DE3889831T2

DE3889831T2 - Laser-Apparat.

Info

Publication number: DE3889831T2
Application number: DE3889831T
Authority: DE
Inventors: Hidehito Kawahara; Tadaaki Miki; Yoshiro Ogata; Yasuhiro Shimada; Koichi Wani
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1987-09-28
Filing date: 1988-09-27
Publication date: 1994-09-29
Anticipated expiration: 2008-09-28
Also published as: EP0310000A2; DE3889831D1; EP0310000B1; US4991178A; CA1302548C; EP0310000A3

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

Die Erfindung betrifft im allgemeinen einen Laser-Apparat bzw. ein Lasergerät und insbesondere ein Lasergerät, das in einem Belichtungssystem verwendet werden kann.
Bei der Herstellung hochintegrierter Schaltkreise werden photolithographische Verfahren zum Drucken von Mustern bzw. Strukturen auf Halbleiterscheiben bzw. -wafern verwendet. Im allgemeinen werden die photolithographischen Verfahren mit Belichtungssystemen durchgeführt, für die häufig Laser als Lichtquellen verwendet werden. Für die Herstellung von höchstintegrierten Schaltkreisen sind Lichtquellen mit kürzerer Wellenlänge erforderlich, für die Excimerlaser verwendet werden können.
Im allgemeinen erzeugt ein Excimerlaser mit einem optischen Resonator eine Spektrallinie mit einer halben Breite von ungefähr 0,5 nm. Zur Verwendung eines derartigen Excimerlasers bei der Herstellung von höchstintegerierten Schaltkreisen muß die halbe Breite seiner Spektrallinie auf ungefähr 0,005 nm oder weniger verringert werden. Die Verringerung der Breite der Spektrallinie des Excimerlasers wird gewöhnlich durch Wellenlängen-Wählvorrichtungen wie ein Prisma, ein Beugungsgitter oder ein Fabry-Perot-Etalon bewerkstelligt. Diese Wellenlängen-Wählvorrichtungen sind temperatur- und druckempfindlich, so daß Temperatur- und Druckveränderungen erhebliche Schwankungen der gewählten Wellenlänge verursachen. Bei der Herstellung höchstintegrierter Schaltkreise muß die Wellenlänge des Lichts des Belichtungssystems stabilisiert werden.
Wallenstein u.a. offenbaren in "Applied Optics", Bd. 13, Nr. 7, Juli 1974, S. 1625 - 1628 ein druckeinstallbares Farbstofflasersystem mit einer ersten Hauptdruckkammer und einer zweiten fakultativen mit dieser verbundenen Druckkammer, wobei eine Wellenlängenwahl und eine erste Breitenverkleinerung der Spektrallinie durch Verwenden eines von Luft umgebenen Fabry-Perot-Interferometers erreicht wird, das zusammen mit einem in eine gemeinsame Hauptdruckkammer eingebauten Beugungsgitter in dem Strahlengang des Lasers angeordnet ist.
Darüber hinaus offenbaren Henderson u.a. in "Optics and Laser Technology", Bd. 18, Nr. 4, August 1986, S. 187 - 189 ein etalonbasiertes Wellenlängen-Stabilisiersystem, wobei die Stabilisierung durch Erfassen der Lage und Bewegung eines Beugungsmusters unter Verwendung eines Bezugslaserstrahls, eines Analysieretalons, eines Bezugsbeugungsmusters und eines Analysieretalon-Kompensationsregelkreises zur Kompensation einer Bewegung der Etalonspiegel durchgeführt wird. Der in seiner Wellenlänge zu stabilisierende Laserstrahl bewegt sich durch das System und erzeugt dadurch ein zweites Beugungsmuster, das zur Stabilisierung der Wellenlänge des Laserstrahls verwendet wird.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein stabilisiertes Lasergerät zu schaffen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch ein Lasergerät mit einem einen Laserstrahl erzeugenden optischen Resonator, einem ersten abgedichteten und mit einem Gas gefüllten Behälter, einem Wellenlängen-Wählelement, das sich in dem ersten abgedichteten Behälter befindet und eine Wellenlänge des Laserstrahls wählt, einer Einrichtung zum Erfassen einer mittleren Wellenlänge des aus einer Kombination des optischen Resonators und des Wellenlängen-Wählelements ausgesendeten Laserstrahls und einer Einrichtung zum Einstellen einer Dichte des Gases in dem ersten abgedichteten Behälter gelöst, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Einstellen der Gasdichte die Gasdichte gemäß der erfaßten mittleren Wellenlänge des ausgesendeten Laserstrahls regelt und die Einrichtung zum Erfassen der mittleren Wellenlänge einen zweiten abgedichteten und mit einem Gas gefüllten Behälter, ein in dem zweiten abgedichteten Behälter befindliches Wellenlängen-Dispersionselement, das ein Spektralmuster des ausgesendeten Laserstrahls erzeugt, eine Einrichtung zum Abtasten des Spektralmusters und eine Einrichtung zum Bestimmen der mittleren Wellenlänge des ausgesendeten Laserstrahls auf Basis des abgetasteten Spektralmusters aufweist.
In der nachstehenden Beschreibung der Zeichnung und der Erfindung werden unter Bezug auf erläuternde Beispiele 1 bis 5 in Verbindung mit den Figuren 1 bis 7 grundsätzliche Erklärungen abgegeben, damit das Verständnis der für die Erfindung wesentlichen nachstehenden bevorzugten Ausführungsbeispiele 1 bis 7 und der Figuren 8 bis 19 erleichtert wird.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG

Fig. 1 ist eine Ansicht eines Lasergeräts gemäß einem ersten erläuternden Beispiel.
Fig. 2(a) ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen Intensität und Wellenlänge des von einem herkömmlichen Excimerlaser erzeugten Lichts darstellt.
Fig. 2(b) ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen Intensität und Wellenlänge des von dem Lasergerät gemäß Fig. 1 erzeugten Lichts darstellt.
Fig. 3 ist eine Ansicht eines Lasergerätes gemäß einem zweiten erläuternden Beispiel.
Fig. 4 ist eine Ansicht eines Lasergerätes gemäß einem dritten erläuternden Beipiel.
Fig. 5 ist eine Teilansicht eines Lasergerätes gemäß einem vierten erläuternden Beispiel.
Fig. 6 ist eine Ansicht eines Lasergerätes gemäß einem fünften erläuternden Beispiel.
Fig. 7 ist eine Ansicht der Wellenlängen-Erfassungseinrichtung gemäß Fig. 6.
Fig. 8 ist eine Ansicht eines Lasergerätes gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung.
Fig. 9 ist eine Ansicht eines Lasergerätes gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung.
Fig. 10 ist eine Ansicht einer Wellenlängen-Erfassungseinrichtung, einer Signalverarbeitungseinrichtung und von Ventilen in einer ersten Abänderung des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 9.
Fig. 11(a) ist eine Ansicht, die das Beugungsmuster, den linearen Bildsensor und ein Lichtintensitätssignal in der Abänderung gemäß Fig. 10 zeigt.
Fig. 11(b) ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen dem Ausmaß an Unsymmetrie des Lichtintensitätssignals und dem Abstand zwischen dem Mittelpunkt des Beugungsmusters und dem linearen Bildsensor in der Abänderung gemäß Fig. 10 zeigt.
Fig. 12 ist eine Ansicht einer Wellenlängen-Erfassungseinrichtung, einer Signalverarbeitungseinrichtung und von Ventilen in einer zweiten Abänderung des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 9.
Fig. 13 ist eine Ansicht eines Lasergerätes gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung.
Fig. 14 ist ein Blockschaltbild des linearen Bildsensors, der Signalverarbeitungseinrichtung und der Ventile gemäß Fig. 13.
Fig. 15 ist ein Blockschaltbild eines linearen Bildsensors, einer Signalverarbeitungseinrichtung und von Ventilen in einer Abänderung des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 13.
Fig. 16 ist eine Ansicht eines Lasergeräts gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel der Erfindung.
Fig. 17 ist eine Ansicht eines Lasergerätes gemäß einem anderen Beispiel.
Fig. 18 ist eine Ansicht eines Lasergerätes gemäß einem anderen Beispiel.
Fig. 19 ist eine Ansicht eines Lasergerätes gemäß einem anderen Beispiel.

BESCHREIBUNG DES ERSTEN ERLÄUTERNDEN BEISPIELS

Wie aus Fig. 1 ersichtlich enthält ein Lasergerät eine Entladeröhre 1, die sich zwischen einem Totalreflektionsspiegel 2 und einem Augabespiegel 3 befindet. Die Entladeröhre 1, der Totalreflektionsspiegel 2 und der Ausgabespiegel 3 bilden einen optischen Resonator. Die Entladeröhre 1 enthält ein bekanntes Excimerlaser-Medium, das eine Mischung aus einem Edel- und einem Halogengas enthält. Bei diesem Lasergerät tritt die Laserschwingung bei einer Frequenz im ultravioletten Bereich auf. Ein Luftraum-Etalon 4 ist zwischen der Entladeröhre 1 und dem Totalreflektionsspiegel 2 angeordnet. Eine optische Achse des optischen Resonators verläuft durch das Luftraum-Etalon 4. Das Luftraum-Etalon 4 besteht aus einem Fabry-Perot-Etalon, das ein Paar paralleler Flachquarzplatten enthält, die einander gegenüberliegen und voneinander von einer kleinen Lücke getrennt sind. Das Luftraum-Etalon 4 befindet sich in einem abgedichteten Behälter 5.
Die Einrichtungen 1, 2, 3 und 5 befinden sich auf einem (nicht dargestellten) gemeinsamen Sockel. Darüber hinaus ist das Luftraum-Etalon 4 durch (nicht dargestellte) geeignete Bauteile an der Wand des abgedichteten Behälters 5 befestigt.
Wie in Fig. 2(a) dargestellt hat ein herkömmlicher Excimerlaser eine Nutzbandbreite von ungefähr 1 nm. Das Luftraum-Etalon 4 verringert die Nutzbandbreite des Excimer-Lasers auf einen Wert von ungefähr 0,001 nm wie in Fig. 2(b) dargestellt. Im allgemeinen schwankt die mittlere Wellenlänge des Laserstrahls während des Betriebs des Lasergeräts um ungefähr 0,01 nm oder weniger, wenn das Luftraum-Etalon 4 der Atmosphäre ausgesetzt ist. Die Erfinder und andere haben herausgefunden, daß, wenn das Luftraum-Etalon 4 sich wie in diesem ersten erläuternden Beispiel in einem abgedichteten Behälter befand, die Schwankung der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls unterdrückt wurde. Die ermittelte Wirkung scheint auf nachstehenden Gründen zu beruhen. Die von dem Luftraum-Etalon 4 ausgewählte Wellenlänge hängt von der auf die Lücke des Luftraum-Etalons 4 bezogenen Brechungszahl ab. Die Brechungszahl ist nur durch die Dichte des Gases in der Lücke des Luftraum-Etalons 4 bestimmt. Wenn das Luftraum-Etalon 4 der Atmposphäre ausgesetzt ist, verändert sich die Brechungszahl, weil sich der Druck oder die Temperatur und damit auch die Dichte des Gases in der Lücke des Luftraum-Etalons 4 verändern, wodurch sich die ausgewählte Wellenlänge verschiebt. Wenn sich das Luftraum-Etalon 4 in einem abgedichteten Behälter 5 befindet, ist die Dichte des Gases in der Lücke des Luftraum-Etalons 4 nicht abhängig von Außendruck und Temperatur, so daß sich die Brechungszahl sogar bei Druck- oder Temperaturveränderung nicht verändert. Dementsprechend bleibt in den letzteren Fällen die von dem Luftraum-Etalon 4 ausgewählte Wellenlange im wesentlichen konstant und druck- und temperaturunabhängig.
Experimenten zufolge bewegte sich bei dem Lasergerät dieses ersten erläuternden Beispiels die Schwankung der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls in einem Bereich von ±0,001 nm.

BESCHREIBUNG DES ZWEITEN ERLÄUTERNDEN BEISPIELS

Fig. 3 zeigt ein zweites erläuterndes Beispiel, das abgesehen von den nachstehenden Aufbauänderungen ähnlich dem ersten erläuternden Beispiel ist.
Das zweite erläuternde Beispiel gemäß Fig. 3 benutzt ein Beugungsgitter 6 anstelle des Luftraum-Etalons 4 (siehe Fig. 1). Der Lichtstrahl bewegt sich zwischen den Spiegeln 2 und 3 und wird von dem Beugungsgitter 6 reflektiert, das Licht mit einer vorgegebenen Wellenlänge auswählt. Im allgemeinen ist die von einem Beugungsgitter ausgewählte Wellenlänge durch die Dichte des das Beugungsgitter umgebenden Gases bestimmt. Dementsprechend befindet sich das Beugungsgitter 6 in einem abgedichteten Behälter 5, so daß die von dem Beugungsgitter 6 ausgewählte Wellenlänge im wesentlichen konstant gehalten wird.

BESCHREIBUNG DES DRITTEN ERLÄUTERNDEN BEISPIELS

Fig. 4 zeigt ein drittes erläuterndes Beispiel, das abgesehen von den nachstehenden Aufbauänderungen ähnlich dem ersten erläuternden Beispiel gemäß Fig. 1 ist.
Bei dem dritten erläuternden Beispiel gemäß Fig. 4 befinden sich ein Luftraum-Etalon 4 und ein Beugungsgitter 6 in einem gemeinsamen abgedichteten Behälter 5. Der Lichtstrahl bewegt sich zwischen den Spiegeln 2 und 3, wird von dem Beugungsgitter 6 reflektiert und passiert das Luftraum-Etalon 4. Das Luftraum-Etalon 4 und das Beugungsgitter 6 wählen jeweils Licht mit vorgegebener Wellenlänge aus. Die von dem Luftraum-Etalon 4 und dem Beugungsgitter 6 ausgewählten Wellenlängen werden gleich gemacht, so daß der Wellenlängenbereich des Laserstrahls annehmbar klein sein kann, beispielsweise 0,005 nm.
Wie bei den erläuternden Beispielen gemäß Fig. 1 und 3 ist die von dem Luftraum-Etalon 4 und dem Beugungsgitter 6 ausgewählte Wellenlänge im wesentlichen unabhangig von dem Druck und der Temperatur außerhalb des abgedichteten Behälters 5. Experimenten zufolge lag bei dem Lasergerät dieses dritten erläuternden Beispiels die Schwankung der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls in einem Bereich von ±0,001 nm.
Eine Hochdruck-Luftquelle 7 und eine Niederdruck-Luftquelle 8 sind jeweils über elektrisch gesteuerte Ventile 9 und 10 mit dem abgedichteten Behälter 5 verbunden. Wenn das Ventil 9 geöffnet und das Ventil 10 geschlossen ist, wird Hochdruck-Luft in den abgedichteten Behälter 5 eingelassen, wodurch sich die Dichte der Luft erhöht, die sich in der Lücke des Luftdruck- Etalons 4 befindet und das Beugungsgitter 6 umgibt, so daß sich die von dem Luftdruck-Etalon 4 und dem Beugungsgitter 6 ausgewählte Wellenlänge in eine Richtung verschiebt. Wenn das Ventil 9 geschlossen und das Ventil 10 geöffnet ist, wird Niederdruck-Luft in den abgedichteten Behälter 5 eingelassen, wodurch die Dichte der Luft abnimmt, die sich in der Lücke des Luftraum-Etalons 4 befindet und das Beugungsgitter 6 umgibt, so daß sich die von dem Luftraum-Etalon 4 und dem Beugungsgitter 6 ausgewählte Wellenlänge in eine entgegengesetzte Richtung verschiebt. Eine Steuereinrichtung 11 gibt Steuersignale an die Ventile 9 und 10 aus. Ein das Lasergerät enthaltendes Belichtungssystem weist eine (nicht dargestellte) Einrichtung zum Erfassen einer Lageverschiebung der Bilderzeugung auf. Die den Ventilen 9 und 10 zugeführten Steuersignale werden von der Steuereinrichtung 11 gemäß einem Signal aus der Erfassungseinrichtung erzeugt, so daß die Ventile 9 und 10 gemäß der Lageverschiebung der Bilderzeugung 10 geöffnet und geschlossen werden. Anders ausgedrückt wird die Luftdichte in dem abgedichteten Behälter 5 gemäß der Lageverschiebung der Bildbewegung gesteuert.
Während des Betriebs des Lasergeräts absorbieren das Luftraum-Etalon 4 und das Beugungsgitter 6 den Laserstrahl, wodurch sich die Temperatur der Einrichtungen 4 und 6 erhöht. Diese Temperaturerhöhung würde eine Veränderung der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls verursachen und dadurch eine Lageverschiebung der Bilderzeugung. Die Steuerung der Luftdichte in dem abgedichteten Behälter 5 als Reaktion auf die Lageverschiebung der Bildbewegung dient zum Kompensieren einer derartigen durch die Temperaturveränderung verursachten Veränderung der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls. Diese Kompensationssteuerung ermöglicht eine besser stabilisierte mittlere Wellenlänge des Laserstrahls. Die mittlere Wellenlänge des Laserstrahls kann durch Verändern der Eigenschaften der Steuereinrichtung 11 oder der Erfassungseinrichtung justiert werden. Auf diese Weise kann das Lasergerät dieses dritten erläuternden Beispiels abgeglichen werden. Der veränderliche Bereich der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls ist durch eine Nutzbandbreite eines in der Entladeröhre 1 enthaltenen Laser-Mediums bestimmt.
Es sei bemerkt, daß verschiedene Veränderungen bei diesem dritten erläuternden Beispiel gemacht werden können. Bei einer ersten Abänderung ist der das Luftraum-Etalon 4 und das Beugungsgitter 6 enthaltende abgedichtete Behälter 5 zwischen der Entladeröhre 1 und dem Ausgabespiegel 3 angeordnet. Bei einer zweiten Abänderung werden das Beugungsgitter 6 und der Totalreflektionsspiegel 2 von einer gemeinsamen optischen Einrichtung gebildet. Bei einer dritten Abänderung werden das Beugungsgitter 6 und der Ausgabespiegel 3 von einer gemeinsamen optischen Einrichtung gebildet. Bei einer vierten Abänderung ist das Beugungsgitter 6 durch einen Prisma oder ein Festkörper-Etalon ersetzt. Bei einer fünften Abänderung ist entweder das Luftraum-Etalon 4 oder das Beugungsgitter 6 außerhalb des abgedichteten Behälters angeordnet.

BESCHREIBUNG DES VIERTEN ERLÄUTERNDEN BEISPIELS

Fig. 5 zeigt ein viertes erläuterndes Beispiel, das abgesehen von den nachstehenden Aufbauänderungen ähnlich dem dritten erläuternden Beispiel ist.
Das vierte erläuternde Beispiel verwendet eine Kombination aus einem Blasebalg 12 und einem Stellglied 13 anstelle der Kombinaton der Hochdruck-Luftquelle 7, der Niederdruck-Luftquelle 8 und der Ventile 9 und 10 (siehe Fig. 4). Der abgedichtete Behälter 5 ist mit dem Blasebalg verbunden, so daß der Druck oder die Dichte der Luft in dem abgedichteten Behälter 5 durch Herausziehen oder Zusammendrücken des Blasebalgs 12 verändert werden kann. Der Blasebalg 12 wird von dem Stellglied 13 angetrieben.
Es sei bemerkt, daß die Luft in dem abgedichteten Behälter 5 durch andere Gase wie ein stickstoffhaltiges Gas, ein Edel- oder ein Schutzgas ersetzt werden kann.

BESCHREIBUNG DES FUNFTEN ERLÄUTERNDEN BEISPIELS

Fig. 6 zeigt ein fünftes erläuterndes Beispiel, das abgesehen von den nachstehenden Aufbauänderungen ähnlich dem dritten erläuternden Beispiel ist.
Das fünfte erläuternde Beispiel gemäß Fig. 6 enthält einen Strahlenteiler oder halbdurchlässigen Spiegel 15, der einem von einem Ausgabespiegel 3 ausgesendeten Laserstrahl ausgesetzt ist. Ein Teil des ausgesendeten Laserstrahls passiert den halbdurchlässigen Spiegel 15. Ein anderer Teil des ausgesendeten Laserstrahls wird von dem halbdurchlässigen Spiegel 15 reflektiert und tritt in eine Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 ein. Die Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 gibt ein Signal aus, das der mittleren Wellenlänge des ausgesendeten Laserstrahls entspricht. Das ausgesendete Signal aus der Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 wird einem Vergleicher 17 zugeführt. Ein Bezugssignal, das eine Bezugs-Wellenlänge darstellt, wird auch dem Vergleicher 17 zugeführt. Die Einrichtung 17 vergleicht das Ausgangssignal aus der Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 mit dem Bezugssignal und erzeugt Steuersignale, die von einem unterschied zwischen der erfaßten mittleren Wellenlänge des ausgesendeten Laserstrahls und der Bezugs-Wellenlänge abhängig sind. Die Ventile 9 und 10 werden von den Steuersignalen aus dem Vergleicher 17 gesteuert, so daß die Ventile 9 und 10 gemäß einem Unterschied zwischen der erfaßten Wellenlänge und der Bezugs-Wellenlänge derart gesteuert werden, daß die mittlere Wellenlänge des ausgesendeten Laserstrahls im wesentlichen gleich der Bezugs- Wellenlänge gehalten werden kann. Auf diese Weise wird die mittlere Wellenlänge des ausgesendeten Laserstrahls geregelt. Die mittlere Wellenlänge des ausgesendeten Laserstrahls kann durch Verändern des an den Vergleicher 17 angelegten Bezugssignals eingestellt werden. Der veränderliche Bereich der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls ist durch eine Nutzbandbreite eines in der Entladeröhre 1 enthaltenen Laser- Mediums bestimmt.
Wie in Fig. 7 dargestellt enthält die Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 eine Kombination einer Linse 16A, eines Fabry-Perot-Etalons 16B und einer Linse 16C, die ein Bild eines Bandmusters des Laserstrahls auf einem linearen Bildsensor 16D erzeugt. Ein Ausgangssignal aus dem linearen Bildsensor 16D verändert sich als Funktion der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls.

BESCHREIBUNG DES ERSTEN BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELS

Fig. 8 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung, das abgesehen von den nachstehenden Abänderungen ähnlich den erläuternden Beispielen gemäß Fig. 6 und 7 ist.
Das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 8 benutzt ein Luftraum- Etalon 6A anstelle des Beugungsgitters 6 (siehe Fig. 6). Das Luftraum-Etalon 6A und ein anderes Luftraum-Etalon 4 haben verschiedene freie Spektralbereiche. Die Linse 16A einer Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 ist aus dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 8 entfernt.
Bei der Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 befinden sich das Luftraum-Etalon oder das Fabry-Perot-Etalon 16B in einem abgedichteten Behälter 16E. Da die Brechungszahl eines Gases wie vorstehend beschrieben nur durch seine Dichte bestimmt ist, bleibt die auf eine Lücke des Luftraum-Etalons 16B bezogene Brechungszahl im wesentlichen konstant. Dementsprechend sind die Eigenschaften der Wellenlängen- Erfassungseinrichtung 16 im wesentlichen unabhängig von der Temperatur und dem Druck außerhalb des abgedichteten Behälters 16E. Der abgedichtete Behälter 16E ist vorzugsweise mit einem stickstoffhaltigen Gas, einem Edel- oder einem Schutzgas gefüllt. Die Kombination aus dem Luftraum-Etalon 16B und der Linse 16C erzeugt ein Spektralbild des Laserstrahls auf dem linearen Bildsensor 16D. Das Bild weist ein Beugungsmuster konzentrischer Kreise bzw. Ränder 16F auf. Die Lage der Ränder 16F wird von dem linearen Bildsensor 16D erfaßt. Es sei bemerkt, daß die Lage der Ränder 16F von der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls abhängt.
Ein Ausgangssignal aus dem linearen Bildsensor 16D, das die Lage der Ränder 16F darstellt, wird an eine Signalverarbeitungseinrichtung 18 angelegt. Die Signalverarbeitungseinrichtung 18 bestimmt die Lage von einem der vorbestimmten Ränder 16F durch Verarbeitung des Ausgangssignals aus dem linearen Bildsensor 16D, berechnet die mittlere Wellenlänge des Laserstrahls aus der bestimmten Randlage und bestimmt einen Unterschied zwischen der berechneten mittleren Wellenlänge und einer Einstell-Wellenlänge. Die Signalverarbeitungseinrichtung 18 erzeugt Steuersignale gemäß dem Unterschied zwischen der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls und der Einstell-Wellenlänge, die zum Steuern der Ventile 9 und 10 gemäß dem Unterschied zwischen den beiden Wellenlängen verwendet werden. Die Steuerung der Ventile 9 und 10 läuft derart ab, daß die mittleren Wellenlängen des Laserstrahls im wesentlichen gleich der Einstell-Wellenlänge gehalten werden können, die in der Signalverarbeitungseinrichtung 18 eingestellt sind. Die mittlere Wellenlänge des Laserstrahls kann durch Verändern der Einstell-Wellenlänge eingestellt werden. Da die Wellenlängen-Erfassung über die Einrichtung 16 wie vorstehend beschrieben unabhängig von Temperatur- und Druckveränderungen ist, kann die Regelung der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls genau sein.

BESCHREIBUNG DES ZWEITEN BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELS

Fig. 9 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung, das abgesehen von den nachstehenden Aufbauänderungen ähnlich dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 8 ist.
Das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 9 enthält einen Spiegel 19, der den Laserstrahl von dem halbdurchlässigen Spiegel 15 in Richtung der Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 richtet. Das Luftraum-Etalon 6A (siehe Fig. 8) ist aus dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 9 entfernt.
Der Laserstrahl tritt über ein Auskoppelfenster 16G in die Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 ein. Die Wellenlängen- Erfassungseinrichtung 16 enthält eine Kombination aus der Linse 16A, dem Luftraum-Etalon 16B und der Linse 16C, die ein Spektralbild des Laserstrahls auf einer Ebene erzeugt, auf der sich der lineare Bildsensor 16D befindet. Das Bild weist ein Muster konzentrischer Ränder 16F auf. Der lineare Bildsensor 16D wird in bezug auf die Ränder 16F derart angeordnet, daß er durch den Mittelpunkt der Ränder 16F verläuft. Die Lage der Ränder 16F wird durch den linearen Bildsensor 16D erfaßt.
Die Signalverarbeitungseinrichtung 18 bestimmt einen Durchmesser von einem vorgegebenen der Ränder 16F durch Verarbeitung des Ausgangssignals des linearen Bildsensors 16D, berechnet die mittlere Wellenlänge des Laserstrahls aus dem bestimmten Randdurchmesser, bestimmt einen Unterschied zwischen der berechneten mittleren Wellenlänge und einer Einstell-Wellenlänge und erzeugt Steuersignale gemäß dem Unterschied zwischen der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls und der Einstell-Wellenlänge. Die Ventile 9 und 10 werden durch die Steuersignale aus der Signalverarbeitungseinrichtung 18 gemäß dem Unterschied zwischen den beiden Wellenlängen gesteuert.
Falls das Luftraum-Etalon 16B und der lineare Bildsensor 16D sich aus irgendwelchen Gründen aus einer normalen Lagebeziehung heraus bewegen, verändern sich die Durchmesser der Ränder 16F in einem geringeren Ausmaß als das Ausmaß der Bewegung der Einrichtungen 16B und 16D. Dementsprechend kann die mittlere Wellenlänge des Laserstrahls durch die Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 für eine Zeit genau erfaßt werden. Die genaue Wellenlängen-Erfassung ermöglicht eine genaue Regelung der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls.
Fig. 10 zeigt eine erste Abänderung des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 9. Bei dieser Abänderung wird der lineare Bildsensor 16D von den Durchmessern der konzentrischen Ränder 16F wegbewegt. Die Signalverarbeitungseinrichtung 18 bestimmt durch Verarbeiten eines Ausgangssignals aus dem linearen Bildsensor 16D den Durchmesser von einem vorbestimmten der Ränder 16F. Wie in Fig. 11(a) dargestellt weist ein lichtempfindlicher Abschnitt des linearen Bildsensors 16D eine gleichmäßig verteilte Fläche auf. Wenn der lineare Bildsensor 16D von den Durchmessern der Ränder 16F wegbewegt wird, weist ein aus dem linearen Bildsensor 16D ausgegebenes Lichtintensitätssignal dementsprechend eine unsymmetrische Form auf. Wie in Fig. 11(b) dargestellt verändert sich ein Abstand "z" zwischen dem Mittelpunkt der Ränder 16F und dem linearen Bildsensor 16D gemäß einer gegebenen Funktion "f(x)" in Abhängigkeit von "x", das einem Verhältnis zwischen den Integralen 11 und 12 der Signalintensität auf beiden Seiten des Maximums des Lichtintensitätssignals entspricht und das Ausmaß an Unsymmetrie des Lichtintensitätssignals darstellt. Der Durchmesser D des vorgegebenen Randes wird über folgende Gleichung berechnet:
D = (L² + 4z²) 1/2,
wobei die Größe L den Abstand zwischen den Punkten angibt, bei denen der vorgegebene Rand den linearen Bildsensor 16D schneidet.
Fig. 12 zeigt eine zweite Abänderung des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 9, das einen zweidimensionalen Bildsensor 21 anstelle des linearen Bildsensors 16D (siehe Fig. 9) verwendet. Die Signalverarbeitungseinrichtung 18 bestimmt durch Verarbeiten eines Ausgangssignals aus dem zweidimensionalen Bildsensor 21 den Durchmesser von einem vorgegebenen der Ränder 16F.

BESCHREIBUNG DES DRITTEN BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELS

Fig. 13 und 14 zeigen ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung, die abgesehen von den nachstehenden Aufbauänderungen ähnlich dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 9 ist.
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 13 und 14 befinden sich die Luftraum-Etalons 4 und 6A in einem gemeinsamen abgedichteten Behälter 5. Wie aus Fig. 14 ersichtlich enthält der lineare Bildsensor 16D eine linear angeordnete Reihe von Photozellen, die entsprechende Sensorkanäle bilden.
Die Signalverarbeitungseinrichtung 18 verarbeitet Ausgangssignale aus den entsprechenden Kanälen des linearen Bildsensors 16D und berechnet dadurch ein Integral 11 der Intensität des Laserstrahls auf einer Fläche des linearen Bildsensors 16D, die sich innerhalb einer Grenze zwischen Bezugszellen des Sensors 16D befindet. Außerdem berechnet die Signalverarbeitungseinrichtung 18 ein Integral 12 der Intensität des Laserstrahls auf einer Fläche des linearen Bildsensors 16D, die sich außerhalb der Grenze der Bezugszellen des Sensors 16D befindet. Die Signalverarbeitungseinrichtung 18 enthält einen Subtrahierer 18A, der eine Differenz DIFF zwischen den Integralen 11 und 12 berechnet, und eine Regeleinrichtung 18B, die Steuersignale an die Ventile 9 und 10 ausgibt. Ein Bezugssignal, das einen Bezugswert Vr darstellt, wird an die Regeleinrichtung 18B angelegt. Die Regeleinrichtung 18B stellt durch die Steuersignale die Ventile 9 und 10 derart ein, daß die Differenz DIFF im wesentlichen gleich dem Bezugswert Vr sein kann. Da die Differenz DIFF von der Stelle des Maximums der Laserstrahl-Intensität auf dem linearen Bildsensor 16D abhängt, ermöglicht die Einstellung der Ventile 9 und 10, daß die Stelle des Maximums der Lichtintensität im wesentlichen auf einer Bezugsstelle gehalten werden kann, die dem Bezugswert Vr entspricht. Da die Stelle des Maximums der Lichtintensität von der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls abhängt, ermöglicht die Einstellung der Ventile 9 und 10 außerdem, daß die mittlere Wellenlänge des Laserstrahls im wesentlichen gleich einer Bezugs-Wellenlänge gehalten wird, die durch den Bezugswert Vr bestimmt ist. Da der Bezugswert Vr fortlaufend verändert wird, wird auch die mittlere Wellenlänge des Laserstrahls fortlaufend ohne jede Beschränkung hinsichtlich der Räume zwischen den Zellen des linearen Bildsensors 16D verändert.
Experimenten zufolge bewegte sich die Genauigkeit der Regelung und Einstellung der mittleren Wellenlänge des Laserstrahls innerhalb eines Bereichs unter 0,5 pm.
Reflektierende Filmbeschichtungen auf den Oberflächen der Luftraum-Etalons 4 und 6A neigen dazu, schlechter zu werden. Dieses Phänomen scheint dadurch verursacht zu werden, daß durch Absorption des Laserstrahls Sauerstoff freigesetzt wird, der sich mit Atomen der Filmbeschichtungen verbindet. Diese Reaktion verschlechtert die Filmbeschichtungen.
Wenn der Druck in dem abgedichteten Behälter 5 innerhalb eines Niederdruck-Bereichs um 1 Pa eingestellt wurde, war die Lebensdauer der Filmbeschichtungen der Luftraum-Etalons 4 und 6A Experimenten zufolge um einen Faktor von ungefähr 100 länger als die, die sich ergab, wenn der Druck in dem abgedichteten Behälter 5 ungefähr dem atmosphärischen Druck entsprach. Die längere Lebensdauer scheint daraus zu folgen, daß die Druckabnahme in dem abgedichteten Behälter 5 die Dichte des Sauerstoffs in dem abgedichteten Behälter 5 vermindert.
Dementsprechend sollte der Druck in dem abgedichteten Behälter 5 innerhalb eines Bereichs unter dem atmosphärischen Druck eingestellt werden. Außerdem kann der abgedichtete Behälter 5 mit einem stickstoffhaltigen Gas, einem Edel- oder einem Schutzgas gefüllt werden.
Fig. 15 zeigt eine Abänderung des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 13 und 14. Bei dieser Abänderung ist der lineare Bildsensor 16D ein Abtaster, und eintreffende Lichtsignale werden nacheinander aus den entsprechenden Kanälen des linearen Bildsensors 16D gemäß Dreiphasen-Taktsignalen ausgelesen, die von einer Takterzeugungseinrichtung 18L in der Signalverarbeitungseinrichtung 18 zugeführt werden. Die Ausgangssignale aus dem linearen Bildsensor 16D werden über einen Verstärker 18D in der Signalverarbeitungseinrichtung 18 an einen Schalter 18E übertragen. Ein Zähler 18M steuert auf Impulse aus der Takterzeugungseinrichtung 18L hin den Schalter 18E derart, daß die Ausgangssignale vom (x-m)-ten bis zum x-ten Kanal des linearen Bildsensors 16D an einen Integrierer oder ein Tiefpaßfilter 18F und die Ausgangssignale vom (x+1)-ten bis zum (x+m+1)-ten Kanal des linearen Bildsensors 16D an einen Integrierer oder ein Tiefpaßfilter 18G angelegt werden. Der x-te Kanal bildet einen Bezugskanal, der benachbart von einem vorgegebenen Rand ist. Die Meßweite "m" ist ungefähr auf die Bandbreite des vorgegebenen Randes eingestellt. Das Tiefpaßfilter 18F erzeugt ein Signal I1, das ein Integral der empfangenen Signale darstellt. Das Tiefpaßfilter 18G erzeugt ein Signal 12, das einem Integral der empfangenen Signale entspricht. Der Subtrahierer 18A erzeugt ein Signal DIFF, das einer Differenz zwischen den integrierten Intensitätssignalen I1 und I2 entspricht und an einen Differenzverstärker 18H angelegt wird. Ein Potentiometer 18N erzeugt ein einem Bezugswert entsprechendes Bezugssignal Vr, das an den Differenzverstärker 18H angelegt wird. Der Differenzverstärker 18H vergleicht das Differenzsignal DIFF und das Bezugssignal Vr und erzeugt ein von einer Differenz zwischen den Signalen DIFF und Vr abhängiges Signal. Ein Treiber 18J erzeugt aus dem Ausgangssignal aus dem Differenzverstärker 18H ein Steuersignal, während ein Treiber 18K aus dem Ausgangssignal aus dem Differenzverstärker 18H ein Steuersignal erzeugt. Die Steuersignale werden jeweils von den Treibern 18J und 18K an die Ventile 9 und 10 übertragen, die von den Steuersignalen derart gesteuert werden, daß das Differenzsignal DIFF gleich dem Bezugssignal Vr wird. Infolgedessen wird die Lage des vorgegebenen Randes im wesentlichen in der von dem Bezugssignal Vr bestimmten Bezugslage gehalten. Außerdem wird die mittlere Wellenlänge des Laserstrahls im wesentlichen auf der durch das Bezugssignal Vr bestimmten Bezugs-Wellenlänge gehalten. Die mittlere Wellenlänge des Laserstrahls kann durch Einstellen des Potentiometers 18N zum Verändern des Bezugssignals Vr verändert werden.

BESCHREIBUNG DES VIERTEN BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELS

Fig. 16 zeigt ein viertes Ausführungsbeispiel der Erfindung, das abgesehen von den nachstehenden Aufbauänderungen ähnlich dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 9 ist.
Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 16 wird der von dem halbdurchlässigen Spiegel oder Strahlenteiler 15 reflektierte Laserstrahl direkt der Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 zugeführt. Das die Hochdruck-Gasquelle 7 und den abgedichteten Behälter 5 verbindende Ventil 9 wird durch die Reaktion auf das Ausgangssignal aus der Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 gesteuert. Das den abgedichteten Behälter 5 und die Niederdruck-Quelle oder -Pumpe 8 verbindende Ventil 10 wird auch durch die Reaktion auf ein anderes Ausgangssignal aus der Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 gesteuert. Auf diese Weise wird der Druck oder die Dichte des Gases in dem abgedichteten Behälter gemäß der erfaßten Wellenlänge des Laserstrahls geregelt.
Das von der Hochdruck-Gasquelle 7 an den abgedichteten Behälter abgegebene Gas sollte ein stickstoffhaltiges Gas, ein Edel- oder ein Schutzgas sein. Hinsichtlich der Lebensdauer der Filmbeschichtungen auf den Oberflächen des Luftraum-Etalons 4 sollte das Gas am besten Helium oder Argon sein.

BESCHREIBUNG EINES ANDEREN BEISPIELS

Fig. 17 zeigt ein Beispiel, das abgesehen von den nachstehenden Aufbauänderungen ähnlich dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 16 ist.
Bei dem Beispiel gemäß Fig. 17 werden die Entladeröhre 1, der Totalreflektionsspiegel 2 und der Ausgabespiegel 3 von einem gemeinsamen Sockel 31 getragen. Das zwischen der Entladeröhre 1 und dem Totalreflektionsspiegel 2 angeordnete Etalon 4 ist der Atmosphäre ausgesetzt. Ein Winkel des Etalons 4 kann relativ zu einer optischen Achse eines aus den Einrichtungen 1 bis 3 bestehenden optischen Resonators eingestellt werden. Die von dem Etalon 4 ausgewählte Wellenlänge ist von dem Winkel des Etalons 4 abhängig, das von einem auf dem Sockel 31 angeordneten Stellglied 33 gesteuert wird. Der von dem Strahlenteiler 15 reflektierte Laserstrahl wird über ein Lichtwellenleiter-Kabel 32 an die Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 übertragen, die an dem Sockel 31 befestigt ist. Das Stellglied 33 wird von einer Reaktion auf ein Ausgangssignal aus der Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 derart gesteuert, daß der Winkel des Etalons 4 gemäß der erfaßten Wellenlänge des Laserstrahls geregelt wird. Die Winkelregelung des Etalons 4 arbeitet derart, daß die Wellenlänge des ausgesendeten Laserstrahls im wesentlichen eine Einstell-Wellenlänge annimmt.
Der Sockel 31 sollte aus Metall hergestellt sein. Die Entladeröhre 1 und die Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 befinden sich jeweils an entgegengesetzten Seiten des Sockels 31, so daß elektromagnetisches Rauschen aus der Entladeröhre 1 die Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 nur in einem vernachlässigbaren Ausmaß stört.

BESCHREIBUNG EINES ANDEREN BEISPIELS

Fig. 18 zeigt ein Beispiel, das abgesehen von den nachstehenden Aufbauänderungen ähnlich dem Beispiel gemäß Fig. 17 ist.
Bei dem Beispiel gemäß Fig. 18 gibt die Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 über ein Lichtwellenleiter-Kabel 35 ein optisches Steuersignal an das Etalon-Stellglied 33 aus. Demnach ist das Ausgangssignal aus der Wellenlängen-Erfassungseinrichtung 16 vor von der Entladeröhre 1 erzeugtem elektromagnetischen Rauschen geschützt.

BESCHREIBUNG EINES ANDEREN BEISPIELS

Fig. 19 zeigt ein Beispiel, das abgesehen von den nachstehenden Aufbauänderungen ähnlich dem Beispiel gemäß Fig. 18 ist.
Ein einen Laserstrahl verwendendes Belichtungssystem 41 enthält einen Wellenlängen-Sensor, der die Wellenlänge des Laserstrahls erfaßt. Ein Ausgangssignal aus dem Wellenlängen- Sensor wird einer Steuereinrichtung 42 zugeführt. Die Steuereinrichtung 42 erzeugt ein optisches Steuersignal gemäß dem Ausgangssignal aus dem Wellenlängen-Sensor. Das optische Steuersignal wird durch ein Lichtwellenleiter-Kabel 43 von der Steuereinrichtung 42 an das Etalon-Stellglied 33 übertragen. Daher ist das Steuersignal, das dem Etalon- Stellglied 33 zugeführt wird, vor dem elektromagnetischen Rauschen geschützt, das von der Entladeröhre 1 erzeugt wird.

Claims

1. Lasergerät mit

a) einem einen Laserstrahl erzeugenden optischen Resonator (2, 3),

b) einem ersten abgedichteten und mit einem Gas gefüllten Behälter (5),

c) einem Wellenlängen-Wählelement (4; 4, 6; 4, 6A), das sich in dem ersten abgedichteten Behälter (5) befindet und eine Wellenlänge des Laserstrahls wählt,

d) einer Einrichtung (16) zum Erfassen einer mittleren Wellenlänge des aus einer Kombination des optischen Resonators (2, 3) und des Wellenlängen-Wählelements (4; 4, 6; 4, 6A) ausgesendeten Laserstrahls und

e) einer Einrichtung (7, 8, 9, 10) zum Einstellen einer Dichte des Gases in dem ersten abgedichteten Behälter (5),

dadurch gekennzeichnet, daß

f) die Einrichtung (7, 8, 9, 10) zum Einstellen der Gasdichte die Gasdichte gemäß der erfaßten mittleren Wellenlänge des ausgesendeten Laserstrahls regelt und

g) die Einrichtung (16) zum Erfassen einer mittleren Wellenlänge einen zweiten abgedichteten und mit einem Gas gefüllten Behälter (16E), ein in dem zweiten abgedichteten Behälter (16E) befindliches Wellenlängen-Dispersionselement (16B), das ein Spektralmuster (16F) des ausgesendeten Laserstrahls erzeugt, eine Einrichtung (16D) zum Abtasten des Spektralmusters (16F) und eine Einrichtung (18) zum Bestimmen der mittleren Wellenlänge des ausgesendeten Laserstrahls auf Basis des abgetasteten Spektralmusters aufweist.

2. Lasergerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Laserstrahl ein ultravioletter Laserstrahl ist.

3. Lasergerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gas in dem ersten abgedichteten Behälter (5) ein Schutzgas ist.

4. Lasergerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein Druck in dem ersten abgedichteten Behälter (5) niedriger als ein atmosphärischer Druck ist.

5. Lasergerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die durch das Wellenlängen-Wählelement (4; 4, 6; 4, 6A) ausgewählte Wellenlänge sich innerhalb einer Nutzbandbreite des Laser-Mediums befindet.

6. Lasergerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die ausgewählte Wellenlänge innerhalb der Nutzbandbreite gemäß der Dichte des Gases in dem ersten abgedichteten Behälter (5) veränderlich ist.

7. Lasergerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die mittlere Wellenlänge durch die ausgewählte Wellenlänge bestimmt ist.

8. Lasergerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gas in dem zweiten abgedichteten Behälter (16E) ein Schutzgas ist.

9. Lasergerät nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum Bestimmen einer Ziel-Wellenlänge.

10. Lasergerät nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (17) zum Berechnen einer Differenz zwischen der erfaßten mittleren Wellenlänge und der Ziel-Wellenlänge.

11. Lasergerät nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch eine Ziel-Wellenlängen-Veränderungseinrichtung zum Verändern der mittleren Wellenlänge des ausgesendeten Laserstrahls.

12. Lasergerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (18) zum Bestimmen der mittleren Wellenlänge eine Einrichtung (18G) zum Berechnen eines Integrals einer Lichtintensität in dem Spektralmuster (16F) aufweist, die sich auf einer Seite des Bezugspunktes befindet, die die kleinere Wellenlänge hat.

13. Lasergerät nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (18) zum Bestimmen der mittleren Wellenlänge eine Einrichtung (18F) zum Berechnen eines Integrals einer Lichtintensität in dem Spektralmuster (16F) aufweist, die sich auf einer Seite des Bezugspunktes befindet, die die längere Wellenlänge hat.

14. Lasergerät nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (18) zum Bestimmen der mittleren Wellenlänge eine Einrichtung (18A) zum Vergleichen der berechneten Integrale aufweist.

15. Lasergerät nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (18) zum Bestimmen der mittleren Wellenlänge eine Einrichtung (18H) zum Berechnen der mittleren Wellenlänge auf der Basis des Vergleichs zwischen den Integralen aufweist.

16. Lasergerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wellenlängen-Erfassungseinrichtung (16) ein Signal über ein Lichtwellenleiter-Kabel (35) an die Steuereinrichtung (33) ausgibt.