EP1164623A2 - Kanalplatte aus Glas für Flachbildschirme und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents
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- EP1164623A2 EP1164623A2 EP01110303A EP01110303A EP1164623A2 EP 1164623 A2 EP1164623 A2 EP 1164623A2 EP 01110303 A EP01110303 A EP 01110303A EP 01110303 A EP01110303 A EP 01110303A EP 1164623 A2 EP1164623 A2 EP 1164623A2
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Definitions
- the invention relates to a channel plate made of glass for flat screens, which has a plurality of parallel channels separated by webs, which are microstructured in a flat glass substrate, and which has an edge area on which are located on the channel floors Electrode tracks can be led out,
- the invention further relates to a method for producing such Channel plate.
- flight pitch X 50 to 1000 ⁇ m
- ridge height Y 50th - 300 ⁇ m
- web width Z 20 - 100 ⁇ m.
- each applied between zero and three conductor tracks as electrodes In the channels between the rib-shaped webs, depending on the display type, each applied between zero and three conductor tracks as electrodes.
- the webs are formed with channels in the Screen printing process in several layers one after the other on a flat Glass substrate applied. This process is very complex and expensive.
- the channel structures in the flat Molded glass substrate In another method, the channel structures in the flat Molded glass substrate.
- This shaping can be done in different ways.
- the channel plates have a flat edge area on at least one side, on which the metallic, if applicable, attached to the channel floors Electrode tracks are brought out for connection purposes.
- the upper level the flat edge area is at the target height of the channel floors to be formed.
- the channels are described by the Methods formed in the flat glass substrate, then the depth of the Channels, due to unavoidable manufacturing tolerances, differ, i.e. the height of the channel floors fluctuates with respect to the upper level of the Edge area and there are transition stages that adversely affect the photolithographic structuring of the metallic electrode tracks and their mechanical resilience against tensile and compressive stress.
- the invention is based on the object, the one mentioned Channel plate made of glass so that the electrode leads are trouble-free structured and mechanically strong enough.
- This object is achieved according to the invention on the basis of a Channel plate made of glass for flat screens, which a variety of parallel extending, separated by webs channels, which in a flat Glass substrate are microstructured, and which have an edge area has, on which electrode tracks located on the channel floors are lead out, in that the transition from the channel floors to the Edge area is shaped so that regardless of manufacturing tolerances Step occurs between the channel floors and the edge area.
- the inventive design of the channel plate is a unproblematic electrode lead-out on the connection edge area given.
- the construction of the channel plate is Invention made such that the smooth transition to the edge area a ramp-shaped flattening, sloping towards the edge on a flat section has, with the highest point, which is a predetermined amount higher and a lowest point that is a predetermined amount lower than the intended one
- the target height of the channel floors is.
- the arrangement is preferably such that the highest point of the Ramp at the top edge of the web and the lowest point at least around the double the manufacturing tolerance is lower than the nominal height of the channel floors.
- the channel plate can be so be designed so that the edge region at substantially the same height as the top edge of the web lies and a rounded transition from the channel floor to Edge area is formed.
- the smooth transitions are preferred ground in, which is particularly economical to achieve in terms of production technology is, in particular if according to an embodiment of the invention
- Channel structure is ground into the glass substrate. It is Appropriately, the glass substrate at least on the side on which the Grinding process starts, is ground to the extent that the tolerances in the Reduce depth of channels.
- This channel plate has a plurality of parallel channels separated by webs 1 2 on. On the bottom 3 of the channels, depending on the display type and design, 0 - 3 electrodes applied.
- Such a glass plate is produced in the following steps:
- a flat rectangular glass plate 4 the glass substrate, with given dimensions according to the required screen size, provided.
- This glass plate is preferably made by floating or pulling made and preferably consists of borosilicate glass.
- Glass plates produced in this way typically have on their surface wavy bumps with long wavelength, the so-called "Warp” and a ripple with a very small wavelength.
- Warp the so-called "Warp”
- a ripple with a very small wavelength.
- the plane-ground glass surface when using the duct plate in one PALC display minimizes distracting stray radiation, and thus the contrast increased.
- the structuring of the channels 2 in the flat-ground glass plate 4 in its active region 4 a is carried out according to one of the methods described at the outset, preferably by grinding in the channels using a high-precision multi-disc grinding tool.
- Such high-precision multi-wheel grinding modules typically have a plurality of precision grinding wheels mounted on a common spindle, with high precision axially spaced apart by spacer rings, for simultaneous grinding of microstructures running parallel to one another in a workpiece.
- the grinding wheels must have a high-precision mutual distance with very small tolerances.
- the channel structure is ground in by the so-called offset grinding described there.
- the channels 2 are then, depending on the display version, the metallic ones Conductor tracks introduced as electrodes.
- the application of the metallic Conductors are expediently made using external currentless and galvanic process for metal deposition with photolithographic Structuring of the electrode areas according to the older German Patent application 198 41 900.7-33, the disclosure of which is also by Reference to the disclosure content of the present application is made.
- Other processes, such as sputtering and vapor deposition, are also possible.
- the Channel plate 4 before structuring for example by a grinding wheel corresponding width and contour, starting from the top of the duct plate, a flat oblique to the edge ramp 4 b formed, which opens into a flat connection area 4 c, the deeper than the target height of the channel floors 3 is. This ensures that the metallic conductor tracks of the electrodes no jump between the channel bottom and must overcome border area, not even within the specified tolerances fluctuating actual height of the channel floors.
- the transition between the edge area at an obtuse angle 4 b, c and channel floor 3 ensures a significantly better photolithographic Structurability of the electrode and less stress on the finished one Electrode so that no short circuits and interruptions occur and the Risk of breakage of the electrodes is significantly reduced. This measure leads therefore to an increased yield in the production of the channel plates.
- the slope of the ramp 4 b is for example 3 ° and the lowest point of the ramp located opposite the desired height of the channel bottom 3 by, for example, 10 ⁇ m deep.
- the ramp slope 4 b is shaped so that the lowest point is twice the manufacturing tolerance lower than the desired channel floor height.
- the radius of the disk 5 thus forms in the edge region 4 b of the structure from. This radius also leads to a continuous transition between the channel floor and the glass surface of the channel plate in the edge area 4 b. For this reason, the load on the electrode can also occur be reduced.
- Another advantage of immersing with the grinding wheel 5 in the glass plate 4 is that in addition to a separate Edge processing can be dispensed with. Thus, another manufacturing or Process step omitted.
- the edge area can also be used to store and support a microsheet (Thin glass) or as mechanical support for a cover glass.
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Abstract
Derartige Kanalplatten weisen typischerweise eine Vielzahl von parallel verlaufenden, durch Stege (1) getrennte Kanäle (2) auf, die in einer flachen Glasplatte (4) mikrostrukturiert ausgeformt sind. Die Kanäle (2) werden beispielsweise durch ein hochpräzises Mehrscheiben-Schleifwerkzeug in die flache Rechteck-Glasplatte (4) eingeschliffen, die vorzugsweise zuvor mindestens auf der Seite, auf der die Kanalstruktur eingearbeitet wird, hochpräzise plangeschliffen ist. Die Kanalplatte weist ferner einen Anschluß-Randbereich (4 b, 4 c) auf, auf den in den Kanalböden (3) ggf. abgeschiedene metallische Elektrodenbahnen herausgeführt sind. Um die Elektrodenbahnen nicht zu beschädigen, ist dabei ein sprungloser Übergang zwischen den Kanalböden (3) und dem Randbereich (4 b, 4 c) ausgeformt. <IMAGE>
Description
Die Erfindung betrifft eine Kanalplatte aus Glas für Flachbildschirme, welche
eine Vielzahl von parallel verlaufenden, durch Stege getrennte Kanäle aufweist,
die in einem flachen Glassubstrat mikrostrukturiert ausgeformt sind, und
welche einen Randbereich besitzt, auf welchen auf den Kanalböden befindliche
Elektrodenbahnen herausführbar sind,
Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung einer solchen
Kanalplatte.
Displayscheiben von Flachbildschirmen, wie sie typischerweise bei modernen
Plasma-Fernsehbildschirmen benötigt werden, den sogenannten Plasma Display
Panel = PDP bzw. Plasma Addressed Liquid Crystal = PALC, benötigen für
ihre Funktion sogenannte Kanalplatten, die Mikrostrukturen hoher Präzision in
Form von mehreren, parallel verlaufenden Mikrokanälen aufweisen, die durch
Stege getrennt sind.
Eine derartige Kanalplatte ist ausschnittsweise in Figur 3 im stark vergrößerten
Maßstab prinzipiell dargestellt. Die aus dieser Figur ersichtliche kanalförmige
Mikrostrukturierung muß kostengünstig und in großen Stückzahlen für
verschiedene Displaygrößen (Bildschirmdiagonalen bis 60" und größer)
erfolgen. In Abhängigkeit vom Bildschirmformat liegen die
Strukturabmessungen in folgenden Bereichen: Stegabstand X = 50 - 1000 µm,
Steghöhe Y = 50 - 300 µm und Stegbreite Z = 20 - 100 µm. Für ein 42"-HiVision
PDP-Display sind beispielsweise ca. 5760 Kanäle mit einem
Teilungsabstand der Stege "X", dem sog. Pitch, von ca. 161 µ m bei einer
Steghöhe "Y" von 150 µm und einer Stegbreite "Z" von 30 µm mit Toleranzen
von wenigen µm über ca. 520 mm Länge zu fertigen.
In den Kanälen zwischen den rippenförmigen Stegen sind, je nach DisplayTyp,
jeweils zwischen null und drei Leiterbahnen als Elektroden aufgebracht.
Der Aufbau dieser modernen Flachbildschirme, insbesondere der Kanalplatte,
ist bekannt.
Es sind verschiedene Methoden zum Ausbilden der Kanalstruktur bekannt
geworden. Bei einer Methode werden die Stege unter Bildung von Kanälen im
Siebdruckverfahren in mehreren Schichtungen nacheinander auf ein flaches
Glassubstrat aufgetragen. Dieses Verfahren ist sehr aufwendig und teuer.
Bei einer anderen Methode werden die Kanalstrukturen in dem flachen
Glassubstrat ausgeformt.
Dieses Ausformen kann auf verschiedene Weise erfolgen.
Es ist bekannt, die Kanal-Mikrostrukturen im Wege der Heißformgebung durch
Prägen zu erzeugen.
Es ist ebenfalls bekannt, durch Sandstrahlen über eine mirostrukturierte Maske
die Kanal-Mikrostrukturen zu erzeugen.
Es ist auch schon versucht worden, die Kanäle durch einen Schleifvorgang zu
strukturieren. Beim Schleifen wird dabei vorzugsweise ein hochpräzises
Mehrscheiben-Schleifwerkzeug verwendet, das mehrere auf einer gemeinsamen
Spindel, hochpräzise durch Distanzringe axial beabstandet zueinander
angeordnete Präzisionsschleifscheiben aufweist. Da die Kanäle sehr fein
strukturiert sind und sehr geringe Abstände zueinander haben, bereitet die
Herstellung der Kanalplatten durch Schleifen mittels des Mehrscheiben-Schleifwerkzeuges
dahingehend Schwierigkeiten, daß die einzelnen
Schleifscheiben des Mehrscheiben-Schleifwerkzeuges nicht in entsprechend
geringen axialen Abständen zueinander angeordnet werden können. Aus diesem
Grund beträgt der Abstand der einzelnen Schleifscheiben ein ganzzahliges
Vielfaches des Teilungsabstandes "X" der Stege. Da die Länge des
Mehrscheiben-Schleifwerkzeuges durch das Schwingungsverhalten der
Bearbeitungsspindel und durch die Drehzahl begrenzt ist, erfolgt die
Herstellung der Kanalplatten dann durch sogenanntes versetztes Schleifen, bei
dem durch mehrfachen Überlauf des Mehrscheiben-Schleifwerkzeuges die
Kanalplatte strukturiert wird. Zwischen den einzelnen Überläufen wird das
Mehrscheiben-Schleifwerkzeug rechtwinklig zu den Kanallängsachsen versetzt
und zwar genau um den zu fertigenden Pitch.
Die Kanalplatten besitzen zumindest auf einer Seite einen flachen Randbereich,
auf dem die ggf. auf den Kanalböden angebrachten metallischen
Elektrodenbahnen für Anschlußzwecke herausgeführt sind. Die obere Ebene
des flachen Randbereiches befindet sich dabei auf Soll-Höhe der
auszuformenden Kanalböden. Werden die Kanäle durch die vorbeschriebenen
Methoden in dem flachen Glassubstrat ausgeformt, dann ist die Tiefe der
Kanäle, bedingt durch unvermeidbare Fertigungstoleranzen, unterschiedlich,
d.h. die Höhe der Kanalböden schwankt in bezug auf die obere Ebene des
Randbereiches und es entstehen Übergangsstufen, die sich nachteilig auf die
photolithographische Strukturierung der metallischen Elektrodenbahnen und
ihre mechanische Belastbarkeit gegenüber Zug- und Druckspannung auswirken.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die eingangs bezeichnete
Kanalplatte aus Glas so auszubilden, daß die Elektroden-Herausführungen
störungsfrei strukturiert und mechanisch ausreichend belastbar sind.
Die Lösung dieser Aufgabe gelingt gemäß der Erfindung ausgehend von einer
Kanalplatte aus Glas für Flachbildschirme, welche eine Vielzahl von parallel
verlaufenden, durch Stege getrennte Kanäle aufweist, die in einem flachen
Glassubstrat mikrostrukturiert ausgeformt sind, und welche einen Randbereich
besitzt, auf welchen auf den Kanalböden befindliche Elektrodenbahnen
herausführbar sind, dadurch, daß der Übergang von den Kanalböden zu dem
Randbereich so geformt ist, daß unabhängig von Fertigungstoleranzen keine
Stufe zwischen Kanalböden und Randbereich auftritt.
Durch die erfindungsgemäße Ausbildung der Kanalplatte ist eine
unproblematische Elektrodenherausführung auf den Anschluß-Randbereich
gegeben.
Der Aufbau der Kanalplatte ist gemäß einer ersten Weiterbildung der
Erfindung so getroffen, daß der stufenlose Übergang zum Randbereich eine
rampenförmige, zum Rand hin auf ein flaches Teilstück abfallende Abflachung
aufweist, mit dem höchsten Punkt, der um ein vorgegebenes Maß höher und
einem tiefsten Punkt, der um ein vorgegebenes Maß tiefer als die vorgesehene
Soll-Höhe der Kanalböden liegt.
Dadurch können Fertigungstoleranzen bei der Ausformung der Kanalstrukturen
in beiden Richtungen aufgefangen werden.
Vorzugsweise ist dabei die Anordnung so getroffen, daß der höchste Punkt der
Rampe auf Höhe der Stegoberkanten und der tiefste Punkt mindestens um die
doppelte Fertigungstoleranz tiefer liegt als die Sollhöhe der Kanalböden.
Gemäß einer zweiten Weiterbildung der Erfindung kann die Kanalplatte so
ausgebildet sein, daß der Randbereich im wesentlichen auf gleicher Höhe wie
die Stegoberkante liegt und ein abgerundeter Übergang vom Kanalboden zum
Randbereich ausgeformt ist.
Bei beiden Ausführungsformen sind die stufenlosen Übergänge vorzugsweise
eingeschliffen, was herstellungstechnisch besonders wirtschaftlich zu erzielen
ist, insbesondere wenn gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung auch die
Kanalstruktur in das Glassubstrat eingeschliffen wird. Dabei ist es
zweckmäßig, das Glassubstrat mindestens auf der Seite, auf der der
Schleifvorgang ansetzt, plangeschliffen ist, um insoweit die Toleranzen in der
Tiefe der Kanäle zu reduzieren.
Hinsichtlich des Verfahrens zur Herstellung der erfindungsgemäßen
Kanalplatten wird die vorgenannte Aufgabe erfindungsgemäß gelöst mit den
Schritten:
- Bereitstellen einer flachen Rechteck-Glasplatte mit vorgegebenen Abmessungen,
- Ausformen eines sprunglosen Überganges zwischen dem Bereich der Glasplatte, in dem die Kanäle einzuarbeiten sind und mindestes einem der Randbereiche, in den die Kanäle einmünden, und
- Ausformen der Kanäle in der Glasplatte, vorzugsweise durch Einschleifen.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen
gekennzeichnet und werden in der nachfolgenden Figurenbeschreibung näher
erläutert.
Anhand von zwei in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsformen wird
die Erfindung näher erläutert.
Es zeigen:
- Fig. 1
- eine Draufsicht auf eine Kanalplatte mit eingebrachter Kanalstruktur und einem gemäß einer ersten Ausführungsform rampenförmig abgeschliffenen Randbereich, auf den Elektrodenbahnen herausführbar sind,
- Fig. 2
- in einer prinzipiellen Querschnittsdarstellung durch die Kanalplatte nach Fig. 1 eine zweite Ausführungsform zum Einschleifen eines kontinuierlichen Überganges zwischen den strukturierten Kanalböden und dem Randbereich, auf den Elektrodenbahnen herausführbar sind, und
- Fig. 3
- die Kanalstruktur einer Kanalplatte in einer prinzipiellen, idealisierten perspektivischen Darstellung.
Die Fig. 3 zeigt in einer vergrößerten, stark idealisierten Darstellung die
Struktur einer Kanalplatte für moderne Flachbildschirme. Diese Kanalplatte
weist eine Vielzahl von parallel verlaufenden, durch Stege 1 getrennte Kanäle
2 auf. Auf dem Boden 3 der Kanäle sind, je nach Displaytyp und Ausführung,
0 - 3 Elektroden aufgebracht.
Zunächst wird eine flache Rechteck-Glasplatte 4, das Glassubstrat, mit
vorgegebenen Abmessungen entsprechend dem geforderten Bildschirmmaß,
bereitgestellt. Diese Glasplatte wird vorzugsweise durch Floaten oder Ziehen
hergestellt und besteht vorzugsweise aus Borosilikatglas.
So hergestellte Glasplatten weisen typischerweise an ihrer Oberfläche
wellenförmige Unebenheiten mit großer Wellenlänge, dem sogenannten
"Warp" und eine Welligkeit mit demgegenüber sehr kleiner Wellenlänge auf.
Durch ein Planschleifen einer oder beider Seiten der Glasoberfläche im
nächsten Schritt erreicht man eine Minimierung des Warps und der Welligkeit
und damit eine Verringerung des Toleranzfeldes der strukturierten Kanalplatte.
Bei der Verwendung einer geeigneten Schleifscheibe werden durch die
plangeschliffene Glasoberfläche bei Verwendung der Kanalplatte in einem
PALC-Display störende Streustrahlungen minimiert, und damit der Kontrast
gesteigert.
Das Strukturieren der Kanäle 2 in der plangeschliffenen Glasplatte 4 in deren
aktivem Bereich 4 a erfolgt nach einem der eingangs beschriebenen Verfahren,
vorzugsweise durch ein Einschleifen der Kanäle mittels eines hochpräzisen
Mehrscheiben-Schleifwerkzeuges.
Derartige hochpräzise Mehrscheiben-Schleifmodule besitzen typischerweise mehrere, auf einer gemeinsamen Spindel, hochpräzise durch Distanzringe axial beabstandet zueinander, montierte Präzisions-Schleifscheiben zum gleichzeitigen Ausschleifen von parallel zueinander verlaufenden Mikrostrukturen in einem Werkstück. Die Schleifscheiben müssen dabei einen hochpräzisen gegenseitigen Abstand mit sehr kleinen Toleranzen aufweisen. Aus den eingangs genannten Gründen erfolgt dabei das Einschleifen der Kanalstruktur durch das dort beschriebene sogenannte versetzte Schleifen.
Derartige hochpräzise Mehrscheiben-Schleifmodule besitzen typischerweise mehrere, auf einer gemeinsamen Spindel, hochpräzise durch Distanzringe axial beabstandet zueinander, montierte Präzisions-Schleifscheiben zum gleichzeitigen Ausschleifen von parallel zueinander verlaufenden Mikrostrukturen in einem Werkstück. Die Schleifscheiben müssen dabei einen hochpräzisen gegenseitigen Abstand mit sehr kleinen Toleranzen aufweisen. Aus den eingangs genannten Gründen erfolgt dabei das Einschleifen der Kanalstruktur durch das dort beschriebene sogenannte versetzte Schleifen.
In die Kanäle 2 werden danach, je nach Displayausführung, die metallischen
Leiterbahnen als Elektroden eingebracht. Das Aufbringen der metallischen
Leiterbahnen erfolgt zweckmäßig unter Anwendung von außenstromlosen und
galvanischen Verfahren zur Metallabscheidung mit photolithographischer
Strukturierung der Elektrodenbereiche gemäß der älteren deutschen
Patentanmeldung 198 41 900.7-33, deren Offenbarung ebenfalls durch
Bezugnahme mit zu dem Offenbarungsinhalt der vorliegenden Anmeldung
gemacht wird. Auch andere Verfahren, wie Sputtern und Aufdampfen, sind
möglich.
Diese metallischen Leiterbahnen müssen zu Anschlußzwecken aus den
Kanalböden 3 zu einem Randbereich der Kanalplatte herausgeführt werden,
wobei die obere Fläche des Randbereiches auf Soll-Höhe der Kanalböden 3
liegt. Dabei entsteht nachstehendes Problem.
Aufgrund der nicht zu vermeidenden Zustellungstoleranzen beim
Schleifvorgang oder den anderen Formgebungsverfahren ergeben sich
unterschiedliche Höhen von Kanalboden 3 und dem Randbereich der
Kanalplatte, d.h. es entsteht zwischen dem Randbereich, auf den die
Elektroden herausgeführt sind, eine Stufe. Diese Stufe wirkt sich auf die
photolithographische Strukturierung der Elektroden bei dem Aufbringen der
Leiterbahnen negativ aus. Es erfolgt beispielsweise ein Ansammeln von Lack
in konkaven Ecken und keine Lackbedeckung von konvexen Ecken. Dies führt
zu Kurschlüssen und Unterbrechungen der metallischen Leiterbahnen. Auch
werden die abgeschiedenen Elektroden bei Zug- und Druckspannungen loxal
höher belastet. Nach der Erfindung wird daher ein sprungloser Übergang
zwischen dem Anschluß-Bereich und den Kanalböden ausgeformt,
vorzugsweise eingeschliffen. Im Beispiel nach Fig. 1 wird im Randbereich der
Kanalplatte 4 vor der Strukturierung, beispielsweise durch eine Schleifscheibe
entsprechender Breite und Kontur, ansetzend von der Kanalplattenoberseite,
eine schräg zum Rand hin rampenförmig verlaufende Abflachung 4 b
ausgeformt, die in einen flachen Anschlußbereich 4 c einmündet, der tiefer als
die Soll-Höhe der Kanalböden 3 liegt. Dadurch ist gewährleistet, daß die
metallischen Leiterbahnen der Elektroden keinen Sprung zwischen Kanalgrund
und Randbereich überwinden müssen, auch nicht bei innerhalb der
vorgegebenen Toleranzen schwankender IST-Höhe der Kanalböden.
Der unter einem stumpfen Winkel verlaufende Übergang zwischen Randbereich
4 b, c und Kanalboden 3 sorgt für eine deutlich bessere photolithographische
Strukturierbarkeit der Elektrode und eine geringere Belastung der fertigen
Elektrode, so daß keine Kurzschlüsse und Unterbrechungen auftreten und die
Bruchgefahr der Elektroden signifikant reduziert wird. Diese Maßnahme führt
daher zu einer gesteigerten Ausbeute in der Produktion der Kanalplatten.
Die Steigung der Rampe 4 b beträgt beispielsweise 3° und der tiefste Punkt der
Rampe liegt gegenüber der Soll-Höhe des Kanalbodens 3 um beispielsweise 10
µm tiefer. Vorzugsweise ist die Rampenschräge 4 b so ausgeformt, daß der
tiefste Punkt um die doppelte Fertigungstoleranz tiefer liegt als die
Kanalboden-Sollhöhe.
Eine weitere Möglichkeit, die photolithographische Strukturierbarkeit zu
verbessern und die Belastungen auf die Elektroden zu reduzieren, besteht
darin, einen kontinuierlichen Übergang zwischen der Oberfläche der Glasplatte
4 und dem Kanalboden zu erhalten. Diesen erreicht man beispielsweise, indem
man gemäß der Darstellung in Fig. 2 vor Beginn der Strukturierung der Kanäle
2 mit der Schleifscheibe 5 eines Schleifwerkzeuges unter Drehzahl in die
Glasplatte 4 von oben oder in einem bestimmten Winkel einsticht.
Somit bildet sich der Radius der Scheibe 5 im Randbereich 4 b der Struktur
ab. Dieser Radius führt ebenfalls zu einem kontinuierlichen Übergang
zwischen Kanalboden und der Glasoberfläche der Kanalplatte im Randbereich
4 b. Aus diesem Grund kann somit ebenfalls die Belastung auf die Elektrode
reduziert werden. Ein weiterer Vorteil des Eintauchens mit der Schleifscheibe
5 in die Glasplatte 4 besteht darin, daß zusätzlich auch auf eine gesonderte
Randbearbeitung verzichtet werden kann. Somit kann ein weiterer Fertigungs-oder
Prozeßschritt entfallen.
Der Randbereich kann auch zur Ablage und Unterstützung eines Mikrosheet
(Dünnglas) oder als mechanische Unterstützung für ein Deckglas dienen.
Claims (10)
- Kanalplatte aus Glas für Flachbildschirme, welche eine Vielzahl von parallel verlaufenden, durch Stege (1) getrennte Kanäle (2) aufweist, die in einem flachen Glassubstrat (4) mikrostrukturiert ausgeformt sind, und welche einen Randbereich (4b, 4c) besitzt, auf welchen auf den Kanalböden (3) befindliche Elektrodenbahnen herausführbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß der Übergang von den Kanalböden zu dem Randbereich (4b, 4c) so geformt ist, daß unabhängig von Fertigungstoleranzen keine Stufe zwischen Kanalböden und Randbereich auftritt.
- Kanalplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der stufenlose Übergang zum Randbereich eine rampenförmige, zum Rand hin auf ein flaches Teilstück (4 c) abfallende Abflachung (4 b) aufweist, mit dem höchsten Punkt, der um ein vorgegebenes Maß höher und einem tiefsten Punkt, der um ein vorgegebenes Maß tiefer als die vorgesehene Soll-Höhe der Kanalböden (3) liegt.
- Kanalplatte nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der höchste Punkt auf Höhe der Stegoberkanten liegt.
- Kanalplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Randbereich im wesentlichen auf gleicher Höhe wie die Stegoberkante liegt und ein abgerundeter Übergang vom Kanalboden (3) zum Randbereich ausgeformt ist.
- Kanalplatte nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der stufenlose Übergang eingeschliffen ist.
- Kanalplatte nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanalstruktur in das Glassubstrat (4) eingeschliffen ist.
- Kanalplatte nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Glassubstrat (4) mindestens auf einer Seite hochpräzise plangeschliffen ist.
- Verfahren zum Herstellen der Kanalplatte für Flachbildschirme nach einem der Ansprüche 1 bis 7, mit den Schritten:Bereitstellen einer flachen Rechteck-Glasplatte mit vorgegebenen Abmessungen,Ausformen eines sprunglosen Überganges zwischen dem Bereich der Glasplatte, in dem die Kanäle einzuarbeiten sind und mindestens einem der Randbereiche, in den die Kanäle einmünden, undAusformen der Kanäle in der Glasplatte, vorzugsweise durch Einschleifen.
- Verfahren nach Anspruch 8, bei dem das Ausformen eines sprunglosen Überganges durch Einschleifen eines Randbereiches an mindestens einer Seite der Glasplatte, in den die Kanäle einmünden, erfolgt, der eine rampenförmige, zum Rand hin auf ein flaches Teilstück abfallende Abflachung hat, mit dem höchsten Punkt, der um ein vorgegebenes Maß höher und dem tiefsten Punkt, der um ein vorgegebenes Maß tiefer als die Soll-Höhe der Kanalböden liegt.
- Verfahren nach Anspruch 8, bei dem das Ausformen eines sprunglosen Überganges in der Weise erfolgt, daß die Scheiben eines Mehrscheiben-Schleifwerkzeuges bei Beginn des Einschleifens der Kanäle unter Drehzahl vertikal von oben oder in einem bestimmten Winkel in die Glasplatte eingestochen werden.
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