FR2957145A1

FR2957145A1 - ASSEMBLY OF ROTATION SPEED SENSOR ELECTRODES AND EQUIPPED SENSOR AND METHOD OF DETERMINING A ROTATION SPEED

Info

Publication number: FR2957145A1
Application number: FR1151805A
Authority: FR
Inventors: Torsten Ohms; Daniel Christoph Meisel; Joerg Hauer
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2010-03-08
Filing date: 2011-03-07
Publication date: 2011-09-09
Anticipated expiration: 2031-03-07
Also published as: FR2957145B1; CN102192733A; CN102192733B; DE102010002657A1

Abstract

Montage d'électrodes de capteur de vitesse de rotation comportant un montage oscillant ayant au moins une électrode excitée pour osciller dans un plan prédéfini par le montage d'électrodes et/ou perpendiculaire à ce plan, le montage d'électrodes ayant au moins une contre électrode fixe pour la saisie capacitive du débattement une partie du dispositif oscillant comportant l'électrode, transversalement au plan. Le montage comporte plusieurs électrodes fixes (18, 19) et au moins une contre-électrode (18) sur un côté du plan (15) et au moins une autre contre-électrode (19) sur l'autre côté du plan (15) pour former une paire d'électrodes (16, 17) suivant une disposition pratiquement symétrique plane.Installation of speed sensor electrodes comprising an oscillating arrangement having at least one electrode excited to oscillate in a predefined plane by the electrode assembly and / or perpendicular thereto, the mounting of electrodes having at least one against fixed electrode for the capacitive capture of the displacement part of the oscillating device comprising the electrode, transversely to the plane. The assembly comprises a plurality of fixed electrodes (18, 19) and at least one counter electrode (18) on one side of the plane (15) and at least one other counter electrode (19) on the other side of the plane (15). to form a pair of electrodes (16, 17) in a substantially flat symmetrical arrangement.

Description

1 Domaine de l'invention La présente invention se rapporte à montage d'électrodes pour un capteur de vitesse de rotation comportant un montage oscillant ayant au moins une électrode qui peut être excitée pour osciller dans un plan prédéfini par le montage d'électrodes et/ou perpendiculairement à ce plan, le montage d'électrodes ayant au moins une contre électrode fixe pour la saisie capacitive du débattement d'une partie du dispositif oscillant comportant l'électrode, transversalement au plan. FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to an electrode assembly for a rotational speed sensor comprising an oscillating arrangement having at least one electrode that can be excited to oscillate in a predefined plane by the electrode assembly and / or or perpendicularly to this plane, the assembly of electrodes having at least one fixed counter-electrode for the capacitive capture of the displacement of a part of the oscillating device comprising the electrode, transversely to the plane.

L'invention se rapporte également à un capteur de vitesse de rotation avec un montage d'électrodes ainsi qu'un procédé pour déterminer la vitesse de rotation à l'aide d'un montage d'électrodes ayant au moins un montage oscillant comportant au moins une électrode excitée pour se déplacer dans un plan d'un système de référence du montage d'électrodes et d'au moins une contre-électrode fixe dans le système de référence pour la saisie capacitive du débattement d'au moins une partie du montage oscillant comportant l'électrode, transversalement au plan. Etat de la technique Les montages d'électrodes notamment ceux de capteurs de vitesse de rotation sont connus ; il s'agit par exemple de montage d'électrodes ayant des structures constituées par des éléments massiques susceptibles d'osciller dans un plan. Ces structures sont soumises à un mouvement linéaire périodique dans le plan, par des installations d'entraînement. Si sous l'effet d'un mouvement de rotation une accélération de Coriolis agit sur la structure qui oscille dans le plan, cette structure sera déviée transversalement au plan. Le débattement engendré est saisi de manière capacitive pour être exploité. Le document WO 97/02467 décrit un capteur de vitesse de rotation dans lequel on saisit un débattement perpendiculaire au plan à l'aide de contre-électrodes. Ces contre-électrodes réalisées sous la forme d'électrodes de détection sont installées sous la structure oscillante. The invention also relates to a rotational speed sensor with an electrode arrangement and a method for determining the rotational speed by means of an electrode arrangement having at least one oscillating arrangement comprising at least one an electrode excited to move in a plane of a reference system of the electrode assembly and at least one fixed counter-electrode in the reference system for the capacitive capture of the displacement of at least a portion of the oscillating assembly comprising the electrode, transversely to the plane. State of the art Electrode assemblies, particularly those of rotational speed sensors, are known; it is for example an assembly of electrodes having structures consisting of mass elements capable of oscillating in a plane. These structures are subjected to periodic linear movement in the plane, by training facilities. If under the effect of a rotational movement a Coriolis acceleration acts on the structure oscillating in the plane, this structure will be deviated transversely to the plane. The generated travel is captured capacitively to be exploited. WO 97/02467 discloses a rotational speed sensor in which a deflection perpendicular to the plane is captured by means of counter-electrodes. These counter-electrodes made in the form of detection electrodes are installed under the oscillating structure.

2 But de l'invention La présente invention a pour but de développer un montage d'électrodes pour un capteur de vitesse de rotation ainsi qu'un capteur de vitesse de rotation et un procédé pour déterminer la vitesse de rotation, permettant de mieux utiliser la surface de base du montage des électrodes et d'augmenter la précision de la mesure. Exposé et avantages de l'invention A cet effet l'invention a pour objet un montage d'électrodes du type défini ci-dessus caractérisé en ce que il comporte plusieurs contre-électrodes fixes - au moins une contre-électrode étant prévue sur un côté du plan et au moins une autre contre-électrode, sur l'autre côté du plan pour former au moins une paire d'électrodes suivant une disposition pratiquement symétrique plane. It is an object of the present invention to provide an electrode assembly for a rotational speed sensor as well as a rotational speed sensor and a method for determining rotational speed, making it possible to better utilize the rotational speed sensor. base surface of the electrode assembly and increase the accuracy of the measurement. DESCRIPTION AND ADVANTAGES OF THE INVENTION For this purpose, the subject of the invention is an assembly of electrodes of the type defined above, characterized in that it comprises a plurality of fixed counter-electrodes - at least one counter-electrode being provided on one side of the plane and at least one other counter-electrode, on the other side of the plane to form at least one pair of electrodes in a substantially flat symmetrical arrangement.

Le montage d'électrodes selon l'invention a l'avantage que la mise en place des contre-électrodes sur les deux faces permet d'avoir une capacité de mesure double pour un même encombrement en surface par comparaison avec un montage sur une seule face. Le montage de mesure selon l'invention repose sur l'idée d'utiliser de manière optimale la surface du montage oscillant et de doubler la capacité de mesure pour un même encombrement en surface. Cela se fait grâce au montage de contre-électrodes fixes sur deux côtés, et ces montages forment un montage d'électrodes avec une électrode excitée pour osciller. Le montage des contre-électrodes sur les deux côtés, double la capacité de détection pour un même encombrement en surface. Ce montage d'électrodes peut servir à la fois pour des électrodes de détection et aussi pour des électrodes de régulation de position en retour ou encore des électrodes d'entraînement ou autres électrodes de compensation (par exemple des électrodes de compensation en quadrature). Le montage sur un côté des contre-électrodes fixes dans le cas d'électrodes de régulation de position en retour permet à la force électrostative assurant la régulation de position en retour seulement d'un côté sur le capteur ce qui se traduit par une asymétrie et une réduction de la capacité de régulation. Grâce au montage des éléments The assembly of electrodes according to the invention has the advantage that the placement of the counter-electrodes on the two faces makes it possible to have a double measurement capacity for the same surface bulk compared with a single-face mounting. . The measuring assembly according to the invention is based on the idea of optimally using the surface of the oscillating assembly and doubling the measuring capacity for the same surface bulk. This is done by mounting counter electrodes fixed on two sides, and these assemblies form an electrode assembly with an electrode excited to oscillate. Mounting the counter-electrodes on both sides doubles the detection capacity for the same surface area. This electrode arrangement can be used both for sensing electrodes and also for feedback position regulating electrodes or driving electrodes or other compensating electrodes (eg quadrature compensation electrodes). The one-side mounting of the fixed counter-electrodes in the case of back-position regulating electrodes allows the electrostatic force to provide back-position regulation only on one side of the sensor which results in asymmetry and a reduction in the regulatory capacity. Thanks to the assembly of the elements

3 massiques selon l'invention avec des contre-électrodes installées sur les deux faces on évite ces difficultés et on augmente la plage de commande. Le montage d'électrodes peut également se transposer et s'utiliser comme montage avec des électrodes d'entraînement, qui régule l'entraînement hors du plan et le long du plan. Dans le cas d'un montage sur une face des contre-électrodes fixes pour des électrodes d'entraînement, on a également une asymétrie gênante et qui présente un plus grand encombrement en surface. Le montage des contre- électrodes sur les deux faces permet d'éviter ces inconvénients et d'augmenter en outre l'efficacité de l'entraînement. Les contre-électrodes du montage d'électrodes sont fixes sur un côté (montage fixe) et forment avec une paire d'électrodes d'autres contre-électrodes fixes (montage fixe) sur l'autre côté du plan. 3 mass according to the invention with counter electrodes installed on both sides avoids these difficulties and increases the control range. The electrode assembly can also be transposed and used as an assembly with drive electrodes, which regulates the drive off the plane and along the plane. In the case of a mounting on one side of the fixed counter-electrodes for drive electrodes, there is also an uncomfortable asymmetry and which has a larger footprint at the surface. Mounting the counter electrodes on both sides avoids these disadvantages and further increases the efficiency of the drive. The counter electrodes of the electrode assembly are fixed on one side (fixed mounting) and form with a pair of electrodes of other fixed counter electrodes (fixed mounting) on the other side of the plane.

Les expressions « fixe » ou « montage fixe » signifient une position fixe dans le montage des électrodes. L'invention a également pour objet un capteur de vitesse de rotation équipé d'un montage d'électrodes comme défini ci-dessus et ayant un montage oscillant avec au moins une électrode excitée pour osciller dans un plan prédéfini par le montage d'électrodes et/ou perpendiculairement à ce plan. Selon un développement avantageux de l'invention on utilise au moins deux paires d'électrodes. Ces paires d'électrodes sont associées respectivement en opposition de phase à des segments à dévier du montage oscillant. Chaque fois une contre-électrode de la paire d'électrodes est court-circuitée avec une autre contre-électrode d'une autre paire d'électrodes sur l'autre côté du plan ce qui crée un montage différentiel pour les capacités augmentant d'autant la précision de la mesure. The terms "fixed" or "fixed mount" mean a fixed position in the electrode assembly. The invention also relates to a rotational speed sensor equipped with an electrode assembly as defined above and having an oscillating arrangement with at least one electrode excited to oscillate in a predefined plane by the mounting of electrodes and or perpendicular to this plane. According to an advantageous development of the invention, at least two pairs of electrodes are used. These pairs of electrodes are respectively associated in phase opposition with segments to deviate from the oscillating arrangement. Each time a counter-electrode of the pair of electrodes is short-circuited with another counter-electrode of another pair of electrodes on the other side of the plane which creates a differential mount for the capabilities increasing accordingly. the accuracy of the measurement.

De façon avantageuse, le montage oscillant se compose d'au moins deux segments qui peuvent par exemple être mis en oscillation par une installation d'entraînement. Les deux segments sont de préférence de construction pratiquement symétrique et installés pratiquement sur un montage symétrique. Pour exciter le montage oscillant on peut par exemple utiliser un entraînement électrostatique à Advantageously, the oscillating arrangement consists of at least two segments which can for example be oscillated by a drive installation. The two segments are preferably of substantially symmetrical construction and practically mounted on a symmetrical mounting. To excite the oscillating assembly, an electrostatic drive can be used for example.

4 peignes. Les deux segments du dispositif oscillant sont de préférence des éléments massiques susceptibles d'osciller et qui sont installés en opposition de phase l'un par rapport à l'autre pour osciller. L'oscillation en opposition de phase peut être une oscillation en translation ou une oscillation en rotation. Les perturbations liées aux accélérations transversales agissant sur les deux segments dans la même direction pourront être facilement éliminées. Un montage différentiel, élimine automatiquement ces perturbations. Il est également avantageux que les éléments massiques io susceptibles d'osciller soient reliés entre eux et qu'ils soient reliés par d'autres éléments à ressort au montage de mesure, aux points d'ancrage. Il est avantageux que les contre-électrodes possèdent des surfaces d'électrodes alignées sur des éléments massiques susceptibles 15 d'osciller, et plus petites que la surface correspondante des éléments massiques associés, susceptibles d'osciller. Ainsi à tout instant du mouvement des éléments massiques oscillants, les contre-électrodes resteront au niveau des contre-électrodes associées. Le capteur de vitesse de rotation selon un mode de 20 réalisation préférentiel de l'invention comporte une installation de détermination pour déterminer une vitesse de rotation. La vitesse de rotation s'obtient à partir de la différence mesurée des capacités d'au moins une électrode du montage oscillant et des contre-électrodes de la paire d'électrodes associée et d'au moins un paramètre d'oscillation. Ce 25 paramètre d'oscillation est notamment une position dépendant du temps d'un point de référence du montage oscillant. Le paramètre d'oscillation est déterminé de préférence à l'aide d'un dispositif de capteurs. Ce dispositif de capteurs peut être par exemple un peigne électrostatique et les éléments massiques susceptibles d'osciller peuvent 30 également avoir un peigne mobile et former un peigne fixe sur le substrat constituant un condensateur. L'oscillation peut ainsi se saisir dans le plan prédéfini. L'invention a également pour objet un procédé de détermination de la vitesse de rotation du type défini ci-dessus, ce 35 procédé étant caractérisé en ce que plusieurs contre-électrodes installées de part et d'autre du plan, par paire, avec pratiquement une symétrie plane et on détermine le débattement en mesurant une différence des capacités d'au moins une électrode et de la contre-électrode de la paire d'électrodes. 5 L'électrode est excitée pour bouger dans un plan d'un système de référence du montage d'électrodes et le montage d'électrodes saisit de manière capacitive avec au moins une contre-électrode fixe dans le système de référence, un débattement au moins du segment du montage oscillant comportant l'électrode, transversalement au plan. 4 combs. The two segments of the oscillating device are preferably mass elements capable of oscillating and which are installed in phase opposition with respect to each other to oscillate. The oscillation in phase opposition may be a translation oscillation or a rotation oscillation. Disturbances related to transverse accelerations acting on the two segments in the same direction can be easily eliminated. A differential mounting, automatically eliminates these disturbances. It is also advantageous for oscillating mass elements to be connected to each other and to be connected by other spring elements to the measuring fixture at the anchor points. It is advantageous for the counter-electrodes to have aligned electrode surfaces on mass elements which are oscillatable and smaller than the corresponding surface of the associated mass elements which are capable of oscillating. Thus, at any instant of the movement of the oscillating mass elements, the counter-electrodes will remain at the level of the associated counter-electrodes. The rotational speed sensor according to a preferred embodiment of the invention comprises a determination apparatus for determining a rotational speed. The rotational speed is obtained from the measured difference in capacitances of at least one electrode of the oscillating arrangement and the counter-electrodes of the associated pair of electrodes and at least one oscillation parameter. This oscillation parameter is in particular a time-dependent position of a reference point of the oscillating arrangement. The oscillation parameter is preferably determined using a sensor device. This sensor device may for example be an electrostatic comb and the oscillating mass elements may also have a moving comb and form a fixed comb on the capacitor substrate. The oscillation can thus be grasped in the predefined plane. The invention also relates to a method for determining the rotation speed of the type defined above, this method being characterized in that a plurality of counter-electrodes installed on either side of the plane, in pairs, with substantially a planar symmetry and the displacement is determined by measuring a difference in the capacitances of at least one electrode and the counter-electrode of the pair of electrodes. The electrode is excited to move in a plane of a reference system of the electrode assembly and the electrode assembly capacitively grabs with at least one fixed counter-electrode in the reference system at least one deflection. of the oscillating mounting segment comprising the electrode, transversely to the plane.

Plusieurs contre-électrodes sont prévues par paire de part et d'autre du plan selon un montage avec pratiquement une symétrie plane et le débattement est fourni par une mesure des différences de capacités. Vis-à-vis d'une mesure de capacités à l'aide de simples paires électrodes/contre-électrodes a l'avantage d'offrir une capacité de mesure double par comparaison à l'encombrement en surface. Selon un développement avantageux de l'invention, la vitesse de rotation se détermine à partir de la différence des capacités mesurées et d'au moins un paramètre d'oscillation, obtenu. La contre-électrode ci-dessus peut être réalisée par un capuchon 20 structuré mis en place a posteriori ou par le dépôt d'une autre couche au cours de l'application du procédé. Dessins La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide d'un capteur de vitesse de rotation représenté 25 schématiquement dans les dessins annexés dans lesquels : - la figure 1 est une vue de dessus d'un capteur de vitesse de rotation avec un montage d'électrodes, - la figure 2 est une vue de côté du montage des électrodes du capteur de vitesse de rotation de la figure 1. 30 Description du mode de réalisation de l'invention La figure 1 montre schématiquement et à titre d'exemple un mode de réalisation d'un montage d'électrodes 1 selon la présente invention. Le montage d'électrodes 1 de cet exemple est installé dans un capteur de vitesse de rotation 2 dont il fait partie. Several counter-electrodes are provided in pairs on both sides of the plane in an arrangement with substantially plane symmetry and the deflection is provided by a measurement of the differences in capacitances. With respect to a capacitance measurement using single electrode / counter-electrode pairs, the advantage of offering a double measurement capacity compared to the surface bulk. According to an advantageous development of the invention, the speed of rotation is determined from the difference in the measured capacitances and at least one oscillation parameter obtained. The above counter-electrode can be made by a structured cap placed a posteriori or by the deposition of another layer during the application of the method. Drawings The present invention will be described in more detail below with the aid of a rotational speed sensor shown diagrammatically in the accompanying drawings in which: - Figure 1 is a top view of a speed sensor Fig. 2 is a side view of the mounting of the rotational speed sensor electrodes of Fig. 1. DESCRIPTION OF THE EMBODIMENT OF THE INVENTION Fig. 1 shows schematically and at By way of example, an embodiment of an electrode arrangement 1 according to the present invention. The electrode assembly 1 of this example is installed in a speed sensor 2 of which it forms part.

6 Le capteur de vitesse de rotation 2 comporte un montage oscillant 3 formé de deux parties 4, 5. Les deux parties 4, 5 de structure et d'installation symétriques, se composent d'éléments de ressort 6, 7 et d'éléments massiques 8, 9 susceptibles d'osciller (encore appelés éléments de Coriolis). Les éléments massiques 8 ,9 ont la même masse. Le montage oscillant 3 est fixé de manière à pouvoir osciller dans un support non représenté du montage d'électrodes 1 par l'intermédiaire de points d'ancrage 10. Chaque élément massique 8, 9 est relié à deux points d'ancrage 10 par l'intermédiaire d'un élément de ressort 6 et les deux éléments massiques 8, 9 sont en outre reliés l'un à l'autre par deux autres éléments de ressort 7. Les deux parties 4, 5 résultent des éléments de ressort 6 reliant chacun l'élément massique correspondant 8, 9 aux points d'ancrage 10 respectifs et des éléments de ressort 7 reliant élastiquement chacun une partie des deux éléments massiques 8,9. Chaque segment 4, 5 comporte au moins une électrode 11, 12. Les éléments massiques 8, 9 sont électro-conducteurs ou des éléments massiques semi-conducteurs constituant directement les électrodes 11, 12. En variante, les électrodes 11, 12 sont par exemple réalisées comme des électrodes 11, 12 sur les faces 13, 14 de chaque élément massique 8, 9. Les points d'ancrage 10 se situent dans un plan 15 du montage d'électrodes 1. Ce plan 15 est sous-tendu dans le plan x-y du système de coordonnées présenté aux figures 1 et 2. Le montage oscillant 3 peut osciller dans le plan 15. Pour cela, les éléments massiques 8, 9 des deux parties 4, 5 du montage oscillant 3 pourront osciller en phase ou en opposition de phase l'un par rapport à l'autre. Une paire d'électrodes 16, 17 est prévue transversalement aux faces 13, 14 des électrodes 11, 12 de chacun des éléments massiques 8, 9 avec chaque fois deux contre-électrodes 18, 19 installées de manière fixe des deux côtés des électrodes 11, 12 par rapport au montage d'électrodes 1. Les contre-électrodes 18, 19 sont représentées à la figure 2 comme étant au-dessus et en-dessous des éléments massiques 8, 9. Les contre-électrodes 18, 19 sont installées de manière fixe sur le substrat d'un montage d'électrodes 1. Le montage The rotational speed sensor 2 comprises an oscillating mounting 3 formed of two parts 4, 5. The two parts 4, 5 of symmetrical structure and installation consist of spring elements 6, 7 and mass elements. 8, 9 likely to oscillate (still called Coriolis elements). The mass elements 8, 9 have the same mass. The oscillating assembly 3 is fixed so as to be able to oscillate in a not shown support of the electrode assembly 1 by means of anchoring points 10. Each mass element 8, 9 is connected to two anchoring points 10 by means of intermediate of a spring element 6 and the two mass elements 8, 9 are further connected to one another by two other spring elements 7. The two parts 4, 5 result spring elements 6 connecting each the corresponding mass element 8, 9 at the respective anchoring points 10 and spring elements 7 each elastically connecting a portion of the two mass elements 8, 9. Each segment 4, 5 comprises at least one electrode 11, 12. The mass elements 8, 9 are electrically conductive or semiconductor mass elements directly constituting the electrodes 11, 12. In a variant, the electrodes 11, 12 are, for example, made as electrodes 11, 12 on the faces 13, 14 of each mass element 8, 9. The anchoring points 10 are located in a plane 15 of the electrode assembly 1. This plane 15 is subtended in the plane xy of the coordinate system shown in Figures 1 and 2. The oscillating assembly 3 can oscillate in the plane 15. For this, the mass elements 8, 9 of the two parts 4, 5 of the oscillating assembly 3 may oscillate in phase or in opposition to phase relative to each other. A pair of electrodes 16, 17 is provided transversely to the faces 13, 14 of the electrodes 11, 12 of each of the mass elements 8, 9 with each time two counter electrodes 18, 19 fixedly installed on both sides of the electrodes 11, 12 against the electrode assembly 1. The counter electrodes 18, 19 are shown in FIG. 2 as being above and below the mass elements 8, 9. The counter electrodes 18, 19 are installed fixed on the substrate of an electrode assembly 1. The mounting

7 fixe des contre-électrodes 18, 19 sur le substrat se fait par exemple par l'intermédiaire d'une couche d'isolation, en particulier d'une couche d'oxyde de silicium. Les contre-électrodes 18, 19 ont chacune une surface d'électrodes 20, alignée par rapport aux éléments massiques 8, 9 susceptibles d'osciller ; cette surface d'électrode est plus petite que la surface correspondante 13, 14 de l'électrode 11, 12 associée. Les contre-électrodes 18, 19 sont associées à un dispositif de saisie du capteur de vitesse de rotation 2 pour une saisie capacitive du débattement des parties 4, 5 avec les électrodes 11, 12 du montage oscillant 3 transversal au plan 15. La figure 1 montre que le contour des contre-électrodes 18, 19 est adapté au contour des éléments massiques 8, 9 susceptibles d'osciller et qui correspondent aux électrodes 11, 12. Les contre-électrodes sont dimensionnées pour que la capacité entre les électrodes 11, 12 et leurs contre-électrodes 18, 19 des paires d'électrodes 17, 18 ne soit pas modifiée ou ne le soit que très peu par l'oscillation du montage oscillant 3 dans le plan 15. Une installation d'entraînement non représentée (cette installation peut être par exemple un entraînement électrostatique de type peigne) permet d'exciter les éléments massiques susceptibles d'osciller 8, 9 dans le plan 15. Les éléments massiques 8, 9 susceptibles d'osciller se déplacent en opposition de phase. Cela apparaît aux flèches à la figure 1. La détection du mouvement oscillant des éléments massiques oscillants 4, 5 se fait à l'aide d'éléments de détection non détaillés qui déterminent au moins un paramètre de l'oscillation. C'est ainsi que l'on peut par exemple utiliser une structure électrostatique de peigne, les éléments massiques susceptibles d'osciller 8, 9 ayant chacun un peigne formant un condensateur avec un peigne installé de manière fixe sur le substrat. Cela permet une saisie capacitive du mouvement oscillant plan. La figure 2 montre que les contre-électrodes 18, 19 des paires d'électrodes 16, 17 sont branchées de manière croisée. Pour cela une contre-électrode 18 d'une paire d'électrode 16, 17 est reliée d'un côté du plan 15 avec une contre-électrode respective 19 d'une autre 7 fixed against-electrodes 18, 19 on the substrate is for example via an insulating layer, in particular a silicon oxide layer. The counter-electrodes 18, 19 each have an electrode surface 20, aligned with respect to the oscillating mass elements 8, 9; this electrode surface is smaller than the corresponding surface 13, 14 of the associated electrode 11, 12. The counter-electrodes 18, 19 are associated with an input device of the rotational speed sensor 2 for a capacitive capture of the displacement of the parts 4, 5 with the electrodes 11, 12 of the oscillating assembly 3 transverse to the plane 15. FIG. shows that the contour of the counter-electrodes 18, 19 is adapted to the contour of the oscillating mass elements 8, 9 which correspond to the electrodes 11, 12. The counter-electrodes are dimensioned so that the capacitance between the electrodes 11, 12 and their counter-electrodes 18, 19 of the electrode pairs 17, 18 is not modified or is only slightly modified by the oscillation of the oscillating mounting 3 in the plane 15. A drive installation not shown (this installation for example, a comb-type electrostatic drive) makes it possible to excite the mass elements that can oscillate 8, 9 in the plane 15. The oscillating mass elements 8, 9 move about n phase opposition. This is shown by the arrows in FIG. 1. The detection of the oscillating movement of the oscillating mass elements 4, 5 is done by means of non-detailed detection elements which determine at least one parameter of the oscillation. Thus one can for example use an electrostatic comb structure, the oscillating mass elements 8, 9 each having a comb forming a capacitor with a comb fixedly installed on the substrate. This allows a capacitive capture of the plane oscillating motion. Figure 2 shows that the counter electrodes 18, 19 of the electrode pairs 16, 17 are cross-connected. For this purpose a counter-electrode 18 of an electrode pair 16, 17 is connected on one side of the plane 15 with a respective counter-electrode 19 of another

8 paire d'électrodes 17, 16 de l'autre côté du plan 15. Ce montage différentiel des capacités augmente la précision de la mesure. La prise capacitive Cl contient ainsi les données de la contre-électrode 18 de l'une des paires d'électrodes 16 et les données de la contre-électrode 19 de l'autre paire d'électrodes 16 ; la prise capacitive C2 reçoit les données de la contre-électrode 19 d'une paire d'électrodes 16 et les données de la contre-électrode 18 de l'autre paire d'électrodes 17. Le fonctionnement est le suivant : le montage d'électrodes 1 ou du capteur de vitesse de rotation 2 équipe une installation en rotation dont on veut déterminer la vitesse de rotation. L'oscillation du dispositif oscillant 3 (par exemple comme présenté aux figures 1 et 2) se fait en faisant osciller l'un par rapport à l'autre les deux éléments massiques 8, 9 en opposition de phase, dans la direction radiale de l'installation qui tourne. La vitesse de rotation est par exemple la vitesse de rotation Wy autour de l'axe Y. La rotation de l'installation et l'oscillation se traduisent par une force de Coriolis Fc = 2m (v x w) qui agit sur les parties en oscillation 4, 5 du dispositif oscillant 3 en particulier sur les deux éléments massiques 8, 9 et assure le débattement de ces éléments transversalement au plan 15 (notamment perpendiculairement au plan). La saisie de ce débattement transversalement au plan 15 se fait de manière capacitive en utilisant les différences de capacités entre les électrodes 11, 12 et les contre-électrodes 18, 19 des paires d'électrodes 16, 17. Ensuite on calcule la vitesse de rotation à partir du paramètre d'oscillation pour l'oscillation dans le plan 15 et le débattement transversal au plan 15 sous l'effet de la force de Coriolis par l'intermédiaire de l'installation de détermination. L'utilisation du principe des contre-électrodes 18, 19 sur les deux faces peut également s'appliquer à une installation de régulation de retour en position et/ou d'une installation d'entraînement et/ou d'électrodes de compensation et/ou autres électrodes. De telles installations de régulation de retour en position et/ou d'installation d'entraînement doublent la capacité de mesure pour un même encombrement en surface.35 NOMENCLATURE 1 montage d'électrodes 2 capteur de vitesse de rotation 3 montage oscillant 4/5 partie de montage oscillant/élément massique 6/7 élément de ressort 8/9 élément massique point d'ancrage l0 Il/ 12 électrode 13/ 14 surface des éléments massiques 16/17 paire d'électrodes 18/ 19 contre-électrode 20 surface d'électrode15 8 pair of electrodes 17, 16 on the other side of the plane 15. This differential capacity arrangement increases the accuracy of the measurement. The capacitive plug C1 thus contains the data of the counter-electrode 18 of one of the pairs of electrodes 16 and the data of the counterelectrode 19 of the other pair of electrodes 16; the capacitive receptacle C2 receives the data of the counterelectrode 19 of a pair of electrodes 16 and the data of the counterelectrode 18 of the other pair of electrodes 17. The operation is as follows: the assembly of electrodes 1 or rotational speed sensor 2 equips a rotating installation whose speed of rotation is to be determined. The oscillation of the oscillating device 3 (for example as shown in FIGS. 1 and 2) is made by oscillating with respect to one another the two mass elements 8, 9 in phase opposition, in the radial direction of the installation running. The rotational speed is for example the speed of rotation Wy around the Y axis. The rotation of the installation and the oscillation result in a Coriolis force Fc = 2m (vxw) which acts on the oscillating parts 4 , 5 of the oscillating device 3 in particular on the two mass elements 8, 9 and ensures the movement of these elements transversely to the plane 15 (in particular perpendicular to the plane). The capture of this deflection transversely to the plane 15 is capacitively using the capacitance differences between the electrodes 11, 12 and the counter-electrodes 18, 19 of the pairs of electrodes 16, 17. Then the rotation speed is calculated. from the oscillation parameter for the plane oscillation 15 and the plane transverse travel under the effect of the Coriolis force through the determination facility. The use of the principle of counter-electrodes 18, 19 on both sides can also be applied to a position feedback control system and / or a drive installation and / or compensation electrodes and / or or other electrodes. Such position feedback control systems and / or drive installation double the measuring capacity for the same surface area.35 NOMENCLATURE 1 electrode assembly 2 speed sensor 3 oscillating assembly 4/5 part oscillating mounting / mass element 6/7 spring element 8/9 mass element anchor point 10 Il / 12 electrode 13/14 mass element area 16/17 electrode pair 18/19 counter electrode 20 surface électrode15

Claims

CLAIMS 1 °) Mounting rotational speed sensor electrodes comprising an oscillating assembly having at least one electrode that can be excited to oscillate in a predefined plane by the electrode assembly and / or perpendicular to this plane, the mounting of electrodes having at least one fixed counter electrode for capacitively capturing the deflection of a portion of the oscillating device including the electrode, transverse to the mounting plane, characterized by a plurality of fixed counter-electrodes (18, 19), and - at least a counter electrode (18) on one side of the plane (15) and at least one other counter electrode (19) on the other side of the plane (15) to form at least one pair of electrodes (16, 17) following a substantially flat symmetrical arrangement. 2. Electrode assembly according to claim 1, characterized by at least two pairs of electrodes (16, 17) having parts (4, 5) of the oscillating arrangement (3) which are deflected in each case in opposition to each other. phase and each time a counter-electrode (18) of a pair of electrodes (16, 17) is on one side of the plane (15) short-circuited with a counter-electrode (19) of another pair of electrodes (16, 17) on the other side of the plane (15). 3 °) rotational speed sensor, characterized in that it comprises an electrode arrangement (1) according to one of claims 1 or 2 and an oscillating arrangement (3) having at least one electrode (11, 12 ) Which can be excited to oscillate in a plane (15) predefined by the electrode arrangement (1) and / or perpendicular to this plane (15). Rotational speed sensor according to Claim 3, characterized in that the oscillating mounting (3) consists of at least two parts (4, 5), each part (4, 5) of the mounting (3). having a mass element (8, 9) and the mass elements (8, 9) are mounted so as to oscillate in phase opposition in the oscillating arrangement (3). Rotational speed sensor according to claim 3 or 4, characterized in that the mass elements (8, 9) are connected by spring elements (7). Rotational speed sensor according to claim 3, characterized in that the counter-electrodes (18, 19) each have an electrode surface (20) aligned with the mass elements (8, 9) capable of oscillate and this surface is smaller than the corresponding surface (13, 14) of the associated electrode (11, 12). A rotational speed sensor according to claim 3, characterized by an installation for determining the rotational speed from the measured difference in capacitances of at least one electrode (11, 12) and the counter-electrode ( 18, 19) of the pair of associated electrodes (16, 17) and at least one oscillation parameter. 8 °) rotational speed sensor according to claim 7, characterized in that the oscillation parameter is determined by means of a sensor device. 9) Method for determining the rotational speed by means of an electrode assembly having at least one oscillating arrangement comprising at least one electrode excited to move in a plane of a reference system of the assembly of electrodes and at least one fixed counter-electrode in the reference system for capacitively capturing a deflection of at least a portion of the oscillating assembly including the electrode, transverse to the plane, characterized by a plurality of counter-effects. electrodes installed on both sides of the plane, in pairs in a substantially planar symmetrical manner and the deflection is determined by measuring the difference in capacitances of at least one electrode and the counter-electrode of the pair of electrodes. Method according to claim 9, characterized in that the rotational speed is determined from the measured difference in capacitance and at least one oscillation parameter obtained.