EP2521179A1

EP2521179A1 - Vorrichtung zur Erfassung des Spektrums elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines vorgegebenen Wellenlängenbereichs

Info

Publication number: EP2521179A1
Application number: EP11167479A
Authority: EP
Inventors: Wolfram Budde; Bernd Burchard
Original assignee: Elmos Semiconductor SE
Current assignee: Elmos Semiconductor SE
Priority date: 2011-05-06
Filing date: 2011-05-25
Publication date: 2012-11-07
Anticipated expiration: 2031-05-25
Also published as: EP2521179B1; WO2012152753A1; EP2705535A1; EP2705535B1

Abstract

Die Vorrichtung zur Erfassung des Spektrums elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines vorgegebenen Wellenlängenbereichs ist versehen mit einem Substrat (12), einer oberhalb des Substrats (12) angeordneten ersten Lochmaske (20) aus einem für Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs undurchlässigen Material, wobei die erste Lochmaske (20) eine Vielzahl von ersten Fenstern (22) aufweist, einer Vielzahl von in dem Substrat (12) angeordneten, für Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs empfindlichen Sensorelementen, und einer oberhalb der ersten Lochmaske (20) angeordneten, zweite Fenster (36) aufweisenden zweiten Lochmaske (32) aus einem für die Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs undurchlässigen Material. Die zweiten Fenster (36) der zweiten Lochmaske (32) sind überlappend mit den Fenstern der ersten Lochmaske (20) angeordnet und gegenüberliegende Ränder der jeweils zwei sich überlappenden Fenster der beiden Lochmasken (20,32) definieren die Größe einer jeweils einem Sensorelement zugeordneten Strahlungsdurchlassöffnung (42) zum Durchlassen von Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs zu dem unterhalb der Strahlungsdurchlassöffnung (42) angeordneten Sensorelement. Für die Erfassung der Intensität von elektromagnetischer Strahlung bei jeder interessierenden Wellenlänge innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs ist mindestens eine Strahlungsdurchlassöffnung (42) mit einer der interessierenden Wellenlängen zugeordnete Größe vorgesehen.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erfassung des Spektrums elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines vorgegebenen Wellenlängenbereichs (Spektrometer), die unter Verwendung von Prozessschritten für die Halbleiterbauelementfertigung und damit recht kleinformatig herstellbar ist.
Spektrometer sind in den unterschiedlichsten Ausführungsformen bekannt. Bei einem Spektrometer trifft die zu untersuchende elektromagnetische Strahlung auf eine Vielzahl von strahlungsempfindlichen Sensorelementen auf, die für Strahlung in unterschiedlichen Frequenzbändern innerhalb des interessierenden Frequenzbereichs, d.h. für Strahlung mit unterschiedlichen Wellenlängen innerhalb des interessierenden Wellenlängenbereichs empfindlich sind. Somit kann also die Intensität der Strahlung über deren interessierenden Wellenlängenbereich messtechnisch erfasst werden.
Die wellenlängenselektiven Sensorelemente können dabei beispielsweise durch Fotodioden realisiert werden, denen unterschiedlich breite Schlitzblenden oder dergleichen Lochblenden zugeordnet sind. Beispiele für derartige Festkörper-Spektrometer finden sich in EP-A-1 475 963 und EP-A-1 517 374 . Bei den Spektrometern gemäß dieser beiden Schriften werden die Lochblenden jeweils durch eine einzige Lochmaske gebildet, wobei die die Löcher definierenden Ränder der Fenster der Lochmaske von Lochblende zu Lochblende betrachtet jeweils verschiedene Abstände aufweisen. Dass Schlitz und Lochblenden wellenlängenselektiv wirken, ist seit langem bekannt (siehe z.B. aus P. Morse, P.J. Rubenstein; The Diffraction of Waves by Ribbons and by Slits; Physical Review; Vol. 54; Dec. 1st 1938; p. 895-898 bekannt. Die Herstellung solcher Lochblenden für optische Komponenten setzt einen hochpräzisen Fertigungsprozess voraus, was die Herstellung und Reproduzierbarkeit der Lochmaske betrifft.
In der chemischen, biochemischen, medizinischen und forensischen Analytik spielt die Spektrometrie eine wesentliche Rolle. Daher ist die Verfügbarkeit eines einfach herstellbaren Spektrometers eine wesentliche Voraussetzung für die Breite Anwendung einer Real-Time-Spektromie bzw. einer flächendeckenden Spektrometrie z.B. in der Medizintechnik, in der Landwirtschaft oder allgemein in der Industrie. Das Problem hierbei ist ein präzises, energieselektives optisches Funktionselement kostengünstig herstellen zu können. Praktisch alle Spektrometer verfügen heute über mikroelektronische Schaltkreise, die typischerweise in CMOS-Technologie hergestellt sind.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Festkörper-Vorrichtung zur Erfassung des Spektrums elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines vorgegebenen Wellenlängenbereichs zu schaffen, die sich auf einfache Art und Weise durch Prozessschritte der Halbleiterbauelementeherstellung realisieren lässt.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird mit der Erfindung eine Vorrichtung zur Erfassung des Spektrums elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines vorgegebenen Wellenlängenbereichs vorgeschlagen, wobei die Vorrichtung versehen ist mit

einem Substrat,
einer oberhalb des Substrats angeordneten ersten Lochmaske aus einem für Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs undurchlässigen Material, wobei die erste Lochmaske eine Vielzahl von ersten Fenstern aufweist,
einer Vielzahl von in dem Substrat angeordneten für Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs empfindlichen Sensorelementen, und
einer oberhalb der ersten Lochmaske angeordneten, zweite Fenster aufweisenden zweiten Lochmaske aus einem für die Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs undurchlässigen Material,
wobei die zweiten Fenster der zweiten Lochmaske überlappend mit den Fenstern der ersten Lochmaske angeordnet sind und gegenüberliegende Ränder der jeweils zwei sich überlappenden Fenster der beiden Lochmasken die Größe einer jeweils einem Sensorelement zugeordneten Strahlungsdurchlassöffnung zum Durchlassen von Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs zu dem unterhalb der Strahlungsdurchlassöffnung angeordneten Sensorelement definieren und
wobei für die Erfassung der Intensität von elektromagnetischer Strahlung bei jeder interessierenden Wellenlänge innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs mindestens eine Strahlungsdurchlassöffnung mit einer der interessierenden Wellenlängen zugeordnete Größe vorgesehen ist.

Das erfindungsgemäße Festkörper-Spektrometer zeichnet sich durch ein Substrat, insbesondere ein Halbleitersubstrat, aus, auf dem zwei Lochmasken übereinander angeordnet sind. Jede der beiden Lochmasken weist dabei ein Material auf, das für elektromagnetische Strahlung innerhalb des interessierenden Wellenlängenbereichs undurchlässig ist. Jede der beiden Lochmasken ist ferner mit einer Vielzahl von ersten bzw. zweiten Fenstern versehen. Innerhalb des Substrats befinden sich eine Vielzahl von für Strahlung innerhalb des interessierenden Wellenlängenbereichs empfindliche Sensorelemente.
Die beiden Lochmasken sind relativ zueinander derart angeordnet, dass sich ihre Fenster mehr oder weniger überlappen. Dabei ist der Lochabstand beider Lochmasken geringfügig verschieden voneinander, so dass der Überlappungsgrad benachbarter Fenster der beiden Lochmasken variiert. Hierdurch entstehen unterschiedlich große Löcher bzw. Strahlungsdurchlassöffnungen aus jeweils zwei sich überlappenden Fenstern der beiden Lochmasken. Jedem dieser Löcher bzw. Strahlungsdurchlassöffnungen ist ein Sensorelement zugeordnet, so dass sich letztendlich wellenlängenselektive Sensorelemente ergeben.
Erfindungsgemäß sind also die Löcher bzw. Strahlungsdurchlassöffnungen nicht durch die Ränder der Fenster einer einzigen Lochmaske, sondern durch die sich gegenüberliegenden Ränder der sich überlappenden Fenster zweier Lochmasken gebildet. Damit wird die Größe der einzelnen Löcher bzw. Strahlungsdurchlassöffnungen durch die Positionierung der beiden Lochmasken definiert. Die Positionsgenauigkeit, mit der unter Verwendung von Fotolithographieschritten in der Halbleiterbauelementfertigung zwei Lochmasken beispielsweise durch Polysiliziumbahnen oder metallisierten Bahnen hergestellt werden können, ist wesentlich größer als die Genauigkeit, mit der der Abstand der ein Fenster innerhalb einer Lochmaske definierenden Ränder gefertigt werden kann. Bei Herstellung einer genügend großen Anzahl von durch sich überlappende Fenster zweier Lochmasken ergebenden Strahlungsdurchlassöffnungen mit diesen zugeordneten Sensorelementen wird man unabhängig von der Fertigungsgenauigkeit und Positionsgenauigkeit stets eine Anzahl von Sensorelementen innerhalb des Substrats ausmachen können, deren Wellenlängenselektivität innerhalb des interessierenden Wellenlängenbereichs liegt. Nach der Herstellung des erfindungsgemäßen Spektrometers bedarf es dann also lediglich noch der Kalibration, um aus der Vielzahl von hergestellten wellenlängenselektiven Sensorelementen (Sensorelement mit Strahlungsdurchlassöffnung) diejenigen nebeneinanderliegenden Sensorelemente zu identifizieren, deren Wellenlängenselektivität innerhalb des interessierenden Wellenlängenbereichs liegt.
Mit der Erfindung wird also ein Festkörper-Spektrometer vorgeschlagen, bei dem eine spezielle Lochblendenkonstruktion als optisches Filter verwendet wird. Entscheidend für die Erfindung ist dabei der Gedanke, dass mit Hilfe zweier Lithographie-Ebenen (die beiden Lochmasken befinden sich in unterschiedlichen, vorzugsweise direkt aneinandergrenzenden Ebenen) besonders kleine Blenden hochgenau hergestellt werden können. Die Schlitzbreite bzw. die Abmessungen der Strahfungsdurchlassöffnungen dürfen λ/4 nicht überschreiten, wobei mit λ die jeweilige Wellenlänge bezeichnet ist. Im UV-Bereich ergeben sich dann Schlitzbreiten von wenigen nm. Diese sind mit einfachen CMOS-Technologieherstellungsschritten anders als nach der Erfindung vorgeschlagen, nicht zu fertigen. Mit der Erfindung wird also eine Konstruktion für ein Spektrometer angegeben, das sich extrem kostengünstig, nämlich unter Verwendung einfacher CMOS-Technologien, herstellen lässt. Damit ist das erfindungsgemäße Spektrometer kostengünstig als Massenprodukt herstellbar.
Die Ausbildung der Sensorelemente kann unterschiedlich erfolgen. Beispielsweise ist es denkbar, die Sensorelemente als Fotodioden auszubilden. Aber auch Thermopile-Elemente sind realisierbar im Rahmen des erfindungsgemäßen Festkörper-Spektrometers. Ganz allgemein ist es zweckmäßig, wenn die strahlungsempfindlichen Sensorelemente jeweils zwei unterschiedliche, elektrisch leitende und in Kontakt miteinander stehende, bei Empfang von elektromagnetischer Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs einen veränderbaren elektrischen Parameter (beispielsweise Strom, Spannung, Widerstand, Kapazität, Induktivität, Leistung) erzeugende Materialien aufweisen, wobei die Größe der erzeugten Spannung von der Intensität der Strahlung abhängig ist.
Das erfindungsgemäße Spektrometer kann sozusagen eindimensional ausgeführt sein, indem die sich durch die überlappenden Fenster der Lochmasken ergebenden, unterschiedlich großen Strahlungsdurchlassöffnungen in einer Zeile oder Reihe nebeneinanderliegend angeordnet sind. Dabei ist es zweckmäßig, wenn die Strahlungsdurchlassöffnungen als Schlitze unterschiedlicher Breite ausgeführt sind. Bei einer derartigen Ausgestaltung der Erfindung sollte oberhalb der Lochmasken (und ggf. oberhalb einer strahlungsdurchlässigen Passivierungsschicht) ein Polarisationsfilter angeordnet sein. Dieses Polarisationsfilter dient zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen, deren E Feld-Vektoren quer zur Schlitzbreite verläuft, und zum Hindurchlassen von Strahlung mit elektromagnetischen Wellen, deren E-Feld-Vektoren in Schlitzbreitenerstreckung verlaufen.
Bei der zuvor beschriebenen Variante ist also gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen, dass die ersten und zweiten Fenster der beiden Lochmasken sich jeweils über Flächen erstrecken, die längs zweier zueinander rechtwinkliger Aufspannachsen aufgespannt sind, dass die Abmessungen der ersten und zweiten Fenster in zumindest einer gemeinsamen ersten Achse der beiden Aufspannachsen jeweils von einem ersten und einem zweiten Begrenzungsrand des betreffenden Fensters begrenzt sind, wobei, in einer gemeinsamen ersten Achse betrachtet, jede Strahlungsdurchlassöffnung von einem ersten Begrenzungsrand eines ersten Fensters der ersten Lochmaske und einem zweiten Begrenzungsrand eines das erste Fenster überlappenden zweiten Fensters der zweiten Lochmaske begrenzt ist, und dass der erste Abstand der ersten Begrenzungsränder jeweils benachbarter erster Fenster der ersten Lochmaske von dem zweiten Abstand der zweiten Begrenzungsränder jeweils benachbarter zweiter Fenster der zweiten Lochmaske verschieden ist, wobei oberhalb der Anordnung der Lochmasken ein Polarisationsfilter zum Abschirmen von Strahlung mit elektromagnetischen Wellen, deren E-Feld-Vektor rechtwinklig zur ersten Aufspannachse verläuft, und zum Hindurchlassen von Strahlung mit elektromagnetischen Wellen, deren E-Feld-Vektor parallel zur ersten Aufspannachse verläuft.
Auf ein Polarisationsfilter der zuvor genannten Art kann dann verzichtet werden, wenn dafür gesorgt wird, dass die Abmessungen der Strahlungsdurchlassöffnungen in zwei rechtwinklig zueinander verlaufenden Aufspannachsen so gewählt sind, dass sie wellenlängenselektiv wirken. Hierbei ist dann also vorgesehen, dass die Abmessungen der ersten und zweiten Fenster auch in der gemeinsamen zweiten Achse der beiden Aufspannachsen jeweils von einem dritten und einem vierten Begrenzungsrand des betreffenden Fensters begrenzt sind, wobei, in der gemeinsamen zweiten Aufspannachse betrachtet, jede Strahlungsdurchlassöffnung von einem dritten Begrenzungsrand des ersten Fensters der ersten Lochmaske und einem vierten Begrenzungsrand eines das erste Fenster überlappenden zweiten Fensters der zweiten Lochmaske begrenzt ist.
Wie bereits oben erwähnt, lassen sich die Lochmasken aus lichtundurchlässigem Material mit Hilfe fotolithographischer Prozesse herstellen, wie sie beispielsweise bei einem CMOS-, BICMOS- oder Bipolar-Bauelement-Herstellungsverfahren angewendet werden. Sämtlichen dieser Prozesse gemeinsam ist der Umstand, dass der Abstand gleicher Begrenzungskanten jeweils benachbarter Fenster jeder der beiden Lochmasken eine gleichbleibende erste Toleranz (von z.B. 2 nm) sowie die Positionierung der beiden Lochmasken relativ zueinander eine zweite Toleranz (von z.B. 200 nm) und die Größe der Fenster eine dritte Toleranz (typischerweise von ebenfalls ca. 200nm) aufweist, wobei letztere bei sehr kleinen Fenstergrößen deren Fertigung in einer Ebene verhindert. Daher ist die erste Toleranz mathematisch um mindestens eine Größenordnung, vorzugsweise mindestens zwei Größenordnungen kleiner ist als die zweite und dritte Toleranz. Ursache hierfür ist, dass bei fotolithografischen Prozessen, die erste Toleranz die Präzision der verwendeten Masken widerspiegelt, während die zweite Toleranz die Präzision widerspiegelt, mit der Masken zu einander bzw. relativ zu einem gegebenen Substrat positioniert werden können und die dritte Toleranz die Präzision der typischerweise angewendeten Ätzprozesse zur Fertigung der Lochblenden widerspiegelt.
Wie bereits weiter oben erwähnt, handelt es sich bei den Sensorelementen beispielsweise um Fotodioden, die im Substrat integriert sind. Zweckmäßigerweise wird dabei die auf dem Substrat ausgebildete erste Lochmaske zur Herstellung selbstjustierter Fotodioden im Substrat verwendet. Dabei ist dann vorgesehen, dass in dem Substrat von dessen Oberseite aus ein mit ersten Ladungsträgern von einem ersten Leitungstyp versehenes Gebiet ausgebildet ist, wobei in dem Gebiet mit den ersten Fenstern der ersten Lochmaske fluchtende und innerhalb der Fenster freiliegende Teilgebiete mit zweiten Ladungsträgern von einem dem ersten Leitungstyp entgegengesetzten zweiten Leitungstyp ausgebildet sind, die mit den jeweils angrenzenden Bereichen des Gebiets aus den ersten Ladungsträgern eine Fotodiode bilden.
Anwendungsbereiche des erfindungsgemäßen Spektrometers sind beispielsweise:

Flüssigkeitsüberwachung (beispielsweise Überwachung der Qualität von Brennstoffen)
Gasdetektoren
Biosensoren (Eine Beschichtung oberhalb der Passivierung reagiert mit einem zu messenden Inhaltsstoff der zu testenden Flüssigkeit. Diese Reaktib verändert den Brechungsindex und damit die charakteristische spektrale Frequenz an den Gitter-Pforten)
DNA Detektoren (Die DNA wird mittels Elektrophorese in einem Medium bewegt und durch UV-Stahlung zu einer charakteristischen Fluoreszenz angeregt, die detektiert wird.)
Partikelzähler (das Spektrum des Streulichts ist abhängig von der Größe des Partikels)
IR-Spektrometer
Laser-Spektrometer
Mikrowellenspektrometer
Multi-Colour Bar-Codes
mikropotische Demodulation für frequenzgemultiplexte optische Signale
Frequenzselektive Verfahren für optoelektronische Anwendungen wie beispielsweise Lichtschranken etc. zur Verbesserung des Störabstandes
Detektion von mit Mikroben befallenen Lebensmitteln und Futtermitteln.
Bestimmung des Feuchtegehaltes in Stoffen (z.B. Futtermitteln)
Märkte: Agrar, Chemie, Glasindustrie, Lebensmittel

Die Erfindung wird nachfolgend anhand verschiedener Ausführungsbeispiele und unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Im Einzelnen zeigen dabei:

Fig. 1: einen Querschnitt durch einen Teil des Aufbaus eines Festkörper-Spektrometers gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel,
Fig. 2: einen Querschnitt durch eine abgewandelte Ausführungsform gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel des Spektrometers,
Fig. 3: die Verwendung des Festkörper-Spektrometers gemäß den beiden Ausführungsbeispielen nach den Fign. 1 und 2 in Kombination mit einem Polarisationsfilter,
Fig. 4: andeutungsweise ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Spektrometers im Querschnitt mit Thermopile-Elementen als strahlungsselektive Elemente,
Fig. 5: eine Draufsicht auf den erfindungsgemäß vorgesehenen Versatz der Fenster zweier Lochmasken in zwei Dimensionen,
Fig. 6: als Blockschaltbild für eine Beschaltung des Spektrometers zur Auswertung der empfangenen Strahlung,
Fig. 7: ein Beispiel für eine Signalauswertung zur Lieferung der Intensitäten des untersuchten Spektrums und
Fign. 8 und 9: Diagramme zur Verdeutlichung der Grundlagen für die Auswertung der Signale des Spektrometers.

In Fig. 1 ist perspektivisch und in Schnittansicht ein Teil eines beispielhaften Festkörper-Spektrometers 10 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel gezeigt. Das Festkörper-Spektrometer 10 weist ein im Regelfall schwach p-dotiertes (Silizium-)Halbleitersubstrat 12 auf, in dessen oberflächennahen Bereich ein n-dotiertes (Wannen-)Gebiet 14 implantiert ist. Auf der Oberseite 16 des Halbleitersubstrats 12 befindet sich eine Siliziumoxid-Schicht 18. Auf der Siliziumoxid-Schicht 18 befindet sich eine erste Lochmaske 20 aus beispielsweise polykristallinem Silizium. Diese erste Lochmaske 20 weist erste schmale Fenster 22 mit jeweils gleicher Breite 24 auf. Diese Fenster 22 sind in diesem Ausführungsbeispiel mit einem für die interessierende Strahlung durchlässigen Material 26 ausgefüllt. Das Material der ersten Lochmaske 20 ist für Strahlung im interessierenden Wellenlängenbereich undurchlässig.
Nach dem Aufbringen der ersten Lochmaske 20 (und vor dem Ausfüllen der ersten Fenster 22) wird durch die ersten Fenster 22 hindurch eine p-Implantation vorgenommen, so dass sich in dem n-dotierten Gebiet 14 p-dotierte Bereiche 28 ausbilden. Mithin entstehen pn-Übergänge, die für die interessierende Strahlung sensitive Fotodioden 30 bilden.
Auf der ersten Lochmaske 20 befindet sich eine zweite Lochmaske 32, die beispielsweise aus Metall bzw. einer Metalllegierung besteht und ebenfalls für die Strahlung im interessierenden Wellenlängenbereich undurchlässig ist. Die zweite Lochmaske 32 weist zwischen ihren für die Strahlung undurchlässigen Bereichen 34 zweite Fenster 36 auf. Die zweiten Fenster 36 der zweiten Lochmaske 32 überlappen dabei teilweise die ersten Fenster 22 der ersten Lochmaske 20, wobei gegenüberliegende Längsränder 38,40 der sich überlappenden ersten Fenster 22 der ersten Lochmaske 20 bzw. der zweiten Fenster 36 der zweiten Lochmaske 32 unterschiedlich breite Strahlungsdurchlassöffnungen 42 bilden. Dies ist darin begründet, dass der Mittenabstand (Pitch) der gleichmäßig beabstandeten benachbarten ersten Fenster 22 verschieden ist von dem Mittenabstand (Pitch) der ebenfalls gleichmäßig beabstandeten benachbarten zweiten Fenster 36. Dadurch entsteht ähnlich wie bei einem Nonius eine sich von Strahlungsdurchlassöffnung 42 zu Strahlungsdurchlassöffnung 42 verändernde Spaltbreite 44. Durch die Bildung der Strahlungsdurchlassöffnungen 42 mittels zweier Lithographie-Ebenen lässt sich die Veränderung der Spaltbreite 44 der nebeneinanderliegenden Strahlungsdurchlassöffnungen 42 extrem genau steuern und einstellen. Die Herstellungsgenauigkeit der Kanten 38 zu benachbarten Kanten 38 der Lochmaske 20 bzw. der Kanten 40 zu benachbarten Kanten 40 der Lochmaske 32 ist extrem hoch (bei normalen CMOS-Prozessen beispielsweise im einstellagen nm-Bereich), wohingegen die beiden Toleranzen, was die Größen der ersten bzw. zweiten Fenster 22, 36 sowie die Präzision, mit der ein Fenster 22 der ersten Lochmaske gegenüber einem Fenster 36 der zweiten Lochmaske justiert werden kann, betrifft, um etwa zwei Größenordnungen größer sind, also typischerweise im dreistelligen nm-Bereich liegen. Auf der zweiten Lochmaske 32 befindet sich eine zumindest im interessierenden Wellenlängenbereich strahlungsdurchlässige Passivierungsschicht 46.
Für die hochpräzise Herstellung des Festkörper-Spektrometers gemäß Fig. 1 bzw. gemäß der Erfindung ist auch nicht entscheidend, dass bestimmte Strahlungsdurchlassöffnungen 42, d.h. bezüglich ihrer Lage auf dem gefertigten Chip festgelegte Strahlungsdurchlassöffnungen 42 die jeweils vorgeschriebenen Spaltbreiten aufweisen. Vielmehr lässt sich das erfindungsgemäß Festkörper-Spektrometer derart herstellen, dass wesentlich mehr Strahlungsdurchlassöffnungen mit diesen zugeordneten Fotodioden bzw. strahlungsempfindlichen Elementen hergestellt werden, als benötigt werden. Durch einen der Herstellung nachgeschalteten Prozess werden dann im Rahmen der Kalibration des Festkörper-Spektrometers diejenigen Strahlungsdurchlassöffnungen 42 mit den gewünschten Variationen an Spaltbreiten ausgewählt, die für den interessierenden Wellenlängenbereich benötigt werden.
Durch die sich mit gleichbleibendem Pitch in ihrer Spaltbreite ändernden Strahlungsdurchlassöffnungen 42 treten nun durch jede dieser Öffnungen unterschiedliche Strahlungsanteile hindurch. Auf die Fig. 1 bezogen bedeutet dies insbesondere, dass durch die links dargestellte Strahlungsdurchlassöffnung 42 Strahlung bis zu einer durch die Spaltbreite 44 dieser Strahlungsdurchlassöffnung bestimmten Wellenlänge hindurchtritt. Durch die mittlere Strahlungsdurchlassöffnung 42 tritt neben Strahlung mit Frequenzen, wie sie durch die linke Strahlungsdurchlassöffnung treten, weitere Strahlung mit Wellenlängen hindurch, die letztendlich durch die größere Spaltbreite 44 bestimmt ist. (Siehe P. Morse, P.J. Rubenstein; The Diffraction of Waves by Ribbons and by Slits; Physical Review; Vol. 54; Dec. 1st 1938; p. 895-898.) Entsprechend lässt damit die in Fig. 1 rechts gezeigte noch breitere Strahlungsdurchlassöffnung 42 Strahlung mit denjenigen Wellenlängen hindurch, die auch die mittlere Strahlungsdurchlassöffnung 42 passieren, wobei zusätzlich noch Strahlung mit größeren Wellenlängen die rechte Strahlungsdurchlassöffnung 42 passiert.
Dieser Umstand wird, wie später noch beschrieben werden wird, bei der Auswertung der Strahlungsintensitäten innerhalb des interessierenden Spektrums berücksichtigt.
Fig. 2 zeigt ein alternatives Ausführungsbeispiel für ein Festkörper-Spektrometer 10', wobei in Fig. 2 diejenigen Schichten und Elemente, die denjenigen des Spektrometers 10 gemäß Fig.1 entsprechen bzw. gleichen, mit den gleichen Bezugszeichen wie in Fig. 1 versehen sind.
Wie man erkennt, entspricht der Aufbau des Festkörper-Spektrometers 10' einschließlich der ersten Lochmaske 20 demjenigen des Spektrometers 10 der Fig. 1. Im Unterschied zum Spektrometer 10 der Fig. 1 weist die zweite Lochmaske 32 des Spektrometers 10' der Fig. 2 strahlungsundurchlässige Bereiche 34 auf, die mittenzentriert oberhalb der ersten Fenster 22 der ersten Lochmaske 20 angeordnet sind. Beidseitig dieser strahlungsundurchlässigen Bereiche 34 ergeben sich dann spaltförmige Strahlungsdurchlassöffnungen 42 mit paarweise jeweils gleichen Spaltbreiten 44.
Fig. 3 zeigt schematisch die Verwendung eines Polarisationsfilters 48 in Verbindung mit dem Festkörper-Spektrometer 10 bzw. 10' der Fign. 1 bzw. 2. Die Strahlungsdurchlassöffnungen 42 weisen in der (ersten) Aufspannachse 50, in der sich die ersten und zweiten Fenster 22,36 erstrecken, eine sich verändernde Spaltbreite auf (wie oben beschrieben). In der zur ersten Aufspannachse 50 rechtwinkligen verlaufenden Aufspannachsen 52 weisen die Strahlungsdurchlassöffnungen 42 im Wesentlichen gleiche Abmessungen auf. Die Wellenlängenselektivität entsteht also in der ersten Aufspannachse 50, so dass das Polarisationsfilter 48 für eine entsprechende Filterung der einfallenden zu untersuchenden Strahlung sorgt. Dies ist in Fig. 3 gezeigt. Wird Strahlung mit einem E-Feld-Vektor 54, der in Längserstreckung (Achse 52) der schlitzförmigen Strahlungsdurchlassöffnungen 42 verläuft, hindurch gelassen, während Strahlung, deren E-Feld-Vektor 55 in Breitenerstreckung der schlitzförmigen Strahlungsdurchlassöffnungen 42 verläuft (siehe Achse 50) blockiert und abgeschirmt wird.
Fig. 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Festkörper-Spektrometers 10", wobei auch hier gilt, dass diejenigen Schichten und Bestandteile, die identisch bzw. funktionsgleich mit denjenigen des Spektrometers 10 gemäß Fig. 1 sind, in Fig. 4 mit den gleichen Bezugszeichen wie in Fig. 1 versehen sind.
Der obere Teil des Festkörper-Spektrometers 10" der Fig. 4 ist identisch mit den oberhalb der Siliziumoxid-Schicht 18 und oberhalb dieser angeordneten Schichten gemäß Fig. 1 (erste und zweite Lochmasken 20,32 sowie Passivierungsschicht 46).
Anstelle der Fotodioden 30 der Festkörper-Spektrometer 10 und 10' der Fign. 1 und 2 sind bei dem Spektrometer 10" gemäß Fig. 4 als strahlungsempfindliche Elemente Thermopile-Elemente 56 vorgesehen. Jedes Thermopile-Element 56 besteht dabei aus zwei Leitern 58,60, die an einem Überkreuzungspunkt 62 elektrisch miteinander in Verbindung stehen. Die beiden Leiter 58,60 weisen Materialien mit unterschiedlicher Austrittsarbeit auf. Hierbei kann es sich beispielsweise um Paarungen von n-dotiertem und p-dotiertem Silizium oder aber von polykristallinem Silizium und Metall (Aluminium) handeln. Auf Grund der unterschiedlichen Austrittsarbeiten kommt es zur Ausbildung einer Thermospannung zwischen den beiden Leitern 58,60 am Ort des elektrischen Kontaktes (Überkreuzungspunkt 62). Die Thermospannung hängt ab von der Temperatur des Kontaktes. Der Überkreuzungspunkt 62 wird im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 4 durch eine (Silizium-)Membran 64, auf der sich die Leiter 58,60 befinden, sowie über das Substrat 12 (unbeabsichtigt) gekühlt. Um diese Kühlung zu minimieren, wird die Membran 64 typischerweise möglichst dünn ausgeführt. Aus dem gleichen Grund, nämlich der Minimierung der Kühlung, werden oberhalb und unterhalb der Membran 64 in dem Substrat 12 Kavitäten 66,68 ausgebildet, die evakuiert sind. Diese Kavitäten 66,68 entstehen beispielsweise durch mikromechanisch vorgefertigte Wafer, die miteinander verbondet, d.h. schmelzkontaktiert werden, wie es von der Fertigung von beispielsweise MEMS-Drucksensoren mit Buried Cavities bekannt ist.
Der obere Wafer 70 ist typischerweise entweder als Isolator gefertigt oder mit einer zusätzlichen in Fig. 4 aus Gründen der Vereinfachung nicht dargestellten Isolationsschicht versehen, um die Leiter 58,60 nicht kurzzuschließen. Die oberen Kavitäten 66 sind durch eine weitere Membran 72 verschlossen, auf der die Lochmasken, wie im Zusammenhang mit Fig. 1 beschrieben, ausgebildet sind.
Der Aufbau gemäß Fig. 4 mit den Thermopile-Elementen 56 als strahlungssensitive Elemente dient insbesondere zur Untersuchung von Spektren im Infrarot-Bereich. Wird das Spektrometer 10" Infrarotstrahlung ausgesetzt, so heizen sich die Thermopile-Elemente 56 solange auf, bis der Wärmeabfluss über das Substrat und der Wärmezufluss durch die Infrarotstrahlung, die wellenlängenselektiv durch die Strahlungsdurchlassöffnungen gelangt, im Gleichgewicht sind. Da die Strahlungsdurchlassöffnungen wellenselektiv arbeiten, heizen sich die Thermopile-Elemente 56 unterschiedlich stark auf und liefern demzufolge unterschiedliche Thermospannungen, die dann den Wellenlängen der jeweils empfangenen Infrarotstrahlung zugeordnet werden können.
Für die Herstellung der Lochmasken sollten Materialien verwendet werden, die Infrarotstrahlung reflektieren. Daher eignet sich insbesondere Metall (beispielsweise Aluminium), während Silizium beispielsweise ungeeignet ist, da es Infrarotstrahlung mit einer Wellenlänge oberhalb von 1300 nm durchlässt.
Fig. 5 zeigt eine Draufsicht auf eine Lochmaskenanordnung mit zweidimensionalem Lochmaskenversatz für die Erzeugung von in zwei Dimensionen unterschiedlich großen Strahlungsdurchlassöffnungen eines Festkörper-Spektrometers 10"' gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel. Bei einer derartigen Anordnung, bei der sich also die Strahlungsdurchlassöffnungen sowohl in der Breite als auch in der Länge um jeweils konstante Beträge ändern (bei Betrachtung benachbarter Strahlungsdurchlassöffnungen), kann auf die Polarisationsfilterung der zu untersuchenden Strahlung verzichtet werden.
Fig. 6 zeigt schematisch und in Form eines Blockschaltdiagramms eine mögliche Beschaltung eines Festkörper-Spektrometers gemäß einem der zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiele zu Kalibrationszwecken. Wie bereits oben erwähnt, kann im Vorhinein nicht zuverlässig ausgesagt werden, dass eine lokal festgelegte Strahlungsdurchlassöffnung des hergestellten Chips auch tatsächlich diejenige Strahlung hindurch lässt, wie es laut Herstellungsprozess und Anordnung der Strahlungsdurchlassöffnung an sich beabsichtigt ist. Der Herstellungsprozess, nach dem die zueinander ein- oder zweidimensional versetzten Lochmasken erzeugt werden, garantiert, dass auf jeden Fall so viele Strahlungsdurchlassöffnungen mit denjenigen Abmessungen erzeugt worden sind, wie sie für den interessierenden Wellenlängenbereich und in der gewünschten Auflösung des Spektrometers erforderlich sind. Das bedeutet, dass man nach der Herstellung diejenigen Strahlungsdurchlassöffnungen definieren und identifizieren muss, die zur Untersuchung des interessierenden Spektrums erforderlich sind.
Eine Anordnung, die diese Kalibrierung durchführt, zeigt Fig. 6. Dabei ist mit 10 (bzw. 10', 10" und 10"') das Festkörper-Spektrometer gemeint. Dieses kann in einem Gehäuse 74 untergebracht sein. Dieses Gehäuse 74 weist ein optisches Fenster 76 auf, durch das die zu vermessende Strahlung auf das Spektrometer 10 (10',10",10"') fallen kann. Das optische Fenster muss für die interessierende Strahlung, d.h. zu vermessende Spektrum, durchlässig sein. Es kann ein Polarisationsfilter aufweisen. Ferner kann es nicht interessierende Strahlung und Strahlung mit störenden Raumrichtungen (Polarisation) abschirmen. Die Signale der strahlungsempfindlichen Elemente des Spektrometers 10 (10',10",10"') sind von der spektralen Zusammensetzung der einfallenden Strahlung abhängig.
Gemäß Fig. 6 werden die Ausgangssignale des Spektrometers 10 (10',10",10"') beispielsweise digital gewandelt, und zwar in einem Auswerteschaltkreis 78. Der Auswerteschaltkreis 78 ist in diesem Fall über einen Bus 80 mit einer CPU 82 verbunden. Diese CPU 82 erhält beispielsweise aus einem Speicher 84 Kalibrations- und Programmdaten.
Das abzuarbeitende Programm und die sonstigen fest vorgegebenen Daten werden von der CPU 82 ebenso dem Speicher 84 entnommen, der beispielsweise auch als Festwertspeicher ausgebildet sein kann. Variable Daten werden einem RAM 86 entnommen. Neben der hier beschriebenen Havard-Architektur sind selbstverständlich andere Architekturen wie beispielsweise eine Von-Neumann-Architektur möglich. Die CPU 82 kommuniziert über einen I/O-Schaltkreis 88 mit außerhalb der im Blockschaltbild gemäß Fig. 6 dargestellten Komponenten. Dies geschieht beispielsweise über einen Standardbus 90.
Die einzelnen strahlungsempfindlichen Elemente des Spektrometers 10 (10',10",10"') werden beispielsweise wie in Fig. 7 gezeigt miteinander verschaltet. In Fig. 7 ist ein Beispiel für die Extraktion der Intensitäten der Strahlung bei drei Wellenlängen und unter Verwendung von vier strahlungsempfindlichen Elementen gezeigt.
Gemäß Fig. 7 unterteilt sich die Anordnung in einen optischen linken Teil und einen elektrischen rechten Teil. Die optische Strahlung fällt, wie in Fig. 7 gezeigt, auf das Spektrometer 10 (10',10",10"'). Mit 92 sind die wellenlängenselektiven Filter gemeint, wie sie durch die Lochmaskenanordnung des Spektrometers 10 (10',10",10"') gebildet sind. Die optischen Filter 92 haben einen Hochpass-Charakter. In dem in Fig. 7 dargestellten Beispiel soll das oberste optische Filter 92 eine größere Grenzwellenlänge als das nächst untere optische Filter 92 haben. Dieses wiederum hat eine größere Grenzwellenlänge als das nächst untere optische Filter 92 (usw.).
Das verbleibende optische Signal wird durch einen optischen Wandler, nämlich durch die strahlungssensitiven Elemente des Spektrometers 10 (10',10",10"') in ein elektrisches Signal gewandelt. Das strahlungsempfindliche Element kann eine Fotodiode (pn-Diode), ein Thermopile-Element oder aber auch beispielsweise ein CCD-Element sein. Sofern notwendig, werden die Ausgangssignale dieser Elemente verstärkt, was in Fig. 7 nicht gezeigt ist. Die auf diese Weise gewonnenen Intensitätssignale werden auf Subtrahierschaltungen 94 gegeben, in denen durch die Subtraktion ein Differenzsignal mit Bandpass-Charakter in Bezug auf die einfallende Strahlung entsteht.
Anhand der Diagramme der Fign. 8 und 9 wird nachfolgend ein Beispiel für die Auswertung der Signale eines (kalibrierten) Festkörper-Spektrometers gemäß beispielsweise einem der Ausführungsbeispiele der Fign. 1, 2, 4 oder 5 beschrieben. Im Nachfolgenden wird ein beispielhaftes Verfahren angegeben, das es ermöglicht, aus den Ausgangssignalen der strahlungsempfindlichen Elemente, also beispielsweise auf die Fign. 1, 2 und 4 bezogen, aus den Dioden- bzw. Thermospannungen U_l(λ) ein diskretisiertes Spektrum S_l(λ) zu errechnen.
Die Diodenempfindlichkeit E_l(λ) kann durch die in Fig. 8 angegebene Funktion für einen idealen Spalt als Strahlungsdurchlassöffnung angenähert werden. Die Werte entstammen der Publikation: P. Morse, P.J. Rubenstein; The Diffraction of Waves by Ribbons and by Slits; Physical Review; Vol. 54; Dec. 1st 1938; p. 895-898.
Der Wert d steht hierbei für die effektive Breite des Schlitzes und λ für die Wellenlänge des einfallenden Lichtes. Hierbei wird angenommen, dass die Polarisation des Lichtes so gewählt ist, dass der E-Feld-Vektor parallel zum Schlitz ist. Wird die Wellennatur des Lichtes vernachlässig, so reduziert sich die Transmission des Lichtes durch den Spalt schon alleine aufgrund der mit schmaler werdendem d geringer werdenden Fläche. Dies ist in Kurve 96 dargestellt. Die Kurve 97 gibt den theoretischen Verlauf der Empfindlichkeit allein infolge der Wellennatur des Lichtes an. Hierbei wird die Reduktion der Transmission aufgrund von Effekten der geometrischen Optik, wie in Kurve 95 dargestellt, noch nicht berücksichtigt. Die Kurve 95 stellt die Kombination beider Effekte, also der Kurven 96 und 97 dar.
Für d>0,4 λ folgt die Kurve 95 der Kurve 96. Die Transmission gehorcht für d>0,4 λ der geometrischen Optik und ist insofern nicht wellenlängensensitiv. Für d<0,4 λ folgt die Kurve einer Kombination der Kurven 97 und 96. In diesem Bereich ist die Kurve wellenlängensensitiv.
Bei diesen Betrachtungen wurde die Wellenlängenabhängigkeit des eigentlichen Fotoelementes - z.B. einer Si-Foto-Diode - vernachlässigt. Für kurze Wellenlängen passiert das Licht also zwar den Spalt; da die Fläche des Spalts jedoch proportional zur Spaltbreite ist, steigt die Empfindlichkeit der Fotodioden proportional zur Spaltbreite.
Um die spätere Charakteristik eines ganzen Spektrometers berechnen zu können, ist es zunächst notwendig, die Charakteristik einer einzelnen Diode anzugeben.
Für kurze Wellenlängen λ_e der einfallenden Strahlung hängt das Ausgangssignal der i-ten Diode proportional von der Spaltbreite d_i derselben ab. Bei diesen kurzen Wellenlängen kann man also davon ausgehen, dass keine Abhängigkeit der Transmission durch den Spaltfilter von λ_e vorliegt.
Diese Abhängigkeit besteht nur auf Grund der von der Spaltbreite d_i und der Spaltlänge l_l abhängigen Spaltöffnungsfläche A_i=d_i*l_i, die proportional zu d_i mehr oder weniger Licht durchlässt.
Wird durch das einfallende Licht der Wert λ_e>2,5*d_i überschritten bzw. ist d_i kleiner als λ_e*0,4, so wird die Transmission durch den Spaltfilter gedämpft.
Diese Dämpfung d(λ) beträgt in dem Bereich langer Wellenlängen mit λ_e>2,5*d₁:-290dB*(d_i/λ_e).
Eine solche Dämpfung entspricht einer Funktion: $D_{i} (λ_{e}) = (1 - \frac{1}{1 + \frac{d_{i}}{λ_{e j}}}) > > D_{0 j} = (\frac{1}{1 + \frac{λ_{e j}}{d_{i}}}) * D_{0 j}$
Hierbei stehen

λ_e für die Wellenlänge der einfallenden Strahlung,
λ_ej für die j-te Wellenlänge eines Paketes einfallender Strahlung aus diskreten Einzelwellenlängen,
D_0j für das Sensorsignal bei Bestrahlung mit dieser j-ten Wellenlänge (dies spiegelt die Charakteristik des Sensorelementes wieder) und
d_i für die Spaltbreite des i-ten Elementes (hierbei wird angenommen, dass alle Sensorelemente gleich sind).

Diese Formel wird im Folgenden Hochpass-Näherung genannt.
In Fig. 9 ist die Kurve der Fig. 8 im Vergleich zum theoretischen Verlauf 98 dargestellt.
Wie zu erkennen ist, nähert die Hochpass-Näherung das Verhalten bei polarisationsrichtiger Bestrahlung sehr gut an. Somit ergibt sich für ein diskretes, einfallendes Spektrum S bestehend aus Intensitäten S_l der Einzelwellenlängen λ_ej: $S = \sum_{i = 1}^{n} * S_{i} (λ_{ei})$

ein Gesamtdiodensignal von: $D_{j} = \sum_{i = 1}^{n} (\frac{1}{1 + \frac{λ_{ei}}{d_{j}}}) * D_{0 i} * S_{i} (λ_{ei})$
Offensichtlich kann diese Gleichung in eine Matrizengleichung umgewandelt werden. Mit $\vec{D} = (D_{1} (S), D_{2} (S), D_{3} (S), ..... D_{n - 1} (S), D_{n} (S),)$
und $\vec{S} = (S_{1} (λ_{e 1}), S_{2} (λ_{e 2}), S_{3} (λ_{e 3}), ..... S_{1} (λ_{e (n - 1)}), S_{1} (λ_{en}),)$
und $\vec{A} = (\begin{matrix} A_{11} & A_{12} & A_{13} & \cdot & \cdot & A_{1 (n - 1)} & A_{1 n} \\ A_{21} & A_{22} & A_{23} & \cdot & \cdot & A_{1 (n - 1)} & A_{1 n} \\ A_{31} & A_{32} & A_{33} & \cdot & \cdot & A_{1 (n - 1)} & A_{1 n} \\ \cdot & \cdot & \cdot & \cdot & \cdot & \cdot & \cdot \\ \cdot & \cdot & \cdot & \cdot & \cdot & \cdot & \cdot \\ A_{(n - 1) 1} & A_{(n - 1) 2} & A_{(n - 1) 3} & \cdot & \cdot & A_{(n - 1) (n - 1)} & A_{(n - 1) n} \\ A_{n 1} & A_{n 2} & A_{n 3} & \cdot & \cdot & A_{n (n - 1)} & A_{nn} \end{matrix})$
Mit $A_{ij} = (\frac{1}{1 + \frac{λ_{et}}{d_{j}}}) * D_{0 i}$
In dem Fall lässt sich diese Gleichung für die Gesamtdiodensignale schreiben als: $\vec{D} = \vec{A} * \vec{S}$
Es ist offensichtlich, dass diese Gleichung durch Multiplikation mit der zu A inversen Matrix A^-1 von links gelöst werden kann: ${\vec{A}}^{- 1} * \vec{D} = {\vec{A}}^{- 1} * \vec{A} * \vec{S} = \vec{S}$
Voraussetzung für die Existenz dieser Matrix ist, dass sie regulär ist. Das bedeutet, dass ihr Rang gleich der Anzahl der Dioden und Spektralkomponenten n ist. Dies ist der Fall, wenn jeder Zeilenvektor zu jedem anderen Zeilenvektor bzw. jeder Spaltenvektor zu jedem anderen Spaltenvektor nicht kolinear ist.
Diese geforderte Regularität der n x n Matrix wird technisch durch n Spaltblenden (42) mit n unterschiedlichen Spaltbreiten (44) oberhalb der n Sensorelemente (30) in vorhersagbarer Weise erreicht. Durch diese Vorhersagbarkeit reduziert sich der Kalibrationsaufwand erheblich.

Claims

Vorrichtung zur Erfassung des Spektrums elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines vorgegebenen Wellenlängenbereichs, mit
- einem Substrat (12),

- einer oberhalb des Substrats (12) angeordneten ersten Lochmaske (20) aus einem für Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs undurchlässigen Material, wobei die erste Lochmaske (20) eine Vielzahl von ersten Fenstern (22) aufweist,

- einer Vielzahl von in dem Substrat (12) angeordneten für Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs empfindlichen Sensorelementen, und

- einer oberhalb der ersten Lochmaske (20) angeordneten, zweite Fenster (36) aufweisenden zweiten Lochmaske (32) aus einem für die Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs undurchlässigen Material,

- wobei die zweiten Fenster (36) der zweiten Lochmaske (32) überlappend mit den Fenstern (22) der ersten Lochmaske (20) angeordnet sind und gegenüberliegende Ränder der jeweils zwei sich überlappenden Fenster (22,36) der beiden Lochmasken (20,32) die Größe einer jeweils einem Sensorelement zugeordneten Strahlungsdurchlassöffnung (42) zum Durchlassen von Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs zu dem unterhalb der Strahlungsdurchlassöffnung (42) angeordneten Sensorelement definieren und

- wobei für die Erfassung der Intensität von elektromagnetischer Strahlung bei jeder interessierenden Wellenlänge innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs mindestens eine Strahlungsdurchlassöffnung (42) mit einer der interessierenden Wellenlängen zugeordnete Größe vorgesehen ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei benachbarte Fenster (36) der zweiten Lochmaske (32) mit jeweils einem Fenster (22) der ersten Lochmaske (20) überlappend angeordnet sind.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens für eine Teilmenge der Fenster (36) gilt, dass jedes dieser Fenster (36) der zweiten Lochmaske (32) mit jeweils einem Fenster (22) der ersten Lochmaske (20) überlappend angeordnet ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Material der ersten Lochmaske (20) und/oder der zweiten Lochmaske (32) ein Metall oder polykristallines Silizium oder insbesondere silizidiertes polykristallines Silizium aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die strahlungsempfindlichen Sensorelemente (56) jeweils zwei unterschiedliche, elektrisch leitende und in Kontakt miteinander stehende, bei Empfang von elektromagnetischer Strahlung innerhalb des vorgegebenen Wellenlängenbereichs einen veränderbaren elektrischen Parameter (insbesondere erzeugter Strom oder erzeugte Spannung oder elektrischer Widerstand oder Kapazität) erzeugende Materialien (58, 60) aufweisen, wobei die Größe der Parameteränderung von der Intensität der Strahlung abhängig ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Fenster (22,36) der beiden Lochmasken (20,32) sich jeweils über Flächen erstrecken, die längs zweier zueinander rechtwinkliger Aufspannachsen (50,52) aufgespannt sind, dass die Abmessungen der ersten und zweiten Fenster (22,36) in zumindest einer gemeinsamen ersten Achse (50) der beiden Aufspannachsen (50,52) jeweils von einem ersten und einem zweiten Begrenzungsrand (38,40) des betreffenden Fensters (22,36) begrenzt sind, wobei, in einer gemeinsamen ersten Aufspannachse (50) betrachtet, jede Strahlungsdurchlassöffnung (42) von einem ersten Begrenzungsrand (38) eines ersten Fensters (22) der ersten Lochmaske (20) und einem zweiten Begrenzungsrand (40) eines das erste Fenster (22) überlappenden zweiten Fensters (36) der zweiten Lochmaske (32) begrenzt ist, und dass der erste Abstand der ersten Begrenzungsränder (38) jeweils benachbarter erster Fenster (22) der ersten Lochmaske (20) von dem zweiten Abstand der zweiten Begrenzungsränder (40) jeweils benachbarter zweiter Fenster (36) der zweiten Lochmaske (32) verschieden ist.
Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass oberhalb der Anordnung der Lochmasken (20,32) ein Polarisationsfilter (48) zum Abschirmen von Strahlung mit elektromagnetischen Wellen, deren E-Feld-Vektor rechtwinklig zur ersten Aufspannachse (50) verläuft, und zum Hindurchlassen von Strahlung mit elektromagnetischen Wellen, deren E-Feld-Vektor parallel zur ersten Aufspannachse (50) verläuft.
Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Abmessungen der ersten und zweiten Fenster (22,36) auch in der gemeinsamen zweiten Achse (52) der beiden Aufspannachsen (50,52) jeweils von einem dritten und einem vierten Begrenzungsrand des betreffenden Fensters (22,36) begrenzt sind, wobei, in der gemeinsamen zweiten Aufspannachse (52) betrachtet, jede Strahlungsdurchlassöffnung (42) von einem dritten Begrenzungsrand des ersten Fensters (22) der ersten Lochmaske (20) und einem vierten Begrenzungsrand eines das erste Fenster (22) überlappenden zweiten Fensters (36) der zweiten Lochmaske (32) begrenzt ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorelemente als Fotodioden (30), insbesondere pn-Dioden, oder als IR-Dioden oder als Thermopile-Elemente (56) ausgebildet sind.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Lochmasken (20,32) mittels eines Fotolithografie-Prozesses eines Halbleitervorrichtungs-Herstellungsverfahrens wie z.B. eines CMOS-, BICMOS- oder Bipolar-Bauelement-Herstellungsverfahrens gebildet sind.
Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand gleicher Kanten (38) der Fenster (22) der ersten Lochmaske (20) und der Abstand gleicher Kanten (40) der Fenster (36) der zweiten Lochmaske (32) eine gleichbleibende erste Toleranz aufweist und die Positionierung der beiden Lochmasken (20,32) relativ zueinander eine zweite Toleranz aufweist und die Größe der Fenster (22,36) jeder der beiden Lochmasken (20,32) eine dritte Toleranz aufweist und dass die erste Toleranz mathematisch um mindestens eine Größenordnung, vorzugsweise mindestens zwei Größenordnungen kleiner ist als die zweite und/oder dritte Toleranz, wobei die zweite Toleranz insbesondere im Wesentlichen gleich groß ist wie die dritte Toleranz.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Substrat (12) von dessen Oberseite (16) aus ein mit ersten Ladungsträgern von einem ersten Leitungstyp versehenes Gebiet (14) ausgebildet ist, wobei in dem Gebiet (14) mit den ersten Fenstern (22) der ersten Lochmaske (20) fluchtende und innerhalb der Fenster (22) freiliegende Teilgebiete (28) mit zweiten Ladungsträgern von einem dem ersten Leitungstyp entgegengesetzten zweiten Leitungstyp ausgebildet sind, die mit den jeweils angrenzenden Bereichen des Gebiets (14) aus den ersten Ladungsträgern ein Sensorelement (30), insbesondere eine Fotodiode bilden.