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Die vorliegende Erfindung betrifft
eine Meßvorrichtung
zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik,
um innerhalb eines großen
dynamischen Bereichs die Messung der Wellenlängen-Verstärkungscharakteristiken optischer
Einrichtungen wie Halbleiter-Lichtverstärker und Lichtleiterverstärker, die
Wellenlängen-Verlustcharakteristiken
von Lichtleitergittern, Gittern vom Wellenleitertyp und anderen
Filtertypen und dergleichen zu realisieren, sowie ein die Meßvorrichtung
verwendendes Kalibrierverfahren.
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Herkömmlich werden Lichtdurchlaßcharakteristiken
einer optischen Einrichtung, z. B. die Verstärkungscharakteristiken eines
Lichtleitverstärkers oder
die Verlustcharakteristiken eines Bandpaßfilters zur Extraktion einer
bestimmten Wellenlänge
bei der Wellenlängenmultiplex-
bzw. WDM-Kommunikation nach einem der folgenden Verfahren gemessen:
- (1) Einleiten von Ausgangslicht von einer Breitbandlichtquelle
wie etwa einer weißen
Lichtquelle oder superstrahlenden LED in die optische Einrichtung
und Einleiten von Ausgangslicht von der optischen Einrichtung in
einen optischen Spektralanalysator, um dadurch die Charakteristiken
zu messen; und
- (2) Ändern
der Wellenlänge
einer wellenlängenabstimmbaren
Lichtquelle in bestimmten Schritten innerhalb der Bandbreite, Einleiten
von Ausgangslicht von der Lichtquelle in die optische Einrichtung
und Messen des Ausgangslichtwerts der optischen Einrichtung für jede Wellenlänge mit
einem Lichtleistungsmesser.
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Bei der Realisierung der Messung
von Wellenlängen-Verlust-/-Verstärkungscharakteristiken
innerhalb eines großen
dynamischen Bereichs mit den vorstehenden Verfahren ergeben sich
jedoch die nachstehenden Probleme.
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Verfahren (1) verlangt eine Breitbandlichtquelle,
die sehr hohe Leistung hat, oder einen optischen Spektralanalysator,
der sehr hohe Empfindlichkeit und einen großen dynamischen Bereich hat.
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Verfahren (2) verlangt eine wellenlängenabstimmbare
Lichtquelle mit einem sehr großen
Seitenmodenunterdrückungsverhältnis (SMSR).
Bei dem bekannten Verfahren ist die Rauschgrenze beim Spitzenwert
50 dB.
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Die vorliegende Erfindung wurde im
Hinblick auf die vorstehende Situation gemacht, um die genannten
Probleme zu lösen,
und die Aufgabe der Erfindung ist die Bereitstellung einer Meßvorrichtung zum
Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik,
die innerhalb eines großen
dynamischen Bereichs die Messung von Lichtdurchlaßcharakteristiken
wie etwa von Wellenlängen-Verlust-/-Verstärkungscharakteristiken
realisieren kann durch Verwendung einer wellenlängenabstimmbaren Lichtquelle
und eines Spektroskops und deren Vorteile dadurch maximieren kann,
daß sie
mit derselben Wellenlänge
betrieben werden.
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Zur Lösung der vorstehenden Aufgabe
wird gemäß dem ersten
Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Meßvorrichtung zum Messen der
Lichtdurchlaßcharakteristiken
eines zu messenden Objekts bereitgestellt, die folgendes aufweist:
eine
wellenlängenabstimmbare
Lichtquelleneinheit, die eine Wellenlänge von Ausgangslicht in Abhängigkeit
von einem ersten Wellenlängeneinstellsignal
einstellen kann und das Ausgangslicht in das Objekt einleitet;
eine
Spektroskopeinheit, die nur für
Licht einer vorbestimmten Wellenlänge die Spektroskopie ausführt und
eine ausgewählte
Wellenlänge
in Abhängigkeit von
einem zweiten Wellenlängeneinstellsignal
einstellen kann und die Spektroskopie von Licht ausführt, das
durch das Objekt hindurchtritt; und
eine Verarbeitungseinheit
zum Einstellen der Wellenlänge
des Ausgangslichts von dem wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitt
und der ausgewählten
Wellenlänge
der Spektroskopeinheit auf eine gleiche Wellenlänge durch Ausführen einer
Abstimmungssteuerung an dem ersten Wellenlängeneinstellsignal und dem
zweiten Wellenlängeneinstellsignal,
so daß dadurch
Lichtdurchlaßcharakteristiken des
Objekts aus einem Ausgangssignal von der Spektroskopeinheit erhalten
werden.
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Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden
Erfindung wird ein Kalibrierverfahren angegeben, das die obige Meßvorrichtung
zur Messung der Lichtdurchlaßcharakteristik
verwendet und die folgenden Schritte aufweist: Einstellen einer
Wellenlänge
von Ausgangslicht von der wellenlängenabstimmbaren Lichtquelleneinheit;
Erhalten einer Wellenlänge
mit einem Spitzenwert der Wellenlänge, die in der Spektroskopeinheit
der Spektroskopie durch Wellenlängenabfahren
der Spektroskopeinheit in einem Wellenlängenbereich unterzogen worden
ist, der die eingestellte Wellenlänge aufweist; Bewirken, daß die Verarbeitungseinheit
eine Wellenlängendifferenz zwischen
der eingestellten Wellenlänge
der wellenlängenabstimmbaren
Lichtquelleneinheit und der Wellenlänge mit dem Spitzenwert erhält; Bewirken, daß die Verarbeitungseinheit
Wellenlängendifferenzdaten
von einer von der wellenlängenabstimmbaren Lichtquelleneinheit
und der Spektroskopeinheit erhält,
die der Wellenlängendifferenz
entsprechen; Bewirken, daß die
Verarbeitungseinheit aktuelle Wellenlängeneinstelldaten mit den Wellenlängendifferenzdaten
kalibriert; und Wellenlängenabstimmen
der wellenlängenabstimmbaren
Lichtquelleneinheit und der Spektroskopeinheit durch Ausführen eines
Wellenlängenabstimmvorgangs
unter Verwendung der Verarbeitungseinheit.
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Das Verständnis der Erfindung ergibt
sich aus der nachstehenden genauen Beschreibung in Verbindung mit
den beigefügten
Zeichnungen; diese zeigen in:
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1 ein
Blockbild einer Vorrichtung zum Messen einer Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der ersten
Ausführungsform
der Erfindung;
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2 ein
Flußdiagramm
eines Wellenlängenabstimmvorgangs
unter Verwendung der Vorrichtung zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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3 ein
Blockbild einer Vorrichtung zum Messen einer Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der zweiten
Ausführungsform
der Erfindung;
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4 ein
Blockbild einer Vorrichtung zum Messen einer Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß einer
dritten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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5 ein
Flußdiagramm
eines Kalibrierverfahrens unter Verwendung der Vorrichtung zum Messen
der Lichtdurchlaßcharakteristik
der vorliegenden Erfindung;
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6 ein
Blockbild einer Vorrichtung zum Messen einer Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß einer
vierten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung; und
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7 ein
Blockbild einer Vorrichtung zum Messen einer Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß einer
fünften
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Es wird nun im einzelnen auf die
derzeit bevorzugten Ausführungsformen
der Erfindung Bezug genommen, wie sie in den beigefügten Zeichnungen dargestellt
sind, in denen gleiche oder entsprechende Teile in sämtlichen
Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen sind.
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Es folgt zuerst eine Übersicht über die
vorliegende Erfindung. Zur Lösung
der vorgenannten Aufgabe ist gemäß der vorliegenden
Erfindung eine Meßvorrichtung
(1) zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik vorgesehen,
die dadurch gekennzeichnet ist, daß sie folgendes aufweist:
einen
Eingabeabschnitt 9 zum Eingeben von Wellenlängeninformation
einschließlich
eines Meßwellenlängenbereichs
und einer Kalibrierwellenlänge;
einen wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitt 1 zur Ausgabe von Licht, das so gesteuert
ist, daß es eine
vorbestimmte Wellenlänge
hat;
einen Steuerabschnitt 13 für die abstimmbare Wellenlänge zur
veränderlichen
Steuerung der Wellenlänge
von Ausgangslicht von dem wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitt
auf der Basis der von dem Eingabeabschnitt eingegebenen Wellenlängeninformation;
einen
Lichtausgabeabschnitt 3 zum Einleiten von Ausgangslicht
des wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitts in ein zu messendes Objekt; einen Lichteinleitungsabschnitt 4 zum
Einleiten von Licht, das das Objekt durchsetzt hat;
einen Spektroskopabschnitt 6 zum
Empfangen des Eingangslichts von dem Lichteinleitungsabschnitt zur Durchführung der
Spektroskopie nur für
Licht mit einer vorbestimmten Wellenlänge und zur Ausgabe des resultierenden
Lichts; einen Steuerabschnitt 14 für die spektrale Wellenlänge zur
veränderlichen Steuerung
der Wellenlänge,
die der Spektroskopie in dem Spektroskopabschnitt zu unterziehen
ist, auf der Basis der von dem Eingabeabschnitt eingegebenen Wellenlängeninformation;
einen
Lichtempfangsabschnitt 7 zum Empfang des Lichts von dem
Spektroskopabschnitt und zur lichtelektrischen Umwandlung des Lichts;
einen A/D-Umwandlungsabschnitt 8 zur Umwandlung des durch die
lichtelektrische Umwandlung in dem Lichtempfangsabschnitt erhaltenen
Signals in ein Digitalsignal; und
einen Verarbeitungsabschnitt 12 zum
Wellenlängenabstimmen
des wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitts und des Spektroskopabschnitts auf die gleiche
Wellenlänge
und zum Erhalten eines Lichtempfangswerts von dem durch A/D-Umwandlung
erhaltenen Digitalsignal.
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Eine Meßvorrichtung (2) zum
Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der vorliegenden Erfindung
ist dadurch gekennzeichnet, daß sie
eine Lichtquelle 22 einer Referenzwellenlänge zum
Ausgeben von Licht einer bekannten Wellenlänge in der vorstehenden Meßvorrichtung
(1) zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik aufweist und
daß sie
außerdem
eine Strahlengang-Umschalteinrichtung 24 hat,
die in einem Gehäuse
vorgesehen ist, um Ausgangslichtstrahlen von der Lichtquelle 22 der
Referenzwellenlänge
und dem wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitt 1 umzuschalten.
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Eine Meßvorrichtung (3) zum
Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der vorliegenden Erfindung
ist dadurch gekennzeichnet, daß sie
eine Polarisationssteuereinrichtung 21 aufweist, die zwischen
dem wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitt 1 und dem Lichtausgabeabschnitt 3 angeordnet
ist, um den Polarisationszustand von Ausgangslicht von dem Lichtquellenabschnitt
mit abstimmbarer Wellenlänge
in der obigen Vorrichtung (1) zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
zu ändern.
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Ein Kalibrierverfahren (4),
das eine Meßvorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung zum Messen einer Lichtdurchlaßcharakteristik verwendet, ist
ein Verfahren, das eine der obigen Vorrichtungen (1) bis
(3) zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik verwendet,
und ist gekennzeichnet durch Wellenlängenabstimmen des Lichtquellenabschnitts
mit abstimmbarer Wellenlänge
und des Spektroskopabschnitts durch Ausführen einer Wellenlängenabstimmungsverarbeitung,
die folgendes aufweist:
den Schritt des Einstellens der Wellenlänge von
Ausgangslicht von dem wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitt 1;
den
Schritt des Erhaltens einer Wellenlänge mit dem Spitzenwert von
Licht, das in dem Spektroskopabschnitt 6 der Spektroskopie
unterzogen worden ist, durch Wellenlängenabfahren des Spektroskopabschnitts
in einem die eingestellte Wellenlänge aufweisenden Wellenlängenbereich;
den
Schritt des Erhaltens der Wellenlängendifferenz zwischen der
eingestellten Wellenlänge
des wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitts und der Wellenlänge mit dem Spitzenwert;
den
Schritt des Erhaltens von Wellenlängendifferenzdaten von dem
wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitt oder dem Spektroskopabschnitt, die der Wellenlängendifferenz
entsprechen; und
den Schritt des Korrigierens der aktuellen
Wellenlängeneinstelldaten
in Abhängigkeit
von den Wellenlängendifferenzdaten.
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Ein Kalibrierverfahren (5),
das eine Meßvorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung zum Messen einer Lichtdurchlaßcharakteristik verwendet, ist
ein Verfahren, das die obige Vorrichtung (2) oder (3)
zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
verwendet und dadurch gekennzeichnet ist, daß es in dem Kalibrierverfahren
(4) unter Verwendung der Vorrichtung zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
aufweist:
den Schritt der Einleitung von Ausgangslicht von
der Lichtquelle 22 mit der Referenzwellenlänge in den optischen
Eingabeabschnitt 4 und des Wellenlängenabfahrens des Spektroskopabschnitts 6 in
einem Wellenlängenbereich,
der die Wellenlänge
der Lichtquelle mit der Referenzwellenlänge aufweist, um dadurch eine
Wellenlänge
mit dem Spitzenwert des Lichts zu erhalten, das der Spektroskopie
in dem Spektroskopabschnitt unterzogen wurde;
den Schritt des
Erhaltens der Wellenlängendifferenz zwischen
der Wellenlänge
mit dem Spitzenwert und der Wellenlänge der Lichtquelle mit der
Referenzwellenlänge;
den
Schritt des Erhaltens von Wellenlängendifferenzdaten von dem
Spektroskopabschnitt 6, die der Wellenlängendifferenz entsprechen;
und
den Schritt des Korrigierens der aktuellen Wellenlängeneinstelldaten
in Abhängigkeit
von den Wellenlängendifferenzdaten.
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Ein Kalibrierverfahren (6),
das eine Vorrichtung gemäß der Erfindung
zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
verwendet, ist ein Verfahren, das die obige Vorrichtung (2)
oder (3) zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik verwendet,
und ist dadurch gekennzeichnet, daß es bei dem Kalibrierverfahren
(4) oder (5), das die obige Vorrichtung zum Messen
der Lichtdurchlaßcharakteristik
verwendet, aufweist:
den Schritt des Einleitens von Ausgangslicht,
das einen bekannten Wert hat, von der Lichtquelle 22 mit der
Referenzwellenlänge
in den Lichteingangsabschnitt 4 und des Erhaltens des Ausgangslichts,
das in dem Spektroskopabschnitt 5 der Spektroskopie unterzogen
wurde;
den Schritt des Erhaltens der Differenz zwischen dem
Wert des Ausgangslichts von dem Spektroskopabschnitt 6 und
dem Wert der Lichtquelle mit der Referenzwellenlänge; und
den Schritt des
Korrigierens des Werts des Ausgangslichts von dem wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitt 1,
um die Differenz der Werte aufzuheben.
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Die Ausführungsformen der vorliegenden
Erfindung werden nachstehend auf der Basis der vorstehenden Skizzierung
unter Bezugnahme auf die verschiedenen beigefügten Figuren beschrieben.
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Es wird zuerst eine Vorrichtung zum
Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der ersten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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1 ist
ein Blockbild, das die Vorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform
der Erfindung zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik zeigt.
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Wie 1 zeigt,
ist die Vorrichtung gemäß der ersten
Ausführungsform
der Erfindung zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik hauptsächlich gebildet
von einem wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitt 1,
einer ersten Schwächungseinheit 2,
einem Lichtausgabeverbinderabschnitt 3, einem Lichteingabeverbinderabschnitt 4,
einer zweiten Schwächungseinheit 5,
einem Spektroskopabschnitt 6, einem Lichtempfangsabschnitt 7,
einem A/D-Umwandlungsabschnitt 8,
einem Tasteneingabeabschnitt 9, einem Speicher (Speicherabschnitt) 10,
einem Anzeigeabschnitt 11, einem Verarbeitungsabschnitt 12,
einem Steuerabschnitt 13 für die abstimmbare Wellenlänge und
einem Steuerabschnitt 14 für eine spektrale Wellenlänge.
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Der wellenlängenabstimmbare Lichtquellenabschnitt 1 ist
vom externen Resonanztyp und umfaßt ein Halbleiterlaserelement 1a,
eine Linse 1b und ein Beugungsgitter 1c und bringt
bei Wahl einer beliebigen Wellenlänge einen Laserstrahl zum Schwingen
bzw. gibt diesen aus.
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Das Halbleiterlaserelement 1a wird
von einem Konstantstrom einer aktiven Schicht angetrieben.
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Die Linse 1b kollimiert
den Laserstrahl, der von einem Antireflexbelag an einem Ende des
Halbleiterlaserelements 1a ausgegeben wird.
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Das Beugungsgitter 1c wird
von einer (nicht gezeigten) Schwenkeinheit geschwenkt, um eine Wellenlänge in Abhängigkeit
von einem Steuersignal von dem wellenlängenabstimmbaren Steuerabschnitt 13 auszuwählen. Das
Beugungsgitter 1c empfängt
das kollimierte Licht von der Linse 1b und sendet nur Licht,
das die ausgewählte
Wellenlänge hat,
an das Halbleiterlaserelement 1a zurück.
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In diesem Fall ist der Winkel des
Beugungsgitters 1c in Abhängigkeit von der Wellenlängeninformation
eingestellt, die vom Bediener mit dem Tasteneingabeabschnitt 9 eingegeben
wird.
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Der Ausgangslichtwert des Halbleiterlaserelements 1a wird
durch ein Steuersignal von dem Verarbeitungsabschnitt 12 geändert.
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Die erste Schwächungseinheit 2, die
als ein Wertänderungsabschnitt
wirkt, ist zwischen dem wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitt 1 und den Lichtausgabeverbinderabschnitt 3 beispielsweise
durch einen Lichtwellenleiter verbunden, um den Wert des Ausgangslichts
von dem wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitt 1 einzustellen. Bei dieser Anordnung ändert die
erste Schwächungseinheit 2 den
Wert des Ausgangslichts von dem wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitt 1 in
Abhängigkeit
von einem Steuersignal von dem Verarbeitungsabschnitt 12.
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Der Lichtausgabeverbinderabschnitt 3 als Lichtausgabeabschnitt
ist an der Gehäuseoberfläche in der
folgenden Stufe der ersten Schwächungseinheit 2 angebracht.
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Wenn der Eingabeanschluß eines
zu messenden Objekts (einer optischen Einrichtung: DUT) 15 lösbar mit
dem Lichtausgabeverbinderabschnitt 3 verbunden ist, wird
Ausgabelicht von der ersten Schwächungseinheit 2 in
das Objekt 15 eingeleitet.
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Der Lichteingabeverbinderabschnitt 4 ist
als Lichteingabeabschnitt in bezug auf die Gehäuseoberfläche neben dem Lichtausgangsverbinderabschnitt 3 angeordnet.
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Wenn der Ausgabeanschluß des Objekts 15 abnehmbar
mit dem Lichteingabeverbinderabschnitt 4 verbunden ist,
wird durch das Objekt 15 gehendes Licht in den Lichteingabeverbinderabschnitt 4 eingeleitet.
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Die zweite Schwächungseinheit 5 ist
als Wertänderungsabschnitt
zwischen den Lichteingabeverbinderabschnitt 4 und den Spektroskopabschnitt 6 beispielsweise über einen
Lichtwellenleiter verbunden, um das Einleiten von zu viel Ausgangslicht
von dem Objekt 15 zu verhindern. Bei dieser Anordnung ändert die
zweite Schwächungseinheit 5 den
Pegel des Eingangslichts von dem Lichteingabeverbinderabschnitt 4 in
Abhängigkeit
von einem Steuersignal von dem Verarbeitungsabschnitt 12.
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Der Spektroskopabschnitt 6 ist
von einem Dispersionsspektroskop wie etwa einem Littrow-Spektroskop
oder einem Czerny-Turner-Spektroskop gebildet, das ein Beugungsgitter 6a verwendet.
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Von dem Eingangslicht von der zweiten Schwächungseinheit 5 gibt
der Spektroskopabschnitt 6 nach der Spektroskopie nur Licht
der gleichen Wellenlänge
wie derjenigen des wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitts 1 an den Lichtempfangsabschnitt 7 aus
durch Änderung
des Winkels des Beugungsgitters 6a in Abhängigkeit
von einem Steuersignal von dem Steuerabschnitt 14 für die spektrale
Wellenlänge.
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Der Lichtempfangsabschnitt 7 empfängt Licht
von dem Spektroskopabschnitt 6, wandelt das empfangene
Licht lichtelektrisch um und gibt das resultierende Signal an den
A/D-Umwandlungsabschnitt 8 aus.
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Der A/D-Umwandlungsabschnitt 8 wandelt das
von dem Lichtempfangsabschnitt 7 empfangene Signal nach
der lichtelektrischen Umwandlung in ein Digitalsignal um und gibt
das Digitalsignal als Wertinformation an den Verarbeitungsabschnitt 12 aus.
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Der Tasteneingabeabschnitt 9 dient
als Eingabeabschnitt der Eingabe von verschiedenen Meßbedingungen
mittels Tastenbetätigung
durch den Bediener. Information über
diese verschiedenen Meßbedingungen
wird in den Verarbeitungsabschnitt 12 eingegeben.
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Dabei werden von dem Tasteneingabeabschnitt 9 bei
Tastenbetätigung
durch den Bediener Wellenlängeninformationen
eingegeben, die eine Meßwellenlänge/einen
Meßwellenlängenbereich
und eine Wertskala für
die Anzeige eines Meßwerts
darstellen.
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Der Tasteneingabeabschnitt 9 kann
Modusinformation zum Bezeichnen einer der folgenden Moden bei Tastenbetätigung durch
den Bediener eingeben: einen Meßmodus
für die
Messung des Objekts 15; einen Wellenlängenabstimmodus für die Durchführung eines
Wellenlängenabstimmvorgangs;
einen Wellenlängenkalibriermodus
für die
Durchführung
eines Wellenlängenkalibriervorgangs;
und einen Wertkalibriermodus für
die Durchführung
eines Wertkalibriervorgangs.
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Ferner kann der Tasteneingabeabschnitt 9 bei
Tastenbetätigung
durch den Bediener verschiedene Parameterinformationselemente für die Meßwertanalyse
in den Verarbeitungsabschnitt 12 eingeben.
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Winkeldaten (entsprechend den Drehwinkeln
der Beugungsgitter) über
die Wellenlängen
von Lichtstrahlen von dem wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitt 1 und
dem Spektroskopabschnitt 6 sind in dem Speicher 10,
der als Speichereinrichtung dient, vorher gespeichert worden.
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Bei Empfang von Wellenlängeninformation von
dem Tasteneingabeabschnitt 9 nach Tasteneingabe durch den
Bediener liest der Verarbeitungsabschnitt 12 Wellenlängeneinstelldaten
auf der Basis dieser Wellenlängeninformation
aus dem Speicher 10 und gibt einen Wellenlängeneinstellbefehl,
der den ausgelesenen Wellenlängeneinstelldaten
entspricht, an den Steuerabschnitt 13 für die Wellenlängenabstimmung
und den Steuerabschnitt 14 für die spektrale Wellenlänge aus.
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Der Verarbeitungsabschnitt 12 erhält ferner einen
Lichtempfangswert auf der Basis von Wertinformation von dem A/D-Umwandlungsabschnitt 8.
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Ferner kann der Verarbeitungsabschnitt 12 die
folgenden noch zu beschreibenden Vorgänge ausführen: einen Wellenlängenabstimmungsvorgang,
einen Wellenlängenkalibriervorgang,
einen Wertkalibriervorgang, die Steuerung der Schwächungseinheiten 2 und 5,
einen Vorgang zum Anzeigen eines erhaltenen Lichtempfangswerts auf
dem Bildschirm des Anzeigeabschnitts 11, die Analyse eines
Meßwerts
und dergleichen, und zwar auf der Basis von Eingangsinformationselementen
(Wellenlängeninformation,
Modusinformation und diverse Parameterinformationselemente), die
von dem Tasteneingabeabschnitt 9 bei Tastenbetätigung durch
den Bediener eingegeben werden, von Wertdaten von dem A/D-Umwandlungsabschnitt
und von den in dem Speicher 10 gespeicherten Daten.
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Der Steuerabschnitt 13 für die abstimmbare Wellenlänge gibt
ein Steuersignal aus, das einem Wellenlängeneinstellbefehl von dem
Verarbeitungsabschnitt 12 entspricht, um den Winkel des
Beugungsgitters 1c so zu steuern, daß bewirkt wird, daß das Halbleiterlaserelement 1a des
wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitts 1 Licht mit der eingestellten Wellenlänge ausgibt.
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Der Steuerabschnitt 14 für die spektrale
Wellenlänge
gibt ein Steuersignal aus, das einem Wellenlängeneinstellbefehl von dem
Verarbeitungsabschnitt 12 entspricht, um den Spektroskopabschnitt 6 (speziell
den Winkel des Beugungsgitters) so zu steuern, daß bewirkt
wird, daß der
Spektroskopabschnitt 6 die spektroskopische Untersuchung
von Licht mit der eingestellten Wellenlänge ausführt und das resultierende Licht
an den Lichtempfangsabschnitt 7 ausgibt.
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Nachdem bei der Meßvorrichtung
für die Lichtdurchlaßcharakteristik,
die wie vorstehend erläutert
ausgebildet ist, das Objekt 15 mit dem Lichtausgabeverbinderabschnitt 3 und
dem Lichteingabeverbinderabschnitt 4 verbunden wurde und
die Energieversorgung eingeschaltet ist, wird ein Meßmodus bestimmt,
und Wellenlängeninformation
wird bei Tastenbetätigung
durch den Bediener in bezug auf den Tasteneingabeabschnitt 9 eingegeben.
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Der Verarbeitungsabschnitt 12 liest
Wellenlängeneinstelldaten
aus dem Speicher 10 auf der Basis dieser Wellenlängeninformation
und gibt einen Wellenlängeneinstellbefehl
nach Maßgabe
der ausgelesenen Wellenlängeneinstelldaten
an den Steuerabschnitt 13 für die abstimmbare Wellenlänge und den
Steuerabschnitt 14 für
die spektrale Wellenlänge aus.
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Durch diese Vorgänge steuert der Steuerabschnitt 13 für die abstimmbare
Wellenlänge
den Winkel des Beugungsgitters 1c auf variable Weise, um zu
bewirken, daß das
Halbleiterlaserelement 1a des wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitts 1 einen
Laserstrahl ausgibt, dessen Wellenlänge den Wellenlängeneinstelldaten
entspricht.
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Der Steuerabschnitt 14 für die spektrale
Wellenlänge
steuert den Spektroskopabschnitt 6 zur Durchführung der
spektroskopischen Untersuchung von Licht, das eine den Wellenlängeneinstelldaten entsprechende
Wellenlänge
hat, und zur Ausgabe des resultierenden Lichts an den Lichtempfangsabschnitt 7.
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In diesem Zustand wird Ausgangslicht
von dem wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitt 1, das eine Wellenlängeneinstellung
erfahren hat, durch den Lichtausgabeverbinderabschnitt 3 in das
Objekt 15 eingeleitet.
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Durch das Objekt 15 geleitetes
Licht wird durch den Lichteingabeverbinderabschnitt 4 in
den Spektroskopabschnitt 6 eingeleitet.
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Der Spektroskopabschnitt 6 führt die
spektroskopische Untersuchung nur von Licht aus, dessen Wellenlänge den
Wellenlängeneinstelldaten
entspricht, und gibt das resultierende Licht an den Lichtempfangsabschnitt 7 aus.
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Der Lichtempfangsabschnitt 7 empfängt das Licht,
das in dem Spektroskopabschnitt 6 spektroskopisch untersucht
wurde, und führt
eine lichtelektrische Umwandlung des Lichts aus.
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Das von dem Lichtempfangsabschnitt 7 nach lichtelektrischer
Umwandlung erhaltene Signal wird von dem A/D-Umwandlungsabschnitt 8 in
Digitalinformation umgewandelt und in den Verarbeitungsabschnitt 12 eingeführt.
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Der Verarbeitungsabschnitt 12 erhält einen Lichtempfangswert
auf der Basis der von dem A/D-Umwandlungsabschnitt 8 nach
Digitalumwandlung erhaltenen Wertinformation.
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Der obige Ablauf wird durch den gesamten Meßwellenlängenbereich
ausgeführt,
der vom Bediener mit dem Tasteneingabeabschnitt 9 eingegeben wurde.
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Wenn der Bediener mit dem Tasteneingabeabschnitt 9 den
Wellenlängenabstimmodus
bei der Ausführung
des obigen Ablaufs bezeichnet, wird eine Wellenlängenabstimmungsverarbeitung
ausgeführt, um
die Wellenlängendifferenz
zwischen der Wellenlänge
des wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitts 1 und der Wellenlänge des
Spektroskopabschnitts 6 zu eliminieren.
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Dieser Wellenlängenabstimmvorgang wird nachstehend
unter Bezugnahme auf das Ablaufdiagramm von 2 beschrieben.
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Zuerst werden der Lichtausgabeverbinderabschnitt 3 und
der Lichteingabeverbinderabschnitt 4 miteinander durch
einen kurzen Lichtwellenleiter verbunden, so daß sie kurzgeschlossen werden
(Schritt ST1).
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Wenn nun vom Bediener mit dem Tasteneingabeabschnitt 9 der
Wellenlängenabstimmodus
bezeichnet wird, lädt
der Verarbeitungsabschnitt 12 die aktuellen Wellenlängeneinstelldaten
aus dem Speicher 10 (Schritt ST2).
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Bei Empfang eines Wellenlängeneinstellbefehls,
der den geladenen Wellenlängeneinstelldaten von
dem Verarbeitungsabschnitt 12 entspricht, gibt der Steuerabschnitt 13 für die abstimmbare
Wellenlänge
ein Steuersignal aus, um den Winkel des Beugungsgitters 1c des
wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitts 1 zu
steuern.
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Mit diesem Vorgang wird der wellenlängenabstimmbare
Lichtquellenabschnitt 1 auf eine Wellenlänge λ(n) eingestellt
(Schritt ST3).
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Bei Empfang des Wellenlängeneinstellbefehls
in Übereinstimmung
mit den Wellenlängeneinstelldaten
von dem Verarbeitungsabschnitt 12 führt der Steuerabschnitt 14 für die spektrale
Wellenlänge das
Wellenlängenabfahren
des Spektroskopabschnitts 6 in einem Wellenlängenbereich
durch, der die eingestellte Wellenlänge λ(n) enthält (Schritt ST4).
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Der Verarbeitungsabschnitt 12 erhält beim Abfahren
eine Wellenlänge λp(n) mit
dem Spitzenwert des Spektroskopabschnitts 6 aus den Wertdaten bei
jeder Wellenlänge,
die durch den Lichtempfangsabschnitt 7 und den A/D-Umwandlungsabschnitt 8 ausgegeben
wird (Schritt ST5).
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Der Verarbeitungsabschnitt 12 erhält eine Wellenlängendifferenz Δλ(n) zwischen
der eingestellten Wellenlänge λ(n) des wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitts 1 und
der Wellenlänge λp(n) bei
dem Spitzenwert des Spektroskopabschnitts 6 (Schritt ST6).
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Der vorstehende Ablauf wird wiederholt,
bis eine Wellenlängendifferenz
bei einer vorbestimmten Wellenlänge,
die in dem Wellenlängenabstimmprozeß verlangt
wird, detektiert wird.
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Wenn die Wellenlängendifferenz bei der in dem
Wellenlängenabstimmprozeß verlangten
vorbestimmten Wellenlänge
detektiert wird (Schritt ST7), erhält der Verarbeitungsabschnitt 12 Wellenlängendifferenzdaten ΔK(λ) des wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitts 1 oder
des Spektroskopabschnitts 6 aus der detektierten Wellenlängendifferenz Δλ(n).
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Der Verarbeitungsabschnitt 12 erhält neue Wellenlängeneinstelldaten
durch Subtraktion der erhaltenen Wellenlängendifferenzdaten ΔK(λ) von den aktuellen
Wellenlängeneinstelldaten
(Schritt ST8) und speichert dann die neuen Wellenlängeneinstelldaten
in dem Speicher 10 (Schritt ST9).
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Anschließend werden durch Vorgeben
dieser neuen Wellenlängeneinstelldaten
die Wellenlänge
des wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitts 1 und die Wellenlänge des
Spektroskopabschnitts 6 automatisch abgestimmt.
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Als nächstes wird eine Meßvorrichtung
für Lichtdurchlaßcharakteristiken
gemäß der zweiten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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3 ist
ein Blockbild, das die Meßvorrichtung
zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der zweiten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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Bei der zweiten Ausführungsform
sind gleiche Elemente wie bei der ersten Ausführungsform mit den gleichen
Bezugszeichen versehen und werden nicht erneut beschrieben.
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Wie 3 zeigt,
weist die Meßvorrichtung zum
Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der zweiten
Ausführungsform
einen Polarisationssteuerabschnitt 21 zwischen einem Lichtausgabeverbinderabschnitt 3 und
einer ersten Schwächungseinheit 2 zusätzlich zu
der Anordnung der ersten Ausführungsform
auf.
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Der Polarisationssteuerabschnitt 21 ändert den
Polarisationszustand von Licht, das von dem Lichtausgabeverbinderabschnitt 3 ausgegeben
wird, in Abhängigkeit
von einem Polarisationssteuerbefehl, der von einem Verarbeitungsabschnitt 12 bei
Empfang von Polarisationssteuerinformation ausgegeben wird, die
vom Bediener über
den Tasteneingabeabschnitt 9 eingegeben wird.
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Als Polarisationssteuerabschnitt 21 wird
ein Polarisationssteuerabschnitt vom Körpertyp, wobei eine Wellenlängenplatte
verwendet wird, oder ein Polarisationssteuerabschnitt vom Lichtleiterschleifentyp verwendet.
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Bei Verwendung des Polarisationssteuerabschnitts 21 vom
Körpertyp
kann ein gewünschter
Polarisationszustand durch eine Kombination aus λ/2- und λ/4-Plättchen
erhalten werden.
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Bei Verwendung des Polarisationssteuerabschnitts 21 vom
Lichtleiterschleifentyp kann der Polarisationszustand von Licht
in einen gewünschten
Polarisationszustand geändert
werden, indem durch Bewegen des Schleifenbereichs des Lichtleiters
die Phase verschoben wird.
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Bei der Meßvorrichtung zur Messung der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der zweiten
Ausführungsform
kann daher der Polarisationszustand von Ausgangslicht von dem wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitt 1 von dem Polarisationssteuerabschnitt 21 in
einen beliebigen Polarisationszustand geändert werden, und somit können Wellenlängenverlustcharakteristiken
bei beliebiger Polarisation gemessen werden.
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Mit dieser Funktionsweise können Wellenlängenverlust-/-verstärkungscharakteristiken
bei der Polarisation, die durch ein Objekt 15 verursacht
werden, geschätzt
werden.
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Als nächstes wird eine Meßvorrichtung
zur Messung der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der dritten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung beschrieben.
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4 ist
ein Blockbild, das die Meßvorrichtung
zur Messung der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der dritten
Ausführungsform
der Erfindung zeigt.
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Bei der dritten Ausführungsform
sind gleiche Elemente wie bei der ersten Ausführungsform mit den gleichen
Bezugszeichen versehen und werden nicht erneut beschrieben.
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Wie 4 zeigt,
weist die Meßvorrichtung für die Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der dritten Ausführungsform
eine Lichtquelle 22 einer Referenzwellenlänge zusätzlich zu
der Anordnung der ersten Ausführungsform
auf.
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Die Lichtquelle 22 der Referenzwellenlänge gibt
Licht mit einem vorbestimmten Wert auf der Basis einer vorbestimmten
Referenzwellenlänge λref aus.
Die Lichtquelle 22 der Referenzwellenlänge weist einen Lichtausgabeverbinderabschnitt 23 als Lichtausgabeabschnitt
auf und ist in dem Gehäuse angeordnet.
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Diese Lichtquelle 22 der
Referenzwellenlänge
wird in dem Verarbeitungsabschnitt 12 verwendet, wenn ein
Wellenlängenkalibriervorgang
auf der Basis des Ablaufdiagramms von 5 ausgeführt wird.
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Der Wellenlängenkalibriervorgang wird nachstehend
unter Bezugnahme auf 5 beschrieben.
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Zuerst wird der Lichtausgabeverbinderabschnitt 23 der
Lichtquelle 22 der Referenzwellenlänge mit einem Lichteingabeverbinderabschnitt 4 durch einen
kurzen Lichtleiter verbunden.
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Wenn in diesem Zustand der Wellenlängenkalibriermodus
vom Bediener über
den Tasteneingabeabschnitt 9 bezeichnet wird, wird Ausgangslicht von
der Lichtquelle 22 mit der Referenzwellenlänge in einen
Spektroskopabschnitt 6 durch die zwei Verbinderabschnitte 23 und 4 eingeleitet
(Schritt ST11).
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Bei Empfang eines Wellenlängeneinstellbefehls,
der Wellenlängeneinstelldaten
von einem Verarbeitungsabschnitt 12 entspricht, fährt ein
Steuerabschnitt 14 für
die spektrale Wellenlänge
den Spektroskopabschnitt 6 in einem Wellenlängenbereich
ab, der die Referenzwellenlänge λref der Lichtquelle 22 der
Referenzwellenlänge
aufweist (Schritt ST12).
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Der Verarbeitungsabschnitt 12 erhält eine Wellenlänge mit
dem Spitzenwert in dem Spektroskopabschnitt 6 bei jeder
Wellenlänge,
wenn das Abfahren der Wellenlängen
erfolgt (Schritt ST13).
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Der Verarbeitungsabschnitt 12 erhält dann eine
Wellenlängendifferenz Δλ zwischen
einer erhaltenen Wellenlänge λp bei dem
Spitzenwert und der Referenzwellenlänge λref der Lichtquelle 22 der
Referenzwellenlänge
(Schritt ST14).
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Außerdem erhält der Verarbeitungsabschnitt 12 Wellenlängendifferenzdaten ΔK über den
Spektroskopabschnitt 6, die der erhaltenen Wellenlängendifferenz Δλ entsprechen
(Schritt ST15).
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Der Verarbeitungsabschnitt 12 korrigiert
die aktuellen Wellenlängeneinstelldaten
mit den Wellenlängendifferenzdaten ΔK und speichert
die korrigierten Wellenlängeneinstelldaten
in einem Speicher 10 (Schritt ST16).
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Anschließend wird der in 2 gezeigte Wellenlängenabstimmvorgang
ausgeführt.
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Der Verarbeitungsabschnitt 12 leitet
Ausgangslicht von dem wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitt 1 in
den Spektroskopabschnitt 6 ein (Schritt ST17) und erhält neue
Wellenlängeneinstelldaten
des wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitts 1 (Schritt ST18). Danach speichert der
Verarbeitungsabschnitt 12 diese Wellenlängeneinstelldaten in dem Speicher 10 (Schritt
ST19).
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Durch Ausführen des obigen Wellenlängenkalibrierverfahrens
kann die Wellenlängenpräzision verbessert
werden, und die Lichtdurchlaßcharakteristiken
können
gemessen werden.
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Als nächstes wird eine Meßvorrichtung
zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der vierten
Ausführungsform
der Erfindung beschrieben.
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Das Blockbild von 6 zeigt die Meßvorrichtung zum Messen der
Lichtdurchlaßcharakteristik gemäß der vierten
Ausführungsform
der Erfindung.
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Bei der vierten Ausführungsform
sind gleiche Elemente wie bei der ersten Ausführungsform mit den gleichen
Bezugszeichen versehen und werden nicht mehr beschrieben.
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Wie 6 zeigt,
weist die Meßvorrichtung zum
Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der vierten
Ausführungsform
eine Lichtquelle 22 mit Referenzwellenlänge und einen Lichtumschalter 24 zusätzlich zu
der Anordnung der ersten Ausführungsform
auf.
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Der Lichtumschalter 24 wird
durch einen Umschaltbefehl von einem Verarbeitungsabschnitt 12 gesteuert,
um die Lichtquelle 22 mit der Referenzwellenlänge oder
die erste Schwächungseinheit 2 mit dem
Lichtausgabeverbinderabschnitt 3 optisch zu verbinden.
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Wenn der in 5 gezeigte Wellenlängenkalibriervorgang ausgeführt werden
soll, erfolgt die Messung mit Ausgangslicht von der Lichtquelle 22 mit
Referenzwellenlänge,
während
der Lichtumschalter 24 zu der Seite der Lichtquelle 22 mit
Referenzwellenlänge
umgeschaltet ist.
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Wenn der Verarbeitungsabschnitt 12 nach Beendigung
dieser Messung einen Umschaltbefehl an den Lichtumschalter 24 ausgibt,
wird der Lichtumschalter 24 zur Seite der ersten Schwächungseinheit 2 umgeschaltet,
und die Messung wird mit Ausgangslicht von einem wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitt 1 aufgeführt.
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Daher wird bei der Meßvorrichtung
zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der vierten
Ausführungsform
der Lichtumschalter 24 in dem Gehäuse dazu verwendet, entweder
den wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitt 1 oder die Lichtquelle 22 mit
Referenzwellenlänge
mit dem Lichtausgabeverbinderabschnitt 3 zu verbinden,
wodurch automatisch ein Wellenlängenabstimmprozeß und ein
Kalibrierprozeß ausgeführt werden.
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Nachstehend wird eine Meßvorrichtung
zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der fünften Ausführungsform
der Erfindung beschrieben.
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Das Blockbild von 7 zeigt die Meßvorrichtung zum Messen der
Lichtdurchlaßcharakteristik gemäß der fünften Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung.
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Bei der fünften Ausführungsform sind gleiche Elemente
wie bei der vierten Ausführungsform
mit den gleichen Bezugszeichen versehen und werden nicht mehr beschrieben.
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Wie 7 zeigt,
hat die Meßvorrichtung
zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der fünften Ausführungsform
die gleiche Anordnung wie die vierte Ausführungsform mit der Ausnahme,
daß ein Lichtumschalter 24 zwischen
einem Lichteingabeverbinderabschnitt 4 und einer zweiten
Schwächungseinheit 5 angeordnet
ist.
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Der Lichtumschalter 24,
der eine Strahlengangumschalteinrichtung ist, wird von einem Umschaltbefehl
von einem Verarbeitungsabschnitt 12 gesteuert, um entweder
eine Lichtquelle 22 mit Referenzwellenlänge oder die zweite Schwächungseinheit 5 mit
dem Lichteingabeverbinderabschnitt 4 optisch zu verbinden.
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Wenn der in 5 gezeigte Kalibrierprozeß von der
Meßvorrichtung
zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der fünften Ausführungsform
ausgeführt
werden soll, erfolgt die Messung zuerst mit Ausgangslicht von der
Lichtquelle 22 mit Referenzwellenlänge, während der Lichtumschalter 24 zu
der Seite der Lichtquelle 22 mit Referenzwellenlänge umgeschaltet
ist.
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Wenn nach Beendigung dieser Messung
der Verarbeitungsabschnitt 12 einen Umschaltbefehl an den
Lichtumschalter 24 ausgibt, wird der Lichtumschalter 24 zu
der Seite der zweiten Schwächungseinheit 5 umgeschaltet,
und die Messung wird mit Ausgangslicht von dem wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitt 1 ausgeführt.
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Gemäß den vorstehenden Ausführungsformen
ist die eingestellte Wellenlänge
des wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitts 1 festgelegt, und die Wellenlängenabstimmung
des wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitts 1 und des Spektroskopabschnitts 6 wird
ausgeführt
durch Ausführen
einer Wellenlängenabfahroperation
auf der Seite des Spektroskopabschnitts 6. Die eingestellte
Wellenlänge
des Spektroskopabschnitts 6 kann jedoch festgelegt sein,
und die Wellenlängenabstimmung
kann durch Ausführen
einer Wellenlängenabfahroperation
an der Seite des wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitts 1 erfolgen.
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Ein Wertkalibrierablauf für diesen
Fall wird nachstehend beschrieben, wobei die Anordnung von 4 als Beispiel verwendet
wird.
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Zuerst wird die Wertmessung von der
Lichtquelle 22 mit Referenzwellenlänge ausgeführt, während der Lichtausgabeverbinderabschnitt 23 der Lichtquelle 22 mit
Referenzwellenlänge
mit dem Lichteingabeverbinderabschnitt 4 durch einen kurzen Lichtleiter
verbunden ist.
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Die Messung des Werts wird dann von
dem wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitt 1 ausgeführt, während der Lichtausgabeverbinderabschnitt 3 mit
dem Lichteingabeverbinderabschnitt 4 durch einen kurzen
Lichtleiter verbunden ist.
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Bei Beendigung der beiden vorstehenden Wertmessungen
erhält
der Verarbeitungsabschnitt 12 die Differenz zwischen den
beiden Meßwerten und
gibt einen Wertkalibrierbefehl entsprechend dieser Differenz an
den wellenlängenabstimmbaren Lichtquellenabschnitt 1 aus.
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Bei Empfang des Wertkalibrierbefehls
von dem Verarbeitungsabschnitt ändert
der wellenlängenabstimmbare
Lichtquellenabschnitt 1 den Wert des Ausgangslichts von
dem Halbleiterlaserelement 1a oder den Schwächungsgrad
der ersten Schwächungseinheit 2,
um die gemessene Wertdifferenz aufzuheben.
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Wenn die in den 6 oder 7 gezeigte
Anordnung verwendet wird, wird der obige Vorgang durch Steuerung
des Lichtumschalters 24 ausgeführt.
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Wie oben beschrieben wird, kann durch
Einstellen eines Wellenlängenbereichs
eine automatische Messung ausgeführt
werden, und die Lichtdurchlaßcharakteristiken
von verschiedenen Arten von optischen Einrichtungen können innerhalb
eines großen
dynamischen Bereichs gemessen werden.
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Außerdem können gemäß der vorliegenden Erfindung
die nachstehenden Auswirkungen erzielt werden.
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Da bei der Meßvorrichtung zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der Erfindung
der Polarisationszustand von Ausgabelicht von dem wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitt durch den Polarisationssteuerabschnitt beliebig
geändert wird,
können
Lichtdurchlaßcharakteristiken
in einem beliebigen Polarisationszustand gemessen werden.
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Bei diesem Vorgang können Wellenlängenverlust-/-verstärkungscharakteristiken
auf der Basis der von einem Objekt bewirkten Polarisation ausgewertet
werden.
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Ferner kann die Meßvorrichtung
zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der Erfindung
die Wellenlängenpräzision verbessern
und die Lichtdurchlaßcharakteristiken
messen, indem ein Wellenlängenabstimmprozeß und ein
Wellenlängenkalibrierprozeß ausgeführt werden.
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Zusätzlich zu diesem Wellenlängenabstimmprozeß und dem
Wellenlängenkalibrierprozeß kann die
Vorrichtung eine Hochpräzisionsmessung
mit weniger Fehlern durch Ausführen
eines Wertkalibrierverfahrens ausführen.
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Bei der Meßvorrichtung zum Messen der Lichtdurchlaßcharakteristik
gemäß der Erfindung kann
das Umschalten des wellenlängenabstimmbaren
Lichtquellenabschnitts und der Lichtquelle mit Referenzwellenlänge in bezug
auf den optischen Ausgabeabschnitt von der Umschalteinrichtung durchgeführt werden,
was eine automatische Ausführung
eines Wellenlängenabstimmvorgangs
und eines Kalibriervorgangs erlaubt.