DE69706247D1 - Vorrichtung zum Bestimmen der Oberflächenform einer Welle, die von einem im wesentlichen flachen Gegenstand reflektiert wird - Google Patents
Vorrichtung zum Bestimmen der Oberflächenform einer Welle, die von einem im wesentlichen flachen Gegenstand reflektiert wirdInfo
- Publication number
- DE69706247D1 DE69706247D1 DE69706247T DE69706247T DE69706247D1 DE 69706247 D1 DE69706247 D1 DE 69706247D1 DE 69706247 T DE69706247 T DE 69706247T DE 69706247 T DE69706247 T DE 69706247T DE 69706247 D1 DE69706247 D1 DE 69706247D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- determining
- substantially flat
- surface shape
- wave reflected
- flat object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9608599A FR2751070B1 (fr) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | Dispositif pour determiner la forme de la surface d'onde reflechie par une piece sensiblement plane |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69706247D1 true DE69706247D1 (de) | 2001-09-27 |
DE69706247T2 DE69706247T2 (de) | 2002-04-25 |
Family
ID=9493896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69706247T Expired - Fee Related DE69706247T2 (de) | 1996-07-10 | 1997-06-25 | Vorrichtung zum Bestimmen der Oberflächenform einer Welle, die von einem im wesentlichen flachen Gegenstand reflektiert wird |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5838442A (de) |
EP (1) | EP0818668B1 (de) |
DE (1) | DE69706247T2 (de) |
ES (1) | ES2160906T3 (de) |
FR (1) | FR2751070B1 (de) |
SI (1) | SI0818668T1 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10281736A (ja) * | 1997-04-04 | 1998-10-23 | Nikon Corp | 倍率校正装置および形状測定システム |
JP3728187B2 (ja) * | 2000-07-10 | 2005-12-21 | キヤノン株式会社 | 結像光学系性能測定方法及び装置 |
DE102005040749B3 (de) * | 2005-08-26 | 2007-01-25 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur interferometrischen Messung einer optischen Eigenschaft eines Prüflings sowie zur Durchführung des Verfahrens geeignete Vorrichtung |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL272308A (de) * | 1960-12-13 | |||
US4792228A (en) * | 1987-08-20 | 1988-12-20 | Cincinnati Milacron Inc. | Position error sensing and feedback apparatus and method |
US5343410A (en) * | 1991-03-19 | 1994-08-30 | Fuji Photo Optical Co., Ltd. | Method for divisional measurement of object surface, and method for joining object surface sub-areas measured by same |
JP3027241B2 (ja) * | 1991-07-30 | 2000-03-27 | 株式会社堀場製作所 | 異物検査装置 |
DE4218382A1 (de) * | 1992-06-04 | 1993-12-09 | Leonhardt Klaus Prof Dr Ing Ha | Optisches Profilometer zur Rauheitsmessung mit adaptiver Neigungsvoreinstellung und neuartigem Detektionssystem |
US5473435A (en) * | 1992-07-07 | 1995-12-05 | Nikon Corporation | Method of measuring the bent shape of a movable mirror of an exposure apparatus |
-
1996
- 1996-07-10 FR FR9608599A patent/FR2751070B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-06-25 DE DE69706247T patent/DE69706247T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1997-06-25 EP EP97401473A patent/EP0818668B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-25 SI SI9730184T patent/SI0818668T1/xx unknown
- 1997-06-25 ES ES97401473T patent/ES2160906T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1997-06-26 US US08/883,398 patent/US5838442A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5838442A (en) | 1998-11-17 |
ES2160906T3 (es) | 2001-11-16 |
EP0818668B1 (de) | 2001-08-22 |
SI0818668T1 (en) | 2001-10-31 |
DE69706247T2 (de) | 2002-04-25 |
FR2751070A1 (fr) | 1998-01-16 |
EP0818668A1 (de) | 1998-01-14 |
FR2751070B1 (fr) | 1998-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3766408D1 (de) | Verfahren zum aufspruehen einer abriebfesten beschichtung. | |
DE68918554D1 (de) | Rotierende Vorrichtung für die Zerstäubung von Farbe. | |
DE69627288D1 (de) | Vorrichtung zum einstellen der eindringtiefe einer lanzette | |
DE69728812D1 (de) | Verfahren zur Erhöhung der Lötbarkeit einer Oberfläche | |
DE3580740D1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum gewinnen einer oberflaechenprofilometrie und von dreidimensionalen oberflaechenkonturen. | |
DE69515563D1 (de) | Verfahren zum Verbinden von einem elastischen Band mit einer kontinuierlich-transportierten, teilelastischen Unterlage | |
AT366980B (de) | Vorrichtung zum abstreifen eines mit einer huelse versehenen warenbahnwickels von einem dorn od.dgl. | |
FR2508348B1 (fr) | Appareil pour pulveriser de la peinture sur une surface | |
DE69021756D1 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung der Positionskoordinaten von Punkten auf einer Fläche. | |
DE69003219D1 (de) | Vorrichtung zum bestimmen einer position. | |
DE69014765D1 (de) | Verfahren zum Bilden einer von einem Luftstrom umspülten Zone. | |
DE69005966D1 (de) | Vorrichtung zum Spritzen eines Beschichtungsproduktes mit einem drehenden Sprühelement. | |
DE3872401D1 (de) | Verfahren zur ausbildung einer metall-spritzbeschichtung. | |
DE69012417D1 (de) | Vermeidungssonar für Unterwasserobjekte unterhalb der Wasseroberfläche. | |
DE69021080D1 (de) | Vorrichtung zum verbessern der qualität einer optischen oberfläche. | |
DE68901454D1 (de) | Festhaltemechanismus fuer die trommel einer vorrichtung zum reinigen von abwasserleitungen. | |
DE69016076D1 (de) | Verfahren zur Behandlung einer Metallfläche. | |
DE69108112D1 (de) | Vorrichtung zum Formen einer ringförmigen Beschichtung. | |
DE69011630D1 (de) | Automatische Farbspritzmaschine. | |
DE69013497D1 (de) | Vorrichtung zum beschichten von papierbahnen. | |
DE59006096D1 (de) | Verfahren zum Entlacken von Werkstücken, insbesondere Faserverbundwerkstücken. | |
DE59606186D1 (de) | Vorrichtung zum Beschichten einer Substratfläche | |
DE59002058D1 (de) | Vorrichtung zum abnehmen eines flaechigen werkstueckes von einer anklebenden unterfolie. | |
DE69416578D1 (de) | Vorrichtung zum Sandstrahlen von Flächen, die von einer geraden Sandstrahlkanalisation nicht zugänglich sind | |
DE59002539D1 (de) | Vorrichtung zum Auslegen von Druckereiprodukten. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |