ES2565987T3 - Sensor de presión inalámbrico implantable microfabricado para su uso en aplicaciones biomédicas y métodos de medición de la presión y de implantación del sensor - Google Patents

Sensor de presión inalámbrico implantable microfabricado para su uso en aplicaciones biomédicas y métodos de medición de la presión y de implantación del sensor Download PDF

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Abstract

Un sensor de presión implantable microfabricado, que comprende: un condensador variable (200) que incluye un sustrato (210), un miembro flexible (220) que tiene un primer y segundo bordes (223, 224) dispuestos en un sustrato (210) y una porción central (225) que se extiende entre el primer y segundo bordes (223, 224), una cámara (226) que se define entre el sustrato (210) y la porción central (225); y un inductor (1110, 1210, 1310, 1410) conectado eléctricamente al condensador variable (200), un circuito eléctrico que incluye el condensador variable y el inductor que se configura para generar un cambio en la frecuencia de resonancia detectable en respuesta a un cambio de presión del fluido en una superficie externa del miembro flexible; caracterizado por que el sustrato (210) define una pluralidad de canales (216); la porción central (225) se eleva con respecto al sustrato (210); y el sensor comprende adicionalmente una pluralidad de elementos de condensador (232) que se extienden indirectamente desde el miembro flexible (220), siendo la pluralidad de elementos de condensador (232) móviles dentro de los canales respectivos (216) con cambios de la presión de fluido en una superficie externa del miembro flexible (220), variando la capacidad con los cambios en una área de superposición de la pluralidad de elementos de condensador (232) y el sustrato (210).

Description

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ejemplo, aproximadamente 10 micrómetros) de manera que la cantidad de desviación de la porción central 229 es proporcional a la diferencia entre la presión de fluido externa y la presión de la cámara interna, (() () (∆P)). Al mismo tiempo, la posición de los elementos de condensador 232 que se extienden desde el miembro flexible 220 se cambia, es decir, los elementos de condensador 232 se mueven con el miembro flexible móvil 220.
5 Como resultado, el área de superposición eficaz entre los electrodos interdigitados se cambia, lo que, a su vez, altera la capacidad a través de los electrodos. Más específicamente, la capacidad aumenta según los elementos de condensador 232 se desplazan más profundamente dentro de los canales respectivos 216 y el área de superposición del sustrato 220 y los elementos de condensador 232 aumenta, y la capacidad disminuye a medida
10 que los elementos de condensador 232 se desplazan a una profundidad menos profunda dentro del canal 216 y el área de superposición del sustrato 220 y los elementos de condensador 232 disminuye.
Por ejemplo, haciendo referencia a la figura 6, los elementos de condensador 232 pueden asumir una posición inicial y relajada, generalmente ilustrada como (0,0). La posición inicial puede ser los elementos de condensador 232 que
15 se sitúan parcialmente dentro de los canales respectivos 216. Como alternativa, un elemento de condensador 232 puede situarse fuera por encima de los canales 216, por ejemplo, por encima de la superficie superior 112 en el ejemplo ilustrado. La posición relajada inicial puede depender de la configuración del condensador variable 200, por ejemplo, cuánto puede desviarse o deformarse el miembro flexible 220, y la longitud de los elementos de condensador 232.
20 La figura 7 ilustra un ejemplo en el que la posición relajada inicial es una posición en la que las porciones distales de los elementos de condensador 232 se sitúan parcialmente en el interior de los canales respectivos 216. Cuando la presión de la cámara 226 es mayor que la presión de fluido externa, el miembro flexible 220 está en su estado relajado inicial, y los elementos de condensador 232 se sitúan a una primera profundidad dentro de los canales 216.
25 Esta disposición da como resultado un área de superposición inicial (A1) de las porciones distales de los elementos de condensador 232 y el sustrato 210, y una capacidad correspondiente C1.
Haciendo referencia a las figuras 6 y 8, según aumenta la presión de fluido en la superficie externa 221 del miembro flexible 220, la presión de fluido excederá la presión de la cámara interna 226, haciendo que el miembro flexible 220
30 se flexione o se desvíe hacia el sustrato 210. Esto hace que los elementos de condensador 232 se desplacen desde la profundidad inicial a una segunda profundidad más profunda dentro de los canales 216. Este movimiento del miembro flexible 220 da como resultado que el área de superposición de los elementos de condensador 232 y el sustrato 210 aumente de A1 a A2 y da como resultado un aumento correspondiente de la capacidad de C1 a C2.
35 De forma análoga, como se muestra en las figuras 6 y 9, según la presión de fluido aumenta adicionalmente, el miembro flexible 220 se flexionará o se desviará hacia el sustrato 210 a un mayor grado, desplazando de este modo los elementos de condensador 232 a una tercera profundidad dentro de los canales 216. Este desplazamiento da como resultado que el área de superposición de los elementos de condensador 232 y el sustrato 210 aumente de A2 a A3 y un aumento correspondiente de la capacidad de C2 a C3.
40 El comportamiento de la capacidad de esta estructura puede expresarse como C = ( A/d) ()()()(P), donde C = cambio de capacidad para una desviación del miembro flexible 220 y desplazamiento correspondiente de los elementos capacitivos 232 dentro de los canales 216;  = permitividad del espacio del canal 216; A = área de superposición de los elementos de condensador 232 y el sustrato 210; d = distancia entre una porción conductora
45 510 de un elemento de condensador 232 y una capa conductora 520 del canal 216 del sustrato 210;  es el símbolo proporcional y P = el cambio en la presión de fluido en el miembro flexible 220.
La figura 10 ilustra cómo un cambio en la capacidad puede correlacionarse con un cambio en la presión de fluido en el miembro flexible 220. En el ejemplo ilustrado, un cambio de capacidad 0,4 pF corresponde a un cambio de 50 presión de 1 mm Hg. Por lo tanto, las realizaciones son susceptibles a mediciones de presión con una sensibilidad de 1 mm Hg.
La capacidad total puede expresarse como C (total) = C0 + C (P) donde C (total) = capacidad total; C0 = una capacidad fija (cuando P = 0); C = cambio de capacidad en función de la diferencia de presión P en el miembro 55 flexible 220, y P = diferencia de presión en el miembro flexible 220. La capacidad total debe ser lo suficientemente alta para permitir que se use un condensador variable 200 en sistemas de telemetría (por ejemplo, en el sistema ilustrado generalmente en la figura 1). La capacidad total puede aumentarse aumentando el área de los elementos de condensador 232 (mayor área de superposición de electrodos), proporcionando un mayor número de elementos
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