EP2565464A2 - Vacuum pump - Google Patents
Vacuum pump Download PDFInfo
- Publication number
- EP2565464A2 EP2565464A2 EP12180605A EP12180605A EP2565464A2 EP 2565464 A2 EP2565464 A2 EP 2565464A2 EP 12180605 A EP12180605 A EP 12180605A EP 12180605 A EP12180605 A EP 12180605A EP 2565464 A2 EP2565464 A2 EP 2565464A2
- Authority
- EP
- European Patent Office
- Prior art keywords
- sleeve
- vacuum pump
- hub
- shaft
- pump according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004918 carbon fiber reinforced polymer Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 24
- 230000009471 action Effects 0.000 description 7
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 238000011161 development Methods 0.000 description 6
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 241000209035 Ilex Species 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000026058 directional locomotion Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
Definitions
- the invention relates to a vacuum pump according to the preamble of the first claim.
- Rotating sleeves have proven themselves in vacuum pumps, for example in the form of a Holweckpumpcut.
- One or a plurality of sleeves is attached on one side to a hub, which in turn is arranged on a shaft.
- a hub which in turn is arranged on a shaft.
- Such a structure shows, for example, the EP 0 695 872 A1 ,
- the vacuum pump according to the invention in particular a molecular pump, having a rotor which has a shaft, a hub connected to the shaft and a first sleeve connected to a first side and concentric with the shaft, is characterized in that at least one second sleeve is concentric with the shaft a second side of the hub opposite in an axial direction of the first side connected thereto and the first sleeve is arranged in the gas flow of the second sleeve.
- a radius of the first sleeve and a radius of the second sleeve are different. As a result, the space of the pump can be reduced while maintaining the same pressure ratio.
- a further advantageous embodiment provides that a third sleeve with a smaller radius is arranged concentrically to the first sleeve.
- This third sleeve is arranged axially from the shaft at the same height as the first sleeve.
- a fourth sleeve is arranged with a radius concentric with the second sleeve. Viewed axially, the fourth sleeve is arranged at the same height with the second sleeve. As a result, the pumping capacity is further increased with the same installation space.
- a stator is provided radially within the second sleeve, which cooperates pumping with an inner surface of the second sleeve. This also once again significantly increases the pumping capacity without the need to increase the installation space of the pump.
- At least one rotor disk turbomolekularer type is arranged in the gas stream in front of the second sleeve. This also increases the pumping action of the pump.
- a particularly preferred embodiment of the invention provides that the at least one sleeve comprises a carbon fiber reinforced plastic.
- a carbon fiber reinforced plastic as a sleeve material allows even lower column, since the centrifugal expansion of the sleeve is reduced.
- a further embodiment of the invention provides that the hub comprises a lateral surface, which cooperates with a gas promoting gas. As a result, the lateral surface of the hub is used to achieve a pumping action.
- the lateral surface and the radially outer outer surfaces of the first and the second sleeve are formed together as only a cylindrical surface. This has the advantage that the first and second sleeve together with the lateral surface of the hub acts as a continuous sleeve of a Holweck stage and thus the pumping action of the pump is optimized.
- a further advantageous embodiment of the invention provides that the hub in the gas flow in front of the first sleeve has a constriction, which cooperates with a gas inlet.
- This embodiment has the advantage that the interaction of the gas inlet with the constriction of the hub lead to an improvement of the vacuum technical parameters such as pumping speed and pressure ratio.
- a longitudinal section through a vacuum pump shows Fig. 1 ,
- a suction port 4 is provided through which gas is sucked into the vacuum pump. After compression, it is expelled through an outlet 6 from the vacuum pump.
- a rotor 10 which generates the pumping action together with a stator 30.
- the rotor 10 has a shaft 12, whose end facing the suction opening 4 is supported by a permanent magnet bearing 14. The opposite end is supported by a roller bearing 16.
- This bearing assembly has over other conceivable types of bearings such as flying bearings with two bearings on the opposite side of the intake 4 advantage that a lubricant-free bearing is used on the suction side and due to the rotor dynamic simpler storage narrow column and a short overall length can be achieved.
- a permanent magnet 20 is provided, which cooperates with a powered drive coil 22.
- the rotor 10 is set in a sufficiently fast speed. This is based on the pumping principle used and is usually at some ten thousand revolutions per minute with molecular pumping principles.
- the stator 30 has one or a plurality of helical channels 32 on its surface facing the rotor 10.
- a hub 40 is attached on the shaft 12. It has a first side 42 and a second side 44 opposite thereto. The second side 44 faces the suction opening 4.
- a first sleeve 50 is secured to the first side 42 and a second sleeve 52 to the second side. Both sleeves 50, 52 cooperate with the stator 30 and its helical channel 32 to create a Holweck pumping action.
- the gas flow leads through the suction opening 4 in a gap S between the second sleeve 52 and the stator 30.
- the first sleeve 50 is arranged downstream in the gas flow of the second sleeve 52 and thus compresses toward the higher pressure.
- Fig. 2 a part of the stator 30 and a part of the rotor 10 is shown.
- the hub 40 is disposed on the shaft 12.
- the hub 40 has a substantially disc-shaped and in a plane perpendicular to the shaft axis W expanding body, creating a low-cost redordynamically advantageous support structure for the sleeves 50, 52, 54 is created.
- the hub 40 and at least one of the sleeves 50, 52, 54, 56 are integral educated. It is possible the hub 40 symmetrical or, as in Fig. 2 shown asymmetrically, in particular seen perpendicular to the axial direction, form.
- first sleeve 50 and a third sleeve 54 are attached on its first side 42, which corresponds to a first end face of the hub 40.
- the material of the sleeves 50, 52, 54 essentially comprises carbon fiber reinforced plastic.
- the attachment of the sleeves 50, 52, 54 can be done for example by gluing.
- a further shoulder 82 is provided, on which the extending in the direction of the suction opening and upstream in the gas flow of the first sleeve 50 second sleeve 52 is attached.
- the hub 40 has a radially outer circumferential surface 46, which together with at least one helical channel 32 in the stator 30 achieves a pumping action.
- the lateral surface 46 together with the radially outer surfaces 60 and 62 of the first and second sleeves 50 and 52 forms a cylindrical surface, apart from material transitions.
- a rotor disk 70 turbomolekularer design is arranged in the gas flow in front of the second sleeve, with which increases the pumping speed at a short length and the pressure range is extended to lower pressures.
- Fig. 3 the additional design latitude is presented to make lengths L1 and L2 of first and second sleeves 50 and 52 of different lengths.
- the vacuum technical data and the rotor dynamics can overlap due to the mass distribution on the rotor be matched.
- radii R1 and R2 of first and second sleeves 50, 52 may be different from each other.
- a fourth sleeve 56 may be provided. Between the second and fourth sleeve 52, 56, an additional stator 34 is provided, which has helical channels 36 and 38 as pump-active structures. The channel 36 cooperates with an inner surface 64 of the second sleeve 52.
- the arrows illustrate the gas flow that initially occurs on the outer surface of the fourth sleeve 56 toward the hub 40, then is directed away from the hub 40 on the surface 64 of the second sleeve 52, and subsequently on the radially outer surface of the second sleeve 52 again is aligned in the direction of the hub 40.
- constriction 48 represents a portion of the hub 40 between first and second sleeves 50, 52 in which the radius of the hub 40 is reduced from the radius 48 of both sleeves 50 and 52.
- This constriction cooperates with an additional gas inlet 8 in the form that gas entering through the gas inlet 8 first enters the constriction 48.
- gas can be distributed around the rotor 10, whereby the gas flow in the direction of the first sleeve 50 is improved.
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe nach dem Oberbegriff des ersten Anspruches.The invention relates to a vacuum pump according to the preamble of the first claim.
Molekulare Pumpprinzipien sind aus der Vakuumtechnik aufgrund der vielfältigen Anwendungen bei der Erzeugung industrieller Vakua nicht mehr wegzudenken. Letztlich gründet sich der Pumpeffekt auf dem Impulsübertrag einer schnell bewegten Fläche auf Gasmoleküle, wodurch der statistischen thermischen Bewegung eine gerichtete Bewegung hinzuaddiert wird.Molecular pumping principles have become an indispensable part of vacuum technology due to the manifold applications in the production of industrial vacuums. Ultimately, the pumping effect is based on the momentum transfer of a rapidly moving surface to gas molecules, adding a directional motion to the statistical thermal motion.
Rotierende Hülsen haben sich in Vakuumpumpen bewährt, beispielsweise in Form einer Holweckpumpstufe. Eine oder eine Mehrzahl von Hülsen wird einseitig an einer Nabe befestigt, die ihrerseits auf einer Welle angeordnet ist. Einen solchen Aufbau zeigt beispielsweise die
In einigen Anwendungsfällen, beispielsweise beim Einsatz von Vakuumpumpen in Lecksuchern, wird ein hohes Druckverhältnis zwischen Ansaugöffnung und Auslass der Pumpe, insbesondere für leichte Gase gewünscht. Dies geht nach oben genanntem Bauprinzip mit sehr langen Hülsen einher. Gerade in diesen Anwendungen ist jedoch eine kompakte Bauweise gewünscht. Dem Wunsch widersprechen lange Hülsen, die die Baulänge der Vakuumpumpe selbst vergrößern.In some applications, for example, when using vacuum pumps in leak detectors, a high pressure ratio between the suction port and outlet of the pump, especially for light gases is desired. This is accompanied by the above-mentioned construction principle with very long sleeves. Especially in these applications, however, a compact design is desired. The desire contradict long sleeves that increase the length of the vacuum pump itself.
Es war daher Aufgabe, eine Vakuumpumpe zu schaffen, die bei einer kompakten Bauweise ein hohes Druckverhältnis besitzt.It was therefore an object to provide a vacuum pump, which has a high pressure ratio in a compact design.
Die Aufgabe wird gelöst durch die Merkmale des unabhängigen Anspruches 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen 2 bis 10 gekennzeichnet.The object is solved by the features of
Diese Aufgabe wird durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen gemäß Anspruch 1 gelöst.This object is achieved by a vacuum pump having the features according to
Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe, insbesondere Molekularpumpe, mit einem Rotor, welche eine Welle, eine mit der Welle verbundenen Nabe und eine mit einer ersten Seite verbundene und zur Welle konzentrische erste Hülse aufweist, zeichnet sich dadurch aus, dass wenigstens eine zweite Hülse konzentrisch zur Welle auf einer in einer axialen Richtung der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite der Nabe mit dieser verbunden und die erste Hülse im Gasstrom der zweiten Hülse angeordnet ist.The vacuum pump according to the invention, in particular a molecular pump, having a rotor which has a shaft, a hub connected to the shaft and a first sleeve connected to a first side and concentric with the shaft, is characterized in that at least one second sleeve is concentric with the shaft a second side of the hub opposite in an axial direction of the first side connected thereto and the first sleeve is arranged in the gas flow of the second sleeve.
Zur Lösung der Aufgabe wird gemäß den Merkmalen des Anspruches 1 vorgeschlagen, eine Nabe mit zwei Hülsen zu versehen, die auf gegenüberliegenden Seiten der Nabe angeordnet sind. Statt einer langen Hülse werden zwei kurze Hülsen benutzt, um die gleiche pumpaktive Länge zu erreichen. Der Vorteil ist nun, dass bei zwei Hülsen Fertigungstoleranzen eine geringere Rolle spielen. Solche Fertigungstoleranzen sind beispielsweise der Hülsendurchmesser und eine Verkippung der Hülse an der Befestigungsstelle. Diese Toleranzen müssen bei der Auslegung der Spalte zwischen Hülse und Stator berücksichtigt werden und führen bei einer langen Hülse zu weiten Spalten. Neben den Fertigungstoleranzen spielt auch die Aufweitung der Hülse durch Fliehkräfte bei schneller Drehung eine Rolle. Bei kurzen Hülsen ist diese Aufweitung geringer. Bei zwei kurzen Hülsen anstelle einer langen Hülse können daher engere Spalte eingesetzt werden. Enge Spalte bedeuten gleichzeitig eine Erhöhung des Druckverhältnisses, so dass das Druckverhältnis pro Länge steigt. Die Vakuumpumpe baut daher kompakter bei besserem Druckverhältnis als eine vergleichbare Vakuumpumpe nach bisheriger Bauart.To solve the problem is proposed according to the features of
Gemäß einer möglichen Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass ein Radius der ersten Hülse und ein Radius der zweiten Hülse unterschiedlich sind. Hierdurch lässt sich der Bauraum der Pumpe verkleinern bei durchaus gleich bleibendem Druckverhältnis.According to a possible embodiment of the invention it is provided that a radius of the first sleeve and a radius of the second sleeve are different. As a result, the space of the pump can be reduced while maintaining the same pressure ratio.
Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform sieht vor, dass eine dritte Hülse mit einem kleineren Radius konzentrisch zur ersten Hülse angeordnet ist. Diese dritte Hülse ist axial von der Welle aus gesehen auf gleicher Bauhöhe mit der ersten Hülse angeordnet. Durch diese Maßnahme ist es möglich, die Pumpleistung zu erhöhen, ohne dass zusätzlicher Bauraum benötigt wird.A further advantageous embodiment provides that a third sleeve with a smaller radius is arranged concentrically to the first sleeve. This third sleeve is arranged axially from the shaft at the same height as the first sleeve. By this measure is It is possible to increase the pump power without additional space is needed.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass eine vierte Hülse mit einem Radius konzentrisch zur zweiten Hülse angeordnet ist. Axial gesehen ist die vierte Hülse auf gleicher Bauhöhe mit der zweiten Hülse angeordnet. Auch hierdurch wird bei gleich bleibendem Bauraum die Pumpleistung weiter erhöht.According to a further advantageous embodiment of the invention it is provided that a fourth sleeve is arranged with a radius concentric with the second sleeve. Viewed axially, the fourth sleeve is arranged at the same height with the second sleeve. As a result, the pumping capacity is further increased with the same installation space.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist radial innerhalb der zweiten Hülse ein Stator vorgesehen, der mit einer inneren Oberfläche der zweiten Hülse pumpend zusammenwirkt. Auch hierdurch wird noch einmal die Pumpleistung deutlich erhöht, ohne dass der Bauraum der Pumpe vergrößert werden muss.According to a preferred embodiment of the invention, a stator is provided radially within the second sleeve, which cooperates pumping with an inner surface of the second sleeve. This also once again significantly increases the pumping capacity without the need to increase the installation space of the pump.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform ist vorgesehen, dass im Gasstrom vor der zweiten Hülse wenigstens eine Rotorscheibe turbomolekularer Bauart angeordnet ist. Auch hierdurch wird die Pumpwirkung der Pumpe erhöht.According to a further advantageous embodiment, it is provided that at least one rotor disk turbomolekularer type is arranged in the gas stream in front of the second sleeve. This also increases the pumping action of the pump.
Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die wenigstens eine Hülse einen kohlenstofffaserverstärkten Kunststoff umfasst. Der Einsatz eines kohlenstofffaserverstärkten Kunststoffes als Hülsenmaterial ermöglicht noch geringere Spalte, da die Fliehkraftaufweitung der Hülse verringert wird.A particularly preferred embodiment of the invention provides that the at least one sleeve comprises a carbon fiber reinforced plastic. The use of a carbon fiber reinforced plastic as a sleeve material allows even lower column, since the centrifugal expansion of the sleeve is reduced.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Nabe eine Mantelfläche umfasst, welche mit einem Stator Gas fördernd zusammenwirkt. Hierdurch wird die Mantelfläche der Nabe zum Erzielen einer Pumpwirkung benutzt.A further embodiment of the invention provides that the hub comprises a lateral surface, which cooperates with a gas promoting gas. As a result, the lateral surface of the hub is used to achieve a pumping action.
Vorteilhaft sind die Mantelfläche und die radial außenliegenden Außenflächen der ersten und der zweiten Hülse zusammen als lediglich eine zylindrische Fläche ausgebildet. Dies hat den Vorteil, dass die erste und zweite Hülse zusammen mit der Mantelfläche der Nabe wie eine durchgehende Hülse einer Holweckstufe wirkt und damit die Pumpwirkung der Pumpe optimiert wird.Advantageously, the lateral surface and the radially outer outer surfaces of the first and the second sleeve are formed together as only a cylindrical surface. This has the advantage that the first and second sleeve together with the lateral surface of the hub acts as a continuous sleeve of a Holweck stage and thus the pumping action of the pump is optimized.
Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Nabe im Gasstrom vor der ersten Hülse eine Einschnürung aufweist, welche mit einem Gaseinlass zusammenwirkt. Diese Ausführungsform weist den Vorteil auf, dass das Zusammenwirken des Gaseinlasses mit der Einschnürung der Nabe zu einer Verbesserung der vakuumtechnischen Größen wie Saugvermögen und Druckverhältnis führen.A further advantageous embodiment of the invention provides that the hub in the gas flow in front of the first sleeve has a constriction, which cooperates with a gas inlet. This embodiment has the advantage that the interaction of the gas inlet with the constriction of the hub lead to an improvement of the vacuum technical parameters such as pumping speed and pressure ratio.
Das Vorsehen mehrerer konzentrischer Hülsen, die mit weiteren Statoren zusammenwirken und aufgrund ihrer Anordnung keinen zusätzlichen Bauraum benötigen, weist den Vorteil auf, dass die Vakuumpumpe bei einer kompakten Bauform ein besseres Druckverhältnis aufweist als eine vergleichbare Vakuumpumpe nach bisheriger Bauart.The provision of several concentric sleeves, which cooperate with other stators and because of their arrangement require no additional space, has the advantage that the vacuum pump in a compact design has a better pressure ratio than a comparable vacuum pump of the previous type.
Anhand eines Ausführungsbeispieles und seiner Weiterbildungen soll die Erfindung näher erläutert und die Darstellung ihrer Vorteile vertieft werden. Es zeigen:
- Fig. 1
- einen Längsschnitt durch eine Vakuumpumpe;
- Fig. 2
- einen Teilschnitt eines Rotors gemäß einer Weiterbildung mit einer Rotorscheibe turbomolekularer Bauart;
- Fig. 3
- einen Teilschnitt eines Rotors gemäß einer Weiterbildung mit einer weiteren Hülse;
- Fig. 4
- einen Teilschnitt eines Rotors gemäß einer Weiterbildung mit einer Einschnürung auf Höhe eines zusätzlichen Gaseinlasses.
- Fig. 1
- a longitudinal section through a vacuum pump;
- Fig. 2
- a partial section of a rotor according to a further development with a rotor disk of turbomolecular design;
- Fig. 3
- a partial section of a rotor according to a development with another sleeve;
- Fig. 4
- a partial section of a rotor according to a development with a constriction at the level of an additional gas inlet.
Einen Längsschnitt durch eine Vakuumpumpe zeigt
Innerhalb der Vakuumpumpe ist ein Rotor 10 vorgesehen, der zusammen mit einem Stator 30 die Pumpwirkung erzeugt. Der Rotor 10 weist eine Welle 12 auf, deren der Ansaugöffnung 4 zugewandtes Ende von einem Permanentmagnetlager 14 getragen wird. Das gegenüberliegende Ende wird von einem Wälzlager 16 unterstützt. Diese Lageranordnung besitzt gegenüber anderen denkbaren Lagerarten wie der fliegenden Lagerung mit zwei Wälzlagern auf der der Ansaugöffnung 4 gegenüberliegenden Seite den Vorteil, dass ein schmiermittelfreies Lager ansaugseitig eingesetzt wird und aufgrund der rotordynamisch einfacheren Lagerung enge Spalte und eine kurze Baulänge erreicht werden.Within the vacuum pump, a
Auf der Welle 12 ist ein Permanentmagnet 20 vorgesehen, der mit einer bestromten Antriebsspule 22 zusammenwirkt. Hierdurch wird der Rotor 10 in eine ausreichend schnelle Drehzahl versetzt. Diese bemisst sich nach dem verwendeten Pumpprinzip und liegt bei molekularen Pumpprinzipien in der Regel bei einigen zehntausend Umdrehungen pro Minute.On the
Der Stator 30 weist auf seiner dem Rotor 10 zugewandten Oberfläche einen oder eine Mehrzahl schraubenlinienartiger Kanäle 32 auf.The
An der Welle 12 ist eine Nabe 40 befestigt. Sie weist eine erste Seite 42 und eine dieser gegenüberliegende zweite Seite 44 auf. Die zweite Seite 44 ist der Ansaugöffnung 4 zugewandt. An der ersten Seite 42 ist eine erste Hülse 50 befestigt, an der zweiten Seite eine zweite Hülse 52. Beide Hülsen 50, 52 wirken mit dem Stator 30 und dessen schraubenlinienartigen Kanal 32 zur Erzeugung einer Pumpwirkung nach Holweck zusammen. Der Gasstrom führt durch die Ansaugöffnung 4 in einem Spalt S zwischen zweiter Hülse 52 und Stator 30. Die erste Hülse 50 ist im Gasstrom der zweiten Hülse 52 nachfolgend angeordnet und verdichtet damit zum höheren Druck hin. Durch die Verwendung der Hülsen 50 und 52 zusammen mit der beschriebenen Gasführung wirken sich Fertigungstoleranzen in geringerem Maße auf den Spalt S aus, so dass dieser enger als bei einer vergleichbaren einzelnen Hülse ausgeführt wird, deren Länge der Summe der Längen L1, L2 der beiden Hülsen 50, 52 entspricht.On the
Weiterbildungen sind in den nachfolgenden
In
Die Nabe 40 weist eine radial außenliegende Mantelfläche 46 auf, die mit wenigstens einem schraubenlinienartig verlaufenden Kanal 32 im Stator 30 zusammen eine Pumpwirkung erzielt. In einer Weiterbildung bildet die Mantelfläche 46 zusammen mit den radial außenliegenden Oberflächen 60 und 62 der ersten und zweiten Hülse 50 und 52 eine abgesehen von Materialübergängen durchgehende zylindrische Fläche.The
Auf der Welle 12 ist im Gasstrom vor der zweiten Hülse eine Rotorscheibe 70 turbomolekularer Bauart angeordnet, mit welcher bei kurzer Baulänge das Saugvermögen erhöht und der Druckbereich zu niedrigeren Drücken hin erweitert wird.On the
In
Konzentrisch zur zweiten Hülse 52 und mit kleinerem Radius kann eine vierte Hülse 56 vorgesehen sein. Zwischen zweiter und vierter Hülse 52, 56 ist ein zusätzlicher Stator 34 vorgesehen, der als pumpaktive Strukturen schraubenlinienartige Kanäle 36 und 38 aufweist. Der Kanal 36 wirkt mit einer innenliegenden Oberfläche 64 der zweiten Hülse 52 zusammen. Die Pfeile veranschaulichen den Gasfluss, der zunächst an der äußeren Oberfläche der vierten Hülse 56 in Richtung Nabe 40 erfolgt, dann an der Oberfläche 64 der zweiten Hülse 52 von der Nabe 40 weggerichtet ist, und nachfolgend an der radial außenliegenden Oberfläche der zweiten Hülse 52 wieder in Richtung der Nabe 40 ausgerichtet ist.Concentric with the
Die Weiterbildung nach
Ein weiteres mögliches Gestaltungsmerkmal wird durch eine Einschnürung 48 gebildet, die einen Bereich der Nabe 40 zwischen erster und zweiter Hülse 50, 52 darstellt, in welchem der Radius der Nabe 40 gegenüber dem Radius 48 beider Hülsen 50 und 52 verringert ist. Diese Einschnürung wirkt mit einem zusätzlichen Gaseinlass 8 in der Form zusammen, dass durch den Gaseinlass 8 eintretendes Gas zunächst in die Einschnürung 48 gelangt. Hierdurch kann sich Gas um den Rotor 10 herum verteilen, wodurch der Gasfluss in Richtung erster Hülse 50 verbessert wird.Another possible design feature is formed by a
- 22
- Gehäusecasing
- 44
- Ansaugöffnungsuction
- 66
- Auslassoutlet
- 88th
- Gaseinlassgas inlet
- 1010
- Rotorrotor
- 1212
- Wellewave
- 1414
- PermanentmagnetlagerPermanent magnetic bearings
- 1616
- Wälzlagerroller bearing
- 2020
- Permanentmagnetpermanent magnet
- 2222
- Antriebsspuledrive coil
- 3030
- Statorstator
- 3232
- Kanälechannels
- 3434
- Statorstator
- 3636
- Kanälechannels
- 3838
- Kanälechannels
- 4040
- Nabehub
- 4242
- erste Seitefirst page
- 4444
- zweite Seitesecond page
- 4646
- Mantelflächelateral surface
- 4848
- Einschnürungconstriction
- 5050
- Hülseshell
- 5252
- Hülseshell
- 5454
- Hülseshell
- 5656
- Hülseshell
- 6060
- Oberflächesurface
- 6262
- Oberflächesurface
- 6464
- Oberflächesurface
- 7070
- Rotorscheiberotor disc
- 8080
- Absatzparagraph
- 8282
- Absatzparagraph
- 8484
- Absatzparagraph
- L1L1
- Länge der HülseLength of the sleeve
- L2L2
- Länge der HülseLength of the sleeve
- R1R1
- Radiusradius
- R2R2
- Radiusradius
- SS
- Spaltgap
- WW
- Wellenachseshaft axis
Claims (10)
dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine zweite Hülse (52) konzentrisch zur Welle (12) auf einer in einer axialen Richtung der ersten Seite (42) gegenüberliegenden zweiten Seite (44) der Nabe (40) mit dieser verbunden und die erste Hülse (50) im Gasstrom der zweiten Hülse (52) nachfolgend angeordnet ist.A vacuum pump, in particular a molecular vacuum pump, having a rotor (10) which has a shaft (12), a hub (40) connected to the shaft and a hub (40) connected to a first side (42) of the hub (40) and concentric with the shaft (12) having first sleeve (50),
characterized in that at least one second sleeve (52) concentrically connected to the shaft (12) on a second side (44) of the hub (40) opposite the first side (42) in an axial direction of the first side (42) and the first sleeve (50) in the gas flow of the second sleeve (52) is arranged below.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012193203A JP5683544B2 (en) | 2011-09-05 | 2012-09-03 | Vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102011112689.2A DE102011112689B4 (en) | 2011-09-05 | 2011-09-05 | vacuum pump |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
EP2565464A2 true EP2565464A2 (en) | 2013-03-06 |
EP2565464A3 EP2565464A3 (en) | 2015-04-15 |
EP2565464B1 EP2565464B1 (en) | 2019-04-24 |
Family
ID=46963391
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EP12180605.3A Active EP2565464B1 (en) | 2011-09-05 | 2012-08-16 | Vacuum pump |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2565464B1 (en) |
JP (1) | JP5683544B2 (en) |
DE (1) | DE102011112689B4 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015062909A1 (en) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Support element for tubular elements of a holweck stage |
EP3907406A1 (en) * | 2021-04-16 | 2021-11-10 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Vacuum pump |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013114290A1 (en) | 2013-12-18 | 2015-06-18 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | vacuum pump |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0695872A1 (en) | 1994-08-01 | 1996-02-07 | Balzers-Pfeiffer GmbH | Friction vacuum pump with magnetic bearings |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB180991A (en) | 1921-06-01 | 1923-08-07 | Fernand Hippolyte Louis Holweck | |
DE1010235B (en) | 1955-04-22 | 1957-06-13 | Arthur Pfeiffer Fa | Molecular pump |
DE19930952A1 (en) | 1999-07-05 | 2001-01-11 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vacuum pump |
DE102009021620B4 (en) | 2009-05-16 | 2021-07-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vacuum pump |
DE102009035332A1 (en) | 2009-07-30 | 2011-02-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | vacuum pump |
-
2011
- 2011-09-05 DE DE102011112689.2A patent/DE102011112689B4/en active Active
-
2012
- 2012-08-16 EP EP12180605.3A patent/EP2565464B1/en active Active
- 2012-09-03 JP JP2012193203A patent/JP5683544B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0695872A1 (en) | 1994-08-01 | 1996-02-07 | Balzers-Pfeiffer GmbH | Friction vacuum pump with magnetic bearings |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015062909A1 (en) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Support element for tubular elements of a holweck stage |
EP3907406A1 (en) * | 2021-04-16 | 2021-11-10 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Vacuum pump |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2565464B1 (en) | 2019-04-24 |
JP5683544B2 (en) | 2015-03-11 |
DE102011112689A1 (en) | 2013-03-07 |
DE102011112689B4 (en) | 2024-03-21 |
EP2565464A3 (en) | 2015-04-15 |
JP2013053626A (en) | 2013-03-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2295812B1 (en) | Vacuum pump | |
WO1994025760A1 (en) | Friction vacuum pump with pump sections of different designs | |
EP1252445A1 (en) | Friction vacuum pump | |
DE102012003680A1 (en) | vacuum pump | |
EP1067290B1 (en) | Vacuum pump | |
EP2565464B1 (en) | Vacuum pump | |
EP2933497A2 (en) | Vacuum pump | |
EP0363503A1 (en) | Pump stage for a high vacuum pump | |
DE102018220007A1 (en) | Side channel compressor for a fuel cell system for conveying and / or compressing a gaseous medium | |
EP2594803A1 (en) | Friction vacuum pump | |
EP3608545B1 (en) | Vacuum pump | |
EP2148094B1 (en) | Vacuum pump | |
EP1119709A1 (en) | Friction vacuum pump with a stator and a rotor | |
EP1319131B1 (en) | Compound friction vacuum pump | |
EP3196471B1 (en) | Vacuum pump | |
EP2886870B1 (en) | Vacuum pump with improved inlet geometry | |
WO2003031823A1 (en) | Axially discharging friction vacuum pump | |
DE10224604A1 (en) | High vacuum pump has conical stator and cylindrical rotor having helical vanes closely fitting stator inside wall delivering gas to conventional atmospheric pump | |
EP3267040B1 (en) | Turbomolecular pump | |
EP3045728A1 (en) | Spiral vacuum pump | |
DE102019214279A1 (en) | Side channel compressor for a fuel cell system for conveying and / or compressing a gaseous medium | |
EP2902637B1 (en) | Vacuum pump | |
EP2886869B1 (en) | Stator disc | |
EP4194700A1 (en) | Vacuum pump with a holweck pump stage with variable holweck geometry | |
EP3767109A1 (en) | Vacuum system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PUAI | Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A2 Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
|
AX | Request for extension of the european patent |
Extension state: BA ME |
|
PUAL | Search report despatched |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A3 Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
|
AX | Request for extension of the european patent |
Extension state: BA ME |
|
RIC1 | Information provided on ipc code assigned before grant |
Ipc: F04D 19/04 20060101AFI20150311BHEP |
|
17P | Request for examination filed |
Effective date: 20150928 |
|
RBV | Designated contracting states (corrected) |
Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
|
GRAP | Despatch of communication of intention to grant a patent |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1 |
|
STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: GRANT OF PATENT IS INTENDED |
|
INTG | Intention to grant announced |
Effective date: 20181120 |
|
GRAS | Grant fee paid |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3 |
|
GRAA | (expected) grant |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210 |
|
STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: THE PATENT HAS BEEN GRANTED |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: B1 Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: GB Ref legal event code: FG4D Free format text: NOT ENGLISH |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: CH Ref legal event code: EP |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: AT Ref legal event code: REF Ref document number: 1124483 Country of ref document: AT Kind code of ref document: T Effective date: 20190515 Ref country code: IE Ref legal event code: FG4D Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: GERMAN |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: R096 Ref document number: 502012014648 Country of ref document: DE |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: NL Ref legal event code: MP Effective date: 20190424 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: LT Ref legal event code: MG4D |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: NL Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: AL Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: PT Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190824 Ref country code: FI Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: LT Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: HR Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: NO Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190724 Ref country code: SE Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: ES Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: LV Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: RS Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: PL Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: BG Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190724 Ref country code: GR Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190725 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: IS Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190824 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: R097 Ref document number: 502012014648 Country of ref document: DE |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DK Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: RO Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: EE Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: SK Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: SM Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 |
|
PLBE | No opposition filed within time limit |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261 |
|
STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: TR Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 |
|
26N | No opposition filed |
Effective date: 20200127 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: LI Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20190831 Ref country code: CH Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20190831 Ref country code: MC Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: SI Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 Ref country code: LU Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20190816 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: BE Ref legal event code: MM Effective date: 20190831 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: FR Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20190831 Ref country code: IE Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20190816 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: BE Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20190831 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: AT Ref legal event code: MM01 Ref document number: 1124483 Country of ref document: AT Kind code of ref document: T Effective date: 20190816 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: AT Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES Effective date: 20190816 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: CY Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: HU Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT; INVALID AB INITIO Effective date: 20120816 Ref country code: MT Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 |
|
PG25 | Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: MK Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT Effective date: 20190424 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: IT Payment date: 20230626 Year of fee payment: 12 Ref country code: GB Payment date: 20230705 Year of fee payment: 12 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: DE Payment date: 20230623 Year of fee payment: 12 |
|
PGFP | Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo] |
Ref country code: CZ Payment date: 20240625 Year of fee payment: 13 |