JP2000124301A - Container mounting unit, container housing apparatus and treating apparatus - Google Patents

Container mounting unit, container housing apparatus and treating apparatus

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JP2000124301A
JP2000124301A JP29109098A JP29109098A JP2000124301A JP 2000124301 A JP2000124301 A JP 2000124301A JP 29109098 A JP29109098 A JP 29109098A JP 29109098 A JP29109098 A JP 29109098A JP 2000124301 A JP2000124301 A JP 2000124301A
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unit
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Kazuhiko Ito
Michiaki Matsushita
Kazunari Ueda
一成 上田
和彦 伊藤
道明 松下
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
東京エレクトロン株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To increase the container housing capacity of a container mounting unit by providing a third position for keeping in standby a substrate container between a first position where a substrate to be treated is taken in and out of the substrate container and a second position where the substrate container is taken in and out between an external conveyor. SOLUTION: A waiting part (third position) 31 is provided for staying a plurality of carrier cassettes CR between a cassette mount (second position) 20 of a container mounting unit 30 and an auxiliary arm 21. The cassette CR housed in a container housing is carried to a home access position (first position) between the cassette mount 20 and the arm 21. The arm 21 takes an untreated wafer W out and transfers it to a main arm 22, and sets the wafer W on treating units G1,..., to apply required treatments. Thus, a plurality of carrier cassette CR are housed in the vertical direction of the waiting part 31 and hence the housing ability of the carrier cassette CR can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばシリコンウエハのような被処理基板を順次搬送してその表面に、処理液の塗布や熱処理などの各種処理を施す処理装置、及びそのような処理装置に用いる容器収納装置や容器載置ユニットに関する。 The present invention relates, for example to sequentially transported to the surface, such a substrate to be processed as a silicon wafer, the process liquid coating and heat treatment of the various processes, such as performing processing apparatus and the processing apparatus is a container housing unit and container placement unit to be used for.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来、半導体素子を製造する際には、各種処理ユニットを装置のハウジング内の空間に多段に配置しておき、「メインアーム」や「補助アーム」と呼ばれる搬送装置を用いて順次各種処理ユニット内にシリコンウエハなどの被処理基板を出し入れして各種処理を施し、一連の処理を施すようになっている。 Conventionally, when manufacturing a semiconductor device, leave multi-tiered various processing units in the space in the housing of the device, using the transfer device called a "main arm" and "auxiliary arm" sequentially and out a substrate to be processed such as a silicon wafer subjected to various processes in the various processing units, so as subjected to a series of processes.

【0003】図19(a)は従来の処理装置101を上からみた状態を模式的に示した図である。 [0003] FIG. 19 (a) is a diagram when viewed from above schematically showing the conventional processing apparatus 101.

【0004】この図19(a)に示すように、ハウジング102の中央にはメインアーム103が配設されており、このメインアーム103の回りに各種処理ユニット群U1〜U4が配設されている。 [0004] As shown in FIG. 19 (a), the the center of the housing 102 and the main arm 103 is disposed, various processing unit group U1~U4 is disposed around the main arm 103 .

【0005】一方、ハウジング102の図中左端には、 On the other hand, the left end in the drawing of the housing 102,
被処理基板をその容器であるキャリアカセットCRごと載置するための載置台104が配設され、その内側右隣には載置台104とメインアーム103との間で被処理基板の受け渡しをするための補助アーム105が配設されている。 Are mounting table 104 is provided for mounting the carrier cassette CR us its container substrate to be processed, for the transfer of the substrate between its inner right next to the mounting table 104 and the main arm 103 the auxiliary arm 105 is disposed.

【0006】図19(a)に示したように、この処理装置101ではキャリアカセットCRが4個載置台104 [0006] As shown in FIG. 19 (a), a carrier cassette CR in the processing apparatus 101 is four mounting table 104
に載置できるようになっており、この載置台104の幅、即ちX方向の寸法と処理ユニット群U1〜U4配置部の幅とが一致しているため、処理装置全体として長方形のスペースに収まり、処理装置をセットする上でデッドスペースがないので設置スペースの無駄が少ない。 To being adapted to be placed, the width of the mounting table 104, i.e., since the X-direction dimension and the width of the processing unit group U1~U4 arrangement part matches, fits into a rectangular space as a whole processor , less wasteful of installation space since there is no dead space in order to set the processing apparatus.

【0007】ところで、各種処理ユニットでの処理に要する時間は処理ユニットごとに異なり、処理ユニットの種類によっては実際に作動している時間よりも待機している時間の方が長いものもある。 By the way, the time required for processing in the various kinds of processing units is different for each processing unit, depending on the type of the processing unit also actually what the longer time waiting than the time it is operating. ここで処理効率を上げるためには待機している処理ユニットに基板を次々に送り込んで稼働率を上げる必要があるが、そのためには載置台にセットできるキャリアカセットの数をこれまで以上に増やす必要がある。 Here is to increase the processing efficiency, it is necessary to increase the operating rate by feeding one after the substrate processing units are waiting, necessary to increase the number of carrier cassette that can be set in the table to the ever more there is.

【0008】しかるに、図19(a)の処理装置で載置台にセットできるキャリアカセットCRの数を4台より多くすると処理ユニット群U1〜U4設置部分とのバランスが崩れ、図19(b)に示すように処理ユニット群U1〜U4設置部分の幅よりもかなり載置台4の寸法が大型化する結果、処理装置101全体の形が従来の長方形からL字型になってしまい、デッドスペースが生じてスペース効率が低下するという問題がある。 [0008] However, out of balance with the processing unit group U1~U4 mounting portion to more than four the number of carrier cassette CR that can be loaded in the mounting table in the processing apparatus in FIG. 19 (a), FIG. 19 (b) results substantial mounting dimensions of table 4 than the width of the processing unit group U1~U4 installed part as shown increases in size, form of the whole processing apparatus 101 becomes a conventional rectangular L-shaped, dead space occurs space efficiency Te is lowered.

【0009】本発明は上記課題を解決するためになされたものである。 [0009] The present invention has been made to solve the above problems. 即ち、本発明は、デッドスペースを生じることなく多数のキャリアカセットを収容できる容器載置ユニットやそのような容器載置ユニットを備えた処理装置並びに容器収納装置を提供することを目的とする。 That is, the present invention aims to provide a processing apparatus and the container storage device with multiple containers placing unit and such containers placed unit carrier cassette can accommodate without causing dead space.

【0010】 [0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、請求項1の容器載置ユニットは、被処理基板を収容する基板容器を載置し、この基板容器内から被処理基板を出し入れする第1の位置と、外部搬送装置との間で前記基板容器の搬出入を行う第2の位置と、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を移動させる手段と、を具備する。 Means for Solving the Problems] To achieve the above object, a container placement unit according to claim 1, placing a substrate container for accommodating a substrate to be processed, and out of the substrate to be processed from the substrate in the container a first position, means for moving the substrate container between said second position for loading and unloading of the substrate container, the first position and the second position with an external transport device , comprising a.

【0011】請求項2の容器載置ユニットは、請求項1 [0011] The container placement unit according to claim 2, claim 1
に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を待機させる少なくとも一つの第3の位置を更に具備し、前記移動させる手段が前記第1の位置〜第3の位置との間で前記基板容器を移動する手段であることを特徴とする。 A container placing unit according to the first position and further comprising at least one third position of to wait the substrate container between said second position, means for the movement of the first wherein the between a position to third position is a means for moving the substrate container.

【0012】請求項3の容器載置ユニットは、請求項2 [0012] The container placement unit according to claim 3, claim 2
に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第1の位置、 A container placing unit according to the first position,
第2の位置、及び第3の位置が前記被処理基板の出し入れ方向に平行な鉛直平面内にあることを特徴とする。 Second position, and a third position, characterized in that in the parallel vertical plane and out direction of the substrate to be processed.

【0013】請求項4の容器載置ユニットは、請求項3 [0013] The container placement unit according to claim 4, claim 3
に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第2の位置が、前記第1の位置に関して前記基板容器の被処理基板出し入れ口と反対側に配設され、前記第3の位置が、前記第1の位置及び/又は前記第2の位置の上側に配設されていることを特徴とする。 A container placing unit according to the second position, the first target substrate loading and unloading opening of the substrate container relative to the position disposed on the opposite side, said third position, said first characterized in that it is arranged on the upper side of the position and / or the second position.

【0014】請求項5の容器載置ユニットは、請求項2 [0014] The container placement unit according to claim 5, claim 2
〜4のいずれかに記載の容器載置ユニットにおいて、前記移動する手段が基板容器を着脱可能に保持する保持部材と、この保持部材と結合された無端帯状部材と、この無端帯状部材を駆動するモータと、このモータを制御する制御部とを具備することを特徴とする。 A container placing unit as claimed in any one to 4 of said means for moving drives the holding member for detachably holding a substrate container, an endless belt-like member coupled with the holding member, the endless belt-like member a motor, characterized by a control unit for controlling the motor.

【0015】請求項6の容器載置ユニットは、請求項2 The container placement unit according to claim 6, claim 2
に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第2の位置が、前記第1の位置に関して前記基板容器の被処理基板出し入れ口と反対側に配設され、前記第3の位置が、前記第1の位置の真上及び/又は真下に配設され、前記移動させる手段が、前記第1の位置と前記第2位置との間で前記基板容器を水平方向に移動させる手段、及び、前記第1の位置と第3の位置との間で前記基板容器を昇降させる手段、であることを特徴とする。 A container placing unit according to the second position, the first target substrate loading and unloading opening of the substrate container relative to the position disposed on the opposite side, said third position, said first is disposed immediately above and / or below the position, it means for the movement, means for moving the substrate container in the horizontal direction between the first position and the second position, and said first wherein the position and a means for elevating the substrate container between a third position.

【0016】請求項7の容器載置ユニットは、請求項2 The container placement unit according to claim 7, claim 2
に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第1の位置が、少なくとも二つの基板容器を上下に載置し、前記第1の位置に載置された基板容器内の被処理基板を出し入れする手段を更に具備することを特徴とする。 A container placing unit according to the first position, the means for loading and unloading at least placing the two substrate container up and down the target substrate of the first substrate placed in the container in a position further characterized by comprising.

【0017】請求項8の容器載置ユニットは、請求項1 The container placement unit according to claim 8, claim 1
に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第2の位置が前記第1の位置の上側又は下側に配設され、前記移動させる手段が、前記第1の位置と第2の位置との間で前記基板容器を昇降させる手段であることを特徴とする。 In the container mounting unit, wherein the second position is disposed above or below the said first position, means for the movement, between said first and second positions characterized in that it is a means for elevating the substrate container.

【0018】請求項9の容器載置ユニットは、被処理基板を収容する基板容器を載置し、この基板容器内の被処理基板を出し入れする第1の位置と、前記第1の位置を通る面内で、前記基板容器から被処理基板を出し入れする方向と直交方向に伸びた長円状又は方形状の無端軌道と、前記無端軌道に移動可能に配設され、基板容器を着脱可能に保持する少なくとも二つの保持部材と、前記無端軌道上に保持された基板容器を移動させる移動手段と、を具備する。 The container placement unit according to claim 9, through placing a substrate container for accommodating a substrate to be processed, a first position for loading and unloading a substrate to be processed of the substrate within the container, said first position in a plane, and oval or square shaped endless track extending between orthogonally direction for loading and unloading a substrate to be processed from the substrate container, is arranged to be movable in the endless track, detachably holding a substrate container comprising at least the two holding members, and moving means for moving the substrate container held by the endless orbit, the to.

【0019】請求項10の容器載置ユニットは、請求項9に記載の容器載置ユニットにおいて、前記無端軌道が、水平面内または被処理基板を出し入れする方向を法線とする平面内に配設されていることを特徴とする。 The container placement unit according to claim 10, in the container placing unit as claimed in claim 9, arranged said endless track is in a plane direction and out of the horizontal plane or the substrate to be processed and the normal characterized in that it is.

【0020】請求項11の容器収納装置は、処理装置の容器載置台端面と対向配置され、前記基板容器載置台との間で基板容器を搬出入する第1搬出入部と、外部搬送装置との間で基板容器を搬出入する第2搬出入部と、前記第1搬出入部と前記第2搬出入部との間で基板容器を移動する手段と、を具備する。 [0020] The container storage apparatus of claim 11, the container mounting table end face and opposed processing apparatus, a first carry-out section for carrying in and carrying out a substrate container between said substrate container placing table, the external transport device comprises a second carry-out section for carrying in and carrying out a substrate container, and means for moving the substrate container between said second unloading join the club and the first unloading join the club between.

【0021】請求項12の容器収納装置は、請求項11 The container storage system according to claim 12, claim 11
記載の容器収納装置において、前記第1搬出入部と前記第2搬出入部との間で基板容器を待機させる待機部を更に具備し、前記移動する手段が、前記待機部と前記第1 In the container storage device, wherein further comprising a standby unit to wait a substrate container between the first unloading join the club and the second unloading join the club, said moving means, said said standby unit first
搬出入部との間で基板容器を移動する手段であることを特徴とする。 Wherein the between the unloading join the club is a means for moving the substrate container.

【0022】請求項13の容器収納装置は、請求項12 The container storage system according to claim 13, claim 12
に記載の容器収納装置において、前記待機部が、基板出し入れ方向を法線とする鉛直平面内に基板容器を保持する保持機構であることを特徴とする。 In the container storage device according to the standby unit, characterized in that a holding mechanism for holding the substrate container in a vertical plane to the substrate loading and unloading direction normal.

【0023】請求項14の容器収納装置は、請求項13 The container storage system according to claim 14, claim 13
に記載の容器収納装置であって、前記保持機構が、前記鉛直平面内に形成された無端軌道と、基板容器を着脱可能に保持し、前記無端軌道に対して移動可能な保持部材と、この保持手段を移動させる移動手段と、前記移動手段を制御する手段と、を具備することを特徴とする。 A container storage device according to the holding mechanism, the the vertical plane endless track formed in, detachably holds the substrate container, a holding member movable relative to said endless track, the moving means for moving the holding means, characterized in that and means for controlling said moving means. 請求項15の処理装置は、基板容器を載置しこの基板容器内から被処理基板を出し入れする第1の位置と、外部搬送装置との間で前記基板容器の搬出入を行う第2の位置と、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を移動する手段とを備えた容器載置ユニットと、前記被処理基板に処理を施す、少なくとも二つの処理ユニットと、前記処理ユニットと前記第1の位置との間で被処理基板を搬送する手段と、を具備する。 Processing apparatus according to claim 15, between a first position for loading and unloading a substrate to be processed from the substrate container placing a substrate container, a second position for loading and unloading of the substrate container between the external transport device When a container placement unit and means for moving the substrate container between said first position and the second position, performs processing on the substrate to be processed, at least two processing units, and means for conveying the substrate between said first position and said processing unit.

【0024】請求項16の処理装置は、請求項15に記載の処理装置であって、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を待機させる少なくとも一つの第3の位置を更に具備し、前記移動させる手段が前記第1の位置〜第3の位置との間で前記基板容器を移動する手段であることを特徴とする。 The apparatus according to claim 16, wherein a processing apparatus according to claim 15, at least one of the third to wait the substrate container between said first position and the second position position further comprising, wherein the means for the movement is a means for moving the substrate container between said first position and the third position.

【0025】請求項17の処理装置は、請求項15に記載の処理装置であって、前記第1〜第3の位置が、前記被処理基板の出し入れ方向に平行な鉛直平面内にあることを特徴とする。 The apparatus according to claim 17, a processing apparatus according to claim 15, said first to third position, in said object to be processed in parallel vertical plane and out direction of the substrate and features.

【0026】請求項18の処理装置は、請求項17に記載の処理装置であって、前記第1〜第3の各位置が、被処理基板出し入れ方向と直交する水平方向にわたって複数の平行な列を形成していることを特徴とする。 [0026] The processing apparatus according to claim 18, a processing apparatus according to claim 17, wherein the first to third positions of a plurality of parallel rows over the horizontal direction perpendicular to the substrate to be processed out direction characterized in that it forms a.

【0027】請求項1記載の容器載置ユニットでは、基板容器内から被処理基板を出し入れする第1の位置と、 [0027] In the container mounting unit according to claim 1, wherein, between a first position for loading and unloading a substrate to be processed from the substrate container,
外部搬送装置との間で前記基板容器の搬出入を行う前記第2の位置とを別々に設けたので、容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する。 Is provided with the said second position for loading and unloading of the substrate container between the external transport device separately allowance container mounting unit can store the container increases.

【0028】その結果この容器載置ユニットを備えた処理装置では装置全体としてのデッドスペースがなくなり、スペース効率即ち、装置設置に必要な床面積に対する有効活用した床面積の割合が向上する。 [0028] As a result this processing apparatus having a container mounting unit eliminates the dead space of the entire apparatus, space efficiency that is, to improve the ratio of floor area which is effectively used for the floor area required for device installation.

【0029】請求項2記載の容器載置ユニットでは、請求項1に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を待機させる第3の位置を更に少なくとも一つ具備しているので、 [0029] In the container mounting unit according to claim 2, wherein, in the container mounting unit of claim 1, the third to wait the substrate container between said first position and the second position since further has at least one comprises a position,
容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する。 Allowable amount increases the container mounting unit can store container.

【0030】請求項3記載の容器載置ユニットでは、請求項2に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第1の位置、第2の位置、及び第3の位置が前記被処理基板の出し入れ方向に平行な鉛直平面内に配設したので、前記被処理基板の出し入れ方向のスペース効率が向上する。 [0030] In the container mounting unit according to claim 3, wherein, in the container mounting unit according to claim 2, wherein the first position, second position and third position and out direction of the target substrate Having disposed in parallel vertical planes, and out direction of the space efficiency of the target substrate is improved.
特に基板容器を処理装置の幅方向に複数個載置する場合には幅方向の寸法を最大限活用できるのでスペース効率上有利となる。 Particularly from the space efficiency advantageously take full advantage of the size in the width direction in the case of multiple places in the width direction of the processing apparatus the substrate container.

【0031】更にその場合、幅方向の複数個の基板容器はそれぞれ別個独立に移動や搬出入できるので、補助アームや外部搬送装置との間でアクセス時間が短縮できる。 [0031] can be further this case, since each plurality of substrate container in the width direction can enter movement and unloaded separately and independently, reducing the access time between the auxiliary arm and the external transport device.

【0032】請求項4記載の容器載置ユニットでは、請求項3に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第3の位置を前記第1の位置及び/又は前記第2の位置の上側に配設したので、上下方向のスペースを有効活用でき、 [0032] In the container mounting unit according to claim 4, wherein, arranged in the container mounting unit according to claim 3, the third position on the upper side of the first position and / or the second position since the, it can effectively utilize the space in the vertical direction,
スペース効率が向上する。 Space efficiency is improved.

【0033】その結果、容器載置ユニットの奥行き寸法、即ち前記被処理基板の出入方向を小さくすることができる。 [0033] As a result, it is possible to reduce the depth dimension of the container mounting unit, namely a and out direction of the substrate to be processed.

【0034】請求項5記載の容器載置ユニットでは、請求項2〜4のいずれかに記載の容器載置ユニットにおいて、前記移動する手段として、前記保持部材、無端帯状部材モータ及び制御部とからなる装置を用いているので、構造が簡単で故障が少なく廉価な容器載置ユニットを提供できる。 [0034] In the container mounting unit according to claim 5, wherein from the container mounting unit according to any one of claims 2 to 4, as a means for the movement, the holding member, an endless belt-like member motor and the control unit because of the use of consisting apparatus structure can provide simple and less failures inexpensive container placing unit. 更に、前記第1〜第3の位置を循環移動するので、迅速に容器の移動が可能となる。 Further, since the to first to move circulating a third position, it is possible to quickly move the container.

【0035】請求項6記載の容器載置ユニットでは、請求項2に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第3の位置を前記第1の位置の真上及び/又は真下の位置に配設し、容器載置ユニット内の使用していないスペースに基板容器を待機させるようにしたので、容器載置ユニットの外形寸法を殆ど大型化することなく基板容器の収容能力が増大した。 [0035] In the container mounting unit according to claim 6, wherein, in the container mounting unit according to claim 2, arranged said third position to a position directly over and / or beneath the first position since the substrate container in the space that is not used in the container placed units so as to stand, capacity of the substrate container without substantially enlarging the external dimensions of the container placing unit is increased. また、待機中の基板容器を移動させる機構が容器載置ユニットに内蔵されているので、危険性が少ない。 Moreover, mechanisms for moving the substrate container waiting because it is built in the container mounting unit, is less dangerous.

【0036】請求項7記載の容器載置ユニットでは、請求項2に記載の容器載置ユニットにおいて、複数個の基板容器を上下の位置に載置し、基板容器を移動させる代わりに、基板容器内の被処理基板を出し入れする手段を用いて被処理基板の出し入れを行うようにしているので、運転時の音が静かで、構造も簡単にすみ、故障も少ない。 [0036] In the container mounting unit according to claim 7, wherein, in the container mounting unit according to claim 2, placing a plurality of substrates container above and below the position, instead of moving the substrate container, the substrate container since using the means for loading and unloading a substrate to be processed of the inner and to perform the loading and unloading of the substrate, for quieter operation at the time of operation, the structure easy Nisumi failure is small.

【0037】請求項8記載の容器載置ユニットでは、請求項1に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第1の位置の他に、この第1の位置の上側又は下側に第2の位置を配設し、上下に配設した二つの位置の間を基板容器を移動させることにより基板の収容能力を増大させている。 [0037] In the container mounting unit according to claim 8, in the container placing unit as claimed in claim 1, in addition to the first position, a second position above or below the first position It was disposed, and to increase the capacity of the substrate by moving the substrate container between two positions disposed vertically. このように単純な構造でコンパクトな機構を採用しているので、故障が少なく、比較的安いコストで容器収容能力を増大させることができる。 Since the adopts a compact mechanism with a simple structure, less failures can increase the container capacity at relatively low cost.

【0038】請求項9記載の容器載置ユニットでは、一つの面上に形成された無端軌道に沿って基板容器を待機させるので、被処理基板の高さが一つの基板容器の高さの中に治まり、その結果補助アームが被処理基板を出し入れする時間を短縮できる。 [0038] In the container mounting unit according to claim 9, wherein, since along the endless track formed on one surface to stand the substrate container, in height of the substrate is the height of one of the substrate container in subsided, it is possible to shorten the time as a result the auxiliary arm and out the substrate to be processed. また、基板容器を移動させる機構の保守管理が行いやすい。 In addition, maintenance is easy to make the mechanism for moving the substrate container.

【0039】請求項10記載の容器載置ユニットでは、 [0039] In the container mounting unit according to claim 10, wherein the
請求項9に記載の容器載置ユニットにおいて、水平面内又は前記基板容器から被処理基板を出し入れする方向を法線とする平面上に形成された無端軌道に沿って基板容器を待機させるので、容器載置ユニットの占める床面積を小さくすることができ、スペース効率が向上する。 A container placing unit as claimed in claim 9, since the waiting substrate container along the endless track formed on a plane the direction of loading and unloading a substrate to be processed from the horizontal plane or the substrate container and the normal, the container it is possible to reduce the floor area occupied by the placement unit, space efficiency is improved. 請求項11記載の容器収納装置では、処理装置の容器載置台端面と対向配置される前記第1搬出入部と前記第2搬出入部とを備えているので、従来の処理装置に対して隣接配置することができ、それだけで簡単に容器収容能力を増大させることができる。 In the container storage device according to claim 11, since the first unloading join the club is the container placing table facet and opposing arrangement of processing devices and and a second unloading join the club, adjacent placement with respect to conventional processing apparatus it is possible, it can increase it only briefly vessel capacity.

【0040】請求項12記載の容器収納装置では、請求項11記載の容器収納装置において、前記第1搬出入部と前記第2搬出入部との間で基板容器を待機させる待機部を更に具備しているので、容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する。 [0040] In the container storage system of claim 12, wherein, in the container storage device according to claim 11, further comprising a standby unit to wait a substrate container between said second unloading join the club and the first unloading join the club because there, allowance container mounting unit can store the container increases.

【0041】請求項13記載の容器収納装置では、請求項12に記載の容器収納装置において、前記待機部として、基板出し入れ方向を法線とする鉛直平面内に基板容器を保持する保持機構を採用しているので、多数の基板容器を効率よく収容でき、スペース効率が向上する。 [0041] In the container storage device according to claim 13 is employed in the container storage device according to claim 12, as the standby unit, the holding mechanism for holding the substrate container in a vertical plane to the substrate loading and unloading direction and the normal since it has to, a number of substrate containers can be efficiently accommodated, space efficiency is improved.

【0042】請求項14記載の容器収納装置では、請求項13に記載の容器収納装置において、前記保持機構として、前記鉛直平面内に形成された無端軌道と、基板容器を着脱可能に保持し、前記無端軌道に対して移動可能な保持部材と、この保持手段を移動させる移動手段と、 [0042] In the container storage device according to claim 14, in the container storage device according to claim 13, as the holding mechanism, the the endless track formed in a vertical plane, detachably holds the substrate container, a holding member movable relative to said endless track, a moving means for moving the holding means,
前記移動手段を制御する手段とからなる機構を採用しているので、多数の基板容器を効率よく収容でき、スペース効率が向上する。 Because it uses a mechanism and means for controlling said moving means, a number of substrate containers can be efficiently accommodated, space efficiency is improved.

【0043】請求項15記載の処理装置では、基板容器内から被処理基板を出し入れする第1の位置と、外部搬送装置との間で前記基板容器の搬出入を行う前記第2の位置とを別々に設けたので、容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する。 [0043] In the processing apparatus according to claim 15, wherein between a first position for loading and unloading a substrate to be processed from the substrate container, and a second position for loading and unloading of the substrate container between the external transport device since provided separately, allowance container mounting unit can store the container increases.

【0044】その結果この容器載置ユニットを備えた処理装置では装置全体としてのデッドスペースがなくなり、スペース効率即ち、装置設置に必要な床面積に対する有効活用した床面積の割合が向上する。 [0044] As a result this processing apparatus having a container mounting unit eliminates the dead space of the entire apparatus, space efficiency that is, to improve the ratio of floor area which is effectively used for the floor area required for device installation.

【0045】請求項16記載の処理装置では、請求項1 [0045] In the processing apparatus according to claim 16, claim 1
5に記載の処理装置において、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を待機させる少なくとも一つの第3の位置を更に具備しているので、容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する。 In the processing apparatus according to 5, since the are, further comprising at least one third position of to wait a substrate container between said first position and the second position, the container placing unit containers allowable amount increases which can store.

【0046】請求項17記載の処理装置では、請求項1 [0046] In the processing apparatus according to claim 17, claim 1
5に記載の処理装置において、前記第1〜第3の位置が、前記被処理基板の出し入れ方向に平行な鉛直平面内に配設されているので処理装置の幅方向のスペース効率が向上する。 In the processing apparatus according to 5, wherein the first to third positions, the width direction of the space efficiency of the processor because it is arranged in parallel to a vertical plane and out direction of the substrate is improved.

【0047】請求項18記載の処理装置では、請求項1 [0047] In the processing apparatus according to claim 18, wherein the claim 1
7に記載の処理装置において、前記第1〜第3の各位置が、被処理基板出し入れ方向と直交する水平方向にわたって複数の平行な列を形成しているので、処理装置の幅方向にわたり複数の容器載置ユニットが搭載された状態となり、基板容器の収容能力が向上する。 In the processing apparatus according to 7, wherein the first to third positions of, so to form a plurality of parallel rows over the horizontal direction perpendicular to the substrate to be processed out direction, of the plurality across the width direction of the processing device a state where the container mounting unit is mounted, thereby improving capacity of the substrate container.

【0048】 [0048]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態の詳細を図面に基づいて説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, will be explained with reference to the drawings a detailed embodiment of the present invention.

【0049】図1は本発明の一実施形態に係る容器載置ユニットを備えた半導体ウエハ(以下、「ウエハ」という)Wの塗布現像処理システム1全体を示した平面図である。 [0049] Figure 1 is a plan view of a semiconductor wafer having a container mounting unit according to an embodiment (hereinafter, referred to as "wafer") showed coating and developing treatment system 1 as a whole W of the present invention.

【0050】この塗布現像処理システム1では、被処理体としてのウエハWをウエハカセットCRで複数枚、例えば25枚単位で外部からシステムに搬入・搬出したり、ウエハカセットCRに対してウエハWを搬入・搬出したりするためのカセットステーション10と、塗布現像工程の中で1枚ずつウエハWに所定の処理を施す枚葉式の各種処理ユニットを所定位置に多段配置した処理ステーション11と、この処理ステーション11に隣接して設けられる露光装置(図示せず)との間でウエハWを受け渡しするためのインタフェース部12とが一体的に接続されている。 [0050] In the coating and developing processing system 1, a plurality of wafers W as an object to be processed in the wafer cassette CR, for example, to loading and unloading from the outside into the system at 25 sheets units, the wafer W to the wafer cassette CR a cassette station 10 to or loading and unloading, a processing station 11 in which multi-tiered single-wafer various processing units for performing a predetermined processing on a predetermined position one by one wafer W in the coating and developing process, the an interface unit 12 for transferring the wafer W between the processing station 11 is provided adjacent an exposure device (not shown) are integrally connected. このカセットステーション10では、 In the cassette station 10,
カセット載置台20上の位置に複数個のウエハカセットCRが、夫々のウエハ出入口を処理ステーション11側に向けてX方向一列に載置され、このカセット配列方向(X方向)およびウエハカセッ卜CR内に収納されたウエハWのウエハ配列方向(Z方向;垂直方向)に移動可能な補助アーム21が各ウエハカセットCRに選択的にアクセスする。 A plurality of wafer cassettes CR to positions on a cassette mounting table 20, toward the wafer transfer ports each processing station 11 side is mounted in the X direction one column, this cassette array direction (X direction) and Uehakase' the Bok CR wafer arrangement direction of the housing wafers W; movable auxiliary (Z-direction perpendicular) arm 21 is selectively access the wafer cassettes CR.

【0051】この補助アーム21はθ方向に回転自在であり、後述するように処理ステーション11側の第3の処理ユニット群G 3の多段ユニット部に配設されたアライメントユニット(ALIM)やイクステンションユニット(EXT)にもアクセスできる。 [0051] The auxiliary arm 21 is rotatable in the θ direction, an alignment unit disposed in the third multi-stage unit of the processing unit group G 3 of the processing station 11 side as described later (ALIM) and an extension You can also access the unit (EXT).

【0052】処理ステーション11には、ウエハ搬送装置を備えた垂直搬送型のメインアーム22が設けられ、 [0052] the processing station 11, the main arm 22 of the vertical conveyor type provided with a wafer transfer device is provided,
その周りに全ての処理ユニットが1組または複数の組に亙って多段に配置されている。 All processing units are multi-tiered over a pair or more pairs therearound.

【0053】図2は上記塗布現像処理システム1の正面図である。 [0053] FIG. 2 is a front view of the coating and developing treatment system 1.

【0054】第1の処理ユニット群G 1では、カップC [0054] In the first processing unit group G 1, the cup C
P内でウエハWをスピンチャックに載せて所定の処理を行う2台のスピンナ型処理ユニット、例えばレジスト塗布ユニット(COT)および現像ユニット(DEV)が下から順に2段に重ねられている。 Two spinner-type processing units of the wafer W placed on a spin chuck performing predetermined processing in the P, for example resist coating unit (COT) and a developing unit (DEV) are two-tiered from the bottom in order. 第2の処理ユニット群G 2では、2台のスピンナ型処理ユニット、例えばレジスト塗布ユニット(COT)および現像ユニット(D In the second processing unit group G 2, two spinner-type processing units, for example, the resist coating unit (COT) and a developing unit (D
EV)が下から順に2段に重ねられている。 EV) are two-tiered from the bottom in order. これらレジスト塗布ユニット(COT)は、レジスト液の排液が機構的にもメンテナンスの上でも面倒であることから、このように下段に配置するのが好ましい。 These of the resist coating unit (COT), since the drainage of a resist solution is troublesome in terms of maintenance mechanistically preferably arranged in this manner in the lower part. しかし、必要に応じて適宜上段に配置することももちろん可能である。 However, it is of course possible to arrange the appropriate upper needed.

【0055】図3は上記塗布現像処理システム1の背面図である。 [0055] FIG. 3 is a rear view of the coating and developing treatment system 1.

【0056】メインアーム22では、筒状支持体49の内側に、ウエハ搬送装置46が上下方向(Z方向)に昇降自在に装備されている。 [0056] The main arm 22, the inside of the cylindrical support member 49, the wafer transfer device 46 is equipped vertically movable in the vertical direction (Z-direction). 筒状支持体49はモータ(図示せず)の回転軸に接続されており、このモータの回転駆動力によって、前記回転軸を中心としてウエハ搬送装置46と一体に回転し、それによりこのウエハ搬送装置46はθ方向に回転自在となっている。 Cylindrical supporter 49 is connected to a rotating shaft of a motor (not shown), by a rotational driving force of the motor, and rotates integrally with the wafer transfer device 46 about said rotation axis, whereby the wafer transfer 46 is rotatable in θ direction. なお筒状支持体49は前記モータによって回転される別の回転軸(図示せず)に接続するように構成してもよい。 Note cylindrical support member 49 may be configured to connect to another rotary shaft (not shown) which is rotated by the motor.

【0057】ウエハ搬送装置46には、搬送基台47の前後方向に移動自在な複数本の保持部材48が配設されており、これらの保持部材48は各処理ユニット間でのウエハWの受け渡しを可能にしている。 [0057] The wafer transfer device 46, the front-rear direction a plurality of holding members 48 which is movable is disposed, these holding members 48 transfer wafers W between the processing units of the transfer base 47 It is to allow.

【0058】また、図1に示すようにこの塗布現像処理システム1では、5つの処理ユニット群G 1 、G 2 、G [0058] In the coating and developing treatment system 1 as shown in FIG. 1, five processing unit groups G 1, G 2, G
3 、G 4 、G 5が配置可能であり、第1および第2の処理ユニット群G 1 、G 2の多段ユニットは、システム正面(図1において手前)側に配置され、第3の処理ユニット群G 3の多段ユニットはカセットステーション10 3, G 4, G 5 is positionable, the first and second processing unit group G 1, the multi-stage unit G 2 is, disposed side (front in FIG. 1) the front of the system, the third processing unit multistage unit group G 3 are cassette station 10
に隣接して配置され、第4の処理ユニット群G 4の多段ユニットはインタフェース部12に隣接して配置され、 To be positioned adjacent, a multi-stage unit of the fourth processing unit group G 4 is disposed adjacent to the interface section 12,
第5の処理ユニット群G 5の多段ユニットは背面側に配置されることが可能である。 Multistage unit of the fifth processing unit group G 5 is capable of being disposed on the rear side.

【0059】図3に示すように、第3の処理ユニット群G 3では、ウエハWを保持台(図示せず)に載せて所定の処理を行うオーブン型の処理ユニット、例えば冷却処理を行うクーリングユニット(COL)、レジストの定着性を高めるためのいわゆる疏水化処理を行うアドヒージョンユニット(AD)、位置合わせを行うアライメントユニット(ALIM)、イクステンションユニット(EXT)、露光処理前の加熱処理を行うプリベーキングユニット(PREBAKE)および露光処理後の加熱処理を行うポストベーキングユニット(POBAKE) As shown in FIG. 3, the third processing unit group G 3, oven-type processing units of the wafer W placed on a holder (not shown) performs the predetermined processing, for example, a cooling for cooling process unit (COL), an adhesion unit for a so-called hydrophobic treatment for enhancing adhesion of the resist (AD), an alignment unit for performing alignment (ALIM), extension unit (EXT), before the exposure processing heat treatment pre-baking unit for performing post-baking unit for performing heat treatment after (PREBAKE) and exposure (POBAKE)
が、下から順に例えば8段に重ねられている。 But it is stacked in order for example 8 stages from the bottom. 第4の処理ユニット群G 4でも、オーブン型の処理ユニット、例えばクーリングユニット(COL)、イクステンション・クーリングユニット(EXTCOL)、イクステンションユニット(EXT)、クーリングユニッ卜(CO Even the fourth processing unit group G 4, oven-type processing units, for example, a cooling unit (COL), an extension and cooling unit (EXTCOL), extension unit (EXT), a cooling unit Bok (CO
L)、プリベーキングユニット(PREBAKE)およびポストベーキングユニット(POBAKE)が下から順に、例えば8段に重ねられている。 L), pre-baking unit (PREBAKE) and post-baking units (POBAKE) are in the order from the bottom, for example, eight stages.

【0060】このように処理温度の低いクーリングユニット(COL)、イクステンション・クーリングユニット(EXTCOL)を下段に配置し、処理温度の高いベーキングユニット(PREBAKE)、ポストベーキングユニット(POBAKE)およびアドヒージョンユニット(AD)を上段に配置することで、ユニット間の熱的な相互干渉を少なくすることができる。 [0060] low cooling unit of thus treated temperature (COL), the extension and cooling unit (EXTCOL) arranged in the lower part, high baking unit of processing temperature (PREBAKE), postbaking units (POBAKE) and adhesion units (AD) by arranging the upper, it is possible to reduce the thermal interference between units. もちろん、ランダムな多段配置としてもよい。 Of course, it may be a random multi-tiered.

【0061】図1に示すように、インタフェース部12 [0061] As shown in FIG. 1, the interface unit 12
では、奥行方向(X方向)は前記処理ステーション11 In the depth direction (X direction) is the processing station 11
と同じ寸法を有するが、幅方向(Y方向)はより小さなサイズである。 Has the same dimensions as the width direction (Y direction) is smaller size. このインタフェース部12の正面部には、可搬性のピックアップカセットCR´と、定置型のバッファカセットBRとが2段に配置され、他方背面部には周辺露光装置23が配設され、さらに中央部にはウエハ搬送体24が設けられている。 The front portion of the interface portion 12, and the pick-up cassette CR' portable, and stationary buffer cassette BR are arranged in two stages, the peripheral exposure device 23 is disposed on the other rear portion, further the central portion wafer transfer member 24 is provided in the. このウエハ搬送体2 The wafer transfer body 2
4は、X方向、Z方向に移動して両カセットCR、BR 4, X-direction, to move in the Z-direction both cassettes CR, BR
および周辺露光装置23にアクセスする。 And accessing the peripheral exposure device 23.

【0062】ウエハ搬送体24は、θ方向にも回転自在であり、処理ステーション11側の第4の処理ユニット群G 4の多段ユニットに配設されたイクステンションユニット(EXT)や、隣接する露光装置側のウエハ受渡し台(図示せず)にもアクセスできる。 [0062] wafer carrier 24 is rotatable in θ direction, the processing station 11 side of the fourth processing unit group G 4 of the extension units arranged in multiple stages unit (EXT) and the adjacent exposed able to access device side of the wafer delivery table (not shown).

【0063】また塗布現像処理システム1では、既述の如くメインアーム22の背面側にも図1中破線で示した第5の処理ユニット群G 5の多段ユニットを配置できるが、この第5の処理ユニット群G 5の多段ユニットは、 [0063] Also, in the coating and developing treatment system 1, can be arranged multistage unit of the fifth processing unit group G 5 shown by a broken line in FIG. 1 also on the rear side of the main arm 22 as described above, the fifth multistage unit of the processing unit group G 5 is
案内レール25に沿ってY方向へ移動可能である。 It is movable in the Y direction along the guide rail 25. 従って、この第5の処理ユニット群G 5の多段ユニットを図示の如く設けた場合でも、前記案内レール25に沿って移動することにより、空間部が確保されるので、メインアーム22に対して背後からメンテナンス作業が容易に行える。 Therefore, even if this is provided fifth as illustrated multistage unit of the processing unit group G 5 of, by moving along the guide rail 25, the space portion can be secured, behind the main arm 22 maintenance work from can be easily performed.

【0064】次に、本実施形態に係る容器載置ユニット30について説明する。 Next, a description will be given container placement unit 30 according to the present embodiment.

【0065】図4は本実施形態に係る処理装置の一端に位置する容器載置ユニット30をX方向からみた斜視図を一部透視的に示した模式図であり、図5はこの容器載置ユニット30をZY平面に平行な平面で切断したときの垂直断面図であり、図6はこの容器載置ユニット30 [0065] Figure 4 is a schematic view of the container mounting unit 30 located at one end was a perspective view from the X direction to a portion perspectively processing apparatus according to this embodiment, FIG. 5 is the container placed the unit 30 is a vertical sectional view taken a plane parallel to the ZY plane, FIG. 6 is the container mounting unit 30
をY方向側からみた図である。 Which is a view seen from the Y direction.

【0066】この図4に示したように、本実施形態に係る塗布現像処理システム1では、カセット載置部20と補助アーム21との間にキャリアカセットCRを待機させる第3の位置としての待機スペース31が設けられている。 [0066] As shown in FIG. 4, waiting for a third position to wait for a carrier cassette CR during the coating and developing processing system 1 according to this embodiment, a cassette mounting portion 20 and the auxiliary arm 21 space 31 is provided. また、図6に示したようにこの容器載置ユニット30では処理装置の幅方向、即ちX方向にわたって5個のキャリアカセットCRをセットできるようになっている。 Also to be able to set the five carrier cassette CR across the width, i.e. the X-direction of the container placing unit 30 in the processing apparatus as shown in FIG.

【0067】図5に示したように、この容器載置ユニット30では待機スペース31には直方体状のコンテナ3 [0067] As shown in FIG. 5, a rectangular parallelepiped-shaped container 3 is in the waiting space 31 in the container placing unit 30
2が昇降可能に配設されている。 2 is disposed vertically movably. コンテナ32の上下方向は中央の高さに設けられた仕切り板32aにより上下二つの部屋に分かれており、それぞれの部屋にキャリアカセットCRが一つずつ収容でき、コンテナ32内には最大二個のキャリアカセットCRが収容できるようになっている。 Vertical container 32 is divided into upper and lower two chambers by a partition plate 32a provided in the center of the height, each room carrier cassette CR can be one by one housed, up to two of the the container 32 carrier cassette CR is adapted to be accommodated.

【0068】図5に示したように、待機スペース31の図中右隣にはコンテナ昇降機構37が配設されており、 [0068] As shown in FIG. 5, to the right in the figure next to the waiting space 31 is disposed the container lifting mechanism 37,
このコンテナ昇降機構37の昇降モータM(M1)を作動させることによりコンテナ昇降機構37のコンテナ支持部37aが上下してコンテナ32が昇降する。 The container lifting mechanism 37 lifting motor M (M1) container support portion 37a is vertically container 32 Container lifting mechanism 37 by actuating the to lift. また、 Also,
カセット載置部20にはキャリアカセットCRをY方向に直線的に移動させる直線駆動モータL(L1)が取り付けられており、カセット載置部20と前記コンテナ3 The cassette mounting portion 20 and the carrier cassette CR by a linear drive motor L which moves linearly (L1) is attached to the Y direction, the cassette mounting part 20 container 3
2との間でキャリアカセットCRとその下の保持部材4 Holding member 4 and underlying carrier cassette CR between 2
0を出し入れする。 And out of 0.

【0069】なお図4では、X方向手前側の一つのコンテナ32のみ図示したが、図6に示したようにX方向にわたって同様の機構が配設されており、5つのコンテナが互いに平行に昇降するようになっている。 [0069] In FIG. 4, has been shown only one container 32 of the X-direction front side, a similar mechanism for the X-direction as shown in FIG. 6 and are arranged parallel to the lifting each other five containers It has become way.

【0070】次に本実施形態に係る処理装置を用いて処理する場合の手順について説明する。 [0070] Next procedure for processing using the processing apparatus according to the present embodiment will be described.

【0071】図7は本実施形態に係る処理装置の制御系を示した制御系統図である。 [0071] FIG. 7 is a control system diagram showing a control system of the processing apparatus according to this embodiment.

【0072】図7に示すように、本実施形態に係る処理装置では、各処理ユニットu1、u2、…、補助アーム21、及び容器載置ユニット31の各ステッピングモータM(M1〜M5)と直線駆動モータL(L1〜L5) [0072] As shown in FIG. 7, in the processing apparatus according to the present embodiment, each processing unit u1, u2, ..., each of the stepping motor M (M1 to M5) and the straight line of the auxiliary arm 21 and the container placing unit 31, drive motor L (L1~L5)
が制御部100に接続されており、この制御部100で統括的に制御されている。 There are connected to the control unit 100, it is generally controlled by the control unit 100.

【0073】即ち、制御部100は各カセットCR内に収容されているウエハWの数や、現在ウエハWがどの処理ユニットでどのような処理を施されているかを常に把握し、各ウエハWの処理状態との関係を確認しながら各ステッピングモーターM(M1〜M5)を適宜駆動して、載置台上のキャリアカセットCRの位置を移動させる。 [0073] That is, the control unit 100 and the number of wafers W contained in each cassette CR, or are subjected to any processing in which processing unit the current wafer W is always aware of the wafer W while confirming the relation between the processing state by driving each of the stepping motors M (M1 to M5) as appropriate, to move the position of the carrier cassette CR on the mounting table.

【0074】以下、載置台上のキャリアカセットCRの位置を移動させる手順について詳細に説明する。 [0074] Hereinafter, will be explained in detail the procedure for moving the position of the carrier cassette CR on the mounting table. 図8はキャリアカセットCRの位置を移動させる状態を示した図である。 Figure 8 is a diagram showing a state of moving the position of the carrier cassette CR.

【0075】最初に処理装置を起動すると、自動搬送ロボット(AGV)などの外部搬送装置(図示省略)により未処理ウエハWを収容したキャリアカセットCR1が本実施形態の容器載置ユニット30のカセット載置部2 [0075] When starting the first processing unit, a cassette automatic transfer robot (AGV) external transport device carrier cassette CR1 accommodating unprocessed wafers W by (not shown) the container mounting unit 30 of the present embodiment, such as the mounting part 2
0にセットされた保持部材40上に載置される。 0 is placed on the set retention member 40 in.

【0076】このとき待機部31ではコンテナ32が下側の位置にセットされており、コンテナ32の上側の容器収容部Aがカセット載置部20と同じ高さに維持されている。 [0076] At this time has container 32 in the standby unit 31 is set to the lower position, the upper container housing portion A of the container 32 is maintained at the same height as the cassette placing portion 20.

【0077】次に、キャリアカセットCR1はその下の保持部材40と共に直線駆動モータL1によって図中左方向に移動され、コンテナ32の上側の容器収容部A内に収容される。 [0077] Next, carrier cassette CR1 is moved to the left in the drawing by the linear drive motor L1 together with the holding member 40 thereunder are accommodated in the upper container housing portion A of the container 32.

【0078】こうしてコンテナ32の上側の容器収容部A内に収容されたキャリアカセットCR1がカセット載置部20と図5に示した位置(紙面の最も手前側)の補助アーム21との間の位置であるホームアクセス位置に搬送される。 [0078] Thus the position between the auxiliary arm 21 positions the carrier cassette CR1 is shown in part 20 and 5 mounting cassette accommodated in the upper container housing portion A of the container 32 (the nearest side of the paper) it is transported to the home access position is.

【0079】このホームアクセス位置にキャリアカセットCR1がセットされると、補助アーム21がこのキャリアカセットCR1の図中左側の開口部まで移動し、キャリアカセットCR1内に先端のアーム部分21aを出し入れして中に収容された未処理ウエハWを取り出す。 [0079] When the carrier cassette CR1 to the home access position is set, the auxiliary arm 21 is moved to the opening of the left side in the drawing of the carrier cassette CR1, and out the arm portion 21a of the tip in the carrier cassette CR1 take out the unprocessed wafer W, which is housed in.
この取り出された未処理ウエハWを保持したまま補助アーム21が移動してメインアーム22に引き渡す。 Anyway auxiliary arm 21 holding the unprocessed wafer W taken out is moved delivered to the main arm 22. メインアーム22は処理ユニットに未処理ウエハWをセットして必要な処理を施す。 The main arm 22 is subjected to the necessary processing to set the unprocessed wafer W to the processing unit.

【0080】同様にしてキャリアカセットCR1内の未処理ウエハWが補助アーム21によって取り出され、キャリアカセットCR1内が空になると、昇降モータM1 [0080] unprocessed wafers W in the carrier cassette CR1 in the same manner is taken out by the auxiliary arm 21, when the carrier cassette CR1 is emptied, the lifting motor M1
を駆動してコンテナ32を上昇させ、コンテナ32の下側の容器収容部Bをホームアクセス位置まで移動させる。 It drives to raise the container 32 to move the lower side of the container housing portion B of the container 32 to the home access position. この上昇により先に空になったキャリアカセットC Carrier cassette C that was empty earlier by the rise
R1は待機スペース31の上側の位置まで移動する。 R1 is moved to the position of the upper standby space 31.

【0081】次に自動搬送ロボット(AGV)などの外部搬送装置(図示省略)により未処理のウエハWが収容されたもう一つのキャリアカセットCR2がこの容器載置ユニット30のカセット載置部20の保持部材40上に載置される。 [0081] automatic transfer robot (AGV) Another carrier cassette CR2 unprocessed wafers W are housed by the external transport device (not shown), such as next of the cassette mounting portion 20 of the container placing unit 30 It is placed on the holding member 40.

【0082】上記キャリアカセットCR1のときと同様に、直線駆動モータL1が作動してカセット載置部20 [0082] Similar to the case of the carrier cassette CR1, cassette mounting part 20 linearly driving motor L1 is activated
のキャリアカセットCR2がコンテナ32の下側の容器収容部B内に収容されると同時にホームアクセス位置まで移動され、補助アーム21により中の未処理ウエハW When the carrier cassette CR2 is housed on the lower side of the container accommodating part B of the container 32 are simultaneously moved to the home access position, unprocessed wafers W in the auxiliary arm 21
が取り出される。 It is taken out.

【0083】次に、各処理ユニットで処理を施され一連の処理が完了したウエハWをキャリアカセットCR1に収容する場合について説明する。 [0083] Next, the case where the wafer W series of processes are subjected to processing in each processing unit is completed to house the carrier cassette CR1.

【0084】キャリアカセットCR2が空になると、昇降モータM1を駆動してコンテナ32を降下させ、先に空にしたキャリアカセットCR1をホームアクセス位置まで移動させる。 [0084] When the carrier cassette CR2 becomes empty, by driving the lifting motor M1 is lowered to the container 32 to move the carrier cassette CR1 was emptied earlier to home access position.

【0085】処理ユニット群で一連の処理が完了したウエハWは、メインアーム22及び補助アーム21を経て、ホームアクセス位置で待機しているキャリアカセットCR1内に順次搬送され、収容される。 [0085] wafer W series of processing in the processing unit group has been completed, through the main arm 22 and the auxiliary arm 21 are sequentially conveyed into the carrier cassette CR1 waiting at the home access position, it is accommodated.

【0086】キャリアカセットCR1内が処理済みのウエハWで一杯になると、制御部100は直線駆動モータL1を駆動してキャリアカセットCR1をコンテナ32 [0086] When the carrier cassette CR1 is filled with processed the wafer W, the control unit 100 of the carrier cassette CR1 drives the linear drive motor L1 container 32
の上側の容器収容部Aからカセット載置部20まで移動させる。 Moving from the upper container receiving portion A to the cassette mounting portion 20. このカセット載置部20まで運ばれたキャリアカセットCRは自動搬送ロボット(AGV)などの外部搬送装置(図示省略)により受け取られ、カセット載置部20から運び去られる。 The cassette mounting portion 20 carrier cassette CR carried far received by the external transport device such as an automatic transfer robot (AGV) (not shown), carried away from the cassette mounting portion 20.

【0087】そしてキャリアカセットCR1と入れ替わりに、カセット載置部20には更に別の未処理ウエハW [0087] Then the carrier cassette CR1 and turnover, further unprocessed wafers W on the cassette mounting portion 20
を収容したキャリアカセットCR3(図示省略)が載置され、上記と同様にしてコンテナ32の下側の容器収容部Bに搬入される。 Carrier cassette CR3 accommodating (not shown) is placed, it is carried on the lower side of the container housing portion B of the container 32 in the same manner as described above.

【0088】コンテナ32の下側の容器収容部Bに収容されたキャリアカセットCR2に処理済みのウエハWを収容するには、昇降モータM1を駆動してコンテナ32 [0088] To accommodate the processed wafer W in the carrier cassette CR2 housed on the lower side of the container housing portion B of the container 32 drives the lift motor M1 Container 32
を上昇させ、下側の容器収容部Bをホームアクセス位置まで移動させる。 It was elevated to move the lower side of the container housing portion B to the home access position. そして上記キャリアカセットCR1の場合と同様にして、処理ユニット群、メインアーム2 Then the same procedure as that in the carrier cassette CR1, processing unit group, the main arm 2
2、補助アーム21の順に経由して処理済みのウエハW 2, the wafer W via the order processed auxiliary arm 21
がキャリアカセットCR内2に収容される。 There is accommodated in a carrier cassette CR 2. キャリアカセットCR2が処理済みのウエハWで一杯になると、上記キャリアカセットCR1の場合と同様にして、直線駆動モータL1と外部搬送装置とを経てキャリアカセットCR2は更に別の未処理ウエハWを収容したキャリアカセットCRと入れ替えられる。 When the carrier cassette CR2 is filled with processed the wafer W, the same procedure as that in the carrier cassette CR1, carrier cassette CR2 via and the external transport device linear drive motor L1 was further accommodate another unprocessed wafer W It is replaced with a carrier cassette CR.

【0089】以上説明したように、本実施形態に係る処理装置では、補助アーム21と載置台との間に待機スペース31を設け、この待機スペース31に上下方向に複数のキャリアカセットCRを収容するようにしたので、 [0089] As described above, in the processing apparatus according to the present embodiment, the waiting space 31 between the mounting table and the auxiliary arm 21 is provided, containing a plurality of carrier cassettes CR in the vertical direction in the waiting space 31 because the way,
キャリアカセットCRの収容能力が向上した。 Capacity of the carrier cassette CR was improved.

【0090】また、この処理装置では、待機スペース3 [0090] In addition, in the processing apparatus, the waiting space 3
1を処理装置内部に配設したので、外部搬送装置と待機スペース31待機部の駆動機構、例えばコンテナ32 Having arranged one inside the processing apparatus, the external transport device and the standby space 31 waiting section of the drive mechanism, for example, the container 32
や、このコンテナ32を駆動するコンテナ昇降機構とが接触することがなく、このような接触事故を防止することができる。 And, without the container lifting mechanism is in contact for driving the container 32, it is possible to prevent such accidental contact.

【0091】更に、この処理装置では処理装置の幅方向(X方向)にわたって5列の待機スペースを配設し、カセット載置台20にセットできる5つのキャリアカセットCRについて互いに別個独立に移動するようにしたので、キャリアカセットCRの出し入れや、補助アームのアクセスが短時間で行える。 [0091] Further, as the processing device is arranged to wait space five columns across the width direction (X direction) of the processing unit, moves each other independently for five carrier cassette CR that can be loaded in the cassette table 20 since the, it performed out or carrier cassette CR, access of the auxiliary arm in a short time.

【0092】なお、本発明は上記実施形態に限定されない。 [0092] The present invention is not limited to the above embodiment. 例えば、上記実施形態ではコンテナ32は上下二段の容器収容部A,Bを備えているが、上下三段以上の容器収容部を備たコンテナを用いても良い。 For example, the above-described embodiment the container 32 is upper and lower stages of the container housing portion A, is provided with the B, it may be used were Bei the container housing portion above the upper and lower three stages container.

【0093】また、上記実施形態では、外部搬送装置の例として自動搬送ロボットAGVを用いてキャリアカセットCRを搬出入する場合について説明したが、天井側の高い位置からキャリアカセットCRを掴んで搬送するオーバーッド型OHTのような、自動搬送ロボット(A [0093] In the above embodiment, the have been described, for conveying grab carrier cassette CR from high ceiling location if loading and unloading the carrier cassette CR by an automatic transfer robot AGV Examples of the external transport device such as Obaddo type OHT, automatic transfer robot (a
GV)以外の既存の搬送装置を用いることも可能である。 It is also possible to use existing transport device other than GV).

【0094】更に本実施形態では半導体素子を製造する場合のウエハWの処理装置を例にして説明したが、複数の基板を順次外部から搬送して処理する装置であれば適用可能であり、液晶表示装置用ガラス基板の処理装置にも適用できることは言うまでもない。 [0094] While still in the present embodiment has been described in the processor of the wafer W in the case of producing a semiconductor device as an example, is applicable to any apparatus for processing and transporting the plurality of substrates sequentially from the outside, the liquid crystal the present invention can be applied to processing apparatus for a glass substrate for a display device.

【0095】(第2の実施形態)次に、本発明の第2の実施形態について説明する。 [0095] (Second Embodiment) Next, a description will be given of a second embodiment of the present invention. なお、以下第2以降の実施形態のうち上記第1の実施形態や他の実施形態と重複する部分については説明を省略する。 Incidentally, it will not be described hereinafter parts common to those in the first embodiment and other embodiments of the second and subsequent embodiments.

【0096】図9は本発明の第2の実施形態に係る処理装置をカセット載置部120の斜め後方からみた斜視図であり、図10は同処理装置の容器載置ユニット130 [0096] Figure 9 is a perspective view from diagonally behind the second exemplary cassette mounting part 120 a processing apparatus according to the embodiment of the present invention, the container placement unit 130 in FIG. 10 is the processing unit
の垂直断面図である。 Of a vertical section.

【0097】本実施形態に係る処理装置では、第1の位置としてのカセット保持部132と、第2の位置としてのカセット載置部120と、第3の位置としての待機位置135とが配設されている。 [0097] In processing apparatus according to this embodiment includes a cassette holder 132 as a first position, a cassette placing portion 120 as a second position, the standby position 135 as a third position disposed It is.

【0098】図9に示したように、カセット保持部13 [0098] As shown in FIG. 9, the cassette holder 13
2では少なくとも二つのキャリアカセットCRを上下方向に多段に保持しており、例えば、この処理装置では一段に二個ずつ保持され、4段で合計8個のキャリアカセットCRが保持されている。 2, at least two carrier cassette CR holds in multiple stages in the vertical direction, for example, in the processing apparatus is held by two in one step, a total of eight carrier cassette CR is held in four stages. また、本実施形態に係る処理装置では、補助アーム121の上下方向のストロークがカセット保持部132の高さ方向の寸法に対応しており、カセット保持部132に保持された8個全てのキャリアカセットCRについてアクセスする。 Further, the processing apparatus according to this embodiment, the vertical stroke of the auxiliary arm 121 corresponds to the height dimension of the cassette holder 132, all eight carrier cassette held by the cassette holder 132 to access the CR.

【0099】カセット載置部120は上記第1の実施形態と同様に載置台20の上にキャリアカセットCRを載置するようになっており、自動搬送ロボットで水平方向にキャリアカセットCRを移動させる方式(AGV) [0099] cassette mounting part 120 is adapted to place the carrier cassette CR on the table 20 mounting as in the first embodiment, to move the carrier cassette CR in the horizontal direction in an automatic transfer robot system (AGV)
と、天井から懸垂状態でキャリアカセットCRを移動する方式(OHT)の両方に対応できる。 When, can cope with both methods (OHT) for moving the carrier cassette CR from the ceiling by suspension state.

【0100】待機位置135は上記カセット保持部13 [0100] standby position 135 the cassette holder 13
2とカセット載置部120との間に配設されており、カセット保持部132とカセット載置部120との間でキャリアカセットCRを受け渡しする際の動作の流れを緩和する。 It is disposed between the 2 and the cassette mounting part 120, to relieve an operation flow when transferring the carrier cassette CR between the cassette holder 132 and the cassette mounting portion 120.

【0101】図9及び図10に示したように、本実施形態に係る処理装置では、カセット保持部132のX方向に並んで保持された二つのキャリアカセットCRの間にカセット搬送アーム140が配設されている。 [0102] As shown in FIGS. 9 and 10, in the processing apparatus according to this embodiment, the cassette transfer arm 140 between the two carrier cassette CR held side by side in the X direction of the cassette holder 132 is distribution It has been set. このカセット搬送アーム140はカセット保持部132と待機位置135との間でキャリアカセットCRを移動する装置であり、補助アーム12の先端のウエハ保持部分をキャリアカセットCRを保持できるアームに取り替えたような構造を備えている。 The cassette transfer arm 140 is a device for moving the carrier cassette CR between the cassette holding section 132 and a standby position 135, such as a wafer holding portion of the tip of the auxiliary arm 12 was replaced arms to hold the carrier cassette CR It has a structure.

【0102】また、この処理装置ではカセット保持部1 [0102] The cassette holder 1 in the processing device
32のキャリアカセットCR開口部に対応する位置に横開き式の蓋開閉装置150が配設されている。 Lateral opening type cover opening and closing device 150 is disposed at a position corresponding to the carrier cassette CR opening 32. 図11は本実施形態に係る容器載置ユニット130の蓋開閉装置150の開閉部分を拡大した斜視図である。 Figure 11 is an enlarged perspective view of the opening and closing portion of the lid opening and closing device 150 of the container mounting unit 130 according to this embodiment.

【0103】図11(a)に示したように、この蓋開閉装置150は横開き、即ちY方向にスライドしてキャリアカセットCR開口部の蓋R1を開閉するようになっている。 [0103] As shown in FIG. 11 (a), the lid opening and closing device 150 is laterally opened, i.e. slid in the Y direction so as to open and close the lid R1 of the carrier cassette CR opening.

【0104】かくして、蓋R1を開閉すると図11 [0104] Thus, when opening and closing the lid R1 11
(b)に示した矢印で示したような軌跡を描いて蓋R1 With locus as indicated by the arrow shown in (b) a lid R1
は移動する。 Moves.

【0105】ここで、このように横開き式としたのは、 [0105] In this case, the was in this way horizontal open expression,
横開き式にすると、キャリアカセットCRから取り外した蓋R1を格納するスペースを上下で隣接する2つの容器保持部の間に確保する必要がなく、カセット保持部1 When the lateral opening type, it is not necessary to secure between the two container holding portion adjacent the space for storing the lid R1 removed from the carrier cassette CR in the vertical, the cassette holder 1
32の上下方向の容器収容密度を高くできるためである。 32 because that can increase the container packing density in the vertical direction.

【0106】本実施形態に係る処理装置では、まず自動搬送ロボット(AGV)のような外部搬送装置によりカセット載置部120に未処理ウエハWを収容したキャリアカセットCRが載置されると、上記第1の実施形態と同様の直線駆動モータLでY方向に移動し待機位置13 [0106] In apparatus according to the present embodiment, when the carrier cassette CR accommodating unprocessed wafers W on the cassette mounting portion 120 by the external transport device, such as an automatic transfer robot (AGV) first is placed, the first embodiment moves in the Y direction in the same linear drive motor L waiting position 13
5まで運ばれる。 Up to 5 carried. 次いで、カセット搬送アーム140が待機位置135のキャリアカセットCRを保持し、カセット保持部132の空いた容器収容部まで運び、そこにセットする。 Then, the cassette carrier arm 140 holds the carrier cassette CR of the standby position 135, carried to empty container holder of the cassette holding section 132, and sets there. セットされたキャリアカセットCRに補助アーム121がアクセスして中のウエハWを出し入れする。 Auxiliary arm 121 to the set carrier cassette CR is out the wafer W in the access.

【0107】本実施形態に係る処理装置では、カセット搬送アーム140を用いてキャリアカセットCRを一つずつカセット保持部132に運ぶので、カセット搬送アーム140自体は小型なものですむ。 [0107] In processing apparatus according to this embodiment, since by using the cassette carrier arm 140 carries a carrier cassette CR one by one cassette holder 132, the cassette carrier arm 140 itself requires only one compact. また、カセット搬送アーム140の駆動機構が単純なので故障が起きにくい。 Further, the failure does not occur easily in the driving mechanism of the cassette transfer arm 140 is simple.

【0108】また、図10に示したように、カセット保持部132の上側に空気清浄機構FFUを配設することもできる。 [0108] Further, as shown in FIG. 10, it is also possible to dispose the air cleaning mechanism FFU on the upper side of the cassette holder 132. このようにカセット保持部132上側に空気清浄機構FFUを配設することにより、カセット保持部132に保持されたウエハWをキャリアカセットCRごと清浄なエアフローにより清浄に保ったり、或いは温調することも可能である。 By thus arranging the air cleaning mechanism FFU the upper cassette holding section 132, or maintain the wafer W held by the cassette holding portion 132 to clean the carrier cassette CR by clean air flow, or by temperature control also possible it is.

【0109】(第3の実施の形態)次に、本発明の第3 [0109] (Third Embodiment) Next, a third invention
の実施形態について説明する。 It is described embodiment.

【0110】図12は本実施形態に係る容器載置ユニットの垂直断面図である。 [0110] FIG. 12 is a vertical sectional view of a container placing unit according to the present embodiment.

【0111】本実施形態に係る容器載置ユニットでは、 [0111] In the container placement unit according to the present embodiment,
カセット載置部220の底板221の部分が昇降するようになっている。 Portion of the bottom plate 221 of the cassette mounting part 220 is raised and lowered. 即ち、キャリアカセットCRの高さより大きな間隔を隔てて設けられた上下二枚の水平な底板221a及び221bが連接棒230で結合されており、この連接棒230の下半分がエアシリンダーなどの直線的に動作する直線駆動モータLMの駆動部分と接続されて上下動する。 That has a horizontal bottom plate 221a and 221b which are provided at greater distance than the height of the upper and lower sheets of carrier cassette CR is coupled in connecting rod 230 linearly lower half of the connecting rod 230 such as an air cylinder It is connected to the driving part of the linear drive motor LM which operates to move up and down.

【0112】この容器載置ユニットでは、最初に未処理ウエハWを収容したキャリアカセットCRを下の段に載置し、補助アーム321を介して処理ユニット群へ向けて未処理ウエハWを搬入する。 [0112] In the container mounting unit, and placing the first carrier cassette CR accommodating the unprocessed wafer W on the lower stage carries the unprocessed wafer W toward the processing unit group through the auxiliary arm 321 . こうして下段のキャリアカセットCRが空になると、直線駆動モータLMを作動させて下段の底板221bを空のキャリアカセットCR Thus the lower carrier cassette CR is emptied, by actuating the linear drive motor LM the lower bottom plate 221b empty carrier cassette CR
が載置されたまま降下させ、ハウジング320内に収容する。 There is lowered while being placed, accommodated in the housing 320. この降下動作で上段の底板221aがカセット載置部220にセットされる。 Upper bottom plate 221a in this drop operation is set to the portion 220 mounting the cassette. 次いで、この上段の底板2 Then, the upper base plate 2
21aの上に未処理ウエハWを収容したもう一つのキャリアカセットCRを載置する。 21a is placed another carrier cassette CR accommodating the unprocessed wafer W on the.

【0113】本実施形態に係る容器載置ユニットでは、 [0113] In the container placement unit according to the present embodiment,
カセット載置部220の底板221a,221bとこれを結合する連接棒230とこれらを駆動する直線駆動モータLMとを追加しただけの簡単な構造であるため、製造コストも安価にすむ。 For a simple structure of simply adding the bottom plate 221a of the cassette mounting part 220, 221b and a connecting rod 230 for coupling it to a linear drive motor LM for driving the manufacturing cost need inexpensive. また基本的には容器載置ユニットの床面積を増大させることもないので、処理装置全体が占める床面積を大型化することもない。 Since there is no increase the floor space of the container placing unit basically, nor increasing the size of the floor space which the entire processor occupied. その一方でキャリアカセットCRの収容能力が単位面積あたり約2倍になるので、スペース効率が向上する。 Since capacity of the other hand the carrier cassette CR is approximately twice per unit area, the space efficiency is improved.

【0114】(第4の実施の形態)次に、本発明の第4 [0114] (Fourth Embodiment) Next, a fourth aspect of the present invention
の実施形態について説明する。 It is described embodiment.

【0115】図13は本実施形態に係る容器載置ユニットの斜視図であり、図14は同容器載置ユニットの垂直断面図である。 [0115] Figure 13 is a perspective view of a container placing unit according to the present embodiment, FIG. 14 is a vertical sectional view of the container placing unit.

【0116】本実施形態に係る容器載置ユニット330 [0116] container placement unit 330 according to this embodiment
では、カセット載置部331上でYZ平面に平行な鉛直面内で4個のキャリアカセットCRを循環的に移動させながら保持する。 In holds while moving the four carrier cassette CR cyclically in vertical plane parallel to the YZ plane on the cassette mounting portion 331.

【0117】即ち、本実施形態に係る容器載置ユニット330では、図13に示したようにカセット載置部33 [0117] That is, the container placement unit 330 according to this embodiment, mounting the cassette as shown in FIG. 13 part 33
1上の空間にY方向に2個、上下に二段にわたりキャリアカセットCRを保持できるように保持部材340a〜 2 in the space on one in the Y direction, the holding member 340a~ so can hold carrier cassette CR over vertically in two stages
340dが配設されており、これら合計4個の保持部材340a〜340dは無端帯状部材、例えばベルトやチェーン等に係合している。 340d is disposed, these total of four retaining members 340a~340d is engaged with the endless belt-shaped member, for example a belt or chain or the like.

【0118】この無端帯状部材(以下、この「無端帯状部材」を「無端ベルト」と略す。)Vは前記鉛直面上に正方形の四隅の位置に取り付けられたプーリp1〜p4 [0118] The endless belt-shaped member (hereinafter, abbreviated to the "endless belt-shaped member" a "endless belt".) Pulley V is attached to the position of the four corners of a square on facing said lead p1~p4
に掛け回されており、更にこのプーリp1には駆動機構と駆動モータ(図示省略)により駆動力が与えられる。 It is wound around the driving force is provided by a motor driving a drive mechanism (not shown) for further pulley p1.
この駆動モータは制御部により制御されており、制御部が認識した補助アーム321やメインアーム、或いは処理ユニットと同期して作動し、図14に示した4つの位置の間で順次移動する。 The drive motor is controlled by the control unit, the auxiliary arm 321 and the main arm controller recognizes, or synchronously with the processing unit operates sequentially moves between the four positions shown in FIG. 14.

【0119】この容器載置ユニット330では、図14 [0119] In the container mounting unit 330, FIG. 14
に示した4つの位置のうち、ホームアクセス位置(第1 Of the four positions shown in the home access position (first
の位置)として図14中左下の位置を使用し、外部搬送装置との間でキャリアカセットCRの授受を行う第2の位置として、図中右下の位置、或いは図中右上の位置を使用する。 Position) as using the position of the lower left in FIG. 14, for use as a second position for exchanging carrier cassette CR with the external transport device, the position of the lower right in the figure, or in the figure the position of the upper right . そして図14の4つの位置のうち、ホームアクセス位置(第1の位置)と第2の位置とを除いた2つの位置を待機部(第3の位置)として用いる。 And among the four positions in FIG. 14, using a home access position (first position) and two positions excluding the second position as a standby unit (third position).

【0120】本実施形態に係る容器載置ユニット330 [0120] container placement unit 330 according to this embodiment
では、カセット載置部331上でYZ平面に平行な鉛直面内に保持した4つの保持部材を上記無端ベルトVで循環的に移動する構造を採用しているので、Y方向のスペース効率が向上する。 In Since the four holding member holding the parallel vertical plane to the YZ plane on the cassette mounting part 331 employs a structure which moves cyclically in the endless belt V, improves space efficiency in the Y direction to.

【0121】また、本実施形態に係る容器載置ユニット330では、図13に示したような機構をX方向に複数配設することができる。 [0121] Further, the container placement unit 330 according to the present embodiment, it is possible to more arranged a mechanism as shown in FIG. 13 in the X direction. 例えば、X方向に4台並列的にこの機構を配設した場合、最大で16個のキャリアカセットCRを収容することができ、キャリアカセットCR For example, when arranging the four parallel this mechanism in the X direction, it can accommodate 16 carrier cassette CR at maximum, carrier cassette CR
の収容能力を大幅に向上させることができる。 The capacity can be greatly improved.

【0122】更に、X方向に並列的に上記機構を配設した場合、それぞれの機構は別個独立に4つの保持部材3 [0122] Furthermore, when arranged in parallel above mechanism in the X direction, of the respective mechanisms are four separately and independently holding member 3
40a〜340dの位置を移動させることができるので、補助アーム321に必要なキャリアカセットCRをアクセスさせるまでの時間を短縮することができる。 It is possible to move the position of 40A~340d, it is possible to reduce the time to be accessed carrier cassette CR required auxiliary arm 321.

【0123】(第5の実施の形態)次に、本発明の第5 [0123] Next (Fifth Embodiment) A fifth invention
の実施形態について説明する。 It is described embodiment.

【0124】図15は本実施形態に係る容器載置ユニット430の斜視図である。 [0124] Figure 15 is a perspective view of a container placement unit 430 according to this embodiment.

【0125】本実施形態に係る容器載置ユニット430 [0125] container placement unit 430 according to this embodiment
では、複数のキャリアカセットCRを水平なカセット載置部420上に設けた長円形の軌道上に載置する。 In, placed in an oval orbit in which a plurality of carrier cassettes CR on the horizontal cassette placing portion 420.

【0126】即ち、本実施形態に係る容器載置ユニット430では、上記ホームアクセス位置にセットされたキャリアカセットCRの底部と同じ高さに水平板状の天板422を備えており、この天板422上に長円形状に移動する無端軌道423が配設されている。 [0126] That is, the container placement unit 430 according to the present embodiment includes a horizontal plate-like top plate 422 at the same height as the bottom of the carrier cassette CR set in the home access position, the top plate endless track 423 to move in an oval shape is disposed on the 422. この無端軌道423は容器載置ユニット430内部に設けられた駆動機構とこの駆動機構を駆動する駆動モータ(図示省略) Drive motor the endless track 423 of a driving mechanism provided inside the container mounting unit 430 for driving the drive mechanism (not shown)
とで駆動され、X方向を長軸とする長円形を描きながら上記水平面内を循環的に移動する。 And it is driven by, the inside of the horizontal plane to move cyclically while drawing an oval to the X-direction length axis.

【0127】本実施形態に係る容器載置ユニット430 [0127] container placement unit 430 according to this embodiment
によれば、複数のキャリアカセットをホークアクセス位置と同じ高さに維持しながら循環的に移動させるので、 According to, the cyclically moving while maintaining a plurality of carrier cassettes at the same height as the Hawk access position,
補助アーム421との間で上下方向の位置合わせをする時間が短時間ですむ。 Time to align the vertical direction between the auxiliary arm 421 is less time.

【0128】また、無端軌道一機に対して駆動モータ及び駆動機構が一つずつですむので製造コストを安価に抑えることができる。 [0128] Further, the manufacturing cost can be suppressed at low cost since the drive motor and drive mechanism with respect to the endless track One machine requires only one by one.

【0129】更に、複数のキャリアカセットCRの底部以外は無端軌道423に拘束されない解放された状態であるので、水平方向にアクセスする自動搬送ロボット(AGV)と上下方向からアクセスする外部搬送装置の両方に対応できる。 [0129] Further, both because other than the bottom of the plurality of carrier cassettes CR are in a state of being released without being bound by the endless track 423, the external transport device to access an automatic transfer robot to access the horizontal direction (AGV) in the vertical direction It can respond to.

【0130】(第6の実施の形態)次に、本発明の第6 [0130] Next (Sixth Embodiment) The sixth of the present invention
の実施形態について説明する。 It is described embodiment.

【0131】図16は本実施形態に係る容器載置ユニット530の斜視図である。 [0131] FIG. 16 is a perspective view of a container placement unit 530 according to this embodiment.

【0132】本実施形態に係る容器載置ユニット530 [0132] container placement unit 530 according to this embodiment
では、複数のキャリアカセットCRを容器載置ユニット530内で鉛直面内に設けた長円形の無端軌道上に保持し移動させる。 So to retain a plurality of carrier cassettes CR on endless track oval provided in a vertical plane in the container placement unit 530 move.

【0133】即ち、本実施形態に係る容器載置ユニット530では、上記ホームアクセス位置に保持されたキャリアカセットCRの保持部材540aの位置を通る鉛直平面上に複数の保持部材540b,540c,…が等間隔で保持されており、これらの保持部材540b,54 [0133] That is, the container placement unit 530 according to the present embodiment, the home access position of the carrier cassette CR held by the holding member a plurality of holding members on a vertical plane passing through the position of 540a 540b, 540c, ... is equidistantly it is held by these holding members 540b, 54
0c,…は上記鉛直平面上に設けた長円形の軌道550 0c, ... the oval track 550 provided on the vertical plane
上を移動可能に保持されている。 It is movably held on. そしてこれらの保持部材540b,540c,…には、駆動機構と駆動モータ(図示省略)とが係合して前記軌道上を循環的に移動させる。 And these retaining members 540b, 540c, ..., the drive mechanism and a drive motor (not shown) and is engaged with moving the orbit cyclically.

【0134】本実施形態に係る容器載置ユニット530 [0134] container placement unit 530 according to this embodiment
によれば、複数のキャリアカセットをホークアクセス位置と同じY方向の位置に維持しながら鉛直面内を循環的に移動させるので、容器載置ユニット530の床面積を増大することなくキャリアカセットCRの収容能力を増大させることができ、スペース効率が向上する。 According to, so to move the vertical plane cyclically while maintaining a plurality of carrier cassettes in position in the same Y direction as the fork access position, the carrier cassette CR without increasing the floor space of the container placing unit 530 it is possible to increase the capacity, space efficiency is improved.

【0135】(第7の実施の形態)次に、本発明の第7 [0135] Next (seventh embodiment), the seventh of the present invention
の実施形態について説明する。 It is described embodiment.

【0136】図17は本実施形態に係る容器収容装置(ストッカ)600をX方向からみたときの斜視図であり、図18は同容器収容装置600をY方向からみたときの斜視図である。 [0136] Figure 17 is a perspective view of the container receiving apparatus (stocker) 600 according to this embodiment viewed from the X direction, and FIG. 18 is a perspective view when the same container accommodating device 600 viewed from the Y direction.

【0137】本実施形態に係る容器収容装置600では、図17に示したように、処理装置とは別個独立の装置となっており、処理装置の載置台20の横に隣接配置する構造になっている。 [0137] In the container receptacle apparatus 600 according to the present embodiment, as shown in FIG. 17, has a separate and independent unit from the processing unit, a structure adjacent arranged beside the mounting table 20 of the processing device ing.

【0138】この容器収容装置(以下この「容器収容装置」を「ストッカ」という。)600では、全体が略直方体型のハウジング601から構成されており、長手方向の寸法は処理装置の幅、即ちX方向の寸法にほぼ等しい。 [0138] In the container accommodating unit (hereinafter this "container accommodating device" as "stocker".) 600, the whole is constituted of a substantially rectangular parallelepiped housing 601, the width of the longitudinal dimension processing apparatus, namely substantially equal to the X dimension. このハウジング601の頂部には天板開口部603 Top plate aperture 603 at the top of the housing 601
が設けられており、上側からアクセスする「オーバーヘッド型搬送装置(OHT)」と呼ばれる外部搬送装置に対応する。 It is provided, corresponding to the external transport device, called "overhead conveying device (OHT)" accessed from the upper side.

【0139】ハウジング601の正面、即ち処理装置の載置台20に対向させる面601aの中央付近には正面開口部605が設けられており、この正面開口部605 [0139] front of the housing 601, that is, near the center of the surface 601a to be opposed to the mounting table 20 of the processing apparatus is provided with a front opening portion 605, the front opening portion 605
を介して水平方向からアクセスする「自動搬送ロボット(AGV)」と呼ばれる外部搬送装置や処理装置の載置台20との間でキャリアカセットCRの受け渡しをする。 The transfer of the carrier cassette CR between the mounting table 20 of the external transport device and the processing device called "automatic transfer robot (AGV)" to access the horizontal direction via the.

【0140】図18は本実施形態に係るストッカ600 [0140] Figure 18 is according to the present embodiment stocker 600
の内部構造を模式的に図示した透視図である。 The internal structure of a perspective view illustrating schematically.

【0141】図18に示したように、このストッカ60 [0141] As shown in FIG. 18, the stocker 60
0では上下方向にキャリアカセットCRを保持する構造になっており、これら複数のキャリアカセットCRは図示したように鉛直面内を順次循環的に移動する。 0 In the vertical direction has a structure that holds the carrier cassette CR, the plurality of carrier cassette CR moves the vertical plane sequentially cyclically as shown. この移動させる機構にについては、チェーンや無端ベルト等を利用した駆動機構とこれを駆動する駆動モータ(いずれも図示省略)を利用した既知の機構を利用することができる。 For the mechanism for this movement, (both not shown) drive motor for driving the driving mechanism using a chain or an endless belt or the like can be utilized known mechanism using.

【0142】この駆動機構により図示したように上記複数のキャリアカセットCRは鉛直面内を循環的に移動し、上部の天板開口部603と下部の正面開口部605 [0142] The driving mechanism of the plurality of carrier cassettes as shown by CR moves the vertical plane cyclically, the upper portion of the top plate opening 603 and a lower front opening 605
との間を移動する。 To move between the.

【0143】キャリアカセットCRの受け渡しは上記駆動機構の左右両側に一機ずつ配設された二機のカセット搬送アーム610,620により行われる。 [0143] Passing carrier cassette CR is done by the cassette carrying arms 610, 620 of the two planes which are disposed one by one aircraft to the left and right sides of the drive mechanism.

【0144】このカセット搬送アーム610,620は基本的には処理装置のメインアーム22によく似た構造を備えており、Z方向に昇降可能かつZ軸の回りに回転可能な構造となっている。 [0144] The cassette carrying arm 610, 620 has a basically has a similar structure to the main arm 22 of the processing unit, rotatable about a vertically movable and Z-axis in the Z-direction structure .

【0145】またカセット搬送アーム610,620の先端のアーム部分610a,620aは伸縮自在にできており、回転軸(Z軸)を中心とした半径方向に伸縮できるようになっている。 [0145] The distal arm portion of the cassette carrying arm 610, 620 610a, 620a are made telescopically, so that the possible expansion in the radial direction around the rotation axis (Z-axis).

【0146】このストッカ600では、外部搬送装置との間でキャリアカセットCRの搬出入を行うには、ストッカ600内を循環移動する保持部材640に対して直接外部搬送装置がキャリアカセットCRを出し入れする。 [0146] In the stocker 600, to perform loading and unloading of the carrier cassette CR with the external transport device, the external transport device and out of the carrier cassette CR directly to the holding member 640 moves cyclically the stocker 600 .

【0147】例えば、自動搬送ロボット(AGV)との間で出し入れする場合には、ロボットのアームによりキャリアカセットCRを正面開口部605まで移動させ、 [0147] For example, in the case of out between the automatic transfer robot (AGV) moves the carrier cassette CR to the front opening portion 605 by the arm of the robot,
この正面開口部605に待機している保持部材640上にキャリアカセットCRを載置したり、この保持部材上からキャリアカセットCRを受け取ったりする。 Or placing the carrier cassette CR on the holding member 640 waiting in the front opening 605, and receive the carrier cassette CR from the holding member.

【0148】また、オーバーヘッド型搬送装置(OH [0148] In addition, overhead transfer device (OH
T)との間で出し入れする場合には、この搬送装置(O When out between T), the transport device (O
HT)のアームによりキャリアカセットCRを天板開口部603まで移動させ、この天板開口部603に待機している保持部材640上にキャリアカセットCRを載置したり、この保持部材上からキャリアカセットCRを受け取ったりする。 The arms of the HT) moves the carrier cassette CR to the top plate aperture 603, or by placing the carrier cassette CR on the holding member 640 waiting in the top plate opening 603, carrier cassette from the holding member on or received a CR.

【0149】このようにして、外部搬送装置から受け取ったキャリアカセットCRは前記駆動機構の保持部材6 [0149] In this way, the holding member of the carrier cassette CR is the drive mechanism received from external transport device 6
40に保持した状態で収容、保管する。 Housed in a state of being maintained at 40 and stored.

【0150】一方、このように収容、保管したキャリアカセットCRを処理装置との間で搬出入する場合には、 [0150] On the other hand, if such accommodate, loading and unloading to and from the processor storage the carrier cassette CR is
上記カセット搬送アーム610,620を用いる。 Using the cassette carrying arm 610, 620.

【0151】即ち、保持部材640上に保持されたキャリアカセットCRに対してこのカセット搬送アーム61 [0151] That is, the cassette carrying arm 61 relative to the carrier cassette CR held on the holding member 640
0,620がアクセスし、保持部材640上から所望のキャリアカセットCRを取り外し、アーム610a,6 0,620 accesses, remove the desired carrier cassette CR from on the holding member 640, the arm 610a, 6
20aに載せ換える。 Replace placed on 20a. 次いでカセット搬送アーム61 Then the cassette carrying arm 61
0,620自身が作動してアーム610a,620aで保持したキャリアカセットCRを処理装置の載置台20 0,620 itself is actuated arm 610a, the mounting table of the processing device carrier cassette CR held at 620a 20
の部分まで運び、載置台20にセットする。 It carried to the part, to set the stage 20.

【0152】載置台20からキャリアカセットCRを受け取る場合には上記と逆の順序で動作して載置台20上のキャリアカセットCRをストッカ600の保持部材上に載置させる。 [0152] If from the stage 20 receives a carrier cassette CR causes placed on the holding member of the stocker 600 the carrier cassette CR on table 20 mounting operating in the reverse order.

【0153】このストッカ600では、処理装置に対して隣接配置して使う構造となっているので、いわゆる後付けにより処理装置にオプショナルとして追加装備することができる。 [0153] In the stocker 600, since a structure that is used disposed adjacent to the processing apparatus can be retrofitted as an optional processing device by a so-called retrofit. そのため、処理装置自体にはなんの改変の必要もないので、従来の装置がそのまま使用できるという利点がある。 Therefore, since the processing apparatus itself is not necessary for what modifications, conventional apparatus is advantageous in that it can be used.

【0154】 [0154]

【発明の効果】以上詳述したように、請求項1記載の本発明によれば、基板容器内から被処理基板を出し入れする第1の位置と、外部搬送装置との間で前記基板容器の搬出入を行う前記第2の位置とを別々に設けたので、容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する。 As described above in detail, according to the present invention of claim 1, wherein a first position for loading and unloading a substrate to be processed from the substrate container, the substrate container between the external transport device is provided with the said second position for loading and unloading separately allowance container mounting unit can store the container increases.

【0155】その結果この容器載置ユニットを備えた処理装置では装置全体としてのデッドスペースがなくなり、スペース効率即ち、装置設置に必要な床面積に対する有効活用した床面積の割合が向上する。 [0155] As a result this processing apparatus having a container mounting unit eliminates the dead space of the entire apparatus, space efficiency that is, to improve the ratio of floor area which is effectively used for the floor area required for device installation.

【0156】請求項2記載の本発明によれば、請求項1 [0156] According to the present invention described in claim 2, claim 1
に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を待機させる第3 Third to stand in the container placing unit as claimed, the substrate container between said second position and said first position to
の位置を更に少なくとも一つ具備しているので、容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する。 Since the position further has at least one provided, allowance container mounting unit can store the container increases.

【0157】請求項3記載の本発明によれば、請求項2 [0157] According to the present invention described in claim 3, claim 2
に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第1の位置、 A container placing unit according to the first position,
第2の位置、及び第3の位置が前記被処理基板の出し入れ方向に平行な鉛直平面内に配設したので、前記被処理基板の出し入れ方向のスペース効率が向上する。 Second position, and since the third position is disposed in a vertical plane parallel to the loading and unloading direction of the substrate to be processed, and out direction of the space efficiency of the target substrate is improved. 特に基板容器を処理装置の幅方向に複数個載置する場合には幅方向の寸法を最大限活用できるのでスペース効率上有利となる。 Particularly from the space efficiency advantageously take full advantage of the size in the width direction in the case of multiple places in the width direction of the processing apparatus the substrate container.

【0158】更にその場合、幅方向の複数個の基板容器はそれぞれ別個独立に移動や搬出入できるので、補助アームや外部搬送装置との間でアクセス時間が短縮できる。 [0158] can be further this case, since each plurality of substrate container in the width direction can enter movement and unloaded separately and independently, reducing the access time between the auxiliary arm and the external transport device.

【0159】請求項4記載の本発明によれば、請求項3 [0159] According to the present invention described in claim 4, claim 3
に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第3の位置を前記第1の位置及び/又は前記第2の位置の上側に配設したので、上下方向のスペースを有効活用でき、スペース効率が向上する。 A container placing unit as claimed in, since the third position is disposed on the upper side of the first position and / or the second position, the space in the vertical direction can be effectively utilized, and improves space efficiency .

【0160】その結果、容器載置ユニットの奥行き寸法、即ち前記被処理基板の出入方向を小さくすることができる。 [0160] As a result, it is possible to reduce the depth dimension of the container mounting unit, namely a and out direction of the substrate to be processed.

【0161】請求項5記載の本発明によれば、請求項2 [0161] According to the present invention of claim 5, claim 2
〜4のいずれかに記載の容器載置ユニットにおいて、前記移動する手段として、前記保持部材、無端帯状部材モータ及び制御部とからなる装置を用いているので、構造が簡単で故障が少なく廉価な容器載置ユニットを提供できる。 A container placing unit as claimed in any one to 4 of, as a means for the movement, the holding member, because of the use of apparatus consisting of an endless belt-like member motor and control unit, is less inexpensive fault simple structure it is possible to provide a container mounted unit. 更に、前記第1〜第3の位置を循環移動するので、迅速に容器の移動が可能となる。 Further, since the to first to move circulating a third position, it is possible to quickly move the container.

【0162】請求項6記載の本発明によれば、請求項2 [0162] According to the present invention described in claim 6, claim 2
に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第3の位置を前記第1の位置の真上及び/又は真下の位置に配設し、 Disposed in the container mounting unit, wherein the third position to a position directly over and / or beneath the first position, the
容器載置ユニット内の使用していないスペースに基板容器を待機させるようにしたので、容器載置ユニットの外形寸法を殆ど大型化することなく基板容器の収容能力が増大した。 Since the substrate container in the space that is not used in the container placed units so as to stand, capacity of the substrate container without substantially enlarging the external dimensions of the container placing unit is increased. また、待機中の基板容器を移動させる機構が容器載置ユニットに内蔵されているので、危険性が少ない。 Moreover, mechanisms for moving the substrate container waiting because it is built in the container mounting unit, is less dangerous.

【0163】請求項7記載の本発明によれば、請求項2 [0163] According to the present invention of claim 7, claim 2
に記載の容器載置ユニットにおいて、複数個の基板容器を上下の位置に載置し、基板容器を移動させる代わりに、基板容器内の被処理基板を出し入れする手段を用いて被処理基板の出し入れを行うようにしているので、運転時の音が静かで、構造も簡単にすみ、故障も少ない。 A container placing unit as claimed in, placing the plurality of substrate containers above and below the position, instead of moving the substrate container, out of the substrate by using the means for loading and unloading a substrate to be processed in the substrate container because it is to perform, for quieter operation at the time of operation, the structure is also simple Nisumi, failure is also small.
請求項8記載の本発明によれば、請求項1に記載の容器載置ユニットにおいて、前記第1の位置の他に、この第1の位置の上側又は下側に第2の位置を配設し、上下に配設した二つの位置の間を基板容器を移動させることにより基板の収容能力を増大させている。 According to the present invention of claim 8, arranged in the container mounting unit according to claim 1, in addition to the first position, the second position on the upper or lower side of the first position and it has increased the capacity of the substrate by moving the substrate container between two positions disposed vertically. このように単純な構造でコンパクトな機構を採用しているので、故障が少なく、比較的安いコストで容器収容能力を増大させることができる。 Since the adopts a compact mechanism with a simple structure, less failures can increase the container capacity at relatively low cost.

【0164】請求項9記載の本発明によれば、一つの面上に形成された無端軌道に沿って基板容器を待機させるので、被処理基板の高さが一つの基板容器の高さの中に治まり、その結果補助アームが被処理基板を出し入れする時間を短縮できる。 [0164] According to the present invention of claim 9, since the waiting substrate container along the endless track formed on one surface, in the height of the substrate is the height of one of the substrate container in subsided, it is possible to shorten the time as a result the auxiliary arm and out the substrate to be processed. また、基板容器を移動させる機構の保守管理が行いやすい。 In addition, maintenance is easy to make the mechanism for moving the substrate container.

【0165】請求項10記載の本発明によれば、請求項9に記載の容器載置ユニットにおいて、水平面内又は前記基板容器から被処理基板を出し入れする方向を法線とする平面上に形成された無端軌道に沿って基板容器を待機させるので、容器載置ユニットの占める床面積を小さくすることができ、スペース効率が向上する。 [0165] According to the present invention of claim 10, wherein in the container mounting unit according to claim 9, formed on a plane the direction of loading and unloading a substrate to be processed from the horizontal plane or the substrate container and the normal and since the waiting substrate container along the endless track, it is possible to reduce the floor space occupied by the container placing unit, space efficiency is improved.

【0166】請求項11記載の本発明によれば、処理装置の容器載置台端面と対向配置される前記第1搬出入部と前記第2搬出入部とを備えているので、従来の処理装置に対して隣接配置することができ、それだけで簡単に容器収容能力を増大させることができる。 [0166] According to the present invention described in claim 11, since the first unloading join the club is the container placing table facet and opposing arrangement of processing devices and and a second unloading join the club, to conventional processing apparatus Te can be adjacently arranged, it can increase it only briefly vessel capacity.

【0167】請求項12記載の本発明によれば、請求項11記載の容器収納装置において、前記第1搬出入部と前記第2搬出入部との間で基板容器を待機させる待機部を更に具備しているので、容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する。 [0167] According to the present invention of claim 12, wherein, in the container storage device according to claim 11, further comprising a standby unit to wait a substrate container between said second unloading join the club and the first unloading join the club since it is, the allowable amount of container mounting unit can store the container increases. 請求項13記載の本発明によれば、請求項12に記載の容器収納装置において、前記待機部として、基板出し入れ方向を法線とする鉛直平面内に基板容器を保持する保持機構を採用しているので、多数の基板容器を効率よく収容でき、スペース効率が向上する。 According to the present invention of claim 13, wherein, in the container storage device according to claim 12, as the standby unit, employs a holding mechanism for holding the substrate container in a vertical plane to the substrate loading and unloading direction and the normal because there, a number of substrate containers can be efficiently accommodated, space efficiency is improved.

【0168】請求項14記載の本発明によれば、請求項13に記載の容器収納装置において、前記保持機構として、前記鉛直平面内に形成された無端軌道と、基板容器を着脱可能に保持し、前記無端軌道に対して移動可能な保持部材と、この保持手段を移動させる移動手段と、前記移動手段を制御する手段とからなる機構を採用しているので、多数の基板容器を効率よく収容でき、スペース効率が向上する。 [0168] According to the present invention of claim 14, wherein, in the container storage device according to claim 13, as the holding mechanism, the the endless track formed in a vertical plane, holding the substrate container removably the a movable holding member relative to endless track, a moving means for moving the holding means, because it uses a mechanism and means for controlling said moving means, accommodated efficiently a large number of substrate containers can, space efficiency is improved.

【0169】請求項15記載の本発明によれば、基板容器内から被処理基板を出し入れする第1の位置と、外部搬送装置との間で前記基板容器の搬出入を行う前記第2 [0169] Claim according to 15 the invention as claimed, a first position for loading and unloading a substrate to be processed from the substrate container, the second to and from an external transport device performs loading and unloading of the substrate container
の位置とを別々に設けたので、容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する。 Since there is provided a position separately allowance container mounting unit can store the container increases. その結果この容器載置ユニットを備えた処理装置では装置全体としてのデッドスペースがなくなり、スペース効率即ち、装置設置に必要な床面積に対する有効活用した床面積の割合が向上する。 As a result the processing apparatus having a container mounting unit eliminates the dead space of the entire apparatus, space efficiency that is, to improve the ratio of floor area which is effectively used for the floor area required for device installation.

【0170】請求項16記載の本発明によれば、請求項15に記載の処理装置において、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を待機させる少なくとも一つの第3の位置を更に具備しているので、容器載置ユニットが容器を保管できる許容量が増大する。 [0170] According to the present invention according to claim 16, claim 15 in the processing apparatus according to at least one of the third to wait the substrate container between said first position and the second position since the position further are provided, allowance container mounting unit can store the container increases.

【0171】請求項17記載の本発明によれば、請求項15に記載の処理装置において、前記第1〜第3の位置が、前記被処理基板の出し入れ方向に平行な鉛直平面内に配設されているので処理装置の幅方向のスペース効率が向上する。 [0171] According to the present invention according to claim 17, arranged in the processing apparatus according to claim 15, wherein the first to third positions, to the object to be processed in parallel vertical plane and out direction of the substrate space efficiency in the width direction of the processing apparatus is improved because it is.

【0172】請求項18記載の本発明によれば、請求項17に記載の処理装置において、前記第1〜第3の各位置が、被処理基板出し入れ方向と直交する水平方向にわたって複数の平行な列を形成しているので、処理装置の幅方向にわたり複数の容器載置ユニットが搭載された状態となり、基板容器の収容能力が向上する。 [0172] According to the present invention of claim 18, wherein, in the processing apparatus according to claim 17, wherein the first to third positions of, parallel multiple over horizontal direction perpendicular to the substrate to be processed out direction since forming a column, a state where a plurality of containers placed units across the width direction of the processing apparatus is mounted, it is improved capacity of the substrate container.

【0173】可能な保持部材と、この保持手段を移動させる移動手段と、前記移動手段を制御する手段とからなる機構を採用しているので、多数の基板容器を効率よく収容でき、スペース効率が向上する。 [0173] and retention members, and moving means for moving the holding means, because it uses a mechanism and means for controlling said moving means, can efficiently accommodated a large number of substrate container, the space efficiency improves.

【0174】請求項13記載の本発明によれば、前記第1及び第2の位置の他に、前記基板容器を待機させる第3の位置を少なくとも一つ備えているので、容器載置ユニット部分に容器を保管する許容量が増大する。 [0174] According to the present invention of claim 13, in addition to the first and second position, since the provided at least one third position to wait for the substrate container, the container placing unit portion allowable amount increases store container. その結果装置全体としてのデッドスペースがなくなり、スペース効率が向上する。 As a result the entire device as a dead space is eliminated, the space efficiency is improved.

【0175】請求項14記載の本発明によれば、請求項13に記載の処理装置において、前記第1〜第3の位置が、前記被処理基板の出し入れ方向に平行な鉛直平面内に配設されているので処理装置の幅方向のスペース効率が向上する。 [0175] According to the present invention of claim 14, arranged in the processing apparatus according to claim 13, wherein the first to third positions, to the object to be processed in parallel vertical plane and out direction of the substrate space efficiency in the width direction of the processing apparatus is improved because it is.

【0176】請求項15記載の本発明によれば、請求項14に記載の処理装置において、前記第1〜第3の各位置が、被処理基板出し入れ方向と直交する水平方向にわたって複数の平行な列を形成しているので、処理装置の幅方向にわたり複数の容器載置ユニットが搭載された状態となり、基板容器の収容能力が向上する。 [0176] According to the present invention of claim 15, wherein, in the processing apparatus according to claim 14, wherein the first to third positions of, parallel multiple over horizontal direction perpendicular to the substrate to be processed out direction since forming a column, a state where a plurality of containers placed units across the width direction of the processing apparatus is mounted, it is improved capacity of the substrate container.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の実施形態に係る容器載置ユニットを備えた塗布現像処理システムの平面図である。 1 is a plan view of the coating and developing system comprising a container placing unit according to the embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施形態に係る容器載置ユニットを備えた塗布現像処理システムの正面図である。 2 is a front view of the coating and developing system comprising a container placing unit according to the embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施形態に係る容器載置ユニットを備えた塗布現像処理システムの背面図である。 3 is a rear view of the coating and developing system comprising a container placing unit according to the embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施形態に係る容器載置ユニットの斜視図である。 4 is a perspective view of a container placement unit according to an embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施形態に係る容器載置ユニットの垂直断面図である。 5 is a vertical sectional view of a container placement unit according to an embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施形態に係る容器載置ユニットの側面図である。 6 is a side view of a container placement unit according to an embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施形態に係る処理装置の制御系統図である。 7 is a control system diagram of a processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図8】本発明の実施形態に係る容器載置ユニットの垂直断面図である。 8 is a vertical sectional view of a container placement unit according to an embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第2の実施形態に係る容器載置ユニットの斜視図である。 9 is a perspective view of a container placement unit according to a second embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第2の実施形態に係る容器載置ユニットの垂直断面図である。 10 is a vertical sectional view of a container placement unit according to a second embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第2の実施形態に係る容器載置ユニットの部分拡大図である。 11 is a partial enlarged view of a container placement unit according to a second embodiment of the present invention.

【図12】本発明の第3の実施形態に係る容器載置ユニットの垂直断面図である。 12 is a vertical sectional view of a container placement unit according to a third embodiment of the present invention.

【図13】本発明の第4の実施形態に係る容器載置ユニットの斜視図である。 13 is a perspective view of a container placement unit according to a fourth embodiment of the present invention.

【図14】本発明の第4の実施形態に係る容器載置ユニットの垂直断面図である。 14 is a vertical sectional view of a container placement unit according to a fourth embodiment of the present invention.

【図15】本発明の第5の実施形態に係る容器載置ユニットの斜視図である。 15 is a perspective view of a container placement unit according to a fifth embodiment of the present invention.

【図16】本発明の第6の実施形態に係る容器載置ユニットの斜視図である。 16 is a perspective view of a container placement unit according to a sixth embodiment of the present invention.

【図17】本発明の第7の実施形態に係る容器収納装置の斜視図である。 17 is a perspective view of a container storage device according to a seventh embodiment of the present invention.

【図18】本発明の第7の実施形態に係る容器収納装置の透視図である。 18 is a perspective view of a container receiving unit according to a seventh embodiment of the present invention.

【図19】従来の処理装置の平面図である。 19 is a plan view of a conventional processing apparatus.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

W ウエハ CR キャリアカセット 32 コンテナ 37 コンテナ昇降機構 M 昇降モータ L 直線駆動モータ 100 制御部 30 容器載置ユニット V ベルト 423 無端軌道 W wafer CR carrier cassette 32 Container 37 Container lifting mechanism M elevating motor L linear drive motor 100 controller 30 container placement unit V belt 423 endless track

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 和彦 熊本県菊池郡菊陽町津久礼2655番地 東京 エレクトロン九州株式会社熊本事業所内 Fターム(参考) 3E096 AA06 BA16 CA02 CB03 DA05 5F031 CA02 DA08 DA17 EA12 FA01 FA03 FA09 FA11 FA12 FA14 GA47 GA48 GA49 MA07 MA26 NA02 NA10 ────────────────────────────────────────────────── ─── front page of the continuation (72) inventor Ito, Kazuhiko Kumamoto Prefecture Kikuchi-gun, Kikuyo-machi make 2655 address Tokyo Electron Kyushu Co., Ltd. Kumamoto workplace F-term (reference) 3E096 AA06 BA16 CA02 CB03 DA05 5F031 CA02 DA08 DA17 EA12 FA01 FA03 FA09 FA11 FA12 FA14 GA47 GA48 GA49 MA07 MA26 NA02 NA10

Claims (18)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 被処理基板を収容する基板容器を載置し、この基板容器内から被処理基板を出し入れする第1 1. A placing a substrate container containing a substrate to be processed, a first for loading and unloading a substrate to be processed from the substrate in the container
    の位置と、 外部搬送装置との間で前記基板容器の搬出入を行う第2 The position of the second to and from an external transport device performs loading and unloading of the substrate container
    の位置と、 前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を移動させる手段と、 を具備することを特徴とする容器載置ユニット。 The position of the container mounting unit, characterized by comprising, means for moving the substrate container between said first position and the second position.
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の容器載置ユニットであって、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を待機させる少なくとも一つの第3の位置を更に具備し、前記移動させる手段が前記第1の位置〜第3の位置との間で前記基板容器を移動する手段であることを特徴とする容器載置ユニット。 2. A container placing unit as claimed in claim 1, further comprising at least one third position to wait for the substrate container between said first position and the second position and, a container placement unit, characterized in that means for the movement is a means for moving the substrate container between said first position and the third position.
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の容器載置ユニットであって、前記第1の位置、第2の位置、及び第3の位置が前記被処理基板の出し入れ方向に平行な鉛直平面内にあることを特徴とする容器載置ユニット。 3. A container placing unit as claimed in claim 2, wherein the first position, second position, and a third position is the object to be processed within parallel vertical plane and out direction of the substrate container mounting unit, characterized in that.
  4. 【請求項4】 請求項3に記載の容器載置ユニットであって、 前記第2の位置が、前記第1の位置に関して前記基板容器の被処理基板出し入れ口と反対側に配設され、 前記第3の位置が、前記第1の位置及び/又は前記第2 4. A container placing unit as claimed in claim 3, wherein the second position is disposed on the side opposite to the substrate to be processed and unloading opening of the substrate container relative to the first position, the third position, the first position and / or the second
    の位置の上側に配設されていることを特徴とする容器載置ユニット。 Container mounting unit, characterized in that disposed on the upper side of the position of.
  5. 【請求項5】 請求項2〜4のいずれかに記載の容器載置ユニットであって、前記移動する手段が基板容器を着脱可能に保持する保持部材と、この保持部材と結合された無端帯状部材と、この無端帯状部材を駆動するモータと、このモータを制御する制御部とを具備することを特徴とする容器載置ユニット。 5. A container placement unit according to any one of claims 2 to 4, a holding member the means for moving detachably holding a substrate container, endless belt that is coupled with the holding member a member, a motor for driving the endless belt-like member, a container placement unit, characterized by a control unit for controlling the motor.
  6. 【請求項6】 請求項2に記載の容器載置ユニットであって、 前記第2の位置が、前記第1の位置に関して前記基板容器の被処理基板出し入れ口と反対側に配設され、 前記第3の位置が、前記第1の位置の真上及び/又は真下に配設され、 前記移動させる手段が、前記第1の位置と前記第2位置との間で前記基板容器を水平方向に移動させる手段、及び、前記第1の位置と第3の位置との間で前記基板容器を昇降させる手段、であることを特徴とする容器載置ユニット。 6. A container placing unit as claimed in claim 2, wherein the second position is disposed on the side opposite to the substrate to be processed and unloading opening of the substrate container relative to the first position, the third position, the disposed immediately above and / or below the first position, means for the movement, the substrate container in the horizontal direction between the first position and the second position means for moving the, and, container placement unit, characterized in that the means for elevating the substrate container between said first and third positions.
  7. 【請求項7】 請求項2に記載の容器載置ユニットであって、 前記第1の位置が、少なくとも二つの基板容器を上下に載置し、 前記第1の位置に載置された基板容器内の被処理基板を出し入れする手段を更に具備することを特徴とする容器載置ユニット。 7. A container placing unit as claimed in claim 2, wherein the first position is placed at least two substrate container up and down said first substrate placed container to the position container mounting unit, characterized by further comprising means for loading and unloading a substrate to be processed in the.
  8. 【請求項8】 請求項1に記載の容器載置ユニットであって、前記第2の位置が前記第1の位置の上側又は下側に配設され、 前記移動させる手段が、前記第1の位置と第2の位置との間で前記基板容器を昇降させる手段であることを特徴とする容器載置ユニット。 8. A container placing unit as claimed in claim 1, wherein the second position is disposed above or below the said first position, means for the movement, the first container mounting unit, wherein the position and a means for elevating the substrate container and a second position.
  9. 【請求項9】 被処理基板を収容する基板容器を載置し、この基板容器内の被処理基板を出し入れする第1の位置と、 前記第1の位置を通る面内で、前記基板容器から被処理基板を出し入れする方向と直交方向に伸びた長円状又は方形状の無端軌道と、 前記無端軌道に移動可能に配設され、基板容器を着脱可能に保持する少なくとも二つの保持部材と、 前記無端軌道上に保持された基板容器を移動させる移動手段と、 を具備することを特徴とする容器載置ユニット。 9. placing a substrate container containing a substrate to be processed, a first position for loading and unloading a substrate to be processed of the substrate in the container, within the plane passing through the first position, from the substrate container and oblong or a square-shaped endless track extending between orthogonally direction for loading and unloading a substrate to be processed, the arranged movably in an endless track, and at least two holding members for holding the substrate container detachably container mounting unit, characterized by comprising a moving means for moving the substrate container held by the endless orbit.
  10. 【請求項10】 請求項9に記載の容器載置ユニットであって、前記無端軌道が、水平面内または被処理基板を出し入れする方向を法線とする平面内に配設されていることを特徴とする容器載置ユニット。 10. A container mounting unit according to claim 9, characterized in that the endless track, are disposed in a plane direction and out the horizontal plane or the substrate to be processed and the normal container mounted unit to be.
  11. 【請求項11】 処理装置の基板容器載置台端面と対向配置され、前記基板容器載置台との間で基板容器を搬出入する第1搬出入部と、 外部搬送装置との間で基板容器を搬出入する第2搬出入部と、 前記第1搬出入部と前記第2搬出入部との間で基板容器を移動する手段と、 を具備することを特徴とする容器収納装置。 11. The processing arranged to face the substrate container placing table facet of the device, unloading a first unloading join the club for loading and unloading a substrate container between said substrate container mounting table, the substrate container between the external transport device a second unloading join the club to enter the container storage apparatus characterized by comprising means for moving the substrate container, the between the second unloading join the club and the first unloading join the club.
  12. 【請求項12】 請求項11記載の容器収納装置であって、前記第1搬出入部と前記第2搬出入部との間で基板容器を待機させる待機部を更に具備し、 前記移動する手段が、前記待機部と前記第1搬出入部との間で基板容器を移動する手段であることを特徴とする容器収納装置。 12. A container storage device according to claim 11, further comprising a standby unit to wait a substrate container between the first unloading join the club and the second discharge join the club, the means for the movement, the container storage apparatus which is a means for moving the substrate container between the standby section and the first unloading join the club.
  13. 【請求項13】 請求項12に記載の容器収納装置であって、前記待機部が、基板出し入れ方向を法線とする鉛直平面内に基板容器を保持する保持機構であることを特徴とする容器収納装置。 13. A container storage system of claim 12, the container in which the standby unit, characterized in that a holding mechanism for holding the substrate container in a vertical plane to the substrate loading and unloading direction and the normal storing device.
  14. 【請求項14】 請求項13に記載の容器収納装置であって、前記保持機構が、 前記鉛直平面内に形成された無端軌道と、 基板容器を着脱可能に保持し、前記無端軌道に対して移動可能な保持部材と、 この保持手段を移動させる移動手段と、 前記移動手段を制御する手段と、 を具備することを特徴とする容器収納装置。 14. A container storage system of claim 13, wherein the holding mechanism, the the endless track formed in a vertical plane, holding the substrate container detachably to said endless track a holding member movable, and moving means for moving the holding means, the container housing unit, characterized in that and means for controlling said moving means.
  15. 【請求項15】 基板容器を載置しこの基板容器内から被処理基板を出し入れする第1の位置と、外部搬送装置との間で前記基板容器の搬出入を行う第2の位置と、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を移動する手段とを備えた容器載置ユニットと、 前記被処理基板に処理を施す、少なくとも二つの処理ユニットと、 前記処理ユニットと前記第1の位置との間で被処理基板を搬送する手段と、 を具備することを特徴とする処理装置。 From 15. placing a substrate container substrate container between a first position for loading and unloading a substrate to be processed, and a second position for loading and unloading of the substrate container between the external transport device, wherein a container placing unit and means for moving the substrate container between said second position and the first position, processes the said substrate to be processed, at least two processing units, said processing unit processing apparatus characterized by comprising a means for conveying the substrate between said first position.
  16. 【請求項16】 請求項15に記載の処理装置であって、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を待機させる少なくとも一つの第3の位置を更に具備し、前記移動させる手段が前記第1の位置〜第3の位置との間で前記基板容器を移動する手段であることを特徴とする処理装置。 16. A processing apparatus according to claim 15, further comprising at least one third position of to wait the substrate container between said second position and said first position, processing and wherein the means for the movement is a means for moving the substrate container between said first position and the third position.
  17. 【請求項17】 請求項15に記載の処理装置であって、前記第1〜第3の位置が、前記被処理基板の出し入れ方向に平行な鉛直平面内にあることを特徴とする処理装置。 17. The apparatus of claim 15, processing the first to third position, characterized in that in parallel to a vertical plane and out direction of the target substrate device.
  18. 【請求項18】 請求項17に記載の処理装置であって、前記第1〜第3の各位置が、被処理基板出し入れ方向と直交する水平方向にわたって複数の平行な列を形成していることを特徴とする処理装置。 18. The apparatus of claim 17, said first to third position of to form a plurality of parallel rows over the horizontal direction perpendicular to the substrate to be processed out direction processing apparatus according to claim.
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