DE4002049A1 - Multifilament electron gun with regulator emitters pattern - giving uniform current density through plane of film stretched across exit window in pref. rectangular frame - Google Patents
Multifilament electron gun with regulator emitters pattern - giving uniform current density through plane of film stretched across exit window in pref. rectangular frameInfo
- Publication number
- DE4002049A1 DE4002049A1 DE19904002049 DE4002049A DE4002049A1 DE 4002049 A1 DE4002049 A1 DE 4002049A1 DE 19904002049 DE19904002049 DE 19904002049 DE 4002049 A DE4002049 A DE 4002049A DE 4002049 A1 DE4002049 A1 DE 4002049A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electron emission
- emission source
- source according
- fiber
- window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 71
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 15
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 8
- 239000011324 bead Substances 0.000 claims description 4
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims description 3
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 239000004753 textile Substances 0.000 claims description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 abstract 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K5/00—Irradiation devices
- G21K5/02—Irradiation devices having no beam-forming means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/021—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/073—Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine Elektronenemissionsquelle mit einer Kathode, umfassend einen Faseremitter, und mit einer Anode.The invention relates to an electron emission source with a cathode comprising a fiber emitter, and with an anode.
Bei derartigen Elektronenemissionsquellen, welche vorzugs weise gepulst und mit hoher Stromdichte betrieben werden sollen, ist es bekannt, die Kathode mit einem Faser emitter zu versehen, so daß bei Anlegen einer Hochspan nung zwischen der Kathode und der Anode eine Elektronen emission erfolgt. Diese Faseremitter erlauben bei gepulstem Betrieb relativ lange Pulse und auch hohe Pulsstromdich ten, ohne die Nachteile mit sich zu bringen, die bei den üblicherweise verwendeten Metallfolienschneiden auf der Emitterfläche einer Elektrode entstehen.With such electron emission sources, which are preferred pulsed and operated with high current density should, it is known to the cathode with a fiber to provide emitter, so that when creating a high voltage an electron between the cathode and the anode emission occurs. These fiber emitters allow for pulsed Operation of relatively long pulses and also high pulse current without the disadvantages that come with the Usually used metal foil cutting on the The emitter surface of an electrode is created.
Derartige Faseremitter sind bislang lediglich bei klein flächigen Elektronenemissionsquuellen zum Einsatz gekommen. Such fiber emitters have so far only been small flat electron emission sources were used.
Für eine Vielzahl von Anwendungsfällen, beispielsweise zur Ionisation von Lasergasen,ist es erforderlich, eine möglichst über eine große Fläche verteilte konstante Elektronenemission am Ausgang einer derartigen Elek tronenemissionsquelle zu erhalten, welche in ihrer Flächenausdehnung eine möglichst homogene Elektronenstrom dichte aufweist.For a variety of use cases, for example for ionization of laser gases, it is necessary to use a constant over a large area if possible Electron emission at the output of such an elec to obtain the electron emission source, which in its Surface area a most homogeneous electron flow has density.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Elektronenemissionsquelle der eingangs beschriebenen Art derart zu verbessern, daß mit dieser eine möglichst großflächige Elektronenemission mit möglichst konstanter Elektronenstromdichte herstellbar ist. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einer Elektronenemissionsquelle der eingangs beschriebenen Art derart gelöst, daß die Kathode zur großflächigen Elektronenemission mehrere auf einer Fläche im Abstand voneinander angeordnete kleinflächige Faseremitter aufweist.The invention is therefore based on the object Electron emission source of the type described in the introduction to improve in such a way that with this one if possible large-scale electron emission with constant as possible Electron current density can be produced. This task will according to the invention with an electron emission source of the type described in such a way that the Cathode for large-area electron emission several on a surface spaced apart has small-area fiber emitters.
Bei dieser Art der Anordnung von kleinflächigen Faser emittern auf einer Fläche ist es in vorteilhafter Weise möglich, eine großflächige Elektronenemission mit im wesentlichen konstanter Elektronendichte herzustellen, wobei der Kern der Erfindung darin liegt, nicht den be kannten kleinflächigen Faseremitter mit einer größeren Flächenausdehnung herzustellen, sondern kleinflächige Faseremitter im Abstand voneinander auf einer Fläche anzuordnen. Erst dadurch läßt sich die geforderte groß flächige, im wesentlichen ungefähr konstante Elektronenstrom dichte der Elektronenemissionsquelle erreichen. With this type of arrangement of small-area fiber emit in an area it is advantageous possible, a large-area electron emission with im to produce a substantially constant electron density, the essence of the invention is not the be knew small-area fiber emitters with a larger one Produce area expansion, but small area Fiber emitters at a distance from each other on a surface to arrange. Only then can the required size be large flat, substantially constant electron current reach the density of the electron emission source.
Als besonders vorteilhaft hat es sich zur Erreichung einer möglichst gleichmäßigen Elektronenstromdichte erwiesen, wenn die kleinflächigen Faseremitter in einem regelmä8igen Muster angeordnet sind.It has proven particularly advantageous to achieve one electron current density proved to be as uniform as possible if the small-area fiber emitters in a regular pattern are arranged.
Hinsichtlich des Abstandes der Faseremitter wurden bei dem bislang erläuterten Grundkonzept der vorliegenden Erfindung keine näheren Angaben gemacht. Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Abstand der kleinflächigen Faseremitter in einer Richtung so groß wie möglich, aber so klein wie nötig ist, um eine ausreichende Homogenität der Emission zu erhalten. Insbesondere ist vorgesehen, daß der Abstand ein Viertel der Aus dehnung der Faseremitter in dieser Richtung beträgt. Das heißt, daß durch die Abstände zwischen den Faseremittern die vorteil hafte möglichst gleichmäßige Elektronenstromdichte erreichbar ist.With regard to the distance between the fiber emitters basic concept of the present invention explained so far no details given. It is particularly advantageous if the distance between the small-area fiber emitters in a Direction as big as possible but as small as necessary in order to obtain sufficient homogeneity of the emission. In particular, it is provided that the distance is a quarter of the off elongation of the fiber emitter in this direction. This means, that the advantage of the distances between the fiber emitters electron current density that is as uniform as possible can be achieved.
Darüberhinaus hat es sich, insbesondere hinsichtlich des Be treibens einer derartigen Elektronenemissionsquelle, als vorteilhaft erwiesen, wenn die Faseremitter mit nur einer Hochspannungszuleitung verbunden sind, so daß lediglich eine Hochspannungszuleitung ausreicht, um eine möglichst gleich mäßige Elektronenemission zu erreichen, ohne daß bei der erfindungsgemäßen Lösung das Problem auftritt, daß sich die Elektronenemission einschnürt und auf punktförmige Be reiche der Kathode zusammenzieht.In addition, it has, especially with regard to the Be driving such an electron emission source as proven advantageous if the fiber emitter with only one High-voltage supply line are connected, so that only one High voltage supply line is sufficient to make one as equal as possible to achieve moderate electron emission without the solution according to the invention the problem occurs that itself constricts the electron emission and points to points rich the cathode contracts.
Besonders zweckmäßig ist es dabei, wenn die kleinflächigen Faseremitter auf einer gemeinsamen Elektrodenfläche sitzen, da damit zum einen eine mechanische exakte Positionierung der Faseremitter möglich ist und zum anderen in einfacher Weise die gemeinsame Spannungsversorgung der kleinflächi gen Faseremitter erfolgen kann. It is particularly useful if the small-area Fiber emitters sit on a common electrode surface, because, on the one hand, mechanical exact positioning the fiber emitter is possible and secondly in simpler Way the common power supply of the small area gene fiber emitter can take place.
Da bei Anlegen einer Hochspannung und Verwenden einer ebenen Elektrodenfläche am Rand derselben stets Probleme mit einem ungünstig geformten Feld auftreten, ist vorteilhafterweise vorgesehen, daß die Elektrodenfläche in den beiden Richtun gen der Ebene, in welcher sie sich erstreckt, mit einem Feldformer abgeschlossen ist. Dieser Feldformer hat die Aufgabe, das von den Faseremittern ausgehende elektrische Feld möglichst konstant zu halten und die Streuung der Elek tronenemission in den Randbereichen der Elektrodenfläche mög lichst gering zu halten.Because when applying a high voltage and using a flat one Electrode surface on the edge of the same always problems with one unfavorably shaped field occur is advantageous provided that the electrode surface in both directions against the plane in which it extends, with a Field former is completed. This field former has the Task, the electrical emanating from the fiber emitters Keep the field as constant as possible and the spread of the elec Tronenemissions possible in the edge areas of the electrode surface as low as possible.
Im einfachsten Fall ist vorgesehen, daß der Feldformer ein Wulst ist, welcher in den jeweiligen Richtungen die Elek trodenfläche abschließt.In the simplest case it is provided that the field former is a Bead is which the Elek in the respective directions tread surface closes.
Bezüglich der Anode wurden bislang keine näheren Angaben ge macht. Zweckmäßig ist es dabei, wenn die Anode ein Gitter material mit einer hohen Elektronentransparenz ist, durch welches die beschleunigten, von den Faseremittern kommenden Elektronen hindurchtreten.No further details have so far been given with regard to the anode makes. It is useful if the anode is a grid material with a high electron transparency is through which is the accelerated coming from the fiber emitters Electrons pass through.
Zweckmäßigerweise ist die Elektronenemissionsquelle so aus gebildet, daß sie ein die Kathode und die Anode aufnehmen des Gehäuse mit einem Durchtrittsfenster für die Elektronen aufweist.The electron emission source is expediently this way formed to accommodate the cathode and anode of the housing with a passage window for the electrons having.
Vorzugsweise ist dieses Durchtrittsfenster dabei so aufge baut, daß es eine Fensterfolie und eine Stützstruktur auf weist, welch letztere die Fensterfolie hält und einen Druck unterschied auffangen kann. This passage window is preferably opened in this way builds it up a window film and a support structure indicates which the latter holds the window film and a print can catch the difference.
Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die Stütz struktur so ausgebildet, daß sie auf der Folie anliegende und somit die Folie abstützende Stützstege aufweist.In a preferred embodiment, the support Structure designed so that they rest on the film and thus has supporting webs supporting the film.
Da die erfindungsgemäß zum Einsatz kommende Fensterfolie sehr dünn und somit sehr empfindlich ist, ist zweckmäßiger weise vorgesehen, daß die Stützstege einander gegenüberlie gend auf der Fensterfolie angeordnet sind und somit die Fensterfolie jeweils auf zwei genau entgegengesetzten Seiten unterstützt wird. Durch die gegenüberliegende Anordnung der Stützstege wird zusätzlich eine bessere Transparenz der Fensteranordnung für Elektronen gewährleistet.Since the window film used according to the invention is very thin and therefore very sensitive is more appropriate provisionally provided that the support webs were opposite each other are arranged on the window film and thus the Window film on two opposite sides is supported. Due to the opposite arrangement of the Support bars will also provide better transparency of the Window arrangement for electrons guaranteed.
Um darüberhinaus eine Erhitzung der Fensterfolie und der Stützstege zu verhindern, ist vorgesehen, daß die Stützstege von Kühlkanälen durchsetzt sind, wobei diese Kühlkanäle vor teilhafterweise stets von einem Kühlmedium durchströmt sind.In addition to heating the window film and the To prevent support webs, it is provided that the support webs are penetrated by cooling channels, these cooling channels before are sometimes flowed through by a cooling medium.
Eine noch bessere Kühlung, insbesondere der Folie selbst, ist dann erreichbar, wenn die Fensterfolie eine Doppelfolie aus zwei Folienhälften oder Folienlagen ist mit einem zwi schen den Folienhälften eingeschlossenen Kühlmedium, welches vorzugsweise die Doppelfolie durchströmt.Even better cooling, especially the film itself, can be reached if the window film is a double film from two film halves or layers of film is with a zwi cooling medium enclosed between the film halves, which preferably flows through the double film.
Um hierbei die einzelnen Folienhälften oder Folienlagen stets an die Stützstege angelegt zu halten, ist zweckmäßiger weise vorgesehen, daß das Kühlmedium unter einem Druck steht, der höher als der Druck auf jeder Außenseite der Doppelfolie ist, so daß die beiden Folienhälften oder Folienlagen durch den Druck im Kühlmedium an die Stützstege angedrückt wer den. Around the individual film halves or film layers It is more appropriate to always keep it on the support bars provided that the cooling medium is under pressure, which is higher than the pressure on each outside of the double film is so that the two film halves or film layers through the pressure in the cooling medium is pressed against the support webs the.
Im Rahmen der Beschreibung der vorliegenden Erfindung wurde nicht näher erläutert, wie die Faseremitter zweckmäßiger weise ausgebildet sein sollen.In the context of the description of the present invention not explained in more detail how the fiber emitter is more appropriate should be trained wisely.
Besonders vorteilhaft ist es bei der Ausbildung der Faser emitter, wenn die Fasern eine Dicke von weniger als 100 µm aufweisen.It is particularly advantageous in the formation of the fiber emitter if the fibers are less than 100 µm.
Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel weisen die Fa seremitter miteinander verfilzte Fasern auf.In a preferred embodiment, the company seremitter on matted fibers.
Alternativ dazu ist es aber auch denkbar, daß die Faser emitter aus samtähnlichen Fasergeweben bestehen. Vorzugs weise können die Fasern Kohlenstoffasern sein. Alterna tiv dazu ist ebenfalls bei einem bevorzugten Ausführungs beispiel denkbar, daß es sich bei den Fasern um jede Art auch von nicht leitfähigen Textilfasern handelt.Alternatively, it is also conceivable that the fiber emitters consist of velvet-like fiber fabrics. Preferential the fibers can be carbon fibers. Alterna tiv to this is also in a preferred embodiment example conceivable that the fibers are of any kind also deals with non-conductive textile fibers.
Bei einem besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel, welches insbesondere eine sehr lange Standzeit der Fa seremitter aufweist, ist vorgesehen, daß die Faser emitter eine Nachschubführung und einen in dieser ver schieblichen Faserkörper umfassen, so daß dieser Faser körper mit seiner Stirnfläche stets in eine vorwählbare Emissionsposition verschiebbar ist.In a particularly preferred embodiment, which in particular has a very long service life for the company seremitter has, it is provided that the fiber emitter a replenishment guide and one in this ver slidable fiber body so that this fiber body with its face always in a preselectable Emission position is shiftable.
Ergänzend zur vorstehend beschriebenen vorteilhaften Aus bildung einer Elektronenemissionseinrichtung betrifft die Erfindung ebenfalls eine Einrichtung zum Bestrahlen von Medien, umfassend ein Aufnahmebehältnis für das Me dium und eine Elektronenemissionsquelle. Bei derartigen Einrichtungen besteht ebenfalls das Problem, daß das gesamte Aufnahmebehältnis für das Medium möglichst großvolumig von der von der Elektrodenemissionsquelle kommenden Elektronen emission durchsetzt sein sollte, so daß sich auch in die sem Fall die Forderung nach einer möglichst großflächigen Elektronenemission erhebt.In addition to the advantageous Aus described above education relates to an electron emission device the invention also a device for irradiation of media, including a receptacle for the me dium and an electron emission source. With such Facilities also have the problem that the whole Storage container for the medium as large as possible from the electrons coming from the electrode emission source emission should be interspersed, so that also in the In this case, the demand for the largest possible area Electron emission rises.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine der artige Einrichtung zum Bestrahlen von Medien derart zu verbessern, daß eine möglichst großvolumige Elektronen bestrahlung des Mediums im Aufnahmebehältnis möglich ist.The invention is therefore based on the object like device for irradiating media improve that as large an electron as possible irradiation of the medium in the receptacle is possible.
Diese Aufgabe wird bei einer Einrichtung zum Bestrahlen von Medien der vorstehend beschriebenen Art erfindungs gemä8 dadurch gelöst, daß die Elektronenemissionsquelle entsprechend einem oder mehreren der vorstehend be schriebenen erfindungsgemäßen Merkmale ausgebildet ist.This task is done at an irradiation facility Invention of media of the type described above solved according to that the electron emission source corresponding to one or more of the above described inventive features is formed.
Besonders vorteilhaft ist es dabei, wenn die Elektronen emissionsquelle mit dem Durchtrittsfenster für die Elek tronen an das Medium angrenzt, so daß zwischen der Elek tronenemissionsquelle und dem zu bestrahlenden Medium möglichst keine Elektronenverluste mehr entstehen.It is particularly advantageous if the electrons emission source with the passage window for the elec tronen adjacent to the medium, so that between the elec electron emission source and the medium to be irradiated if possible, no more electron losses occur.
Im einfachsten Fall ist dies dadurch realisierbar, daß eine Wand des Aufnahmebehältnisses zumindest bereichs weise von dem Durchtrittsfenster gebildet ist.In the simplest case, this can be achieved in that a wall of the receptacle at least area is formed by the passage window.
Besonders vorteilhafte Geometrien bei der Bestrahlung von Medien lassen sich dadurch erreichen, daß das Auf nahmebehältnis ein Zylinder ist und das Durchtrittsfenster in einer Zylindermantelfläche liegt. Dadurch ist eine all seitige Bestrahlung des an die Zylindermantelfläche angren zenden Mediums mit im wesentlichen konstanter Elektronen dichte möglich.Particularly advantageous geometries for the irradiation of media can be achieved in that the Auf is a cylinder and the passage window lies in a cylindrical surface. This makes an all radiation from the side of the cylinder surface medium with essentially constant electrons density possible.
Ergänzend hierzu ist es zur Erreichung einer großflächigen Elektronenemission mit möglichst gleichmäßiger Elektronen dichte vorteilhaft, wenn die kleinflächigen Faseremitter auf einer um die Zylindermantelfläche des Durchtritts fensters herum verlaufenden Mantelfläche angeordnet sind. In diesem Fall verläuft der Elektronenstrahl in Richtung auf die Zylinderachse der Mantelfläche zu durch die Zylindermantelfläche, in welcher das Durchtrittsfenster liegt, hindurch auf das innerhalb dieser Zylindermantel fläche vorliegende oder strömende Medium, so daß dieses allseitig und großflächig bestrahlt wird.In addition to this, it is to achieve a large area Electron emission with as even electrons as possible density advantageous if the small-area fiber emitter on one around the cylindrical surface of the passage Window circumferential surface are arranged. In this case, the electron beam runs in the direction to the cylinder axis of the lateral surface through the Cylinder surface in which the passage window lies on the inside of this cylinder jacket surface present or flowing medium, so that this is irradiated on all sides and over a large area.
Alternativ dazu ist es vorteilhaft, wenn das Aufnahmebe hältnis ein Hohlzylinder ist und wenn eine innere zylin drische Begrenzungsfläche des Hohlzylinders das Durch trittsfenster bildet und wenn in dem Hohlzylinder die Kathode angeordnet ist. In diesem Fall strömt das Medium um das Durchtrittsfenster herum und wird von einer gleich mäßigen, das Durchtrittsfenster durchsetzenden, Elektronen emission bestrahlt.Alternatively, it is advantageous if the receiving area ratio is a hollow cylinder and if an inner cylinder drical boundary surface of the hollow cylinder the through step window forms and if in the hollow cylinder Cathode is arranged. In this case the medium flows around the passage window and is equal to one moderate electrons penetrating the passage window emission irradiated.
In besonders einfacher Weise Läßt sich dabei eine Elektro nenemission mit gleichmäßiger Elektronendichte dadurch erreichen, daß die Kathode eine zylindrische Fläche auf weist, auf welcher die kleinflächigen Faseremitter ange ordnet sind. An electric can be done in a particularly simple manner emission with a uniform electron density achieve that the cathode has a cylindrical surface points on which the small-area fiber emitters are arranged.
Bei allen vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen ist vorteilhafterweise vorgesehen, daß alle Zylinderflächen koaxial zueinander angeordnet sind, so daß jeweils eine zylindersymmetrische Elektronenemission entweder zur Zylin derachse hin oder von der Zylinderachse weg entsteht.In all of the exemplary embodiments described above is advantageously provided that all cylinder surfaces are arranged coaxially to each other, so that one Cylindrical symmetrical electron emission either to the Zylin arises towards or away from the cylinder axis.
Besonders vorteilhaft ist, daß bei zylindersymmetrischen Anordnungen die Notwendigkeit eines wulstförmigen Feldfor mers entfällt.It is particularly advantageous that with cylindrical symmetry Orders the need for a beaded Feldfor no longer applies.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung sind Gegenstand der nachfolgenden Beschreibung sowie der zeichnerischen Darstellung einiger Ausführungsbeispiele. In der Zeichnung zeigenOther features and advantages of the invention are the subject the following description and the graphic Representation of some embodiments. In the drawing demonstrate
Fig. 1 eine perspektivische und teilweise geschnittene Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels einer Elektronen emissionsquelle; Figure 1 is a perspective and partially sectioned illustration of a first embodiment of an electron emission source.
Fig. 2 ein Durchtrittsfenster eines zweiten Aus führungsbeispiels einer erfindungsge mäßen Elektronenemissionsquelle im Schnitt; Fig. 2 is a passage windows of a second embodiment of a guide from erfindungsge MAESSEN electron emission source in section;
Fig. 3 eine Darstellung ähnlich Fig. 2 eines Durchtrittsfensterseines dritten Aus führungsbeispiels einer erfindungsge mäßen Elektronenemissionsquelle; Fig. 3 is an illustration similar to Fig. 2 of a passage window of a third embodiment of an electron emission source according to the invention;
Fig. 4 eine geschnittene perspektivische Dar stellung durch ein erstes Ausführungs beispiel einer Einrichtung zum Bestrahlen von Medien und Fig. 4 is a sectional perspective Dar position by a first embodiment example of a device for irradiating media and
Fig. 5 eine geschnittene perspektivische Darstellung eines zweiten Ausführungs beispiels einer Einrichtung zum Bestrah len von Medien. Fig. 5 is a sectional perspective view of a second embodiment example of a device for irradiating media.
Ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Elek tronenemissionsquelle, dargestellt in Fig. 1, umfaßt ein Gehäuse 10, in welchem eine als Ganzes mit 12 bezeichnete Kathode angeordnet ist, welche über eine Zuleitung 14 mit einer Hochspannungsquelle 16 verbunden ist. Diese Kathode 12 umfaßt eine Kathodenplatte 18, welche sich in einer Ebene 20 erstreckt und an ihrem Außenrand als Feldformer einen im Querschnitt kreisförmigen Wulst 22 trägt, welcher symme trisch zur Ebene 20 angeordnet ist und die gesamte Kathoden platte 18 an ihrem Außenumfang umschließt.A first embodiment of an electron emission source according to the invention, shown in FIG. 1, comprises a housing 10 , in which a cathode, designated as a whole by 12, is arranged, which is connected via a feed line 14 to a high-voltage source 16 . This cathode 12 includes a cathode plate 18 which extends in a plane 20 and carries on its outer edge as a field former a cross-sectionally circular bead 22 which is arranged symmetrically to the plane 20 and the entire cathode plate 18 encloses on its outer circumference.
Auf einer der Zuleitung 14 gegenüberliegenden Seite der Kathodenplatte 18 sind in einem regelmäßigen Muster 24 kleinflächige Faseremitterplättchen 26 angeordnet, welche beispielsweise aus verfilzten Kohlefasern hergestellt sind. Vorzugsweise haben diese Faseremitterplättchen eine Außen kontur 28, welche rechteckig ist. Die Außenkontur 28 kann aber auch kreisrund oder dreieckig sein.On a side of the cathode plate 18 opposite the feed line 14 , small-area fiber emitter plates 26 are arranged in a regular pattern 24 , which are made, for example, of matted carbon fibers. These fiber emitter plates preferably have an outer contour 28 , which is rectangular. The outer contour 28 can also be circular or triangular.
Das Muster 24, in welchem die Faseremitterplättchen 26 auf der Kathodenplatte 18 angeordnet sind, ist im einfach sten Fall ein quadratisches Muster, das heißt die Faser emitterplättchen 26 liegen jeweils an den Eckpunkten eines Quadrats. Es sind aber in gleicher Weise alle anderen Ar ten eines regelmäßigen Musters denkbar. The pattern 24, in which the fiber emitter plates 26 are disposed on the cathode plate 18 is, in the most simple case, a square pattern, that is, the emitter fiber plate 26 each lie at the vertices of a square. However, all other types of a regular pattern are conceivable in the same way.
Der Seite der Kathodenplatte 18, welche die Faseremitter plättchen 26 trägt, zugewandt ist eine als Ganzes mit 30 bezeichnete Anode in dem Gehäuse 10 angeordnet, welche ein Anodengitter 34 umfaßt, das sich parallel zur Ebene 20 und im Abstand von der Kathodenplatte 18 erstreckt und eine Fläche aufweist, welche mindestens der Größe der Kathoden platte 18 entspricht und deckungsgleich mit dieser liegt. Vorzugsweise erstreckt sich das Anodengitter in Richtung seiner Ebene 36 über die Kathodenplatte 18 und vorzugs weise auch über den Wulst 22 hinaus.Facing the side of the cathode plate 18 which carries the fiber emitter plates 26 , an anode, designated as a whole by 30, is arranged in the housing 10 , which comprises an anode grid 34 which extends parallel to the plane 20 and at a distance from the cathode plate 18 and one Has area which corresponds at least to the size of the cathode plate 18 and is congruent with this. The anode grid preferably extends in the direction of its plane 36 over the cathode plate 18 and preferably also over the bead 22 .
Das Anodengitter 34 ist seinerseits über eine Zuleitung 38 ebenfalls mit der Hochspannungsquelle 16 verbunden.The anode grid 34 is in turn also connected to the high-voltage source 16 via a feed line 38 .
Auf der der Kathode 12 gegenüberliegenden Seite der Anode 30 ist in dem Gehäuse 10 ein als Ganzes mit 40 bezeichnetes Fenster vorgesehen, welches eine von einem Rahmen 42 um gebene Fensteröffnung 44 aufweist, die von einer über die Fensteröffnung gespannten Folie 46 verschlossen ist.On the side of the anode 30 opposite the cathode 12 , a window designated 40 as a whole is provided in the housing 10 , which has a window opening 44 surrounded by a frame 42 , which is closed by a film 46 stretched over the window opening.
Vorzugsweise ist der Rahmen 42 aus zwei Rahmenhälften 48 und 50 aufgebaut, zwischen denen die sich über die Fenster öffnung 44 hinweg erstreckende Folie 46 eingespannt ist.The frame 42 is preferably constructed from two frame halves 48 and 50 , between which the film 46 extending over the window opening 44 is clamped.
Der Rahmen 42 ist vorzugsweise aus rechteckförmig angeord neten und parallel zueinander verlaufenden Längsschenkeln 52 und Querschenkeln 54 aufgebaut, wobei sich zusätzlich noch zwischen den Querschenkeln 54 über die Fensteröffnung 44 hinweg Stützstege 56 erstrecken, die senkrecht zu einer Ebene 58 stehen, in der sich die Folie 46 erstreckt,und sehr schmal ausgebildet sind, so daß von den Stützstegen 56 nur ein geringstmöglicher Teil der Fensteröffnung 44 über deckt ist, während die Stützstege 56 zur Erhöhung ihrer Stabilität eine senkrecht zur Ebene 58 verlaufende Höhe H aufweisen, welche ungefähr der der Längsschenkel 52 und Querschenkel 54 entspricht.The frame 42 is preferably Neten from rectangular angeord and mutually parallel longitudinal legs 52 and transverse members 54 constructed, wherein additionally extend between the transverse arms 54 via the window opening 44 across the supporting webs 56 which are perpendicular to a plane 58 in which the film 46 extends, and are very narrow, so that only a minimum possible part of the window opening 44 is covered by the support webs 56 , while the support webs 56 have a height H perpendicular to the plane 58 to increase their stability, which is approximately that of the longitudinal leg 52 and cross leg 54 corresponds.
Vorzugsweise sind die Stützstege 56 parallel und äquidi stant über die Fensteröffnung 44 verteilt angeordnet und mit den Querschenkeln 54 verbunden. Es ist aber auch mög lich, sich kreuzende Stützstege 56 vorzusehen, die eben falls äquidistant zueinander angeordnet sind, so daß ein Teil der Stützstege parallel zu den Längsschenkeln 52 und ein Teil parallel zu den Querschenkeln 54 verläuft und die Stützstege vorzugsweise in ihren Schnittpunkten mit einander fest verbunden sind.The support webs 56 are preferably arranged in parallel and equidistantly distributed over the window opening 44 and connected to the transverse legs 54 . However, it is also possible to provide intersecting support webs 56 which are also arranged equidistantly from one another, so that part of the support webs runs parallel to the longitudinal legs 52 and part parallel to the transverse legs 54 and the support webs preferably at their intersections with one another are firmly connected.
Sowohl die Längsschenkel 52, die Querschenkel 54, als auch die Stützstege 56 sind Teil jeweils einer Rahmenhälfte 48 und 50, wobei jede Rahmenhälfte 48 und 50 des Rahmens 42 die Folie 46 in der Ebene 58 hält und abstützt. Zusätzlich ist die Folie 46 noch gegenüber einer Verschiebung in Richtung der Ebene 58 zwischen den jeweiligen Längsschen keln 52 und Querschenkeln 54 kraftschlüssig festgespannt.Both the longitudinal legs 52 , the cross legs 54 and the support webs 56 are part of a frame half 48 and 50 , each frame half 48 and 50 of the frame 42 holding and supporting the film 46 in the plane 58 . In addition, the film 46 is still non-positively clamped against a displacement in the direction of the plane 58 between the respective longitudinal legs 52 and transverse legs 54 .
Die erfindungsgemäße Elektronenemissionsquelle funktioniert nun so, daß nach Anlegen der Hochspannung durch die Hoch spannungsquelle 16, ausgehend von den Faseremitterplätt chen 26 ein Feldlinienverlauf 68 entsteht, der in der Ebene 36 des Anodengitters 34 senkrecht zu dieser steht und für die gesamte Ausdehnung der Ebene 36 im wesentlichen homogen ist. Ebenso sind die Faseremitterplättchen 26 in entspre chenden Abständen A, B so anzuordnen, daß sich der jeweils von einem Faseremitterplättchen ausgehende Feldlinienver lauf mit dem des jeweils benachbarten Faseremitterplätt chens so weit ergänzt und überlappt, daß in der Ebene 36 in beiden Abstandsrichtungen A und B eine im wesentlichen konstante Feldliniendichte vorliegt.The electron emission source according to the invention now works in such a way that after application of the high voltage by the high voltage source 16 , starting from the fiber emitter plates 26, a field line course 68 is created, which is perpendicular to the plane 36 of the anode grid 34 and for the entire extent of the plane 36 in is essentially homogeneous. Likewise, the fiber emitter platelets 26 are to be arranged at appropriate intervals A, B so that each of the fiber lines emanating from a fiber emitter platelet extends and overlaps with that of the adjacent fiber emitter platelets so far that one in plane 36 in both directions A and B. there is essentially a constant field line density.
Vorzugsweise haben die Faseremitterplättchen 26 Flächen von 100 mm2 und die Abstände in Richtung A und B betra gen mindestens 100 mm.Preferably, the fiber emitter platelets have 26 areas of 100 mm 2 and the distances in directions A and B are at least 100 mm.
Von den Faseremitterplättchen 26, insbesondere einzelnen Faserspitzen der die Faseremitterplättchen 26 bildenden Fasern, austretende Elektronen folgen den Feldlinien 68 zum Anodengitter, werden im Verlauf ihres Weges bis zum Anodengitter 34 beschleunigt, treten dann durch das Anodengitter hindurch und treffen auf das Fenster 40, wo bei die Folie 46 so ausgebildet ist, daß auch die Elek troden durch die Folie hindurchtreten und als senkrecht zu den Feldlinien flächenhaft ausgedehnter Elektronen strom 70 das Gehäuse der Elektronenemissionsquelle verlassen. Aufgrund der gleichförmigen Dichte der Feldlinien 68 in der Ebene 36 erfolgt auch die Verteilung der aus den Faser emitterplättchen 26 austretenden Elektronen in der Ebene 36 gleichförmig, so daß bereits bei der Anode 30 ein flächen hafter und in allen Flächenausdehnungen gleichförmiger Elektronenstrahl zur Verfügung steht und somit auch der flächen hafte, aus dem Gehäuse 10 austretende Elektronenstrahl 70 in allen Richtungen der Flächenausdehnung der Ebene 58 eine im wesentlichen konstante Dichte aufweist.Electrons emerging from the fiber emitter platelets 26 , in particular individual fiber tips of the fibers forming the fiber emitter platelets 26 , follow the field lines 68 to the anode grid, are accelerated in the course of their way to the anode grid 34 , then pass through the anode grid and meet the window 40 , where the film 46 is formed such that the electrodes also pass through the film and leave the housing of the electron emission source as a stream of electrons 70 which is extended in a planar manner perpendicular to the field lines. Due to the uniform density of the field lines 68 in the plane 36 , the electrons emerging from the fiber emitter platelets 26 are also distributed uniformly in the plane 36 , so that a surface-like electron beam is available at the anode 30 and is uniform in all surface dimensions, and thus the flat electron beam 70 emerging from the housing 10 also has an essentially constant density in all directions of the surface extension of the plane 58 .
Bei einem zweiten Ausführungsbeispiel einer erfindungsge mäßen Elektronenemissionsquelle sind bis auf das Fenster 40′ alle übrigen Teile derselben identisch ausgebildet. Wie in Fig. 2 dargestellt, weist das Fenster 40′ zur Ver meidung einer Aufheizung des Rahmens 42 jeweils in den Längsschenkeln 52 als auch in den Stützstegen 56 verlau fende Kühlkanäle 72 auf, welche von einem Kühlmedium stän dig durchströmt sind, welches dadurch sowohl den Rahmen 42 als auch die Stützstege 56 auf einer konstanten Temperatur hält.In a second exemplary embodiment of an electron emission source according to the invention, all of the other parts of the same are of identical design except for the window 40 '. As shown in Fig. 2, the window 40 'to avoid heating of the frame 42 in each of the longitudinal legs 52 and in the support webs 56 duri fende cooling channels 72 , which are constantly flowed through by a cooling medium dig, which thereby both Frame 42 and the support webs 56 keeps at a constant temperature.
Bei einer weiteren Variante 40′′, dargestellt in Fig. 3, ist zusätzlich noch zu den Kühlkanälen 72 im Rahmen 42 die Folie 46′ zweigeteilt, das heißt sie umfaßt eine Fo lienhälfte 74, welche an der oberen Rahmenhälfte 48 an liegt und eine Folienhälfte 76, welche an der unteren Rah menhälfte 50 anliegt. Zwischen diesen beiden Folienhälften 74 und 76 fließt ein Kühlstrom 78 in Richtung einer Flächen ausdehnung der Ebene 58 hindurch, wobei das den Kühlstrom 78 bildende Kühlmedium unter einem Druck P steht, welcher größer ist als der Druck auf den jeweils anderen Seiten der Folienhälften 74 und 76, so daß durch diesen Druck die Folienhälften 74 und 76 gegen die jeweiligen Rahmenhälften 48 und 50 angedrückt werden und somit die Folie 46′ straff zwischen den Rahmenhälften 48 und 50 im Rahmen 42 gehal ten ist. In a further variant 40 '', shown in Fig. 3, in addition to the cooling channels 72 in the frame 42, the film 46 'is divided in two, that is, it comprises a Fo lienhalte 74 , which lies on the upper frame half 48 and a film half 76 , which abuts the lower frame half 50 . Between these two film halves 74 and 76 , a cooling stream 78 flows in the direction of a surface extension of the plane 58 , the cooling medium forming the cooling stream 78 being at a pressure P which is greater than the pressure on the other sides of the film halves 74 and 76 , so that the film halves 74 and 76 are pressed against the respective frame halves 48 and 50 by this pressure and thus the film 46 'is held th between the frame halves 48 and 50 in the frame 42 th
Ein erstes Ausführungsbeispiel - dargestellt in Fig. 4 - einer erfindungsgemäßen Einrichtung zum Bestrahlen von Me dien umfaßt eine als Ganzes mit 80 bezeichnete Elektronen emissionsquelle, welche im Prinzip wie die vorstehend be schriebenen Ausführungsbeispiele der Elektronenemissions quelle aufgebaut ist. Soweit dieselben Teile Verwendung finden, sind diese auch mit denselben Bezugszeichen ver sehen. Im Gegensatz zu den vorstehend beschriebenen Ausfüh rungsbeispielen ist die die Faseremitterplättchen 26 tra gende Kathode nicht mehr als Kathodenplatte 12 ausgebildet, sondern als zylindrischer Körper 82, auf dessen Zylinder mantelfläche 84 nunmehr die Faseremitterplättchen 26 in einem regelmäßigen Muster 24 angeordnet sind.A first embodiment - shown in Fig. 4 - a device according to the invention for irradiating media comprises an electron emission source designated as a whole with 80 , which is constructed in principle like the above-described embodiments of the electron emission source. As far as the same parts are used, they are also seen with the same reference numerals. In contrast to the exemplary embodiments described above, the fiber emitter plate 26 carrying cathode is no longer formed as a cathode plate 12 , but as a cylindrical body 82 , on the cylinder surface 84 of which the fiber emitter plates 26 are now arranged in a regular pattern 24 .
Ferner ist das Anodengitter der Anode nicht in einer Ebene aufgespannt, sondern in einer Zylindermantelfläche 86, wel che im radialen Abstand um die Zylindermantelfläche 84 herum verläuft.Furthermore, the anode grid of the anode is not spanned in one plane, but in a cylindrical jacket surface 86 , which extends radially around the cylindrical jacket surface 84 .
Wiederum im radialen Abstand zur Zylindermantelfläche 86, in welcher das Anodengitter 34 liegt, ist in einer Zylinder mantelfläche 88 liegend die Folie 46 des Fensters 40 an geordnet, wobei sich die Fensteröffnung 44 ringsum die ganze Zylindermantelfläche 88 erstreckt.Again, in the radial distance from the cylinder surface 86, in which the anode grid 34 is located, is generated surface in a cylinder 88 lying the film 46 of the window 40 at sorted, with the window opening 44 around the whole cylindrical lateral surface 88 extends.
Bei dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel sind alle Zylindermantelflächen 88, 86 und 84 koaxial zu einer Achse 90 angeordnet.In the exemplary embodiment shown in FIG. 4, all cylinder jacket surfaces 88 , 86 and 84 are arranged coaxially with an axis 90 .
Bei einer derartigen Anordnung der Kathode 12 und der Anode 30 entsteht eine sich in radialer Richtung zur Achse 90 ringsum diese herum ausbreitende Elektronenstrahlung 92, welche die Zylindermantelfläche 88 des Fensters 40 mit in azimutaler Richtung zur Achse 90 und in Längsrichtung der Achse 90 im wesentlichen konstanter Elektronendichte durchsetzt. Um die sich in der Zylindermantelfläche 88 er streckende Folie herum und in unmittelbarem Anschluß an diese ist ein Aufnahmebehältnis 94 für ein zu bestrahlen des Medium 96 angeordnet, so daß dieses Medium 96 der Elektronenstrahlung 92 ausgesetzt ist.In such an arrangement the cathode 12 and the anode 30 creates a in the radial direction to the axis 90, this round around propagating electron beam 92 which the cylindrical surface 88 of the window 40 in azimuthal direction to the axis 90 and in the longitudinal direction of the axis 90 a constant substantially Electron density interspersed. Around the in the cylindrical surface 88 he stretching film and immediately adjacent to it, a receptacle 94 is arranged for irradiating the medium 96 , so that this medium 96 is exposed to the electron radiation 92 .
Das Aufnahmebehältnis 94 wird dabei nach außen begrenzt durch einen Gehäusemantel 98, während es nach innen be grenzt ist durch die Folie 46 der Elektronenemissions quelle. Vorzugsweise ist die Folie 46 durch einen Rahmen gehalten, welcher beispielsweise in einem der vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele der Elektronenemis sionsquelle ausgebildet ist, allerdings insofern von der Form der vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele abweicht, als er die Folie 46 in der Zylindermantelfläche 88 hält.The receptacle 94 is bounded on the outside by a housing jacket 98 , while it is bounded on the inside by the film 46 of the electron emission source. The film 46 is preferably held by a frame which is formed, for example, in one of the exemplary embodiments of the electron emission source described above, but deviates from the shape of the exemplary embodiments described above in that it holds the film 46 in the cylinder jacket surface 88 .
Bei diesem vorteilhaften Ausführungsbeispiel einer Ein richtung zum Bestrahlen von Medien ist somit durch den Ge häusemantel 98 und die in diesen eingesetzte Elektronen emissionsquelle 80 in einfacher Weise das Aufnahmebehält nis 94 gebildet.In this advantageous embodiment of a device for irradiation of media is thus 98 and the emission source in this set up electrons formed the receiving container nis 94 in a simple manner by the 80 Ge häusemantel.
Beispielsweise ist es denkbar, daß das Aufnahmebehältnis 94 von dem zu bestrahlenden Medium 96 durchströmt ist, wobei es sich bei diesem Medium 96 um zu bestrahlendes Gas oder um eine zu bestrahlende Flüssigkeit handeln kann. Es ist aber auch denkbar, in das Aufnahmebehältnis ein festes zu bestrahlendes Medium einzuführen oder durch die ses hindurchzufördern.For example, it is conceivable that the receptacle 94 has the medium 96 to be irradiated flowing through, which medium 96 may be gas to be irradiated or a liquid to be irradiated. However, it is also conceivable to introduce a solid medium to be irradiated into the receiving container or to convey it through it.
Ein zweites erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel einer Einrichtung zum Bestrahlen von Medien, dargestellt in Fig. 5, umfaßt einen äußeren Zylindermantel 100, auf wel chem die Faseremitterplättchen 26 in dem Muster 24 ange ordnet sind, und zwar an einer Innenseite 102 desselben. Innerhalb dieses Zylindermantels 100 liegt das sich eben falls in einer Zylindermantelfläche 104 erstreckende Anodengitter 34 und innerhalb desselben eine Zylinder mantelfläche 106, in welcher sich die Folie 46, die das Fenster 40 bildet, erstreckt.A second exemplary embodiment of a device for irradiating media, shown in FIG. 5, comprises an outer cylinder jacket 100 , on which the fiber emitter platelets 26 are arranged in the pattern 24 , on the inside 102 thereof. Within this cylinder jacket 100 lies the just in case in a cylinder jacket surface 104 extending anode grid 34 and within it a cylinder jacket surface 106 , in which the film 46 , which forms the window 40 , extends.
Die Folie 46 bildet dabei gleichzeitig eine Außenwand eines Aufnahmebehältnisses 108 für das zu bestrahlende Medium 96, welches im Innern der Zylindermantelfläche 106 liegt und beispielsweise das Aufnahmebehältnis in Längsrichtung einer Zylinderachse 110 durchströmt, welche die gemeinsame Zylinderachse der Zylindermantelflächen 106 und 104 sowie des Zylindermantels 100 ist.The film 46 simultaneously forms an outer wall of a receptacle 108 for the medium 96 to be irradiated, which is located inside the cylinder jacket surface 106 and flows through the receptacle in the longitudinal direction of a cylinder axis 110 , for example, which is the common cylinder axis of the cylinder jacket surfaces 106 and 104 and the cylinder jacket 100 .
Mit diesem zweiten Ausführungsbeispiel einer erfindungs gemäßen Einrichtung zum Bestrahlen von Medien wird in einfacher Weise das Aufnahmebehältnis 108 geschaffen, das das Medium 96 enthält, welches nunmehr gleichförmig von allen Seiten mit im wesentlichen konstanter Elektronen dichte bestrahlt wird.With this second embodiment of an inventive device for irradiating media, the receptacle 108 is created in a simple manner, which contains the medium 96 , which is now irradiated uniformly from all sides with essentially constant electron density.
Claims (29)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19904002049 DE4002049C2 (en) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | Electron emission source and device for irradiating media with such an electron emission source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19904002049 DE4002049C2 (en) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | Electron emission source and device for irradiating media with such an electron emission source |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4002049A1 true DE4002049A1 (en) | 1991-07-25 |
| DE4002049C2 DE4002049C2 (en) | 1993-12-09 |
Family
ID=6398693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19904002049 Expired - Lifetime DE4002049C2 (en) | 1990-01-24 | 1990-01-24 | Electron emission source and device for irradiating media with such an electron emission source |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE4002049C2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5877588A (en) * | 1997-06-13 | 1999-03-02 | Lightlab Ab | Field emission cathode and a light source including a field emission cathode |
| US6008575A (en) * | 1997-06-13 | 1999-12-28 | Lightlab Ab | Light source including a field emission cathode, and a field emission cathode |
| WO2005086201A1 (en) | 2004-03-09 | 2005-09-15 | Korea Atomic Energy Research Institute | A large-area shower electron beam irradiator with field emitters as an electron source |
| WO2008025174A2 (en) * | 2006-08-29 | 2008-03-06 | Inficon Gmbh | Mass spectrometer |
| US8338796B2 (en) | 2008-05-21 | 2012-12-25 | Hitachi Zosen Corporation | Electron beam emitter with slotted gun |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1225310B (en) * | 1962-10-22 | 1966-09-22 | Field Emission Corp | Operating method for a device for irradiating with electrons and irradiating device |
| DE2314681A1 (en) * | 1972-03-24 | 1973-10-04 | Energy Sciences Inc | METHOD AND EQUIPMENT FOR CREATING CURTAINS FROM ENERGY-RICH CHARGED PARTICLES WITH THE HELP OF A JET OF SPREAD DIMENSIONS AND PULSE-GENERATING STRUCTURES FAFUER |
| DE1589773B2 (en) * | 1965-09-30 | 1974-11-07 | Ford Motor Co., Dearborn, Mich. (V.St.A.) | Cathode ray tube with an electron permeable window |
| DE2747266A1 (en) * | 1976-11-04 | 1978-05-11 | Emi Varian Ltd | ELECTRON EMITTER |
| DE3050419C2 (en) * | 1980-05-30 | 1987-01-15 | Stanislav Petrovič Dmitriev | Vacuum chamber for a particle accelerator |
-
1990
- 1990-01-24 DE DE19904002049 patent/DE4002049C2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1225310B (en) * | 1962-10-22 | 1966-09-22 | Field Emission Corp | Operating method for a device for irradiating with electrons and irradiating device |
| DE1589773B2 (en) * | 1965-09-30 | 1974-11-07 | Ford Motor Co., Dearborn, Mich. (V.St.A.) | Cathode ray tube with an electron permeable window |
| DE2314681A1 (en) * | 1972-03-24 | 1973-10-04 | Energy Sciences Inc | METHOD AND EQUIPMENT FOR CREATING CURTAINS FROM ENERGY-RICH CHARGED PARTICLES WITH THE HELP OF A JET OF SPREAD DIMENSIONS AND PULSE-GENERATING STRUCTURES FAFUER |
| DE2747266A1 (en) * | 1976-11-04 | 1978-05-11 | Emi Varian Ltd | ELECTRON EMITTER |
| DE3050419C2 (en) * | 1980-05-30 | 1987-01-15 | Stanislav Petrovič Dmitriev | Vacuum chamber for a particle accelerator |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| US-Z.: Rev. Sci. Instr., Bd. 53, 1982, Nr.7, S.1092-93 * |
| US-Z.: Rev. Sci. Instr., Bd. 56, 1985, Nr.5, S.766-767 * |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5877588A (en) * | 1997-06-13 | 1999-03-02 | Lightlab Ab | Field emission cathode and a light source including a field emission cathode |
| US6008575A (en) * | 1997-06-13 | 1999-12-28 | Lightlab Ab | Light source including a field emission cathode, and a field emission cathode |
| WO2005086201A1 (en) | 2004-03-09 | 2005-09-15 | Korea Atomic Energy Research Institute | A large-area shower electron beam irradiator with field emitters as an electron source |
| EP1735810A1 (en) * | 2004-03-09 | 2006-12-27 | Korea Atomic Energy Research Institute | A large-area shower electron beam irradiator with field emitters as an electron source |
| EP1735810A4 (en) * | 2004-03-09 | 2009-08-05 | Korea Atomic Energy Res | A large-area shower electron beam irradiator with field emitters as an electron source |
| US7671522B2 (en) | 2004-03-09 | 2010-03-02 | Korea Atomic Energy Research Institute | Large-area shower electron beam irradiator with field emitters as an electron source |
| WO2008025174A2 (en) * | 2006-08-29 | 2008-03-06 | Inficon Gmbh | Mass spectrometer |
| WO2008025174A3 (en) * | 2006-08-29 | 2008-09-18 | Inficon Gmbh | Mass spectrometer |
| GB2453702A (en) * | 2006-08-29 | 2009-04-15 | Inficon Gmbh | Mass spectrometer |
| GB2453702B (en) * | 2006-08-29 | 2011-06-22 | Inficon Gmbh | Mass spectrometer |
| DE112007001837B4 (en) * | 2006-08-29 | 2018-02-22 | Inficon Gmbh | mass spectrometry |
| US8338796B2 (en) | 2008-05-21 | 2012-12-25 | Hitachi Zosen Corporation | Electron beam emitter with slotted gun |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4002049C2 (en) | 1993-12-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3587852T2 (en) | Discharge excitation type short pulse laser device. | |
| DE69009307T2 (en) | Flat screen display device. | |
| DE69318444T2 (en) | Electron source with micropoint cathodes and display device with cathodoluminescence excited by field emission using this source | |
| DE2254904C2 (en) | Electron emitting device for irradiating an area arranged outside the device with an electron beam | |
| DE69323485T2 (en) | PICTURE PLAYER | |
| DE1441466B2 (en) | GLOW CATHODE SIGN DISPLAY DEVICE | |
| DE10228545A1 (en) | Method and system for generating an electron beam in X-ray generating devices | |
| EP1158562B1 (en) | X-ray tube with a flat cathode | |
| CH629342A5 (en) | Cross current gas laser. | |
| DE4002049C2 (en) | Electron emission source and device for irradiating media with such an electron emission source | |
| DE2309530B2 (en) | Gas discharge indicator | |
| DE69500403T2 (en) | Electron source with microtip emission cathodes | |
| DE2337142A1 (en) | ELECTRON SOURCE | |
| DE2308083B2 (en) | Gas discharge indicator with capacitive saliva function | |
| DE2950897C2 (en) | Device for generating electron beams | |
| DE3588118T2 (en) | Discharge-excited laser for generating short pulses | |
| DE2333866A1 (en) | FIELD DESORPTION ION SOURCE AND METHOD FOR MANUFACTURING IT | |
| DE3216039C2 (en) | Electron beam generating system of a cathode ray tube | |
| DE19518623A1 (en) | Surface electron irradiation device for electron hardening of stiff or flexible materials in printing | |
| DE2620697C3 (en) | Cathode ray display tube | |
| DE2640632C3 (en) | ||
| DE3328884C2 (en) | ||
| DE2151101A1 (en) | Electron gun with surface flow | |
| DE4125638A1 (en) | Ultraviolet emission photocell e.g. for fire warning system - has glass bulb housing with pair of plane wire electrodes having expanded section to improve emission sensitivity | |
| CH650102A5 (en) | ELECTRON TUBES WITH AN ANODE AND ELECTRON SOURCE ASSEMBLY. |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| D2 | Grant after examination | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DEUTSCHES ZENTRUM FUER LUFT- UND RAUMFAHRT E.V., 5 |
|
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DEUTSCHES ZENTRUM FUER LUFT-UND RAUMFAHRT E.V., 51 |
|
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DEUTSCHES ZENTRUM FUER LUFT- UND RAUMFAHRT E.V. |
|
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: DEUTSCHES ZENTRUM FUER LUFT- UND RAUMFAHRT E.V. |