JP2000012625A - Film carrier tape for mounting electronic parts and manufacture of film carrier tape for mounting electronic parts - Google Patents

Film carrier tape for mounting electronic parts and manufacture of film carrier tape for mounting electronic parts

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JP2000012625A
JP2000012625A JP10173710A JP17371098A JP2000012625A JP 2000012625 A JP2000012625 A JP 2000012625A JP 10173710 A JP10173710 A JP 10173710A JP 17371098 A JP17371098 A JP 17371098A JP 2000012625 A JP2000012625 A JP 2000012625A
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insulating film
carrier tape
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent camber deformation of a film carrier tape by pasting a conductive foil on an insulating film having a thickness less than specified using an adhesive layer having an average thickness less than specified for the insulating film, and etching the conductive foil to obtain desired interconnect patterns. SOLUTION: An insulating film 10 having thickness less than 75 μm is formed from fully aromatic polyimide material synthesized from pyromellitic-2-anhydride and aromatic diamine, fully aromatic polyimide having biphenyl skeleton synthesized from biphenyltetracarbonic-2-anhydride and aromatic diamine, or the like. An electrolytic copper foil 14 of 9 μm thick is pressure contacted under a heated condition via an adhesive layer 12 of epoxy resin, phenol resin, or the like, having an average thickness less than 15% of the thickness of the insulating film 10, and is etched to obtain desired interconnect patterns. In this case, camber ratio in the width direction of the tape with respect to the tape width is kept lower than 2.5% of the tape width.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の技術分野】本発明はICあるいはLSIなどの
電子部品を実装するフィルムキャリアテープ(TAB(T
ape Automated Bonding)テープあるいはT-BGA(Tape
Ball GridArray)用テープ、本発明において、「TAB
テープ」との記載はこれらを包含するものである)およ
びこのフィルムキャリアテープを製造する方法に関す
る。さらに詳しくは本発明は、導体箔を貼着する際に用
いられる接着剤に起因するフィルムキャリアテープの反
りが低減されたフィルムキャリアテープおよびこのよう
な反りの少ないフィルムキャリアテープを製造する方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film carrier tape (TAB (TB) for mounting electronic parts such as ICs or LSIs.
ape Automated Bonding) tape or T-BGA (Tape
Ball Grid Array) tape, in the present invention, "TAB
The description "tape" includes these) and a method for producing the film carrier tape. More specifically, the present invention relates to a film carrier tape in which warpage of a film carrier tape caused by an adhesive used when attaching a conductive foil is reduced, and a method of manufacturing such a film carrier tape having less warpage.

【0002】[0002]

【発明の技術的背景】近年ノートパソコンなどの電子機
器はますます小型化、軽量化している。また、半導体I
Cの配線もさらに微細化している。ICあるいはLSI
をプリント配線板に搭載するため、または、液晶ディス
プレイ装置の駆動ICを液晶基板に接続するため等に使
用されるTABテープに形成される配線パターンについ
てもファインピッチ化の要請が高い。
BACKGROUND OF THE INVENTION In recent years, electronic devices such as notebook personal computers have become smaller and lighter. Semiconductor I
The wiring of C is further miniaturized. IC or LSI
There is also a high demand for finer pitch wiring patterns formed on a TAB tape used for mounting the IC on a printed wiring board or connecting a drive IC of a liquid crystal display device to a liquid crystal substrate.

【0003】TABテープは、上記のような絶縁フィル
ムの表面にエポキシ系接着剤などにより形成される接着
剤を介して銅箔のような導体箔を貼着し、この導体箔を
所望のパターンにエッチングすることにより製造されて
いる。
A TAB tape has a conductor foil such as a copper foil adhered to the surface of the above-mentioned insulating film via an adhesive formed by an epoxy-based adhesive or the like, and the conductor foil is formed into a desired pattern. It is manufactured by etching.

【0004】そして、このように軽量化あるいはファイ
ンピッチ化を進めるためには、基材である絶縁フィルム
(例えばポリイミドフィルム)の厚さも薄くする必要が
ある。すなわち、従来のTABテープでは、絶縁フィル
ムの厚さ(平均厚さ)は125μmが主流であったが、
最近の軽量化あるいはファインピッチ化に伴って、厚さ
75μmの絶縁フィルムの使用が検討されている。
In order to reduce the weight or fine the pitch, it is necessary to reduce the thickness of an insulating film (eg, a polyimide film) as a base material. That is, in the conventional TAB tape, the thickness (average thickness) of the insulating film is mainly 125 μm,
With the recent reduction in weight or fine pitch, use of an insulating film having a thickness of 75 μm is being studied.

【0005】絶縁フィルムを形成するポリイミドと、エ
ポキシ樹脂などからなる接着剤とは、導体箔を接着する
際の加熱による特性変化が異なり、一般にエポキシ樹脂
の方が、ポリイミドよりも、加熱した際の収縮率が大き
い。従来の125μm厚のポリイミドフィルムあるいは
75μm厚を超えるような厚手の絶縁フィルムを用いた
場合には、絶縁フィルムの剛性が高いために、エポキシ
樹脂の熱収縮は、絶縁フィルムのよって吸収され、顕在
化することは少なかった。しかしながら、例えば75μ
m以下のような薄手、特に厚さが75μmに満たない薄
手の絶縁フィルムを使用した場合には、接着剤であるエ
ポキシ樹脂の加熱収縮によって発生する応力が、TAB
テープの反りとして現れる。
[0005] The polyimide forming the insulating film and the adhesive made of epoxy resin and the like have different characteristics due to heating when the conductive foil is bonded. In general, epoxy resin is more likely to be heated than polyimide when heated. Large shrinkage. When a conventional polyimide film having a thickness of 125 μm or a thick insulation film exceeding 75 μm is used, the heat shrinkage of the epoxy resin is absorbed by the insulation film due to the high rigidity of the insulation film, so that it becomes apparent. There was little to do. However, for example, 75μ
m, especially when a thin insulating film having a thickness of less than 75 μm is used, the stress generated due to the heat shrinkage of the epoxy resin as the adhesive becomes TAB.
Appears as tape warpage.

【0006】上述のように電子機器の小型化、軽量化に
伴って、TABテープに形成される配線パターンは数十
μm以下と著しくファインピッチになっており、僅かな
TABテープの変形によってもボンディング不良の原因
となりやすい。そして、このような絶縁フィルムと接着
剤との熱特性の相違によるTABテープの変形は、両者
の特性に起因するものであり、絶縁フィルムとしてポリ
イミドフィルムを使用し、接着剤としてエポキシ系樹脂
を使用する以上、回避し難い問題であると考えられてお
り、さらに一旦反りが発生するとその後の製品完成まで
続く工程において除去することはできない。
[0006] As described above, with the miniaturization and weight reduction of electronic equipment, the wiring pattern formed on the TAB tape has a remarkably fine pitch of several tens of μm or less, and bonding can be performed even by slight deformation of the TAB tape. Easy to cause defects. The deformation of the TAB tape due to the difference in thermal characteristics between the insulating film and the adhesive is due to the characteristics of both, and a polyimide film is used as the insulating film and an epoxy resin is used as the adhesive. Therefore, it is considered to be a problem that is difficult to avoid, and once warpage occurs, it cannot be removed in a subsequent process until the product is completed.

【0007】ところで、接着剤のほかにTABテープに
生ずる反りの原因として、ソルダーレジストをキュアー
した際の熱収縮によるものなどがあり、本発明の出願人
は、ソルダーレジストによる反りの発生を低減する方法
および反り低減装置について出願している(特願平9−
289210号明細書参照)。この明細書に記載されて
いる発明は、絶縁フィルムに逆反りを付与しながら加熱
することにより、絶縁フィルムに逆反りを形成し、ソル
ダーレジストによって生ずる反りとこの逆反りとを相殺
してTABテープに生ずる変形を低減しようとするもの
である。しかしながら、この方法は、付与した逆反りと
ソルダーレジストにより生ずる反りとが一致する場合に
は有効であるが、接着剤によって生ずる反りのように、
反り量の小さい場合、こうした小さい反りに対応した逆
反りを形成することは非常に難しい。従って、この方法
は接着剤による反りに対しては有効性が低い。
[0007] In addition to the adhesive, the cause of warpage of the TAB tape is caused by heat shrinkage when the solder resist is cured. The applicant of the present invention reduces the occurrence of warpage due to the solder resist. Application for method and device for reducing warpage
No. 289210). In the invention described in this specification, a TAB tape is formed by forming a reverse warp in an insulating film by heating while imparting a reverse warp to the insulating film, thereby canceling the warp caused by the solder resist and the reverse warp. In order to reduce the deformation that occurs in However, this method is effective when the applied reverse warp coincides with the warp caused by the solder resist.
When the amount of warpage is small, it is very difficult to form a reverse warp corresponding to such a small warp. Therefore, this method is less effective against warpage due to the adhesive.

【0008】また、特開平4-196554号公報に
は、フィルム上に銅箔を積層したフレキシブル三層基板
において、接着剤の厚さを薄くした事を特徴とするフレ
キシブルテープ基板の発明が開示されている。このよう
に接着剤を薄くすることにより、アウターリードをガラ
ス基板に形成された電極と異方導電性接着剤を用いて接
着する際の加熱圧着の際の熱によって、接着剤の移動に
よるパターンの寸法移動が減少し、導通部の組み合わせ
寸法精度を向上させて接着精度を向上させている。しか
しながら、この公報には、接着剤と絶縁フィルムとの関
係において、TABテープに反り変形を生じさせないよ
うにするための接着剤と絶縁フィルムとの厚さに関する
記載はない。そして、この公報には、接着剤を薄くする
ことにより、異方導電接着時における加熱によって銅箔
パターンに与える寸法ストレスの影響を小さくすること
ができると記載されている。すなわち、この公報には、
異方導電性接着の際に接着剤層に内在するストレスが配
線パターンを移動させるように顕在化することが示され
ており、絶縁フィルムが厚いために、ストレスは接着剤
に内在され、TABテープ全体を変形させるには至って
いない。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-196554 discloses a flexible tape substrate in which the thickness of an adhesive is reduced in a flexible three-layer substrate in which a copper foil is laminated on a film. ing. By thinning the adhesive in this manner, the heat generated during the heating and pressing when bonding the outer leads to the electrodes formed on the glass substrate using the anisotropic conductive adhesive causes the pattern to be formed by the movement of the adhesive. The dimensional movement is reduced, and the combined dimensional accuracy of the conductive portions is improved, thereby improving the bonding accuracy. However, this publication does not describe the thickness of the adhesive and the insulating film for preventing the TAB tape from being warped in relation to the adhesive and the insulating film. This publication also states that the effect of dimensional stress on the copper foil pattern due to heating during anisotropic conductive bonding can be reduced by making the adhesive thinner. That is, in this publication,
It has been shown that the stress existing in the adhesive layer during the anisotropic conductive bonding becomes apparent so as to move the wiring pattern. Since the insulating film is thick, the stress is embedded in the adhesive and the TAB tape is used. The whole has not been transformed.

【0009】また、特許第2734184号公報には、
絶縁フィルム上に接着剤を用いて銅箔を貼り合わせ、配
線パターンを形成してなるテープキャリアにおいて、前
記接着剤の厚さを3〜7μmとし、前記銅箔の貼り合わ
せ側の粗化面の平均粗さRaを0.1〜0.4μmとする
ことを特徴とするTAB用テープキャリアの発明が開示
されている。そして、この公報には、一般に使用される
絶縁フィルムとして、125μm〜75μmの比較的厚
いポリイミドフィルムなどが使用されている。
Also, Japanese Patent No. 2734184 discloses that
In a tape carrier formed by bonding a copper foil on an insulating film using an adhesive and forming a wiring pattern, the thickness of the adhesive is set to 3 to 7 μm, and the roughened surface on the bonding side of the copper foil is The invention of a TAB tape carrier characterized by having an average roughness Ra of 0.1 to 0.4 μm is disclosed. In this gazette, a relatively thick polyimide film of 125 μm to 75 μm or the like is used as a generally used insulating film.

【0010】さらに、この公報には、エポキシ樹脂接着
剤から発生する塩素イオンおよびアンモニアが銅箔を腐
食し、さらにこれらはマイグレーションによる短絡の原
因となること、硬化したエポキシ樹脂は硬質であり、T
ABテープを屈曲させた場合に割れること、またこのよ
うな割れの発生により配線パターンが剥離すること、お
よび、硬化したエポキシ樹脂は、割れやすく、粉状にな
り、粉状になったエポキシ樹脂が配線パターン表面に付
着することにより、パターン欠陥の原因となることが挙
げられており、接着剤層の厚さを3〜7μmとすること
により、配線パターンの腐食、短絡、接着剤層の割れ、
粉状になったエポキシ樹脂の付着によるパターン欠陥の
発生などを防止できると記載されている。
Further, this publication discloses that chlorine ions and ammonia generated from the epoxy resin adhesive corrode the copper foil, which cause short-circuiting due to migration, that the cured epoxy resin is hard,
The AB tape breaks when bent, and the wiring pattern peels off due to the occurrence of such cracks. The cured epoxy resin is easily cracked, becomes powdery, and the powdered epoxy resin becomes It has been mentioned that the adhesion to the wiring pattern surface causes pattern defects. By setting the thickness of the adhesive layer to 3 to 7 μm, corrosion of the wiring pattern, short circuit, cracking of the adhesive layer,
It is described that occurrence of pattern defects due to adhesion of powdered epoxy resin can be prevented.

【0011】しかしながら、この公報では絶縁フィルム
として125μm〜75μmの比較的厚いポリイミドフ
ィルムなどが使用されているため、熱収縮による応力は
接着剤層に内部応力としてほとんどが内在されてしま
い、TABテープに反りなどの変形が生じにくい。
However, in this publication, since a relatively thick polyimide film having a thickness of 125 μm to 75 μm or the like is used as an insulating film, most of the stress due to heat shrinkage is internal to the adhesive layer as internal stress, and the TAB tape has Deformation such as warpage is unlikely to occur.

【0012】[0012]

【発明の目的】本発明は、薄手の絶縁フィルムを用いた
場合に接着剤が熱収縮するために生ずるTABテープの
反り変形を防止する方法および反り変形が低減された薄
手のTABテープを提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a method of preventing warpage of a TAB tape caused by the heat shrinkage of an adhesive when a thin insulating film is used, and a thin TAB tape with reduced warpage. It is intended to be.

【0013】[0013]

【発明の概要】本発明は、平均厚さが75μm以下であ
る薄厚の絶縁フィルムに、該絶縁フィルムの平均厚さの
15%以下の平均厚さを有する接着剤層を介して所望の
配線パターンにエッチングされた導体箔が接着されてい
る反りの低減された電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a method for forming a desired wiring pattern on a thin insulating film having an average thickness of 75 μm or less via an adhesive layer having an average thickness of 15% or less of the average thickness of the insulating film. The present invention is directed to a film carrier tape for mounting an electronic component, in which a conductor foil etched in a manner as described above is adhered and warpage is reduced.

【0014】また、本発明は、平均厚さが75μm以下
である薄厚の絶縁フィルムの少なくとも一方の表面に、
該絶縁フィルムの平均厚さの15%以下の平均厚さに予
め調製された接着剤フィルムおよび該接着フィルムを介
して導体箔を貼着し、該導体箔を所望の配線パターンに
エッチングすることにより反りの低減された電子部品実
装用フィルムキャリアテープを製造する方法にある。
[0014] The present invention also provides a thin insulating film having an average thickness of not more than 75 µm on at least one surface thereof.
An adhesive film prepared in advance to an average thickness of 15% or less of the average thickness of the insulating film and a conductive foil are pasted through the adhesive film, and the conductive foil is etched into a desired wiring pattern. A method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components with reduced warpage.

【0015】本発明者は、電子部品実装用フィルムキャ
リアテープにおいて、絶縁フィルムの厚さが75μm以
下と、薄手の絶縁フィルムを使用することにより特異的
に生ずるTABテープにおける反り変形を防止し、かつ
配線パターンを絶縁フィルムに確実に接着するのに必要
かつ充分な接着剤層の絶縁フィルム厚さに対する層厚を
見出して本発明を完成するに至った。すなわち、平均厚
さが75μm以下である薄厚の絶縁フィルムを用いる場
合には、接着剤層の厚さを絶縁フィルムの厚さの15%
以下にすることにより、接着剤層をキュアーすることに
よって接着剤層が加熱収縮してもその収縮応力がボンデ
ィングの際に支障となるような大きな反り変形として顕
在化することがなく、しかも配線パターンを確実に絶縁
フィルムに接着することができるのである。
The inventor of the present invention has found that, in a film carrier tape for mounting electronic components, the thickness of the insulating film is 75 μm or less, and the warp deformation of the TAB tape specifically caused by using a thin insulating film is prevented, and The present invention was completed by finding the necessary and sufficient layer thickness of the adhesive layer for the thickness of the insulating film to securely adhere the wiring pattern to the insulating film. That is, when a thin insulating film having an average thickness of 75 μm or less is used, the thickness of the adhesive layer is set to 15% of the thickness of the insulating film.
By setting as follows, even if the adhesive layer is heated and contracted by curing the adhesive layer, the contraction stress does not appear as a large warping deformation that hinders the bonding, and furthermore, the wiring pattern Can be securely bonded to the insulating film.

【0016】そして、このような電子部品実装用フィル
ムキャリアテープは、使用する絶縁フィルムに厚さに対
応させて、絶縁フィルムの厚さの15%以下の平均厚さ
を有する接着剤フィルムを予め製造し、この接着剤フィ
ルムを絶縁フィルムの表面に貼着して接着剤層を形成す
ることにより製造することが好ましい。このように予め
所定厚さに調製された接着剤フィルムを使用して接着剤
層を形成することにより、均一で、かつ良好な接着性を
有する接着剤層を形成することができる。また、このよ
うな接着剤フィルムを使用することにより、よりいっそ
う反り変形を防止できる。また、このように予め接着剤
フィルムを製造することにより、形成された接着剤層に
は、溶剤などの揮発性成分を含有させないようにするこ
とが可能であり、より確実に配線パターンを絶縁フィル
ムに接着することが可能となる。また、溶剤などによる
環境汚染の虞も生じない。
Such a film carrier tape for mounting electronic parts is manufactured by previously manufacturing an adhesive film having an average thickness of 15% or less of the thickness of the insulating film in accordance with the thickness of the insulating film to be used. Preferably, the adhesive film is manufactured by attaching the adhesive film to the surface of the insulating film to form an adhesive layer. By forming an adhesive layer using an adhesive film prepared in advance to a predetermined thickness in this manner, it is possible to form an adhesive layer having uniform and good adhesiveness. Also, by using such an adhesive film, warpage can be further prevented. Also, by manufacturing the adhesive film in advance in this way, it is possible to prevent the formed adhesive layer from containing a volatile component such as a solvent, thereby more surely forming the wiring pattern on the insulating film. Can be adhered to. In addition, there is no fear of environmental pollution due to a solvent or the like.

【0017】[0017]

【発明の具体的説明】次に、本発明の電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープおよびこの電子部品実装用フィル
ムキャリアテープを製造する方法について具体的に説明
する。
Next, the film carrier tape for mounting electronic components of the present invention and the method for producing the film carrier tape for mounting electronic components will be described in detail.

【0018】図1は、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープの例を模式的に示す平面図であり、図2
は、図1におけるAの部分の拡大図である。図3は、図
1に示すX−X線におけるテープの部分断面図である。図
4は、本発明における電子部品実装用フィルムキャリア
テープの反り量を測定する方法を示す図である。
FIG. 1 is a plan view schematically showing an example of a film carrier tape for mounting electronic parts according to the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view of a portion A in FIG. FIG. 3 is a partial sectional view of the tape taken along line XX shown in FIG. FIG. 4 is a diagram illustrating a method for measuring the amount of warpage of the film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.

【0019】図1〜3に示すように、本発明の電子部品
実装用フィルムキャリアテープ1は、薄手の絶縁フィル
ム10と、接着剤層12と、導体箔14からなる配線パ
ターン15,16とからなり、これらがこの順序で積層
されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, the film carrier tape 1 for mounting electronic components of the present invention comprises a thin insulating film 10, an adhesive layer 12, and wiring patterns 15 and 16 made of a conductive foil 14. And these are stacked in this order.

【0020】配線パターンが形成される薄手の絶縁フィ
ルム10は、可撓性樹脂フィルムからなる。また、この
絶縁フィルムは、エッチングする際に酸などと接触する
ことからこうした薬品に侵されない耐薬品性およびボン
ディングする際の加熱によっても変質しないような耐熱
性を有している。このような樹脂の例としては、ガラス
エポキシ、BTレジン、ポリエステル、ポリアミドおよ
びポリイミドなどを挙げることができる。特に本発明で
はポリイミドからなるフィルムを用いることが好まし
い。このような樹脂から形成される絶縁フィルム10を
構成するポリイミドフィルムの例としては、ピロメリッ
ト酸2無水物と芳香族ジアミンとから合成される全芳香
族ポリイミド、ビフェニルテトラカルボン酸2無水物と
芳香族ジアミンとから合成されるビフェニル骨格を有す
る全芳香族ポリイミドを挙げることができる。特に本発
明ではビフェニル骨格を有する全芳香族ポリイミド
(例;商品名:ユーピレックス、宇部興産(株)製)が
好ましく使用される。
The thin insulating film 10 on which the wiring pattern is formed is made of a flexible resin film. In addition, the insulating film has chemical resistance not to be attacked by such a chemical because it comes into contact with an acid or the like at the time of etching, and heat resistance that does not deteriorate even by heating at the time of bonding. Examples of such a resin include glass epoxy, BT resin, polyester, polyamide, and polyimide. Particularly, in the present invention, it is preferable to use a film made of polyimide. Examples of the polyimide film constituting the insulating film 10 formed of such a resin include a wholly aromatic polyimide synthesized from pyromellitic dianhydride and an aromatic diamine, and biphenyltetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine. And a wholly aromatic polyimide having a biphenyl skeleton synthesized from an aromatic diamine. Particularly, in the present invention, a wholly aromatic polyimide having a biphenyl skeleton (eg, trade name: Upilex, manufactured by Ube Industries, Ltd.) is preferably used.

【0021】本発明の電子部品実装用フィルムキャリア
テープにおいて、絶縁フィルム10は、従来から一般的
に使用されているものよりも薄く、本発明は、絶縁フィ
ルム10の平均厚さ(Tb)が、75μm以下である場
合に生ずる反りを低減することができる。特に本発明で
は、絶縁フィルム10の平均厚さ(Tb)が75μm未
満、好適には20〜75μmである場合に有効性が高
く、さらに、その平均厚さ(Tb)が20〜70μmであ
る場合に特に有効である。このような薄手の絶縁フィル
ムを用いた場合には、接着剤層を形成することにより、
反り変形が生じ易く、従来は、このような薄手の絶縁フ
ィルムに接着剤層を積層した場合に生ずる反りを有効に
低減する方法は知られていない。
In the film carrier tape for mounting electronic parts of the present invention, the insulating film 10 is thinner than those generally used in the past, and the present invention has an average thickness (T b ) of the insulating film 10. , 75 μm or less can be reduced. In particular, in the present invention, the effectiveness is high when the average thickness (T b ) of the insulating film 10 is less than 75 μm, preferably 20 to 75 μm, and the average thickness (T b ) is 20 to 70 μm. This is particularly effective in some cases. When using such a thin insulating film, by forming an adhesive layer,
Warpage deformation is likely to occur, and there has not been known a method for effectively reducing warpage generated when an adhesive layer is laminated on such a thin insulating film.

【0022】なお、このような薄手の絶縁フィルム10
は、図1に示すように、スプロケットホール21などの
開口部が、通常は、パンチング等によって形成されてい
る。上記のような薄手の絶縁フィルム10の表面に、接
着剤層を形成して、この接着剤層12により上記導体箔
14を貼着する。
Incidentally, such a thin insulating film 10
As shown in FIG. 1, the opening of the sprocket hole 21 and the like is usually formed by punching or the like. An adhesive layer is formed on the surface of the thin insulating film 10 as described above, and the conductive foil 14 is adhered by the adhesive layer 12.

【0023】本発明では、この接着剤層12の平均厚さ
(Ta)が、上記薄手の絶縁フィルム10の平均厚さ
(Tb)の15%以下であることが必要である。このよ
うに接着剤層12の平均厚さ(Ta)を、上記薄手の絶
縁フィルム10の平均厚さ(Tb)の15%以下、好ま
しくは0.5〜14%の範囲内に制御することにより、
接着剤層中で生じた応力によって本発明の電子部品実装
用フィルムキャリアテープに生ずる反り変形をボンディ
ングの際に支障を来さない程度に低減することができ
る。すなわち、図4に示すように、前記薄厚の絶縁フィ
ルム10に、接着剤層12を介して平均厚さ9μmの電
解銅箔14を加熱圧着したときテープの幅方向における
テープ幅に対する反り率(n/m×100)を、テープ幅
(m)の3.5%以下、好ましくは2.5%以下にするこ
とができる。例えば絶縁フィルムとして、幅(m)が4
8mmであるポリイミドフィルム10を使用した場合
に、その反り率(n/m×100)は3.5%以下である
から、実測される反り量(n)を1.68mm以下にす
ることができる。本発明において、反り率(n/m×10
0)は、図4に示されるように、表面平滑な基台31の
上面に、厚さ9μmの電解銅箔14が貼着された絶縁フ
ィルム10を、絶縁フィルム10が基台31の表面に接
触するように載置し、反り変形によって絶縁フィルム1
0の長さ方向の端部が基台31表面から浮き上がった高
さ(即ち、反り量(n))を実測し、この反り量(n)
を絶縁フィルムの幅(m)に対する百分率として表した
数値である。この絶縁フィルム10に対する反り率(n
/m×100)を、3.5%以下、好ましくは、2.5%以
下に制御することにより、実際のボンディングにおい
て、電極のずれがリード幅に対して充分に小さくなる。
また、ボンディング後、テープの押えを解放する際に、
反りによって発生するリードへのストレスを低減するこ
とが可能となり、実装の際のボンディング不良、リード
切れなどの発生を著しく低減することができる。
In the present invention, the average thickness (T a ) of the adhesive layer 12 needs to be 15% or less of the average thickness (T b ) of the thin insulating film 10. In this way, the average thickness (T a ) of the adhesive layer 12 is controlled to 15% or less, preferably 0.5 to 14% of the average thickness (T b ) of the thin insulating film 10. By doing
The warpage of the film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention due to the stress generated in the adhesive layer can be reduced to a level that does not hinder bonding. That is, as shown in FIG. 4, when an electrolytic copper foil 14 having an average thickness of 9 μm is heat-pressed onto the thin insulating film 10 via an adhesive layer 12, the warpage ratio (n) to the tape width in the tape width direction is determined. / M × 100) can be reduced to 3.5% or less, preferably 2.5% or less of the tape width (m). For example, as an insulating film, the width (m) is 4
When the polyimide film 10 having a thickness of 8 mm is used, the warpage ratio (n / m × 100) is 3.5% or less, so that the measured warpage amount (n) can be 1.68 mm or less. . In the present invention, the warpage rate (n / m × 10
4), as shown in FIG. 4, an insulating film 10 having a 9 μm-thick electrolytic copper foil 14 adhered to the upper surface of a base 31 having a smooth surface, and the insulating film 10 The insulating film 1 is placed so as to be in contact with the
The height (that is, the amount of warpage (n)) at which the end in the length direction of 0 is lifted from the surface of the base 31 is measured, and the amount of warpage (n)
Is expressed as a percentage of the width (m) of the insulating film. The warp rate (n
/ M × 100) is controlled to 3.5% or less, preferably 2.5% or less, so that in actual bonding, the displacement of the electrodes becomes sufficiently small with respect to the lead width.
Also, when releasing the presser of the tape after bonding,
It is possible to reduce the stress on the leads caused by the warpage, and it is possible to significantly reduce the occurrence of bonding failure and lead breakage during mounting.

【0024】なお、この反り率の算定においては、薄手
の絶縁フィルム10の表面にスプロケットホール21が
形成された部分を除いて、全面に接着剤層12を形成
し、この接着剤層12の上面に厚さ9μmの電解銅箔を
マット面が接着剤層12と対面するように配置してキュ
アーして接着した試験片について測定した値であり、実
際の電子部品実装用フィルムキャリアテープについて同
様に測定した反り量(n)は、電解銅箔がエッチング処
理されていることから、上記試験片を用いて測定した反
り量(n)よりも一般には小さい値を採る。
In calculating the warp rate, the adhesive layer 12 is formed on the entire surface of the thin insulating film 10 except for the portion where the sprocket holes 21 are formed, and the upper surface of the adhesive layer 12 is formed. Is a value measured for a test piece obtained by arranging an electrolytic copper foil having a thickness of 9 μm so that the mat surface faces the adhesive layer 12 and curing and bonding the same. The same applies to an actual electronic component mounting film carrier tape. The measured amount of warpage (n) generally takes a smaller value than the amount of warpage (n) measured using the test piece, since the electrolytic copper foil has been etched.

【0025】そして、本発明者は、この反り量(n)
は、絶縁フィルムの厚さと接着剤層の厚さと相対値によ
って変動することを見出し、さらにこの反り量がボンデ
ィングの際の支障とならず、しかも狭ピッチ化に対応す
るように充分な接着強度で、薄手の絶縁フィルムに導体
箔を接着させるために必要かつ充分な接着剤層の相対的
厚さを選定することにより本発明を完成したのである。
The present inventor has determined that the warpage (n)
Found that the thickness varies with the thickness of the insulating film, the thickness of the adhesive layer, and the relative value.Moreover, the amount of warpage does not hinder the bonding, and has sufficient adhesive strength to cope with the narrow pitch. The present invention has been completed by selecting the relative thickness of the adhesive layer necessary and sufficient for bonding the conductive foil to the thin insulating film.

【0026】従って、本発明で使用される接着剤は、電
子部品実装用フィルムキャリアテープの接着剤として通
常使用されている接着剤を使用することができる。電子
部品実装用フィルムキャリアテープで使用する接着剤
は、一般に、耐熱性、耐薬品性、接着力、可撓性等の特
性に優れていることが必要になる。このような特性を有
する接着剤の例としては、エポキシ樹脂系接着剤および
フェノール樹脂系接着剤を挙げることができる。特に本
発明ではエポキシ樹脂系接着剤を用いた場合に有効性が
高い。本発明で好適に使用されるエポキシ樹脂系接着剤
は、ウレタン樹脂、メラミン樹脂、ポリビニルアセター
ル樹脂などで変成されていてもよく、またエポキシ樹脂
自体がゴム変成されていてもよい。
Accordingly, as the adhesive used in the present invention, an adhesive which is generally used as an adhesive for a film carrier tape for mounting electronic parts can be used. The adhesive used for the film carrier tape for mounting electronic components generally needs to have excellent properties such as heat resistance, chemical resistance, adhesive strength, and flexibility. Examples of the adhesive having such characteristics include an epoxy resin adhesive and a phenol resin adhesive. Particularly in the present invention, the effectiveness is high when an epoxy resin-based adhesive is used. The epoxy resin adhesive suitably used in the present invention may be modified with a urethane resin, a melamine resin, a polyvinyl acetal resin, or the like, or the epoxy resin itself may be modified with a rubber.

【0027】このような接着剤は、加熱硬化性である。
例えば接着剤としてエポキシ樹脂系接着剤を使用する場
合、このエポキシ樹脂接着剤は、上記薄手の絶縁フィル
ムに対する乾燥時の接着剤層の層厚が上記範囲内になる
ように塗布して形成することもできるが、エポキシ樹脂
を予め層厚が上記範囲内になるようにフィルム状にした
接着剤フィルムの形態で絶縁フィルムの表面に貼着する
ことが好ましい。即ち、一般にエポキシ系樹脂は、粘度
が高いために薄手の絶縁フィルム上に直接塗布しようと
する場合には、そのままの粘度で上記範囲内の層厚を有
するように塗布することは極めて困難である。このため
通常はこのエポキシ系樹脂を有機溶媒に溶解あるいは分
散させた塗布液を調製して、この塗布液を塗布した後、
溶剤を除去する方法を採用する必要がある。そして、塗
布液を用いる場合には、塗布層から溶媒を除去する工程
およびこの除去した溶媒を回収する工程を、電子部品実
装用フィルムキャリアテープの工程に組み込む必要があ
り、工程および装置が複雑になり不利である。また、塗
布液を塗布して形成された接着剤層は、溶剤が除去され
るまで流動性があり、塗布後の処理によっては接着剤層
の均一性が損なわれることがある。さらに、微視的に見
ると、溶媒が除去された部分は接着剤であるエポキシ系
樹脂が粗になる傾向があり、全体として均質な接着剤層
を形成しにくい。これに対して、別の基材テープにエポ
キシ系樹脂を塗布して予め調製した接着剤フィルムを絶
縁フィルム上に貼着する場合には、単一の工程で接着剤
層を形成することができ、しかもこの工程では有機溶媒
を使用しないので設備的にも有利である。さらに、予め
接着剤フィルムを製造することにより、接着剤フィルム
の厚さを正確に管理することができるので形成される接
着剤層の均一性も高くなる。また、接着剤フィルムを製
造する際に接着剤フィルムを圧縮すれば、全体として均
質な接着剤フィルムを製造することができる。
Such an adhesive is heat-curable.
For example, when an epoxy resin-based adhesive is used as the adhesive, the epoxy resin adhesive should be formed by applying such that the thickness of the adhesive layer when drying the thin insulating film is within the above range. However, it is preferable that the epoxy resin is adhered to the surface of the insulating film in the form of an adhesive film formed into a film such that the layer thickness is within the above range. That is, in general, when an epoxy resin is directly applied on a thin insulating film due to its high viscosity, it is extremely difficult to apply the same viscosity to have a layer thickness in the above range with the same viscosity. . Therefore, usually, a coating solution prepared by dissolving or dispersing the epoxy resin in an organic solvent is prepared, and after applying the coating solution,
It is necessary to adopt a method of removing the solvent. When using a coating liquid, it is necessary to incorporate the step of removing the solvent from the coating layer and the step of recovering the removed solvent into the step of the film carrier tape for mounting electronic components, which makes the process and the apparatus complicated. It is disadvantageous. Further, the adhesive layer formed by applying the coating liquid has fluidity until the solvent is removed, and depending on the treatment after the application, the uniformity of the adhesive layer may be impaired. Furthermore, when viewed microscopically, the portion from which the solvent has been removed tends to have a coarse epoxy resin as an adhesive, making it difficult to form a uniform adhesive layer as a whole. In contrast, when an epoxy resin is applied to another base tape and an adhesive film prepared in advance is attached to the insulating film, the adhesive layer can be formed in a single step. In addition, since no organic solvent is used in this step, equipment is advantageous. Further, by manufacturing the adhesive film in advance, the thickness of the adhesive film can be accurately controlled, so that the uniformity of the formed adhesive layer is also improved. If the adhesive film is compressed when the adhesive film is manufactured, a uniform adhesive film can be manufactured as a whole.

【0028】従って、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープを製造する際には、接着剤層は、予め調
製された接着剤フィルムを用いて形成することが好まし
い。本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープに
おいて、配線パターン14は、絶縁フィルム10の表面
に接着剤12を用いて導電箔14を貼着し、この貼着さ
れた導体箔を所望のパターンにエッチングすることによ
り形成される。この配線パターンには、インナーリード
15とアウターリード16とがあり、インナーリード1
5は、デバイスホール20内に延設されてデバイスのバ
ンプ電極と接続する部分であり、インナーリード15の
ピッチ幅(P0)は、通常は200μm以下、好ましく
は10〜100μm、特に好ましくは20〜50μmの範
囲内にあり、従来の電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープに形成されるインナーリードのピッチ幅よりも狭
い。このようなピッチ幅で形成されているインナーリー
ド15の幅(W0)は、通常は100μm以下、好まし
くは10〜50μm、特に好ましくは15〜45μmの
範囲内であり、また、隣接するインナーリード15,1
5の間隙幅(S0)は通常100μm以下、好ましくは
10〜50μm、特に好ましくは15〜45μmの範囲
内にある。
Therefore, when manufacturing the film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, it is preferable that the adhesive layer is formed using an adhesive film prepared in advance. In the electronic component mounting film carrier tape of the present invention, the wiring pattern 14 is formed by attaching the conductive foil 14 to the surface of the insulating film 10 using the adhesive 12 and etching the attached conductive foil into a desired pattern. It is formed by doing. The wiring pattern includes an inner lead 15 and an outer lead 16.
Reference numeral 5 denotes a portion extending into the device hole 20 and connecting to a bump electrode of the device. The pitch width (P 0 ) of the inner leads 15 is usually 200 μm or less, preferably 10 to 100 μm, particularly preferably 20 μm. 5050 μm, which is smaller than the pitch width of the inner leads formed on the conventional film carrier tape for mounting electronic components. The width (W 0 ) of the inner leads 15 formed at such a pitch width is usually 100 μm or less, preferably 10 to 50 μm, particularly preferably 15 to 45 μm. 15,1
The gap width (S 0 ) of No. 5 is usually 100 μm or less, preferably 10 to 50 μm, particularly preferably 15 to 45 μm.

【0029】また、アウターリード16は、上記インナ
ーリード15からテープの外方向に向かって延出され、
通常はインナーリードよりも幅広の導体箔で形成され、
平行に配置されたインナーリードから外方向に放射状に
広がっている。
The outer lead 16 extends from the inner lead 15 toward the outside of the tape.
Usually formed of conductor foil wider than the inner leads,
It extends radially outward from the inner leads arranged in parallel.

【0030】本発明において、インナーリードとは、デ
バイスの電極と接続するための平行に配置された配線パ
ターン部分を意味し、外方向に放射状に屈曲した部分か
ら外側の配線パターンをアウターリードとする。
In the present invention, the inner lead means a wiring pattern portion arranged in parallel for connection to an electrode of a device, and a wiring pattern outside from a portion radially bent outward is defined as an outer lead. .

【0031】上記のように貼着される導体箔の例として
は、銅、アルミニウムを挙げることができる。また、こ
の導体箔、特に銅箔にはインジウムなどの他の金属成分
を少量添加することもできる。本発明では導体箔として
は銅箔を使用することが好ましい。銅箔材料には、電解
銅箔と圧延銅箔があり、本発明ではいずれの銅箔材料を
使用することができる。
Examples of the conductor foil to be adhered as described above include copper and aluminum. Further, a small amount of another metal component such as indium can be added to the conductor foil, particularly the copper foil. In the present invention, it is preferable to use a copper foil as the conductor foil. Copper foil materials include electrolytic copper foil and rolled copper foil, and any of the copper foil materials can be used in the present invention.

【0032】このような導体箔の平均厚さ(Tp)は、
通常は70μm以下、好ましくは4〜70μm、特に好
ましくは4〜40μm、さらに好ましくは4〜20μ
m、最も好ましくは4〜15μmの範囲内にある。特に
近時着目されているファインピッチのTABテープの場
合には、平均厚さ(Tp)が通常は4〜20μm、好ま
しくは4〜15μmの範囲内にある電解銅箔が使用され
る。
The average thickness (T p ) of such a conductor foil is:
Usually, 70 μm or less, preferably 4 to 70 μm, particularly preferably 4 to 40 μm, and more preferably 4 to 20 μm.
m, most preferably in the range of 4 to 15 μm. In particular, in the case of a fine pitch TAB tape that has recently attracted attention, an electrolytic copper foil having an average thickness (T p ) of usually 4 to 20 μm, preferably 4 to 15 μm is used.

【0033】上記のようにして絶縁フィルム上に導体箔
を接着剤を用いて接着した後、導体箔表面に感光性樹脂
(レジスト)を塗布する。次いで、この感光性樹脂に形
成する配線パターンを焼き付け現像した後、未硬化樹脂
を除去し、エッチングして配線パターンを形成する。エ
ッチング後、感光性樹脂(レジスト)を除去し、バンプ
電極が接触するインナーリード表面をメッキする。この
メッキの例としては、スズメッキ、金メッキ等挙げるこ
とができる。
After bonding the conductive foil on the insulating film using an adhesive as described above, a photosensitive resin (resist) is applied to the surface of the conductive foil. Next, after baking and developing the wiring pattern formed on the photosensitive resin, the uncured resin is removed and etched to form a wiring pattern. After the etching, the photosensitive resin (resist) is removed, and the surface of the inner lead with which the bump electrode contacts is plated. Examples of the plating include tin plating and gold plating.

【0034】さらに、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープには、必要によりソルダーレジストが塗
布される。また、図1に示す本発明の電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープには、デバイスを搭載するための
デバイスホール20が設けられた形態が示されている
が、このようなデバイスホールの代わりに、デバイスの
バンプに対応する絶縁フィルムにスリットを設けてデバ
イスを実装するようにしてもよい。
Further, the film carrier tape for mounting electronic parts of the present invention is coated with a solder resist as required. In addition, the film carrier tape for mounting electronic components of the present invention shown in FIG. 1 shows a form in which a device hole 20 for mounting a device is provided. The device may be mounted by providing a slit in the insulating film corresponding to the bump.

【0035】[0035]

【発明の効果】本発明によれば、軽量化およびファイン
ピッチ化に伴う薄手の絶縁フィルムを使用して反り変形
が低減され電子部品実装用フィルムキャリアテープが提
供される。
According to the present invention, there is provided a film carrier tape for mounting electronic parts, in which warpage is reduced by using a thin insulating film accompanying a reduction in weight and fine pitch.

【0036】すなわち、本発明の電子部品実装用フィル
ムキャリアテープでは、厚さ75μm以下の薄手の絶縁
フィルムを使用した場合において、接着剤層の厚さを絶
縁フィルムの厚さの15%以下の厚さに制御することに
より、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り変
形を低減している。そして、絶縁フィルムに対する接着
剤層の厚さを上記のようにすることにより、電子部品実
装用フィルムキャリアテープに反り変形が生じにくいと
ともに、配線パターンを確実に絶縁フィルムに接着する
ことができる。
That is, in the film carrier tape for mounting electronic parts of the present invention, when a thin insulating film having a thickness of 75 μm or less is used, the thickness of the adhesive layer is set to 15% or less of the thickness of the insulating film. This control reduces the warpage of the film carrier tape for mounting electronic components. By setting the thickness of the adhesive layer to the insulating film as described above, the electronic component mounting film carrier tape is less likely to be warped and the wiring pattern can be securely bonded to the insulating film.

【0037】従って、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープによれば、ボンディング不良による短絡
が生じにくい。また、ボンディング時のリード切れも発
生しにくい。
Therefore, according to the film carrier tape for mounting electronic parts of the present invention, a short circuit due to a bonding failure is unlikely to occur. In addition, lead breakage during bonding hardly occurs.

【0038】しかも、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープでは、絶縁フィルムを薄くすることがで
き、またこれに対応して接着剤層も薄くなるので、軽量
化、折り曲げ用途に適している。
Moreover, in the film carrier tape for mounting electronic parts of the present invention, the thickness of the insulating film can be reduced, and the thickness of the adhesive layer can be correspondingly reduced, which is suitable for weight reduction and bending applications.

【0039】さらに、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープは、ファインピッチ化に適している。ま
た、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープ
は、接着剤層を予め所定の厚さに調整された接着剤フィ
ルムを使用して形成することが好ましく、従来の装置を
利用した工程により製造することができる。また、本発
明の方法によれば接着剤層を形成する際に有機溶剤によ
る環境の汚染も生じない。
Furthermore, the film carrier tape for mounting electronic parts of the present invention is suitable for fine pitch. Further, the electronic component mounting film carrier tape of the present invention is preferably formed by using an adhesive film whose adhesive layer has been adjusted to a predetermined thickness in advance, and is manufactured by a process using a conventional apparatus. be able to. Further, according to the method of the present invention, no environmental pollution is caused by the organic solvent when forming the adhesive layer.

【0040】[0040]

【実施例】次に実施例を示して本発明をさらに詳細に説
明するが、本発明はこれらによって限定されるものでは
ない。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0041】[0041]

【実施例1】絶縁フィルムとして、幅(m)48mm、
厚さ(Tb)50μmのポリイミドフィルム(商品名:
ユーピレックス、宇部興産(株)製)を使用し、このポ
リイミドフィルムと、厚さ(Ta)を1μmに調整した
エポキシ系樹脂接着剤フィルムとを貼り合わせ、次い
で、この接着剤フィルム上に厚さ(Tp)9μmの電解
銅箔を載置して150℃にて加熱圧着した。この積層体
における接着剤層の絶縁フィルムに対する相対厚さ(T
a/Tb×100)は、2.0%である。
Example 1 As an insulating film, a width (m) of 48 mm,
50 μm thick (T b ) polyimide film (trade name:
This polyimide film and an epoxy resin adhesive film whose thickness (T a ) has been adjusted to 1 μm are bonded together using UPILEX, manufactured by Ube Industries, Ltd.). (T p ) An electrolytic copper foil having a thickness of 9 μm was placed and heated and pressed at 150 ° C. In this laminate, the relative thickness of the adhesive layer to the insulating film (T
a / Tb × 100) is 2.0%.

【0042】上記のようにして得られた積層体につい
て、図4に示す方法に従って、反り量(n)を測定した
ところ、0.4mmであり、絶縁フィルムの幅(m)に
対する反り率(n/m×100)は0.83%であった。
When the amount of warpage (n) of the laminate obtained as described above was measured in accordance with the method shown in FIG. 4, it was 0.4 mm, and the warpage ratio (n) with respect to the width (m) of the insulating film was measured. / M × 100) was 0.83%.

【0043】上記のようにして製造した積層体に、図1
に示すように、市販のフォトレジストを塗布して、イン
ナーリードのピッチ幅(P0)が50μm、インナーリー
ド15の幅(W0)が、25μmであり、隣接するイン
ナーリード15,15の間隙幅(S0)が25μmになる
ようにパターンを感光した後、エッチングして図1に示
すような配線パターンを形成し、常法に従ってボンディ
ング部に厚さ0.4μmのスズメッキ層を形成して電子
部品実装用フィルムキャリアテープを製造した。
FIG. 1 shows the laminated body manufactured as described above.
As shown in FIG. 5, a commercially available photoresist is applied, the pitch width (P 0 ) of the inner leads is 50 μm, the width (W 0 ) of the inner leads 15 is 25 μm, and the gap between the adjacent inner leads 15 After exposing the pattern so that the width (S 0 ) becomes 25 μm, etching is performed to form a wiring pattern as shown in FIG. 1, and a tin plating layer having a thickness of 0.4 μm is formed on the bonding portion according to a conventional method. A film carrier tape for mounting electronic components was manufactured.

【0044】こうして形成された電子部品実装用フィル
ムキャリアテープについて、インナーリードボンディン
グ部の不良率(ILB)およびアウターリードボンディ
ング部のボンディング不良率(OLB)を測定した。
With respect to the thus formed film carrier tape for mounting electronic components, the failure rate (ILB) of the inner lead bonding portion and the bonding failure rate (OLB) of the outer lead bonding portion were measured.

【0045】結果を表1に示す。The results are shown in Table 1.

【0046】[0046]

【実施例2】実施例1において、厚さ(Ta)1μmの
エポキシ系樹脂接着剤フィルムの代わりに、厚さ
(Ta)を5μmに調整したエポキシ系樹脂接着剤フィ
ルムを使用した以外は同様にして積層体を製造し、この
積層体を用いて電子部品実装用フィルムキャリアテープ
を製造した。この積層体における接着剤層の絶縁フィル
ムに対する相対厚さ(Ta/Tb×100)は、10.0%で
ある。
In Example 2 Example 1, in place of the thickness (T a) 1μm epoxy resin adhesive film, except for using the adjusted thickness of (T a) to 5μm epoxy resin adhesive film A laminate was produced in the same manner, and a film carrier tape for mounting electronic components was produced using the laminate. The relative thickness (T a / T b × 100) of the adhesive layer to the insulating film in this laminate is 10.0%.

【0047】上記のようにして得られた積層体から製造
された電子部品実装用フィルムキャリアテープについ
て、実施例1と同様にして測定した反り量(n)は1.
0mmであり、絶縁フィルムの幅(m)に対する反り率
(n/m×100)は2.08%であった。また、この電子
部品実装用フィルムキャリアテープについてボンディン
グ不良率を測定した。
With respect to the film carrier tape for mounting electronic parts manufactured from the laminate obtained as described above, the amount of warpage (n) measured in the same manner as in Example 1 was 1.
0 mm, and the warpage ratio (n / m × 100) with respect to the width (m) of the insulating film was 2.08%. The bonding failure rate of the film carrier tape for mounting electronic components was measured.

【0048】結果を表1に記載する。The results are shown in Table 1.

【0049】[0049]

【比較例1】実施例1において、厚さ(Ta)1μmの
エポキシ系樹脂接着剤フィルムの代わりに、厚さ
(Ta)を10μmに調整したエポキシ系樹脂接着剤フ
ィルムを使用した以外は同様にして積層体を製造し、こ
の積層体を用いて電子部品実装用フィルムキャリアテー
プを製造した。この積層体における接着剤層の絶縁フィ
ルムに対する相対厚さ(Ta/Tb×100)は、20.0%
である。
In Comparative Example 1 Example 1, in place of the thickness (T a) 1μm epoxy resin adhesive film, except for using the adjusted thickness of (T a) to 10μm epoxy resin adhesive film A laminate was produced in the same manner, and a film carrier tape for mounting electronic components was produced using the laminate. The relative thickness (T a / T b × 100) of the adhesive layer to the insulating film in this laminate was 20.0%
It is.

【0050】上記のようにして得られた積層体から製造
された電子部品実装用フィルムキャリアテープについ
て、実施例1と同様にして測定した反り量(n)は4.
0mmであり、絶縁フィルムの幅(m)に対する反り率
(n/m×100)は8.33%であり、反り率が著しく高
くなった。また、この電子部品実装用フィルムキャリア
テープについてボンディング不良率を測定した。
The warpage amount (n) of the film carrier tape for mounting electronic components manufactured from the laminate obtained as described above, which was measured in the same manner as in Example 1, was 4.
0 mm, and the warpage ratio (n / m × 100) with respect to the width (m) of the insulating film was 8.33%, and the warpage ratio was extremely high. The bonding failure rate of the film carrier tape for mounting electronic components was measured.

【0051】結果を表1に記載する。The results are shown in Table 1.

【0052】[0052]

【実施例3】実施例1において、厚さ(Tb)50μm
のポリイミドフィルムの代わりに、厚さ(Tb)を25
μmのポリイミドフィルムを使用した以外は同様にして
積層体を製造し、この積層体を用いて電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープを製造した。この積層体における
接着剤層の絶縁フィルムに対する相対厚さ(Ta/Tb×
100)は、4.0%である。
Embodiment 3 In Embodiment 1, the thickness (T b ) is 50 μm.
Thickness (T b ) instead of the polyimide film of 25
A laminate was produced in the same manner except that a μm polyimide film was used, and a film carrier tape for mounting electronic components was produced using this laminate. The relative thickness of the adhesive layer to the insulating film in this laminate (T a / T b ×
100) is 4.0%.

【0053】上記のようにして得られた積層体から製造
された電子部品実装用フィルムキャリアテープについ
て、実施例1と同様にして測定した反り量(n)は0.
8mmであり、絶縁フィルムの幅(m)に対する反り率
(n/m×100)は1.67%であった。また、この電子
部品実装用フィルムキャリアテープについてボンディン
グ不良率を測定した。
With respect to the film carrier tape for mounting electronic parts manufactured from the laminate obtained as described above, the amount of warpage (n) measured in the same manner as in Example 1 was 0.3.
The warp rate (n / m × 100) with respect to the width (m) of the insulating film was 1.67%. The bonding failure rate of the film carrier tape for mounting electronic components was measured.

【0054】結果を表1に記載する。The results are shown in Table 1.

【0055】[0055]

【比較例2】実施例3において、厚さ(Ta)1μmの
エポキシ系樹脂接着剤フィルムの代わりに、厚さ
(Ta)を5μmに調整したエポキシ系樹脂接着剤フィ
ルムを使用した以外は同様にして積層体を製造し、この
積層体を用いて電子部品実装用フィルムキャリアテープ
を製造した。この積層体における接着剤層の絶縁フィル
ムに対する相対厚さ(Ta/Tb×100)は、20.0%で
ある。
In Comparative Example 2 Example 3, in place of the thickness (T a) 1μm epoxy resin adhesive film, except for using the adjusted thickness of (T a) to 5μm epoxy resin adhesive film A laminate was produced in the same manner, and a film carrier tape for mounting electronic components was produced using the laminate. The relative thickness (T a / T b × 100) of the adhesive layer to the insulating film in this laminate is 20.0%.

【0056】上記のようにして得られた積層体から製造
された電子部品実装用フィルムキャリアテープについ
て、実施例1と同様にして測定した反り量(n)は4.
0mmであり、絶縁フィルムの幅(m)に対する反り率
(n/m×100)は8.33%であり、反り率が著しく高
くなった。また、この電子部品実装用フィルムキャリア
テープについてボンディング不良率を測定した。
The warpage amount (n) of the film carrier tape for mounting electronic components manufactured from the laminate obtained as described above, which was measured in the same manner as in Example 1, was 4.
0 mm, and the warpage ratio (n / m × 100) with respect to the width (m) of the insulating film was 8.33%, and the warpage ratio was extremely high. The bonding failure rate of the film carrier tape for mounting electronic components was measured.

【0057】結果を表1に記載する。The results are shown in Table 1.

【0058】[0058]

【比較例3】実施例3において、厚さ(Ta)1μmの
エポキシ系樹脂接着剤フィルムの代わりに、厚さ
(Ta)を10μmに調整したエポキシ系樹脂接着剤フ
ィルムを使用した以外は同様にして積層体を製造し、こ
の積層体を用いて電子部品実装用フィルムキャリアテー
プを製造した。この積層体における接着剤層の絶縁フィ
ルムに対する相対厚さ(Ta/Tb×100)は、40.0%
である。
In Comparative Example 3 Example 3, in place of the thickness (T a) 1μm epoxy resin adhesive film, except for using the adjusted thickness of (T a) to 10μm epoxy resin adhesive film A laminate was produced in the same manner, and a film carrier tape for mounting electronic components was produced using the laminate. The relative thickness (T a / T b × 100) of the adhesive layer to the insulating film in this laminate was 40.0%
It is.

【0059】上記のようにして得られた積層体から製造
された電子部品実装用フィルムキャリアテープについ
て、実施例1と同様にして測定した反り量(n)は8.
0mmであり、絶縁フィルムの幅(m)に対する反り率
(n/m×100)は16.67%であり、反り率が著しく
高くなった。また、この電子部品実装用フィルムキャリ
アテープについてボンディング不良率を測定した。
The warpage amount (n) of the film carrier tape for mounting electronic parts manufactured from the laminate obtained as described above, which was measured in the same manner as in Example 1, was 8.
0 mm, and the warpage rate (n / m × 100) with respect to the width (m) of the insulating film was 16.67%, and the warpage rate was significantly increased. The bonding failure rate of the film carrier tape for mounting electronic components was measured.

【0060】結果を表1に記載する。The results are shown in Table 1.

【0061】[0061]

【実施例4〜6】実施例1において、厚さ(Tb)50
μmのポリイミドフィルムの代わりに、厚さ(Tb)を
75μmのポリイミドフィルムを使用し、接着剤フィル
ムとして、厚さ1μmのエポキシ系樹脂接着剤[(Ta
/Tb×100)=1.3%、実施例4]、厚さ5μmのエ
ポキシ系樹脂接着剤[(Ta/Tb×100)=6.6%、実
施例5]、厚さ10μmのエポキシ系樹脂接着剤[(T
a/Tb×100)=13.3%、実施例6]を使用した以外
は同様にして積層体を製造し、この積層体を用いて電子
部品実装用フィルムキャリアテープを製造した。
Embodiments 4 to 6 In the embodiment 1, the thickness ( Tb ) is 50.
A polyimide film having a thickness (T b ) of 75 μm was used instead of the polyimide film having a thickness of μm, and an epoxy resin adhesive [(T a
/ T b × 100) = 1.3 %, Example 4, an epoxy resin adhesive having a thickness of 5μm [(T a / T b × 100) = 6.6%, Example 5], thickness 10μm Epoxy resin adhesive [(T
a / Tb × 100) = 13.3%, Example 6], except that the laminated body was manufactured, and a film carrier tape for mounting electronic components was manufactured using the laminated body.

【0062】上記のようにして得られた積層体から製造
された電子部品実装用フィルムキャリアテープについ
て、実施例1と同様にして測定した実施例4における反
り量(n)は0.2mmであり、絶縁フィルムの幅
(m)に対する反り率(n/m×100)は0.42%であ
り、実施例5における反り量(n)は0.7mmであ
り、絶縁フィルムの幅(m)に対する反り率(n/m×
100)は1.46%であり、実施例6における反り量
(n)は1.2mmであり、絶縁フィルムの幅(m)に
対する反り率(n/m×100)は2.50%であった。
For the film carrier tape for mounting electronic parts manufactured from the laminate obtained as described above, the amount of warpage (n) in Example 4 measured in the same manner as in Example 1 was 0.2 mm. The warpage rate (n / m × 100) with respect to the width (m) of the insulating film was 0.42%, the warpage amount (n) in Example 5 was 0.7 mm, and the width (m) with respect to the width (m) of the insulating film. Warpage rate (n / mx
100) is 1.46%, the amount of warpage (n) in Example 6 is 1.2 mm, and the warpage rate (n / m × 100) with respect to the width (m) of the insulating film is 2.50%. Was.

【0063】また、この電子部品実装用フィルムキャリ
アテープについてボンディング不良率を測定した。結果
を表1に記載する。
The bonding failure rate of the film carrier tape for mounting electronic components was measured. The results are shown in Table 1.

【0064】[0064]

【表1】 [Table 1]

【0065】上記表1に示した接着剤層の相対厚さと、
反り量および反り率との関係を図5に示す。図5から明
らかなように、接着剤層相対厚さが15%までは反り量
および反り率の増加は少ないが、接着剤層相対厚さが1
5%を超えると、反り量および反り率剤層相対厚さ15
%は、反り量および反り率に対して臨界的な値である。
The relative thickness of the adhesive layer shown in Table 1 above,
FIG. 5 shows the relationship between the amount of warpage and the warpage rate. As is clear from FIG. 5, the increase in the amount of warpage and the warpage ratio is small up to a relative thickness of the adhesive layer of 15%, but the relative thickness of the adhesive layer is 1%.
If it exceeds 5%, the warp amount and the warp ratio agent layer relative thickness 15
% Is a critical value for the amount of warpage and the warpage rate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 図1は、本発明の電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの例を模式的に示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view schematically showing an example of a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.

【図2】 図2は、図1におけるAの部分の拡大図であ
る。
FIG. 2 is an enlarged view of a portion A in FIG.

【図3】 図3は、図1に示すX−X線におけるテープの
部分断面図である。
FIG. 3 is a partial sectional view of the tape taken along line XX shown in FIG. 1;

【図4】 図4は、本発明における電子部品実装用フィ
ルムキャリアテープの反り量を測定する方法を示す図で
ある。
FIG. 4 is a view showing a method for measuring the amount of warpage of the film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.

【図5】 図5は、接着剤層の相対厚さと、反り量およ
び反り率との関係を表わすグラフである。
FIG. 5 is a graph showing the relationship between the relative thickness of the adhesive layer and the amount of warpage and the warpage ratio.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・電子部品実装用フィルムキャリアテープ 10・・・絶縁フィルム 12・・・接着剤層 14・・・導体箔 15・・・インナーリード 16・・・アウターリード 21・・・スプロケットホール DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electronic component mounting film carrier tape 10 ... Insulating film 12 ... Adhesive layer 14 ... Conductor foil 15 ... Inner lead 16 ... Outer lead 21 ... Sprocket hole

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4J002 CC031 CD001 CD201 GJ01 GQ00 HA05 4J004 AA13 AB05 CA06 CA07 CB01 CC02 FA05 FA08 GA01 4J043 PA02 QB15 QB26 QB31 RA35 SA06 SB01 TA22 TB01 UA122 UA132 UA632 UA662 UA672 UB402 VA022 VA062 ZA46 ZB11 ZB50 4M105 AA03 CC03 CC11 CC48  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F-term (reference) 4J002 CC031 CD001 CD201 GJ01 GQ00 HA05 4J004 AA13 AB05 CA06 CA07 CB01 CC02 FA05 FA08 GA01 4J043 PA02 QB15 QB26 QB31 RA35 SA06 SB01 TA22 TB01 UA122 UA132 UA632 UA662 ZUAB 462 4M105 AA03 CC03 CC11 CC48

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】平均厚さが75μm以下である薄厚の絶縁
フィルムに、該絶縁フィルムの平均厚さの15%以下の
平均厚さを有する接着剤層を介して所望の配線パターン
にエッチングされた導体箔が接着されている反りの低減
された電子部品実装用フィルムキャリアテープ。
1. A desired wiring pattern is etched on a thin insulating film having an average thickness of 75 μm or less via an adhesive layer having an average thickness of 15% or less of the average thickness of the insulating film. A film carrier tape for mounting electronic components with reduced warpage to which a conductive foil is adhered.
【請求項2】前記薄厚の絶縁フィルムが、平均厚さ20
〜75μmのポリイミドフィルムであることを特徴とす
る請求項第1項記載の電子部品実装用フィルムキャリア
テープ。
2. The method according to claim 1, wherein said thin insulating film has an average thickness of 20.
2. The film carrier tape for mounting electronic parts according to claim 1, wherein the film carrier tape is a polyimide film having a thickness of from 75 to 75 [mu] m.
【請求項3】前記接着剤層の平均厚さが、薄厚の絶縁フ
ィルムの平均厚さの0.5〜14%の範囲内にあること
を特徴とする請求項第1項または第2項記載の電子部品
実装用フィルムキャリアテープ。
3. The method according to claim 1, wherein the average thickness of the adhesive layer is in the range of 0.5 to 14% of the average thickness of the thin insulating film. Film carrier tape for mounting electronic components.
【請求項4】前記接着剤層が、熱硬化性樹脂からなるフ
ィルムにより形成されていることを特徴とする請求項第
1項記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープ。
4. The film carrier tape according to claim 1, wherein said adhesive layer is formed of a film made of a thermosetting resin.
【請求項5】前記導体箔が平均厚さ70μm以下の電解
銅箔であることを特徴とする請求項第1項記載の電子部
品実装用キャリアテープ。
5. The carrier tape for mounting electronic parts according to claim 1, wherein said conductive foil is an electrolytic copper foil having an average thickness of 70 μm or less.
【請求項6】前記薄厚の絶縁フィルムに接着剤層を介し
て平均厚さ9μmの電解銅箔を加熱圧着したときテープ
の幅方向における反り率が、テープ幅の3.50%以下
であることを特徴とする請求項第1項記載の電子部品実
装用フィルムキャリアテープ。
6. A warp ratio in the width direction of the tape when an electrolytic copper foil having an average thickness of 9 μm is thermocompression-bonded to the thin insulating film via an adhesive layer, is not more than 3.50% of the tape width. The film carrier tape for mounting electronic components according to claim 1, wherein:
【請求項7】前記導体箔により形成される配線パターン
の最狭部のピッチ幅が200μm以下であることを特徴
とする請求項第1項記載の電子部品実装用フィルムキャ
リアテープ。
7. The film carrier tape according to claim 1, wherein a pitch width of a narrowest portion of the wiring pattern formed by the conductive foil is 200 μm or less.
【請求項8】平均厚さが75μm以下である薄厚の絶縁
フィルムの少なくとも一方の表面に、該絶縁フィルムの
平均厚さの15%以下の平均厚さに予め調製された接着
剤フィルムおよび該接着フィルムを介して導体箔を貼着
し、該導体箔を所望の配線パターンにエッチングするこ
とにより反りの低減された電子部品実装用フィルムキャ
リアテープを製造する方法。
8. An adhesive film previously prepared on at least one surface of a thin insulating film having an average thickness of 75 μm or less and having an average thickness of 15% or less of the average thickness of the insulating film, and the adhesive film. A method for producing a film carrier tape for mounting electronic components with reduced warpage by attaching a conductor foil via a film and etching the conductor foil into a desired wiring pattern.
【請求項9】前記薄厚の絶縁フィルムが、平均厚さ20
〜75μmのポリイミドフィルムであることを特徴とす
る請求項第8項記載の方法。
9. The thin insulating film having an average thickness of 20
9. The method according to claim 8, which is a polyimide film of .about.75 .mu.m.
【請求項10】前記予め調製された接着剤フィルムの平
均厚さが、薄厚の絶縁フィルムの平均厚さの0.5〜1
4%の範囲内にあることを特徴とする請求項第8項また
は第9項記載の方法。
10. The average thickness of the previously prepared adhesive film is 0.5 to 1 of the average thickness of the thin insulating film.
10. A method according to claim 8 or claim 9, wherein the value is in the range of 4%.
【請求項11】前記接着剤フィルムが、熱硬化性樹脂か
らなることを特徴とする請求項第8項記載の方法。
11. The method according to claim 8, wherein said adhesive film comprises a thermosetting resin.
【請求項12】前記導体箔が平均厚さ70μm以下の電
解銅箔であることを特徴とする請求項第8項記載の方
法。
12. The method according to claim 8, wherein said conductive foil is an electrolytic copper foil having an average thickness of 70 μm or less.
【請求項13】前記薄厚の絶縁フィルムに接着剤フィル
ムを介して平均厚さ9μmの電解銅箔を加熱圧着したと
きテープの幅方向における反り率が、テープ幅の3.5
0%以下であることを特徴とする請求項第8項記載の方
法。
13. When the electrolytic copper foil having an average thickness of 9 μm is heat-pressed to the thin insulating film via an adhesive film, the warp ratio in the width direction of the tape becomes 3.5 times the tape width.
9. The method according to claim 8, wherein the value is 0% or less.
【請求項14】前記導体箔により形成される配線パター
ンの最狭部のピッチ幅が200μm以下であることを特
徴とする請求項第8項記載の方法。
14. The method according to claim 8, wherein the pitch width of the narrowest part of the wiring pattern formed by the conductive foil is 200 μm or less.
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JP2015026773A (en) * 2013-07-29 2015-02-05 京セラサーキットソリューションズ株式会社 Wiring board
KR20180054944A (en) * 2016-11-14 2018-05-25 한국기계연구원 Carrier film with variable hardness

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011077201A (en) * 2009-09-29 2011-04-14 Fuji Electric Systems Co Ltd Semiconductor device manufacturing method
JP2015026773A (en) * 2013-07-29 2015-02-05 京セラサーキットソリューションズ株式会社 Wiring board
KR20180054944A (en) * 2016-11-14 2018-05-25 한국기계연구원 Carrier film with variable hardness
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