JP2000043265A - インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents

インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置

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JP2000043265A
JP2000043265A JP10219076A JP21907698A JP2000043265A JP 2000043265 A JP2000043265 A JP 2000043265A JP 10219076 A JP10219076 A JP 10219076A JP 21907698 A JP21907698 A JP 21907698A JP 2000043265 A JP2000043265 A JP 2000043265A
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piezoelectric
ink
ink jet
pressure chamber
driving
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JP10219076A
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English (en)
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Masahiro Ono
正裕 小野
Masayuki Sasaki
正幸 佐々木
Akihiko Miyaki
明彦 宮木
Akira Iwaishi
晃 岩石
Takumi Kawamura
匠 川村
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造が容易で飛翔特性の優れたインクジェッ
トヘッドを提供することである。 【解決手段】 インクジェットヘッドであって、変位部
を有する圧電素子と、圧電素子と協働して共通インク室
と複数の圧力室を画成する圧電素子に接着された圧力室
板と、それぞれ各圧力室に連通する複数のノズルを有
し、圧電素子及び圧力室板に接着されたノズル板とを含
んでいる。各圧力室は断面が概略正方形の複数のインク
供給路を介して共通インク室に接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ド及び該ヘッドを使用したインクジェット記録装置に関
する。
【0002】デスクトップタイプのノンインパクト記録
装置の代表的なものとして、製造が簡単でフルカラー化
を容易に実現し得るという理由により、インクジェット
記録装置が注目されている。
【0003】
【従来の技術】インクジェット記録装置の記録ヘッドに
は多数の圧力室が設けられ、各圧力室にはアクチュエー
タとして例えば圧電素子や発熱抵抗体が組み込まれてい
る。各圧力室はノズル板によって部分的に画成され、ノ
ズル板には各圧力室に対応した複数のノズルが形成され
ている。
【0004】各圧力室には共通インク室からインクが供
給され、アクチュエータを作動させると対応する圧力室
内に圧力波が生じて、ノズルからインク滴が噴射させら
れ、これにより紙等の記録媒体上にドット記録が行われ
る。
【0005】現状のインクジェットヘッドにおいては、
ノズル中及びインク供給路中のインクの質量比は約1:
1〜1:2の範囲内が好ましい。また、印字速度及び解
像度等を考えると、ノズル径はおよそ30μm程度が好
ましい。
【0006】これらの条件に合うように1本のインク供
給路の寸法を決定しようとした場合、断面形状が円形又
は正方形であるとインク供給路の長さは100μm以下
となる。
【0007】断面正方形で長さ100μm以上のインク
供給路では、インク供給路の粘性が小さ過ぎてノズル中
と供給路中のインクのバランスが悪化する。よって、長
さ100μm以上のインク供給路の場合は、インク供給
路の断面形状は長方形になる。
【0008】図1(A)及び図1(B)はインク供給路
の長さが100μm以下の場合の、従来のインクジェッ
トヘッドの説明図である。圧力室板1には共通インク室
2と複数の圧力室3が画成されている。各圧力室3はイ
ンク供給路4を介して共通インク室2に接続されてい
る。
【0009】圧力室板1には複数のノズル7を有するノ
ズル板6が接着されている。符号8はノズル7から噴射
されたインク滴である。共通インク室2と圧力室3との
間の隔壁5の厚さ、即ちインク供給路4の長さが100
μm以下の場合には、図1(B)に示すようにその断面
形状を概略正方形とすることができ、良好なるインクの
飛翔特性又は周波数特性を実現することができる。
【0010】しかし、圧力室板1に共通インク室2、圧
力室3及びインク供給路4を一体的に形成しようとする
場合、隔壁5の厚さを100μm以下にすると製造が困
難であるという問題がある。
【0011】図2(A)及び図2(B)はインク供給路
の長さが100μm以上の場合の、従来のインクジェッ
トヘッドの説明図である。図2(A)に示すように、イ
ンク供給路4′の長さ、即ち隔壁5′の厚さが100μ
m以上の場合には、ノズル7及びインク供給路4′中の
インクのバランスを考慮すると、図2(B)に示すよう
にインク供給路4′の断面形状は長方形となる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、圧力
室板に共通インク室、圧力室及びインク供給路を一体的
に画成しようとすると、インク供給路の長さ、即ち共通
インク室と圧力室との間の隔壁の厚さを100μm以下
にするのは製造上非常に困難である。
【0013】また、インク供給路の長さが100μm以
上の場合には、ノズルとインク供給路中のインクのバラ
ンスを考慮すると、図2(B)に示すようにインク供給
路4′の断面形状が長方形となる。しかし、長方形断面
のインク供給路では乱流が発生しやすくなり、インクの
飛翔特性又は周波数特性が悪化するという問題がある。
【0014】よって本発明の目的は、製造が容易でイン
クの飛翔特性の優れたインクジェットヘッドを提供する
ことである。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明によると、変位部
を有する圧電素子と;前記圧電素子と協働して共通イン
ク室と複数の圧力室を画成する、前記圧電素子に接着さ
れた圧力室板と;それぞれ前記各圧力室に連通する複数
のノズルを有し、前記圧電素子及び前記圧力室板に接着
されたノズル板とを具備し;前記各圧力室は断面が概略
正方形の複数のインク供給路を介して前記共通インク室
に接続されていることを特徴とするインクジェットヘッ
ドが提供される。
【0016】好ましくは、圧電素子の変位部は圧電素子
中に埋め込まれた複数の個別電極と、該個別電極と交互
に圧電素子中に埋め込まれた複数の接地電極とを含んで
おり、各個別電極が駆動手段に接続されている。
【0017】好ましくは、圧力室板はフィラーが混入さ
れた15×10-6/℃以下の線膨張係数を有する熱硬化
性樹脂からモールド成形されている。熱硬化性樹脂とし
ては熱硬化性エポキシ樹脂が好ましく、フィラーとして
はシリカ(SiC)が採用可能である。好ましくは、7
0〜80重量%のシリカが熱硬化性エポキシ樹脂中に混
入されている。
【0018】本発明の他の側面によると、インクジェッ
ト記録装置であって、ハウジングと;前記ハウジングに
回転可能に取り付けられたプラテンと;前記プラテンを
駆動する第1駆動手段と;前記プラテンと実質上平行と
なるように前記ハウジングに取り付けられた案内部材
と;前記案内部材に移動可能に取り付けられたキャリッ
ジと;前記キャリッジを駆動する第2駆動手段と;前記
キャリッジに搭載された複数のインクジェットヘッドと
を具備し;各インクジェットヘッドは、変位部を有する
圧電素子と;前記圧電素子と協働して共通インク室と複
数の圧力室を画成する前記圧電素子に接着された圧力室
板と;それぞれ前記各圧力室に連通する複数のノズルを
有し、前記圧電素子及び前記圧力室板に接着されたノズ
ル板と;前記圧電素子の前記変位部に接続された第3駆
動手段と;前記第3駆動手段に接続されて該第3駆動手
段を制御する制御手段とを具備し;前記各圧力室は断面
が概略正方形の2つのインク供給路を介して前記共通イ
ンク室に接続されていることを特徴とするインクジェッ
ト装置が提供される。
【0019】
【発明の実施の形態】図3を参照すると、本発明のイン
クジェットヘッドを具備したカラーインクジェットプリ
ンタ(記録装置)の全体構成が概略的に示されている。
カラーインクジェット記録装置のハウジング10内には
プラテン12が回転自在に設けられている。
【0020】記録動作中、プラテン12は駆動モータ1
4によって間欠的に回転駆動させられ、これにより記録
紙Pが所定の送りピッチで矢印A方向に間欠的に送られ
る。また、カラーインクジェット記録装置のハウジング
10内にはプラテン12に対して平行にその上方側に案
内ロッド16が設けられており、この案内ロッド16上
にはキャリッジ18が摺動自在に取り付けられている。
【0021】キャリッジ18は無端駆動ベルト20に取
り付けられており、無端駆動ベルト20は駆動モータ2
2によって駆動され、これによりキャリッジ18はプラ
テン12に沿って往復運動させられる。
【0022】キャリッジ18には黒色記録ヘッド24及
びカラー記録ヘッド26が搭載されている。実際には、
カラー記録ヘッド26は3つのヘッドから構成される。
黒色記録ヘッド24には黒色インク用タンク28が着脱
自在に装着され、カラー記録ヘッド26にはカラーイン
ク用タンク30,32及び34が着脱自在に装着され
る。
【0023】黒色インク用タンク28にはもちろん黒色
インクが収容され、カラーインク用タンク30,32及
び34にはそれぞれイエローインク、シアンインク及び
マゼンタインクが収容される。
【0024】キャリッジ18がプラテン12に沿って往
復運動される間、黒色記録ヘッド24及びカラー記録ヘ
ッド26がワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ
等から得られる画像データに基づいて駆動され、これに
より記録紙P上に所定の文字、画像等が記録される。記
録動作停止時には、キャリッジ18はホームポジション
に戻され、このホームポジションにはノズル保守機構3
6が設けられている。
【0025】ノズル保守機構36には可動吸引キャップ
(図示せず)と、この可動吸引キャップに接続された吸
引ポンプ(図示せず)が設けられている。黒色記録ヘッ
ド24及びカラー記録ヘッド26がホームポンプに位置
付けされると、そのノズル板に吸引キャップが吸着さ
れ、吸引ポンプを駆動することにより、該ノズル板のノ
ズルが吸引される。このようにして、ノズル板のノズル
の目詰まりが未然に防止される。
【0026】次に、図4乃至図6を参照して、本発明実
施形態の黒色インクジェットヘッド(黒色記録ヘッド)
24の概略構成について説明する。カラーインクジェッ
トヘッド(カラー記録ヘッド)26も黒色インクジェッ
トヘッド24と同一構成である。
【0027】図6に最も良く示されているように、イン
クジェットヘッド24は積層圧電素子40を含んでい
る。積層圧電素子40は、例えばチタン酸バリウム(B
aTiO3 )のグリーンシートを複数層積層し、複数の
個別電極52及び複数の接地電極54をグリーンシート
の間に埋め込んで、加熱しながら加圧することによりグ
リーンシートを一体的に接着する。次いで、一体化され
た積層グリーンシートを焼成することにより、積層圧電
素子40が製造される。
【0028】積層圧電素子40は変位部又は活性部56
を有しており、この変位部56においては個別電極52
及び接地電極54が交互に積層圧電素子40中に埋め込
まれている。
【0029】図5に最も良く示されるように、各個別電
極52は複数のスリット55により分割され、スリット
により分割された各個別電極52は隣接する個別電極5
2から電気的に絶縁される。分割された個別電極52は
インクジェットヘッドの裏面側で個別電極端子58に接
続される。
【0030】図4及び図6に示すように、各接地電極5
4は積層圧電素子40の前面側がメタライズ処理60さ
れていることにより、積層圧電素子40中に埋め込まれ
た一対の導体パターン62により、図5に示す一対の接
地電極端子64に接続される。よって、各接地電極54
は一対の接地電極端子64を介して接地される。
【0031】積層圧電素子40には接合部材42を介し
て圧力室板44が接着されている。圧力室板44には共
通インク室46と、それぞれ一対のインク供給路50を
介して共通インク室46に連通された複数の圧力室48
が形成されている。圧力室板44は、後で詳細に説明さ
れるようにフィラーの混入された熱硬化性エポキシ樹脂
からモールド成形される。
【0032】積層圧電素子40及び圧力室板44の前面
側には複数のノズル66を有するノズル板68が接着さ
れている。ノズル板68は例えばステンレス鋼から形成
される。各々のノズル66は各圧力室48に連通されて
いる。共通インク室46、インク供給路50及び各圧力
室48にはインクが充満されている。
【0033】図6に示されるように、各個別電極端子5
8は駆動回路70に接続され、駆動回路70は制御回路
72に接続されている。よって、制御回路72により各
個別電極52に印加する駆動波形が制御される。
【0034】図7(A)を参照すると、圧力室板44の
裏面側斜視図が示されている。各圧力室48はそれぞれ
断面正方形の一対のインク供給路50により共通インク
室46に接続されている。
【0035】図7(B)に各インク供給路50の寸法を
示す。即ち、本実施形態では、共通インク室46と各圧
力室48の間の隔壁51の厚さ、即ちインク供給路50
の長さLは0.120mmであり、各インク供給路50
はその断面が一辺0.030mmの正方形をしている。
【0036】ノズル66から噴射させるインク粒子量
は、インクジェットヘッドを構成する各部材の寸法、即
ち、ノズル66の寸法、圧力室48の寸法及びインク供
給路50の寸法等により規定される。更に、個別電極5
2に印加する駆動波形及び駆動電圧を変化することによ
り、噴射されるインク粒子量を制御することが可能であ
る。
【0037】図8(A)は大粒子を噴射するときの個別
電極52に印加する駆動波形を示しており、図8(B)
は小粒子を噴射するときの個別電極52に印加する駆動
波形を示している。横軸Tは数十μm秒のオーダーであ
る。
【0038】個別電極52には通常ベース電圧V0 =2
2ボルトが印加されており、これによりノズル66中の
液面位置(メニスカス)はノズル板68の表面と概略一
致している。
【0039】大粒子を噴射して記録紙上に記録されるド
ット径を大きくしたい場合には、図8(A)に示される
ように印加電圧を約9ボルトに徐々に落とし、次いで短
時間の間に約35ボルトに急激に上昇させる。
【0040】印加電圧を約9ボルトに落とすと、インク
液面位置がノズル66中に引き込まれる。次いで個別電
極52に約35ボルトが印加されると、積層圧電素子4
0の変位部56は図6に点線57で示すように変形し、
圧力室48内に圧力が発生される。この圧力により、ノ
ズル66から大粒子が噴射される。
【0041】一方、ノズル66から小粒子を噴射したい
場合には、個別電極52に図8(B)に示すような駆動
波形を印加する。即ち、ベース電圧V0 =22ボルトか
ら個別電極52に印加する電圧を0ボルトに落とし、次
いで印加電圧を15ボルトに急激に上昇する。
【0042】個別電極52に印加する電圧を0ボルトに
落とすと、ノズル66内の液面位置がノズル66内に深
く引き込まれる。次いで、個別電極52に約15ボルト
を印加すると、ノズル66から小粒子が噴射される。
【0043】再び図7(A)を参照すると、圧力室板4
4を所定寸法に加工する際に、最も困難な部分はインク
供給路50の形成である。従来は切削、エッチング等で
インク供給路を形成していたが、大量生産する際の寸法
再現性や加工コスト面で非常に難度が高く、量産には不
向きである。この問題を解決するために、本発明では、
圧力室板44をフィラーの混入された熱硬化性エポキシ
樹脂でモールド成形した。
【0044】好ましくは、フィラーとして70〜80重
量%のシリカ(SiC)が熱硬化性エポキシ樹脂中に混
入されている。圧力室板44の素材としては、20ギガ
パスカル(GPa)以上の剛性と、15×10-6以下の
線膨張係数を有する材料が望ましい。この条件を満たす
のが、例えばフィラーの混入された熱硬化性エポキシ樹
脂である。
【0045】(1)次に、樹脂をモールド成形するため
に必要となる金型の制作方法について説明する。 (a)鋳造転写型 まず、超硬合金で製品形状と同じマスタ型(インク供給
路を除いて)を切削、放電加工等で形成し、図9(A)
に示すように、ダイシングソーでインク供給路を形成し
たマスタ型80を作成する。
【0046】次いで、このマスタ型80をベリリウム−
銅合金で圧力鋳造して、図9(B)に示すようなマスタ
型80の転写型82を形成する。ここで、マスタ型80
を超硬合金から形成するのは、ダイシングソーによる加
工時のバリの発生を抑えるためである。
【0047】このようにして形成された転写型82を使
用して、図9(C)に示すように樹脂成形品84をモー
ルド成形する。型離れすると、図9(D)に示すモール
ド成形品84を得ることができる。
【0048】(b)ニッケル電鋳型 真鍮を製品形状に加工し、インク供給路をワイヤカット
で形成しマスタ型を得る。ここで、ワイヤカットにより
インク供給路を形成するのは、加工時のバリの発生を抑
えるためである。
【0049】次いで、約60℃のニッケル電鋳浴中に浸
漬し、転写型を製造する。この方法によると、非常に精
度の高い転写型を製造することができるが、転写型の製
造に多大の時間を要するのが欠点である。
【0050】(c)プロファイル研削型 まず、製品形状の反転した形状をダイヤモンドカッター
等により形成する。次いで、インク供給路をダイシング
ソーでプロファイル切削し、図10(A)に示すような
プロファイル研削型86を形成する。
【0051】図10(B)に示すように、このプロファ
イル研削型86を使用して樹脂成形品88をモールド成
形し、型離れすることにより、図10(C)に示す樹脂
成形品88を得ることができる。
【0052】(2)次に、圧力室板の製造に採用可能な
成形方法について説明する。 (a)圧縮成形法 圧縮成形によって樹脂成形品を製造するには次のような
工程で作業する。
【0053】 製品形状に合わせたタブレットの形成 樹脂の量を予め計って、予備成形して個体状のタブレッ
トを形成する。この方法を採用すると、成形能率が向上
する。
【0054】 予備加熱 予備成形で作られたタブレットを成形機に入れ、成形す
る前に成形温度より低い温度(60℃〜100℃)で予
熱する。この予熱には高周波予熱器を使用するのが望ま
しい。高周波で予熱するとタブレットの中まで一様に良
く加熱できるので、予熱時間が短くて済み能率的であ
る。
【0055】 加熱、圧縮して成形 熱硬化性樹脂を使って成形品を製造するには、加熱しな
がら加圧し、硬化を早めて成形する。
【0056】 成形品の取り出し 硬化が終わった成形品は金型から外され、取り出され
る。真鍮のヘラを使ったり、圧縮空気を吹きつけて成形
品を金型から外す。
【0057】 成形品の仕上げ 金型から取り出された成形品は、成形の工程で金型の合
わせ口に滲み出した樹脂(バリ)を切り取り、表面をバ
フで研磨して製品にする。
【0058】 再加熱(アニール) 製品をセラミック等の板で挟みながら約170℃近辺に
加熱し、製品の歪み等を除去する。
【0059】(b)射出成形方法 射出成形機を使用した自動成形であり、極めて能率的に
連続して熱硬化性樹脂の成形ができる。この射出成形法
は、高能率、製品の寸法精度が良い等の様々な利点を有
している。
【0060】(c)移送成形法(トランスファーモール
ディング) 予熱されたタブレットを圧力を加えて細いノズルを通し
て金型内に押し出し、この金型を加熱して樹脂を硬化さ
せて成形品を作る方法である。この移送成形法は圧縮成
形法に比較して多くの利点を有しているが、金型の構造
が複雑になるという欠点を有している。
【0061】以上説明した金型製作方法と成形方法は、
製品の許容寸法精度、製造コストによって任意に組み合
わせが可能であり、個々の方法の性質を踏まえて最適な
組み合わせを選択することができる。
【0062】本実施形態のインクジェットヘッドでは、
圧力室板44をシリカが混入された熱硬化性エポキシ樹
脂でモールド成形したので、各圧力室当たり2本の断面
概略正方形のインク供給路を寸法再現性良く形成するこ
とができ、樹脂のモールド成形であるから大量生産に適
している。インク供給路の断面を正方形にすると、イン
ク供給路内で乱流の発生を防止することができ、インク
の飛翔特性、即ち周波数特性を向上することができる。
【0063】
【発明の効果】本発明によると、製造が容易でインクの
飛翔特性の優れたインクジェットヘッドを提供すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(A)はインク供給路が短い場合の従来の
インクジェットヘッドの説明図であり、図1(B)はイ
ンク供給路の断面形状を示す図である。
【図2】図2(A)はインク供給路が長い場合の従来の
インクジェットヘッドの説明図であり、図2(B)はイ
ンク供給路の断面形状を示す図である。
【図3】インクジェット記録装置の外観斜視図である。
【図4】本発明実施形態のインクジェットヘッドの前面
側斜視図である。
【図5】実施形態のインクジェットヘッドの裏面側斜視
図である。
【図6】実施形態のインクジェットヘッドの断面図であ
る。
【図7】図7(A)は圧力室板の裏面側斜視図であり、
図7(B)はインク供給路の寸法関係を示す拡大図であ
る。
【図8】図8(A)は大粒子噴射時の個別電極の駆動波
形を示す図であり、図8(B)は小粒子噴射時の個別電
極の駆動波形を示す図である。
【図9】図9(A)〜図9(D)は転写型を使用したモ
ールド成形工程を示す図である。
【図10】図10(A)〜図10(C)はプロファイル
研削型を使用したモールド成形工程を示す図である。
【符号の説明】
12 プラテン 18 キャリッジ 24 黒色記録ヘッド 26 カラー記録ヘッド 40 積層圧電素子 44 圧力室板 46 共通インク室 48 圧力室 50 インク供給路 52 個別電極 54 接地電極 56 変位部 66 ノズル 68 ノズル板
フロントページの続き (72)発明者 宮木 明彦 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 (72)発明者 岩石 晃 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 (72)発明者 川村 匠 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 Fターム(参考) 2C057 AF72 AF91 AF93 AG12 AG44 AG47 AM03 AM32 BA03 BA14

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 変位部を有する圧電素子と;前記圧電素
    子と協働して共通インク室と複数の圧力室を画成する、
    前記圧電素子に接着された圧力室板と;それぞれ前記各
    圧力室に連通する複数のノズルを有し、前記圧電素子及
    び前記圧力室板に接着されたノズル板とを具備し;前記
    各圧力室は断面が概略正方形の複数のインク供給路を介
    して前記共通インク室に接続されていることを特徴とす
    るインクジェットヘッド。
  2. 【請求項2】 前記各インク供給路の長さは100μm
    以上である請求項1記載のインクジェットヘッド。
  3. 【請求項3】 前記圧電素子の前記変位部に接続された
    駆動手段と;前記駆動手段に接続されて該駆動手段を制
    御する制御手段とを更に具備した請求項1記載のインク
    ジェットヘッド。
  4. 【請求項4】 前記圧電素子の前記変位部は該圧電素子
    中に埋め込まれた複数の個別電極と、該個別電極と交互
    に前記圧電素子中に埋め込まれた複数の接地電極を含ん
    でおり、前記各個別電極は前記駆動手段に接続されてい
    る請求項3記載のインクジェットヘッド。
  5. 【請求項5】 前記圧力室板はフィラーが混入された1
    5×10-6/℃以下の線膨張係数を有する熱硬化性樹脂
    からモールド成形されている請求項1記載のインクジェ
    ットヘッド。
  6. 【請求項6】 前記熱硬化性樹脂は熱硬化性エポキシ樹
    脂から構成され、前記フィラーはシリカから構成される
    請求項5記載のインクジェットヘッド。
  7. 【請求項7】 前記シリカの混入量は70〜80重量%
    である請求項6記載のインクジェットヘッド。
  8. 【請求項8】 インクジェット記録装置であって、 ハウジングと;前記ハウジングに回転可能に取り付けら
    れたプラテンと;前記プラテンを駆動する第1駆動手段
    と;前記プラテンと実質上平行となるように前記ハウジ
    ングに取り付けられた案内部材と;前記案内部材に移動
    可能に取り付けられたキャリッジと;前記キャリッジを
    駆動する第2駆動手段と;前記キャリッジに搭載された
    複数のインクジェットヘッドとを具備し;前記各インク
    ジェットヘッドは、変位部を有する圧電素子と;前記圧
    電素子と協働して共通インク室と複数の圧力室を画成す
    る前記圧電素子に接着された圧力室板と;それぞれ前記
    各圧力室に連通する複数のノズルを有し、前記圧電素子
    及び前記圧力室板に接着されたノズル板と;前記圧電素
    子の前記変位部に接続された第3駆動手段と;前記第3
    駆動手段に接続されて該第3駆動手段を制御する制御手
    段とを具備し;前記各圧力室は断面が概略正方形の2つ
    のインク供給路を介して前記共通インク室に接続されて
    いることを特徴とするインクジェット装置。
  9. 【請求項9】 前記圧電素子の前記変位部は該圧電素子
    中に埋め込まれた複数の個別電極と、前記個別電極と交
    互に前記圧電素子中に埋め込まれた複数の接地電極とを
    含んでおり、前記各個別電極は前記第3駆動手段に接続
    されている請求項8記載のインクジェット記録装置。
  10. 【請求項10】 前記圧力室板はフィラーが混入された
    15×10-6/℃以下の線膨張係数を有する熱硬化性樹
    脂からモールド成形されている請求項8記載のインクジ
    ェット記録装置。
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