DE69709590T2 - Gebläse für einen gaslaser - Google Patents

Gebläse für einen gaslaser

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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Gaslaser-Gebläse, das zwangsweise ein Lasergas in einer Gaslaser-Bearbeitungsvorrichtung und dgl. zirkulieren lässt.
  • Jüngere Hochgeschwindigkeits-Kohlensäure-Gaslaservorrichtungen (CO&sub2;-Gaslaserschwingungs-Vorrichtungen) vom Axialflusstyp können nicht nur eine hohe Ausgangsleistung bereitstellen, während sie kompakt aufgebaut sind, sondern können auch einen Laserstrahl hoher Qualität erzeugen, so dass sie weit verbreitet zur Laserbearbeitung, wie das Schneiden von metallischen oder nichtmetallischen Materialien, das Schweißen metallischer Materialien und dgl., benutzt werden. Ihre Anwendungen wachsen besonders schnell auf einem Gebiet an, auf dem es erforderlich ist, ein Material, das bei einer hohen Geschwindigkeit und mit einer hohen Genauigkeit mit Maschinen in Form von CNC-Laser-Bearbeitungsmaschinen, die mit rechnergestützten CNC-Vorrichtungen (numerisch gesteuerten Vorrichtungen) verbunden sind, durch Schneidbearbeitung in eine komplizierte Form zu bringen.
  • In der Kohlensäure-Gaslaser-Vorrichtung werden ungefähr 20% der zugeführten elektrischen Energie in einen Laserstrahl umgewandelt, und der Rest davon wird beim Aufheizen eines Lasergases verbraucht. Theoretisch ist ein Laserschwingungs-Gewinn proportional zu der Potenz -(3/2) einer absoluten Temperatur T. Demgemäß ist es, um den Schwingungswirkungsgrad anzuheben, notwendig, das Lasergas zwangsweise zu kühlen, um die Temperatur des Lasergases so weit wie möglich herabzusetzen. Demzufolge wird im Falle einer Kohlensäure-Gaslaservorrichtung eines Hochgeschwindigkeits-Axialflusstyps ein Turbo-Gebläse für einen Gaslaser und dgl. zum Bewirken einer erzwungenen Zirkulation des Lasergases durch eine Kühleinrichtung innerhalb der Vorrichtung eingesetzt.
  • Ein Gaslaser-Gebläse in Übereinstimmung mit dem Oberbegriff von Anspruch 1 ist in der Druckschrift US-A-5 461 636 offenbart.
  • Ein Beispiel für ein herkömmliches Turbo-Gebläse für einen Gaslaser ist in Fig. 3 gezeigt. Gemäß Fig. 3 ist ein Turbo- Ventilator 1 eines Turbo-Gebläses 100A für einen Gaslaser mittels einer Mutter 7 mit einem oberen Ende einer Welle 2 verbunden. An der Welle 2 ist längs des Außenumfangs derselben durch eine Schrumpfpassung ein Rotor 3 befestigt. Außerhalb des Rotors 3 ist ein Stator 4 vorgesehen. Der Stator 4 ist an einem Gehäuse 120 befestigt und macht mit dem Rotor 3 einen Hochfrequenz-Motor 30 aus. Die Welle 2 und der Turbo- Ventilator, der mit dieser verbunden ist, werden durch diesen Hochfrequenz-Motor 30 bei einer hohen Geschwindigkeit mit Zehntausenden U/min gedreht.
  • Ein oberer Teil der Welle 2, d. h. ein Teil der Welle zwischen einem oberen Ende des Rotors 3, der den Hochfrequenz- Motor 30 ausmacht, und einem oberen Ende des Turbo-Ventilators 1, die jeweils auf der Welle 2 montiert sind, ist durch ein Kugellager 5 gehalten, das auf einem oberen Teil des Gehäuses 120 montiert ist, und ein unterer Teil der Welle 2 ist durch ein Kugellager 6 gehalten, das auf einem Wellentragteil montiert ist, der in einem unteren Teil des Gehäuses 120 ausgebildet ist.
  • Den Kugellagern 5 u. 6 wird durch eine Pumpe 16, die eine Zentrifugalkraft ausnutzt, Öl in einem Ölbehälter 170 zugeführt, um diese Kugellager 5 u. 6 zu schmieren. Dann wird das Öl, das den Kugellagern 5 u. 6 zugeführt ist, nach Durchfließen eines Ölkanals 140 und einer inneren Kammer des Gehäuses 180 zu dem Ölbehälter 170 zurückgeführt. Das Öl wird durch Kühlwasser, das in einem Kühlwasserkanal 190 fließt, der längs des Ölkanals 140 vorgesehen ist, gekühlt, wenn das Öl den Ölkanal 140 durchfließt. Durch diese Kühlung gibt das Öl sein Wärme ab, die während des Schmierens der Kugellager 5 u. 6 absorbiert wurde.
  • Auf diese Weise wird das Öl stets wiederholt erhitzt und abgekühlt, wenn es während des Betriebs des Turbo-Gebläses 100A für den Gaslaser zirkuliert, so dass große Mengen von Öl und Ölnebel 160 innerhalb des Gehäuses 120 vorhanden sind.
  • Um das Öl und den Ölnebel 160 daran zu hindern, das Innere des Gehäuses 120 zu durchströmen, um in die Kohlensäure-Gaslaservorrichtung einzutreten, sieht die Konstruktion vor, dass eine Unterdruckpumpe (nicht gezeigt) das Lasergas aus der inneren Kammer 18ß des Gehäuses durch eine Unterdruck- Austrittsöffnung 22 abführt, um den Druck in der inneren Kammer 180 des Gehäuses stets niedriger als denjenigen innerhalb der Turbo-Ventilatorkammer zu halten.
  • Bei dem zuvor beschriebenen Aufbau wird Öl, besonders das Öl, welches das obere Lager 5 geschmiert hat, zu Nebel zerstreut, während es unter Durchströmen des Ölkanals 140 und der inneren Kammer 180 des Gehäuses zu dem Ölbehälter zurückkehrt, um dadurch die innere Kammer 180 des Gehäuses zu überschwemmen. Auf diese Weise wird, wenn das Gas innerhalb der inneren Kammer 180 des Gehäuses mittels der Unterdruckpumpe durch die Unterdruck-Austrittsöffnung 22 abgeführt wird, der überschwemmende Ölnebel zusammen mit dem Lasergas abgeführt, so dass während einer langen Zeitperiode eine beträchtlich Menge des Öls verloren geht.
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Gebläse für einen Gaslaser zu schaffen, das in der Lage ist, zu verhindern, dass Öl in dem Gebläse infolge des Abführens von Öl und Ölnebel mittels einer Unterdruckpumpe zusammen mit einem Lasergas über eine kurze Zeitperiode verbraucht wird.
  • Das Gebläse für Gaslaser gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst ein Gebläse-Gehäuse, das eine innere Kammer bildet, die eine Unterdruck-Austrittsöffnung hat, einen Ölkanal, der so ausgebildet ist, dass er sich durch eine Seitenwand erstreckt, die das Gehäuse ausmacht, ein oberes Lager und ein unteres Lager, die auf einem oberen Teil bzw. einem unteren Teil des Gehäuses montiert sind, eine Welle, die einen Ventilator an einem oberen Ende derselben bzw. eine Pumpe an einem unteren Ende derselben trägt und die durch das obere Lager und das untere Lager gelagert ist, und einen am Boden des Gehäuses ausgebildeten Ölbehälter, wobei durch Betreiben der Pumpe Öl innerhalb des Ölbehälters dem unteren Lager und dem oberen Lager zugeführt wird und das Öl durch den Ölkanal strömt, um zu dem Ölbehälter zurückgeführt zu werden. Ferner ist in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung in dem zuvor beschriebenen Gebläse für den Gaslaser das untere Ende des Ölkanals derart konstruiert, dass es sich auf der Innenseite der Wandung des Gehäuses, das den Ölbehälter bildet, öffnet, um die innere Kammer und den Ölkanal durch das Öl innerhalb des Ölbehälters zu trennen.
  • Weiterhin kann ein zylindrisches Teil derart innerhalb des Gehäuses angeordnet sein, dass es das untere Lager konzentrisch mit der Welle umgibt, und ein unterer Teil des zylindrischen Teils kann in dem Ölbehälter positioniert sein, um dadurch das Öl und den Ölnebel, die von dem unteren Lager zerstreut werden, durch das zylindrische Teil einzufangen, um sie vollständig zu dem Ölbehälter zurückzuführen.
  • Mit dem zuvor beschriebenen Aufbau gemäß der vorliegenden Erfindung treten Öl und Ölnebel nicht in die innere Kammer des Gehäuses ein, so dass, wenn ein Lasergas abgeführt wird, der Ölverbrauch in hohem Maße verringert werden kann.
  • Fig. 1 zeigt eine Querschnittsansicht eines Turbo-Gebläses für einen Laser gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
  • Fig. 2 zeigt den gesamten Aufbau einer Kohlensäure-Gaslaservorrichtung, auf die das Turbo-Gebläse gemäß Fig. 1 angewendet ist.
  • Fig. 3 zeigt eine Querschnittsansicht eines Beispiels für ein herkömmliches Turbo-Gebläse für einen Laser.
  • Fig. 4A zeigt eine Vertikalschnittansicht eines unteren Endteils einer Welle des in Fig. 1 gezeigten Turbo-Gebläses.
  • Fig. 4B zeigt eine Horizontalschnittansicht des unteren Endteils der Welle des in Fig. 1 gezeigten Turbo-Gebläses.
  • Fig. 5 zeigt eine Vertikalschnittansicht eine Schutzteils, das in seiner Form von demjenigen verschieden ist, das in Fig. 4A u. Fig. 4B gezeigt ist.
  • Zuerst wird der gesamte Aufbau einer Kohlensäure-Gaslaservorrichtung, auf die ein Laser-Turbo-Gebläse gemäß der vorliegenden Erfindung angewendet ist, unter Bezugnahme auf Fig. 2 erklärt.
  • Gemäß Fig. 2 sind auf den beiden Enden einer Entladungsröhre 71 ein optischer Resonator, der einen Ausgangskopplungsspiegel 72 umfasst, und ein Totalreflexionsspiegel 73 plaziert. Auf dem Außenumfang der Entladungsröhre 71 sind Metallelektroden 74 u. 75 montiert. Die Metallelektrode 74 ist geerdet, und die Metallelektrode 75 ist mit einer Hochfrequenz-Stromversorgung 76 verbunden. Über die Metallelektroden 74 u. 75 wird eine Hochfrequenz-Spannung aus der Hochfrequenz-Stromversorgung 76 gelegt, wodurch innerhalb der Entladungsröhre 71 eine Hochfrequenz-Glimmentladung erzeugt wird, um eine Laseranregung zu verursachen. Durch die Laseranregung wird innerhalb der Entladungsröhre 71 ein Laserstrahl 53 erzeugt, und ein Teil dieses Laserstrahls wird zu einem Laserstrahl 54, der von dem Ausgangskopplungsspiegel 72 auszugeben ist.
  • Wenn diese Gaslaser-Schwingungsvorrichtung gestartet wird, wird zuerst ein Ventil 55 geöffnet, so dass alles Gas innerhalb der Vorrichtung mittels einer Unterdruckpumpe 52 ausströmen kann. Als nächstes wird ein Strömungsrateneinstell- Ventil 51 geöffnet, um ein Lasergas aus einer Gasflasche 50 einströmen zu lassen, bis ein vorbestimmter Gasdruck erreicht ist. Danach wird der Gasstrom durch das Ventil 55 gedrosselt, um den Austritt durch die Unterdruckpumpe 52 zu regeln, und es wird die Menge der Gaszufuhr durch das Ventil 51 geregelt, so dass ein Teil des Lasergases fortlaufend durch frisches Gas ersetzt wird, während der Gasdruck innerhalb der Vorrichtung auf einem vorbestimmten Wert gehalten und eine Verunreinigung des Gases innerhalb der Vorrichtung verhindert wird.
  • Ferner wird mittels eines Turbo-Gebläses 100 für einen Laser, das als ein Ventilator dient, bewirkt, dass das Lasergas innerhalb der Vorrichtung zirkuliert. Der Zweck der Zirkulation besteht darin, das Lasergas zu kühlen. In einem CO&sub2; Gasläser werden ungefähr 20% der zugeführten elektrischen Energie in einen Laserstrahl umgewandelt, und der Rest davon wird beim Aufheizen des Lasergases verbraucht. Da jedoch ein Laserschwingungs-Gewinn theoretisch proportional zu der Potenz -(3/2) einer absoluten Temperatur T ist, ist es, um den Schwingungswirkungsgrad zu verbessern, notwendig, dass das Lasergas einer erzwungenen Kühlung unterzogen wird.
  • In dieser Vorrichtung strömt das Lasergas in einer Richtung, die durch einen Pfeil angedeutet ist, nachdem es die Entladungsröhre 71 mit einer Strömungsrate von ungefähr 200 m/s oder mehr durchströmt hat, um so in eine Kühleinrichtung 78 eingeführt zu werden. Die Kühleinrichtung 78 führt die Aufheizungsenergie, die durch die Entladung erzeugt ist, in überwiegendem Maße ab. Ferner komprimiert das Laser-Turbo- Gebläse 100 das gekühlte Lasergas. Das komprimierte Lasergas wird durch eine Kühleinrichtung 77 in die Entladungsröhre 71 eingeführt. Dieser Vorgang dient zum Beseitigen der aufgrund des Komprimierens erzeugten Wärme des Lasergases durch die Kühleinrichtung 77, bevor das Lasergas, das durch das Turbo- Gebläse 100 komprimiert ist, wieder in die Entladungsröhre 71 eingeführt wird. Da diese Kühleinrichtungen 77 u. 78 dem Fachmann bekannt sind, ist eine ins einzelne gehende Erklärung derselben an dieser Stelle fortgelassen.
  • Das Laser-Turbo-Gebläse 100 wird durch einen Wechselrichter 60 getrieben. Da das Laser-Turbo-Gebläse 100 bei einer hohen Geschwindigkeit von Zehntausenden U/min dreht, wird als der Wechselrichter 60 ein Hochfrequenz-Wechselrichter eingesetzt, dar an die Drehgeschwindigkeit des Gebläses 100 angepasst ist.
  • Als nächstes wird der Aufbau des Laser-Turbo-Gebläses gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf Fig. 1 beschrieben.
  • Wie in Fig. 1 gezeigt ist der Turbo-Ventilator 1 für das Gaslaser-Turbo-Gebläse 100 mittels der Mutter 7 mit einem oberen Ende der Welle 2 verbunden. An der Welle 2 ist der Rotor 3 längs des Außenumfangs derselben durch eine Schrumpfpassung befestigt. Außerhalb des Rotors 3 ist der Stator 4 vorgesehen. Der Stator 4 ist an einem Gehäuse 12 befestigt und macht zusammen mit dem Rotor 3 den Hochfrequenz-Motor 30 aus.
  • Ein oberer Teil der Welle 2, d. h. ein Wellenteil zwischen einem oberen Ende des Rotors 3, der zusammen mit dem Stator den Hochfrequenz-Mator 30 ausmacht, und einem oberen Ende des Turbo-Ventilators 1, die auf der Welle 2 montiert sind, ist durch ein Kugellager 5 gehalten, das auf einem oberen Teil des Gehäuses 12 montiert ist, während ein unterer Teil der Welle 2 durch ein Kugellager 6 gehalten ist, das auf einem Wellenhalteteil 20 montiert ist, das in einem unteren Teil des Gehäuses 12 ausgebildet ist.
  • Das Lasergas wird von der Kühleinrichtung 78 (Fig. 2) in das Turbo-Gebläse 100 in einer Weise eingezogen, wie dies durch einen Pfeil 9 gezeigt ist, und tritt aus dem Turbo-Gebläse 100 auf zwei getrennten Wegen aus, wie dies durch Pfeile 10 gezeigt ist, um in einer zentrifugalen Richtung abgeführt zu werden. Das Lasergas, das aus der Kühleinrichtung 78 in den zwei Richtungen abgeführt ist, strömt in eine Vielzahl von Entladungsröhren 71, nachdem es eine oder eine Vielzahl von Kühleinrichtungen 77 durchströmt hat. Ferner durchströmt das Lasergas, nachdem es die Entladungsröhre 71 durchströmt hat, eine oder eine Vielzahl von Kühleinrichtungen 78 und kehrt schließlich zu einem einzigen Kanal zurück, wie dies durch den Pfeil 9 gezeigt ist, um in das Turbo-Gebläse 100 (in Fig. 2 ist das System in einer vereinfachten Form gezeigt) zu strömen.
  • Auf der Innenumfangsoberfläche des Wellenhalteteils 20 ist eine Lagerbuchse 21 um das Kugellager 6 vorgesehen. Unterhalb der Lagerbuchse 21 ist eine Feder 15 angeordnet, um auf die Kugellager 5 u. 6 eine Vorlast auszuüben, so dass die beiden Kugellager 5 u. 6 den ganzen Körper der Welle 2 tragen, die vertikal gehalten ist.
  • Bei dem unteren Ende der Welle 2 und genau unter dem Motor 30 sind in dem Gehäuse 12 ein Ölbehälter 17 und eine innere Kammer 18 des Gehäuses ausgebildet. Innerhalb des Ölbehälters 17 ist eine Ölpumpe 16 angeordnet, die an einem unteren freien Ende der Welle 2 montiert ist. Ferner kommuniziert ein Ölkanal 26, der innerhalb des Gehäuses ausgebildet ist, mit einem Bodenteil des Ölbehälters 17. Dann durchströmt das Öl innerhalb des Ölbehälters 17, nachdem es den Ölkanal 26 durchströmt hat, eine Auslassöffnung 27, die sich in dem Zentrum des Bodens des Wellenhalteteils 20 öfnet, um in den zylindrischen inneren Teil des Wellenhalteteils 20 und in die Ölpumpe 16 einzutreten. Das bedeutet, dass der Ölbehälter 17 und der zylindrische innere Teil des Wellenhalteteils 20 durch den Ölkanal 26 und durch die Auslassöffnung 27 miteinander kommunizieren und das Öl innerhalb des Ölbehälters 17 und das Öl innerhalb des Wellenhalteteils 20 auf gleichem Niveau gehalten werden.
  • Andererseits führt die Ölpumpe 16 während der Drehung der Welle 2 nicht nur dem Kugellager 6, das unten angeordnet ist, sondern auch dem Kugellager 5, das oben angeordnet ist, durch einen Ölkanal 13, der bei dem Zentrum der Welle 2 angeordnet ist, durch die Pumpwirkung an ihrem Außenumfang Öl zu. Der Aufbau der Ölpumpe 16 ist aus der ungeprüften Japanischen Patent-Offenlegungsschrift Nr. 1-153897 bekannt. Ferner ist die Unterdruck-Austrittsöffnung 22 in der inneren Kammer 18 des Gehäuses ausgebildet, und das Lasergas innerhalb der inneren Kammer 18 wird durch die Unterdruck-Austrittsöffnung 22 mittels einer Unterdruckpumpe (nicht gezeigt) abgeführt, um dadurch stets den Druck in der inneren Kammer 18 des Gehäuses niedriger als den Druck innerhalb der Kammer des Turbo-Ventilators zu halten.
  • Innerhalb des Teils der Wandung, die das Gehäuse 12 bildet, der dem Außenumfang des Stators 4 gegenübersteht, welcher zusammen mit dem Rotar den Motor 30 ausmacht, ist ein Ölkanal 14 längs des Stators 4 ausgebildet, und ferner ist in dem Außenumfang desselben ein Kühlwasserkanal 19 längs des Ölkanals 14 ausgebildet. Das Öl wird mittels der Ölpumpe 16 aus dem Ölbehälter 17 durch den Ölkanal 26 in die Nachbarschaft der Kugellager 5 u. 6 geführt, wenn die Welle 2 dreht, und ein Teil des Öls, der zum Schmieren des Kugellagers 5 benutzt wird, wird zu dem Ölbehälter 17 zurückgeführt, nachdem dieses Öl in dem Ölkanal 14 gekühlt ist, um dadurch das Öl stets während des Betriebs des Laser-Turbo-Gebläses 100 in Zirkulation zu halten.
  • In dem Laser-Turbo-Gebläse 100, das den zuvor beschriebenen Aufbau hat, erstreckt sich der Ölkanal 14 unterhalb des Flüssigkeitsniveaus eines bevorrateten Öls innerhalb des Ölbehälters 17, um direkt mit dem Ölbehälter 17 zu kommunizieren, um dadurch zu ermöglichen, dass das Öl durch die Ölkanäle 23 u. 26 zirkuliert. Die innere Kammer 18 des Gehäuses, welche die Unterdruck-Austrittsöffnung 22 hat, und der Ölkanal 14 sind durch das bevorratete Öl innerhalb des Ölbehälters 17 getrennt, um dadurch zu verhindern, dass Öl und Ölnebel in dem Ölkanal 14 in die innere Kammer 18 des Gehäuses und die Unterdruck-Austrittsöffnung 22 eintreten.
  • Ferner kann ein Teil oder die Gesamtheit des Ölkanals 14 rohrförmig ausgebildet sein, und eine untere Öffnung des rohrförmigen Teils des Ölkanals 14 kann sich unterhalb des Flüssigkeitsniveaus des Ölbehälters 17 erstrecken.
  • Weiterhin ist, wie dies in Fig. 1, Fig. 4A u. Fig. 4B gezeigt ist, ein zylindrisches Schutzteil 24 um den Außenumfang des Wellenhaltetelis 20 in einer Weise angeordnet, dass die Achse desselben mit der Achse der Welle 2 zusammenfällt, um dadurch das Öl und den Ölnebel, die von dem unteren Kugellager 6 zerstreut werden, einzufangen. Wie in Fig. 4A gezeigt erstreckt sich das untere Ende des Schutzteils 24 in den Ölbehälter 17. Das Öl und der Ölnebel, die auf diese Weise eingefangen sind, werden nach und nach durch einen Ölkanal 25, der zwischen dem Schutzteil 24 und dem Wellenhalteteil 20 ausgebildet ist, zu dem Ölbehälter 17 zurückgeführt. Da das Innere des zylindrischen Schutzteils 24 und die innere Kammer 18 des Gehäuses durch das Öl innerhalbs des Ölbehälters 17 voneinander getrennt sind, wird sich der überschwemmende Ölnebel innerhalb des zylindrischen Schutzteils 24 nicht in die innere Kammer 18 des Gehäuses bewegen. Daher verhindert das Vorhandensein dieses Schutzteils 24, dass Öl und Ölnebel in die innere Kammer 18 des Gehäuses hinein zerstreut werden.
  • Überdies ist das zylindrische Schutzteil 24 vorzugsweise durchsichtig. Wenn es jedoch undurchsichtig ist, kann in der Seitenoberfläche desselben ein Sichtfenster 28 vorgesehen sein, um von außen die Drehrichtung des drehenden Körpers bestätigen zu können, und es kann eine durchsichtige Abdeckung 29 daran angebracht sein, wie dies in Fig. 5 gezeigt ist. In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist ein gasundurchlässiges Material für das Schutzteil 24 verwendet, jedoch kann der gleiche Effekt durch Benutzen eines Ölnebelfilters erreicht werden.
  • Die Menge des Ölverbrauchs, der sich aus dem Abführen von Lasergas ergibt, das zum Ergänzen mit frischem Lasergas und zum Verhindern einer Verunreinigung der optischen Teile durchgeführt wird, kann in hohem Maße verringert werden, so dass die Zuverlässigkeit und die Wartungsfreundlichkeit des Laser-Turbo-Gebläses 100 verbessert werden können. Ferner können auch, da die Menge des Öls, das in dem abgeführten Lasergas enthalten ist, verringert wird, die Zuverlässigkeit einer Abführungsgas-Steuereinrichtung, einer Unterdruckpumpe und dgl. innerhalb der Kohlensäure Gaslaservorrichtung verbessert werden.
  • In dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel ist der Turbo- Ventilator 1 für das Laser-Turbo-Gebläse 100 ein Ventilator des Zentrifugaltyps, kann jedoch durch einen Diagonalströmungs-Ventilator oder einen Axialströmungs-Ventilator oder dgl. ersetzt werden.

Claims (8)

1. Gebläse für einen Gaslaser, das umfasst: ein Gebläse-Gehäuse (12), das eine innere Kammer (18) bildet, die eine Unterdruck-Austrittsöffnung (22) hat, einen Ölkanal (14), der so ausgebildet ist, dass er sich durch eine Seitenwand erstreckt, die das Gehäuse ausmacht, ein oberes Lager (5) und ein unteres Lager (6), die auf einem oberen Teil bzw. einem unteren Teil des Gehäuses montiert sind, eine Welle (2) auf die ein Ventilator (1) an einem oberen Ende derselben bzw. eine Pumpe (16) an einem unteren Ende derselben montiert sind und die durch das obere Lager und das untere Lager gelagert ist, und einen am Baden des Gehäuses ausgebildeten Ölbehälter (17), wobei durch Betreiben der Pumpe Öl innerhalb des Ölbehälters dem unteren Lager und dem unteren Teil des oberen Lagers zugeführt wird, das Öl durch den Ölkanal strömt und dann zu dem Ölbehälter zurückgeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Ölkanal derart ausgebildet ist, dass das untere Ende desselben bei der inneren Wand des Gehäuses, die den Ölbehälter bildet, positioniert ist und außerdem in das Innere des Gehäuses auf einem Niveau unterhalb des Ölniveaus offen ist, so dass die innere Kammer und der Ölkanal durch das Öl innerhalb des Ölbehälters voneinander getrennt sind.
2. Gebläse für einen Gaslaser nach Anspruch 1, wobei ein Teil oder die Gesamtheit des Ölkanals rohrförmig ausgebildet ist und sich ein unteres Ende des rohrförmigen Teils des Ölkanals unterhalb des Niveaus des Öls in dem Ölbehälter erstreckt.
3. Gebläse für einen Gaslaser nach Anspruch 1, wobei ein zylindrisches Teil (24), das konzentrisch mit der Welle und das untere Lager umgebend plaziert ist, derart innerhalb des Gehäuses angeordnet ist, dass ein Ölnebel, der als Ergebnis einer zentrifugalen Zerstreuung des Öls erzeugt wird, das dem unteren Lager durch die Drehung der Welle verursacht zugeführt wird, durch das zylindrische Teil eingefangen wird.
4. Gebläse für einen Gaslaser nach Anspruch 3, wobei das zylindrische Teil in einer Weise angeordnet ist, dass sich ein unterer Teil desselben unterhalb des Niveaus der Flüssigkeit in dem Ölbehälter erstreckt, so dass das Öl und der Ölnebel, die von dem unteren Lager zerstreut werden, durch das zylindrische eingefangen und völlig zu dem Ölbehälter zurückgeführt werden.
5. Gebläse für einen Gaslaser nach Anspruch 3 oder 4, wobei das zylindrische Teil aus einem transparenten Material hergestellt ist, welches das Öl und den Ölnebel an einem Durchdringen desselben hindert.
6. Gebläse für einen Gaslaser nach Anspruch 3 oder 4, wobei das zylindrische Teil aus einem Filter hergestellt ist, welcher das Öl und den Ölnebel an einem Durchdringen desselben hindert.
7. Gebläse für einen Gaslaser nach Anspruch 3 oder 4, wobei das zylindrische Teil aus einem lichtundurchlässigen Material hergestellt ist und mit einem Sichtfenster (28), das sich in einer Seitenfläche desselben befindet, zum Überwachen des Inneren desselben und mit einer Abdeckung (29) zum Abdichten des Sichtfensters versehen ist.
8. Gebläse für einen Gaslaser nach Anspruch 7, wobei die Abdeckung aus einem transparenten Material hergestellt ist.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10296376T5 (de) * 2001-04-05 2004-04-15 Mitsubishi Denki K.K. Kohlenstoffdioxidlaser-Bearbeitungsverfahren von Mehrschichtmaterial
JP3952057B2 (ja) * 2004-10-07 2007-08-01 松下電器産業株式会社 ガスレーザ発振装置
JP2006177281A (ja) * 2004-12-24 2006-07-06 Shimadzu Corp 高速回転機器
JP4249723B2 (ja) * 2005-04-14 2009-04-08 ファナック株式会社 レーザ発振器用ブロワ
JP6059057B2 (ja) * 2013-03-27 2017-01-11 ファナック株式会社 ガスレーザ用オイル潤滑ブロワ
JP2015116113A (ja) * 2013-12-16 2015-06-22 ファナック株式会社 ターボブロア駆動用電動機

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58192997A (ja) * 1982-05-07 1983-11-10 Hitachi Ltd 立形モ−タポンプ
JP2690098B2 (ja) * 1988-03-03 1997-12-10 ファナック株式会社 レーザ発振装置
JP3104363B2 (ja) * 1992-01-29 2000-10-30 株式会社日立製作所 立軸型揚水ポンプ
US5350039A (en) * 1993-02-25 1994-09-27 Nartron Corporation Low capacity centrifugal refrigeration compressor
US5461636A (en) * 1994-01-24 1995-10-24 Fanuc Ltd. Turbo blower for lasers
JPH07211962A (ja) * 1994-01-25 1995-08-11 Fanuc Ltd レーザ用ターボブロア
DE69611316T2 (de) * 1995-03-31 2001-05-23 Aisin Seiki K.K., Kariya Flüssigkeitspumpe

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