JP2000309457A - テープ搬送用ドラム装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 孔あるいはスリットを有するテープを確実に
ドラムに密着でき、精度良く検査できるようにする。 【解決手段】 ドラム装置は、静電ドラム４６が電圧源
によって静電圧を印加されるようになっている。静電ド
ラム４６に印加された電圧は、半導体装置用テープ７０
を分極し、半導体装置用テープ７０を静電ドラム４６の
周面に吸着して密着させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、テープ搬送用ド
ラム装置に係り、特に、半導体チップを搭載するＴＡＢ
（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）テ
ープなどの半導体装置用テープを検査するために搬送す
るのに好適なテープ搬送用ドラム装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年より、半導体装置の小型化の要求が
強まっており、そのため、半導体装置のパッケージ外径
寸法をほぼ半導体チップの外径寸法にまで小型化したチ
ップサイズパッケージの半導体装置が提案されている。
この半導体装置は、図３および図４に示すような半導体
装置用テープ７０が使用される。半導体装置用テープ７
０は、半導体チップの端子に対応して形成された配線６
２、これと一体のインナリード６４、及びアウタリード
６６が接着材６８を介して長尺のテープ基材７０Ａにパ
ターン化されて接着され、このパターンが複数繰り返さ
れていて、デバイス孔７２に半導体チップを配置してイ
ンナリード６４と接続することにより、多数の半導体装
置を連続的に製造することができる。

【０００３】すなわち、この半導体装置用テープ７０
は、ポリイミド素材等からなる長尺のテープ基材７０Ａ
に、デバイス孔７２あるいはスリット形状のリード孔７
４（以下、スリット孔７４という）等を所定の位置に設
けるとともに、この長尺のテープ基材７０Ａの表面に、
蒸着等により銅箔７６などの導電膜を形成した後、通常
のエッチング技術を用いてチップサイズパッケージ用の
配線６２、インナリード６４、及びアウタリード６６な
どのパターンが複数繰り返して形成されたものである。
リード孔７４は、テープ７０Ａの長尺方向に設けられた
縦方向リード孔７４Ａと、テープ基材７０Ａの幅方向に
設けられた横方向リード孔７４Ｂとがあけられている。
この半導体装置用テープ７０は、３５ｍｍ、４８ｍｍ、
７０ｍｍ、あるいは、９６ｍｍ等の各種類の幅のものが
存在する。

【０００４】上記、半導体装置用テープ７０のパターン
幅などを検査にあたっては、図５に示すように駆動ドラ
ム８０を用いて半導体装置用テープ７０を送り検査する
ドラム方式、あるいは、図６に示すように所定間隔離間
して水平に２個配設された駆動ローラ９０および従動ロ
ーラ９２を用いて半導体装置用テープ７０を送り検査す
る水平ローラ方式のいずれかで行っている。図５に示す
ドラム方式では、駆動ドラム８０に対向して半導体装置
用テープ７０の幅方向の両端部にガイド部材８２を設け
てテープ７０が回転する駆動ドラム８０の表面で滑らな
いようにし、また、駆動ドラム８０の入出口にそれぞれ
ガイドローラ８４、８６を用いて半導体装置用テープ７
０を搬送するとともに、後述するような検査をしてい
る。図６に示す水平ローラ方式では、駆動ローラ９０と
従動ローラ９２との間に一対の抑えローラ９４を用いて
いる。

【０００５】テープ７０の検査は、上記のような方式で
半導体装置用テープ７０の搬送方向の平面度を保つよう
に搬送し、搬送された半導体装置用テープ７０に形成さ
れた配線６２とインナリード６４とアウタリード６６等
のパターンをＣＣＤカメラ１００などの画像読取装置に
より画像として読み取り、この読み取られた画像に基づ
いてパターン幅や配線パターンの断線、ショートなどの
欠陥を検出する検査を行っている。

【０００６】上記の従来の搬送および検査では、ドラム
方式（１）、および、水平ローラ方式（２）のいずれに
おいての長所と短所とを有している。 （１）ドラム方式では、 〔長所〕 ドラムの質量が大きいため、基本的にドラムの周速
が搬送速度になるとともに、テープテンションなどの外
乱に大変強い送り系が得られ、送りムラは水平ローラ方
式の数分の１になり、優れた搬送精度が得られる。 テープにスリットがない場合には、ドラムにテープ
が密着しているため、優れた平面性が得られる。 ドラムの上部に広いスペースが得られるので自由度
を持った設計が可能となり、性能の良い光学系が得られ
る。 ドラムを軸方向に伸縮できる構造とすることによ
り、テープ幅の変更が容易にできるため、各種のテープ
に同一の機種で検査が行える。 〔短所〕 スリットのあるテープでは平面性が悪い。特に、搬
送方向に対して直交するスリットが設けられている場合
には、スリットを形成する縁がドラムから浮き上がって
平面性が更に悪くなる。 検査用の照明を投射するときの透過照明の自由度が
低い。

【０００７】（２）の水平ローラ方式では、 〔長所〕 スリットがある場合、あるいは、厚みが変化する場
合等でも安定した搬送ができるため、一般的にテープの
種類を選ばずに搬送ができる。 検査用の照明を投射するときの透過照明の自由度が
高い。 〔短所〕 ローラの質量が小さいため、電圧変動等の外乱の影
響が大きく、速度ムラが多い。 搬送用の水平ローラ間に押さえローラを配置するた
めに照明に使えるスペースが狭くなる。 ローラの清掃が不便でローラにゴミが付いた場合に
問題となる。 テープ幅が変わるとローラを交換する必要があるた
めに不便である。

【０００８】以上より、ドラム方式によるテープの搬送
は、一般的に、スリットのないテープの反射画像、ある
いは、スリットがあってもドラムの軸線方向に幅の狭い
場合等の場合に限られていた。そして、上記のごとく、
半導体装置用テープ７０には、デバイス孔７２あるいは
テープの幅方向に広いスリット孔７４等が所定の位置に
設けられているため、水平ローラ方式を用いるのが一般
的である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、水平ロ
ーラ方式では、搬送方向に沿って配置された搬送用の一
対のローラ間をテープの平面度を保って移動させるとと
もに、その搬送される半導体装置用テープ７０の表面に
形成したパターンをＣＣＤカメラ等の読取手段で読み取
るようにしているため、半導体用テープの搬送中にテー
プが撚れたり、たるむ場合があり、読取位置のテープ表
面の平面度を所定の精度に確保できないおそれがある。

【００１０】すなわち、近年、半導体装置用テープ７０
に形成される回路パターンの幅は、３μｍ程度と微細化
されており、このようなパターンをＣＣＤカメラ等に画
像を取り込んで検査する場合、カメラの焦点深度が５０
μｍ以下となっており、テープのわずかのたるみによっ
てもパターン画像に乱れが生じ、読み取られた画像から
寸法、あるいはパターン欠陥を精度よく検出することが
難しい。また、水平ローラ方式は、速度ムラが多いた
め、パターンの欠陥位置などを精度よく検出することが
難しい。

【００１１】このため、幅方向に広いスリット孔を有す
る半導体装置用テープの検査においても、平面度が得や
すく、優れた搬送精度が得られるドラム方式を用いると
良いが、半導体装置用テープに孔あるいはスリット孔が
あるために、前述のようにスリットの縁部の平面性が悪
くなり、この部分におけるパターンの検査が困難となる
欠点がある。すなわち、搬送方向に直交したテープの幅
方向に広いスリット孔が設けられている場合、図１の二
点鎖線で示すごとく、スリット孔７４の縁部７４ａがド
ラム４６から寸法δだけ離れるために平面性が悪くな
り、ＣＣＤカメラ等による測定点Ｐａの画像がぼけてし
まい正確に寸法、形状が測定できないという問題があ
る。

【００１２】本発明は上記の問題点に着目してなされた
もので、孔あるいはスリットを有するテープを確実にド
ラムに密着でき、精度良く検査できるようにすることを
目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的達成のため、
本発明に係るテープ搬送用ドラム装置は、回転するドラ
ムの周面にテープを巻き付けて搬送するテープ搬送用ド
ラム装置であって、前記ドラムは電圧を印加されて前記
テープを静電気力によって外周面に密着させることを特
徴としている。

【００１４】

【作用】上記構成によれば、ドラムに電源のプラス極あ
るいはマイナス極のいずれかを接触させて電圧を印加す
ると、ドラムに印加された電圧によって絶縁性のテープ
が分極してドラム側のテープ面にドラムの極性と反対の
電荷が誘起される。このため、テープは、ドラムとの間
の静電気力によってしてドラムに吸着され、孔やスリッ
トが形成してある場合であっても、孔やスリットの縁部
が浮き上がることことなくドラムの周面に密着する。し
たがって、孔やスリットの縁部において画像の焦点ぼけ
などを防ぐことが出来、回路パターンなどを精度良く検
査することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係るテープ搬送
用ドラム装置の実施形態について、図面を参照して詳述
する。なお、従来技術において説明した部分に対応する
部分については、同一の符号を付してその説明を省略す
る。

【００１６】まず、図１は本発明の実施形態に係るテー
プ搬送用ドラム装置の一部拡大側面図、図２は本発明の
実施形態に係るテープ搬送用ドラム装置を備えたテープ
用欠陥検査装置の全体概略側面図である。

【００１７】図２において、テープ欠陥検査装置１は多
数の回路パターンが繰り返し形成された半導体装置用テ
ープ７０を巻き付けてロール状に形成したテープロール
１０ａを保持する供給側リールハンドラー１２と、検査
完了後の半導体装置用テープ７０を巻き取って他のテー
プロール１０ｂとする巻取側リールハンドラー１４と、
供給側リールハンドラー１２と巻取側リールハンドラー
１４との間のテープ搬送経路に配設された欠陥検査部３
０とを備えている。

【００１８】半導体装置用テープ７０は、供給側リール
ハンドラー１２から引き出された後、複数のローラ（第
１のローラ１８、第２のローラ２０、第３のローラ２
２、第４のローラ２４、第５のローラ２６）により導か
れるとともに、供給側リールハンドラー１２と巻取側リ
ールハンドラー１４との間で欠陥検査部３０により検査
され、巻取側リールハンドラー１４により巻き取られて
いる。

【００１９】欠陥検査部３０は、半導体装置用テープ７
０のパターンを画像として読み取るＣＣＤカメラ１００
と、ＣＣＤカメラ１００の読み取り位置において半導体
装置用テープ７０を周面に巻き掛けて搬送方向に半導体
装置用テープ７０を湾曲させるとともに、周面に密着し
たテープ７０を搬送するドラム装置３４と、ドラム装置
３４に巻き掛けられたＣＣＤカメラ１００の読み取り位
置に光源３６からの光を照明する照明光学系３８と、Ｃ
ＣＤカメラ１００からの画像情報に基づきコンピュータ
４０が行った画像処理の結果、制御部４２でパターン欠
陥有りと判断された半導体装置用テープ７０の予め定め
た位置に穿孔するパンチ装置４４とがそれぞれ設けられ
ている。

【００２０】ドラム装置３４は、導体で構成され半導体
装置用テープ７０を湾曲させるとともに、周面に密着さ
せた半導体装置用テープ７０を搬送する静電圧が印加さ
れたドラム４６（以下、静電ドラム４６という）と、静
電ドラム４６の外径部に接触して電圧を印加するプラス
極あるいはマイナス極のいずれかの接触子４８と、接触
子４８に接続して静電圧をドラム４６に印加する電圧源
５０とから構成されている。また、第２のローラ２０と
静電ドラム４６との間、および、第３のローラ２２と静
電ドラム４６との間には、静電ドラム４６に巻き掛けら
れた半導体装置用テープ７０を静電ドラム４６の周面に
沿わせるためにテンションをかける第６のローラ５２と
第７のローラ５４とが設けられている。また、ドラム装
置３４の搬送経路後方に静電除電装置５６を設けても良
い。

【００２１】上記構成において、次に図１および図２の
概略図を用いて作動について説明する。供給側のテープ
ロール１０ａから引き出された半導体装置用テープ７０
は、第１ローラ１８から第２ローラ２０に搬送され、第
６のローラ５２を介して静電ドラム４６に巻き掛けられ
る。静電ドラム４６に巻き掛けられた半導体装置用テー
プ７０は、静電ドラム４６に印加されて電圧によって分
極し、静電ドラム４６との間に生ずる静電気力により静
電ドラム４６の外周面に引き寄せられて密着し、ＣＣＤ
カメラ１００の直下の部分において静電ドラム４６の軸
線方向に平面性を保った状態で搬送される。

【００２２】特に、図１に示すように、半導体装置用テ
ープ７０の幅方向に広いスリット孔７４が設けられてい
る場合でも、スリット孔７４の縁部７４ａは静電気力に
より静電ドラム４６の外周面４６ａに吸着されて密着す
る。これにより、スリット孔７４を有する半導体装置用
テープ７０は、図２に示すように、ドラム方式で搬送で
きるとともに、半導体装置用テープ７０に形成されたス
リット孔７４の縁部７４ａの測定点Ｐａが静電ドラム４
６の外周面４６ａに対して半導体装置用テープ７０の厚
さＴａに応じて絶えず安定した一定の半径位置Ｒａにあ
る。このため、ＣＣＤカメラ１００等で焦点深度が小さ
くなっても、縁部７４ａの測定点Ｐａは安定して一定し
た半径箇所を通過するため、測定点Ｐａの画像がぼける
ことがなく、テープ７０に設けられたパターンの幅、シ
ョート、断線などを正確に検査することができる。

【００２３】ＣＣＤカメラ１００は、静電ドラム４６の
上方に配置されており、静電ドラム４６の外周面４６ａ
に沿って搬送される半導体装置用テープ７０に形成され
た回路パターンを読み取る。ＣＣＤカメラ１００により
読み取られたパターンは、画像データとしてコンピュー
タ４０に出力される。コンピュータ４０は、予め与えら
れたアルゴリズムにより演算子、入力された画像データ
が正常な寸法であるか、断線やショートが存在するか否
かを判断する。

【００２４】コンピュータ４０は、パターンに欠陥があ
ると判断した場合、テープ７０の欠陥のある位置を制御
部４２に出力する。制御部４２は、入力された位置情報
に基づき、パンチ装置４４に穿孔指示を出し、欠陥有り
と判断された部分に対応する半導体装置用テープ７０の
所定位置、例えば、１つの半導体パッケージを形成する
領域の対向する２隅や４隅などのように目印となる孔を
形成する。その後、巻取側リールハンドラー１４により
検査完了後の半導体装置用テープ７０を巻き取ってロー
ル状のテープロール１０ｂとする。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ドラムに電源のプラス極あるいはマイナス極のいずれか
を接触させて電圧を印加すると、ドラムに印加された電
圧によって絶縁性のテープが分極してドラム側のテープ
面にドラムの極性と反対の電荷が誘起される。このた
め、テープは、ドラムとの間の静電気力によってしてド
ラムに吸着され、孔やスリットが形成してある場合であ
っても、孔やスリットの縁部が浮き上がることことなく
ドラムの周面に密着する。したがって、孔やスリットの
縁部において画像の焦点ぼけなどを防ぐことが出来、回
路パターンなどを精度良く検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るテープ搬送用ドラム装
置の一部拡大側面図である。

【図２】実施形態に係るテープ搬送用ドラム装置を備え
たテープ用欠陥検査装置の全体概略側面図である。

【図３】ＴＡＢテープの平面図である。

【図４】図３のＡ−Ａ線に沿った断面図である。

【図５】従来の半導体装置用テープを検査するドラム方
式のテープ搬送装置の一例を示す概略図である。

【図６】従来の半導体装置用テープを検査する水平ロー
ラ方式のテープ搬送装置の一例を示す概略図である。

【符号の説明】

１ テープ欠陥検査装置 １０ａ、１０ｂ テープロール １２ 供給側リールハンドラー １４ 巻取側リールハンドラー ３０ 欠陥検査部 ３４ ドラム装置 ３６ 光源 ３８ 照明光学系 ４０ コンピュータ ４２ 制御部 ４４ パンチ装置 ４６ ドラム（静電ドラム） ４８ 接触子 ５０ 電圧源 ５２ 第６のローラ ５４ 第７のローラ ５６ 静電除電装置 ６２ 配線 ６４ インナリード ６６ アウタリード ７０ 半導体装置用テープ ７０Ａ テープ基体 ７２ デバイス孔 ７４ スリット孔 １００ ＣＣＤカメラ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転するドラムの周面にテープを巻き付
   けて搬送するテープ搬送用ドラム装置であって、前記ド
   ラムは電圧を印加されて前記テープを静電気力によって
   外周面に密着させることを特徴とするテープ搬送用ドラ
   ム装置。