EP0604626A1 - Process and device for photo-thermal spectroscopy - Google Patents

Process and device for photo-thermal spectroscopy

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EP0604626A1
EP0604626A1 EP93915913A EP93915913A EP0604626A1 EP 0604626 A1 EP0604626 A1 EP 0604626A1 EP 93915913 A EP93915913 A EP 93915913A EP 93915913 A EP93915913 A EP 93915913A EP 0604626 A1 EP0604626 A1 EP 0604626A1
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EP
European Patent Office
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frequency
modulation
intensity
laser beam
optical
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP93915913A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Hans-Dieter Geiler
Matthias Wagner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik AG
Original Assignee
Jenoptik Jena GmbH
Jenoptik AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Jenoptik Jena GmbH, Jenoptik AG filed Critical Jenoptik Jena GmbH
Publication of EP0604626A1 publication Critical patent/EP0604626A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/8422Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated

Definitions

  • the essence of the invention is to detect this disturbing portion of the frequency f 2 of the beam directed at the object by a control detector and to use a control loop to intervene in the modulation spectrum by means of a suitable, targeted change in the modulation effect to remove the electrical signal.
  • This means supplying the modulation process with such a portion of the frequency f 2 that the unwanted portion of this frequency generated by the non-linearities is just being compensated for.
  • This compensation of the modulator non-linearities is based on the modulation principle for generating a modulation spectrum.
  • the aim is to generate such a time function for the modulation of the laser beam, which allows an intervention in the frequency spectrum with comparatively little technical effort with high accuracy and at the same time offers a high mixing effectiveness for the detection of the object response.

Abstract

L'invention concerne un procédé et une installation de spectroscopie photothermique (analyse d'ondes thermiques) selon le procédé à faisceau unique avec double modulation. L'objectif, consistant à mettre au point un procédé à faisceau unique qui permet d'utiliser les avantages de la technique de la double modulation pour la détection des fréquences différentielles produites de manière photothermique sans qu'il soit nécessaire de recourir à des faisceaux partiels et qui atteigne un niveau élevé de liberté d'intermodulation, est atteint, dans le cadre de l'invention, par le fait que l'intensité du faisceau laser est modulée, avant son impact sur l'objet, de telle manière que le spectre de modulation comporte essentiellement une fréquence porteuse (f1) et deux fréquences de bande latérale (f1-f2), f2 étant la fréquence d'impulsions de base de la modulation, qu'on supprime, au moyen d'un détecteur de réglage et d'une boucle de réglage intervenant dans le processus de modulation, la composante de la fréquence d'impulsions de base (f2) qui est de même phase que la fréquence mixte constituée de la fréquence porteuse et des fréquences de bande latérale, et qu'après une interaction avec l'objet, au moyen d'un détecteur de mesure et d'une installation à sélection de fréquence et de phase, on mesure la réponse optique de l'objet sous forme de l'amplitude de la composante de la fréquence d'impulsions de base (f2) qui, en tant que produit combiné photothermique, est de même phase que la fréquence mixte constituée de la fréquence porteuse (f1) et des fréquences de bande latérale (f1-f2). L'invention est appliquée pour l'analyse non destructive et sans contact des paramètres de matériau dans les zones proches de la surface des solides.The invention relates to a method and an installation for photothermal spectroscopy (thermal wave analysis) according to the single beam method with double modulation. The objective is to develop a single beam method which makes it possible to use the advantages of the double modulation technique for the detection of the differential frequencies produced in a photothermal manner without the need for partial beams. and which achieves a high level of intermodulation freedom, is achieved, within the scope of the invention, by the fact that the intensity of the laser beam is modulated, before its impact on the object, such that the spectrum modulation essentially comprises a carrier frequency (f1) and two sideband frequencies (f1-f2), f2 being the basic pulse frequency of the modulation, which is suppressed by means of an adjustment detector and d 'a control loop involved in the modulation process, the component of the base pulse frequency (f2) which is of the same phase as the mixed frequency consisting of the carrier frequency and the sideband frequencies, and which ap fter interaction with the object, by means of a measuring detector and a frequency and phase selection device, the optical response of the object is measured in the form of the amplitude of the frequency component base pulses (f2) which, as a combined photothermal product, is of the same phase as the mixed frequency consisting of the carrier frequency (f1) and sideband frequencies (f1-f2). The invention is applied for non-destructive and non-contact analysis of material parameters in areas close to the surface of solids.

Description

Beschreibungdescription
Verfahren und Anordnung zur photothermischen SpektroskopieProcess and arrangement for photothermal spectroscopy
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und Anordnungen zur photo¬ thermischen Spektroskopie (Thermowellenanalyse) nach dem Typ des Einstrahlverfahrens mit Doppelmodulationstechnik. Sie findet Anwendung zur Messung geometrischer/ thermischer, elektronischer und elastomechanischer Materialparameter von Oberflächenschichten durch Auswertung der photothermischen Res- ponse-Signale aus den oberflächennahen Bereichen von Fest¬ körpern. Das berührungslos und zerstörungsfrei anwendbare Ver¬ fahren gemäß der Erfindung hat sein Hauptanwendungsgebiet in der Beschichtungstechnologie als Prüfverfahren zur Qualitäts¬ kontrolle .The invention relates to a method and arrangements for photo-thermal spectroscopy (thermal wave analysis) according to the type of single-beam method with double modulation technology. It is used to measure geometric / thermal, electronic and elastomechanical material parameters of surface layers by evaluating the photothermal response signals from the areas of solids close to the surface. The non-contact and non-destructive method according to the invention has its main field of application in coating technology as a test method for quality control.
Zur berührungslosen und zerstörungsfreien Erfassung von Parame¬ tern dünner Schichten sind Methoden der photothermischen Spek¬ troskopie bekannt. Die physikalischen Prinzipien und grund¬ sätzlichen Lösungen sind z. B. in "Photoacoustic and Thermal ffave Pheno ena in Semiconductors", Ed. A. MANDELIS, North- Holland, New York 1987, zusammengestellt und beschrieben. Ein bekanntes Verfahren nach ROSENCWAIG besteht darin, daß ein periodisch intensitätsmodulierter Pumplaser eine photothermi¬ sche Response in der Schicht erzeugt, die ihrerseits den Brechungsindex lokal moduliert, so daß mit einem sogenannten Testlaserstrahl die modulierte optische Reflexion (MOR) vermes¬ sen werden kann (US 4 579 463). Dieses Verfahren erfordert so¬ mit zwei Laser unterschiedlicher Wellenlänge und die präzise Justage beider Strahlen zueinander auf der Probe. Die in den Schriften US 4 634 290, US 4636 088, EP 0 291 276 vorgeschla¬ genen Lösungen haben neben der erwähnten optischen Präzision der Strahljustage einen erheblichen Aufwand an optischen Ele¬ menten zur Anpassung der Taillen der beiden Strahlenbündel. Außerdem stellt das Eigenrauschen des Testlasers einen begren¬ zenden Faktor des Auflösungsvermögens dar, so daß hoch rausch¬ stabilisierte Laser verwendet werden müssen. Zur Messung der MOR sind auch Einstrahlverfahren bekannt (CHEN et al.in Appl. Phys. Lett.50 (1984) 1349; A. LÖRINCZ, L. ANDOR in Appl. Phys. B 47 (1988) 35; M.WAGNER, H.D. GEILER in Meas. Sei. Technol. 2. (1991) 1088). Zur Trennung der MOR von der re¬ flektierten modulierten Pumpintensitat verwendet LÖRINCZ die Tatsache, daß die photothermische Response Oberwellen (2. Har¬ monische) im reflektierten Anteil entstehen läßt, die mittels Lock-In-Detektion erfaßt werden können. Wegen der endlichen Modulatornichtlinearitäten läßt sich jedoch die geforderte Oberwellenfreiheit von 10**7 nicht erreichen. Das Gleiche trifft für die Rauschkompensation zu. In dem Verfahren von WAGNER ist dieser Nachteil durch Nutzung einer Doppelmodula¬ tionstechnik, bei der dem Pumpstrahl zwei Modulationsfrequenzen aufgeprägt werden und durch die photothermische Brechungsindex¬ modulation in der Probe erzeugten Summen- oder Differenzfre¬ quenzen detektiert werden, behoben. Dafür ist aber die inter- modulationsfreie Erzeugung des doppelt modulierten Strahles nur über die Zusammenführung von zwei getrennt modulierten Partial- strahlen möglich. Das erfordert neben dem erneuten optischen Aufwand zur Partialstrahljustage den Einsatz von zwei ge¬ trennten optischen Modulationssystemen. Insbesondere muß der Rücklauf von modulierten Partialstahlanteilen in den Laser und damit dessen Eigenmodulation vermieden werden, was teure op¬ tische Isolatoren erfordert.Methods of photothermal spectroscopy are known for the contactless and non-destructive detection of parameters of thin layers. The physical principles and basic solutions are e.g. B. in "Photoacoustic and Thermal ffave Pheno ena in Semiconductors", Ed. A. MANDELIS, North Holland, New York 1987, compiled and described. A known method according to ROSENCWAIG is that a periodically intensity-modulated pump laser generates a photothermal response in the layer, which in turn modulates the refractive index locally, so that the modulated optical reflection (MOR) can be measured with a so-called test laser beam (US 4,579,463). This method requires two lasers of different wavelengths and the precise adjustment of the two beams to one another on the sample. The solutions proposed in the documents US Pat. No. 4,634,290, US Pat. No. 4,636,088, EP 0 291 276 have, in addition to the optical precision of the beam adjustment mentioned, a considerable outlay on optical elements for adapting the waist of the two beam bundles. In addition, the inherent noise of the test laser represents a limiting factor in the resolution, so that highly noise-stabilized lasers must be used. Single-beam methods are also known for measuring the MOR (CHEN et al. in Appl. Phys. Lett 50 (1984) 1349; A. LÖRINCZ, L. ANDOR in Appl. Phys. B 47 (1988) 35; M.WAGNER, HD GEILER in Meas. Be. Technol. 2. (1991) 1088). To separate the MOR from the reflected modulated pump intensity, LÖRINCZ uses the fact that the photothermal response gives rise to harmonics (2nd harmonic) in the reflected portion, which can be detected by means of lock-in detection. However, due to the finite modulator non-linearities, the required harmonic freedom of 10 ** 7 cannot be achieved. The same applies to noise compensation. In the WAGNER method, this disadvantage is remedied by using a double modulation technique in which two modulation frequencies are impressed on the pump beam and the sum or difference frequencies generated in the sample are detected by the photothermal refractive index modulation. For this, however, the intermodulation-free generation of the double-modulated beam is only possible by merging two separately modulated partial beams. In addition to the new optical effort for partial beam adjustment, this requires the use of two separate optical modulation systems. In particular, the return of modulated partial steel components into the laser and thus its inherent modulation must be avoided, which requires expensive optical isolators.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Einstrahl¬ verfahren zu entwickeln, das die Vorzüge der Doppelmodulations¬ technik nutzt, ohne Partialstrahlen zu benötigen, und das eine hohe Intermodulationsfreiheit erreicht.The invention is based on the object of developing a single-beam method which uses the advantages of double modulation technology without the need for partial beams and which achieves a high degree of freedom from intermodulation.
Die Grundidee der Erfindung basiert darauf, daß die Objektan¬ regung und die Detektierung der durch daa Objekt modulierten Transmission oder Reflexion mit einem einzigen auf das Objekt gerichteten optischen Strahl erfolgt, dessen Intensität im we¬ sentlichen mit drei Frequenzen moduliert ist, wobei eine Fre¬ quenz das arithmetische Mittel der anderen beiden Frequenzen ist. Das Modulationsspektrum besteht also im wesentlichen aus einer Trägerfrequenz f.^ und zwei Seitenbandfrequenzen £j ■ f2 Die durch einen mit diesem Frequenzspektr m modulierten op- tischen Strahl im Objekt ausgelöste Thermowellenreaktion findet sich in der das Objekt verlassenden Strahlung (gerichteter transmittierter oder reflektierter Anteil, Streustrahlung, Wär¬ mestrahlung) in Form von Mischprodukten der drei Frequenzen, von denen die Frequenz f2 mittels einer frequenz- und phasen¬ selektiven Meßeinrichtung detektiert wird und als Maß der line¬ aren Response des Objektes dient.The basic idea of the invention is based on the fact that the object excitation and the detection of the transmission or reflection modulated by the object occurs with a single optical beam directed at the object, the intensity of which is essentially modulated with three frequencies, one frequency quenz is the arithmetic mean of the other two frequencies. The modulation spectrum therefore essentially consists of a carrier frequency f. ^ And two sideband frequencies £ j ■ f 2, which are modulated by an op-modulated with this frequency spectrum m. The thermal radiation reaction triggered in the object can be found in the radiation leaving the object (directed transmitted or reflected portion, scattered radiation, heat radiation) in the form of mixed products of the three frequencies, of which the frequency f 2 by means of a frequency- and phase-selective measuring device is detected and serves as a measure of the linear response of the object.
Zweckmäßigerweise wird die Frequenz f2 möglichst klein gewählt, so daß die Anregung des Objekts effektiv mit der Frequenz f1 geschieht, also die photothermische Dispersion im Frequenz¬ bereich t^ - f2 ...^ ■ f2 vernachlässigbar wird und die zu detektierende Frequenz im technisch leicht zu beherrschenden Niederfrequenzgebiet liegt.The frequency f 2 is expediently chosen to be as small as possible so that the excitation of the object takes place effectively at the frequency f 1 , that is to say the photothermal dispersion in the frequency range t ^ - f 2 ... ^ ■ f 2 becomes negligible and the one to be detected Frequency lies in the technically easy to control low frequency area.
Es ist als allgemeines Problem der Intensitätsmodulation op¬ tischer Strahlung bekannt, daß die Modulatorkennlinie Nicht- linearitäten aufweist, die beim Einsatz eines einzigen modu¬ lierenden optischen Elements für die Erzeugung des erfindungs- gemäβen Modulationsspektrums dazu führen, daß schon in dem auf das Objekt gerichteten Strahl Frequenz-Mischprodukte enthalten sind, die die Detektion der Thermowellen-Response erschweren und verfälschen.It is known as a general problem of intensity modulation of optical radiation that the modulator characteristic curve has nonlinearities which, when a single modulating optical element is used for the generation of the modulation spectrum according to the invention, result in that already directed towards the object Beam frequency mixed products are included, which complicate and falsify the detection of the thermal wave response.
Als solches durch die Nichtlinearitäten der Modulationskenn¬ linie verursachtes Mischprodukt tritt für das erfindungsgemäße Modulationsspektrum die Frequenz f2 im modulierten Strahl auf.As such a mixed product caused by the non-linearities of the modulation characteristic, the frequency f 2 occurs in the modulated beam for the modulation spectrum according to the invention.
Das Wesen der Erfindung besteht nun darin, diesen störenden Anteil der Frequenz f2 dem auf das Objekt gerichteten Strahl durch einen Regeldetektor zu detektieren und ihn über eine Re¬ gelschleife durch Eingriffe in das Modulationsspektrum mittels einer geeigneten, gezielten Veränderung des die Modulation be¬ wirkenden elektrischen Signals zu entfernen. Das bedeutet, dem Modulationsprozeß einen solchen Anteil der Frequenz f2 zusätz¬ lich zuzuführen, daß der durch die Nichtlinearitäten erzeugte unerwünschte Anteil dieser Frequenz gerade kompensiert wird. Die Art und Weise dieser Kompensation der Modulatornicht¬ linearitäten richtet sich dabei nach dem Modulationsprinzip zur Erzeugung eines Modulationsspektrums. Zielstellung ist, eine solche Zeit-Funktion für die Modulation des Laserstrahles zu erzeugen, die einen Eingriff in das Fre¬ quenzspektrum mit vergleichsweise geringem technischen Aufwand bei hoher Genauigkeit gestattet und gleichzeitig eine hohe Mischeffektivität für die Detektierung der Objekt-Response bie¬ tet.The essence of the invention is to detect this disturbing portion of the frequency f 2 of the beam directed at the object by a control detector and to use a control loop to intervene in the modulation spectrum by means of a suitable, targeted change in the modulation effect to remove the electrical signal. This means supplying the modulation process with such a portion of the frequency f 2 that the unwanted portion of this frequency generated by the non-linearities is just being compensated for. The way this compensation of the modulator non-linearities is based on the modulation principle for generating a modulation spectrum. The aim is to generate such a time function for the modulation of the laser beam, which allows an intervention in the frequency spectrum with comparatively little technical effort with high accuracy and at the same time offers a high mixing effectiveness for the detection of the object response.
Als besonders vorteilhaft in diesem Sinne erweist sich ein Mo¬ dulationssignal, dessen Grundtaktperiode T aus einer Grundtakt¬ frequenz f2 durch die Beziehung T = l/f2 gebildet wird. Diese Grundtaktperiode der Zeitdauer T wird nun zusammengesetzt aus einer (anteiligen) Zeitdauer T1# innerhalb der die Intensi¬ tät des Laserstrahles rechteckförmig mit einem Hub von 100% mit der Taktfrequenz fχ moduliert wird, wobei in der Zeitdauer T1 eine ganze Zahl von Perioden der Dauer 1/fj enthalten ist, und einem (den verbleibenden Anteil der Periode einnehmenden) Zeit¬ abschnitt der Dauer T2, in dem die Intensität des Laserstrahles konstant ist.A modulation signal whose basic clock period T is formed from a basic clock frequency f 2 by the relationship T = 1 / f 2 proves to be particularly advantageous in this sense. This basic clock period of the time duration T will now be composed of a (pro rata) time duration T 1 # within the Intensi¬ ty of the laser beam a rectangular shape with a stroke of 100% with the clock frequency f is modulated χ, wherein in the time period T 1 is an integer of Periods of the duration 1 / f j is included, and a time segment (taking up the remaining portion of the period) of the duration T 2 , in which the intensity of the laser beam is constant.
Für einen solchen Intensitäts-Zeit-Verlauf bestimmt sich die in Phase zur Grundtaktfrequenz f2 liegende Komponente der Frequenz f2 im Frequenzspektrum wesentlich durch den Wert der Intensität im Zeitabschnitt T2, der so einzustellen ist, daß die Kompo¬ nente Null wird. Für große Frequenzverhältnisse t^lt2 ent¬ spricht der einzustellende Intensitätswert näherungsweise dem über den Zeitabschnitt λ gebildeten arithmetischen Mittel der Intensität. Unter dieser Bedingung enthält das Modulations¬ spektrum im wesentlichen die Frequenz f^ mit den Seitenband¬ frequenzen f^ ■ f2.For such intensity-time course of the f in phase with the basic clock frequency 2 horizontal component of the frequency of the intensity in the period T 2, which is set so determined f 2 in the frequency spectrum substantially by the value that the Kompo¬ component becomes zero. For large frequency ratios t ^ lt 2 , the intensity value to be set corresponds approximately to the arithmetic mean of the intensity formed over the time period λ . Under this condition, the modulation spectrum essentially contains the frequency f ^ with the sideband frequencies f ^ ■ f 2 .
Die nichtlineare Response des Objektes bewirkt in der das Ob¬ jekt wieder verlassenden Strahlung eine Veränderung des ur¬ sprünglichen Verhältnisses der Mittelwerte der Intensitäten in den Teilperioden 11 und T2« Diese Veränderung ist besonders stark, wenn die Teilperioden von gleichlanger Dauer sind. Sie verursacht die Entstehung einer Komponente der Frequenz f2, die in Phase mit der Grundtaktfrequenz f2 liegt. Im Frequenzbild wird diese Komponente durch Mischung der Frequenz f1 mit ihren Seitenbandfrequenzen f^ ■ f2 an der nichtlinearen Responsekenn- linie des Objektes hervorgerufen. Für die Anwendung zum Nachweis der in der Praxis meist sehr kleinen Thermowellensignale und damit Anteile der Frequenz f2 ist eine statische Einstellung des geforderten konstanten Wer¬ tes der Intensität in der Teilperiode T2 mit der geforderten Genauigkeit jedoch nicht möglich. Für die Praxis bedeutet dies das stets unvermeidliche Auftreten eines Anteils der Frequenz f2 in Phase zur βrundtaktfrequenz. Das Verschwinden der in Pha¬ se zur Grundtaktfrequenz liegenden und somit störenden Kom¬ ponente der Frequenz f2 im Modulationsspektrum des auf das Ob¬ jekt gerichteten Strahles wird nun entsprechend Patentanspruch 1 mittels einer Regelschleife erzwungen, die die geforderten Intensitätsverhältnisse in den Teilperioden ^ und T2 ein¬ stellt, indem sie z. B. den konstanten Wert der Intensität in der Teilperiode T2 oder das Tastverhältnis in der Teilperiode Tλ entsprechend verändert.The non-linear response of the object causes a change in the original ratio of the mean values of the intensities in the partial periods 1 1 and T 2 in the radiation leaving the object. This change is particularly strong if the partial periods are of equal length. It causes the formation of a component of the frequency f 2, f in phase with the fundamental clock frequency 2. In the frequency image, this component is caused by mixing the frequency f 1 with its sideband frequencies f ^ ■ f 2 on the non-linear response characteristic of the object. For the application to prove the in practice mostly very Small thermal wave signals and thus components of the frequency f 2, however , a static setting of the required constant value of the intensity in the partial period T 2 with the required accuracy is not possible. In practice, this means the always unavoidable occurrence of a portion of the frequency f 2 in phase with the round-robin frequency. The disappearance of the component of the frequency f 2 in the modulation spectrum of the beam directed at the object, which is in phase with the basic clock frequency and thus disturbing, is now enforced according to claim 1 by means of a control loop which maintains the required intensity ratios in the partial periods ^ and T 2 sets by z. B. the constant value of the intensity in the sub-period T 2 or the duty cycle in the sub-period T λ changed accordingly.
Für den Regelungsprozeß wird dazu aus dem modulierten Strahl optisch ein Teil ausgekoppelt und mittels eines Photoempfängers (Regeldetektor) und einer weiteren frequenz- und phasenselek¬ tiven Einrichtung der Anteil der unerwünschten Frequenz t- der in Phase zur Grundtaktfrequenz f2 liegt, bestimmt. Dieser Me߬ wert wird nun als Störgröße in die Modulatorbaugruppe einge¬ speist und veranlaßt die Erzeugung des exakten Modulations¬ signals.For the control process, a part is optically decoupled from the modulated beam and the proportion of the undesired frequency t, which is in phase with the basic clock frequency f 2, is determined by means of a photo receiver (control detector) and a further frequency- and phase-selective device. This measured value is now fed into the modulator module as a disturbance variable and causes the exact modulation signal to be generated.
Die hier beschriebene Regelung besitzt eine weitere vorteil¬ hafte Auswirkung. Sie reduziert nicht nur die bei der Intensi¬ tätsmodulation durch Nichtlinearitäten im Modulationsprozeß erzeugte Komponente der Frequenz. f2, sondern gleichzeitig auch jene Anteile der Frequenz f2 in Phase zur Grundtaktfrequenz f2, die aus dem Rauschen der Laserstrahlintensität herrühren und die Empfindlichkeitsgrenze des Verfahrens heraufsetzen, da sie sich dem Meβsignal überlagern.The regulation described here has a further advantageous effect. It not only reduces the component of the frequency generated in the intensity modulation by nonlinearities in the modulation process. f 2, but simultaneously also those portions of the frequency f 2 in phase with the basic clock frequency f 2, resulting from the noise of the laser beam intensity and up the sensitivity limit of the method, since they are superimposed on the Meβsignal.
Damit erlaubt die Realisierung des erfindungsgemäβen Verfahrens gegenüber den bekannten Verfahren zur Thermowellenanalyse zum einen eine beträchtliche Reduktion des optischen Aufwandes (nur noch eine einzige Laserquelle, Führung eines einzigen optischen Strahls) und zum anderen eine Steigerung der Empfindlichkeit bzw. die Möglichkeit, auch vergleichsweise stark rauschende Laserquellen einzusetzen. Der Einsatzbereich des erfindungsgemäßen Verfahrens läßt sich auch auf solche Thermowellen-Reaktionen des Objektes erweitern, die im wesentlichen keine Modulation des Transmissions- bzw. Reflexionsvermögens oder entstehender SekundärStrahlung (Streu¬ licht, Wärmestrahlung) bewirken, sondern zur Lage- und/oder Formmodulation des Strahles führen. Das geschieht, indem an geeigneter Stelle im Verlauf des vom Objekt beeinflußten Strah¬ les Blenden eingefügt werden, die den Strahl läge- und/oder formabhängig beschneiden. Darüberhinaus können Blenden in die¬ sem Strahlenverlauf in einer konjugierten Objektebene zur Me߬ feldbegrenzung Anwendung finden.In this way, the implementation of the method according to the invention allows, on the one hand, a considerable reduction in the optical complexity (only a single laser source, guidance of a single optical beam) and, on the other hand, an increase in the sensitivity or the possibility of comparatively high noise compared to the known methods for thermal wave analysis Use laser sources. The field of application of the method according to the invention can also be extended to those thermal wave reactions of the object which essentially do not cause any modulation of the transmission or reflectivity or secondary radiation which arises (scattered light, heat radiation), but rather for position and / or shape modulation of the beam to lead. This is done by inserting diaphragms at a suitable point in the course of the beam influenced by the object, which cut the beam depending on the position and / or shape. In addition, diaphragms can be used in this beam path in a conjugate object plane for measuring field limitation.
Die Umsetzung des Verfahrens gemäß der Erfindung in Anord¬ nungen, die die versprochenen Wirkungen voll zum Tragen brin¬ gen, kann im wesentlichen nach der Art und Weise der tech¬ nischen Realisierung der Intensitätsmodulation und der Art und Weise des Eingriffs in das Modulationsspektrum unterschieden werden.The implementation of the method according to the invention in arrangements which bring the promised effects to full effect can essentially be differentiated according to the manner in which the intensity modulation is technically implemented and the manner in which the modulation spectrum is intervened .
Dabei ist die Erzeugung der erfindungsgemäßen Art des Modu¬ lationssignals danach unterteilt, ob das Licht einer Quelle moduliert wird (Ansprüche 2, 3) oder ob die Intensitäts¬ modulation erzeugt wird, indem das Licht zweier Strahlen ge¬ eignet moduliert und der auf das Objekt gerichtete Strahl durch die Zusammenfügung beider Teilstrahlen erzeugt wird (Ansprüche 4, 5).The generation of the type of modulation signal according to the invention is subdivided according to whether the light from a source is modulated (claims 2, 3) or whether the intensity modulation is generated by modulating the light of two beams in a suitable manner and that onto the object directed beam is generated by combining the two partial beams (claims 4, 5).
Die Art und Weise des Eingriffs in das Modulationsspektrum kann danach unterschieden werden, ob dem zur Intensitätsmodulation Verwendeten Element zusätzlich ein Korrektursignal zugeführt oder ob in den Strahlverlauf ein zusätzliches optisches Element eingefügt wird, das mit einem Korrektursignal gespeist wird.The type of intervention in the modulation spectrum can be differentiated according to whether a correction signal is additionally supplied to the element used for intensity modulation or whether an additional optical element is inserted into the beam path, which is fed with a correction signal.
Die Erfindung soll nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert werden. Die Zeichnungen zeigen:The invention will be explained in more detail below using exemplary embodiments. The drawings show:
Fig. 1 den erfindungsgemäßen Grundaufbau einer Anordnung zur Thermowellenanalyse in der Transmissionsvariante un¬ ter Verwendung einer Laserquelle l zur Strahler¬ zeugung und eines akustooptischen Modulators 2 zur Intensitätsmodulation Fig. 2 den erfindungsgemäßen Grundaufbau einer Anordnung zur Thermowellenanalyse in der Reflexionsvariante unter Anwendung einer Laserdiode 11 und der speziellen Rechteckmodulation der Intensität entsprechend Patentanspruch 9 zur Erzeugung des modulierten Laser¬ strahles1 shows the basic structure according to the invention of an arrangement for thermal wave analysis in the transmission variant using a laser source 1 for generating radiation and an acousto-optic modulator 2 for intensity modulation 2 shows the basic structure according to the invention of an arrangement for thermal wave analysis in the reflection variant using a laser diode 11 and the special rectangular modulation of the intensity according to patent claim 9 for generating the modulated laser beam
Fig. 3 das der Laserdiode 11 in Fig. 2 zugeführte Ansteuer¬ signa1 in Abhängigkeit von der ZeitFIG. 3 shows the control signal fed to the laser diode 11 in FIG. 2 as a function of time
Fig. 4 eine spezielle Ausführungsform des Teiles zur Erzeu¬ gung des modulierten Laserstrahles mittels zweier im Strahlengang hintereinander angeordneten akusto¬ optischen Modulatoren 1 und 2 gemäß Patentanspruch 34 shows a special embodiment of the part for generating the modulated laser beam by means of two acousto-optical modulators 1 and 2 arranged one behind the other in the beam path
Fig. 5 eine spezielle Ausführungsform des Teiles zur Er¬ zeugung des modulierten Laserstrahles gemäß Patent¬ anspruch 13 mittels einer integriert-optischen Anord¬ nung unter Einsatz eines optischen Frequenzmodulators5 shows a special embodiment of the part for generating the modulated laser beam according to patent claim 13 by means of an integrated optical arrangement using an optical frequency modulator
In der Anordnung gemäß Fig. 1 wird der Laserstrahl von einer beliebigen Laserquelle l erzeugt und durchläuft zur Inten¬ sitätsmodulation einen akustooptischen Modulator 2, dem gemäß Patentanspruch 1 im wesentlichen die Modulationsfrequenzen f. und f1 ■ f2 aus einer elektronischen Modulatorbaugruppe 8 zuge¬ führt werden. Unter Fokussierung durch die Fokussieroptik 4 trifft der modulierte Strahl auf das Objekt 5, dessen Response bestimmt werden soll.In the arrangement according to FIG. 1, the laser beam is generated by any laser source 1 and passes through an acousto-optical modulator 2 for intensity modulation, which according to claim 1 essentially has the modulation frequencies f. and f 1 ■ f 2 are supplied from an electronic modulator module 8. Focusing through the focusing optics 4, the modulated beam strikes the object 5 whose response is to be determined.
Bevor der Laserstrahl auf das Objekt trifft, wird ein Anteil von ihm mittels eines Strahlteilers 3 auf einen als Regel¬ detektor dienenden Photoempfänger 6 ausgekoppelt. Mittels eines Lock-In-Detektors 7, der in Frequenz und Phase auf die eben¬ falls von der Modulatorbaugruppe 8 gelieferte Frequenz f2 ab¬ gestimmt ist, wird so der Anteil der unerwünschten Frequenz f2 im modulierten optischen Strahl gemessen. Der Meßwert wird als Störgröße in die Baugruppe 8 eingespeist und veranlaßt dort die zusätzliche Erzeugung eines Modulationsanteils mit der Frequenz f2, der ebenfalls dem akustooptischen Modulator 2 zugeführt wird.Before the laser beam hits the object, a portion of it is coupled out by means of a beam splitter 3 to a photo receiver 6 serving as a control detector. By means of a lock-in detector 7, which is matched in frequency and phase to the frequency f 2 also supplied by the modulator module 8, the proportion of the undesired frequency f 2 in the modulated optical beam is measured. The measured value is fed into the assembly 8 as a disturbance variable and there causes the additional generation of a modulation component with the frequency f 2 , which is also fed to the acousto-optical modulator 2 becomes.
Akustooptischer Modulator, Regeldetektor 3, Lock-In- Verstärker 7 und elektronische Modulatorbaugruppe 8 bilden dabei eine Re¬ gelschleife, die bewirkt, daß dem akustooptischen Modulator ein solcher Anteil der Frequenz f2 zugeführt wird, daß der durch dessen Modulationsnichtlinearitäten aus den Frequenzen f1 und f1 ■ f2 erzeugte Anteil der Frequenz f2 gerade kompensiert wird. Auf diese Weise wird erreicht, daß das Modulations¬ spektrum des auf das Objekt gerichteten Strahles die Frequenz f2 nicht enthält.Acousto-optical modulator, control detector 3, lock-in amplifier 7 and electronic modulator assembly 8 form a control loop, which causes the acousto-optical modulator to be supplied with a proportion of frequency f 2 such that the modulation non-linearities from frequencies f 1 result from its modulation non-linearities and f 1 ■ f 2 generated portion of the frequency f 2 is being compensated for. In this way it is achieved that the modulation spectrum of the beam directed at the object does not contain the frequency f 2 .
Der im Objekt 5 infolge photothermischer Modulation des Bre¬ chungsindex durch Mischung der Frequenzen f^ und fχ ■ f2 er¬ zeugte Anteil der Frequenz f2 wird mittels eines als Me߬ detektor dienenden Photoempfängers 9 und eines ebenfalls in Frequenz und Phase auf die von der Modulatorbaugruppe gelie¬ ferte Frequenz f2 abgestimmten Lock-In-Detektors 10 bestimmt.The result photothermal modulation of Bre¬ deviation index in the object 5 f by mixing the frequencies ^ and f χ ■ f 2 er¬ witnessed proportion of the frequency f 2 by means of a as Me߬ detector serving photodetector 9 and a likewise in frequency and phase to the frequency f 2 coordinated lock-in detector 10 determined by the modulator assembly.
In der Anordnung gemäß Fig. 2 wird ein linear polarisierter Laserstrahl von einer Laserdiode 11 erzeugt und unter Fokus- sierung durch die Fokussieroptik 4 auf das Objekt 5 gerichtet. Bevor der Laserstrahl auf das Objekt trifft, wird, wie für das erste Beispiel ausgeführt, mittels des Strahlteilers 3 ein An¬ teil von ihm auf einen als Regeldetektor dienenden Photo¬ empfänger 6 ausgekoppelt.In the arrangement according to FIG. 2, a linearly polarized laser beam is generated by a laser diode 11 and directed onto the object 5 by focusing through the focusing optics 4. Before the laser beam hits the object, a portion of it is coupled out by means of the beam splitter 3 to a photo receiver 6 serving as a control detector, as explained for the first example.
Zur Intensitätsmodulation wird der Laserdiode von einer elek¬ tronischen Modulatorbaugruppe 12 das in Fig. 3 dargestellte Signal zugeführt. Entsprechend Patentanspruch 12 sind für die¬ ses Signal die Zeitabschnitte T1 und T2 von gleichlanger Dauer. Die elektronische Modulatorbaugruppe 12 besitzt einen Steuer¬ eingang, über den die Höhe des im Zeitabschnitt T2 erzeugten Signals eingestellt werden kann.For intensity modulation, the laser diode is supplied with the signal shown in FIG. 3 by an electronic modulator module 12. According to claim 12, the time segments T 1 and T 2 are of the same length for this signal. The electronic modulator module 12 has a control input via which the level of the signal generated in the time period T 2 can be adjusted.
Zur Unterdrückung der unerwünschten Frequenz f2 in dem auf das Objekt gerichteten Strahl wird durch den Regeldetektor 6 und den in Frequenz und Phasenlage auf die Grundtaktfrequenz T = l/f2 (siehe Fig.3) abgestimmten Lock-In-Detektor 7 ein Störsig¬ nal erzeugt, das über den Steuereingang der Modulatorbaugruppe 12 die Höhe des im Zeitabschnitt T, erzeugten Signals variiert, wodurch sich der Anteil der Frequenz f2 im modulierten Laser- strahl verändert. Diese Regelschleife bewirkt die Entfernung des unerwünschten Anteils der Frequenz f2 aus dem Modulations¬ spektrum. Bevor der so erzeugte modulierte Strahl auf das Ob¬ jekt trifft, durchläuft er einen Polarisationsteiler 13 und eine \ /4-Platte 14.In order to suppress the undesired frequency f 2 in the beam directed at the object, the control detector 6 and the lock-in detector 7, which is matched in frequency and phase to the basic clock frequency T = 1 / f 2 (see FIG. 3), an interference signal nal generated, which varies the level of the signal generated in the time period T, via the control input of the modulator module 12, whereby the proportion of the frequency f 2 in the modulated laser beam changed. This control loop brings about the removal of the undesired portion of the frequency f 2 from the modulation spectrum. Before the modulated beam generated in this way hits the object, it passes through a polarization splitter 13 and a 1/4 plate 14.
Der von Objekt reflektierte Strahlanteil wird mittels des Pola¬ risationsteilers 13 auf den als Meßdetektor dienenden Photo¬ empfänger 9 geführt.The portion of the beam reflected from the object is guided by means of the polarization splitter 13 onto the photoreceiver 9 serving as a measuring detector.
Die nichtlineare optische Response des Objektes 5 wird dann, wie für das erste Beispiel ausgeführt, mittels des in Frequenz und Phase auf die von der Modulatorbaugruppe gelieferte Grund¬ taktfrequenz f2 abgestimmten Lock-In-Detektors 10 bestimmt. In Fig. 4 ist eine Anordnung zur Erzeugung des modulierten Strahles gezeigt, bei der die Korrektur des unerwünschten An¬ teils der Frequenz f2 im modulierten Strahl durch Einsatz zweier akustooptischer Modulatoren bewirkt wird. Der Laserstrahl wird von der Laserquelle erzeugt und durchläuft zuerst den akustooptischen Modulator l, dem, wie für das erste Ausführungsbeispiel beschrieben, die Frequenzen fχ und f1 ■ f2 von der elektronischen Modulatorbaugruppe 8 zugeführt werden. Diese Modulatorbaugrύppe stellt außerdem die Frequenz f2 zur Verfügung.The nonlinear optical response of the object 5 is then, as explained for the first example, determined by means of the lock-in detector 10 which is matched in frequency and phase to the basic clock frequency f 2 supplied by the modulator module. 4 shows an arrangement for generating the modulated beam, in which the correction of the undesired portion of the frequency f 2 in the modulated beam is effected by using two acousto-optical modulators. The laser beam is generated by the laser source and first passes through the acousto-optical modulator 1, to which, as described for the first exemplary embodiment, the frequencies f χ and f 1 ■ f 2 are supplied by the electronic modulator module 8. This modulator assembly also provides the frequency f 2 .
Danach passiert der Strahl einen weiteren akustooptischen Modu¬ lator 2. Diesem Modulator wird über eine weitere elektronische Modulatorbaugruppe 16 ein Modulationssignal der Frequenz f2 zugeführt, das aus dem von der Modulatorbaugruppe 8 bereit¬ gestellten Signal der Frequenz f2 abgeleitet wird und dessen Amplitude über einen Steuereingang veränderbar ist. Über den Strahlteiler 3 wird ein Teil des modulierten Laser¬ strahles auf den als Regeldetektor dienenden Photoempfänger 6 ausgekoppelt. Mittels des in Frequenz und Phase auf die von der Modulatorbaugruppe 8 gelieferte Frequenz f2 abgestimmten Lock- In-Verstärkers 7 wird, wie in den vorangehenden Beispielen be¬ schrieben, ein Störsignal gebildet. Dieses Störsignal steuert über den Steuereingang der Modulatorbaugruppe 16 die Amplitude der durch den akustooptischen Modulator 2 bewirkten zusätz¬ lichen Modulation des Laserstrahles mit der Frequenz f«. Dabei erfolgt die Steuerung wieder so, daß der unerwünscht Anteil der Frequenz f2 im Strahl kompensiert wird.The beam then passes through another acousto-optical modulator 2. A modulation signal of frequency f 2 is fed to this modulator via a further electronic modulator assembly 16, which is derived from the signal of frequency f 2 provided by the modulator assembly 8 and its amplitude via a control input is changeable. Part of the modulated laser beam is coupled out to the photo receiver 6 serving as a control detector via the beam splitter 3. An interference signal is formed by means of the lock-in amplifier 7, which is matched in frequency and phase to the frequency f 2 supplied by the modulator assembly 8, as described in the preceding examples. This interference signal controls, via the control input of the modulator assembly 16, the amplitude of the additional modulation of the laser beam caused by the acousto-optical modulator 2 with the frequency f '. The control takes place again so that the undesirable portion of the Frequency f 2 is compensated in the beam.
In Fig. 5 ist eine integriert-optische Realisierung des Modu¬ lationsprinzips gemäß Patentanspruch 16 gezeigt. Der Laser¬ strahl wird von der Laserquelle erzeugt und mittels eines 3dB-Verzweigers 17 in zwei Teilstrahlen aufgespalten. Einer der beiden Teilstrahlen durchläuft einen steuerbaren optischen Pha¬ senschieber 18, der andere der beiden Teilstrahlen einen op¬ tischen Frequenzmodulator 19. Danach werden die beiden Teil¬ strahlen durch einen weiteren 3dB-Verzweiger 20 wieder zu¬ sammengesetzt. Die Modulation des Laserstrahles wird bewirkt, indem die Modulationsperiode der Zeitdauer T = l/f2 zusammen¬ gesetzt wird aus den Zeitabschnitten T1 und T2. Innerhalb Tχ wird der optische Frequenzmodulator von der elektronischen Mo¬ dulatorbaugruppe 21 mit einem solchen Steuersignal beauf¬ schlagt, daß die optische Frequenz des den optischen Frequenz- modulator durchlaufenden Teilstrahles um den Wert der Frequenz f1 von der optischen Frequenz des ursprünglichen Laserstrahles versetzt wird. Nach Zusammenfügung der beiden Teilstrahlen im Verzweiger 20 entsteht dann ein Laserstrahl, dessen Intensität mit der Frequenz f1 moduliert ist.5 shows an integrated optical implementation of the modulation principle according to claim 16. The laser beam is generated by the laser source and split into two partial beams by means of a 3 dB splitter 17. One of the two partial beams passes through a controllable optical phase shifter 18, the other of the two partial beams through an optical frequency modulator 19. The two partial beams are then reassembled by a further 3 dB splitter 20. The modulation of the laser beam is effected in that the modulation period of the time period T = 1 / f 2 is composed of the time segments T 1 and T 2 . Within T χ the electronic modulator module 21 applies a control signal to the optical frequency modulator such that the optical frequency of the partial beam passing through the optical frequency modulator is offset by the value of the frequency f 1 from the optical frequency of the original laser beam . After the two partial beams have been combined in the branch 20, a laser beam is then produced, the intensity of which is modulated with the frequency f 1 .
Innerhalb 2 wird von der elektronischen Modulatorbaugruppe 21 ein solches Steuersignal gebildet, daß der Frequenzversatz der beiden Teilstrahlen Null wird. Damit entsteht nach der Zu¬ sammenfügung der beiden Teilstrahlen im Verzweiger 20 ein Strahl mit zeitlich konstanter Intensität, deren Höhe von der optischen Phasenverschiebung der beiden Teilstrahlen abhängt. Innerhalb des Zeitabschnittes 2 steuert nun die elektronische Modulatorbaugruppe 21 den optischen Phasenschieber 18 so an, daß eine bestimmte Phasenverschiebung eingestellt wird, die den geforderten Intensitätswert für das Verschwinden der störenden Komponente der Frequenz f2 zur Folge hat.Within 2 the electronic modulator module 21 forms a control signal such that the frequency offset of the two partial beams becomes zero. In this way, after the two partial beams have been combined in the branch 20, a beam with a temporally constant intensity arises, the height of which depends on the optical phase shift of the two partial beams. Within the time period 2 , the electronic modulator assembly 21 now controls the optical phase shifter 18 in such a way that a specific phase shift is set which results in the required intensity value for the disappearance of the disturbing component of the frequency f 2 .
Diese Steuerung wird, wie in den vorangehenden Beispielen aus¬ geführt, in Form einer Regelschleife über die Detektion des störenden Anteils der Frequenz f2 im modulierten Strahl aus¬ geführt. As described in the preceding examples, this control is carried out in the form of a control loop by detecting the disturbing component of frequency f 2 in the modulated beam.

Claims

Patentansprüche Claims
1. Verfahren zur photothermischen Spektroskopie, bei dem auf ein zu untersuchendes Objekt ein intensitätsmodulierter Laserstrahl gerichtet wird und bei dem infolge einer Ob¬ jektreaktion auf eine durch den Laserstrahl bewirkte Ener¬ giedeponierung nach einer Wechselwirkung mit dem Objekt eine zusätzliche Modulation der Intensität als optische Response des Objektes mit einem Meßdetektor nachgewiesen wird, gekennzeichnet durch a) eine Intensitätsmodulation des Laserstrahls vor dem Auf- treffen auf dem Objekt, deren Modulationsspektrum im wesentlichen nur eine Trägerfrequenz (f1) und zwei Sei¬ tenbandfrequenzen (fχ ■ f2) enthält, wobei sich die Sei- tenbandfrequenz (fχ ■ f2) als Amplitudenmodulation einer Grundtaktfrequenz (f2) ergeben, b) eine Vernichtung einer Komponente der Grundtaktfrequenz (f2), die zu einer aus Trägerfrequenz (fχ) und Seiten¬ bandfrequenzen (f1 ■ f2) resultierenden Mischfrequenz phasengleich ist, mittels Rückkopplung dieser erfaßten Komponente als Störgröße auf den Modulationsprozeß, und c) eine Messung der Amplitude derjenigen Komponente der Grundtaktfrequenz (f2), die als photothermisches Modula¬ tionsprodukt zur Mischfrequenz aus Trägerfrequenz (f^) und Seitenbandfrequenzen (f1 ■ f2) phasengleich in dem das Objekt verlassenden Strahl enthalten ist, mittels einer frequenz- und phasenselektiven Einrichtung.1. Method for photothermal spectroscopy, in which an intensity-modulated laser beam is directed onto an object to be examined and in which, as a result of an object reaction to an energy deposition caused by the laser beam, after an interaction with the object, an additional modulation of the intensity as an optical response the object is detected with a measuring detector, characterized by a) an intensity modulation of the laser beam before striking the object, the modulation spectrum of which essentially contains only one carrier frequency (f 1 ) and two sideband frequencies (f χ ■ f 2 ), where the sideband frequency (f χ ■ f 2 ) results as amplitude modulation of a basic clock frequency (f 2 ), b) an annihilation of a component of the basic clock frequency (f 2 ) which results in a carrier frequency (f χ ) and sideband frequencies ( f 1 ■ f 2 ) resulting mixed frequency is in phase, by means of feedback of this req ate component as a disturbance variable on the modulation process, and c) a measurement of the amplitude of that component of the basic clock frequency (f 2 ), which as a photothermal modulation product for the mixed frequency of carrier frequency (f ^) and sideband frequencies (f 1 ■ f 2 ) in phase in the the beam leaving the object is contained by means of a frequency and phase selective device.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Phasenlage der Frequenz f1 und ihrer Seitenbänder f1 ■ f2 periodisch um 180° umgekehrt wird mit einer Fre¬ quenz, die kleiner als die Frequenz f2 ist.2. The method according to claim 1, characterized in that the phase position of the frequency f 1 and its sidebands f 1 ■ f 2 is periodically reversed by 180 ° with a frequency which is less than the frequency f 2 .
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auch die im Modulationsspektrum der Intensität des auf das Objekt gerichteten Laserstrahles enthaltene Komponente der Frequenz f2, die zur Mischfrequenz der Trägerfrequenz mit den Seitenbandfrequenzen in Quadratur liegt, mittels einer weiteren frequenz- und phasenselektiven Einrichtung detektiert und in eine weitere das Modulationsspektrum be¬ einflussende Regelschleife als Störgröße eingespeist wird zum Zweck, den detektierten Anteil auf den Wert Null zu regeln.3. The method according to claim 1, characterized in that also contained in the modulation spectrum of the intensity of the laser beam aimed at the object component of the frequency f 2 , which is in quadrature to the mixed frequency of the carrier frequency with the sideband frequencies Another frequency and phase selective device is detected and fed into a further control loop influencing the modulation spectrum as a disturbance variable for the purpose of regulating the detected portion to the value zero.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Laserstrahl durch eine in ihrer Intensität modulierte Laserdiode generiert wird.4. The method according to claim 1, characterized in that the laser beam is generated by a modulated in intensity laser diode.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Laserstrahl im Strahlengang zwischen Laserquelle und Objekt einen oder mehrere optische Modulatoren passiert.5. The method according to claim 1, characterized in that the laser beam in the beam path between the laser source and the object passes through one or more optical modulators.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Intensitätsmodulation bewirkt wird, indem der Laser¬ strahl aus zwei interferenzfähigen Teilstrahlen zusammen¬ gefügt wird, wobei sich die Mittelwerte der optischen Fre¬ quenzen der beiden Teilstrahlen um den Wert der Frequenz f1 unterscheiden und die optische Frequenz des einen Teil¬ strahles mit einem Signal der Grundfrequenz f2 frequenz¬ moduliert wird.6. The method according to claim 1, characterized in that the intensity modulation is effected in that the laser beam is assembled from two partial beams capable of interference, the mean values of the optical frequencies of the two partial beams differing by the value of the frequency f 1 and the optical frequency of the partial beam is frequency modulated with a signal of the fundamental frequency f 2 .
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Intensitätsmodulation bewirkt wird, indem der Laserstrahl aus zwei interferenzfähigen Teilstrahlen zusam¬ mengefügt wird, wobei sich die Mittelwerte der optischen Frequenzen der beiden Teilstrahlen um den Wert der Frequenz f1 unterscheiden und die optische Phasenlage des einen Teilstrahles mit einem Signal der Grundfrequenz f2 phasenmoduliert wird.7. The method according to claim 1, characterized in that the intensity modulation is effected by the laser beam is joined together from two interference-capable partial beams, the mean values of the optical frequencies of the two partial beams differing by the value of the frequency f 1 and the optical phase position one of the partial beams is phase-modulated with a signal of the fundamental frequency f 2 .
8. Verfahren nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Intensitätsmodulation des Laserstrahles derart er¬ folgt, daß sich eine Modulationsperiode der Dauer T = l/f2 zusammensetzt aus einem Zeitabschnitt der Dauer T., in dem die Intensität mit einem periodischen Signal der Grund- frequenz f. moduliert wird, und einem Zeitabschnitt der8. The method according to claim 1 to 7, characterized in that the intensity modulation of the laser beam follows such er¬ that a modulation period of the duration T = l / f 2 is composed of a period of the duration T. in which the intensity with a periodic Signal the basic frequency f. is modulated, and a period of time
Dauer T2, in dem die Intensität konstant ist und deren Wert durch die in Anspruch 1 genannte Regelschleife so einge¬ stellt wird, daß die in Phase zur Frequenz f2 liegende Kom¬ ponente des FrequenzSpektrums der Intensität Null ist.Duration T 2 , in which the intensity is constant and the value of which is set by the control loop mentioned in claim 1 such that the component of the frequency spectrum of the intensity lying in phase with frequency f 2 is zero.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb des Zeitabschnittes χ eine ganzzahlige An¬ zahl von Periodenlängen der Dauer 1 f^ enthalten ist.9. The method according to claim 8, characterized in that an integer number of period lengths of duration 1 f ^ is included within the time period χ .
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb des Zeitabschnittes T1 die Modulation mit der Frequenz f1 so erfolgt, daß der Beginn dieses Zeit¬ abschnittes nicht mit einem Nulldurchgang der Schwingung der Frequenz f1 zusammenfällt.10. The method according to claim 9, characterized in that within the period T 1, the modulation with the frequency f 1 takes place so that the beginning of this period does not coincide with a zero crossing of the oscillation of the frequency f 1 .
11. Verfahren nach Anspruch 3 und 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Beeinflussung des Modulationsspektrums durch Verän¬ derung der Zeitdauer zwischen Beginn des Zeitabschnittes T« und den Nulldurchgängen der Schwingung der Frequenz f1 er¬ folgt.11. The method according to claim 3 and 10, characterized in that the influencing of the modulation spectrum by changing the time between the beginning of the time period T «and the zero crossings of the oscillation of the frequency f 1 follows er¬.
12. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekenzeichnet, daß die Dauer der Zeitabschnitte T1 und T2 gleich ist.12. The method according to claim 8, characterized in that the duration of the time periods T 1 and T 2 is the same.
13. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Beeinflussung des Modulationsspektrums durch die Veränderung der Intensität innerhalb des Zeitabschnittes T2 bewirkt wird.13. The method according to claim 8, characterized in that the influencing of the modulation spectrum is effected by changing the intensity within the time period T 2 .
14. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, ddaaßß ddiiee MMoodduullaattiioorn innerhalb des Zeitabschnittes T^ recht- eckförmig erfolgt.14. The method according to claim 8, characterized in that ddiieß ddiiee MMoodduullaattiioorn takes place within the time period T ^ rectangular.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Beeinflussung des Modulationsspektrums durch die Veränderung des Tastverhältnisses erfolgt. 15. The method according to claim 14, characterized in that the modulation spectrum is influenced by the change in the pulse duty factor.
16. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Beeinflussung des Modulationsspektrums durch die Veränderung der Anstiegs- oder Abfallzeit der Rechteck¬ impulse erfolgt.16. The method according to claim 14, characterized in that the modulation spectrum is influenced by changing the rise or fall time of the rectangular pulses.
17. Verfahren nach Anspruch 6 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Modulationsform erzeugt wird, indem der Laserstrahl aus zwei interferenzfähigen Teilstrahlen zusammengefügt wird, wobei die optische Frequenz des einen Teilstrahls mit einem Signal der Periode T so moduliert wird, daß sie sich im Zeitabschnitt 1 um den Wert der Frequenz f1 von der optischen Frequenz des anderen Teilstrahles unterscheidet.17. The method according to claim 6 and 8, characterized in that the modulation form is generated by the laser beam is assembled from two interference-capable partial beams, the optical frequency of the one partial beam being modulated with a signal of the period T so that it varies over time 1 by the value of the frequency f 1 from the optical frequency of the other sub-beam.
18. Verfahren nach Anspruch 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Modulationsform erzeugt wird, indem der Laserstrahl aus zwei interferenzfähigen Teilstrahlen zusammengefügt wird, wobei die optische Phasenlage des einen Teilstrahles mit einem Signal der Periodendauer T so moduliert wird, daß sich die Phasendifferenz zum anderen Teilstrahl im Zeit¬ abschnitt ^ mit der Grundfrequenz f^ periodisch ändert und im Zeitabschnitt T2 konstant bleibt.18. The method according to claim 7 and 8, characterized in that the modulation form is generated by the laser beam is assembled from two interference-capable partial beams, the optical phase position of one partial beam being modulated with a signal of the period T so that the phase difference to other partial beam periodically changes in the time segment ^ with the fundamental frequency f ^ and remains constant in the time segment T 2 .
19. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Anteil des auf das Objekt gerichteten Lichtes zur Erzeugung eines Referenzwertes auf einen Referenzdetektor ausgekoppelt und das Differenzsignal von Meßdetektor und Referenzdetektor ausgewertet wird.19. The method according to claim 1, characterized in that a portion of the light directed onto the object is coupled out to generate a reference value on a reference detector and the difference signal from the measuring detector and reference detector is evaluated.
20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Regeldetektor gleichzeitig als Referenzdetektor verwendet wird. 20. The method according to claim 19, characterized in that the control detector is simultaneously used as a reference detector.
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