ES2327595A1 - Gradiometer magnetic field, mechanical and miniaturisable and operation. - Google Patents

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    • G01R33/022Measuring gradient

Abstract

Gradiómetro de campo magnético, mecánico y miniaturizable, y su funcionamiento. Gradiometer magnetic, mechanical and miniaturisable field, and its operation.
Dispositivo miniaturizable para la detección y medida de gradientes de campo magnético. miniaturisable device for the detection and measurement of magnetic field gradients. Su funcionamiento se basa en la fuerza que ejerce el gradiente de campo magnético a medir sobre un material magnético imanado. Its operation is based on the force exerted by the magnetic gradient measured on a magnetized magnetic material field.
El material magnético imanado forma parte de una estructura mecánica. The magnetized magnetic material is part of a mechanical structure. Se puede usar material magnético blando o duro. It can be used soft or hard magnetic material. Con material magnético blando la estructura se puede flexionar de forma estática o resonar mecánicamente, proporcionando en ambos casos una medida del gradiente. Magnetically soft material structure can flex statically or mechanically resonate, in both cases providing a measure of the gradient. Con material duro el dispositivo funciona sólo de forma estática. With hard material the device operates only statically.
Se puede fabricar con la tecnología estándar en la realización de MEMS (dispositivos mecánicos miniaturizados). It can be made with standard technology in making MEMS (miniaturized mechanical devices). Existen otros gradiómetros mecánicos que permiten medidas localizadas, pero éste está constituido por material magnético, lo que permite tener un gran momento magnético, lo que proporciona aumentar la sensibilidad y hace innecesaria la refrigeración a temperaturas criogénicas. There are other mechanical gradiometers that allow localized measures, but it is composed of magnetic material, which allows a large magnetic moment, which provides increased sensitivity and eliminates the need for cooling to cryogenic temperatures.

Description

Gradiómetro de campo magnético, mecánico y miniaturizable, y su funcionamiento. Gradiometer magnetic, mechanical and miniaturisable field, and its operation.

Sector técnico technical Sector

El dispositivo es un detector de gradiente de campo magnético aplicable en sistemas en los que se requiere una medida del gradiente de campo magnético de forma localizada y en los que se exige un gradiómetro miniaturizado debido a la limitación de espacio. The device is a detector of magnetic field gradient applied in systems in which a measure of the magnetic field gradient is required in a localized manner and in which a miniaturized gradiometer is required due to space limitation. Ejemplos: guiado hacia metales de dispositivos móviles; Examples: metals guided to mobile devices; detección de fisuras en estructuras metálicas; detection of cracks in metal structures; etc. etc.

Estado de la técnica State of the art

Tradicionalmente, los gradiómetros de campo magnético se han basado en la detección diferencial mediante conjuntos de sensores de campo magnético, habitualmente dos. Traditionally, gradiometers magnetic field are based on differential detection by sets of magnetic field sensors, usually two. Como elementos sensores se han empleado diferentes tipos de detectores. As sensor elements have been used different types of detectors. Independientemente de la sensibilidad de los detectores usados, la resolución espacial queda limitada por la distancia de separación entre los sensores. Regardless of the sensitivity of the detectors used, the spatial resolution is limited by the distance between the sensors.

Más recientemente se han desarrollado otros sensores basados en medidas diferenciales de flujo magnético a través de espiras con diversas configuraciones. More recently other sensors have been developed based on differential measurements of magnetic flux through coils in various configurations. Sin embargo, la medida del flujo magnético al reducir las dimensiones conlleva el uso de detectores superconductores de efecto cuántico ( SQUID ). However, as the magnetic flux by reducing the size involves the use of detectors superconductors quantum effect (SQUID). Estos sensores son caros y exigen el uso de temperaturas criogénicas. These sensors are expensive and require the use of cryogenic temperatures.

Otra técnica para medir gradientes es la desarrollada por AVVeryaskin.(2001). Another technique for measuring gradients is developed by AVVeryaskin. (2001). Se basa en las técnicas magnetométricas de torque o fuerza descritas por JS Brooks, MJ Naughton, YP Ma, PM Chaikin, RV Chamberlin (1987) y por MJ Naughton, HP Ulmet, A. Narjis, S, Askenazy, MVChaparala y AP Hope (1997). It is based on the magnetometric techniques torque or force described by JS Brooks, MJ Naughton, YP Ma, PM Chaikin, RV Chamberlin (1987) and MJ Naughton, HP Ulmet, A. Narjis, S, Askenazy, MVChaparala and AP Hope ( 1997). En ellas se emplean estructuras mecánicas que se flexionan en presencia de campos magnéticos, debido a que la estructura tiene momento dipolar magnético ya que existe un gradiente de campo magnético conocido. In these mechanical structures that flex in the presence of magnetic fields they are used, because the structure has magnetic dipole moment as there is a gradient magnetic field known.

Estas técnicas se emplean para estudiar propiedades de materiales magnéticos a baja temperatura y bajo la acción de campos magnéticos de gran intensidad. These techniques are used to study properties of magnetic materials at low temperature and under the action of magnetic fields of great intensity.

El dispositivo de Veryaskin consiste en una tira de material metálico fijada por ambos extremos que resuena, en presencia del gradiente de campo magnético que se quiere medir, debido a que por ella pasa una intensidad de corriente alterna con igual frecuencia que la de la resonancia mecánica. The device Veryaskin consists of a strip of metal material fixed at both ends that resonates in the presence of magnetic field gradient to be measured, because through it passes an AC current with the same frequency as the mechanical resonance . La medida del desplazamiento se realiza de forma inductiva. Displacement measurement is carried out inductively.

Este gradiómetro permite medidas localizadas del gradiente, es barato de fabricar y se puede producir en cadena. This allows localized gradiometer gradient measurements, is inexpensive to manufacture and can be produced chain. Sin embargo, la intensidad de corriente que puede pasar a través de un conductor está limitada por el calentamiento del propio conductor debido al efecto Joule. However, the current that can pass through a conductor is limited by heating the conductor itself due to the Joule effect. Se trata de una limitación, en función de la temperatura de trabajo, de la corriente y por tanto de la sensibilidad del detector. This is a limitation, depending on the temperature, current and therefore the sensitivity of the detector. Para un óptimo funcionamiento, el gradiómetro de Veryaskin exige temperaturas de trabajo criogénicas. For optimum performance, the gradiometer Veryaskin requires cryogenic temperatures work.

El detector desarrollado no realiza una detección diferencial mediante sensores de campo magnético. The detector makes a differential developed no detection by magnetic field sensors. Se trata de un único sensor capaz de realizar la detección localmente y que se basa en la fuerza ejercida por el gradiente a medir sobre una estructura mecánica formada por un material magnético saturado de forma transversal a la estructura. This is a single sensor capable of detecting locally and based on the force exerted by the gradient measurement on a mechanical structure formed by a saturated magnetic material transversely to the structure. Además permite trabajar a temperaturas no criogénicas. It also allows work at non-cryogenic temperatures.

Explicación Explanation

El detector desarrollado no realiza una detección diferencial mediante sensores de campo magnético. The detector makes a differential developed no detection by magnetic field sensors. Se trata de un único sensor capaz de realizar la detección localmente y que se basa en la fuerza ejercida por el gradiente a medir sobre una estructura mecánica formada por un material magnético saturado de forma transversal a la estructura. This is a single sensor capable of detecting locally and based on the force exerted by the gradient measurement on a mechanical structure formed by a saturated magnetic material transversely to the structure.

La estructura mecánica puede ser una lengüeta o un puente. The mechanical structure may be a tab or a bridge. La lengüeta es una tira de material con un extremo libre y otro extremo anclado a un soporte. The tongue is a strip of material with a free end and another end attached to a support. El puente es una tira de material con cuatro puntos de anclaje, que se pueden torsionar, distribuidos de forma simétrica respecto de los ejes longitudinal y transversal de la tira, y que unen ésta con un soporte. The bridge is a strip of material with four anchor points, which may be twisted, distributed symmetrically about the longitudinal and transverse axes of the strip, and joining it with a support.

Al igual que en el gradiómetro de Veryaskin, la resolución espacial queda únicamente limitada por las dimensiones del propio sensor, que puede reducirse fácilmente al orden de la micra, constituyendo en este caso un sensor micro-electromecánico MEMS . As in the gradiometer Veryaskin, the spatial resolution is limited only by the dimensions of the sensor itself, which can easily be reduced to the order of micron, constituting in this case micro-electromechanical MEMS sensor. Sin embargo, a diferencia del detector de Veryaskin, el momento magnético de la estructura se obtiene mediante material magnético y no a partir de una corriente, lo que conlleva fundamentalmente dos ventajas: un mayor momento dipolar magnético, con la consiguiente mejora en la sensibilidad, y la ausencia de los problemas térmicos a causa de las temperaturas criogénicas. However, unlike detector Veryaskin, the magnetic moment of the structure is obtained by magnetic and not from an ordinary material, which essentially involves two advantages: increased magnetic dipole moment, with the consequent improvement in sensitivity, and the absence of thermal problems because of the cryogenic temperatures.

El sistema está formado por una estructura que incluye material magnético imanado y que tiene la suficiente rigidez como para oscilar con una frecuencia de resonancia bien definida. The system consists of a structure including magnetized magnetic material and having sufficient rigidity to oscillate with a frequency of well-defined resonance. En presencia de un gradiente vertical de campo horizontal, sobre la estructura de material magnético imanado se ejerce una fuerza que provoca su flexión hasta que las fuerzas elásticas del material equilibran la fuerza de origen magnético. In the presence of a vertical gradient of horizontal field, the structure of magnetized magnetic material a force that causes its bending until the elastic forces of the material balance force magnetic origin is exerted. Tomando como referencia la superficie de la tira de material que se flexiona, sea (y) la dirección longitudinal y (x) la dirección transversal. Referencing the surface of the strip of material that flexes, is (y) and the longitudinal direction (x) transverse direction. La dirección (z) es la dirección vertical, perpendicular a la superficie de la tira de material, que es la dirección en la que la estructura se puede flexionar. The direction (z) is the vertical direction, perpendicular to the surface of the strip material, which is the direction in which the structure can flex. Sea (\mu_{0}) la permeabilidad del vacío, (m) el momento dipolar magnético del material imanado y (H_{x}) el campo transversal a la lengüeta, con dirección (x), cuyo gradiente en la dirección (z) se quiere medir. Is (\ mu {0}) the permeability of vacuum, (m) the magnetic dipole moment of the magnetised material (H {x}) the transverse field to the tongue, with direction (x), whose gradient in the direction (z ) is measured. Sobre el material magnético se ejerce una fuerza de origen magnético (F_{z}) que provoca la flexión hasta que las fuerzas elásticas equilibran las magnéticas: Magnetic material on the magnetic force source (F_ {z}) then flexed until the elastic forces balance the magnetic exerted:

F_{z} = \mu_{0}m \frac{\partial H_{x}}{\partial z} F_ {z} = \ {0} mu m \ frac {\ {x} partial H} {\ partial z}

Si el material magnético está saturado magnéticamente, (m) es fijo, entonces la fuerza (F_{z}) es proporcional al gradiente de campo magnético. If the magnetic material is magnetically saturated, (m) is fixed, then the force (F_ {z}) is proportional to the magnetic field gradient. La flexión de la estructura proporciona una medida del gradiente de campo magnético (\partialH_{x}/\partialz), por estar correlacionados ambos parámetros. Flex structure provides a measure of magnetic field gradient (\ {x} partialH_ / \ partialz), being correlated both parameters.

El dispositivo puede realizarse tanto con material magnéticamente blando como con material magnéticamente duro. The device can be made both with soft magnetic material as magnetically hard material. Sin embargo, hay variaciones fundamentales en el diseño en función del tipo de material magnético empleado. However, there are fundamental variations in design depending on the type of magnetic material used.

En todos los casos la imanación es transversal de forma que el gradiente medido es (\partialH_{x}/\partialz). In all cases the transverse magnetization is measured so that the gradient is (\ {x} partialH_ / \ partialz). Se podría intentar trabajar con imanación longitudinal, pero en este caso se presenta un problema de orientación en el campo al no poder distinguir la flexión producida por la orientación de la estructura en el campo H_{z} de la flexión provocada por el gradiente a medir. One could try to work with longitudinal magnetization, but in this case an orientation problem occurs in the field unable to distinguish the bending caused by the orientation of the structure in the H {z} field of bending caused by the gradient measure .

Gradiómetro con material magnético blando Gradiometer soft magnetic material

La estructura mecánica, lengüeta o puente, está fabricada con material magnético blando saturado por la aplicación de un campo magnético transversal a la estructura y cuyo gradiente es menor que el que se quiere medir. The bridge mechanical structure, or tongue, is made of soft magnetic material saturated by application of a transverse magnetic field to the structure and whose gradient is less than that measured.

El detector puede trabajar de forma estática. The detector can work statically. En este caso el campo magnético transversal aplicado es constante y el gradiente de campo magnético se determina a partir de la medida de la flexión de la estructura, ya que estos parámetros están correlacionados. In this case the transverse magnetic field applied is constant and the magnetic field gradient is determined from the measurement of the bending of the structure, since these parameters are correlated.

Otra posibilidad es que el detector trabaje en resonancia mecánica. Another possibility is that the detector works in mechanical resonance. En este caso, el campo magnético transversal aplicado es variable, de igual frecuencia que la de resonancia de la estructura, lengüeta o puente, y llega a saturar el material magnético en cada ciclo. In this case the transverse magnetic field applied is variable, the same frequency as the resonance of the structure, or bridge tongue and reaches saturate the magnetic material in each cycle. La fuerza magnética sobre la estructura mecánica es variable y ocasiona la oscilación mecánica a su frecuencia de resonancia. The magnetic force on the mechanical structure is variable and causes mechanical resonance frequency oscillation. La detección de la amplitud de la oscilación permite una medida del valor del gradiente de campo por estar ambos parámetros correlacionados. Detecting the amplitude of oscillation enables a measurement of the value of the field gradient to be correlated both parameters.

El campo magnético transversal se puede generar usando un par de carretes Helmholtz. The transverse magnetic field can be generated using a pair of Helmholtz reels. No obstante, si también se requiere la miniaturización del elemento que genera el campo magnético, se puede integrar un bobinado en la propia estructura mecánica. However, if the miniaturization of the element generating the magnetic field is also required, you can be integrated in a coil own mechanical structure. La integración de bobinados es común en los dispositivos micromecánicos ( MEMS ) y se realiza de forma estándar. The integration of windings is common in micro - mechanical devices (MEMS) and is performed as standard. Por ello, el uso del campo magnético que satura el material del detector, no afecta a las posibilidades de miniaturización del gradiómetro. Therefore, the use of magnetic field that saturates the detector material, does not affect the possibilities of miniaturization of the gradiometer. Habitualmente, la integración se realiza mediante la unión de los extremos de pistas conductoras definidas en ambas superficies de la tira del material que constituye la estructura mecánica. Typically, the integration is made by joining the ends of conductive tracks defined on both surfaces of the strip material constituting the mechanical structure.

Gradiómetro con material magnético duro Gradiometer with hard magnetic material

La estructura mecánica, lengüeta o puente, está fabricada con material magnético duro con imanación transversal a la estructura. The bridge mechanical structure, or tongue, is made of hard magnetic material with magnetisation transverse to the structure. Debido a que la imanación (m) del material está fijada, no es necesario la aplicación de campo magnético para saturar el material. Because the magnetization (m) of material is fixed, applying magnetic field to saturate the material is not necessary. El gradiente de campo magnético se determina a partir de la flexión de la estructura mecánica, ya que estos parámetros están correlacionados. The magnetic field gradient is determined from the bending of the mechanical structure, since these parameters are correlated. Al gradiómetro realizado en material magnético duro no hay que aplicarle campos magnéticos transversales, por lo que no se requiere la integración de ningún tipo de bobinado en la estructura. The gradiometer made of hard magnetic material not to apply transverse magnetic fields, so the integration of any winding structure is not required.

Modo de realización Embodiment Gradiómetro con material magnético blando Gradiometer soft magnetic material

Se fabrica una lengüeta en polisilicio sobre la que se crece material magnéticamente blando. a tab on polysilicon over which is grown soft magnetic material is manufactured. La lengüeta se fabrica mediante métodos estándar: fotolitografía, ataque mediante choque de iones ( RIE ), ataques químicos anisotrópicos, etc. The tab is manufactured by standard methods, photolithography, ion etching with shock (RIE), anisotropic chemical attacks, etc. Las dimensiones pueden ser, por ejemplo: 100 \mum de longitud y 20 \mum de ancho. Dimensions may be, for example: 100 \ mum length and 20 \ mum width. Como material magnético blando se puede emplear permalloy crecido por pulverización catódica ( sputtering ) con un espesor de 200 nm. As soft magnetic material can be used permalloy grown by sputtering (sputtering) with a thickness of 200 nm.

Una vez definida la lengüeta, se hace uso de unos carretes Helmholtz para generar el campo magnético transversal. Having defined the tongue, use of reels Helmholtz done to generate the transverse magnetic field. Existen dos opciones. There are two options. La primera es hacer funcionar el detector de forma estática. The first is to operate the detector statically. En este caso el campo magnético aplicado es constante y se mide la flexión de la lengüeta. In this case the applied magnetic field is constant and the bending of the tongue is measured. La segunda opción es que el detector trabaje en resonancia. The second option is that the detector works in resonance. En este caso, el campo magnético es variable y de igual frecuencia que la de resonancia mecánica de la estructura. In this case, the magnetic field is variable and the same frequency as the mechanical resonance of the structure. En resonancia mecánica se mide la amplitud de la oscilación de la estructura. In mechanical resonance the amplitude of oscillation of the structure is measured.

La detección de la flexión, o de la amplitud de oscilación de la lengüeta, se puede realizar de diversas formas: ópticamente, iluminando el extremo libre con un láser y observando el desplazamiento del laser reflejado; Detecting the bending, or the amplitude of oscillation of the tongue, it can be performed in various ways: optically illuminating the free end with a laser and observing the reflected laser displacement; capacitivamente, realizando un condensador con la lengüeta y otra placa fija, etc. capacitively making a capacitor with tongue and another fixed plate, etc.

Con material magnético duro Hard magnetic material

El dispositivo con material magnéticamente duro también se puede realizar mediante sputtering sobre un substrato de silicio. The device magnetically hard material can also be performed by sputtering on a silicon substrate. En este caso se pueden emplear aleaciones de Samario-Cobalto como las obtenidas por Th. Speliotis, D. Niarchos (2005). In this case you can be used samarium-cobalt alloys as obtained by Th. Speliotis, D. Niarchos (2005).

También cabe la posibilidad de usar electrodeposición en vez de sputtering . It is also possible to use electrodeposition instead of sputtering. En este caso, una posibilidad es emplear FeCo, aunque su dureza magnética es menor que la de las aleaciones de Samario-Cobalto. In this case, one possibility is to use FeCo, although its magnetic hardness is less than that of alloys of samarium cobalt.

Con material magnético duro, el dispositivo no requiere de campos magnéticos externos para generar la imanación del material. Hard magnetic material, the device requires no external magnetic fields to generate the magnetization of the material. Sin embargo, después del crecimiento, se debe saturar magnéticamente el material en la dirección transversal. However, after growth, it should magnetically saturate the material in the transverse direction. Para ello se utiliza un electroimán que satura la muestra en este sentido. For this purpose an electromagnet which saturates the sample used in this regard. Es preferible que se realice primero este proceso y, después, se defina la lengüeta mediante ataques químicos. It is preferable to perform this process first and then the tab is defined by chemical attacks. Así, el campo magnético, aplicado para imanar adecuadamente el material, no puede destruir la estructura mecánica debido a la orientación de ésta. Thus, the magnetic field applied to magnetize the material properly, can not destroy the mechanical structure due to the orientation thereof.

Se define la forma de la lengüeta y de su anclaje, protegiéndolos con técnicas fotolitográficas. the shape of the tongue and its anchorage is defined, protecting with photolithographic techniques. Mediante RIE y ataques químicos anisotrópicos al silicio que sirve de substrato, se elimina el material necesario para dejar el material magnético con la forma adecuada y en voladizo para que se pueda flexionar libremente. By anisotropic RIE and chemical attacks silicon substrate serving as the need to allow the magnetic material to properly and cantilever can be flexed freely material is removed.

La detección del movimiento de la lengüeta se realiza igual que en el caso explicado anteriormente, en el que se emplea material magnético blando. Detecting movement of the tongue is performed as in the case explained above, in which soft magnetic material is used. Sin embargo, ahora, la medida no se realiza en resonancia por lo que hay detectar la variación de la flexión de la lengüeta y no la amplitud de la oscilación. However, now, the measurement is not performed in resonance so there detecting the variation of bending of the tab and not the amplitude of the oscillation.

Aplicación industrial industrial application

Fabricación de detectores y sistemas en los que la medida del gradiente de campo magnético se debe realizar de forma localizada y también en aquellos otros en los que la limitación de espacio exige detectores miniaturizados: detección de metales ocultos; Manufacture of detectors and systems in which the measured magnetic field gradient must be done in a localized and also in those where the space limitation requires miniaturized detectors: detecting concealed metals; guiado de dispositivos hacia metales; guiding devices to metals; detección de microfisuras en estructuras metálicas; detection of microcracks in metal structures; etc. etc.

Claims (7)

  1. 1. Gradiómetro de campo magnético mecánico y miniaturizable, caracterizado porque comprende: 1. gradiometer mechanical and miniaturizable magnetic field, characterized by comprising:
    - una tira de material magnético saturado según su dirección transversal x, siendo y su dirección longitudinal yz la dirección vertical perpendicular a la superficie de la tira; - a strip of magnetic material saturated by x transverse direction, and its longitudinal direction being the vertical direction z perpendicular to the surface of the strip;
    - un soporte al cual está anclado la tira de material magnético; - a support to which is anchored the strip of magnetic material;
    - medios de detección de la flexión máxima en la dirección vertical z de la tira de material magnético para obtener una medida del gradiente vertical \partialH_{x}/\partialz de la intensidad de campo mágnético H_{x} transversal a la tira de material magnético en función de dicho desplazamiento máximo. - means for detecting the maximum deflection in the vertical direction z of the strip of magnetic material to obtain a measure of the vertical gradient \ partialH_ {x} / \ partialz of the magnetic field strength H {x} transverse to the strip of material magnetic function of said maximum displacement.
  2. 2. Gradiómetro de campo magnético mecánico y miniaturizable según reivindicación 1, caracterizado porque la tira de material magnético es una lengüeta con un extremo libre, en voladizo, y otro extremo anclado a un soporte. 2. Mechanical gradiometer magnetic field and miniaturizable according to claim 1, wherein the magnetic material strip is a tab having a free end, cantilever, and another end attached to a support.
  3. 3. Gradiómetro de campo magnético mecánico y miniaturizable según reivindicación 1, caracterizado porque la tira de material magnético es un puente con cuatro puntos de anclaje, que se pueden torsionar, distribuidos de forma simétrica respecto de los ejes longitudinal y transversal de la tira, y que unen ésta con un soporte. 3. Mechanical gradiometer magnetic field and miniaturizable according to claim 1, characterized in that the strip of magnetic material is a bridge with four anchor points, which may be twisted, distributed symmetrically about the longitudinal and transverse axes of the strip, and connecting it with a support.
  4. 4. Gradiómetro de campo magnético mecánico y miniaturizable según cualquiera de las reivindicaciones 1-3, caracterizado porque el material magnético es un material magnético blando saturado por la aplicación de un campo magnético transversal a la tira y cuyo gradiente es menor que el que se quiere medir. 4. Mechanical gradiometer magnetic field and miniaturizable according to any of claims 1-3, wherein the magnetic material is a soft magnetic material saturated by applying a magnetic field transverse to the strip and whose gradient is less than that wants to size.
  5. 5. Gradiómetro de campo magnético mecánico y miniaturizable según la reivindicación 4, caracterizado porque el campo magnético transversal aplicado es constante, obteniéndose una medida del gradiente vertical a partir de la flexión de la tira de material magnético. 5. Mechanical gradiometer magnetic field and miniaturizable according to claim 4, wherein the transverse magnetic field applied is constant, obtaining a measure of vertical gradient from the bending of the strip of magnetic material.
  6. 6. Gradiómetro de campo magnético mecánico y miniaturizable según la reivindicación 4, caracterizado porque el campo magnético transversal aplicado es variable, con igual frecuencia que la de resonancia mecánica de la tira de material magnético, saturando al material magnético en cada ciclo, obteniéndose una medida del gradiente vertical a partir de la amplitud de la oscilación de la tira de material magnético. 6. mechanical gradiometer magnetic field and miniaturizable according to claim 4, wherein the transverse magnetic field applied is variable with the same frequency as the mechanical resonance of the strip of magnetic material, saturating the magnetic material in each cycle, obtaining a measure vertical gradient from the amplitude of oscillation of the strip of magnetic material.
  7. 7. Gradiómetro de campo magnético mecánico y miniaturizable según cualquiera de las reivindicaciones 1-3, caracterizado porque el material magnético es un material magnético duro con imanación transversal, obteniéndose una medida del gradiente vertical a partir de la flexión de la tira de material magnético. 7. Mechanical gradiometer magnetic field and miniaturizable according to any of claims 1-3, wherein the magnetic material is a hard magnetic material with magnetisation transverse to give a measure of the vertical gradient from the bending of the strip of magnetic material.
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