JP2000240717A - Active vibration resistant device - Google Patents

Active vibration resistant device

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JP2000240717A
JP2000240717A JP4142499A JP4142499A JP2000240717A JP 2000240717 A JP2000240717 A JP 2000240717A JP 4142499 A JP4142499 A JP 4142499A JP 4142499 A JP4142499 A JP 4142499A JP 2000240717 A JP2000240717 A JP 2000240717A
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Inventor
Shinji Wakui
伸二 涌井
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Canon Inc
キヤノン株式会社
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Exposure apparatus for microlithography
    • G03F7/708Construction of apparatus, e.g. environment, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70858Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
    • G03F7/709Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To cut a vibration transmitting route while forming the electrical wiring of a vibration detecting means into the wireless structure by fitting a vibration detecting head and a transmitter means to a vibration resistant base, and fitting a receiver means to a part except for the vibration resistant base. SOLUTION: A vibration detecting head 8, a transmitter 9 and a regulator 17 are provided on a vibration resistant base. On the other hand, a receiver 12 and a power source oscillator 14 are fitted to members except for the vibration resistant base, for example, an electrical lack. Namely, the signal for showing the vibration of the vibration resistant base picked up by the vibration detecting head 8 is transmitted on the wireless to a place except for the vibration resistant base. Acceleration signal of each part of the vibration resistant base obtained from the receiver 12 is appropriately filtered when necessary so as to eliminate the high frequency noise, and quickly input to a computing means for extracting the movement mode related to the acceleration.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は能動的除振装置に関する。 The present invention relates to relates to an active anti-vibration apparatus. 特に、半導体露光用のXYステージを搭載してなる半導体露光装置の一構成ユニットとして好適に使用される能動的除振装置であって、除振台へと伝達する振動、特に微振動の抑制を図った能動的除振装置に関する。 In particular, an active anti-vibration apparatus which is suitably used as a structural unit of a semiconductor exposure device formed by mounting an XY stage for semiconductor exposure, vibration transmitted to the vibration damping mount, in particular the inhibition of micro-vibration on active anti-vibration apparatus which aimed.

【0002】 [0002]

【従来の技術】除振装置の役割は、床振動の除振台への伝達を抑制することにある。 The role of the Prior Art vibration isolator is to suppress the transmission to the anti-vibration table of floor vibration. 近年、除振台上に搭載する精密機器の高精度・高速化要求に応えるため、アクチュエータを積極的に動作させることによって除振台上の振動抑制を図る能動的除振装置が用いられる傾向にある。 Recently, to meet the high accuracy and speed requirements of precision equipment to be mounted on the anti-vibration table, a tendency that an active anti-vibration apparatus to achieve vibration suppression on vibration table divided by operating actively actuator is used is there.
能動的除振装置は受動的除振装置に比較して優れた特性を有するが、同装置が設置されている床の振動の除振台への伝達を完全に遮断できるわけではない。 Active anti-vibration apparatus has excellent properties compared to passive anti-vibration apparatus, not entirely block the transmission of the vibration damping mount of the vibration of the floor where the apparatus is installed. 振動の伝達経路としては、除振台を支持する機構、具体的には機械スプリングや機構の粘性要素が挙げられる。 The transmission path of vibration, the mechanism for supporting the anti-vibration table, and specific examples thereof include viscosity elements of the machine the spring and mechanism. 能動的除振装置において、除振台を支持する支持機構を経由して伝達する振動は、床の振動を適切な振動検出手段でピックアップし、それを支持機構の伝達モデルを介してフィードフォワードする制御技術によって抑制できる。 In the active anti-vibration apparatus, vibration transmitted through the support mechanism for supporting the anti-vibration table is to pick up the vibrations of the floor at the right vibration detecting means, feedforward via the transfer model of it support mechanism It can be suppressed by control technology. 所謂、 So-called,
床振動フィードフォワードあるいは地動フィードフォワードと呼ばれている技術である。 It is a technique called floor vibration feedforward or ground vibration feed-forward. このフィードフォワードの適用によって、床の振動の除振台への伝達をある程度抑制できる。 By application of the feed-forward, the transfer to the anti-vibration table vibration of the floor can be suppressed to some extent. 例えば、除振台の固有振動数近傍で最大15[dB]程度の抑圧効果が得られる。 For example, the maximum 15 [dB] of about suppression effect can be obtained at the natural frequency near the anti-vibration table.

【0003】しかしながら、除振台に対する支持機構のように、床の振動が伝達する経路としての素性と方位が明らかなものの他にも床振動の伝達経路は存在する。 However, as the support mechanism for the anti-vibration table, transmission path in addition to floor vibration of identity and orientation of the path which the vibration of the floor is transmitted obvious thing is present. 例えば除振台に搭載される精密機器あるいは振動検出手段などへのケーブル類である。 For example precision instruments or vibration detection means is mounted on anti-vibration table is cables to such. これは、電気配線や空気あるいは冷却用媒体の配管を総称している。 This is collectively piping electrical wiring and air or cooling medium. これらのケーブル類は、床あるいは床と剛に接続する物体から除振台上の精密機器などに接続されているため、除振台への振動伝達経路となり得、実際に除振率(床の振動が除振台へと伝達する割合を周波数特性で示したもの)を悪化させる。 These cables, since it is connected from an object that connects the floor or to the floor and rigidly such sensitive equipment on vibration table vibration, can become a vibration transmission path to the anti-vibration table, actually dividing Furitsu (floor vibration exacerbate ones) which shows the frequency characteristic of the ratio of transmitted to vibration table vibration. 例えば、ケーブル類が振動源(例えば、回転機械など)に接していた場合、その振動はケーブル類を伝わり、除振台も振動させる。 For example, cables vibration source (e.g., a rotary machine, etc.) when in contact with, the vibration is transmitted to cables, anti-vibration table also vibrate. 除振台に伝達したこのような持続振動は、フィードバックのパラメータをいくら調整しても、能動的除振装置固有の除振率の周波数特性が示す抑圧比でしか減衰させることができない。 Such sustained vibration transmitted to the vibration isolation table can be much adjust the parameters of the feedback, can not be attenuated only by suppression ratio shown is the frequency characteristic of the active anti-vibration apparatus-specific removal Furitsu. しかも、このような振動は、先に述べた床振動フィードフォワードの如き制御技術を適用して相殺することは困難である。 Moreover, such vibration, it is difficult to offset by applying such control technique floor vibration feedforward previously described.
もちろん、ケーブル類が柔らかい場合、除振台への振動の伝達は顕著なものとはならない。 Of course, if the cables are soft, transmission of vibration to the vibration isolation table is not a significant. しかし、現実にはケーブル類は太い束を形成し、機械的には十分な大きさの剛性を持つに至るのである。 In reality, however, the cables form a thick bundle is from reaching the mechanically with rigidity large enough. したがって、振動を伝達させる機構部材の如き振る舞いをする。 Therefore, the behavior such as mechanisms member for transmitting vibration.

【0004】さて、特開平10−223527号公報(露光装置)には、ケーブル類によって半導体露光装置内のXYステージの位置決め特性(位置決め時間および位置精度)が影響することのないようにとの観点から、 [0004] Now, in view of such the Japanese Patent 10-223527 discloses (exposure apparatus), without affecting the positioning characteristic of the XY stage in a semiconductor exposure device (positioning time and positioning accuracy) of the cables from,
ケーブル類中継部を設けて、これがXYステージに追従して移動する手段を設けている。 The cables relaying unit is provided, which is provided with means for moving to follow the XY stage. XYステージの移動によって引き回されるケーブル類によるばね力が、同ステ−ジの移動場所に関わらず一定になるようにとの工夫がある。 The spring force by cables routed by the movement of the XY stage, the stearyl - is devised and to be constant irrespective of the movement location of the di. しかし、同上の公開公報のものは、XYステージの移動によって引き回されるケーブル類のばね性による引っ張り力もしくは反発力を発生させないようにするために案出されたものである。 However, those publications of the same, which was devised in order to prevent the generation of tensile force or the repulsive force of the spring of the cables to be routed by the movement of the XY stage. したがって、ケーブル類を伝達経路として精密なXYステージヘと侵入してくる振動を遮断ないし軽減するという着眼は無いと言えるのである。 Therefore, paying attention of blocking or reducing the vibrations invading the precise XY Sutejihe cables as transmission path is say that there is no. 本発明は、ケーブル類のばね性による引っ張り力もしくは反発力を発生させないようにすることを狙いとしたものではなく、ケーブル類が振動伝達の経路となって精密機器に影響することに注意を向け、これを防止するものである。 The present invention is not intended to have aimed at so as not to generate a tensile force or the repulsive force of the spring of the cables, attention to the cables affect precision equipment becomes a path for vibration transmission it is intended to prevent this.

【0005】さて、能動的除振装置においては、振動検出手段としての加速度センサや、位置検出手段としての位置センサを多数個使用する。 [0005] Now, in the active anti-vibration apparatus, and the acceleration sensor as the vibration detecting means, a position sensor as a position detecting means for a large number used. まず、後者のセンサは、 First of all, the latter of the sensor,
床とは剛な構造部材に定めた基準から除振台が定位する位置を計測して制御のためのフィードバック信号として使用する。 The bed used as a feedback signal for control by measuring the position of anti-vibration table is localized from the reference as defined in structural member rigid. したがって床側に位置センサを装着して除振台の変位を測定すればよいので、位置センサの電気配線は床側に実装できる。 Hence by mounting a position sensor on the floor side may be measured the displacement of the anti-vibration table, electric wiring of the position sensor can be mounted on the floor side. つまり、位置センサの電気配線は除振台へと伝達する床の振動の伝達経路とはならないように実装できる。 That is, the electrical wiring of the position sensor may be implemented so as not to become a vibration transmission path of the floor to be transmitted to the vibration table vibration. また、アクチュエータに対する電気配線も床側に設けることができる。 Further, electrical wiring for the actuator can also be provided on the floor side. 空気ばねアクチュエータヘの動作流体を給排気するサーボバルブは床側に実装して、それに対する電気配線および配管を設けることができる。 Servo valve for supply and exhaust of the working fluid of the air spring actuator f is mounted on the floor side, it is possible to provide an electrical wiring and piping thereto. また、電磁モータの代表であるリニアモータを空気ばねアクチュエータとともに併用する場合であるが、電気配線が必要な巻線コイルは床側に、永久磁石は除振台側に装着できる。 Although a case of using a linear motor which is representative of the electromagnetic motor with air spring actuator, electrical wiring winding coil required on the floor side, the permanent magnets can be mounted on the vibration isolation platform side.

【0006】しかしながら、加速度センサについては、 [0006] However, for the acceleration sensor,
どうしても除振対象の除振台側に設置せねばならない。 It must absolutely not installed in the vibration isolation platform side of the vibration damping subject.
したがって、同センサの電気配線は振動伝達の経路となり得る。 Therefore, the electric wiring of the sensor can be a path of vibration transmission. もちろん、同センサ1個だけではたいした振動伝達の経路とはならない。 Of course, only one said sensor is not a path of much vibration transmission. しかし、除振台の6自由度の運動姿勢を制御する大規模な能動的除振装置の場合、電気配線がそれ本来の役割とは異なる様相をみせる。 However, if a large active anti-vibration apparatus for controlling the movement and orientation of the six degrees of freedom vibration isolation table, electrical wiring show different aspects from the original role it. なんとなれば、6自由度の運動姿勢を制御するためには少なくとも6個の加速度センサが必要であり、しかも除振台の制御のための制御基板へのコンパクトな電気的接続が必要という実装上の都合から、複数の加速度センサの電気配線は束線することが行なわれる。 If what, six degrees of freedom to control the movement and orientation requires a minimum of six acceleration sensor, moreover on implementation that requires a compact electrical connection to the control board for the anti-vibration table control from the convenience of the plurality of electric wires of the acceleration sensor is carried out be bundled. 同センサの電気配線とともに他の配管もまとめてケーブル類として束線される場合もある。 When wire bundle as cables also collectively other pipe along with the electrical wiring of the sensor also. このとき、束線されたケーブル類は適度な剛性をもつ。 In this case, cables are bundled has appropriate rigidity. つまり、不幸なことに振動を除振台へと伝達させてしまう経路として働くのである。 That is, working as a path would then transmitted to the anti-vibration table vibration Unfortunately. もちろん、個々の加速度センサの電気配線に弛みを設け、その配線を個別に除振台側から制御基板へと導けばよいことははっきりしている。 Of course, the slack provided in the electrical wiring of the individual acceleration sensors, and the wiring to the may Michibike to the control board from individual vibration isolation platform side is clear. この場合、個々の電気配線は十分に柔らかくしかも除振台の動きを少しでも拘束することがないように弛ませるので、除振台へと伝達する振動はある程度減らせる。 In this case, since the slackened as not to restrain even a little individual electric wires is sufficiently soft Moreover anti-vibration table movement, vibration causes somewhat reduced for transmitting to the anti-vibration table. しかし、このような電気配線の実装は、空間利用に余裕がある場合に限られる。 However, implementation of such electrical wiring, only if there is sufficient space available. 半導体露光装置においては空間は密に利用されており、電気配線に弛みをつけておくことは現実問題として許されない。 In the semiconductor exposure apparatus space is densely utilized, it is not allowed as a practical matter to be put slack into electrical wiring. 何故ならば、除振台の近傍に設置される可動機構などに絡まる事故などを招くからである。 Because the movable mechanism installed in the vicinity of the anti-vibration table is because lead to such tangling accident like.

【0007】再度、電気配線が除振台への振動伝達経路となることを具体例な図面を参照して説明する。 [0007] Again, the electrical wiring is described with reference to specific examples drawings that the vibration transmission path to the vibration table vibration. 図2は能動的除振装置の電気実装の一例である。 Figure 2 is an example of an electrical implementation of the active anti-vibration apparatus. 同図において、1は除振台、2R,2Lは振動検出手段の代表としての鉛直方向の加速度センサ、3R,3Lは振動検出手段の代表としての水平方向の加速度センサ、4R,4L In the figure, 1 is anti-vibration table, 2R, 2L is vertical acceleration sensor as a representative of the vibration detecting means, 3R, horizontal acceleration sensor as 3L Representative of the vibration detecting means, 4R, 4L
は鉛直方向の空気ばねアクチュエータ(水平方向の空気ばねアクチュエータは不図示)、5は床である。 The vertical air spring actuators (is not shown horizontal air spring actuators), 5 is a floor. ここで、RとLは、除振台1を支持する空気ばねアクチュエータ4などからなる能動的支持脚の装着部位を示す。 Here, R and L indicates the attachment site of the active support legs made of air spring actuator 4 to support the anti-vibration table 1. 図示のように、部位RとLに鉛直と水平の加速度センサ2,3がそれぞれ設置されており、これらの電気配線は束線6となって除振台1より床5の方に延ばされている。 As shown, the acceleration sensors 2 and 3 of the vertical and horizontal parts R and L are respectively provided, these electric wires are extended toward the floor 5 from the anti-vibration table 1 become bundled 6 ing. そして、床側の束線6は不図示の制御基板へと接続される。 The floor side of the wire bundle 6 is connected to the control board (not shown). したがって、床5に存在する振動は束線6を伝達経路として除振台1へと伝達する。 Therefore, vibrations present in the floor 5 is transmitted to the anti-vibration table 1 the bundled wire 6 as pathways. なお、図2の場合は床の振動が除振台1へと伝達することになるが、束線6が不図示の中継部材へと実装されている場合、この中継部材の振動は束線6を介して除振台1へと伝達する。 Although vibration of the floor in the case of FIG. 2 will be transmitted to the anti-vibration table 1, if the wire bundle 6 is mounted to an unillustrated relay member, the vibration of the relay member lacing 6 transmitting to the anti-vibration table 1 via.
何れにしても、束線6が除振台1へと振動を伝達させる経路となる事実に変わりはない。 Anyway, the fact remains that a path of wire bundle 6 to transmit vibrations to the vibration isolation base 1 is not. 実際、マイクロGのオーダの振動を計測している場合、加速度センサの電気配線の引き回しあるいは束線を変更すると計測値が変動するという現象は容易に観察でき、したがって加速度センサの電気配線を伝達経路とする振動があることは確かである。 In fact, if you measure the vibrations of the order of micro-G, phenomenon measured value to change the routing or bundled electrical wires of the acceleration sensor is varied can be easily observed, thus transmitting the electrical wiring of an acceleration sensor path it is true that there is a vibration to be. このような振動の伝達は、除振台を能動的に制御するために備えた加速度センサそれ自身によってもたらされてしまうことに注意すべきである。 Transmission of such vibrations, it should be noted that would be brought about by the acceleration sensor itself having to actively control the vibration isolation table.

【0008】除振台への振動伝達を抑制するためには、 In order to suppress the vibration transmission to the anti-vibration table is
振動伝達の経路となる加速度センサの電気配線を排除することが必要となる。 It is necessary to eliminate the electrical wiring of an acceleration sensor serving as a path of vibration transmission. もちろん、電源を給電して加速度出力を取り出さねばならないので、そのための電気配線は必要不可欠である。 Of course, must remove the acceleration output by feeding the power, electrical wiring therefor is essential. しかし近年の電子技術の進歩は電源の給電と信号の授受とをワイヤレスで行なう振動検出手段の出現をもたらした。 However recent advances in electronic technology has led to the emergence of vibration detection means for the transfer of power feeding and signal wirelessly. 本発明は、特に能動的な制御のために必要不可欠な振動検出手段としての加速度センサの電気配線をワイヤレス化して、除振台への振動の伝達を極力排除した能動的除振装置を提供することを目的とする。 The present invention, especially in wireless the electric wiring of an acceleration sensor as an integral vibration detecting means for active control, to provide an active anti-vibration apparatus was eliminated as much as possible the transmission of vibrations to the vibration isolation table and an object thereof.

【0009】 [0009]

【発明が解決しようとする課題】従来、能動的除振装置においては、除振台に設置した振動検出手段の出力に基づいてアクチュエータを駆動するという閉ループ系が構成されている。 BRIEF Problems to be Solved In conventional active anti-vibration apparatus, the closed-loop system that drives the actuator based on the output of the vibration detecting means installed in vibration isolation table is configured. 振動検出手段の出力を適切にフィードバックすることによって、床の振動の除振台への伝達を抑制することができる。 By appropriately feeding back the output of the vibration detecting means, it is possible to suppress the transmission to the anti-vibration table vibration of the floor. しかるに、高精度な位置決め機器あるいは測定機器が除振台に搭載されるに従って、除振台へと伝達する微振動にも注意を払ってこれを除去せねばならなくなった。 However, according to high-precision positioning device or measuring devices are mounted on a vibration isolation table, no longer must be removed this by also paying attention to the fine vibration transmitted to the vibration damping mount. 除振台へと伝達する微振動の1つとして、配線類を経路とするものが挙げられる。 One fine vibrations transmitted to the vibration isolation stage include those according to route the wirelines. 皮肉にも除振台の振動を抑制するために必須の振動検出手段それ自身の電気配線から振動が伝達するのである。 Ironically essential vibration detection means in order to suppress the vibration table vibration dividing the vibration from its own electric wiring is to transmit.

【0010】そこで、本発明の目的は、振動検出手段などの電気配線をワイヤレス化して振動の伝達経路を遮断した能動的除振装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an active anti-vibration apparatus was blocked transmission path of the vibration by wireless the electric wiring such as vibration detection means.

【0011】 [0011]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するために、本発明では、除振台に駆動力を付与するアクチュエータと、前記除振台の振動を検出するための振動検出手段と、前記振動検出手段の出力をフィードバックして前記アクチュエータを駆動する制御手段を備える能動的除振装置において、前記振動検出手段は前記除振台の振動を検出する振動検出ヘッドおよびこの振動検出ヘッドの出力を電磁波の信号に変換して送信する送信手段と、 In order to solve the above problems BRIEF SUMMARY OF THE INVENTION In the present invention, an actuator for applying a driving force to the anti-vibration table, a vibration detecting means for detecting vibration of said anti-vibration table, in the active anti-vibration apparatus comprising a control means for driving the actuator by feeding back the output of said vibration detecting means, said vibration detecting means the output of the vibration detection head and the vibration detection head for detecting the vibration of the anti-vibration table transmission means for transmitting the converted electromagnetic wave signal, and
この送信信号を受信する受信手段とを備え、前記振動検出ヘッドおよび送信手段は前記除振台に取り付けられ、 And receiving means for receiving the transmission signal, the vibration detection head and the transmission unit is attached to said anti-vibration table,
前記受信手段は前記除振台以外の部分に取り付けられていることを特徴とする。 The receiving means is characterized by being attached to a portion other than the single vibration said vibration.

【0012】なお、振動検出手段の出力に基づくフィードバックに加えて、例えば位置検出手段の出力に基づくフィードバックなどを備えていてもよい。 [0012] In addition to the feedback based on the output of the vibration detecting means, for example it may comprise a like feedback based on output of the position detecting means.

【0013】 [0013]

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施形態においては、前記振動検出手段は、前記振動検出ヘッドおよび送信手段に前記除振台以外の部分からワイヤレスで電力を供給する誘導電源を備える。 In a preferred embodiment of the embodiment of the present invention, the vibration detecting means comprises an inductive power supply for supplying electric power wirelessly from a portion other than the vibration damping units in the vibration detection head and the transmission unit. また、前記電磁波は電波もしくは光である。 Further, the electromagnetic wave is an electric wave or light. 以下、実施例を通じて本発明の実施形態をより具体的に説明する。 Hereinafter, an embodiment of a more specific the present invention through examples.

【0014】 [0014]

【実施例】本実施例の能動的除振装置を詳細に説明する前準備として、回転体・移動体の温度、応力、圧力、振動(加速度あるいは速度)、トルク、電圧などを無線遠隔計測するシステムとしての工業用無線計測装置(テレメトリシステム)の説明を行なう。 EXAMPLES The active anti-vibration apparatus of the present embodiment as a preparation before describing in detail, the temperature of the rotating body, the moving body, stress, pressure, vibration (acceleration or velocity), the torque, which voltage and radio telemetry a description of industrial wireless measuring device as a system (telemetry system).

【0015】図3は測定対象7の振動(より具体的には加速度)を、ワイヤレスで検出する振動検出手段の装置構成を示す。 [0015] Figure 3 is vibrated (more specifically acceleration) of the measurement object 7 shows a device configuration of a vibration detecting means for detecting wirelessly. 同図において、8は計測対象7に取り付けられた振動検出ヘッドであり、この出力はトランスミッタ9に導かれている。 In the figure, 8 is a vibration detection head attached to the measurement object 7, the output is directed to the transmitter 9. ここでは、信号変換部と送信変調部を通ってアンテナ10から電波が送信される。 Here, radio waves from the antenna 10 through the transmission modulator signal conversion unit are transmitted. この電波はアンテナ11で受信され、レシーバ12で復調されて電気信号を出力する。 The radio waves received by the antenna 11, demodulated by the receiver 12 outputs an electric signal. ここでは、レシーバ12内の受信復調部と信号変換部とを介して端子13にアナログ出力を得る。 Here, to obtain the analog output terminal 13 via the reception demodulation section of the receiver 12 and the signal conversion unit. ここで、振動検出ヘッド8およびトランスミッタ9への電源の供給は誘導電源方式が採用される。 Here, the supply of power to the vibration detection head 8 and transmitter 9 inductive power supply system is adopted. すなわち、電源オシレータ14で交流を発生させ、これが固定1次コイル15に入り、交流磁界が作られる。 That is, to generate an AC power supply oscillator 14, which enters the fixed primary coil 15, an alternating magnetic field is produced. この磁界をピックアップコイル16が拾い、レギュレータ1 It picked the magnetic field pickup coil 16, a regulator 1
7で直流電源に整流し、振動検出ヘッド8およびトランスミッタ9に電源を供給する。 Rectified to a DC power supply 7 supplies power to the vibration detection head 8 and transmitter 9. このように、上述の加速度に関するテレメトリシステムでは、電源供給および信号の授受に電気配線を使用しないワイヤレスであることが特徴となっている。 Thus, in the telemetry system for the acceleration of the above, it has become characterized in the transfer of power supply and signal is wireless without using electrical wiring.

【0016】本実施例では、後で詳細に説明するが、上述の振動検出手段を除振台の複数箇所で水平および鉛直方向の振動を計測するために備える。 [0016] In this embodiment, it will be described in detail later, provided in order to measure the vibrations of the horizontal and vertical directions at a plurality of positions of the anti-vibration table vibration detection means described above. 従来、加速度センサの電気配線が経路となって不要な振動を除振台へと伝達させていたが、図3の振動検出手段の採用によって電気配線は不要となり、したがって電気配線を経路とする振動の伝達は遮断できる。 Conventionally, the electrical wiring of the acceleration sensor were then transmitted to the base vibration damping unwanted vibration becomes pathway, electrical wiring by adopting the vibration detecting means in FIG. 3 becomes unnecessary, thus a route electrical wiring vibration transmission can be interrupted.

【0017】なお、誘導電源方式による電源供給は振動検出ヘッドごとに設けても構わないが、除振台に搭載の複数個の振動検出ヘッドに対して少なくとも1個備えていればよい。 [0017] Although the power supply by induction power system may be provided for each vibration detection head, at least one only needs to comprise for a plurality of vibration detecting head mounted on anti-vibration table. また、振動検出ヘッドからの信号を電波で受信するレシーバも除振台に搭載の振動検出ヘッドの個数分備える必要性は必ずしもない。 Also, need to provide the number fraction of the vibration detection head mounted on the receiver also anti-vibration table for receiving the signal from the vibration detecting head wave is not always. 各振動検出ヘッドごとのトランスミッタからの信号を1台のレシーバで時分割で受信し、そして再生することができる。 The signal from the transmitter for each vibration detecting heads received in time division in one receiver, and can be reproduced. さらには、 Furthermore,
トランスミッタも除振台に搭載の振動検出ヘッドの個数分備える必要性は必ずしもない。 Also need to provide the number fraction of the vibration detection head mounted on vibration table vibration transmitter is not always. 複数の振動検出ヘッドの信号を1台のトランスミッタで時分割で送信することができる。 It can be transmitted in a time division signals of a plurality of vibration detection head on one transmitter.

【0018】まず、図4に本実施例の能動的除振装置の機械構成の一例を示す。 [0018] First, an example of a machine configuration of the active anti-vibration apparatus of the present embodiment in FIG. 図中、40は除振台41に搭載されたXYステージ、42−1,42−2,43−3は除振台41を支える能動的支持脚である。 In the figure, 40 is an XY stage mounted on the anti-vibration table 41, 42-1,42-2,43-3 is active support legs for supporting the anti-vibration table 41. 1脚の能動的支持脚42の中には、鉛直方向と水平方向の2軸を制御するために必要な個数の振動検出ヘッドAC、位置センサPO、圧力センサPR、サーボバルブSV、空気ばねアクチュエータASが内蔵されている。 Some of the active support legs 42 of the first leg, the vertical and horizontal numbers vibration detection head AC necessary to control the two-axis, position sensors PO, pressure sensors PR, servo valves SV, air spring actuator AS it has been built. ここで、AC、 Here, AC,
POなどの次に付けた記号は図中の座標系に従う方位と能動的支持脚42の配置場所を示す。 Symbols attached to the next, such as PO indicates the location of the azimuth and active support legs 42 in accordance with the coordinate system of FIG. 例えば、Y2とはY軸方向であって左側に配置した能動的支持脚42−2 For example, the active support legs 42-2 and Y2 placed at the left side a Y-axis direction
の中にあるものを指す。 It refers to something that is in the.

【0019】次に、ワイヤレスな振動検出手段を能動的支持脚3台で除振台41を支持する本実施例の能動的除振装置に適用したときの構成を図1に示す。 [0019] Next, a configuration of applying a wireless vibration detecting means active anti-vibration apparatus of the present embodiment to support the anti-vibration table 41 by three active support legs in Figure 1. 同図の制御構成の骨格そのものは特開平9−68995号公報に開示したものと同様である。 Skeleton itself of the control arrangement of the figure is similar to that disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 9-68995. 振動抑制のための加速度フィードバックループと位置定位のための位置フィードバックループに加えて、空気ばねアクチュエータの内圧を計測してこれをフィードバックする圧力フィードバックループが備えられている。 In addition to position feedback loop for position orienting the acceleration feedback loop for the vibration suppression, the pressure feedback loop for feeding back this by measuring the internal pressure of the air spring actuators are provided. ここで、PO−Z1,PO−Z Here, PO-Z1, PO-Z
2,PO−Z3,PO−X1,PO−Y2,PO−Y3 2, PO-Z3, PO-X1, PO-Y2, PO-Y3
は位置検出手段であり、その出力は位置目標値出力部2 Is a position detecting means, the output of the position target value output section 2
1の出力である(Z 10 ,Z 20 ,Z 30 ,X A first output (Z 10, Z 20, Z 30, X 10 ,Y 20 10, Y 20,
30 )と比較されて、各軸の位置偏差信号(e Z1 Y 30) is compared with the position error signal for each axis (e Z1,
Z2 ,e Z3 ,e x1 ,e y2 ,e y3 )となる。 e Z2, e Z3, e x1 , e y2, e y3) to become. これらの偏差信号は、除振台41の並進運動と各軸回りの回転運動の合計6自由度の運動モード位置偏差信号(e x ,e y ,e These deviations signals, translation and six degrees of freedom of motion mode position error signals of the rotational motion of each axis of the anti-vibration table 41 (e x, e y, e
z ,eθ x ,eθ y ,eθ z )を演算出力する位置信号に関する運動モード抽出演算手段22に導かれる。 z, eθ x, y, is guided to the motion mode extracting operation unit 22 on the position signal for computing output E.theta z). これらの出力信号は、運動モードごとにほぼ非干渉で位置の特性を調整する位置に関するゲイン補償器23に導かれる。 These output signals are led to the gain compensator 23 regarding the position of adjusting the characteristics of the position almost non-interfering for each motion mode.
このループを位置フィードバックループと称する。 This loop is referred to as a position feedback loop.

【0020】次に、振動検出ヘッドAC−Z1,AC− [0020] Next, the vibration detection head AC-Z1, AC-
Z2,AC−Z3,AC−X1,AC−Y2,AC−Y Z2, AC-Z3, AC-X1, AC-Y2, AC-Y
3の出力に基づくフィードバックループを説明する。 The third feedback loop based on the output will be described. これら振動検出ヘッドでは、加速度もしくは速度が検出される。 These vibration detection head, the acceleration or speed is detected. ここでは、加速度が検出されると考えよう。 Here, let us consider the acceleration is detected. 振動検出ヘッドACで検出された信号は、既に説明したトランスミッタTRにおいて電波の形に変換される。 Signal detected by the vibration detection head AC is converted to a form of radio waves in the transmitter TR already described. 各トランスミッタTRと振動検出ヘッドACにはレギュレータ17から電源が供給されている。 The vibration detection head AC and each transmitter TR which power is supplied from the regulator 17. レギュレータ17では、電源オシレータ14の交流磁界を固定1次コイル1 In the regulator 17, a fixed primary coil 1 an AC magnetic field of the power oscillator 14
5から発生させてピックアップコイル16で検出することによって電力を得ている。 To obtain power by detecting in pickup coil 16 5 is generated from.

【0021】ここで、再度、振動検出手段を構成するユニットの実装部位を明らかにしておく。 [0021] Here, again, it keeps reveal mounting region of the units constituting the vibration detecting means. 振動検出ヘッドAC、トランスミッタTR、レギュレータ17は除振台41上に設置されている。 Vibration detection head AC, the transmitter TR, the regulator 17 is mounted on anti-vibration table 41. 一方、レシーバRC、電源オシレータ14は除振台41以外の部材に、例えば電装ラック等に取り付けられる。 On the other hand, the receiver RC, the power oscillator 14 to a member other than the anti-vibration table 41 is attached to, for example, electrical rack, or the like. すなわち、振動検出ヘッドA That is, the vibration detection head A
Cでピックアップした除振台41の振動を表す信号は、 Signal representative of the vibration of the anti-vibration table 41 picked up in C,
ワイヤレスで除振台41以外の場所に伝送しているのである。 With each other to transmit a location other than the anti-vibration table 41 wirelessly. つまり、従来は、除振台41の振動を検出するための振動検出ヘッドAC自身の電気配線を介して伝達してくる振動が遮断されるように、トランスミッタTR、 That is, as is conventional, the vibration is interrupted coming transmitted via the vibration detection head AC own electric wiring for detecting vibration of the vibration isolating stand 41, transmitter TR,
レシーバRC、レギュレータ17、電源オシレータ14 Receiver RC, regulator 17, power oscillator 14
が除振台41を含めた露光装置本体34に設置される。 There is installed in the exposure apparatus main body 34, including the anti-vibration table 41.
そうしてレシーバRCから得られる除振台41各部の加速度信号は必要に応じて高周波ノイズを除去する等の適切なフィルタリング処理が施されて、即座に加速度に関する運動モード抽出演算手段24への入力となる。 Then appropriate filtering process for removing high-frequency noise is subjected if the acceleration signal of the vibration isolating stand 41 each part obtained from the receiver RC required immediately input to the motion mode extracting operation unit 24 regarding the acceleration to become. その出力は運動モード加速度信号(a x ,a y ,a z ,aθ x Its output motion mode acceleration signals (a x, a y, a z, aθ x,
aθ y ,aθ z )となる。y, the aθ z). ここで、運動モードごとに最適なダンピングを設定すべく、運動モード加速度信号(a Here, in order to set an optimal damping for each motion mode, motion mode acceleration signals (a
x ,a y ,a z ,aθ x ,aθ y ,aθ z )は、次段の加速度信号に関するゲイン補償器25に導かれる。 x, a y, a z, aθ x, aθ y, aθ z) is led to the gain compensator 25 about the next stage of the acceleration signal. このゲインを調整することによって運動モードごとに最適なダンピング特性が得られる。 Optimum damping characteristics for each motion mode by adjusting the gain can be obtained. そうして、加速度に関するPI補償器26の前段にフィードバックする。 Then, fed back to the preceding stage of the PI compensator 26 regarding acceleration. このフィードバックループを加速度フィードバックループと呼ぶことにする。 We call this feedback loop and an acceleration feedback loop.

【0022】さらに、先に述べたゲイン補償器23の出力に加速度フィードバックループの負帰還信号を加算した信号はPI補償器26を通って運動モード駆動信号(d x ,d y ,d z ,dθ x ,dθ y ,dθ z )となり、各軸のアクチュエータが発生すべき駆動力を得るために、運動モード分配演算手段27に導かれて、その出力は各軸の駆動信号(d z1 ,d z2 ,d z3 ,d x1 ,d y2 ,d y3 )となる。 Furthermore, the signal obtained by adding the negative feedback signal of the acceleration feedback loop to the output of the gain compensator 23 as described previously through the PI compensator 26 motion mode drive signal (d x, d y, d z, dθ x, dθ y, z) becomes, in order to obtain a driving force actuator to be generated for each axis, it is guided to the motion mode distributing operation unit 27, the output of the drive signals for each axis (d z1, d z2 , the d z3, d x1, d y2 , d y3). この駆動信号をもって、各軸に施されている加圧力フィードバックループヘの入力となす。 With this driving signal, it makes an input of the pressure feedback loop f that is applied to each axis. 加圧力フィードバックループの原理については特開平9−68995 JP The principle of pressure feedback loop 9-68995
号公報に開示されている。 It is disclosed in JP. 再度、簡単に構成を説明すると、空気ばねの内圧を計測するための加圧力計測手段P Again, briefly explaining the structure, pressure measuring means P for measuring the internal pressure of the air spring
Rの出力を適切な増幅と高周波ノイズ除去のためのフィルタリングを施す圧力検出手段30に導き、この出力を圧力に関するPI補償器31の前段にフィードバックしている。 Led to the pressure detecting means 30 for performing filtering for the output of R appropriate amplification and high frequency noise removed, and feeds back the output at the preceding stage of the PI compensator 31 regarding pressure. このPI補償器の零点は、サーボバルブSVの弁開閉を行なう電圧電流変換器(図中、VI変換と略記)32の入力から空気ばねの内圧までの伝達特性において、低周波域の極を相殺するように選ばれる。 Zeros of the PI compensator, in the transmission characteristic of the voltage-current converter which performs valve opening and closing of the servo valve SV (in the figure, VI conversion for short) from the input of 32 until the internal pressure of the air spring, offsetting the poles of the low frequency range chosen to be. このとき、各軸の駆動信号(d z1 ,d z2 ,d z3 ,d x1 ,d y2 At this time, the drive signals for each axis (d z1, d z2, d z3, d x1, d y2,
y3 )から各空気ばねの内圧までの特性は1次遅れ特性となる。 Characteristics from d y3) until the internal pressure of the air spring becomes first-order lag characteristics. すなわち、定位系となる。 In other words, the localization system. なお、圧力に関するPI補償器31の前段には、空気ばねアクチュエータの中立圧力を定めるためのバイアス電圧が圧力目標値出力部33から印加されている。 Note that the front of the PI compensator 31 regarding pressure, the bias voltage for determining the neutral pressure of the air spring actuator is applied from the pressure target value output unit 33. なお、上記説明の加圧力フィードバックループでは、空気ばねアクチュエータの内圧を圧力センサに代表される加圧力計測手段PRによって検出してこれをフィードバックしているが、空気ばねアクチュエータが発生する荷重をロードセンサに代表される荷重計測手段によって検出してこの出力を負帰還してなる荷重フィードバックを構成したときにも上述の圧力フィードバックループと同様の機能が実現できる。 In the pressure feedback loop described above, although fed back to be detected by pressure measuring means PR typified the internal pressure of the air spring actuators to the pressure sensor, load sensor and the load air spring actuator occurs same function as the aforementioned pressure feedback loops when configuring the detection to the load feedback obtained by negatively feeding back the output by the load measuring unit exemplified can be realized. 本実施例では、加圧力フィードバックループの中の圧力フィードバックループを使って技術内容を説明した。 In this embodiment, it described the technical details with a pressure feedback loop in the pressure feedback loop.

【0023】以上説明した能動的除振装置によって、除振台41の振動を計測する振動検出ヘッドヘの電気配線をワイヤレス化しているので、従来、この電気配線を経路として除振台41へと伝達してくる振動を遮断することができるのである。 [0023] By the described active anti-vibration apparatus described above, since the wireless the electric wiring of the vibration detection Heddohe for measuring the vibration of the anti-vibration table 41, conventionally, to anti-vibration table 41 the electrical wiring as path transfer it is possible to cut off the to come vibration.

【0024】なお、上述の実施例では、除振台41に装着する振動検出ヘッドの電気配線をワイヤレス化するために電波を用いた。 [0024] In the above embodiment, using radio waves to the wireless the electric wiring of the vibration detection head to be mounted on anti-vibration table 41. もちろん、ワイヤレス化の手段としては電波に限るものではなく光伝送もワイヤレス化の他の手段となり得る。 Of course, as a means of wireless reduction may be other means also wireless reduction optical transmission not limited to radio waves. 光伝送は電波による遠隔計測に比較して、光を使用するため、外来ノイズの影響を受けにくく、同時に他の機器に電波障害を与えることもないという特徴がある。 Optical transmission compared to the telemetry by radio waves, for use a light, less affected by external noise, a characteristic that nor give interference simultaneously to other devices. したがって、精度と安定性に優れる。 Therefore, excellent accuracy and stability. 装置構成は、図3におけるトランスミッタの送信変調部が光送信部に、レシーバの受信復調部が受光部に置き替わる。 Device configuration, transmission modulator of the transmitter of FIG. 3 is the optical transmission unit, reception demodulation section of the receiver is replaced placed light receiving portion. 振動検出ヘッドによって得られる信号の電波による伝送と同様に、電源の供給は非接触の誘導電源方式のユニットであり、その台数は除振台41に搭載の振動検出ヘッドの個数分備えるという必然性はなく、少なくとも1台備えていればよい。 Similar to the transmission by radio waves of a signal obtained by the vibration detection head, the power supply of a unit of the induction power supply method of non-contact, the necessity that the number includes the number fraction of the vibration detection head mounted on anti-vibration table 41 without need only comprise at least one.

【0025】なお、図1の実施例では、ワイヤレス化した箇所が振動検出手段のみであったが、これは、振動検出手段だけが除振台あるいは除振台と剛に結合する部材に装着されねばならないという必然性があるからに他ならない。 [0025] In the embodiment of FIG. 1, although wireless reduction was portions were only vibration detecting means, this is only the vibration detecting means is mounted to a member to be bonded to rigid and anti-vibration table or a vibration isolation table It is none other than to because there is necessity that must be. つまり、位置検出手段としての位置センサは除振台側に装着する必然性は本来ない、という理由による。 That is, the position sensor as a position detecting means by reason that no original, necessity is to be mounted on anti-vibration table side. しかしながら除振台側に装着せねばならない場合、 However, when the anti-vibration table side must be installed,
もちろんこの信号授受および電源の供給を上述の振動検出手段のようにワイヤレス化することは妨げられない。 Of course, not disturbed by wireless of such vibration detection means described above the signal transfer and power supply.
他のセンサ類も同様である。 Other sensors are also similar.

【0026】また、上述実施例では、能動的除振装置において使用する振動検出手段としての加速度センサの電気配線が、除振台への振動伝達の経路となるという事実に着眼して、この経路を遮断するための装置構成を示した。 Further, in the above embodiment, the electrical wiring of an acceleration sensor as the vibration detection means used in the active anti-vibration apparatus, and focusing on the fact that a path for vibration transmission to the anti-vibration table, the path It shows a structure of an apparatus for shutting off the. しかし、除振台上には、能動的除振装置における振動検出ヘッドの他にも種々の運動機構や計測装置が設置されている。 However, on anti-vibration table, various motion mechanism and measurement device is installed to other vibration detection head in an active anti-vibration apparatus. これらを精密機器と総称する。 Collectively referred to as precision equipment. 当然、これら精密機器への電気配線を束ねると相当の重量と太さになる。 Naturally, the equivalent weight and thickness when bundling electrical wires to these precision equipment. したがって、振動検出手段としての加速度センサの電気配線が振動の伝達経路となると同様に、精密機器への電気配線も振動の伝達経路となる。 Thus, as well as the electrical wiring of an acceleration sensor as the vibration detecting means becomes a transmission path of vibration, also a transmission path of vibration electric wiring to precision equipment. したがって、実施例で示したように、精密機器の電気配線も電波もしくは光によってワイヤレス化することができ、このとき除振台への振動の伝達が遮断される。 Therefore, as shown in the examples, the electrical wiring of precision instruments can also be wirelessly by radio waves or light, transmission of vibration is interrupted to an anti-vibration table at this time. これも本発明に属することは言うまでもない。 It also goes without saying that belong to the present invention.

【0027】最後に、本発明の効果を示しておく。 [0027] Finally, it should show the effects of the present invention. 図5 Figure 5
に能動的除振装置の除振率の周波数特性を示そう。 It shows the frequency characteristics of the vibration Furitsu the active anti-vibration apparatus. 図中、Aで指し示す曲線は、能動的除振装置における振動検出手段の電気配線が伝達経路となっている場合である。 In the figure, the curve indicated by A shows the case where the electric wiring of the vibration detection means in the active anti-vibration apparatus has a transmission path. 一方、図中のBは、振動検出手段をワイヤレス化した本発明に従った能動的除振装置の除振率を示す。 On the other hand, B in the figure indicates the removal Furitsu the active anti-vibration apparatus according to the present invention wirelessly the vibration detecting means. 斜線の部分が、電気配線を媒体として除振台に伝達していた振動成分であり、本発明に従ったワイヤレスな振動検出手段の使用によって振動の伝達が遮断されたことが分かる。 Hatched portion is the vibration component of the electrical wiring has been transmitted to the vibration isolating base as a medium, it can be seen that the transmission of vibration is blocked by the use of wireless vibration detecting means in accordance with the present invention.

【0028】 [0028]

【発明の効果】本発明の効果は以下の通りである。 The effect of the present invention, according to the present invention is as follows. (1)除振台の能動的制御のためには振動検出手段の使用が不可欠である。 (1) for the active control of the anti-vibration table is essential the use of the vibration detection means. しかし、従来、振動検出手段そのものの電気配線が振動伝達経路になっていた。 However, conventionally, the electrical wiring of the vibration detecting means itself had become vibration transmission path. しかるに、 However,
本発明では振動検出手段への電気配線を不要としているので、電気配線を経路とする除振台への振動伝達を遮断することができる。 Since the present invention is not necessary electric wiring to the vibration detecting means, it is possible to cut off transmission of vibration to the electric wiring to the anti-vibration table for a route. もって、除振台に搭載される精密機器の精度を確保できる、という効果がある。 Have been and can ensure the accuracy of the precision devices mounted on the vibration isolation table, there is an effect that. (2)電気配線を無くせるので、これらの実装のための空間が不要となるとともに、実装組立も不要となる。 (2) Since the electrical wiring Nakuseru, together with the space for these implementations is unnecessary, mounting assembly becomes unnecessary. したがって、能動的除振装置を含めた半導体露光装置そのものをコンパクトに設計でき、装置組立工程を短縮できるという効果がある。 Accordingly, the semiconductor exposure apparatus itself, including the active anti-vibration apparatus can be designed compact, an effect that can be shortened device assembly process. (3)もって、半導体露光装置の生産性に寄与するところ大という効果がある。 (3) have, there is a large that the effect at contributing to the productivity of the semiconductor exposure apparatus.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】 本発明の一実施例に係る能動的除振装置を示すブロック図である。 1 is a block diagram showing an active anti-vibration apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】 図1の装置における電気実装の一例を示す斜視図である。 Is a perspective view showing an example of an electrical implementation of system of FIG. 1. FIG.

【図3】 図1の装置における振動検出手段の装置構成を示す側面図である。 3 is a side view showing the device configuration of the vibration detecting means in the apparatus of FIG.

【図4】 図1の能動的除振装置の機械構成の一例を示す斜視図である。 Is a perspective view showing an example of a machine configuration of Figure 4 active anti-vibration apparatus of FIG.

【図5】 本発明に従った能動的除振装置の効果を示す、除振率の周波数特性のグラフである。 Figure 5 shows the effect of active anti-vibration apparatus according to the present invention, is a graph of the frequency characteristics of the vibration Furitsu.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1:除振台、2R,2L:振動検出手段の代表としての鉛直方向の加速度センサ、3R,3L:振動検出手段の代表としての水平方向の加速度センサ、4R,4L:鉛直方向の空気ばねアクチュエータ、5:床、6:束線、 1: anti-vibration table, 2R, 2L: an acceleration sensor in the vertical direction as a representative of the vibration detecting means, 3R, 3L: horizontal direction acceleration sensor as a representative of the vibration detecting means, 4R, 4L: vertical air spring actuators , 5: floor, 6: bundled,
7:計測対象、8:振動検出ヘッド、9:トランスミッタ、10:アンテナ、11:アンテナ、12:レシーバ、13:端子、14:電源オシレータ、15:固定1 7: measurement object, 8: vibration detection head, 9: transmitter, 10: antenna, 11: antenna, 12: receiver, 13: terminal, 14: power oscillator, 15: Fixed 1
次コイル、16:ピックアップコイル、17:レギュレータ、18:誘導電源、21:位置目標値出力部、2 Next coil, 16: pickup coil, 17: Regulator, 18: inductive power supply, 21: target position value output unit, 2
2:運動モード抽出演算手段、23:ゲイン補償器、2 2: motion mode extracting operation unit, 23: gain compensator 2
4:加速度に関する運動モード抽出演算手段、25:加速度信号に関するゲイン補償器、26:加速度に関するPI補償器、27:運動モード分配演算手段、30:圧力検出手段、31:圧力に関するPI補償器、32:電圧電流変換器、33:圧力目標値出力部、34:露光装置本体、40:XYステージ、41:除振台、42:能動的支持脚、AC:振動検出ヘッド、AS:空気ばねアクチュエータ、PO:位置検出手段、PR:圧力センサ、RC:レシーバ、SV:サーボバルブ、TR:トランスミッタ。 4: motion mode extracting operation unit related to the acceleration, 25: gain compensator about an acceleration signal, 26: PI compensators about acceleration, 27: motion mode distributing operation unit, 30: pressure detection means, 31: PI compensators on Pressure, 32 : voltage-current converter, 33: pressure target value output unit, 34: main exposure apparatus body, 40: XY stage, 41: anti-vibration table, 42: active support legs, AC: vibration detection head, AS: air spring actuator, PO: position detecting means, PR: pressure sensor, RC: receiver, SV: servovalve, TR: transmitter.

Claims (3)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 除振台に駆動力を付与するアクチュエータと、前記除振台の振動を検出するための振動検出手段と、前記振動検出手段の出力をフィードバックして前記アクチュエータを駆動する制御手段を備える能動的除振装置であって、前記振動検出手段は前記除振台の振動を検出する振動検出ヘッドおよびこの振動検出ヘッドの出力を電磁波の信号に変換して送信する送信手段と、この送信信号を受信する受信手段とを備え、前記振動検出ヘッドおよび送信手段は前記除振台に取り付けられ、前記受信手段は前記除振台以外の部分に取り付けられていることを特徴とする能動的除振装置。 1. A vibration actuator for imparting a driving force to the vibration table, a vibration detecting means for detecting vibration of said anti-vibration table, control means for outputting the feedback of driving the actuator of the vibration detecting means It is an active anti-vibration apparatus comprising the vibration detecting means and transmitting means for transmitting into a vibration detection head and the electromagnetic wave signal output of the vibration detection head for detecting the vibration of the anti-vibration table, this and a receiving means for receiving the transmission signal, active for the vibration detection head and the transmission unit mounted on said anti-vibration table, the receiving means is characterized by being attached to portions other than the single vibration said vibration anti-vibration apparatus.
  2. 【請求項2】 前記振動検出手段は、前記振動検出ヘッドおよび送信手段に前記除振台以外の部分からワイヤレスで電力を供給する誘導電源を備えることを特徴とする請求項1に記載の能動的除振装置。 Wherein said vibration detecting means, actively according to claim 1, characterized in that it comprises said inductive power supply for supplying electric power wirelessly from a portion other than the anti-vibration units to the vibration detection head and the transmission means anti-vibration apparatus.
  3. 【請求項3】 前記電磁波は電波もしくは光であることを特徴とする請求項1または2に記載の能動的除振装置。 Wherein said electromagnetic waves are active anti-vibration apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that a radio wave or light.
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