DE69607569T3 - USE OF A PHOTO SENSITIVE PASTE, METHOD FOR PRODUCING A PLASMA DISPLAY PANEL, AND PLASMA DISPLAY PANEL WHICH CAN BE PRODUCED BY THIS METHOD - Google Patents

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Description

Technisches Gebiettechnical area

Die vorliegende Erfindung betrifft die Verwendung einer lichtempfindlichen Paste, eine daraus hergestellte Plasmaanzeige sowie ein Verfahren zu deren Herstellung.The The present invention relates to the use of a photosensitive Paste, a plasma display made from it and a method for their manufacture.

Die lichtempfindliche Paste gemäß vorliegender Erfindung wird zur Musterbildung für verschiedene Anzeigen eingesetzt, einschließlich Plasmaanzeigen und matrixadressierter Plasma-Flüssigkristallanzeigen(-LCDs) sowie Schaltkreismaterialien. Eine solche Plasmaanzeige kann bei Groß-TV-Geräten und Computeranzeigen eingesetzt werden.The photosensitive paste according to the present Invention is used for pattern formation for various displays, including Plasma displays and matrix addressed plasma liquid crystal displays (LCDs) as well as circuit materials. Such a plasma display can Wholesale TV sets and Computer displays are used.

Stand der TechnikState of technology

Im Bereich von Anzeigen und Schaltkreismaterial ist in der letzten Zeit der Bedarf an Techniken zur Ausbildung hochpräziser Muster mit anorganischen Materialien stark gestiegen.in the Range of displays and circuit material is in the last one Time the need for techniques for the formation of high-precision patterns with inorganic materials has risen sharply.

Da auf dem Gebiet von Anzeigen immer kleinere Produkte mit hoher Auflösung entwickelt worden sind, ist der Bedarf an fortschrittlichen Techniken zur präzisen Musterausbildung sehr hoch geworden. Für die Herstellung einer Trennrippe, welche die Pixel auf der Plasmaanzeigentafel trennt, ist es beispielsweise notwendig, ein Material zu entwickeln, das zur Musterbildung mit einem anorganischen Material, beispielsweise Glas, mit hoher Genauigkeit und hohem Seitenverhältnis dient.There in the field of advertising ever smaller products with high resolution developed has been the need for advanced techniques for precise pattern formation got very high. For the manufacture of a separating fin, which is the pixels on the plasma display panel separates, it is necessary, for example, to develop a material that for pattern formation with an inorganic material, for example glass, serves with high accuracy and high aspect ratio.

Auf dem Gebiet der Schaltkreismaterialien sind andererseits nützliche Techniken für die präzise Bearbeitung von Keramiksubstraten erforderlich, auf denen ICs zu montieren sind. Zur Zeit werden für die Musterbildung Siebdruck und Stanzen eingesetzt, mit der Entwicklung immer kleinerer Schaltkreisvorrichtungen sind aber fortschrittlichere Techniken zur Ausbildung hochpräziser Muster erforderlich.On circuit materials are useful on the other hand Techniques for the precise Machining of ceramic substrates required on which ICs too are to be assembled. Screen printing is currently being used for pattern formation and stamping, with the development of ever smaller circuit devices but are more advanced techniques for creating high-precision patterns required.

Nach dem Stand der Technik wird die Musterbildung mit anorganischem Material häufig mittels Siebdruck unter Einsatz einer Paste durchgeführt, die aus anorganischen Teilchen und organischem Bindemittel besteht, gefolgt von Brennen. Siebdruck besitzt jedoch Nachteile beim Ausbilden präziser Muster. Ein weiterer Nachteil besteht darin, dass die Ausbildung eines Musters mit einem hohen Seitenverhältnis viele Verfahrensschritte erfordert, da Mehrschichtdruck notwendig ist.To The state of the art is the pattern formation with inorganic material frequently carried out by screen printing using a paste that consists of inorganic particles and organic binder, followed by burning. However, screen printing has drawbacks in training more precise Template. Another disadvantage is that training of a pattern with a high aspect ratio many process steps required because multilayer printing is necessary.

Um dieses Problem zu lösen, haben die US-A-4.885.963, die US-A-5.209.688 und die JP-A-05-342992 Photolithographieverfahren vorgeschlagen, bei denen eine lichtempfindliche Paste eingesetzt wird. Da die lichtempfindliche Paste geringe Empfindlichkeit und Auflösung aufweist, ist es jedoch unmöglich, eine hochauflösende Trennrippe mit hohem Seitenverhältnis herzustellen, und daher ist ein langwieriges Verfahren, das aus mehreren Schritten (Beschichten, Belichten, Entwickeln usw.) besteht, erforderlich, um ein Muster auf einer Trennrippe bis zu einer hohen Dicke von beispielsweise 80 um oder mehr auszubilden.Around to solve this problem, have US-A-4,885,963, US-A-5,209,688 and JP-A-05-342992 Photolithography methods proposed using a photosensitive Paste is used. Because the photosensitive paste low sensitivity and resolution however, it is impossible a high resolution High aspect ratio rib to manufacture, and therefore is a lengthy process that consists of consists of several steps (coating, exposure, developing, etc.), required to make a pattern on a separating rib up to a high one Form thickness of, for example, 80 µm or more.

Die US-A-5.209.688 schlägt auch ein Verfahren vor, bei dem Transierpapier mit einer lichtempfindlichen Paste beschichtet wird, gefolgt vom Übertragen von Transferfilm auf ein Glassubstrat, und die JP-A-03-57138 schlägt ein Verfahren vor, bei dem Rillen auf einer Photoresistschicht mit einer dielektrischen Paste gefüllt werden, um eine Trennrippe zu bilden. Weiters schlägt die US-A-5.116.271 die Verwendung von lichtempfindlichem organischem Film zum Ausbilden einer Trennrippe vor. Diese Verfahren haben jedoch Nachteile, die sich aus der Verwendung von Transferfilm, Photoresist oder organischem Film ergeben, die zusätzliche Herstellungsverfahren erfordern. Es sollte auch angemerkt werden, dass nach diesen Verfahren keine hochauflösende Trennrippe mit hohem Seitenverhältnis erhalten worden sind.The US-A-5,209,688 also proposed a method in which transfer paper with a photosensitive Paste is coated, followed by transfer film transfer on a glass substrate, and JP-A-03-57138 proposes a method in which Grooves on a layer of photoresist with a dielectric paste filled to form a separation rib. Furthermore, US-A-5,116,271 suggests the use of photosensitive organic film for formation a rib. However, these methods have disadvantages resulting from the use of transfer film, photoresist or organic Film reveal the additional Manufacturing processes require. It should also be noted that no high-resolution separating rib with high aspect ratio have been obtained.

Weiters erfordert es die Herstellung von Plasmaanzeigen manchmal, dass zusätzlich zur Trennrippe Muster der Isolatorschicht oder dielektrischen Schicht ausgebildet werden, was zu ähnlichen Problemen wie jenen mit der Trennrippenbearbeitung führt.Furthermore, it sometimes requires the production of plasma displays that in addition to Separating rib pattern of the insulator layer or dielectric layer be trained, leading to similar Problems such as those with rib machining.

Zusammenfassung der ErfindungSummary of the invention

Das Ziel der vorliegenden Erfindung besteht darin, die Verwendung einer lichtempfindlichen Paste bereitzustellen, welche Musterbildung mit hoher Präzision und hohem Seitenverhältnis zulässt, was ermöglicht wird, indem der Brechungsindex der organischen und anorganischen Komponenten in der lichtempfindlichen Paste reguliert wird, um die Reflexion und Streuung an der Grenzfläche zwischen den organischen und anorganischen Komponenten zu verringern. Ein weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, eine hochauflösende Plasmaanzeige sowie ein Verfahren zu deren Herstellung bereitzustellen.The object of the present invention is to provide the use of a photosensitive paste which allows patterning with high precision and high aspect ratio, which is made possible by regulating the refractive index of the organic and inorganic components in the photosensitive paste in order to control the reflection and scattering the interface between the organic and anor reduce ganic components. Another object of the invention is to provide a high-resolution plasma display and a method for its production.

Die Ziele der Erfindung werden durch die Verwendung einer lichtempfindlichen Paste erreicht, die als Basiskomponenten anorganische Teilchen und eine organische Komponente umfasst, die eine lichtempfindliche Verbindung enthält, worin der mittlere Brechungsindex N1 der anorganischen Teilchen und der mittlere Brechungsindex N2 der lichtempfindlichen organischen Komponente der folgenden Gleichung entsprechen: –0,1 ≤ N1 – N2 ≤ 0,1 The objects of the invention are achieved by the use of a photosensitive paste which comprises, as base components, inorganic particles and an organic component which contains a photosensitive compound, in which the average refractive index N1 of the inorganic particles and the average refractive index N2 of the photosensitive organic component of the following equation correspond: -0.1 ≤ N1 - N2 ≤ 0.1

Die Ziele der Erfindung werden auch durch die Verwendung einer lichtempfindlichen Paste erreicht, die als Basiskomponenten anorganische Teilchen und eine organische Komponente umfasst, die eine lichtempfindliche Verbindung enthält, worin der mittlere Brechungsindex der anorganischen Teilchen im Bereich von 1,5 bis 1,7 liegt.The Objects of the invention are also achieved through the use of a photosensitive Paste achieved as the basic components of inorganic particles and comprises an organic component which is a photosensitive compound contains where the average refractive index of the inorganic particles in Range is 1.5 to 1.7.

Weiters werden die Ziele der Erfindung auch durch eine Plasmaanzeige sowie ein Verfahren zu deren Nerstellung erreicht, worin die Trennrippe hergestellt wird, indem ein Glassubstrat mit einer solchen Paste beschichtet wird, gefolgt von Belichten, Entwickeln und Brennen.Furthermore, the objectives of the invention are also achieved by a plasma display as well achieved a process for their preparation, wherein the separating rib is made by using a glass substrate with such a paste is coated, followed by exposure, development and burning.

Beste Art der Durchführung der ErfindungBest kind the implementation the invention

Die vorliegende Erfindung stellt die Verwendung einer lichtempfindlichen Paste bereit, welche anorganische Teilchen und eine organische Komponente, die eine lichtempfindliche Verbindung enthält, umfaßt und beim Sintern ein anorganisches Muster bildet, nachdem durch Photolithographie mit der lichtempfindlichen organischen Komponente ein Muster gebildet worden ist.The The present invention provides the use of a photosensitive Paste ready which contains inorganic particles and an organic component, which contains a photosensitive compound, and an inorganic one during sintering Pattern forms after using photolithography with the photosensitive organic component has been patterned.

Der Anteil der anorganischen Teilchen in der Paste liegt vorzugsweise im Bereich von 50 bis 95 Gew.-%, mehr bevorzugt 70 bis 95 Gew.-%, um die Schrumpfung im Brennvorgang zu reduzieren, um die durch das Brennen verursachte Verformung zu minimieren.The The proportion of the inorganic particles in the paste is preferably in the range from 50 to 95% by weight, more preferably 70 to 95% by weight, to reduce the shrinkage in the firing process, to reduce the Burning to minimize deformation.

Die Erfinder des vorliegenden Anmeldungsgegenstandes haben detaillierte Untersuchungen durchgeführt und herausgefunden, dass ein Muster mit einem hohen Seitenverhältnis leicht hergestellt werden kann, indem die Differenz zwischen dem mittleren Brechungsindex der organischen Komponente und dem mittleren Brechungsindex der anorganischen Teilchen auf 0,1 oder weniger, mehr bevorzugt 0,07 oder weniger, verringert wird.The Inventors of the present subject matter have detailed Investigations carried out and found that a pattern with a high aspect ratio is easy can be made by the difference between the mean Refractive index of the organic component and the average refractive index of the inorganic particles to 0.1 or less, more preferred 0.07 or less.

Weiters kann ein Muster mit einem hohen Seitenverhältnis präzise hergestellt werden, indem es ermöglicht wird, dass der mittlere Brechungsindex N1 der anorganischen Teilchen in der lichtempfindlichen Paste und der mittlere Brechungsindex N2 der lichtempfindlichen organischen Komponente der folgenden Gleichung entsprechen: –0,05 ≤ N1 – N2 ≤ 0,1mehr bevorzugt –0,01 ≤ N1 – N2 ≤ 0,07. Furthermore, a pattern with a high aspect ratio can be precisely made by allowing the average refractive index N1 of the inorganic particles in the photosensitive paste and the average refractive index N2 of the photosensitive organic component to satisfy the following equation: -0.05 ≤ N1 - N2 ≤ 0.1 more preferred -0.01 ≤ N1 - N2 ≤ 0.07.

Weiters wird, da sich der Brechungsindex der organischen Komponente beim Polymerisieren erhöhen kann, ein Muster mit einem höheren Seitenverhältnis erzeugt, wenn folgende Gleichung gilt: 0 ≤ N1 – N2 ≤ 0,07.Furthermore, since the refractive index of the organic component may increase during polymerization, a pattern with a higher aspect ratio is generated if the following equation applies: 0 ≤ N1 - N2 ≤ 0.07 ,

Ein Muster mit einem höheren Seitenverhältnis kann erzeugt werden, wenn der Brechungsindex N3 der durch Bestrahlung mit Licht polymerisierten organischen Komponente und der Brechungsindex N1 der anorganischen Teilchen der folgenden Gleichung entsprechen: –0,03 ≤ N1 – N3 ≤ 0,03. A pattern with a higher aspect ratio can be produced if the refractive index N3 of the organic component polymerized by irradiation with light and the refractive index N1 of the inorganic particles correspond to the following equation: -0.03 ≤ N1 - N3 ≤ 0.03.

Als anorganische Teilchen kann jedes herkömmliche anorganische Material verwendet werden. Bevorzugt werden Glas, Keramikmaterialien (Aluminiumoxid, Cordylit usw.) sowie Metalle (Gold, Platin, Silber, Kupfer, Nickel, Palladium, Wolfram, Rutheniumoxid und Legierungen davon). Glas- und Keramikmaterialien, die als Basiskomponente ein Siliziumoxid, ein Boroxid oder ein Aluminiumoxid enthalten, werden besonders bevorzugt. Da es sich dabei um Isolatoren handelt, können sie wirksam verwendet werden, um gemusterte Isolationsmaterialien herzustellen, einschließlich Trennrippen für Plasmaanzeigen und matrixadressierte Plasma-LCDs.As inorganic particles can be any conventional inorganic material be used. Glass, ceramic materials (aluminum oxide, Cordylite etc.) and metals (gold, platinum, silver, copper, nickel, Palladium, tungsten, ruthenium oxide and alloys thereof). Glass- and ceramic materials, the basic component of which is silicon oxide, containing a boron oxide or an aluminum oxide are particularly preferred. Since these are insulators, they can be used effectively to produce patterned insulation materials, including separation ribs for plasma displays and matrix addressed plasma LCDs.

Für den Durchmesser der anorganischen Teilchen wird im Hinblick auf die Form des auszubildenden Musters ein geeigneter Wert gewählt. Für eine wirksame Musterbildung ist es jedoch vorzuziehen, anorganische Teilchen in einem Anteil von 50 Gew.-% mit einem Teilchendurchmesser von 0,1 bis 10 μm – 10 Gew.-% mit einem Teilchendurchmesser von 0,4 bis 2 μm und 90 Gew.-% mit einem Teilchendurchmesser von 4 bis 10 μm – zu verwenden, die eine spezifische Oberfläche von 0,2 bis 3 m2/g aufweisen.A suitable value is selected for the diameter of the inorganic particles in view of the shape of the pattern to be formed. For effective pattern formation, however, it is preferable to use inorganic particles in a proportion of 50% by weight with a particle diameter of 0.1 to 10 μm - 10% by weight with a particle diameter of 0.4 to 2 μm and 90% by weight. -% with a particle diameter of 4 to 10 μm - to be used, which have a specific surface area of 0.2 to 3 m 2 / g.

Die Verwendung kugelförmiger organischer Teilchen ermöglicht die Musterbildung mit hohem Seitenverhältnis. Im Speziellen beträgt der Sphärizitätskoeffizient vorzugsweise 80% oder mehr. Es wird mehr bevorzugt, dass der durchschnittliche Teilchendurch messer, die spezifische Oberfläche und der Sphärizitätskoeffizient 1,5 bis 4 μm, 0,5 bis 1,5 m2/g bzw. 90% oder mehr betragen.The use of spherical organic particles enables patterning with a high aspect ratio. Specifically, the sphericity coefficient is preferably 80% or more. It is more preferable that the average particle diameter, the specific surface area and the sphericity coefficient are 1.5 to 4 μm, 0.5 to 1.5 m 2 / g and 90% or more, respectively.

Der Sphärizitätskoeffizient wird als Anteil jener Teilchen definiert, die unter einem Mikroskop kugelförmig oder ellipsenförmig erscheinen. Das heißt, sie werden unter einem optischen Mikroskop als runde oder elliptische Objekte gesehen.The Sphärizitätskoeffizient is defined as the proportion of those particles that pass under a microscope spherical or elliptical appear. This means, They are round or elliptical under an optical microscope Seen objects.

Ein Muster mit einer präziseren Form kann erhalten werden, indem durch Zerkleinern von Glas mit einer Durchlässigkeit für Licht mit einer Wellenlänge von 436 nm von 50% oder mehr (3 mm Dicke) erhaltene Glasteilchen verwendet werden.On Pattern with a more precise Shape can be obtained by crushing glass with a permeability for light with a wavelength glass particles obtained from 436 nm of 50% or more (3 mm thickness) be used.

Um eine Raumplatte für eine Plasmaanzeige oder eine matrixadressierte Plasma-LCD zu erzeugen werden vorzugsweise Glasteilchen mit einer thermischen Erweichungstemperatur (Ts) von 350 bis 600°C in einer Menge von bis zu 60 Gew.-% oder mehr verwendet, weil auf einem Glassubstrat ein Muster mit einer niedrigen thermischen Erweichungstemperatur ausgebildet werden muss.Around a space plate for to generate a plasma display or a matrix-addressed plasma LCD preferably glass particles with a thermal softening temperature (Ts) from 350 to 600 ° C used in an amount of up to 60% by weight or more because of a pattern with a low thermal softening temperature on a glass substrate must be trained.

Um zu verhindern, dass es während des Brennens zum Verwerfen des Glassubstrats kommt, haben die verwendeten Glasteilchen vorzugsweise einen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten von 50–90 × 10–7, mehr hevorzugt 60–90 × 10–7.In order to prevent the glass substrate from being discarded during firing, the glass particles used preferably have a coefficient of linear thermal expansion of 50-90 × 10 -7 , more preferably 60-90 × 10 -7 .

Was die Zusammensetzung der Glasteilchen betrifft, liegt der Gehalt an Siliziumoxid vorzugsweise im Bereich von 3 bis 60 Gew.-%. Wenn er weniger als 3 Gew.-% beträgt, verden die Dichte, Festigkeit und Stabilität der Glasschicht beeinträchtigt, und der Wärmeausdehnungskoeffizient liegt außerhalb des bevorzugten Bereichs, was möglicherweise zu schlechtem Kontakt mit dem Glassubstrat führt. Weiters führt ein Gehalt von 60 Gew.-% oder weniger zu einer niedrigen Erweichungstemperatur, wodurch Sintern auf einem Glassubstrat ermöglicht wird.What Concerning the composition of the glass particles, the content lies of silicon oxide, preferably in the range from 3 to 60% by weight. If it is less than 3% by weight, the density, strength and stability of the glass layer are impaired, and the coefficient of thermal expansion lies outside of the preferred range, which may be leads to poor contact with the glass substrate. Furthermore introduces Content of 60% by weight or less at a low softening temperature, which enables sintering on a glass substrate.

Wenn es in einer Menge von 5 bis 50 Gew.-% vorhanden ist, kann Boroxid bewirken, dass einige elektrische, mechanische und thermische Eigenschaften, wie z. B. elektrische Isolierung, Festigkeit, Wärmeausdehnungskoeffizient und Dichte der Isolationsschicht, verbessert werden. Die Stabilität des Glases wird beeinträchtigt, wenn der Boroxidgehalt 50 Gew.-% übersteigt.If it is present in an amount of 5 to 50% by weight, boron oxide cause some electrical, mechanical and thermal properties, such as B. electrical insulation, strength, coefficient of thermal expansion and Density of the insulation layer can be improved. The stability of the glass is impaired when the boron oxide content exceeds 50% by weight.

Eine Glaspaste mit thermischen Eigenschaften, die sich für die Musterbildung auf einem Glassubstrat eignen, kann unter Einsatz von Glasteilchen hergestellt werden, die zumindest eines von Wismutoxid, Bleioxid, Lithiumoxid, Natriumoxid oder Kaliumoxid in einer Menge von 5 bis 50 Gew.-% enthalten. Wenn der Gehalt 50 Gew.-% übersteigt, wird die thermische Beständigkeit des Glases beeinträchtigt, wodurch das Sintern auf dem Glassubstrat schwierig wird. Insbesondere ist die Verwendung von Glas, das Wismutoxid in einer Menge von 5 bis 50 Gew.-% enthält, vorteilhaft, da die Topfzeit der Paste verlängert wird.A Glass paste with thermal properties that are suitable for pattern formation on a glass substrate, can be made using glass particles are produced which contain at least one of bismuth oxide, lead oxide, lithium oxide, Contain sodium oxide or potassium oxide in an amount of 5 to 50 wt .-%. If the content exceeds 50% by weight, becomes the thermal resistance of the glass, making sintering on the glass substrate difficult. In particular is the use of glass that contains bismuth oxide in an amount of 5 contains up to 50% by weight, advantageous because the pot life of the paste is extended.

Ein solches Wismutoxid enthaltendes Glas enthält vorzugsweise 60 Gew.-% oder mehr eines Oxidgemisches mit folgender Zusammensetzung, bezogen auf den Oxidgehalt:
Wismutoxid: 5 bis 50 Gew.-%
Siliziumoxid: 3 bis 60 Gew.-%
Boroxid: 5 bis 50 Gew.-%
Such a glass containing bismuth oxide preferably contains 60% by weight or more of an oxide mixture with the following composition, based on the oxide content:
Bismuth oxide: 5 to 50% by weight
Silicon oxide: 3 to 60% by weight
Boron oxide: 5 to 50% by weight

Glasmaterial, das üblicherweise als Isolationsmaterial verwendet wird, hat einen Brechungsindex im Bereich von 1,5 bis 1,9. Wenn sich der mittlere Brechungsindex der organischen Komponente stark vom mittleren Brechungsindex der anorganischen Teilchen unterscheidet, tritt an der Grenzfläche zwischen den anorganischen Teilchen und der lichtempfindlichen organischen Komponente starke Reflexion und Streuung auf, was zum Versagen bei der Herstellung eines hochauflösenden Musters führt. Da eine typische organische Verbindung einen Brechungsindex von 1,45 bis 1,7 aufweist, können die anorganischen Teilchen und die organische Komponente aufeinander abgestimmt werden, was den Brechungsindex betrifft, wenn die anorganischen Teilchen einen Brechungsindex von 1,5 bis 1,7 aufweisen. Mehr bevorzugt sollte Letzterer im Bereich von 1,55 bis 1,65 liegen, um die organische Komponente aus einer breiten Auswahl auswählen zu können.Glass material, that usually used as insulation material has a refractive index in the range of 1.5 to 1.9. If the average refractive index of the organic component strongly from the average refractive index of the distinguishes inorganic particles, occurs at the interface between the inorganic particles and the photosensitive organic Component strong reflection and scattering, causing failure making a high resolution Pattern leads. Because a typical organic compound has a refractive index of 1.45 to 1.7 can the inorganic particles and the organic component on top of each other be tuned for refractive index when the inorganic particles have a refractive index of 1.5 to 1.7. Should be more preferred The latter range from 1.55 to 1.65 to the organic Being able to select components from a wide selection.

Die Verwendung von Glasteilchen, die Oxide von Alkalimetallen, wie z. B. Lithiumoxid, Natriumoxid und Kaliumoxid, in einer Gesamtmenge von 3 bis 20 Gew.-% enthalten, erleichtert nicht nur die Regulierung der thermischen Erweichungstemperatur und des Wärmeausdehnungskoeffizienten, sondern verringert auch den mittleren Brechungsindex des Glases, wodurch die Differenz im Brechungsindex zwischen den Glasteilchen und der organischen Komponente leicht verringert werden kann. Um die Stabilität der Paste zu erhöhen, sollte der Gehalt des Alkalimetalloxids vorzugsweise 20 Gew.-% oder weniger, mehr bevorzugt 15 Gew.-% oder weniger, betragen.The Use of glass particles, the oxides of alkali metals, such as. B. lithium oxide, sodium oxide and potassium oxide, in a total amount contain from 3 to 20 wt .-%, not only facilitates the regulation of thermal softening temperature and the coefficient of thermal expansion, but also reduces the average refractive index of the glass, causing the difference in refractive index between the glass particles and the organic component can be easily reduced. Around the stability the paste should increase the content of the alkali metal oxide is preferably 20% by weight or less, more preferably 15% by weight or less.

Insbesondere kann von den verschiedenen Alkalimetallen die Verwendung von Lithiumoxid die Stabilität der Paste auf einen relativ hohen Wert erhöhen, und Kaliumoxid, auch wenn es in geringen Mengen zugegeben wird, kann zur Regulierung des Brechungsindex dienen. Daher kann unter den Alkalimetallen Lithiumoxid und Kaliumoxid sehr wirksam arbeiten.In particular of the various alkali metals, the use of lithium oxide the stability increase the paste to a relatively high level, and potassium oxide even if it can be added in small amounts to regulate the refractive index serve. Therefore, among the alkali metals, lithium oxide and potassium oxide work very effectively.

Als Ergebnis können auf einfache Weise anorganische Teilchen bereitgestellt werden, die eine thermische Erweichungstemperatur aufweisen, die zum Sintern auf ein Glassubstrat geeignet ist, und einen mittleren Brechungsindex von 1,5 bis 1,7 aufweisen, was eine Verringerung der Differenz im Brechungsindex zwischen den anorganischen Teilchen und der organischen Komponente ermöglicht.As Can result inorganic particles are provided in a simple manner, which have a thermal softening temperature, that for sintering on a glass substrate, and a medium refractive index from 1.5 to 1.7, which is a decrease in the difference in Refractive index between the inorganic particles and the organic Component enables.

Glas, das Bleioxid oder Wismutoxid enthält, wird bevorzugt, weil diese Oxide die thermische Erweichungstemperatur und die Wasserbeständigkeit des Glases erhöhen können. Glasteilchen, die Bleioxid und/oder Wismut in einer Menge von 10 Gew.-% oder mehr enthalten, können jedoch häufig einen Brechungsindex von mehr als 1,6 aufwei sen. Daher kann die kombinierte Verwendung von Alkalimetalloxiden, wie z. B. Lithiumoxid, Natriumoxid und Kaliumoxid, mit Bleioxid und/oder Wismutoxid die Regulierung der thermischen Erweichungstemperatur, des Wärmeausdehnungskoeffizienten, der Wasserbeständigkeit und des Brechungsindex erleichtern.Glass, containing lead oxide or bismuth oxide is preferred because of this Oxides the thermal softening temperature and water resistance of the glass can. Glass particles containing lead oxide and / or bismuth in an amount of 10 % Or more can contain however often have a refractive index of more than 1.6. Therefore, the combined use of alkali metal oxides, such as. B. lithium oxide, Sodium oxide and potassium oxide, with lead oxide and / or bismuth oxide Regulation of the thermal softening temperature, the coefficient of thermal expansion, the water resistance and the refractive index.

Die Härte und Bearbeitbarkeit von Glasteilchen kann verbessert werden, indem Aluminiumoxid, Bariumoxid, Calciumoxid, Magnesiumoxid, Titanoxid, Zinkoxid und/oder Zirkonoxid zugegeben werden. Insbesondere sind Aluminiumoxid, Bariumoxid und Zinkoxid wirksam. Um eine erforderliche thermische Erweichungstemperatur, einen erforderlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten und erforderlichen Brechungsindex beizubehalten beträgt ihr jeweiliger individueller Gehalt vorzugsweise 40 Gew.-% oder weniger, mehr bevorzugt 30 Gew.-% oder weniger, wobei ihr Gesamtgehalt 50 Gew.-% oder weniger beträgt.The Hardness and Machinability of glass particles can be improved by adding alumina, Barium oxide, calcium oxide, magnesium oxide, titanium oxide, zinc oxide and / or Zirconium oxide can be added. In particular, aluminum oxide, barium oxide and zinc oxide effective. To a required thermal softening temperature, a required coefficient of thermal expansion and maintaining the required refractive index is their respective individual content preferably 40% by weight or less, more preferred 30% by weight or less, their total content being 50% by weight or less is.

Das Schrumpfen, das während des Brennens auftreten kann, kann reguliert werden, indem der Paste gemäß vorliegender Erfindung Glasteilchen oder Keramikteilchen mit einer thermischen Erweichungstemperatur von 600 bis 900°C in einer Menge von 40 Gew.-% oder weniger zugegeben werden. Um Musterbildung mit hoher Präzision zu gewährleisten, sollte die Differenz im Brechungsindex zwischen den verwendeten Teilchen vorzugsweise 0,1 oder weniger, mehr bevorzugt 0,05 oder weniger betragen.The Shrink that while of burning can occur can be regulated by using the paste according to the present Invention glass particles or ceramic particles with a thermal Softening temperature of 600 to 900 ° C in an amount of 40% by weight or less can be added. To pattern formation with high precision guarantee, should be the difference in refractive index between those used Particles preferably 0.1 or less, more preferably 0.05 or be less.

Für Schaltkreismaterialien, insbesondere für Materialien für Mehrschichtsubstrate, können als Substratmaterial sowohl Keramik als auch Glas verwendet werden. Daher braucht die thermische Erweichungstemperatur nicht unbedingt 600°C oder weniger betragen, so dass ein Substrat mit hoher Festigkeit hergestellt werden kann, indem Material mit einem Aluminiumoxidgehalt von 25 bis 75 Gew.-% verwendet wird.For circuit materials, especially for Materials for Multilayer substrates, can Both ceramic and glass can be used as substrate material. Therefore, the thermal softening temperature is not essential 600 ° C or be less, so that a substrate with high strength can be produced can by using material with an alumina content of 25 to 75 % By weight is used.

Das Becke-Verfahren kann eingesetzt werden, um den Brechungsindex von anorganischen Teilchen zu messen, die für die vorliegende Erfindung verwendet werden. Um hohe Genauigkeit zu gewährleisten, sollte die Messung bei einer Wellenlänge durch geführt werden, die gleich jener des Lichts ist, das für die Belichtung verwendet wird, die nach dem Beschichten mit der Paste erfolgt. Insbesondere wird die Messung vorzugsweise unter Einsatz von Licht mit einer Wellenlänge im Bereich von 350 bis 650 nm durchgeführt. Weiters wird es vorgezogen, dass der Brechungsindex mit i-Strahlen (365 nm) oder g-Strahlen (436 nm) gemessen wird.The Becke's method can be used to determine the refractive index of to measure inorganic particles required for the present invention be used. To ensure high accuracy, the measurement should at one wavelength carried out that is equal to that of the light used for the exposure which is done after coating with the paste. In particular the measurement is preferably carried out using light with a wavelength performed in the range of 350 to 650 nm. Furthermore, it is preferred that the refractive index with i-rays (365 nm) or g-rays (436 nm) is measured.

Ein farbiges Muster kann nach dem Brennen erhalten werden, indem verschiedene Metalloxide zugegeben werden. Beispielsweise kann ein schwarzes Muster erzeugt werden, indem der lichtempfindlichen Paste schwarze Metalloxide in einer Menge von 1 bis 10 Gew.-% zugegeben werden.On colored pattern can be obtained after burning by different Metal oxides are added. For example, a black one Patterns are created by making the photosensitive paste black Metal oxides are added in an amount of 1 to 10 wt .-%.

Bei der Auswahl schwarzer Metalloxide zur Verwendung zur Nerstellung eines solchen schwarzen Musters sollte zumindest eines, vorzugsweise drei oder mehr, aus der folgenden Gruppe von Oxiden verwendet werden: Cr, Fe, Co, Mn und Cu. Insbesondere kann ein sehr schwarzes Muster erhalten werden, indem Fe und Mn jeweils in einer Menge von bis zu 0,5 Gew.-% oder mehr, zugegeben werden.at the selection of black metal oxides for use in manufacturing such a black pattern should be at least one, preferably three or more, from the following group of oxides can be used: Cr, Fe, Co, Mn and Cu. In particular, a very black pattern can be obtained by adding Fe and Mn in an amount of up to to 0.5 wt .-% or more, are added.

Weiters können Muster in verschiedenen anderen Farben als schwarz erzeugt werden, indem eine Paste eingesetzt wird, die anorganische Pigmente enthalten, die Färbung in rot, blau, grün usw. bewirken können. Solche farbige Muster können wirksam bei Produkten wie einem Farbfilter für eine Plasmaanzeige verwendet werden.Furthermore, can Patterns are created in various colors other than black, by using a paste that contains inorganic pigments, the coloring in red, blue, green etc. can cause. Such colored patterns can effectively used on products such as a color filter for a plasma display become.

Teilchen, die für die Erfindung verwendet werden, können ein Gemisch aus mehreren Sätzen von Teilchen mit unterschiedlichen Zusammensetzungen sein. Insbesondere kann die während des Brennens hervorgerufene Schrumpfung durch Verwendung mehrerer Sätze von Glasteilchen und Keramikteilchen mit unterschiedlichen thermischen Erweichungstemperaturen reguliert werden.particles the for The invention used can be a mixture of several records of particles with different compositions. In particular can do that during the shrinkage caused by burning by using several Sets of Glass particles and ceramic particles with different thermal Softening temperatures can be regulated.

Uni Musterbildung mit großer Präzision zu gewährleisten, beträgt jedoch die Differenz im Brechungsindex zwischen den mehreren Sätzen von anorganischen Teilchen mit un terschiedlichen Zusammensetzungen, die in diesem Fall verwendet werden, vorzugsweise 0,1 oder weniger, mehr bevorzugt 0,05 oder weniger.University Pattern formation with large precision to ensure, is however, the difference in refractive index between the multiple sets of inorganic particles with different compositions, used in this case, preferably 0.1 or less, more preferably 0.05 or less.

Mit anorganischer Komponente, wie gemäß vorliegender Beschreibung verwendet, ist die organische Komponente der Paste gemeint, die lichtempfindliches organisches Material enthält (d. h. der Rest, der nach dem Entfernen der anorganischen Komponenten aus der Paste erhalten wird).With inorganic component, as described herein used is meant the organic component of the paste that contains light-sensitive organic material (i.e. the remainder that after the Removing the inorganic components from the paste is obtained).

Um hohe Lichtempfindlichkeit zu gewährleisten, macht die lichtempfindliche Komponente in der lichtempfindlichen Paste, die gemäß vorliegender Erfindung verwendet wird, vorzugsweise 10 Gew.-% oder mehr, und mehr bevorzugt 30 Gew.-% oder mehr, der organischen Komponente aus.Around to ensure high sensitivity to light makes the photosensitive component in the photosensitive Paste according to the present Invention is used, preferably 10 wt .-% or more, and more preferably 30% by weight or more of the organic component.

Die organische Komponente sollte zumindest eines der folgenden lichtempfindlichen Materialien enthalten: lichtempfindliche Monomere, lichtempfindliche Oligomere und lichtempfindliche Polymere. Außerdem kann sie je nach Bedarf Additive wie Bindemittel, Photopolymerisationsinitiatoren, UV-Absorptionsmittel, Sensibilisatoren, Sensibilisierungshilfsmittel, Polymerisationsinhibitoren, Weichmacher, Viskositätsverbesserer, organische Lösungsmittel, Antioxidantien, Dispergiermittel, organische oder anorganische Suspendiermittel und Verlaufmittel.The organic component should be at least one of the following photosensitive Materials include: photosensitive monomers, photosensitive Oligomeric and photosensitive polymers. It can also be used as needed Additives such as binders, photopolymerization initiators, UV absorbers, Sensitizers, sensitization aids, polymerization inhibitors, Plasticizers, viscosity improvers, organic Solvent, Antioxidants, dispersants, organic or inorganic suspending agents and Leveling agents.

Es gibt photoinsolubilisierende und photosolubilisierende lichtempfindliche Materialien. Ein photoinsulubilisierendes lichtempfindliches Material kann enthalten:

  • (A) funktionelle Monomere, Oligomere oder Polymere, die eine oder mehrere ungesättigte Gruppe(n) pro Molekül aufweisen können,
  • (B) eine lichtempfindliche Verbindung, wie z. B. eine aromatische Diazoverbindung, eine aromatische Azidverbindung oder eine organische Halogenverbindung, oder
  • (C) ein sogenanntes Diazoharz, wie z. B. ein Kondensationsprodukt aus diazotiertem Amin und Formaldehyd. Ein photosolubilisierendes lichtempfindliches Material kann enthalten:
  • (D) einen Komplex aus einem anorganischen Salz einer Diazoverbindung und einer organischen Säure, eine Chinondiazoverbindung usw., oder
  • (E) ein Produkt einer Chinondiazoverbindung, die mit einem Polymerbindemittel gebunden ist, wie z. B. das Naphthochinon-1,2-diazid-5-sulfonat von Phenol oder eines Novolakharzes.
There are photoinsolubilizing and photosolubilizing photosensitive materials. A photoinsulubilizing photosensitive material can contain:
  • (A) functional monomers, oligomers or polymers which can have one or more unsaturated groups per molecule,
  • (B) a photosensitive compound such as e.g. B. an aromatic diazo compound, an aromatic azide compound or an organic halogen compound, or
  • (C) a so-called diazo resin such as e.g. B. a condensation product of diazotized amine and formaldehyde. A photosolubilizing photosensitive material can contain:
  • (D) a complex of an inorganic salt of a diazo compound and an organic acid, a quinone diazo compound, etc., or
  • (E) a product of a quinone diazo compound bound with a polymer binder, such as e.g. B. the naphthoquinone-1,2-diazide-5-sulfonate of phenol or a novolak resin.

Für die vorliegende Erfindung kann jede der oben angeführten lichtempfindlichen Komponenten verwendet werden. Insbesondere werden die unter (A) angeführten als Komponente einer lichtempfindlichen Paste bevorzugt, weil sie zweckmäßig in Kombination mit anorganischen Teilchen verwendet werden können.For the present Invention can be any of the photosensitive components listed above be used. In particular, those listed under (A) are as Component of a light-sensitive paste is preferred because it is useful in combination can be used with inorganic particles.

Die nützlichen lichtempfindlichen Monomere umfassen Verbindungen mit einer ungesättigten Kohlenstoff-Kohlenstoff-Bindung, wie z. B. Methylacrylat, Ethylacrylat, n-Propyl-acrylat, Isopropylacrylat, n-Butylacrylat, sec-Butylacrylat, Isobutylacrylat, tert-Butylacrylat, n-Pentylacrylat, Allylacrylat, Benzilacrylat, Butoxyethylacrylat, Buloxytriethylenglykolacrylat, Cyclohexylacrylat, Dicyclopentanylacrylat, Dicyclopentenacrylat, 2-Ethylhexylacrylat, Glycerinacrylat, Octafluorpentylacrylat, Phenoxyethylacrylat, Stearylacrylat, Trifluorethylacrylat, allyliertes Cyclohexyldiacrylat, 1,4-Butandioldiacrylat, 1,3-Butylenglykoldiacrylat, Ethylenglykoldiacrylat, Diethylenglykoldiacrylat, Dipentaerythrithexacrylat, Dipentaerythritmonohydroxypentacrylat, Ditrimethylolpropantetraacrylat, Glycerindiacrylat, methoxyliertes Cyclohexyldiacrylat, Neopentylglykoldiacrylat, Propylenglykoldiacrylat, Polypropylenglykoldiacrylat, Propylenglykoldiacrylat, Polypropylenglykoldiacrylat, Triglycerindiacrylat, Trimethylolpropantriacrylat, Acrylamid, Aminoethylacrylat, Phenylacrylat, Phenoxyethylacrylat, Benzilacrylat, 1-Naphthylacrylat, 2- Naphthylacrylat, Bisphenol-A-diacrylat, ein Diacrylat eines Additionsproduktes von Bisphenol A-Ethylenenoxid, ein Diacrylat eines Additionsproduktes von Bisphenol A-Propylenoxid, Thiophenolacrylat und Benzilmercaptanacrylat; Monomere, die durch Ersetzen von 1–5 der Wasserstoffatome im aromatischen Ring der obigen Verbindungen durch Chlor- oder Bromatome gebildet werden; Styrol, p-Methylstyrol, o-Methylstyrol, m-Methylstyrol, chloriertes Styrol, bromiertes Styrol, α-Methylstyrol, chloriertes α-Methylstyrol, bromiertes α-Methylstyrol, Chlormethylstyrol, Hydroxymethylstyrol, Carboxymethylstyrol, Vinylnaphthalin, Vinylanthracen und Vinylcarbazol; die obengenannten Acrylate, bei denen ein oder alle Acrylatteil(e) durch Methacrylatteil(e) ersetzt isi/sind; γ-Methacryloxypropyltrimethoxysilan und 1-Vinyl-2-pyrrolidon. Für die Zwecke der vorliegenden Erfindung können diese Verbindungen allein oder in Kombination verwendet werden.The useful photosensitive monomers include compounds having an unsaturated carbon-carbon bond, such as. B. methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, isobutyl acrylate, tert-butyl acrylate, n-pentyl acrylate, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, buloxytriethylene acrylate, cyclyl acrylate, cyclyl acrylate, cyclyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, Glycerinacrylat, octafluoropentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, allylated Cyclohexyldiacrylat, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, dipentaerythritol hexacrylate, Dipentaerythritmonohydroxypentacrylat, ditrimethylolpropane tetraacrylate, glycerol diacrylate, methoxylated Cyclohexyldiacrylat, neopentyl glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, Propylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, triglycerol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, acrylamide, aminoethyl acrylate, phenyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, benzil acrylate, 1-naphthyl acrylate, 2-naphthylacrylate, bisiaphenyl a-bis-bisphenol-a-bis Propylene oxide, thiophenol acrylate and benzil mercaptan acrylate; Monomers formed by replacing 1-5 of the hydrogen atoms in the aromatic ring of the above compounds with chlorine or bromine atoms; Styrene, p-methylstyrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, chlorinated styrene, brominated styrene, α-methylstyrene, chlorinated α-methylstyrene, brominated α-methylstyrene, chloromethylstyrene, hydroxymethylstyrene, carboxymethylstyrene, vinylnaphthalene, vinylanthracene and vinylcarbazole; the above-mentioned acrylates in which one or all of the acrylate part (s) is / are replaced by methacrylate part (s); γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane and 1-vinyl-2-pyrrolidone. For the purposes of the present invention, these compounds can be used alone or in combination.

Zusätzlich dazu kann eine ungesättigte Säure, wie z. B. eine ungesättigte Carbonsäure, zugegeben werden, um die Entwicklungsleistung nach Bestrahlung mit Licht zu verbessern. Zu solchen ungesättigten Carbonsäuren gehören Acrylsäure, Methacrylsäure, Itaconsäure, Crotonsäure, Maleinsäure, Fumarsäure, Vinylessigsäure und Anhydride dieser Säuren.Additionally can be an unsaturated Acid, such as B. an unsaturated Carboxylic acid, be added to the development performance after irradiation with To improve light. Such unsaturated carboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid and Anhydrides of these acids.

Geeignete Bindemittel sind Polyvinylalkohol, Polyvinylbutyral, Methacrylatpolymere, Acrylatpolymere, Acrylat-Methacrylat-Copolymere, α-Methylstyrolpolymere und Butylmethacrylatharze.suitable Binders are polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, methacrylate polymers, Acrylate polymers, acrylate-methacrylate copolymers, α-methylstyrene polymers and butyl methacrylate resins.

Weiters können auch Oligomere und Polymere verwendet werden, die durch Polymerisieren von zumindest einer der Verbindungen mit einer Kohlenstoff-Kohlenstoff-Bindung hergestellt wurden.Furthermore, can also oligomers and polymers can be used, which by polymerization of at least one of the compounds with a carbon-carbon bond were manufactured.

Bei ihrer Polymerisierung können diese Monomere mit anderen lichtempfindlichen Monomeren auf solche Weise copolymerisiert werden, dass der Gehalt der ersteren 10 Gew.-% oder mehr, mehr bevorzugt 35 Gew.-% oder mehr, ausmachen kann.at their polymerization these monomers with other photosensitive monomers to those Be copolymerized in such a way that the content of the former 10% by weight or more, more preferably 35% by weight or more.

Die Entwicklungsleistung nachdem Bestrahlen mit Licht kann verbessert werden, indem eine ungesättigte Säure, wie z. B. eine ungesättigte Carbonsäure, als Monomer zur Copolymerisation verwendet wird. Nützliche ungesättigte Carbonsäuren sind Acrylsäure, Methacrylsäure, Itaconsäure, Crotonsäure, Maleinsäure, Fumarsäure, Vinylessigsäure und Anhydride dieser Säuren.The Development performance after exposure to light can be improved be by an unsaturated Acid, such as B. an unsaturated Carboxylic acid, is used as a monomer for copolymerization. helpful unsaturated carboxylic acids are acrylic acid, methacrylic acid, itaconic, crotonic, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid and anhydrides of these acids.

Die resultierenden Polymere oder Oligomere mit Säruregruppen, wie z. B. Carbonsäuregruppen, in ihren Seitenketten weisen vorzugsweise eine Säurezahl im Bereich von 50 bis 180, mehr bevorzugt 70 bis 140, auf. Der entwickelbare Bereich ist eng, wenn die Säurezahl unter 50 liegt. Andererseits weisen, wenn die Säurezahl 180 übersteigt, die unbelichteten Abschnitte schlechte Löslichkeit in der Entwicklungslösung auf, aber die Verwendung einer Entwicklungslösung mit einer erhöhten Konzentration bewirkt das Entfernen der belichteten Abschnitte, wodurch es schwierig wird, Muster mit hoher Auflösung zu erzeugen.The resulting polymers or oligomers with acid groups, such as. B. carboxylic acid groups, in their side chains preferably have an acid number in the range from 50 to 180, more preferably 70 to 140. The developable area is tight when the acid number is less than 50. On the other hand, if the acid number exceeds 180, the unexposed sections have poor solubility in the developing solution, but the use of a developing solution with an increased concentration causes the exposed portions to be removed, making it difficult will, high resolution pattern to create.

Geeignete lichtempfindliche Polymere oder lichtempfindliche Oligomere können hergestellt werden, indem an den Seitenketten oder den Molekülenden der oben angeführten Polymere oder Oligomere lichtempfindliche Gruppen addiert werden.suitable Photosensitive polymers or photosensitive oligomers can be produced by adding to the side chains or the molecular ends of the above polymers or oligomeric photosensitive groups can be added.

Lichtempfindliche Gruppen mit einer ethylenisch ungesättigten Gruppe werden bevorzugt. Solche ethylenisch ungesättigten Gruppen sind Vinyl, Allyl, Acryl und Methacryl.Photosensitive Groups with an ethylenically unsaturated group are preferred. Such ethylenically unsaturated Groups are vinyl, allyl, acrylic and methacrylic.

Die Addition solcher Seitenketten zu Oligomeren oder Polymeren kann erfolgen, indem ermöglicht wird, dass eine Glycidyl oder Isocyanat enthaltende ethylenisch ungesättigte Verbindung Acrylsäurechlorid, Methacrylsäurechlorid oder Allylchlorid Additionsreaktion mit der Mercaptogruppe, Aminogruppe, Hydroxylgruppe oder Carboxylgruppe in den Polymeren eingeht.The Such side chains can be added to oligomers or polymers done by allowing that a glycidyl or isocyanate-containing ethylenically unsaturated compound Acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride addition reaction with the mercapto group, amino group, Hydroxyl group or carboxyl group enters into the polymers.

Solche ethylenisch ungesättigten Verbindungen mit Glycidylgruppen sind Glycidylacrylat, Glycidylmethacrylat, Allylglycidylether, Glycidylethylacrylat, Crotonglycidylether und Isocrotonglycidylether.Such ethylenically unsaturated Compounds with glycidyl groups are glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, Allyl glycidyl ether, glycidyl ethyl acrylate, croton glycidyl ether and Isocrotonglycidylether.

Geeignete ethylenisch ungesättigte Verbindungen mit Isocyanatgruppen sind (Meth)-Acryloylisocyanat und (Meth)Acryloylethylisocyanat.suitable ethylenically unsaturated Compounds with isocyanate groups are (meth) acryloyl isocyanate and (meth) acryloyl ethyl isocyanate.

Eine solche Glycidyl oder Isocyanat enthaltende ethylenisch ungesättigte Verbindung, Acrylchlorid, Methacrylchlorid und Allylchlorid wird vorzugweise in einer Menge von 0,05 bis 1 Äquivalent zur Mercapto-, Amino-, Hydroxy- oder Carboxygruppe im Polymer hinzugefügt.A such glycidyl or isocyanate-containing ethylenically unsaturated compound, Acrylic chloride, methacrylic chloride and allyl chloride are preferred in an amount of 0.05 to 1 equivalent added to the mercapto, amino, hydroxy or carboxy group in the polymer.

Geeignete Photopolymerisationsinitiatoren sind Benzophenon, o-Methylbenzoylbenzoat, 4,4-Bis(dimethylamin)benzophenon, 4,4-Bis(diethylamino)benzophenon, 4,4-Dichlorbenzophenon, 4-Benzoyl-4-methyldiphenylketon, Dibenzilketon, Fluorenon, 2,2-Diethoxyacetophenon, 2,2-Dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenon, 2-Hydroxy-2-methylpropiophenon, p-t-Butyldichloracetophenon, Thioxanthon, 2-Methylthioxanthon, 2-Chlorthioxanthon, 2-Isopropylthioxanthon, Diethylthioxanthon, Benzil, Benzildimethylketanol, Benzilmethoxyethylacetal, Benzoin, Benzoinmethylether, Benzoinbutylether, Anthrachinon, 2-t-Butylanthrachinon, 2-Amylanthrachinon, β-Chloranthrachinon, Anthron, Benzanthron, Dibenzosuberon, Methylenanthron, 4-Azidobenzalacetophenon, 2,6-Bis-(p-azidobenzyliden)cyclohexanon, 2,6-Bis-(p-azidobenzyliden)-4-methylcyclohexanon, 2-Phenyl-1,2-butandion-2-(o-ethoxycarbonyl)oxim, 1,3-Diphenylpropantrion-2-(o-ethoxycarbonyl)oxim, 1-Phenyl-3-ethoxypropantrion-2-(o-benzoyl)oxim, Michler's Keton, 2-Methyl-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-1-hropanon, Naphthalinsulfonylchlorid, Chinolinsulfonylchlorid, N-Phenylthioacridon, 4,4-Azobisisobutyronitril, Diphenyldisulfid, Benzothiazoldisulfid, Triphenylphosphin, Campherchinon, Tetrabromkohlenstoff, Tribromphenylsulfon und Benzoinperoxid; sowie Kombinationen aus photoreduzierenden Pigmenten, wie z. B. Eosin und Methylenblau, mit Reduktionsmitteln, wie z. B. Ascorbinsäure und Triethanolamin. Für die Zwecke der Erfindung können eines oder mehrere davon in Kombination verwendet werden. Ein Photopolymerisationsinitiator wird vorzugsweise in einer Menge von 0,05 bis 10 Gew.-%, mehr bevorzugt 0,1 bis 5 Gew.-%, der lichtempfindlichen Komponente zugegeben. Die Lichtempfindlichkeit kann unzureichend werden, wenn die zugegebene Menge des Polymerisationsinititators zu gering ist, während die Persistenzrate der belichteten Abschnitte zu klein sein kann, wenn die zugegebene Menge des Polymerisationsinitiators zu groß ist.suitable Photopolymerization initiators are benzophenone, o-methylbenzoyl benzoate, 4,4-bis (dimethylamine) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4-benzoyl-4-methyldiphenyl ketone, dibenzil ketone, Fluorenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, p-t-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzil, benzil dimethyl ketanol, Benzil methoxyethyl acetal, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, Anthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, β-chloroanthraquinone, Anthrone, benzanthrone, dibenzosuberon, methylene anthrone, 4-azidobenzalacetophenone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2-phenyl-1,2-butanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenylpropanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-ethoxypropanetrione-2- (o-benzoyl) oxime, Michler's ketone, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-hropanone, Naphthalene sulfonyl chloride, quinoline sulfonyl chloride, N-phenylthioacridone, 4,4-azobisisobutyronitrile, Diphenyl disulfide, benzothiazole disulfide, triphenylphosphine, camphorquinone, Carbon tetrabromide, tribromophenyl sulfone and benzoin peroxide; such as Combinations of photo-reducing pigments, such as. B. Eosin and methylene blue, with reducing agents such as. B. ascorbic acid and Triethanolamine. For the purposes of the invention can one or more of them can be used in combination. A photopolymerization initiator is preferably in an amount of 0.05 to 10% by weight, more preferred 0.1 to 5 wt .-%, the photosensitive component added. The Photosensitivity may become insufficient if the added one The amount of the polymerization initiator is too small, while the Persistence rate of the exposed sections may be too small if the amount of the polymerization initiator added is too large.

Die Zugabe eines UV-Absorptionsmittels kann wirksam sein. Ein hohes Seitenverhältnis, hohe Definition und hohe Auflösung kann erzielt werden, indem eine Verbindung mit hoher UV-Absorptionsleistung verwendet wird. Die bevorzugten UV-Absorptionsmittel sind organische Farbstoffe und organische Pigmente, insbesondere organische Rotpigmente, die UV-Strahlen im Wellenlängenbereich von 350 bis 450 nm absorbieren. Im Speziellen umfassen sie Azofarbstoffe, Aminoketonfarbstoffe, Xanthenfarbstoffe, Chinolinfarbstoffe, Aminoketonfarbstoffe, Anthrachinonfarbstoffe, Genzophenonfarbstoffe, Diphenylcyanacrylatfarbstoffe, Triazinfarbstoffe und p-Aminobenzoesäurefarbstoffe. Organische Farbstoffe werden bevorzugt, weil sie, auch wenn sie als Lichtabsorber zugegeben werden, nicht im gebrannten Isolationsfilm verbleiben, wodurch die Beeinträchtigung der Leistung des Isolationsfilms minimiert wird. Von den oben angeführten Farbstoffen werden Azofarbstoffe und Benzophenonfarbstoffe besonders bevorzugt. Der Gehalt eines solchen organischen Farbstoffs beträgt vorzugsweise 0,05 bis 5 Gewichtsteile. Die Wirkung des UV-Absorptionsmittels ist nicht ausreichend, wenn der Gehalt weniger als 0,05 Gew.-% beträgt, während die Leistung des gebrannten Isolationsfilms nicht ausreichend ist, wenn der Gehalt über 5 Gew.-% liegt. Es wird mehr bevorzugt, dass der Gehalt im Bereich von 0,05 bis 1 Gew.-% liegt. Ein typisches Verfahren zur Zugabe eines UV-Absorptionsmittels, das einen organischen Farbstoff umfasst, ist folgendes: der organische Farbstoff wird im organischen Lösungsmittel gelöst, um eine Lösung zu bilden, entweder gefolgt von Kneten zu einer Paste, oder durch Zugabe anorganischer Teilchen zum organischen Lösungsmittel und Trocken derselben. Durch das letztere Verfahren werden sogenannte eingekapselte Teilchen hergestellt, bei denen die Oberfläche eines jeden organischen Teilchens mit der organischen Verbindung beschichtet ist.The Adding a UV absorber can be effective. A high one Aspect ratio high definition and high resolution can be achieved by using a compound with high UV absorption power is used. The preferred UV absorbers are organic Dyes and organic pigments, especially organic red pigments, the UV rays in the wavelength range absorb from 350 to 450 nm. Specifically, they include azo dyes, Aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, aminoketone dyes, Anthraquinone dyes, genzophenone dyes, diphenylcyanoacrylate dyes, Triazine dyes and p-aminobenzoic acid dyes. Organic dyes are preferred because they, even when added as a light absorber will not remain in the fired insulation film, causing the impairment the performance of the insulation film is minimized. Of the dyes listed above azo dyes and benzophenone dyes are particularly preferred. The content of such an organic dye is preferably 0.05 to 5 parts by weight. The effect of the UV absorber is not sufficient if the content is less than 0.05% by weight while the Fired insulation film performance is insufficient if the salary over 5 wt .-% is. It is more preferred that the content be in the range from 0.05 to 1% by weight. A typical addition procedure a UV absorber comprising an organic dye, is the following: the organic dye is dissolved in the organic solvent to make a solution to form, either followed by kneading into a paste, or by Add inorganic particles to the organic solvent and dry them. The latter process turns so-called encapsulated particles made in which the surface of any organic Particle is coated with the organic compound.

Bei einigen Ausführungsformen der Erfindung können Metalle, etwa Pb, Fe, Cd, Mn, Co und Mg, oder deren Oxide, die in den anorganischen Teilchen enthalten sind, mit der lichtempfindlichen Komponente der Paste reagieren, wodurch rasches Gelieren der Paste verursacht wird, so dass es unmöglich wird, sie zum Beschichten zu verwenden. Um eine solche Reaktion zu vermeiden, wird es vorgezogen, dass ein Stabilisierungsmittel zugegeben wird, um die Gelierung zu hemmen. Bevorzugte Stabilisierungsmittel sind Triazolverbindungen. Insbesondere umfassen bevorzugte Triazolverbindungen Benzotriazolderivate, von denen Benzotriazol als wirksam genannt werden kann. Eine typische Oberflächenbehandlung von Glasteilchen mit Benzotriazol, wie gemäß vorliegender Erfindung durchgeführt, erfolgt so: die erforderliche Benzotriazolmenge, bezogen auf die Menge an anorganischen Teilchen, wird in einem organischen Lösungsmittel, wie z. B. Methylacetat, Ethylacetat, Ethylalkohol oder Methylalkohol, gelöst, und die Teilchen werden für 1 bis 24 h in die Lösung eingetaucht, um adäquates Eintauchen zu gewährleisten, gefolgt von Lufttrocknung vorzugsweise bei einer Temperatur von 20 bis 30°C, um das Lösungsmittel abzudampfen, wodurch triazolbehandelte Teilchen hergestellt werden. Die verwendete Menge des Stabilisierungsmittels (Stabilisierungsmittel/anorganische Teilchen) sollte vorzugsweise 0,05 bis 5 Gew.-% betragen.at some embodiments of the invention Metals, such as Pb, Fe, Cd, Mn, Co and Mg, or their oxides, which in the inorganic particles are included with the photosensitive Component of the paste react, causing rapid gelation of the paste is caused, making it impossible will use them for coating. To such a reaction To avoid it is preferred that a stabilizer is added to inhibit gelation. Preferred stabilizers are triazole compounds. In particular, preferred include triazole compounds Benzotriazole derivatives, of which benzotriazole is said to be effective can be. A typical surface treatment of glass particles with benzotriazole, as in the present Invention carried out is done as follows: the required amount of benzotriazole, based on the Amount of inorganic particles, is in an organic solvent, such as B. methyl acetate, ethyl acetate, ethyl alcohol or methyl alcohol, solved, and the particles are for Immersed in the solution for 1 to 24 h, for adequate To ensure immersion followed by air drying preferably at a temperature of 20 to 30 ° C, to the solvent evaporate to produce triazole treated particles. The amount of stabilizer used (stabilizer / inorganic Particles) should preferably be 0.05 to 5% by weight.

Ein Sensibilisator wird zugegeben, um die Sensibilität zu verbessern. Im Speziellen gehören zu diesen Sensibilisatoren 2,4-Diethylthioxanthon, Isopropylthioxanthon, 2,3-Bis-(4-diethylaminobenzal)cyclopentanon, 2,6-Bis-(4-dimethylaminobenzal)cyclohexanon, 2,6-Bis-(4-dimethylaminobenzal)-4-methylcyclohexanon, Michler's Keton, 4,4-Bis-(dimethlamino)benzophenon, 4,4-Bis(dimethylamino)chalcon, 4,4-Bis-(diethylamino)chalcon, p-Dimethylaminocinnamylidenindanon, p-Dimethylaminobenzylidenindanon, 2-(p-Dimethylaminophenylvinylen)isonaphthothiazol, 1,3-Bis-(4-dimethylaminobenzal)-aceton, 1,3-Carbonyl-bis-(4-diethylaminobenzal)aceton, 3,3-Carbonyl-bis-(7-diethylaminocoumarin), N-Phenyl-N-ethylethanolamin, N-Phenylethanolamin, N-Tolyldiethanolamin, N-Phenylethanolamin, Dimethylaminoisoamylbenzoat, Diethylaminoisoamylbenzoat, 3-Phenyl-5-benzoylthiotetrazol und 1-Phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazol. Für die Zwecke der Erfindung können eines oder mehrere davon verwendet werden. Einige Sensibilisatoren können auch als Photopolymerisationinitiator wirken. Wenn ein Sensibilisator einer lichtempfindliche Paste zugegeben wird, wie sie für die Erfindung zum Einsatz kommt, sollte sein Gehalt vorzugsweise 0,05 bis 10 Gew.-%, mehr bevorzugt 0,1 bis 10 Gew.-%, bezogen auf die lichtempfindliche Komponente, betragen. Die Empfindlichkeit für Licht kann nicht wesentlich verbessert werden, wenn die Menge des Sensibilisators zu gering ist, während die Persistenzrate vier belichteten Abschnitte zu gering sein kann, wenn die Menge des Sensibilisators zu groß ist.On Sensitizer is added to improve sensitivity. Particularly belong to these sensitizers 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) -4-methylcyclohexanone, Michler's ketone, 4,4-bis (dimethlamino) benzophenone, 4,4-bis (dimethylamino) chalcon, 4,4-bis (diethylamino) chalcon, p-dimethylaminocinnamylidenindanone, p-dimethylaminobenzylidenindanone, 2- (p-dimethylaminophenylvinylene) isonaphthothiazole, 1,3-bis (4-dimethylaminobenzal) -acetone, 1,3-carbonyl-bis- (4-diethylaminobenzal) acetone, 3,3-carbonyl-bis- (7-diethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethylethanolamine, N-phenylethanolamine, N-tolyldiethanolamine, N-phenylethanolamine, dimethylaminoisoamylbenzoate, diethylaminoisoamylbenzoate, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole and 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazole. For the Purposes of the invention can one or more of them can be used. Some sensitizers can also act as a photopolymerization initiator. If a sensitizer a photosensitive paste is added, as for the invention is used, its content should preferably 0.05 to 10 wt .-%, more preferably 0.1 to 10% by weight based on the photosensitive Component. The sensitivity to light cannot be significant be improved if the amount of the sensitizer is too small is while the persistence rate of four exposed sections may be too low if the amount of the sensitizer is too large.

Ein Polymerisationsinhibitor wird zugegeben, um die thermische Stabilität während der Lagerung zu verbessern. Im Speziellen gehören zu solchen Polymerisationsinhibitoren Hydrochinon, monoveresterte Verbindungen von Hydrochinon, N-Nitrosodiphenylamin, Phenothiazin, p-t-Butylcatechol, N-Phenylnapthylamin, 2,6-Di-t-butyl-p-methylphenol, Chloranil und Pyrogallol. Wenn ein Polymerisationsinhibitor zugegeben wird, macht sein Gehalt vorzugsweise 0,001 bis 1 Gew.-% der lichtempfindliche Paste aus.On Polymerization inhibitor is added to improve thermal stability during the Improve storage. Such polymerization inhibitors in particular belong Hydroquinone, monoesterified compounds of hydroquinone, N-nitrosodiphenylamine, Phenothiazine, p-t-butylcatechol, N-phenylnapthylamine, 2,6-di-t-butyl-p-methylphenol, Chloranil and pyrogallol. When added a polymerization inhibitor , its content preferably makes 0.001 to 1% by weight of the photosensitive one Paste out.

Geeignete Weichmacher sind Dibutylphthalat, Dioctylphthalat, Polyethylenglykol und Glycerin.suitable Plasticizers are dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, polyethylene glycol and glycerin.

Ein Antioxidans wird zugegeben, um die Oxidation von Acrylat-Copolymeren während der Lagerung zu vermeiden. Im Speziellen sind solche Antioxidantien 2,6-Di-t-butyl-p-kresol, butyliertes Hydroxyanisol, 2,6-Di-t-4-ethylphenol, 2,2-Methylen-bis-(4-methyl-6-t-butylphenol), 2,2-Methylen-bis-(4-ethyl-6-t-butylphenol), 4,4-Bis-(3-methyl-6-t-butylphenol), 1,1,3-Tris-(2-methyl-6-t-butylphenol), 1,1,3-Tris-(2-methyl-4-hydroxy-t-butylphenyl)butan, Bis-[3,3-bis-(4-hydroxy-3-t-butylphenyl)buttersäure]glykolester, Dilaurylthiodipropionat und Triphenylphosphit. Wenn ein Antioxidans zugegeben wird, macht sein Gehalt vorzugsweise 0,001 bis 1 Gew.-% der Paste aus.On Antioxidant is added to the oxidation of acrylate copolymers while to avoid storage. Such are antioxidants in particular 2,6-di-t-butyl-p-cresol, butylated hydroxyanisole, 2,6-di-t-4-ethylphenol, 2,2-methylene-bis- (4-methyl-6-t-butylphenol), 2,2-methylene-bis- (4-ethyl-6- t-butylphenol), 4,4-bis (3-methyl-6-t-butylphenol), 1,1,3-tris (2-methyl-6-t-butylphenol), 1,1,3-tris (2-methyl-4-hydroxy-t-butylphenyl) butane, bis- [3,3-bis- (4-hydroxy-3-t-butylphenyl) butyric acid] glycol ester, Dilauryl thiodipropionate and triphenyl phosphite. If an antioxidant added, its content preferably makes 0.001 to 1% by weight the paste.

Wenn die Viskosität der Lösung reguliert werden soll, kann der lichtempfindlichen Paste gemäß vorliegender Erfindung ein organisches Lösungsmittel zugegeben werden. Die geeigneten organischen Lösungsmittel dafür sind Methylcellosolve, Ethylcellosolve, Butylcellosolve, Methylethylketon, Dioxan, Aceton, Cyclohexanon, Cyclopentanon, Isobutylalkohol, Isopropylalkohol, Tetrahydrofuran, Dimethylsulfoxid, γ-Butyrolacton, Brombenzol, Chlorbenzol, Dibrombenzol, Dichlorbenzol, Brommbenzoat, Chlorbenzoat und Gemische von organischen Lösungsmitteln, die eines oder mehrere davon enthalten.If the viscosity the solution to be regulated, the photosensitive paste according to the present Invention an organic solvent be added. The suitable organic solvents for this are methyl cellosolve, Ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, Cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, Tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, bromobenzene, chlorobenzene, Dibromobenzene, dichlorobenzene, bromobenzoate, chlorobenzoate and mixtures of organic solvents, that contain one or more of them.

Der Brechungsindex der organischen Komponente ist als Brechungsindex dieser organischen Komponente in der Paste zum Zeitpunkt des Belichtens der lichtempfindlichen Komponente definiert. Wenn die Belichtung nach den Vorgängen des Beschichtens mit Paste und Trocknens durchgeführt werden soll, ist der Brechungsindex als der Brechungsindex der organischen Verbindung in der Paste nach dem Trocknungsvorgang definiert. Bei einem typischen Verfahren wird das Glassubstrat mit einer Paste beschichtet und dann 1 bis 3 min lang bei 50 bis 100°C getrocknet, gefolgt von der Messung des Brechungsindex.The Refractive index of the organic component is called the refractive index this organic component in the paste at the time of exposure of the photosensitive component. If the exposure after the operations coating with paste and drying , the refractive index as the refractive index is the organic Connection defined in the paste after the drying process. at A typical method is to paste the glass substrate coated and then dried at 50 to 100 ° C. for 1 to 3 minutes, followed by the measurement of the refractive index.

Für den Zweck der vorliegenden Erfindung werden allgemeine Messverfahren für den Brechungsindex, wie z. B. das Ellipsometrie-Verfahren oder das V-Block-Verfahren, bevorzugt, und die Messung sollte bei der gleichen Wellenlänge wie jene des für die Belichtung verwendeten Lichts durchgeführt werden. Insbesondere wird die Messung vorzugsweise unter Einsatz von Licht mit einer Wellenlänge im Bereich von 350 bis 650 nm durchgeführt. Weiters wird die Messung des Brechungsindex vorzugsweise unter Einsatz von i-Strahlen (365 nm) oder g-Strahlen (436 nm) durchgeführt.For the purpose General measurement methods for the refractive index, such as B. the ellipsometry method or the V-block method, preferred, and the measurement should be at the same wavelength as that of for the exposure used light can be performed. In particular the measurement preferably using light with a wavelength in the range from 350 to 650 nm. Furthermore, the measurement of the refractive index is preferably used by i-rays (365 nm) or g-rays (436 nm).

Der Brechungsindex der durch Lichtbestrahlung polymerisierten organischen Komponente kann gemessen werden, indem nur die organische Komponente mit dem gleichen Licht bestrahlt wird, das für die Lichtbestrahlung der Paste verwendet wird.The Refractive index of organic polymerized by light irradiation Component can be measured by just the organic component is irradiated with the same light that is used for the light irradiation of the Paste is used.

10 Gew.-% oder mehr Wismutoxid oder Bleioxid enthaltende Glasteilchen, die auf ein Glassubstrat gebrannt werden können, können einen Brechungsindex von 1,6 oder mehr aufweisen, und in einem solchen Fall sollte die organische Verbindung einen hohen Brechungsindex aufweisen.10 Glass particles containing% by weight or more of bismuth oxide or lead oxide, that can be burned onto a glass substrate can have a refractive index of 1.6 or more, and in such a case, the organic Compound have a high refractive index.

In einem solchen Fall sollte der organischen Komponente ein Substanz mit einem hohen Brechungsindex zugegeben werden. Um den Brechungsindex zu erhöhen, ist die Zugabe einer Verbindung wirksam, die Schwefelatome, Bromatome, Iodatome, Naphthalinringe, Biphenylringe, Athracenringe oder Carbazolringe in einer Menge von 10 Gew.-% oder mehr der organischen Komponente enthält. Der Brechungsindex kann auch erhöht werden, indem Benzolringe bis zu 20 Gew.-% zugegeben werden.In In such a case, the organic component should be a substance with a high refractive index. To the refractive index to increase is the addition of a compound effective, the sulfur atoms, bromine atoms, Iodine atoms, naphthalene rings, biphenyl rings, athracene rings or carbazole rings in an amount of 10% by weight or more of the organic component contains. The refractive index can also be increased be by adding up to 20 wt .-% benzene rings.

Insbesondere kann der Brechungsindex der organischen Komponente leicht erhöht werden, indem mehr als 10 Gew.-% Schwefelatome oder Naphthalinringe zugegeben werden. Wenn der Gehalt 60 Gew.-% oder mehr beträgt, kann die Empfindlichkeit für Licht unerwünscht beeinträchtigt werden, und daher liegt der Gesamtgehalt an Schwefelatomen und Naphthalinringen vorzugsweise im Bereich von 10 bis 60 Gew.-%.In particular the refractive index of the organic component can be increased slightly, by adding more than 10% by weight of sulfur atoms or naphthalene rings become. If the content is 60% by weight or more, the sensitivity may decrease for light undesirable impaired and therefore the total content of sulfur atoms and naphthalene rings preferably in the range of 10 to 60% by weight.

Ein wirksames Verfahren zum Einbringen von Schwefelatomen, Bromatomen und Naphthalinringen in die organische Komponente ist die Verwendung einer Verbindung, die aus lichtempfindlichen Monomeren oder Bindemitteln besteht, die Schwefelatome oder Naphthalinringe enthalten. Typische Polymere, die aus Monomeren erzeugt werden, die Schwefelatome in ihrer Molekulstruktur enthalten, sind jene der nachstehenden Formeln (a), (b) und (c), worin R in der Strukturformel ein Wasserstoffatom oder eine Methylgruppe darstellt.On effective method for introducing sulfur atoms, bromine atoms and naphthalene rings in the organic component is the use a compound made from photosensitive monomers or binders exists that contain sulfur atoms or naphthalene rings. typical Polymers made from monomers that contain sulfur atoms their molecular structure are those of the formulas below (a), (b) and (c), wherein R in the structural formula is a hydrogen atom or represents a methyl group.

Figure 00200001
Figure 00200001

Figure 00210001
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Ein einzusetzender Sensibilisator sollte Licht der Belichtungswellenlänge absorbieren. Bei einem solchen Sensibilisator erhöht sich der Brechungsindex in der Nähe der Wellenlänge, bei der Absorption erfolgt, beträchtlich, so dass der Brechungsindex der organischen Komponente durch die Zugabe eines Sensibilisators in großen Mengen erhöht werden kann. In einem solchen Fall kann der Sensibilisator in einer Menge von 0,5 bis 10 Gew.-% mehr bevorzugt 1 bis 6 Gew.-%, der Paste zugegeben werden.On Sensitizer to be used should absorb light of the exposure wavelength. With such a sensitizer, the refractive index increases nearby the wavelength, when absorption occurs, considerable, so that the refractive index of the organic component through the The addition of a sensitizer can be increased in large quantities can. In such a case, the sensitizer can be used in an amount from 0.5 to 10% by weight, more preferably 1 to 6% by weight, added to the paste become.

Um eine Paste zu erzeugen, werden die erforderlichen Komponenten, wie anorganische Teilchen, UV-Absorber, lichtempfindliches Polymer, lichtempfindliches Monomer, Photopolymerisationsinitiator, Glasfritte und Lösungsmittel bereitgestellt, um ein Gemisch mit der erforderlichen Zusammensetzung zu bilden, gefolgt von Verarbeitung mittels Dreiwalzenmühle oder Knetmaschine, um homogenes Mischen und Dispergieren zu gewährleisten.Around To produce a paste, the necessary components, such as inorganic particles, UV absorber, light-sensitive polymer, photosensitive monomer, photopolymerization initiator, glass frit and solvents provided to a mixture with the required composition to form, followed by processing using a three - roll mill or Kneading machine to ensure homogeneous mixing and dispersing.

Die Viskosität der Paste wird nach Bedarf durch Regulieren der Mengen der zuzugebenden anorganischen Teilchen, Viskositätsverbesserer, organischen Lösungsmittel, Weichmacher und Suspensionsmittel eingestellt. Ihr Bereich sollte 2.000 bis 200.000 cp (Centipoise) betragen. Wenn das Rotationsbeschichtungsverfahren eingesetzt wird, um Glassubstrate zu beschichten, beträgt die Viskosität vorzugsweise 200 bis 5.000 cp. Sie beträgt vorzugsweise 50.000 bis 200.000 cp, wenn das Siebdruckverfahren eingesetzt wird, um eine einzelne Schicht mit einer Dicke von 10 bis 20 μm aufzubringen, während sie vorzugsweise 1.000 bis 20.000 cp beträgt, wenn ein Rakelbeschichter oder ein Farbbeschichter eingesetzt wird.The viscosity The paste is made as needed by regulating the amounts of added inorganic particles, viscosity improvers, organic solvents, Plasticizers and suspending agents adjusted. Your area should 2,000 to 200,000 cp (centipoise). If the spin coating process is used to coat glass substrates, the viscosity is preferably 200 to 5,000 cp. It is preferably 50,000 to 200,000 cp if the screen printing process is used to make a single layer with a thickness of 10 up to 20 μm upset while it is preferably 1,000 to 20,000 cp when a knife coater or a paint coater is used.

Einige Beispiele für die Verwendung lichtempfindlicher Pasten für die Musterbildung werden nachstehend beschrieben, sie stellen jedoch keine Einschränkung der Erfindung dar.Some examples for the use of photosensitive pastes for pattern formation described below, however, they do not constitute a limitation of the Invention.

Eine lichtempfindliche Paste wird über die gesamte Oberfläche oder einen Teil eines Glassubstrats, eines Keramiksubstrats oder eines Polymerfilms aufgetragen. Ein übliches Verfahren, wie z. B. Siebdruck, Stabbeschichtung, Walzenbeschichtung, Farbbeschichtung oder Rakelbeschichtung, kann zum Beschichten eingesetzt werden. Die Beschichtungsdicke kann eingestellt werden, indem eine geeignete Anzahl an Schichten, ein geeigneter Beschichterspalt, eine geeignete Siebgröße und Pastenviskosität eingesetzt werden.A photosensitive paste is applied over the entire surface or a part of a glass substrate, a ceramic substrate or a polymer film. A common method, such as. B. screen printing, rod coating, roller coating, color coating or knife coating, can be used for coating be used. The coating thickness can be adjusted by using an appropriate number of layers, a suitable coater gap, a suitable screen size and paste viscosity.

Wenn eine Paste über ein Substrat aufgetragen wird, kann die Oberfläche des Substrats behandelt werden, um einen engen Kontakt zwischen dem Substrat und dem Überzug zu erzielen. Geeignete Mittel für eine solche Oberflachenbehandlung sind Silanhaftvermittler, wie z. B. Vinyltrichlorsilan, Vinyltrimethoxysilan, Vinyltriethoxysilan, Tris-(2-methoxyethoxy)vinylsilan, γ-Glycidoxypropyltrimethoxysilan, γ-(Methacryloxypropyl)trimethoxysilan, γ-(2-Aminoethyl)aminopropyltrimethoxysilan, γ-Chloruropyltrimethoxysi-lan, γ-Mercaptopropyltrimethoxysilan und γ-Aminopropyltriethoxysilan; und organische Metallverbindungen, wie z. B. organische Titanverbindungen, organische Aluminiumverbindungen und organische Zirkoniumverbindungen. Solche Silan-Haftvermittler oder organische Metallverbindungen werden als 0,1- bis 5%ige Lösung in einem organischen Lösungsmittel, wie z. B. Ethylenglykolmonomethylether, Ethylenglykolmonoethylether, Methylalkohol, Ethylalkohol, Propylalkohol und Butylalkohol, eingesetzt. Dann wird die Oberflächenbehandlungsflüssigkeit mit einer Schleuder usw. gleichmäßig über ein Substrat aufgetragen, gefolgt von Trocknen bei 80 bis 140°C für 10 bis 60 min, um Oberflächenbehandlung zu erreichen.If a paste over a substrate is applied, the surface of the substrate can be treated, to maintain close contact between the substrate and the coating achieve. Suitable means for one such surface treatment are silane coupling agents, such as. B. Vinyltrichlorosilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, tris- (2-methoxyethoxy) vinylsilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ- (methacryloxypropyl) trimethoxysilane, γ- (2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysuropaniloxypropyl-mercapto-siloxysilane, and γ-aminopropyltriethoxysilane; and organic metal compounds such as e.g. B. organic titanium compounds, organic aluminum compounds and organic zirconium compounds. Such silane coupling agents or organic metal compounds as a 0.1 to 5% solution in an organic solvent, such as B. ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, Methyl alcohol, ethyl alcohol, propyl alcohol and butyl alcohol are used. Then the surface treatment liquid with a slingshot etc. evenly over one Substrate applied, followed by drying at 80 to 140 ° C for 10 to 60 min to surface treatment to reach.

Wenn eine Paste auf einen Film aufgetragen wird, kann die Belichtung entweder nach dem Trocknen der Paste auf dem Film oder nach dem Aufkleben des Films auf ein Glas- oder Keramiksubstrat durchgeführt werden.If a paste is applied to a film, the exposure either after the paste has dried on the film or after the Stick the film on a glass or Ceramic substrate can be performed.

Eine lichtempfindliche grüne Bahn für Schaltkreismaterialien oder Anzeigen kann hergestellt werden, indem die lichtempfindliche Paste gemäß vorliegender Erfindung über ein Material wie einen Polyesterfilm aufgetragen wird. Eine lichtempfindliche Pastenschicht mit gleichmäßiger Dicke kann hergestellt werden, indem diese grüne Bahn auf ein Glassubstrat übertragen wird.A photosensitive green Web for Circuit materials or displays can be made by the photosensitive paste according to the present Invention over a material such as a polyester film is applied. A photosensitive Paste layer with uniform thickness can be made by transferring this green web to a glass substrate becomes.

Nach dem Beschichten wird eine Belichtungsvorrichtung verwendet, um die Belichtung durchzuführen. Die Belichtung erfolgt allgemein unter Einsatz des Verfahren mit maskierter Belichtung unter Verwendung einer Photomaske, wie bei der herkömmlichen Photolithographie. Die verwendete Maske kann je nach der lichtempfindlichen organischen Komponente eine negative oder eine positive sein.To an exposure device is used to coat the To perform exposure. The Exposure is generally done using the masked method Exposure using a photomask as in the conventional one Photolithography. The mask used can vary depending on the photosensitive organic component can be a negative or a positive.

Anstelle der Verwendung einer Photomaske kann direkte Musterbildung durch einen roten oder blauen sichtbaren Laserstrahl oder Ar-Ion-Laserstrahl durchgeführt werden.Instead of Using a photomask can result in direct patterning a red or blue visible laser beam or Ar-ion laser beam carried out become.

Es können Belichtungsvorrichtungen wie Schrittbelichter oder ein Nahbelichter eingesetzt werden. Für die Bolichtung einer großen Flache kann eine lichtempfindliche Paste auf Glas oder ein anderes Substrat aufgebracht werden, gefolgt von der Durchführung der Belichtung, während das Substrat befördert wird. um zu ermöglichen, eine große Fläche mit einem Belichter mit einer kleinen Lichtquelle zu belichten.It can Exposure devices such as step imagesetters or a close imagesetter be used. For the Direction of a large one Flat can be a photosensitive paste on glass or another Be applied substrate, followed by the implementation of the Exposure while transported the substrate becomes. to enable a big area with an imagesetter using a small light source.

Die aktive Lichtquelle, die wirksam eingesetzt werden kann, umfasst sichtbares Licht, Licht im nahen UV-Bereich, UV-Licht, Elektronenstrahl, Röntgenstrahl und Laserstrahl. Davon wird UV-Licht bevorzugt, und Quellen wie eine Niederdruck-Quecksilberdampflampe, Hochdruck-Quecksilberdampflampe, Extrahochdruck-Quecksilberdampflampe, Halogenlampe und keimtötende Lampe können eingesetzt worden. Davon wird die Ex trahochdruck-Quecksilberdampflampe bevorzugt. Die optimalen Belichtungsbedingungen hängen von der Beschichtungsdicke ab, aber bevorzugt wird eine Extrahochdruck-Quecksilberdampflampe mit einer Leistung von 1 bis 100 mW/cm2 für Belichtung für 0,5 bis 30 min verwendet.The active light source that can be used effectively includes visible light, light in the near UV range, UV light, electron beam, X-ray beam and laser beam. Of these, UV light is preferred, and sources such as a low pressure mercury lamp, high pressure mercury lamp, extra high pressure mercury lamp, halogen lamp and germicidal lamp can be used. Of these, the high pressure mercury vapor lamp is preferred. The optimal exposure conditions depend on the coating thickness, but an extra high pressure mercury lamp with a power of 1 to 100 mW / cm 2 is preferred for exposure for 0.5 to 30 min.

Ein Sauerstoffsperrfilm kann über der aufgetragenen lichtempfindlichen Paste vorgesehen werden, um die Form des Musters zu verbessern. Geeignete Materialien für solche Sauerstoffsperren sind PVA-Membranen, Cellulosemembranen und Polyesterfilme.On Oxygen barrier film can over the applied photosensitive paste can be provided to to improve the shape of the pattern. Suitable materials for such Oxygen barriers are PVA membranes, cellulose membranes and polyester films.

Eine PVA-Membran kann hergestellt werden, indem ein Substrat unter Einsatz einer Schleuder usw. gleichmäßig mit 0,5 bis 5,0 Gew.-% wässriger Lösung beschichtet wird, gefolgt von Trocknen bei 70 bis 90°C für 10 bis 60 min, und Wasser abzudampfen. Es wird bevorzugt, dass der wässrigen Lösung eine geringe Menge Alkohol zugegeben wird, um die Benetzbarkeit mit dem Isolationsfilm zu verbessern, wodurch das Verdampfen erleichtert wird. Die PVA-Lösung liegt mehr bevorzugt für Konzentrationsbereich von 1 bis 3 Gew.-%. Eine Konzentration in diesem Bereich verbessert die Empfindlichkeit weiter. Es wird angenommen, dass die PVA-Beschichtung die Empfindlichkeit aufgrund des folgenden Mechanismus verbessern kann: Es wird angenommen, dass Sauerstoff in der Atmosphäre die Empfindlichkeit für Photohärtung verringert, aber eine PVA-Membran kann unerwünschten Sauerstoff blockieren, wodurch die Empfindlichkeit für Belichtung mit Licht verbessert wird.A PVA membrane can be made by using a substrate a slingshot etc. evenly 0.5 to 5.0 wt .-% aqueous solution is coated, followed by drying at 70 to 90 ° C for 10 to 60 min, and evaporate water. It is preferred that the aqueous solution a small amount of alcohol is added to make it wettable with the insulation film, which makes evaporation easier becomes. The PVA solution is more preferred for Concentration range from 1 to 3 wt .-%. A concentration in this area further improves sensitivity. It is believed, that the PVA coating has sensitivity due to the following Mechanism can improve: It is believed that oxygen in the atmosphere the sensitivity to photocuring reduced, but a PVA membrane can be undesirable Block oxygen, increasing sensitivity to exposure is improved with light.

Wenn ein transparenter Film, z. B. wie ein Polyester-, Polypropylen- oder Polyethylenfilm verwendet wird, kann ein solcher Film über die aufgetragene lichtempfindliche Paste geklebt werden.If a transparent film, e.g. B. like a polyester, polypropylene or polyethylene film is used, such a film can be made over the applied photosensitive paste can be glued.

Nach dem Belichten erfolgt das Entwickeln, indem der Löslichkeitsunterschied in der Entwicklungslösung zwischen den belichteten und den unbelichteten Abschnitten genutzt wird. Für diesen Zweck kann ein Verfahren wie Eintauchen, Spritzen oder Aufstreichen eingesetzt werden.To exposure is done by developing the difference in solubility in the development solution between the exposed and unexposed sections becomes. For a method such as dipping, spraying or painting can serve this purpose be used.

Als Entwicklungslösung kann ein organisches Lösungsmittel verwendet werden, das die organische Komponente in der lichtempfindlichen Paste lösen kann. Dem organischen Lösungsmittel kann Wasser zugegeben werden, solange seine Lösekraft nicht wesentlich beeinträchtigt wird. Eine wässrige Basenlösung kann verwendet werden, wenn die lichtempfindliche Paste eine Verbindung mit einer Säuregruppe, wie z. B. Carboxyl, enthält. Obwohl die wässrige Basenlösung eine Metallbasenlösung, wie z. B. eine Natriumhydroxidlösung, Natriumcarbonatlösung oder Calciumhydroxidlösung, sein kann, wird die Verwendung einer organischen Basenlösung bevorzugt, weil die basischen Komponenten dann beim Brennen leicht entfernt werden können.As development solution can be an organic solvent be used, the organic component in the photosensitive Loosen the paste can. The organic solvent water can be added as long as its solvency is not significantly impaired. A watery one Base solution can be used when the photosensitive paste connects with an acid group, such as B. carboxyl contains. Although the watery Base solution a metal base solution, such as B. a sodium hydroxide solution, sodium or calcium hydroxide solution, the use of an organic base solution is preferred, because the basic components are easily removed when burning can be.

Als solche organischen Basenverbindungen können herkömmliche Aminverbindungen verwendet werden. Im Speziellen gehören dazu Tetramethylammoniumhydroxid, Trimethylbenzylammoniumhydroxid, Monoethanolamin und Diethanolamin. Die Konzentration der Basenlösung sollte allgemein 0,01 bis 10 Gew.-%, mehr bevorzugt 0,1 bis 5 Gew.-%, betragen. Die löslichen Anteile werden nicht entfernt, wenn die Basenkonzentration zu niedrig ist, während eine übermäßig hohe Basenkonzentration ein Ablösen gemusterter Abschnitte und die Korrosion der löslichen Anteile verursacht.As such organic base compounds can be used conventional amine compounds. In particular belong with tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine and diethanolamine. The concentration of the base solution should generally be 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. The soluble Portions are not removed if the base concentration is too low is while an excessively high Base concentration a peeling patterned sections and the corrosion of the soluble parts caused.

Beim Entwickeln beträgt die Entwicklungstemperatur vorzugsweise 20 bis 50°C, um die Verfahrenssteuerung zu vereinfachen.At the Develop is the development temperature preferably 20 to 50 ° C to the Simplify process control.

Das Brennen wird dann in einem Ofen durchgeführt. Die zum Brennen eingesetzte Atmosphäre und Temperatur hängen von der Paste und dem Substrat ab. Das Brennen wird allgemein in einer Atmosphäre wie Luft, Stickstoff oder Wasserstoff durchgeführt. Der zu verwendende Ofen kann ein Chargenofen oder ein kontinuierlicher Bandofen sein.The Firing is then carried out in an oven. The one used for burning the atmosphere and temperature depend on the paste and the substrate. The burning is common in an atmosphere such as air, nitrogen or hydrogen. The oven to use can be a batch furnace or a continuous belt furnace.

Die Brenntemperatur sollte 400 bis 1.000°C betragen. Wenn die Musterbildung auf einem Glassubstrat erfolgt, sollte es für 10 bis 60 min bei 520 bis 610°C gehalten werden, um Brennen zu gewährleisten.The Firing temperature should be 400 to 1,000 ° C. If the pattern formation done on a glass substrate, it should be at 520 to for 10 to 60 min Kept at 610 ° C to ensure burning.

Jedes der Verfahren zum Beschichten, Belichten, Entwickeln und Brennen kann für Zwecke wie Trocknen und vorbereitende Umsetzung einen Heizschritt bei 50 bis 300°C umfassen.each the processes for coating, exposing, developing and firing can for Purposes like drying and preparatory implementation of a heating step at 50 to 300 ° C include.

Ein Glassubstrat mit einer Spacerplatte, wie nach den obigen Verfahren hergestellt, kann an der Vorder- oder Rückseite einer Plasmaanzeige verwendet werden. Sie kann auch als Substrat verwendet werden, das in einer matrixadressierten Plasma-LCD für elektrische Entladung von den adressierten Abschnitten vorgesehen ist.On Glass substrate with a spacer plate, as in the above procedures manufactured, can be on the front or back of a plasma display be used. It can also be used as a substrate in a matrix addressed plasma LCD for electrical discharge from the addressed sections is provided.

Phosphor wird zwischen den oben hergestellten Trennrippen aufgetragen, gefolgt von Sandwichanordnung derselben zwischen einem vorderen und einem hinteren Glassubstrat und Abdichten mit einem Edelgas wie Helium, Neon oder Xenon, wodurch eine Plasmaanzeigetafel hergestellt wird.phosphorus is applied between the separating ribs made above, followed of sandwiching the same between a front and a rear glass substrate and sealing with an inert gas such as helium, Neon or xenon, which creates a plasma display panel.

Dann werden Treiber-ICs eingebaut, um die Plasma-Anzeige zu vervollständigen.Then driver ICs are built in to complete the plasma display.

Die Größe jedes Pixels muss verringert werden, um die Bildschärfe der Plasma-Anzeige zu verbessern, d. h. die Anzahl an Pixeln in einer Anzeige gleichbleibender Größe zu erhöhen. Der Abstand der Trennrippen muss verringert werden, um dies zu erzielen, aber ein verringerter Abstand bewirkt eine Verringerung des Entladeraums und eine Verringerung der mit Phosphor beschichteten Fläche, was zu verringerter Helligkeit führt. Im Speziellen erfordert eine Hochauflösungsanzeige mit 42 Zoll für TV (1920 × 1035 Pixel) oder eine Anzeige mit 23 Zoll für Bürogeräte (XGA: 1024 × 768 Pixel) eine Pixelgröße von 450 × 450 μm und einen Abstand von 150 μm für die Trennrippen, um die Pixel jeden Farbe zu trennen. In diesem Fall macht es eine große Linienbreitete in der Trennrippe unmöglich, einen ausreichenden Endladeraum beizubehalten und die mit Phosphor beschichtete Fläche zu verringern, wodurch es schwierig wird, die Helligkeit zu verbessern.The Size each Pixels must be reduced to improve the sharpness of the plasma display, d. H. increase the number of pixels in a constant size display. The Separation rib spacing must be reduced to achieve this, but a reduced distance causes a reduction in the unloading space and a reduction in the area coated with phosphorus what leads to reduced brightness. Specifically, a 42 inch high definition display requires for TV (1920 × 1035 pixels) or a 23 inch ad for Office devices (XGA: 1024 × 768 Pixels) a pixel size of 450 × 450 μm and one Distance of 150 μm for the Separation ribs to separate the pixels of each color. In this case makes it a large line width impossible in the rib, to maintain a sufficient final loading space and the one coated with phosphor area decrease, making it difficult to improve the brightness.

Die Erfinder des vorliegenden Anmeldungsgegenstandes haben festgestellt, dass die durch die vorliegende Erfindung bereitgestellte Technik dazu dient, eine Verringerung der Linienbreite in der Trennrippe zu ermöglichen.The Inventors of the subject matter of the present application have determined that the technique provided by the present invention serves to reduce the line width in the separating rib to enable.

Insbesondere dient die Technik dazu, die Herstellung einer Plasma-Anzeige zu ermöglichen, die eine streifenförmige Trennrippe mit einer Spacerbreite von 20 bis 40 μm umfasst. Daher kann mit der Technik wirksam die Helligkeit verbessert werden.In particular the technique serves to manufacture a plasma display enable, the one strip-shaped Separating rib with a spacer width of 20 to 40 μm. Therefore, with the Technology can effectively improve the brightness.

Weiters kann durch die Herstellung einer hochauflösenden Trennrippe mit einer Höhe von 100 bis 170 μm und einem Abstand von 100 bis 160 μm eine hochauflösende Plasma-Anzeige hergestellt werden, die für hochauflösende TV-Geräte und Computer-Bildschirme bereitgestellt werden kann.Furthermore, can be achieved by producing a high-resolution separating rib with a Height of 100 to 170 μm and a distance of 100 to 160 μm a high-resolution plasma display are manufactured for high-definition TV sets and computer screens can be provided.

Nachstehend werden Beispiele angeführt, um die Erfindung spezifischer zu veranschaulichen. Die Beispiele stellen jedoch keine Einschränkung der Erfindung dar. Die Konzentrationen (%) in den Beispielen und Vergleichsbeispielen sind, wenn nicht anders angegeben, in Gewichtsprozent angegeben.below examples are given, to illustrate the invention more specifically. The examples however, do not pose a restriction of the invention. The concentrations (%) in the examples and Unless otherwise stated, comparative examples are in percent by weight specified.

In jedem Beispiel wird eine lichtempfindliche Paste hergestellt, die aus anorganischen Teilchen und einer organischen Komponente besteht. Das Herstellungsverfahren dafür ist folgendes: die Materialien der organischen Komponente werden mit γ-Butyrolacton auf 80°C erhitzt, um Lösen zu gewährleisten, gefolgt von der Zugabe anorganischer Teilchen und Kneten in einer Knetmaschine, um eine Paste herzustellen. Deren Viskosität wird durch Regulieren der Menge des zugegebenen Lösungsmittels eingestellt. Das Lösungsmittel (γButyrolacton) wurde in einer Menge von bis zu 10–40% der Paste zugegeben.In In each example, a photosensitive paste is made consists of inorganic particles and an organic component. The manufacturing process for it is the following: the materials of the organic component will be with γ-butyrolactone to 80 ° C heated to loosen to ensure, followed by the addition of inorganic particles and kneading in one Kneading machine to make a paste. Their viscosity is determined by Adjust the amount of solvent added. The Solvent (γ-butyrolactone) was added in an amount up to 10-40% of the paste.

Daraufhin wurden durch Siebdruck auf einem Natronkalkglas- oder Quarzglassubstrat mit 30 × 30 cm mehrere Überzüge bis zu einer Dicke von 100 μm, 150 μm oder 200 μm aufgetragen, gefolgt von Trocken bei 80°C für 30 min.thereupon were by screen printing on a soda-lime glass or quartz glass substrate with 30 × 30 cm several coatings up to a thickness of 100 μm, 150 μm or Applied 200 μm, followed by dry at 80 ° C for 30 minute

Dann wurden die Substrate durch eine der beiden nachstehend angeführten Photomasken belichtet.

  • (1) Chrom-Negativmaske mit einem Abstand von 220 μm und einer Linienbreite von 50 μm;
  • (2) Chrom-Negativmaske mit einem Abstand von 150 μm und einer Linienbreite von 20 μm.
Then the substrates were exposed through one of the two photomasks listed below.
  • (1) chrome negative mask with a pitch of 220 μm and a line width of 50 μm;
  • (2) Chrome negative mask with a distance of 150 μm and a line width of 20 μm.

Belichtung wurde mit 2–10 J/cm2 UV-Strahlen aus einer Extrahochdruck-Quecksilberdampflampe mit einer Leistung von 50 mW/cm2 durchgeführt.Exposure was carried out with 2-10 J / cm 2 UV rays from an extra high pressure mercury lamp with an output of 50 mW / cm 2 .

Das resultierende Glassubstrat wurde dann bei 80°C 1 h lang getrocknet und bei einer Maximaltemperatur von 560°C oder 850°C gebrannt (Maximaltemperatur 30 min lang beibehalten).The resulting glass substrate was then dried at 80 ° C for 1 hour and at a maximum temperature of 560 ° C or 850 ° C burned (maintain maximum temperature for 30 min).

Das resultierende Substrat wurde in Proben geschnitten, und ihre Querschnitte wurden unter einem Rasterelektronenmikroskop betrachtet, um zu ermitteln, ob ein gutes Muster auf der Trennrippe hergestellt worden war. Die Ergebnisse werden in Tabelle 3 gezeigt, worin "O" anzeigt, dass ein gutes Muster erzeugt wurde, und "X" anzeigt, dass aufgrund fehlender/zerstörter Abschnitte im Muster oder aufgrund unzureichender Entwicklung, wodurch unbelichtete Abschnitte zurück gelassen werden, keine gute Trennrippe erhalten wurde.The resulting substrate was cut into samples, and their cross sections were viewed under a scanning electron microscope to determine whether a good pattern had been made on the separation rib. The Results are shown in Table 3, where "O" indicates that a good pattern has been created and displays "X" that due to missing / destroyed Sections in the pattern or due to underdevelopment, causing unexposed sections back left, no good separation rib was obtained.

Der Brechungsindex der organischen Komponente wurde eingestellt, indem nur die organische Komponente in der Paste reguliert wurde, und er wurde nach dem Aufbringen und Trocknen nach dem Ellipsometrie-Verfahren unter Einsatz von Licht mit einer Wellenlänge von 436 nm bei 25°C gemessen.The Refractive index of the organic component was adjusted by only the organic component in the paste was regulated, and it was applied and dried by the ellipsometry method measured using light with a wavelength of 436 nm at 25 ° C.

Beispiel 1example 1

Eine Paste wurde aus 75 g Glaspulver A1 und 25 g organischer Komponente B3, wie in Tabelle 1 angeführt, unter Einsatz von 10 g Lösungsmittel hergestellt.A Paste was made from 75 g of glass powder A1 and 25 g of organic component B3 as listed in Table 1 using 10 g of solvent manufactured.

Ein Muster wurde gebildet, und Brennen wurde bei 560°C 30 min lang durchgeführt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 3 gezeigt.On Pattern was formed and firing was carried out at 560 ° C for 30 minutes. The Results are shown in Table 3.

Unter Einsatz einer lichtempfindlichen Silberpaste wurden streifenartig 3.072 Silberverdrahtungslinien mit einer Linienbreite von 40 μm, einem Abstand von 150 μm und einer Dicke von 10 μm auf einem Natronkalkglas-Substrat mit 360 × 500 mm (2,8 mm Dicke) hergestellt. Die oben hergestellte Paste wurde dann über die gesamte Fläche bis zu einer Dicke von 200 μm aufgetragen und durch eine Photomaske mit einem Abstand von 150 μm, einer Linienbreite von 20 μm, einer Gesamtanzahl von 3.080 Linien und einer Linienlänge von 350 mm belichtet, gefolgt vom Entwickeln und Brennen, um eine Trennrippe bereitzustellen. Daraufhin wurden RGB-Phosphorpasten durch Siebdruck aufgebracht, gefolgt von Brennen bei 450°C für 20 min, um eine Rückplatte für eine 23 Zoll-Plasma-Anzeige bereitzustellen. Eine 23 Zoll-XGA-Anzeige (1.024 × 768 Pixel) kann hergestellt werden, indem diese Rückplatte mit einer Vorderplatte verklebt und diese abdichtet werden, wobei sich dazwischen ein Gas befindet.Using a light-sensitive silver paste, 3,072 silver wiring lines with a line width of 40 μm, a spacing of 150 μm and a thickness of 10 μm were produced in strips on a soda-lime glass substrate with 360 × 500 mm (2.8 mm thickness). The paste prepared above was then applied over the entire area to a thickness of 200 μm and exposed through a photomask with a distance of 150 μm, a line width of 20 μm, a total number of 3,080 lines and a line length of 350 mm, followed by Develop and burn to provide a separation rib. RGB phosphor pastes were then screen printed, followed by baking at 450 ° C for 20 minutes to provide a backplate for a 23 inch plasma display. A 23 inch XGA display (1024x768 pixels) can be made by gluing this back plate to a front plate and sealing it, whereby there is a gas in between.

Beispiel 2Example 2

Eine Paste wurde aus 75 g Glaspulver A2 und 25 g organischer Komponente B3, wie in Tabelle 1 angeführt, hergestellt, wobei 15 g Lösungsmittel verwendet wurden.A Paste was made from 75 g of glass powder A2 and 25 g of organic component B3 as listed in Table 1 prepared using 15 g of solvent were used.

Ein Muster wurde ausgebildet, und Brennen wurde bei 560°C 10 min lang durchgeführt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 3 gezeigt.On Pattern was formed and firing was carried out at 560 ° C for 10 minutes long done. The results are shown in Table 3.

Beispiel 3Example 3

Eine Paste wurde unter Einsatz von 15 g Lösungsmittel aus 70 g Glaspulver A3 und 30 g organischer Komponente B4, wie in Tabelle 1 angeführt, hergestellt.A Paste was made from 70 g of glass powder using 15 g of solvent A3 and 30 g of organic component B4, as shown in Table 1, prepared.

Es wurde ein Muster gebildet, und Brennen wurde bei 560°C 10 min lang durchgeführt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 3 gezeigt.It a pattern was formed and firing was carried out at 560 ° C for 10 min long done. The results are shown in Table 3.

Beispiel 5 (Verfahrensbeispiel; Vergleichsprodukt)Example 5 (process example; Comparative product)

Eine Paste wurde aus 80 g Glaspulver A4 und 20 g organischer Komponente B2, wie in Tabelle 1 angeführt, hergestellt, wobei 11 g Lösungsmittel verwendet wurden.A Paste was made from 80 g of A4 glass powder and 20 g of organic component B2 as listed in Table 1 prepared using 11 g of solvent were used.

Es wurde ein Muster gebildet, und Brennen wurde bei 580°C 15 min lang durchgeführt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 3 gezeigt.It a pattern was formed and firing was carried out at 580 ° C for 15 min long done. The results are shown in Table 3.

Beispiel 6Example 6

Eine Paste wurde unter Einsatz von 12 g Lösungsmittel aus 75 g Glaspulver A5 und 25 g organischer Komponente B1, wie in Tabelle 1 angeführt, herstellt.A Paste was made from 75 g of glass powder using 12 g of solvent A5 and 25 g of organic component B1, as listed in Table 1.

Es wurde ein Muster gebildet, und Brennen wurde bei 580°C 15 min lang durchgeführt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 3 gezeigt.It a pattern was formed and firing was carried out at 580 ° C for 15 min long done. The results are shown in Table 3.

Beispiel 7Example 7

Eine Paste wurde unter Einsatz von 10 g Lösungsmittel aus 75 Glaspulver A6 und 25 g organischer Komponente B3, wie in Tabelle 1 angeführt, hergestellt.A Paste was made from 75 glass powder using 10 g of solvent A6 and 25 g of organic component B3, as listed in Table 1, prepared.

Es wurde ein Muster gebildet, und Brennen wurde bei 850°C 15 min lang durchgeführt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 3 gezeigt.It a pattern was formed and firing was carried out at 850 ° C for 15 min long done. The results are shown in Table 3.

Beispiel 8Example 8

Eine Paste wurde unter Einsatz von 10 g Lösungsmittel hergestellt, indem 60 g Glaspulver A1 und 15 g Glaspulver A6 vermischt wurden, wobei 25 g organische Komponente B3, wie in Tabelle 1 angeführt, verwendet wurden.A Paste was made using 10 g of solvent by 60 g of glass powder A1 and 15 g of glass powder A6 were mixed, whereby 25 g of organic component B3, as listed in Table 1, used were.

Ein Muster wurde gebildet, und Brennen wurde bei 580°C 30 min lang durchgeführt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 3 gezeigt.On Pattern was formed and baking was carried out at 580 ° C for 30 minutes. The Results are shown in Table 3.

Vergleichsbeispiel 1Comparative Example 1

Eine Paste wurde unter Einsatz von 10 g Lösungsmittel aus 75 g Glaspulver A3 und 25 g organischer Komponente B2, wie in Tabelle 1 angeführt, hergestellt.A Paste was made from 75 g of glass powder using 10 g of solvent A3 and 25 g of organic component B2, as listed in Table 1, prepared.

Es wurde ein Muster gebildet, und Brennen wurde bei 560°C 10 min lang durchgeführt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 3 gezeigt.It a pattern was formed and firing was carried out at 560 ° C for 10 min long done. The results are shown in Table 3.

Vergleichsbeispiel 2Comparative Example 2

Eine Paste wurde unter Einsatz von 10 g Lösungsmittel aus 75 g Glaspulver A4 und 25 g organischer Komponente B4, wie in Tabelle 1 angeführt, hergestellt.A Paste was made from 75 g of glass powder using 10 g of solvent A4 and 25 g of organic component B4, as listed in Table 1, prepared.

Es wurde ein Muster gebildet, und Brennen wurde bei 580°C 15 min lang durchgeführt. Die Ergebnisse werden in Tabelle 3 gezeigt.It a pattern was formed and firing was carried out at 580 ° C for 15 min long done. The results are shown in Table 3.

Tabelle 1 Zusammensetzungen der verwendeten Glasteilchen

Figure 00320001
Table 1 Compositions of the glass particles used
Figure 00320001

Figure 00330001
Figure 00330001

Tabelle 3 Ergebnisse der Trennrippenbildung

Figure 00340001
Table 3 Results of separation rib formation
Figure 00340001

Die in den Tabellen verwendeten Abkürzungen haben folgende Bedeutung (die in den Formeln der Polymere 1–3 angeführten Zahlen zeigen den Molanteil jedes Monomers):

TMPA
Trimethylolpropantriacrylat
TBPMA
Tribromphenylmethacrylat
TBB-ADA
Tetrabrombisphenol-A-diacrylat
BMEXS-MA
Figure 00340002
MPS-MA
Figure 00350001
PVA
Polyvinylalkohol
Sudan
Roter Azo-Farbstoff (C24H20N4O)
Yupinal D50
Benzophenon-Farbstoff (Yupinal D50) C13H10O-.
MTPMP
2-Methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1
EPA
p-Ethyldimethylaminobenzoat
DET
2,4-Diethylthioxanthon
γ-BL
γ-Butyrolacton
The abbreviations used in the tables have the following meaning (the numbers given in the formulas of polymers 1-3 show the molar fraction of each monomer):
TMPA
trimethylolpropane
TBPMA
tribromophenyl
TBB-ADA
Tetrabromobisphenol A diacrylate
BMEXS-MA
Figure 00340002
MPS-MA
Figure 00350001
PVA
polyvinyl alcohol
sudan
Red azo dye (C 24 H 20 N 4 O)
Yupinal D50
Benzophenone dye (Yupinal D50) C 13 H 10 O-.
MTPMP
2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1
EPA
p-ethyl dimethylaminobenzoate
DET
2,4-diethylthioxanthone
γ-BL
γ-butyrolactone

Polymer-1

Figure 00350002
durchschnittliches Molekulargewicht: 43.000, Säurezahl : 90 Polymer-1
Figure 00350002
average molecular weight: 43,000, acid number: 90

Polymer-2

Figure 00350003
durchschnittliches Molekulargewicht: 32.000, Säurezahl: 95 Polymer-2
Figure 00350003
average molecular weight: 32,000, acid number: 95

Polymer-3

Figure 00360001
durchschnittliches Molekulargewicht: 30.000, Säurezahl: 101 Polymer 3
Figure 00360001
average molecular weight: 30,000, acid number: 101

Industrielle AnwendbarkeitIndustrial applicability

Die lichtempfindliche Paste gemäß vorliegender Erfindung ermöglicht die Durchführung von Musterbildung mit einem hohen Seitenverhältnis und hoher Präzision. Die Erfindung macht es auch möglich, Musterbildung mit großer Dicke und hoher Präzision für Anzeigen und Schaltkreismaterialien durchzuführen sowie die Bilschärfe zu verbessern und die Herstellungsverfahren zu vereinfachen. Insbesondere können auf einfache Weise hochauflösende Plasmaanzeigentafeln hergestellt werden.The photosensitive paste according to the present Invention enables the implementation of pattern formation with a high aspect ratio and high precision. The invention also makes it possible Pattern formation with large Thick and high precision for ads and circuit materials and improve image sharpness and to simplify the manufacturing processes. In particular, on simple way high resolution Plasma display panels are manufactured.

Claims (27)

Verwendung einer lichtempfindlichen Paste, die als Basiskomponenten (a) anorganische Teilchen, die Glasteilchen in einer Menge von 60 Gew.-% oder mehr, bezogen auf das Gewicht der anorganischen Teilchen, und (b) eine organische Komponente umfasst, die eine lichtempfindliche Verbindung enthält, worin der mittlere Brechungsindex N1 der anorganischen Teilchen und der mittlere Brechungsindex N2 der organischen Komponente der folgenden Gleichung entsprechen: –0,1 ≤ N1 – N2 ≤ 0,1zur Bildung von Trennrippen auf einem Glassubstrat bei einem Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige oder Matrix-adressierten Plasma-Flüssigkristallanzeige.Use of a photosensitive paste which comprises, as base components, (a) inorganic particles, the glass particles in an amount of 60% by weight or more based on the weight of the inorganic particles, and (b) an organic component containing a photosensitive compound , wherein the average refractive index N1 of the inorganic particles and the average refractive index N2 of the organic component correspond to the following equation: -0.1 ≤ N1 - N2 ≤ 0.1 for forming separating ribs on a glass substrate in a method for producing a plasma display or matrix-addressed plasma liquid crystal display. Verwendung nach Anspruch 1, worin der mittlere Brechungsindex N1 der anorganischen Teilchen und der mittlere Brechungsindex N2 der organischen Komponente der folgenden Gleichung entsprechen: –0,05 ≤ N1 – N2 ≤ 0,1. Use according to claim 1, wherein the average refractive index N1 of the inorganic particles and the average refractive index N2 of the organic component correspond to the following equation: -0.05 ≤ N1 - N2 ≤ 0.1. Verwendung nach Anspruch 1, worin der mittlere Brechungsindex der anorganischen Teilchen im Bereich von 1,5 bis 1,7 liegt.Use according to claim 1, wherein the average refractive index of the inorganic particles is in the range of 1.5 to 1.7. Verwendung nach Anspruch 3, worin der mittlere Brechungsindex der anorganischen Teilchen im Bereich von 1,55 bis 1,65 liegt.Use according to claim 3, wherein the average refractive index the inorganic particles are in the range of 1.55 to 1.65. Verwendung nach Anspruch 1, worin die lichtempfindliche Paste 50 bis 95 Gewichtsteile anorganische Teilchen und 5 bis 50 Gewichtsteile einer organischen Komponente umfasst.Use according to claim 1, wherein the photosensitive Paste 50 to 95 parts by weight of inorganic particles and 5 to 50 Parts by weight of an organic component. Verwendung nach Anspruch 1, worin die Glasteilchen eine thermische Erweichungstemperatur (Ts) von 350 bis 600°C aufweisen.Use according to claim 1, wherein the glass particles have a thermal softening temperature (Ts) of 350 to 600 ° C. Verwendung nach Anspruch 1, worin die Glasteilchen einen linearen Wärmeausdehnungskoeffizienten von 50 – 90 × 10–7 aufweisen.Use according to claim 1, wherein the glass particles have a linear coefficient of thermal expansion of 50-90 x 10-7 . Verwendung nach Anspruch 1, worin die Glasteilchen einen Sphärizitätskoeffizienten von 80% oder mehr aufweisen.Use according to claim 1, wherein the glass particles a sphericity coefficient of 80% or more. Verwendung nach Anspruch 1, worin die Glasteilchen zumindest eines von Lithiumoxid, Natriumoxid oder Kaliumoxid enthalten, deren Gesamtgehalt 3 bis 20 Gew.-% beträgt.Use according to claim 1, wherein the glass particles contain at least one of lithium oxide, sodium oxide or potassium oxide, the total content of which is 3 to 20% by weight. Verwendung nach Anspruch 5, worin die Glasteilchen 3 bis 20 Gew.-% Lithiumoxid enthalten.Use according to claim 5, wherein the glass particles Contain 3 to 20 wt .-% lithium oxide. Verwendung nach Anspruch 5, worin die Glasteilchen zumindest entweder Wismutoxid oder Bleioxid enthalten, deren Gesamtgehalt 5 bis 50 Gew.-% beträgt.Use according to claim 5, wherein the glass particles contain at least either bismuth oxide or lead oxide, their total content 5 to 50 wt .-% is. Verwendung nach Anspruch 5, worin die Glasteilchen zumindest entweder Wismutoxid oder Bleioxid in einem Gesamtgehalt von 5 bis 30 Gew.-% enthalten und auch eines von Lithiumoxid, Natriumoxid oder Kaliumoxid in einem Gesamtgehalt von 3 bis 15 Gew.-% enthalten.Use according to claim 5, wherein the glass particles at least either total bismuth oxide or lead oxide contain from 5 to 30 wt .-% and also one of lithium oxide, sodium oxide or contain potassium oxide in a total content of 3 to 15 wt .-%. Verwendung nach Anspruch 5, worin die Glasteilchen 3 bis 60 Gew.-% Siliziumoxid, 5 bis 50 Gew.-% Boroxid enthalten.Use according to claim 5, wherein the glass particles Contain 3 to 60 wt .-% silicon oxide, 5 to 50 wt .-% boron oxide. Verwendung nach Anspruch 5, worin die Glasteilchen 3 bis 60 Gew.-% Siliziumoxid, 5 bis 50 Gew.-% Boroxid, 1 bis 30 Gew.-% Bariumoxid und 1 bis 30 Gew.-% Aluminiumoxid enthalten.Use according to claim 5, wherein the glass particles 3 to 60% by weight of silicon oxide, 5 to 50% by weight of boron oxide, 1 to 30 % By weight of barium oxide and 1 to 30% by weight of aluminum oxide. Verwendung nach Anspruch 1, worin die organische Komponente 10 bis 90 Gew.-% eines Oligomers oder eines Polymers mit einem gewichtsmittleren Molekulargewicht von 500 bis 100.000 enthält, wobei das Oligomer oder Polymer eine Carboxylgruppe in seiner Molekülstruktur aufweist.Use according to claim 1, wherein the organic Component 10 to 90% by weight of an oligomer or a polymer with a weight average molecular weight of 500 to 100,000 contains wherein the oligomer or polymer has a carboxyl group in its molecular structure having. Verwendung nach Anspruch 1, worin die organische Komponente 10 bis 90 Gew.-% eines Oligomers oder eines Polymers mit einem gewichtsmittleren Molekulargewicht von 500 bis 100.000 enthält, wobei das Oligomer oder Polymer eine ungesättigte Doppelbindung in seiner Molekülstruktur aufweist.Use according to claim 1, wherein the organic component contains 10 to 90% by weight of an oligomer or a polymer having a weight average molecular weight of 500 to 100,000, wherein the Oligomer or polymer has an unsaturated double bond in its molecular structure. Verwendung nach Anspruch 1, worin die organische Komponente 10 bis 90 Gew.-% eines Oligomers oder eines Polymers mit einem gewichtsmittleren Molekulargewicht von 500 bis 100.000 enthält, wobei das Oligomer oder Polymer eine Carboxylgruppe oder eine ungesättigte Doppelbindung in seiner Molekülstruktur aufweist.Use according to claim 1, wherein the organic Component 10 to 90% by weight of an oligomer or a polymer with a weight average molecular weight of 500 to 100,000 contains wherein the oligomer or polymer is a carboxyl group or an unsaturated double bond has in its molecular structure. Verwendung nach Anspruch 1, worin die organische Komponente 10 bis 80 Gew.-% einer multifunktionellen Acrylatverbindung und/oder Methacrylatverbindung enthält.Use according to claim 1, wherein the organic Component 10 to 80 wt .-% of a multifunctional acrylate compound and / or contains methacrylate compound. Verwendung nach Anspruch 1, worin die organische Komponente zumindest einen Vertreter der aus Benzolring, Naphthalinring und Schwefelatom bestehenden Gruppe in einem Gesamtgehalt von 10 bis 60 Gew.-% enthält.Use according to claim 1, wherein the organic Component at least one representative of the benzene ring, naphthalene ring and sulfur atom existing group in a total content of 10 contains up to 60 wt .-%. Verwendung nach Anspruch 1, worin die organische Komponente 0,05 bis 5 Gew.-% einer Verbindung enthält, die UV-Strahlen absorbieren kann.Use according to claim 1, wherein the organic Component contains 0.05 to 5 wt .-% of a compound which Can absorb UV rays. Verwendung nach Anspruch 20, worin die Verbindung, die UV-Strahlen absorbieren kann, ein organischer Farbstoff oder ein organisches Pigment ist.Use according to claim 20, wherein the compound which can absorb UV rays, an organic dye or is an organic pigment. Verwendung nach Anspruch 21, worin der organische Farbstoff oder das organische Pigment ein roter Farbstoff oder ein Rotpigment ist.Use according to claim 21, wherein the organic Dye or the organic pigment a red dye or a Is red pigment. Verfahren zur Herstellung einer Plasmaanzeige oder einer Matrix-adressierten Plasma-Flüssigkristallanzeige, worin in Trennrippen nach einem Beschichtungsverfahren auf einem Glassubstrat erzeugt werden, bei dem das Glassubstrat mit einer lichtempfindlichen Paste nach Anspruch 1 beschichtet, belichtet, entwickelt und gebrannt wird.Process for the production of a plasma display or a matrix addressed plasma liquid crystal display, wherein in separating ribs after a coating process on a glass substrate generated in which the glass substrate with a light-sensitive Paste according to claim 1 coated, exposed, developed and fired becomes. Verfahren nach Anspruch 23, worin die Belichtung im Belichtungsverfahren in einem Schritt erfolgt.The method of claim 23, wherein the exposure in the exposure process in one step. Plasmaanzeige oder Matrix-adressierten Plasma-Flüssigkristallanzeige die nach einem Herstellungsverfahren nach Anspruch 23 oder 24 erhältlich ist und eine auf einem Glassubstrat erzeugte Trennrippe umfasst, worin die Trenrrippe eine anorganische Komponente mit einem mittleren Brechungsindex von 1,5 bis 1,7 umfasst.Plasma display or matrix-addressed plasma liquid crystal display which is obtainable by a manufacturing process according to claim 23 or 24 and a separation rib formed on a glass substrate, wherein the rib is an inorganic component with a medium Refractive index ranges from 1.5 to 1.7. Anzeige nach Anspruch 25, worin die erzeugte Trennrippe in Streifenform mit einer Linienbreite von 20 bis 35 μm vorliegt.26. The display of claim 25, wherein the separating rib created is in strip form with a line width of 20 to 35 μm. Anzeige nach Anspruch 25, worin die erzeugte Trennrippe in Streifenform mit einer Linienbreite von 20 bis 40 μm, einer Höhe von 100 bis 170 μm und einem Abstand von 100 bis 160 μm vorliegt.26. The display of claim 25, wherein the separating rib produced in strip form with a line width of 20 to 40 μm, one Height of 100 to 170 μm and a distance of 100 to 160 microns.
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