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Die vorliegende Erfindung betrifft
Verfahren zur Herstellung und Strukturierung von organischen Elektrolumineszenz-Materialien, organischen
Leitern und organischen Halbleitern.
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Hintergrund
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Viele elektronische und optische
Miniaturvorrichtungen werden unter Verwendung von aufeinander gestapelten
Schichten aus verschiedenen Materialien hergestellt. Diese Schichten
werden oft strukturiert, um die Vorrichtungen zu erzeugen. Beispiele
für solche
Vorrichtungen umfassen optische Anzeigen, in welchen jedes Pixel
in einer regelmäßigen Anordnung
hergestellt ist, optische Wellenleiterstrukturen für Telekommunikationsvorrichtungen
und Metall-Isolator-Metall-Stapel für Vorrichtungen auf Halbleiterbasis.
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Ein herkömmliches Verfahren zur Herstellung
dieser Vorrichtungen umfaßt
die Herstellung einer oder mehrerer Schichten auf einem Rezeptorsubstrat
und Strukturierung der Schichten gleichzeitig oder nacheinander,
um die Vorrichtung herzustellen. In vielen Fällen sind mehrere Auftragungs-
und Strukturierungsschritte erforderlich, um die endgültige Vorrichtungsstruktur
fertigzustellen. Beispielsweise kann die Fertigung optischer Anzeigen
die separate Herstellung von roten, grünen und blauen Pixeln erfordern.
Obwohl einige Schichten gemeinsam für jeden dieser Pixeltypen aufgebracht
werden können,
müssen
mindestens einige Schichten separat erzeugt und oft separat strukturiert
werden. Eine Strukturierung dieser Schichten wird oft mittels photolithographischer
Verfahren durchgeführt,
die beispielsweise Überziehen
einer Schicht mit einem Photolack, Strukturieren des Photolacks
unter Verwendung einer Maske, Entfernen eines Teils des Photolacks, um
gemäß dem Muster
die darunterliegende Schicht freizulegen und dann Ätzen der
freigelegten Schicht umfassen.
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In einigen Anwendungen kann es schwierig
oder unpraktisch sein, Vorrichtungen unter Verwendung herkömmlicher
photolithographischer Strukturierung herzustellen. Beispielsweise
kann die Anzahl der Strukturierungsschritte für die praktische Fertigung
der Vorrichtung zu groß sein.
Zudem können
Naßprozeßschritte in
der herkömmlichen
photolithographischen Strukturierung nachteilig die Integrität, Grenzflächeneigenschaften
und/oder elektrische oder optische Eigenschaften der vorher aufgebrachten
Schichten beeinflussen. Es ist vorstellbar, daß viele möglicherweise vorteilhafte Vorrichtungskonstruktionen,
-ausführungen,
-entwürfe
und -materialien wegen der Einschränkungen der herkömmlichen
photolithographischen Strukturierung unbrauchbar sind. Die US-A-5
756 240 offenbart ein Verfahren zur Herstellung von Farbfilteranordnungen
durch Übertragen
von Farbstoffmaterial. Die EP-A-0 851 714 offenbart eine Donorfolie
und Verfahren zur Herstellung organischer Elektrolumineszenz-Vorrichtungen.
Es besteht ein Bedarf für
neue Verfahren zur Herstellung dieser Vorrichtungen mit einer verringerten
Anzahl von Prozeßschritten,
insbesondere Naßprozeßschritten.
In mindestens einigen Fällen
kann dies die Konstruktion von zuverlässigeren und komplexeren Vorrichtungen
erlauben.
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Die vorliegende Erfindung ist durch
die Merkmale der Ansprüche
gekennzeichnet.
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Die vorliegende Erfindung stellt
neue thermische Übertragungsverfahren
zur Strukturierung unter Verwendung von thermischen Donor-Übertragungselementen
bereit. Die Donoren und Verfahren der vorliegenden Erfindung eignen
sich besonders dafür,
mit Lösungsmittel
aufgetragene Materialien auf dem gleichen Substrat wie lösungsmittelempfindliche
Materialien zu strukturieren. Dies kann bei der Herstellung von
organischen Elektrolumineszenz-Anzeigen und -Vorrichtungen sowie
von Komponenten für
organische Elektrolumineszenz-Anzeigen und -Vorrichtungen besonders
nützlich
sein.
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In einem Aspekt stellt die vorliegende
Erfindung ein Verfahren zum Strukturieren eines ersten Materials
und eines zweiten Materials auf einem Rezeptor bereit, wobei das
Ver fahren selektives thermisches Übertragen des ersten Materials
von einem ersten Donorelement aus neben das zweite Material auf
dem Rezeptor aufweist, wobei das erste Material auf dem Donorelement
durch Lösungsauftragung
unter Verwendung eines Lösungsmittels
erzeugt ist, wobei das zweite Material mit dem zum Auftragen des
ersten Materials verwendeten Lösungsmittel
unverträglich
ist, wobei das erste und/oder zweite Material ein organisches Elektrolumineszenz-Material,
ein organischer Leiter oder ein organischer Halbleiter ist.
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In einem anderen Aspekt stellt die
vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Strukturierung von Materialien
bereit, das Erzeugen eines Donorelements, das ein Substrat und eine
mehrkomponentige thermische Übertragungsschicht
hat, aufweist, wobei die thermische Übertragungsschicht mindestens
eine erste Schicht, die ein mit Lösungsmittel aufgetragenes Material
aufweist, und eine zweite Schicht hat, die ein lösungsmittelempfindliches Material
aufweist, wobei das lösungsmittelempfindliche
Material mit dem Lösungsmittel
unverträglich
ist, das zum Auftragen des mit Lösungsmittel
aufgetragenen Materials verwendet wird, wobei die erste Schicht
zwischen der zweiten Schicht und dem Donorsubstrat angeordnet ist.
Dann wird die thermische Übertragungsschicht
des Donors neben einem Rezeptor angeordnet und die mehrkomponentige Übertragungsschicht
wird selektiv thermisch vom Donorelement aus zum Rezeptor übertragen.
Das mit Lösungsmittel
aufgetragene Material und/oder das lösungsmittelempfindliche Material
ist ein organisches Elektrolumineszenz-Material, ein organischer
Leiter oder ein organischer Halbleiter.
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In einem weiteren Aspekt stellt die
vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Strukturieren von Materialien
bereit, das die Schritte thermisches Übertragen von ausgewählten Abschnitten
einer ersten Übertragungsschicht
von einem ersten Donorelement aus zu einem Rezeptor aufweist, wobei
die erste Übertragungsschicht
ein erstes Material enthält,
wobei das erste Material aus einem Lösungsmittel auf den ersten
Donor aufgetragen ist, und thermisches Übertragen ausgewählter Abschnitte
einer zweiten Übertragungsschicht
von einem zweiten Donorelement aus zu einem Rezeptor, wobei die
zweite Übertragungsschicht
ein zweites Material enthält,
wobei das zweite Material mit dem Lösungsmittel unverträglich ist.
Das erste und/oder das zweite Material ist ein Elektrolumineszenz-Material, ein organischer
Leiter oder ein organischer Halbleiter.
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In einem weiteren Aspekt stellt die
vorliegende Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines thermischen
Donor-Übertragungselements
bereit, wobei das Verfahren Erzeugen eines Donorelements aufweist, das
ein Donorsubstrat und eine Übertragungsschicht
hat, wobei die Übertragungsschicht
erzeugt wird durch (a) Lösungsauftragung
eines ersten Materials unter Verwendung eines Lösungsmittels, (b) Trocknen
des ersten Materials, um das Lösungsmittel
im wesentlichen zu entfernen und (c) Aufbringen eines zweiten Materials, so
daß das
erste Material zwischen dem Donorsubstrat und dem zweiten Material
angeordnet ist, wobei das zweite Material mit dem Lösungsmittel,
das zum Auftragen des ersten Materials verwendet wurde, unverträglich ist.
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Die vorstehende Zusammenfassung der
vorliegenden Erfindung ist nicht dazu gedacht, jede offenbarte Ausführungsform
oder jede Verwirklichung der vorliegenden Erfindung zu beschreiben.
Die Figuren und die detaillierte Beschreibung, die folgen, veranschaulichen
diese Ausführungsformen
im einzelnen.
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Es sollte selbstverständlich sein,
daß durch
Angabe einer Reihenfolge in dem vorliegenden Dokument (z. B. die
Reihenfolge von auszuführenden
Schritten, die Reihenfolge von Schichten auf dem Substrat usw.) der
Ausschluß von
Zwischenprodukten zwischen den angegebenen Produkten nicht beabsichtigt
ist, so lange die Produkte in der angegebenen Reihenfolge auftreten.
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Kurze Beschreibung der
Zeichnungen
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Die Erfindung kann unter Beachtung
der folgenden detaillierten Beschreibung von verschiedenen Ausführungsformen
der Erfindung in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen besser
verstanden werden; es zeigen:
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1A eine
schematische Querschnittansicht eines Beispiels eines thermischen Übertragungselements
gemäß der Erfindung;
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1B eine
schematische Querschnittansicht eines zweiten Beispiels eines thermischen Übertragungselements
gemäß der Erfindung;
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1C eine
schematische Querschnittansicht eines dritten Beispiels eines thermischen Übertragungselements
gemäß der Erfindung;
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1D eine
schematische Querschnittansicht eines vierten Beispiels eines thermischen Übertragungselements
gemäß der Erfindung;
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2A eine
schematische Querschnittansicht eines ersten Beispiels einer erfindungsgemäßen Übertragungsschicht
zur Verwendung in einem der thermischen Übertragungselemente von 1A bis 1D;
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2B eine
schematische Querschnittansicht eines zweiten Beispiels einer erfindungsgemäßen Übertragungsschicht
zur Verwendung in einem der thermischen Übertragungselemente von 1A bis 1D;
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2C eine
schematische Querschnittansicht eines dritten Beispiels einer erfindungsgemäßen Übertragungsschicht
zur Verwendung in einem der thermischen Übertragungselemente von 1A bis 1D;
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2D eine
schematische Querschnittansicht eines vierten Beispiels einer erfindungsgemäßen Übertragungsschicht
zur Verwendung in einem der thermischen Übertragungselemente von 1A bis 1D;
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2E eine
schematische Querschnittansicht eines fünften Beispiels einer erfindungsgemäßen Übertragungsschicht
zur Verwendung in einem der thermischen Übertragungselemente von 1A bis 1D;
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3A eine
schematische Querschnittansicht eines Beispiels einer erfindungsgemäßen Übertragungsschicht
zur Verwendung bei der Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Vorrichtung;
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3B eine
schematische Querschnittansicht eines zweiten Beispiels einer erfindungsgemäßen Übertragungsschicht
zur Verwendung bei der Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Vorrichtung;
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4A bis 4C Querschnittansichten,
die Schritte in einem Beispiel eines Verfahrens zur Herstellung einer
Anzeigevorrichtung gemäß der Erfindung
veranschaulichen;
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5A bis 5C Querschnittansichten,
die Schritte in einem Beispiel eines Verfahrens zur Herstellung einer
Anzeigevorrichtung gemäß der Erfindung
veranschaulichen; und
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6 eine
Teilansicht von oben auf eine gemäß einem Verfahren der vorliegenden
Erfindung hergestellte Anzeigevorrichtung.
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Wenn auch die Erfindung für verschiedene
Modifikationen und alternative Formen offen ist, sind einzelne davon
beispielhaft in den Zeichnungen gezeigt und werden detailliert beschrieben.
Selbstverständlich
ist es jedoch nicht die Absicht, die Erfindung auf die beschriebenen
speziellen Ausführungsformen
zu begrenzen. Im Gegenteil soll die Erfindung alle Modifikationen,
Entsprechungen und Alternativen abdecken, die im Bereich der Erfindung
liegen.
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Die vorliegende Erfindung ist auf
die Herstellung oder teilweise Herstellung von Vorrichtungen und
anderen Objekten anwendbar, die thermische Übertragungsverfahren und thermische
Donor-Übertragungselemente
zur Herstellung der Vorrichtungen und anderen Objekte verwenden.
Als spezielles Beispiel kann ein thermisches Übertragungselement hergestellt
werden, um eine organische Elektrolumineszenz-Vorrichtung (OEL-Vorrichtung) oder
eine Anordnung von Vorrichtungen und Komponenten zur Verwendung
in OEL-Anzeigen zumindest teilweise herzustellen. Dies kann beispielsweise
durch thermische Übertragung
einer ein- oder einer mehrkomponentigen Übertragungseinheit eines thermischen Übertragungselements
erreicht werden. Es wird ersichtlich werden, daß Einzelschicht- und Mehrschicht-Übertragungen
verwendet werden können,
um andere Vorrichtung und Objekte herzustellen. Wenngleich auch
die vorliegende Erfindung dadurch nicht beschränkt wird, kann eine Einschätzung verschiedener
Aspekte der Erfindung durch eine Diskussion der nachstehend bereitgestellten
Beispiele gewonnen werden.
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Durch selektive thermische Übertragung
der Materialien von einem oder von mehreren thermischen Übertragungselementen
aus können
Materialien auf Substrate strukturiert werden. Ein thermisches Übertragungselement
kann durch Einwirken einer gerichteten Wärme auf einen ausgewählten Abschnitt
des thermischen Übertragungselements
erwärmt
werden. Wärme
kann erzeugt werden unter Verwendung eines Heizelements (z. B. eines
Widerstandsheizelements), durch Umwandlung von Strahlung (z. B.
eines Lichtstrahls) in Wärme
und/oder Zuführen
eines elektrischen Stroms zu einer Schicht des thermischen Übertragungselements zur
Erzeugung von Wärme.
In vielen Fällen
ist eine thermische Übertragung
unter Verwendung von Licht zum Beispiel aus einer Lampe oder einem
Laser wegen der Genauigkeit und Präzision, die oft erzielt werden
kann, vorteilhaft. Die Größe und Form
der übertragenen
Struktur (z. B. Linie, Kreis, Quadrat oder eine andere Form) kann
beispielsweise durch Wahl der Größe des Lichtstrahls,
des Belichtungsmusters des Lichtstrahls, der Dauer des Kontakts
des gerichteten Strahls mit dem thermischen Übertragungselement und der
Materialien des thermischen Übertragungselements
gesteuert werden.
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Ein thermisches Übertragungselement kann eine Übertragungsschicht
aufweisen, die verwendet werden kann, um verschiedene Elemente und
Vorrichtungen oder Teile davon herzustellen. Beispielhafte Materialien
und Übertragungsschichten
umfassen solche, die verwendet werden können, um Elemente, Vorrichtungen
und Teile davon herzustellen, die in elektronischen Anzeigen nützlich sind.
Wenngleich sich die in der vorliegenden Erfindung verwendeten Beispiele
am häufigsten
auf OEL-Vorrichtungen und OEL-Anzeigen konzentrieren, kann eine Übertragung
von Materialien von thermischen Übertragungselementen
aus auch verwendet werden, um folgendes zumindest teilweise herzustellen:
elektronische Schaltungen, Widerstände, Kondensatoren, Dioden,
Wechselstrom-Gleichrichter, Elek trolumineszenz-Lampen, Speicherelemente,
Feldeffekt-Tranistoren, Bipolar-Transistoren, Unijunktion-Transistoren,
MOS-Transistoren,
Metall-Isolator-Halbleiter-Transistoren, organische Transistoren,
Ladungsverschiebungselemente (CCD), Isolator-Metall-Isolator-Stapel,
Stapel aus organischem Leiter – Metall – organischem
Leiter, integrierte Schaltungen, Photodetektoren, Laser, Linsen,
Wellenleiter, Gitter, holographische Elemente, Filter (z. B. Zusatzfilter,
Verstärkungsglättungsfilter,
Abschneidefilter und dergleichen), Spiegel, Strahlteiler, Koppler,
Verbinder, Modulatoren, Sensoren (z. B. Dämpfungssensoren, Phasenmodulationssensoren,
interferometrische Sensoren und dergleichen), optische Hohlräume, piezoelektrische
Vorrichtungen, ferroelektrische Vorrichtungen, Dünnschichtbatterien oder Kombinationen
davon; beispielsweise die Kombination aus Feldeffekt-Transistoren
und organischen Elektrolumineszenz-Lampen als eine aktive Matrixanordnung
für eine
optische Anzeige. Andere Gegenstände
können
durch Übertragen
einer mehrkomponentigen Übertragungseinheit
und/oder einer einzelnen Schicht hergestellt werden.
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Thermische Übertragung unter Verwendung
von Licht kann oft eine bessere Genauigkeit und Qualitätssteuerung
für sehr
kleine Vorrichtungen bereitstellen, wie für kleine optische und elektronische
Vorrichtungen einschließlich
zum Beispiel Transistoren und andere Komponenten von integrierten
Schaltungen, sowie Komponenten zur Verwendung in einer Anzeige,
wie Elektrolumineszenz-Lampen und Steuerschaltungen. Ferner kann
eine thermische Übertragung
unter Verwendung von Licht zumindest in einigen Fällen für eine bessere
gegenseitige Ausrichtung sorgen, wenn mehrere Vorrichtungen über eine
Fläche
hergestellt werden, die groß im
Vergleich zur Größe der Vorrichtung
ist. Zum Beispiel können
Komponenten einer Anzeige, die viele Pixel hat, unter Verwendung
dieses Verfahrens hergestellt werden.
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In einigen Fällen können mehrere thermische Übertragungselemente
verwendet werden, um eine Vorrichtung oder ein anderes Objekt herzustellen,
oder um benachbarte Vorrichtungen, andere Objekte oder Teile davon
herzustellen. Die mehreren thermischen Übertragungselemente können thermische Übertragungselemente
mit mehrkomponentigen Übertragungseinheiten
und thermische Übertragungselemente
aufweisen, die eine einzige Schicht übertragen. Beispielsweise kann
eine Vorrichtung oder ein anderes Objekt dadurch hergestellt werden,
daß ein
oder mehrere Übertragungselemente
mit mehrkomponentigen Übertragungseinheiten und/oder
ein oder mehrere Übertragungselemente
verwendet werden, die jeweils zur Übertragung einer einschichtigen
oder einer mehrschichtigen Einheit verwendet werden können.
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Die thermische Übertragung einer oder mehrerer
Schichten, um eine Vorrichtung oder eine Anordnung von Vorrichtungen
herzustellen, kann auch nützlich
sein, um beispielsweise Naßprozeßschritte
in Verfahren wie photolithographische Strukturierung zu reduzieren
oder auszuschließen,
die zur Herstellung vieler elektronischer und optischer Vorrichtungen
verwendet werden. Thermische Übertragung,
um Schichten von Donorelementen aus zu strukturieren, kann auch
nützlich
sein, um Auftragungsschritte von Stukturierungsschritten zu entkoppeln,
zum Beispiel da, wo eine solche Kopplung die Schichttypen oder die
Typen benachbarter Schichten, die strukturiert werden können, beschränken kann.
In herkömmlichen
Strukturierungsverfahren, wie Photolithographie, Tintenstrahl, Siebdruck
und verschiedene Maskentechniken, werden Schichten typisch direkt auf
das Substrat aufgetragen, auf welchem die Strukturierung erfolgt.
Eine Strukturierung kann gleichzeitig mit der Auftragung erfolgen
(wie für
Tintenstrahl, Siebdruck und einigen Maskentechniken) oder im Anschluß an die
Auftragung mittels Ätzen
oder anderer Abtragungstechniken. Eine Schwierigkeit mit solchen
herkömmlichen
Vorgehensweisen ist, daß ein
zum Auftragen der Materialien verwendetes Lösungsmittel und/oder zum Strukturieren
von Materialien verwendete Ätzprozesse
die vorher aufgetragenen oder strukturierten Schichten oder Materialien
schädigen,
auflösen,
durchdringen und/oder funktionsunfähig machen können.
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In der vorliegenden Erfindung können Materialien
auf thermische Donor-Übertragungselemente
aufgetragen werden, um die Übertragungsschichten
der Donorelemente zu erzeugen. Die Übertragungsschichtmaterialien
können
dann über
die selektive thermische Übertragung
von dem Donor aus zu einem Rezeptor strukturiert werden. Das Auftragen
auf einen Donor, gefolgt von der Strukturierung mittels selektiver Übertragung
stellt eine Entkopplung der Auftragungsschritte von den Strukturierungsschritten
dar. Ein Vorteil der Entkopplung der Auftragungs- und Strukturierungsschritte
ist, daß Materialien
oberhalb von oder neben anderen Materialien strukturiert werden
können,
die unter Verwendung herkömmlicher
Strukturierungsverfahren schwierig, falls überhaupt, zu strukturieren
wären.
Beispielsweise kann in Verfahren der vorliegenden Erfindung eine
mit Lösungsmittel
aufgetragene Schicht oberhalb eines lösungsmittelempfindlichen Materials
strukturiert werden, das in Gegenwart des Lösungsmittels aufgelöst, angegriffen,
durchdrungen und/oder für
seinen beabsichtigten Zweck funktionsunfähig gemacht werden würde, würde die
mit Lösungsmittel
aufgetragene Schicht direkt auf das lösungsmittelempfindliche Material
aufgetragen werden.
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Eine Übertragungsschicht eines Donorelements
kann hergestellt werden durch Auftragen eines ersten Materials mit
Lösungsmittel
auf den Donor, geeignetes Trocknen des Auftrags und dann Aufbringen
einer zweiten Schicht, die Material enthält, das auf das zum Auftragen
des ersten Materials verwendete Lösungsmittel empfindlich sein
kann. Eine Schädigung
der zweiten Schicht kann dadurch minimiert oder ausgeschlossen werden,
daß vor
Auftragen der zweiten Schicht viel oder fast alles Lösungsmittel
verdampft oder anderweitig entfernt wird. Bei der thermischen Übertragung
der mehrkomponentigen Übertragungsschicht
von dem Donorelement aus zu einem Rezeptor wird die zweite Schicht
zwischen dem Rezeptor und dem mit Lösungsmittel aufgetragenen ersten
Material angeordnet. Die thermische Übertragung von mehreren Schichteinheiten
hat eine umgekehrte Reihenfolge der übertragenen Schichten auf dem
Rezeptor relativ zur Reihenfolge auf dem Donorelement zur Folge.
Deswegen können
lösungsmittelempfindliche
Schichten unterhalb von mit Lösungsmittel
aufgetragenen Schichten struk turiert werden. Zudem müssen die
Schichten nicht gemeinsam als mehrschichtige Einheit übertragen
werden. Das oder die lösungsmittelempfindlichen
Materialien können
mit jedem geeigneten Verfahren strukturiert werden, einschließlich thermischer Übertragung
von einem Donor aus, gefolgt von einem anderen thermischen Übertragungsschritt
unter Verwendung eines anderen Donors, um das oder die mit Lösungsmittel
aufgetragenen Materialien zu übertragen.
Das gleiche gilt für
eine strukturierte thermische Übertragung
von mit Lösungsmittel
aufgetragenen Materialien neben, aber nicht notwendigerweise in Kontakt
mit, Materialien oder Schichten auf einem Rezeptor, die mit dem
Lösungsmittel
unverträglich
sein können.
Wie nachstehend detaillierter diskutiert wird, stellt die Herstellung
von OEL-Vorrichtungen besonders geeignete Beispiele bereit.
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Mit diesen allgemeinen Konzepten
der vorliegenden Erfindung im Gedächtnis werden nun beispielhafte
Donorelemente, thermische Übertragungsverfahren
und mit thermischen Übertragungsverfahren
hergestellte Vorrichtungen beschrieben.
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Ein Beispiel eines geeigneten thermischen Übertragungselements 100 ist
in 1A gezeigt. Das thermische Übertragungselement 100 umfaßt ein Donorsubstrat 102,
eine optionale Grundierungsschicht 104, eine Licht-Wärme-Umwandlungsschicht
(LTHC) 106, eine optionale Zwischenschicht 108,
eine optionale Trennschicht 112 und eine Übertragungsschicht 110.
Gerichtetes Licht aus einer Lichtquelle, wie einem Laser oder einer
Lampe, kann verwendet werden, um das thermische Übertragungselement 100 gemäß einem
Muster zu beleuchten. Die LTHC-Schicht 106 enthält einen
Strahlungsabsorber, der Lichtenergie in Wärmeenergie umwandelt. Die Umwandlung
von Lichtenergie in Wärmeenergie
hat eine Übertragung
eines Teils der Übertragungsschicht 110 zu
einem Rezeptor (nicht gezeigt) zur Folge.
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Ein anderes Beispiel eines thermischen Übertragungselements 120 umfaßt ein Donorsubstrat 122, eine
LTHC-Schicht 124, eine Zwischenschicht 126 und
eine Übertragungsschicht 128,
wie in 1B gezeigt ist.
Ein anderes geeignetes thermisches Übertragungselement 140 umfaßt ein Donorsubstrat 142,
eine LTHC-Schicht 144 und eine Übertragungsschicht 146,
wie in 1C gezeigt ist.
Eine weiteres Beispiel eines thermischen Übertragungselements 160 umfaßt ein Donorsubstrat 162 und
eine Übertragungsschicht 164,
wie in 1D gezeigt ist,
mit einem im Donorsubstrat 162 und/oder in der Übertragungsschicht 164 angeordneten, optionalen
Strahlungsabsorber, um Lichtenergie in Wärmeenergie umzuwandeln. Alternativ
kann das thermische Übertragungselement 160 ohne
einen Strahlungsabsorber verwendet werden, wobei für die thermische Übertragung
der Übertragungsschicht 164 ein
Heizelement, wie ein Widerstandsheizelement, verwendet wird, das
mit dem thermischen Übertragungselement
in Kontakt ist, um das thermische Übertragungselement selektiv
zu erwärmen
und die Übertragungsschicht
gemäß einem
Muster zu übertragen.
Ein thermisches Übertragungselement 160 ohne
Strahlungsabsorber kann optional eine Trennschicht, eine Zwischenschicht und/oder
andere auf dem Fachgebiet verwendete Schichten (z. B. eine Schicht,
um ein Ankleben des Widerstandsheizelements zu verhindern) aufweisen.
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Für
eine thermische Übertragung
unter Verwendung von Strahlung (z. B. Licht) können in der vorliegenden Erfindung
verschiedene Strahlungsquellen verwendet werden. Für analoge
Techniken (z. B. Belichtung durch eine Maske) sind Hochleistungslichtquellen
(z. B. Xenonblitzlampen und Laser) nützlich. Für digitale Abbildungsverfahren
sind im infraroten, sichtbaren und ultravioletten Bereich betriebene
Laser besonders nützlich.
Geeignete Laser umfassen zum Beispiel hochleistungsfähige (≥100 mW) Einmoden-Laserdioden,
fasergekoppelte Laserdioden und diodengepumpte Festkörperlaser
(z. B. Nd : YAG und Nd : YLF). Laserbelichtungszeiten können im
Bereich von beispielsweise 0,1 bis 100 Mikrosekunden liegen und
Laserfluenzen können
im Bereich von beispielsweise 0,01 bis 1 J/cm2 liegen.
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Wenn eine hohe Genauigkeit für die Leuchtfleckposition
(z. B. für
hochauflösende
Vollfarbenanzeigen) über
große
Substratflächen
erforderlich ist, ist ein Laser als Strahlungs quelle besonders nützlich.
Laserquellen sind sowohl mit großen starren Substraten, wie
1 m × 1
m × 1,1
mm Glas, und kontinuierlichen oder Foliensubstraten, wie 100 μm dicken
Polyimidfolien, vereinbar.
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Thermische Widerstandsdruckköpfe oder
Anordnungen können
zum Beispiel mit vereinfachten Donorfolienkonstruktionen, denen
eine LTHC-Schicht und ein Strahlungsabsorber fehlt, verwendet werden.
Dies kann besonders bei kleineren Substratgrößen (z. B. kleiner als ungefähr 30 cm
in jeder Richtung) oder für
größere Muster
nützlich
sein, so wie diejenigen die für
alphanumerische, aus Segmenten bestehende Anzeigen erforderlich
sind.
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Während
der Abbildung wird das thermische Übertragungselement typisch
in engen Kontakt mit einem Rezeptor gebracht. In mindestens einigen
Fällen
werden Druck oder Vakuum verwendet, um das thermische Übertragungselement
in engem Kontakt mit dem Rezeptor zu halten. Eine Strahlungsquelle
wird dann verwendet, um die LTHC-Schicht (und/oder andere einen
Strahlungsabsorber enthaltende Schicht(en)) auf abbildungsartige
Weise (z. B. digital oder durch analoge Belichtung durch eine Maske)
zu erwärmen,
um gemäß einem
Muster eine abbildungsartige Übertragung
der Übertragungsschicht
vom thermischen Übertragungselement
aus zum Rezeptor auszuführen.
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Alternativ kann ein Heizelement,
wie ein Widerstandsheizelement, verwendet werden, um die mehrkomponentige Übertragungseinheit
zu übertragen.
Das thermische Übertragungselement
wird selektiv mit dem Heizelement in Kontakt gebracht, um die thermische Übertragung
eines Abschnitts der Übertragungsschicht
gemäß einem
Muster zu bewirken. In einer anderen Ausführungsform kann das thermische Übertragungselement
eine Schicht aufweisen, die einen der Schicht zugeführten elektrischen
Strom in Wärme
umwandeln kann.
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Typisch wird die Übertragungsschicht zum Rezeptor übertragen,
ohne daß eine
der anderen Schichten des thermischen Übertragungselements, wie die
optionale Zwischenschicht und die LTHC-Schicht, übertragen werden. Das Vorhandensein
der optionalen Zwischenschicht kann die Übertragung der LTHC- Schicht zum Rezeptor
ausschließen
oder verringern und/oder Verformungen in dem übertragenen Abschnitt der Übertragungsschicht
verringern. Vorzugsweise ist unter Abbildungsbedingungen die Haftung
der Zwischenschichtung an der LTHC-Schicht größer als die Haftung der Zwischenschicht
an der Übertragungsschicht.
In einigen Fällen
kann eine reflektierende oder absorbierende Zwischenschicht verwendet
werden, um die Intensität
der durch die Zwischenschicht hindurchgehenden Abbildungsstrahlung
zu schwächen
und um eine Schädigung des übertragenen
Abschnitts der Übertragungsschicht
zu verringern, die sich aus der Wechselwirkung der durchgelassenen
Strahlung mit der Übertragungsschicht
und/oder dem Rezeptor ergeben kann. Dies ist besonders vorteilhaft
zur Verringerung von thermischen Schäden, die auftreten können, wenn
der Rezeptor in Bezug auf die Abbildungsstrahlung ein hohes Absorptionsvermögen hat.
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Große thermische Übertragungselemente
können
verwendet werden, einschließlich
thermische Übertragungselemente,
die Längen-
und Breitenabmessungen von einem Meter oder mehr haben. In Betrieb
kann ein Laser in einem Raster oder auf andere Weise über das
große
thermische Übertragungselement
hinweg bewegt werden, wobei der Laser selektiv betrieben wird, um
Abschnitte des thermischen Übertragungselements
gemäß einem
gewünschten
Muster zu belichten. Alternativ kann der Laser stationär sein und
das thermische Übertragungselement
unterhalb des Lasers hinweg bewegt werden.
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Die Donorsubstrate der thermischen Übertragung
können
Polymerfolien sein. Ein geeigneter Typ einer Polymerfolie ist eine
Polyesterfolie, beispielsweise Polyethylenterephthalat- oder Polyethylennaphthalat-Folien.
Jedoch können
andere Folien mit ausreichenden optischen Eigenschaften (wenn für das Erwärmen und die Übertragung
Licht verwendet wird) einschließlich
hoher Durchlässigkeit
von Licht bei einer bestimmten Wellenlänge sowie mit ausreichender
mechanischer und thermischer Stabilität für die spezielle Anwendung verwendet
werden. Das Donorsubstrat ist mindestens in einigen Fällen eben,
so daß gleichmäßige Schichten darauf
erzeugt werden können.
Das Donorsubstrat wird auch typisch aus Materialien gewählt, die
trotz Erwärmen
der LTHC-Schicht stabil bleiben. Die typische Dicke des Donorsubstrats
liegt zwischen 0,025 bis 0,15 mm, vorzugsweise 0,05 bis 0,1 mm,
obwohl dickere oder dünnere
Donorsubstrate verwendet werden können.
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Typisch werden die Materialien, die
zur Erzeugung des Donorsubstrats und der LTHC-Schicht verwendet
werden, gewählt,
um die Haftung zwischen der LTHC-Schicht und dem Donorsubstrat zu
verbessern. Eine optionale Grundierungsschicht kann verwendet werden,
um die Gleichmäßigkeit
während
des Auftragens der nachfolgenden Schichten zu verbessern und auch
um die Grenzflächen-Bindungsstärke zwischen
der LTHC-Schicht und dem Donorsubstrat zu erhöhen. Ein Beispiel eines geeigneten
Substrats mit einer Grundierungsschicht ist von Teijin Ltd. (Produktnr.
HPE100, Osaka, Japan) erhältlich.
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Für
strahlungsinduzierte thermische Übertragung
ist typisch eine Licht-Wärme-Umwandlungsschicht (LTHC-Schicht)
innerhalb des thermischen Übertragungselements
eingefügt,
um die Energie des von einer Lichtquelle aus in das thermische Übertragungselement
hinein Bestrahlten Lichts zu koppeln. Die LTHC-Schicht weist vorzugsweise
einen Strahlungsabsorber auf, der auftreffendes Licht (z. B. Laserlicht)
absorbiert und mindestens einen Teil der auftreffenden Strahlung
in Wärme
umwandelt, um eine Übertragung
der Übertragungsschicht
von dem thermischen Übertragungselement
aus zum Rezeptor zu ermöglichen.
In einigen Ausführungsformen
gibt es keine separate LTHC-Schicht und statt dessen ist der Strahlungsabsorber
in einer anderen Schicht des thermischen Übertragungselements angeordnet,
wie im Donorsubstrat oder in der Übertragungsschicht. In anderen
Ausführungsformen
weist das thermische Übertragungselement
eine LTHC-Schicht auf und weist auch (einen) zusätzliche(n) Strahlungsabsorber
auf, der/die in einem oder mehreren der anderen Schichten des thermischen Übertragungselements
angeordnet ist/sind, wie zum Beispiel im Donorsubstrat oder in der Übertragungsschicht.
In weiteren Ausführungsformen
weist das thermische Übertragungselement
keine LTHC-Schicht oder keinen Strahlungsabsorber auf und die Über tragungsschicht
wird unter Verwendung eines Heizelements übertragen, das im Kontakt mit
dem thermischen Übertragungselement ist.
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Typisch absorbiert der Strahlungsabsorber
in der LTHC-Schicht
(oder anderen Schichten) Licht im infraroten, sichtbaren oder ultravioletten
Bereich des elektromagnetischen Spektrums. Der Strahlungsabsorber hat
typisch ein hohes Absorptionsvermögen in bezug auf die gewählte Abbildungsstrahlung
und stellt eine optische Dichte bei der Wellenlänge der Abbildungsstrahlung
im Bereich von 0,2 bis 3 und vorzugsweise von 0,5 bis 2 bereit.
Geeignete strahlungsabsorbierende Materialien können zum Beispiel Farbstoffe
(z. B. Farbstoffe für
sichtbares Licht, Ultraviolett-Farbstoffe, Infrarot-Farbstoffe,
Fluoreszenzfarbstoffe und strahlungspolarisierende Farbstoffe),
Pigmente, Metalle, Metallverbindungen, Metallfolien und andere geeignete
absorbierende Materialien aufweisen. Beispiele für geeignete Strahlungsabsorber
können
Carbon-Black, Metalloxide und Metallsulfide aufweisen. Ein Beispiel
einer geeigneten LTHC-Schicht kann ein Pigment, wie Carbon-Black,
und einen Binder, wie ein organisches Polymer, aufweisen. Eine andere
geeignete LTHC-Schicht kann als dünne Folie gebildetes Metall
oder Metall/Metalloxid aufweisen, zum Beispiel schwarzes Aluminium
(d. h. teilweise oxidiertes Aluminium mit einem schwarzen Aussehen).
Die Folien aus Metall und Metallverbindungen können mit Verfahren hergestellt
werden, wie zum Beispiel Sputtern und Aufdampfen. Aus Partikeln
bestehende Schichten können
unter Verwendung eines Binders und irgendwelcher geeigneter trockener
oder nasser Auftragungsverfahren hergestellt werden.
-
Das strahlungsabsorbierende Material
kann über
die ganze LTHC-Schicht hinweg gleichmäßig angeordnet sein oder kann
nicht homogen verteilt sein. Wie in der zugeordneten US-A-6 228 555 mit dem
Titel "Thermal Mass
Transfer Donor Elements" beschrieben,
können
zum Beispiel nicht homogene LTHC-Schichten verwendet
werden, um die Temperaturprofile in Donorelementen zu steuern. Dies
kann zu thermischen Übertragungselementen
führen,
die höhere Übertragungs empfindlichkeiten
haben (z. B. bessere Übereinstimmung zwischen
den beabsichtigten Übertragungsmustern
und den tatsächlichen Übertragungsmustern).
-
Farbstoffe, die für eine Verwendung als Strahlungsabsorber
in einer LTHC-Schicht geeignet sind, können in besonderer Form vorliegen,
gelöst
in einem Bindermaterial oder mindestens teilweise dispergiert in
einem Bindermaterial. Wenn dispergierte, aus Partikeln bestehende
Strahlungsabsorber verwendet werden, kann die Partikelgröße mindestens
in einigen Fällen
10 μm oder
weniger sein und kann 1 μm
oder weniger sein. Geeignete Farbstoffe umfassen diejenigen Farbstoffe,
die im IR-Bereich des Spektrums absorbieren. Zu finden sind Beispiele
für solche
Farbstoffe in M. Matsuoka, "Infrared
Absorbing Materials",
Plenum Press, New York, 1990; M. Matsuoka, "Absorption Spectra of Dyes for Diode
Lasers", Bunshin
Publishing Co., Tokyo, 1990; den US-Patenten Nr. 4 722 583; 4 833
124; 4 912 083; 4 942 141; 4 948 776; 4 948 778; 4 950 639; 4 940
640; 4 952 552; 5 023 229; 5 024 990; 5 156 938; 5 286 604; 5 340
699; 5 351 617; 5 360 694; und 5 401 607; den europäischen Patenten
Nr. 321 923 und 568 993; und K. A. Beilo et al., J. Chem. Soc.,
Chem. Commun., 1993, 452–454
(1993). IR-Absorber, die von Glendale Protective Technologies, Inc.,
Lakeland, Fla., unter der Bezeichnung CYASORB IR-99, IR-126 und
IR-165 im Handel vertrieben werden, können auch verwendet werden.
Ein spezieller Farbstoff kann gewählt werden auf der Basis von
Faktoren wie Löslichkeit
in und Verträglichkeit
mit einem speziellen Binder und/oder Auftragungslösungsmittel
sowie Wellenlängenbereich
der Absorption.
-
Pigmentmaterialien können auch
in der LTHC-Schicht als Strahlungsabsorber verwendet werden. Beispiele
für geeignete
Pigmente umfassen Carbon-Black und Graphit sowie Phthalocyanine,
Nickeldithiolene und andere Pigmente, die in den US-Patenten Nr. 5 166
024 und 5 351 617 beschrieben sind. Zusätzlich können auf Kupfer- oder Chromkomplexen
basierende schwarze Azopigmente, beispielsweise Pyrazolon Gelb, Dianisidin
Rot und Nickelazo Gelb, nützlich
sein. Anorganische Pigmente können
auch verwendet werden, einschließlich zum Beispiel Oxide und
Sulfide von Metallen, wie Aluminium, Wismut, Zinn, Indium, Zink,
Titan, Chrom, Molybdän,
Wolfram, Kobalt, Iridium, Nickel, Palladium, Platin, Kupfer, Silber,
Gold, Zirkon, Eisen, Blei und Tellur. Metallboride, -carbide, -nitride,
-carbonitride, bronze-strukturierte Oxide und Oxide die strukturell
zur Bronzefamilie gehören
(z. B. WO2,9) können auch verwendet werden.
-
Metallische Strahlungsabsorber können entweder
in Form von Partikeln, wie zum Beispiel im US-Patent Nr. 4 252 671
beschrieben, oder als Folien, wie im US-Patent Nr. 5 256 506 offenbart,
verwendet werden. Geeignete Metalle umfassen zum Beispiel Aluminium,
Wismut, Zinn, Indium, Tellur und Zink.
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Wie angegeben, kann ein aus Partikeln
bestehender Strahlungsabsorber in einem Binder angeordnet sein.
Der Gewichtsanteil des Strahlungsabsorbers in der Schicht ist, unter
Ausschluß des
Lösungsmittels
bei der Berechnung des Gewichtsanteils, allgemein von 1 Gew.% bis
30 Gew.%, vorzugsweise von 3 Gew.% bis 20 Gew.% und am stärksten bevorzugt
von 5 Gew.% bis 15 Gew.%, abhängig
von dem/den in der LTHC-Schicht verwendeten speziellen Strahlungsabsorber(n)
und Binder(n).
-
Geeignete Binder zur Verwendung in
der LTHC-Schicht umfassen filmbildende Polymere, wie zum Beispiel
Phenolharze (z. B. Novolak- und Resolharze), Polyvinylbutyralharze,
Polyvinylacetate, Polyvinylacetale, Polyvinylidenchloride, Polyacrylate,
Celluloseether und -ester, Nitrocellulose und Polycarbonate. Geeignete
Binder können
Monomere, Oligomere oder Polymere aufweisen, die polymerisiert oder
vernetzt worden sind oder polymerisiert oder vernetzt werden können. In
einigen Ausführungsformen
wird der Binder in erster Linie unter Verwendung einer Schicht aus
vernetzbaren Monomeren und/oder Oligomeren mit einem optionalen
Polymer erzeugt. Wenn im Binder ein Polymer verwendet wird, weist
der Binder 1 bis 50 Gew.%, vorzugsweise 10 bis 45 Gew.% Polymer
auf (Berechnung von Gew.% unter Ausschluß des Lösungsmittels).
-
Beim Auftragen auf das Donorsubstrat
können
die Monomere, Oligomere und Polymere vernetzt werden, um die LTHC-Schicht zu
erzeugen. Wenn die Vernetzung der LTHC-Schicht zu schwach ist, kann
in einigen Fällen
die LTHC-Schicht durch die Wärme
geschädigt
werden und/oder es kann die Übertragung
eines Teils der LTHC-Schicht zusammen mit der Übertragungsschicht zum Rezeptor
ermöglicht
sein.
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Der Einschluß eines thermoplastischen Harzes
(z. B. Polymer) kann in mindestens einigen Fällen die Leistung (z. B. die Übertragungseigenschaften
und/oder die Auftragbarkeit) der LTHC-Schicht verbessern. Es wird
vermutet, daß ein
thermoplastisches Harz die Haftung der LTHC-Schicht am Donorsubstrat
verbessern kann. In einer Ausführungsform
enthält
der Binder 25 bis 50 Gew.% (Berechnung der Gewichtsanteile unter Ausschluß des Lösungsmittels)
thermoplastisches Harz und vorzugsweise 30 bis 45 Gew.% thermoplastisches Harz,
obwohl geringere Mengen des thermoplastischen Harzes (z. B. 1 bis
15 Gew.%) verwendet werden können.
Das thermoplastische Harz wird typisch gewählt, um mit den anderen Materialien
des Binders verträglich zu
sein (d. h. eine einphasige Zusammensetzung zu bilden). Ein Löslichkeitsparameter
kann verwendet werden, um die Verträglichkeit anzugeben, siehe "Polymer Handbook", J. Brandrup, Hrsg.,
pp VII 519–557
(1989). In mindestens einigen Ausführungsformen wird für den Binder
ein thermoplastisches Harz gewählt,
das einen Löslichkeitsparameter
im Bereich von 9 bis 13 (cal/cm3)1/2, vorzugsweise 9,5 bis 12 (cal/cm3)1/2 hat. Beispiele für p geeignete
thermoplastische Harze umfassen Polyacryle, Styrolacryl-Polymere
und -harze und Polyvinylbutyral.
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Herkömmliche Auftragungshilfen wie
grenzflächenaktive
Stoffe und Dispergiermittel können
hinzugefügt
werden, um den Auftragungsprozeß zu
erleichtern. Die LTHC-Schicht kann unter Verwendung verschiedener
auf dem Fachgebiet bekannter Auftragungsmethoden auf das Donorsubstrat
aufgetragen werden. Eine Polymer- oder organische LTHC-Schicht wird
mindestens in einigen Fällen
auf eine Dicke von 0,05 μm
bis 20 μm,
vorzugsweise 0,5 μm
bis 10 μm
und am stärksten
bevorzugt 1 μm
bis 7 μm
aufgetragen. Eine anorganische LTHC-Schicht wird in min- Bestens einigen Fällen auf
eine Dicke im Bereich von 0,001 bis 10 μm und vorzugsweise 0,002 bis
1 μm aufgetragen.
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In den thermischen Übertragungselementen
kann eine optionale Zwischenschicht zwischen der LTHC-Schicht und
der Übertragungsschicht
angeordnet sein, um eine Schädigung
und Verunreinigung des übertragenen
Abschnitts der Übertragungsschicht
zu minimieren und auch um eine Verformung im übertragenen Abschnitt der Übertragungsschicht
zu verringern. Die Zwischenschicht kann auch die Haftung der Übertragungsschicht
am Rest des thermischen Übertragungselements
beeinflussen. Typisch hat die Zwischenschicht einen hohen thermischen
Widerstand. Vorzugsweise erleidet die Zwischenschicht unter den
Abbildungsbedingungen keine Verformung oder chemische Zersetzung,
insbesondere nicht bis zu einem Maß, das das übertragene Bild funktionsunfähig macht.
Die Zwischenschicht bleibt während
des Übertragungsprozesses
typisch in Kontakt mit der LTHC-Schicht und wird mit der Übertragungsschicht
nicht wesentlich übertragen.
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Geeignete Zwischenschichten umfassen
zum Beispiel Polymerfolien, Metallschichten (z. B. aufgedampfte
Metallschichten), anorganische Schichten (z. B. aufgebrachte Sol-Gel-Schichten und aufgedampfte Schichten
aus anorganischen Oxiden (z. B. Silika-, Titan- und andere Metalloxide))
und organische/anorganische Kompositschichten. Organische Materialien,
die als Zwischenschichtmaterialien geeignet sind, umfassen sowohl
duroplastische und thermoplastische Materialien. Geeignete duroplastische
Materialien umfassen Harze, die durch Wärme, Strahlung oder chemische
Behandlung vernetzt werden können,
einschließlich,
aber nicht darauf beschränkt,
vernetzte oder vernetzbare Polyacrylate, Polymethacrylate, Polyester,
Epoxide und Polyurethane. Die duroplastischen Materialien können auf
die LTHC-Schicht zum Beispiel als thermoplastische Vorläufer aufgetragen
werden und anschließend
vernetzt werden, um eine vernetzte Zwischenschicht zu erzeugen.
-
Geeignete thermoplastische Materialien
umfassen zum Beispiel Polyacrylate, Polymethacrylate, Polystyrole,
Polyurethane, Polysulfone, Polyester und Polyimide. Diese thermo plastischen
organischen Materialien können
mit herkömmlichen
Auftragungstechniken (zum Beispiel Auftragung mit Lösungsmittel,
Sprühauftragung
und Extrusionsauftragung) aufgetragen werden. Typisch ist die Glastemperatur
(Tg) der thermoplastischen Materialien,
die für
eine Verwendung in der Zwischenschicht geeignet sind, 25°C oder höher, vorzugsweise
50°C oder
höher,
stärker
bevorzugt 100°C
oder höher
und am stärksten
bevorzugt 150°C
oder höher. Die
Zwischenschicht kann bei der Wellenlänge der Abbildungsstrahlung
entweder durchlässig,
absorbierend, reflektierend oder in irgendeiner Kombination von
allem etwas sein.
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Anorganische Materialien, die als
Zwischenschichtmaterialien geeignet sind, umfassen zum Beispiel Metalle,
Metalloxide, Metallsulfide und anorganische Kohlenstoffschichten,
einschließlich
diejenigen Materialien, die bei der Wellenlänge des Abbildungslichts stark
durchlässig
oder reflektierend sind. Diese Materialien können mit herkömmlichen
Verfahren (z. B. Sputtern im Vakuum, Aufdampfen im Vakuum oder Plasmastrahl-Abscheidung)
auf die Licht-Wärme-Umwandlungsschicht
aufgetragen werden.
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Die Zwischenschicht kann eine Reihe
von Vorteilen bereitstellen. Die Zwischenschicht kann eine Barriere
gegen die Übertragung
von Material aus der Licht-Wärme-Umwandlungsschicht
sein. Sie kann auch die in der Übertragungsschicht
erzielte Temperatur modulieren, so daß thermisch instabile Materialien übertragen werden
können.
Das Vorhandensein einer Zwischenschicht kann auch ein verbessertes
plastisches Gedächtnis
des übertragenen
Materials zur Folge haben.
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Die Zwischenschicht kann Zusätze enthalten,
einschließlich
zum Beispiel Photoinitiatoren, grenzflächenaktive Stoffe, Pigmente,
Plastifikatoren und Auftragungshilfen. Die Dikke der Zwischenschicht
kann von Faktoren abhängen,
wie zum Beispiel dem Material der Zwischenschicht, dem Material
der LTHC-Schicht, dem Material der Übertragungsschicht, der Wellenlänge der
Abbildungsstrahlung und der Dauer der Belichtung des thermischen Übertragungselements
mit der Abbildungsstrah lung. Für
Zwischenschichten aus Polymer ist die Dicke der Zwischenschicht
typisch im Bereich von 0,05 μm
bis 10 μm,
vorzugsweise von 0,1 μm
bis 4 μm,
stärker
bevorzugt von 0,5 μm
bis 3 μm
und am stärksten
bevorzugt von 0,8 μm
bis 2 μm.
Für anorganische
Zwischenschichten (z. B. Zwischenschichten aus Metall oder Metallverbindung)
ist die Dicke der Zwischenschicht typisch im Bereich von 0,005 μm bis 10 μm, vorzugsweise
von 0,01 μm
bis 3 μm
und stärker
bevorzugt von 0,02 μm
bis 1 μm.
-
Die thermischen Übertragungselemente können eine
optionale Trennschicht aufweisen. Die optionale Trennschicht erleichtert
typisch die Trennung der Übertragungsschicht
vom Rest des thermischen Übertragungselements
(z. B. von der Zwischenschicht und/oder der LTHC-Schicht) beim Erwärmen des
thermischen Übertragungselements
beispielsweise durch eine Lichtquelle oder ein Heizelement. In mindestens
einigen Fällen
stellt die Trennschicht vor der Einwirkung von Wärme eine gewisse Haftung der Übertragungsschicht
am Rest des thermischen Übertragungselements
bereit. Geeignete Trennschichten umfassen zum Beispiel leitende
und nichtleitende thermoplastische Polymere, leitende und nichtleitende
gefüllte
Polymere und/oder leitende und nichtleitende Dispersionen. Beispiele
für geeignete
Polymere umfassen Acrylpolymere, Polyaniline, Polythiophene, Poly(phenylenvinylene),
Polyacetylene und andere leitfähige
organische Materialien, wie diejenigen, die in "Hanbook of Conductive Molecules and
Polymers", Bd. 1-4, H. S. Nalwa (Hrsg.),
John Wiley and Sons, Chichester (1997) aufgelistet sind. Beispiele
für geeignete
leitfähige
Dispersionen umfassen Tinten, die Carbon-Black, Graphit, ultrafeines,
aus Partikeln bestehendes Indium-Zinn-Oxid, ultrafeines Antimon-Zinn-Oxid
und kommerziell erhältliche
Materialien von Firmen wie Nanophase Technologies Corporation (Burr
Ridge, IL) und Metech (Elverson, PA) enthalten. Andere geeignete
Materialien für
die Trennschicht umfassen sublimierbare isolierende Materialien
und sublimierbare halbleitende Materialien (wie Phthalocyanine), einschließlich zum
Beispiel der im US-Patent Nr. 5 747 217 beschriebenen Materialien.
-
Die Trennschicht kann Teil der Übertragungsschicht
oder eine separate Schicht sein. Die gesamte oder ein Abschnitt
der Trennschicht kann mit der Übertragungsschicht übertragen
werden. Alternativ kann der größte Teil
oder im wesentlichen die gesamte Trennschicht beim Donorsubstrat
bleiben, wenn die Übertragungsschicht übertragen
wird. In einigen Fällen
kann zum Beispiel mit einer Trennschicht, die ein sublimierbares
Material enthält,
ein Abschnitt der Trennschicht während
des Übertragungsprozesses
dissipiert werden.
-
Die Übertragungsschichten der thermischen Übertragungselemente
der vorliegenden Erfindung können
eine oder mehrere Schichten für
eine Übertragung
zu einem Rezeptor aufweisen. Diese eine oder mehreren Schichten
können
unter Verwendung von organischen, anorganischen, organometallischen
oder anderen Materialien hergestellt werden. Obwohl die Übertragungsschicht
als aus einer oder mehreren diskreten Schichten bestehend beschrieben
und gezeigt ist, ist ersichtlich, daß es mindestens in einigen
Fällen,
wo mehr als eine Schicht verwendet wird, einen Grenzflächenbereich
geben kann, der mindestens einen Teil jeder Schicht enthält. Dies
kann zum Beispiel vorkommen, wenn vor, während oder nach der Übertragung
der Übertragungsschicht
eine Vermischung der Schichten oder eine Diffusion von Material
zwischen den Schichten erfolgt. In anderen Fällen können sich vor, während oder
nach der Übertragung
der Übertragungsschicht
einzelne Schichten vollständig
oder teilweise vermischen. In jedem Fall werden diese Strukturen
so betrachtet, als ob sie mehr als eine unabhängige Schicht umfassen, insbesondere
wenn verschiedene Funktionen der Vorrichtung durch verschiedene
Bereiche ausgeführt
werden.
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Ein Vorteil der Verwendung einer
mehrkomponentigen Übertragungseinheit,
insbesondere wenn sich die Schichten nicht vermischen, ist, daß die wichtigen
Grenzflächeneigenschaften
der Schichten in der mehrkomponentigen Übertragungseinheit bei der
Herstellung der thermischen Übertragungseinheit
erzeugt werden können
und vorzugsweise während
der Übertragung
aufrechterhalten werden können.
-
Ein Beispiel einer Übertragungsschicht
umfaßt
eine ein- oder mehrkomponentige Übertragungseinheit,
die verwendet wird, um mindestens einen Teil einer mehrschichtigen
Vorrichtung, wie einer OEL-Vorrichtung oder einer anderen in Verbindung
mit OEL-Vorrichtungen verwendeten Vorrichtung, auf einem Rezeptor herzustellen.
In einigen Fällen
kann die Übertragungsschicht
alle Schichten umfassen, die zur Herstellung einer funktionsfähigen Vorrichtung
erforderlich sind. In anderen Fällen
kann die Übertragungsschicht
weniger als alle Schichten umfassen, die zur Herstellung einer funktionsfähigen Vorrichtung
erforderlich sind, wobei die anderen Schichten durch eine Übertragung
von einem oder mehreren anderen Donorelementen aus oder durch ein
anderes geeignetes Übertragungs-
und Strukturierungsverfahren erzeugt werden. In weiteren Fällen können eine
oder mehrere Schichten einer Vorrichtung auf dem Rezeptor bereitgestellt
werden, wobei die übrige(n)
Schicht(en) in der Übertragungsschicht
eines oder mehrerer Donorelemente enthalten ist/sind. Alternativ können eine
oder mehrere zusätzliche
Schichten einer Vorrichtung auf den Rezeptor übertragen werden, nachdem die Übertragungsschicht
strukturiert worden ist. In einigen Fällen wird die Übertragungsschicht
verwendet, um nur eine einzige Schicht einer Vorrichtung zu erzeugen.
-
In einer Ausführungsform weist eine beispielhafte Übertragungsschicht
eine mehrkomponentige Übertragungseinheit
auf, die mindestens zwei Schichten einer mehrschichtigen Vorrichtung
erzeugen kann. Diese zwei Schichten der mehrschichtigen Vorrichtung
entsprechen oft zwei Schichten der Übertragungsschicht. In diesem
Beispiel kann eine der Schichten, die durch die Übertragung der mehrkomponentigen Übertragungseinheit
erzeugt wird, eine aktive Schicht sein (d. h. eine Schicht, die
als eine leitende, halbleitende, elektronensperrende, löchersperrende,
lichterzeugende (z. B. luminiszierende, lichtemittierende, fluoreszierende
oder phosphoreszierende), elektronenerzeugende oder löchererzeugende
Schicht wirkt). Eine zweite Schicht, die durch Übertragung der mehrkomponentigen Übertragungseinheit
erzeugt wird, kann eine an dere aktive Schicht oder eine operative
Schicht sein (d. h. eine Schicht, die als eine isolierende, leitende,
halbleitende, elektronensperrende, löchersperrende, lichterzeugende,
elektronenerzeugende, löchererzeugende,
lichtabsorbierende, reflektierende, beugende, phasenverzögernde,
streuende Schicht in der Vorrichtung wirkt). Die zweite Schicht
kann auch eine nicht-operative Schicht sein (d. h. eine Schicht,
die keine Funktion beim Betrieb der Vorrichtung ausführt, aber
vorgesehen ist, um zum Beispiel die Übertragung und/oder Haftung
der Übertragungseinheit
am Rezeptorsubstrat während
der Strukturierung zu erleichtern). Die mehrkomponentige Übertragungseinheit
kann auch verwendet werden, um zusätzliche aktive Schichten, operative
Schichten und/oder nichtoperative Schichten zu erzeugen.
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Die Übertragungsschicht kann eine
an der äußeren Oberfläche der Übertragungsschicht
angeordnete Klebstoffschicht aufweisen, um die Haftung am Rezeptor
zu erleichtern. Die Klebstoffschicht kann eine operative Schicht
sein, wenn zum Beispiel die Klebstoffschicht Elektrizität zwischen
dem Rezeptor und den anderen Schichten der Übertragungsschicht leitet,
oder kann eine nicht-operative Schicht sein, wenn zum Beispiel die Klebstoffschicht
die Übertragungsschicht
nur an den Rezeptor klebt. Die Klebstoffschicht kann unter Verwendung
zum Beispiel von thermoplastischen Polymeren, einschließlich leitenden
und nicht-leitenden Polymeren, leitenden und nichtleitenden gefüllten Polymeren
und/oder leitenden und nichtleitenden Dispersionen erzeugt werden.
Beispiele für
geeignete Polymere umfassen Acrylpolymere, Polyaniline, Polythiophene,
Poly(phenylenvinylene), Polyacetylene und andere leitfähige organische
Materialien, wie diejenigen, die in "Handbook of Conductive Molecules and
Polymers", Bd 1–4, H. S.
Nalwa (Hrsg.), John Wiley and Sons, Chichester (1997), aufgelistet
sind. Beispiele für
geeignete leitfähige
Dispersionen umfassen Tinten, die Carbon-Black, Graphit, Carbon
nanotubes, ultrafeines, aus Partikel bestehendes Indium-Zinn-Oxid,
ultrafeines Antimon-Zinn-Oxid und kommerziell erhältliche
Materialien von Firmen wie Nanophase Technologies Corporation (Burr Ridge,
IL) und Metech (Elverson, PA) enthalten. Leitfähige Klebstoffschichten können auch
aufgedampfte oder im Vakuum aufgebrachte organische Leiter aufweisen,
wie N,N'-bis(1-naphthyl)-N,N'-diphenylbenzidin
(auch als NPB bekannt).
-
Die Übertragungsschicht kann auch
eine auf der Oberfläche
der Übertragungsschicht
angeordnete Trennschicht aufweisen, die im Kontakt mit dem Rest
des thermischen Übertragungselements
ist. Wie vorstehend beschrieben, kann bei der Übertragung der Übertragungsschicht
diese Trennschicht teilweise oder vollständig mit dem Rest der Übertragungsschicht übertragen
werden, oder die gesamte Trennschicht kann im wesentlichen bei dem
thermischen Übertragungselement
bleiben, oder die Trennschicht kann als Ganzes oder in Teilen dissipieren.
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Obwohl die Übertragungsschicht aus diskreten
Schichten bestehen kann, kann selbstverständlich mindestens in einigen
Ausführungsformen
die Übertragungsschicht
Schichten aufweisen, die mehrere Komponenten und/oder mehrere Zwecke
in der Vorrichtung haben. Selbstverständlich können mindestens in einigen
Ausführungsformen
zwei oder mehrere diskrete Schichten während der Übertragung miteinander verschmolzen
oder auf andere Weise vermischt oder kombiniert werden. In jedem
Fall werden diese Schichten, obwohl vermischt oder kombiniert, als
einzelne Schichten betrachtet.
-
Ein in 2A gezeigtes
Beispiel einer Übertragungsschicht 170 umfaßt eine
leitfähige
Schicht 172 aus Metall oder einer Metallverbindung und
eine leitfähige
Polymerschicht 174. Die Übertragungsschicht 170 kann
so angeordnet sein, daß entweder
die Schicht 172 oder die Schicht 174 die Außenschicht
des Donors ist (d. h. die Schicht für den Kontakt mit dem Rezeptor
(nicht gezeigt) bei der Übertragung).
Wenn die leitfähige Polymerschicht 174 die
Außenschicht
ist, kann die leitfähige
Polymerschicht 174, zumindest teilweise, auch als eine
Klebstoffschicht wirken, um die Übertragung
zum Rezeptor oder zu vorher am Rezeptor erzeugten Elementen oder
Schichten zu erleichtern.
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Ein in 2B gezeigtes
zweites Beispiel einer Übertragungsschicht 180 umfaßt eine
Trennschicht 182, gefolgt von einer leitfähigen Schicht 184 aus
Metall oder einer Metallverbindung und dann von einer leitfähigen oder
nichtleitfähigen
Polymerschicht 186 für
den Kontakt mit einem Rezeptor (nicht gezeigt). In anderen Ausführungsformen
kann die Reihenfolge der Schichten 184 und 186 umgekehrt
sein, so daß die
Schicht 184 die Außenschicht
ist.
-
Ein in 2C gezeigtes
drittes Beispiel einer Übertragungsschicht 190 umfaßt eine
leitfähige
anorganische Schicht 191 (zum Beispiel aufgedampftes Indium-Zinn-Oxid),
eine leitfähige
oder nicht-leitfähige
Polymerschicht 192 und eine optionale Trennschicht (nicht
gezeigt). Die Außenschicht
kann entweder die Schicht 191 oder die Schicht 192 sein.
-
Ein in 2D gezeigtes
viertes Beispiel einer Übertragungsschicht 195 besteht
aus einem mehrschichtigen Metallstapel 196 aus abwechselnd
angeordneten Metallen 197, 198, wie Gold-Aluminium-Gold, und
einer leitfähigen
oder nichtleitfähigen
Polymerschicht 199 für
den Kontakt mit einem Rezeptor.
-
Ein in 2E gezeigtes
fünftes
Beispiel einer Übertragungsschicht 175 umfaßt eine
mit Lösungsmittel aufgetragene
Schicht 176 und eine benachbarte Schicht 177,
die auf das zum Auftragen der Schicht 176 verwendete Lösungsmittel
empfindlich ist. Die Schicht 177 kann auf der mit Lösungsmittel
aufgetragenen Schicht 176 erzeugt werden, nachdem die mit
Lösungsmittel
aufgetragene Schicht 176 auf das Donorelement aufgetragen
worden ist und vorzugsweise getrocknet ist, um das Lösungsmittel
im wesentlichen zu entfernen. Die Übertragungsschicht 175 kann
zusätzliche
Schichten (nicht gezeigt) aufweisen, die oberhalb der Schicht 177, unterhalb
der Schicht 176 oder zwischen den Schichten 176 und 177 angeordnet
sind, einschließlich
Trenn- und Klebstoffschichten. Wenn die Übertragungsschicht 175 zu
einem Rezeptor (nicht gezeigt) übertragen
wird, wird die Schicht 177 zwischen dem Rezeptor und der
mit Lösungsmittel
aufgetragenen Schicht 176 angeordnet werden.
-
Die Übertragung einer oder mehrerer
ein- oder mehrkomponentigen Übertragungseinheiten,
um mindestens einen Teil ei ner OEL-Vorrichtung (OEL: organische
Elektrolumineszenz) herzustellen, stellt ein besonders anschauliches,
nicht einschränkendes
Beispiel für
die Herstellung einer aktiven Vorrichtung unter Verwendung eines
thermischen Übertragungselements
bereit. In mindestens einigen Fällen
umfaßt
eine OEL-Vorrichtung
eine dünne
Schicht oder dünne
Schichten aus einem oder mehreren geeigneten organischen Materialien, die
zwischen einer Kathode und einer Anode angeordnet sind. Elektronen
werden von der Kathode aus in die organische(n) Schicht en) injiziert
und Löcher
werden von der Anode aus in die organische(n) Schicht en) injiziert.
Bei ihrer Wanderung zu den entgegengesetzt geladenen Elektroden
können
die injizierten Ladungen rekombinieren, um Elektron-Loch-Paare zu
bilden, die typisch als Exzitonen bezeichnet werden. Diese Exzitonen
oder angeregten Zustände
können
Energie in Form von Licht emittieren, wenn sie in einen Grundzustand zurückfallen
(siehe zum Beispiel T. Tsutsui, MRS Bulletin, 22, 39–45 (1997)).
-
Anschauliche Beispiele für Konstruktionen
von OEL-Vorrichtungen
umfassen Vorrichtungen mit molekular dispergiertem Polymer, in welchen
die Ladungsträger
und/oder Emitter in einer Polymermatrix dispergiert sind (siehe
J. Kido "Organic
Electroluminescent Devices Based on Polymeric Materials", Trends in Polymer Science,
2, 350–355
(1994), Vorrichtungen mit Polymer mit konjugierten Doppelbindungen,
in welchen Schichten aus Polymer wie Polyphenylenvinylen als Ladungsträger und
Emitter wirken (siehe J. J. M. Halls et al. Thin Solid Films, 276,
13–20
(1996)), Heterostruktur-Vorrichtungen
mit aufgedampften Kleinmolekülen
(siehe US-Patent
Nr. 5 061 569 und C. H. Chen et al., "Recent Developments in Molecular Organic
Electroluminescent Materials",
Macromolecular Symposia, 125, 1–48
(1997), lichtemittierende elektrochemische Zellen (siehe Q. Pei
et al., J. Amer. Chem. Soc., 118, 3922–3929 (1996)) und vertikal
gestapelte organische lichtemittierende Dioden, die Licht in verschiedenen
Wellenlängen
emittieren können
(siehe US-Patent Nr. 5 707 745 und Z. Shen et al., Science, 276,
2009–2011
(1997)).
-
Wie hierin verwendet, bezeichnet
der Begriff "Kleinmolekül" ein nicht-polymeres
organisches, anorganisches oder organometallisches Molekül und der
Begriff "organisches
Kleinmolekül" bezeichnet ein nicht-polymeres
organisches oder organometallisches Molekül. In OEL-Vorrichtungen können Kleinmolekül-Materialien
als Emitterschichten, Ladungstransportschichten, als Dotierstoffe
in Emitterschichten (z. B. zur Steuerung der emittierten Farbe)
oder Ladungstransportschichten und dergleichen verwendet werden.
-
Ein geeignetes Beispiel einer Übertragungsschicht 200 zur
Herstellung einer OEL-Vorrichtung ist in 3A gezeigt. Die Übertragungsschicht 200 umfaßt eine
Anode 202, eine optionale Löchertransportschicht 204,
eine Elektronentransport/Emitterschicht 206 und eine Kathode 208.
Eine separate Elektronentransportschicht (nicht gezeigt) kann zwischen
der Emitterschicht 206 und der Kathode 208 eingefügt sein.
Auch kann eine separate Elektronensperrschicht (nicht gezeigt) zwischen
der Emitterschicht und der Anode eingefügt sein und eine separate Löchersperrschicht
(nicht gezeigt) kann zwischen der Emitterschicht und der Kathode eingefügt sein.
Alternativ kann entweder die Kathode oder die Anode separat an einem
Rezeptor (z. B. als leitfähige
Schicht am Rezeptor oder als strukturierte leitfähige Streifen oder Kontaktflächen (Pads)
am Rezeptor) und nicht in der Übertragungsschicht
vorgesehen sein. Dies ist in 3B für eine anodenlose Übertragungsschicht 200' gezeigt, wobei
mit Strichindex versehene Bezugszeichen verwendet werden, um gemeinsame Schichten
der Übertragungsschicht 200 und 200' zu bezeichnen.
-
Die Übertragungsschicht 200 kann
auch eine oder mehrere Schichten, wie eine Trennschicht 210 und/oder
Klebstoffschicht 212, aufweisen, um die Übertragung
der Übertragungsschicht
zum Rezeptor zu erleichtern. Jede dieser zwei Schichten kann aus
leitfähigen
Polymeren bestehen, um den elektrischen Kontakt mit einer leitfähigen Schicht
oder Struktur am Rezeptor oder mit einer oder mehreren anschließend an
der Übertragungsschicht
erzeugten leitfähigen
Schichten zu erleichtern. Selbstverständlich können die Positionen der Trennschicht
und der Klebstoffschicht in bezug auf die anderen Schichten der Übertragungsschicht
verändert
sein, so daß die Übertragungsschicht 200 so übertragen
werden kann, daß entweder
die Anode oder die Kathode neben der Rezeptoroberfläche angeordnet
wird.
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Für
viele Anwendungen, wie Anwendungen als Anzeige, ist bevorzugt, daß entweder
die Kathode und/oder die Anode für
das von der Elektrolumineszenz-Vorrichtung emittierte Licht durchlässig ist.
Dies hängt von
der Orientierung der Vorrichtung ab (d. h. ob die Anode oder die
Kathode näher
am Rezeptorsubstrat ist), sowie von der Richtung der Lichtemission
(d. h. durch das Rezeptorsubstrat hindurch oder vom Rezeptorsubstrat
weg).
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Die Anode 202 und die Kathode 208 werden
typisch unter Verwendung leitender Materialien hergestellt, wie
Metalle, Legierungen, metallische Verbindungen, Metalloxide, leitfähige Keramiken,
leitfähige
Dispersionen und leitfähige
Polymere, einschließlich
zum Beispiel Gold, Platin, Palladium, Aluminium, Titan, Titannitrid,
Indium-Zinn-Oxid (ITO), Fluor-Zinn-Oxid
(FTO) und Polyanilin. Die Anode 202 und die Kathode 208 können einzelne
Schichten aus leitfähigen
Materialien sein oder sie können
mehrere Schichten aufweisen. Zum Beispiel kann eine Anode oder eine
Kathode eine Schicht Aluminium und eine Schicht Gold, eine Schicht Aluminium
und eine Schicht Lithiumfluorid oder eine Metallschicht und eine
leitfähige
organische Schicht aufweisen. Es kann besonders nützlich sein,
eine zweischichtige Kathode (oder Anode) bereitzustellen, die aus einer
leitfähigen
organischen Schicht (z. B. 0,1 bis 5 μm dick) und aus einer dünnen Schicht
(z. B. 100 bis 1000 Angström)
aus Metall oder einer Metallverbindung besteht. Eine solche zweischichtige
Elektrodenkonstruktion kann widerstandsfähiger gegen Feuchtigkeit oder
Sauerstoff sein, die darunterliegende feuchtigkeits- oder sauerstoffempfindliche
Schichten in einer Vorrichtung (z. B. organische lichtemittierende
Schichten) schädigen können. Eine
solche Schädigung
kann auftreten, wenn es Poren in der dünnen Metallschicht gibt, die
durch die leitfähige
organische Schicht ab gedeckt und versiegelt werden können. Eine
Schädigung
und/oder ein Versagen der Vorrichtung kann durch Reißen oder
Brechen der dünnen
Metallschicht hervorgerufen werden. Das Hinzufügen einer leitfähigen organischen
Schicht kann die Metallschicht widerstandsfähiger gegen Bruch machen oder
kann als Diffusionsbarriere gegen korrodierende Substanzen und als
leitfähige
Brücke
wirken, wenn ein Bruch auftritt.
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Die Löchertransportschicht 204 erleichtert
die Injektion von Löchern
in die Vorrichtung und ihre Wanderung zur Kathode 208.
Die Löchertransportschicht 204 kann
ferner als eine Barriere gegen den Durchgang von Elektronen zur
Anode 202 wirken. Die Löchertransportschicht 204 kann
zum Beispiel Diamin-Derivate
wie N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-diphenylbenzidin
(auch als TPD bekannt) oder andere löcherleitfähige Materialien wie NPB enthalten.
Im allgemeinen kann die Löchertransportschicht
organische Kleinmolekül-Materialien,
leitfähige
Polymere, eine mit einem organischen Kleinmolekül dotierte Polymermatrix und
andere geeignete organische oder anorganische leitende oder halbleitende
Materialien aufweisen.
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Die Elektronentransport/Emitterschicht 206 erleichtert
die Injektion von Elektronen und ihre Wanderung zur Anode 202.
Die Elektronentransport/Emitterschicht 206 kann ferner
als eine Barriere gegen den Durchgang von Löchern zur Kathode 208 wirken.
Die Elektronentransport/Emitterschicht 206 ist oft aus
einer Metallchelatverbindung, wie zum Beispiel Tris(8-hydroxyquinolin)-Aluminium
(ALQ), hergestellt. Emitterschichten (und/oder Elektronentransportschichten)
können
auch lichtemittierende Polymere, wie Poly(phenylenvinylen)e (PPV),
Polyparaphenylene (PPP) und Polyfluorene (PF); organische Kleinmolekül-Materialien,
von denen ALQ ein Beispiel ist; mit organischen Kleinmolekülen dotierte
Polymere; und andere geeignete Materialien aufweisen.
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Die Grenzfläche zwischen der Löchertransportschicht 204 und
der Elektronentransport/Emitterschicht 206 bildet eine
Barriere gegen den Durchgang von Löchern und Elektronen und erzeugt
dadurch eine Löcher/Elektronen-Rekombinationszone
und stellt eine wirkungsvolle organische Elektrolumineszenz- Vorrichtung bereit.
Wenn das Emittermaterial ALQ ist, emittiert die OEL- Vorrichtung
blaugrünes
Licht. Die Emission von Licht in unterschiedlichen Farben kann durch
die Verwendung von unterschiedlichen Emittern und Dotierstoffen
in der Elektronentransport/Emitterschicht 206 erreicht
werden (siehe C. H. Chen et al., "Recent Developments in Molecular Organic
Electroluminescent Materials",
Macromolecular Symposia, 125, 1–48
(1997)).
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Andere mehrschichtige Konstruktionen
einer OEL-Vorrichtung können
unter Verwendung anderer Übertragungsschichten übertragen
werden. Zum Beispiel könnte
die Löchertransportschicht 204 in 3A auch eine Emitterschicht
sein und/oder die Löchertransportschicht 204 und
die Elektronentransport/Emitterschicht 206 könnten in
einer einzigen Schicht zusammengefaßt sein. Ferner könnte eine
separate Emitterschicht zwischen den Schichten 204 und 206 in 3A angeordnet sein.
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Das Strukturieren von OEZ-Materialien
und -schichten zur Herstellung von OEL-Vorrichtungen stellt ein
besonders geeignetes Beispiel bereit, um gewisse Schwierigkeit mit
herkömmlichen
Strukturierungstechniken und die Art und Weise zu veranschaulichen,
wie diese Schwierigkeiten gemäß der vorliegenden
Erfindung überwunden
werden können.
Bei herkömmlichen
Strukturierungstechniken kann es gewisse Materialien oder Schichten
geben, die nicht verwendet werden können, da sie, wenn sie Lösungsmitteln
oder Ätzmitteln ausgesetzt
sind, die zum Auftragen oder Strukturieren anderer Schichten auf
dem Anzeigesubstrat verwendet werden, anfällig dafür sind, angegriffen, durchdrungen
oder aufgelöst
zu werden. Somit kann es Vorrichtungs- und/oder Anzeigekonstruktionen
geben, die mit herkömmlichen
Verfahren nicht hergestellt werden können, weil eine mit Lösungsmittel
aufgetragene Schicht oberhalb einer oder neben einer lösungsmittelempfindlichen Schicht
aufzutragen wäre
oder weil ein Ätzmittel
zu verwenden wäre,
um Schichten oberhalb von oder neben anderen Schichten zu strukturieren,
die auf das Ätzmittel
empfindlich sind. Zum Beispiel kann bei der Herstellung einer OEL-Vorrichtung,
die ei ne Anode an einem Substrat, eine Kleinmolekül-Löchertransportschicht
an der Anode, eine Emitterschicht mit lichtemittierendem Polymer
an der Löchertransportschicht
und eine Kathode an der Emitterschicht aufweist, das Lösungsmittel,
das zum Auftragen des lichtemittierenden Polymers verwendet wird,
unter herkömmlichen
Prozeßtechniken
die Löchertransportschicht
schädigen.
Die gleichen Beschränkungen
können
für herkömmliches
Strukturieren benachbarter OEL-Vorrichtungen gelten, von denen eine
eine Emitterschicht mit lichtemittierendem Polymer und die andere
eine Emitterschicht mit organischem Kleinmolekül aufweist. Diese Beschränkungen
können
unter Verwendung von thermischen Strukturierungsverfahren der vorliegenden
Erfindung überwunden
werden. Das Überwinden
dieser Beschränkungen
erlaubt einen größeren Bereich
möglicher
Vorrichtungskonstruktionen und Materialalternativen und diese wiederum können verwendet
werden, um OEL-Vorrichtungen und -Anzeigen zu erzielen, die Eigenschaften
wie Helligkeit, Lebensdauer, Farbreinheit, Wirkungsgrad usw. haben,
die auf andere Weise nicht erzielt werden könnten. Somit stellt die vorliegende
Erfindung neue Konstruktionen für
OEL-Vorrichtungen
und -Anzeigen (sowie neue Strukturierungsverfahren und neue thermische
Donor-Übertragungselemente)
bereit.
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Stapel aus verschiedenen Typen von
OEL-Materialien und/oder organischen Ladungstransportschichten sowie
andere Schichten der Vorrichtung können durch eine thermische Übertragung
von einem oder mehreren Donorelementen aus hergestellt werden. Zum
Beispiel kann ein Donorelement hergestellt werden, das eine Übertragungsschicht
hat, die eine mit Lösungsmittel
aufgetragene Schicht (z. B. ein lichtemittierendes Polymer, ein
leitfähiges
Polymer usw.) und eine aufgedampfte oder im Vakuum aufgebrachte
Schicht (z. B. eine Emitter- oder Ladungstransportschicht mit organischem
Kleinmolekül
usw.) aufweist. Die mit Lösungsmittel aufgetragene
Schicht kann aus irgendeinem geeigneten Material bestehen, wie dotierte
oder undotierte lichtemittierende Polymere, andere mit Lösungsmittel
auftragbare leitende, halbleitende oder isolierende Mate rialien,
die als Lichtemitter, Ladungsträger
(Elektronen- oder
Löchertransport),
Ladungsisolatoren (Elektronen- oder Löchersperrung), Farbfilter,
Pufferschichten und dergleichen wirken können. Die aufgedampfte Schicht kann
aus irgendeinem geeigneten Material bestehen, einschließlich Lichtemitter
und/oder Ladungsträger
aus organischem Kleinmolekül,
andere aufgedampfte leitende oder halbleitende organische oder anorganische Materialien,
isolierende Materialien und dergleichen. Eine beispielhafte Ausführungsform
ist die, in welcher die aufgedampfte Schicht als Teil der Übertragungsschicht
eines thermischen Donor-Übertragungselements
oberhalb der mit Lösungsmittel
aufgetragenen Schicht aufgetragen wird, so daß, wenn zu einem Rezeptor übertragen,
die aufgedampfte Schicht zwischen der mit Lösungsmittel aufgetragenen Schicht
und dem Rezeptor angeordnet wird. Dies ist besonders nützlich,
wenn das aufgedampfte Material mit dem Lösungsmittel des mit Lösungsmittel
aufgetragenen Materials unverträglich
ist. Alternativ können
unterschiedliche und/oder unverträgliche Schichten oder Schichtstapel
von separaten Donorelementen aus thermisch übertragen werden, um mehrkomponentige
Vorrichtungen oder Strukturen an einem Rezeptor herzustellen. Zum
Beispiel kann ein mit Lösungsmittel
aufgetragenes Material auf oder neben ein vorher strukturiertes
Material übertragen
werden, das mit dem Lösungsmittel
unverträglich
ist.
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Im allgemeinen können mehrkomponentige Übertragungsschichten
thermischer Donor-Übertragungselemente
durch Auftragen einzelner Schichten gemäß den folgenden Richtlinien
hergestellt werden: aufgedampfte organische Kleinmoleküle oder
anorganische Filme können
oberhalb jedes anderen Schichttyps aufgebracht werden; in Lösungsmitteln
gelöste
Kleinmoleküle
oder Polymere können
auf Metallfilme oder auf irgendein anderes Material aufgebracht
werden, das in dem Auftragungslösungsmittel
nicht lösbar
ist; im Wasser gelöste
Kleinmoleküle
oder Polymere können
auf Metallfilme oder auf irgendein anderes Material aufgebracht
werden, das in dem wäßrigen Lösungsmittel
unlöslich
ist. Diese Übertragungsschichten
können
durch selektive thermische Übertragung
auf Rezeptoren strukturiert werden, einschließlich Rezeptoren, die Schichten
haben, die zuvor durch irgendein geeignetes Verfahren strukturiert
und aufgebracht worden sind. Außerdem
kann jeder Schichttyp, der von einem Donorelement aus thermisch
massenübertragen
werden kann, auf oder neben irgendwelche andere thermisch massenübertragene
Schichten übertragen
werden.
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Wie diskutiert, können OEL-Vorrichtungen durch
selektive thermische Übertragung
von einem oder mehreren Donorelementen aus hergestellt werden. Mehrere
Vorrichtungen können
auch auf einen Rezeptor übertragen
werden, um eine aus Pixeln aufgebaute Anzeige herzustellen. Beispielsweise
kann eine optische Anzeige hergestellt werden, wie in den 4A bis 4C gezeigt ist. Zum Beispiel können grüne OEL-Vorrichtungen 302 auf
das Rezeptorsubstrat 300 übertragen werden, wie in 4A gezeigt ist. Anschließend können blaue
OEL-Vorrichtungen 304 und dann rote OEL-Vorrichtungen 306 übertragen
werden, wie in den 4B und 4C gezeigt ist. Die grünen, blauen
und roten OEL-Vorrichtungen 302, 304, 306 werden
jeweils separat unter Verwendung von jeweils grünen, blauen und roten thermischen Übertragungselementen übertragen.
Alternativ könnten
die roten, grünen
und blauen thermischen Übertragungselemente übereinander
liegend übertragen
werden, um eine mehrfarbige gestapelte OLED-Vorrichtung des im US-Patent
Nr. 5 707 745 offenbarten Typs herzustellen. Ein anderes Verfahren
zur Herstellung einer Vollfarbenvorrichtung umfaßt Aufbringen von Säulen aus
Löchertransportschichtmaterial
und dann anschließend
Aufbringen von roten, grünen
und blauen mehrkomponentigen Elektronentransport/Emitterschicht-Übertragungseinheiten
entweder parallel oder senkrecht zum Löchertransportmaterial. Ein
weiteres Verfahren zur Herstellung einer Vollfarbenvorrichtung umfaßt Aufbringen
roter, grüner
und blauer Farbfilter (entweder herkömmliche Transmissionsfilter,
Fluoreszenzfilter oder phosporeszierende Stoffe) und dann Aufbringen
mehrkomponentiger Übertragungseinheiten,
die Emittern für
weißes
Licht oder blaues Licht entsprechen.
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Ein weiteres Verfahren zur Herstellung
von mehrfarbigen, aus Pixeln aufgebauten OEL-Anzeigen ist, rote,
grüne und
blaue Emitter (zum Beispiel) von drei separaten Donoren aus zu strukturieren
und dann in einem separaten Schritt, alle Kathoden (und optional
Elektronentransportschichten) von einem einzigen Donorelement aus
zu strukturieren. Auf diese Weise wird jede OEL-Vorrichtung durch
mindestens zwei thermische Übertragungen
strukturiert, wobei die erste den Emitterabschnitt (und optional
eine Klebstoffschicht, eine Pufferschicht, Anode, Löcherinjektionsschicht,
Löchertransportschicht,
Elektronensperrschicht und dergleichen) strukturiert und die zweite
den Kathodenabschnitt (und optional eine Elektroneninjektionsschicht,
Elektronentransportschicht, Löchersperrschicht
und dergleichen) strukturiert. Ein Vorteil der Aufteilung der Vorrichtungsschichten
auf zwei oder mehrere Donorelemente (z. B. einen Emitterdonor und
einen Kathodendonor) ist, daß die
gleichen Donorelemente verwendet werden können, um den Emitterabschnitt
von OEL-Vorrichtungen für Anzeigekonstruktionen
sowohl mit passiver als auch mit aktiver Matrix zu strukturieren.
Im allgemeinen haben Anzeigen mit aktiver Matrix eine gemeinsame
Kathode, die oberhalb von allen Vorrichtungen aufgebracht ist. Für diese
Konstruktion ist eine Übertragung
eines Emitterstapels, der eine Kathode enthält, nicht notwendig, und es
kann wünschenswert
sein, einen kathodenlosen Übertragungsstapel
zu haben. Für
Anzeigen mit passiver Matrix können
kathodenlose Donoren verwendet werden, um die jeweiligen Emitterabschnitte
(einen unterschiedlichen Donor für
jede Farbe, wenn Mehrfarbigkeit gewünscht wird) zu übertragen,
gefolgt von Strukturierung der Kathoden für die jeweilige Vorrichtung
vom gleichen separaten Donorelement aus. Somit können verschiedenartige Emitterdonoren
für verschiedenartige
Anzeigekonstruktionen verwendet werden, während alle den gleichen oder
einen ähnlichen
Kathodendonortyp verwenden.
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Ein anderer Vorteil der vorliegenden
Erfindung ist, daß zum
Beispiel OEL-Vorrichtungen gemäß den beschriebenen
Verfahren übertragen
und strukturiert werden können,
um benach barte Vorrichtungen herzustellen, die unterschiedliche
und ansonsten unverträgliche
Typen von Emittermaterialien haben. Zum Beispiel können rotemittierende
Vorrichtungen mit organischem Kleinmolekül (die z. B. eine aktive, aufgedampfte
Kleinmolekülschicht
verwenden) auf dem gleichen Rezeptor strukturiert werden wie blauemittierende
Vorrichtungen mit lichtemittierendem Polymer (die z. B. eine aktive
mit einer Lösung
aufgetragene lichtemittierende Polymerschicht verwenden). Dies erlaubt
eine Flexibilität
bei der Wahl von lichtemittierenden Materialien (und anderen Schichtmaterialien
der Vorrichtung) eher auf der Basis der Funktionalität (z. B.
Helligkeit, Wirkungsgrad, Lebensdauer, Leitfähigkeit, physikalische Eigenschaften
nach der Strukturierung (z. B. Elastizität usw.)) als auf der Basis
der Verträglichkeit
mit speziellen Auftragungs- und/oder Strukturierungsverfahren, die
für die
anderen Materialien in der gleichen oder in benachbarten Vorrichtungen
verwendet werden. Die Möglichkeit
der Wahl unterschiedlicher Typen von Emittermaterialien für verschiedene
Farbvorrichtungen in einer OEL-Anzeige kann eine größere Flexibilität bei der
Wahl ergänzender
Eigenschaften der Vorrichtung bieten. Die Möglichkeit der Verwendung unterschiedlicher
Emittertypen kann auch wichtig werden, wenn das bevorzugte Emittermaterial
für eine
OEL-Vorrichtung mit dem bevorzugten Emittermaterial für eine andere
OEL-Vorrichtung unverträglich
ist.
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Mit Bezug wieder auf 4 zeigt dieses Beispiel auch andere Vorteile
der Verwendung von thermischen Übertragungselementen,
um mehrere verschiedene Vorrichtungen an einem Rezeptor zu strukturieren. Zum
Beispiel kann die Anzahl der Prozeßschritte im Vergleich mit
herkömmlichen
photolithographischen Verfahren verringert werden, da viele der
Schichten jeder OEL-Vorrichtung gleichzeitig übertragen werden können, anstatt
daß mehrere Ätz- und
Maskenschritte verwendet werden. Zudem können mehrere Vorrichtungen und
Strukturen unter Verwendung der gleichen Abbildungseinrichtungen
erzeugt werden. Nur das thermische Übertragungselement muß für jede der
verschiedenen Vorrichtungen 302, 304, 306 gewechselt
werden.
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Das Rezeptorsubstrat kann irgendein
Gegenstand sein, der für
eine spezielle Anwendung geeignet ist, einschließlich, aber nicht darauf beschränkt, durchsichtige
Folien, schwarze Anzeigematrizen (Blackmatrix), passive und aktive
Abschnitte von elektronischen Anzeigen (z. B. Elektroden, Dünnschicht-Transistoren, organische
Transistoren usw.), Metalle, Halbleiter, Glas, verschiedene Papiere
und Kunststoffe. Nicht einschränkende
Beispiele für
Rezeptorsubstrate, die in der vorliegenden Erfindung verwendet werden
können,
umfassen anodisch oxidiertes Aluminium und andere Metalle, Kunststoff-Folien (z. B. Polyethylenterephthalat,
Polypropylen), mit Indium-Zinn-Oxid beschichtete Kunststoff-Folien,
Glas, mit Indium-Zinn-Oxid beschichtetes Glas, biegsame Schaltungen,
Leiterplatten, Silizium oder andere Halbleiter und eine Reihe von
unterschiedlichen Papiertypen (z. B. beschwert oder unbeschwert,
satiniert, beschichtet). Für
OEL-Anzeigen hängt
der verwendete Rezeptortyp oft davon ab, ob die Anzeige eine Top-Emission-Anzeige
ist (Vorrichtungen sind zwischen dem Betrachter und dem Rezeptorsubstrat
angeordnet) oder eine Bottom-Emission-Anzeige ist (Rezeptorsubstrat
ist zwischen dem Betrachter und den Vorrichtungen angeordnet). Für eine Top-Emission-Anzeige muß der Rezeptor
nicht lichtdurchlässig
sein. Für
eine Bottom-Emission-Anzeige ist typisch ein lichtdurchlässiges Rezeptorsubstrat
erwünscht.
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Verschiedene Schichten (z. B. eine
Klebstoffschicht) können
auf das Rezeptorsubstrat aufgetragen werden, um die Übertragung
der Übertragungsschicht
zum Rezeptorsubstrat zu erleichtern. Andere Schichten können auf
das Rezeptorsubstrat aufgetragen werden, um einen Teil einer mehrschichtigen
Vorrichtung zu erzeugen. Zum Beispiel kann eine OEL-Vorrichtung
oder eine andere elektronische Vorrichtung unter Verwendung eines
Rezeptorsubstrats hergestellt werden, das eine Metall- und/oder leitfähige organische
Anode oder Kathode hat, die vor einer Übertragung der Übertragungsschicht
vom thermischen Übertragungselements
aus auf dem Rezeptorsubstrat erzeugt worden ist. Die Anode oder
Kathode kann zum Beispiel durch Auftragen einer oder mehrerer leitfähiger Schichten
auf das Rezeptorsubstrat und Strukturierung der Schicht in eine
oder mehrere Anoden oder Kathoden unter Verwendung irgendeines geeigneten
Verfahrens, zum Beispiel photolithographischer Verfahren oder der
hierin gelehrten thermischen Übertragungsverfahren,
hergestellt werden.
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Ein besonders nützliches Rezeptorsubstrat zum
Strukturieren von mehrschichtigen Vorrichtungen ist dasjenige, das
eine gemeinsame Elektrode oder eine Anordnung von Elektroden zusammen
mit einer Anordnung von isolierenden Barrieren oberhalb der Elektrode(n)
hat. Die isolierenden Barrieren können in einer solchen Anordnung
bereitgestellt werden, die der vorgesehenen Anordnung der Kanten
der mehrschichtigen Vorrichtungen entspricht, um dazu beizutragen,
elektrische Kurzschlüsse
zwischen der/den Rezeptorelektrode(n) und der zusammen mit oder
oben auf einem mehrschichtigen Stapel übertragenen Gegenelektrode
zu verhindern. Dies ist besonders in Anzeigen mit passiver Matrix
nützlich.
Auch in Anzeigekonstruktionen mit aktiver Matrix können die
isolierenden Barrieren dazu beitragen, die Transistoren der aktiven
Matrix von der gemeinsamen Elektrode zu isolieren, die allgemein
vorgesehen ist. Dies kann dazu beitragen, Leckströme und parasitäre Kapazitäten zu verhindern,
die den Wirkungsgrad der Vorrichtung verringern können.
-
Zum Beispiel zeigt 5A eine Querschnittansicht eines Rezeptors 500,
der ein Substrat 501, eine darauf angeordnete gemeinsame
Elektrode 502 und einen auf der Elektrode 502 angeordneten
Satz paralleler isolierender Streifen 504 aufweist. 5A zeigt auch ein Donorelement 510,
das eine mehrkomponentige Übertragungsschicht 505 hat,
die mindestens zwei Schichten, eine Elektrodenschicht 508 und
eine Emitterschicht 506 aufweist. Die Übertragungsschicht 505 soll
als parallele Linien auf den Rezeptor 500 übertragen werden,
so daß,
wenn ein elektrisches Feld zwischen der Rezeptorelektrode 501 und
der Vorrichtungselektrode 508 angelegt wird, die Emitterschicht 506 Licht
emittieren kann. Erfahrungsgemäß (und größtenteils
aufgrund der Dünne
der Schichten 506 und 508) könnte es möglich sein, daß nach der Übertragung
Teile der Elektrodenschicht 508 an den Kanten der übertragenen
Linien mit Teilen des Rezeptors im Kontakt sind. Falls dies geschehen
würde,
könnte
die Emittervorrichtung aufgrund eines oder mehrerer elektrischen
Kurzschlüsse funktionsuntüchtig gemacht
werden. Die isolierenden Barrieren 504 können somit
auf dem Rezeptor (durch thermische Übertragung oder andere geeignete
Mittel) strukturiert werden, um Bereiche zu bedekken, wo die Kanten
der Übertragungsschichten
nach der Übertragung
angeordnet sein werden. Wenn somit die Schicht 508 die
Schicht 506 an den Kanten der übertragenen Linien überdeckt,
wie in 5B gezeigt ist,
wird die Schicht 508 mit der isolierenden Schicht 504 im
Kontakt sein und die gesamte Vorrichtung wird nicht aufgrund des
Kontakts mit der darunter liegenden Elektrode 502 an den
Kanten kurzschließen.
Isolierende Barrieren können
sowohl für
Anzeigen mit passiver Matrix als auch für Anzeigen mit aktiver Matrix
verwendet werden.
-
Ein anderes für die Strukturierung von OEL-Vorrichtungen
nützliches
Rezeptorsubstrat ist dasjenige, das Elektrodenpads zum Anschließen der
Kathode der Vorrichtung an das elektronische Ansteuerungssystem aufweist.
Zum Beispiel zeigt 6 einen
Rezeptor 600 für
eine Anzeige mit passiver Matrix, der in parallelen Linien angeordnete
Anoden 612a, 612b, 612c usw. und mehrere
Kontaktpads 602a, 602b, 602c, 602d usw. zum
Anschluß an
die Kathoden der Vorrichtung aufweist. Parallele Linien können dann
von einem oder mehreren Donorelementen aus übertragen werden, um mehrschichtige
Stapel 610a, 610b, 610c, 610d usw.
herzustellen, um die OEL-Vorrichtungen fertigzustellen. Eine OEL-Vorrichtung
befindet sich jeweils da, wo sich eine Anodenlinie und eine Linie
des mehrschichtigen Stapels kreuzen. An den Kreuzungsabschnitten
ist eine Emitterschicht (eine optionale Elektronentransport/ und
Löchertransport/Emitterschicht
sowie andere Schichten) zwischen einer Anode und einer Kathode angeordnet.
Jede Linie 610 endet an einem Ende neben einem Elektrodenpad 602.
Das Leitermaterial kann dann in und um Bereiche 604a, 604b, 604c, 604c usw.
aufgebracht werden, um die Kathoden mit den Elektrodenpads zu verbinden,
die wiederum mit der Ansteuerungselektronik verbunden werden können. Leitermaterial
kann unter Verwendung irgendeines geeigneten Verfahrens, einschließlich Photolithographie
und maskenbasierendes Aufdampfen in den Bereichen 604 aufgebracht werden.
Alternativ kann Leitermaterial, wie ein organischer Leiter, durch
thermische Übertragung
von einem Donorelement aus selektiv in die Bereiche 604 übertragen
werden. Wie oben beschrieben, kann eine thermische Übertragung
von einem Donorelement aus verwendet werden, um Naßätzschritte
zu eliminieren, die für photolithographische
oder Maskenverfahren erforderlich sind. Thermisch übertragene
organische leitfähige Schichten
können
auch verwendet werden, um die Enden der mehrschichtigen Stapel einzukapseln,
was die lichtemittierenden Schichten vor korrodierenden Stoffen
schützt.
Während 6 die Situation für eine Anzeige mit
passiver Matrix zeigt, ist das Konzept der thermischen Übertragung
eines organischen Leiters, um die Vorrichtung mit einem Elektrodenpad
zu verbinden, gleichermaßen
auf Anzeigen mit aktiver Matrix anwendbar.
-
Beispiele
-
In den folgenden Beispielen wurden
alle im Vakuum aufgebrachten Materialien thermisch verdampft und
bei Raumtemperatur abgeschieden. Die Abscheidungsrate und Dicke
jeder im Vakuum abgeschiedenen Schicht wurde mit einer Quarzkristall-Mikrowaage (Leybold
Inficon Inc., East Syracuse, NY) überwacht. Der Hintergrunddruck
(Kammerdruck vor der Abscheidung) war ungefähr 1 × 10–5 Torr
(1,3 × 10–3 Pa).
-
Das Laserübertragungssystem umfaßte einen
CW Nd : YAG-Laser,
einen akusto-optischen Modulator, parallel richtende und strahlausweitende
Optiken, einen optischen Isolator, ein lineares Galvanometer und
eine f-Theta-Abtastlinse. Der ND : YAG-Laser wurde im TEM 00 Modus
betrieben und erzeugt eine Gesamtleistung von 7,5 Watt. Das Abtasten
wurde mit einem hochpräzisen
linearen Galvanometer (Cambridge Technology Inc., Cambridge, MA)
ausgeführt.
Der Laser wurde auf einen Gaußschen
Fleck fokussiert, mit einem gemessenen Durchmesser zwischen 100 μm und 140 μm am Intensitätsniveau
1/e2. Der Fleck wurde unter Verwendung einer
f-Theta-Abtastlinse über
die Abtastbreite konstant gehalten. Der Laserfleck tastete mit einer
Geschwindigkeit von ungefähr
5 Meter/Sekunde die Bildfläche
ab. Die f-Theta-Abtastlinse hielt die Abtastgeschwindigkeit gleichmäßig innerhalb
von 0,1% und die Fleckgröße innerhalb ±3 μm konstant.
-
Beispiel 1: Herstellung
eines Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Elements
-
Eine Licht-Wärme-Umwandlungsschicht aus
Carbon-Black wurde hergestellt durch Auftragen der folgenden LTHC-Auftragungslösung gemäß Tabelle
1 auf ein 0,1 mm dickes PET-Substrat
mit einer Auftragungsmaschine "Yasui
Seiki Lab Coater",
Modell CAG-150 (Yasui Seiki Co., Bloomington, IN) unter Verwendung
einer Mikrogravurwalze mit 381 Spiralzellen pro laufendem cm (150
Spiralzellen pro laufendem Zoll).
-
Tabelle
1
Auftragungslösung
für die
LTHC-Schicht
-
Die Schicht wurde bei 40°C in der
Fertigungslinie getrocknet und mit 6,1 m/min (0,1017 ms–1)
unter Verwendung eines mit H-Kolben ausgestatteten UV-Aushärtungssystems "Fusion Systems Modell
I600" (400 W/in)
(Fusion UV Systems, Inc., Gaithersburg, MD) mit UV-Licht ausgehärtet. Die
getrocknete Schicht hatte eine Dicke von ungefähr 3 μm.
-
Auf die Carbon-Black-Schicht der
Licht-Wärme-Umwandlungsschicht
wurde mittels Rotationstiefdruck eine Zwischenschicht-Auftragungslösung gemäß Tabelle
2 unter Verwendung der Auftragungsmaschine "Yasui Seiki Lab Coater", Modell CAG-150 (Yasui Seiki
Co., Bloomington, IN) aufgetragen. Diese Schicht wurde in der Fertigungslinie
getrocknet (40°C)
und mit 6,1 m/min unter Verwendung eines mit H-Kolben ausgestat teten
UV-Aushärtungssystems "Fusion Systems, Modell
I600" (600 W/in)
mit UV-Licht ausgehärtet.
Die Dicke der resultierenden Zwischenschicht war ungefähr 1,7 μm.
-
Tabelle
2
Auftragungslösung
für die
Zwischenschicht
-
Beispiel 2: Herstellung
eines anderen Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Elements
-
Eine Licht-Wärme-Umwandlungsschicht aus
Carbon-Black wurde hergestellt durch Auftragen der folgenden LTHC-Auftragungslösung gemäß Tabelle
3 mit der Auftragungsmaschine "Yasui
Seiki Lab Coater", Modell
CAG-150 (Yasui Seiki Co., Bloomington, IN) unter Verwendung einer
Mikrogravurwalze mit 228,6 Spiralzellen pro laufendem cm (90 Spiralzellen
pro laufendem Zoll) auf ein 0,1 mm dickes PET-Substrat.
-
Tabelle
3
Auftragungslösung
für LTHC-Schicht
-
Die Schicht wurde bei 40°C in der
Fertigungslinie getrocknet und mit 6,1 m/min (0,1017 ms–1)
unter Verwendung eines mit H-Kolben ausgestatteten W-Aushärtungssystems "Fusion Systems Modell
I600" (400 W/in)
mit W-Licht ausgehärtet.
Die getrocknete Schicht hatte eine Dicke von ungefähr 3 μm.
-
Auf die Carbon-Black-Schicht der
Licht-Wärme-Umwandlungsschicht
wurde mittels Rotationstiefdruck eine Zwischenschicht-Auftragungslösung gemäß Tabelle
4 unter Verwendung der Auftragungsmaschine "Yasui Seiki Lab Coater", Modell CAG-150 (Yasui Seiki
Co., Bloomington, IN) aufgetragen. Diese Schicht wurde in der Fertigungslinie
getrocknet (40°C)
und mit 6,1 m/min (0,1017 ms–1) unter Verwendung
eines mit H-Kolben ausgestatteten
W-Aushärtungssystems "Fusion Systems, Modell
I600" (600 W/in)
mit W-Licht ausgehärtet.
Die Dicke der resultierenden Zwischenschicht war ungefähr 1,7 μm.
-
Tabelle
4 Auftragungslösung
für Zwischenschicht
-
Beispiel 3: Thermisches
Löchertransport-Übertragungselement
-
Ein thermisches Löchertransport-Übertragungselement
wurde unter Verwendung des Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Elements
von Beispiel 1 hergestellt. Eine Löchertransport-Auftragungslösung, die durch
Mischen der Komponenten von Tabelle 5 hergestellt wurde, wurde unter
Verwendung eines #6-Mayer-Stabs auf die Zwischenschicht aufgetragen.
Die Schicht wurde für
10 Minuten bei 60°C
getrocknet.
-
Tabelle
5
Löchertransport-Auftragungslösung
-
Beispiel 4: Thermisches
OEL-Kleinmolekül-Übertragungselement
-
Ein thermisches OEL-Übertragungselement
mit einer mehrkomponentigen Übertragungsschicht
wurde durch Auftragen von Schichten auf ein gemäß Beispiel 1 hergestelltes
Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Element hergestellt. Eine 200 Å dicke
Schicht aus Kupferphthalocyanin wurde als halbleitende Trennschicht
auf die Zwischenschicht aufgebracht. Dann wurde eine 250 Å dicke
Schicht Aluminium als Kathodenschicht aufgebracht. Eine 10 Å dicke
Schicht Lithiumfluorid wurde auf das Aluminium aufgebracht. Dann
wurde eine 300 Å dicke
Schicht aus Tris(8-hydroxyquinolinato)Aluminium (ALQ) als Elektronentransportschicht
aufgebracht. Schließlich
wurde eine 200 Å dicke
Schicht aus N,N'-Bis(3-methylphenyl)-N,N'-diphenylbenzidin
(TPD) als Löchertransportschicht
aufgebracht.
-
Beispiel 5: Herstellung
einer OEL-Kleinmolekül-Vorrichtung
-
Ein Rezeptorsubstrat aus einem mit
Indium-Zinn-Oxid (ITO) (spezifischer Widerstand: 10 Ω/Quadrat, Thin
Film Devices Inc., Anaheim, CA) bedecktem Glas wurde verwendet,
um die Anode der OEL-Vorrichtung herzustellen. Zuerst wurde das
thermische Löchertransport-Übertragungselement
von Beispiel 3 auf den Rezeptor abgebildet. Dem folgte die Abbildung
des thermischen OEL-Kleinmolekül-Übertragungselements
von Beispiel 4, um die OEL-Vorrichtung fertigzustellen.
-
Bei jeder Übertragung wurde die Übertragungsschichtseite
des thermischen Übertragungselements
in einer Unterdruckspannvorrichtung in engem Kontakt mit dem Rezeptor
gehalten. Ein Laser wurde auf die Substratseite des thermischen Übertragungselements
gerichtet. Die Belichtungen wurden so ausgeführt, daß die zwei Übertragungsschichten mit der
korrekten gegenseitigen Ausrichtung übertragen wurden. Dies erzeugte 120 μm breite
Linien. Die fertige OEL-Vorrichtung hatte Schichten in der folgenden
Reihenfolge (von oben nach unten):
Aluminiumkathode
Lithiumfluorid
ALQ-Elektronentransportschicht/Emitter
TPD-Löchertransportschicht
(vom thermischen OEL-
Übertragungselement)
TPD-Löchertransportschicht
(vom thermischen Löchertransport-Übertragungselement)
ITO-
und Glasrezeptor
-
Ein elektrischer Kontakt wurde an
der ITO-Anode und der Aluminiumkathode hergestellt. Wenn ein Potential
angelegt wurde, erzeugte die OEL-Vorrichtung visuell wahrnehmbares
Licht. Der Injektionsstrom wurde als Funktion des angelegten Potentials
(Spannung) überwacht,
das kontinuierlich von 0 Volt auf 10–30 Volt erhöht wurde.
An einem Punkt wurde ein Durchfluß von 70 μA bei 10 Volt durch eine Vorrichtung
von 42 mm × 80 μm gemessen.
Dies entspricht einer Stromdichte von ungefähr 2 mA/cm2.
Die Stromdichte liegt gut im normalen Betriebsbereich von Kleinmolekül-Vorrichtungen,
die unter Verwendung herkömmlicher
Verfahren direkt an einem Rezeptorsubstrat gefertigt werden.
-
Beispiel 6: Ein anderes
thermisches OEL-Kleinmolekül-Übertragungselement
-
Ein thermisches OEL-Übertragungselement
mit einer mehrkomponentigen Übertragungsschicht
wurde durch Auftragen von Schichten auf ein gemäß Beispiel 1 hergestelltes
Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Element hergestellt. Als erstes wurde
eine Grundierungslösung
gemäß Tabelle
6 unter Verwendung eines #3-Mayer Stabs aufgetragen. Die Schicht
wurde bei ungefähr
60°C für ungefähr 5 Minuten
getrocknet.
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Tabelle
6
Grundierungslösung
-
Eine 200 Å dicke Schicht aus Kupferphthalocyanin
wurde als halbleitende Trennschicht auf die Grundierungsschicht
aufgebracht. Dann wurde eine 250 Å dicke Schicht Aluminium als
Kathodenschicht aufgebracht. Eine 10 Å dicke Schicht aus Lithiumfluorid
wurde auf das Aluminium aufgebracht. Dann wurde eine 300 Ådicke Schicht
aus ALQ als Elektronentransportschicht aufgebracht. Schließlich wurde
eine 200 Å dicke Schicht
aus TPD als Löchertransportschicht
aufgebracht.
-
Beispiel 7: Übertragung
von Teilen einer OEL-Kleinmolekül-Übertragungsschicht
auf ein biegsames Substrat
-
Das Rezeptorsubstrat bestand aus
einem Stück
einer ungefähr
100 μm (4
Millizoll) dicken PET-Folie (nicht grundiert HPE100, Teijin Ltd.,
Osaka, Japan). Zuerst wurde das thermische Löchertransport-Übertragungselement
von Beispiel 3 auf den Rezeptor abgebildet. Dann wurde das thermische
OEL-Übertragungselement
von Beispiel 6 auf die Löchertransportschicht
abgebildet.
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Bei jeder Übertragung wurde die Übertragungsschichtseite
des thermischen Übertragungselements
in einer Unterdruckspannvorichtung in engem Kontakt mit dem Rezeptor
gehalten. Ein Laser wurde auf die Substratseite des thermischen Übertragungselements
gerichtet. Die Belichtungen wurden so ausgeführt, daß die zwei Übertragungsschichten mit der
korrekten gegenseitigen Ausrichtung übertragen wurden. Dies erzeugte 120 μm breite
Linien. Die fertige Konstruktion hatte Schichten in der folgenden
Reihenfolge (von oben nach unten):
Aluminiumkathode
Lithiumfluorid
ALQ-Elektronentransportschicht/Emitter
TPD-Löchertransportschicht
(vom thermischen OEL-Übertragungselement)
TPD-Löchertransportschicht
(vom thermischen Löchertransport-Übertragungselement)
PET-Rezeptor
-
Beispiel 8: Thermisches
OEL-Übertragungselement
für lichtemittierendes
Polymer
-
Ein thermisches OEL-Übertragungselement
mit einer mehrkomponentigen Übertragungsschicht
wurde durch Auftragen von Schichten auf ein gemäß Beispiel 1 hergestelltes
Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Element hergestellt. Eine 100 Å dicke
Schicht aus Kupferphthalocyanin wurde als Trennschicht auf die Zwischenschicht
aufgebracht. Dann wurde eine 450 Å dicke Schicht aus Aluminium
als Kathodenschicht aufgebracht. Eine Auftragungslösung für lichtemittierendes
Polymer wurde dann durch Zugabe von 2 Gew.% Poly(9,9-di-n-octylfluoren)
(in diesen Beispielen als "PFC8" bezeichnet) in Toluen
und dann Verdünnen
der Lösung
mit MEK, bis eine Konzentration des PFC8 von 1 Gew.% erreicht war,
hergestellt. PFC8 ist ein blauemittierendes Polyfluoren-Material,
das die unten gezeigte chemische Struktur hat und das gemäß den im
US-Patent Nr. 5 777 070 offenbarten Verfahren synthetisiert werden
kann.
-
-
Die Auftragungslösung wurde unter Verwendung
eines #6-Mayer-Stabs
per Hand auf die Aluminiumschicht aufgetragen und getrocknet, um
eine 1000 Å dicke
Schicht aus PFC8 als blauemittierende Schicht herzustellen. Schließlich wurde
als Löchertransportschicht
eine 500 Å dicke
Schicht aus NPB aufgebracht.
-
Beispiel 9: Eine anderes
thermisches OEL-Übertragungselement
für lichtemittierendes
Polymer
-
Ein thermisches OEL-Übertragungselement
mit einer mehrkomponentigen Übertragungsschicht
wurde durch Auftragen von Schichten auf ein gemäß Beispiel 1 hergestelltes
Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Element hergestellt. Eine 100 Å dicke
Schicht aus Kupferphthalocyanin wurde als Trennschicht auf die Zwischenschicht
aufgebracht. Dann wurde eine 450 Å dicke Schicht aus Aluminium
als Kathodenschicht aufgebracht. Eine Auftragungslösung für lichtemittierendes
Polymer wurde dann durch Zugabe von 2 Gew.% eines Copolymers von
PFC8 und Benzothiadiazol (in diesen Beispielen wird das Copolymer
als "PFC8/BDTZ" bezeichnet) in Toluen
und dann Verdünnen
der Lösung
mit MEK, bis eine Konzentration des PFC8/BTDZ-Copolymers von 1 Gew.%
erreicht war, hergestellt. PFC8/BDTZ ist ein grünemittierendes Polyfluoren-Copolymer.
Die Auftragungslösung
wurde unter Verwendung eines #6-Mayer-Stabs per Hand auf die Aluminiumschicht
aufgetragen und getrocknet, um eine 1000 Å dicke Schicht aus PFC8/BTDZ
als grünemittierende
Schicht herzustellen. Schließlich
wurde eine 500 Å dicke
Schicht aus NPB als Löchertransportschicht
aufgebracht
-
Beispiel 10: Herstellung
einer OEL-Vorrichtung mit lichtemittierendem Polymer
-
Eine Rezeptorsubstrat aus einem mit
ITO (spezifischer Widerstand von 10 Ω/Quadrat, Thin Film Devices
Inc., Anaheim, CA) bedeckten Glas wurde verwendet, um die Anode
der OEL-Vorrichtungen
herzustellen. Das mit ITO bedeckte Glas wurde dann bei 3000 r.p.m.
(50 s–1)
im Schleuderverfahren mit einer wäßrigen Lösung aus 2,5 Gew.% Polypyrrol
beschichtet. Die Polypyrrolschicht wurde dann bei 80°C für 5 Minuten
getrocknet, um eine Pufferschicht auf dem Rezeptorsubstrat zu erzeugen.
-
Eine blauemittierende Polymer-Vorrichtung
wurde hergestellt, wenn das thermische Übertragungselement von Beispiel
8 auf den Rezeptor abgebildet wurde. Die Übertragungsschichtseite des
thermischen Übertragungselements
von Beispiel 8 wurde in einer Unterdruckspannvorrichtung in engem
Kontakt mit dem Rezeptor gehalten. Ein Laser wurde auf die Substratseite
des thermischen Übertragungselements
gerichtet, wobei eine Dosis von 0,6 J/cm2 verwendet
wurde. Dies erzeugte 100 μm
breite Linien. Die fertige OEL-Vorrichtung hatte Schichten in der
folgenden Reihenfolge (von oben nach unten):
Aluminiumkathode
blaues
Licht emittierende PFC8-Polymerschicht
NPB-Löchertransportschicht
Polypyrrol-Pufferschicht
(direkt auf den Rezeptor aufgetragen)
ITO- und Glasrezeptor
-
Ein elektrischer Kontakt wurde an
der ITO-Anode und der Aluminiumkathode hergestellt. Wenn ein Potential
angelegt wurde, erzeugte die OEL-Vorrichtung visuell wahrnehmbares
blaues Licht.
-
Beispiel 11: Herstellung
einer anderen OEL-Vorrichtung mit lichtemittierendem Polymer
-
Ein Rezeptorsubstrat aus einem mit
ITO (spezifischer Widerstand von 10 Ω/Quadrat, Thin Film Devices
Inc., Anaheim, CA) bedeckten Glas wurde verwendet, um die Anode
der OEL-Vorrichtungen
herzustellen. Das mit ITO bedeckte Glas wurde dann bei 3000 r.p.m.
(50 s–1)
im Schleuderverfahren mit einer wäßrigen Lösung aus 2,5 Gew.% Polypyrrol
beschichtet. Die Polypyrrolschicht wurde dann bei 80°C für 5 Minuten
getrocknet, um eine Pufferschicht auf dem Rezeptorsubstrat zu erzeugen.
-
Eine grünemittierende Polymer-Vorrichtung
wurde erzeugt, wenn das thermische Übertragungselement von Beispiel
8 auf den Rezeptor abgebildet wurde. Die Übertragungsschichtseite des
thermischen Übertragungselements
von Beispiel 9 wurde in einer Unterdruckspannvorrichtung in engem
Kontakt mit dem Rezeptor gehalten. Ein Laser wurde auf die Substratseite
des thermischen Übertragungselements
gerichtet, wobei eine Dosis von 0,6 J/cm2 verwendet
wurde. Dies erzeugte 100 μm
breite Linien. Die fertige OEL-Vorrichtung hatte Schichten in der
folgenden Reihenfolge (von oben nach unten):
Aluminiumkathode
grünes Licht
emittierende PFC8/BTDZ-Polymerschicht
NPB-Löchertransportschicht
Polypyrrol-Pufferschicht
(direkt auf den Rezeptor aufgetragen)
ITO- und Glasrezeptor
-
Ein elektrischer Kontakt wurde an
der ITO-Anode und der Aluminiumkathode hergestellt. Wenn ein Potential
angelegt wurde, erzeugte die OEL-Vorrichtung visuell wahrnehmbares
grünes
Licht.
-
Die Beispiele 8 bis 11 zeigen, daß OEL-Vorrichtungen,
die mit Lösungsmittel
aufgetragene lichtemittierende Polymerschichten haben, die oberhalb
von im Vakuum abgeschiedenen organischen Kleinmolekülschichten
angeordnet sind, auf Substrate strukturiert werden können. Erreicht
wurde dies durch Herstellung von Donorelementen, die organisches
Kleinmolekül-Material hatten,
das auf getrocknete, mit Lösungsmitteln
aufgetragene lichtemittierende Polymerschichten aufgedampft wurde,
und dann selektives Übertragen
des mehrkomponentigen Übertragungsstapels
auf ein Rezeptorsubstrat.
-
Beispiel 12: Thermisches
Kathodenschicht-Übertragungselement
-
Ein thermisches Kathodenschicht-Übertragungselement
wurde unter Verwendung des Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Elements
von Beispiel 1 hergestellt. Eine 100 Å dicke Schicht aus Kupferphthalocyanin
wurde als Trennschicht auf die Zwischenschicht aufgebracht. Dann
wurde eine 450 Å dicke
Schicht Aluminium als Kathodenschicht aufgebracht. Schließlich wurde
eine 500 Å dicke
Schicht aus 3-(4-Biphenyl)-4-phenyl-5-(4-tertbutylphenyl)-1,2,4-triazol (TAZ-01)
als organische Kleinmolekül-Elektronentransport/Haftunterstützungsschicht
auf die Aluminiumschicht aufgebracht.
-
Beispiel 13: Thermisches Übertragungselement
für lichtemittierendes
Polymer
-
Ein thermisches Übertragungselement für lichtemittierendes
Polymer mit einer einkomponentigen Übertragungsschicht wurde hergestellt.
Eine Auftragungslösung
für das
lichtemittierende Polymer wurde durch Zugabe von 2 Gew.% PFC8 in
Toluen und dann Verdünnen
der Lösung
mit MEK, bis eine Konzentration des PFC8 von 1 Gew.% erreicht war,
hergestellt. Die Auftragungslösung
wurde unter Verwendung eines #6-Mayer-Stabs per Hand auf die Zwischenschicht
eines Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Elements (hergestellt gemäß Beispiel
1) aufgetragen. Die Schicht wurde getrocknet, um eine 1000 Å dicke
Polyfluoren-Übertragungsschicht
zu erzeugen.
-
Beispiel 14: Ein anderes
thermisches Übertragungselement
für lichtemittierendes
Polymer
-
Ein thermisches Übertragungselement für lichtemittierendes
Polymer mit einer einkomponentigen Übertragungsschicht wurde hergestellt.
Eine Auftragungslösung
für das
lichtemittierende Polymer wurde durch Zugabe von 2 Gew.% PFC8/BTDZ
in Toluen und dann Verdünnen
der Lösung
mit MEK, bis eine Konzentration des PFC8/BTDZ von 1 Gew.% erreicht
war, hergestellt. Die Auftragslösung
wurde unter Verwendung eines #6-Mayer-Stabs
per Hand auf die Zwischenschicht eines Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Elements
(hergestellt gemäß Beispiel
1) aufgetragen. Die Schicht wurde getrocknet, um eine 1000 Å dicke
Polyfluoren-Übertragungsschicht
zu erzeugen.
-
Beispiel 15: Herstellung
einer OEL-Vorrichtung mit lichtemittierendem Polymer
-
Ein Rezeptorsubstrat aus einem mit
ITO (spezifischer Widerstand von 10 Ω/Quadrat, Thin Film Devices
Inc., Anaheim, CA) bedeckten Glas wurde verwendet, um die Anode
der OEL-Vorrichtungen
herzustellen. Das mit ITO bedeckte Glas wurde dann bei 3000 r.p.m.
(50 s–1)
im Schleuderverfahren mit einer wäßrigen Lösung aus 2,5 Gew.% Polypyrrol
beschichtet. Die Polypyrrolschicht wurde dann bei 80°C für 5 Minuten
getrocknet, um eine Pufferschicht auf dem Rezeptorsubstrat zu erzeugen.
-
Das thermische Übertragungselement von Beispiel
13 wurde auf den Rezeptor abgebildet, um 100 μm breite Linien eines blaues
Licht emittierenden Polymermaterials auf der Polypyrrolschicht zu
erzeugen. Die Übertragungsschichtseite
des thermischen Übertragungselements
von Beispiel 13 wurde in einer Unterdruckspannvorrichtung in engem
Kontakt mit dem Rezeptor gehalten. Ein Laser wurde auf die Substratseite
des thermischen Übertragungselements
gerichtet, wobei eine Dosis von 0,6 J/cm2 verwendet
wurde. Dann wurde das thermische Kathoden-Übertragungselement von Beispiel
12 auf den Rezeptor abgebildet, um 100 μm breite Linien oberhalb von
und in Ausrichtung mit den Linien des vorher übertragenen lichtemittierenden
Polymermaterials zu erzeugen. Die Übertragungsschicht seite des
thermischen Übertragungselements
von Beispiel 12 wurde in einer Unterdruckspannvorrichtung in engem
Kontakt mit dem Rezeptor gehalten. Ein Laser wurde auf die Substratseite
des thermischen Übertragungselements
gerichtet, wobei eine Dosis von 0,6 J/cm2 verwendet wurde
-
Die fertige OEL-Vorrichtung hatte
Schichten in der folgenden Reihenfolge (von oben nach unten):
Aluminiumkathode
TAZ-01-Elektronentransportschicht
blaues
Licht emittierende PFC8-Polymerschicht
Polypyrrol-Pufferschicht
(direkt auf den Rezeptor aufgetragen)
ITO- und Glasrezeptor
-
Ein elektrischer Kontakt wurde an
der ITO-Anode und der Aluminiumkathode hergestellt. Wenn ein Potential
angelegt wurde, erzeugte die OEL-Vorrichtung visuell wahrnehmbares
blaues Licht.
-
Beispiel 16: Herstellung
einer anderen OEL-Vorrichtung mit lichtemittierendem Polymer
-
Ein Rezeptorsubstrat aus einem mit
ITO (spezifischer Widerstand von 10 Ω/Quadrat, Thin Film Devices
Inc., Anaheim, CA) bedeckten Glas wurde verwendet, um die Anode
der OEL-Vorrichtungen
herzustellen. Das mit ITO bedeckte Glas wurde dann bei 3000 r.p.m.
(50 s–1)
im Schleuderverfahren mit einer wäßrigen Lösung aus 2,5 Gew.% Polypyrrol
beschichtet. Die Polypyrrolschicht wurde dann bei 80°C für 5 Minuten
getrocknet, um eine Pufferschicht auf dem Rezeptorsubstrat zu erzeugen.
-
Das thermische Übertragungselement von Beispiel
14 wurde auf den Rezeptor abgebildet, um 100 μm breite Linien eines grünes Licht
emittierenden Polymermaterials auf der Polypyrrolschicht zu erzeugen.
Die Übertragungsschichtseite
des thermischen Übertragungselements
von Beispiel 14 wurde in einer Unterdruckspannvorrichtung in engem
Kontakt mit dem Rezeptor gehalten. Ein Laser wurde auf die Substratseite
des thermischen Übertragungselements
gerichtet, wobei eine Dosis von 0,6 J/cm2 verwendet
wurde. Dann wurde das thermische Ka thoden-Übertragungselement von Beispiel
12 auf den Rezeptor abgebildet, um 100 μm breite Linien oberhalb von
und in Ausrichtung mit den Linien des vorher übertragenen lichtemittierenden
Polymermaterials zu erzeugen. Die Übertragungsschichtseite des
thermischen Übertragungselements
von Beispiel 12 wurde in einer Unterdruckspannvorrichtung in engem
Kontakt mit dem Rezeptor gehalten. Ein Laser wurde auf die Substratseite
des thermischen Übertragungselements
gerichtet, wobei eine Dosis von 0,6 J/cm2 verwendet wurde
-
Die fertige OEL-Vorrichtung hatte
Schichten in der folgenden Reihenfolge (von oben nach unten):
Aluminiumkathode
TAZ-01-Elektronentransportschicht
grünes Licht
emittierende PFC8/BTDZ-Polymerschicht
Polypyrrol-Pufferschicht
(direkt auf den Rezeptor aufgetragen)
ITO- und Glasrezeptor
-
Ein elektrischer Kontakt wurde an
der ITO-Anode und der Aluminiumkathode hergestellt. Wenn ein Potential
angelegt wurde, erzeugte die OEL-Vorrichtung visuell wahrnehmbares
grünes
Licht.
-
Die Beispiel 12 bis 16 zeigen, daß das gleiche
Kathodendonorelement verwendet werden kann, um die Kathodenschichten
oberhalb von verschiedenen, vorher strukturierten Emitterschichten
zu strukturieren, um OEL-Vorrichtungen herzustellen.
-
Beispiel 17: Herstellung
von Kleinmolekül-OEL-Vorrichtungen und
OEL-Vorrichtungen mit lichtemittierendem Polymer auf dem gleichen
Rezeptorsubstrat
-
Dieses Beispiel zeigt, daß funktionsfähige OEl-Vorrichtungen,
die Emitterschichten aus lichtemittierendem Polymer haben, und OEL-Vorrichtungen,
die Kleinmolekül-Emitterschichten
haben, nebeneinander auf Rezeptorsubstraten strukturiert werden
können.
-
Ein thermisches Übertragungselement mit einer
mehrkomponentigen Übertragungsschicht,
die einen Kleinmolekül-Emitter für grünes Licht
("grüner SM-Donor") hat, wurde durch
Auftragen von Schichten auf ein gemäß Beispiel 1 hergestelltes
Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Element hergestellt. Eine 100 Å dicke
Schicht aus Kupferphthalocyanin wurde als Trennschicht auf die Zwischenschicht
aufgebracht. Dann wurde eine 450 Å dicke Schicht aus Aluminium
als Kathodenschicht aufgebracht. Eine 10 Å dicke Schicht aus Lithiumfluorid wurde
auf das Aluminium aufgebracht. Dann wurde eine 500 Å dicke
Schicht aus ALQ als Elektronentransportschicht aufgebracht. Schließlich wurde
eine 500 Å dicke
Schicht aus NPB als Löchertransportschicht
aufgebracht.
-
Ein thermisches Übertragungselement mit einer
mehrkomponentigen Übertragungsschicht,
die einen Kleinmolekül-Emitter
für rotes
Licht ("roter SM-Donor") hat, wurde durch
Auftragen von Schichten auf ein gemäß Beispiel 1 hergestelltes
Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Element hergestellt. Eine 100 Å. dicke
Schicht aus Kupferphthalocyanin wurde als Trennschicht auf die Zwischenschicht
aufgebracht. Dann wurde eine 450 Å dicke Schicht aus Aluminium
als Kathodenschicht aufgebracht. Eine 10 Å dicke Schicht aus Lithiumfluorid wurde
auf das Aluminium aufgebracht. Dann wurde eine 500 Å dicke
Schicht aus ALQ als Elektronentransportschicht aufgebracht. Platinoctaethylporphyrin
(PtOEP) wurde als Dotierstoff zusammen mit der ALQ-Schicht aufgedampft.
Der PtOEP-Dotierstoff wurde aufgebracht, um in der ALQ-Emitterschicht
eine Konzentration des Dotierstoffes von 2 bis 3 Gew.% zu erreichen.
Schließlich
wurde eine 500 Å dicke
Schicht aus NPB als Löchertransportschicht
aufgebracht.
-
Ein thermisches Übertragungselement wurde gemäß Beispiel
8 hergestellt, um ein Donorelement herzustellen, das einen blaues
Licht emittierenden Polymeremitter ("blauer LEP-Donor") hat. Ein thermisches Übertragungselement
wurde gemäß Beispiel
9 hergestellt, um ein Donorelement herzustellen, das einen grünes Licht
emittierenden Polymeremitter ("grüner LEP-Donor") hat.
-
Ein Rezeptorsubstrat aus einem mit
ITO (spezifischer Widerstand von 10 Ω/Quadrat, Thin Film Devices
Inc., Anaheim, CA) bedeckten Glas wurde verwendet, um die Anode
der OEL-Vorrichtungen
herzustellen. Das mit ITO bedeckte Glas wurde dann bei 3000 r.p.m.
(50 s–1)
im Schleuderverfahren mit einer wäßrigen Lösung aus 2,5 Gew.% Polypyrrol
beschichtet. Die Polypyrrolschicht wurde dann bei 80°C für 5 Minuten
getrocknet, um eine Pufferschicht auf dem Rezeptorsubstrat zu erzeugen.
-
Der blaue LEP-Donor wurde auf das
Rezeptorsubstrat abgebildet, um eine Reihe von parallelen Linien zu
erzeugen. Dann wurde der rote SM-Donor auf den gleichen Rezeptor
abgebildet, um eine Reihe von parallelen Linien zu erzeugen, wobei
jede Linie zwischen den Linien angeordnet war, die vom blauen LEP-Donor aus übertragen
wurden. Ein elektrischer Kontakt wurde an den ITO-Anoden und den
Aluminiumkathoden hergestellt. Visuell wahrnehmbares blaues Licht
wurde von den Linien emittiert, die vom blauen LEP-Donor aus strukturiert
wurden, und visuell wahrnehmbares rotes Licht wurde von den Linien
emittiert, die vom roten SM-Donor aus strukturiert wurden.
-
Der grüne LEP-Donor wurde dann auf
ein anderes Rezeptorsubstrat abgebildet, um eine Reihe von parallelen
Linien zu erzeugen. Dann wurde der grüne SM-Donor auf den gleichen
Rezeptor abgebildet, um eine Reihe von parallelen Linien zu erzeugen,
die jeweils zwischen vom grünen
LEP-Donor aus übertragenen Linien
angeordnet waren. Ein elektrischer Kontakt wurde an den ITO-Anoden
und den Aluminiumkathoden hergestellt. Visuell wahrnehmbares grünes Licht
wurde aus den Linien emittiert, die vom grünen LEP-Donor aus strukturiert
wurden, und visuell wahrnehmbares grünes Licht wurde aus den Linien
emittiert, die vom grünen SM-Donor
aus strukturiert wurden.
-
Beispiel 18: Herstellung
von roten, grünen
und blauen OEL-Vorrichtungen auf dem gleichen Rezeptorsubstrat
-
Dieses Beispiel zeigt, daß funktionsfähige rote,
grüne und
blaue OEL-Vorrichtungen nebeneinander auf dem gleichen Rezeptorsubstrat
strukturiert werden können.
-
Ein thermisches Übertragungselement mit einer
mehrkomponentigen Übertragungsschicht,
die einen Kleinmolekül-Emitter für blaues
Licht ("blauer SM-Donor") hat, wurde durch
Auftragen von Schichten auf ein gemäß Beispiel 1 hergestelltes
Substrat/LTHC/Zwischenschicht-Element hergestellt. Eine 100 Å dicke
Schicht aus Kupferphthalocyanin wurde als Trennschicht auf die Zwischenschicht
aufgebracht. Dann wurde eine 450 Å dicke Schicht aus Aluminium
als Kathodenschicht aufgebracht. Eine 10 Å dicke Schicht aus Lithiumfluorid wurde
auf das Aluminium aufgebracht. Dann wurde eine 500 Å dicke
Schicht aus Bis(2-methyl-8-quinolinolato)(para-phenyl-phenolato)aluminium
(Balq) als Elektrontransport/Emitterschicht aufgebracht. Das Balq
wurde so, wie im US-Patent Nr. 5 141 671 beschrieben, synthetisiert.
Perylen wurde als Dotierstoff zusammen mit der Balq-Schicht aufgedampft.
Der Perylen-Dotierstoff wurde aufgebracht, um in der Balq-Emitterschicht
eine Konzentration des Dotierstoffes von 2 bis 3 Gew.% zu erreichen.
Schließlich
wurde eine 500 Å dicke
Schicht aus NPB als Löchertransportschicht
aufgebracht.
-
Ein Rezeptorsubstrat aus einem mit
ITO (spezifischer Widerstand von 10 Ω/Quadrat, Thin Film Devices
Inc., Anaheim, CA) bedeckten Glas wurde verwendet, um die Anode
der OEL-Vorrichtungen
herzustellen. Das mit ITO bedeckte Glas wurde dann bei 3000 r.p.m.
(50 s–1)
im Schleuderverfahren mit einer wäßrigen Lösung aus 2,5 Gew.% Polypyrrol
beschichtet. Die Polypyrrolschicht wurde dann bei 80°C für 5 Minuten
getrocknet, um eine Pufferschicht auf dem Rezeptorsubstrat zu erzeugen.
-
Der rote SM-Donor von Beispiel 17,
der grüne
SM-Donor von Beispiel 17 und der blaue SM-Donor von diesem Beispiel
wurden nacheinander auf das Rezeptorsubstrat abgebildet, um eine
Reihe von parallelen Linien zu erzeugen. Die Linien wurden so strukturiert,
daß eine
Linie, die von dem einen Donor aus übertragen wurde, zwischen den
Linien angeordnet war, die jeweils von den anderen zwei Donoren
aus übertragen
wurden. Ein elektrischer Kontakt wurde an den ITO-Anoden und den
Aluminiumkathoden hergestellt. Visuell wahrnehmbares grünes Licht
wurde aus den Linien emittiert, die vom grünen SM-Donor aus strukturiert
wurden, visuell wahrnehmbares rotes Licht wurde aus den Linien emittiert,
die vom roten SM-Donor aus struktu riert wurden und visuell wahrnehmbares
blaues Licht wurde aus den Linien emittiert, die vom blauen SM-Donor
aus strukturiert wurden.