FR2705830B1 - Procédé de fabrication de dispositifs d'affichage à micropointes, utilisant la lithographie par ions lourds. - Google Patents
Procédé de fabrication de dispositifs d'affichage à micropointes, utilisant la lithographie par ions lourds.Info
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Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9306373A FR2705830B1 (fr) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | Procédé de fabrication de dispositifs d'affichage à micropointes, utilisant la lithographie par ions lourds. |
PCT/FR1994/000619 WO1994028569A1 (fr) | 1993-05-27 | 1994-05-26 | Dispositf d'affichage a micropointes et procede de fabrication d'un tel dispositif, utilisant la lithographie par ions lourds |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9306373A FR2705830B1 (fr) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | Procédé de fabrication de dispositifs d'affichage à micropointes, utilisant la lithographie par ions lourds. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2705830A1 FR2705830A1 (fr) | 1994-12-02 |
FR2705830B1 true FR2705830B1 (fr) | 1995-06-30 |
Family
ID=9447513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR9306373A Expired - Fee Related FR2705830B1 (fr) | 1993-05-27 | 1993-05-27 | Procédé de fabrication de dispositifs d'affichage à micropointes, utilisant la lithographie par ions lourds. |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
FR (1) | FR2705830B1 (fr) |
WO (1) | WO1994028569A1 (fr) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0700065B1 (fr) * | 1994-08-31 | 2001-09-19 | AT&T Corp. | Dispositif à émission de champ et procédé de fabrication |
US5504385A (en) * | 1994-08-31 | 1996-04-02 | At&T Corp. | Spaced-gate emission device and method for making same |
WO1996024152A1 (fr) * | 1995-01-31 | 1996-08-08 | Candescent Technologies Corporation | Structures a filaments comportant des grilles pour dispositif d'affichage par emission de champ |
DE19602595A1 (de) * | 1996-01-25 | 1997-07-31 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung von Feldemissionsspitzen |
US5972235A (en) * | 1997-02-28 | 1999-10-26 | Candescent Technologies Corporation | Plasma etching using polycarbonate mask and low pressure-high density plasma |
US5914150A (en) * | 1997-02-28 | 1999-06-22 | Candescent Technologies Corporation | Formation of polycarbonate film with apertures determined by etching charged-particle tracks |
KR20000075833A (ko) * | 1997-02-28 | 2000-12-26 | 캔디센트 테크날러지스 코퍼레이션 | 폴리카보네이트-함유 액상 화학배합물 및 폴리카보네이트 막의제조방법 |
US6500885B1 (en) | 1997-02-28 | 2002-12-31 | Candescent Technologies Corporation | Polycarbonate-containing liquid chemical formulation and methods for making and using polycarbonate film |
US6180698B1 (en) | 1997-02-28 | 2001-01-30 | Candescent Technologies Corporation | Polycarbonate-containing liquid chemical formulation and method for making polycarbonate film |
US6582617B1 (en) * | 1997-02-28 | 2003-06-24 | Candescent Technologies Corporation | Plasma etching using polycarbonate mask and low-pressure high density plasma |
US6174449B1 (en) | 1998-05-14 | 2001-01-16 | Micron Technology, Inc. | Magnetically patterned etch mask |
DE19910156C2 (de) * | 1999-02-26 | 2002-07-18 | Hahn Meitner Inst Berlin Gmbh | Elektronenemitter und Verfahren zu dessen Herstellung |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8816689D0 (en) * | 1988-07-13 | 1988-08-17 | Emi Plc Thorn | Method of manufacturing cold cathode field emission device & field emission device manufactured by method |
EP0416625B1 (fr) * | 1989-09-07 | 1996-03-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Dispositif émetteur d'électrons et son procédé de fabrication, dispositif d'affichage et d'écriture par faisceau d'électrons utilisant ledit dispositif. |
US5019003A (en) * | 1989-09-29 | 1991-05-28 | Motorola, Inc. | Field emission device having preformed emitters |
CA2070478A1 (fr) * | 1991-06-27 | 1992-12-28 | Wolfgang M. Feist | Methode de fabrication de reseaux a emission par champ electrique |
-
1993
- 1993-05-27 FR FR9306373A patent/FR2705830B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-05-26 WO PCT/FR1994/000619 patent/WO1994028569A1/fr active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2705830A1 (fr) | 1994-12-02 |
WO1994028569A1 (fr) | 1994-12-08 |
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