JP2000162273A - 電子部品の検査方法 - Google Patents

電子部品の検査方法

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JP2000162273A
JP2000162273A JP10339013A JP33901398A JP2000162273A JP 2000162273 A JP2000162273 A JP 2000162273A JP 10339013 A JP10339013 A JP 10339013A JP 33901398 A JP33901398 A JP 33901398A JP 2000162273 A JP2000162273 A JP 2000162273A
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JP
Japan
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inspection
socket
inspected
electronic component
electronic components
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Application number
JP10339013A
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English (en)
Inventor
Kazuhiro Takeda
一広 武田
Original Assignee
Nec Kansai Ltd
関西日本電気株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子部品を検査するために用いられる検査用
ソケットに接触不良などの不具合を生じると良品でも不
良判定されることがあった。 【解決手段】 複数の検査用ソケット5に被検査電子部
品1を装着し、一括して電気的特性を検査して各検査用
ソケット5毎に検査データを蓄積し、検査が終了した被
検査電子部品1を検査用ソケット5から離脱して、検査
済み電子部品5を検査データに基づいて良否選別する電
子部品の検査方法において、上記蓄積された検査データ
から不良の発生頻度が高い検査用ソケット5を検出し、
この検査用ソケット5に被検査電子部品1を供給しない
ようにしたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路装置
などの電子部品を複数個同時に検査する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路装置などの電子部品は製
造過程で電気的特性が検査され良否判別される。また電
子部品として例えばコンピュータ装置などに用いられる
メモリICの場合、信頼性を高めるために環境温度を変
化させて動作保証をしている。このメモリICはアドレ
ス信号線やデータ信号線など多数の電極があるため、検
査用ソケットも多電極のものが必要とされ、コンピュー
タ装置の高速化に対応して動作周波数が高速化している
ため、これに用いられるメモリICと電気的検査をする
測定器との距離を可及的に近接させる必要がある。一
方、検査項目が多いと検査に時間を要するため、多数個
の電子部品を一括して検査している。このような検査装
置の一例を図2乃至図3から説明する。図2及び図3に
おいて、1はメモリICなどの被検査電子部品で、図示
例では電子部品本体(図示せず)を被覆外装した樹脂パ
ッケージ2の側壁から多数本のリード3を導出してい
る。この電子部品1は図示省略するが整列トレイに収容
され、電気的に整理番号が付与されている。4は整列ト
レイから取出された電子部品1を整列して収容する検査
用トレイで、凹部4a底面で樹脂パッケージ2の下面を
支持し、凹部4aの底面周縁に貫通させた透孔4b部分
にリード3を配置している。この検査用トレイ4は例え
ば凹部4aが16行×2列形成され、各凹部4aに電子
部品1を収容して図示省略するが、室温雰囲気中あるい
は必要に応じて予熱または予冷雰囲気中を移動させて電
子部品1を所定の温度にする。図4は検査ポジションを
示す。図において5は検査用ソケットで、検査用トレイ
4の凹部4aの行ピッチの2倍の配列ピッチで8行×2
列配置されている。5aはソケットの測子で、電源や信
号源を含む測定器6に接続されている。7は各測定器6
を制御する処理装置で、検査データをメモリ8に蓄積
し、このメモリ8の蓄積データにより被検査電子部品の
良否判別をする。この各検査用ソケット5に検査用トレ
イ4を載置すると、ソケットの電極(測子)5aの上端
がリード3の先端部下面に電気的に接触する。9は検査
用ソケット5の上方に配置されて上下動し、検査用トレ
イ4の凹部4a内に挿入されてリード3の肩部を押圧し
て、リード3を測子5aに弾性接触させ、電気的接続を
確実にする押圧部材を示す。この検査装置はソケット5
に検査用トレイ4の奇数番目の電子部品4を装着して電
気的特性項目の測定が完了すると、押圧部材9を上昇さ
せさらに検査用トレイ4を上昇させて、1行ピッチ移動
させ偶数番目の電子部品4をソケット5の上方に配置
し、検査用トレイ4、押圧部材9を順次降下させてリー
ド3と測子5aとを電気的に接続し電気的特性検査を行
う。このようにして検査用トレイ4内の全ての電子部品
の測定が完了すると、押圧部材9、検査用トレイ4を順
次上昇させ、検査用トレイ4を検査用ソケット5から離
脱させて整列用トレイ上に移動し所定の整理番号位置に
移し替える。この移し替えの前に、検査のためにメモリ
に蓄積された測定結果を整理番号順に読み出して、メモ
リの結果により良否判別し、不良判定されたものは除去
し、良品のみを整列用トレイに移し替えて次工程に送
る。この検査装置は予熱または予冷ポジションを連続し
て形成すれば、中間で整列用トレイに移し替えることな
く連続して所定の検査を行うことが出来る。ところで、
同一の検査装置を高温試験と低温試験に共用する場合、
検査用ソケット5は温度の上昇、降下により熱膨張、収
縮を繰り返すため、リード3に対する測子5aの位置が
極めてわずかではあるが変化する。また、リード3の折
り曲げ成形にはばらつきがあり、測子5aとの接続位置
がばらつく。さらには、動作周波数が高くなると測定器
までの配線長さによって測定結果が変化するため各ソケ
ット5毎に回路の整合調整をしているが、一度に測定す
る電子部品の数が増大すると、両端のソケット間の距離
が長くなり、整合状態もばらつくことがあった。このよ
うな問題を解決するものとして、被検査電子部品4のか
わりに診断用の電子部品を用い、測子5aの状態を確認
することが知られている。(例えば特開平10−253
715号公報参照)
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
7000個の被検査用電子部品1を1ロットとして処理
する場合、1回16個の電子部品を一括検査する装置で
は、全ての電子部品1の検査を完了するのに個々の検査
用ソケット5には438回、電子部品1が装着されるた
め、検査前に測子5aの状態を確認しても検査中に測子
5aが劣化することがあった。このように測子5aに不
具合や不良が生じると、実際には良品であっても不良判
定され、電子部品1そのものの良否が判定できない。そ
のため、1ロットをさらに細かく区切り、各区切りの初
めに診断用電子部品を供給して測子5aの状態を検査す
ることもできる。これにより測子5aの摩耗や汚れ、位
置ずれなどによって生じる検査不良を早期に見つけ出
し、良判定されるべき電子部品が誤って不良判定される
ことを低減できるが、完全になくすことはてぜきなかっ
た。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので、複数の検査用ソケット
に被検査電子部品を装着し、一括して電気的特性を検査
して各検査用ソケット毎に検査データを蓄積し、検査が
終了した被検査電子部品を検査用ソケットから離脱し
て、検査済み電子部品を検査データに基づいて良否選別
する電子部品の検査方法において、上記蓄積された検査
データから不良の発生頻度が高い検査用ソケットを検出
し、この検査用ソケットに被検査電子部品を供給しない
ようにしたことを特徴とする電子部品の検査方法を提供
する。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明による検査方法は、複数の
検査用ソケットを介して得られた被検査電子部品の検査
データから不良の発生頻度が高い検査用ソケットを検出
し、この検査用ソケットに被検査電子部品を供給しない
ようにしたが、不良ソケットの検出は、所定の検査回数
内で発生する不良件数や、各検査用ソケットを介して検
査した累積不良率によって決定することが出来る。ま
た、連続的に不良判定された電子部品は閉鎖された検査
用ソケットを除く他の検査用ソケットに供給して再検査
することにより、ソケットの不具合による不良の発生を
防止できる。
【0006】
【実施例】以下に本発明による電子部品の検査方法を図
2〜図4に示す検査装置に適用して図1〜図Xから説明
する。図において、図2〜図4と同一物には同一符号を
付し重複する説明を省略する。図中、10は処理装置7
内に組み込まれた検査用ソケット5の監視部で、メモリ
8に蓄積されたデータから各ソケット毎の不良件数を蓄
積する。検査用トレイ4は16行×2列に被検査用電子
部品1を保持し、検査用ソケット5は8行×2列に配列
されているものとする。監視部10は不良件数の計測を
作業開始から始め連続して計測してもよいし、所定の検
査回数毎に計数をやり直してもよいし、最初の不良が発
生してから計数を開始してもよい。そして検査回数が所
定回数例えば10回連続して検査する間に許容できる不
良件数を5件と設定する。いずれの場合でも、監視部1
0は各ソケット5毎の不良件数を累積する。そして仮に
3行1列の検査用ソケット5が所定の回数10回検査す
る前に不良件数が5件を越えたとすると、監視部10は
3行1列の検査用ソケット5に不具合が生じているもの
と判別し、その後はこのソケット5を閉鎖し、測定器6
の機能も停止するとともに整列用トレイから3行1列の
検査用ソケット5に対応する検査用トレイ4の5行1列
と6行1列の凹部5aに被検査用電子部品1を供給しな
いようにする。これにより、例えば1ロット7000個
の電子部品1を検査する場合、仮に63回の検査(電子
部品数で1008個)が終了した段階で一つの検査用ソ
ケット5が閉鎖された場合、残り5992個の電子部品
を15個の検査用ソケットで検査しなければならないた
め、残りの検査回数は400回となる。そのため全検査
回数は463回で、全てのソケットを用いた場合の検査
回数438回より25回分検査回数が増加する。しかし
ながら、不具合の可能性がある検査用ソケット5を用い
ると不良判定される虞がある電子部品が最大375個、
正常な検査用ソケットで適正に良否判定することができ
る。本発明による検査方法では閉鎖されたソケットで検
査され不良判定されたものを把握することにより、この
不良判定された電子部品を正常なソケットで再検査して
適正な検査をすることが出来る。上記実施例では、検査
用ソケット5を閉鎖する条件として不良件数を基準とし
たが、稼働している全ての検査用ソケットでの不良率
と、各検査用ソケットでの不良率とを比較して閉鎖条件
を設定することもでき、例えば所定検査回数で不良率が
急増した検査用ソケットを閉鎖することが出来る。
【0007】
【発明の効果】以上のように本発明によれば検査用ソケ
ットの不具合による連続的な不良の発生が防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による検査方法を説明する検査装置の
側断面図
【図2】 従来の電子部品の検査方法を説明する電子部
品と検査用トレイを示す側断面図
【図3】 従来の検査装置の検査用ソケットを示す平面
【図4】 従来の検査装置を示す側断面図
【符号の説明】
1 被検査電子部品 5 検査用ソケット

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の検査用ソケットに被検査電子部品を
    装着し、一括して電気的特性を検査して各検査用ソケッ
    ト毎に検査データを蓄積し、検査が終了した被検査電子
    部品を検査用ソケットから離脱して、検査済み電子部品
    を検査データに基づいて良否選別する電子部品の検査方
    法において、 上記蓄積された検査データから不良の発生頻度が高い検
    査用ソケットを検出し、この検査用ソケットに被検査電
    子部品を供給しないようにしたことを特徴とする電子部
    品の検査方法。
  2. 【請求項2】所定の検査回数内で発生する不良件数が所
    定の件数を越えたとき、該当する検査用ソケットを閉鎖
    し被検査電子部品を供給しないようにしたことを特徴と
    する請求項1に記載の電子部品の検査方法。
  3. 【請求項3】各検査用ソケットを介して検査した累積不
    良率と稼働している全検査用ソケットを介して得られた
    累積平均不良率とを比較して、この比較の結果に基づい
    て不良の発生傾向を予測することを特徴とする請求項1
    に記載の電子部品の検査方法。
  4. 【請求項4】閉鎖された検査用ソケットを介して連続的
    に不良判定された電子部品を他の検査用ソケットに供給
    して再検査するようにしたことを特徴とする請求項1に
    記載の電子部品の検査方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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