EP3036826A2 - Dispositif de conversion d'energie thermique en energie electrique - Google Patents

Dispositif de conversion d'energie thermique en energie electrique

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Publication number
EP3036826A2
EP3036826A2 EP14786965.5A EP14786965A EP3036826A2 EP 3036826 A2 EP3036826 A2 EP 3036826A2 EP 14786965 A EP14786965 A EP 14786965A EP 3036826 A2 EP3036826 A2 EP 3036826A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
cavity
electrode
wall
layer
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP14786965.5A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Stéphane Monfray
Christophe Maitre
Olga KOKSHAGINA
Thomas Skotnicki
Ulrich SOUPREMANIEN
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STMicroelectronics SA
STMicroelectronics Crolles 2 SAS
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
STMicroelectronics SA
STMicroelectronics Crolles 2 SAS
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by STMicroelectronics SA, STMicroelectronics Crolles 2 SAS, Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA filed Critical STMicroelectronics SA
Publication of EP3036826A2 publication Critical patent/EP3036826A2/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H02N1/06—Influence generators
    • H02N1/08—Influence generators with conductive charge carrier, i.e. capacitor machines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
    • B81B3/0021—Transducers for transforming electrical into mechanical energy or vice versa
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0018—Structures acting upon the moving or flexible element for transforming energy into mechanical movement or vice versa, i.e. actuators, sensors, generators
    • B81B3/0024—Transducers for transforming thermal into mechanical energy or vice versa, e.g. thermal or bimorph actuators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
    • F01K—STEAM ENGINE PLANTS; STEAM ACCUMULATORS; ENGINE PLANTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ENGINES USING SPECIAL WORKING FLUIDS OR CYCLES
    • F01K5/00—Plants characterised by use of means for storing steam in an alkali to increase steam pressure, e.g. of Honigmann or Koenemann type
    • F01K5/02—Plants characterised by use of means for storing steam in an alkali to increase steam pressure, e.g. of Honigmann or Koenemann type used in regenerative installation
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H02N1/002—Electrostatic motors
    • H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
    • B81B2203/05—Type of movement
    • B81B2203/053—Translation according to an axis perpendicular to the substrate

Definitions

  • the present application relates to a device conver sion ⁇ thermal energy into electrical energy, or thermoelectric generator. It is more particularly a device implementing a liquid-vapor phase change of a fluid.
  • Thermal energy conversion devices have already been proposed for electrical energy using a liquid-vapor phase change of a fluid.
  • US8378558 discloses a device comprising a closed volume defined by a first wall intended to be in contact with a hot source and, facing the first wall, a second wall intended to be in contact with a cold source.
  • the first wall is disposed above the second wall, and a layer of a piezoelectric material is suspended horizontally in the closed volume between the two walls, this layer being traversed by vertical openings.
  • the enclosed volume contains drops of a liquid.
  • the liquid flows by gravity through the openings ⁇ tures towards the second wall. When it comes into contact with the second wall, it vaporizes suddenly, which has the effect of generating mechanical stresses that are transmitted to the piezoelectric layer that transforms them into electrical signals.
  • the vapor passes through the apertures in the piezoelectric layer towards the first wall, on which it condenses.
  • the French patent application filed on February 14, 2012 under the number 1251368 describes another device for converting thermal energy into electrical energy by implementing a liquid-vapor phase change of a fluid.
  • This device eliminates the need to orient the cold wall above the hot wall to ensure the flow of liquid ⁇ towards the hot wall after its conden ⁇ tion on the cold wall.
  • the device comprises a first cavity whose wall is intended to be in contact with a hot source, a second cavity whose wall is intended to be in contact with a cold source, a piezoelectric material disposed in at least one of the cavities , a primary channel connecting the first and second cavities, and at least one secondary channel connecting the first and second cavities.
  • a fluid in liquid or gaseous form is confined in the device.
  • the secondary channel is adapted to transport the fluid as a gas.
  • the primary channel is adapted to carry drops of fluid in liquid form from the second cavity to the first cavity, including when the second cavity is below the first cavity.
  • the primary channel comprises means for ensuring the displacement of liquid drops from the second cavity to the first cavity. These means are for example formed by the inner surface of the primary channel which may comprise sections having different wettability properties along the longitudinal axis of the channel, or be of electrostatic type.
  • an embodiment provides an energy conversion device comprising an enclosure containing drops of a liquid and a capacitive electret transducer coupled to this enclosure.
  • the transducer comprises a flexible electrode forming a wall of the enclosure.
  • the flexible electrode comprises a film of graphene or amorphous carbon.
  • the flexible electrode comprises a sheet of metal.
  • the transducer further comprises a rigid electrode disposed opposite the flexible electrode outside the enclosure.
  • the transducer further comprises a layer of electret between the flexible electrode and the rigid electrode.
  • the electret layer is in contact with a face of the rigid electrode.
  • the device comprises a first wall intended to be brought into contact with a hot source of temperature higher than the vaporization temperature of the liquid, and a second wall intended to be brought into contact with a cold source of lower temperature. at the vaporization temperature of the liquid.
  • the device comprises a first cavity in the vicinity of the first wall, and a second cavity in the vicinity of the second wall, the first cavity being separated from the second cavity by a layer of thermally insulating material.
  • the layer made of a thermally insulating material is traversed by openings connecting the first cavity to the second cavity.
  • At least one of the openings comprises means for transporting drops of liquid from the second cavity to the first cavity.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating the operating principle of a capacitive electret transducer
  • Figure 2 is a schematic sectional view illustrating an example of an embodiment of a thermoelectric generator
  • Figure 3 is a schematic sectional view illustrating another example of an embodiment of a thermoelectric generator.
  • Figure 4 is a schematic sectional view illus trating ⁇ another example of an embodiment of a thermoelectric generator.
  • a device adapted to convert thermal energy into mechanical energy by means of a liquid vaporizing suddenly when it comes into contact with a hot surface, thus creating a localized overpressure, and to convert this overpressure into electrical energy using a capacitive electret transducer.
  • FIG. 1 schematically illustrates an example of a capacitive electret transducer 100.
  • the transducer 100 comprises a fixed electrode 101, and, facing the electrode 101, a mobile electrode 103.
  • the electrodes 101 and 103 are substantially flat. and parallel to each other and the electrode 103 is able to move in translation along an axis approximately orthogonal to the electrodes 101 and 103.
  • the electrode 101 is coated with a layer of electret 105.
  • Electret is here understood to mean an electrically charged dielectric material capable of conserving its charges or a significant part of its charges for a long time, typically of the order of a few years to a few decades.
  • a load shown schematically by a resistor R, is connected between the electrodes 101 and 103 of the transducer 100.
  • the operation of the transducer 100 is as follows.
  • the layer of electret 105 which contains a Qj_ quantity of charges of a first polarity, e.g. negative charges induced in the electrodes 101 and 103, an accumulated ⁇ reverse polarity charges, positive charges in 'example.
  • Q ] _ the quantity of charges induced in the electrode 101 by the layer 105
  • Q2 the quantity of charges induced in the electrode 103 by the layer 105
  • the equilibrium Qi Qi + O2 is respected at all times.
  • a displacement of the electrode 103 relative to the electrode 101 causes a reorganization of the charges induced in the electrodes 101 and 103 by the electret layer 105.
  • the amount Q2 of charges induced in the electrode 103 decreases and the quantity Q] _ charge induced in the electrode 101 increases.
  • the quantity Q2 of charges induced in the elec ⁇ trode 103 increases and the quantity Q ] _ of charges induced in the electrode 101 decreases.
  • a current I flows through the load R. The relative movement of the electrode 103 relative to the electrode 101 is thus converted into electricity.
  • Figure 2 is a schematic sectional view illustrating an example of an embodiment of a device 200 for converting thermal energy into electrical energy.
  • the device 200 comprises a bottom wall 201 approximately horizontal, intended to be in contact with a hot source.
  • the hot source may be an electronic component, for example an integrated circuit chip.
  • the wall 201 may be an upper face of the integrated circuit chip.
  • the hot source may be any heat source available in the environment, for example a car muffler, a pipe, a wall of a machine, etc.
  • the device 200 further comprises side walls 203 which are approximately vertical in a thermally insulating material, for example glass, silicon oxide, or any other suitable material.
  • the side walls 203 rest on a peripheral portion of the upper face of the wall 201.
  • the device 200 further comprises, above the wall 201, a layer 205 made of a thermally insulating material, for example made of the same material as the side walls 203.
  • the thickness of the layer 205 is less than height of the side walls 203, and the layer 205 is suspended approximately horizontally above the wall 201, for example halfway up the walls 203.
  • a cavity 207 separates the layer 205 from the wall 201, and a cavity 209 is located between the layer 205 and the plane comprising the upper surface of the side walls 203.
  • the layer 205 and the side walls 203 may be formed in one piece, for example by molding or by any other suitable method.
  • the layer 205 and the side walls 203 may be separate elements, assembled by any suitable means, for example by gluing.
  • the layer 205 is traversed by an array of apertures approximately verti ⁇ wedges 211, for example through holes or channels of circular cross section.
  • the height of the side walls 203 may be between 100 ⁇ m and 1 cm
  • the height of the cavities 207 and 209 may be between 100 nm and 5 mm
  • the diameter of the openings 211 may be between 100 nm and 5 mm.
  • the device 200 further comprises a flexible electrode 213 suspended above the layer 205 and the cavity 209.
  • a peripheral portion of the lower face of the electrode 213 is fixed to the face Suselling ⁇ higher sidewalls 203, for example by gluing.
  • the flexible electrode 213 is for example a conductive film made of graphene or amorphous carbon, or a thin metal foil.
  • the device 200 further comprises, above the flexible electrode 213, an electret layer 215 whose upper face is in contact with a rigid electrode 217.
  • the stack formed by the electret layer 215 and by the electrode 217 rests on a ring 219 made of a thermally conductive and electrically insulating material, for example of the resin.
  • the ring 219 itself rests on a peripheral portion of the upper face of the electrode 213, above the side walls 203 of the device.
  • the flexible electrode 213 is thus separated from the electret layer 215 by a cavity 221 whose height is related to the thickness of the ring 219.
  • the electret layer 215 is, for example TEFLON loaded, loaded parylene, or any other DIELEC ⁇ stick material electrically charged, for example by corona discharge, and adapted to retain its charge for a long time.
  • the electret layer 215 may comprise a stack of one or more dielectric layers, for example silicon oxide and / or nitride, sandwiched between two TEFLON or parylene films. Charges can then be stored in the central dielectric, for example by corona discharge, TEFLON or parylene films having the role of preventing the discharge of the central dielectric.
  • the layer 215 may comprise a stack of one or more dielectric layers, for example silicon oxide and / or nitride, sandwiched between two hexamethyldisiloxane films, generally designated in the art by the HMDS logo.
  • a dielectric stack for example an oxide-nitride
  • the electret layer 215 may be made of any material or combination of materials having the properties of electret.
  • the electrodes 213 and 217 and the electret layer 215 form a capacitive electret transducer.
  • the electrodes 213 and 217 for example correspond respectively to the moving electrode and the fixed electrode of a transducer of the type described in relation to FIG. 1.
  • the electrodes 213 and 217 are respectively connected to nodes or output terminals OUT1 and OUT2 of the conversion device 200.
  • the device 200 further comprises a top wall 223 approximately horizontal, surmon ⁇ as the electrode 217, intended to be in contact with a cold source.
  • the cold source is for example a finned radiator, or directly the ambient air, or any other source whose temperature is lower than that of the hot source.
  • the wall 223 is distinct from the electrode 217.
  • the wall 223 and the electrode 217 may be the same element.
  • the walls 201 and 223 are preferably made of good thermal conductive materials to ensure a homogeneous distributed ⁇ tion temperature in the cavities 207 (hot cavity) and 209 (cold cavity) respectively.
  • the cavity 209 is separated from the wall 223 by the electret capacitive transducer.
  • the different elements of the transducer are sufficient ⁇ ciently thin and / or good heat conductors to avoid disturbing significantly the cooling cavity 209 through the cold source, this cooling being in any case ensured by the material thermally conductor of the ring 219.
  • the flexible electrode 213 may have a thickness of between 1 nm and 100 ⁇ m
  • the cavity 221 may have a height of between 10 nm and 2 mm
  • the layer of Electret 215 may have a thickness of between 50 nm and 20 ⁇ m
  • the rigid electrode 217 may have a thickness of between 10 ⁇ m and 3 mm.
  • this volume is introduced, before sealing a liquid 225.
  • the liquid 225 is chosen so that its boiling temperature is lower than the temperature of the cavity 207 (hot cavity) or the wall 201 in operation, and greater than the temperature of the cavity 209 (cold cavity) or the electrode 213 operating ⁇ ment.
  • water or any other liquid and to put the closed volume formed by the cavities 207 and 209 and by the openings 211 at a pressure chosen to obtain the desired boiling temperature.
  • the operation of the device 200 is as follows.
  • Figure 3 is a schematic sectional view illustrating an alternative embodiment of the conver sion device ⁇ thermal energy into electrical energy of figure 2.
  • the device 300 of Figure 3 has many elements common with the device of Figure 2. Only ⁇ dif ferences between the two devices will be described below.
  • the device 300 of FIG. 3 differs from the device of FIG. 2 in that it does not include the thermally insulating layer 205 suspended horizontally in the enclosure 330 containing the liquid 225, between the walls 201, 213 and 203 which define this speaker.
  • the drops 227 of liquid moving from the cold wall (electrode 213) to the hot wall (wall 201) of the enclosure, and the vapors and overpressures moving from the hot wall (wall 201) to the cold wall (electrode 213) of the enclosure are not, as in the device of Figure 2, channeled through the openings 211 through the layer 205, but can move freely at any point on the surface of the device for the purpose of above.
  • One advantage is that the number of rapid vaporization / condensation cycles per unit area may be higher than in the device 200.
  • Figure 4 is a schematic sectional view illus trating ⁇ another example of an embodiment of a device 400 for conversion of heat energy into electrical energy.
  • the device 400 comprises a first cavity 401, a second cavity 403, a channel 405 or primary channel connecting the cavity 401 to the cavity 403, and a channel 407 or secondary channel connecting the cavity 401 to the cavity 403.
  • the primary channel 405 is a rectilinear channel of circular section
  • the secondary channel 407 is a rectilinear channel with a ring section, the smaller diameter of which is greater than the diameter of the primary channel, the primary 405 and secondary 407 channels having the same longitudinal axis.
  • the embodiments described are not however limited to this case ⁇ ticular party.
  • the primary 405 and secondary 407 channels pass right through a layer 409 of a thermally insulating material, which separates the cavity 401 from the cavity 403.
  • the cavity 403 is closed by an end wall 411, substantially parallel to the layer 409, and by side walls 413 connecting the wall 411 to the layer 409.
  • the cavity 401 is delimited by lateral walls 415, and by a flexible electrode 417 suspended above the layer 409 and fixed on the upper face of the side walls 415.
  • the device 400 further comprises, above the elec ⁇ trode flexible 417, an electret layer 419 whose upper face is in contact with a rigid electrode 421.
  • the empi ⁇ lement formed by the electret layer 419 and the electrode 421 rests on a ring 423 of a thermally material conductive and electrically insulating, for example resin.
  • the ring 219 itself rests on a peripheral portion of the upper face of the electrode 417, above the side walls 415 of the cavity 401.
  • a cavity 425 thus separates the electret layer 419 from the electrode 421.
  • the electrodes 417 and 421 and the electret layer 419 form a capacitive electret transducer.
  • the electrodes 417 and 421 are respectively connected to nodes or output terminals OUT1 and OUT2 of the conversion device 400.
  • the wall 411 is intended to be brought into contact with a cold source
  • the electrode 421 is intended to be brought into contact with a hot source.
  • the cavities 401 and 403 and the channels 405 and 407 constitute a closed volume delimited by the walls 411, 413 and 415 and by the flexible electrode 417 which thus define an enclosure 430.
  • a liquid 427 is introduced.
  • liquid 427 is chosen so that its boiling temperature is lower than the temperature of the cavity 401 (hot cavity) in operation, and greater than the temperature of the cavity 403 (cold cavity) in operation.
  • the primary channel 405 has an inner surface such that it ensures the displacement of drops of the liquid from the cavity 403 to the cavity 401, regardless of the orientation of the dispo ⁇ operative part 400.
  • the inner surface of the device may comprise sections having different mouillabi- ity properties, distributed along the longitudinal axis of the channel, so to form a surface energy gradient surface.
  • the operation of the device 400 is as follows.
  • the vapor is transmitted by the channels 405 and 407 and condenses on the side of the cold cavity 403. A drop is then formed in the cold cavity 403. This drop is transported to the hot cavity 401 through channel 405, and the cycle starts again.
  • the primary channel 405 has an opening large enough to pass drops of the liquid 427, and the secondary channel 407 has an opening too small to pass drops but large enough to transmit vaporized liquid or pressure.
  • the diameter of the primary channel 405 is preferably of the order of the capillary length, for example between 3 and 5 mm, advantageously of the order of 4 mm, and the diameter of the secondary channel is preferably of the order of the capillary length divided by 10, for example less than 0.5 mm.
  • the secondary channel 407 notably has the role of balancing the pressure between the cavities during the transfer of the drop from the cavity 403 to the cavity 401, in order to prevent a depression from being created in the cavity 403 which could block the transfer of gout.
  • An advantage of the embodiment of Figure 4 is that the operation of the device is independent of gravity. The device can therefore be arranged in any orientation.
  • the capacitive electret transducer is placed on the side of the cold source.
  • the transducer may be placed on the side of the hot source, or two transducers may be provided, one on the side of the hot source and one on the side of the cold source.
  • the TRANSDUC ⁇ tor capacitive electret is disposed on the side of the hot source.
  • the transducer may be placed on the side of the cold source, or two transducers may be provided, one on the side of the hot source and one on the side of the cold source.
  • the electret layer of the capacitive electret transducer is formed on one side of the rigid electrode of the transducer.
  • the electret layer may be placed on one side of the flexible electrode of the transducer. In this case, however, care must be taken that the stacking of electricity flexible trowel and electret layer remains flexible enough to achieve the desired operation.
  • thermoelectric generators described in the aforementioned US Pat. No. 8,337,558 and in the aforementioned French patent application filed on February 14, 2012 under the number 1251368.
  • the contents of these two documents are incorporated by reference in this description to the extent permitted by law.

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Abstract

L'invention concerne un dispositif (400) de conversion d'énergie, comprenant une enceinte (430) contenant des gouttes d'un liquide (427) et un transducteur capacitif à électret (417, 419, 421) couplé à cette enceinte.

Description

DISPOSITIF DE CONVERSION D ' ENERGIE THERMIQUE EN ENERGIE
ELECTRIQUE
La présente demande de brevet revendique la priorité de la demande de brevet français FR13/58072 qui sera considérée comme faisant partie intégrante de la présente description.
Domaine
La présente demande concerne un dispositif de conver¬ sion d'énergie thermique en énergie électrique, ou générateur thermoélectrique. Elle vise plus particulièrement un dispositif mettant en oeuvre un changement de phase liquide-vapeur d'un fluide .
Exposé de l'art antérieur
On a déjà proposé des dispositifs de conversion d'énergie thermique en énergie électrique mettant en oeuvre un changement de phase liquide-vapeur d'un fluide.
En particulier, le document US8378558 décrit un dispositif comportant un volume clos délimité par une première paroi destinée à être en contact avec une source chaude et, en regard de la première paroi, une deuxième paroi destinée à être en contact avec une source froide. La première paroi est disposée au dessus de la deuxième paroi, et une couche en un matériau piézoélectrique est suspendue horizontalement dans le volume clos entre les deux parois, cette couche étant traversée par des ouvertures verticales. Le volume clos contient des gouttes d'un liquide. Le fonctionnement de ce dispositif est le suivant.
Le liquide s'écoule par gravité à travers les ouver¬ tures en direction de la deuxième paroi. Lorsqu'il entre en contact avec la deuxième paroi, il se vaporise brutalement, ce qui a pour effet de générer des contraintes mécaniques qui sont transmises à la couche piézoélectrique qui les transforme en signaux électriques.
La vapeur passe à travers les ouvertures dans la couche piézoélectrique en direction de la première paroi, sur laquelle elle se condense.
Le liquide s'écoule à nouveau vers la deuxième paroi et le cycle recommence.
La demande de brevet français déposée le 14 février 2012 sous le numéro 1251368, décrit un autre dispositif de conversion d'énergie thermique en énergie électrique mettant en oeuvre un changement de phase liquide-vapeur d'un fluide. Ce dispositif permet de s'affranchir de la nécessité d'orienter la paroi froide au dessus de la paroi chaude pour assurer l'écoule¬ ment du liquide en direction de la paroi chaude après sa conden¬ sation sur la paroi froide. Pour cela, le dispositif comprend une première cavité dont une paroi est destinée à être en contact avec une source chaude, une deuxième cavité dont une paroi est destinée à être en contact avec une source froide, un matériau piézoélectrique disposé dans au moins une des cavités, un canal primaire reliant les première et deuxième cavités, et au moins un canal secondaire reliant les première et deuxième cavités . Un fluide sous forme liquide ou gazeuse est confiné dans le dispositif. Le canal secondaire est adapté à transporter le fluide sous forme de gaz. Le canal primaire est adapté à transporter des gouttes du fluide sous forme liquide de la deuxième cavité vers la première cavité, y compris lorsque la deuxième cavité est en dessous de la première cavité. Pour cela, le canal primaire comporte des moyens permettant d'assurer le déplacement de gouttes de liquide de la deuxième cavité vers la première cavité. Ces moyens sont par exemple formés par la surface interne du canal primaire qui peut comporter des sections présentant des propriétés de mouillabilité différentes le long de l'axe longitudinal du canal, ou être de type électrostatique .
Il serait toutefois souhaitable d'améliorer au moins en partie certains aspects des dispositifs existants de conver¬ sion d'énergie thermique en énergie électrique mettant en oeuvre un changement de phase liquide-vapeur d'un fluide.
Résumé
Ainsi, un mode de réalisation prévoit un dispositif de conversion d'énergie, comprenant une enceinte contenant des gouttes d'un liquide et un transducteur capacitif à électret couplé à cette enceinte.
Selon un mode de réalisation, le transducteur comporte une électrode flexible formant une paroi de l'enceinte.
Selon un mode de réalisation, l'électrode flexible comprend un film de graphène ou de carbone amorphe.
Selon un mode de réalisation, l'électrode flexible comprend une feuille de métal.
Selon un mode de réalisation, le transducteur comporte en outre une électrode rigide disposée en regard de l'électrode flexible à l'extérieur de l'enceinte.
Selon un mode de réalisation, le transducteur comporte en outre une couche d' électret entre l'électrode flexible et l'électrode rigide.
Selon un mode de réalisation, la couche d' électret est en contact avec une face de l'électrode rigide.
Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte une première paroi destinée à être mise en contact avec une source chaude de température supérieure à la température de vaporisation du liquide, et une deuxième paroi destinée à être mise en contact avec une source froide de température inférieure à la température de vaporisation du liquide. Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte une première cavité au voisinage de la première paroi, et une deuxième cavité au voisinage de la deuxième paroi, la première cavité étant séparée de la deuxième cavité par une couche en un matériau thermiquement isolant.
Selon un mode de réalisation, la couche en un matériau thermiquement isolant est traversée par des ouvertures reliant la première cavité à la deuxième cavité.
Selon un mode de réalisation, au moins une des ouvertures comporte des moyens assurant le transport de gouttes du liquide de la deuxième cavité vers la première cavité.
Brève description des dessins
Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles :
la figure 1 est un schéma illustrant le principe de fonctionnement d'un transducteur capacitif à électret ;
la figure 2 est une vue en coupe schématique illustrant un exemple d'un mode de réalisation d'un générateur thermoélectrique ;
la figure 3 est une vue en coupe schématique illustrant un autre exemple d'un mode de réalisation d'un générateur thermoélectrique ; et
la figure 4 est une vue en coupe schématique illus¬ trant un autre exemple d'un mode de réalisation d'un générateur thermoélectrique .
Description détaillée
Par souci de clarté, de mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. En outre, dans la suite de la description, sauf indication contraire, les termes "approximativement", "sensiblement", "environ" et "de l'ordre de" signifient "à 10 % près", et des références directionnelles telles que recouvrant, surmontant, latéral, au-dessus, en dessous, supérieur, inférieur, vertical, horizontal, etc. s'appliquent à des dispositifs orientés de la façon illustrée dans les vues en coupe des figures corres¬ pondantes .
Selon un aspect d'un mode de réalisation, on prévoit un dispositif adapté à convertir de l'énergie thermique en énergie mécanique à l'aide d'un liquide se vaporisant brusquement lorsqu'il entre en contact avec une surface chaude, créant ainsi une surpression localisée, et à convertir cette surpression en énergie électrique à l'aide d'un transducteur capacitif à électret.
La figure 1 illustre schématiquement un exemple de transducteur capacitif à électret 100. Le transducteur 100 comprend une électrode fixe 101, et, en regard de l'électrode 101, une électrode mobile 103. Dans cet exemple, les électrodes 101 et 103 sont sensiblement planes et parallèles entre elles et l'électrode 103 est susceptible de se déplacer en translation selon un axe approximativement orthogonal aux électrodes 101 et 103.
L'électrode 101 est revêtue d'une couche d' électret 105. Par électret, on entend ici un matériau diélectrique électriquement chargé, capable de conserver ses charges ou une partie significative de ses charges pendant une longue période, typiquement de l'ordre de quelques années à quelques dizaines d' années .
Dans l'exemple représenté, une charge, représentée schématiquement par une résistance R, est connectée entre les électrodes 101 et 103 du transducteur 100.
Le fonctionnement du transducteur 100 est le suivant.
La couche d' électret 105, qui contient une quantité Qj_ de charges d'une première polarité, par exemple des charges négatives, induit, dans les électrodes 101 et 103, une accumula¬ tion de charges de polarité inverse, des charges positives dans l'exemple. Si l'on désigne par Q]_ la quantité de charges induites dans l'électrode 101 par la couche 105, et par Q2 la quantité de charges induites dans l'électrode 103 par la couche 105, l'équilibre Qi = Qi + Û2 est respecté à tout instant.
Un déplacement de l'électrode 103 par rapport à l'électrode 101 entraîne une réorganisation des charges induites dans les électrodes 101 et 103 par la couche d'électret 105. En particulier, si l'électrode 103 s'éloigne de l'électrode 101, la quantité Q2 de charges induites dans l'électrode 103 diminue et la quantité Q]_ de charges induites dans l'électrode 101 augmente. A l'inverse, si l'électrode 103 se rapproche de l'électrode 101, la quantité Q2 de charges induites dans l'élec¬ trode 103 augmente et la quantité Q]_ de charges induites dans l'électrode 101 diminue. Il en résulte qu'un courant I circule à travers la charge R. Le mouvement relatif de l'électrode 103 par rapport à l'électrode 101 est ainsi converti en électricité.
La figure 2 est une vue en coupe schématique illustrant un exemple d'un mode de réalisation d'un dispositif 200 de conversion d'énergie thermique en énergie électrique.
Le dispositif 200 comprend une paroi inférieure 201 approximativement horizontale, destinée à être en contact avec une source chaude. La source chaude peut être un composant électronique, par exemple une puce de circuit intégré. Dans ce cas, la paroi 201 peut être une face supérieure de la puce de circuit intégré. Les modes de réalisation décrits ne se limitent toutefois pas à ce cas particulier. A titre de variante, la paroi 201 peut être une plaque de métal ou d'un autre matériau, et la source chaude peut être toute source de chaleur disponible dans l'environnement, par exemple un pot d'échappement de voiture, une canalisation, une paroi d'une machine, etc.
Le dispositif 200 comprend en outre des parois latérales 203 approximativement verticales en un matériau thermiquement isolant, par exemple du verre, de l'oxyde de silicium, ou tout autre matériau adapté. Dans cet exemple, les parois latérales 203 reposent sur une portion périphérique de la face supérieure de la paroi 201. Le dispositif 200 comprend en outre, au dessus de la paroi 201, une couche 205 en un matériau thermiquement isolant, par exemple en le même matériau que les parois latérales 203. Dans cet exemple, l'épaisseur de la couche 205 est inférieure à la hauteur des parois latérales 203, et la couche 205 est suspendue approximativement horizontalement au dessus de la paroi 201, par exemple à mi-hauteur des parois 203. Une cavité 207 sépare la couche 205 de la paroi 201, et une cavité 209 est située entre la couche 205 et le plan comprenant la surface supérieure des parois latérales 203. A titre d'exemple, la couche 205 et les parois latérales 203 peuvent être formées d'une seule pièce, par exemple par moulage ou par tout autre procédé adapté. A titre de variante, la couche 205 et les parois latérales 203 peuvent être des éléments séparés, assemblés par tout moyen adapté, par exemple par collage. La couche 205 est traversée par un réseau d'ouvertures approximativement verti¬ cales 211, par exemple des trous ou canaux traversants à section circulaire. A titre d'exemple non limitatif de réalisation, la hauteur des parois latérales 203 peut être comprise entre 100 um et 1 cm, la hauteur des cavités 207 et 209 peut être comprise entre 100 nm et 5 mm, et le diamètre des ouvertures 211 peut être compris entre 100 nm et 5 mm.
Le dispositif 200 comprend en outre une électrode flexible 213 suspendue au dessus de la couche 205 et de la cavité 209. Dans cet exemple, une portion périphérique de la face inférieure de l'électrode 213 est fixée sur la face supé¬ rieure des parois latérales 203, par exemple par collage. L'électrode flexible 213 est par exemple un film conducteur en graphène ou en carbone amorphe, ou une mince feuille métallique.
Le dispositif 200 comprend en outre, au dessus de l'électrode flexible 213, une couche d'électret 215 dont la face supérieure est en contact avec une électrode rigide 217. L'empilement formé par la couche d'électret 215 et par l'électrode 217 repose sur une bague 219 en un matériau thermiquement conducteur et électriquement isolant, par exemple de la résine. La bague 219 repose elle-même sur une portion périphérique de la face supérieure de l'électrode 213, au dessus des parois latérales 203 du dispositif. L'électrode flexible 213 est ainsi séparée de la couche d'électret 215 par une cavité 221 dont la hauteur est liée à l'épaisseur de la bague 219.
La couche d'électret 215 est par exemple en TEFLON chargé, en parylène chargé, ou en tout autre matériau diélec¬ trique chargé électriquement, par exemple par décharge corona, et adapté à conserver ses charges pendant une longue période. A titre de variante, la couche d'électret 215 peut comprendre un empilement d'une ou plusieurs couches diélectriques, par exemple en oxyde de silicium et/ou en nitrure, en sandwich entre deux films de TEFLON ou de parylène. Des charges peuvent alors être stockées dans le diélectrique central, par exemple par décharge corona, les films de TEFLON ou parylène ayant pour rôle d'empêcher la décharge du diélectrique central. A titre de variante, la couche 215 peut comprendre un empilement d'une ou plusieurs couches diélectriques, par exemple en oxyde de silicium et/ou en nitrure, en sandwich entre deux films d'hexa- méthyldisiloxane, généralement désigné dans la technique par le sigle HMDS. On notera que le HMDS n'a pas, intrinsèquement, des propriétés d'électret, mais les essais réalisés ont montré que, après encapsulâtion entre deux couches de HMDS, un empilement diélectrique, par exemple oxyde-nitrure, peut présenter des propriétés d'électret c'est-à-dire qu'il peut conserver des charges électriques pendant une longue période. Plus générale¬ ment, la couche d'électret 215 peut être constituée de tout matériau ou combinaison de matériaux présentant des propriétés d' électret .
Les électrodes 213 et 217 et la couche d'électret 215 forment un transducteur capacitif à électret. Les électrodes 213 et 217 correspondent par exemple respectivement à l'électrode mobile et à l'électrode fixe d'un transducteur du type décrit en relation avec la figure 1. Dans cet exemple, les électrodes 213 et 217 sont reliées respectivement à des noeuds ou bornes de sortie OUT1 et OUT2 du dispositif de conversion 200.
Dans cet exemple, le dispositif 200 comprend en outre une paroi supérieure 223 approximativement horizontale, surmon¬ tant l'électrode 217, destinée à être en contact avec une source froide. La source froide est par exemple un radiateur à ailettes, ou directement l'air ambiant, ou toute autre source dont la température est inférieure à celle de la source chaude. On notera que dans cet exemple, la paroi 223 est distincte de l'électrode 217. A titre de variante, la paroi 223 et l'électrode 217 peuvent être un même élément.
Les parois 201 et 223 sont de préférence en des matériaux bons conducteurs thermiques, pour assurer une réparti¬ tion homogène de la température dans les cavités 207 (cavité chaude) et 209 (cavité froide) respectivement. On notera que dans l'exemple de la figure 2, la cavité 209 est séparée de la paroi 223 par le transducteur capacitif à électret. Toutefois, en pratique, les différents éléments du transducteur sont suffi¬ samment minces et/ou bons conducteurs thermiques pour ne pas perturber de façon significative le refroidissement de la cavité 209 par la source froide, ce refroidissement étant de toute manière assuré par le matériau thermiquement conducteur de la bague 219. A titre d'exemple non limitatif, l'électrode flexible 213 peut avoir une épaisseur comprise entre 1 nm et 100 um, la cavité 221 peut avoir une hauteur comprise entre 10 nm et 2 mm, la couche d' électret 215 peut avoir une épaisseur comprise entre 50 nm et 20 um, et l'électrode rigide 217 peut avoir une épaisseur comprise entre 10 um et 3 mm.
Les cavités 207 et 209 et les ouvertures 211 consti¬ tuent un volume clos, de préférence hermétiquement, délimité par les parois 201 et 203 et par l'électrode flexible 213 qui définissent ainsi une enceinte 230. Dans ce volume, on introduit, avant scellement, un liquide 225. Le liquide 225 est choisi de façon que sa température d'ébullition soit inférieure à la température de la cavité 207 (cavité chaude) ou de la paroi 201 en fonctionnement, et supérieure à la température de la cavité 209 (cavité froide) ou de l'électrode 213 en fonctionne¬ ment. A titre d'exemple, on pourra utiliser de l'éthanol ou du méthanol, dont les températures d'ébullition sont respectivement de l'ordre de 78°C et 65 °C à la pression atmosphérique. On pourra également utiliser de l'eau ou tout autre liquide et mettre le volume clos formé par les cavités 207 et 209 et par les ouvertures 211 à une pression choisie pour obtenir la température d'ébullition souhaitée.
Le fonctionnement du dispositif 200 est le suivant.
Lorsqu'une goutte du liquide 225 descend le long d'une ouverture 211 et atteint la paroi chaude 201, elle passe brutalement de l'état liquide à l'état gazeux. Ce changement d'état rapide génère localement une forte surpression. Cette surpression entraîne localement une déformation temporaire de l'électrode flexible 213 au dessus de l'ouverture 211. Localement, l'électrode flexible 213 est alors susceptible de se rapprocher ou de s'éloigner de l'électrode 217, ce qui provoque l'apparition d'un signal électrique entre les noeuds de sortie OUT1 et OUT2 du dispositif. L'énergie électrique de ce signal peut soit être utilisée directement pour alimenter une charge, soit stockée dans une batterie ou un autre système de stockage, soit récupérée par un système de collecte et de mise en forme de l'énergie électrique collectée.
Après l'étape de vaporisation rapide, la vapeur vient se condenser du côté de l'électrode 213, dans la cavité froide 209, et l'électrode flexible 213 reprend localement sa forme initiale. Il se forme sur l'électrode 213, comme l'illustre la figure 2, une accumulation de liquide 225. Quand la masse de liquide 225 augmente, des gouttes 227 retombent dans des ouvertures 211 vers la paroi chaude 201, et le cycle recommence.
La figure 3 est une vue en coupe schématique illustrant une variante de réalisation du dispositif de conver¬ sion d'énergie thermique en énergie électrique de la figure 2. Le dispositif 300 de la figure 3 comprend de nombreux éléments communs avec le dispositif de la figure 2. Seules les diffé¬ rences entre les deux dispositifs seront décrites ci-après.
Le dispositif 300 de la figure 3 diffère du dispositif de la figure 2 en ce qu'il ne comprend pas la couche thermi- quement isolante 205 suspendue horizontalement dans l'enceinte 330 contenant le liquide 225, entre les parois 201, 213 et 203 qui définissent cette enceinte.
Dans le dispositif 300, les gouttes 227 de liquide se déplaçant de la paroi froide (électrode 213) vers la paroi chaude (paroi 201) de l'enceinte, et les vapeurs et surpressions se déplaçant de la paroi chaude (paroi 201) vers la paroi froide (électrode 213) de l'enceinte ne sont pas, comme dans le dispositif de la figure 2, canalisées par les ouvertures 211 traversant la couche 205, mais peuvent se déplacer librement, en tout point de la surface du dispositif en vue de dessus. Un avantage est que le nombre de cycles vaporisation rapide/condensation par unité de surface peut être plus élevé que dans le dispositif 200.
La figure 4 est une vue en coupe schématique illus¬ trant un autre exemple d'un mode de réalisation d'un dispositif 400 de conversion d'énergie thermique en énergie électrique.
Le dispositif 400 comprend une première cavité 401, une deuxième cavité 403, un canal 405 ou canal primaire reliant la cavité 401 à la cavité 403, et un canal 407 ou canal secondaire reliant la cavité 401 à la cavité 403. Dans l'exemple représenté, le canal primaire 405 est un canal rectiligne à section circulaire, et le canal secondaire 407 est un canal rectiligne à section en anneau, dont le plus petit diamètre est supérieur au diamètre du canal primaire, les canaux primaire 405 et secondaire 407 ayant le même axe longitudinal. Les modes de réalisation décrits ne se limitent toutefois pas à ce cas parti¬ culier. Les canaux primaire 405 et secondaire 407 traversent de part en part une couche 409 en un matériau thermiquement isolant, qui sépare la cavité 401 de la cavité 403. La cavité 403 est fermée par une paroi d'extrémité 411, sensiblement parallèle à la couche 409, et par des parois latérales 413 reliant la paroi 411 à la couche 409.
La cavité 401 est délimitée par des parois latérales 415, et par une électrode flexible 417 suspendue au dessus de la couche 409 et fixée sur la face supérieure des parois latérales 415. Le dispositif 400 comprend en outre, au dessus de l'élec¬ trode flexible 417, une couche d'électret 419 dont la face supérieure est en contact avec une électrode rigide 421. L'empi¬ lement formé par la couche d'électret 419 et par l'électrode 421 repose sur une bague 423 en un matériau thermiquement conducteur et électriquement isolant, par exemple de la résine. La bague 219 repose elle-même sur une portion périphérique de la face supérieure de l'électrode 417, au dessus des parois latérales 415 de la cavité 401. Une cavité 425 sépare ainsi la couche d'électret 419 de l'électrode 421.
Les électrodes 417 et 421 et la couche d'électret 419 forment un transducteur capacitif à électret. Dans cet exemple, les électrodes 417 et 421 sont reliées respectivement à des noeuds ou bornes de sortie OUT1 et OUT2 du dispositif de conversion 400.
En fonctionnement, la paroi 411 est destinée à être mise en contact avec une source froide, et l'électrode 421 est destinée à être mise en contact avec une source chaude.
Les cavités 401 et 403 et les canaux 405 et 407 constituent un volume clos, délimité par les parois 411, 413 et 415 et par l'électrode flexible 417 qui définissent ainsi une enceinte 430. Dans ce volume, on introduit un liquide 427. Le liquide 427 est choisi de façon que sa température d'ébullition soit inférieure à la température de la cavité 401 (cavité chaude) en fonctionnement, et supérieure à la température de la cavité 403 (cavité froide) en fonctionnement.
Selon un aspect de l'exemple de la figure 4, le canal primaire 405 comporte une surface intérieure telle qu'elle assure le déplacement de gouttes du liquide de la cavité 403 vers la cavité 401, indépendamment de l'orientation du dispo¬ sitif 400. Pour cela, la surface intérieure du dispositif peut comporter des sections présentant des propriétés de mouillabi- lité différentes, réparties le long de l'axe longitudinal du canal, de façon à former une surface à gradient d'énergie de surface .
Le fonctionnement du dispositif 400 est le suivant.
Lorsqu'une goutte du liquide 427 atteint la cavité chaude 401, elle passe brutalement de l'état liquide à l'état gazeux. Ce changement d'état rapide génère localement une forte surpression. Cette surpression entraîne une déformation temporaire de l'électrode flexible 417, ce qui provoque l'apparition d'un signal électrique entre les noeuds de sortie OUT1 et OUT2 du dispositif.
Après l'étape de vaporisation rapide, la vapeur est transmise par les canaux 405 et 407 et vient se condenser du côté de la cavité froide 403. Une goutte se forme alors dans la cavité froide 403. Cette goutte est transportée vers la cavité chaude 401 par le canal 405, et le cycle recommence.
Le canal primaire 405 a une ouverture suffisamment grande pour laisser passer des gouttes du liquide 427, et le canal secondaire 407 a une ouverture trop faible pour laisser passer des gouttes mais suffisamment grande pour transmettre du liquide vaporisé ou de la pression. Dans le cas de l'eau, le diamètre du canal primaire 405 est de préférence de l'ordre de la longueur capillaire, par exemple compris entre 3 et 5 mm, avantageusement de l'ordre de 4 mm, et le diamètre du canal secondaire est de préférence de l'ordre de la longueur capillaire divisée par 10, par exemple inférieur à 0,5 mm. Le canal secondaire 407 a notamment pour rôle d'équilibrer la pression entre les cavités lors du transfert de la goutte de la cavité 403 vers la cavité 401, afin d'éviter qu'une dépression ne se crée dans la cavité 403 ce qui pourrait bloquer le transfert de la goutte. Un avantage du mode de réalisation de la figure 4 est que le fonctionnement du dispositif est indépendant de la gravité. Le dispositif peut donc être disposé dans n'importe quelle orientation.
Un avantage des modes de réalisation décrits ci-dessus résulte du fait que la conversion d'une surpression localisée en énergie électrique est effectuée à l'aide d'un transducteur capacitif à électret. Ceci permet, à surpressions équivalentes liées à 1 ' évaporation brusque du liquide, d'obtenir des signaux électriques d'amplitudes nettement plus élevées que dans les dispositifs de l'art antérieur dans lesquels la conversion mécano-électrique est effectuée au moyen d'un transducteur piézoélectrique .
Des modes de réalisation particuliers ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art.
En particulier, dans les exemples des figures 2 et 3, le transducteur capacitif à électret est placé du coté de la source froide. A titre de variante, le transducteur pourra être placé du côté de la source chaude, ou encore deux transducteurs pourront être prévus, l'un du côté de la source chaude et l'un du côté de la source froide.
De plus, dans l'exemple de la figure 4, le transduc¬ teur capacitif à électret est placé du côté de la source chaude. A titre de variante, le transducteur pourra être placé du côté de la source froide, ou encore deux transducteurs pourront être prévus, l'un du côté de la source chaude et l'un du côté de la source froide.
En outre, dans les exemples décrits ci-dessus, la couche d' électret du transducteur capacitif à électret est formée sur une face de l'électrode rigide du transducteur. A titre de variante, la couche d' électret peut être placée sur une face de l'électrode flexible du transducteur. Dans ce cas, il convient toutefois de veiller à ce que l'empilement de l'élec- trode flexible et de la couche d'électret reste suffisamment flexible pour obtenir le fonctionnement recherché.
Par ailleurs, l'homme de l'art saura adapter les modes de réalisation décrits aux diverses variantes de réalisation de générateurs thermoélectriques décrites dans le brevet US8378558 susmentionné et dans la demande de brevet français susmentionnée déposée le 14 février 2012 sous le numéro 1251368. Le contenu de ces deux documents est incorporé par référence dans la présente description dans la mesure autorisée par la loi.

Claims

REVENDICATIONS
1. Dispositif (200 ; 300 ; 400) de conversion d'énergie, comprenant :
une enceinte (230 ; 330 ; 430) contenant des gouttes d'un liquide (225 ; 427) ; et
un transducteur capacitif à électret (213, 215, 217 ; 417, 419, 421) couplé à cette enceinte.
2. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon la revendication
1, dans lequel le transducteur comporte une électrode flexible (213 ; 417) formant une paroi de ladite enceinte (230 ; 330 ; 430) .
3. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon la revendication
2, dans lequel l'électrode flexible (213 ; 417) comprend un film de graphène ou de carbone amorphe .
4. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon la revendication 2, dans lequel l'électrode flexible (213 ; 417) comprend une feuille de métal.
5. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, dans lequel le transducteur comporte en outre une électrode rigide (217 ; 421) disposée en regard de l'électrode flexible (213 ; 417) à l'extérieur de ladite enceinte .
6. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon la revendication
5, dans lequel le transducteur comporte en outre une couche d'électret (215 ; 419) entre l'électrode flexible (213 ; 417) et l'électrode rigide (217 ; 421) .
7. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon la revendication
6, dans lequel la couche d'électret (215 ; 419) est en contact avec une face de l'électrode rigide (217 ; 421) .
8. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, comportant une première paroi (201 ; 421) destinée à être mise en contact avec une source chaude de température supérieure à la température de vaporisation du liquide (225 ; 427) , et une deuxième paroi (223 ; 411) destinée à être mise en contact avec une source froide de température inférieure à la température de vaporisation du liquide (225 ; 427) .
9. Dispositif (200 ; 400) selon la revendication 8, comportant une première cavité (207 ; 401) au voisinage de la première paroi (201 ; 421) , et une deuxième cavité (209 ; 403) au voisinage de la deuxième paroi (223 ; 411), la première cavité (207 ; 401) étant séparée de la deuxième cavité (209 ; 403) par une couche (205 ; 409) en un matériau thermiquement isolant .
10. Dispositif (200 ; 400) selon la revendication 9, dans lequel ladite couche (205 ; 409) en un matériau thermiquement isolant est traversée par des ouvertures (211 ; 405, 407) reliant la première cavité (207 ; 401) à la deuxième cavité (209 ; 403) .
11. Dispositif (400) selon la revendication 10, dans lequel au moins une desdites ouvertures (405) comporte des moyens assurant le transport de gouttes du liquide (427) de la deuxième cavité (403) vers la première cavité (401) .
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