EP0581395A2 - Ink jet printhead and a method for its manufacture - Google Patents

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EP0581395A2
EP0581395A2 EP19930250012 EP93250012A EP0581395A2 EP 0581395 A2 EP0581395 A2 EP 0581395A2 EP 19930250012 EP19930250012 EP 19930250012 EP 93250012 A EP93250012 A EP 93250012A EP 0581395 A2 EP0581395 A2 EP 0581395A2
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EP
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chambers
method according
ink
chamber
nozzle
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Wolfgang Dr. Thiel
Stephan Günther
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Abstract

An ink jet print head according to the edge shooter principle, wherein a part bearing chambers is fitted with means for supplying and discharging ink from a chamber assigned in each case to a nozzle. Arranged in each part bearing chambers is a group of chambers on the side facing a central part, and a single row of nozzles which has nozzle groups (1.1, 1.2, 1.3, 1.4, ...) belonging to k chamber groups (101, 102, 103, 104, ...) lies at the end edge of a first part bearing chambers. The first nozzle group (1.1) is connected to the chamber group (101) located in the same part, and the other k-1 nozzle groups (1.2, 1.3, 1.4, ...) are connected to the associated chamber groups (102, 103, 104, ...), the chamber groups being supplied with ink from a suction compartment (151, 152, 153, 154) and lying in other parts bearing chambers and arranged vertically offset. After a pretreatment of the plate material from which the print head is made, masking and etching of the plates take place in a parallel plate processing operation for all the individual parts. Separate finished individual parts are connected and contacted to form a module. <IMAGE>

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Tintenstrahldruckkopf der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Art und ein Verfahren zu seiner Herstellung. The invention relates to an ink jet print head of the type specified in the preamble of claim 1 and a method for its preparation.
  • Ein solcher Tintenstrahldruckkopf kann in kleinen schnellen Druckern eingesetzt werden. Such ink jet print head can be used in small, fast printers. Solche werden beispielsweise für Frankiermaschinen zum Frankieren von Postgut verwendet. Such example, be used for franking machines for franking postal matter.
  • Es ist bekannt, daß Tintenstrahldruckköpfe nach dem Edge-shooter- oder nach dem Face-shooter-Prinzip aufgebaut sind (First annual ink jet printing workshop, March 26-27, 1992, Royal Sonesta Hotel, Cambridge, Massachusetts). It is known that inkjet printheads are designed on the edge shooter or after the face shooter principle (first annual ink jet printing workshop, March 26-27, 1992, Royal Sonesta Hotel, Cambridge, Massachusetts). Bisher wurden Anstrengungen unternommen, die Abmaße der Kammern zu minimieren, um die Düsendichte zu erhöhen. So far, efforts have been made to minimize the dimensions of the chambers to increase the nozzle density. Auch wurden bereits die Düsenkammern zur Stirnkante hin konzentriert angeordnet. Also, the nozzle chambers have already been disposed toward concentrated to the front edge. Jedoch ist dieses Prinzip nur bei Tintenstrahlmodulen mit wenigen Düsen in einer Reihe sinnvoll und versagt bei einer hohen Anzahl von Düsen. However, this principle is only in inkjet modules with few nozzles in a number sense and fails at a high number of nozzles.
  • Es ist hinlänglich bekannt, daß eine erste Generation von Tintenstrahldruckköpfen nach dem Edge-shooter-Prinzip aus einzelnen Impulsstrahlern aufgebaut waren, die aus einer länglichen Tintenkammer mit rechteckigen Querschnitt und einem darüber angeordneten aufgeklebten Piezokristall bestehen (BIS CAP Ink Jet Printing Conference, Monterey, California, 11-13.November 1991). It is well known that a first generation of ink jet print heads were designed according to the edge shooter principle of individual pulse emitters, which consist of an elongated ink chamber having a rectangular cross-section and an overhead glued piezoelectric crystal (BIS CAP Ink Jet Printing Conference, Monterey, California , 11-13.November 1991).
  • Bei einer späteren Generation wurde dann eine Düsenplatte vor einen einstückigen Tintenstrahldruckkopf, der mehrere Kammern aufweist, angeordnet. In a later generation then a nozzle plate has been placed in front of an integral ink jet print head having a plurality of chambers. Die Kammern liegen nicht mehr mit der kleineren Kammerfläche, sondern nunmehr mit der größeren Kammerfläche parallel nebeneinander. The chambers are parallel to one another no longer with the smaller chamber surface, but now with the larger chamber area. Die Piezokristalle bilden dabei die Kammerwände (shared wall concept, Ink Jet Printing Conference, 11-13.November 1991). The piezoelectric crystals form the chamber walls (shared wall concept, Ink Jet Printing Conference, 11-13.November 1991).
  • Aus der DE 34 45 761 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung einer Wandleranordnung aus einer einzelnen Platte eines Wandlerwerkstoffes bekannt. From DE 34 45 761 A1 a method for manufacturing a transducer assembly from a single sheet of transducer material is known. Nach dem Beschichten der unteren Plattenoberfläche mit einer Membranschicht erfolgt eine Materialentfernung aus der oberen Oberfläche, um getrennte Bereiche zu erzeugen, die auf der Membran oberhalb jeder Druckkammer (Fläche 25,4 mm * 2,54 mm) angeordnet sind. After coating, the lower plate surface with a diaphragm layer a material removal from the top surface is performed to produce separate areas (2.54 mm surface 25.4 mm *) are arranged on the membrane above each pressure chamber. Damit entfällt die Notwendigkeit mittels Klebstoff eine Haftverbindung zwischen Wandlerwerkstoff und Membran herzustellen und die Gleichmäßigkeit aller Abstände wird verbessert. This eliminates the need for using adhesive, an adhesive connection between the transducer material and membrane to manufacture and the uniformity of all distances is improved. Der resultierende Düsenabstand ist jedoch relativ groß. However, the resulting nozzle spacing is relatively large.
  • Weiterhin ist aus der US 46 80 595 ein Face-shooter mit einer Düsenlinie zwischen zwei Gruppen von Tintenkammern bekannt, der eine verdoppelte Düsendichte aufweist. Furthermore, 46 80 595 a face-shooter with a nozzle line between two groups of ink chambers known from the US, which has a doubled nozzle density. Jeder rechteckigen Druckkammer sind ein Versorgungskanal und eine Düse sowie eine Schwingplatte mit piezokeramischem Element zugeordnet. Each rectangular box are a supply channel and associated with a nozzle and a vibrating plate with piezoceramic element. Nachteilig ist hierbei jedoch, daß die in der Tintenzuführung und in jeder Kammer auftretenden Druckwellen ein Übersprechen auf weitere Druckkammern bewirken können. A disadvantage here, however, that the pressure waves occurring in the ink supply and in each chamber may cause crosstalk to other pressure chambers. Nur durch sehr aufwendige Maßnahmen kann dieses Übersprechen nachträglich beseitigt werden. Only by very expensive measures this crosstalk can be eliminated subsequently. Ein weiterer Nachteil ist, daß diese Tintenstrahldruckköpfe in einem aufwendigen und teuren Herstellungsprozeß hergestellt werden müssen. A further disadvantage is that these ink jet print heads have to be produced in a complicated and expensive manufacturing process.
  • Aus der US 47 03 333 ist auch bekannt, solche aus schräg übereinander versetzt angeordneten Face-shooter-Modulen aufgebauten Tintenstrahldruckköpfe für eine geneigte Anordnung zur Oberfläche eines Aufzeichnungsträgers herzustellen. From US 47 03 333 such obliquely one above the other are arranged offset face shooter modules is also known to produce structured ink jet print heads for an inclined arrangement to the surface of a recording medium. Tintenstrahldruckköpfe mit einer geneigten Anordnung zur Oberfläche eines Aufzeichnungsträgers erzeugen eine gleichmäßigere Aufzeichnung auch bei schwankender Dicke des Aufzeichnungsträgers. Ink jet print heads with an inclined arrangement to the surface of a recording medium produce a more uniform recording even at varying thickness of the recording medium. Die Herstellung solcher Druckköpfe erfordert jedoch eine Vielzahl von Herstellungsschritten. The production of such print heads requires a large number of manufacturing steps. Es ist schwierig, die erforderliche Genauigkeit bei einem solch aufwendigen Gesamtaufbau jedes Druckkopfes zu garantieren. It is difficult to guarantee the required accuracy in such a complex overall structure of each print head. Ebenfalls aufwendig gestaltet sich auch die beim Betrieb erforderliche elektrische Ansteuerung solcher Druckköpfe mit gegeneinander versetzten Düsenreihen. Likewise complex also required in the operation of electrical control of such print heads with staggered rows of nozzles designed.
  • Die bereits beim Face-shooter-ink-jet-Modul mit zwei symmetrisch zur Düsenlinie angeordneten Gruppen von Tintenkammern erreichte doppelte Düsendichte in einer Reihe wird bisher bei Edge-shooter-ink-jet-Modulen mit einer Düsenreihe nicht erreicht. The already arranged symmetrically in the face shooter ink-jet module with two to the nozzle line groups of ink chambers reached double nozzle density in a row is not yet reached at Edge-shooter-ink-jet modules with a row of nozzles. Um die doppelte Abbildungsdichte zu erreichen, werden mehrere Düsenreihen zueinander horizontal und vertikal versetzt angeordnet. In order to achieve the double image density, a plurality of nozzle rows are arranged offset from each other horizontally and vertically.
  • Eine solche versetzte Anordnung von zwei Düsenreihen ist auch bei einem - in der Figur 2 gezeigten - Edge-shooter-Modul bekannt (First Annual Ink Jet Printing Workshop, March 26-27, 1992, Royal Sonesta Hotel, Cambridge, Massachusetts). Such offset arrangement of two rows of nozzles is also in a - known edge-shooter-module (First Annual Ink Jet Printing Workshop, March 26-27, 1992, Royal Sonesta Hotel, Cambridge, Massachusetts) - in the Figure 2 shown. Ein derartiger Modul besteht aus insgesamt nur drei Teilen (Glasstücken), einem Öffnungen aufweisenden Mittelteil und zwei Seitenteilen mit jeweils einer Reihe an Tintenkammern und einer Düsenreihe an der Stirnseite des jeweiligen Seitenteils. Such a module consists of only three parts (glass pieces), a foraminous central part and two side parts, each with a number of ink chambers and a nozzle row on the end face of the respective side part. Die beiden Reihen an Tintenkammern und die Düsenreihen an der Stirnseite des jeweiligen Seitenteils sind dabei zueinander versetzt, was wieder die bereits genannten Nachteile beim Zusammenfügen des Moduls und bei der Ansteuerung mit sich bringt. The two rows of ink chambers and the nozzle rows on the end face of the respective side portion are offset each other, which brings back the already-mentioned drawbacks when assembling the module, and when driven with it.
  • Diese Nachteile verschärfen sich noch zusätzlich, wenn ein Tintendruckkopf aus mehreren solchen Modulen zusammengesetzt ist. These disadvantages are exacerbated further when an ink print head of a plurality of such modules is assembled. So muß der Versatz der einzelnen Düsenreihen exakt gleich sein. Thus, the offset of the individual nozzle rows must be exactly the same. Außerdem wäre jeder Modul einzeln jeweils über eine Tintenzuführungsleitung und jeweils einen Filter an einen Tintenvorratsbehälter anzuschließen. In addition, each module would be connected individually in each case via an ink supply line and each having a filter at an ink reservoir.
  • Bei einer gegeneinander versetzten Anordnung von zwei Reihen mit jeweils einer geringen Düsendichte in jeder Reihe sind aufgrund einer erforderlichen Mindestgröße der Tintenkammer die minimalen Abstände zwischen den Düsen nicht weiter reduzierbar. With a staggered arrangement of two rows each having a low nozzle density in each row due to a necessary minimum size of the ink chamber, the minimum distances between the nozzles can not be further reduced.
  • Herstellungsbedingt ist es unmöglich, für alle Düsen eine gleichbleibende Düsengröße zu erreichen, denn es müssen Kanäle in separate Glasstücke geätzt werden. For production reasons, it is impossible to achieve a constant nozzle size for all nozzles, for it must be etched into separate pieces of glass channels. Bereits geringe Größen- oder Materialunterschiede zwischen den Glasstücken führen zu Abweichungen der Düsenform und Position. Even small size or material differences between the glass pieces lead to deviations of the nozzle shape and position.
  • Es ist Aufgabe, die Nachteile des Standes der Technik zu beseitigen und einen Ink-jet-Druckkopf mit einer hohen Düsendichte pro Reihe und dafür ein Herstellungsverfahren mit niedrigen Herstellungskosten zu schaffen. It is an object to eliminate the drawbacks of the prior art and to provide an ink-jet printhead having a high nozzle density per row, and for a production method with low production costs.
  • Die Aufgabe wird mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. The object is achieved with the characterizing features of claim 1.
  • Ausgehend von der Zielstellung, Tintenstrahldruckköpfe für eine geneigte Anordnung zur Oberfläche eines Aufzeichnungsträgers herzustellen, um eine gleichmäßigere Aufzeichnung auch bei schwankender Dicke des Aufzeichnungsträgers zu erzeugen, wird ein Ink-jet-Druckkopf, der einen In-Line-Modul mit einem Kantenausstoß aufweist, vorgeschlagen. Based on the target position make ink jet print heads for an inclined arrangement to the surface of a recording medium to produce a more uniform recording even at varying thickness of the recording medium, an ink-jet printhead having an in-line module with an edge ejection proposed ,
  • Die Erfindung geht davon aus, daß beim Kantenausstoß die Düsenreihe mit einer hohen Düsenzahl in einem Seitenteil eines Moduls untergebracht werden kann. The invention assumes that when edge ejecting the nozzle row can be housed at a high number of nozzles in a side part of a module. Erstmalig ist auf erfindungsgemäße Weise eine höhere Düsendichte, völlig unabhängig von den Abmaßen der Tintenkammern, erreichbar. Is for the first time on the present invention, a higher nozzle density, completely independent of the dimensions of the ink chambers, accessible.
  • Die Abmaße der Tintenkammern können nun sogar vergrößert werden, ohne daß die Düsendichte vermindert wird. The dimensions of the ink chambers can now be even larger without the nozzle density is reduced.
  • Die weiteren Vorteile neben der erhöhten Düsendichte des Edge-Shooter-Ink-Jet-In-Line-Druckkopfes (ESIJIL-Druckkopf) sind: The other advantages in addition to the increased nozzle density of the edge shooter ink jet in-line print head (ESIJIL print head) are:
    • Durch die in demselben Glasstück angeordneten Düsen, ist es möglich, für alle Düsen eine gleichbleibende Düsengröße und einen gleichen Abstand zu erreichen. By arranged in the same piece of glass nozzles, it is possible to achieve a constant orifice size and an equal distance for all the nozzles. Das ist dann der Fall, wenn vor dem Diffusions-Bond-Prozeß entsprechende Kanäle in das das Seitenteil des Moduls bildende Glasstück geätzt werden. This is the case when in the side of the part of the module forming glass piece etched prior to diffusion bonding process corresponding channels. Das reduziert auch die Herstellungskosten. This reduces the manufacturing costs.
    • Gegenüber der üblichen Konstruktion mit einer horizontalen Ausrichtung von zwei Reihen von Düsen ist ein Überlappen des jeweils zweiten Kammern tragenden Teils mit einer versetzten Kammergruppe mit größerer Toleranz möglich. Compared to the conventional design with a horizontal alignment of two rows of nozzles overlap of the respective second chambers-carrying part with an offset chamber group with a greater tolerance is possible.
    • Die erfindungsgemäße vertikale Ausrichtung des Teils mit den Düsen und eines Kammern tragenden Teils mit einer seitlich versetzten Kammergruppe ist unkritisch, da alle Düsen nur auf einer Seite des Druckkopfes sind. The vertical orientation of the part according to the invention with the nozzles and chambers of a carrying member with a laterally offset chamber group is not critical since all of the nozzles are only on one side of the printhead. Dies reduziert auch die Kosten. This also reduces the cost.
    • Die Düsenreihe macht es in unaufwendiger Weise möglich, den Druckkopf in einer geneigten Anordnung zum Aufzeichnungsträger anzuordnen. The row of nozzles makes it possible in less complex ways to arrange the print head in an inclined arrangement for recording medium.
    • Die elektrische Ansteuerung des Tintenstrahldruckkopfes kann einfacher ausgeführt werden, weil keine Kompensation des Düsenreihenabstandes durch zeitliche Staffelung der Drucksteuersignale erforderlich ist. The electrical control of the ink jet print head can be made simpler because there is no compensation of the nozzle row spacing required by staggering the pressure control signals.
  • Es ist vorgesehen, daß der Tintenstrahldruckkopf aus mehreren Modulen aufgebaut ist, wobei nur einer der Module die Düsenreihe trägt oder aus einem mehrteiligen Modul besteht. It is contemplated that the ink jet print head is built up of several modules, wherein only one of the modules carries the nozzle line, or consists of a multipart module. Es ist weiterhin vorgesehen, daß die Stirnkante des Kammern tragenden Teils, das die Düsenreihe trägt, am Rand oder in der Mitte eines Moduls angeordnet ist. It is further contemplated that the end edge of the chambers-carrying part carrying the nozzle line is arranged at the edge or in the middle of a module.
  • Das Verfahren zur Herstellung des Tintenstrahldruckkopfes, geht von der CAD-Entwicklung eines Druckkopfdesigns und einer Maskenherstellung für eine photosensible Glasplatte aus. The method for manufacturing the ink jet print head starts from the CAD design of a print head design and manufacture of a mask for a photosensitive glass plate.
  • Zur Erzeugung der gegen Ätzmittel empfindlichen aus der Glasplatte zu entfernenden Teile werden die maskierten Glasplatten mindestens einmal einer Bestrahlung mit UV-Licht entsprechender Wellenlänge mit anschließender Wärmebehandlung ausgesetzt. To generate the etchant to remove the glass plate from sensitive components the masked glass plates at least once subjected to irradiation with UV light of appropriate wavelength followed by heat treatment.
  • In einem parallelen Bearbeitungsprozeß werden dann die zu entfernenden Bereiche aus der Platte entfernt (herausgeätzt) und danach die Einzelteile für das Mittelteil und die Kammern tragenden Teile separiert. the areas to be removed from the disc is removed (etched), and thereafter the items bearing for the center part and the chambers parts are then separated in a parallel processing process.
  • Anschließend erfolgen gesonderte Herstellungsverfahrensschritte für die Kammern tragenden Teile, um die Tintenkammern und die Düsen herzustellen. Then take place separate manufacturing process steps for the chambers-carrying parts to form the ink chambers and the nozzles. Die Dauer des Ätzbades bestimmt dabei die Schichtdicke des entfernten Materials. The duration of the etching bath determines the layer thickness of the material removed.
  • Jeweils drei Einzelteile, bestehend aus jeweils zwei Kammern tragenden Teilen und einem Mittelteil, werden ausgerichtet und aneinandergeheftet sowie anschließend getempert. Three items, consisting of supporting two chambers parts and a central part, are aligned and adhered to each other and then annealed.
  • Zum Abschluß erfolgt eine Sonderbehandlung der Düsenkanäle und der Hohlräume (Kammern) und der Außenkante des Moduls, bevor der Druckkopf kontaktiert und montiert wird. is carried out to completion special treatment of the nozzle channels and the cavities (chambers) and the outer edge of the module, before the print head is contacted and assembled.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet bzw. werden nachstehend zusammen mit der Beschreibung der bevorzugten Ausführung der Erfindung anhand der Figuren näher dargestellt. Advantageous developments of the invention are characterized in the subclaims and will be described in more detail below together with the description of the preferred embodiments of the invention with reference to FIGS. Es zeigen: Show it:
  • Figur 1a, 1a,
    Prinzip eines Edge-Shooter-Ink-Jet-Druckkopfes nach dem Stand der Technik Principle of an edge shooter ink jet print head according to the prior art
    Figur 1b, Figure 1b,
    Prinzip eines Face-Shooter-Ink-Jet-Druckkopfes nach dem Stand der Technik Principle of a face-shooter ink jet print head according to the prior art
    Figur 1c, 1c,
    Prinzip des erfindungsgemäßen Aufbaues eines Edge-Shooter-Ink-Jet-In-Line-Druckkopfes Principle of the construction according to the invention of an edge shooter ink jet in-line print head
    Figur 2, Figure 2,
    Aufbau eines Edge-Shooter-Ink-Jet-Druckkopfes nach dem Stand der Technik Construction of edge shooter ink jet print head according to the prior art
    Figur 3, Figure 3,
    Aufbau des erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes in einer ersten Variante Structure of ESIJIL print head according to the invention in a first variant
    Figur 4, Figure 4,
    Röntgenbild des erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes in Draufsicht, X-ray image of the present invention ESIJIL print head in top view,
    Figur 5a, Figure 5a,
    Detail des Röntgenbildes Detail of the X-ray image
    Figur 5b, Figure 5b
    Schnitt durch die Linie AA Section through the line AA
    Figur 5c, 5c,
    Schnitt durch die Linie BB Section through line BB
    Figur 6a, 6a,
    Detail des Röntgenbildes einer zweiten Variante des erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes in Draufsicht, Detail of the X-ray image of a second variant of the invention ESIJIL print head in top view,
    Figur 6b, Figure 6b
    Schnitt durch die Linie AA Section through the line AA
    Figur 6c, 6c,
    Schnitt durch die Linie BB Section through line BB
    Figur 6d, Figure 6d,
    Röntgenbild der Frontansicht X-ray image of the front view
    Figur 7a, 7a,
    Frontansicht einer dritten Variante des erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes, Front view of a third variant of the ESIJIL print head according to the invention,
    Figur 7b, Figure 7b
    Röntgenbild der Frontansicht nach Figur 7a X-ray image of the front view of Figure 7a
    Figur 8, Figure 8,
    Herstellungsverfahren für den erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes, Manufacturing method of the invention ESIJIL printhead
    In der Figur 1a ist das bekannte Prinzip eines Edge-shooter-Tintenstrahldruckkopfes in perspektivischer Ansicht dargestellt. In the Figure 1a shows the known principle of an edge shooter type ink jet print head is shown in perspective view. Er besteht aus einem Modul, an dessen Stirnseite zwei zueinander in y-Richtung versetzte Düsenreihen liegen. It consists of a module, two offset on the end face to each other in the y direction are rows of nozzles. Dabei gehört zur Düsengruppe 1.1 der ersten Reihe eine erste Gruppe 101 an Tintenkammern und zur Düsengruppe 1.2 der zweiten Reihe eine Gruppe 102 an Tintenkammern. In this case belongs to the group of nozzles 1.1 of the first row a first group of ink chambers 101 and the nozzle group 1.2 the second row, a group 102 of ink chambers.
  • In der Figur 1b ist das bekannte Prinzip eines Face-Shooter-Ink-Jet-Tintenstrahldruckkopfes in perspektivischer Ansicht dargestellt. In the Figure 1b shows the known principle of a face-shooter inkjet ink jet print head is shown in perspective view. Er besteht aus einem Modul, in dessen Grundfläche zwei zueinander in z-Richtung versetzte Düsengruppen 1.1 und 1.2 in einer Reihe liegen. It consists of a module, two mutually offset in the base surface in the z-direction of the nozzle groups 1.1 and 1.2 are in a row. Aus einen Ansaugraum 151 bzw. 152 wird jeweils eine Gruppe an Tintenkammern 101 bzw. 102 für die Düsengruppe 1.1 bzw. für die versetzten Düsengruppe 1.2 mit Tinte versorgt. is supplied to the nozzle group and 1.1 for the staggered nozzle group 1.2 with ink each represent a group of ink chambers 101 and 102 from a manifold 151 or 152nd
  • Die Figur 1c zeigt in perspektivischer Ansicht das erfindungsgemäße Prinzip eines Edge-Shooter-Ink-Jet-In-Line-Druckkopfes (ESIJIL). Figure 1c shows a perspective view of a principle edge shooter ink jet in-line print head according to the invention (ESIJIL). Er besteht aus einem Modul, an dessen Stirnseite k≧2 zueinander horizontal versetzte Düsengruppen 1.1, 1.2 usw. in einer Reihe liegen. It consists of a module, on whose end face k ≧ 2 to each other horizontally offset nozzle groups 1.1, 1.2, etc. lie in a row. Der Tintenfluß von den Kammergruppen 101 - 104 im Volumen des Moduls wird an die Stirnkante des ersten Kammern tragenden Teils, welches quasi ein Seitenteil des Moduls bildet, geleitet. The flow of ink from the chamber groups 101 to 104 in volume of the module is transmitted to the end edge of the first chambers member which virtually constitutes a side part of the module, routed. Die Kammern einer Gruppe 101 - 104 sind dabei in y-Richtung gestaffelt und deren zugehörige abgehende Tintenkanäle werden so an die Druckkante geführt, daß sie Düsen 1.1 - 1.4 bilden, die in einer Reihe liegen aber dennoch einen sehr geringen Abstand haben. The chambers of a group 101 - 104 are thereby staggered in the y-direction and their associated outgoing ink channels are guided to the pressure edge that it nozzles 1.1 - 1.4 form, which lie in a row but still have a very small distance. In der Figur 1c ist dies erreicht, in dem die abgehenden Tintenkanäle einen gewissen seitlichen Versatz in z-Richtung aufweisen. In the Figure 1c this is achieved, in which the outgoing ink channels have a certain lateral displacement in the z direction. Ebenso können in einer anderen Ausführungsvariante die Kammern 101 - 104 selbst diesen seitlichen Versatz in z-Richtung aufweisen. Similarly, the chambers 101, in another variant - 104 itself may have this lateral displacement in the z direction. Die Aneinanderreihung derartiger Anordnungen ergibt schließlich die gewünschte Zahl an Düsen in einer Reihe. The juxtaposition of such arrangements finally gives the desired number of nozzles in a row. In Fig. 1c sind der Übersicht halber nur zwei solche Anordnungen gezeichnet. In Fig. 1c the sake of clarity only two such assemblies are drawn. Der seitliche Abstand der Düsen in z-Richtung ist dabei viel kleiner als der seitliche Abstand zweier in z-Richtung benachbarter Kammern 101 und 101 oder 102 und 102 usw. Die Tintentropfen werden aus den Düsen in x-Richtung ausgestoßen. The lateral spacing of the nozzle in the z direction is much smaller than the lateral distance between two adjacent chambers in the z-direction 101 and 101 or 102 and 102, etc. The ink drops are ejected from the nozzles in x-direction. Die Achsen x, y, z stehen jeweils orthogonal zueinander. The axes x, y, z are each mutually orthogonal. Das Hinzufügen weiterer Kammern 105, 106 usw. in y-Richtung ist prinzipiell möglich, und lediglich vom Aufwand begrenzt. Adding more chambers 105, 106, etc. in the y direction is possible in principle, and only limited by the expense. Seine positive Wirkung, nämlich Bildung nur einer Düsenreihe mit minimalem Düsenabstand, entfaltet das erfinderische Prinzip bereits mit 2 Kammergruppen 101 und 102. Its positive effect, namely the formation of only one row of nozzles with minimum nozzle spacing, unfolds the inventive principle already with two chamber groups 101 and 102nd
  • Der Aufbau eines bekannten -in der Figur 2 gezeigtenzweireihigen Edge-Shooter-Ink-Jet-Moduls besteht aus 3 Keramik- oder Glasteilen. The structure of a known -in the figure 2 gezeigtenzweireihigen edge shooter inkjet module consists of ceramic or glass 3 parts. Ein erstes Teil, welches auf seiner linken Seite eine erste Kammergruppe trägt, wird über ein Mittelteil mit einem zweiten Teil, welches auf seiner rechten Seite eine zweite Kammergruppe trägt, so in y-Richtung verbunden, daß die Kammern innen am Mittelteil anliegen und zueinander seitlich (horizontal) versetzt sind. A first part, which carries on its left side a first chamber group is connected via a central portion to a second part, which carries on its right side a second chamber group in y-direction so that the chambers abut the inside of the central part and laterally to each other (horizontal) are added. Jede Kammer ist über einen ersten Kanal mit einem Ansaugraum und mit einem zweiten Kanal mit der Stirnkante des Moduls verbunden. Each chamber is connected via a first channel having a suction chamber and a second channel with the front edge of the module. Jeder der zweiten Kanäle bildet eine Düse. Each of the second channels forming a nozzle. Es ist relativ schwierig, den Abstand der beiden Düsenreihen exakt einzuhalten. It is relatively difficult to maintain the distance between the two rows of nozzles accurately. Abweichungen führen aber bei konstanter zeitlicher Ansteuerung der beiden Düsenreihen zu Abweichungen im Druckbild, wodurch die Druckqualität gemindert wird. but deviations lead at constant temporal control of the two rows of nozzles, deviations in the printed image, whereby the print quality is reduced. Das Mittelteil weist eine erste Öffnung auf, die die Ansaugräume beider Außenteile miteinander und mit einer Tintenzuführungsöffnung verbindet. The middle part has a first opening connecting the suction chambers of both exterior parts to each other and an ink supply port. Außerdem sind Öffnungen für die Befestigungsmittel vorhanden. In addition, openings for the fastening means are provided.
  • Der in der Figur 3 gezeigte Modul einer ersten Variante eines erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes (k=2) besteht ebenfalls aus 3 Teilen, wobei jedoch das erste Kammern enthaltene Teil 2 alle Düsen 1 trägt, wobei das Mittelteil 3 eine Anzahl an zweiten und dritten Öffnungen 14 und 9 zusätzlich zu der ersten Öffnung 18, welche die Tintenzuführungsöffnung 16 mit einem in der Figur 3 nicht dargestellten Ansaugraum 15 verbindet, aufweist. The module of a first variant of a ESIJIL printhead (k = 2) shown in Figure 3 also consists of 3 parts, but wherein the first chambers contained Part 2 all of the nozzles 1 ', in which the central part 3 a number of second and third openings 14 and 9 in addition to the first opening 18, which connects the ink supply port 16 with a not shown in the figure 3 the suction chamber 15, has. Eine Tintenkammergruppe 101 und der Ansaugraum 15 befinden sich auf der in der Figur 3 nicht sichtbaren linken Seite des ersten Teils 2. Das zweite Kammern enthaltene Teil 4 trägt keine Düsen sondern nur noch die zweite Tintenkammergruppe 102, welche über die zweiten Öffnungen 14 des Mittelteils 3 mit Tinte versorgt wird. An ink chamber group 101 and the suction chamber 15 are located on the not visible in the figure 3 left-hand side of the first part 2. The part 4 given second chambers carries no nozzles but only the second ink chamber group 102, which via the second apertures 14 of the middle part 3 is supplied with ink. Die zugehörigen Düsen sind über die dritten Öffnungen des Mittelteils 3 mit den Tintenkammern des zweiten Teils 4 verbunden. The respective nozzles are connected via the third openings of the middle part 3 with the ink chambers of the second part. 4 Die Teile 2 - 4 werden in Richtung der y-Achse montiert. The parts 2-4 are mounted in the direction of the y-axis.
  • Das in der Figur 4 gezeigte Röntgenbild des erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopf-Modules in Draufsicht verdeutlicht die In-Line-Anordnung der Düsen und den seitlichen Versatz der Tintenkammergruppen 101 des ersten Kammern tragenden Teiles 2 und der Gruppe 102 des zweiten Kammern tragenden Teiles 4, zeigt die Lage der ersten Öffnung 18 im Mittelteil 3 zu der Tintenzuführungsöffnung 16 und zum Ansaugraum 15, der zweiten Öffnungen 14, die mit dem Ansaugraum 15 in Verbindung stehen und der dritten Öffnungen 9, die die Tinte den Düsen der zweiten Düsengruppe 1.2 zuführen. The X-ray image of the present invention ESIJIL printhead module in top view shown in the Figure 4 illustrates the in-line arrangement of the nozzles and the lateral offset of the ink chamber groups 101 of the first chambers-carrying part 2 and the group 102 of the second chambers-carrying part 4, shows the position of the first opening 18 in the middle part 3 to the ink supply port 16 and the suction chamber 15, the second openings 14, which communicate with the suction chamber 15 in connection and the third openings 9 which supply the ink to the nozzles of the second nozzle group 1.2. Es ist vorgesehen, daß die Düsen der Düsengruppe 101 mit den Düsen der Düsengruppe 102 innerhalb der Düsenreihe alternieren. It is contemplated that the nozzles of the nozzle group 101 alternate with the nozzles of the nozzle group 102 within the nozzle row.
  • In der Figur 5a ist ein Detail des Röntgenbildes aus der Figur 4 vergrößert dargestellt. In the figure 5a shows a detail of the X-ray image from the figure 4 is shown enlarged. Den im ersten Teil 2 gelegenen Kammern 11 der ersten Kammergruppe 101 sind Düsen der ersten Düsengruppe 1.1 in demselben Teil 2 zugeordnet. The first part 2 located in the chambers 11 of the first chamber group 101 are associated with the nozzles of the first nozzle group 1.1 in the same part. 2 Aus einem Ansaugraum 15 wird die Kammer 11 über einen der Kanäle 13 mit Tinte versorgt. the chamber 11 is supplied through one of the channels 13 with ink from a suction 15th Ein entsprechender Schnitt auf der Linie AA durch die Zeichnung in Figur 5a ist in der Figur 5b dargestellt. Is a corresponding section on the line AA through the drawing in figure 5a is shown in the figure 5b. Den im zweiten Teil 4 gelegenen Kammern 12 der zweiten Kammergruppe 102 sind Düsen der zweiten Düsengruppe 1.2 im anderen Kammern tragenden Teil 2 zugeordnet, wie aus dem in der Figur 5c gezeigten Schnitt BB ersichtlich ist. The second part located in the 4 chambers 12 of the second chamber section 102 are transmitted in the other chambers 1.2 part 2 allocated, as can be seen from the example shown in the figure 5c section BB nozzles of the second nozzle group. Aus dem im ersten Kammern tragenden Teil 2 gelegenen Ansaugraum 15 gelangt Tinte über einen anderen der Kanäle 13 und über eine der im Mittelteil 3 gelegenen zweiten Öffnungen 14 in die Kammer 12 des zweiten Kammern tragenden Teils 4. Von der Kammer 12 zur entsprechenden in dem ersten Kammern tragenden Teil 2 gelegenen Düse der Düsengruppe 12 besteht eine Verbindung über jeweils eine dritte Öffnung 9 im Mittelteil 3. located from the bearing in the first chamber part 2 suction chamber 15 enters ink via another of the channels 13 and one of the located in the middle part 3 the second openings 14 transmitted into the chamber 12 of the second chamber portion 4. From the chamber 12 to the corresponding ones in the first chambers-carrying part 2 located nozzle of the nozzle group 12 there is a connection via a respective third opening 9 in the central portion. 3
  • Die Figur 6a, b, c und d zeigen eine zweite Variante der erfindungsgemäßen Lösung. The Figure 6a, b, c and d show a second variant of the solution according to the invention. In der Figur 6a ist wieder eine Draufsicht auf ein Detail als Röntgenbild und in Figur 6d ist hierzu eine Vorderansicht eines Druckkopfes als Röntgenbild dargestellt. In the Figure 6a is again a top view of a detail of the X-ray image and in figure 6d is shown a front view of this, a printing head as a radiograph. Dem Röntgenbild werden Schnitte CC, DD und EE in der Ansicht Figur 6d überlagert. The X-ray sections CC, DD and EE are superimposed in the view Figure 6d. Daraus wird in Verbindung mit der Figur 6a die Lage der Tintenkammergruppen 101, 102, 103 und 104 ersichtlich. From this, the position of the ink chamber groups 101, 102, 103 and 104 is shown in conjunction with FIG 6a. Die Figur 6b zeigt eine Überlagerung von Schnitten durch die Linien AA und A1-A1 der Figuren 6a und 6d. Figure 6b shows a superposition of sections through the lines A and A1-A1 of the figures 6a and 6d. Die Figur 6c zeigt eine Überlagerung von Schnitten durch die Linien BB und B1-B1 der Figur 6a und 6d. Figure 6c shows a superposition of sections through the lines BB and B1-B1 of FIG 6a and 6d.
  • Die In-Line-Düsengruppen 1.1 - 1.4 von k=4 Kammergruppen 101,102,103, 104 befinden sich in einem jeweils ersten Teil 2, welches selbst nur eine erste 101 der k=4 Kammergruppen aufweist. The in-line nozzle groups 1.1 - 1.4 of k = 4 chamber groups 101,102,103, 104 are located in a respective first part 2, which itself has only a first 101 of the chamber k = 4 groups. Eine jeweils zweite Düsengruppe 1.2 im ersten Teil steht in Verbindung mit einer Kammer 12 der zweiten Kammergruppe 102 im zweiten Kammern tragenden Teil, die gegenüber einer Kammer 11 der ersten Kammergruppe 101 des ersten Kammern tragenden Teils 2 versetzt angeordnet ist, wobei die zweite Kammergruppe 102 durch Öffnungen 14 im Mittelstück 3 mit Tinte versorgt wird. A respective second nozzle group 1.2 in the first part is in communication with a chamber 12 of the second chamber section 102 is transmitted in the second chamber portion is arranged opposite to a chamber 11 of the first chamber group 101 of the first chambers-carrying part 2 are added, wherein the second chamber section 102 by 14 is provided in the middle piece 3 with ink openings.
  • Erfindungsgemäß sind im Mittelstück 3 zweite Öffnungen 14 zur Versorgung der zweiten Düsengruppe 1.2 mit Tinte vorhanden. According to the invention second openings 14 for supplying the second nozzle group 1.2 with ink are present in the middle piece. 3 Gegenüber den Öffnungen 9 in dem jeweiligen Mittelstück sind Öffnungen 10 im jeweils ersten Kammern tragenden Teil und eine Verbindung des zweiten Kammern tragenden Teils zur Verbindung der Kammern der jeweils zweiten Kammergruppe 102 mit den Düsenkanälen der zweiten Düsengruppe 1.2 im jeweils ersten Kammern tragenden Teil vorhanden. Compared with the openings 9 in the respective central piece openings 10 are transmitted in the respective first chambers part and a connection of the second chambers-carrying member for connecting the chambers of the respective second chamber section 102 with the nozzle channels of the second group of nozzles 1.2 carrying the respective first chambers part present.
  • Aus jeweils einem gemeinsamen Ansaugraum 15 im jeweils ersten Kammern tragenden Teil erfolgt die Versorgung der Tintenkammern 11, 12 im jeweils ersten und jeweils zweiten Kammern tragenden Teil. In each case a common suction space 15 carrying the respective first chambers, the supply part of the ink chambers 11 takes place, bearing 12 in the respective first and second chambers each part. Die Tintenzuführung zum Ansaugraum 15 geschieht über eine Öffnung 16 in demjenigen Teil 2, welches ein Seitenteil des Druckkopfes bildet, und über entsprechende Öffnungen 18, 22 im jeweiligen Mittelstück und weiteren Öffnungen 17, 19, 21 in den Kammern tragenden Teilen 2, 4, 6 und einer Öffnung 20 im Abstandsteil 5. The ink supply to the intake chamber 15 takes place via an opening 16 in the part 2, which forms a lateral part of the print head, and through respective openings 18, 22 in the respective central piece and further openings 17, 19, 21 bearing in the chambers parts 2, 4, 6 and an opening 20 in the spacer member. 5
  • Ein - in den Figuren 1 bis 6a nicht gezeigtes - piezoelektrisches Element 31 dient als hinlänglich bekanntes Mittel zum Austreiben von Tinte aus einer Kammer und kann auf der Kammeroberfläche oder in der Kammer angeordnet sein, um bei seiner Erregung einen Druck über die nachgiebige Kammerwand auf die Tintenflüssigkeit in der Kammer auszuüben, was zum Austritt eines Tintenstrahls aus der an die Kammer angeschlossene Düse führt. A - not shown in the figures 1 to 6a - piezo-electric element 31 serves as a well-known means for expelling ink from a chamber and can be arranged on the chamber surface or in the chamber when energized a pressure on the flexible chamber wall to the exert ink liquid in the chamber, resulting in the discharge of an ink jet from the nozzle connected to the chamber. In den Figuren 6b, 6c und 6d ist ein solches piezoelektrisches Element 31 auf der Kammeroberfläche angeordnet. In the figures, 6b, 6c and 6d, such a piezoelectric element 31 on the chamber surface is arranged. So ist zB die Kammer 12 von dem Element 31 durch eine dünne aus dem Material des Kammern tragenden Teils 4 bestehenden Schicht 30 getrennt, welche so elastisch ist, daß die Biegeenergie des Elements 31 nur unwesentlich gedämpft wird. Thus, the chamber is separated from the element 31 existing through a thin carrying out of the material of the chambers part 4 layer 30, for example 12, which is so elastic that the bending energy of the element 31 is attenuated only slightly. Ein Abstandsteil 5 weist eine entsprechende Aussparung 32 für das piezoelektrische Element 31 auf. A spacer 5 has a corresponding recess 32 for the piezoelectric element 31st
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausführung des Erfindungsgedankens ist jeweils eine längliche Öffnung in den Kammern tragenden Teilen vorgesehen, die mit einer entsprechend um 90 o gedrehten länglichen Öffnung in den Mittelteilen und Abstandsteilen in Verbindung steht. In a further advantageous embodiment of the inventive concept, an elongated opening in the chambers bearing parts is in each case provided which is in connection with a rotated corresponding to 90 o elongated opening in the center parts and spacers. Ein aus derartigen einzelnen Modulen aufgebauter Tintenstrahldruckkopf kennt keine Toleranzprobleme beim Zusammenfügen. A built-up of such individual modules inkjet printhead has no tolerance problems during assembly.
  • Durch die - in den Figuren 6a, b, c - sichtbaren und angedeuteten rechteckigen Öffnungen ist keine aufwendige Ausrichtung mit einer sehr hohen Genauigkeit beim Zusammenfügen der Teile mehr nötig, wie sie bisher beim Zusammenfügen von Teilen mit versetzten Düsenreihen erforderlich war. By - in the figures 6a, b, c - visible and indicated rectangular openings no complex alignment with a very high accuracy in joining the parts more is needed, as was required in the assembly of parts with staggered rows of nozzles so far. Die Form der Öffnungen kann in einer weiteren Variante oval oder als Langloch ausgebildet sein, wobei der kleine Durchmesser der Öffnungen den Durchlaßquerschnitt für den Tintenstrom bestimmt. The shape of the openings may be formed oval or as an elongated hole in a further variant, the small diameter of the openings determines the passage cross section for the flow of ink. Bei einer größeren Abweichung vom runden oder rechteckigen Querschnitt sind die Öffnungen 9 und 10 auch zweireihig auf Linien CC und DD anordenbar. With a larger deviation from the round or rectangular cross-section, the openings 9 and 10 are also in two rows can be arranged on lines CC and DD.
  • Es ist vorgesehen, daß bei einem Aufbau aus mehreren Modulen ein erster die Düsenreihe tragender Modul aus zwei Kammern tragenden Teilen 2 und 4, deren Kammergruppen 101 und 102 einem Mittelteil 3 zugewandt sind und mindestens ebenso ein zweiter Modul aus zwei Kammern tragenden Teilen 6 und 8 und einem Mittelteil 7 aufgebaut ist, daß jeder Modul einen Ansaugraum 15, 25 aufweist, daß ein Abstandsteil 5 mindestens zwischen den Modulen vorhanden ist, welches eine Tintenzuführungsöffnung 20 und Tintendurchführungsöffnungen 23, 26, die den Kammern des zweiten Moduls zugeordnet sind, sowie eine Aussparung 32 für das Mittel zum Austreiben 31 von Tinte aus einer Kammer aufweist, daß die Öffnungen 23, 24 an den dritten Öffnungen der Kammern tragenden Teile und der Mittelteile angeschlossen sind, um Tinte den Düsen aus den jeweiligen Kammern zuzuleiten, daß die Ansaugräume 15, 25 jedes Moduls über zweite Öffnungen 14, 24 mit den Kammern der Kammergruppen 101, 102, 103,..., 10k v It is contemplated that in an assembly of several modules, a first nozzle row of supporting module consists of two chambers-carrying parts 2 and 4, the chamber groups 101 and 102 are facing a central part 3 and at least as a second module consists of two chambers-carrying parts 6 and 8 and a middle portion 7 is configured in that each module has a suction chamber 15, 25 in that a spacer member is at least provided between the modules 5 which an ink supply port 20 and ink passage openings 23, 26 associated with the chambers of the second module, and a recess 32 has the means for expelling 31 of ink from a chamber that the openings 23, 24 transmitted to the third openings of the chambers parts and the middle parts are connected to supply ink to the nozzles of the respective chambers, that the suction chambers 15, 25 each module via second openings 14, 24 to the chambers of the chamber groups 101, 102, 103, ..., 10k v erbunden sind, um Tinte zuzuführen und daß in jedem Modul erste Öffnungen 18, 22 vorhanden sind, um die Tintenzuführung zu den Ansaugräumen zu sichern. are erbunden to supply ink, and that are present in each module, first openings 18, 22 to secure the ink supply to the Ansaugräumen.
    Das Herstellungsverfahren geht davon aus, daß ein Modul aus jeweils 3 Teilen zusammengesetzt ist und mit piezoelektrischen Elementen versehen und kontaktiert wird. The manufacturing method assumes that a module of 3 parts respectively is composed, and is provided with piezoelectric elements and contacted. Ein zweiter Modul wird mit dem ersten Modul über ein Abstandsteil 5 zu einem ESIJIL-Druckkopf zusammengefügt, wobei der zweite Modul mit den Teilen 6, 7, 8 keine Düsen aufweist, sondern nur entsprechende Öffnungen, die mit den dafür vorgesehenen Öffnungen in den Teilen 2, 3, 4 des ersten Moduls in Verbindung stehen. A second module is assembled with the first module via a spacer 5 at a ESIJIL print head, wherein the second module with the parts 6, 7, 8 has no nozzles, but only appropriate openings with the openings provided in the parts 2 are, 3, 4 of the first module in combination.
  • In einer dritten Variante wird ein ESIJIL-Druckkopf aus einem einzigen mehrteiligen Modul aufgebaut. In a third variant, a ESIJIL printhead from a single multi-piece module is built up. In der Figur 7a ist eine Frontansicht mit der In-Line-Düsenreihe und in der Figur 7b ein Röntgenbild der Vorderansicht beziehungsweise eine Überlagerung der Schnitte durch die Linien CC und EE dargestellt. In the figure 7a is a front view of the in-line row of nozzles and in the figure 7b a radiographic image of the front view and a superposition of the sections through the lines CC and EE. Auf dieser Linie CC liegen alle dritten Öffnungen. On this line CC are all third openings. Weitere Öffnungen auf einer Linie DD sind nicht vorgesehen. Further openings on a line DD are not provided. Es ist erkennbar, daß allein die Düsenabmaße die maximale Anzahl an Düsen auf der Reihe bestimmen. It is seen that the Düsenabmaße alone determine the maximum number of nozzles of the row. Besteht ein Erfordernis nach vergrößerten Kammerabmaßen, müßte lediglich das Volumen des Druckkopfes erhöht werden. There is a need for increased Kammerabmaßen, the volume of the print head should only be increased. Natürlich ist es zusätzlich ebenfalls bei Bedarf möglich, höhere Toleranzanforderungen durch solche in den Figuren 6 erläuterten Maßnahmen mit dritten Öffnungen auf einer Linie DD zu lösen. Of course, it is additionally also possible, if necessary, to dissolve higher tolerance requirements with those illustrated in Figures 6 measures with third openings on a line DD.
  • Im Unterschied zu den Abstandsteilen in den Figuren 6 sind hier die Abstandsteile zweiteilig und bestehen aus dem selben Material wie die piezoelektrischen Elementen (schwarz gekennzeichnet). In contrast to the spacer members shown in Figures 6, the spacers are in two parts and here consist of the same material as the piezoelectric elements (in black). Diese Elemente werden aus dem piezoelektrischen Material herausgearbeitet, welches auf der Kammeroberfläche angeordnet ist, wobei jedoch der Rand erhalten bleibt und nur in der unmittelbaren Umgebung der Elemente 31 Hohlräume 32 entstehen. These elements are machined from the piezoelectric material, which is disposed on the chamber surface, but the edge is preserved and only in the immediate vicinity of the elements 31 cavities 32 are formed. Im Rand sind sowohl Tintenzuführungsöffnungen als auch zweite und dritte Öffnungen herausgearbeitet. In the edge both ink feed openings as well as second and third openings are worked out. Nachdem die piezoelektrischen Elemente herausgearbeitet sind, werden diese kontaktiert, wobei Leiterbahnen auch auf dem Kammerboden und/oder außen auf der Schicht 30 verlaufen können. After the piezoelectric elements are worked out, this will be contacted with conductor tracks 30 may extend also on the chamber bottom and / or the outside of the layer.
  • In der Figur 8 sind die einzelnen Schritte für ein Herstellungsverfahren des erfindungsgemäßen ESIJIL-Druckkopfes aufgezeigt. In the figure 8, the individual steps of a manufacturing method of the ESIJIL print head according to the invention are shown.
    • Mittels Masken, welche die Struktur der verschiedenen herzustellenden Teile aufweisen, wird eine photosensible Platte aus amorphem Glas maskiert und einer UV-Bestrahlung ausgesetzt. By means of masks, which have the structure of the various parts to be produced is masked a photosensitive plate of amorphous glass and exposed to UV irradiation. Die bestrahlten Bereiche können später ca. 100 mal schneller geätzt werden, als unbestrahlte Bereiche. The exposed areas can be etched later times faster 100 than non-irradiated areas. Nach einer Wärmebehandlung erfolgt eine nochmalige UV-Bestrahlung. After heat treatment a repeated UV irradiation.
    • Zu den parallelen Bearbeitungsschritten für mehrere Teile eines Moduls gehört das Maskieren und anschließende Ätzen der durchgehenden Öffnungen. To the parallel processing steps for a plurality of parts of a module include the masking and subsequent etching of the through holes.
    • Beim Separieren der Einzelteile werden die fertigen Mittelteile ausgesondert. When separating the items the finished compositions parts are discarded.
    • Vor dem Herstellen der Tintenkammern wird die alte Maskenschicht durch Feinschleifen der Oberfläche der Kammerteile entfernt. Before making the ink chambers, the old mask layer is removed by fine grinding of the surface of the chamber portions. Anschließend wird die Oberfläche in den Bereichen maskiert, die nicht tiefengeätzt werden sollen. The surface is then masked in the areas that are not to be deep-etched. Nach dem Ätzen der Tintenkammern erfolgt ein Feinschleifen der Einzelteile auf Endmaß und ein anschließendes Maskieren zur Herstellung der Versorgungskanäle und der Tintendüsenkanäle, die eine geringere Tiefe als die Kammern aufweisen sollen. After etching, the ink chambers a fine grinding to the final dimensions of the individual parts and a subsequent masking for the preparation of the supply ducts and the ink nozzle channels which are to have a smaller depth than the chambers takes place. Der Materialabtrag erfolgt wieder durch Ätzen. The material is removed again by etching. Im Sonderfall wird nur die Ätzempfindlichkeit der UV-bestrahlten Bereiche des Materials ausgenutzt und eine Maske kann entfallen. In the special case, only the Ätzempfindlichkeit the UV-irradiated areas of the material is used and a mask can be omitted.
  • Es ist vorgesehen, daß für die drei Bereiche Ätzmittel mit unterschiedlicher Konzentration zum Einsatz kommen, um die entsprechenden Bereiche mit unterschiedlicher Tiefengenauigkeit entfernen zu können, wobei die Tiefengenauigkeit beim Ätzen der Bereiche für durchgehende Bohrungen geringer ist als beim Ätzen sehr flacher Bereiche für die Kanäle in den Kammern tragenden Teilen und wobei zuerst die durchgehenden Bohrungen, dann die Kammern und dann die Düsenkanäle geätzt werden. It is contemplated that come for the three areas etchant having different concentrations used, to remove the respective areas with different depth accuracy, the depth accuracy in the etching of the areas is smaller for through holes as in the etching very flat areas for the channels in the chambers-carrying parts and first the through bores, then the chambers and then the nozzle channels are etched. Es ist weiterhin vorgesehen, daß die Dicke der Bodenschicht 30 beim Ätzen der Kammern überwacht wird und daß die zum Abschluß der Herstellung der Kammern erforderliche Dicke der Bodenschicht 30 der Kammern durch Feinschleifen jeder der Kammern tragenden Teile erreicht wird. It is further contemplated that the thickness of the bottom layer 30 is monitored during the etching of the chambers and that required to complete the preparation of the chambers thickness of the bottom layer 30 of the chambers-carrying parts is achieved by fine grinding of each of the chambers.
    • Die Einzelteile werden in einem Modul verbunden, wobei die Einzelteile ausgerichtet werden. The individual parts are joined in a module, wherein the individual parts are aligned. Nach einem Aneinanderheften der Einzelteile ist ein Modul entstanden, welches anschließend getempert wird. After stringing stapling the items a module has been created, which is then annealed. Beim Tempern findet im Glasmaterial ein Phasenübergang von amorph zu kristallin statt. On annealing, a phase transition from amorphous takes place in the glass material to be crystalline.
    • Beim Abschneiden der Düsenspitzen mit einer rotierenden Trennscheibe entsteht eine gerade Stirnkante. When cutting nozzle tips with a rotating cutting blade, a straight front edge is formed. Eine ebene Oberfläche wird durch abschließendes Feinschleifen erreicht. A flat surface is achieved by final finish grinding.
  • Durch Spülen mit einer ersten geeigneten handelsüblichen Flüssigkeit entsteht eine hydrophile Innenbeschichtung. By flushing with a first suitable commercially available liquid arises a hydrophilic internal coating. Durch Behandlung der Stirnkante mit einer zweiten geeigneten Flüssigkeit wird eine hydrophobische Außenbeschichtung erreicht. a hydrophobic outer coating is achieved by treatment of the end edge with a second suitable liquid. Nach dem Aushärten der Oberschicht sind die Düsen fertiggestellt. After curing of the top layer, the nozzles are completed.
    • Die Auftragung der elektrischen Leiterbahnen auf die Kammeroberfläche, das Aufbringen der Piezokristalle und das Kontaktieren erfolgt in einer an sich bekannten Weise. The application of the electrical traces on the board surface, the application of the piezoelectric crystals and the contacting takes place in a manner known per se. Die Piezokristalle können einzeln aufgeklebt werden mit anschließendem Aushärten. The piezoelectric crystals can be glued individually, followed by curing. Es kann andererseits auch eine Schicht aus piezoelektrischem Material auf die Kammeroberfläche aufgetragen werden, welches anschließend strukturiert und kontaktiert wird. It can be applied to the chamber surface other hand, a layer of piezoelectric material which is subsequently patterned and contacted. Das Beschichten kann durch Sputtern erfolgen. The coating can be carried out by sputtering.
    • Zum Abschluß erfolgt noch eine Düsenreinigung mittels Druckluft. is carried out to completion or a nozzle cleaning by means of compressed air.
  • Die Herstellung der Kammern und der durchgehenden Bohrungen in den Einzelteilen kann in einer weiteren Variante des Herstellungsverfahrens in einem Schritt erfolgen. The production of the chambers and the through holes in the items can be effected in a further variant of the production method in one step. Dazu ist es erforderlich, daß die UV-Belichtung durch verschiedene Masken wiederholt wird, bevor die Platte geätzt wird. This requires that the UV exposure is repeated by different masks before the plate is etched. Eine weitere Möglichkeit besteht in einer UV-Belichtung mit unterschiedlicher Intensität. A further possibility consists in a UV exposure with varying intensity. Die Platte weist dann in unterschiedlichen Bereichen eine unterschiedliche Empfindlichkeit beim Ätzen auf. The plate then has a different sensitivity when etching in different areas. Auch die Trennlinie zwischen den einzelnen Teilen wird mit angeätzt, was ein nachträgliches Vereinzeln vereinfacht. The separation line between the individual parts is etched with, simplifying a subsequent separation. Die aufzutragende Maske enthält ausgesparte Bereiche für die Kammern und die Bohrungen gleichzeitig. The mask to be applied includes recessed areas for the chambers and the bores at the same time. Nach dem Ätzen erfolgt ein Feinschleifen auf Endmaß, wenn die Dicke der Schicht 30 am Kammerboden erreicht wird. After etching, a fine grinding is carried out to the final dimension, when the thickness of the layer 30 is reached at the bottom of the chamber. Die Herstellung der Tintendüsen und der piezoelektrischen Elemente, sowie die Kantenherstellung, erfolgt auf die og bekannte Weise. The preparation of the ink nozzles and the piezoelectric elements and the edges of the preparation, is carried out on the above mentioned known manner. In dieser Variante wird zum Kontaktieren der Kammergrund benutzt. In this variant, for contacting the chamber bottom is used. Anschließend wird die Platte in Einzelteile zerteilt, die anschließend zu einem Modul montiert werden. Subsequently, the plate is divided into parts which are then assembled into a module.
  • In einer weiteren Variante wird auch oder nur die Rückseite der Kammeroberfläche mit piezoelektrischen Elementen bestückt und kontaktiert. In a further variant, or only the back surface of the chamber is equipped with piezo-electric elements and contacts. Beim Kontaktieren vor dem Vereinzeln ist es vorteilhaft, daß auch die Mittelteile mit Leiterbahnen versehen werden können. In contacting before the separation, it is advantageous that the central parts can be provided with conductor tracks. Dadurch kann eine Leitungsführung von den anderen Schichten zu den oberen Schichten des Moduls kreuzungsfrei erfolgen, auch wenn sehr viele Elemente zu kontaktieren sind. This can be done without crossing a line guidance of the other layers to the upper layers of the module, even if many elements are to be contacted. Die Moduleinzelteile werden ausgerichtet aufeinandergeheftet und getempert, wobei ein Phasenübergang von amorph zu kristallin erfolgt. The module parts are successively stapled aligned and tempered, wherein a phase transition from amorphous to crystalline takes place. Es ist vorgesehen, daß Abstandsteile zwischen den Modulen liegen bzw. zusätzlich angeordnet sind und daß die Abstandsteile aus dem Plattenmaterial oder aus einer auf die Oberfläche der Platte aufgebrachten Schicht aus piezoelektrischem Material hergestellt werden, wobei ein Strukturieren durch Ätzen erfolgt. It is contemplated that spacer members between the modules are or are additionally arranged and in that the spacing parts are manufactured from plate material or a layer applied to the surface of the plate layer of piezoelectric material, a patterning is performed by etching. Ein Druckkopf kann aus mehreren Modulen montiert werden oder besteht nur aus einem Modul, der nach außen geführte Leiterbahnen aufweist, die extern kontaktiert werden. A print head can be assembled from several modules, or consists of only one module, which has led to the outside conductor tracks which are contacted externally. Der Druckkopf wird abschließend in einem Gehäuse untergebracht und kann auf Funktionsfähigkeit getestet werden, um fehlerhafte Exemplare auszusondern. The print head is finally housed in a housing and can be tested for functionality, to weed out defective copies. In einer weiteren Ausführungsform besteht das Plattenmaterial oder ein Teil der Einzelteile aus einer photosensiblen Keramik. In a further embodiment, the plate material or a part of the items for a photosensitive ceramic. Glasteile und/oder Keramikteile können untereinander auch durch eine Klebverbindung verbunden werden. Glass parts and / or ceramic parts can also be joined by an adhesive bond with each other.
  • Die Erfindung ist nicht auf die vorliegenden Ausführungsform beschränkt. The invention is not limited to the present embodiment. Vielmehr ist eine Anzahl von Varianten denkbar, welche von der dargestellten Lösung auch bei grundsätzlich anders gearteten Ausführungen Gebrauch machen. Rather, a number of variants which make use of the described solution even for basically different configurations.

Claims (30)

  1. Tintenstrahldruckkopf, der nach dem Edge-Shooter-Prinzip Düsen an einer Stirnkante eines Kammern tragenden Teils aufweist, welches mit Mitteln zum Zuführen und zum Austreiben von Tinte aus jeweils einer Düse zugeordneten Kammer ausgerüstet ist, wobei in jedem Kammern tragenden Teil eine Gruppe von Kammern auf der einem Mittelteil zugewandten Seite angeordnet sind, An ink jet print head, the part-bearing according to the edge shooter principle nozzle at an end edge of a chamber which is equipped with means for feeding and for expelling ink from one nozzle each associated chamber, bearing in each chamber part, a group of chambers are arranged a central portion facing side,
    dadurch gekennzeichnet, daß characterized in that
    eine einzige Düsenreihe, die zu k Kammergruppen (101, 102, 103, 104, ...) gehörige Düsengruppe (1.1, 1.2, 1.3, 1.4, ...) aufweist, an der Stirnkante eines ersten Kammern tragenden Teils (2) angeordnet ist, a single nozzle row having to k groups of chambers (101, 102, 103, 104, ...) nozzle group associated (1.1, 1.2, 1.3, 1.4, ...), bearing on the end edge of a first chamber part (2) arranged is
    daß die erste Düsengruppe (1.1) mit der in demselben Kammern tragenden Teil (2) gelegenen ersten Kammergruppe (101) verbunden ist, that the first group of nozzles (1.1) is connected to the bearing part in the same chambers located (2) first chamber group (101)
    daß die eine Düsengruppe (1.1, 1.2, 1.3, 1.4, ...) bildenden Düsen in einer Richtung z in einer Reihe angeordnet sind und Tintentropfen in einer dazu orthogonalen Richtung x ausstoßen, während die zugehörigen Kammern (101, 102, 103, 104, ...) in einer zu diesen beiden Richtungen x und z orthogonalen Richtung y angeordnet sind. that one nozzle group (1.1, 1.2, 1.3, 1.4, ...) forming the nozzle in a direction Z are arranged in a row and x eject ink drops in a direction orthogonal thereto, while the associated chambers (101, 102, 103, 104 , ...) x and z orthogonal direction y are arranged in one of these two directions.
    daß den Mitteln zum Zuführen von Tinte im Kammern tragenden Teil Öffnungen im Mittelteil zugeordnet sind, um die Hohlräume in den übrigen Kammern tragenden Teilen (4, 6, 8, ...) oder/und um die übrigen k-1 Düsengruppen in der Düsenreihe mit Tinte zu versorgen, wobei die k-1 Düsengruppen mit den zugehörigen in den übrigen Kammern tragenden Teilen (4, 6, 8, ...) gelegenen Kammergruppen (102, 103, 104, ...) in Verbindung stehen. that the means supporting the chambers part openings for supplying ink allocated in the central part to the cavities transmitted in the remaining chambers parts (4, 6, 8, ...) and / or to the remaining k-1 groups of nozzles in the nozzle row to be supplied with ink, the k-1 groups of nozzles with the associated bearing chambers in the other parts (4, 6, 8, ...) located chamber groups (102, 103, 104, ...) are connected.
  2. Tintenstrahldruckkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der Düsenreihe die Düsen der Düsengruppen mit Düsen der anderen Düsengruppen alternieren. Ink-jet printing head according to claim 1, characterized in that alternate the nozzles of the nozzle groups of nozzles of the other nozzle groups in the nozzle row.
  3. Tintenstrahldruckkopf nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Stirnkante des Teils, das die Düsenreihe trägt, am Rand oder in der Mitte eines Moduls angeordnet ist. Ink jet print head according to claims 1 and 2, characterized in that the end edge of the part carrying the nozzle line is arranged at the edge or in the middle of a module.
  4. Tintenstrahldruckkopf nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Tintenstrahldruckkopf aus mehreren Modulen aufgebaut ist, wobei nur einer der Module die Düsenreihe trägt oder aus einem mehrteiligen Modul besteht. Ink jet print head according to claims 1 to 3, characterized in that the ink jet head is composed of several modules, wherein only one of the modules carries the nozzle line, or consists of a multipart module.
  5. Tintenstrahldruckkopf nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der mehrteilige Modul aus mindestens zwei Kammern tragenden Teilen besteht, deren Kammergruppen einem Mittelteil zugewandt sind, und aus Abstandsteilen aufgebaut ist, daß mindestens eine erste Öffnung (18) in einem Mittelteil oder/und in einem Abstandsteil vorhanden ist, um Tintenzuführungsöffnungen (16, 17, 19, 20, 21) mit mindestens einem Ansaugraum (15, 151, 152) zu verbinden, daß das jeweilige Abstandsteil (5) oder/und das jeweilige Mittelteil (3, 7) eine Anzahl zweiter Öffnungen (14) zur Versorgung der mindestens einer jeweils zweiten Kammergruppe (102) mit Tinte aus dem mindestens einem Ansaugraum (15, 151, 152, 153, 154) aufweist, und die übrigen k-1 Düsengruppen (1.2, 1.3, ..., 1.K) mit den zugehörigen Kammergruppen (102, 103, ..., 10k) über dritte Öffnungen (23, 24) im Abstandsteil (5) oder/und Öffnungen 9 im Mittelteil (3, 7) sowie Öffnungen (10) im Teil (2) in Verbindung stehen. Ink jet print head according to claims 1 to 4, characterized in that the multi-part module consists of at least two chambers-carrying parts, whose chamber groups are facing a central portion, and is made up of spacers that at least one first opening (18) in a central part and / or is present in a spacer in order to connect the ink supply openings (16, 17, 19, 20, 21) with at least one intake chamber (15, 151, 152) such that the respective distance piece (5) and / or the respective middle part (3, 7 ) has a plurality of second openings (14) for supplying the at least one respective second chamber group (102) with ink from the (at least one intake chamber 15, 151, 152, 153, 154), and the remaining k-1 groups of nozzles (1.2, 1.3 , ..., 1.K) with the respective chamber groups (102, 103, ..., 10k) through third openings (23, 24) in the spacer (5) and / or openings 9 (in the middle part 3, 7) and are openings (10) in part (2) in combination.
  6. Tintenstrahldruckkopf nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem Aufbau aus mehreren Modulen ein erster die Düsenreihe tragender Modul aus zwei Kammern tragenden Teilen (2 und 4), deren Kammergruppen (101 und 102) einem Mittelteil (3) zugewandt sind und mindestens ebenso ein zweiter Modul aus zwei Kammern tragenden Teilen (6 und 8) und einem Mittelteil (7) aufgebaut ist, daß jeder Modul einen Ansaugraum (15, 25) aufweist, daß ein Abstandsteil (5) mindestens zwischen den Modulen vorhanden ist, welches eine Tintenzuführungsöffnung (20) und Tintendurchführungsöffnungen (23, 26), die den Kammern des zweiten Moduls zugeordnet sind, sowie eine Aussparung (32) für das Mittel zum Austreiben (31) von Tinte aus einer Kammer aufweist, daß die Öffnungen (23, 24) an den dritten Öffnungen der Kammern tragenden Teile und der Mittelteile angeschlossen sind, um Tinte den Düsen aus den jeweiligen Kammern zuzuleiten, daß die Ansaugräume (15, 25) jedes Moduls über Ink jet print head according to claims 1 to 5, characterized in that when an assembly of several modules, a first nozzle row of supporting module consists of two chambers-carrying parts (2 and 4), the chamber groups (101 and 102) facing a central portion (3) and is constructed at least as a second module consists of two chambers-carrying parts (6 and 8) and a central part (7), that each module has a suction chamber (15, 25), in that a spacer (5) is present at least between the modules which an ink supply port (20) and ink passage openings (23, 26) which are assigned to the chambers of the second module, and a recess (32) for the means for expelling (31) of ink from a chamber, in that the openings (23, 24 ) are connected to the third openings of the chambers-carrying parts and of the middle parts, to supply ink to the nozzles of the respective chambers, that the suction chambers (15, 25) of each module via zweite Öffnungen (14, 24) mit den Kammern der Kammergruppen (101, 102, 103, ... 10k) verbunden sind, um Tinte zuzuführen und daß in jedem Modul erste Öffnungen (18, 22) vorhanden sind, um die Tintenzuführung zu den Ansaugräumen zu sichern. second openings (14, 24) to the chambers of the chamber groups (101, 102, 103, ... 10k) are connected to supply ink, and that in each module the first openings (18, 22) are provided for the ink supply to the Ansaugräumen secure.
  7. Tintenstrahldruckkopf nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnt, daß die Mittel zum Zuführen bzw. Durchführen von Tinte längliche Öffnungen von rechteckiger oder ovaler Form oder aber ein Langloch sind, wobei die länglichen Öffnungen zueinander um 90 o verdreht übereinander und/oder untereinander liegen, daß längliche Öffnungen auf mindestens einer Linie CC oder DD nahe der Stirnkante liegen und der Versatz der Linien CC und DD der längsten Ausdehnung der länglichen Öffnungen und der seitliche Abstand von länglichen Öffnungen größer als die längste Ausdehnung der darunter- oder darüberliegenden um 90 o gedrehten länglichen Öffnungen ist, wobei der Querschnitt der sich beim Über- bzw. Untereinanderliegen der Öffnungen ergibt, größer als der Düsenquerschnitt ist, daß mindestens in jedem zweiten Kammern tragenden Teil ein Ansaugraum (15, 25) angeordnet ist, daß die Mittel zum Austreiben von Tinte piezoelektrische Elemente sind, die auf jeder Kammeroberfläche in Ink-jet printing head according to claim 5, characterized gekennzeichnt in that the means for supplying or conducting ink elongated openings of rectangular or oval form or a long hole, said elongated openings each other by 90 o twisted about each other and / or with one another are that elongated apertures lie on at least one line CC or DD close to the end edge and the offset of the lines CC and DD is the longest extent of the oblong openings and the lateral distance of oblong openings greater than the longest dimension of therebelow or greater is rotated by 90 o elongated openings, wherein the cross section resulting in over or under each other chairs of the openings is greater than the nozzle cross-section, in that supporting at least in every second chambers member is a suction space (15, 25) is arranged, that the means for expelling ink are piezoelectric elements, on each chamber surface in der Aussparung (32), der Abstandsteile oder in jeder Kammer angeordnet sind und daß die Abstandsteile aus dem Material der Kammern tragenden Teile, Mittelteile oder aus dem piezoelektrischen Material bestehen. the recess (32), the distance or parts arranged in each chamber, and in that the spacer members carrying out of the material of the chambers parts, middle parts or of the piezoelectric material.
  8. Verfahren zur Herstellung von Tintenstrahldruckköpfen, gekennzeichnet durch die Schritte: A method of manufacturing ink jet print heads, characterized by the steps of:
    - parallele Plattenbearbeitung bei der Herstellung von durchgehenden Bohrungen in allen Teilen, - parallel plate processing in the production of through bores in all parts,
    - spezielle Bearbeitung von Kammern tragenden Teilen, - special treatment of chambers supporting parts,
    - Verbinden der Einzelteile zu mindestens einem Modul mit anschließendem Tempern, - connecting the items to at least one module with subsequent annealing,
    - Aufbringen und Kontaktieren der piezoelektrischen Elemente mit aufgebrachten Leiterbahnen, - depositing and contacting of the piezoelectric elements with applied conductor tracks,
    - Assemblieren zum Druckkopf. - assembling the print head.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß Masken für den Vorbehandlungsprozeß von Plattenmaterial erstellt werden, um aus dem Plattenmaterial Bereiche für mindestens die Tintenkammern, Düsenkanäle und Zuführungskanäle, für den Ansaugraum und für durchgehende Öffnungen gezielt entfernen zu können, daß im Vorbehandlungsprozeß Platten über Masken mindestens einmal einer Bestrahlung mit UV-Licht entsprechender Wellenlänge mit anschließender Wärmebehandlung ausgesetzt werden, daß in einem parallelen Prozeß die zu entfernenden Bereiche aus der Platte herausgeätzt werden. A method according to claim 8, characterized in that masks are prepared for the pre-treatment process of plate material to remove from the plate material areas for at least the ink chambers, nozzle channels and feeding channels, for the suction space and for through openings selectively, that in the pretreatment process plates via masks at least once to an irradiation with UV light of appropriate wavelength can be exposed with subsequent heat treatment, that the areas to be removed from the plate are etched in a parallel process.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß im Vorbehandlungsprozeß der Platten alle zu entfernenden Bereiche mit UV-Licht gleicher Wellenlängen und Intensität ausgesetzt werden, daß vor dem Herausätzen der photosensibilisierten Bereiche der Platte eine erste Maske auf die Platte aufgebracht wird, wodurch erste Bereiche aus der Platte herausgeätzt werden, daß nach dem Herausätzen der ersten Bereiche die erste Maske wieder entfernt und eine zweite Maske auf die Platte aufgebracht wird, um zweite Bereiche aus der Platte herauszuätzen, daß nach dem Herausätzen der zweiten Bereiche die zweite Maske wieder entfernt und daß dritte Bereiche aus der Platte herausgeätzt werden. A method according to claim 9, characterized in that all areas to be removed with UV light of the same wavelengths and intensity are exposed in the pre-treatment process of the plates, that a first mask is applied to the plate before etching out the photosensitised areas of the plate, thereby forming first regions of the plate are etched out that, after etching out said first areas, the first mask is removed again and a second mask is applied to the plate to etch out of second areas out of the plate, that, after etching out said second areas, the second mask is removed again and that third areas of the plate are etched out.
  11. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß im Vorbehandlungsprozeß unterschiedliche Masken für das Plattenmaterial in Einsatz kommen, wobei Bereiche der Platte einer öfteren oder stärkeren Bestrahlung mit UV-Licht entsprechender Wellenlängen ausgesetzt sind als andere Bereiche der Platte, wodurch die Bereiche des Plattenmaterials, die unterschiedlich sensibilisiert für das Ätzmittel sind, entstehen, daß im Prozeß der parallelen Plattenbearbeitung eine Maske für unterschiedlich tief zu entfernende Bereiche auf die Platte aufgetragen wird und daß ein Ätzmittel bestimmter Konzentration zum Einsatz kommt. A method according to claim 9, characterized in that different masks come for the sheet material in use in the pretreatment process, wherein areas of the plate a frequent or stronger radiation with UV light of appropriate wavelengths are exposed than other areas of the plate, whereby the portions of the plate material, the sensitized different for the etchant, are created in that a mask for different depths to be removed regions is applied to the plate in the process of parallel plate processing and that a certain etchant concentration is used.
  12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß für die drei Bereiche Ätzmittel mit unterschiedlicher Konzentration zum Einsatz kommen, um die entsprechenden Bereiche mit unterschiedlicher Tiefengenauigkeit entfernen zu können, wobei die Tiefengenauigkeit beim Ätzen der Bereiche für durchgehende Bohrungen geringer ist als beim Ätzen sehr flacher Bereiche für die Kanäle in den Kammern tragenden Teilen und wobei zuerst die durchgehenden Bohrungen, dann die Kammern und dann die Düsenkanäle geätzt werden. A method according to claim 10, characterized in that come for the three areas etchant having different concentrations used, to remove the respective areas with different depth precision, wherein the depth precision during the etching of areas for through bores is lower than the etching very flat areas for the channels in the chambers-carrying parts and first the through bores, then the chambers and then the nozzle channels are etched.
  13. Verfahren nach den Ansprüchen 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Bodenschicht (30) beim Ätzen der Kammern überwacht wird und daß die zum Abschluß der Herstellung der Kammern die erforderliche Dicke der Bodenschicht (30) der Kammern durch Feinschleifen jeder der Kammern tragenden Teile erreicht wird. A method according to claims 8 to 12, characterized in that the thickness of the bottom layer (30) during the etching of the chambers is monitored and that the completion of the preparation of the chambers, the required thickness of the bottom layer (30) of the chambers transmitted by fine grinding of each of the chambers parts is achieved.
  14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 8 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß nach der parallelen Bearbeitung des Plattenmaterials Einzelteile aus der Platte separiert und getrennt weiterbearbeitet werden. Method according to one of the preceding claims 8 to 13, characterized in that, after parallel processing of the plate material separated items from the plate and further processed separately.
  15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Ätzen der durchgehenden Bohrungen in allen Einzelteilen die Einzelteile separiert werden, daß die Kammern tragenden Teile nach dem Feinschleifen der Oberfläche maskiert werden, daß durch Tiefenätzen der nicht maskierten Bereiche Hohlräume oder/und Tintenkammern in den Kammern tragenden Teilen erzeugt werden, daß durch Feinschleifen auf Endmaß der einen Oberfläche die Tiefe der Kammern, daß durch Feinschleifen auf Endmaß der anderen Oberfläche die erforderliche Dicke der Bodenschicht (30) am Kammergrund exakt eingestellt und daß durch das Feinschleifen die Maske für das Tiefenätzen entfernt wird sowie daß anschließend ein Ätzen der Tintendüsen erfolgt. A method according to claim 14, characterized in that the individual parts are separated after the etching of through-holes in all the items that the chambers-carrying parts are masked after the fine grinding of the surface, that by deep etching the unmasked areas of cavities or / and ink chambers in the chambers-carrying parts are generated, that by fine-grinding to the final dimensions of the one surface, the depth of the chambers, that the required thickness of the bottom layer (30) set precisely by fine-grinding to the final dimensions of the other surface at the chamber bottom, and that removed by the fine grinding, the mask for the deep etching and that is followed by etching of the ink nozzles.
  16. Verfahren nach dem Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß beim Ätzen der Tintendüsen im wesentlichen photosensibilisiertes Plattenmaterial entfernt wird oder daß vor dem Ätzen eine dritte Maske aufgebracht wird. The method according to claim 15, characterized in that is removed during etching of the ink nozzles in the substantially photo-sensitized plate material or that a third mask is applied before the etching.
  17. Verfahren nach den Ansprüchen 8, 9, 11, 13, 14, und 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Herstellung der Hohlräume, Kammern und durchgehenden Bohrungen parallel in einem Schritt erfolgt, nachdem die zu entfernenden Bereiche auf dem Plattenmaterial unterschiedlich photosensibilisiert worden sind, woraus eine unterschiedliche Ätzgeschwindigkeit resultiert, daß nach der Herstellung der erforderlichen Tiefe der Hohlräume und der Kammern und der erforderlichen Dicke der Bodenschicht (30) der Kammern tragenden Teile eine Separierung in Einzelteile vorgenommen wird, daß anschließend die Tintendüsen in die Kammern tragenden Teile geätzt werden. The method of claims 8, 9, 11, 13, 14, and 16, characterized in that, the production of the cavities, chambers and through bores takes place in parallel in one step after the areas to be removed have been photosensitized differently on the plate material, from which a different etching speed result, bearing after the preparation of the required depth of the cavities and the chambers and the required thickness of the bottom layer (30) of the chambers parts is carried out a separation into individual parts, that subsequently, the ink nozzles transmitted in the chambers parts are etched.
  18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß im parallelen Plattenbearbeitungsprozeß die Trennlinien zwischen den Einzelteilen auf der Platte mit angeätzt werden, um ein nachfolgendes Separieren zu erleichtern. A method according to claim 17, characterized in that in the parallel plate treatment process, the separating lines between the individual parts on the plate with etched in order to facilitate a subsequent separation.
  19. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß nach Ätzen der Tintendüsen mindestens vereinzelte Plattenteile, wie Kammern tragende Teile, Mittelteile zu einem Modul zusammengefügt werden, wobei nach einem Ausrichten der Einzelteile ein Aneinanderheften erfolgt, daß die aneinander gehefteten Einzelteile miteinander dauerhaft verbunden werden und anschließend eine gerade Stirnkante durch Abschneiden der Düsenspitzen und durch Feinschleifen eine ebene Oberfläche der Stirnkante entsteht, daß durch Spülen der Hohlräume des Moduls mit einer ersten Spezialflüssigkeit eine hydrophile Innenbeschichtung und durch eine Behandlung der Oberfläche der Stirnkante mit einer zweiten Spezialflüssigkeit eine hydrophobische Außenbeschichtung, welche anschließend ausgehärtet werden, entstehen. Method according to one of the preceding claims, characterized in that load-bearing parts, the middle parts are assembled into a module by etching the ink nozzles least thunderstorms plate parts, such as chambers, wherein after aligning the items have a stringing stapling is carried out in that the mutually tacked items are permanently connected to each other and then a straight face edge is formed a flat surface of the front edge by cutting off the nozzle tips and by fine grinding, that a hydrophobic outside coating by rinsing the hollow spaces of the module with a first special liquid, a hydrophilic internal coating and by treating the surface of the face edge with a second special liquid, which are then cured arise.
  20. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Herstellen der Düsen und der Beschichtung ein Aufbringen der elektrischen Leiterbahnen und der Piezokristalle auf den Kammergrund oder/und auf die Außenoberfläche der Bodenschicht (30) sowie daß ein Kontaktieren erfolgt. Method according to one of the preceding claims 1 to 19, characterized in that an application of the electrical conductors and the piezoelectric crystals on the chamber bottom or / and on the outer surface of the bottom layer (30) and that a contacting is effected after the production of nozzles and coating.
  21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Piezokristalle aufgeklebt werden und die Klebeverbindung ausgehärtet wird. A method according to claim 20, characterized in that the piezoelectric crystals are glued on and the glued joint is cured.
  22. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte, aus welcher die Einzelteile hergestellt werden, aus amorphem, photoseniblem Glas besteht, daß die dauerhafte Verbindung der Einzelteile zu einem Modul durch Tempern erfolgt, wobei die Temperatur so gewählt ist, daß ein Phasenübergang von amorph zu kristallin erfolgt. A method according to claim 19, characterized in that the plate from which the individual parts are produced, consisting of amorphous, photoseniblem glass, that the permanent connection of the parts takes place at a module by annealing, the temperature is selected such that a phase transition from done amorphous to crystalline.
  23. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufbringen der Leiterbahnen und/oder einer Schicht aus piezoelektrischem Material durch Sputtern erfolgt, daß die piezoelektrische Schicht strukturiert und kontaktiert wird. A method according to claim 20, characterized in that the application of the conductor tracks and / or a layer of piezoelectric material is performed by sputtering, that the piezoelectric layer is structured and contacted.
  24. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß einzelne Module über mindestens ein Abstandsteil miteinander verbunden zu einem Tintenstrahldruckkopf assembliert werden oder ein mehrteiliges Modul verwendet wird, und daß ein Einbau des Tintenstrahldruckkopfes in ein Gehäuse und ein Herstellen von elektrischen Verbindungen erfolgt. Method according to one of the preceding claims 1 to 23, characterized in that individual modules are connected to each other via at least one spacer member assembled to an ink jet print head or a multi-piece module is used and in that a mounting of the ink jet print head in a housing and a making electrical connections takes place ,
  25. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , daß die Abstandsteile aus dem Plattenmaterial oder aus einer auf die Oberfläche der Platte aufgebrachten Schicht aus piezoelektrischem Material hergestellt werden, wobei ein Strukturieren durch Ätzen erfolgt. Method according to one of the preceding claims, characterized in that the spacing parts are manufactured from plate material or a layer applied to the surface of the plate layer of piezoelectric material, a patterning is performed by etching.
  26. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandsteile aus dem Plattenmaterial im parallelen Plattenbearbeitungsprozeß vor dem Separieren strukturiert werden. Method according to one of the preceding claims, characterized in that the distance pieces are structured out of the plate material in the parallel plate treatment process prior to separation.
  27. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Düsenreinigung mittels Druckluft nach Fertigstellung eines jeden Moduls und/oder nach Fertigstellung des Druckkopfes erfolgt. Method according to one of the preceding claims, characterized in that a nozzle cleaning by means of compressed air after the completion of every module and / or is carried out after completion of the print head.
  28. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß nach Fertigstellung des Druckkopfes dessen Funktionsfähigkeit getestet wird und daß fehlerhafte Exemplare ausgesondert werden. Method according to one of the preceding claims, characterized in that its functioning is tested after completion of the printing head and that erroneous copies are discarded.
  29. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß während des parallelen Plattenbearbeitungsprozesses oder danach ein Aufbringen von elektrischen Leiterbahnen auf die Mittelteile erfolgt, um eine kreuzungsfreie Leitungsführung zu erzielen. A method according to claim 20, characterized in that takes place on the central portions during the parallel plate treatment process or after an application of electrical conductor tracks to achieve a crossing-free line guide.
  30. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 29, dadurch gekennzeichnet, daß das Plattenmaterial aus einer photosensiblen Keramik und/oder ein zweites Plattenmaterial aus photosensiblem, amorphem Glas besteht, daß mindestens ein Einzelteil eines Moduls aus Glas- oder Keramikmaterial hergestellt wird und daß zum Verbinden der Einzelteile eine Klebeverbindung eingesetzt wird. Method according to one of the preceding claims 1 to 29, characterized in that the plate material of a photosensitive ceramic and / or a second plate material of photo sensitive, amorphous glass, in that at least one individual part of a module of glass or ceramic material is produced and that for connecting the items will be used an adhesive bond.
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