DE4031453A1 - Triangulation measurement to determine object position - using right source and position sensitive detector with two or more position sensitive surfaces - Google Patents
Triangulation measurement to determine object position - using right source and position sensitive detector with two or more position sensitive surfacesInfo
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Triangulationsmeßverfahren zur Positionsbestimmung eines Meßobjekts gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein Triangulationsmeßgerät gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 5.The invention relates to a triangulation measurement method for Position determination of a measurement object according to the generic term of claim 1 and a triangulation measuring device according to the Preamble of claim 5.
Triangulationsmeßverfahren werden zur Positionsbestimmung eines Meßobjekts angewandt. Bei diesem Verfahren ist in der Regel eine Strahlungsquelle zur Beleuchtung des Meßobjekts vorgesehen. Die Strahlung wird vom Meßobjekt auf einen po sitionssensitiven Sensor, der zumindest zwei strahlungsab hängige Ausgangssignale aufweist, aus denen die Position des Meßobjekts bestimmt werden kann, in Abhängigkeit von der Position und der Oberflächenbeschaffenheit des Meßob jektes reflektiert.Triangulation measurement methods are used to determine the position of a measurement object applied. With this procedure is in the Usually a radiation source for illuminating the test object intended. The radiation is from the test object to a po sition-sensitive sensor that detects at least two radiation has pending output signals from which the position of the measurement object can be determined depending on the position and surface condition of the measuring ob reflected.
Die Anforderungen an ein System zur Durchführung eines der artigen Verfahrens bestehen in einer hohen Genauigkeit, ei nem geringen Rauschen, einer hohen Ortsauflösung und einer hohen Anstiegsgeschwindigkeit für die Ausgangssignale, die auch die Messung sich schnell bewegender Objekte erlauben soll.The requirements for a system to implement one of the like procedure consist in a high accuracy, egg low noise, high spatial resolution and one high slew rate for the output signals that also allow the measurement of fast moving objects should.
Ein großes Problem bei der Anwendung von Triangulationsmeß verfahren besteht darin, daß die Strahlung durch die Meßob jekte unterschiedlich stark reflektiert wird. Das Triangu lationsmeßsystem muß daher über einen hohen Dynamikbereich verfügen, um einerseits sehr schwach reflektierte Signale und auf der anderen Seite sehr stark reflektierte Signale messen zu können. Bei sehr schwach reflektierten Signa len besteht darüber hinaus das Problem, daß der Abstand zum Rauschen, das durch die Sensoren und die Eingangsverstärker für die Ausgangssignale hervorgerufen wird, zu gering ist, um eine einwandfreie Messung zu garantieren.A big problem when using triangulation measurement procedure consists in that the radiation by the measuring ob objects are reflected to different degrees. The triangu lationsmeßsystem must therefore have a high dynamic range have very weakly reflected signals and on the other hand very strongly reflected signals to be able to measure. With very weakly reflected Signa len there is also the problem that the distance to Noise from the sensors and the input amplifiers for which the output signals are caused is too low, to guarantee a perfect measurement.
Bei bekannten Triangulationsmeßgeräten wird daher die Emp fängerempfindlichkeit in Abhängigkeit von der auf den posi tionssensitiven Detektor einfallenden Lichtstärke geregelt. Dieses Verfahren ist jedoch mit einem hohen Hardware-Auf wand verbunden, da die Ausgangssignale des positionssensi tiven Detektors getrennt verstärkt werden müssen, wobei darauf geachtet werden muß, daß die Signale gleichmäßig und mit einer vorgegebenen Kennlinie geregelt werden.In known triangulation measuring devices, the Emp catcher sensitivity depending on the on the posi tion-sensitive detector regulated incident light intensity. However, this method has a high hardware overhead wall connected because the output signals of the position sensor tive detector must be amplified separately, where care must be taken that the signals are even and can be regulated with a predetermined characteristic.
Eine andere Möglichkeit zur Lösung des Dynamikproblems be steht in einer Regelung der Lichtleistung der Beleuchtung des Meßobjekts. Bei einem geringen Reflexionsgrad des Meß objekts wird die Lichtleistung der Beleuchtung derart hoch geregelt, daß die auf den positionssensitiven Detektor ein fallende Lichtmenge einem vorgegebenen Sollwert entspricht. Aufgrund der Reglerzeitkonstanten lassen sich mit einer derartigen Kompensation der Lichtstärkenunterschiede nur relativ langsame Systeme verwirklichen, mit denen die Messung sich schneller bewegender Objekte unmöglich ist.Another way to solve the dynamic problem be stands in a regulation of the light output of the lighting of the measurement object. With a low reflectance of the measurement the light output of the lighting becomes so high regulated that on the position sensitive detector falling amount of light corresponds to a predetermined setpoint. Due to the controller time constants, a such compensation of light intensity differences only realize relatively slow systems with which the Measuring faster moving objects is impossible.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Triangulationsmeßverfahren und Triangulationsmeßgerät zu schaffen, die eine schnelle Bestimmung der Position eines Meßobjekts bei hoher Lichtdynamik, hoher Auflösung, hoher Genauigkeit und hohem Rauschabstand erlauben.The invention is based on the object Triangulation measuring method and triangulation measuring device too create a quick determination of the position of a DUT with high light dynamics, high resolution, high Allow accuracy and high signal-to-noise ratio.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einem Triangulations meßverfahren der gattungsgemäßen Art durch die kennzeich nenden Merkmale des Anspruchs 1 und bei einem Triangula tionsmeßgerät der gattungsgemäßen Art durch die kennzeich nenden Merkmale des Anspruchs 5 gelöst. Vorteilhafte Wei terbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.The object is achieved according to the invention in a triangulation measuring method of the generic type by the character nenden features of claim 1 and a triangula tion measuring device of the generic type by the character nenden features of claim 5 solved. Favorable Wei Further training is the subject of the subclaims.
Die Idee der Erfindung besteht darin, die Ausgangssignale des positionssensitiven Detektors solange zu integrieren, bis die auf dem positionssensitiven Detektor eingestrahlte Lichtmenge einen vorgegebenen Sollwert erreicht hat. Erst dann erfolgt die Auslesung und Auswertung der aufintegrier ten Ausgangssignale zur Positionsberechnung des Meßobjekts.The idea of the invention is the output signals to integrate the position sensitive detector as long as until the irradiated on the position sensitive detector Light quantity has reached a predetermined setpoint. First then the read-in and evaluation of the integrating takes place th output signals for position calculation of the measurement object.
Bei dem Triangulationsmeßgerät werden, nach dem Einschalten der Strahlungsquelle zu Beginn des Meßzyklus, die Ausgangs signale des positionssensitiven Sensors aufintegriert und in Differenz- und Summensignale umgewandelt. Wahlweise kön nen auch die zuerst in Differenz- und Summensignale umgewan delten Ausgangssignale aufintegriert werden. Erreicht der Wert der Integralsumme bzw. des Summenintegrals einen vor gebbaren Sollwert, so werden die aufintegrierten und umge wandelten Sensorausgangssignale zur weiteren Signalverar beitung ausgelesen. Nach Erreichen des Sollwerts kann die Strahlungsquelle abgeschaltet werden.With the triangulation measuring device, after switching on the radiation source at the beginning of the measuring cycle, the output signals of the position sensitive sensor integrated and converted into difference and sum signals. Optionally nen also first converted into difference and sum signals output signals can be integrated. Reaches the Value of the integral sum or the integral integral one in front specifiable setpoint, the integrated and vice versa converted sensor output signals for further signal processing processing read out. After reaching the setpoint, the Radiation source can be switched off.
Die Ausgangssignale der Integratoren können unmittelbar ei nem Analog/Digital-Wandler zugeführt werden, wo sie in ei nen digitalen Meßwert umgesetzt werden können. Anschließend werden die Integratoren für den nächsten Meßzyklus zurück gesetzt, wobei das Rücksetzen durch die Rücksetzeinrichtung zeitgesteuert erfolgen kann.The output signals of the integrators can be directly egg nem analog / digital converter are fed, where they in egg NEN digital measured value can be implemented. Subsequently the integrators will return for the next measurement cycle set, the reset by the reset device can be timed.
Ein erfindungsgemäßes Triangulationsmeßgerät läßt sich mit sehr geringem Schaltungsaufwand und minimaler Baugröße her stellen. Es lassen sich zur Herstellung der Schaltung auf dem Markt befindliche Standard-Bauelemente verwenden, die in der Schaltung einfach zu dimensionieren sind. Aufgrund des Verfahrens ist kein Schaltungsabgleich erforderlich. Es sind Meßraten von mehr als 1000 Hertz möglich.A triangulation measuring device according to the invention can also be used very little circuitry and minimal size put. It can be used to manufacture the circuit use standard components on the market that are easy to dimension in the circuit. Because of No circuit adjustment is required in the process. It measuring rates of more than 1000 Hertz are possible.
Das erfindungsgemäße Triangulationsmeßgerät hat eine sehr hohe Lichtdynamik von mehr als 100, wobei eine Vervielfa chung durch Modifikation möglich ist. Das Rauschen wird aufgrund der wenigen im Signalweg befindlichen Rauschquel len minimal gehalten. Eine Änderung der Reflexionsbedingun gen an dem Meßobjekt während der Meßzeit bleibt ohne Ein fluß auf die gemessenen Werte.The triangulation measuring device according to the invention has a very high light dynamics of more than 100, with a multiplication modification is possible. The noise will due to the few noise sources in the signal path len kept to a minimum. A change in the reflection condition conditions on the measurement object during the measurement time remains without on flow to the measured values.
Als Strahlungsquelle wird vorzugsweise eine Laserlichtquel le verwendet, deren Strahlungsparameter durch eine konstan te Pulsleistung sehr konstant gehalten werden kann.A laser light source is preferably used as the radiation source le used, whose radiation parameters by a constant te pulse power can be kept very constant.
Bei dem erfindungsgemäßen Triangulationsmeßverfahren kann selbstverständlich ein eigener Strahlungsdetektor zur Ab leitung eines Meßsignals für die eingestrahlte Lichtmenge verwendet werden, obwohl aufgrund des geringeren Hardware- Aufwandes die Verwendung der Sensorflächen des positions sensitiven Detektors für diese Aufgabe vorteilhafter ist.In the triangulation measurement method according to the invention of course a separate radiation detector for Ab line of a measurement signal for the incident light quantity be used, although due to the lower hardware Effort the use of the sensor surfaces of the position sensitive detector for this task is more advantageous.
Als Integratoren können Kondensatoren verwendet werden.Capacitors can be used as integrators.
Die Positionsbestimmung des Meßobjekts erfolgt bei dem er findungsgemäßen Triangulationsmeßgerät durch die Division des Differenzwertes durch den Summenwert. In einer vorteil haften Weiterbildung der Erfindung ist hierbei als Auswer teschaltung ein Analog/Digital-Wandler in dem Triangula tionsmeßgerät vorgesehen, der selbst als Dividierer arbei tet. Der ausgegebene Digitalwert entspricht dann dem Ver hältnis der zu wandelnden Spannung zur angelegten Referenz spannung. Der Ausgang des Integrators des Summensignals wird hierbei am Referenzspannungseingang und das Ausgangs signal des Integrators des Differenzsignals am Wandlerein gang angelegt. Eine konstante maximale Auflösung wird so mit bei minimaler Wandlerdatenrate und geringem Hardware- und Software-Aufwand realisiert.The position of the measurement object is carried out with the triangulation measuring device according to the invention by the division the difference value by the total value. In an advantage adhere further development of the invention is here as Auswer teschaltung an analog / digital converter in the Triangula tion measuring device provided, which itself works as a divider tet. The output digital value then corresponds to Ver ratio of the voltage to be converted to the applied reference tension. The output of the integrator of the sum signal is at the reference voltage input and the output signal of the integrator of the differential signal at the converter gear created. A constant maximum resolution becomes like this with minimal converter data rate and low hardware and Software effort realized.
Die Erfindung wird nachfolgend beispielsweise anhand der schematischen Zeichnung beschrieben. Diese zeigt ein Funk tionsschaltbild eines erfindungsgemäßen Triangulationsmeß geräts mit Lichtmengenregelung.The invention is described below, for example, with reference to schematic drawing described. This shows a radio tion circuit diagram of a triangulation measurement according to the invention devices with light quantity control.
Das Triangulationsmeßgerät 10 hat eine Laserstrahlungsquel le 12, von der aus Strahlung auf ein Meßobjekt abgestrahlt wird, dessen Position bestimmt werden soll. Die vom Meßob jekt reflektierte Strahlung trifft auf einen positionssen sitiven Detektor 14 auf.The triangulation measuring device 10 has a laser radiation source 12 , from which radiation is emitted onto a measurement object whose position is to be determined. The radiation reflected by the measuring object strikes a position-sensitive detector 14 .
Die Ausgänge des Sensors 14 sind mit den Eingängen zweier Operationsverstärker 20, 22 verbunden. Die Ausgänge beider Operationsverstärker 20, 22 sind auf einen ersten Integrator 24 geführt, der zur Integration der Summe der aufbereiteten Ausgangssignale des Sensors 14 dient. Die Integration er folgt in dem Integrator 24 durch einen Kondensator 26. Das Ausgangssignal des zweiten Operationsverstärkers 22 ist auf einen zweiten Integrator 28 geführt, der ebenfalls einen Kondensator 30 zur Integration des Ausgangssignals auf weist. Der Ausgang des ersten Integrators 24 ist mit dem Referenzeingang 32 eines A/D-Wandlers 34 verbunden. Der Ausgang des zweiten Integrierers 28 ist mit dem Wandlerein gang 36 des Analog/Digital-Wandlers 34 verbunden. Durch diese Schaltung wird vorteilhafterweise der Rauschanteil durch Analogaufbereitung der Ausgangssignale des positions sensitiven Detektors so gering wie möglich gehalten, wo durch die Dynamik des Triangulationsgeräts abermals verbes sert wird. Der Analog/Digitalwandler arbeitet als Dividie rer, der das Integrationssignal des einen Sensorausgangssi gnals durch das Integrationssignal der Summe beider Sensor ausgangssignale teilt und daraus die Position eines Meß objektes bezeichnet. Durch das Fehlen analoger Bauteile bei der Auswertung der Integratorsignale wird eine hohe Linea rität erreicht. Das Auslesen der Integratoren 24, 28 durch den Analog/Digital-Wandler 34 wird dadurch verursacht, daß das integrierte Summensignal am Ausgang des ersten Integra tors 24 auf den ersten Eingang eines Komparators 38 gelegt ist, der dieses integrierte Summensignal mit der Referenz spannung einer Referenzspannungsquelle 40 vergleicht, die vorzugsweise einstellbar ist. Wenn der aufintegrierte Sum menwert am Ausgang des ersten Integrators 24 die Referenz spannung der Referenzspannungsquelle 40 übersteigt, wird der Analog/DigitalWandler 34 durch das Ausgangssignal des Komparators 38 zum Auslesen der Ausgangssignale der beiden Integratoren 24 und 28 angestoßen. Gleichzeitig wird wäh rend dieses Vorgangs die Stromzufuhr 42 zur Laserstrah lungsquelle 12 unterbrochen. Die durch den Analog/Digital- Wandler 34 ausgelesenen Werte können durch eine Schnitt stelle 44 an ein Bussystem zur weiteren Verwertung ausgege ben werden. Nach dem Auslesevorgang werden die Integratoren 24, 28 durch eine zeitgesteuerte Rücksetzeinrichtung 46 wie der zurückgesetzt. Die Rücksetzung erfolgt durch Kurz schließen der Kondensatoren 26, 30 in den Integratoren 24, 28 und wird von der Rücksetzeinrichtung 46 gesteuert. Die Rücksetzeinrichtung steuert auch eine Einrichtung zur Fremdlichtkompensation, die durch die Operationsverstärker 20, 22 und die Kompensationsglieder 48, 50 gebildet wird. Die Länge einer Meßzeit hängt von der auf den positionssensi tiven Detektor eingestrahlten Lichtmenge ab und wird so eingeregelt, daß die eingestrahlte Lichtmenge im wesentli chen konstant ist.The outputs of the sensor 14 are connected to the inputs of two operational amplifiers 20 , 22 . The outputs of both operational amplifiers 20 , 22 are routed to a first integrator 24 , which is used to integrate the sum of the processed output signals from sensor 14 . The integration takes place in the integrator 24 through a capacitor 26 . The output signal of the second operational amplifier 22 is fed to a second integrator 28 , which also has a capacitor 30 for integrating the output signal. The output of the first integrator 24 is connected to the reference input 32 of an A / D converter 34 . The output of the second integrator 28 is connected to the converter input 36 of the analog / digital converter 34 . This circuit advantageously keeps the noise component as low as possible by analog processing of the output signals of the position-sensitive detector, where the dynamics of the triangulation device improve again. The analog / digital converter works as a divider, which divides the integration signal of one sensor output signal by the integration signal the sum of the two sensor output signals and uses this to designate the position of a measurement object. Due to the lack of analog components when evaluating the integrator signals, a high degree of linearity is achieved. The readout of the integrators 24 , 28 by the analog / digital converter 34 is caused by the fact that the integrated sum signal at the output of the first integrator 24 is connected to the first input of a comparator 38 , which this integrated sum signal with the reference voltage of a reference voltage source 40 compares, which is preferably adjustable. If the integrated sum value at the output of the first integrator 24 exceeds the reference voltage of the reference voltage source 40 , the analog / digital converter 34 is triggered by the output signal of the comparator 38 for reading out the output signals of the two integrators 24 and 28 . At the same time, the power supply 42 to the laser beam source 12 is interrupted during this process. The values read out by the analog / digital converter 34 can be output by an interface 44 to a bus system for further use. After the reading process, the integrators 24 , 28 are reset by a time-controlled reset device 46 . The reset is carried out by short-circuiting the capacitors 26 , 30 in the integrators 24 , 28 and is controlled by the reset device 46 . The reset device also controls a device for extraneous light compensation, which is formed by the operational amplifiers 20 , 22 and the compensation elements 48 , 50 . The length of a measurement time depends on the amount of light irradiated onto the position-sensitive detector and is adjusted so that the amount of light irradiated is essentially constant.
Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel er folgt die Summation der aufbereiteten Sensorsignale in dem ersten Integrator 24. Diese Anordnung ist bezüglich der Mi nimierung von Störquellen und Hardware-Aufwand vorteil haft. Selbstverständlich ist es dem Fachmann auch überlas sen, die Integration vor oder nach der Summation durchzu führen.In the exemplary embodiment described above, the processed sensor signals are summed in the first integrator 24 . This arrangement is advantageous in terms of minimizing interference sources and hardware outlay. Of course, it is also left to the person skilled in the art to carry out the integration before or after the summation.
Der wesentliche Kern der Erfindung liegt in der Anwendung einer Lichtmengenregelung, mit der sich eine sehr hohe Lichtdynamik bei sehr guter Genauigkeit der Ortsbestimmung und hoher Meßrate erzielen läßt. Bei jedem einzelnen Meß zyklus paßt sich die Meßvorrichtung den Reflexionseigen schaften der Meßgutoberfläche ohne Zeitverzögerung neu an. Dadurch wird eine verzögerungsfreie Vermessung von bewegten Meßgütern mit sehr stark unterschiedlichem Reflexionsver halten ermöglicht. Ein auf diesem Prinzip basierendes Tri angulationsmeßgerät ist zudem in hohem Maß störungsunemp findlich und läßt sich schaltungs- und fertigungstechnisch mit geringem Aufwand realisieren.The essential essence of the invention lies in the application a light quantity control with which a very high Light dynamics with very good accuracy of location and high measuring rate can be achieved. With every single measurement cycle, the measuring device adapts to the reflection properties create new surfaces without delay. This enables a delay-free measurement of moving Measured goods with very different reflectivity allows holding. A tri based on this principle Angulation measuring device is also highly immune to interference sensitive and can be circuit and manufacturing technology realize with little effort.
Claims (16)
daß die Ausgangssignale aufintegriert werden, bis die vom Meßobjekt auf die Steuerflächen (16, 18) auftreten de Lichtmenge einen Sollwert erreicht hat,
daß die aufintegrierten Ausgangssignale daraufhin zur Positionsbestimmung ausgewertet und anschließend für einen neuen Meßzyklus rückgesetzt werden.1. Triangulation measurement method for determining the position of a measurement object using a radiation source and a position-sensitive detector with at least two radiation-sensitive sensor surfaces, each of which delivers an output signal, characterized in that
that the output signals are integrated until the quantity of light occurring from the test object on the control surfaces ( 16 , 18 ) has reached a setpoint,
that the integrated output signals are then evaluated for position determination and then reset for a new measuring cycle.
mit einer Strahlungsquelle, mit einem positionssensi tiven Detektor mit mindestens zwei nebeneinander ange ordneten Sensorflächen, die Ausgangssignale liefern, welche zu einem Summensignal summiert werden und mit einer Auswerteschaltung zur Bestimmung der Position eines Meßobjekts auf der Basis der Ausgangssignale, gekennzeichnet durch
Integriatoren (24, 28) zur Aufintegrierung der Ausgangs signale,
einen Komparator (38) zum Vergleich des Integrations wertes mindestens eines Ausgangssignals mit einem Sollwert, wobei das Ausgangssignal des Komparators (38) zur Steuerung der Auswerteschaltung (34) ableit bar ist, und
eine Rücksetzeinrichtung (46) zum Rücksetzen der Inte grationswerte der Ausgangssignale.6. triangulation measuring device, in particular for carrying out the method according to one of the preceding claims,
with a radiation source, with a position-sensitive detector with at least two sensor surfaces arranged side by side, which supply output signals which are summed to form a sum signal and with an evaluation circuit for determining the position of a measurement object on the basis of the output signals, characterized by
Integrators ( 24 , 28 ) for integrating the output signals,
a comparator ( 38 ) for comparing the integration value of at least one output signal with a desired value, the output signal of the comparator ( 38 ) for controlling the evaluation circuit ( 34 ) being derivable, and
a reset device ( 46 ) for resetting the integration values of the output signals.
daß der Ausgang des Integrators (24) für das Summensi gnal mit dem Referenzeingang (32) und der Ausgang des Integrators (28) für das Ausgangssignal mit dem Wand lereingang (36) des Analog/Digital-Wandlers (34) ver bunden sind, und
daß der Analog/Digital-Wandler (34) als Dividierer ausgebildet ist.9. triangulation measuring device according to claim 8, characterized in
that the output of the integrator ( 24 ) for the Summensi signal with the reference input ( 32 ) and the output of the integrator ( 28 ) for the output signal with the converter input ( 36 ) of the analog / digital converter ( 34 ) are connected, and
that the analog / digital converter ( 34 ) is designed as a divider.
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| DE19904031453 DE4031453C2 (en) | 1990-10-04 | 1990-10-04 | Triangulation measuring method and device for carrying it out |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0616194A1 (en) * | 1993-03-19 | 1994-09-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid state image pickup device |
| DE4415419A1 (en) * | 1994-05-02 | 1995-11-09 | Horn Wolfgang | Precision position measurement appts. for robotic container high-lift truck |
| WO1997042465A1 (en) * | 1996-05-07 | 1997-11-13 | Besam Ab | A method for the determination of the distance and the angular position of an object |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4623237A (en) * | 1984-07-07 | 1986-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Automatic focusing device |
| US4673274A (en) * | 1984-09-18 | 1987-06-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Automatic focusing apparatus for camera |
| US4705395A (en) * | 1984-10-03 | 1987-11-10 | Diffracto Ltd. | Triangulation data integrity |
-
1990
- 1990-10-04 DE DE19904031453 patent/DE4031453C2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4623237A (en) * | 1984-07-07 | 1986-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Automatic focusing device |
| US4673274A (en) * | 1984-09-18 | 1987-06-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Automatic focusing apparatus for camera |
| US4705395A (en) * | 1984-10-03 | 1987-11-10 | Diffracto Ltd. | Triangulation data integrity |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| JP 61-245012 A In: Patents Abstracts of Japan P-559 March 24, 1987, Vol. 11/No. 93 * |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0616194A1 (en) * | 1993-03-19 | 1994-09-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid state image pickup device |
| US5424530A (en) * | 1993-03-19 | 1995-06-13 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid image pickup device having dual integrator |
| US5684295A (en) * | 1993-03-19 | 1997-11-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid state image pickup device having dual integrator |
| DE4415419A1 (en) * | 1994-05-02 | 1995-11-09 | Horn Wolfgang | Precision position measurement appts. for robotic container high-lift truck |
| WO1997042465A1 (en) * | 1996-05-07 | 1997-11-13 | Besam Ab | A method for the determination of the distance and the angular position of an object |
| US6160479A (en) * | 1996-05-07 | 2000-12-12 | Besam Ab | Method for the determination of the distance and the angular position of an object |
Also Published As
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| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
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| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
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Owner name: TSI GMBH, 52078 AACHEN, DE |
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