DE3636985A1

DE3636985A1 - COMBINED HOLOGRAFIC SCREEN AND IMAGE ELEMENT CLOCK

Info

Publication number: DE3636985A1
Application number: DE19863636985
Authority: DE
Inventors: Joseph J Daniele; Joachim A Ritter
Original assignee: Xerox Corp
Current assignee: Xerox Corp
Priority date: 1985-11-12
Filing date: 1986-10-30
Publication date: 1987-05-14
Also published as: GB2182820A; GB8626380D0; JPS62127709A

Description

Die Erfindung betrifft Raster-Ausgabeabtastein richtungen und insbesondere eine Bildelementtakteinrich tung für Raster-Ausgabeabtasteinrichtungen.The invention relates to raster output scanners directions and in particular a pixel clock device for raster output scanners.

Heutige Raster-Ausgabeabtasteinrichtungen stüt zen sich typischerweise auf eine Erfassungseinrichtung, entweder eine Abtastbeginn-Erfassungseinrichtung (SOS) oder eine Abtastende-Erfassungseinrichtung (EOS) oder beides, um die Plazierung der Bildelemente über die Ab tastlinie zu erreichen. Mit diesen Erfassungseinrich tungen kann der Punkt, an dem die Abtastlinie beginnt und/oder endet, genau festgelegt werden. Indem die Ver teilung der Bildelemente einer jeden Bildzeile gemittelt wird, können dort, wo Abtastbeginn- und Abtastende-Erfas sungseinrichtungen beispielsweise verwendet werden, die einzelnen Bildelemente längs der Bildzeile plaziert wer den.Today's raster output scanners typically rely on a detector, either a scan start detector (SOS) or a scan end detector (EOS), or both, to achieve placement of the picture elements across the scan line. With these detection devices, the point at which the scanning line begins and / or ends can be precisely determined. By averaging the distribution of the picture elements of each picture line, where scan start and end scan sensing devices are used, for example, the individual picture elements can be placed along the picture line.

Um jedoch Zittern und Verzerren des Bildes zu ver meiden, sind Anordnungsgenauigkeiten des Bildelements von 1/4 Bildelement oder besser erforderlich. Bei dem vorhergehend beschriebenen Verfahren nimmt die Anord nungsgenauigkeit des Bildelements ab, wenn nur eine oder beide Endpositionen in der Bildzeile bekannt sind und der Abstand von dem Erfassungspunkt größer wird, mit dem Ergebnis, daß Zittern und Bildverzerrungen bei dem endgültigen Bild manchmal beobachtet werden können.However, to prevent the picture from shaking and distorting avoid, are placement accuracies of the picture element 1/4 picture element or better required. In which The procedure described above takes the order accuracy of the picture element if only one or both end positions in the image line are known and the distance from the detection point increases with the Result that tremors and image distortions in the final picture can sometimes be observed.

Wenn ein Bildelementtaktgeber mit dem sich drehen den Abtastelement verknüpft werden könnte, könnte eine genaue Anordnung des Bildelements über die gesamte Bild zeile und nicht nur gerade an deren Enden erzielt werden. Somit würde die Kopierqualität verbessert. Ferner könnte mit der Möglichkeit, die Anordnung des Bildelements längs der gesamten Abtastzeile zu steuern, die Verwen dung einer zweiten Erfassungseinrichtung, wie eine Abtast ende-Erfassungseinrichtung vermieden werden, wodurch die Kosten des Systems verringert würden.When a picture element clock with which rotate could be linked to the sensing element, a exact arrangement of the picture element over the entire picture line and not just straight at the ends. This would improve the copy quality. Furthermore, could with the possibility of arranging the picture element control along the entire scan line, the use a second detector, such as a scan End detection device can be avoided, making the System costs would be reduced.

Aus dem Stand der Technik sind optische Schei bencodierer an und für sich bekannt, wie es sich durch die US-PSen 39 83 391, 35 59 065 und 43 17 032 er gibt, wobei die letzte Patentschrift insbesondere eine Impulsscheibe offenbart, die eine Reihe von durchscheinen den Markierungen sowie zusätzlich größere durchschei nende Kreisabschnitte aufweist. In der US-PS 42 33 592 ist ein Positionsfühler geoffenbart, der eine Scheibe mit Zähnen auf ihrem Umfang als Quelle für die Lage information verwendet. Jedoch erkennen diese Codiererar ten nach dem Stand der Technik nicht die Beziehung zwi schen der Anordnungsgenauigkeit für ein Bildelement und Bildzittern und Bildverzerrung bei Raster-Ausgabe abtasteinrichtungen, um was es hier geht, und ferner wird keinerlei Lösung für das Problem und insbesondere der Gedanke einer Kombination einer Abtastscheibe mit einem Bildelementtaktimpuls geoffenbart oder vorge schlagen.Optical discs are from the prior art bencoder known per se, as it stands out U.S. Patents 39 83 391, 35 59 065 and 43 17 032 there, the last patent in particular one Pulse disc reveals a series of shine through the markings as well as larger ones ning circular sections. In U.S. Patent 4,233,592 is a position sensor disclosed that a disc with teeth on its circumference as a source of location information used. However, these encoders recognize According to the prior art, the relationship between arrangement accuracy for a picture element and image jitter and image distortion in raster output scanners, what this is about, and further will have no solution to the problem and in particular the idea of combining a scanning disc with a pixel clock pulse disclosed or pre beat.

In dem Bemühen, eine genauere Anordnung der Bildele mente längs der Abtastzeile zu erhalten, schafft die Er findung eine Bildelementtakteinrichtung für eine Raster- Ausgabeabtasteinrichtung, welche eine sich drehende holografische Scheibe zum Abtasten eines Strahls mit ho her Intensität über ein Aufzeichnungselement und eine Einrichtung zum Modulieren des Strahls in Übereinstimmung mit einer Bildsignaleingabe aufweist, so daß das Auf zeichnungselement belichtet wird und der Bildsignalein gabe entsprechende Bilder auf ihm erzeugt werden, mit: einer mit der Scheibe einstückigen Zeitgeberspur, die ein Muster von abwechselnden lichtdurchlassenden und lichtbeugenden Bereichen aufweist; Zeitgeberlichtmit teln, die auf eine Seite der Scheibe der Spur gegen überliegend auffallen, so daß die Zeitgeberlichtmit tel entweder von den lichtdurchlassenden oder lichtbeu genden Bereichen der Spur beim Drehen der Scheibe hin durchgelassen oder gebeugt werden, und mit einem Fo todetektor auf der gegenüberliegenden Seite der Scheibe, um durch die lichtdurchlassenden Bereiche der Spur hin durchgegangenes Licht zu erfassen und ein Signal durch Ansprechen darauf zu erzeugen, wodurch ein Strom von Taktimpulsen von dem Fotodetektor abgegeben wird, wenn sich die Scheibe dreht und der Strahl abtastet.In an effort to arrange the images more precisely To obtain elements along the scan line, the Er finding a pixel clock device for a raster Output scanner, which is a rotating holographic disk for scanning a beam with ho forth intensity over a recording element and a Device for modulating the beam in accordance having an image signal input so that the up drawing element is exposed and the image signal appropriate images are generated on it with: a timer track integral with the disc, the a pattern of alternating translucent and has light diffractive areas; Timer light with teln on one side of the disc against the track stand out so that the timer light with tel either from the translucent or Lichtbeu areas of the track when rotating the disc be passed or flexed, and with a Fo death detector on the opposite side of the disc, around through the translucent areas of the track detected light and a signal through Responding to generate a current of Clock pulses are emitted from the photodetector when the disc rotates and the beam scans.

Die Erfindung betrifft ferner eine holografische Ab tastscheibe zum Abtasten mit einem Lichtstrahl hoher Intensität über ein Aufzeichnungselement mit: einem lichtdurchlässigen bzw. transparenten Träger, einer Viel zahl von Gittern auf dem Träger und wenigstens einer Reihe von Zeitgebermarkierungen nahe dem Umfang der Scheibe zur Verwendung bei der Erzeugung von Taktsigna len.The invention further relates to a holographic Ab probe disc for scanning with a light beam high Intensity over a recording element with: a translucent or transparent support, a lot number of bars on the support and at least one Set of timer marks close to the perimeter of the Disc for use in generating clock signa len.

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung einer Kombination einer holografischen Ab tastscheibe mit Gittern zum Beugen eines Abtaststrahls und einem Taktelement zum Erzeugen von Bildelementtakt signalen, wobei das Verfahren die Schritte umfaßt: Be schichten eines transparenten Trägers, wo die Gitter und das Taktelement ausgebildet werden sollen, mit einem Fotoresistmaterial und Belichten des Fotoresist mit einem Interferenzmuster aktinischer Strahlung durch ei ne Maske hindurch, die eine Öffnung mit einer Form auf weist, welche die Ränder bzw. Grenzen der Gitter um reißt, wobei ein Rand ein zahnförmiges Muster aufweist, um dadurch ein Gitter mit einer Reihe von klaren und beugenden Zwischenräumen längs einer Seite unter Ein schluß des Bildelementtaktgenerators zu bilden.The invention further relates to a method for Production of a combination of a holographic ab probe disc with gratings to bend a scanning beam and a clock element for generating picture element clock signals, the method comprising the steps of: Be layers of a transparent support where the lattice and the clock element are to be formed with a Photoresist material and exposure of the photoresist with an interference pattern of actinic radiation by egg ne mask through which has an opening with a shape points around the edges of the grids tears, with one edge having a tooth-like pattern, to thereby create a grid with a series of clear and diffractive spaces along one side under one to form the end of the picture element clock generator.

Der Erfindungsgegenstand wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen anhand von Ausführungs beispielen näher erläutert. Es zeigt:The subject of the invention is below Reference to the drawings based on execution examples explained in more detail. It shows:

Fig. 1 eine isometrische Darstellung einer Raster- Ausgabeabtasteinrichtung, bei der die Bild elementtaktgebereinrichtung nach der Erfindung verwendet wird, Fig. 1 is an isometric view of a raster output scanning device, wherein the element clock means, the image is used according to the invention,

Fig. 2 eine Schnittdarstellung im größeren Maßstab, die den Weg des Bilderzeugungsstrahls durch ein Gitter der holografischen Abtastscheibe darstellt, Fig. 2 is a sectional view on a larger scale, showing the path of the imaging beam through a grating of the holographic scanning disc,

Fig. 3 eine Darstellung im größeren Maßstab der Be lichtung des Fotoresist durch eine Maske hin durch während der Herstellung der Abtastschei bengitter, Fig. 3 is a view on a larger scale the loading clearing of the photo-resist through a mask back through bengitter during manufacture of the Abtastschei,

Fig. 4 eine Schnittdarstellung im größeren Maßstab eines Bereichs eines Gitters, Fig. 4 is a sectional view on a larger scale of a portion of a grid,

Fig. 5 eine Vorderansicht einer holografischen Scheibe mit Gittern, die die Zeitgeberspur für den Bildelementtakt nach der Erfindung einschließt, Fig. 5 is a front view of a holographic disc with lattices that includes the timing track for the pixel clock according to the invention,

Fig. 6 eine Schnittdarstellung im größeren Maßstab der in Fig. 5 gezeigten Zeitgeberspur, Fig. 6 is a sectional view on a larger scale the timer track shown in Fig. 5,

Fig. 8 eine Darstellung im größeren Maßstab der Maske, die verwendet wird, um die kombinierte Gitter und Zeitgeberspur für den Bildelementtaktge ber nach der Erfindung zu belichten, und Fig. 8 is a larger-scale illustration of the mask used to expose the combined grating and timer track for the pixel clock according to the invention, and

Fig. 9 eine Vorderansicht einer holografischen Scheibe, die eine zweite Ausführungsform darstellt, bei der die Zeitgeberspur für den Bidlelementtakt nach der Erfindung um den radialen Außenrand des Scheibenträgers von den Scheibengittern ge trennt gebildet ist. Fig. 9 is a front view of a holographic disk, which represents a second embodiment in which the timer track for the Bidlelementtakt according to the invention is formed around the radial outer edge of the disk carrier from the disk grids GE separately.

Es wird auf die Fig. 1 und 2 der Zeichnungen Bezug genommen, in denen eine den Bildelementtaktgeber 9 nach der Erfindung enthaltende Raster-Ausgabeabtast einrichtung 10 dargestellt ist, um ein sich bewegendes Aufzeichnungselement, wie das fotoleitfähige Aufzeich nungsmaterial 11 bei einem Bilderzeugungssystem der elektrofotografischen Art zu beleuchten, um darauf Bilder zu schreiben. Bei Systemen dieser Art, wie es zu verstehen ist, wird das fotoleitfähige Aufzeichnungs material 11 gleichförmig aufgeladen und dann selektiv mit einem Bilderzeugungsstrahl 21 hoher Intensität be lichtet, der über das fotoleitfähige Aufzeichnungsmate rial 11 von einer Seite zur anderen (in der mit dem un terbrochenen Pfeil dargestellten Richtung) abgelenkt wird, wobei bei jeder Ablenkung des Strahls 21 eine Zeile 15 auf dem fotoleitfähigen Aufzeichnungsmaterial 11 abgetastet wird, um dadurch auf ihm ein latentes La dungsbild zu erzeugen. Gleichzeitig wird das fotoleit fähige Aufzeichnungsmaterial 11 in einer zu der Abtast richtung senkrechten Richtung, die durch den ausgezogenen Pfeil in Fig. 1 dargestellt ist, in einer Zeitbeziehung dazu bewegt. Daraufhin wird das latente Ladungsbild ent wickelt und das entwickelte Bild wird auf einen geeig neten Kopierträger, wie ein Kopierblatt übertragen. Das Kopierblatt wird später eingeschmolzen oder fixiert, um eine dauerhafte Kopie herzustellen, während das foto leitfähige Aufzeichnungsmaterial 11 gereinigt wird, um jegliches zurückgebliebenes Entwicklungsmaterial vor der Wiederholung des Verfahrens zu entfernen.Referring to FIGS. 1 and 2 of the drawings, in which the pixel clock 9 containing according to the invention scanning Ausgabeabtast device 10 is shown to a moving recording member such as photoconductive Aufzeich clot material 11 in an image forming system of the electrophotographic type to illuminate in order to write pictures on it. In systems of this kind, as it is understood the photoconductive recording is material uniformly charged 11 and be then selectively high with an image forming beam 21 intensity scans, which on the photoconductive recording mate rial 11 from one side to the other (in the terbrochenen with the un Direction shown arrow) is deflected, with each deflection of the beam 21, a line 15 is scanned on the photoconductive recording material 11 , thereby generating a latent charge image on it. At the same time, the photoconductive recording material 11 is moved in a direction perpendicular to the scanning direction, which is shown by the solid arrow in Fig. 1, in a time relation thereto. Then the latent charge image is developed and the developed image is transferred to a suitable copy carrier such as a copy sheet. The copy sheet is later melted or fixed to make a permanent copy while the photo-conductive material 11 is cleaned to remove any remaining developing material before repeating the process.

Der Bilderzeugungsstrahl 21 kann von irgendeiner geeigneten Hochenergiequelle elektromagnetischer Strah lung, wie z.B. ein Laser 14 abgeleitet werden. Der von dem Laser 14 ausgegebene, kohärente Lichtstrahl 12 wird durch einen geeigneten Modulator, wie ein Modulator 16 vom akousto-optischen Typ in Übereinstimmung mit einer Bildsignaleingabe von einer geeigneten Quelle 18 moduliert, die einen Speicher, einen Übertragungs kanal, eine Raster-Eingabeabtasteinrichtung usw. umfas sen kann. Bei der dargestellten Anordnung wird der Bild erzeugungsstrahl 21 von dem von dem Modulator 16 aus gesandten Strahl erster Ordnung abgeleitet, während der Strahl 20 nullter Ordnung oder der kein Bild erzeu gende Strahl auf eine geeignete Strahlsperre 22 auf trifft. Man sieht, daß der Strahl nullter Ordnung statt dessen als Bilderzeugungsstrahl verwendet werden kann, wobei dann der Strahl erster Ordnung auf die Strahlsper re auftreffen würde. Ferner sieht man, daß eine Laser diode statt des Lasers 14 verwendet werden kann, wobei dann der Modulator 16 fortgelassen würde.The imaging beam 21 may be derived from any suitable high energy source of electromagnetic radiation, such as a laser 14 . The coherent light beam 12 output by the laser 14 is modulated by a suitable modulator, such as an acousto-optical type modulator 16, in accordance with an image signal input from a suitable source 18 , which includes a memory, a transmission channel, a raster input scanner, etc can include. In the arrangement shown, the image-generating beam 21 is derived from the first-order beam sent by the modulator 16 , while the zero-order beam 20 or the non-image-producing beam strikes a suitable beam barrier 22 . It can be seen that the zero order beam could instead be used as an imaging beam, in which case the first order beam would hit the beam stopper. It can also be seen that a laser diode can be used instead of the laser 14 , in which case the modulator 16 would be omitted.

Ein Abtastelement in der Form einer holografi schen Scheibe 28 ist vorgesehen, um den Bilderzeugungs strahl 21 über das fotoleitfähige Aufzeichnungsmaterial 11 abzulenken. Die Scheibe 28, die zur Drehung in ge eigneter Weise gehaltert ist, wird durch einen Motor 27 in der Richtung angetrieben, wie es in Fig. 1 durch den Pfeil dargestellt ist. Die Scheibe 28 umfaßt einen trans parenten Träger 29, beispielsweise aus Glas, mit einer Folge von einzelnen Phasengittern oder Facetten 32, die als Muster auf der Scheibe 28 längs des Außenumfangs und auf einer Seite oder Fläche 34 ausgebildet sind. Bei dem dargestellten Beispiel befinden sich die Git ter 32 auf der Seite 34 des Trägers 29 in Gegenüberla ge zu der zu dem Strahl 21 weisenden Seite 33. Es wird darauf hingewiesen, daß die Gitter 32 statt dessen auf der Seite 33 des Trägers 29 vorliegen könnten.A sensing element in the form of a holographic disk 28 is provided to deflect the imaging beam 21 over the photoconductive recording material 11 . The disc 28 , which is supported for rotation in a suitable manner, is driven by a motor 27 in the direction as shown in Fig. 1 by the arrow. The disk 28 comprises a transparent support 29 , for example made of glass, with a sequence of individual phase gratings or facets 32 , which are designed as a pattern on the disk 28 along the outer circumference and on one side or surface 34 . In the example shown, the grids 32 are located on the side 34 of the carrier 29 in opposition to the side 33 facing the beam 21 . It is pointed out that the grids 32 could instead be on the side 33 of the carrier 29 .

Wie am besten in Fig. 2 zu erkennen, wird der einfallende Strahl 21 durch die Gitter 32 gebeugt, wenn der Strahl durch den Scheibenträger 29 hindurch geht, wobei der einfallende Strahl zuerst gebrochen und dann von dem Gitter oder der Facette 32 gebeugt wird, um eine 90°-Ablenkung des Strahls 21 hervorzu rufen. Der abgelenkte Strahl 21 trifft auf ein foto leitfähiges Aufzeichnungsmaterial 11 an einem Punkt auf der Abtastzeile 15 auf. Wenn sich die Scheibe 28 dreht, wird der Strahl durch die von den Gittern 32 erzeugte Ablenkung über die Abtastzeile 15 ausge lenkt. Geeignete optische Mittel, wie die Linse 38 (in Fig. 1 dargestellt) sind vorgesehen, um den Strahl 21 auf das fotoleitfähige Aufzeichnungsmaterial 11 zu fokussieren.As best seen in FIG. 2, the incident beam is diffracted by the grating 32 21, when the beam passes through the wafer carrier 29, wherein the incident beam is first broken and is diffracted then by the grid or the facet 32 to cause a 90 ° deflection of the beam 21 . The deflected beam 21 strikes a photoconductive recording material 11 at a point on the scanning line 15 . When the disk 28 rotates, the beam is deflected out by the deflection generated by the gratings 32 over the scanning line 15 . Suitable optical means, such as the lens 38 (shown in FIG. 1), are provided in order to focus the beam 21 onto the photoconductive recording material 11 .

Der Taktsignalausgang Φ Bildelementtaktgebers 9 dient dazu, die Bildsignale von der Bildsignalquelle 18 zu dem Modulator 16 zu takten. Um den Beginn und das Anhalten der Bildsignale am Anfang und am Ende einer jeden Abtastzeile 15 mit den Gittern 32 auf der sich drehenden Scheibe 28 zu synchronisieren, sind Abtastanfang-(SOS) und Abtastende-Erfassungseinrich tungen (EOS) 40 bzw. 42 in dem Weg des Bilderzeu gungsstrahls 21 vorgesehen. Die Ausgangssignale der Abtastbeginn- und Abtastende-Erfassungseinrichtungen 40, 42 werden über die Leitung 41 bzw. 43 an die Setz-/ Rücksetz-Anschlußklemmen eines geeigneten Flip-Flop 44 angelegt. Die Ausgangsanschlußklemme des Flip Flop 44 ist mit einem Eingang eines UND-Taktsteuer tors 48 über die Leitung 47 verbunden. Der Taktsignal ausgang Φ des Bildelementtaktgebers 9 auf der Taktge berleitung 45 wird einem zweiten Eingang des Takt steuertors 48 zugeführt. Der Ausgang des Taktsteuer tors 48 ist über die Taktleitung 49 mit der Taktein gangsanschlußklemme der Bildsignalquelle 18 gekoppelt.The clock signal output Φ picture element clock 9 serves to clock the picture signals from the picture signal source 18 to the modulator 16 . In order to synchronize the start and stop of the image signals at the beginning and at the end of each scan line 15 with the gratings 32 on the rotating disc 28 , scan start (SOS) and end scan detectors (EOS) 40 and 42 are respectively in that Path of the imaging beam 21 is provided. The output signals of the scan start and scan end detectors 40 , 42 are applied to the set / reset terminals of a suitable flip-flop 44 via lines 41 and 43, respectively. The output terminal of the flip-flop 44 is connected to an input of an AND clock gate 48 via line 47 . The clock signal output Φ of the picture element clock 9 on the clock line 45 is fed to a second input of the clock controller 48 . The output of the clock control gate 48 is coupled via the clock line 49 to the clock input terminal of the image signal source 18 .

Während die Abtastbeginn-(SOS) und Abtastende- Erfassungseinrichtungen (EOS) 40, 42 dargestellt sind, sieht man, daß nur eine der Erfassungseinrichtungen, wie die Abtastbeginn-Erfassungseinrichtung (SOS) 40 verwendet werden kann. In diesem Fall kann das Flip-Flop 44 weggelassen werden und der Signalausgang der Erfassungseinrichtung kann verwendet werden, um un mittelbar die Freigabe oder Sperrung des Taktsteuer tors zu steuern.While the scan start (SOS) and scan end detectors (EOS) 40 , 42 are shown, it can be seen that only one of the detectors, such as the scan start detector (SOS) 40 , can be used. In this case, the flip-flop 44 can be omitted and the signal output of the detector can be used to directly control or enable the clock control gate.

Es wird auf die Fig. 3 und 4 Bezug genommen. Die Scheibe 28 wird dadurch hergestellt, daß ein transparenter Träger 29, wie Glas mit einem geeigneten Fotorestistmaterial 61 an den Stellen beschichtet wird, wo Gitter 32 ausgebildet werden sollen. Bei dem dar gestellten Beispiel ist die Seite 34 des Trägers 29 mit Fotoresist 61 an den Gitterstellen beschichtet. Der Scheibenträger mit den Fotoresistbeschichtungen wird in geeigneter Weise zur Belichtung mit einem Interferenzmuster 23 aktinischer Strahlung gehaltert, welche z.B. von einem einzigen monochromatischen Strahl 34 abgeleitet werden kann. Der Strahl 64 kann beispielsweise den Ausgangsstrahl eines Argonlasers (nicht dargestellt) umfassen, der die erwünschte Emis sionswellenlänge aufweist. Der Strahl 64 wird nach anschließender Fokussierung und Ausdehnung durch ge eignete optische Mittel (nicht dargestellt) gefaltet, um das Interferenzmuster 63 mit dem erwünschten Linien abstand zu bilden. Eine Maske 66 (am besten in Fig. 8 zu erkennen) in dem Weg des Strahls 64 besitzt eine Öffnung 67, wodurch die Gittergrenzen umrissen und festgelegt werden.It will be 3 and 4, reference is made to FIGS.. The disk 28 is made by coating a transparent support 29 , such as glass, with a suitable photoresist material 61 at the locations where gratings 32 are to be formed. In the example presented, the side 34 of the carrier 29 is coated with photoresist 61 at the grid points. The pane carrier with the photoresist coatings is held in a suitable manner for exposure with an interference pattern 23 of actinic radiation, which can be derived, for example, from a single monochromatic beam 34 . Beam 64 may include, for example, the output beam of an argon laser (not shown) that has the desired emission wavelength. After subsequent focusing and expansion, the beam 64 is folded by suitable optical means (not shown) in order to form the interference pattern 63 with the desired line spacing. A mask 66 (best seen in FIG. 8) in the path of the beam 64 has an opening 67 , thereby outlining and defining the grating boundaries.

Während der Herstellung wird der mit Resist beschichtete Träger 29 der Scheibe 28 so positioniert, daß die resistbeschichteten Bereiche, wo die Gitter 32 ausgebildet werden sollen, dem Interferenzmuster 63 ausgesetzt werden, wenn die Scheibe 28 schrittwei se durch den Beleuchtungspunkt für jedesmal ein Gitter bewegt wird. Als Ergebnis hiervon wird ein hologra fisches Bild des Gittermusters ausgebildet, welches aus dichtbeabstandeten, abwechselnden Linien mit Be leuchtung und Dunkelheit in jedem der mit Resist be deckten Bereiche besteht. Nach der Belichtung des Fo toresist wird er durch Eintauchen in eine geeignete Lö sung entwickelt, die mit Licht nichtbelichtete Be reiche des Fotoresists lockert und fortwischt, um eine Aufeinanderfolge von Gittern 32 zu ergeben, von denen jedes aus einer Reihe von dichtbeabstandeten Rippen oder Bereichen 70 aus belichtetem Fotoresistmaterial mit einer Reihe von Freiräumen oder Linien 71 zusammen gesetzt ist, die die Rippen trennen, wie es Fig. 4 zeigt.During manufacture, the resist coated carrier 29 of the disc 28 is positioned so that the resist coated areas where the gratings 32 are to be formed are exposed to the interference pattern 63 when the disc 28 is moved step by step through the illumination point for each grid . As a result, a holographic image of the grid pattern is formed, which is composed of closely spaced, alternating lines with lighting and darkness in each of the areas covered with resist. After exposure of the photoresist, it is developed by immersion in a suitable solution that loosens and wipes areas of the photoresist unexposed to light to give a succession of gratings 32 , each of which is made up of a series of closely spaced ribs or areas 70 is composed of exposed photoresist material with a series of spaces or lines 71 that separate the ribs, as shown in FIG. 4.

Es wird nun auf die Fig. 1, 5, 6 und 7 Bezug genom men. Der Bildelementtaktgeber 9 weist eine optische Zeitgeberspur 80 mit hoher Auflösung auf, die unmit telbar auf dem Substrat 29 und als Ganzes bzw. inte gral mit jedem Gitter 32 gebildet ist. Die Zeitgeber spur 80 besteht aus einer periodischen Struktur in der Form einer Reihe oder eines Bandes 81 beabstandeter, einzelner Strahlung durchlassender Bereiche oder Zeit gebermarkierungen 82, die von Strahlungsbeugungsbe reichen 83 getrennt sind, wobei die Reihen 81 den ra dialen äußeren Rand oder die radiale äußere Begrenzung 84 eines jeden Gitters 32 bilden. Man wird noch sehen, daß die Zeitgebermarkierungen 82 mit anderen Elemen ten des Bildelementtaktgebers 9 zusammenarbeiten, um Bildelementtaktsignale für jedes Gitter 32 zu erzeu gen.Referring now to FIGS. 1, 5, 6 and 7 men genome. The picture element clock 9 has an optical timer track 80 with high resolution, which is formed directly on the substrate 29 and as a whole or integrally with each grating 32 . The timer track 80 consists of a periodic structure in the form of a row or band 81 of spaced, single radiation transmitting areas or timing marks 82 which are separated from radiation diffraction areas 83 , the rows 81 being the radial outer edge or the radial outer edge Form boundary 84 of each grid 32 . It will be seen that the timing marks 82 cooperate with other elements of the pixel clock 9 to generate pixel clock signals for each grid 32 .

Wie am besten in den Fig. 1 und 7 zu erkennen ist, weist der Bildelementtaktgeber 9 eine geeignete Strah lungsquelle, wie eine lichtaussendende Diode LED 90 auf, welche ein Zeitgeberlicht 91 erzeugt, welches man auf die Scheibe 28 an einer Stelle auffallen läßt, die dem Bewegungsweg der Reihen 81 der Zeitgebermar kierungen gegenüberliegt, die jedem Gitter 32 zuge ordnet sind. Jedesmal, wenn Zeitgeberlicht 91 auf eine Zeitgebermarkierung 82 auffällt, wird das Licht von dem Bereich des Gitters hindurchgelassen, der die Zeit gebermarkierung bildet. Das hindurchgegangene Licht 91′ trifft auf einen geeigneten Lichtfühler wie einen Fotodetektor 94 auf, der in dem Lichtweg auf der gegen überliegenden Seite der Scheibe 28 angeordnet ist. Demgemäß gibt der Fotodetektor 94, wenn sich die Schei be 28 dreht, ein impulsähnliches Ein/Aus-Taktsignal auf der Leitung 45 ab, wenn sich die Reihen 81 mit Zeitgebermarkierungen 82 an der Stelle vorbeibewegt, wo das Zeitgeberlicht 91 auf die Scheibe 28 auftrifft.As best seen in FIGS. 1 and 7, the pixel clock generator 9 a suitable radia tion source such as a light emitting diode LED 90 on, which generates a timing light 91 which is allowed to stand out on the disc 28 at a location that the movement path of the rows 81 of the Zeitgebermar markings, which are assigned to each grid 32 . Each time timer light 91 strikes a timer mark 82 , the light is transmitted from the area of the grating that forms the timer mark. The light passed 91 'strikes a suitable light sensor such as a photodetector 94 , which is arranged in the light path on the opposite side of the disc 28 . Accordingly, when the disk 28 rotates, the photodetector 94 outputs a pulse-like on / off clock signal on the line 45 when the rows 81 with timing marks 82 move past where the timer light 91 strikes the disk 28 .

Es wird nun auf die Fig. 8 Bezug genommen. Um eine Kombination aus holografischer Scheibe und Bild elementtaktgeber zu schaffen, ist der radiale Außenrand 68 der Öffnung 67 in der Maske 66, der der Grenze 84 der Gitter 32 entspricht, mit einem zahnähnlichen Muster 69 versehen, wobei die Anzahl der Zähne 69 und der Abstand zwischen ihnen so gewählt ist, daß die er wünschte Bildelementtaktfrequenz geliefert wird. Wäh rend der Herstellung der holografischen Scheibe 28 be lichtet der Strahl aktinischer Strahlung, der auf das Muster 69 trifft und im wesentlichen gefaltet ist, um ein Interferenzmuster 63 zu bilden, die Fotoresist bereiche zwischen den Zähnen 69′, um die Reihe von ein zelnen Strahlungsbeugungsbereichen 83 entlang des Git terrandes 84 zu bilden. Die Fotorestistbereiche da zwischen bleiben unbelichtet, wobei eine Belichtung durch die Zähne 69′ verhindert wird. Daraufhin wird der Fotoresist in den Bereichen unter den Zähnen 69′ beim Waschen entfernt, um eine Reihe von Strahlung durchlassenden Bereichen oder Zeitgebermarkierungen 82 zu schaffen. Als Er gebnis hiervon wird eine Scheibe 28 mit einer Vielzahl Gitter 32 erhalten, die einen radialen Außenrand mit einer Reihe 81 von Zeitgebermarkierungen 82 aufweist, die eine Zeitgeberspur 80 bilden. Ferner liegen die Zeitgebermarkierungen 82 in fester Winkelausrichtung zu dem Gitter 32 vor, so daß eine gegebene Zeitgeber markierung stets einem gegebenen Drehwinkel der Scheibe 28 und somit einem gegebenen Bildelement entspricht. Dies ist gleichförmig von Facette zu Facette.Reference is now made to FIG. 8. In order to create a combination of holographic disk and image element clock, the radial outer edge 68 of the opening 67 in the mask 66 , which corresponds to the boundary 84 of the grating 32 , is provided with a tooth-like pattern 69 , the number of teeth 69 and the distance is chosen between them so that the desired pixel clock frequency is supplied. During the manufacture of the holographic disk 28, the beam of actinic radiation that strikes the pattern 69 and is substantially folded to form an interference pattern 63 exposes the photoresist regions between the teeth 69 ′ to the series of individual radiation diffraction regions 83 to form along the git terrandes 84 . The photo rest areas since remain unexposed, whereby exposure through the teeth 69 'is prevented. Then, the photoresist in the areas under the teeth 69 'is removed during washing to create a number of radiation transmitting areas or timing marks 82 . As a result of this, a disk 28 having a plurality of gratings 32 is obtained, which has a radial outer edge with a row 81 of timer markings 82 which form a timer track 80 . Furthermore, the timer markings 82 are in a fixed angular orientation to the grating 32 , so that a given timer mark always corresponds to a given angle of rotation of the disk 28 and thus to a given picture element. This is uniform from facet to facet.

Bei der in Fig. 9 gezeigten Ausführungsform, bei der die gleichen Bezugszeichen die gleichen Teile betreffen, wird eine geeignete lichtundurchlässige Be schichtung 100, welche beispielsweise Metall wie Chrom sein kann, vor der Herstellung der Gitter 32 auf einen Träger 29 aufgebracht oder niedergeschlagen. Die lichtundurchlässige Beschichtung 100 wird auf dem Sub strat 29 entlang des Außenumfangs des Substrats und radial außerhalb der Bereiche angeordnet, wo die Git ter 32 ausgebildet werden sollen, wobei die Beschichtung 100 einen kreisbogenförmigen Streifen oder ein kreis förmiges Band um den Träger 29 herum bildet. Eine Rei he von einzelnen Zeitgebermarkierungen 102 wird dann dadurch hergestellt, daß die lichtundurchlässige Be schichtung 100 zwischen den Markierungen 102 entfernt wird, um eine Zeitgeberspur 80′ zu ergeben, die sich um die Scheibe 28 herum erstreckt. Dieses Verfahren kann beispielsweise fotolithografisch durchgeführt werden.In the embodiment shown in FIG. 9, in which the same reference numerals relate to the same parts, a suitable opaque coating 100 , which may be metal such as chromium, for example, is applied or deposited on a carrier 29 before the grating 32 is produced . The opaque coating 100 is disposed on the substrate 29 along the outer periphery of the substrate and radially outside the areas where the grids 32 are to be formed, the coating 100 forming an arcuate strip or a circular band around the carrier 29 . A series of individual timer marks 102 is then made by removing the opaque coating 100 between the marks 102 to give a timer track 80 'which extends around the disk 28 . This method can be carried out, for example, photolithographically.

Nach der Ausbildung der Zeitgeberspur 80′ werden die Gitter 32 auf dem Träger 29 ausgebildet und etwas radial nach innen von der Zeitgeberspur 80′ beabstan det, wobei eine herkömmliche Maske verwendet wird, d.h. eine ohne Zahnmuster 69, wie es bei der vorhergehen den Ausführungsform beschrieben worden ist. Vor der Ausbildung der Gitter 32 kann der Bereich des Trägers 29, wo Gitter 32 ausgebildet werden sollen, geätzt wer den, um irgendwelche restliche Spuren der Beschichtung 100 zu entfernen. Andererseits können, wenn die Zeit geberspur 80′ ausgebildet wird, die anderen Bereiche des Trägers 29, wo die Gitter 32 gebildet werden sollen, maskiert werden, bevor die lichtundurchlässige Be schichtung 100 angewandt wird, um einen unerwünschten Niederschlag der lichtundurchlässigen Beschichtung in den Bereichen zu verhindern, wo die Gitter 32 ausge bildet werden sollen.After the formation of the timer track 80 ', the grids 32 are formed on the carrier 29 and detached somewhat radially inward from the timer track 80 ', a conventional mask being used, ie one without tooth pattern 69 , as described in the previous embodiment has been. Before forming the grids 32 , the area of the carrier 29 where grids 32 are to be formed can be etched to remove any remaining traces of the coating 100 . On the other hand, if the timer track 80 'is formed, the other areas of the carrier 29 where the grids 32 are to be formed may be masked before the opaque coating 100 is applied to prevent undesirable precipitation of the opaque coating in the areas prevent where the grid 32 should be formed out.

Während Abtastbeginn- und/oder Abtastende-Er fassungseinrichtungen SOS und EOS 40, 42 dargestellt und beschrieben worden sind, damit das erste und/oder letz te Bildelement der Bildzeile identifiziert werden kann, sieht man, daß die Identifizierung dadurch erfolgen kann, daß eine Zeitgebermarkierung 82 oder 102 geschaf fen wird, die sich von den anderen Zeitgebermarkie rungen unterscheidet. Dies kann beispielsweise da durch geschehen, daß eine der Markierungen, die dem Anfang oder Ende der Zeitgeberspuren 80 bei der Aus führungsform gemäß den Fig. 1 bis 8 benachbart sind, oder ausgewählte Zeitgebermarkierungen in der Zeitge berspur 80′ bei der Ausführungsform gemäß Fig. 9 größer oder kleiner als die anderen Zeitgebermarkie rungen gemacht wird, damit ein Zeitgeberimpuls unter schiedlicher Dauer erreicht wird, der ermöglicht, das erste und/oder letzte Bildelement zu identifizieren.While start-of-scan and / or end-of-scan detectors SOS and EOS 40 , 42 have been shown and described so that the first and / or last picture element of the picture line can be identified, it can be seen that the identification can be made by a timer mark 82 or 102 , which differs from the other timer markings. This can, for example, as done by that one of the markers that are adjacent in the off guide die according to 80 in Figs. 1 to 8 to the beginning or end of the timer tracks or selected timing marks in the contem berspur 80 'in the embodiment of FIG. 9 is made larger or smaller than the other timer markings, so that a timer pulse of different duration is achieved which enables the first and / or last picture element to be identified.

Während die Erfindung unter Bezugnahme auf die geoffenbarte Ausgestaltung beschrieben worden ist, ist sie nicht auf die angegebenen Einzelheiten fest gelegt, sondern es ist beabsichtigt, Abänderungen oder Abwandlungen zu umfassen, die innerhalb des Be reiches der folgenden Ansprüche liegen.While the invention with reference to the disclosed configuration has been described, it is not fixed on the details given laid, but it is intended to be amendments or to include modifications that are within the Be range of the following claims.

Claims

1. A pixel clock for a raster output scanner having a rotating holographic disk for deflecting a high intensity beam over a recording element and means for modulating the beam in accordance with an image signal input to thereby expose the recording element and images thereon to testify that are represented by the image signal input, characterized by

a) with the disk ( 28 ) integral Zeitge berspur ( 80 ), which has a pattern of alternately light-transmitting ( 82 ) and light-diffracting ( 83 ) areas,
b) timer light means ( 90 , 91 ) that meet on one side of the disk ( 28 ) of the track ( 80 ) opposite, so that the timer light means ( 90 , 91 ) from the light transmitting and diffractive areas ( 82 and 83 ) of the Track ( 80 ) can be passed or flexed when the disc ( 28 ) rotates, and
c) a photodetector ( 94 ) on the opposite side of the disc ( 28 ) for detecting light which has been transmitted through the light transmitting areas ( 82 ) of the track ( 80 ) and for generating a signal in response thereto, thereby causing a Stream of clock pulses Φ the photodetector ( 49 ) will give when the disc ( 28 ) rotates and the beam scans the track ( 80 ).

2. Clock according to claim 1, characterized in that the disc ( 28 ) has a plurality of gratings ( 32 ) on it in order to bend the beam of high intensity and the beam of high intensity over the recording element ( 11 ), wherein the track ( 80 ) is integral with each of the grids ( 32 ) and maintains a fixed angular relationship therewith.

3. Clock according to claim 3, characterized in that the track ( 80 ) comprises the radial outer edge of each of the grids ( 32 ).

4. Clock according to claim 2 or 3, characterized in that the track ( 80 ) comprises a tooth-shaped pattern along an edge of each of the grids ( 32 ).

5. pixel clock for a raster output scanning device having a rotatable holographic disk for deflecting a high intensity beam over a recording element and means for modulating the beam in accordance with an image signal input, thereby exposing the recording element and making images on it are, which are represented by the image signal input, characterized by

a) with the disk ( 28 ) integral timer track ( 80 '), which has a pattern of alternating light-transmitting ( 102 ) and light-non-transmitting areas,
b) timer light means, which impinge on one side of the disc ( 28 ) of the track ( 80 ') opposite, so that the timer light means of the light-transmissive gene ( 102 ) and the opaque areas of the track ( 80 ') of the rotating disc ( 28 ) be allowed through or blocked, and
c) a photodetector on the opposite side of the disc ( 28 ) to detect light from the translucent areas ( 102 ) of the track ( 80 ') and to generate a signal in response thereto, thereby emitting a stream of clock pulses from the photodetector will give when the disc ( 28 ) rotates and the beam scans the track ( 80 ').

6. Clock according to claim 5, characterized in that the pattern comprises a circular band of alternating light-transmitting ( 102 ) and light-non-transmitting areas near the periphery of the disc ( 28 ).

7. Clock according to claim 6, characterized in that the disc ( 80 ') has a plurality of gratings ( 32 ) which are arranged in a circular row in order to bend the beam of high intensity and the beam of high intensity deflect the recording element ( 11 ) and that the track ( 80 ') is spaced radially from the row of grids ( 32 ).

8. Holographic scanning disc for deflecting a light beam of high intensity over a recording element, characterized by:

a) a transparent support ( 29 ),
b) a plurality of grids ( 32 ) on the carrier ( 29 ), and
c) at least a series of time stamps near the periphery of the disc ( 28 ) for use in generating clock signals.

9. Disk according to claim 8, characterized in that the timer markings with each of the grids ( 32 ) are in one piece or integral.

10. A method for producing a combination of a holographic scanning disk with gratings for diffraction of a scanning beam and a clock element for use in the generation of picture element clock signals, characterized by the steps:

a) coating a band-shaped part of a transparent, disk-shaped carrier near its periphery with an opaque material,
b) selectively removing the material at spaced locations along the belt leaving a series of individual opaque segments of the material around the support for use in generating the pixel clock signals,
c) coating areas of the substrate lying radially inward from the row with a photo resist at locations where gratings are desired,
d) exposing the resist coated areas to an interference pattern of actinic radiation to form the gratings, and
e) removing the exposed photoresist areas to create the gratings.

11. Method for producing a combination of a holographic scanning disk with gratings for diffraction of a scanning beam and a clock element for generating picture element clock signals, characterized by the steps:

a) coating a transparent support with a photoresist material where the grating and the clock element should be formed, and
b) exposing the photoresist with an interference pattern of actinic radiation through a mask having an opening with a shape that outlines the boundaries of the grating, one edge having a tooth-like pattern so that a grating is formed with alternating clear and dark areas along an edge of the grid that includes the picture element clock.