JP2000047019A - Photosensitive film for flattening black matrix substrate for color filter, its production and production of the color filter - Google Patents

Photosensitive film for flattening black matrix substrate for color filter, its production and production of the color filter

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JP2000047019A
JP2000047019A JP21390298A JP21390298A JP2000047019A JP 2000047019 A JP2000047019 A JP 2000047019A JP 21390298 A JP21390298 A JP 21390298A JP 21390298 A JP21390298 A JP 21390298A JP 2000047019 A JP2000047019 A JP 2000047019A
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JP
Japan
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film
photosensitive resin
resin layer
black matrix
photosensitive
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Japanese (ja)
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Manabu Saito
学 斎藤
Hiroshi Yamazaki
宏 山崎
Hiromi Furubayashi
寛巳 古林
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Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive film for flattening black matrix substrate for color filter, by which the photosensitive resin layer excellent in flatness can be formed, a method for producing it and a method for producing the color filter capable of exhibiting clean images. SOLUTION: The photosensitive film has a photosensitive resin layer which is sandwiched by a film A and a film B (surface flatness; Ra<=0.020 μm, Rmax<=0.06 μm). The method for producing the photosensitive film is composed of coating a photosensitive resin composition on the film A to form the photosensitive resin layer and then laminating the film B on the photosensitive resin layer. The method for producing the color filter is composed of laminating the photosensitive film on a transparent substrate having a black matrix on its one surface while peeling the film B from the photosensitive film so that the photosensitive resin layer is stuck on the surface in which the black matrix is formed, then exposing to an active ray through the transparent film A, and, after removing the film A, forming a picture element on the photosensitive resin layer.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
用ブラックマトリックス基板平坦化用感光性フィルムと
その製造法及びカラーフィルターの製造法に関する。
The present invention relates to a photosensitive film for flattening a black matrix substrate for a color filter, a method for producing the same, and a method for producing a color filter.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラーフィルターの画素の形成法には、
スピンコート法、電着法、フィルム法、印刷法など種々
の方法があるが、基板上にはブラックマトリックスによ
る凹凸があり、特に印刷法で画素を形成する際には各色
画素を形成することが困難である。特に、ブラックマト
リックスが比較的厚い樹脂ブラックマトリックスである
場合には、それによる凹凸が大きな障害となる。そこ
で、このような基板の凹凸を平坦にする方法として、基
板上に透明な樹脂ワニスをスピンコート法で数回、若し
くは数十回塗布する方法が従来用いられている。また、
スピンコートで形成した透明な層にさらにバフ研磨を行
う方法もある(特開平7−287112号公報)。しか
し、これらの方法では、樹脂ワニスが無駄になる、工程
が長いなどの問題があった。
2. Description of the Related Art A method of forming a pixel of a color filter includes:
There are various methods such as spin coating method, electrodeposition method, film method, printing method, etc.There is unevenness due to black matrix on the substrate, especially when forming pixels by printing method, it is necessary to form each color pixel Have difficulty. In particular, when the black matrix is a relatively thick resin black matrix, unevenness caused by the black matrix is a great obstacle. Therefore, as a method of flattening such unevenness of the substrate, a method of applying a transparent resin varnish on the substrate several times or several tens of times by a spin coating method has been conventionally used. Also,
There is also a method of further performing buff polishing on a transparent layer formed by spin coating (Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-287112). However, these methods have problems that the resin varnish is wasted and the steps are long.

【0003】上記の方法の改良法として、ブラックマト
リックスを形成した基板上に、支持体フィルムと透明な
感光性樹脂層とからなる感光性フィルムを、透明な感光
性樹脂層が基板に面するように貼り合わせる工程、次い
で露光して支持体フィルムを剥がして現像する工程を行
うことにより、ブラックマトリックス基板の凹凸を平坦
化する方法がある(特開平9−159812号公報)。
しかし、このような方法に用いられる感光性フィルムの
感光性樹脂層は膜厚が0.5〜5μmと非常に薄い膜で
あるため、感光性フィルムの作製の際、支持フィルムや
保護フィルムの凹凸の大きさに起因し、感光性樹脂層に
表面荒れが発生する。この表面荒れは、カラーフィルタ
ーを製造した場合に画素欠陥及び画像のボケとなって現
れ、鮮明な画像が得られないという問題がある。
[0003] As an improvement of the above method, a photosensitive film comprising a support film and a transparent photosensitive resin layer is placed on a substrate on which a black matrix is formed so that the transparent photosensitive resin layer faces the substrate. There is a method of flattening the unevenness of the black matrix substrate by performing a step of bonding and then a step of exposing and peeling off the support film and developing it (Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-159812).
However, the photosensitive resin layer of the photosensitive film used in such a method is a very thin film having a thickness of 0.5 to 5 μm. Surface roughness occurs in the photosensitive resin layer due to the size of the photosensitive resin layer. The surface roughness appears as pixel defects and blurred images when a color filter is manufactured, and there is a problem that a clear image cannot be obtained.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、カラーフィ
ルター用ブラックマトリックス基板上のブラックマトリ
ックスによる凹凸を感光性樹脂層によって平坦化するた
めに用いられ、ブラックマトリックス基板上に表面荒れ
のない平坦性に優れた感光性樹脂層を形成することを可
能にする感光性フィルムを提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is used for flattening unevenness due to a black matrix on a black matrix substrate for a color filter with a photosensitive resin layer. It is an object of the present invention to provide a photosensitive film capable of forming a photosensitive resin layer excellent in quality.

【0005】また、本発明は、上記の感光性フィルムの
なかでも、特に作業性及び環境保護性に優れた感光性フ
ィルムを提供することを目的とする。
Another object of the present invention is to provide a photosensitive film having excellent workability and environmental protection, among the above photosensitive films.

【0006】また、本発明は、上記の感光性フィルムの
なかでも、ブラックマトリックス基板上に特に平坦性に
優れた感光性樹脂層を形成することを可能にする感光性
フィルムを提供することを目的とする。
Another object of the present invention is to provide, among the above-mentioned photosensitive films, a photosensitive film which enables formation of a photosensitive resin layer having particularly excellent flatness on a black matrix substrate. And

【0007】また、本発明は、カラーフィルター用ブラ
ックマトリックス基板上のブラックマトリックスによる
凹凸を感光性樹脂層によって平坦化するために用いら
れ、ブラックマトリックス基板上に表面荒れのない平坦
性に優れた感光性樹脂層を形成することを可能にする感
光性フィルムを製造する方法を提供することを目的とす
る。
Further, the present invention is used for flattening unevenness due to a black matrix on a black matrix substrate for a color filter with a photosensitive resin layer, and provides a photosensitive material having excellent flatness without surface roughness on the black matrix substrate. It is an object of the present invention to provide a method for producing a photosensitive film that enables formation of a conductive resin layer.

【0008】また、本発明は、画素欠陥や画像のボケが
なく、鮮明な画像表示を可能にするカラーフィルターの
製造法を提供することを目的とする。
Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a color filter which enables clear image display without pixel defects or image blur.

【0009】また、本発明は、平坦性が良好でさらに画
素欠陥や画像のボケがなく、しかも隣接する画素間の混
色がなく、鮮明な画像表示を可能にするカラーフィルタ
ーの製造法を提供することを目的とする。
Further, the present invention provides a method of manufacturing a color filter which has good flatness, is free from pixel defects and image blur, has no color mixture between adjacent pixels, and enables clear image display. The purpose is to:

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、感光性樹脂組
成物を含有する感光性樹脂層をフィルムA及びフィルム
Bで挟持してなる感光性フィルムにおいて、フィルムA
及びフィルムBがRaが0.020μm以下、Rmax
0.06μm以下の表面平滑性を有するものであるカラ
ーフィルター用ブラックマトリックス基板平坦化用感光
性フィルムを提供するものである。
The present invention relates to a photosensitive film comprising a photosensitive resin layer containing a photosensitive resin composition sandwiched between a film A and a film B.
And film B is R a is 0.020μm or less, in which R max is to provide a black matrix substrate planarization photosensitive film for color filter is one having the following surface smoothness 0.06 .mu.m.

【0011】また、本発明は、感光性樹脂組成物をフィ
ルムAの片面に塗工し、乾燥させて感光性樹脂層を形成
し、感光性樹脂層上にフィルムBをラミネートするカラ
ーフィルター用ブラックマトリックス基板平坦化用感光
性フィルムの製造法において、フィルムA及びフィルム
BがRaが0.020μm以下、Rmaxが0.06μm以
下の表面平滑性を有するものであることを特徴とするカ
ラーフィルター用ブラックマトリックス基板平坦化用感
光性フィルムの製造法を提供するものである。
The present invention also relates to a black for a color filter, wherein a photosensitive resin composition is applied to one side of a film A, dried to form a photosensitive resin layer, and a film B is laminated on the photosensitive resin layer. in the preparation of the matrix substrate planarization photosensitive film, color filter film a and film B is less R a is 0.020, R max is characterized in that those having the following surface smoothness 0.06μm To provide a method for producing a photosensitive film for flattening a black matrix substrate.

【0012】また、本発明は、一方の面にブラックマト
リックスを有する透明基板上に、上記の感光性フィルム
を、フィルムBを剥がしながら、感光性樹脂層をブラッ
クマトリックスが形成された面に密着させて貼り合わ
せ、感光性樹脂層上の透明はフィルムを介して活性光線
を照射して感光性樹脂層を露光し、フィルムAを除去し
た後、感光性樹脂層上に画素を形成することを特徴とす
るカラーフィルターの製造法を提供するものである。
Further, the present invention provides a method in which a photosensitive resin layer is adhered to a surface on which a black matrix is formed while peeling off the film B on a transparent substrate having a black matrix on one surface. The transparent resin on the photosensitive resin layer is characterized by irradiating actinic rays through the film to expose the photosensitive resin layer, removing the film A, and forming pixels on the photosensitive resin layer. And a method of manufacturing a color filter.

【0013】また、本発明は、一方の面にブラックマト
リックスを有する透明基板上に、上記の感光性フィルム
を、フィルムBを剥がしながら、感光性樹脂層をブラッ
クマトリックスが形成された面に密着させて貼り合わ
せ、ブラックマトリックス基板を介して活性光線を照射
して感光性樹脂層を露光し、フィルムAを除去し、現像
により感光性樹脂層のブラックマトリックス上の部分を
除去した後、現像した感光性樹脂層上に画素を形成する
ことを特徴とするカラーフィルターの製造法を提供する
ものである。
[0013] Further, the present invention provides a method in which a photosensitive resin layer is adhered to a surface on which a black matrix is formed, while the film B is peeled off, on a transparent substrate having a black matrix on one surface. After exposing the photosensitive resin layer by irradiating an actinic ray through a black matrix substrate, removing the film A, removing the portion of the photosensitive resin layer on the black matrix by development, and then developing It is intended to provide a method for producing a color filter, wherein pixels are formed on a conductive resin layer.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明に用いられる感光性樹脂組
成物としては、柔軟性及び粘着性を有し、活性光線の照
射により硬化するものであれば特に制限はない。ブラッ
クマトリックス基板の平坦化に用いる際に、感光性樹脂
層の露光後、現像を行う場合には、露光前には特定の有
機溶媒、酸、アルカリなどの現像液に可溶であり、露光
後に不溶化するものを用いる。例えば、作業性、環境保
全性の点から、(A)アクリル酸又はメタクリル酸とエ
チレン性不飽和化合物との共重合体であり、重量平均分
子量が20,000〜150,000のフィルム性付与
ポリマー50〜70重量部、(B)エチレン性不飽和化
合物30〜50重量部(ただし、(A)成分及び(B)
成分の総量は100重量部である)及び(C)(A)成
分及び(B)成分の総量100重量部に対して光重合開
始剤0.1〜10重量部を含有する感光性樹脂組成物を
用いることが好ましい。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The photosensitive resin composition used in the present invention is not particularly limited as long as it has flexibility and tackiness and is cured by irradiation with actinic rays. When used for flattening a black matrix substrate, after exposure of the photosensitive resin layer, when performing development, it is soluble in a developing solution such as a specific organic solvent, acid, or alkali before exposure, and after exposure. Use an insoluble material. For example, from the viewpoint of workability and environmental preservation, (A) a copolymer of acrylic acid or methacrylic acid and an ethylenically unsaturated compound and having a weight average molecular weight of 20,000 to 150,000 and a film-imparting polymer. 50 to 70 parts by weight, (B) 30 to 50 parts by weight of the ethylenically unsaturated compound (provided that the component (A) and the component (B)
The total amount of the components is 100 parts by weight) and a photosensitive resin composition containing 0.1 to 10 parts by weight of a photopolymerization initiator based on 100 parts by weight of the total amount of the components (A) and (B). It is preferable to use

【0015】フィルム性付与ポリマー((A)成分)と
しては、例えば、アクリル酸アルキルエステル又はメタ
クリル酸アルキルエステルとアクリル酸又はメタクリル
酸との共重合体、アクリル酸アルキルエステル又はメタ
クリル酸アルキルエステルとアクリル酸又はメタクリル
酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合体
等が挙げられる。
Examples of the film-imparting polymer (component (A)) include copolymers of alkyl acrylate or alkyl methacrylate and acrylic acid or methacrylic acid, alkyl acrylate or alkyl methacrylate and acrylic methacrylate. Copolymers of an acid or methacrylic acid with a vinyl monomer copolymerizable therewith are exemplified.

【0016】アクリル酸アルキルエステルとしては、例
えば、メチルアクリレート、エチルアクリレート、ブチ
ルアクリレート、エチルヘキシルアクリレート等が挙げ
られる。
Examples of the alkyl acrylate include methyl acrylate, ethyl acrylate, butyl acrylate, ethylhexyl acrylate and the like.

【0017】メタクリル酸アルキルエステルとしては、
メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ブチル
メタクリレート、エチルヘキシルメタクリレート等が挙
げられる。
Examples of the alkyl methacrylate include:
Methyl methacrylate, ethyl methacrylate, butyl methacrylate, ethylhexyl methacrylate and the like can be mentioned.

【0018】上記の共重合し得るビニルモノマーとして
は、例えば、ジメチルアミノエチルアクリレート、ジエ
チルアミノエチルアクリレート、テトラヒドロフルフリ
ルアクリレート、2,2,2−トリフルオロエチルアク
リレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピルア
クリレート、これらに対応するメタクリレート、アクリ
ルアミド、メタクリルアミド、ジアセトンアクリルアミ
ド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。
The above copolymerizable vinyl monomers include, for example, dimethylaminoethyl acrylate, diethylaminoethyl acrylate, tetrahydrofurfuryl acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl acrylate, 2,2,3,3-tetraethyl acrylate Examples thereof include fluoropropyl acrylate, methacrylate, acrylamide, methacrylamide, diacetone acrylamide, styrene, and vinyltoluene corresponding thereto.

【0019】(A)成分中のメタクリル酸又はアクリル
酸の共重合量としては、アルカリ現像性の点から、17
〜30重量%共重合させることが好ましい。17重量%
未満では、アルカリ現像性が劣る傾向があり、30重量
%を超えると、露光後の耐現像液性が劣る傾向がある。
The amount of methacrylic acid or acrylic acid copolymerized in the component (A) is 17
It is preferable to copolymerize by 30 to 30% by weight. 17% by weight
If it is less than 30%, the alkali developability tends to be inferior. If it exceeds 30% by weight, the developer resistance after exposure tends to be inferior.

【0020】(A)成分の使用によって、塗膜性や硬化
物の膜特性が向上し、その配合量は、(A)成分及び
(B)成分の総量を100重量部として、50〜70重
量部とすることが好ましい。この配合量が50重量部未
満では、光感度が低下する傾向があり、70重量部を超
えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。
The use of the component (A) improves the coating properties and the film properties of the cured product. The compounding amount is 50 to 70 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the components (A) and (B). It is preferable to use a part. If the amount is less than 50 parts by weight, the photosensitivity tends to decrease, and if it exceeds 70 parts by weight, the photocured product tends to become brittle.

【0021】また、(A)成分の重量平均分子量(GP
Cを用いて標準ポリスチレン換算で測定したもの)は、
20,000〜150,000とすることが好ましく、
40,000〜80,000とすることがより好まし
い。
The weight average molecular weight (GP) of the component (A)
C in terms of standard polystyrene)
20,000 to 150,000, preferably
It is more preferable to be 40,000 to 80,000.

【0022】エチレン性不飽和化合物((B)成分)と
しては、例えば、多価アルコールにα,β−不飽和カル
ボン酸を付加して得られる化合物(γ−クロロ−β−ヒ
ドロキシプロピル−β′−アクリロイルオキシエチル−
o−フタレート、トリメチロールプロパンジアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラ
メチロールメタントリアクリレート、ジペンタエリスリ
トールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサアクリレート等)、2,2−ビス[4−メタクリロ
キシ、ポリエトキシ)フェニル]プロパン、グリシジル
基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を付加して得
られる化合物(トリメチロールプロパントリグリシジル
エーテルトリアクリレート、ビスフェノールAジグリシ
ジルエーテルジアクリレート等)、アクリル酸のアルキ
ルエステル(メチルアクリレート、エチルアクリレー
ト、ブチルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリレ
ート等)、トリメチルヘキサメチレンジイソシアナート
と2価アルコールと2価のアクリル酸モノエステルとを
反応させて得られるウレタンジアクリレート、これらに
対応するメタクリレートなどが挙げられる。これらは単
独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
As the ethylenically unsaturated compound (component (B)), for example, a compound obtained by adding an α, β-unsaturated carboxylic acid to a polyhydric alcohol (γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′) -Acryloyloxyethyl-
o-phthalate, trimethylolpropane diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylol methane triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, etc.), 2,2-bis [4-methacryloxy, polyethoxy) phenyl] Compounds obtained by adding α, β-unsaturated carboxylic acid to propane and glycidyl group-containing compounds (trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, bisphenol A diglycidyl ether diacrylate, etc.), alkyl esters of acrylic acid (methyl acrylate) , Ethyl acrylate, butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, etc.), trimethylhexamethylene diisocyanate, dihydric alcohol and 2 Urethane diacrylate obtained by reacting a monovalent acrylic acid monoester, and methacrylate corresponding thereto. These are used alone or in combination of two or more.

【0023】(B)成分の配合量としては、(A)成分
及び(B)成分の総量を100重量部として、30〜5
0重量部とすることが好ましい。この配合量が30重量
部未満では、光硬化物が脆くなる傾向があり、50重量
部を超えると、光感度が低下する傾向がある。
The amount of the component (B) is from 30 to 5 based on 100 parts by weight of the total amount of the components (A) and (B).
It is preferably 0 parts by weight. If the amount is less than 30 parts by weight, the photocured product tends to be brittle, and if it exceeds 50 parts by weight, the photosensitivity tends to decrease.

【0024】光重合開始剤((C)成分)としては、例
えば、芳香族ケトン(ベンゾフェノン、N,N′−テト
ラメチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン、4−メ
トキシ−4′−ジメチルアミノベンゾフェノン、4,
4′−ジエチルアミノベンゾフェノン、2−エチルアン
トロキノン、フェナントレンキノン等)、ベンゾインエ
ーテル(ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチル
エーテル、ベンゾインフェニルエーテル等)、ベンゾイ
ン(メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等)、2,
4,5−トリアリールイミダゾール二量体(2−(o−
クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二
量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ビス(m
−メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−
フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール
二量体、2−(o−フェニル)−4,5−ジフェニルイ
ミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−
4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メ
トキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二
量体、2,4−ビス(p−メトキシフェニル)−5−フ
ェニルイミダゾール二量体、2−(2,4−ジメトキシ
フェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、
2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフ
ェニルイミダゾール二量体等)などが挙げられる。これ
らは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
Examples of the photopolymerization initiator (component (C)) include aromatic ketones (benzophenone, N, N'-tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone). , 4,
4'-diethylaminobenzophenone, 2-ethylanthroquinone, phenanthrenequinone, etc.), benzoin ether (benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether, etc.), benzoin (methyl benzoin, ethyl benzoin, etc.), 2,
4,5-triarylimidazole dimer (2- (o-
(Chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-bis (m
-Methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-
(Fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-phenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl)-
4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4-bis (p-methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer, -(2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer,
2- (p-methylmercaptophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer and the like. These are used alone or in combination of two or more.

【0025】(C)成分の配合量としては、(A)成分
及び(B)成分の総量100重量部に対して、0.1〜
10重量部とすることが好ましい。この配合量が0.1
重量部未満では、光感度が不十分となる傾向があり、1
0重量部を超えると、露光の際に感光性樹脂層の表面で
の光吸収が増大し、内部の光硬化が不十分となる傾向が
ある。
The amount of the component (C) is from 0.1 to 100 parts by weight of the total of the components (A) and (B).
Preferably it is 10 parts by weight. This compounding amount is 0.1
When the amount is less than the weight part, the light sensitivity tends to be insufficient,
If the amount exceeds 0 parts by weight, light absorption on the surface of the photosensitive resin layer at the time of exposure increases, and the photocuring inside tends to be insufficient.

【0026】本発明に用いられる感光性樹脂組成物に
は、加熱硬化性を高めるために、フィルム性付与ポリマ
ーのカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂及び/又
はエポキシ樹脂を、(A)成分及び(B)成分の総量1
00重量部に対して、1〜20重量部含有させることが
好ましい。
The photosensitive resin composition used in the present invention contains a melamine resin and / or an epoxy resin which thermally reacts with a carboxyl group of a film-imparting polymer in order to enhance the heat curability, by adding the components (A) and ( B) Total amount of components 1
It is preferable to add 1 to 20 parts by weight to 00 parts by weight.

【0027】これらを添加し、露光及び現像後に加熱す
ることによって、架橋密度、耐熱性等を著しく向上させ
ることができる。加熱条件として、加熱温度は130〜
200℃とすることが好ましく、加熱時間は30〜60
分とすることが好ましい。
By adding these and heating after exposure and development, the crosslinking density, heat resistance and the like can be significantly improved. As the heating condition, the heating temperature is 130 to
Preferably, the temperature is 200 ° C., and the heating time is 30 to 60.
Minutes.

【0028】本発明の感光性フィルム中の感光性樹脂層
の膜厚は、光硬化性、フィルター特性の点から、0.5
〜5.0μmとすることが好ましく、2.0〜3.0μ
mとすることがより好ましい。
The film thickness of the photosensitive resin layer in the photosensitive film of the present invention is 0.5 from the viewpoint of photocurability and filter characteristics.
To 5.0 μm, preferably 2.0 to 3.0 μm.
m is more preferable.

【0029】本発明に用いられる感光性樹脂層を挟持す
るフィルムの材質としては、感光性フィルムの製造時に
必要な耐熱性、耐溶剤性を有し、感光性樹脂層から剥離
可能なものであれば特に制限はなく、公知のフィルムを
使用できる。例えば、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム、ポリオレフィンフィルム(ポリエチレンフィル
ム、ポリプロピレンフィルム等)、ポリエステルフィル
ムなどが挙げられる。これらのフィルムは、巻きずれ防
止のための炭酸カルシウム等のフィラーを1〜30重量
%含有していてもよい。
The material of the film for sandwiching the photosensitive resin layer used in the present invention is a material having heat resistance and solvent resistance required for the production of the photosensitive film and which can be peeled off from the photosensitive resin layer. There is no particular limitation as long as a known film can be used. For example, a polyethylene terephthalate film, a polyolefin film (a polyethylene film, a polypropylene film, or the like), a polyester film, or the like can be used. These films may contain 1 to 30% by weight of a filler such as calcium carbonate for preventing unwinding.

【0030】本発明に用いられる2枚のフィルムの表面
平滑性は、Raが0.020μm以下、好ましくは0.
015μm以下、Rmaxが0.06μm以下、好ましく
は0.04μm以下であることを必須とする。ここで、
aは表面粗さを平均した値であり、Rmaxは最大の表面
粗さの値である。Ra及びRmaxは、JIS B 060
1に準拠して測定する。フィルムの表面からランダムに
抽出した少なくとも5箇所(1箇所の測定長さは2.5
mm)の表面粗さを測定し、その最大値をR maxとし、
少なくとも5箇所の表面粗さの相加平均をRaとする。
例えば、小坂研究所(株)製 サーフコーダー SE−
30Dを使用することにより容易に求めることができ
る。これらフィルムの表面平滑性が、Raが0.02μ
mを超えたり、或はRaが0.02μm以下であっても
maxが0.06μmを超えると、感光性樹脂層に表面
荒れが発生し、平坦性に優れたブラックマトリックス基
板が得られなくなる。このように表面平滑性が優れたフ
ィルムは、例えば、フィルム製造の際のフィラーの使用
量を極めて少なくすること等により製造することができ
る。
The surface of the two films used in the present invention
The smoothness is RaIs 0.020 μm or less, preferably 0.1 μm.
015 μm or less, RmaxIs 0.06 μm or less, preferably
Must be 0.04 μm or less. here,
RaIs the average value of the surface roughness, and RmaxIs the largest surface
It is a value of roughness. RaAnd RmaxIs JIS B 060
Measure according to 1. Randomly from the film surface
At least 5 points extracted (one measurement length is 2.5
mm) and measure the maximum value of the surface roughness as R maxage,
The arithmetic mean of the surface roughness of at least five points is RaAnd
For example, Kosaka Laboratory Co., Ltd. Surfcoder SE-
It can be easily obtained by using 30D
You. The surface smoothness of these films is RaIs 0.02μ
m or RaIs less than 0.02 μm
RmaxExceeds 0.06 μm, the photosensitive resin layer
Black matrix base that is rough and has excellent flatness
The board cannot be obtained. A fan with excellent surface smoothness
Films, for example, use fillers in film production.
It can be manufactured by minimizing the amount
You.

【0031】上記の表面平滑性を有する市販のフィルム
としては、例えば、帝人(株)製テトロンフィルムM5
R(商品名)、デュポン社製マイラー92D(商品名)
等が挙げられる。
Commercially available films having the above-mentioned surface smoothness include, for example, Tetron Film M5 manufactured by Teijin Limited.
R (trade name), DuPont Mylar 92D (trade name)
And the like.

【0032】本発明においては、フィルムAとして透明
なフィルム、例えば透明性に優れたポリエチレンテレフ
タレートフィルムを用いることが好ましい。透明なフィ
ルムAを除去せずに感光性樹脂層をブラックマトリック
ス基板上に貼り付け、フィルムA上から露光することに
より、露光時の感光性樹脂層表面の酸化や損傷を防ぐこ
とができ、より平坦性に優れるブラックマトリックス基
板を得ることができる。
In the present invention, it is preferable to use a transparent film as the film A, for example, a polyethylene terephthalate film having excellent transparency. By sticking the photosensitive resin layer on the black matrix substrate without removing the transparent film A and exposing from the film A, it is possible to prevent oxidation and damage of the photosensitive resin layer surface at the time of exposure, A black matrix substrate having excellent flatness can be obtained.

【0033】フィルムAの膜厚は、塗工性、作業性、解
像度等の点で、5〜100μmであることが好ましく、
5〜30μmであることがより好ましい。
The thickness of the film A is preferably from 5 to 100 μm from the viewpoint of coating properties, workability, resolution and the like.
More preferably, it is 5 to 30 μm.

【0034】フィルムBの膜厚は、塗工性、作業性の点
で、5〜100μmであることが好ましく、20〜30
μmであることがより好ましい。
The thickness of the film B is preferably from 5 to 100 μm from the viewpoint of coatability and workability, and is preferably from 20 to 30 μm.
More preferably, it is μm.

【0035】本発明の感光性フィルムは、例えば、本発
明の方法に従い、感光性樹脂組成物をフィルムAの片面
に塗工し、乾燥させて感光性樹脂層を形成し、感光性樹
脂層上にフィルムBをラミネートすることにより製造す
ることができる。勿論、フィルムA及びフィルムBとし
ては、Raが0.020μm以下、好ましくは0.01
5μm以下、Rmaxが0.06μm以下、好ましくは
0.04μm以下であるフィルムを用いる。
The photosensitive film of the present invention is prepared, for example, by coating a photosensitive resin composition on one side of a film A according to the method of the present invention, and drying to form a photosensitive resin layer. It can be manufactured by laminating the film B on the surface. Of course, as the film A and the film B, Ra is 0.020 μm or less, preferably 0.01 μm or less.
A film having 5 μm or less and R max of 0.06 μm or less, preferably 0.04 μm or less is used.

【0036】感光性樹脂組成物をフィルムAの片面に塗
工する方法としては、特に制限はなく、常法により行う
ことができるが、例えば、感光性樹脂組成物を有機溶剤
に溶解させて塗工液とし、グラビアコート法、ナイフコ
ート法、ローリーコート法、スレートコート法などによ
りフィルムA上に塗布する方法などが挙げられる。特
に、塗膜の均一性の点で、グラビアコーターを用いたリ
バースコート法が好ましい。有機溶剤としては、例え
ば、トルエン、アセトン、メチルエチルケトン、メチル
イソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、クロロホルム、塩化メチレン、ジメチルホルムアミ
ド、メタノール、エタノール等が挙げられ、これらは、
単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。
The method for coating the photosensitive resin composition on one side of the film A is not particularly limited and can be carried out by a conventional method. For example, the photosensitive resin composition is dissolved in an organic solvent and applied. Examples of the method include a method of applying a working liquid to the film A by a gravure coating method, a knife coating method, a lorry coating method, a slate coating method, or the like. In particular, a reverse coating method using a gravure coater is preferable from the viewpoint of uniformity of the coating film. Examples of the organic solvent include toluene, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, chloroform, methylene chloride, dimethylformamide, methanol, ethanol and the like.
Used alone or in combination of two or more.

【0037】乾燥は、例えば、フィルムAへの塗工液の
塗布操作の後、乾燥機を用いて加熱することによって行
うことができる。加熱温度は60〜150℃とすること
が好ましく、80〜120℃とすることがより好まし
い。加熱温度が60℃未満では、感光性樹脂層の中に多
量の有機溶剤が残存する傾向があり、150℃を超える
と感光性樹脂層が変色する傾向がある。加熱時間は20
秒〜10分間とすることが好ましく、1分〜5分間とす
ることがより好ましい。加熱時間が20秒未満では、感
光性樹脂層の中に多量の有機溶剤が残存する傾向があ
り、10分を超えると感光性樹脂層が変色する傾向があ
る。
The drying can be carried out, for example, by applying a coating solution to the film A and then heating it using a dryer. The heating temperature is preferably from 60 to 150 ° C, more preferably from 80 to 120 ° C. If the heating temperature is lower than 60 ° C., a large amount of the organic solvent tends to remain in the photosensitive resin layer, and if it exceeds 150 ° C., the photosensitive resin layer tends to be discolored. Heating time is 20
The time is preferably from 10 seconds to 10 minutes, more preferably from 1 minute to 5 minutes. If the heating time is less than 20 seconds, a large amount of the organic solvent tends to remain in the photosensitive resin layer, and if it exceeds 10 minutes, the photosensitive resin layer tends to be discolored.

【0038】このようにしてフィルムA上に感光性樹脂
層を形成した後、フィルムBを感光性樹脂層上にラミネ
ートして本発明の感光性フィルムを得る。
After forming the photosensitive resin layer on the film A in this manner, the film B is laminated on the photosensitive resin layer to obtain the photosensitive film of the present invention.

【0039】本発明の感光性フィルムを用い、ブラック
マトリックス基板上に感光性樹脂層貼り付け、露光及び
必要に応じて現像することにより、ブラックマトリック
ス基板上のブラックマトリックスによる凹凸を解消する
ことができ、平坦性に優れたブラックマトリックス基板
を得ることができる。
By using the photosensitive film of the present invention, a photosensitive resin layer is stuck on a black matrix substrate, exposed and developed if necessary, unevenness due to the black matrix on the black matrix substrate can be eliminated. Thus, a black matrix substrate having excellent flatness can be obtained.

【0040】本発明のカラーフィルターの第一の製造法
は、上記のようにして表面を平坦化したブラックマトリ
ックス基板を用いる方法であり、一方の面にブラックマ
トリックスを有する透明基板上に、本発明の感光性フィ
ルムを、フィルムBを剥がしながら、感光性樹脂層をブ
ラックマトリックスが形成された面に密着させて貼り合
わせ、感光性樹脂層上の透明なフィルムAを介して活性
光線を照射して感光性樹脂層を露光し、フィルムAを除
去した後、感光性樹脂層上に画素を形成することからな
る。
The first method for producing the color filter of the present invention is a method using a black matrix substrate whose surface is flattened as described above, and the present invention is applied to a transparent substrate having a black matrix on one surface. While peeling off the film B of the photosensitive film, the photosensitive resin layer is adhered to the surface on which the black matrix is formed and adhered, and irradiated with actinic rays through the transparent film A on the photosensitive resin layer. After exposing the photosensitive resin layer and removing the film A, pixels are formed on the photosensitive resin layer.

【0041】透明基板としては、例えば、ITO電極を
設けたガラス基板等が好適に用いられる。ブラックマト
リックスとしては、例えば、クロム蒸着により形成され
たクロムブラックマトリックス、黒色着色剤を含む樹脂
材料で形成された樹脂ブラックマトリックス等が挙げら
れる。
As the transparent substrate, for example, a glass substrate provided with an ITO electrode is preferably used. Examples of the black matrix include a chrome black matrix formed by chromium evaporation, a resin black matrix formed of a resin material containing a black colorant, and the like.

【0042】感光性フィルムとしては、感光性樹脂層が
ブラックマトリックスの厚みと同じか又はより厚いもの
を用いる。感光性樹脂層は、通常、露光時の硬化による
収縮や現像によって若干厚みが減少する。従って、感光
性樹脂層をブラックマトリックスの厚みよりも1〜5μ
m厚くし、露光後の感光性樹脂層の基板面からの厚みが
ブラックマトリックスの厚みと同じか、又はブラックマ
トリックスの厚みよりも0.1〜0.5μm、好ましく
は0.2〜0.3μm厚くなるようにすることが好まし
い。
As the photosensitive film, a photosensitive resin layer having a thickness equal to or larger than the thickness of the black matrix is used. Usually, the thickness of the photosensitive resin layer is slightly reduced due to contraction or development due to curing at the time of exposure. Therefore, the photosensitive resin layer is 1 to 5 μm thicker than the thickness of the black matrix.
m, the thickness of the photosensitive resin layer from the substrate surface after exposure is the same as the thickness of the black matrix, or 0.1 to 0.5 μm, preferably 0.2 to 0.3 μm, greater than the thickness of the black matrix. It is preferable to make it thicker.

【0043】感光性フィルムをフィルムBを剥がしなが
ら、感光性樹脂層をブラックマトリックスが形成された
面に密着させてブラックマトリックス基板に貼り合わせ
る際には、感光性樹脂層を加熱しながら基板に圧着させ
ることが好ましい。感光性樹脂層の加熱温度は、通常、
90〜130℃とすることが好ましく、圧着圧力は、通
常、1.0〜10kgf/cm2とすることが好まし
い。ロールを用いる場合には、90〜130℃に加熱し
たロールを用い、ロール速度を、線速度2〜10m/m
inとすることが好ましい。また、感光性樹脂層とブラ
ックマトリックス基板との密着性をより向上させるため
には、ブラックマトリック基板も予備加熱しておくこと
が好ましい。このような加熱圧着を行う方法としては、
感光性フィルムをラミネートする際に一般に用いられる
ラミネーターを使用する方法が好適である。
When the photosensitive resin layer is adhered to the black matrix substrate while the photosensitive film is peeled off the film B and bonded to the black matrix substrate, the photosensitive resin layer is heated and pressed against the substrate. Preferably. The heating temperature of the photosensitive resin layer is usually
The pressure is preferably from 90 to 130 ° C., and the pressing pressure is usually preferably from 1.0 to 10 kgf / cm 2 . When a roll is used, a roll heated to 90 to 130 ° C. is used, and the roll speed is set to a linear speed of 2 to 10 m / m.
It is preferably set to in. In order to further improve the adhesion between the photosensitive resin layer and the black matrix substrate, it is preferable that the black matrix substrate is also preliminarily heated. As a method of performing such thermocompression bonding,
A method using a laminator generally used when laminating a photosensitive film is preferred.

【0044】図1は本発明の第一のカラーフィルターの
製造法の一態様を示す模式図であり、図1(a)は、上
記のようにして本発明の貼り合わせ工程を終えた状態を
示している。ブラックマトリックス基板のブラックマト
リックス4が形成された面に、感光性樹脂層2が密着し
て貼り合わされている。この方法では、感光性樹脂層2
から剥離されずに残っているフィルムAとしては、透明
なフィルムが用いられる。ブラックマトリックス基板上
の感光性樹脂層2の厚みはブラックマトリックス4の厚
みより厚く、ブラックマトリックス4の上面を覆って平
坦な上面を形成している。
FIG. 1 is a schematic view showing one embodiment of the method for producing the first color filter of the present invention, and FIG. 1 (a) shows a state after the laminating step of the present invention as described above. Is shown. The photosensitive resin layer 2 is closely adhered to the surface of the black matrix substrate on which the black matrix 4 is formed. In this method, the photosensitive resin layer 2
A transparent film is used as the film A remaining without being peeled from the film. The thickness of the photosensitive resin layer 2 on the black matrix substrate is larger than the thickness of the black matrix 4 and covers the upper surface of the black matrix 4 to form a flat upper surface.

【0045】次いで、図1(b)に示すように、透明な
フィルムAを介して、活性光線5を照射し、感光性樹脂
層2を全面露光する。活性光線としては、公知の活性光
線が利用でき、通常、波長300〜450nmの光が使
用される。光源としては、カーボンアーク灯、水銀蒸気
アーク灯、キセノンアーク灯などが使用される。上記の
本発明に好適な感光性樹脂組成物を用いる場合、露光量
は、通常10〜200mJ/cm2とすることが好まし
い。
Next, as shown in FIG. 1B, the photosensitive resin layer 2 is entirely exposed by irradiation with actinic rays 5 through a transparent film A. As the actinic ray, known actinic rays can be used, and usually, light having a wavelength of 300 to 450 nm is used. As a light source, a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, a xenon arc lamp, or the like is used. When the photosensitive resin composition suitable for the present invention is used, the exposure amount is usually preferably from 10 to 200 mJ / cm 2 .

【0046】露光後、フィルムAを除去することによ
り、図1(c)に示すように、感光性樹脂層2によって
ブラックマトリックスによる凹凸が解消され、表面平坦
化されたブラックマトリックス基板が得られる。ブラッ
クマトリックス基板上の感光性樹脂層2は、露光による
硬化の結果、若干収縮し、厚みが薄くなっている。
After the exposure, by removing the film A, as shown in FIG. 1 (c), the unevenness due to the black matrix is eliminated by the photosensitive resin layer 2, and a black matrix substrate having a flat surface is obtained. The photosensitive resin layer 2 on the black matrix substrate slightly shrinks and becomes thin as a result of curing by exposure.

【0047】次いで、ブラックマトリックス基板上の露
光後の感光性樹脂層上に所定の着色画素をモザイク状等
の所定の配置で形成することにより、カラーフィルター
が得られる。図1(d)では、平坦な感光性樹脂層
(2)の上に赤色画素R、緑色画素G及び青色画素Bが
形成されている。画素の形成方法は特に限定されず、ス
ピンコート法、電着法、フィルム法、印刷法など、公知
の方法によって形成することができる。
Next, by forming predetermined colored pixels in a predetermined arrangement such as a mosaic pattern on the exposed photosensitive resin layer on the black matrix substrate, a color filter is obtained. In FIG. 1D, a red pixel R, a green pixel G, and a blue pixel B are formed on a flat photosensitive resin layer (2). The method for forming the pixel is not particularly limited, and the pixel can be formed by a known method such as a spin coating method, an electrodeposition method, a film method, and a printing method.

【0048】本発明の第二のカラーフィルターの製造法
は、一方の面にブラックマトリックスを有する透明基板
上に、本発明の感光性フィルムを、フィルムBを剥がし
ながら、感光性樹脂層をブラックマトリックスが形成さ
れた面に密着させて貼り合わせ、ブラックマトリックス
基板を介して活性光線を照射して感光性樹脂層を露光
し、フィルムAを除去し、現像により感光性樹脂層のブ
ラックマトリックス上の部分を除去した後、現像した感
光性樹脂層上に画素を形成することからなる。この方法
は、画素の形成を印刷法によって行うのに特に適してい
る。
In the second method for producing a color filter of the present invention, the photosensitive resin layer of the present invention is applied to a transparent substrate having a black matrix on one surface while the photosensitive resin layer is peeled off while the film B is peeled off. The photosensitive resin layer is exposed to active light through a black matrix substrate to expose the photosensitive resin layer, the film A is removed, and a portion of the photosensitive resin layer on the black matrix is developed. , And forming pixels on the developed photosensitive resin layer. This method is particularly suitable for forming a pixel by a printing method.

【0049】図2は、この第二の方法を説明する模式図
であり、図2(a)は、ブラックマトリックス基板上
に、本発明の感光性フィルムをフィルムBを剥離して貼
り合わせた状態を示している。図2(b)は、その後の
露光工程を示しており、第一の方法と異なり、透明基板
3を介して活性光線5を感光性樹脂層2に照射してい
る。この方法では、ブラックマトリックス4がマスクと
なり、露光後フィルムAを除去した状態を示す図2
(c)において、感光性樹脂層2のブラックマトリック
ス4上の部分は未硬化の状態で残る。
FIG. 2 is a schematic view for explaining the second method. FIG. 2A shows a state in which the photosensitive film of the present invention is peeled off and adhered to a black matrix substrate. Is shown. FIG. 2B shows a subsequent exposure step, in which the active resin 5 is irradiated to the photosensitive resin layer 2 via the transparent substrate 3 unlike the first method. In this method, the black matrix 4 serves as a mask, and the film A after exposure is shown in FIG.
In (c), the portion of the photosensitive resin layer 2 on the black matrix 4 remains uncured.

【0050】フィルムAを除去した後、現像を行う。現
像液としては、安全かつ安定であり、操作性が良好なも
のであれば特に制限はない。上記の本発明に好ましい感
光性樹脂組成物を用いた場合には、クロロセン、トルエ
ン、アセトン等の有機溶剤や、水酸化ナトリウム、炭酸
ナトリウム等のアルカリの水溶液などが挙げられる。環
境への影響が少ない点から、アルカリ水溶液を用いるこ
とが好ましい。現像方法は、特に限定されるものではな
く、公知の現像方法が使用できる。例えば、ディップ方
式、パドル方式、高圧スプレー方式、ブラッシング、ス
クラッビング等が挙げられ、解像度が良好という点か
ら、高圧スプレー方式が好ましい。
After removing the film A, development is performed. The developer is not particularly limited as long as it is safe and stable and has good operability. When the photosensitive resin composition preferable for the present invention is used, examples thereof include an organic solvent such as chlorocene, toluene and acetone, and an aqueous solution of an alkali such as sodium hydroxide and sodium carbonate. It is preferable to use an alkaline aqueous solution because it has little effect on the environment. The developing method is not particularly limited, and a known developing method can be used. For example, a dip method, a paddle method, a high-pressure spray method, brushing, scrubbing and the like can be mentioned, and a high-pressure spray method is preferable in terms of good resolution.

【0051】図2(e)は、現像後のブラックマトリッ
クス基板を示しており、現像後残った硬化した感光性樹
脂層2は、ブラックマトリックス4に接している部分が
若干他の部分よりも厚くなっている。これは、露光時の
活性光線の回折や、感光性樹脂層の露光部の硬化時の収
縮によって生じる現象である。
FIG. 2E shows the black matrix substrate after development, and the cured photosensitive resin layer 2 remaining after development has a portion in contact with the black matrix 4 which is slightly thicker than other portions. Has become. This is a phenomenon caused by diffraction of actinic rays at the time of exposure and contraction of the exposed portion of the photosensitive resin layer at the time of curing.

【0052】次いで、例えば図2(e)に示すように、
ブラックマトリックス基板上の感光性樹脂層2上に画素
(R,G,B)を形成して、カラーフィルターとする。
この第二の製造法は、画素をスクリーン印刷などの印刷
法により形成するのに特に適している。即ち、印刷法で
は各色画素に必要な光学特性を有するインキを各色毎に
感光性樹脂層2上に転写などにより載置し、画素を形成
するが、感光性樹脂層2の周辺が若干他の部分より肉厚
になっていることから、各画素のインキがブラックマト
リックス4や隣接画素の上にはみ出すことがなく混色が
防止され、にじみのない鮮明な画像を表示することがで
きる。なお、この方法においては、露光による硬化後の
感光性樹脂層の厚み(透明基板3からの厚み)をSと
し、ブラックマトリックスの厚みをTとしたとき、(S
−T)=0〜3μm、となるようにすることが好まし
く、0.1〜0.5μmとなるようにすることがより好
ましい。(S−T)が3μmを超えると、色層とブラッ
クマトリックスの間隔が広がり、画素のエッジ部から光
もれが発生し、良好な画像表示が得られなくなることが
ある。
Next, for example, as shown in FIG.
Pixels (R, G, B) are formed on the photosensitive resin layer 2 on the black matrix substrate to form a color filter.
This second manufacturing method is particularly suitable for forming pixels by a printing method such as screen printing. That is, in the printing method, ink having optical characteristics necessary for each color pixel is placed on the photosensitive resin layer 2 for each color by transfer or the like to form pixels, but the periphery of the photosensitive resin layer 2 is slightly different from that of the other pixels. Since it is thicker than the portion, the ink of each pixel does not protrude above the black matrix 4 and the adjacent pixels, preventing color mixing and displaying a clear image without bleeding. In this method, when the thickness of the photosensitive resin layer after curing by exposure (the thickness from the transparent substrate 3) is S and the thickness of the black matrix is T, (S
−T) = 0 to 3 μm, more preferably 0.1 to 0.5 μm. If (ST) exceeds 3 μm, the distance between the color layer and the black matrix increases, light leaks from the edges of the pixels, and good image display may not be obtained.

【0053】[0053]

【実施例】以下、実施例によって本発明を説明する。The present invention will be described below by way of examples.

【0054】実施例1 表1の配合に従い、均一に溶解した塗液を得た。得られ
た塗液を表2のフィルム1(フィルムA)上に、均一な
膜厚で塗布し、100℃の乾燥機で2分間乾燥した後、
その上にフィルム1(フィルムB)を貼り合わせて、感
光性樹脂層の膜厚が3.0μmの透明な感光性フィルム
を得た。
Example 1 According to the composition shown in Table 1, a uniformly dissolved coating liquid was obtained. The obtained coating liquid was applied on film 1 (film A) in Table 2 in a uniform film thickness and dried for 2 minutes in a dryer at 100 ° C.
Film 1 (film B) was laminated thereon to obtain a transparent photosensitive film having a photosensitive resin layer thickness of 3.0 μm.

【0055】ブラックマトリックス(厚み:1.3μ
m、線幅:23μm、格子サイズ:100μm×300
μm)を形成したガラス基板を80℃で10分間加熱し
た後、得られた感光性フィルムをフィルムBを剥がしな
がら、感光性樹脂層をブラックマトリックス基板のブラ
ックマトリックスを形成した面に向けて、ブラックマト
リックス基板上に下記条件でラミネートした。ロール温
度:80℃、ロール圧力:4.0kgf/cm2、ロー
ル速度:1.5m/min次いで、フィルムA上から露
光機((株)オーク製作所、HMW−201B、3k
W、超高圧水銀灯)を用い、50mJ/cm2で全面露
光した。次いで、フィルムAを除去したところ、感光性
樹脂層の厚みはブラックマトリックス基板のガラス基板
面から1.5μmであり、図1(c)に示すような平坦
な表面を有していた。得られたブラックマトリックス基
板は、Ra=0.05μm、Rmax=0.05μmであ
り、平坦性に優れた表面荒れのないものであった。
Black matrix (thickness: 1.3 μm)
m, line width: 23 μm, lattice size: 100 μm × 300
μm) was heated at 80 ° C. for 10 minutes, and while the resulting photosensitive film was peeled off the film B, the photosensitive resin layer was turned toward the surface of the black matrix substrate where the black matrix was formed. The laminate was laminated on a matrix substrate under the following conditions. Roll temperature: 80 ° C., roll pressure: 4.0 kgf / cm 2 , roll speed: 1.5 m / min Then, from the top of film A, an exposure machine (Oak Manufacturing Co., Ltd., HMW-201B, 3k)
W, an ultra-high pressure mercury lamp), and the whole surface was exposed at 50 mJ / cm 2 . Next, when the film A was removed, the thickness of the photosensitive resin layer was 1.5 μm from the glass substrate surface of the black matrix substrate, and had a flat surface as shown in FIG. The obtained black matrix substrate had R a = 0.05 μm and R max = 0.05 μm, and had excellent flatness and no surface roughness.

【0056】得られたブラックマトリックス基板上に、
印刷法を用いて画素を形成し、カラーフィルターを得
た。
On the obtained black matrix substrate,
Pixels were formed using a printing method to obtain a color filter.

【0057】得られたカラーフィルターを用いて液晶表
示素子を作製し、画像表示を行ったところ、画像はボケ
のない鮮明なものであった。
A liquid crystal display device was manufactured using the obtained color filter, and an image was displayed. The image was clear without blur.

【0058】比較例1 感光性フィルムのフィルムBとして表2のフィルム3を
用いた以外は実施例1と同様にして、ブラックマトリッ
クス基板を作製した。得られたブラックマトリックス基
板の表面は、Ra=0.1μm、Rmax=0.4μmであ
り、荒れていた。
Comparative Example 1 A black matrix substrate was prepared in the same manner as in Example 1 except that the film 3 in Table 2 was used as the photosensitive film B. The surface of the obtained black matrix substrate was rough with R a = 0.1 μm and R max = 0.4 μm.

【0059】このブラックマトリックス基板を用いて実
施例1と同様にして液晶表示素子を作製し、画像表示を
行ったところ、画像はボケがあり、実用に耐えないもの
であった。
Using this black matrix substrate, a liquid crystal display device was manufactured in the same manner as in Example 1, and an image was displayed. The image was blurred and was not practical.

【0060】比較例2 感光性フィルムのフィルムAとして表2のフィルム2を
用いた以外は実施例1と同様にして、ブラックマトリッ
クス基板を作製した。得られたブラックマトリックス基
板の表面は、Ra=0.1μm、Rmax=0.3μmであ
り、荒れていた。
Comparative Example 2 A black matrix substrate was produced in the same manner as in Example 1 except that the film A in Table 2 was used as the photosensitive film A. The surface of the obtained black matrix substrate was rough with R a = 0.1 μm and R max = 0.3 μm.

【0061】このブラックマトリックス基板を用いて実
施例1と同様にして液晶表示素子を作製し、画像表示を
行ったところ、画像はボケがあり、実用に耐えないもの
であった。
Using this black matrix substrate, a liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1, and an image was displayed. The image was blurred and was not practical.

【0062】[0062]

【表1】 [Table 1]

【0063】[0063]

【表2】 *Ra及びRmaxは、小坂研究所(株)製の表面粗さ計
サーフコーダー SE−30Dにより、プローブ(針)
の移動距離2.5mm、移動速度0.1mm/秒として
測定した。
[Table 2] * Ra and Rmax are surface roughness meters manufactured by Kosaka Laboratory Co., Ltd.
Probe (needle) by Surfcoder SE-30D
Was measured at a moving distance of 2.5 mm and a moving speed of 0.1 mm / sec.

【0064】PET(M5R): ポリエチレンテレフ
タレートフィルム PET(GS): ポリエチレンテレフタレートフィル
ム PE(N51P): ポリエチレンフィルム
PET (M5R): polyethylene terephthalate film PET (GS): polyethylene terephthalate film PE (N51P): polyethylene film

【0065】[0065]

【発明の効果】本発明の感光性フィルムをカラーフィル
ター用ブラックマトリックス基板の平坦化に用いること
により、ブラックマトリックスによる凹凸が解消され、
しかも表面平坦性に極めた優れたブラックマトリックス
基板を得ることができる。
By using the photosensitive film of the present invention for flattening a black matrix substrate for a color filter, unevenness due to the black matrix is eliminated.
Moreover, an excellent black matrix substrate having excellent surface flatness can be obtained.

【0066】また、本発明の製造法により、上記感光性
フィルムを用いて平坦化したブラックマトリックス基板
を用いて作製されるカラーフィルターは、画素欠陥や混
色、画像のボケがなく、鮮明な画像表示を可能にするも
のである。
The color filter produced by the production method of the present invention using a black matrix substrate flattened by using the above-mentioned photosensitive film has a clear image display without pixel defects, color mixing and image blur. Is what makes it possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のカラーフィルターの製造法の一態様を
説明する模式図。
FIG. 1 is a schematic view illustrating one embodiment of a method for manufacturing a color filter of the present invention.

【図2】本発明のカラーフィルターの製造法の他の一態
様を説明する模式図。
FIG. 2 is a schematic view illustrating another embodiment of the method for producing a color filter of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 フィルムA 2 感光性樹脂層 3 透明基板 4 ブラックマトリックス 5 活性光線 R 赤色画素 G 緑色画素 B 青色画素 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Film A 2 Photosensitive resin layer 3 Transparent substrate 4 Black matrix 5 Active ray R Red pixel G Green pixel B Blue pixel

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古林 寛巳 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 Fターム(参考) 2H042 AA06 AA08 AA26 2H048 BA11 BB02 BB28 BB42 2H091 FA02Y FA35Y FC01 FC10 FD15 GA01 GA16 LA12  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Hiromi Kobayashi F-term (reference) in Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Factory 4-13-1, Higashicho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture 2H042 AA06 AA08 AA26 2H048 BA11 BB02 BB28 BB42 2H091 FA02Y FA35Y FC01 FC10 FD15 GA01 GA16 LA12

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 感光性樹脂組成物を含有する感光性樹脂
層をフィルムA及びフィルムBで挟持してなる感光性フ
ィルムであって、フィルムA及びフィルムBがRa
0.020μm以下、Rmaxが0.06μm以下の表面
平滑性を有するものであるカラーフィルター用ブラック
マトリックス基板平坦化用感光性フィルム。
1. A photosensitive film comprising a photosensitive resin layer containing a photosensitive resin composition sandwiched between a film A and a film B, wherein the film A and the film B have Ra of 0.020 μm or less, A photosensitive film for flattening a black matrix substrate for a color filter, having a surface smoothness having a max of 0.06 μm or less.
【請求項2】 感光性樹脂組成物が、(A)アクリル酸
又はメタクリル酸とエチレン性不飽和化合物との共重合
体であり、重量平均分子量が20,000〜150,0
00のフィルム性付与ポリマー50〜70重量部、
(B)エチレン性不飽和化合物30〜50重量部(ただ
し、(A)成分及び(B)成分の総量は100重量部で
ある)及び(C)(A)成分及び(B)成分の総量10
0重量部に対して光重合開始剤0.1〜10重量部を含
有するものである請求項1記載の感光性フィルム。
2. The photosensitive resin composition is (A) a copolymer of acrylic acid or methacrylic acid and an ethylenically unsaturated compound, and has a weight average molecular weight of 20,000 to 150,000.
50 to 70 parts by weight of a film-imparting polymer of 00,
(B) 30 to 50 parts by weight of the ethylenically unsaturated compound (however, the total amount of the component (A) and the component (B) is 100 parts by weight) and the total amount of the component (C) (A) and the component (B) is 10
2. The photosensitive film according to claim 1, which contains 0.1 to 10 parts by weight of a photopolymerization initiator based on 0 parts by weight.
【請求項3】 フィルムAが透明なフィルムである請求
項1又は2記載の感光性フィルム。
3. The photosensitive film according to claim 1, wherein the film A is a transparent film.
【請求項4】 感光性樹脂組成物をフィルムAの片面に
塗工し、乾燥させて感光性樹脂層を形成し、感光性樹脂
層上にフィルムBをラミネートするカラーフィルター用
ブラックマトリックス基板平坦化用感光性フィルムの製
造法において、フィルムA及びフィルムBがRaが0.
020μm以下、Rmaxが0.06μm以下の表面平滑
性を有するものであることを特徴とするカラーフィルタ
ー用ブラックマトリックス基板平坦化用感光性フィルム
の製造法。
4. A black matrix substrate for a color filter, in which a photosensitive resin composition is applied to one side of a film A, dried to form a photosensitive resin layer, and a film B is laminated on the photosensitive resin layer. In the method for producing a photosensitive film for use, the film A and the film B have Ra of 0.
A method for producing a photosensitive film for flattening a black matrix substrate for a color filter, wherein the photosensitive film has a surface smoothness of 020 μm or less and R max of 0.06 μm or less.
【請求項5】 一方の面にブラックマトリックスを有す
る透明基板上に、請求項3記載の感光性フィルムを、フ
ィルムBを剥がしながら、感光性樹脂層をブラックマト
リックスが形成された面に密着させて貼り合わせ、感光
性樹脂層上の透明なフィルムAを介して活性光線を照射
して感光性樹脂層を露光し、フィルムAを除去した後、
感光性樹脂層上に画素を形成することを特徴とするカラ
ーフィルターの製造法。
5. The photosensitive film according to claim 3, wherein the photosensitive resin layer is brought into close contact with the surface on which the black matrix is formed while peeling off the film B on a transparent substrate having a black matrix on one surface. After laminating, exposing the photosensitive resin layer by irradiating with actinic rays through the transparent film A on the photosensitive resin layer and removing the film A,
A method for producing a color filter, wherein pixels are formed on a photosensitive resin layer.
【請求項6】 一方の面にブラックマトリックスを有す
る透明基板上に、請求項1又は2記載の感光性フィルム
を、フィルムBを剥がしながら、感光性樹脂層をブラッ
クマトリックスが形成された面に密着させて貼り合わ
せ、ブラックマトリックス基板を介して活性光線を照射
して感光性樹脂層を露光し、フィルムAを除去し、現像
により感光性樹脂層のブラックマトリックス上の部分を
除去した後、現像した感光性樹脂層上に画素を形成する
ことを特徴とするカラーフィルターの製造法。
6. The photosensitive film according to claim 1 or 2, wherein the photosensitive resin layer is adhered to the surface on which the black matrix is formed while peeling off the film B on a transparent substrate having a black matrix on one surface. The photosensitive resin layer was exposed to active light through a black matrix substrate to expose the photosensitive resin layer, the film A was removed, and a portion of the photosensitive resin layer on the black matrix was removed by development, followed by development. A method for producing a color filter, wherein pixels are formed on a photosensitive resin layer.
【請求項7】 画素の形成を印刷法により行う請求項6
記載の方法。
7. The method according to claim 6, wherein the pixels are formed by a printing method.
The described method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN113365825A (en) * 2018-12-06 2021-09-07 日涂汽车涂料有限公司 Decorative laminated member and method for producing decorative molded article

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