FR1405294A - Procédé et dispositif de diffusion de bore dans le silicium en vue de la fabrication de dispositifs à semi-conducteur - Google Patents

Procédé et dispositif de diffusion de bore dans le silicium en vue de la fabrication de dispositifs à semi-conducteur

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE19845463A1 (de) * 1998-10-02 2000-04-06 Stiftung Inst Fuer Werkstoffte Verfahren zur Herstellung von verschleißfesten Boridschichten

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