DE3931985A1 - Transport magazine for wafers in clean room - has transport carriage with enclosed magazine chamber with movable wall member(s) - Google Patents

Transport magazine for wafers in clean room - has transport carriage with enclosed magazine chamber with movable wall member(s)

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DE3931985A1
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Heinz Lamparter
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Abstract

The magazine has a transport carriage with compartments for supports. The carriage (5) has a fully enclosed magazine chamber (6) with a movable wall element at least one one side. The carriage is fitted with at least one fan (10) for circulating air (11) in the magazine chamber. Pref. the wall element is in the form of a flat slider moved by an electric motor between sealing members in a side wall of the transport carriage. The magazine chamber has holders above the compartments, whose grippers may secure the wafers (1) during transport. The compartments may be fitted to two opposite outer sides of the magazine chamber, the movable wall element being associated with each row of compartments. USE/ADVANTAGE - Inter-operational transport, i.e. between processing stages in same or different clean rooms with comfortable operation and reduced contamination risk. Suitable for non-technical personnel and effective over long stretch.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Transportspeicher für Waferscheiben gemäß Oberbegriff von Anspruch 1. The invention relates to a transport store for wafers according to the preamble of claim. 1

Beim Transport von Waferscheiben zwischen den einzelnen Bearbeitungsstufen innerhalb eines Reinraumes oder von Reinraum zu Reinraum ist es zur Reduzierung von Verun reinigungen der Waferscheiben auf ein Mindestmaß bekannt, diese in Trägern mit Halterechen mit einfachen Transport wagen von einer Bearbeitungsstation zur anderen zu ver bringen. When transporting wafers between the individual processing steps in a clean room or clean room to clean room is to reduce Verun the wafers to a minimum Cleaners known, this venture into carriers with holding rake with easy transport bring ver from one processing station to another.

Bei dieser bekannten Art des Transports ist ein hoher Personaleinsatz zum Teil auch in gefährlicher Umgebung notwendig. In this known mode of transportation, a high personnel sometimes in hazardous environments is necessary. Beim Ein- und Auspacken ist eine Partikelver schleppung und Verschmutzung durch den Bedienungsmann nicht ausgeschlossen. When packing and unpacking a Partikelver is carry-pollution and not excluded by the operator. Es ist außerdem notwendig, Puffer plätze in dem sehr teueren Reinraum bereitzustellen. It is also necessary, buffer places in the very expensive clean room to provide.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher die Schaffung eines Transportspeichers der eingangs genannten Art, der einen bequemen und rationellen Transport der Waferscheiben erlaubt, wobei deren Verschmutzung auf ein Mindestmaß reduziert wird. The object of the present invention therefore to provide a flow accumulator of the type mentioned which allows a comfortable and efficient transport of the wafers, and their contamination is reduced to a minimum.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kenn zeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst. This object is achieved by the features indicated 1 drawing in the characterizing part of the claim.

Der erfindungsgemäße Transportspeicher weist in seinem Speicherraum Reinraumbedingungen auf, so daß ein sicherer Transport der Waferscheiben ohne Verschmutzung von Rein raum zu Reinraum euch mit ungeschulten Bedienungsleuten möglich ist. The transport storage invention has in its memory space clean room conditions, so that safe transport of the wafers without contamination of clean room to clean room you is possible with untrained operator people.

Durch die Möglichkeit, den Transportwagen auf Flurförder fahrzeuge zu montieren, kann auch der Transport der Wafer scheiben zwischen weit auseinanderliegenden Stockwerken ohne Beeinträchtigung erfolgen. With the ability to mount the trolley on industrial vehicles, and the transport of the wafer can take place slices between distant levels without interference.

Durch die Anordnung der Fächer im Speicherraum in zwei außenliegenden Reihen ist es möglich, eine große Zahl von Trägern im Speicherraum unterzubringen. The arrangement of the compartments in the storage space in two outer rows, it is possible to accommodate a large number of volumes in the storage space. Der Zugriff zu den Trägern kann manuell oder mit einem Handhabungs gerät erfolgen. Access to the carriers can be manual or device with a handling done. Es ist auch möglich, die Träger um 90° verdreht in die Fächer einzusetzen, was sich bei der Ent nahme durch ein Handhabungsgerät vorteilhaft auswirkt. It is also possible for the carrier to 90 ° are inserted in the compartments, which is in the decision taking by a handling device has an advantageous effect.

Während des erschütterungsarmen Transports verbleiben die Waferscheiben in einer turbulenzarmen Verdrängungslüftung, wobei die Partikelreduzierung durch Umluftfilterung erfolgt. During the low-vibration transport the wafers in a low-turbulence displacement ventilation remain, wherein the particle reduction is carried out by circulating air filtering.

Durch das Zusammenwirken des Transportwagens mit der in den Unteransprüchen gekennzeichneten Schleuse ist es möglich, die Übergabe der Waferscheiben in den Reinraum manuell oder mit einem Handhabungsgerät ohne Verschmutzung zu gewähr leisten. By the cooperation of the transport carriage with the characterized in the subclaims lock it is possible to afford to be granted without clogging the transfer of the wafers in the clean room manually or by a handling device.

Durch eine in der Schleuse eingebaute Steuerung kann nämlich der Speicherraum nur geöffnet werden, wenn er mit der Schleuse verbunden ist. By a built-in control of the lock, the storage space can only be opened namely when it is connected to the lock. Eine Fehlbedienung ist dabei weitgehend ausgeschlossen und ein Öffnen des Speicher raums im verschmutzten Bereich wird sicher vermieden. Incorrect operation is largely excluded and opening of the storage space in the contaminated area is reliably avoided. Zur Einhaltung der Reinraumbedingungen im Speicherraum ist der Transportwagen erfindungsgemäß mit einer Eigenstromver sorgung ausgestattet, die es ermöglicht, auch längere Transportwege ohne Beeinträchtigung zurückzulegen. To comply with clean room conditions in the storage space of the trolley according to the invention equipped with a Eigenstromver supply, which makes it possible to cover even longer transport routes without interference.

Mit dem erfindungsgemäßen Transportspeicher ist es natür lich auch möglich, außer Waferscheiben auch andere Halb leiterbauteile unter Reinraumbedingungen zu transportieren. The inventive transport storage it is also possible natuer Lich, except wafers and other semiconductor components to be transported under clean room conditions.

Im folgenden ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung unter bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben. In the following an embodiment of the invention is described in more detail with reference to the drawings.

Es zeigen: Show it:

Fig. 1 Transportspeicher perspektivisch Fig. 1 Transport memory perspectively

Fig. 2 Schnitt nach Linie II-II in Fig. 1 Fig. 2 shows a section according to line II-II in Fig. 1

Fig. 3 Trsnsportspeicher, von oben Fig. 3 Trsnsportspeicher, from above

Fig. 4 Schnitt nach Linie IV-IV in Fig. 2 Zum Transport von Waferscheiben 1 auf Trägern 2 von einem nicht dargestellten Reinraum durch einen Grauraum 3 in einen weiteren Reinraum 4 ist ein Transportwagen 5 vorge sehen, der einen allseits geschlossenen Speicherraum 6 aufweist, der zu beiden Seiten über verschiebbare Wand elemente 7 zugänglich ist. Fig. 4 is a section according to line IV-IV in Fig. 2 for transporting wafers 1 on carriers 2 by an unillustrated clean room by a gray area 3, a feed carriage 5 is provided in another clean room 4 see having a fully enclosed storage space 6 the elements on both sides on sliding wall 7 is accessible. ( Fig. 1) (Fig. 1)

Zur Aufnahme der Träger 2 dienen Fächer 8 , die jeweils an gegenüberliegenden Außenseiten des Speicherraums 6 ange ordnet sind, wobei sie zwischen sich einen Luftschacht 9 begrenzen, durch den durch Gebläse 10 ein Umluftstrom 11 geblasen wird. For receiving the carrier 2 serve compartments 8, which is respectively on opposite outer sides of the storage space 6 are arranged, whereby they delimit between them an air duct 9 through which is blown by fan 10 11 a circulating air flow. Dieser Umluftstrom durchströmt ein Reinraum filter 12 und wird so umgelenkt, daß er die Waferscheiben 1 von oben nach unten durchströmt. This circulating air stream flows through a clean-room filter 12 and is deflected that it flows through the wafers 1 from top to bottom.

Wie Fig. 2 zeigt sind die Wandelemente 7 als flache Scheiben ausgebildet die höhenverschiebbar und von einem Elektromotor 13 antreibbar in einer Seitenwand 14 von Transportwagen 5 gelagert und gegen die Außenluft durch Dichtelement 15 abgedichtet sind. As Fig. 2 shows, the wall elements 7 formed as flat discs which are mounted in vertically displaceable and drivable by an electric motor 13 in a side wall 14 of transport carriage 5 and is sealed against the outside air by means of sealing member 15.

Unter den Fächern 8 befinden sich Niederhalter 16 , deren Greifelemente 17 beim Transport die Waferscheiben 1 fest halten. Among the compartments 8 are holding-down device 16, keep the gripping elements 17 when transporting the wafers 1 firmly. Niederhalter 16 sind dazu mit einer Hubstange 18 verbunden, die mit einem von einem Elektromotor 19 antreib baren Exzenter 20 zusammenwirkt. Holder 16 are connected for this purpose to a lifting rod 18, which cooperates with one of an electric motor 19 drivable eccentric cash 20th

Zur zeitweiligen Stromversorgung der im Transportwagen 5 befindlichen Elektromotore ( 10 , 13 , 19 ) dienen im Transport wagen 5 montierte Akkumulatoren 21 . Temporarily supplying power to the electric motors located in the transport carriage 5 (10, 13, 19) are in the transport carriage 5 mounted accumulators 21st

Wie Fig. 1 und 2 zeigen, ist in der Wand 22 zwischen Grau raum 3 und Reinraum 4 eine Schleuse 23 vorgesehen, an die der Transportwagen 5 andockbar ist. As shown by Fig. 1 and 2, in the wall 22 between gray space 3 and 4 clean room provided a lock 23, to which the transport cart 5 can be docked.

Diese Schleuse 23 ist ebenfalls mit einem Wandelement 24 versehen, das im Rahmen 25 durch einen Elektromotor 26 höhenverschiebbar gelagert ist. This lock 23 is also provided with a wall element 24 which is mounted for vertical sliding in the frame 25 by an electric motor 26th

Zum Andocken von Transportwagen 5 an die Schleuse 23 dient ein Kopplungselement 27 , das in ein hakenförmiges Anschlagorgan 28 von Schleuse 23 eingreift. For docking cart 5, a coupling element 27 which engages in a hook-shaped stop member 28 of lock 23 serves to lock the 23rd ( Fig. 3). (Fig. 3).

Am gegenüberliegenden Rahmen 25 befindet sich ein schwenk bares Verschlußorgan 29 , das nach dem Einschwenken des Transportwagens 5 so verschwenkt wird, daß es ein weiteres Kopplungselement 27 des Transportwagens 5 übergreift. At the opposite frame 25 there is a pivoting bares closure member 29 which is swung by the swinging of the trolley 5 so that a further coupling element 27 overlaps the transport carriage. 5 Wie Fig. 4 ferner zeigt, ist an der Schleuse 23 ein bewegbares Riegelelement 30 vorgesehen, das nach dem Einschwenken von Verschlußorgan 29 mit diesem in einer Riegelstellung zusam menwirkt und verhindert, das es unbeabsichtigt entriegelt werden kann. As shown in FIG. 4 also shows a movable locking element 30 is provided at the lock 23, which together menwirkt after the pivoting of the closure member 29 with this in a locking position and prevents that it can be unlocked unintentionally. Zur Betätigung von Riegelelement 30 dient ein Elektromagnet 31 , der über eine Stange 32 und Winkel hebel 33 mit dem Riegelelement 30 verbunden ist. Used to actuate the locking element 30, an electromagnet 31, the lever via a rod 32 and angle 33 is connected to the latch member 30th

Der Transportwagen 5 ist nach dem Andocken gegen die Schleuse 23 durch Dichtelemente 34 luftdicht abgedichtet. The transport carriage 5 is sealed airtight after docking against the lock 23 by sealing elements 34th Zwischen Wandelement 7 von Transportwagen 5 und Wandelement 24 von Schleuse 23 befindet sich jetzt ein Zwischenraum 35 , der über einen Anschluß 36 mit einem nicht dargestellten Unterdruckerzeuger verbindbar ist. Between the wall element 7 of trolley 5 and wall member 24 of lock 23 is now a gap 35, which is connectable to a not shown vacuum generator via a terminal 36th Damit ist es möglich, bei angedocktem Transportwagen 5 im Zwischenraum 35 einen Unterdruck zu erzeugen. Thus, it is possible to create a negative pressure in the docked transport carriage 5 in the interspace 35th

Wie Fig. 2 zeigt, sind im Rahmen 25 von Schleuse 23 elektrische Kontaktelemente 37 federnd angeordnet, die mit federnden Kontaktelementen 38 von Transportwagen 5 nach dem Andocken zusammenwirken. As shown in FIG. 2, 23 electric contact elements 37 are arranged resiliently, cooperating with resilient contact members 38 of transport carriage 5 after docking in the frame 25 of lock. Damit werden sowohl Steue rungsbefehle auf den Transportwagen 5 übertragen als auch die Akkumulatoren 21 geladen. Thus, both Steue approximately command on the trolley 5 transmitted as loaded accumulators 21st

Zum Be- bzw. Entladen des Transportwagens 5 wird dieser zunächst mit seinem Kopplungselement 27 in das Anschlag organ 28 der Schleuse 23 eingefahren, so daß seine Sei tenwand 14 an der Schleuse anliegt. For loading or unloading of the cart 5 that is first retracted with its coupling element 27 in the stop organ 28 of the lock 23, so that its Be tenwand 14 abuts against the lock. Das gegenüberliegende Kopplungselement 27 von Transportwagen 5 wird durch das Verschlußorgan 29 verriegelt, indem dieses im Uhrzeiger sinn verschwenkt wird. The opposing coupling element 27 of transport carriage 5 is locked by the closure member 29, by being pivoted in the clockwise direction.

Betätigt jetzt ein Bedienungsmann im Grauraum 3 einen Startknopf, dann verriegelt der Elektromagnet 31 das Ver schlußorgan 29 mit einem Riegelelement 30 , ein irrtüm liches Öffnen des Verschlußorgans 29 und damit ein Abheben des Transportwagens 5 von der Schleuse 23 ist damit nicht mehr möglich. Now actuates an operator in the gray room 3 a start button, then the electromagnet locks 31, the Ver circuit member 29 with a bolt member 30, a irrtüm pending opening of the closure member 29 and thus lifting of the trolley 5 from the lock 23 is therefore no longer possible.

Anschließend wird ein Unterdruckerzeuger eingeschaltet, der die Luft im Zwischenraum 35 absaugt und dort einen Unterdruck erzeugt. Subsequently, a vacuum generator is turned on, which sucks the air in the space 35, where it generates a negative pressure. Damit werden die an den Wand elementen 7 und 24 haftenden Partikel abgesaugt, die sonst beim Öffnen in den Reinraum 4 gelangen könnten. In order for the elements to the wall 7 and 24 adhering particles are sucked that might otherwise get when opening into the clean room. 4

Nach einer festgelegten Zeitspanne öffnet der Elektro motor 13 das Wandelement 7 und der Elektromotor 26 das Wandelement 24 , der Speicherraum 6 ist damit mit dem Reinraum 4 verbunden. After a specified period of time, the electric motor 13 opens the wall element 7, and the electric motor 26, the wall element 24, the storage space 6 is thus connected to the clean room. 4

Gleichzeitig mit dem Öffnen der Wandelemente 7 und 24 werden die Niederhalter 16 durch den Elektromotor 19 angehoben. Simultaneously with the opening of the wall elements 7 and 24, the hold-down device are lifted by the electric motor 19 16th

Der Bedienungsmann im Reinraum 4 kann nun den Transport wagen 5 beladen, wobei die einzelnen Träger 2 auf die Fächer 8 gestellt werden. The operator in the clean room 4 can now transport cart 5 loaded, wherein the individual supports are placed on the trays 8. 2 An Stelle des Bedienungsmannes ist es auch möglich, den Transportwagen 5 mit einem Hand habungsgerät zu beladen. In place of the operator, it is also possible to load the trolley 5 habungsgerät with a hand.

Nach dem Beladen drückt der Bedienungsmann im Reinraum 4 eine Fertigtaste, die Wandelemente 7 bzw. 24 werden ge schlossen. After loading, the operator presses in the clean room 4 a ready button, the wall elements 7 and 24 are closed ge. Gleichzeitig erhält der Bedienungsmann im Grauraum 3 optisch bzw. akustisch die Aufforderung, den Transportwagen 5 abzukoppeln und um 180° zu drehen. At the same time, the operator gets in the gray room 3 optical or acoustic warning prompt to disconnect the trolley 5 and to rotate through 180 °. An schließend wird der Transportwagen 5 mit seiner gegenüber liegenden Seite in der oben beschriebenen Weise angekoppelt, so daß diese Seite beladen werden kann. At closing of the transport carriage 5 is coupled with its opposite side in the manner described above, so that this side can be loaded.

Das Entladen des Transportwagens 5 erfolgt in umgekehrter Reihenfolge. The unloading of the transport carriage 5 is in the reverse order. Bei angekoppeltem Transportwagen 5 und ge öffneten Wandelementen 7 und 24 erfolgt ein Luftaustausch mit dem Reinraum 4 . In a coupled transport cart 5 and ge opened wall elements 7 and 24, an air exchange with the clean room 4 is performed. Dabei wird der Luftstrom durch einen Strömungswächter 39 kontrolliert ( Fig. 2). The air stream is passed through a flow switch 39 controls (Fig. 2). Sollte jetzt der Luftstrom unterbrochen werden, so wird dies durch ein akustisches Warnsignal angezeigt. If now the air flow is interrupted, this is indicated by an audible warning signal.

Claims (11)

  1. 1. Transportspeicher für Waferscheiben mit einem Transport wagen mit Fächern zur Aufnahme von Trägern dadurch gekennzeichnet, daß der Transportwagen ( 5 ) einen allseits geschlossenen Speicherraum ( 6 ) aufweist, der mindestens an einer Seite mit einem bewegbaren Wand element ( 7 ) versehen ist und in dem mindestens ein Gebläse ( 10 ) für einen Umluftstrom ( 11 ) im Speicherraum ( 6 ) ange ordnet ist. 1. Transport store for wafers with a trolley with compartments for receiving carriers characterized in that the transport carriage (5) comprises a fully enclosed storage space (6), which is provided at least on one side with a movable wall element (7) and in is arranged at least a fan (10) for a forced air stream (11) in the storage space (6) is.
  2. 2. Transportspeicher nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß das Wandelement ( 7 ) als flacher Schieber ausgebildet ist, der von einem Elektromotor ( 13 ) bewegbar zwischen Dichtelementen ( 15 ) an mindestens einer Seitenwand ( 14 ) des Transportwagens ( 5 ) gelagert ist. 2. Transport memory according to claim 1, characterized in that the wall element (7) is designed as a flat slider which is supported by an electric motor (13) movable between sealing elements (15) on at least one side wall (14) of the transport carriage (5) ,
  3. 3. Transportspeicher nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Speicherraum ( 6 ) über den Fächern ( 8 ) Niederhalter ( 16 ) angeordnet sind, deren Greifelemente ( 17 ) beim Transport die Waferscheiben ( 1 ) festhalten. 3. Transport memory according to claim 1 or 2, characterized in that in the memory space (6) (8) down device (16) are arranged over the bins, the gripping elements (17) during transport hold the wafers (1).
  4. 4. Transportspeicher nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Fächer ( 8 ) an zwei gegenüberliegenden Außenseiten ( 14 ) des Speicherraums ( 6 ) angeordnet sind, daß jede Reihe von Fächern ( 8 ) ein bewegbares Wandelement ( 7 ) zugeordnet ist und daß die beiden Fächerreihen ( 8 ) einen Luftschacht ( 9 ) mit Reinraumfilter ( 12 ) begrenzen. 4. Transport memory according to one of claims 1 to 3, characterized in that the compartments (8) on two opposite outer sides (14) of the storage space (6) are arranged such that each row of compartments (8) associated with a movable wall element (7) and in that the two rows of compartments (8) defining a duct (9) with clean room filter (12).
  5. 5. Transportspeicher nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß im Transportwagen ( 5 ) mindestens ein Akkumulator ( 21 ) für die Eigen-Stromversorgung vorgesehen ist. 5. Transport memory according to one of claims 1 to 4, characterized in that the transport carriage (5) at least one accumulator (21) is provided for the own power supply.
  6. 6. Transportspeicher nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Rein raum ( 4 ) eine mit einem bewegbaren Wandelement ( 24 ) ver sehene Schleuse ( 23 ) aufweist, an die der Transportwagen ( 5 ) andockbar ist. 6. Transport memory according to one of claims 1 to 5, characterized in that the clean room (4) has a wall with a movable element (24) provided ver lock (23), to which the transport carriage (5) can be docked.
  7. 7. Transportspeicher nach Anspruch 6, dadurch ge kennzeichnet, daß der Transportwagen ( 5 ) Kopplungselemente ( 27 ) aufweist, die mit Kopplungselementen ( 28 , 29 ) der Schleuse ( 23 ) beim Andocken zusammenwirken. 7. Transport memory according to claim 6, characterized in that the transport carriage (5) coupling members (27) which cooperate with coupling elements (28, 29) of the lock (23) when docking.
  8. 8. Transportspeicher nach Anspruch 7, dadurch ge kennzeichnet, daß die Schleuse ( 23 ) einen Rahmen ( 25 ) mit Anschlagorganen ( 28 ) aufweist, in die Kopplungselemente ( 27 ) des Transportwagens ( 5 ) beim An docken eingreifen und daß mit dem Rahmen ( 25 ) ein beweg bares Verschlußorgan ( 29 ) verbunden ist, mit dem der an gedockte Transportwagen ( 5 ) verriegelbar ist. 8. Transport memory according to claim 7, characterized in that the lock (23) has a frame (25) with stop members (28) engage dock during start in the coupling elements (27) of the transport carriage (5) and in that with the frame ( 25) Move bares closure member (29) is connected with the lockable (at docked transport carriage 5).
  9. 9. Transportspeicher nach Anspruch 8, dadurch ge kennzeichnet, daß an der Schleuse ( 23 ) ein bewegbares Riegelelement ( 30 ) angeordnet ist, das mit dem Verschlußorgan ( 29 ) in einer Riegelstellung zusammenwirkt. 9. Transport memory according to claim 8, characterized in that on the lock (23) a movable locking element (30) is arranged, which cooperates with the closure member (29) in a locking position.
  10. 10. Transportspeicher nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß an der Schleuse ( 23 ) ein Anschluß ( 36 ) für einen Unterdrucker zeuger vorgesehen ist, der bei angedocktem Transportwa gen ( 5 ) zwischen die beiden bewegbaren Wandelemente ( 7 , 24 ) mündet und über den im Zwischenraum ( 35 ) ein Unterdruck erzeugbar ist. 10. Transport memory according to one of claims 6 to 9, characterized in that a terminal (36) is provided generator for a sub printer to the lock (23) which, when docked Transportwa gen (5) between the two movable wall elements (7, 24 ) opens and a vacuum is generated via in the space (35).
  11. 11. Transportspeicher nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß an der Schleuse ( 23 ) Kontaktelemente ( 37 ) für Steuerung und Stromversorgung angeordnet sind, die mit Kontaktelementen ( 38 ) des Transportwagens ( 5 ) nach dem Andocken zusammen wirken. 11. Transport memory according to one of claims 6 to 10, characterized in that on the lock (23) contact elements (37) are arranged for control and power supply, operate with contact elements (38) of the transport carriage (5) after docking together.
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