JP2000206206A - Icテスタ - Google Patents
IcテスタInfo
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- JP2000206206A JP2000206206A JP11002972A JP297299A JP2000206206A JP 2000206206 A JP2000206206 A JP 2000206206A JP 11002972 A JP11002972 A JP 11002972A JP 297299 A JP297299 A JP 297299A JP 2000206206 A JP2000206206 A JP 2000206206A
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- signal
- converter
- timing
- signal processing
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Abstract
るレートの遅れが発生する場合でも、容易なテストプロ
グラム記述で検査を行えるICテスタを実現する。 【解決手段】 A/D変換器と信号処理手段との間に記
憶手段を介在させ、A/D変換器と信号処理手段との間
に記憶手段を介在させ、A/D変換器と信号処理手段の
動作タイミングに合わせてデータの受け渡しを行うIC
テスタである。
Description
信号を入力し、このときの被試験対象の出力をもとに被
試験対象の良否を判定するICテスタに関するものであ
る。
するテスタ、アナログLSIとデジタルLSIが混在し
たミックスドLSIを検査するテスタ等がある。
る。図2で、入力信号発生部1は被試験対象(DUTと
する)2に動作のきっかけを与える入力信号を発生す
る。入力信号の発生タイミングはストローブ信号STB
1で決められる。入力信号処理部3は入力信号発生部1
が発生した入力信号のレベル、波形等をDUT2の入力
規格に合わせるように処理する。このようにしてDUT
2に与えられた信号が試験信号である。試験信号は既知
の信号である。
ログ信号に増幅、濾波等の処理を行う。A/D変換器
(アナログ・デジタル変換器)5は、出力信号処理部4
を経た信号をA/D変換する。変換はストローブ信号S
TB2のタイミングで行う。信号処理手段6は、A/D
変換器5の出力を取り込んで必要な信号処理を施し、D
UT2が正常な応答波形の信号を出力したかどうかを判
定する。信号処理手段6は、例えばDSP(Digit
al Signal Processor)で構成され
る。A/D変換器5の出力の取り込みはストローブ信号
STB3のタイミングで行う。DUT2、入力信号処理
部3及び出力信号処理部4からなる系をDUT周辺回路
とする。
4は測定の要求により存在しなくてもよい。
を示した図である。入力信号発生部1、A/D変換器5
及び信号処理手段6は、それぞれストローブ信号により
動作タイミングが制御される。このようなストローブ信
号を用いてDUTを良否判定する動作を説明する。
ーブ信号STB1により入力信号発生部1から信号V1
が出力される。信号V1は入力信号処理部3を通ってD
UT2に入力され、DUT2は入力に対する応答を信号
V2として出力する。このとき、DUT周辺回路におけ
る信号伝達の遅れにより、信号V2は信号V1に対して
所定の遅れをもって出現する。
るストローブ信号STB2により信号V2をA/D変換
し、信号V3をデジタルデータとして出力する。この場
合もA/D変換器5内部の変換時間のために信号V2と
V3の間には遅れが生じる。デジタルデータV3は時刻
Tstrb3に発生するストローブ信号STB3のタイ
ミングで信号処理手段6に取り込まれ、適切なデータ処
理を施した後、DUTが問題のない応答をしたかどうか
を判定する。
ICテスタに固有に設けられている。 レートはICテ
スタにおけるタイミング動作の単位であり、テスタ全体
の制御の1セットをなす時間単位である。例えば、メモ
リICにクロックを与えながら、 データを クロックに
同期してに有力している場合は、1クロックの時間内で
1つのデータが記憶されることになり、 このときの1
クロック幅の時間間隔を1レートとしている。テストプ
ログラムでは1レート中の各部の動作を1セットとして
記述している。
生タイミング(図3のタイミングTstrb1)と、D
UTの出力信号の取り込みタイミング(図3のタイミン
グTstrb3)はレートの区切りに対してある決まっ
た時間関係を保っている。つまり、レートの始まりの時
刻から各ストローブ信号が発生するまでの遅延時間はテ
ストプログラムで記述されている。
じた出力信号が現れるまでにある遅延時間が存在する。
従って、ストローブ信号STB1とSTB2との間には
上述した遅延時間あるいはそれ以上の時間間隔を要す
る。この遅延時間をΔtdとする。DUTを 測定する
レートはDUTのテスト仕様により決定されるもので、
この時間間隔をtrateとする。
ートの始まりから(trate−Δtd)以降の位置に
発生させると、ストローブ信号STB2が次以降のレー
ト期間に入ってしまい、同一レート内で信号発生とその
信号に対する応答信号の取り込み及び解析ができなくな
る。ストローブ信号STB3についても同様である。こ
れは、テストプログラムを記述する上で信号発生から信
号解析までの記述が1セットの中にまとまらないことに
なり、プログラムの作成・解析の上で非常に分りづらい
ものになる。
STB1をレートの終わりに近い場所に置きたい場合
や、DUTの応答の遅延時間が1レートを超える場合が
あり、この場合にも同一レート内に信号発生と信号解析
の処理が入らないという問題が発生する。
中にはNCC(Next Cycle Compare)の機能を備えたテス
タがある。NCC機能は、一連の信号発生から応答取り
込み、解析のタイミングを決めるストローブ信号につい
て、次のレートにかかるような遅延時間でも、同一セッ
トにまとめた記述がテストプログラム上でできる機能で
ある。ICテスタの機種によっては応答の取り込みタイ
ミングが複数レート後まで記述できるものもあり、NC
C機能によってテストプログラムが見やすく解析しやす
いものとなる。
大きな負担を掛けるもので、またぐことのできるレート
数を増やすとそれだけシステムが大規模になり、コスト
アップ、設計工数の増大等の弊害を発生させることにな
る。 したがって、またぐことのできる許容レート数は
制限されるのが現状である。
STB3の位置変化について説明する。A/D変換器5
の変換タイミングを与えるストローブ信号STB2は、
A/D変換器5の前段にあるDUT周辺回路のレンジ設
定等の条件により、最適な位置が変化するのが通常であ
る。信号処理手段6の信号取り込みタイミングTstr
b3とTstrb2の相対時間(Tstrb3−Tst
rb2)は既述のようにA/D変換器5の変換時間で決
まる固定値である。従って、タイミングTstrb3を
タイミングTstrb2の変化に追従させる必要があ
る。 もし、追従させないと、連続的にA/D変換を行
って変換データを信号処理手段6に取り込んでいる場合
に、 変換データを取り込む前に次の変換データが信号
V3に現れることがあるので、不都合が生じる。
内部構成より変換タイミングTstrb2から出力に変
換データが現れるまでにNCC機能できカバーしきれな
いほどの長い時間が必要なものがある。このため、タイ
ミングTstrb3をタイミングTstrb1及びTs
trb2のあるレートとは異なるレートに設けなくては
ならず、Tstrb2の位置変化に追従させるためのテ
ストプログラムの既述が紛らわしくなっていた。
点を解決するためになされたものであり、A/D変換器
と信号処理手段との間に記憶手段を介在させ、A/D変
換器と信号処理手段との間に記憶手段を介在させ、A/
D変換器と信号処理手段の動作タイミングに合わせてデ
ータの受け渡しを行うことによって、NCC機能の設定
可能レート数の上限を超えるレートの遅れが発生する場
合でも、容易なテストプログラム記述で検査を行えるI
Cテスタを実現することを目的とする。
成になったICテスタである。
のときの被試験対象の出力をもとに被試験対象の良否を
判定するICテスタにおいて、被試験対象の出力をA/
D変換するA/D変換器と、このA/D変換器の出力を
取り込み、良否判定のための信号処理を行う信号処理手
段と、前記A/D変換器と信号処理手段との間に介在
し、A/D変換器の動作タイミングに応じてA/D変換
器の出力を一時記憶し、記憶したデータは信号処理手段
の動作タイミングに応じて読み出される記憶手段と、を
具備したことを特徴とするICテスタ。
のときの被試験対象の出力をもとに被試験対象の良否を
判断するICテスタにおいて、被試験対象の出力をA/
D変換するA/D変換器と、このA/D変換器の出力を
取り込み、良否判定のための信号処理を行う信号処理手
段と、前記A/D変換器と信号処理手段との間に介在
し、A/D変換のタイミングからA/D変換時間だけ経
過したタイミングでA/D変換器の出力を記憶し、前記
信号処理手段のデータ取り込みタイミングよりも自身の
データ読み出し時間だけ先行したタイミングで記憶デー
タが読み出される記憶手段と、を具備したことを特徴と
するICテスタ。
トローブ信号をA/D変換時間だけ遅延させ、遅延信号
を前記記憶手段に書き込み信号として与える第1の遅延
手段を具備したことを特徴とする(1)記載のICテス
タ。
を与えるストローブ信号を記憶手段の読み出し時間だけ
遅延させ、遅延信号を前記信号処理手段にデータ取り込
み信号として与える第2の遅延手段を具備したことを特
徴とする(1)記載のICテスタ。
ことを特徴とする(1)記載のICテスタ。
説明する。図1は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。図1で図2と同一のものは同一符号を付ける。図1
で、記憶手段10は、A/D変換器5と信号処理手段6
との間に介在し、A/D変換器5の動作タイミングに応
じてA/D変換器5の出力を一時記憶する。記憶したデ
ータは信号処理手段6の動作タイミングに応じて読み出
される。記憶手段10は、例えばFIFO(先入れ先出
し)メモリで構成する。
イミングを決めるストローブ信号STB2をA/D変換
器5の変換時間だけ遅延させ、遅延信号を記憶手段10
に書き込み信号として与える。遅延手段12は、記憶手
段10の読み出しタイミングを与えるストローブ信号S
TB3を記憶手段10の読み出し時間だけ遅延させ、遅
延信号を信号処理手段6にデータ取り込み信号として与
える。遅延手段11と12は、例えばディレイラインに
より構成される。
は、A/D変換のタイミングからA/D変換時間だけ経
過したタイミングでA/D変換器5の出力を記憶する。
また、信号処理手段6のデータ取り込みタイミングより
も記憶手段10のデータ読み出し時間だけ先行したタイ
ミングで記憶手段10から記憶データが読み出される。
部4から出力した信号はA/D変換器5に送られ、スト
ローブ信号STB2のタイミングでA/D変換される。
遅延手段11の遅延信号により、A/D変換の時間が経
過した後に変換データは記憶手段10に記憶される。ス
トローブ信号STB3により、記憶手段10の記憶デー
タが読み出される。遅延手段12の遅延信号により、記
憶手段10の読み出し時間が経過した後に読み出しデー
タが信号処理手段6に取り込まれる。このようにしてA
/D変換器5と信号処理手段6の動作タイミングに合わ
せてデータが転送される。
/D変換器と信号処理手段との間に記憶手段を介在さ
せ、A/D変換器と信号処理手段の動作タイミングに合
わせてデータの受け渡しを行っている。これによって、
信号処理手段のデータ取り込みタイミングの遅延レート
数の範囲を広げられ、NCC機能の設定可能レート数の
上限を超えるレートの遅れが発生する場合でも、容易な
テストプログラム記述で検査を行える。
/D変換データを確保するタイミングと、変換データを
信号処理手段に取り込むタイミングを容易に設定でき
る。
た順番に変換データを処理していくことができる。
C機能の設定可能レート数の上限を超えるレートの遅れ
が発生する場合でも、容易なテストプログラム記述で検
査を行えるICテスタを実現できる。
である。
Claims (5)
- 【請求項1】 被試験対象に試験信号を入力し、このと
きの被試験対象の出力をもとに被試験対象の良否を判定
するICテスタにおいて、 被試験対象の出力をA/D変換するA/D変換器と、 このA/D変換器の出力を取り込み、良否判定のための
信号処理を行う信号処理手段と、 前記A/D変換器と信号処理手段との間に介在し、A/
D変換器の動作タイミングに応じてA/D変換器の出力
を一時記憶し、記憶したデータは信号処理手段の動作タ
イミングに応じて読み出される記憶手段と、を具備した
ことを特徴とするICテスタ。 - 【請求項2】 被試験対象に試験信号を入力し、このと
きの被試験対象の出力をもとに被試験対象の良否を判断
するICテスタにおいて、 被試験対象の出力をA/D変換するA/D変換器と、 このA/D変換器の出力を取り込み、良否判定のための
信号処理を行う信号処理手段と、 前記A/D変換器と信号処理手段との間に介在し、A/
D変換のタイミングからA/D変換時間だけ経過したタ
イミングでA/D変換器の出力を記憶し、前記信号処理
手段のデータ取り込みタイミングよりも自身のデータ読
み出し時間だけ先行したタイミングで記憶データが読み
出される記憶手段と、を具備したことを特徴とするIC
テスタ。 - 【請求項3】 A/D変換のタイミングを与えるストロ
ーブ信号をA/D変換時間だけ遅延させ、遅延信号を前
記記憶手段に書き込み信号として与える第1の遅延手段
を具備したことを特徴とする請求項1記載のICテス
タ。 - 【請求項4】 前記記憶手段の読み出しタイミングを与
えるストローブ信号を記憶手段の読み出し時間だけ遅延
させ、遅延信号を前記信号処理手段にデータ取り込み信
号として与える第2の遅延手段を具備したことを特徴と
する請求項1記載のICテスタ。 - 【請求項5】 前記記憶手段はFIFOで構成したこと
を特徴とする請求項1記載のICテスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00297299A JP3554959B2 (ja) | 1999-01-08 | 1999-01-08 | Icテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP00297299A JP3554959B2 (ja) | 1999-01-08 | 1999-01-08 | Icテスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000206206A true JP2000206206A (ja) | 2000-07-28 |
JP3554959B2 JP3554959B2 (ja) | 2004-08-18 |
Family
ID=11544298
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP00297299A Expired - Fee Related JP3554959B2 (ja) | 1999-01-08 | 1999-01-08 | Icテスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3554959B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6683470B2 (en) | 2000-08-31 | 2004-01-27 | Advantest Corp. | DC testing apparatus and semiconductor testing apparatus |
-
1999
- 1999-01-08 JP JP00297299A patent/JP3554959B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6683470B2 (en) | 2000-08-31 | 2004-01-27 | Advantest Corp. | DC testing apparatus and semiconductor testing apparatus |
WO2004081949A1 (ja) * | 2000-08-31 | 2004-09-23 | Hideo Takeuchi | Dc試験装置及び半導体試験装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3554959B2 (ja) | 2004-08-18 |
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