ES2138895B1 - Recubrimientos dobles si/sio2 producidos mediante laser. - Google Patents
Recubrimientos dobles si/sio2 producidos mediante laser.Info
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Abstract
Recubrimientos dobles Si/SiO2 producidos mediante láser. Recubrimientos de silicio/óxido de silicio pueden ser aplicados sobre diferentes materiales y componentes por medio de un método basado en la Deposición Química a partir de Vapor inducida por Láser (LCVD). Este método hace uso de un láser de excímero ArF para irradiar diferentes mezclas de gases precursores introducidos en una cámara de reacción en la que previamente se ha hecho alto vacío. La flexibilidad de este método permite controlar las propiedades físico-químicas y el espesor de los recubrimientos, siendo de especial aplicación en la protección de materiales metálicos contra el ataque de agentes externos, fundamentalmente cuando dichos componentes están sometidos a temperaturas elevadas y atmósferas muy agresivas.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
ES9700026A ES2138895B1 (es) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | Recubrimientos dobles si/sio2 producidos mediante laser. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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ES9700026A ES2138895B1 (es) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | Recubrimientos dobles si/sio2 producidos mediante laser. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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ES2138895A1 ES2138895A1 (es) | 2000-01-16 |
ES2138895B1 true ES2138895B1 (es) | 2000-11-01 |
Family
ID=8297805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES9700026A Expired - Lifetime ES2138895B1 (es) | 1996-12-27 | 1996-12-27 | Recubrimientos dobles si/sio2 producidos mediante laser. |
Country Status (1)
Country | Link |
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ES (1) | ES2138895B1 (es) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104532211B (zh) * | 2014-10-18 | 2017-08-25 | 华中科技大学 | 一种激光辅助低温生长氮化物材料的方法与装备 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2548218B1 (fr) * | 1983-06-29 | 1987-03-06 | Pauleau Yves | Procede de depot de couches minces par reaction chimique en phase gazeuse utilisant deux rayonnements differents |
JPH01149426A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-12 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
-
1996
- 1996-12-27 ES ES9700026A patent/ES2138895B1/es not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104532211B (zh) * | 2014-10-18 | 2017-08-25 | 华中科技大学 | 一种激光辅助低温生长氮化物材料的方法与装备 |
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Publication number | Publication date |
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ES2138895A1 (es) | 2000-01-16 |
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