DE4142261A1 - Coating and infiltration of substrates in a short time - by heating substrate using body which matches the component contour at gas outflow side and opt. gas entry side - Google Patents

Coating and infiltration of substrates in a short time - by heating substrate using body which matches the component contour at gas outflow side and opt. gas entry side

Info

Publication number
DE4142261A1
DE4142261A1 DE19914142261 DE4142261A DE4142261A1 DE 4142261 A1 DE4142261 A1 DE 4142261A1 DE 19914142261 DE19914142261 DE 19914142261 DE 4142261 A DE4142261 A DE 4142261A DE 4142261 A1 DE4142261 A1 DE 4142261A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substrate
characterized
heating
gas
coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19914142261
Other languages
German (de)
Inventor
Kilian Dipl Ing Peetz
Hermann Dipl Phys Dr Koeberle
August Dipl Chem D Muehlratzer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MT Aerospace AG
Original Assignee
MT Aerospace AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MT Aerospace AG filed Critical MT Aerospace AG
Priority to DE19914142261 priority Critical patent/DE4142261A1/en
Publication of DE4142261A1 publication Critical patent/DE4142261A1/en
Application status is Withdrawn legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/71Ceramic products containing macroscopic reinforcing agents
    • C04B35/78Ceramic products containing macroscopic reinforcing agents containing non-metallic materials
    • C04B35/80Fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like
    • C04B35/83Carbon fibres in a carbon matrix
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/045Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/458Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber

Abstract

To form a cpd. material, where a porous or fibrous substrate has a gas stream passed through it under a high temp. contg. a coating or infiltration material, the substrate is heated by a body which matches the component contour at the gas outflow side and, if necessary, at the gas entry side. Different heat levels can be applied to the substrate according to its shape and thickness. To coat the fibres of a substrate with one or more coating materials, heaters apply an even temp. distribution over both sides of the substrate. The heating at the gas entry is then switched off for an infiltration action with a further material. USE/ADVANTAGE - The system is used for coating and infiltration of substrates, with a short process time, and can process components with large surfaces and/or complex contours with an irregular geometry.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstel lung von Verbundbauteilen, bei dem ein poröses oder faseriges Substrat aus ei nem Grundwerkstoff hergestellt und anschließend unter erhöhter Temperatur von einem ein Beschichtungs- oder Verdichtungsmaterial enthaltenden Gasstrom durchströmt wird. The invention relates to a method and apparatus for the manufacture development of composite components, in which produced a porous or fibrous substrate of egg nem base material and is then passed through at an elevated temperature from a a coating or compaction material containing gas stream.

Zur Verdichtung von porösen Materialien ist die Abscheidung von einem Verdich tungsmaterial über die Gasphase bekannt. For densification of porous materials, the deposition of a compaction material is tung known via the gas phase. Dazu gibt es unterschiedliche Verfah rensweisen. There is also rensweisen different procedural. Im allgemeinen wird die Abscheidungsgeschwindigkeit bei hohen Temperaturen und/oder hohen Prozeßgasdrücken durch die Diffusion und bei niedrigen Temperaturen und Drücken durch die Grenzflächenreaktion bestimmt. In general, the deposition rate is determined by the diffusion and at low temperatures and pressures by the interfacial reaction at high temperatures and / or high process gas pressures. Bei der Verfahrensweise mit isothermer und isobarer Prozeßführung befindet sich der gesamte Prozeßraum auf gleicher Temperatur und gleichem Druck, es herrschen also überall die gleichen physikalischen Bedingungen. In the procedure with isothermal and isobaric process control, the entire process chamber is at the same temperature and pressure, so it rule the same physical conditions everywhere. Da dieses Prinzip (CVI) in der Beschichtung von inneren Oberflächen besteht, mit dem Ziel, die Po renräume soweit wie möglich zu füllen, müssen Prozeßbedingungen gewählt werden, die das frühzeitige Verschließen der äußeren Oberfläche des vorgeleg ten Faserkörpers vermeiden. Since this principle (CVI) is the coating of internal surfaces, to be filled with the aim of Po renräume as far as possible, process conditions must be chosen, which avoid the premature closure of the outer surface of the vorgeleg th fiber body. Das heißt, in Bezug auf die Geschwindigkeitskon trolle des Prozesses sind niedrige Temperaturen und Drücke anzuwenden, damit die langsamere Kynetik der Grenzflächenreaktion die Geschwindigkeit der Fest stoffbildung bestimmt. That is, trolls in terms of Geschwindigkeitskon the process are low temperatures and pressures applied so that the slower Kynetik the interfacial reaction determines the speed of the hard material education. Nur so ist sicherzustellen, daß das zugeführte Prozeßgas nicht bereits in den oberflächennahen Bereichen des vorgelegten Faserkörpers weitgehend abreagiert, sondern die reaktionsfähigen Gasspezies auch in die Tie fe der Faserstruktur gelangen. The only way to ensure that the supplied process gas not reacted largely been in the areas near the surface of the fiber body submitted but reach the reactive gas species in the tie fe the fiber structure. Der Transport in die inneren Poren geschieht durch Diffusion, die durch das Konzentrationsgefälle verursacht wird. The transport in the inner pores takes place by diffusion, which is caused by the concentration gradient. Aus den er forderlichen niedrigen Drücken und niedrigen Prozeßtemperaturen resultieren sehr lange Prozeßzeiten. From which it results in very long process times ford variable low pressures and low process temperatures.

Eine Abwandlung der isothermen Prozeßführung stellt die Vakuum-Druck- Pulsations-Methode dar. Hierbei wird zur Unterstützung der Diffusion kontinu ierlich der Prozeßdruck variiert. A modification of the isothermal process control represents the vacuum pressure pulsation method. Here, continu ously vary the process pressure to support the diffusion. Durch diese Maßnahme kann die benötigte Infil trationszeit verkürzt werden. By this measure the Infil required can be shortened trationszeit. Der Nachteil dieser Methode liegt im hohen appa rativen Aufwand und den immer noch sehr langen Infiltrationszeiten. The disadvantage of this process is the high appa rative effort and still very long infiltration times.

Es ist ferner eine Prozeßführung mit Temperaturgradient bekannt, in dem das Substrat ebenfalls vom Prozeßgasstrom frei umströmt wird, wobei der Prozeß von Porendiffusion kontrolliert wird. It is also a process control with temperature gradient is known in which the substrate is also freely immersed in the process gas stream, wherein the process is controlled by pore diffusion. Der dem Gasstrom zugewandten Seite des Substrats wird durch geeignete Maßnahmen, z. The side facing the gas stream side of the substrate by appropriate measures such. B. Kühlung durch Prozeßgas strom oder Abstrahlung, Wärme entzogen. B. stream by cooling process gas or withdrawn radiation, heat. Die dem Gasstrom abgewandte Seite des Substrats liegt an einem Heizkörper an. Facing away from the gas stream side of the substrate is applied to a radiator. Auf diese Weise stellt sich ein für das Verfahren maßgeblicher Temperaturgradient senkrecht zur Bauteiloberfläche ein. In this way, a significant temperature gradient on the method provides a perpendicular to the component surface. Die Oberflächentemperatur auf der kalten Seite wird über den Gasstrom zu nächst so eingestellt, daß hier keine Abscheidung stattfindet. The surface temperature on the cold side is set with the gas flow to the next so that there takes place no deposition. Dadurch tritt keine Verengung der Poren in diesem Bereich auf. This occurs no narrowing of the pores in this area. Das Prozeßgas kann so leichter als bei der isothermen Methode in die Tiefe des Substrats diffundieren. The process gas can diffuse more easily than the isothermal method in the depth of the substrate. Deshalb kann die Temperatur in der Reaktionszone höher als bei der isothermen Methode gewählt werden, wodurch eine erhöhte Depositionsrate erzielt wird. Therefore, the temperature in the reaction zone can be set higher than the isothermal method, whereby an increased deposition rate is achieved. Das Vor schreiten der Infiltration bewirkt wegen der verbesserten Wärmeleitfähigkeit im aufgefüllten Bereich eine Verlagerung der Reaktionszone hin zur kalten Seite. The infiltration Before stride causes a displacement of the reaction zone towards the cold side because of the improved thermal conductivity in the filled area. Der Vorteil dieser Temperaturgradienten-Methode gegenüber der isothermen Methode liegt in einer deutlichen Verkürzung der erforderlichen Infiltrationszeit. The advantage of this method over the temperature gradient isothermal method lies in a significant shortening of the required infiltration time. Der Hauptnachteil des Verfahrens liegt im hohen zur Kühlung erforderlichen Gas durchsatz mit sehr geringer Ausbeute an abgeschiedenem Material. The main disadvantage of the process lies in the high throughput required for cooling gas with a very low yield of deposited material.

Eine dritte Verfahrensweise ist die Prozeßführung mit einem Druckgradienten, bei dem das Gas zwangsweise durch das Substrat durchströmt. A third procedure is the process control with a pressure gradient, wherein the gas is forced through flow through the substrate. Der Stofftransport erfolgt auf diese Weise über erzwungene Konvektion, die Abscheidungsge schwindigkeit wird durch die chemische Reaktion kontrolliert. The mass transfer is performed in this way of forced convection, the Abscheidungsge speed is controlled by the chemical reaction. Über den Strö mungswiderstand des Substrats baut sich ein Druckgradient zwischen Gaszuführ- und Abführseite des Substrats auf. a pressure gradient between gas supply and discharge side of the substrate over the Strö flow resistance of the substrate is built up. Durch die Zwangsdurchströmung kann die In filtrationszeit relativ kurz gehalten werden. By the forced flow can be in filtration time kept relatively short.

Die Isothermie im Bauteil fördert eine Infiltration auf der Frischgasseite des Sub strats, da hier das größte chemische Potential im Prozeßgas vorliegt. The isothermal in the component promotes infiltration on the fresh gas side of the Sub strats, since the largest chemical potential is present in the process gas. Deshalb muß die Temperatur relativ niedrig gehalten werden. Therefore, the temperature must be kept relatively low.

Aus der US 45 80 524 ist ein Verfahren bekanntgeworden, mit dem die Nachteile der vorerwähnten Methoden überwunden werden. From US 45 80 524 a process has become known, with which the disadvantages of the aforementioned methods to be overcome. Gemäß diesem Verfahren wird eine Kombination der Temperatur- und Druck-Gradienten-Technik ange wandt. According to this method, a combination of temperature and pressure gradient technique is Wandt. Dieses Verfahren wird mit einem Reaktor durchgeführt, der einen zylin drischen Heizkörper hat, den ein an einer Seite des Substrats befindliches Gasau strittsrohr umgibt. This process is carried out with a reactor having a zylin-cylindrical radiator, the an on-one side of the substrate tube Gasau surrounds denied. Auf der anderen Seite des Substrats befindet sich eine Gaszu führung sowie eine Kühleinrichtung. On the other side of the substrate is a Gaszu management as well as a cooling device. Hierbei wird das Gas unter herrschender Druckdifferenz zwischen Ein- und Austritt aus dem Substrat zwangsweise durch das Substrat geführt. Here, the gas is conducted under the prevailing pressure difference between inlet and outlet from the substrate forcibly through the substrate. Im Substrat herrscht durch den Heizkörper an der Gasau strittsseite und der Kühleinrichtung an der Gaseintrittsseite ein Temperaturgradi ent. Dieses System ist insbesondere für die Herstellung bzw. Verdichtung von rohrförmigen Substraten geeignet. In the substrate there is denied page through the radiator at the Gasau and the cooling device on the gas inlet side a Temperaturgradi ent. This system is suitable in particular for the production or compacting of tubular substrates. Im übrigen können damit Bauteile, wie Plat ten und dergleichen, aber nur mit kleinen Abmessungen und nur mit konstanter Dicke hergestellt werden. For the rest, so that certain components, such as Plat th and the like, but only be produced with small dimensions and with constant thickness.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genann ten Art zu entwickeln, mit dem verfahrenstechnisch einfach und mit kurzer Pro zeßdauer auch Bauteile hergestellt werden können, die großflächig und/oder geometrisch unregelmäßige Konturen haben. The invention is based on the object to develop a method of the genann th kinds, including components can zeßdauer with the procedurally simple and short-Pro are produced which have a large surface area and / or geometrically irregular contours.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Maßnahmen des Anspruches 1 ge löst. The object is according to the invention solves ge with the measures of claim 1.

Damit wird das Substrat abgasseitig und gegebenenfalls auch gasanströmseitig un abhängig von dessen Größe und Formgebung mit Heizenergie beaufschlagt, die direkt vom Heizkörper ausgestrahlt wird, indem die Heizkörper jeweils der Ober flächenkontur einer Substratseite folgen, parallel zur Substratoberfläche ange ordnet sind und die Ausdehnung der Substratoberfläche haben. Thus the substrate is the exhaust gas side and optionally also gasanströmseitig applied un depending on its size and shape with heat energy radiated from the radiator by the radiator in each case the upper follow surface contour of a substrate side, being parallel to the substrate surface arranged and have the dimension of the substrate surface , Einer Ausdeh nung des Substrats sind damit keine Grenzen gesetzt, nachdem der Heizkörper entsprechend groß gewählt werden kann. A Ausdeh voltage of the substrate are therefore no limits after the heating element can be selected according to size. Bei einem plattenförmigen Substrat beispielsweise, das eine konstante Dicke aufweist, wird ein ebener, plattenförmi ger Heizkörper verwendet, dessen Heizfläche parallel zur Oberfläche des Sub strats liegt und die Dimension der Substratoberfläche hat. In a plate-shaped substrate, for example, having a constant thickness, a flat, plattenförmi ger radiator is used, whose heating surface is located parallel to the surface of the sub strats and has the dimension of the substrate surface. Ist die Plattenoberflä che des Substrats gebogen, so wird der Heizkörper in der gleichen Art gebogen sein. If the Plattenoberflä surface of the substrate is bent, so the heater will be bent in the same way.

Bei komplizierteren Formgebungen, bei denen das Substrat unterschiedlich gro ße Querschnitte aufweist, wird vorgeschlagen, das Substrat örtlich, entsprechend seiner Dicke, mit unterschiedlicher Heizleistung zu beaufschlagen, um die Tempe ratur des Substrats abgasseitig auf eine homogene Temperatur zu bringen. For more complicated shapes, in which the substrate has different SSE large cross-sections, the substrate is proposed, locally, to act upon in accordance with its thickness, with different heating power, in order to bring the temperature of the substrate Tempe exhaust gas side to a homogeneous temperature.

Zur Beschichtung der Fasern eines aus Fasern bestehenden Substrats wird gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung vorgeschlagen, durch beidseitige Zu führung von Wärme eine homogene Temperaturverteilung im Substrat zu errei chen. To coat the fibers of a substrate consisting of fibers is proposed according to a further embodiment of the invention, surfaces to Errei a homogeneous temperature distribution in the substrate by both sides to guide heat. Damit wird sichergestellt, daß das Beschichtungsmaterial sich annähernd homogen auf sämtliche Fasern niederschlägt. This ensures that the coating material is approximately homogeneously reflected in all the fibers. Soll anschließend das Substrat mit einem zweiten Material verdichtet werden, dann wird die gaseintrittsseitige Hei zung abgeschaltet, um den für die Verdichtung der Substratporen erforderlichen Temperaturgradienten herbeizuführen. Should then the substrate with a second material to be compacted, the gas inlet side Hei wetting is turned off to bring about the required compaction of the substrate pores temperature gradient.

Das erfindungsgemäße Verfahren hat somit nicht nur den Vorteil, daß Bauteile jeder Konfiguration und Größe aus verdichtetem Verbundmaterial hergestellt werden können, sondern daß auch Verfahrensschritte, wie Beschichtungen und Verdichtungen, mit derselben Apparatur und direkt hintereinander vollziehbar sind. The inventive method thus not only has the advantage that components can be made of compressed composite material each configuration and size, but also that process steps, such as coatings and condensations are directly behind each other with the same apparatus and executable.

Die Erfindung erstreckt sich auf eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfah rens, die die Merkmale des Anspruchs 4 aufweist. The invention extends to a device for carrying out of the procedure, having the features of claim. 4

Die Erfindung besteht in fertigungstechnisch sehr einfach herstellbaren Heizplat ten, die entweder eben (für ebene Substrate) oder gekrümmt, gewellt oder an derweitig entsprechend der abgasseitigen Oberflächenkontur des Substrats ge formt sind. The invention consists in manufacturing th technically very simple to manufacture heating plates, which are either planar (for flat substrates), or curved, wavy or ge to derweitig in accordance with the exhaust-side surface contour of the substrate formed. Heizplatten dieser Art können in unbegrenzter Abmessung herge stellt werden, so daß bei Verwendung von Reaktoren mit derartigen Heizsyste men entsprechend großdimensionierte Substrate behandelt werden können. Heating plates of this type can be prepared in an unlimited dimension Herge, so that can be treated with the use of reactors with such Heizsyste men according to large-sized substrates.

Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung ist das aus Heizplatten bestehende Heizsystem durch eine gasdichte Verschalung vom Substrat getrennt, wobei die Heizplatten sowie die Verschalung die Kontur der abgasseitigen Oberfläche des Substrats einnehmen. According to one embodiment of the invention, which consists of heating plates the heating system is separated from the substrate by a gas-tight casing, wherein the heating plates and the cladding take the contour of the exhaust-side surface of the substrate. Diese Ausgestaltung eignet sich insbesondere für selbsttra gende Substrate, die keiner Pressung bedürfen und hat den Vorteil, daß durch die das Substrat umgebende Verschalung eine einfache Gasführung, nämlich durch einen Spaltraum zwischen Substrat und Verschalung geschaffen wird. This embodiment is particularly suitable for constricting selbsttra substrates which do not require crimping and has the advantage that through which the substrate surrounding casing a simple gas guide, is namely provided by a gap between the substrate and cladding the advantage.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind die Heizplatten mit Boh rungen für die Gasabführung vorgesehen. According to a further embodiment of the invention, the heating plates with Boh stanchions are provided for the gas discharge. Die Bohrungen durchqueren die Heiz platten senkrecht zur wärmeausstrahlenden Oberfläche. The holes traverse the heating plates perpendicular to the heat-radiating surface. Diese Heizplatten haben den Vorteil, daß sie direkt auf das Substrat auflegbar sind und damit gleichzeitig als Preßstempel verwendet werden können, die hydraulisch oder mechanisch be tätigbar sind. This heating plates have the advantage that they are directly placed onto the substrate and thus can be used as the press ram at the same time, which are hydraulically or mechanically be tätigbar. Heizplatten dieser Art erfüllen gleichzeitig drei Funktionen, näm lich die Erwärmung und Pressung des Substrats sowie die Führung der aus dem Substrat tretenden Gase. Heating plates of this type simultaneously fulfill three functions, NaEM Lich the heating and pressing of the substrate and guiding the emerging from the substrate gases. Damit sind wesentliche konstruktive Einsparungen so wie Materialeinsparung möglich. So significant structural savings as material savings possible. So eine Heizplatte kann selbstverständlich auch für die Gaseintrittsseite des Substrats verwendet werden. So a hot plate can of course be used for the gas inlet side of the substrate. In diesem Fall dienen die Bohrungen zur Gaseinführung. In this case, the holes for gas introduction.

Gemäß einer einfachen Ausfertigung der Heizplatten bestehen diese in einer Platte aus einem wärmeleitenden Material, z. According to a simple copy of the heating plates, these consist in a plate of a heat conductive material, such. B. Graphit oder Metall, die mit pa rallel zueinander angeordneten, stabförmigen Heizelementen durchsetzt sind. As graphite or metal, which are arranged with pa rallel to each other, are interspersed rod-shaped heating elements. Soweit Bohrungen für die Gasführung vorgesehen sind, sind diese quer zu den Heizelementen gerichtet und von diesen durch nicht elektrisch leitfähiges Mate rial isoliert. As far as holes for the gas passage are provided, they are directed transversely to the heating elements and insulated therefrom by not conductive electrically mate rial. Selbstverständlich können die Heizplatten, insbesondere für Prozesse, die bei hohen Temperaturen durchgeführt werden müssen, aus Keramikmaterial bestehen. Of course, the heating plates, particularly for processes that need to be carried out at high temperatures, made of ceramic material. In diesem Fall werden die Heizelemente durch Kanäle in der Kera mikplatte geführt, die durch eine verbleibende Keramikwand von den Gasboh rungen getrennt sind. In this case, the heating elements are passed through channels in the Kera mikplatte, the stanchions by a remaining wall of the ceramic Gasboh are separated.

Das Heizsystem kann aus mehreren, gegebenenfalls im Baukastensystem zusam mensetzbaren Heizplatten bestehen, die je nach Anwendungsfall, auf oder um verschiedene Bereiche des Substrats, die z. The heating system can consist of several, optionally together consist mensetzbaren heating plates in a modular system, which depending on the application, on or around different areas of the substrate which z. B. unterschiedliche Höhen oder Orien tierungen haben, gelegt werden. As different heights or Orien have tierungen be placed.

Die Vorrichtung ist vorzugsweise zusätzlich mit einem Kühlelement ausgestattet, das der Kontur der gaseinströmseitigen Oberfläche des Substrats folgt. The device is preferably also equipped with a cooling element which follows the contour of gaseinströmseitigen surface of the substrate.

Für die Herstellung von plattenförmigen Bauteilen besteht die Vorrichtung vor zugsweise aus einer als Preßstempel ausgebildeten Heizplatte und einer weiteren Platte, die als Kühl- und/oder Heizplatte ausgebildet ist und den Boden einer Form zur Aufnahme des Substrats bildet, wobei das Prozeßgas von einer Gasver sorgung durch Bohrungen in der Bodenplatte in das Substrat geführt und über Bohrungen in der Heizplatte zu einer Entsorgung abgeführt wird. For the production of plate-shaped components, the device consists above preferably from one designed as a ram heating plate and another plate which is formed as a cooling and / or heating plate and forms the bottom of a mold for receiving the substrate, wherein the process gas from a Gasver supply guided through bores in the base plate into the substrate and is discharged through holes in the heater plate to a disposal. Diese Vorrich tung zeichnet sich durch ihre Einfachheit und leichte Realisierung aus. This Vorrich processing is characterized by its simplicity and ease of implementation. Bei ent sprechender Größe der im wesentlichen aus zwei Platten bestehenden Vorrich tung können Substrate unterschiedlicher Größen hergestellt bzw. verdichtet wer den, indem die flächige Begrenzung durch einen Rahmen gebildet wird, der auf den Formboden bzw. die zweite Platte gelegt wird und der die Seitenwände der Form für das Substrat bildet. In ent speaking size consisting essentially of two plates Vorrich tung, substrates of different sizes produced and compacted who the by the planar boundary is formed by a frame which is placed on the mold bottom and the second plate and the side walls of the forming mold for the substrate. Die Dicke des Rahmens richtet sich nach der ge wünschten Dicke des Substrats, so daß der Rahmen gleichzeitig als Distanzhalter zwischen den beiden gegeneinandergedrückten Platten dient. The thickness of the frame depends on the ge desired thickness of the substrate, so that the frame also serves as a spacer between the two plates pressed against each other. So können mit der gleichen Vorrichtung lediglich durch Auswechseln des Rahmens Bauteile aller Di mensionen hergestellt werden bzw. poröse Substrate beschichtet und/oder ver dichtet werden, wenn die Heiz- und Kühlplatten entsprechend groß dimensio niert sind. can be coated so with the same apparatus only by changing the frame members of all di mensions be prepared or porous substrates and / or ver seals when the heating and cooling plates are correspondingly large dimensio ned.

Die Bodenplatte ist vorzugsweise eine Heizplatte, die über eine Isolierschicht von einer anschließenden Kühlplatte getrennt ist. The base plate is preferably a hot plate, which is separated by an insulating layer of a subsequent cooling plate. Mit einer derartigen Ausführung ist die Vorrichtung für einen gesamten Infiltrationsprozeß anwendbar, wobei le diglich durch Umschaltungen die Bodenheizplatte und die Kühlung entsprechend dem jeweiligen Verfahrensschritt angepaßt werden. With such an embodiment, the apparatus for an entire infiltration process is applicable, wherein the Bodenheizplatte le and the cooling can be adapted according to the respective method step diglich by switching. Mit der Isolierung zwischen der Bodenheizplatte und der Kühleinrichtung kann die Wärmeenergieabfuhr be stimmt werden. With the isolation between the Bodenheizplatte and the cooling device, the heat energy dissipation can be true. Es ist denkbar, daß die Vorrichtung so ausgebildet ist, daß die Iso lierung bei Bedarf auswechselbar ist, d. It is conceivable that the device is designed so that the iso-regulation is replaceable, if necessary, d. h,. H,. daß je nach gewünschtem Prozeß und gewünschter Wärmeabführung das entsprechende Isoliermaterial oder die ent sprechende Dicke der Isolierungsschicht eingeführt wird. that the corresponding insulating material or ent speaking thickness of the insulation layer is inserted depending on the desired process and the desired heat dissipation.

Gemäß einer Variante kann die gasanströmseitige Heizung und die Kühleinrich tung in eine gemeinsame Platte integriert werden, so daß hier zusätzlich zu den drei vorerwähnten Funktionen auch noch die Kühlfunktion in eine Platte inte griert ist. According to a variant, the heating and the gasanströmseitige Kühleinrich can be integrated processing into a common plate so that in addition to the three aforementioned functions, the cooling function is inte grated here still in a plate.

Für selbsttragende und auch stark gewölbte Substrate bzw. Bauteile wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, die eine Verschalung aufweist, die der Kontur der Oberfläche, z. For self-supporting and also strongly curved substrates or parts, an apparatus is proposed that has a casing, the contour of the surface, z. B. der konvexen Seite des Substrats, nachgebildet ist. B. the convex side of the substrate, is reproduced. Diese Ver schalung begrenzt einerseits einen Raum für die Abgasführung und trägt ande rerseits die an die Verschalungsform angepaßten Heizplatten. This Ver formwork limited on the one hand a space for the exhaust duct and carrying hand, the walls adapted to the lagging form heating plates. Über ein gemein sames Gestell ist mit der Verschalung ferner eine Heiz- und/oder Kühleinrichtung verbunden, deren Oberfläche sich an die Oberfläche der konkaven Seite des Sub strats anpaßt. A common frame Sames a heating and / or cooling device is connected to the casing further connected, whose surface conforms to the surface of the concave side of the sub strats. Das Gas kann um die Einrichtung, dh im Spalt zwischen Einrich tung und Substrat, geführt werden. The gas may around the device, ie, are guided in the gap between Einrich processing and substrate.

Auch in dieser Ausführung wird gewährleistet, daß die Wärmebeaufschlagung homogen bzw. gleichmäßig über die Außen- und gegebenenfalls Innenkontur des Substrats verteilt ist, wobei bei unterschiedlichen Wanddicken des Substrats die Heizleistung örtlich entsprechend angepaßt werden kann. Also in this embodiment it is ensured that the heat application is homogeneous and evenly across the outer and optionally the inner contour of the substrate is distributed, wherein the heating power can be adjusted locally in accordance with different wall thicknesses of the substrate.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zeichnet sich durch ihre apparative Einfach heit in Verbindung mit der Möglichkeit aus, daß damit Beschichtungs- und/oder Verdichtungsprozesse hoher Güte mit sehr geringen Prozeßzeiten durchführbar sind. The inventive device is characterized by its simplicity of apparatus in connection with the possibility that so that coating and / or densification processes of high quality can be performed with very low process times.

Die Erfindung wird nachfolgend an Hand von in der Zeichnung schematisch dar gestellten Ausführungsbeispielen näher beschrieben. The invention is described below with reference to exemplary embodiments in the drawing schematically illustrates made closer.

Die Fig. 1 und 2 zeigen je ein Ausführungsbeispiel und Figs. 1 and 2 each show an exemplary embodiment and

Fig. 3 eine Vorrichtung gemäß der Erfindung mit der Peripherie im Blockschaltbild. Fig. 3 shows a device according to the invention with the periphery of the block diagram.

In Fig. 1a ist eine Vorrichtung zur Herstellung großflächiger Plattenelemente aus Verbundwerkstoff gezeigt, die im wesentlichen aus einer ersten Heizplatte 10 , ei ner zweiten Heizplatte 11 und einer Kühleinrichtung 12 bestehen. In Fig. 1a a device for producing large-area plate elements made of composite material is shown, which consist essentially of a first heating plate 10, egg ner second heating plate 11 and a cooling means 12.

In einer horizontalen Anordnung befindet sich die Kühleinrichtung 12 an unte ster Stelle. In a horizontal arrangement, the cooling means 12 is at unte priority. Die Kühleinrichtung besteht aus einer Platte mit nebeneinander ange ordneten Kanälen 13 für ein Kühlmedium, z. The cooling device consists of a plate with adjacent channels 13 for a cooling medium, for example. B. Luft oder Wasser. As air or water. Die Kühlein richtung 12 ist von der darüberliegenden zweiten Heizplatte 11 durch eine Iso lierschicht 14 getrennt. The Kühlein direction 12 is from the overlying second heating plate 11 by a lierschicht Iso 14 separately. Die Isolierschicht 14 wird bezüglich des Materials und der Schichtdicke so gewählt, daß eine definierte Wärmeabführung zur Kühleinrich tung 12 erfolgt. The insulating layer 14 is made 12 with respect to the material and the layer thickness selected such that a defined heat dissipation tung to Kühleinrich. Die Heizplatten 10 und 11 sind über die gesamte Fläche mit Heizelementen 15 bzw. 16 , die als Heizstäbe ausgebildet sein können, durchsetzt, wie es bei der unteren Heizplatte 11 gezeigt ist. The heating plates 10 and 11 are over the entire surface with heating elements 15 and 16 which may be formed as heating rods through which, as shown at the lower heating plate. 11 Damit die Heizplatten 10 , 11 bis an ihrem äußersten Rand die erwünschte Wärmeenergie abführen können, ragen die Heizstäbe 15 , 16 über den Rand 20 des jeweiligen Heizelementes hinaus. Thus, the heating plates 10, until at its outermost edge can dissipate the heat energy desired 11, 15, 16 protrude beyond the heating elements beyond the edge 20 of the respective heating element.

Die untere Heizplatte 11 bildet den Boden 21 für die Aufnahme des zu bearbei tenden Substrats 22 . The lower heating plate 11 forms the bottom 21 for receiving the material to machining Tenden substrate 22nd Das Substrat ist beispielsweise eine poröse Faserstruktur, beispielsweise aus Kohlenstoff- oder SiC-Fasern 14 , das entweder als Gesamts truktur oder aus mehreren übereinander gelegten Fasergelegen bestehend auf die untere Heizplatte 11 gelegt wird. The substrate is, for example, a porous fibrous structure, for example of carbon or SiC fibers 14, either as tructure Gesamts or is placed a plurality of superposed fiber layers consisting of the lower heating plate. 11 Die seitliche Begrenzung wird durch einen rahmenförmigen Abstandshalter 25 gebildet, dessen lichte Abmessung dem herzustellenden Bauteil entspricht und dessen Dicke ebenfalls das Maß der Dicke des Bauteiles hat. The lateral boundary is formed by a frame-like spacer 25, the clearance dimension corresponding to the component to be produced and the thickness also has the dimension of the thickness of the component.

Zur Vorbereitung eines Infiltrationsprozesses wird zunächst der entsprechende Abstandshalter auf die untere Heizplatte 11 gelegt und dann das das Substrat bil dende Fasermaterial 17 in die durch die Heizplatte 11 und den Abstandshalter 25 gebildete Form eingelegt. To prepare an infiltration process, the corresponding spacer is first placed on the lower heating plate 11 and then inserted into the channel formed by the heating plate 11 and the spacer 25 form the substrate bil Dende fiber material 17th Anschließend wird über eine nicht dargestellte hydrau lische oder mechanische Einrichtung die obere Heizplatte 10 unter Verdichtung der Faserstruktur 17 bis zur Anlage auf den Abstandshalter 25 gedrückt. Then, the upper heating plate via an unillustrated hydrau metallic or mechanical means 10 is pressed with compaction of the fibrous structure 17 until it abuts on the spacer 25th Damit ist die Vorrichtung für den eigentlichen Beschichtungs- oder Verdichtungsprozeß vorbereitet. So that the device for the actual coating or sealing process is prepared.

Aus einer Gasversorgung wird das Beschichtungs- oder Verdichtungsmaterial ent haltende Gas über einen Verteiler 31 und einer Vielzahl gleichmäßig verteilter Zuführkanäle 32 in das Substrat 22 geleitet. The coating or compaction material ent supporting gas through a manifold 31 and a plurality of uniformly distributed supply channels 32 in the substrate 22 is directed from a gas supply. Die Zuführkanäle 32 sind fluchtende Bohrungen durch die Kühleinrichtung 12 , die Isolierung 14 und die untere Heiz platte 11 . The feed channels 32 are aligned bores through the cooling device 12, the insulation 14 and the lower heating plate. 11 Die Zuführkanäle 32 sind so angeordnet, daß sie durch eine Wandung 33 des Plattenmaterials von den Kanälen 34 für die Heizelemente 15 bzw. 16 ge trennt sind, so daß die beiden Bohrungsarten 32 bzw. 34 keinen strömungstech nischen Kontakt haben. The feed channels 32 are arranged so that they are separated by a wall 33 of the plate material ge of the channels 34 for the heating elements 15 and 16, respectively, so that the two types of holes 32 and 34 have no flow-piercing African contact.

Im Substrat 22 schlägt sich das Beschichtungs- oder Verdichtungsmaterial, z. In the substrate 22, the coating or compaction material suggests z. B. Kohlenstoff, SiC, Bornitrid auf die Fasern nieder, während das Reaktionsgas über ähnliche als Abgasführung 35 dienende Bohrungen in der oberen Heizplatte 10 und einen Sammelraum 36 in eine Entsorgung abgeführt werden. As carbon, SiC, boron nitride to the fibers down, while the reaction gas are discharged into a disposal 36 via similar as exhaust gas guide 35 serving holes in the upper heating plate 10 and a collection space.

Die in Fig. 1a gezeigte Vorrichtung dient sowohl zur Beschichtung der Fasern 17 als auch zur Verdichtung des Substrats 22 sowie auch zur Durchführung eines kombinierten Verfahrens, bei dem eine oder mehrere Beschichtungen und schließlich eine Verdichtung vorgenommen wird. The apparatus shown in Fig. 1a is used both for coating of the fibers 17 as well as for the compaction of the substrate 22 as well as for the implementation of a combined process in which one or more coatings and, finally, a densification is carried out.

Je nach dem gewünschten Prozeß werden die Heizplatten 10 , 11 und die Kühlein richtung 12 entsprechend eingestellt. Depending on the desired process, the heating plates 10, 11 and the direction Kühlein be adjusted according to the 12th Dieses kann über eine, in Fig. 3 gezeigte zentrale Regel- und Steuereinheit 40 automatisch über ein entsprechendes Pro gramm eingestellt werden. This 40 can be automatically set program of a corresponding Pro via a central regulating and control unit shown in Fig. 3.

Soll das Substrat 22 lediglich mit einem Material nachverdichtet werden, dann wird nur die abgasseitige Heizplatte 10 eingeschaltet und auf die gewünschte Temperatur gebracht. Should the substrate 22 be densified only by a material, only the exhaust gas-side heating plate 10 is turned and brought to the desired temperature. Außerdem wird das Kühlmedium durch die Kühlkanäle 13 der Kühleinrichtung 12 geführt. In addition, the cooling medium is guided through the cooling channels 13 of cooling device 12th Die Temperatur am Substrat 22 wird über nicht näher gezeigte Temperaturfühler überwacht und in der Steuereinheit 40 verar beitet. The temperature at the substrate 22 is monitored by temperature sensor not shown in detail and verar beitet in the control unit 40th Sobald der für den Prozeß erforderliche Temperaturgradient senkrecht zur Substratoberfläche eingestellt ist, wird ein Ventil der Gasversorgung 30 über die Steuereinheit 40 geöffnet und eine Pumpe 42 angestellt, die Gas aus den Ab führkanälen 35 über den Sammelraum 36 absaugt und in eine Entsorgung 37 be fördert. Once the required for the process temperature gradient is set perpendicular to the substrate surface, a valve of the gas supply 30 is opened via the control unit 40 and employed a pump 42, the gas from the Ab extension passages 35 sucks through the plenum 36 and promotes in a waste 37 be. Abgasseitig stellt sich ein Druck P 1 ein, der kleiner ist als der Gasdruck P 2 an der Zuführseite. The exhaust gas side there is set a pressure P 1 that is less than the gas pressure P 2 at the supply side. Der Gasdruck P 2 der Zuführseite wird zur Überwachung des Prozeßablaufes und der entsprechenden Einstellung der Saugleistung der Pumpe 42 abgetastet. The gas pressure P 2 of the feeding side is sampled for monitoring the process sequence and the corresponding adjustment of the suction power of the pump 42nd Der zuführseitige Gasdruck P 2 ist ein Maß für den Füllgrad im Sub strat 22 . The supply side gas pressure P 2 is a measure of the degree of filling in the sub strate 22nd

Das Verdichtungsmaterial wird zunächst am wärmeren, also abgasseitigen Ende reagieren und sich abscheiden und nach und nach von der im Betrieb stehenden Heizplatte 10 ausgehend zur kühleren Seite des Substrats 22 hin verdichten, wo durch die Wärmeleitfähigkeit des Substrats 22 sich zunehmend in die gleiche Richtung erhöht und damit den Reaktionsprozeß in die Richtung positiv beein flußt. The compression material is first react the warmer, so the exhaust gas side end and be deposited and gradually compacted from the standing in operating the heating plate 10 from the cooler side of the substrate 22 toward where progressively increased in the same direction by the thermal conductivity of the substrate 22 and thus influ- positively stunning in the direction of the reaction process. Die Isolierung 14 ist durch Material- und Schichtdickenwahl so ausgelegt, daß in Verbindung mit der Kühleinrichtung 12 der Wärmeabtransport ausreicht, um den gewünschten Temperaturgradienten im Substrat 22 , der sich im Verlauf des Infiltrationsprozesses verändert, zu erhalten. The insulation 14 is configured by material and thickness so dial that is sufficient in conjunction with the cooling device 12 of the heat dissipation in order to obtain the desired temperature gradient in the substrate 22, which changes the course of the infiltration process.

Bei Erreichen des Grenzdruckes des zuführseitigen Druckes P 2 , der die Beendi gung des Verdichtungsprozesses anzeigt, wird das Gasventil 41 geschlossen und die Pumpe 42 abgeschaltet. Upon reaching the threshold pressure of the supply side pressure P 2, indicating the supply Beendi the compression process, the gas valve 41 is closed and the pump 42 switched off. Je nach Anwendung wird die Kühleinrichtung 12 und die Heizplatte 10 gleich oder zeitlich versetzt abgeschaltet. Depending on the application, the cooling device 12 and the heating plate 10 is turned off is equal to or offset in time. Ist beispielsweise eine Temperaturbehandlung nach dem Verdichtungsprozeß erforderlich, so kann die se direkt mit der gleichen Vorrichtung im Anschluß an den Infiltrationsprozeß durchgeführt werden, indem beispielsweise die Kühlung 12 abgeschaltet und da für die untere Heizplatte 11 eingeschaltet wird. Is for example a temperature treatment after the compaction process is required, the se can be carried out directly by the same apparatus, following the infiltration process by switched off for example, the cooling 12, and is turned on because of the lower heating plate. 11

Ist vor einem Verdichtungsprozeß eine Beschichtung der Fasern 17 mit einem oder mehreren unterschiedlichen Materialien erforderlich, so können diese Pro zesse mit der Vorrichtung, ohne mechanische Veränderung derselben, direkt hin tereinander durchgeführt werden, was bei entsprechender Programmierung der Steuereinheit 40 auch automatisch erfolgen kann. Is before a compression process, a coating of the fibers 17 with one or more different materials are required, these Pro can processes with the apparatus, are the same, directly carried out behind the other without mechanical change, which may 40 also be effected automatically with appropriate programming of the control unit.

Bei dem Beschichtungsprozeß ist eine homogene Temperaturverteilung inner halb des gesamten Substrats 22 erwünscht. In the coating process a homogeneous temperature distribution is intra-half of the entire substrate 22 is desired. Dieses wird durch Betreiben beider Heizplatten 10 und 11 erreicht, wobei die Heizleistungen so eingestellt werden, daß zu beiden Seiten des Substrats die gleiche Temperatur herrscht. This is achieved by operating both heating plates 10 and 11, wherein the heating capacities can be set so that on both sides of the substrate the same temperature prevails. Soll nach der Beschichtung mit einem ersten Material eine zweite Schicht mit einem anderen Material erfolgen, das eine andere Reaktionstemperatur hat, dann wird vor Ein führung des zweiten Gases die Heizleistung der Heizplatten 10 und 11 entspre chend geändert. Target after coating with a first material, a second layer with a different material take place, which has a different reaction temperature, then the heating power of the heating plates 10 and 11 will be amended before a guidance of the second gas. Für die abschließende Verdichtung des Substrats 22 mit einem weiteren Material wird die untere Heizplatte 11 ausgeschaltet und die Kühlein richtung 12 eingeschaltet und wie oben beschrieben weiter verfahren. For the final compaction of the substrate 22 with another material, the lower hot plate 11 is turned off and the device turned on Kühlein 12 and as described above to proceed.

Mit der beschriebenen Vorrichtung ist es also möglich, ausgehend von einer Faser- oder porösen Struktur in sozusagen einem weiteren Arbeitsgang alle wei teren Prozesse bis zur Erstellung des fertigen Bauteiles durchzuführen. With the described device it is therefore possible, starting from a fibrous or porous structure so to speak, in a further operation to perform all white direct processes to production of the finished component. Dabei können gleichzeitig unregelmäßigen Formgebungen sowie unterschiedlichen Substratdicken Rechnung getragen werden. Here, irregular shapes and different substrate thicknesses bill can be worn simultaneously. In einem solchen Fall wird das Heiz system aus mehreren Heizplatten bestehen, die unterschiedlich und entspre chend den Oberflächenbereichen des Substrats orientiert und die jeweils indivi duell betrieben werden, dh an getrennte Energiequellen z. In such a case, the heating system will consist of several heating plates different and accordingly oriented the surface regions of the substrate and which are operated each indi vidually, ie to separate energy sources such. B. Stromquellen an gelegt sind. B. current sources are set to.

In Fig. 1b ist eine Variante von Fig. 1a gezeigt, in der das Substrat 22 ′ zwei unter schiedlich dicke Bereiche hat. In Fig. 1b shows a variant of FIG. 1a is shown in which has the substrate 22 'with two differently thick portions. Hier wird anstelle der einzigen Heizplatte 10 zwei Heizplatten 10 ′ und 10 ′′ verwendet, wobei die eine Heizplatte 10 ′ auf den schmä leren linken Bereich und die zweite Heizplatte 10 ′′ auf den dickeren, rechten Be reich des Substrats 22 ′ aufgepreßt werden. Here, 10, two heating plates, instead of the single heating plate is the one heating plate is pressed 10 'on the schmä sized left area and the second heating plate 10' 'to the thicker, right loading area of the substrate 22' 10 'and 10' 'is used. Durch getrennte Heizleistungssteue rung in den beiden Heizplatten 10 ′ und 10 ′′ können die Heizleistungen so einge stellt werden, daß in beiden Bereichen des Substrats 22 ′ die für den Infiltrations prozeß erforderlichen Temperaturgradienten herrschen. By separate Heizleistungssteue tion in the two heating plates 10 'and 10' ', the heating power can be so incorporated provides that prevail in the two regions of the substrate 22', the process necessary for the infiltration temperature gradient.

Fig. 2 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, das zur Bearbeitung eines selbsttra genden Substrats 50 dient. Fig. 2 shows another embodiment, which is used for processing a substrate 50 selbsttra constricting. Bei dem gezeigten Beispiel handelt es sich um einen Träger mit einem U-förmigen Querschnitt, dessen Seiten 51 , 52 dünner sind als der Boden 53 . In the example shown it is a carrier having a U-shaped cross section, the sides 51, 52 are thinner than the bottom 53rd Eine Pressung des Substrats 50 ist hier nicht erforderlich, demzufol ge ist es möglich, das Substrat 50 abströmseitig mit einer gasundurchlässigen Ver schalung 54 zu umgeben, so daß der Spalt 55 zwischen dem Substrat 50 und der Verschalung 54 als Sammelraum für das Abgas dient. A pressing of the substrate 50 is not necessary here, demzufol ge it is possible to the substrate 50 on the downstream side with a gas-impermeable Ver formwork 54 to surround, so that the gap 55 is between the substrate 50 and the casing 54 as a collecting space for the exhaust gas. Die Wände der Verschal ung 54 sind jeweils mit einer elektrischen Heizplatte 60 bis 62 umgeben, die an getrennte Stromquellen 63 bis 65 angeschlossen sind, so daß die Heizplatten 60 und 62 für die dünneren Seitenteile 51 und 52 des Substrats 50 mit einer geringe ren Leistung betrieben werden als die dem dickeren Boden 53 zugeordnete Hei zung 61 . The walls of the Verschal ung 54 are each surrounded with an electric hot plate 60 to 62 which are connected to separate current sources 63 to 65 so that the hot plates operated 60 and 62 for the thinner side portions 51 and 52 of the substrate 50 with a low ren power are used as the the thicker bottom 53 associated Hei wetting 61st

In die Innenseite des Substrats 50 ragt ein kombiniertes Heiz/Kühlbauteil 70 hin ein. In the inside of the substrate 50, a combined heating / cooling element 70 extends towards a. Natürlich kann das Bauteil auch nur als Kühlelement ausgebildet werden, wenn die Vorrichtung nur für Verdichtungsprozesse verwendet werden soll. Of course, the component can also be formed only as a cooling element when the device is to be used only for compression processes. Das Prozeßgas 71 gelangt über den Spalt 72 zwischen dem Heiz/Kühlelement 70 und dem Substrat 50 in das Substrat. The process gas 71 passes through the gap 72 between the heating / cooling element 70 and the substrate 50 into the substrate.

In den vorstehend beschriebenen Beispielen bestehen die Heizplatten aus ebe nen Platten. In the above-described examples, the heating plates from NEN ebe plates. Unter Heizplatten sollen jedoch nicht nur ebene sondern auch räum lich geformte, gekrümmte oder gebogene Platten verstanden werden. Under heating plates not only flat but also cavities Lich shaped, curved or bent sheets are to be understood. Das we sentliche ist, daß die Heiz- und Kühlplatten der Außenkontur des Substrats so fol gen, daß sie entweder flächenmäßig kontaktierend in Verbindung stehen oder daß zwischen Substrat und Heiz- bzw. Kühlelement ein Spalt mit konstanter Spaltbreite vorliegt. The we sentliche is that the heating and cooling plates gene as fol the outer contour of the substrate that they are either in terms of surface area contacting compound or that between the substrate and heating or cooling element, a gap of constant gap width is present. Damit können beliebig große Substrate bearbeitet werden, da die Wärmezufuhr über die gesamte Substratfläche direkt aus der Heizplatte erfolgt. Thus arbitrarily large substrates can be treated as the supply of heat over the entire substrate surface is made directly from the hot plate.

In Fig. 3 stellt der Block 43 einen der vorstehend beschriebenen Reaktoren dar, der mittels der Steuereinheit 40 gesteuert wird. In Fig. 3, block 43 represents one of the reactors described above, which is controlled by the control unit 40. Über die Steuereinheit 40 kann außer den bereits beschriebenen Funktionen eine mechanische oder die in der Zeichnung angedeutete hydraulische Druckanlage 44 für den Preßvorgang der ei nen Heizplatte gesteuert werden. Via the control unit 40 can be controlled 44 for the pressing of the egg NEN hot plate, a mechanical or indicated in the drawing, hydraulic pressure system in addition to the already described functions.

Claims (16)

1. Verfahren zur Herstellung von Verbundbauteilen, bei dem ein poröses oder faseriges Substrat aus einem Grundwerkstoff hergestellt und anschließend unter erhöhter Temperatur von einem Beschichtungs- oder Verdichtungs material enthaltenden Gasstrom durchströmt wird, dadurch gekennzeich net, daß das Substrat ( 22 , 50 ) gasabströmseitig und gegebenenfalls auch gasanströmseitig jeweils von einem Heizkörper ( 10 , 60 bis 62 bzw. 11 , 70 ) er wärmt wird, der im wesentlichen die Kontur des Bauteils folgt. 1. A process for producing composite components, in which produced a porous or fibrous substrate of a base material and then the material containing at elevated temperature of a coating or compression gas stream is flowed through, characterized in that the substrate (22, 50) gasabströmseitig and optionally also gasanströmseitig each of a radiator (10, 60 to 62 or 11, 70) it warms, is essentially follows the contour of the component.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat ( 50 ) entsprechend dessen Form bzw. Dicke mit unterschiedlicher Heizleistung (V 1 , V 2 ) beaufschlagt wird. 2. The method according to claim 1, characterized in that the substrate (50) is acted upon in accordance with its shape or thickness of different heating power (V 1, V 2).
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Be schichtung der Fasern ( 17 ) eines faserigen Substrats ( 22 ) mit einem oder mehreren Beschichtungsmaterialien das Substrat durch beidseitige Aufhei zung mit der Substratkontur folgenden Heizkörpern ( 10 , 11 ) einer homoge nen Temperaturverteilung unterworfen wird und daß anschließend die ga sanströmseitige Heizung ( 11 ) für einen nachfolgenden Verdichtungsprozeß mit einem Verdichtungsmaterial abgeschaltet wird. 3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that for the loading of the fibers (17) coating a fibrous substrate (22) with one or more coating materials to the substrate by bilateral Aufhei wetting with the substrate contour following radiators (10, 11) of a homoge NEN temperature distribution is subjected and that subsequently the ga sanströmseitige heating (11) is switched off for a subsequent compression process with a compaction material.
4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, bestehend aus einem Reaktor mit einem Heizsystem ( 10 , 11 ; 60 , 61 , 62 , 70 ) und einem Prozeßgaszu- und -abführsystem ( 31 , 32 bzw. 72 ; 35 , 36 bzw. 55 ) für das Beschichtungs- oder Verdichtungsmaterial, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizsystem plattenförmig ausgebildet ist und der Kontur des Substrats ( 22 , 50 ) folgend geformt ist. 4. Apparatus for carrying out the method of claim 1, consisting of a reactor with a heating system (10, 11; 60, 61, 62, 70) and a process gas injection and -abführsystem (31, 32, 72; 35, 36 or . 55) for the coating or compaction material, characterized in that the heating system is plate-shaped and the contour of the substrate (22, 50) is formed as following.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizsystem aus Heizplatten ( 60 , 61 , 62 ) besteht, die durch eine gasdichte Verschalung ( 54 ) vom Substat ( 50 ) getrennt sind. 5. Device according to claim 4, characterized in that the heating system of the heating plates (60, 61, 62) is formed by a gas-tight casing (54) from the Substat (50) are separated.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizsystem aus Heizplatten ( 10 , 11 ) besteht, die mit Gasabführ- bzw. Gaszuführbohrun gen ( 35 , 32 ) versehen sind. 6. Device according to claim 4, characterized in that the heating system of the heating plates (10, 11) which are provided with Gasabführ- or Gaszuführbohrun gen (35, 32).
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizplatten ( 10 , 11 ) als Preßstempel ausgebildet sind. 7. Apparatus according to claim 6, characterized in that the heating plates (10, 11) are designed as press ram.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizplatten ( 10 , 11 ) mit Heizelementen ( 15 , 16 ) durchsetzt sind, die gegenüber den Gas führungen ( 35 , 32 ) isoliert sind. 8. Apparatus according to claim 6, characterized in that the heating plates (10, 11) with heating elements (15, 16) are penetrated, the guides in relation to the gas (35, 32) are insulated.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizsystem aus mehreren gegebenenfalls im Baukastensystem zu sammensetzbaren Heizplatten ( 60 bis 62 ) besteht. 9. Device according to one of claims 4 to 8, characterized in that the heating system from more optionally in a modular system to sammensetzbaren heating plates (60 to 62).
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizleistung (V 1 , V 2 ) der Heizplatten ( 60 bis 62 ) je getrennt steuer bar sind. 10. Device according to one of claims 4 to 9, characterized in that the heating power (V 1, V 2) of the heating plates (60 to 62) are each separately control bar.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zusätzlich mit einem Kühlelement ( 12 , 70 ) ausgestattet ist, das ebenfalls der Kontur der gasströmseitigen Oberfläche des Substrats ( 22 , 50 ) folgt. 11. The device according to one of claims 4 to 10, characterized in that the apparatus additionally with a cooling element (12, 70) is provided, which also follows the contour of the gasströmseitigen surface of the substrate (22, 50).
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 11, gekennzeichnet durch eine als Preßstempel ausgebildete erste Heizplatte ( 10 ) und eine weitere als Kühl- und/oder Heizplatte ( 11 ) ausgebildete und den Boden ( 21 ) einer Form zur Aufnahme des Substrats bildende Platte ( 11 ), die Bohrungen ( 32 ) zur Einführung des Prozeßgases in das Substrat ( 22 ) aufweist, und wobei die Gasabführung durch Bohrungen ( 35 ) in der ersten Heizplatte ( 10 ) erfolgt. 12. The device according to one of claims 4 to 11, characterized by a pressure ram configured as first heating plate (10) and another as a cooling and / or heating plate (11) formed and the bottom (21) of a mold for receiving the substrate forming plate (11), the bores (32) for introducing the process gas into the substrate (22), and wherein the gas discharge takes place through bores (35) in the first heating plate (10).
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß ein Rahmen ( 25 ) als Abstandshalter zwischen der ersten Heizplatte ( 10 ) und der weite ren Platte ( 11 ) vorgesehen ist, der die Seitenwände der Form zur Aufnahme des Substrats ( 22 ) bildet. 13. The apparatus according to claim 12, characterized in that a frame (25) as a spacer between the first heating plate (10) and the wide ren plate (11) is provided, which forms the side walls of the mold for receiving the substrate (22).
14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die den Boden ( 21 ) der Form bildende Platte ( 11 ) eine zweite Heizplatte ist, die außerdem Bohrungen ( 13 ) für ein Kühlmedium hat. 14. The apparatus of claim 12 or 13, characterized in that the the base (21) of the mold-forming plate (11) is a second heating plate, which further holes (13) for a cooling medium.
15. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die den Boden ( 21 ) der Form bildende Platte eine zweite Heizplatte ( 11 ) ist und daß parallel zur zweiten Heizplatte ( 11 ) eine Kühlplatte ( 12 ) vorgesehen ist, die mittels einer die Wärmeabführung bestimmenden Isolierung ( 14 ) von einander getrennt sind. 15. The apparatus of claim 12 or 13, characterized in that the the base (21) of the mold plate forming a second heating plate (11) and that a cooling plate (12) is provided parallel to the second heating plate (11) by means of a the heat dissipation determining insulation (14) are separated from each other.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß für selbsttragende Substrate die Vorrichtung mit einer Verschalung ( 54 ) ausgerüstet ist, deren Form die Kontur der Substratoberfläche hat und auf deren Außenseite die Heizplatten ( 60 bis 62 ) aufliegen. 16. Device according to one of claims 4 to 11, characterized in that the device having a casing (54) is provided for self-supporting substrates, the shape of which has the contour of the substrate surface and on the outside of the hot plates rest (60 to 62).
DE19914142261 1991-12-20 1991-12-20 Coating and infiltration of substrates in a short time - by heating substrate using body which matches the component contour at gas outflow side and opt. gas entry side Withdrawn DE4142261A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19914142261 DE4142261A1 (en) 1991-12-20 1991-12-20 Coating and infiltration of substrates in a short time - by heating substrate using body which matches the component contour at gas outflow side and opt. gas entry side

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19914142261 DE4142261A1 (en) 1991-12-20 1991-12-20 Coating and infiltration of substrates in a short time - by heating substrate using body which matches the component contour at gas outflow side and opt. gas entry side

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE4142261A1 true DE4142261A1 (en) 1993-06-24

Family

ID=6447674

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19914142261 Withdrawn DE4142261A1 (en) 1991-12-20 1991-12-20 Coating and infiltration of substrates in a short time - by heating substrate using body which matches the component contour at gas outflow side and opt. gas entry side

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4142261A1 (en)

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2700330A1 (en) * 1993-01-11 1994-07-13 Minnesota Mining & Mfg Method of manufacturing a modified ceramic composite
DE19646094A1 (en) * 1996-11-08 1998-05-28 Sintec Keramik Gmbh A process for the chemical vapor infiltration of carbon and refractory materials
WO2000041983A1 (en) * 1999-01-18 2000-07-20 Dunlop Aerospace Limited Densification of porous bodies
DE10009530A1 (en) * 2000-02-29 2001-09-13 Klaus J Huettinger Process for the isothermal and isobaric chemical gas infiltration or refractory materials into a porous structure comprises sealing a part of the surface of a porous structure
DE10341255A1 (en) * 2003-09-04 2005-04-07 Sgl Carbon Ag Heat conduction plates made from expanded graphite, as well as processes for their preparation
EP1965606A1 (en) * 2007-02-06 2008-09-03 Schunk Kohlenstofftechnik GmbH Electric conductor and method for producing an electric conductor
US7959973B2 (en) 2006-11-29 2011-06-14 Honeywell International Inc. Pressure swing CVI/CVD
WO2013158853A1 (en) * 2012-04-18 2013-10-24 Knauf Insulation Gmbh Molding apparatus and process
US8940089B2 (en) 2007-08-03 2015-01-27 Knauf Insulation Sprl Binders
US9040652B2 (en) 2005-07-26 2015-05-26 Knauf Insulation, Llc Binders and materials made therewith
US9309436B2 (en) 2007-04-13 2016-04-12 Knauf Insulation, Inc. Composite maillard-resole binders
US9376749B2 (en) 2012-01-10 2016-06-28 Cvt Gmbh & Co. Kg Method for the chemical vapor infiltration of refractive substances
US9416248B2 (en) 2009-08-07 2016-08-16 Knauf Insulation, Inc. Molasses binder
US9447281B2 (en) 2007-01-25 2016-09-20 Knauf Insulation Sprl Composite wood board
US9492943B2 (en) 2012-08-17 2016-11-15 Knauf Insulation Sprl Wood board and process for its production
US9493603B2 (en) 2010-05-07 2016-11-15 Knauf Insulation Sprl Carbohydrate binders and materials made therewith
US9505883B2 (en) 2010-05-07 2016-11-29 Knauf Insulation Sprl Carbohydrate polyamine binders and materials made therewith
US9828287B2 (en) 2007-01-25 2017-11-28 Knauf Insulation, Inc. Binders and materials made therewith
US10287462B2 (en) 2012-04-05 2019-05-14 Knauf Insulation, Inc. Binders and associated products

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4576836A (en) * 1982-01-22 1986-03-18 Robert Colmet Method for producing a refractory composite structure
USH559H (en) * 1987-05-12 1988-12-06 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Advancing gelation front cure technique
US4863798A (en) * 1988-07-21 1989-09-05 Refractory Composites, Inc. Refractory composite material and method of making such material
DE3837887A1 (en) * 1988-11-08 1990-05-10 Weinsberg Karosseriewerke Mould
DE3902856A1 (en) * 1989-02-01 1990-08-02 Braun Melsungen Ag Pyro-carbon-containing formkoerper, its production and use
DE3922539A1 (en) * 1989-07-08 1991-01-10 Sintec Keramik Gmbh Carbon fibre-reinforced carbon heating element prodn. - involves chemical gas phase infiltration with pyrolytic carbon
DE3933039A1 (en) * 1989-10-04 1991-04-18 Sintec Keramik Gmbh Inhibiting oxidn. of carbon fibre reinforced carbon moulding - by chemical vapour infiltration or deposition of pyrolytic carbon and opt. silicon carbide
EP0451043A1 (en) * 1990-04-02 1991-10-09 Societe Europeenne De Propulsion Process for production of a thermostructural composite material with carbon intermediary phase between the reinforcing fibres and the matrix

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4576836A (en) * 1982-01-22 1986-03-18 Robert Colmet Method for producing a refractory composite structure
USH559H (en) * 1987-05-12 1988-12-06 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Advancing gelation front cure technique
US4863798A (en) * 1988-07-21 1989-09-05 Refractory Composites, Inc. Refractory composite material and method of making such material
DE3837887A1 (en) * 1988-11-08 1990-05-10 Weinsberg Karosseriewerke Mould
DE3902856A1 (en) * 1989-02-01 1990-08-02 Braun Melsungen Ag Pyro-carbon-containing formkoerper, its production and use
DE3922539A1 (en) * 1989-07-08 1991-01-10 Sintec Keramik Gmbh Carbon fibre-reinforced carbon heating element prodn. - involves chemical gas phase infiltration with pyrolytic carbon
DE3933039A1 (en) * 1989-10-04 1991-04-18 Sintec Keramik Gmbh Inhibiting oxidn. of carbon fibre reinforced carbon moulding - by chemical vapour infiltration or deposition of pyrolytic carbon and opt. silicon carbide
EP0451043A1 (en) * 1990-04-02 1991-10-09 Societe Europeenne De Propulsion Process for production of a thermostructural composite material with carbon intermediary phase between the reinforcing fibres and the matrix

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DIMITRIJEVIC, Stevan T.: INFILTRATION AND COATING OF THE POROUS CARBONACEOUS BODIES BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION. In: Carbon, Vol.29, Nos.4/5, 1991, S.605-611 *
Tagungsband SURTEC Berlin '91, 25.-27. Nov. 1991, S.107.114 *

Cited By (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2700330A1 (en) * 1993-01-11 1994-07-13 Minnesota Mining & Mfg Method of manufacturing a modified ceramic composite
DE19646094C2 (en) * 1996-11-08 1999-03-18 Sintec Keramik Gmbh A process for the chemical vapor infiltration of refractory materials, in particular carbon and silicon carbide, as well as use of the method
US6197374B1 (en) 1996-11-08 2001-03-06 Sintec Keramik Gmbh & Co Kg Method for chemical vapor infiltration of refractory substances, especially carbon and silicon carbide
DE19646094A1 (en) * 1996-11-08 1998-05-28 Sintec Keramik Gmbh A process for the chemical vapor infiltration of carbon and refractory materials
US6432477B1 (en) 1999-01-18 2002-08-13 Dunlop Aerospace Limited Densification of porous bodies
WO2000041983A1 (en) * 1999-01-18 2000-07-20 Dunlop Aerospace Limited Densification of porous bodies
DE10009530A1 (en) * 2000-02-29 2001-09-13 Klaus J Huettinger Process for the isothermal and isobaric chemical gas infiltration or refractory materials into a porous structure comprises sealing a part of the surface of a porous structure
US7132629B2 (en) 2003-09-04 2006-11-07 Sgl Carbon Ag Heat-conducting plate of expanded graphite, composite and method for production
DE10341255B4 (en) * 2003-09-04 2005-06-16 Sgl Carbon Ag Heat conduction plates made from expanded graphite, as well as processes for their preparation
DE10341255A1 (en) * 2003-09-04 2005-04-07 Sgl Carbon Ag Heat conduction plates made from expanded graphite, as well as processes for their preparation
US9926464B2 (en) 2005-07-26 2018-03-27 Knauf Insulation, Inc. Binders and materials made therewith
US9745489B2 (en) 2005-07-26 2017-08-29 Knauf Insulation, Inc. Binders and materials made therewith
US9464207B2 (en) 2005-07-26 2016-10-11 Knauf Insulation, Inc. Binders and materials made therewith
US9434854B2 (en) 2005-07-26 2016-09-06 Knauf Insulation, Inc. Binders and materials made therewith
US9040652B2 (en) 2005-07-26 2015-05-26 Knauf Insulation, Llc Binders and materials made therewith
US9260627B2 (en) 2005-07-26 2016-02-16 Knauf Insulation, Inc. Binders and materials made therewith
US7959973B2 (en) 2006-11-29 2011-06-14 Honeywell International Inc. Pressure swing CVI/CVD
US9447281B2 (en) 2007-01-25 2016-09-20 Knauf Insulation Sprl Composite wood board
US9828287B2 (en) 2007-01-25 2017-11-28 Knauf Insulation, Inc. Binders and materials made therewith
US10000639B2 (en) 2007-01-25 2018-06-19 Knauf Insulation Sprl Composite wood board
EP1965606A1 (en) * 2007-02-06 2008-09-03 Schunk Kohlenstofftechnik GmbH Electric conductor and method for producing an electric conductor
US9309436B2 (en) 2007-04-13 2016-04-12 Knauf Insulation, Inc. Composite maillard-resole binders
US8940089B2 (en) 2007-08-03 2015-01-27 Knauf Insulation Sprl Binders
US8979994B2 (en) 2007-08-03 2015-03-17 Knauf Insulation Sprl Binders
US9469747B2 (en) 2007-08-03 2016-10-18 Knauf Insulation Sprl Mineral wool insulation
US9039827B2 (en) 2007-08-03 2015-05-26 Knauf Insulation, Llc Binders
US9416248B2 (en) 2009-08-07 2016-08-16 Knauf Insulation, Inc. Molasses binder
US10053558B2 (en) 2009-08-07 2018-08-21 Knauf Insulation, Inc. Molasses binder
US9493603B2 (en) 2010-05-07 2016-11-15 Knauf Insulation Sprl Carbohydrate binders and materials made therewith
US9505883B2 (en) 2010-05-07 2016-11-29 Knauf Insulation Sprl Carbohydrate polyamine binders and materials made therewith
US9376749B2 (en) 2012-01-10 2016-06-28 Cvt Gmbh & Co. Kg Method for the chemical vapor infiltration of refractive substances
US10287462B2 (en) 2012-04-05 2019-05-14 Knauf Insulation, Inc. Binders and associated products
WO2013158853A1 (en) * 2012-04-18 2013-10-24 Knauf Insulation Gmbh Molding apparatus and process
US10183416B2 (en) 2012-08-17 2019-01-22 Knauf Insulation, Inc. Wood board and process for its production
US9492943B2 (en) 2012-08-17 2016-11-15 Knauf Insulation Sprl Wood board and process for its production

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19703214C1 (en) Membrane-electrode unit with integrated sealing edge and processes for their preparation
DE19509749C2 (en) A method for producing a composite electrode material, catalyst material and a solid electrolyte membrane
DE2928496C2 (en)
JP3815796B2 (en) Chemical vapor infiltration to enhance the porous substrate disposed in a stack of annular shape
DE112004002166B4 (en) Separator assembly for use in a stack of electrochemical cells and methods for making
EP1206900B1 (en) Electric heating element for hot runner systems and a method for producing a heating element of this type
DE69726604T3 (en) Friction element of carbon / carbon-silicon carbide composite material and process for its manufacture
US5195428A (en) Press for producing pressed board by treating the material with steam
EP0330895B1 (en) Method for attaching electronic components to substrates, and arrangement for carrying it out
EP1762122B1 (en) Radiant heater for heating the building material in a laser sintering device
DE4300478C1 (en) Method and apparatus for producing a three-dimensional object
KR100389502B1 (en) Pressure gradient cvi/cvd apparatus, process and product
DE10140166B4 (en) Method and apparatus for manufacturing fiber-reinforced components by means of an injection process
DE3301288C2 (en)
DE60130632T2 (en) Tool with built-in heating element and improved thermal conductivity
DE69826594T2 (en) Of carbon existing radiators
EP1187243B1 (en) Fuel cell unit, fuel cell stack assembly and method of manufacturing a fuel cell stack assembly
US4269642A (en) Method of forming densified edge seals for fuel cell components
EP1041169B1 (en) Apparatus and method for coating substrates by a PVD process
DE3234076C2 (en)
EP0011841B1 (en) Process and apparatus for producing silicon carbide objects
DE3539981C1 (en) Method and apparatus for treatment of semiconductor materials
DE69629297T2 (en) Method and apparatus for thermal conditioning of substrates with a passive gas
DE3317349C2 (en)
EP0684211B1 (en) Process and apparatus for manufacturing quartz glass sheets

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8139 Disposal/non-payment of the annual fee