DE3626321A1 - Trennvorrichtung in reinraeumen - Google Patents

Description

Stand der Technik

Die Erfindung betrifft eine Trennvorrichtung in Reinräu­ men nach der Gattung des Hauptanspruchs. Solche Trenn­ vorrichtungen in Reinräumen, die üblicherweise aus von der Decke herabhängenden Glasschürzen bestehen, die auch einem vorgegebenen Rastermaßsystem im Deckenbereich fol­ gen können, sind allgemein bekannt. Sie werden überall dort gebraucht, wo die Herstellung bestimmter Produkte erhebliche Anforderungen an die Umgebungsreinheit in den Herstellungsräumen stellt. Hierbei kann es sich beispiels­ weise um die Herstellung von Produkten für die Halblei­ terfertigung, die Medizintechnik, die Phono- oder Laser­ industrie handeln, wobei immer größere Anforderungen an die Fertigung von immer kleineren, genauer und kompakter werdenden Bauteilen gestellt werden. Die Umgebungsrein­ heit spielt bei solchen Fertigungsabläufen in den mei­ sten Fällen eine entscheidende Rolle, wobei die Fertigung der entsprechenden Komponenten und Bauteile auch zuneh­ mend in Reinräume verlagert wird.

Reinräume werden in verschiedene Klassen, die dann je­ weils um eine 10er-Potenz kleiner werden, bis zur Rein­ raumklasse 1 eingeteilt. Für entsprechende Werte der verschiedenen Reinheitsklassen sind in jeweiligen Staa­ ten (s. beispielsweise VDI-Richtlinien 2083 bzw. US- Federal Standard 209 b/c) bestimmte Vorschriften bzw. Normierungsrichtlinien erlassen worden. Beispielsweise dürfen in einem Reinraum der Klasse 10 maximal 10 Parti­ kel von einer Größe von 0,5 µm pro Kubikfuß Luft vorhanden sein.

Um diese nahezu völlig partikelfreien Räume beispiels­ weise der Reinheitsklasse 10 zu schaffen, wird die Luft über hochwertige Schwebstoffilter, die beispielsweise in einem flexiblen Grundrastersystem eingesetzt sind, als turbulenzarme Verdrängungsströmung (laminarer Fluß) über Reinraumdecken in den Raum eingebracht. Auch die Wände solcher Reinräume sind den jeweiligen Fertigungs­ bedürfnissen mit den entsprechenden Materialien und Oberflächenbeschaffenheiten angepaßt. Problematisch bei solchen Reinräumen ist der Umstand, daß der für be­ stimmte Wartungs- oder Bedienungszwecke oder auch zum Betrieb entsprechender Apparate eingesetzte Mensch ver­ blüffenderweise eine nicht mehr tragbare Verschmutzungs­ gefahr bildet, denn ein Mensch kontaminiert beispiels­ weise im Stehen oder Sitzen - ohne Bewegungen - bis zu 100 000 Teilchen/min und beim Sitzen mit mittleren Körper- und Armbewegungen 1 Million Teilchen/min. Zwar läßt sich in vielen Bereichen die Fertigung so automa­ tisieren, daß der Mensch als Erzeuger solcher Teilchen in den Fertigungsprozeß nicht mehr einzugreifen braucht; es gibt aber Herstellungsprozesse, Meßprozesse u. dgl., wo der Mensch als Bediener und Überwacher mindestens zeitweise weiterhin gebraucht wird, so daß man versucht, hier mindestens teilweise eine Abschirmung gegen den Arbeitsprozeß vorzunehmen. Bekannt ist in diesem Zusam­ menhang der Einbau von feststehenden Glasschürzen, die, auf das Decken-Filterrastersystem ausgerichtet, von der Decke nach abwärts gerichtet herunterhängen und neben der Abschirmung des Menschen auch noch die Aufgabe haben, den über die Reinraumdecke eingebrachten Laminarfluß möglichst bis zur Arbeitsfläche konstant zu halten. Um hier eine möglichst sichere Abschirmung des Menschen zu erzielen und auch den Laminarfluß so wenig wie möglich zu stören, andererseits aber Eingriffe des Menschen an die zu bedienenden oder zu wartenden Geräte dennoch zu ermöglichen, ist es auch bekannt, an den stationär an­ geordneten, also feststehenden Glasschürzen, und zwar ausschließlich an diesen, durch entsprechende, an den bei­ den Glasflächen jeweils befestigte Verbindungsschwenk­ elemente pendelnd aufgehängte kürzere gläserne Luftleit­ blenden noch anzubringen, so daß die stationären Glas­ schürzen nach unten verlängert sind, durch die pendelnde Aufhängung aber die Möglichkeit geboten ist, daß der Mensch, um an die Geräte zu gelangen, diese Glasschürzen wegdrücken und seine Arbeit verrichten kann. Allgemein gelingt es daher durch ein solches System, die Glasschür­ zen oder Luftleitblenden möglichst bis dicht über die Arbeitsfläche abzusenken, dennoch aber eine gute Beobach­ tung und gegebenenfalls auch Bedienbarkeit des Arbeits­ vorgangs zu gewährleisten. Nachteilig ist hier natür­ lich, daß durch die gegebenen Abmessungen sowohl der feststehenden Glasschürzen als auch der pendelnd aufge­ hängten Glasscheiben eine Anpassung an unterschiedlich große Menschen nicht mehr möglich ist, so daß sehr groß­ gewachsene Bedienungspersonen sich umständlich bücken müssen, während kleinere Menschen durch solche gläsernen Trennmittel unter Umständen nicht hinreichend gegen die Reinraumflächen abgeschirmt werden können. Nachteilig ist auch, daß, wie auch durch die pendelnde Aufhängung der schmaleren Luftleitblenden schon dokumentiert wird, diese bei Auslenkung den laminaren Fluß notwendigerwei­ se stören, so daß in diesen Bereichen dann dennoch Tur­ bulenzen entstehen, und zwar gerade dort, wo dann auch die durch den Menschen gegebene Kontaminierungsgefahr am größten ist.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, hier Ab­ hilfe zu schaffen und die bekannte Trennvorrichtung in Reinräumen so zu verbessern, daß einerseits eine pro­ blemlose Anpassung an verschieden große Menschen mög­ lich ist und andererseits von der pendelnden Auslenkbar­ keit im gläsernen Trennwandbreich nicht oder nur noch zu einem erheblich geringeren Maße Gebrauch gemacht werden muß.

Vorteile der Erfindung

Die Erfindung löst diese Aufgabe mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs und hat den Vorteil, daß durch die Höhenverstellbarkeit einer zusätzlichen Glas­ scheibe, die in ihren Extremlagen entweder vollständig mit ihrer Unterkante bis auf die Höhe der feststehenden Glasschürze nach oben verfahren oder im wesentlichen über ihre gesamte Höhe nach unten verfahren werden kann, ein zusätzlicher Verstellbereich bei einer solchen aus Glas­ scheiben bestehenden Trennwand erzielt wird, der so um­ fassend ist, daß allen denkbaren Anpassungsmöglichkei­ ten entsprochen werden kann.

Besonders vorteilhaft ist hierbei, daß durch die motori­ sche Verstellung die höhenverstellbare Glasscheibe in beliebigen Positionen arretiert oder bis in ihre Endla­ gen gefahren werden kann, wo dann entsprechend ausgebil­ dete Endlagenschalter die maximale Anhebung bzw. Absen­ kung begrenzen.

Es ist daher auch nicht mehr notwendig, daß das Bedienungs­ personal, um an bestimmte Geräte zu gelangen, entweder pendelnd aufgehängte zusätzliche Verlängerungsscheiben zur Seite drücken muß, was zusätzlich auch den laminaren Luftfluß vertikal von oben nach unten stört, da es mög­ lich ist, die entsprechenden höhenverstellbaren Glas­ scheiben, falls gewünscht, auch selektiv, soweit anzu­ heben, daß ein störungsfreier Durchblick bzw. Zugriff zu den Geräten möglich ist.

Ferner ergibt sich durch die im wesentlichen über die ganze Höhe der zusätzlichen Glasscheibe mögliche Ver­ stellbarkeit nach oben und unten die Möglichkeit, die feststehenden Glasschürzen unter Umständen weniger tief nach unten abhängen zu müssen, da man in der unteren Po­ sition der höhenverstellbaren Glasscheiben auf jeden Fall so weit nach unten reichende Abgrenz- und Trennpo­ sitionen erreichen kann, wie dies auch bei lediglich pen­ delnd aufgehängten zusätzlichen Glasscheiben nicht mög­ lich ist. Diese können ja bestimmte Abmessungen und ein bestimmtes Gewicht nicht überschreiten, wenn die durch die pendelnde Aufhängung gegebene Verschwenkbarkeit nicht zu stark relativiert werden soll.

Besonders vorteilhaft ist ferner, daß durch die Höhen­ verstellbarkeit und die für diese erforderlichen Getrie­ beantriebslager- und Motormittel nicht der freie Durch­ blick durch die feststehenden Glasschürzen oder Glas­ trennscheiben gestört wird, da es die Erfindung ermög­ licht, sämtliche genannten Komponenten innerhalb der ohnehin erforderlichen, da die feststehenden Glasschür­ zen lagernden Profilteile unterzubringen.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnah­ men sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Hauptanspruch angegebenen Trennvorrichtung mög­ lich. Besonders vorteilhaft ist die Zuordnung jeweils eines in einem oberen, dem Deckenrastersystem zugeordne­ ten und an diesem befestigten Querprofil angeordneten Motors, der über nach beiden Seiten bis an die vertikal verlaufenden Profile reichende Ausgangswellen aufweist, von denen über Umlenkgetriebe die Antriebskraft auf vertikal in den Vertikalprofilen angeordnete Antriebs­ spindeln übertragen wird, die dann ihrerseits eine durch Gewindeeingriff mit ihnen hierdurch gleitver­ schieblich nach oben und unten verfahrbare Mutter la­ gern, an der die höhenverstellbaren zusätzlichen Glas­ schürzen in geeigneter Weise befestigt werden.

Zeichnung

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 in einer Ansicht von vorn eine Kombination von Luftleitblenden, die einen Reinraum von einem für Menschen begehbaren Raum trennen und die, was auf der linken Seite gezeigt ist, aus einer konven­ tionell aufgebauten Trennvorrichtung mit an der stationären Glasschürze pendelnd aufgehängter zu­ sätzlicher Luftleitblende bestehen, an welche an­ grenzend eine erfindungsgemäß ausgebildete Trenn­ vorrichtung mit der erkennbaren Möglichkeit einer wesentlich stärkeren Anhebung bzw. Absenkung der höhenverstellbaren Glasscheibe angeordnet ist;

Fig. 2 schematisiert das Ausführungsbeispiel der Fig. 1 in einer Seitenansicht;

Fig. 3 die erfindungsgemäße Trennvorrichtung in einer vergrößerten Darstellung in einer Ansicht von vorn;

die Fig. 4a, 4b und 4c den unteren, abgeschnittenen Endteil eines Vertikalprofils mit Lagerungsmög­ lichkeit für die Antriebsvertikalspindel im Längsschnitt (Fig. 4a), in einer Seitenansicht (Fig. 4b) und in einer Querschnittdarstellung, wobei die Fig. 4a längs der Linie IVa-IVa der Fig. 4c geschnitten ist;

Fig. 5 in einer vergrößerten Ausschnittsdarstellung die jede Antriebsspindel umgreifende und von dieser daher vertikal nach oben und unten längs jeden Vertikalprofils verschobene Lagermutter mit nach außen zur Befestigung der höhenverstell­ baren Glasscheibe vorspringendem Ansatz und

Fig. 6 eine Befestigungsmöglichkeit der höhenverstellba­ ren Glasscheibe im Schnitt und

Fig. 7 ein Vertikalprofil in Ansicht von seiner ge­ schlitzten Seite, durch welche der Spindelmutter­ ansatz ragt, wobei die

Fig. 7a und 7b Teilschnitte längs der Linien VIIa-VIIa bzw. VIIb-VIIb der Fig. 7 zeigen und

die Fig. 8a, 8b und 8c schematisiert Möglichkeiten zur Anordnung und Kombination von Luftleitblenden in Verbindung mit entsprechenden Vertikalprofilen und Trennschürzen, abgestimmt auf das Deckenra­ stersystem.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele

Der Grundgedanke vorliegender Erfindung besteht darin, die feststehenden, vertikal von der Decke nach unten ab­ hängenden Glasschürzen oder Luftleitblenden für Reinräu­ me so zu ergänzen, daß ohne Störung des laminaren Flus­ ses, der zur Partikelbegrenzung in Reinräumen erforder­ lich ist, die Glastrennschürzen entweder sehr weit nach unten reichend in ihrer Gesamtkonzeption ausgebildet sein können, andererseits aber auch dort, wo der Zugang durch den Menschen unbedingt erforderlich ist, diese bis zu der jeweiligen individuellen Höhe, abgestimmt auf die Größe der Bedienungsperson, individuell und selektiv eingestellt werden kann, so daß weder auf eine mittlere Personengröße abgestellt werden muß noch sonstige Kompro­ misse in der relativen Höhe der Glasschürzen getroffen werden müssen.

Die Darstellung der Fig. 1 zeigt in Kombination, was ge­ meint ist; aneinandergrenzend ist, wie bei 10 angedeutet, eine stationäre, seitlich von Vertikalprofilen 11 a, 11 b gehaltene Glasscheibe 11′ dadurch in ihrer nach unten ge­ richteten Vertikalerstreckung verlängert, daß an dieser eine Luftleitblende 12 pendelnd aufgehängt ist, so daß, wenn hier beispielhaft numerische Werte eingeführt wer­ den, eine Grundvertikalerstreckung von 1100 mm sich durch die Luftleitschwenkblende 12 aus Glas um weitere 350 mm ergänzen läßt. Demgegenüber ermöglicht die Erfindung, gegebenenfalls durchaus in Kombination mit solchen Luft­ leitschwenkblenden und daher angrenzend an diese eine Höhenverstellung der vertikalen, feststehenden Grund­ scheibe 11 um nahezu den gleichen Betrag, indem seitliche Vertikalprofile 12 a, 12 b, die gleichzeitig auch die fest­ stehende Glasscheibe einfassen, beidseitig Antriebs- und Lagermittel für eine zusätzliche höhenverstellbare Glas­ scheibe oder Glasschürze 13 aufweisen, die in der Dar­ stellung der Fig. 1 in einer voll nach oben hochgezoge­ nen Position in durchgezogener Linienführung und mit Bezugszeichen 13 versehen und in der voll abgesenkten Position gestrichelt und mit dem Bezugszeichen 13′ ver­ sehen dargestellt ist. Hierdurch läßt sich, wiederum in lediglich beispielhaft zu verstehenden numerischen Wer­ ten, die 1100 mm hohe stationäre Glasscheibe um ca. 850 mm nach unten verlängern bzw. ausfahren, wie dies auch die Fig. 2 zeigt, andererseits besteht aber auch die Möglichkeit, durch völliges Nachobenfahren der zusätzlichen Glasschürze 13 den Nachteil, den die pen­ delnd aufgehängte Luftleitblende 12 bei manchmal erfor­ derlichen Zugängen in den Reinraumbereich bietet, völlig zu beseitigen.

Die Darstellung der Fig. 3 zeigt genauer, jedoch eben­ falls schematisiert, daß zur Höhenverstellbarkeit der zusätzlichen Glasschürze 13 in einem Querprofil 14 ein elektrischer Antriebsmotor 15 gelagert ist, der sich mit gleich schnell laufenden Ausgangswellen 16 a, 16 b bis in den Eckbereich im Übergang zu den beidseitigen Vertikal­ profilen 12 a, 12 b erstreckt. An dieser Stelle erfolgt eine Drehrichtungsumkehr mit geeigneten Getriebemitteln 17, die beispielsweise ein aus zwei Kegelrädern 17 a, 17 b bestehendes Kegelradgetriebe sein können. Das Kegelrad 17 b überträgt dann das vom Antriebsmotor 15 gelieferte Drehmoment über eine elastische Kupplung 18 auf jeweils eine in den beiden Vertikalprofilen 12 a, 12 b drehbar ge­ lagerte Gewindespindel 19, die vorzugsweise eine Tra­ pezgewindespindel ist. In der Darstellung der Fig. 3 sind die Gegebenheiten lediglich auf der in der Zeichen­ ebene linken Seite gezeigt. Die elastische Kupplung kann in bekannter Weise aus zwei gabelförmig ausgebildeten, ineinandergreifenden Kupplungsstücken bestehen, die elastisch miteinander verbunden sind, so daß geringe Winkel- und Axialversätze ausgeglichen werden können.

Die Höhenverstellung erfolgt sinnvollerweise über zwei an einem der Vertikalprofile oder an sonst geeigneter Stelle angeordnete Drucktasten 20 a, 20 b, die den Elektro­ motor in der entsprechenden Drehrichtung zur Anhebung bzw. Absenkung der zusätzlichen Glasscheibe 13 ansteu­ ern. Die elektrische Ansteuerung für den Antriebsmotor, die natürlich so ausgebildet ist, daß beliebige Zwi­ schenpositionen von der zusätzlichen Glasscheibe einge­ nommen werden können, vervollständigt sich schließlich durch geeignete Endschalter zur Hubbegrenzung, die im Motor oder im Schürzenprofil eingebaut sein können. Die Profile 12 a, 12 b und 14 sind bevorzugt aus Aluminium und im Strangpreßverfahren hergestellt; sie können, wenn ge­ wünscht, eloxiert oder hartverchromt sein.

In der Darstellung der Fig. 3 befindet sich die zusätz­ liche Glasscheibe 13 in der Zeichenebene gesehen hinter dem stationären Aufbau, so daß man auf die Trennvorrich­ tung von der Seite sieht, von welcher eine Bedienungsper­ son in den Reinraum hineinschaut. Daher sind auch die Drucktasten 20 a, 20 b im Profil zugänglich und durch eine hier ebenfalls mögliche, hauptsächlich aus sicherheits­ technischen Gründen erfolgte pendelnde Aufhängung der Glasschürze läßt diese sich nach einer Seite, und zwar in den Reinraum hinein, ebenfalls noch aus ihrer Verti­ kalposition abdrücken. Hierauf wird weiter unten noch eingegangen.

In vergrößerter Darstellung ist in den Fig. 4a, 4b und 4c im Ausschnitt detailliert der innere Profilauf­ bau der Vertikalprofile mit Schlitzöffnung für den Durch­ tritt der Gewindespindel-Antriebs- und Lagermutter für die zusätzliche Glasscheibe dargestellt. Fig. 4a zeigt entsprechend dem Schnittverlauf IVa-IVa der Fig. 4c den unteren Bereich des Vertikalprofils, mit einer von unten eingesetzten Lagerfassung 21 mit Kugellager 22 für die Gewindespindel 19; hierbei erkennt man seitlich noch die in einen Längsaufnahmeschlitz 23 eingeschobene stationäre Glasscheibe 24, die gegen ein Herausfallen nach unten durch einen angeschraubten, L-förmigen Halte­ block 25 gesichert ist. Schließlich ist an das Vertikal­ profil unten noch eine Abschlußkappe 26 angesetzt und ebenfalls durch Verschraubung gehalten.

Wesentlich ist bei der Profilgestaltung, daß sich über die gesamte Höhe des Profils erstreckend ein Längsschlitz 27 in diesem angeordnet ist, der sich seitlich in zwei teilkreisförmige, angrenzende Hohlräume 27 a, 27 b fort­ setzt, wobei die Teilkreisform in dem Profil angrenzend zum Längsschlitz 27 so ausgebildet ist, daß die Kreis­ form angrenzend zum Schlitz teilweise schon wieder ge­ schlossen ist, die Öffnung zum Schlitz 27 also weniger als der Kreisdurchmesser beträgt, so daß in diese beiden angrenzenden Hohlräume ein kreisförmiges Dichtungsprofil 28 eingelegt werden kann, welches gegen ein Herausfallen gesichert ist.

Diese beiden ringförmigen Längsdichtungen haben, wie die Darstellung der Fig. 5 genauer zeigt, die Aufgabe, den sich nach außen, also durch den Längsschlitz 27 er­ streckenden Ansatz 29 an einer hier die Gewindespindel umfassenden Gewindemutter 30 in beiden Hubrichtungen zu führen und federnd gegen eine nachteilige metallische Reibanlage an den angrenzenden Schlitzwänden zu schüt­ zen.

Die Antriebs- und Lagermittel für die vertikal verstell­ bare zusätzliche Glasscheibe bestehen nämlich aus beid­ seitig in den angrenzenden Vertikalprofilen 12 a, 12 b höhenverschieblich gelagerten, mit der dort befindlichen Gewindespindel jeweils im Gewindeeingriff stehenden Spindelmuttern 30, die mit ihrem Ansatz 29 durch den Pro­ filschlitz 27 nach außen reichen und durch diesen Ansatz 29 Befestigungsmittel für die zusätzliche jeweilige Glas­ schürze oder Glasscheibe 13 bilden. Die Höhenverstellbar­ keit der beidseitigen Spindelmuttern 30 (in gleicher Rich­ tung) ergibt sich daher durch die jeweilige Drehbewegung der Spindel, wobei die Mutter 30 diese Drehbewegung nicht mitmacht, da sie durch ihren durch den Profilschlitz 27 an einer Drehbewegung gehinderten Ansatz 29 arretiert ist, hierdurch dann allerdings notwendigerweise längs der Spindel bei deren Drehung nach oben oder unten glei­ tet. Hierdurch kommt es, nämlich aufgrund des sich ent­ wickelnden Drehmoments und der Reibungsmitnahme der je­ weiligen Spindelmutter 30 durch den Gewindeeingriff zu einer Anlage des Einsatzes 29 entweder auf der einen oder der anderen Seite des Profilschlitzes 27 und damit an einer der beiden in die kreisförmigen Längshohlräume 27 a, 27 b eingelegten Dichtung 28, die zur Erleichterung der Verschiebung bevorzugt als Gleitdichtung, etwa aus dem Material Teflon, ausgebildet ist.

In vorteilhafter Ausgestaltung können von den beidseiti­ gen, im Querschnitt kreisförmigen Gleitdichtungen 28 noch aufeinander zu gerichtete, in der Darstellung der Fig. 5 gestrichelte, elastische Fortsätze 31 ausgehen, die sich über die ganze Höhe des Profilschlitzes 27 er­ strecken und dazu dienen, diesen Profilschlitz an den Stellen, wo sich der Ansatz 29 nicht befindet, zu schlie­ ßen. Es ist daher auch zweckmäßig, den Ansatz 29 nach oben und unten einer entsprechenden Formgebung zu unter­ werfen, damit der von den beidseitigen Ansätzen 31 ge­ bildete "Vorhang" beim Verfahren nach oben und unten ge­ öffnet werden kann.

Die eigentliche Befestigung der zusätzlichen Glasschei­ ben 13 an den Spindelmuttern 30, genauer an deren Ansät­ zen 29, erfolgt dann so, daß die zur Lagerung jeweils einer zusätzlichen Glasscheibe 13 dienenden Ansätze 29 der Spindelmuttern über ein Querrohr oder eine Querstan­ ge 32 miteinander verbunden sind, wobei, wenn sich der Wunsch ergibt, mehrere solcher zusätzlichen Glasscheiben oder Glasschürzen gleichzeitig, und zwar durch den glei­ chen Antriebsmotor angetrieben, zu bewegen, von dem je­ weiligen Ansatz 29 natürlich dann beidseitig entspre­ chende Lagerstangen 32 ausgehen. In diesem Fall empfiehlt es sich, wie schon erwähnt, sämtliche zusätzlichen Glas­ scheiben durch den gleichen Antriebsmotor, zur Erzielung eines entsprechenden Gleichlaufs, antreiben zu lassen, was problemlos möglich ist, wenn man bei der Drehrich­ tungsumkehr die horizontalen Antriebswellen des Motors über das erste Kegelrad 17 a hinausgehend weiter horizon­ tal fortsetzt. Jedenfalls ergibt sich für die einsei­ tig pendelnde Aufhängung jeder zusätzlichen Glasscheibe 13 eine Querstange 32, die von den Ansätzen 29 ausge­ hend sich quer über die jeweils zugeordnete feststehende Glasscheibe oder Glasschürze erstreckt und in welcher die zusätzli­ chen Glasscheiben eingehängt werden. Zu diesem Zweck verfügt jede zusätzliche Glasscheibe beidseitig oben über jeweils einen Haken, der wie in Fig. 6 gezeigt an der Glasscheibe befestigt sein kann. Gegebenenfalls und bei entsprechenden Überlängen können auch mehr als nur zwei Befestigungshaken vorgesehen sein. Die Fig. 6 zeigt, daß die zusätzliche Glasscheibe angrenzend zu ihrer obigen Randkante eine Ausnehmung 33 aufweist, die von einer Durchbrechung im Glas gebildet ist und in wel­ che von beiden Seiten miteinander über Befestigungsmittel (Schraube 34) zu verbindende Halteteile 35 a, 35 b eingrei­ fen, die sich mit Vorsprüngen ineinander und in die Durchbrechung 33 erstrecken, so daß der von dem einen Halteteil, im vorliegenden Fall 35 b ausgehende und an diesem befestigte bzw. vorzugsweise einstückig mit die­ sem ausgebildete Haken 36 einen absolut sicheren Halt an der zugeordneten Glasscheibe erfährt. Mit einem obe­ ren, abgerundeten und sich wieder nach unten erstrecken­ den Teil 36 a umfaßt der Haken dann die jeweilige Stange 32, so daß die zusätzliche Glasscheibe in jeder beliebi­ gen Höhenposition von der in Fig. 6 lediglich gestrichelt dargestellten stationären Glasscheibe 11, der Kreisbogen­ form des Pfeils A folgend, abgekippt werden kann.

Der Aufbau jedes Vertikalprofils vervollständigt dann noch so wie in Fig. 7 dargestellt. Wird beispielsweise aus bestimmten Gründen nicht der volle, von dem Profil­ schlitz 27 zur Verfügung gestellte Weg für das Anheben und Absenken der zusätzlichen Glasscheibe ausgenutzt, dann kann, auch zur Hubbegrenzung, wozu dann noch ge­ eignete elektrische Anschlag-Endschaltermittel vorzuse­ hen sind, in einem oberen bzw. unteren Bereich des Ver­ tikalprofils 12 ein Längsprofil 37 eingeschoben werden, welches in der Darstellung der Fig. 7a im Schnitt ge­ zeigt ist und aus einem mittleren, rechteckförmigen Teil 37 a und aus zwei angrenzenden mehr als halbkreis­ förmigen Wulsten besteht. Dieses vorzugsweise ebenfalls aus Aluminium bestehende Füllprofil wird am besten von unten, bei abgenommener Abdeckkappe 26 in den Profil­ schlitz 27 eingeschoben, deckt die Profilschlitzöffnung dort ab, wo eine Verschiebung der Spindelmutter nicht oder nicht mehr erwünscht oder notwendig ist und sichert darüber hinaus den festen Zusammenhalt des Längsprofils trotz des durchlaufenden Längsschlitzes 27, weil die beiden mehr als halbrunden Wülste 37 b formschlüssig in den angrenzenden Hohlräumen sitzen und ein Auseinander­ drücken sicher verhindern, auch dann, wenn bei­ spielsweise bei einer Spindelmuttervertikalbewegung deren Ansatz mit seitlicher Druckwirkung an der Schlitz­ wandung entlangläuft.

Die Fig. 7b, die einen Schnitt durch das Vertikalprofil längs der Linie VIIb-VIIb zeigt, zeigt den offenen Pro­ filschlitz 27 an einer Stelle, wo der Spindelmutter­ durchlauf stattfindet. Man erkennt in der Darstellung der Fig. 7b auch deutlich die beiden, von den Gleit­ dichtungen 28 ausgehenden Ansätze 31 zur Abdeckung des Profilschlitzes 27.

Schließlich zeigen die Darstellungen der Fig. 8a bis 8c noch allgemeine Möglichkeiten zur Luftleitblenden- Kombination, wobei die Quererstreckungen der einzelnen Trennvorrichtungen, jeweils bestehend aus einer fest­ stehenden Glasschürze und der an dieser befestigten höhenverstellbaren Glasscheibe dem Deckenrastersystem folgend ausgebildet und angeordnet sind. In der Dar­ stellung der Fig. 8a sind zwei nebeneinander angeordne­ te Vertikalprofile 12 a′, 12 a′′ vorgesehen, so daß unab­ hängig voneinander und relativ zu den feststehenden Glasschürzen 11′, 11′′ jeweils vertikal verfahrbare zusätzliche Glasscheiben 13′, 13′′ unabhängig voneinan­ der angeordnet und höhenverstellbar betätigt werden können.

Die Darstellung der Fig. 8b, bei der ebenfalls beide zu­ sätzlichen Glasscheiben oder -schürzen motorisch verstell­ bar sind, unterscheidet sich von der Darstellung der Fig. 8a lediglich noch durch eine in Querrichtung ver­ laufende, zusätzliche feststehende Glasscheibe 38, wäh­ rend die Fig. 8c die Kombination lediglich einer moto­ risch verstellbaren Trennvorrichtung zeigt, an welche, mit eigenem Vertikalprofil 12 a′′′ eine feststehende Glasschürze, an der eine weitere pendelnde Glasscheibe angehängt sein kann, mit einer Querverbindungsglasscheibe 38′ darstellt.

Alle in der Beschreibung, den nachfolgenden Ansprüchen und der Zeichnung dargestellten Merkmale können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination miteinander erfindungswesentlich sein.

Claims (14)

1. Trennvorrichtung in Reinräumen mit hoher Umgebungs­ reinheit (Partikelfreiheit), mit im Deckenbereich be­ festigten und vorzugsweise einem Deckenrastersystem folgend und von der Decke ausgehend, nach unten ge­ richteten stationären Glasschürzen, an die sich ge­ gebenenfalls pendelnd aufgehängte zusätzliche Glas­ schürzen anschließen, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzlichen Glasschürzen (Glasscheiben 13, 13′, 13′′) motorisch willkürlich höhenverstellbar ausge­ bildet und beidseitig an in zwischen den stationären Glasschürzen (11) angeordneten und diese tragenden Vertikalprofilen (12 a, 12 b) befindlichen Antriebs- und Lagermitteln befestigt sind.

2. Trennvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß in den angrenzend zu jeder zusätzli­ chen, höhenverstellbaren Glasscheibe (13) angeord­ neten Vertikalprofilen (12 a, 12 b) drehangetriebene Gewindespindeln (Trapezgewindespindeln 19) gelagert sind, die über mit ihnen im Eingriff stehende, je nach Drehrichtung der Gewindespindeln nach oben oder unten verschiebbare Lagermuttern (30) die zu­ sätzlichen Glasscheiben (13) halten.

3. Trennvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zum Drehantrieb der beidseitigen, in den Vertikalprofilen (12 a, 12 b) gelagerten Spindeln (19) ein gemeinsamer Antriebsmotor (15) jeweils vor­ gesehen ist, der in einem oberen Querprofil (14) ge­ lagert ist.

4. Trennvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Antriebsmotor (15) die vertikalen Gewindespindeln (19) über in den Über­ gangseckverbindungen des Querprofils (14) zu den Ver­ tikalprofilen (12 a, 12 b) angeordnete Getriebemittel (Kegelradgetriebe 17 a, 17 b) antreibt.

5. Trennvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß für unmittelbar aneinan­ dergrenzende und gemeinsam zu betätigende zusätzliche, höhenverstellbare Glasscheiben (13) ein gemeinsamer Antriebsmotor vorgesehen ist, der sämtliche dann synchron angetriebene Gewindespindeln für die Höhen­ verstellung der Glasscheiben über durch die Umlenk­ getriebe (17) weitergeführte Ausgangswellen antreibt.

6. Trennvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß jede Gewindespindel (19) oben angrenzend zum Umlenkgetriebe (17) von diesem und im jeweiligen Vertikalprofil (12 a, 12 b) unten über ein Kugellager (22) gelagert ist, welches in einer Kugellagerfassung (21) gehalten ist.

7. Trennvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die im Gewindeeingriff mit den Gewindespindeln (19) stehenden Lagermuttern (30) beidseitig in jedem Vertikalprofil (12 a, 12 b) einen einen Profilschlitz (27) nach außen durchset­ zenden Ansatz (29) aufweisen, daß die Ansätze (29) von gleichsinnig und gemeinsam höhenverstellbaren Glasscheiben (13) über Querstangen (32) miteinander verbunden sind und daß die Glasscheiben (13) in diese Querstangen, nach einer Seite pendelnd, eingehängt sind.

8. Trennvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zur Einhängung der zusätzlichen Glas­ scheiben (13) in die Querstangen (32) an der oberen Randkante jeder Glasscheibe beidseitig befestigte Haken (36) vorgesehen sind.

9. Trennvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß jeder Haken an einem Halteteil (35 b) befestigt oder einstückiger Teil desselben ist, wel­ ches in einer Durchbrechung (33) am oberen Rand je­ der zusätzlichen, höhenverstellbaren Glasscheibe (13) befestigt ist.

10. Trennvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß jeder das Profilinnere jedes Vertikalprofils (12 a, 12 b) zum Durchtritt des Spindelmutteransatzes (29) öffnende Profilschlitz (27) beidseitig Gleit- und Anlagemittel (28) für die gleitverschiebliche Führung des Ansatzes auf­ weist.

11. Trennvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die aus einem elastischen Material be­ stehenden Gleit- und Führungsmittel angrenzend zu je­ dem Profilschlitz (27) aus einem in Teilringausneh­ mungen (27 a, 27 b) angrenzend zum Profilschlitz (27) eingelegte Gleitdichtungen in Form von Längsschnüren aus elastischem Material mit kreisförmigem Quer­ schnittsprofil bestehen.

12. Trennvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß an jede Gleitdichtung (28) ein Ansatz (31) angeformt ist derart, daß sich die beiden gegen­ überliegenden Ansätze zur Abdeckung des Profilschlit­ zes (27) schließen oder überlappen.

13. Trennvorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprü­ che 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß bei anein­ andergrenzenden, unabhängig voneinander zu betätigen­ den höhenverstellbaren Glasscheiben im Übergang je­ weils aneinandergrenzende Vertikalprofile, ein Doppel­ profil bildend, angeordnet sind.

14. Trennvorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprü­ che 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Vertikal­ profile zusätzlich zur Aufnahme jeweils einer Gewin­ despindel für die Höhenverstellbarkeit der zusätzli­ chen Glasscheibe Aufnahmeschlitze (23) für die Hal­ terung der feststehenden Glasschürze (11) aufweisen.