DE69706247D1 - Vorrichtung zum Bestimmen der Oberflächenform einer Welle, die von einem im wesentlichen flachen Gegenstand reflektiert wird - Google Patents

Vorrichtung zum Bestimmen der Oberflächenform einer Welle, die von einem im wesentlichen flachen Gegenstand reflektiert wird

Info

Publication number
DE69706247D1
DE69706247D1 DE69706247T DE69706247T DE69706247D1 DE 69706247 D1 DE69706247 D1 DE 69706247D1 DE 69706247 T DE69706247 T DE 69706247T DE 69706247 T DE69706247 T DE 69706247T DE 69706247 D1 DE69706247 D1 DE 69706247D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
determining
substantially flat
surface shape
wave reflected
flat object
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69706247T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69706247T2 (de
Inventor
Michael Bray
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Compagnie Industriel des Lasers CILAS SA
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Compagnie Industriel des Lasers CILAS SA
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Compagnie Industriel des Lasers CILAS SA, Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Compagnie Industriel des Lasers CILAS SA
Publication of DE69706247D1 publication Critical patent/DE69706247D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69706247T2 publication Critical patent/DE69706247T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE69706247T 1996-07-10 1997-06-25 Vorrichtung zum Bestimmen der Oberflächenform einer Welle, die von einem im wesentlichen flachen Gegenstand reflektiert wird Expired - Fee Related DE69706247T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9608599A FR2751070B1 (fr) 1996-07-10 1996-07-10 Dispositif pour determiner la forme de la surface d'onde reflechie par une piece sensiblement plane

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69706247D1 true DE69706247D1 (de) 2001-09-27
DE69706247T2 DE69706247T2 (de) 2002-04-25

Family

ID=9493896

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69706247T Expired - Fee Related DE69706247T2 (de) 1996-07-10 1997-06-25 Vorrichtung zum Bestimmen der Oberflächenform einer Welle, die von einem im wesentlichen flachen Gegenstand reflektiert wird

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5838442A (de)
EP (1) EP0818668B1 (de)
DE (1) DE69706247T2 (de)
ES (1) ES2160906T3 (de)
FR (1) FR2751070B1 (de)
SI (1) SI0818668T1 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10281736A (ja) * 1997-04-04 1998-10-23 Nikon Corp 倍率校正装置および形状測定システム
JP3728187B2 (ja) * 2000-07-10 2005-12-21 キヤノン株式会社 結像光学系性能測定方法及び装置
DE102005040749B3 (de) * 2005-08-26 2007-01-25 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur interferometrischen Messung einer optischen Eigenschaft eines Prüflings sowie zur Durchführung des Verfahrens geeignete Vorrichtung

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL272308A (de) * 1960-12-13
US4792228A (en) * 1987-08-20 1988-12-20 Cincinnati Milacron Inc. Position error sensing and feedback apparatus and method
US5343410A (en) * 1991-03-19 1994-08-30 Fuji Photo Optical Co., Ltd. Method for divisional measurement of object surface, and method for joining object surface sub-areas measured by same
JP3027241B2 (ja) * 1991-07-30 2000-03-27 株式会社堀場製作所 異物検査装置
DE4218382A1 (de) * 1992-06-04 1993-12-09 Leonhardt Klaus Prof Dr Ing Ha Optisches Profilometer zur Rauheitsmessung mit adaptiver Neigungsvoreinstellung und neuartigem Detektionssystem
US5473435A (en) * 1992-07-07 1995-12-05 Nikon Corporation Method of measuring the bent shape of a movable mirror of an exposure apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
US5838442A (en) 1998-11-17
ES2160906T3 (es) 2001-11-16
EP0818668B1 (de) 2001-08-22
SI0818668T1 (en) 2001-10-31
DE69706247T2 (de) 2002-04-25
FR2751070A1 (fr) 1998-01-16
EP0818668A1 (de) 1998-01-14
FR2751070B1 (fr) 1998-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3766408D1 (de) Verfahren zum aufspruehen einer abriebfesten beschichtung.
DE68918554D1 (de) Rotierende Vorrichtung für die Zerstäubung von Farbe.
DE69627288D1 (de) Vorrichtung zum einstellen der eindringtiefe einer lanzette
DE69728812D1 (de) Verfahren zur Erhöhung der Lötbarkeit einer Oberfläche
DE3580740D1 (de) Vorrichtung und verfahren zum gewinnen einer oberflaechenprofilometrie und von dreidimensionalen oberflaechenkonturen.
DE69515563D1 (de) Verfahren zum Verbinden von einem elastischen Band mit einer kontinuierlich-transportierten, teilelastischen Unterlage
AT366980B (de) Vorrichtung zum abstreifen eines mit einer huelse versehenen warenbahnwickels von einem dorn od.dgl.
FR2508348B1 (fr) Appareil pour pulveriser de la peinture sur une surface
DE69021756D1 (de) Vorrichtung zur Bestimmung der Positionskoordinaten von Punkten auf einer Fläche.
DE69003219D1 (de) Vorrichtung zum bestimmen einer position.
DE69014765D1 (de) Verfahren zum Bilden einer von einem Luftstrom umspülten Zone.
DE69005966D1 (de) Vorrichtung zum Spritzen eines Beschichtungsproduktes mit einem drehenden Sprühelement.
DE3872401D1 (de) Verfahren zur ausbildung einer metall-spritzbeschichtung.
DE69012417D1 (de) Vermeidungssonar für Unterwasserobjekte unterhalb der Wasseroberfläche.
DE69021080D1 (de) Vorrichtung zum verbessern der qualität einer optischen oberfläche.
DE68901454D1 (de) Festhaltemechanismus fuer die trommel einer vorrichtung zum reinigen von abwasserleitungen.
DE69016076D1 (de) Verfahren zur Behandlung einer Metallfläche.
DE69108112D1 (de) Vorrichtung zum Formen einer ringförmigen Beschichtung.
DE69011630D1 (de) Automatische Farbspritzmaschine.
DE69013497D1 (de) Vorrichtung zum beschichten von papierbahnen.
DE59006096D1 (de) Verfahren zum Entlacken von Werkstücken, insbesondere Faserverbundwerkstücken.
DE59606186D1 (de) Vorrichtung zum Beschichten einer Substratfläche
DE59002058D1 (de) Vorrichtung zum abnehmen eines flaechigen werkstueckes von einer anklebenden unterfolie.
DE69416578D1 (de) Vorrichtung zum Sandstrahlen von Flächen, die von einer geraden Sandstrahlkanalisation nicht zugänglich sind
DE59002539D1 (de) Vorrichtung zum Auslegen von Druckereiprodukten.

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee