JP2000089085A - レンズ駆動アクチュエータ - Google Patents
レンズ駆動アクチュエータInfo
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 17
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 abstract description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 11
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
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- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成でレンズを駆動することができる
レンズ駆動アクチュエータを提供する。 【解決手段】 圧電材料からなる鏡胴２０の内面に、軸
方向に対向して簾状の電極対２２ａ，２２ｂ；２４ａ，
２４ｂを配置し、電極対２２ａ，２２ｂ；２４ａ，２４
ｂを高周波電源１６，１８で励振し、電極対２２ａ，２
２ｂ；２４ａ，２４ｂ間に弾性表面波が伝播する導波路
２２ｃ，２４ｃを形成する。一方のレンズ１２を一方の
導波路２２ｃに圧接し、他方のレンズ１４を他方の導波
路２４ｃに圧接し、弾性表面波によりレンズ１２，１４
を個別に駆動する。
レンズ駆動アクチュエータを提供する。 【解決手段】 圧電材料からなる鏡胴２０の内面に、軸
方向に対向して簾状の電極対２２ａ，２２ｂ；２４ａ，
２４ｂを配置し、電極対２２ａ，２２ｂ；２４ａ，２４
ｂを高周波電源１６，１８で励振し、電極対２２ａ，２
２ｂ；２４ａ，２４ｂ間に弾性表面波が伝播する導波路
２２ｃ，２４ｃを形成する。一方のレンズ１２を一方の
導波路２２ｃに圧接し、他方のレンズ１４を他方の導波
路２４ｃに圧接し、弾性表面波によりレンズ１２，１４
を個別に駆動する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レンズ駆動アクチ
ュエータに関する。
ュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レンズ装置では、たとえば図１に
示したように、レンズ１を保持する玉枠２に突設したカ
ムピン２ａを、固定筒３に設けた直進溝（図示せず）と
カム環４に設けたカム溝４ａとに挿通し、回転モータ５
の回転を歯車列６等を介してカム環４に伝え、固定筒３
に対してカム環４を回転させることによって、レンズ１
を直進駆動する方式が一般に広く採用されている。
示したように、レンズ１を保持する玉枠２に突設したカ
ムピン２ａを、固定筒３に設けた直進溝（図示せず）と
カム環４に設けたカム溝４ａとに挿通し、回転モータ５
の回転を歯車列６等を介してカム環４に伝え、固定筒３
に対してカム環４を回転させることによって、レンズ１
を直進駆動する方式が一般に広く採用されている。
【０００３】このように、回転モータ５をレンズ駆動ア
クチュエータに用いるものの他にも、たとえば図２に示
したように、圧電アクチュエータ８をレンズ駆動アクチ
ュエータとして用いるレンズ装置も提案されている。詳
しくは、圧電アクチュエータ８は、所定パルス波形の電
圧を印加して伸縮させる圧電素子８ｃの伸縮方向両端に
それぞれ固定部材８ａと駆動棒８ｂとが結合され、板バ
ネ８ｓで駆動棒８ｂに付勢され摩擦結合する摩擦部材８
ｔを有するスライダ８ｘが、たとえば鋸歯状パルスの印
加による圧電素子８ｃの伸縮によって往復する駆動棒８
ｂに沿って駆動される。このスライダ８ｘに玉枠２を結
合する。
クチュエータに用いるものの他にも、たとえば図２に示
したように、圧電アクチュエータ８をレンズ駆動アクチ
ュエータとして用いるレンズ装置も提案されている。詳
しくは、圧電アクチュエータ８は、所定パルス波形の電
圧を印加して伸縮させる圧電素子８ｃの伸縮方向両端に
それぞれ固定部材８ａと駆動棒８ｂとが結合され、板バ
ネ８ｓで駆動棒８ｂに付勢され摩擦結合する摩擦部材８
ｔを有するスライダ８ｘが、たとえば鋸歯状パルスの印
加による圧電素子８ｃの伸縮によって往復する駆動棒８
ｂに沿って駆動される。このスライダ８ｘに玉枠２を結
合する。
【０００４】しかし、これらのレンズ駆動アクチュエー
タを用いたレンズ装置は、構成が複雑になる。また、多
数のレンズを個別に駆動することが構造的に不可能であ
ったり、可能であるとしても、構成が複雑かつ大きくな
りすぎるとともにコスト的にも高くなる。
タを用いたレンズ装置は、構成が複雑になる。また、多
数のレンズを個別に駆動することが構造的に不可能であ
ったり、可能であるとしても、構成が複雑かつ大きくな
りすぎるとともにコスト的にも高くなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明が
解決しようとする技術的課題は、簡単な構成でレンズを
駆動することができるレンズ駆動アクチュエータを提供
することである。
解決しようとする技術的課題は、簡単な構成でレンズを
駆動することができるレンズ駆動アクチュエータを提供
することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記技術的課
題を解決するために、圧電材料で形成した鏡胴の内面表
層に発生させた弾性表面波をレンズの駆動源とし、鏡胴
とアクチュエータを一体化したことを基本的特徴とする
レンズ駆動アクチュエータを提供する。本発明のレンズ
駆動アクチュエータは、レンズ系を構成する多数個のレ
ンズを個別に駆動させ得るシンプルな構成が可能とな
り、コスト的にも安価になる。具体的には、以下のよう
に構成する。
題を解決するために、圧電材料で形成した鏡胴の内面表
層に発生させた弾性表面波をレンズの駆動源とし、鏡胴
とアクチュエータを一体化したことを基本的特徴とする
レンズ駆動アクチュエータを提供する。本発明のレンズ
駆動アクチュエータは、レンズ系を構成する多数個のレ
ンズを個別に駆動させ得るシンプルな構成が可能とな
り、コスト的にも安価になる。具体的には、以下のよう
に構成する。
【０００７】レンズ駆動アクチュエータは、圧電材料か
らなる鏡胴と、該鏡胴内面に軸方向に対向して配置され
た簾状の電極の電極対であって、該電極対の電極の励振
により弾性表面波が軸方向に進行する導波路を鏡胴内面
の電極対間に形成するように配置された、電極対と、該
電極対の電極を励振させる高周波電源とを備える。上記
導波路にレンズが摺動可能に圧接するように構成する。
らなる鏡胴と、該鏡胴内面に軸方向に対向して配置され
た簾状の電極の電極対であって、該電極対の電極の励振
により弾性表面波が軸方向に進行する導波路を鏡胴内面
の電極対間に形成するように配置された、電極対と、該
電極対の電極を励振させる高周波電源とを備える。上記
導波路にレンズが摺動可能に圧接するように構成する。
【０００８】上記構成において、高周波電源で電源を励
振すると、鏡胴内面に弾性表面波が発生して軸方向に進
行するし、鏡胴内面の電極対間に導波路が形成される。
この導波路に圧接するレンズは、たわみ波の進行波を用
いた超音波モータと同様の駆動原理で、摩擦力を介して
弾性表面波の伝播方向に、すなわち導波路に沿って駆動
される。
振すると、鏡胴内面に弾性表面波が発生して軸方向に進
行するし、鏡胴内面の電極対間に導波路が形成される。
この導波路に圧接するレンズは、たわみ波の進行波を用
いた超音波モータと同様の駆動原理で、摩擦力を介して
弾性表面波の伝播方向に、すなわち導波路に沿って駆動
される。
【０００９】上記構成によれば、レンズは鏡胴に摺動可
能に圧接するように構成されるだけで駆動され、固定筒
やカム環のような複雑な形状の部材や、摩擦部材等を有
する圧電アクチュエータは不要となる。
能に圧接するように構成されるだけで駆動され、固定筒
やカム環のような複雑な形状の部材や、摩擦部材等を有
する圧電アクチュエータは不要となる。
【００１０】したがって、簡単な構成でレンズを駆動す
ることができる。
ることができる。
【００１１】好ましくは、レンズを、嵌合、ばね力又は
弾性を利用して、上記導波路に圧接するように構成す
る。
弾性を利用して、上記導波路に圧接するように構成す
る。
【００１２】上記構成によれば、レンズが導波路に圧接
する圧接力を略一定に保つことができる。したがって、
レンズを安定して駆動することができる。
する圧接力を略一定に保つことができる。したがって、
レンズを安定して駆動することができる。
【００１３】好ましくは、２対以上の上記電極対を備
え、複数の上記導波路を形成する。１つのレンズが複数
の上記導波路に圧接するように構成する。
え、複数の上記導波路を形成する。１つのレンズが複数
の上記導波路に圧接するように構成する。
【００１４】上記構成によれば、レンズは、導波路に圧
接する複数の部分を介して駆動される。したがって、た
とえばレンズが傾かないようにしながら、レンズをバラ
ンス良く駆動することができる。
接する複数の部分を介して駆動される。したがって、た
とえばレンズが傾かないようにしながら、レンズをバラ
ンス良く駆動することができる。
【００１５】好ましくは、２対以上の上記電極対を備え
る。該各電極対間の１の上記導波路には１のレンズだけ
が圧接し、上記高周波電源は、上記２対以上の電極対の
電極を同時もしくは選択的に励振させ、２以上のレンズ
を個別に駆動する。
る。該各電極対間の１の上記導波路には１のレンズだけ
が圧接し、上記高周波電源は、上記２対以上の電極対の
電極を同時もしくは選択的に励振させ、２以上のレンズ
を個別に駆動する。
【００１６】上記構成によれば、１の電極対間の導波路
には１のレンズだけが圧接し、他のレンズは圧接しない
ので、その１の電極対の一方の電極を励振すれば、その
１のレンズだけを駆動することができる。
には１のレンズだけが圧接し、他のレンズは圧接しない
ので、その１の電極対の一方の電極を励振すれば、その
１のレンズだけを駆動することができる。
【００１７】したがって、簡単な構成で、複数のレンズ
を個別に駆動することができる。
を個別に駆動することができる。
【００１８】好ましくは、上記圧電材料は、多結晶構造
を示す。
を示す。
【００１９】上記構成によれば、圧電材料に、たとえば
ジルコン酸チタン酸鉛のような多結晶構造を示す材料を
用いて、鏡胴を容易に製造することができる。
ジルコン酸チタン酸鉛のような多結晶構造を示す材料を
用いて、鏡胴を容易に製造することができる。
【００２０】ところで、軸方向に対向して電極対を配置
する代わりに、電極対を周方向にずらして配置し、一方
の電極から軸方向に伝播させた弾性表面波が他方の電極
には達しないようにしてもよい。この場合、それぞれの
電極について形成される導波路にレンズが圧接するよう
にすれば、レンズを往復駆動することが可能である。さ
らには、少なくとも１つの電極についての導波路にレン
ズが圧接すれば、レンズは少なくとも１方向に駆動され
る。また、鏡胴全体を圧電材料で構成する代わりに、鏡
胴の少なくとも導波路となる部分に圧電材料を配置すれ
ば、導波路に圧接するレンズを駆動することが可能であ
る。また、導波路となる部分は、鏡胴内周面に限らず、
鏡胴外周面としても、あるいは、径方向および軸方向に
延在する側面又は溝面としてもよい。
する代わりに、電極対を周方向にずらして配置し、一方
の電極から軸方向に伝播させた弾性表面波が他方の電極
には達しないようにしてもよい。この場合、それぞれの
電極について形成される導波路にレンズが圧接するよう
にすれば、レンズを往復駆動することが可能である。さ
らには、少なくとも１つの電極についての導波路にレン
ズが圧接すれば、レンズは少なくとも１方向に駆動され
る。また、鏡胴全体を圧電材料で構成する代わりに、鏡
胴の少なくとも導波路となる部分に圧電材料を配置すれ
ば、導波路に圧接するレンズを駆動することが可能であ
る。また、導波路となる部分は、鏡胴内周面に限らず、
鏡胴外周面としても、あるいは、径方向および軸方向に
延在する側面又は溝面としてもよい。
【００２１】したがって、レンズ駆動アクチュエータ
は、少なくとも、以下のように構成すればよい。
は、少なくとも、以下のように構成すればよい。
【００２２】すなわち、レンズ駆動アクチュエータは、
少なくとも軸方向に延在する圧電材料を有する鏡胴と、
該圧電材料に配置され、励振により弾性表面波が軸方向
に進行する導波路を上記圧電材料に形成する、少なくと
も一つの簾状の電極と、該電極を励振させる高周波電源
とを備える。上記導波路にレンズが摺動可能に圧接する
ように構成する。
少なくとも軸方向に延在する圧電材料を有する鏡胴と、
該圧電材料に配置され、励振により弾性表面波が軸方向
に進行する導波路を上記圧電材料に形成する、少なくと
も一つの簾状の電極と、該電極を励振させる高周波電源
とを備える。上記導波路にレンズが摺動可能に圧接する
ように構成する。
【００２３】上記構成において、電極を高周波電源によ
って励振すれば、導波路に圧接するレンズを弾性表面波
の伝播方向、すなわち少なくとも軸方向一側に駆動する
ことができる。
って励振すれば、導波路に圧接するレンズを弾性表面波
の伝播方向、すなわち少なくとも軸方向一側に駆動する
ことができる。
【００２４】したがって、簡単な構成でレンズを駆動す
ることができる。
ることができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態に係るレ
ンズ駆動アクチュエータを用いたレンズ装置について、
図３〜図８を参照しながら説明する。
ンズ駆動アクチュエータを用いたレンズ装置について、
図３〜図８を参照しながら説明する。
【００２６】レンズ装置１０は、図３の断面模式図に示
すように、大略、鏡胴２０と、第１レンズ１２と、第２
レンズ１４と、高周波電源１６，１８とを備える。
すように、大略、鏡胴２０と、第１レンズ１２と、第２
レンズ１４と、高周波電源１６，１８とを備える。
【００２７】鏡胴２０は、圧電材料からなり、鏡胴２０
の内周面の両端近傍には、軸方向に対向して２対の簾状
の電極２２ａ，２２ｂ；２４ａ，２４ｂが配置されてい
る。第１対の電極２２ａ，２２ｂと第２対の電極２４
ａ，２４ｂとは、周方向に略９０度ずらして配置されて
いる。第１対の電極２２ａ，２２ｂは第１の高周波電源
１６に、第２対の電極２４ａ，２４ｂは第２の高周波電
源１８に、それぞれ電気的に接続されている。高周波電
源１６，１８により電極対２２ａ，２２ｂ；２４ａ，２
４ｂの一方の電極にＭＨｚオーダー（たとえば、約１０
ＭＨｚ）の高周波電圧が印加されると、鏡胴２０の内周
面には弾性表面波が発生し、軸方向に直進する。したが
って、鏡胴２０の内周面において、対向する電極２２
ａ，２２ｂ；２４ａ，２４ｂ間に弾性表面波が伝播する
導波路２２ｃ，２４ｃが形成される。駆動方向を切り換
えるには、電極対２２ａ，２２ｂ；２４ａ，２４ｂの他
方の電極に高周波電圧を印加すればよい。
の内周面の両端近傍には、軸方向に対向して２対の簾状
の電極２２ａ，２２ｂ；２４ａ，２４ｂが配置されてい
る。第１対の電極２２ａ，２２ｂと第２対の電極２４
ａ，２４ｂとは、周方向に略９０度ずらして配置されて
いる。第１対の電極２２ａ，２２ｂは第１の高周波電源
１６に、第２対の電極２４ａ，２４ｂは第２の高周波電
源１８に、それぞれ電気的に接続されている。高周波電
源１６，１８により電極対２２ａ，２２ｂ；２４ａ，２
４ｂの一方の電極にＭＨｚオーダー（たとえば、約１０
ＭＨｚ）の高周波電圧が印加されると、鏡胴２０の内周
面には弾性表面波が発生し、軸方向に直進する。したが
って、鏡胴２０の内周面において、対向する電極２２
ａ，２２ｂ；２４ａ，２４ｂ間に弾性表面波が伝播する
導波路２２ｃ，２４ｃが形成される。駆動方向を切り換
えるには、電極対２２ａ，２２ｂ；２４ａ，２４ｂの他
方の電極に高周波電圧を印加すればよい。
【００２８】図４（Ａ）に示すように、第１レンズ１２
および第２レンズ１４の外周面は、それぞれ、鏡胴２０
の内周面に圧接するようになっている。第１レンズ１２
および第２レンズ１４の外周面には、それぞれ切り欠き
１２ａ，１４ａが設けられ、図４（Ｂ）に示すように、
第１レンズ１２は、第１対の電極対２２ａ，２２ｂの導
波路２２ｃには圧接するが第２対の電極２４ａ，２４ｂ
の導波路２４ｃには圧接せず、図４（Ｃ）に示すよう
に、第２レンズ１４は、第２対の電極２４ａ，２４ｂの
導波路２４ｃには圧接するが第１対の電極２２ａ，２２
ｂの導波路２２ｃには圧接しないようになっている。し
たがって、高周波電圧を印加した電極対２２ａ，２２
ｂ；２４ａ，２４ｂ間の導波路２２ｃ，２４ｃに圧接す
る一方のレンズ１２，１４だけが、弾性表面波によって
駆動されるようになっている。
および第２レンズ１４の外周面は、それぞれ、鏡胴２０
の内周面に圧接するようになっている。第１レンズ１２
および第２レンズ１４の外周面には、それぞれ切り欠き
１２ａ，１４ａが設けられ、図４（Ｂ）に示すように、
第１レンズ１２は、第１対の電極対２２ａ，２２ｂの導
波路２２ｃには圧接するが第２対の電極２４ａ，２４ｂ
の導波路２４ｃには圧接せず、図４（Ｃ）に示すよう
に、第２レンズ１４は、第２対の電極２４ａ，２４ｂの
導波路２４ｃには圧接するが第１対の電極２２ａ，２２
ｂの導波路２２ｃには圧接しないようになっている。し
たがって、高周波電圧を印加した電極対２２ａ，２２
ｂ；２４ａ，２４ｂ間の導波路２２ｃ，２４ｃに圧接す
る一方のレンズ１２，１４だけが、弾性表面波によって
駆動されるようになっている。
【００２９】次に、鏡胴２０の製造法について、図５〜
図７を参照しながら説明する。
図７を参照しながら説明する。
【００３０】図５に示すように、まず、筒状の成型品３
０を形成する。たとえば、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺ
Ｔ）の原料粉末と、バインダ樹脂、分散剤、水等を均一
に分散させ、混合した粘土状材料を押し出し機で筒状に
成形し、乾燥させる。本例では、ジルコン酸チタン酸鉛
の原料粉末には、弾性表面波の発生しやすさの目安とな
る機械的品質係数が比較的大きい林化学社製のＭＰＴ剤
（製品名）を用いた。
０を形成する。たとえば、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺ
Ｔ）の原料粉末と、バインダ樹脂、分散剤、水等を均一
に分散させ、混合した粘土状材料を押し出し機で筒状に
成形し、乾燥させる。本例では、ジルコン酸チタン酸鉛
の原料粉末には、弾性表面波の発生しやすさの目安とな
る機械的品質係数が比較的大きい林化学社製のＭＰＴ剤
（製品名）を用いた。
【００３１】次に、成型品３０をオーブンの中に入れ、
３００〜６００℃で保持し、成型品中のバインダ等を蒸
散させる。その後、１０００〜１３００℃まで昇温し焼
成する。この時の温度条件は、使用する押し出し材料の
組成や、成型品の寸法で変わる。本例では、約１７％収
縮した焼成品３１が形成される。
３００〜６００℃で保持し、成型品中のバインダ等を蒸
散させる。その後、１０００〜１３００℃まで昇温し焼
成する。この時の温度条件は、使用する押し出し材料の
組成や、成型品の寸法で変わる。本例では、約１７％収
縮した焼成品３１が形成される。
【００３２】次に、焼成品３１の筒内面３２を、鏡面状
態になるまでラッピングする。
態になるまでラッピングする。
【００３３】次に、焼成品３１の両端面をマスクして、
外面および筒内面３２に無電解メッキ処理を行い、メッ
キ層３３，３４を形成する。本例では、上村工業株式会
社製のベルニッケル液を用い、６０℃、３０〜６０分で
約１〜３μｍのニッケル膜３３，３４を形成した。な
お、ニッケル膜の代わりに銅膜を形成してもよい。
外面および筒内面３２に無電解メッキ処理を行い、メッ
キ層３３，３４を形成する。本例では、上村工業株式会
社製のベルニッケル液を用い、６０℃、３０〜６０分で
約１〜３μｍのニッケル膜３３，３４を形成した。な
お、ニッケル膜の代わりに銅膜を形成してもよい。
【００３４】次に、筒内面のニッケル膜３４を＋電極、
外面のニッケル膜３３を−電極として、１００℃のオー
ブン中で２５００Ｖ／ｍｍ、１５分で分極する。
外面のニッケル膜３３を−電極として、１００℃のオー
ブン中で２５００Ｖ／ｍｍ、１５分で分極する。
【００３５】次に、図６に示すように、筒内面のニッケ
ル膜３４上にフォトレジスト３５を塗布し乾燥させ、そ
の後、マスクパターン４２ａ，４２ｂを有する透明ガラ
ス筒４０を、筒内面に挿入し、ランプ４４で露光する。
透明ガラス筒４０は、図７の斜視図に示すように、その
外面の両端近傍に、軸方向に対向するマスクパターン４
２ａ，４２ｂを有する。各マスクパターン４２ａ，４２
ｂは、櫛歯が互いに噛合うような簾状であるが、櫛歯
（簾）のピッチは、駆動周波数が高くなるほど細かくす
ることが好ましい。透明ガラス筒４０の外径は、焼成品
３１の筒内径に嵌合し、長さが等しくなるように製作さ
れている。
ル膜３４上にフォトレジスト３５を塗布し乾燥させ、そ
の後、マスクパターン４２ａ，４２ｂを有する透明ガラ
ス筒４０を、筒内面に挿入し、ランプ４４で露光する。
透明ガラス筒４０は、図７の斜視図に示すように、その
外面の両端近傍に、軸方向に対向するマスクパターン４
２ａ，４２ｂを有する。各マスクパターン４２ａ，４２
ｂは、櫛歯が互いに噛合うような簾状であるが、櫛歯
（簾）のピッチは、駆動周波数が高くなるほど細かくす
ることが好ましい。透明ガラス筒４０の外径は、焼成品
３１の筒内径に嵌合し、長さが等しくなるように製作さ
れている。
【００３６】次に、露光の終わったフォトレジスト３５
を現像し、マスクパターン４２ａ，４２ｂと同形状のレ
ジストパターンを形成する。これをエッチングして、筒
内面にニッケルの電極３４ａ，３４ｂを形成する。これ
により、レンズ鏡胴と一体となった駆動源が完成する。
を現像し、マスクパターン４２ａ，４２ｂと同形状のレ
ジストパターンを形成する。これをエッチングして、筒
内面にニッケルの電極３４ａ，３４ｂを形成する。これ
により、レンズ鏡胴と一体となった駆動源が完成する。
【００３７】前述のように、電極の一方３４ａ又は３４
ｂに約１０ＭＨｚの高周波数の電圧をかけると、弾性表
面波が発生し、対向する電極３４ａ，３４ｂ間が弾性表
面波の導波路となる。この導波路上にレンズを適当な力
で圧接すると、発生した弾性表面波によりレンズが駆動
される。駆動方向を変えるには、もう一方の電極３４ｂ
又は３４ａに電圧をかけ換えればよい。
ｂに約１０ＭＨｚの高周波数の電圧をかけると、弾性表
面波が発生し、対向する電極３４ａ，３４ｂ間が弾性表
面波の導波路となる。この導波路上にレンズを適当な力
で圧接すると、発生した弾性表面波によりレンズが駆動
される。駆動方向を変えるには、もう一方の電極３４ｂ
又は３４ａに電圧をかけ換えればよい。
【００３８】対向する電極を２対以上形成し、各電極対
間の導波路にそれぞれ１つのレンズだけが圧接するよう
にすれば、２以上のレンズを何ら関連なくそれぞれ別個
に駆動することができる。
間の導波路にそれぞれ１つのレンズだけが圧接するよう
にすれば、２以上のレンズを何ら関連なくそれぞれ別個
に駆動することができる。
【００３９】次に、レンズを導波路上に圧接させる具体
的な構成について、図８を参照しながら説明する。
的な構成について、図８を参照しながら説明する。
【００４０】第１の構成としては、図８（Ａ）に示した
ように、外周面に突設した球状の突起６２を有するレン
ズ６０を鏡胴５０に嵌合させ、鏡胴５０とレンズ６０の
弾性で、レンズ６０の突起６２を鏡胴５０の導波路５２
に圧接させる。この例のように、１のレンズが複数の導
波路５２に圧接するようにすれば、レンズをバランス良
く安定して駆動することができる。
ように、外周面に突設した球状の突起６２を有するレン
ズ６０を鏡胴５０に嵌合させ、鏡胴５０とレンズ６０の
弾性で、レンズ６０の突起６２を鏡胴５０の導波路５２
に圧接させる。この例のように、１のレンズが複数の導
波路５２に圧接するようにすれば、レンズをバランス良
く安定して駆動することができる。
【００４１】第２の構成としては、図８（Ｂ）に示した
ように、鏡胴５０内に遊嵌するレンズ７０から、バネ７
４の弾性力を用いて弾性ボール７２を鏡胴筒５０の導波
路５２に圧接させる。
ように、鏡胴５０内に遊嵌するレンズ７０から、バネ７
４の弾性力を用いて弾性ボール７２を鏡胴筒５０の導波
路５２に圧接させる。
【００４２】第３の構成としては、図８（Ｃ）に示すよ
うに、外周面にバネ力を持たせた突起状部材８２を有す
るレンズ８０を鏡胴５０に嵌合させ、レンズ８０の突起
状部材８２を鏡胴５０の導波路５２に圧接させる。
うに、外周面にバネ力を持たせた突起状部材８２を有す
るレンズ８０を鏡胴５０に嵌合させ、レンズ８０の突起
状部材８２を鏡胴５０の導波路５２に圧接させる。
【００４３】以上説明したように、弾性表面波を利用し
たレンズ駆動アクチュエータを用いるレンズ装置１０
は、簡単な構成でレンズを駆動することができる。
たレンズ駆動アクチュエータを用いるレンズ装置１０
は、簡単な構成でレンズを駆動することができる。
【００４４】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、その他種々の態様で実施可能である。
たとえば、圧電材料よりなる鏡胴は、断面が円形の円筒
形状のものに限らず、断面が多角形の角柱形状のものも
作製可能である。また、鏡胴を割り形状にしてもよい。
るものではなく、その他種々の態様で実施可能である。
たとえば、圧電材料よりなる鏡胴は、断面が円形の円筒
形状のものに限らず、断面が多角形の角柱形状のものも
作製可能である。また、鏡胴を割り形状にしてもよい。
【図１】 従来例のレンズ駆動アクチュエータの部分断
面斜視図である。
面斜視図である。
【図２】 他の従来例のレンズ駆動アクチュエータの斜
視図である。
視図である。
【図３】 本発明のレンズ駆動アクチュエータの断面模
式図である。
式図である。
【図４】 図３のレンズ駆動アクチュエータの側面図お
よび断面図である。
よび断面図である。
【図５】 図３のレンズ駆動アクチュエータの製造工程
説明図である。
説明図である。
【図６】 図５に続く製造工程説明図である。
【図７】 透明ガラス筒の斜視図である。
【図８】 圧接部の説明図である。
１０ レンズ装置 １２ レンズ １２ａ 切り欠き １４ レンズ １４ａ 切り欠き １６，１８ 高周波電源 ２０ 鏡胴 ２２ａ，２２ｂ 電極 ２２ｃ 導波路 ２４ａ，２４ｂ 電極 ２４ｃ 導波路 ３０ 成型品 ３１ 焼成品 ３２ 内周面 ３３，３４ メッキ層 ３５ フォトレジスト ４０ 透明ガラス筒 ４２ａ，４２ｂ マスクパターン ４４ ランプ ５０ 鏡胴 ５２ 導波路 ６０ レンズ ６２ 突起 ７０ レンズ ７２ 弾性ボール ７４ バネ ８０ レンズ ８２ 突起状部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H044 AJ05 BE01 DB04 DD01 5H680 AA00 BB01 BB13 BB15 BB19 BB20 BC01 CC08 DD01 DD15 DD23 DD39 DD53 DD73 DD74 DD85 DD88 FF14 FF16 FF20 GG02
Claims (7)
- 【請求項１】 圧電材料からなる鏡胴と、 該鏡胴内面に軸方向に対向して配置された簾状の電極の
電極対であって、該電極対の電極の励振により弾性表面
波が軸方向に進行する導波路を鏡胴内面の電極対間に形
成するように配置された、電極対と、 該電極対の電極を励振させる高周波電源とを備え、 上記導波路にレンズが摺動可能に圧接するように構成し
たことを特徴とする、レンズ駆動アクチュエータ。 - 【請求項２】 レンズを、嵌合、ばね力又は弾性を利用
して、上記導波路に圧接するように構成したことを特徴
とする、請求項１記載のレンズ駆動アクチュエータ。 - 【請求項３】 ２対以上の上記電極対を備え、複数の上
記導波路を形成し、１つのレンズが複数の上記導波路に
圧接するように構成したことを特徴とする、請求項１記
載のレンズ駆動アクチュエータ。 - 【請求項４】 ２対以上の上記電極対を備え、該各電極
対間の１の上記導波路には１のレンズだけが圧接し、上
記高周波電源は、上記２対以上の電極対の電極を同時も
しくは選択的に励振させ、２以上のレンズを個別に駆動
することを特徴とする、請求項１記載のレンズ装置。 - 【請求項５】 上記圧電材料は、多結晶構造を示すこと
を特徴とする、請求項１記載のレンズ装置。 - 【請求項６】 少なくとも軸方向に延在する圧電材料を
有する鏡胴と、 該圧電材料に配置され、励振により弾性表面波が軸方向
に進行する導波路を上記圧電材料に形成する、少なくと
も一つの簾状の電極と、 該電極を励振させる高周波電源とを備え、 上記導波路にレンズが摺動可能に圧接するように構成し
たことを特徴とする、レンズ駆動アクチュエータ。 - 【請求項７】 圧電材料で形成した鏡胴の内面表層に発
生させた弾性表面波をレンズの駆動源とし、鏡胴とアク
チュエータを一体化したことを特徴とする、レンズ駆動
アクチュエータ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10258161A JP2000089085A (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | レンズ駆動アクチュエータ |
| US09/393,296 US6188530B1 (en) | 1998-09-11 | 1999-09-10 | Driving apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10258161A JP2000089085A (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | レンズ駆動アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000089085A true JP2000089085A (ja) | 2000-03-31 |
Family
ID=17316391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10258161A Pending JP2000089085A (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | レンズ駆動アクチュエータ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6188530B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000089085A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008058581A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Canon Inc | レンズ鏡筒および光学装置 |
| KR101003381B1 (ko) * | 2008-08-13 | 2010-12-22 | 삼성전기주식회사 | 렌즈 이송 모듈 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6952256B2 (en) * | 2002-08-30 | 2005-10-04 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Optical compensation in high numerical aperture photomask inspection systems for inspecting photomasks through thick pellicles |
| KR100762992B1 (ko) * | 2004-09-24 | 2007-10-02 | 엘지전자 주식회사 | 렌즈구동장치 |
| US7561327B2 (en) * | 2005-02-10 | 2009-07-14 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Device for setting the divergence and/or convergence of a light beam |
| JP2006343506A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Sony Corp | レンズ駆動装置及び撮像装置 |
| JP2007049876A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Fujinon Corp | アクチュエータ |
| WO2007031993A2 (en) * | 2005-09-13 | 2007-03-22 | Daniel Farb | Device for maintaining line of sight for intruments by using tilted and adjustable lenses |
| CN100582914C (zh) * | 2005-09-30 | 2010-01-20 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 自动对焦结构及应用该对焦结构的数码相机模组 |
| JP2007256819A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Sanyo Electric Co Ltd | レンズ駆動装置及びこのレンズ駆動装置を備える光ピックアップ装置 |
| US7787031B2 (en) * | 2006-04-11 | 2010-08-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Image-pickup apparatus for dust prevention |
| KR100920609B1 (ko) * | 2008-11-27 | 2009-10-08 | 삼성전기주식회사 | 카메라 모듈용 액추에이터, 이의 제어방법 및 이를 포함하는 카메라 모듈 |
| CN105785568A (zh) * | 2014-12-25 | 2016-07-20 | 比亚迪股份有限公司 | 一种车载抬头显示系统及汽车 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3851651A (en) * | 1972-12-22 | 1974-12-03 | P Icenbice | Facial stimulating apparatus having sequentially energized electrodes |
| JPH0547011A (ja) | 1991-08-12 | 1993-02-26 | Japan Steel Works Ltd:The | 光ピツクアツプにおける光集束位置調整方法及び光ピツクアツプ |
| US5490015A (en) * | 1993-03-04 | 1996-02-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Actuator apparatus |
| US5589723A (en) | 1994-03-29 | 1996-12-31 | Minolta Co., Ltd. | Driving apparatus using transducer |
-
1998
- 1998-09-11 JP JP10258161A patent/JP2000089085A/ja active Pending
-
1999
- 1999-09-10 US US09/393,296 patent/US6188530B1/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6188530B1 (en) | 2001-02-13 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040727 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040810 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050322 |