DE68905858T2

DE68905858T2 - Verfahren und vorrichtung fuer die herstellung eines roentgenstrahlenspiegels.

Info

Publication number: DE68905858T2
Application number: DE8989305052T
Authority: DE
Inventors: Mitsuo Sumiya; Katsunobu Ueda
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1988-05-27
Filing date: 1989-05-18
Publication date: 1993-08-12
Anticipated expiration: 2009-05-19
Also published as: JPH01299500A; DE68905858D1; EP0343861A2; US4969725A; EP0343861B1; EP0343861A3; JPH0631888B2

Description

Diese Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Röntgenstrahlenspiegels zur Verwendung etwa bei einem Röntgen(strahlen)mikroskop sowie eine Vorrichtung zur Herstellung desselben.
Röntgenstrahlen kennzeichnen sich dadurch, daß ihre Wellenlänge größer ist als die des sichtbaren Lichts und ihre Transmissionsleistung größer ist als die von Elektronenstrahlen. Da die Röntgenstrahlung ein jedem Element inhärentes Absorptionswellenlängenband aufweist, ist es möglich, ein spezifisches Element durch Nutzung der genannten Beschaffenheit der Röntgenstrahlung sowie einer fluoreszenten Röntgenstrahlung zu identifizieren. Aus diesem Grund bilden Röntgenstrahlen ein wichtiges Mittel zum Gewinnen von Atompegel- oder -niveauinformation bezüglich eines Objekts.
Im Wellenlängenbereich der Röntgenstrahlung ist jedoch der Brechungsindex eines Objekts sehr stark an 1 angenähert. Aus diesem Grund war es sehr schwierig, Linsen und Spiegel für Röntgenstrahlung zu fertigen, welche die gleichen Funktionen wie eine brechende Linse und ein Direkteinfalltyp-Umlenkspiegel, die im sichtbaren Bereich eingesetzt werden, aufweisen.
Ein in neuerer Zeit entwickeltes Röntgenmikroskop verwendet einen Röntgenstrahlenspiegel mit einer solchen Eigenschaft, bei welcher Röntgenstrahlen totalreflektiert werden, wenn sie unter einem sehr großen Einfallswinkel, d.h. einem sehr kleinen Winkel zur Umlenkspiegeloberfläche, auf eine (reflektierende oder) Umlenkspiegeloberfläche auftreffen. Ein Röntgenstrahlenspiegel mit einer Woltertyp-Umlenkspiegelfläche ist an sich bekannt. Dieser Spiegel ist mit einer im wesentlichen zylindrischen Form ausgebildet, und seine Innenfläche bildet ein Rotations- oder Umdrehungshyperboloid und eine in diese übergehende Reflexions- oder Umlenkfläche einer Rotationsellipsoidfläche. Diese Reflexionsflächen besitzen einen gemeinsamen Brennpunkt F1. Bei diesem Spiegel ist der Brennpunkt F2 als Objektpunkt gewählt, wobei die den Objektpunkt passierenden Röntgenstrahlen durch diese beiden Reflexionsflächen reflektiert und am Brennpunkt F3 fokussiert werden. Durch Anwendung der beiden Reflexionsflächen wird die Verzeichnung des Bilds des Objektspunkts, der von der optischen Achse abweicht, verringert.
Bei Verwendung eines Röntgenstrahlenspiegels mit dem beschriebenen Aufbau bei einem Röntgenmikroskop werden an den Öffnungsabschnitten an beiden Enden des Röntgenstrahlenspiegels Lichtabschirmplatten vorgesehen, so daß durch die beiden Reflexionsflächen reflektierte Röntgenstrahlen auf einem am Brennpunkt F3 angeordneten Detektor abgebildet werden. Die Lichtabschirmplatten sind in der Lage abzuschirmen, damit Röntgenstrahlen eines Röntgenstrahlbündels die Strahlen abschatten, die unmittelbar auf den Detektor gerichtet sind, ohne aus dem Objektpunkt auszutreten, und die zum Detektor hin gerichtet sind, ohne auf die Reflexionsflächen zu fallen. Die Röntgenstrahlen treten in den Spiegel über einen zwischen der Umfangskante einer der Abschirmplatten und einer der Öffnungskanten des Spiegels festgelegten Ringschlitz ein und verlassen den Spiegel über einen zwischen der Umfangskante der anderen Abschirmplatte und der anderen Öffnungskante des Spiegels festgelegten Ringschlitz. Dabei ist es erforderlich, daß diese Schlitze mit einer Toleranz von einigen Mikrometern bis zu einem Mehrfachen von 10 µm koaxial zur Mittelachse des Röntgenstrahlenspiegels angeordnet sind.
Im allgemeinen bestimmt sich die Auflösungsleistung eines Röntgenmikroskops durch die Fertig- oder Feinbearbeitungsgenauigkeit der Rotationsflächen bildenden Reflexionsflächen. Die Fertig- oder Feinbearbeitungsgenauigkeit eines Umlenkspiegels wird als dicht an den Wellenlängen der Röntgenstrahlung liegende Oberflächenrauhigkeit bzw. -güte und eine Formgenauigkeit einer vergleichsweise großen Periode klassifiziert. Für die Visualisierung oder Realisierung eines idealen Röntgenmikroskops ist es erforderlich, daß die Bearbeitungsgenauigkeit bezüglich der Oberflächenrauhigkeit in der Größenordnung von nm oder darunter liegt. Wenn beispielsweise die Formgenauigkeit 0,07 µm und die Oberflächenrauhigkeit 6 nm betragen, wird eine Auflösungsfähigkeit des Röntgenmikroskops von 0,1 µm festgestellt.
Es hat sich jedoch als sehr schwierig erwiesen, ein Umdrehungshyperboloid und ein Rotationsellipsoid, die asphärisch geformt sind, mit einem Genauigkeitsgrad in der Größenordnung von nm oder besser zu bearbeiten bzw. zu fertigen; die erforderliche Genauigkeit konnte nach herkömmlicher Technik nicht erreicht werden.
Aufgabe dieser Erfindung ist die Schaffung eines Verfahrens und einer Vorrichtung zur Herstellung eines Röntgenstrahlenspiegels, bei dem eine reflektierende oder Umlenk-Spiegelfläche mit einem hohen Genauigkeitsgrad bearbeitet ist.
Zur Lösung dieser Aufgabe umfaßt ein Herstellungsverfahren gemäß dieser Erfindung die folgenden Schritte: Einsetzen eines Innenelements in den Röntgenstrahlenspiegel, welches Element eine in Entsprechung zu der zu bearbeitenden reflektierenden Spiegelfläche geformte Außenumfangsfläche und eine Anzahl von an der Außenumfangsfläche des Innenelements mündenden feinen Öffnungen aufweist, so daß die Außenumfangsfläche (des Innenelements) der reflektierenden Spiegelfläche mit einem erforderlichen Abstand zugewandt ist; und Austreiben einer Schleifmittellösung, die freie Schleifmittelkörnchen enthält, von der Außenfläche über die feinen Öffnungen des Innenelements in Richtung auf die reflektierende Spiegelfläche, um die Schleifmittellösung auf diese auftreffen zu lassen und damit die reflektierende Spiegelfläche zu polieren.
Eine Herstellungsvorrichtung gemäß dieser Erfindung umfaßt eine Halteeinheit zum Haltern eines Röntgenstrahlenspiegels, ein hohles Innenelement mit einer in Entsprechung zur reflektierenden Spiegelfläche des Röntgenstrahlenspiegels geformten Außenumfangsfläche und mit einer Anzahl feiner, an der Außenumfangsfläche mündender Öffnungen, eine Lagereinheit zum Lagern oder Halten des Innenelements innerhalb des Röntgenstrahlenspiegels in der Weise, daß die Außenumfangsfläche des Innenelements der reflektierenden Spiegelfläche mit einem vorbestimmten Abstand zugewandt ist, und eine Schleifmittellösung-Zuführeinheit zum Austreiben einer freie Schleifmittelkörnchen enthaltenden Schleifmittellösung an der Außenumfangsfläche des Innenelements zur reflektierenden Spiegelfläche hin, um die Schleifmittellösung auf diese Spiegelfläche auftreffen zu lassen.
Mit dem (der) oben umrissenen Herstellungsverfahren und -vorrichtung kann die reflektierende Spiegelfläche mit einer Genauigkeit in der Größenordnung von nm oder besser poliert werden, indem die freie Schleifmittelkörnchen enthaltende Schleifmittellösung im Bereich der reflektierenden Spiegelfläche ausgetrieben und auf diese zum Auftreffen gebracht wird.
Ein besseres Verständnis dieser Erfindung ergibt sich aus der folgenden genauen Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen, in denen zeigen:
Fig. 1 eine Längsschnittansicht;
Fig. 2 und 3 eine Vorrichtung zur Herstellung eines Röntgenstrahlenspiegels gemäß einer Ausführungsform der Erfindung, wobei Fig. 2 eine Schnittansicht der Gesamtvorrichtung und Fig. 3 eine in vergrößertem Maßstab gehaltene Schnittansicht eines Teils eines Innenelements und eines Teils eines Röntgenstrahlenspiegels sind, und
Fig. 4 eine Schnittansicht eines Teils einer Herstellungsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform dieser Erfindung.
Im folgenden sind Ausführungsformen der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen im einzelnen beschrieben.
Fig. 1 zeigt einen Röntgenstrahlenspiegel, bestehend aus einem im wesentlichen hohlen, zylindrischen Spiegelkörper 10 aus Kupfer, Nickel o.dgl.. Die Innenfläche des Spiegelkörpers 10 bildet eine reflektierende oder Umlenk-Spiegelfläche 12 des Tandemtyps. Insbesondere umfaßt die Spiegelfläche 12 eine erste reflektierende Spiegelfläche 12a aus einem Umdrehungshyperboloid an der Seite des einen Endabschnitts des Spiegelkörpers 10 und eine zweite reflektierende Spiegelfläche 12b aus einem Rotationsellipsoid an der Seite des anderen Endabschnitts des Spiegelkörpers. Die ersten und zweiten reflektierenden Spiegelflächen 12a und 12b sind, aneinander anschließend, koaxial zueinander ausgebildet.
Fig. 2 zeigt den Aufbau einer Vorrichtung zur Herstellung oder Formung einer reflektierenden Spiegelfläche 12 des Röntgenstrahlenspiegels; dieser Aufbau läßt sich wie folgt zusammenfassend beschreiben:
Die Herstellungsvorrichtung umfaßt einen Haltepfosten 14 zur abnehmbaren Halterung des Spiegelkörpers 10 des Röntgenstrahlenspiegels, ein in die Innenbohrung des Spiegelkörpers 10 eingeführtes Innenelement 20, einen Lagerabschnitt 18 zur Lagerung des Innenelements 20 für Drehung um die Mittelachse A des Spiegelkörpers 10 und letztlich für Verschiebung längs der Mittelachse A, eine Innenelement-Antriebseinheit 16 zum Drehen und Schwingenlassen des Innenelements 20 sowie eine Schleifmittellösung-Zuführeinheit 22 zum Austreiben einer Schleifmittellösung in Richtung auf die Spiegelfläche 12 des Spiegelkörpers 10 über den Lagerabschnitt 18 und das Innenelement 20. Diese Bauelemente sind in einem Schleifmittelbehälter 24 angeordnet und in eine in letzteren eingefüllte Schleifmittellösung 26 eingetaucht. Die Schleifmittellösung 26 enthält ein Lösungsmittel, wie Wasser, ein alkalisches Lösungsmittel oder ein saures Lösungsmittel, sowie Schleifmittelkörnchen.
Der Haltepfosten 14 steht aufrecht vom Boden des Behälters 24 nach oben und hält den Spiegelkörper 10 mit praktisch waagerecht liegender Mittelachse A desselben. Die Spiegelfläche 12 des Spiegelkörpers 10 ist vorher bereits mittels eines Diamantwerkzeugs auf eine genaue Oberflächenrauhigkeit einer Größenordnung entsprechend einem Mehrfachen von 10 Å (spanend) bearbeitet worden.
Das Innenelement 20 umfaßt einen hohlzylindrischen Basisabschnitt 28 mit einem geschlossenen Ende und einen im wesentlichen hohlzylindrischen Einführ- oder Innenabschnitt 30 mit einem geschlossenen Ende. Diese Abschnitte 28 und 30 sind koaxial zueinander angeordnet und an ihren offenen Enden miteinander verbunden, so daß im Inneren des Innenelements 20 eine Kammer 20a festgelegt ist. Die Außenumfangsfläche des Innenabschnitts 30 besteht aus einem Umdrehungshyperboloid 30a und einem Rotationsellipsoid 30b entsprechend der Form der zu bearbeitenden reflektierenden Spiegelfläche 12 des Spiegelkörpers 10. Diese Flächen 30a und 30b sind mit einer hohen Genauigkeit in der Größenordnung von nm feinbearbeitet und dienen als Bezugsflächen für die Spiegelfläche 12. Der Einführ- oder Innenabschnitt 30 besteht aus einem porösen Werkstoff, wie Sintermetall, Sinterkeramik und dgl.. In der Umfangswand des Basisabschnitts 28 sind zahlreiche durchgehende Bohrungen 32 ausgebildet, die umfangsmäßig auf gleiche Abstände verteilt sind.
Der Lagerabschnitt 18 umfaßt ein ringförmiges Lager 34 und eine über dem Schleifmittelbehälter 24 vorgesehene Befestigungsbasis 36, so daß er in seiner Lage einstellbar ist. Das Lager 34 ist an der Befestigungsbasis 36 im Behälter 24 mit Hilfe eines Trag- oder Lagerarms 38 aufgehängt und auf den Basisabschnitt 28 des Innenelements 20 in flüssigkeitsdichter Beziehung unter Bildung einer sog. Drehkupplung aufgesetzt. In der Innenwand(fläche) des Lagers 34 ist eine Ringnut 40 ausgebildet, die mit den durchgehenden Bohrungen 32 des Basisabschnitts 28 in Verbindung steht. Das Innenelement 20 ist durch den Lagerabschnitt 18 so gelagert, daß seine Mittelachse zur Achse A des Spiegelkörpers 10 koaxial ist, und so, daß das Innenelement 20 um seine Mittelachse drehbar und auf dieser fein verschiebbar ist. Unter Einstellung der Lage des Lagers 34 mittels der Befestigungsbasis 36 wird der Einführ- oder Innenabschnitt 30 des Innenelements 20 in die Innenbohrung des als Außenelement dienenden Spiegelkörpers 10 so eingeführt, daß die Außenumfangsfläche des Innenelements 20 der reflektierenden Spiegelfläche 12 des Spiegelkörpers 10 mit einem dazwischen gebildeten Spalt von etwa 10 - 30 µm zugewandt ist.
Die Schleifmittellösung-Zuführeinheit 22 umfaßt eine am Boden des Behälters 24 montierte Pumpe 42 und eine Rohrleitung 44 zum Verbinden der Auslaßöffnung der Pumpe 42 mit der Ringnut 40 des (bzw. im) Lager(s) 34. Die Pumpe 42 saugt die im Behälter 24 enthaltene Schleifmittellösung 26 an, setzt sie unter Druck und liefert sie über die Rohrleitung 44 und die Ringnut 40 der Kammer 20a im Innenelement 20 zu.
Die Antriebseinheit 16 umfaßt einen mit dem Basisabschnitt 28 des Innenelements 20 verbundenen Motor 46 zum Drehen des Innenelements 20 um seine Mittelachse A und einen Vibrator oder Schwinger 48 zum Schwingenlassen des Motors 46 zusammen mit dem Innenelement 20 längs bzw. auf der Mittelachse A mit einer Amplitude von ungefähr 10 - 100 µm.
Im folgenden ist die Bearbeitung der reflektierenden Spiegelfläche 12 mittels der Herstellungsvorrichtung mit dem oben beschriebenen Aufbau erläutert.
Zunächst wird ein Spiegelkörper 10 mittels eines Diamantwerkzeugs auf einer (nicht dargestellten) Schneid- oder Zerspanungsmaschine (spanend) bearbeitet, um darin eine reflektierende Spiegelfläche 12 einer Oberflächenrauhigkeit in der Größenordnung entsprechend einem Mehrfachen von 10 Å zu formen. Sodann wird der Spiegelkörper 10 mit praktisch waagerecht liegender Mittelachse A am Haltepfosten 14 gehaltert. Nachdem der Basisabschnitt 28 des Innenelements 20 in das Lager 34 der Lageranordnung 18 eingesetzt worden ist, wird das Innenelement 20 in die Innenbohrung des Spiegelkörpers 10 eingeführt. Dabei wird die Lage des Innenelements 20 mittels der Befestigungsbasis 36 so eingestellt, daß ein gleichmäßiger Spalt 50 von etwa 10 - 30 µm zwischen der Außenumfangsfläche des Innenelements 20 und der reflektierenden Spiegelfläche 12 festgelegt ist.
In diesem Zustand wird der Motor 46 der Antriebseinheit 16 eingeschaltet, um das Innenelement mit einer Drehzahl von etwa 300/min um die Mittelachse A zu drehen; der Vibrator oder Schwinger 48 wird ebenfalls angesteuert, um das Innenelement 20 auf seiner Mittelachse A über 10 - 100 µm mit einer Frequenz von 1000 Hz schwingen zu lassen, wobei die in den Spalt 50 zwischen der reflektierenden Spiegelfläche 12 und den Außenumfangsflächen 30a und 30b des Einführ- oder Innenabschnitts 30 eintretende Schleifmittellösung auf die Spiegelfläche 12 ausströmt. Aufgrund der Relativbewegung zwischen den in der Schleifmittellösung 26 enthaltenen Schleifmittelkörnchen und der Spiegelfläche 12 kann als Ergebnis die Fläche 12 mittels der Schleifmittelkörnchen poliert werden.
Die Pumpe 42 der Schleifmittellösung-Zuführeinheit 22 wird gleichzeitig mit der Antriebseinheit 16 in Betrieb gesetzt. Die Pumpe 42 saugt die Schleifmittellösung 26 aus dem Behälter 24 an und liefert die Lösung 26, nachdem sie unter Druck gesetzt worden ist, über die Rohrleitung 44, die Ringnut 40 und die durchgehenden Bohrungen 32 in die Kammer 20a des Innenelements 20. Die der Kammer 20a zugespeiste Schleifmittellösung 26 tritt durch die feinen bzw. engen Öffnungen im Innenabschnitt 30 aus porösem Werkstoff hindurch und wird auf die (reflektierende) Spiegelfläche 12 geschleudert. Die in der ausgetriebenen oder ausgeschleuderten Schleifmittellösung 26 enthaltenen Schleifmittelkörnchen treffen gemäß Fig. 3 auf die Spiegelfläche 12 auf und polieren diese.
Wie vorstehend beschrieben, kann durch Austreiben der Schleifmittellösung 26 an den Außenumfangsflächen 30a und 30b des Einführ- oder Innenabschnitts 30 bei gleichzeitiger Bewegung des letzteren relativ zur Spiegelfläche 12 des Spiegelkörpers 10, d.h. Drehen und Schwingenlassen des Innenabschnitts 30 gegenüber der (reflektierenden) Spiegelfläche 12, die Spiegelfläche 12 mit einem hohen Genauigkeitsgrad in der Größenordnung von nm oder besser poliert werden.
Das erwähnte Polieren der reflektierenden Spiegelfläche 12 erfolgt hauptsächlich aufgrund der folgenden Faktoren:
1. Feines, elastisches Abtragen der reflektierenden Spiegelfläche 12 aufgrund der Kollision der in der Schleifmittellösung 26 enthaltenen Schleifmittelkörnchen mit der Spiegelfläche 12, und
2. Relativbewegung zwischen den in der Schleifmittellösung 26 enthaltenen Schleifmittelkörnchen und der reflektierenden Spiegelfläche 12 in der Größenordnung der Anordnung von Atomen, verursacht durch die Strömung der Schleifmittellösung 26 im Spalt 50.
Dieser Poliermechanismus ermöglicht das Polieren der reflektierenden Spiegelfläche 12 des Spiegelkörpers 10 mit einem Genauigkeitsgrad in der Größenordnung von nm oder besser (es ist eine Oberflächenrauhigkeit bzw. -güte von 2 - 3 Å erreichbar), mit dem Ergebnis, daß ein Röntgenstrahlenspiegel einer idealen Oberflächenrauhigkeit und einer idealen Formgenauigkeit erzielt werden kann.
Diese Erfindung ist nicht auf die oben beschriebene Ausführungsform beschränkt, sondern innerhalb ihres Rahmens verschiedenen Abwandlungen zugänglich.
Beispielsweise kann die reflektierende Spiegelfläche lediglich durch Austreiben der Schleifmittellösung, ohne das Innenelement in Drehung und Schwingung zu versetzen, poliert werden. Weiterhin kann entweder auf das Drehen oder das Schwingenlassen des Innenelements verzichtet werden. Ferner kann auch das Innenelement festgelegt sein, während stattdessen der Spiegelkörper in Drehung und Schwingung versetzt werden kann.
Bei der beschriebenen Ausführungsform umfaßt die reflektierende Spiegelfläche ein Rotations- oder Umdrehungshyperboloid und ein Rotationsellipsoid. Die Erfindung ist jedoch auch auf die Herstellung eines Röntgenstrahlenspiegels anwendbar, bei dem die reflektierende Spiegelfläche mindestens eine Rotationsfläche aufweist.
Anstatt den Einführ- oder Innenabschnitt 30 aus einem porösen Werkstoff herzustellen, kann er darüber hinaus auch auf die in Fig. 4 gezeigte Weise ausgebildet sein. Bei dieser Ausführungsform ist ein Einführ- oder Innenabschnitt 30 aus einem Metall mit einer im wesentlichen zylindrischen, ein geschlossenes Ende aufweisenden Form ausgebildet. In der Umfangswand des Innenabschnitts 30 sind zahlreiche feine Bohrungen 52 ausgebildet, wobei die beiden Enden jeder Bohrung an der Außenumfangsfläche des Innenabschnitts bzw. in einer inneren Kammer 20a münden. Jede Bohrung 52 wird mit Hilfe eines Bohrers, eines Laserstrahls o.dgl. mit einem Durchmesser von etwa 0,5 mm oder weniger geformt.
Bei dieser Ausführungsform wird die Schleifmittellösung aus den Bohrungen 52 gegen die reflektierende Spiegelfläche 12 ausgetrieben.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung eines Röntgenstrahlenspiegels einer im wesentlichen zylindrischen Form und mit einer reflektierenden Spiegelfläche (12) an seiner Innenfläche, wobei die reflektierende Spiegelfläche mindestens eine Rotationsfläche aufweist, wobei das Verfahren gekennzeichnet ist durch folgende Schritte:

Einsetzen eines Innenelements (20) in den Röntgenstrahlenspiegel, welches Element eine in Entsprechung zu der zu bearbeitenden reflektierenden Spiegelfläche geformte Außenumfangsfläche (30a, 30b) und eine Anzahl von an der Außenumfangsfläche des Innenelements mündenden feinen Öffnungen aufweist, so daß die Außenumfangsfläche des Innenelements der reflektierenden Spiegelfläche mit einem erforderlichen Spalt(abstand) zugewandt ist; und

Austreiben einer Schleifmittellösung, die freie Schleifmittelkörnchen enthält, über die feinen Öffnungen in Richtung auf die reflektierende Spiegelfläche, um die Schleifmittellösung auf diese auftreffen zu lassen und damit die reflektierende Spiegelfläche zu polieren.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Polierschritt einen Vorgang der Herbeiführung einer Relativbewegung zwischen der reflektierenden Spiegelfläche (12) und der Außenumfangsfläche (30a, 30b) des Innenelements (20) umfaßt.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet daß im Vorgang der Herbeiführung der Relativbewegung das Innenelement (20) um eine Mittelachse (A) der Außenumfangsfläche (30a, 30b) des Innenelements gedreht wird.

4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Vorgang der Herbeiführung der Relativbewegung das Innenelement (20) längs einer Mittelachse der Außenumfangsfläche (30a, 30b) in Schwingung versetzt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Polierschritt durchgeführt wird, während der Röntgenstrahlenspiegel und das Innenelement (20) in die Schleifmittellösung (26) eingetaucht sind.

6. Vorrichtung zur Herstellung eines Röntgenstrahlenspiegels (10) mit einem im wesentlichen zylindrischen Spiegelkörper und einer in der Innenfläche des Spiegelkörpers geformten reflektierenden Spiegelfläche (12), gekennzeichnet durch:

eine Halteeinheit (14) zum Halten oder Haltern des Spiegelkörpers (10),

ein Innenelement (20) mit einer darin festgelegten Kammer (20a), einer in Entsprechung zur reflektierenden Spiegelfläche geformten Außenumfangsfläche (30a, 30b) und einer Anzahl feiner, an der Außenumfangsfläche des Innenelements mündender Öffnungen (52),

eine Lagereinheit (18) zum Lagern des Innenelements im Spiegelkörper, so daß die Außenumfangsfläche des Innenelements der reflektierenden Spiegelfläche mit einem erforderlichen Spalt(abstand) (50) dazwischen zugewandt ist, und

eine Zuführeinheit (22) zum Austreiben einer freie Schleifmittelkörnchen enthaltenden Schleifmittellösung an der Außenumfangsfläche des Innenelements (20) in Richtung auf die reflektierende Spiegelfläche (12) durch die Kammer (20a) und die feinen Öffnungen (52) des Innenelements, um die Schleifmittellösung auf die reflektierende Spiegelfläche auftreffen zu lassen.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, ferner gekennzeichnet durch einen mit der Schleifmittellösung (26) gefüllten Schleifmitteltank (24), wobei der Spiegelkörper (10) und das Innenelement (20) in die im Tank enthaltene Schleifmittellösung eingetaucht sind und der Spalt(abstand) (50) zwischen der reflektierenden Spiegelfläche (12) und der Außenumfangsfläche (30a, 30b) des Innenelements mit der Schleifmittellösung gefüllt ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, ferner gekennzeichnet durch eine Antriebseinheit (16) zur Herbeiführung einer Relativbewegung zwischen der reflektierenden Spiegelfläche (12) und der Außenumfangsfläche (30a, 30b) des Innenelements (20).

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Innenelement (20) eine koaxial zur Außenumfangsfläche (30a, 30b) liegende Mittelachse (A) aufweist und koaxial zur reflektierenden Spiegelfläche (12) angeordnet ist, die Lagereinheit (18) ein das Innenelement um die Mittelachse drehbar tragendes Lager (34) aufweist und die Antriebseinheit (16) eine Einrichtung (46) zum Drehen des Innenelements aufweist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Innenelement (20) eine koaxial zur Außenumfangsfläche (30a, 30b) liegende Mittelachse (A) aufweist und koaxial zur reflektierenden Spiegelfläche (12) angeordnet ist, die Lagereinheit (18) ein das Innenelement längs der Mittelachse verschiebbar tragendes

Lager aufweist und die Antriebseinheit (16) eine Einrichtung (48), um das Innenelement in feine Schwingung längs der Mittelachse zu versetzen, aufweist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Zuführeinheit (22) eine Pumpe (42) zum Ansaugen der im Tank (24) enthaltenen Schleifmittellösung (26), um die angesaugte Schleifmittellösung unter Druck zu setzen und sie sodann in die Kammer (20a) des Innenelements (20) zuzuführen, aufweist.