル2
2は、例えば金メッキ配線により形成される。このアン
テナコイル22は、例えばCu、Al等の薄膜パターン
により形成したものやAg、Cu等の導電性のペースト
を印刷するなどにより形成してもよい。
【0067】この後、半導体ウエハ20に対してダイシ
ングが行われる。このダイシングにより図1(d)に示す
ように半導体ウエハ20から各ICチップ23が個々に
切り出される。
【0068】これにより、アンテナコイルが搭載された
無線タグが製造される。この無線タグの寸法は、例えば
長さ×幅×高さが4mm×3mm×0.3mmに形成さ
れている。
【0069】このような無線タグであれば、ICチップ
23によりデータ制御やメモリ機能を有するものとな
る。又、アンテナコイル22を通して外部とのデータの
授受や電力の受給を行うものとなる。
【0070】このように第1の実施の形態おいては、半
導体ウエハ20の表面上に絶縁保護膜21を形成し、こ
の絶縁保護膜21上にアンテナコイル22を形成し、こ
の後に半導体ウエハ20に対してダイシングを行って無
線タグを製造するようにしたので、ICチップ23とア
ンテナコイル22とを物理的に接続せずに電気的に接続
し、かつICチップ23の実装のためのフリップチップ
ボンダ又はワイヤボンダなどの高価な実装装置を必要と
せずに安価にできる。
【0071】樹脂モールドの際に耐熱性を考慮する必要
などのプロセス管理が必要なく、信頼性を向上できる。
【0072】ICチップ23の表面上にアンテナコイル
22を形成し、かつ外装を施すだけなので、小型で安価
にできる。
【0073】次に、上記第1の実施の形態の無線タグの
製造の他の例について説明する。
【0074】図2(a)(b)無線タグの製造工程の概略図で
ある。同図(a)は平面図、断面図及びQ部拡大図、同図
(b)は製造された無線タグの断面図である。
【0075】ICチップ3は、例えば1〜10mm角程
度の大きさで、チップ厚みは最小20μm程度のものが
適用される。
【0076】先ず、ICチップ23の表面には、絶縁保
護膜21が形成される。この絶縁保護膜21は、例えば
二酸化珪素やポリイミド樹脂などである。この絶縁保護
膜21の厚さは10〜100μm程度である。この絶縁
保護膜21は、二酸化珪素やポリイミド樹脂などの代わ
りにフェライト等の磁性膜を形成してもよい。
【0077】この絶縁保護膜21内には、磁性体粉末を
分散させてもよい。この磁性膜の形成により、この後に
形成するアンテナコイル22のインダクタンス成分を増
加できる。又、絶縁保護膜21は、二酸化珪素をエッチ
ングしてなるエアギャップなどでもよい。
【0078】次に、絶縁保護膜21には、図2(a)のQ
部拡大図43示すようにスルーホールの導電ビアホール
24が形成される。
【0079】次に、絶縁保護膜21上には、渦巻き状の
アンテナコイル(パターンコイル)22が形成される。
このアンテナコイル22は、Al、Cu、Au等の導電
膜により形成される。このアンテナコイル22は、例え
ばフォトリソグラフ法を用いて薄膜パターンにより形成
される。このアンテナコイル22は、パターン幅とパタ
ーン間隔が数μm〜数十μmの微細コイルに形成され
る。又、アンテナコイル22は、例えばAg、Cu等の
導電性のペーストを印刷するなどの方法により形成して
もよい。
【0080】次に、ICチップ23の周辺が図2(b)に
示すようにモールド樹脂25によりモールドされる。こ
のモールド樹脂25は、例えばエポキシ樹脂等のトラン
スファ形成、PP(ポリプロピレン)、PPS(ポリフ
ェニルサルフォン)等のインジェクションモールド成形
によりモールドされる。これにより、例えば外径φ10
mmで厚さ1mm程度の無線タグが製造される。
【0081】図3(a)(b)は無線タグの製造工程において
ワイヤボンディング法を用いた他の例を示す概略図であ
る。同図(a)は平面図、同図(b)は側面図である。
【0082】先ず、同図(a)に示すようにICチップ2
3の表面上には、そのチップの4隅にそれぞれ各電極2
6が形成される。これら電極26は、30〜100μm
角程度の大きさである。
【0083】次に、これら電極26間がボンディングワ
イヤ27を用いてワイヤボンディングされる。このワイ
ヤボンディングは、各電極14のうち外周側から内周側
に向かって行われる。このワイヤボンディングにより渦
巻き状のアンテナコイルが形成される。ボンディングワ
イヤ27は、例えばワイヤ径が10〜100μm程度
で、Au・Al・Cuワイヤが用いられる。
【0084】かくして、無線タグが製造される。
【0085】この無線タグは、図3(b)に示すように絶
縁保護膜の形成が不要であり、バルク型のコイル材質を
用いるのでパターン抵抗を小さくできる。
【0086】次に、上記第1の実施の形態の無線タグの
製造の変形例について説明する。
【0087】図4はICチップ23の表面上にアンテナ
コイル22と絶縁保護膜21とを2層構造等の多層構造
に形成したものである。この構造によりアンテナコイル
22の巻線数が増加できる。
【0088】図5はICチップ23にスルーホール28
を形成してある。又、ICチップ23の表裏面上にはそ
れぞれ各アンテナコイル22が形成されている。これら
アンテナコイル22は、スルーホール28を通じて電気
的に接続されている。
【0089】図6はICチップ23に対してアンテナコ
イル22の他に、コンデンサ29などの各種電気素子を
形成した複合機能を有するものである。このコンデンサ
29は、例えば二酸化チタンや鉛ペロブスカイト系の誘
電型の厚膜材料が用いられている。
【0090】以上のように無線タグの他の製造例であっ
ても、ICチップ23とアンテナコイル22とを物理的
に接続せずに電気的に接続し、かつ高価な実装装置を必
要とせずに安価にできることは言うまでもない。
【0091】(2) 次に、本発明の第2の実施の形態につ
いて図7(a)〜(c)及び図8(a)(b)に示す無線ICカード
(非接触データキャリア)の製造工程図を参照して説明
する。
【0092】先ず、上記第1の実施の形態と同様に無線
タグが製造される。
【0093】すなわち、上記図1(a)〜(d)に示す半導体
ウエハ20の表面上に、同図(b)に示すように絶縁保護
膜21として例えばP−SiN(PSG:Phosphosilic
ateGlass )が0.75μm/0.4μmの厚さで形成
される。この絶縁保護膜21は、例えば二酸化珪素など
の金属酸化物やポリイミドなどの樹脂或るはエアギャッ
プなどでもよい。
【0094】次に、絶縁保護膜21の上に、図1(c)に
示すように例えば金メッキ配線によりアンテナコイル
(以下、第1のアンテナコイルと称する)22が形成さ
れる。この第1のアンテナコイル22は、例えばCu、
Al等の薄膜パターンにより形成したものやAg、Cu
等の導電性のペーストを印刷するなどにより形成しても
よい。
【0095】この後、半導体ウエハ20に対してダイシ
ングが行われ、図1(d)に示すように半導体ウエハ20
から各ICチップ23が個々に切り出される。
【0096】一方、図7(a)に示すモジュール基板30
の表面上には、同図(b)に示すように第2のアンテナコ
イル31及び第3のアンテナコイル32が形成される。
【0097】このうち第2のアンテナコイル31は、無
線タグに形成されている第1のアンテナコイル32の形
状と略同一形状に形成されている。
【0098】又、第3のアンテナコイル32は、無線I
Cカードの外部との通信や電源供給用に用いられるため
に、第2のアンテナコイル31の巻数よりも多く、かつ
形状が大きく形成されている。
【0099】これら第2と第3のアンテナコイル31、
32とは、電気的に接続されて閉ループ回路に形成され
ている。
【0100】これら第2及び第3のアンテナコイル3
1、32は、モジュール基板30の表面上に同時に、例
えば通常の印刷配線板のようにサブトラクティブ法によ
り形成する。
【0101】これら第2及び第3のアンテナコイル3
1、32の形成方法は、アディティブ法を用いてもよ
い。又、これらアンテナコイル31、32の形成方法
は、被覆ワイヤを巻いてコイル状にしたものをモジュー
ル基板30に固定して第2及び第3のアンテナコイル2
1、22としてもよい。さらに、印刷配線とワイヤコイ
ルの組み合わせにしてもよい。
【0102】具体的に説明すると、第2及び第3のアン
テナコイル31、32は、共に例えばAg、Al等をエ
ッチングすることにより形成される。
【0103】なお、これら第2及び第3のアンテナコイ
ル31、32は、共にAgペースト等の印刷法によって
形成してもよく、又はCuの巻線コイルにより形成して
もよい。さらに、第2のアンテナコイル31は、印刷又
はエッチングにより形成し、第3のアンテナコイル32
は巻線により形成してもよい。
【0104】次に、第2のアンテナコイル31上には、
図7(c)に示すように絶縁膜33が形成される。この絶
縁膜33は、例えば厚さ20μmの半硬化のエポキシ樹
脂系である。この絶縁膜33は、例えば半硬化のエポキ
シ樹脂系の絶縁接着剤フィルムを貼り付けるものとな
る。この絶縁膜33は、ポリイミドなどの他の絶縁性樹
脂や金属酸化物などでもよい。
【0105】次に、図8(a)に示すように上記ICチッ
プ23(図1(d)参照)がモジュール基板30の第2の
アンテナコイル31上に対向配置される。
【0106】この場合、ICチップ23は、フェイスダ
ウン方式で実装される。この実装は、ICチップ23の
第1アンテナコイル22と第2のアンテナコイル21と
が絶縁膜33を介して対向配置するように適当な圧力で
行われる。
【0107】又、この実装は、第1アンテナコイル22
と第2のアンテナコイル21とのギャツプが機械的に制
御され、このギャップが概略20μm以下になるように
行われる。
【0108】この実装では、絶縁膜33の例えば半硬化
のエポキシ樹脂系の絶縁接着剤フィルムを完全硬化させ
るために概略200〜120℃の温度で10〜120秒
間加熱してモジュール基板30上に固定する。
【0109】ここで、上記絶縁接着剤フィルムなどの絶
縁接着剤の供給形態は、粘性液体状のものを塗布しても
よい。この場合、圧力で絶縁膜33の確保が困難な場合
は、高さ制御しながら固定してもよいし、絶縁膜33を
兼ねたスペーサ例えば厚さ10μmのポリエステルフィ
ルムを入れて絶縁膜23を確保してもよい。
【0110】次に、図8(b)に示すようにICチップ2
3を載せたモジュール基板30の全体を例えば封止樹脂
を充填し、ポリエステルフィルム33などでラミネート
し、印刷、外形打ち抜きにより無線ICカード34が製
造される。
【0111】図9は製造された無線ICカード34の断
面図である。なお、無線ICカード化の方法としては、
ポリエステル系樹脂等による射出成形(例えばインサー
ト成形)する方法、塩化ビニルシート等によるプレス成
形による方法などがある。
【0112】図10は無線ICカード34の電気回路図
である。
【0113】ICチップ23の第1アンテナコイル22
とモジュール基板30の第2のアンテナコイル31とが
対向配置されるので、これら第1アンテナコイル22と
第2のアンテナコイル31とは誘導電磁誘導結合されて
いる。
【0114】従って、第3のアンテナコイル32で外部
からの電波を受信すると、この第3のアンテナコイル3
2には起電力が発生する。この起電力は、第3のアンテ
ナコイル32に接続された第2のアンテナコイル31に
供給される。
【0115】この第2のアンテナコイル31に電流が流
れようとすると、この第2のアンテナコイル31に流れ
る電流が変化する。この電流の変化により第2のアンテ
ナコイル31内には磁界が発生する。
【0116】この磁界は、第2のアンテナコイル21の
すぐ近くに対向配置された第1のアンテナコイル22内
の磁界をも変化させる。この磁界の変化により第1のア
ンテナコイル22には、誘導起電力が発生する。
【0117】この誘導起電力は、IC回路35に供給さ
れる。これにより、外部からの電波が第3、第2のアン
テナコイル32、31を通し、第1のアンテナコイル2
2からIC回路35に送られる。
【0118】逆に、IC回路35から電流が出力される
と、この電流は第1のアンテナコイル22に供給され、
この第1のアンテナコイル22に電流が流れようとし、
この第1のアンテナコイル22に流れる電流が変化す
る。この電流の変化により第1のアンテナコイル22内
に磁界が発生する。
【0119】この磁界は、第1のアンテナコイル22の
すぐ近くに対向配置された第2のアンテナコイル31内
の磁界をも変化させる。この磁界の変化により第2のア
ンテナコイル31には、誘導起電力が発生する。
【0120】この誘導起電力は、第3のアンテナコイル
32に供給される。これにより、第3のアンテナコイル
32からは電波が放射される。
【0121】ここで、第1のアンテナコイル12と第2
のアンテナコイル21との電磁誘導結合について図11
を参照して説明する。
【0122】xz面に平行なループ面を持つI巻きのコ
イル、すなわち第1のアンテナコイル22と第2のアン
テナコイル31とを考える。これら第1と第2のアンテ
ナコイル22、31との距離はdである。
【0123】第2のアンテナコイル31に流れる電流I
a により発生する磁界の第1のアンテナコイル22の位
置での磁界の強さHは、y軸方向の成分Hy だけで考え
られ、ビオ・サバールの法則により、
【0124】
【数1】
【0125】により表される。
【0126】これにより磁界Hy は、電流Ia に比例す
ることが分かる。ここで、第1のアンテナコイル22に
発生する電磁誘導による起電力Vb は、 Vb =−(dΦb /dt) …(3) により表される。Φb は第1のアンテナコイル22にお
ける磁束密度である。
【0127】この第1のアンテナコイル22における磁
束密度Φb と上記磁界Hy との関係は、 Φb =μHy (μ:透磁率) …(4) により表される。
【0128】従って、上記式(1) 、(3) 及び(4) を用い
て上記起電力Vb を求めると、 Vb =−(dΦb /dt) =−μ(dHy /dt) =−αμ(dIa /dt) …(5) となる。ここで、透磁率μは物質によって決まる定数で
ある。
【0129】これにより、第2のアンテナコイル31に
流れる電流Ia の時間変化により第1のアンテナコイル
22に起電力Vb が発生する。
【0130】上記式(2) により第1と第2のアンテナコ
イル22、31との距離dが短い場合、αは大きくな
り、第1と第2のアンテナコイル22、31との距離d
が短い方が通信感度が良いことが分かる。
【0131】このように上記第2の実施の形態において
は、ICチップ23の表面上に第1のアンテナコイル2
2を形成し、モジュール基板30上に第2及び第3のア
ンテナコイル31、32を形成し、第2のアンテナコイ
ル21に対してICチップ23の第1のアンテナコイル
22を配向配置するようにICチップ23をモジュール
基板30上に配置するので、従来のように物理的に回路
導体を接続することなしに電気回路的にIC回路35と
第3のアンテナコイル32とを接続した無線ICカード
を製造できる。
【0132】従って、ICチップ23の実装のためのフ
リップチップボンダ又はワイヤボンダなどの高価な実装
装置を必要とせずに安価にできる。
【0133】さらに樹脂モールドの際に耐熱性を考慮す
る必要などのプロセス管理が必要なく、信頼性を向上で
きる。
【0134】又、さらに製造工程的にも自由度が高く、
低コストを実現できる。
【0135】なお、上記第2の実施の形態では、無線タ
グの製造において第1のアンテナコイル22を金メッキ
配線、薄膜パターン又は導電性のペーストの印刷により
形成したが、次の方法を用いてもよい。
【0136】上記図3(a)(b)に示すようにワイヤボンデ
ィングにより形成してもよい。
【0137】上記図4に示すように多層構造に形成して
もよい。
【0138】図5に示すようにICチップ23の表裏面
上に各アンテナコイル22を形成してもよい。
【0139】図6に示すようにコンデンサ29などの各
種電気素子を形成した複合機能に形成してもよい。
【0140】(3) 次に、本発明の第3の実施の形態につ
いて説明する。
【0141】図12(a)(b)は無線ICカードの構成図で
あって、同図(a)は正面図、同図(b)は断面図である。
【0142】キャリア本体40には、ICチップ23、
通信用アンテナ41及び電源供給用コイル42が搭載さ
れている。これら通信用アンテナ41及び電源供給用コ
イル42は、それぞれ渦巻き状に形成されている。
【0143】これら通信用アンテナ41及び電源供給用
コイル42は、ICチップ23に接続されている。
【0144】キャリア本体40は、例えばポリスチレン
(PS)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、塩
化ビニルなどの材質により形成されている。このキャリ
ア本体40の寸法は、例えば86×54×3mmであ
る。
【0145】通信用アンテナ41及び電源供給用コイル
42は、例えば径の細い導線を複数巻回して形成した
り、又は蒸着等により電気的ラインを複数巻回して形成
されている。これら通信用アンテナ41及び電源供給用
コイル42は、例えば被覆付銅ワイヤコイル、銅配線コ
イル、アルミ配線コイルが用いられている。
【0146】電源供給用コイル42の内側には、空間
(以下、キャビティと称する)43が形成されている。
このキャビティ43内には、永久磁石44が移動自在に
設けられている。
【0147】この永久磁石44は、板状に形成されてい
る。この永久磁石44は、一方の面側にN極が帯磁さ
れ、他方の面にS極が帯磁されている。この永久磁石4
4は、Fig.17Bに示すように電源供給用コイル42
の中心軸方向(s1)に移動自在に設けられている。こ
の永久磁石44は、例えばアルニコ系鋳造磁石、Baフ
ェライト磁石、希土類コバルト磁石、炭素鋼、タングス
テン鋼、KS鋼、キュニフェなどの材質により形成され
ている。この永久磁石44の寸法は、例えば20×40
×1mmである。
【0148】次に、上記無線ICカードの製造方法につ
いて図13に示す分解斜視図及び図14に示す製造流れ
図を参照して説明する。図14に示す製造流れ図43お
いて、三角形▽は部材の供給を示し、円形○は工程を示
す。
【0149】キャリア本体40は、図13に示すように
第1の筐体(下側カード筐体)40a及び第2の筐体
(上側カード筐体)40bを組み合わせたものである。
【0150】下側カード筐体40aには、ICチップ2
3、通信用アンテナ41及び電源供給用コイル42を搭
載するための各凹部45〜47が形成されている。
【0151】上側カード筐体40bには、永久磁石44
を挿入するためのキャビティ43が設けられている。
【0152】先ず、図14に示すようにICチップ23
及びこのICチップ23用の基板48が供給される。
【0153】次に、工程#1において、ICチップ23
が基板48に実装される。
【0154】次に、工程#2において、基板48に実装
されたICチップ23が下側カード筐体40aの凹部4
5にセットされる。この場合、ICチップ23は、凹部
45に接着される。
【0155】次に、通信用アンテナ41及び電源供給用
コイル42が製造ラインに供給される。
【0156】これら通信用アンテナ41及び電源供給用
コイル42には、それぞれ基板48の各端子と接続する
ための各リード41a、42aが延びている。
【0157】これら通信用アンテナ41及び電源供給用
コイル42は、工程#3において、下側カード筐体40
aの各凹部46、47にそれぞれセットされる。
【0158】そして、これら通信用アンテナ41及び電
源供給用コイル42の各リード41a、42aが基板4
8の各端子と例えば半田付けによって接続される。
【0159】次に、永久磁石44が製造ラインに供給さ
れる。この永久磁石44は、工程#4において、上側カ
ード筐体40bのキャビティ43内に挿入される。
【0160】次に、ICチップ23、通信用アンテナ4
1及び電源供給用コイル42が搭載された下側カード筐
体40aが製造ラインに供給されるとともに、永久磁石
44が挿入された上側カード筐体40bが製造ラインに
供給される。
【0161】そして、工程#5において、これら下側カ
ード筐体40aと上側カード筐体40bとが組み合わさ
れて接着され、キャリア本体40が形成される。
【0162】この後、工程#6において、キャリア本体
40の表面に印刷が施される。
【0163】最後に製造された無線ICカードに対する
検査が行われる。
【0164】次に、以上のように製造された無線ICカ
ードの作用を説明する。
【0165】この無線ICカードが人等に携帯される
と、その全体が動く。この動きによりキャビティ43内
の永久磁石44は移動する。
【0166】永久磁石44の磁束は電源供給用コイル4
2を交叉することにより、この電源供給用コイル42に
誘導起電力が発生する。この誘導起電力は、ICチップ
23に供給される。
【0167】具体的に図15(a)(b)に示す電源供給用コ
イル42の部分拡大図を参照して説明する。
【0168】永久磁石44は、無線ICカードが動くこ
とによりキャビティ43内を電源供給用コイル42の中
心軸方向s1に移動する。
【0169】ここで、図15(a)に示すように永久磁石
44がキャビティ43内の端部に位置する場合と、同図
(b)に示すように永久磁石44がキャビティ43内の中
央部に位置する場合とを考える。永久磁石44の上面を
S極、下面をN極とする。
【0170】電源供給用コイル42内の磁束密度Bは、
図15(a)に示すように永久磁石44がキャビティ43
内の端部に位置する場合に最小となる。そして、磁束密
度Bは、永久磁石44が図15(b)に示すようにキャビ
ティ43内の中央部に位置する場合に最大となる。
【0171】従って、無線ICカードの全体を例えば人
の手によって小さく動かすことによって、電源供給用コ
イル42内の磁束密度Bが変化する。この磁束密度Bの
変化により電源供給用コイル42に誘導起電力が発生す
る。そして、この誘導起電力がICチップ23に電力と
して供給される。
【0172】なお、永久磁石44は、キャビティ43内
を移動自在に設けたが、これに限らず例えば回転自在に
設けてもよい。
【0173】図16(a)(b)はかかる無線ICカードの構
成図であって、同図(a)は一部正面図、同図(b)は一部断
面図である。
【0174】キャビティ43内には、板状の永久磁石4
9の両端が各支持部材50、51により回転自在に支持
されている。このうちの支持部材51には、ダイヤル5
3が連結されている。このダイヤル53は、図16(a)
に示すように、外部から永久磁石49を矢印s2方向に
回転させるものである。
【0175】一般に、一巻コイルに発生する誘導起電力
は、コイル内の磁束の時間変化によりそれを打ち消す方
向に誘導起電力vが発生する。この誘導起電力vは、磁
束をΦ、時間をtとすると、 v=−dΦ/dt …(6) により表される。
【0176】又、磁束密度をB、コイル内面積をS、透
磁率をμ、磁界の強さをHとすると、 Φ=B・S =μ・H・S …(7) が成立つ。
【0177】誘導起電力vは、 v=μ・S・dH/dt …(8) となる。
【0178】ここで、誘導起電力vの計算の一例を示
す。電源供給用コイル42内は、キャビティ43の構造
のため空気の透磁率を真空の透磁率で近似すると、 μ=1.25×106 [H/m] …(9) となる。
【0179】永久磁石44は、無線ICカード内で回転
する構造である。この永久磁石44の形状は、2×20
mmの平板状で、材質は例えばSmCo5 が用いられ
る。
【0180】このときの永久磁石44の保持力は、 H=2.87×104 [0e] =2.28×106 [A/m] …(10) となる。
【0181】そして、永久磁石44を毎秒10回転さ
せ、電源供給用コイル42の巻数を500巻とすると、
起電力vは、 v=500μ・S・2H/10-1 =1.14[V] …(11) となる。この例で約1[V]の起電力が得られる。
【0182】このように上記第3の実施の形態において
は、無線ICカードに搭載された電源供給用コイル42
の内側にキャビティ43を形成し、このキャビティ43
内に永久磁石44を移動自在に設けたので、電池や電磁
誘導コイルなどの電気エネルギーを用いずに永久磁石4
4と例えば人の手による動作での誘導起電力vによって
無線ICカードに電気エネルギーを供給することができ
る。
【0183】従って、電池交換の必要がなくなる。リー
ダライタの待ち受け電力消費を減らして、省エネルギー
が実現できる。簡単な構造の無線ICカードが製造でき
る。例えば、電源供給用の電力は、電池内蔵型の無線I
Cカードと比較すると、省エネルギーの効果が100%
で、廃電池が発生しない。
【0184】(4) 次に本発明の第4の実施の形態につい
て説明する。なお、図12(a)(b)と同一部分には同一符
号を付してその詳しい説明は省略する。
【0185】この第4の実施の形態は、無線ICカード
を用いたデータ読取り書込み装置である。図17(a)(b)
は無線ICカードの構成図、図18は無線ICカードの
リーダライタ55の概略構成図である。
【0186】無線ICカードは、キャリア本体40に対
してICチップ23、通信用アンテナ41及び電源供給
用コイル42を搭載したものとなっている。ICチップ
232には、通信用アンテナ41及び電源供給用コイル
42が接続されている。
【0187】次に、この無線ICカードの製造方法につ
いて図19に示す分解斜視図を参照して説明する。
【0188】キャリア本体40は、下側カード筐体40
a及び上側カード筐体40bを組み合わせたものであ
る。
【0189】下側カード筐体40aには、上記図13に
示す無線ICカードと同様に、ICチップ23、通信用
アンテナ41及び電源供給用コイル42を搭載するため
の各凹部45〜47が形成されている。
【0190】先ず、ICチップ23及びその基板48が
用意される。ICチップ23が基板48に実装される。
【0191】次にこのICチップ23が下側カード筐体
40aの凹部45にセットされる。
【0192】次に、通信用アンテナ41及び電源供給用
コイル42が用意される。これら通信用アンテナ41及
び電源供給用コイル42には、それぞれ基板48の各端
子と接続するための各リード41a、42aが延びてい
る。
【0193】これら通信用アンテナ41及び電源供給用
コイル42は、下側カード筐体40aの各凹部46、4
7にそれぞれセットされる。
【0194】次に、各リード41a、42aが基板48
の各端子と例えば半田付けによって接続される。
【0195】次に、ICチップ23、通信用アンテナ4
1及び電源供給用コイル42が搭載された下側カード筐
体40aと上側カード筐体40bとが組み合わされる。
これら下側カード筐体40aと上側カード筐体40bと
は、接着され、キャリア本体40となる。
【0196】この後、キャリア本体40の表面に印刷が
行われる。
【0197】最後に、製造された無線ICカードに対す
る検査が行われる。
【0198】一方、リーダライタ55は、図18に示す
ように無線ICカードが配置された状態に、無線ICカ
ードに記録されているデータの読み取り、書き込みを行
うものである。
【0199】このリーダライタ55は、無線ICカード
の通信用アンテナ41に対応して読み取り/書き込み用
のアンテナ56が設けられ、無線ICカードの電源供給
用コイル42に対応して永久磁石57が設けられてい
る。
【0200】次に、上記の如く構成されたデータ読取り
書込み装置による無線ICカードへの電力供給の作用に
ついて説明する。
【0201】キャリア本体40をリーダライタ55に近
付けると、図20及び図21に示すようにリーダライタ
55に設けられた永久磁石57に対して無線ICカード
の電源供給用コイル42が近付く。永久磁石57に対し
て電源供給用コイル42が近付くと、電源供給用コイル
42内の磁束密度Bが変化し、この電源供給用コイル4
2に誘導起電力が発生する。この誘導起電力がICチッ
プ23に供給される。
【0202】このように上記第4の実施の形態において
は、リーダライタ55に永久磁石57を設け、キャリア
本体40をリーダライタ55に近付けることによって、
電源供給用コイル42に誘導起電力を発生させて無線I
CカードのICチップ23に供給するようにしたので、
上記第1の実施の形態と同様に、電池や電磁誘導コイル
などの電気エネルギーを用いずに、リーダライタ55で
データの読み込み/書き込みを行うときに無線ICカー
ドに電気エネルギーを供給することができる。これによ
り、電池交換の必要がなくなる。リーダライタ55の待
ち受け電力消費を減らして、省エネルギーが実現でき
る。簡単な構造の無線ICカードが製造できる。
【0203】(5) 次に本発明の第5の実施の形態につい
て説明する。なお、上記図12(a)(b)と同一部分には同
一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0204】図22は無線ICカードの分解斜視図であ
る。
【0205】無線ICカードの製造方法について説明す
る。
【0206】キャリア本体40は、下側カード筐体40
a及び上側カード筐体40bを組み合わせたものであ
る。
【0207】下側カード筐体40aには、ICチップ2
3、通信及び電源供給兼用のコイル60を搭載するため
の各凹部61、62が形成されている。
【0208】上側カード筐体40bには、永久磁石44
を挿入するためのキャビティ43が設けられている。
【0209】先ず、ICチップ23及びその基板48が
用意される。
【0210】次に、ICチップ23が基板48に実装さ
れる。
【0211】次に基板48に実装されたICチップ23
が下側カード筐体40aの凹部61にセットされる。
【0212】次に、通信及び電源供給兼用のコイル60
が用意される。このコイル60には、基板48の各端子
と接続するためのリード60aが延びている。この通信
及び電源供給用のコイル60は、下側カード筐体40a
の各凹部61、62にそれぞれセットされ、かつ各リー
ド60aが基板48の各端子と例えば半田付けによって
接続される。
【0213】次に、永久磁石44が用意される。この永
久磁石44は、上側カード筐体40bのキャビティ43
内に挿入される。
【0214】次に、ICチップ23と通信及び電源供給
兼用のコイル60が搭載された下側カード筐体40aと
永久磁石44が挿入された上側カード筐体40bとが組
み合わされて接着され、キャリア本体40が形成され
る。
【0215】この後、キャリア本体40の表面に印刷が
行われ、最後に無線ICカードに対する検査が行われ
る。
【0216】次に、以上のように製造された無線ICカ
ードの作用を説明する。
【0217】この無線ICカードが携帯されてその全体
が動くと、キャビティ43内の永久磁石44は移動す
る。
【0218】この永久磁石44の移動により、永久磁石
44の磁束が通信及び電源供給兼用のコイル60を交叉
する。これにより通信及び電源供給兼用のコイル60に
は誘導起電力が発生する。この誘導起電力は、ICチッ
プ23に供給される。
【0219】このように上記第5の実施の形態によれ
ば、通信及び電源供給兼用のコイル60を用いても、上
記第1の実施の形態と同様な効果を奏することは言うま
でもない。
【0220】なお、上記第3乃至第5の実施の形態は、
次の通り変形してもよい。
【0221】例えば、図23に示すように自動改札機7
0に複数の永久磁石71を配列し、これら永久磁石71
の近傍に上記Fig.22A及びFig.22Bに示す無線
ICカードを通過させる。このとき、電源供給用コイル
42内の磁束密度Bが変化し、この電源供給用コイル4
21に発生した誘導起電力をICチップ23に供給する
ようにしてもよい。
【0222】(6) 次に、本発明の第6の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
【0223】図24(a)は無線ICカードの構成図、同
図(b)は同無線ICカードの断面図である。
【0224】キャリア本体80には、ICチップ23及
び通信用アンテナ41が搭載されている。この通信用ア
ンテナ41は、ICチップ23に電気的に接続されてい
る。
【0225】キャリア本体80は、例えばポリスチレン
(PS)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、塩
化ビニルなどの材質により形成されている。
【0226】通信用アンテナ41は、例えば被覆付銅ワ
イヤコイル、銅配線コイル、アルミ配線コイルが用いら
れている。
【0227】キャリア本体80には、ICチップ23に
対して電気的に接続される圧電素子81が搭載されてい
る。この圧電素子81の両端には、それぞれ各電極82
a、82bが設けられている。これら電極82a、82
bは、ICチップ23に電気的に接続されている。
【0228】この圧電素子81は、図25に示すように
圧力が加えられることにより分極を起こして電荷(+,
−)を発生する圧電効果(ピエゾ効果)の性質を持って
いる。この圧電素子81の材質は、例えばロッシェル
塩、チタン酸バリウム、リン酸二水素アリウム、リン酸
水素アンモニウム、硫酸リチウム、ニオブ酸チリウム、
酸化亜鉛、二弗化ポリビニル、沃化硫化アンチモン、ジ
ルコン酸チタン酸鉛である。
【0229】図26はかかる無線ICカードの電気回路
図である。
【0230】ICチップ23には、通信用アンテナ41
及び各電極82a、82bが接続されている。これら電
極82a、82bは、圧電素子61の両端に設けられて
いる。圧電素子81は、ICチップ23の電源として働
く。
【0231】次に、無線ICカードの製造方法について
図27に示す分解斜視図及び図28に示す製造流れ図を
参照して説明する。
【0232】キャリア本体80は、図27に示すように
第1の筐体(下側カード筐体)80a及び第2の筐体
(上側カード筐体)80bを組み合わせたものである。
【0233】下側カード筐体80aには、圧電素子81
を搭載するための凹部83が形成されている。この下側
カード筐体80aには、図示しないがICチップ23、
通信用アンテナ41を搭載するための各凹部が形成され
ている。
【0234】先ず、図27に示すように、ICチップ2
3及びその基板84が供給される。工程#10におい
て、ICチップ23は基板84に実装される。この基板
84は、COB(チップ・オン・ボード)基板85とし
て次の工程#11において下側カード筐体80aの凹部
83にセットされる。
【0235】次に、通信用アンテナ41が製造ラインに
供給される。この通信用アンテナ41には、それぞれC
OB基板85の各端子と接続するための各リード41a
が延びている。この通信用アンテナ41は、工程#12
において下側カード筐体80aの凹部にセットされる。
【0236】次に、通信用アンテナ41の各リード41
aがCOB基板85の各端子と例えば半田付けによって
接続される。
【0237】次に、圧電素子81及びこの圧電素子81
の両端に設ける各電極82a、82bが供給される。各
電極82a、82bには、COB基板85の各端子と接
続するための各リード86、87が延びている。これら
電極82a、82bは、圧電素子81の両側にそれぞれ
設けられる。
【0238】この電極付き圧電素子81は、工程#13
において、下側カード筐体80aの凹部にセットされ
る。次に、各電極82a、82bの各リード86、87
がCOB基板85の各端子と例えば半田付けによって接
続される。
【0239】次に、COB基板85、通信用アンテナ4
1及び電極付き圧電素子81が搭載された下側カード筐
体80aと上側カード筐体80bとが工程#14におい
て組み合わされて接着され、キャリア本体80が形成さ
れる。
【0240】この後、キャリア本体80の表面には、工
程#15において印刷が行われ、最後に無線ICカード
に対する検査が行われる。
【0241】製造された無線ICカードの全体の寸法は
86×54mmであり、ICチップ23の寸法は3mm
角、通信用アンテナ41の寸法は45mm角、圧電素子
81の寸法は30×45×2mmである。
【0242】次に、上記無線ICカードの作用を説明す
る。
【0243】無線ICカードの圧電素子81が搭載され
た部分に圧力が加わると、この圧電素子81は、図25
に示すように分極を起こして電荷(+,−)を発生す
る。この圧電素子81の各電極82a、82bには、起
電力が発生し、これがICチップ23に供給される。
【0244】従って、無線ICカードの圧電素子81の
部分に圧力機構や人の手などによって圧力が加わること
により、圧電素子81により発生した起電力がICチッ
プ23に供給される。
【0245】このように上記第6の実施の形態によれ
ば、圧電素子81により発生する起電力をICチップ2
3に供給するようにしたので、上記第3の実施の形態と
同様に、電池交換の必要がなくなる。省エネルギーが実
現できる。簡単な構造の無線ICカードが製造できる。
例えば、電源供給用の電力は、電池内蔵型の非接触デー
タキャリアと比較すると、省エネルギーの効果が100
%で、廃電池が発生しない。これにより、長寿命化を達
成させることができるとともに、クリーンエネルギによ
り動作させることができる。
【0246】(7) 次に、本発明の第7の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
【0247】図29(a)は無線ICカードの構成図、同
図(b)は同無線ICカードの断面図である。
【0248】キャリア本体90には、ICチップ23及
び通信用アンテナ41が搭載されている。通信用アンテ
ナ41は、ICチップ23に電気的に接続されている。
【0249】キャリア本体90は、例えばポリスチレン
(PS)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、塩
化ビニルなどの材質により形成されている。
【0250】通信用アンテナ41は、例えば被覆付銅ワ
イヤコイル、銅配線コイル、アルミ配線コイルにより形
成されている。
【0251】キャリア本体90には、板状の圧電素子
(以下、圧電素子基板と称する)91が内設されてい
る。この圧電素子基板91は、無線ICカード本体の基
板として機能する。
【0252】この圧電素子基板91は、圧力が加えられ
ることにより分極を起こして電荷(+,−)を発生する
圧電効果(ピエゾ効果)の性質を持つ。この圧電素子基
板91は、上記第6の実施の形態と同様に、材質として
例えばロッシェル塩、チタン酸バリウム、リン酸二水素
アリウム、リン酸水素アンモニウム、硫酸リチウム、ニ
オブ酸チリウム、酸化亜鉛、二弗化ポリビニル、沃化硫
化アンチモン、ジルコン酸チタン酸鉛などが用いられて
いる。
【0253】この圧電素子基板91上には、ICチップ
23及び通信用アンテナ41が搭載されている。
【0254】圧電素子基板91の両面には、それぞれ各
電極92a、92bが設けられている。これら電極92
a、92bは、ICチップ23に電気的に接続されてい
る。これら電極92a、92bは、圧電素子基板91の
両面に対してそれぞれ出来るだけ広い面積が取れるよう
に形成するのがよい。
【0255】次に、無線ICカードの製造方法について
図30に示す分解斜視図及び図31に示す製造流れ図を
参照して説明する。
【0256】キャリア本体90は、図30に示すように
下側外装シート90a及び上側外装シート90bを圧電
素子基板91に施したものである。
【0257】圧電素子基板91には、通信用アンテナ4
1及び各電極92a、92bが形成されている。
【0258】先ず、図30に示すようにICチップ23
及び圧電素子基板91が製造ラインに供給される。工程
#20においてICチップ23は圧電素子基板91に実
装される。
【0259】次に、下側外装シート70a、上側外装シ
ート70bが、工程#21においてICチップ23の搭
載された圧電素子基板91の両面にそれぞれプレス又は
ラミネートにより接着され、キャリア本体90が形成さ
れる。
【0260】この後、工程#22において、キャリア本
体90の表面に印刷が施される。
【0261】最後に、製造された無線ICカードに対す
る検査が行われる。
【0262】図32は製造された無線ICカードの寸法
の一例を示す。無線ICカードの全体の寸法は86×5
4×3mmとなっている。
【0263】次に、以上のように製造された無線ICカ
ードの作用を説明する。
【0264】圧電素子基板91に圧力が加わると、この
圧電素子基板91には、上記Fig.30に示すように分
極を起こして電荷(+,−)が発生する。この圧電素子
基板91の各電極92a、92bに起電力が発生し、こ
れがICチップ23に供給される。
【0265】従って、圧電素子基板91の部分に圧力機
構や人の手などによって圧力が加わることにより、圧電
素子基板91により発生した起電力がICチップ23に
供給される。
【0266】このように上記第7の実施の形態によれ
ば、キャリア本体90の基板として用いた圧電素子基板
91により発生する起電力をICチップ23に供給する
ようにしたので、上記第3の実施の形態と同様に、電池
交換の必要がなくなる。省エネルギーが実現できる。簡
単な構造の無線ICカードが製造できる。
【0267】例えば、電源供給用の電力は、電池内蔵型
の無線ICカードと比較すると、省エネルギーの効果が
100%で、廃電池が発生しない。これにより、長寿命
化を達成させることができるとともに、クリーンエネル
ギにより動作させることができる。
【0268】(8) 次に、本発明の第8の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
【0269】図33はデータ読取り書込み装置の構成図
である。
【0270】このデータ読取り書込み装置は、無線IC
カードとして例えば上記第7の実施の形態に示す無線I
Cカード100と、この無線ICカード100との間で
データの読み取り/書き込みを行うリーダライタ101
とから構成されている。
【0271】無線ICカード100は、上記第7の実施
の形態に示す無線ICカードと同一構成なのでその説明
は省略する。
【0272】一方、リーダライタ101は、上記無線I
Cカード100が配置された状態に、この無線ICカー
ド100に記録されているデータの読み取り、書き込み
を行うものである。
【0273】このリーダライタ101は、無線ICカー
ド100の通信用アンテナ41に対応して読み取り/書
き込み用のアンテナ102と、このアンテナ102に接
続されてデータの読み取り/書き込みの制御やデータの
処理、保存などを行うデータ処理部103が備えられて
いる。
【0274】リーダライタ101には、キャリア挿入口
104から連通するキャリア通過路105が形成されて
いる。このキャリア通過路105には、一対のローラ1
06a、106bが設けられている。
【0275】これらローラ106a、106bは、リー
ダライタ101内に無線ICカード100がセットされ
たときに、無線ICカード100の圧電素子基板91に
設けられた各電極92a、92bを押圧する加圧機構と
しての作用を有するものとなっている。
【0276】キャリア通過路105には、これらローラ
106a、106bの他に無線ICカード100をキャ
リャ通過路105に導くためのローラが複数配置されて
いる。
【0277】次に、上記の如く構成されたデータ読取り
書込み装置での無線ICカード100への電力供給の作
用について説明する。
【0278】無線ICカード100がリーダライタ10
1のキャリア挿入口104に挿入されると、この無線I
Cカード100は、キャリア通過路105内に自動的に
導かれてデータの読み取り/書き込み位置にセットされ
る。
【0279】このときローラ106a、106bは、図
34に示すように無線ICカード100の圧電素子基板
91に設けられた各電極92a、92bを押圧する。
【0280】この圧電素子基板91に圧力が加わると、
この圧電素子基板91は、分極を起こして電荷(+,
−)を発生する。そして、この圧電素子基板91の各電
極92a、92bに起電力が発生し、これがICチップ
23に供給される。
【0281】これにより、無線ICカード100とリー
ダライタ101との間では、通信用アンテナ41とアン
テナ102とを介してデータの授受が行われる。
【0282】このように上記第8の実施の形態において
は、リーダライタ101の一対のローラ106a、10
6bによる無線ICカード100の圧電素子基板91へ
の押圧によって起電力を発生し、これをICチップ23
に供給するようにしたので、上記第4の実施の形態と同
様に、電池や電磁誘導コイルなどの電気エネルギーを用
いずに、リーダライタ101でデータの読み込み/書き
込みを行うときに無線ICカード100に電気エネルギ
ーを供給することができる。
【0283】これにより、電池交換の必要がなくなり、
かつリーダライタ101の待ち受け電力消費を減らし
て、省エネルギー型で、簡単な構造の無線ICカード1
00を製造できる。
【0284】(9) 次に、本発明の第9の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
【0285】図35(a)(b)は無線ICカードの構成図で
あって、同図(a)は正面図、同図(b)は断面図である。
【0286】キャリア本体110には、ICチップ2
3、通信用アンテナ41及び電源供給用コイル42が搭
載されている。これら通信用アンテナ41及び電源供給
用コイル42は、それぞれ渦巻き状に形成されている。
【0287】通信用アンテナ41は、ICチップ23の
アンテナコイル22に対向配置されるアンテナコイル3
1に電気的に接続されている。
【0288】電源供給用コイル42は、通信用アンテナ
41に電気的に接続されている。
【0289】キャリア本体110は、例えばポリスチレ
ン(PS)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、
塩化ビニルなどの材質により形成されている。
【0290】通信用アンテナ41及び電源供給用コイル
42は、例えば径の細い導線を複数巻回して形成した
り、又は蒸着等により電気的ラインを複数巻回して形成
されている。これら通信用アンテナ41及び電源供給用
コイル42は、例えば被覆付銅ワイヤコイル、銅配線コ
イル、アルミ配線コイルが用いられている。
【0291】電源供給用コイル42の内側には、キャビ
ティ43が形成されている。このキャビティ43内に
は、永久磁石44が移動自在に設けられている。
【0292】この永久磁石44は、板状に形成されてい
る。この永久磁石44は、一方の面側にN極が帯磁さ
れ、他方の面にS極が帯磁されている。この永久磁石4
4は、Fig.40Bに示すように電源供給用コイル42
の中心軸方向(s1)に移動自在に設けられている。こ
の永久磁石44は、例えばアルニコ系鋳造磁石、Baフ
ェライト磁石、希土類コバルト磁石、炭素鋼、タングス
テン鋼、KS鋼、キュニフェなどの材質により形成され
ている。
【0293】次に無線ICカードの製造方法について図
36(a)〜(d)に示す製造工程図を参照して説明する。
【0294】先ず、上記第1の実施の形態と同様にIC
チップ23が製造される。
【0295】概略説明すると、上記図1(a)に示す半導
体ウエハ20の表面上に、図1(b)に示すように絶縁保
護膜21が形成される。
【0296】次に、絶縁保護膜21の上に、図1(c)に
示すように例えば金メッキ配線によりアンテナコイル2
2が形成される。
【0297】この後、半導体ウエハ20に対してダイシ
ングが行われ、図1(d)に示すように半導体ウエハ20
から各ICチップ23が個々に切り出される。
【0298】一方、図36(a)に示すモジュール基板1
11の表面上には、図36(b)に示すように通信用アン
テナコイル41及びアンテナコイル31が形成される。
【0299】アンテナコイル31は、ICチップ23に
形成されているアンテナコイル22の形状と略同一形状
に形成されている。
【0300】通信用アンテナコイル41は、外部との通
信に用いられるために、アンテナコイル31の巻数より
も多く、かつ形状が大きく形成されている。これら通信
用アンテナコイル41とアンテナコイル31とは、電気
的に接続されている。
【0301】これら通信用アンテナコイル41とアンテ
ナコイル31は、モジュール基板111の表面上に同時
に、例えば通常の印刷配線板のようにサブトラクティブ
法により形成する。これらアンテナコイル41、31の
形成方法は、アディティブ法を用いてもよい。
【0302】又、これらアンテナコイル41、31の形
成方法は、被覆ワイヤを巻いてコイル状にしたものをモ
ジュール基板111に固定して形成してもよい。さら
に、印刷配線とワイヤコイルの組み合わせにしてもよ
い。
【0303】具体的に説明すると、通信用アンテナコイ
ル41とアンテナコイル31は、共に例えばAg、Al
等をエッチングすることにより形成される。なお、これ
らアンテナコイル41、31は、共にAgペースト等の
印刷法によって形成してもよく、又はCuの巻線コイル
により形成してもよい。さらに、アンテナコイル31
は、印刷又はエッチングにより形成してもよい。
【0304】次に、アンテナコイル31上には、図36
(c)に示すように絶縁膜21が形成される。この絶縁膜
21は、例えば厚さ20μmの半硬化のエポキシ樹脂系
である。この絶縁膜21は、例えば半硬化のエポキシ樹
脂系の絶縁接着剤フィルムを貼り付けるものとなる。こ
の絶縁膜21は、ポリイミドなどの他の絶縁性樹脂や金
属酸化物などでもよい。
【0305】次に、ICチップ23がアンテナコイル3
1上に対向配置される。
【0306】この場合、ICチップ23は、フェイスダ
ウン方式で実装される。この実装は、ICチップ23の
アンテナコイル22とアンテナコイル31とが絶縁膜2
1を介して対向配置するように適当な圧力で行われる。
【0307】又、この実装は、アンテナコイル22とア
ンテナコイル31とのギャツプが機械的に制御され、こ
のギャップが概略20μm以下になるように行われる。
この実装では、絶縁膜21の例えば半硬化のエポキシ樹
脂系の絶縁接着剤フィルムを完全硬化させるために概略
200〜120℃の温度で10〜120秒間加熱してモ
ジュール基板111上に固定する。
【0308】ここで、上記絶縁接着剤フィルムなどの絶
縁接着剤の供給形態は、粘性液体状のものを塗布しても
よい。この場合、圧力で絶縁膜21の確保が困難な場合
は、高さ制御しながら固定してもよいし、絶縁膜21を
兼ねたスペーサ例えば厚さ10μmのポリエステルフィ
ルムを入れて絶縁膜21を確保してもよい。
【0309】次に、モジュール基板111の表面上に絶
縁膜112が形成される。
【0310】次に、この絶縁膜112上には、電源供給
用コイル42が形成される。この電源供給用コイル42
は、例えば通常の印刷配線板のようにサブトラクティブ
法により形成する。
【0311】この電源供給用コイル42の形成方法は、
アディティブ法を用いてもよい。又、この電源供給用コ
イル42の形成方法は、被覆ワイヤを巻いてコイル状に
したものをモジュール基板111に固定して形成しても
よい。さらに、印刷配線とワイヤコイルの組み合わせに
してもよい。
【0312】次に、永久磁石44が収納されたキャビテ
ィ43が用意される。この永久磁石44は、キャビティ
43内で移動自在に設けられている。このキャビティ4
3は、絶縁膜112上に実装される。
【0313】次に、図36(d)に示すようにICチップ
23及びキャビティ43を載せたモジュール基板111
の全体は、例えば封止樹脂113が充填される。
【0314】この封止樹脂113は、粉末磁性体が分散
されたものとなっている。
【0315】次に、モジュール基板111の全体は、ポ
リエステルフィルム33などでラミネートされ、印刷、
外形打ち抜きされる。
【0316】図37は製造された無線ICカードのIC
チップの部分の断面図である。なお、無線ICカード化
の方法としては、ポリエステル系樹脂等による射出成形
する方法、塩化ビニルシート等によるプレス成形による
方法などがある。
【0317】一方、無線ICカードの別の製造方法につ
いて図38に示す分解斜視図、図392に示す製造流れ
図を参照して説明する。
【0318】キャリア本体110は、図38に示すよう
に第1の筐体(下側カード筐体)110a及び第2の筐
体(上側カード筐体)110bを組み合わせたものであ
る。
【0319】下側カード筐体110aには、ICチップ
23、通信用アンテナ41、電源供給用コイル42を搭
載するための各凹部45〜47が形成されている。
【0320】この下側カード筐体110aには、通信用
アンテナ41と電源供給用コイル42との電気的接続を
行うための凹部120が形成されている。
【0321】上側カード筐体110bには、永久磁石4
4を挿入するためのキャビティ43が設けられている。
【0322】これら下側カード筐体110a及び上側カ
ード筐体110bは、共に粉末磁性体が分散されてい
る。
【0323】先ず、図39に示すようにICチップ23
及びこのICチップ23用の基板48が供給される。
【0324】工程#30において、ICチップ23が基
板48に実装される。
【0325】次に、工程#31において、基板48に実
装されたICチップ23が下側カード筐体110aの凹
部45にセットされる。この場合、ICチップ23は、
凹部45に接着される。
【0326】次に、通信用アンテナ41及び電源供給用
コイル42が供給される。通信用アンテナ41には、基
板48の各端子と接続するためのリード41aが延びて
いる。この通信用アンテナ41には、電源供給用コイル
42と電気的に接続するためのリード41bが延びてい
る。
【0327】この電源供給用コイル42には、通信用ア
ンテナ41と電気的に接続するためのリード42aが延
びている。
【0328】これら通信用アンテナ41及び電源供給用
コイル42は、工程#32において、下側カード筐体1
10aの各凹部46、47にそれぞれセットされる。通
信用アンテナ41のリード41aは、基板48の端子と
例えば半田付けによって接続される。
【0329】通信用アンテナ41のリード41aと電源
供給用コイル42のリード42aとは、例えば半田付け
によって電気的に接続される。
【0330】次に、永久磁石44が供給される。この永
久磁石44は、工程#33において、上側カード筐体1
10bのキャビティ43内に挿入される。
【0331】次に、ICチップ23、通信用アンテナ4
1及び電源供給用コイル42が搭載された下側カード筐
体110aが供給されるとともに、永久磁石44が挿入
された上側カード筐体110bが供給される。
【0332】そして、工程#34において、これら下側
カード筐体110aと上側カード筐体110bとが組み
合わされて接着され、キャリア本体110が形成され
る。
【0333】この後、工程#35において、キャリア本
体110の表面に印刷が施される。
【0334】最後に製造された無線ICカードに対する
検査が行われる。
【0335】次に、以上のように製造された無線ICカ
ードの作用を説明する。
【0336】この無線ICカードが人等に携帯される
と、その全体が動く。この動きによりキャビティ43内
の永久磁石44は移動する。
【0337】これにより永久磁石44の磁束は電源供給
用コイル42を交叉することにより、この電源供給用コ
イル42に誘導起電力が発生する。この誘導起電力は、
通信用アンテナ41を通してICチップ23に供給され
る。
【0338】このように上記第9の実施の形態によれ
ば、電池や電磁誘導コイルなどの電気エネルギーを用い
ずに永久磁石44と例えば人の手による動作での誘導起
電力vによって無線ICカードに電気エネルギーを供給
することができる。
【0339】この場合、封止樹脂113、又は下側カー
ド筐体110a及び上側カード筐体110bには、粉末
磁性体が分散されているので、通信用アンテナ41から
ICチップ23に送られる通信の感度を高くできる。
【0340】又、同粉末磁性体が分散されているので、
コイル周りの透磁率をあげて、ICチップ23と通信用
アンテナ41との電気回路的な接続の効率と発電効率と
の両方を同時に向上させることができ、電源供給用コイ
ル42に発生する誘導起電力を大きくでき、ICチップ
23に供給する電力量を大きくできる。
【0341】このように封止樹脂113に粉末磁性体を
分散させることによってICチップ23上に形成したア
ンテナコイル22と基板48上の通信用アンテナ41と
を対向配置することによって、物理的に回路導体を接続
することなしに電気回路的にICチップ23と電源供給
用コイル42とを接続し、かつ発電用の永久磁石44を
備えた無線ICカードを、簡単な構造で、かつ簡単な製
造工程で上記の如く電気回路的な接続の効率と発電効率
との両方を向上できる。
【0342】従って、電池交換の必要がなくなる。リー
ダライタの待ち受け電力消費を減らして、省エネルギー
が実現できる。簡単な構造の無線ICカードが製造でき
る。例えば、電源供給用の電力は、電池内蔵型の無線I
Cカードと比較すると、省エネルギーの効果が100%
で、しかも廃電池が発生しない。
【0343】しかして、高価なICチップ23の実装装
置が必要なく、工程的にも自由度の高い、低コストで自
己発電ができる無線ICカードを実現できる。
【0344】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、半
導体素子とアンテナコイルとを電気的に接続し、高価な
実装装置を必要とせずに安価にできる無線ICカード及
びその製造方法を提供できる。
【0345】又、本発明によれば、電池の寿命に左右さ
れず、省エネルギー化を図ることができる無線ICカー
ド及びその製造方法並びに無線ICカード読取り書込み
システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる無線ICカード(無線タグ)の
製造方法の第1の実施の形態を示す製造工程図。
【図2】同無線タグの製造工程の他の例を示す概略図。
【図3】同無線タグの製造工程のワイヤボンディング法
を用いた他の例を示す概略図。
【図4】同無線タグの製造工程の変形例を示す構成図。
【図5】同無線タグの製造工程の変形例を示す構成図。
【図6】同無線タグの製造工程の変形例を示す構成図。
【図7】本発明に係わる無線ICカードの製造方法の第
2の実施の形態を示す製造工程図。
【図8】同無線ICカードの製造方法の製造工程図。
【図9】製造された無線ICカードの断面図。
【図10】同無線ICカードの電気回路図。
【図11】第1と第2のアンテナコイルとの電磁誘導結
合を説明するための模式図。
【図12】本発明に係わる無線ICカードの第3の実施
の形態を示す構成図。
【図13】同無線ICカードの分解斜視図。
【図14】同無線ICカードの製造流れ図。
【図15】同無線ICカードにおける電源供給用コイル
部分の拡大図。
【図16】同無線ICカードの永久磁石を回転自在に設
けた場合の構成図。
【図17】本発明に係わる第4の実施の形態を示す無線
ICカード読取り書込みシステムにおける無線ICカー
ドの構成図。
【図18】同無線ICカード読取り書込みシステムにお
けるリーダライタの構成図。
【図19】同無線ICカードの分解斜視図。
【図20】同無線ICカード読取り書込みシステムでの
無線ICカードへの電力供給の作用を説明するための
図。
【図21】同無線ICカード読取り書込みシステムでの
無線ICカードへの電力供給の作用を説明するための
図。
【図22】本発明に係わる第5の実施の形態を示す無線
ICカードの構成図。
【図23】本発明は変形例を示す概略構成図。
【図24】本発明に係わる無線ICカードの第6の実施
の形態を示す構成図。
【図25】圧力が加わったときの圧電素子に発生する電
荷を示す模式図。
【図26】無線ICカードの電気回路図。
【図27】無線ICカードの分解斜視図。
【図28】無線ICカードの製造方法を示す製造流れ
図。
【図29】本発明に係わる無線ICカードの第7の実施
の形態を示す構成図。
【図30】無線ICカードの分解斜視図。
【図31】無線ICカードの製造方法を示す製造流れ
図。
【図32】製造された無線ICカードを示す図。
【図33】本発明の第8の実施の形態である無線ICカ
ード読取り書込みシステムの構成図。
【図34】同システムでの圧電素子による起電力の発生
原理を説明するための図。
【図35】本発明に係わる無線ICカードの第9の実施
の形態を示す構成図。
【図36】同無線ICカードの製造方法の製造工程図。
【図37】同無線ICカードの一部拡大断面図。
【図38】同無線ICカードの分解斜視図。
【図39】同無線ICカードの製造方法を示す製造流れ
図。
【図40】従来における無線ICカードの斜視図。
【図41】同無線ICカードの断面図。
【図42】同無線ICカードの電気回路図。
【図43】従来の無線ICカードの概略構成図。
【図44】従来の他の無線ICカードの概略構成図。
【図45】同無線ICカードの断面図。
【符号の説明】
20:半導体ウエハ、 21:絶縁保護膜、 22:アンテナコイル、 23:ICチップ、 24:導電ビアホール、 25:モールド樹脂、 26:電極、 27:ボンディングワイヤ、 28:スルーホール、 29:コンデンサ、 30:モジュール基板、 31:第2のアンテナコイル、 32:第3のアンテナコイル、 33:絶縁膜、 34:無線ICカード、 35:IC回路、 40:キャリア本体、 41:通信用アンテナ、 42:電源供給用コイル、 43:空間(キャビティ)、 44:永久磁石、 40a:第1の筐体(下側カード筐体)、 40b:第2の筐体(上側カード筐体)、 45〜47:凹部、 48:基板、 49:永久磁石、 50,51:支持部材、 53:ダイヤル、 55:リーダライタ、 56:読み取り/書き込み用のアンテナ、 57:永久磁石、 60:通信及び電源供給兼用のコイル、 61,62:凹部、 70:自動改札機、 71:永久磁石、 80:キャリア本体、 81:圧電素子、 82a,82b:電極、 80a:第1の筐体(下側カード筐体)、 80b:第2の筐体(上側カード筐体)、 84:基板、 85:COB(チップ・オン・ボード)基板、 90:キャリア本体、 91:圧電素子基板、 90a:下側外装シート、 90b:上側外装シート、 100:無線ICカード、 101:リーダライタ、 102:読み取り/書き込み用のアンテナ、 103:データ処理部、 106a,106b:ローラ、 110:キャリア本体、 111:モジュール基板、 112:絶縁膜、 113:封止樹脂、 110a:下側カード筐体、 110b:上側カード筐体。
フロントページの続き (72)発明者 瀬川 雅雄 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術センター内 (72)発明者 斉藤 康人 東京都港区新橋3丁目3番9号 東芝エ ー・ブイ・イー株式会社内 Fターム(参考) 2C005 MA18 MA29 MB10 NA09 NB34 RA11 5B035 AA04 AA08 CA01 CA23 5F044 AA10 AA14 AA18 AA20 JJ03

Claims (40)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体素子の表面上にアンテナコイルが
    形成されたことを特徴とする無線ICカード。
  2. 【請求項2】 アンテナコイルが表面上に形成された半
    導体素子と、 少なくとも2つのアンテナコイルが形成されこれらアン
    テナコイルのうち一方のアンテナコイルに対して前記半
    導体素子の前記アンテナコイルが対向配置される基板と
    を具備したことを特徴とする無線ICカード。
  3. 【請求項3】 前記半導体素子の表面上のアンテナコイ
    ルは、前記半導体素子の表面上に形成された複数の電極
    パット間に接続されたボンディングワイヤにより形成さ
    れることを特徴とする請求項1又は2記載の無線ICカ
    ード。
  4. 【請求項4】 前記半導体素子上のアンテナコイルは、
    金属膜により形成されることを特徴とする請求項1又は
    2記載の無線ICカード。
  5. 【請求項5】 前記半導体素子の表面上には、前記金属
    膜からなるアンテナコイルと絶縁膜とが多層に形成され
    ていることを特徴とする請求項1又は2記載の無線IC
    カード。
  6. 【請求項6】 前記半導体素子の表裏面上には、それぞ
    れ前記アンテナコイルが形成されていることを特徴とす
    る請求項1又は2記載の無線ICカード。
  7. 【請求項7】 前記半導体素子に電気素子を形成する層
    が形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載
    の無線ICカード。
  8. 【請求項8】 前記基板の一方のアンテナコイルの形状
    を前記半導体素子の前記アンテナコイルの形状と略同一
    に形成し、かつ前記基板の他方のアンテナコイルの形状
    を前記基板の一方のアンテナコイルの形状よりも大きく
    形成したことを特徴とする請求項2記載の無線ICカー
    ド。
  9. 【請求項9】 前記基板の一方のアンテナコイルと前記
    基板の他方のアンテナコイルとは、電気的に接続された
    ことを特徴とする請求項2記載の無線ICカード。
  10. 【請求項10】 前記基板の一方のアンテナコイルと前
    記半導体素子のアンテナコイルとは、電磁誘導結合され
    ていることを特徴とする請求項2記載の無線ICカー
    ド。
  11. 【請求項11】 前記半導体素子には絶縁膜又は磁性膜
    を介して前記アンテナコイルが形成されていることを特
    徴とする請求項1又は2記載の無線ICカード。
  12. 【請求項12】 前記基板に形成された前記各アンテナ
    コイル上には、絶縁膜が形成されていることを特徴とす
    る請求項は2記載の無線ICカード。
  13. 【請求項13】 前記各絶縁膜内には、それぞれ磁性体
    粉末が分散されたことを特徴とする請求項11又は12
    記載の無線ICカード。
  14. 【請求項14】 前記アンテナコイルが表面上に形成さ
    れた前記半導体素子を樹脂により封止することを特徴と
    する請求項1記載の無線ICカード。
  15. 【請求項15】 前記半導体素子及び前記基板を一体的
    に樹脂により封止することを特徴とする請求項2記載の
    無線ICカード。
  16. 【請求項16】 複数の半導体素子が形成された半導体
    ウエハの表面上に絶縁膜を形成する第1の工程と、 複数の前記半導体素子に対応する部位の前記絶縁膜上に
    それぞれアンテナコイルを形成する第2の工程と、 前記半導体ウエハから複数の前記半導体素子をそれぞれ
    切り出す第3の工程と、を有することを特徴とする無線
    ICカードの製造方法。
  17. 【請求項17】 半導体素子の表面上にアンテナコイル
    を形成する第1の工程と、 基板上に少なくとも2つのアンテナコイルを形成する第
    2の工程と、 前記基板上の一方のアンテナコイルに対して前記半導体
    素子のアンテナコイルを対向配置させる第3の工程と、
    を有することを特徴とする無線ICカードの製造方法。
  18. 【請求項18】 前記半導体素子の表面上に形成された
    アンテナコイルは、薄膜パターン法又は印刷法により形
    成されたことを特徴とする請求項16又は17記載の無
    線ICカードの製造方法。
  19. 【請求項19】 前記半導体素子の表面上に形成された
    アンテナコイルは、前記半導体素子の表面上に複数の電
    極パッドを形成し、これら電極パッドをワイヤボンディ
    ングにより接続してなることを特徴とする請求項16又
    は17記載の無線ICカードの製造方法。
  20. 【請求項20】 前記基板上の少なくとも2つのアンテ
    ナコイルは、共に一体的に形成されたことを特徴とする
    請求項16又は17記載の無線ICカードの製造方法。
  21. 【請求項21】 前記アンテナコイルが表面上に形成さ
    れた半導体素子を樹脂により封止する工程を有すること
    を特徴とする請求項16記載の無線ICカードの製造方
    法。
  22. 【請求項22】 前記半導体素子及び前記基板を樹脂に
    より一体的に封止する工程を有することを特徴とする請
    求項17記載の無線ICカードの製造方法。
  23. 【請求項23】 少なくともコイル及びICチップを搭
    載したIC無線カードにおいて、 前記コイルの近傍に空間を形成し、この空間内に永久磁
    石を移動自在に設けたことを特徴とするIC無線カー
    ド。
  24. 【請求項24】 前記永久磁石は、前記コイルの中心軸
    方向に移動自在であることを特徴とする請求項23記載
    のIC無線カード。
  25. 【請求項25】 前記永久磁石は、前記空間内に回転自
    在に設けられたことを特徴とする請求項23記載のIC
    無線カード。
  26. 【請求項26】 前記コイルは、電源供給用及びデータ
    通信用のアンテナを兼用することを特徴とする請求項2
    3記載のIC無線カード。
  27. 【請求項27】 第1の筐体に対して少なくともICチ
    ップ及びコイルを取り付ける工程と、 前記第1の筐体に予め形成された凹部に永久磁石を移動
    自在に挿入する工程と、 少なくとも前記ICチップ及び前記コイルが取り付けら
    れるとともに前記永久磁石の挿入された前記第1の筐体
    に対して第2の筐体を接着する工程と、を有することを
    特徴とするIC無線カードの製造方法。
  28. 【請求項28】 少なくともコイル及びICチップを搭
    載したIC無線カードと、 このIC無線カードに搭載された前記ICチップとの間
    でデータの授受を行い、かつ前記コイルに対応する位置
    に永久磁石が設けられた読取り書込み手段とを備え、 前記IC無線カードに搭載された前記コイルに対して前
    記読取り書込み手段に設けられた前記永久磁石の磁束が
    交叉することにより前記コイルに誘導起電力を発生させ
    ることを特徴とする無線ICカード読取り書込みシステ
    ム。
  29. 【請求項29】 少なくともデータ通信用のアンテナ及
    びICチップを搭載したIC無線カードにおいて、 前記ICチップに接続される圧電素子を具備したことを
    特徴とするIC無線カード。
  30. 【請求項30】 前記圧電素子をキャリア本体の基板と
    して用い、この圧電素子上に少なくとも前記アンテナ及
    び前記ICチップを搭載したことを特徴とする請求項2
    9記載のIC無線カード。
  31. 【請求項31】 前記圧電素子の両側にそれぞれ電極を
    設け、これら電極を少なくとも前記ICチップに電気的
    に接続することを特徴とする請求項29又は30記載の
    IC無線カード。
  32. 【請求項32】 第1の筐体に対して少なくともデータ
    通信用のアンテナ及びICチップを取り付ける工程と、 前記第1の筐体に対して圧電素子を取り付ける工程と、 少なくとも前記アンテナ、前記ICチップ及び前記圧電
    素子が取り付けられた前記第1の筐体に対して第2の筐
    体を接着する工程と、を有することを特徴とするIC無
    線カードの製造方法。
  33. 【請求項33】 圧電素子から形成される基板に対して
    少なくともデータ通信用のアンテナ及びICチップを取
    り付ける工程と、 前記アンテナ及び前記ICチップの取り付けられた前記
    基板に対して外装を施す工程と、を有することを特徴と
    するIC無線カードの製造方法。
  34. 【請求項34】 少なくともデータ通信用のアンテナ及
    びICチップを搭載するとともに、前記ICチップに接
    続される圧電素子を備えたIC無線カードと、 前記アンテナを介して前記ICチップとの間でデータの
    授受を行うもので、前記IC無線カードの前記圧電素子
    に対して加圧を行って前記圧電素子に電荷を発生させる
    加圧機構を備えた読取り書込み手段と、を具備したこと
    を特徴とする無線ICカード読取り書込みシステム。
  35. 【請求項35】 渦巻き状のアンテナが表面上に形成さ
    れた半導体素子と、 少なくとも3つの渦巻き状のアンテナが形成され、これ
    らアンテナのうち1つのアンテナに対して前記半導体素
    子の前記アンテナが対向配置された基板と、 この基板における他の前記アンテナの近傍に形成された
    空間と、 この空間内に移動自在に設けられた永久磁石と、を具備
    したことを特徴とする無線ICカード。
  36. 【請求項36】 前記基板上には、前記半導体素子上の
    前記アンテナと対向配置されるアンテナと、 このアンテナに電気的に接続された通信用のアンテナ
    と、 この通信用のアンテナに電気的に接続され、前記永久磁
    石の磁束が交叉する電源供給用のアンテナと、が形成さ
    れたことを特徴とする請求項35記載の無線ICカー
    ド。
  37. 【請求項37】 前記各アンテナは、磁性体粉末が分散
    された絶縁材料により封止されていることを特徴とする
    請求項35記載の無線ICカード。
  38. 【請求項38】 予め凹部が形成された第1の筐体に対
    して少なくとも半導体素子及び少なくとも3つの渦巻き
    状のアンテナを取り付ける工程と、 前記凹部に永久磁石を移動自在に挿入する工程と、 前記第1の筐体に対して第2の筐体を接着する工程と、
    を有することを特徴とする無線ICカードの製造方法。
  39. 【請求項39】 前記永久磁石をケース内に移動自在に
    収納する工程と、 このケースを前記凹部に取れ付ける工程と、を有するこ
    とを特徴とする請求項38記載の無線ICカードの製造
    方法。
  40. 【請求項40】 前記第1及び第2の筐体は、磁性体粉
    末が分散された絶縁材料により形成されていることを特
    徴とする請求項38記載の無線ICカードの製造方法。
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